(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-28
(45)【発行日】2024-11-06
(54)【発明の名称】カーボンナノチューブ複合部材の製造方法
(51)【国際特許分類】
H05B 3/14 20060101AFI20241029BHJP
C01B 32/17 20170101ALI20241029BHJP
H05B 3/20 20060101ALI20241029BHJP
【ＦＩ】
H05B3/14 F ZNM
C01B32/17
H05B3/20 310
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2021152917
(22)【出願日】2021-09-21
(65)【公開番号】P2022059577
(43)【公開日】2022-04-13
【審査請求日】2023-12-21
(31)【優先権主張番号】P 2020166801
(32)【優先日】2020-10-01
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000005119
【氏名又は名称】カナデビア株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100110847
【弁理士】
【氏名又は名称】松阪 正弘
(74)【代理人】
【識別番号】100136526
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 勉
(74)【代理人】
【識別番号】100136755
【弁理士】
【氏名又は名称】井田 正道
(72)【発明者】
【氏名】円山 拓行
(72)【発明者】
【氏名】山下 智也
【審査官】大谷 光司
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－１０３２９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１３６１１６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－０３４０５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－３５７９６６（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１６／０３０２２６４（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０５Ｂ３／００－３／８２
Ｃ０１Ｂ３２／１７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
カーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、ａ）第１シート部の一方の主面の少なくとも周辺領域に、前記第１シート部よりも熱膨張率が小さい粘着材を貼付する工程と、
ｂ）一対の電極、および、前記一対の電極間を接続するカーボンナノチューブ成形体を、前記第１シート部の前記一方の主面上に配置する工程と、
ｃ）前記第１シート部よりも熱膨張率が小さい支持部材を前記第１シート部に固定する工程と、
ｄ）前記ａ）工程ないし前記ｃ）工程よりも後に、前記カーボンナノチューブ成形体を加熱することにより、前記カーボンナノチューブ成形体に含浸している溶剤を気化させて除去する工程と、
ｅ）前記ｄ）工程よりも後に、前記第１シート部と第２シート部とを、前記カーボンナノチューブ成形体および前記粘着材を間に挟んで積層し、前記粘着材により前記第２シート部を前記第１シート部に固定して前記カーボンナノチューブ成形体を封止する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項2】
請求項１に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｄ）工程よりも後に、前記支持部材を前記第１シート部から除去する工程をさらに備えることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項3】
請求項１または２に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｃ）工程において、前記支持部材は、前記第１シート部の他方の主面上に固定されることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項4】
請求項１ないし３のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｃ）工程において、前記支持部材は、前記周辺領域上の前記粘着材と重なる位置に固定されることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項5】
請求項４に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｃ）工程において、前記支持部材は、前記一対の電極の一方から他方に向かう方向に沿って、前記周辺領域に固定されることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項6】
請求項１ないし５のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ａ）工程において、前記粘着材は、前記第１シート部の前記一方の主面の全面に亘って貼付されることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項7】
請求項１ないし６のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記カーボンナノチューブ成形体は、前記一対の電極間に供給される電力により発熱して対象物を加熱する電熱部であることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項8】
請求項１ないし７のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記粘着材は、シート状の基材の両面に粘着層が設けられた両面粘着テープであることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材装置の製造方法。
【請求項9】
請求項１ないし８のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、ｆ）前記ｅ）工程よりも前に、前記第２シート部の主面に他の粘着材を貼付する工程をさらに備え、
前記ｅ）工程は、
ｇ）前記第１シート部、前記粘着材および前記カーボンナノチューブ成形体上に、前記カーボンナノチューブ成形体と前記他の粘着材とを対向させつつ前記第２シート部を積層する工程と、
ｈ）前記ｇ）工程にて積層された前記第１シート部および第２シート部を、互いに対して押圧して固定する工程と、
ｉ）前記ｈ）工程よりも後に、前記他の粘着材を所定の後処理温度まで加熱する工程と、
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【請求項10】
請求項９に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｉ）工程における加熱時のアレニウスパラメータは１．０５以上であることを特徴とするカーボンナノチューブ複合部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、カーボンナノチューブ複合部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、複数のカーボンナノチューブを様々な形状に成形し、ヒータやセンサ等の様々な製品に利用することが提案されている。例えば、特許文献１では、加熱素子であるカーボンナノチューブフィルムを２枚の基板で挟み、当該２枚の基板とカーボンナノチューブフィルムとをホットメルトグルーにて接合したヒータが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第５７２１９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、カーボンナノチューブフィルムを製造する際には、多数のカーボンナノチューブを凝集させるために、エタノール等の溶剤がカーボンナノチューブフィルムに付与される場合がある。当該溶剤は、凝集後の乾燥処理によってある程度除去されるが、多数のカーボンナノチューブの間に吸着して残存している。このため、当該カーボンナノチューブフィルムを基板間に封止してヒータを形成すると、ヒータ使用時の熱により基板間にて溶剤が気化し、基板が外側へと膨らんで異常加熱等が生じるおそれがある。
【0005】
そこで、一方の基板の主面に両面粘着テープ等の粘着材を介してカーボンナノチューブフィルムおよび電極を固定した後、ベーキング等の加熱処理を行ってカーボンナノチューブフィルムに吸着している溶剤を除去することが考えられる。この場合、ベーキング後に、当該一方の基板に他方の基板を積層し、カーボンナノチューブフィルムの周囲において上述の粘着材を介して基板同士を接合するが、ベーキング時に当該粘着材に皺が発生し、封止の不具合や外観の悪化が生じるおそれがある。当該皺の発生は、ベーキング時に基板が比較的大きく熱膨張することにより、粘着材が不可逆的に伸ばされたことによると考えられる。
【0006】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、粘着材における皺の発生を抑制することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0007】
請求項１に記載の発明は、カーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、ａ）第１シート部の一方の主面の少なくとも周辺領域に、前記第１シート部よりも熱膨張率が小さい粘着材を貼付する工程と、ｂ）一対の電極、および、前記一対の電極間を接続するカーボンナノチューブ成形体を、前記第１シート部の前記一方の主面上に配置する工程と、ｃ）前記第１シート部よりも熱膨張率が小さい支持部材を前記第１シート部に固定する工程と、ｄ）前記ａ）工程ないし前記ｃ）工程よりも後に、前記カーボンナノチューブ成形体を加熱することにより、前記カーボンナノチューブ成形体に含浸している溶剤を気化させて除去する工程と、ｅ）前記ｄ）工程よりも後に、前記第１シート部と第２シート部とを、前記カーボンナノチューブ成形体および前記粘着材を間に挟んで積層し、前記粘着材により前記第２シート部を前記第１シート部に固定して前記カーボンナノチューブ成形体を封止する工程とを備える。
【0008】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｄ）工程よりも後に、前記支持部材を前記第１シート部から除去する工程をさらに備える。
【0009】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｃ）工程において、前記支持部材は、前記第１シート部の他方の主面上に固定される。
【0010】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｃ）工程において、前記支持部材は、前記周辺領域上の前記粘着材と重なる位置に固定される。
【0011】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｃ）工程において、前記支持部材は、前記一対の電極の一方から他方に向かう方向に沿って、前記周辺領域に固定される。
【0012】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ａ）工程において、前記粘着材は、前記第１シート部の前記一方の主面の全面に亘って貼付される。
【0013】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記カーボンナノチューブ成形体は、前記一対の電極間に供給される電力により発熱して対象物を加熱する電熱部である。
【0014】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記粘着材は、シート状の基材の両面に粘着層が設けられた両面粘着テープである。
【0015】
請求項９に記載の発明は、請求項１ないし８のいずれか１つに記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、ｆ）前記ｅ）工程よりも前に、前記第２シート部の主面に他の粘着材を貼付する工程をさらに備え、前記ｅ）工程は、ｇ）前記第１シート部、前記粘着材および前記カーボンナノチューブ成形体上に、前記カーボンナノチューブ成形体と前記他の粘着材とを対向させつつ前記第２シート部を積層する工程と、ｈ）前記ｇ）工程にて積層された前記第１シート部および第２シート部を、互いに対して押圧して固定する工程と、ｉ）前記ｈ）工程よりも後に、前記他の粘着材を所定の後処理温度まで加熱する工程とを備える。
【0016】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載のカーボンナノチューブ複合部材の製造方法であって、前記ｉ）工程における加熱時のアレニウスパラメータは１．０５以上である。
【発明の効果】
【0017】
本発明では、粘着材における皺の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】第１の実施の形態に係るＣＮＴ複合部材の平面図である。
【図2】ＣＮＴ複合部材の断面図である。
【図3】ＣＮＴ複合部材の断面図である。
【図4】ＣＮＴ複合部材の製造の流れを示す図である。
【図5】製造途上のＣＮＴ複合部材の平面図である。
【図6】製造途上のＣＮＴ複合部材の平面図である。
【図7】製造途上のＣＮＴ複合部材の平面図である。
【図8】製造途上のＣＮＴ複合部材の底面図である。
【図9】ＣＮＴ複合部材の製造に利用されるラミネータを示す側面図である。
【図10】ラミネータを示す平面図である。
【図11】第２の実施の形態に係るＣＮＴ複合部材の断面図である。
【図12】ＣＮＴ複合部材の製造の流れの一部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るカーボンナノチューブ複合部材１（以下、「ＣＮＴ複合部材１」とも呼ぶ。）を示す平面図である。図２は、ＣＮＴ複合部材１を図１中のＩＩ－ＩＩの位置にて切断した断面図である。図３は、ＣＮＴ複合部材１を図１中のＩＩＩ－ＩＩＩの位置にて切断した断面図である。以下の説明では、図１中の左右方向を「長手方向」とも呼び、図１中の上下方向を「幅方向」とも呼ぶ。また、図１における紙面に垂直な方向を「上下方向」とも呼ぶ。なお、当該上下方向は、実際の重力方向と一致してもよく、一致しなくてもよい。
【0020】
本実施の形態では、ＣＮＴ複合部材１は、電力を供給されることにより発熱し、対象物の加熱に利用される比較的薄型のカーボンナノチューブヒータ（以下、「ＣＮＴヒータ」とも呼ぶ。）である。図１に示す例では、ＣＮＴ複合部材１は、平面視において略矩形のシート状の部材である。本明細書におけるシート状とは、縦横の長さに対して厚さが薄い形状を意味し、可撓性を有していても有していなくてもよい。また、本明細書におけるシート状とは、フィルム状と呼ばれる形状も含む概念である。
【0021】
ＣＮＴ複合部材１は、接続シート部２１と、一対の電極２２と、第１シート部３１と、第２シート部３２とを備える。以下の説明では、接続シート部２１と一対の電極２２とをまとめて、ＣＮＴデバイス２とも呼ぶ。ＣＮＴデバイス２は、第１シート部３１と第２シート部３２との間に挟まれて封止される。すなわち、第１シート部３１および第２シート部３２は、ＣＮＴデバイス２を内部に収容して（すなわち、被覆して）固定する外装部材である。図１に示す例では、ＣＮＴデバイス２の全体が第１シート部３１と第２シート部３２との間にて封止される。
【0022】
なお、第１シート部３１および第２シート部３２によるＣＮＴデバイス２の封止は、接続シート部２１の全体が封止されるのであれば、一対の電極２２の封止は部分的であってもよい。すなわち、接続シート部２１全体と各電極２２の一部が、第１シート部３１と第２シート部３２との間にて封止され、各電極２２の他の一部は、第１シート部３１と第２シート部３２との間から外側に突出していてもよい。あるいは、一対の電極２２の全体が、第１シート部３１および第２シート部３２により被覆されず露出していてもよい。
【0023】
第１シート部３１および第２シート部３２はそれぞれ、長手方向および幅方向に広がる略シート状の部材である。図１に示す例では、第１シート部３１および第２シート部３２の平面視における形状はそれぞれ、長手方向および幅方向に略平行な辺を有する略矩形状である。第１シート部３１と第２シート部３２とは、略同形状である。第１シート部３１および第２シート部３２はそれぞれ、可撓性を有する絶縁性のシート状部材である。第１シート部３１および第２シート部３２は、例えば、樹脂製または弾性高分子材料製であり、本実施の形態では、シリコーンゴム製である。第１シート部３１および第２シート部３２は、例えば、透明または半透明の部材である。第１シート部３１および第２シート部３２は、不透明であってもよい。なお、第１シート部３１および第２シート部３２は、必ずしも可撓性を有する必要はなく、硬質部材であってもよい。また、第１シート部３１および第２シート部３２の材質や色等は互いに異なっていてもよい。
【0024】
図１～図３に示す例では、第１シート部３１と第２シート部３２とは、ＣＮＴデバイス２の周囲において略全周に亘って、シート状の粘着材３３により固定される。なお、図１では、図の理解を容易にするために、粘着材３３の図示を省略している。本実施の形態では、粘着材３３は、シート状の基材の両面に粘着層が設けられた両面粘着テープである。粘着材３３の基材は、例えば樹脂製であり、本実施の形態ではＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）である。０℃～２００℃の温度域では、粘着材３３の熱膨張係数（すなわち、線膨張形数）は、第１シート部３１の熱膨張係数よりも小さい。詳細には、粘着材３３の基材の上記温度域における熱膨張係数は、第１シート部３１の上記温度域における熱膨張係数よりも小さい。以下の説明では、０℃～２００℃の温度域における熱膨張係数を、単に「熱膨張係数」と呼ぶ。上述のＰＥＴの熱膨張係数は６５ｐｐｍ／℃（すなわち、ｐｐｍ／Ｋ）であり、シリコーンゴムの熱膨張係数は２５０～４００ｐｐｍ／℃である。
【0025】
一対の電極２２は、長手方向において離間しつつ対向して配置される。一対の電極２２はそれぞれ、幅方向に沿って略直線状に延びる略矩形帯状のシート状（例えば、薄板状）部材である。図１に示す例では、一対の電極２２間の長手方向の距離は、幅方向のいずれの位置においても略同じである。換言すれば、一対の電極２２は、互いに略平行に幅方向に延びる。各電極２２は、導電体であり、例えば銅（Ｃｕ）等により形成された金属箔である。各電極２２の厚さは、例えば２０μｍ～３００μｍであり、好ましくは４０μｍ～１００μｍである。電極２２および後述する支持部材４１を形成するＣｕの熱膨張係数は、１７．７ｐｐｍ／℃である。
【0026】
接続シート部２１は、一方の電極２２から他方の電極２２まで長手方向に延び、一対の電極２２間を電気的に接続する。接続シート部２１は、導電性のシート部材である。接続シート部２１の長手方向の両端部は、一対の電極２２に固定される。接続シート部２１と電極２２との固定は、例えば、積層された２枚の金属箔の間に接続シート部２１の長手方向の端部を挟み、当該２枚の金属箔をハンダ接合することにより行われる。この場合、積層された当該２枚の金属箔が１つの電極２２となる。あるいは、接続シート部２１と電極２２との固定は、電極２２となる金属箔が、接続シート部２１の長手方向の端部を間に挟んで折り畳まれて押圧されることにより行われてもよい。電極２２に対する接続シート部２１の固定は、上記以外の固定方法により行われてもよい。
【0027】
接続シート部２１は、多数のカーボンナノチューブにより形成された可撓性を有するシート状のカーボンナノチューブ成形体（以下、「ＣＮＴ成形体」とも呼ぶ。）である。接続シート部２１は、例えば、複数のカーボンナノチューブシート（以下、「ＣＮＴシート」とも呼ぶ。）が厚さ方向（すなわち、上下方向）に積層された積層シート状の部材である。接続シート部２１におけるＣＮＴシートの積層数は様々に変更されてよい。あるいは、接続シート部２１は１層のＣＮＴシートであってもよい。
【0028】
接続シート部２１の平面視における形状は、第１シート部３１および第２シート部３２と略同様に、長手方向および幅方向に略平行な辺を有する略矩形状である。接続シート部２１は、第１シート部３１および第２シート部３２よりも小さい。平面視において、接続シート部２１の全体は、第１シート部３１および第２シート部３２と重なる。図１に示す例では、一対の電極２２の全体も、第１シート部３１および第２シート部３２と平面視において重なる。
【0029】
接続シート部２１におけるカーボンナノチューブの向き（すなわち、カーボンナノチューブが延びる方向）は、長手方向に略平行である。換言すれば、接続シート部２１を構成する複数層のＣＮＴシートにおいて、各ＣＮＴシートを構成する多数のカーボンナノチューブは、長手方向に略平行に延びる。なお、接続シート部２１におけるカーボンナノチューブの向きは、様々に変更されてよく、例えば、幅方向に略平行であってもよい。
【0030】
接続シート部２１の大きさは、ＣＮＴヒータ１に求められる性能により様々に変化する。接続シート部２１の長手方向の長さは、例えば２０ｍｍ～５００ｍｍであり、好ましくは２０ｍｍ～２００ｍｍである。接続シート部２１の幅方向の幅は、例えば１０ｍｍ～５００ｍｍであり、好ましくは６０ｍｍ～１５０ｍｍである。
【0031】
ＣＮＴ複合部材１は、さらに、図示省略の一対の端子を備える。当該一対の端子は、一対の電極２２とそれぞれ電気的に接続される。ＣＮＴデバイス２の一対の電極２２間への電力の供給は、電力供給源から当該一対の端子を介して行われる。これにより、ＣＮＴデバイス２の接続シート部２１が発熱して対象物を加熱する。接続シート部２１は、当該対象物を加熱する電熱部である。
【0032】
【0033】
ＣＮＴ複合部材１が製造される際には、まず、図５に示すように、第１シート部３１の一方の主面３１１（以下、「上面３１１」とも呼ぶ。）に、略矩形帯状の両面粘着テープである粘着材３３が貼付される（ステップＳ１１）。図５では、図の理解を容易にするために、粘着材３３に平行斜線を付す（図６および図７においても同様）。図５に示す例では、粘着材３３は、長手方向に略平行に延びるとともに幅方向に配列され、第１シート部３１の上面３１１に略全面に亘って貼付される。
【0034】
続いて、図６に示すように、積層構造を有する各電極２２の下層部分が、第１シート部３１の上面３１１上に配置される。当該下層部分は、粘着材３３により第１シート部３１上に固定される。次に、図７に示すように、接続シート部２１が、長手方向の両端部を一対の電極２２の下層部分上に重ねた状態で、第１シート部３１の上面３１１上に配置される。接続シート部２１を構成するＣＮＴシートには、その製造段階において、多数のカーボンナノチューブを凝集させること等を目的として、エタノール等の溶剤が付与されている。当該溶剤は、ＣＮＴシートの製造中の乾燥処理においてある程度除去されるが、多数のカーボンナノチューブ間等に吸着して残存している。したがって、図７に示す状態において、接続シート部２１は当該溶剤を含浸している。
【0035】
接続シート部２１が第１シート部３１上に配置されると、各電極２２の上層部分が、上述の下層部分上に積層されてハンダ接合される。これにより、一対の電極２２が形成され、接続シート部２１の長手方向の両端部が一対の電極２２に接合される。また、接続シート部２１のうち、長手方向において一対の電極２２の間に位置する部位は、粘着材３３により第１シート部３１上に固定される。これにより、接続シート部２１および一対の電極２２（すなわち、ＣＮＴデバイス２）が、第１シート部３１の上面３１１上に配置される（ステップＳ１２）。
【0036】
ＣＮＴデバイス２の配置が終了すると、図８に示すように、支持部材４１が第１シート部３１の他方の主面３１２（以下、「下面３１２」とも呼ぶ。）上に固定される（ステップＳ１３）。図８は、第１シート部３１の下面３１２を示す底面図（すなわち、製造途上のＣＮＴ複合部材１の底面図）である。図８に示す例では、支持部材４１は、略直線状に延びる略矩形帯状のシート状（例えば、薄板状）部材である。
【0037】
支持部材４１は、例えば、銅（Ｃｕ）等により形成された金属箔である。支持部材４１の熱膨張係数は、第１シート部３１の熱膨張係数よりも小さい。好ましくは、支持部材４１の熱膨張係数は、粘着材３３の熱膨張係数（上記例では、粘着材３３の基材の熱膨張係数）よりも小さい。支持部材４１は、着脱可能な粘着材（例えば、両面粘着テープや粘着剤の層等）により、第１シート部３１に固定される。なお、支持部材４１の材質は金属には限定されず、セラミックスや樹脂等、様々に変更されてよい。
【0038】
支持部材４１は、長手方向（すなわち、一対の電極２２の一方から他方に向かう方向）に沿って、第１シート部３１の長手方向の略全長に亘って第１シート部３１の周辺領域３１３に固定される。第１シート部３１の周辺領域３１３とは、第１シート部３１の外周縁に沿う枠状の領域であり、図８に示す例では、二点鎖線にて示す略矩形枠状の領域である。周辺領域３１３は、例えば、第１シート部３１全体から、ＣＮＴデバイス２に外接する最も小さい矩形状の領域（すなわち、ＣＮＴデバイス２の配置領域）を除いた領域である。支持部材４１は、第１シート部３１の上面３１１において周辺領域３１３上に貼付された粘着材３３（図７参照）と平面視において重なる。なお、支持部材４１は、第１シート部３１の上面３１１に固定されてもよい。この場合、支持部材４１は、例えば、粘着材３３を介して第１シート部３１の上面３１１に固定される。
【0039】
ステップＳ１１～Ｓ１３が終了すると、ＣＮＴデバイス２が第１シート部３１および支持部材４１と共に加熱される。これにより、ＣＮＴデバイス２の接続シート部２１に含浸している溶剤が気化し、接続シート部２１から除去される（ステップＳ１４）。ステップＳ１４における加熱は、例えば、ベーキング炉において行われる。ＣＮＴデバイス２のベーキング処理は、例えば、１００℃～２００℃にて０．５時間～５時間行われる。これにより、接続シート部２１に残存していた上記溶剤が、ほぼ完全に接続シート部２１から除去される。なお、ＣＮＴデバイス２、第１シート部３１および支持部材４１の加熱方法は、加熱装置、加熱温度および加熱時間等、様々に変更されてよい。
【0040】
上述のように、第１シート部３１には、第１シート部３１よりも熱膨張係数が小さい支持部材４１が固定されているため、ステップＳ１４の加熱処理において、第１シート部３１の熱膨張が抑制される。ベーキング処理終了後のＣＮＴデバイス２、第１シート部３１および支持部材４１は、室温（例えば、２５℃）まで降温される。
【0041】
仮に、第１シート部３１に支持部材４１が固定されていないとすると、第１シート部３１のうちＣＮＴデバイス２が固定されていない周辺領域３１３では、ＣＮＴデバイス２による熱膨張抑制等の制限がないため、比較的大きく熱膨張する。特に、周辺領域３１３のうち、第１シート部３１よりも熱膨張係数が小さい電極２２から離れた領域（すなわち、周辺領域３１３のうち、一方の電極２２から他方の電極２２へと向かう方向に延びる領域）では、第１シート部３１の熱膨張が大きくなる。
【0042】
しかしながら、本実施の形態に係るＣＮＴ複合部材１の製造では、支持部材４１が、周辺領域３１３上において一方の電極２２から他方の電極２２へと向かう方向に沿って固定されているため、第１シート部３１の熱膨張を、周辺領域３１３においても好適に抑制することができる。これにより、第１シート部３１に貼付されている粘着材３３が、熱膨張する第１シート部３１に引っ張られて自身の熱膨張（すなわち、粘着材３３が第１シート部３１から独立した状態で加熱された場合の熱膨張）よりも大きく伸びることを抑制することができる。また、上述のように、支持部材４１の熱膨張係数は粘着材３３の熱膨張係数よりも小さいため、第１シート部３１の熱膨張を、粘着材３３の自身の熱膨張に近づけることができる。したがって、粘着材３３が自身の熱膨張よりも大きく伸びることを、さらに抑制することができる。このため、降温後の粘着材３３に、不可逆的な伸びによる皺が生じることを抑制または防止することができる。粘着材３３の皺は、目視による外観検査において視認不能な程度まで抑制されることが好ましい。
【0043】
ＣＮＴデバイス２、第１シート部３１および支持部材４１の降温が終了すると、支持部材４１が第１シート部３１から剥離されて除去される（ステップＳ１５）。その後、第１シート部３１の上面３１１上に第２シート部３２が積層される。換言すれば、第１シート部３１と第２シート部３２とが、ＣＮＴデバイス２（すなわち、接続シート部２１および一対の電極２２）並びに粘着材３３を間に挟んで積層される。そして、第２シート部３２が、ＣＮＴデバイス２の周囲において（すなわち、周辺領域３１３において）、粘着材３３により第１シート部３１に固定される。これにより、ＣＮＴデバイス２が第１シート部３１と第２シート部３２との間に封止され、ＣＮＴ複合部材１の製造が終了する（ステップＳ１６）。
【0044】
ステップＳ１６における第１シート部３１と第２シート部３２との固定は、例えば、ラミネータにより行われてもよい。図９および図１０はそれぞれ、ラミネータ５により第１シート部３１と第２シート部３２とが固定される様子を示す側面図および平面図である。図９では、第１シート部３１および第２シート部３２等を断面にて示す。ラミネータ５は、図９中の上下方向に隣接して配置される２つのロール５１，５２を備える。ラミネータ５では、間にＣＮＴデバイス２を挟んだ第１シート部３１および第２シート部３２が、図９および図１０中の右側から左側へと、２つのロール５１，５２の間を押圧されつつ通過することにより、互いに対して固定される。
【0045】
ラミネータ５では、ロール５１，５２の少なくとも一方が加熱されることにより、第１シート部３１および第２シート部３２が加熱されてもよい。この場合、ラミネータ５を通過中の第１シート部３１および第２シート部３２の温度は、例えば、５０℃～６０℃である。また、第１シート部３１および第２シート部３２がラミネータ５を通過するのに要する時間は、例えば約１秒である。
【0046】
図１０に示すように、間にＣＮＴデバイス２を挟んだ第１シート部３１および第２シート部３２が２つのロール５１，５２の間を通過する際には、第１シート部３１および第２シート部３２の移動方向は、一対の電極２２の延びる方向（すなわち、一対の電極２２の長手方向）に略平行とされることが好ましい。これにより、第１シート部３１および第２シート部３２が、ロール５１，５２から加えられる力や熱等により、上記移動方向に沿ってうねって皺が発生することを抑制することができる。当該皺の抑制は、一対の電極２２の剛性により、第１シート部３１および第２シート部３２の上記移動方向における部分的変形（例えば、ロール５１，５２からの力や熱による部分的な伸び等）が抑制されることによる。特に、第１シート部３１は、上述のように、ステップＳ１４においてベーキング炉等において加熱されているため、比較的変形しやすくなっている可能性がある。したがって、ラミネータ５による第１シート部３１と第２シート部３２との固定時に、一対の電極２２を利用して変形を抑制することが好ましい。
【0047】
上述のＣＮＴ複合部材１の製造方法では、ステップＳ１１において、粘着材３３は第１シート部３１の上面３１１の少なくとも周辺領域３１３に貼付されていればよい。この場合であっても、ステップＳ１６において、第２シート部３２が当該粘着材３３を介して第１シート部３１に固定される。また、ステップＳ１２では、ＣＮＴデバイス２は粘着材３３を介することなく第１シート部３１の上面３１１上に配置され、例えば、接着剤等により第１シート部３１に固定される。
【0048】
以上に説明したように、ＣＮＴ複合部材１の製造方法は、第１シート部３１の一方の主面（すなわち、上面３１１）の少なくとも周辺領域３１３に、第１シート部３１よりも熱膨張率が小さい粘着材３３を貼付する工程（ステップＳ１１）と、一対の電極２２、および、一対の電極２２間を接続するＣＮＴ成形体（すなわち、接続シート部２１）を、第１シート部３１の上面３１１上に配置する工程（ステップＳ１２）と、第１シート部３１よりも熱膨張率が小さい支持部材４１を第１シート部３１に固定する工程（ステップＳ１３）と、ステップＳ１１ないしステップＳ１３よりも後に、接続シート部２１を加熱することにより、接続シート部２１に含浸している溶剤を気化させて除去する工程（ステップＳ１４）と、ステップＳ１４よりも後に、第１シート部３１と第２シート部３２とを、接続シート部２１および粘着材３３を間に挟んで積層し、粘着材３３により第２シート部３２を第１シート部３１に固定して接続シート部２１を封止する工程（ステップＳ１６）と、を備える。
【0049】
当該製造方法では、支持部材４１によって第１シート部３１の熱膨張を抑制することにより、粘着材３３の不可逆的な伸びに起因する粘着材３３における皺の発生を抑制することができる。その結果、ＣＮＴ複合部材１の外観性を向上することができるとともに、接続シート部２１の封止性を向上することができる。
【0050】
上述のように、ＣＮＴ複合部材１の製造方法は、ステップＳ１４よりも後に、支持部材４１を第１シート部３１から除去する工程（ステップＳ１５）をさらに備えることが好ましい。これにより、ＣＮＴ複合部材１の構造を簡素化することができる。また、ＣＮＴ複合部材１を小型化および軽量化することもできる。
【0051】
上述のように、ステップＳ１３において、支持部材４１は、第１シート部３１の他方の主面（すなわち、下面３１２）上に固定されることが好ましい。これにより、接続シート部２１および電極２２と支持部材４１との干渉を考慮することなく支持部材４１を配置することができる。したがって、第１シート部３１上における支持部材４１の配置の自由度を向上することができる。
【0052】
上述のように、ステップＳ１３において、支持部材４１は、周辺領域３１３上の粘着材３３と重なる位置に固定されることが好ましい。これにより、ＣＮＴデバイス２による制限が無いため第１シート部３１が熱膨張しやすい（すなわち、粘着材３３が伸ばされやすい）周辺領域３１３において、粘着材３３の伸びを抑制することができる。
【0053】
上述のように、ステップＳ１３において、支持部材４１は、一対の電極２２の一方から他方に向かう方向に沿って、周辺領域３１３に固定されることが好ましい。これにより、周辺領域３１３のうち電極２２から離れているため第１シート部３１が熱膨張しやすい領域（すなわち、粘着材３３が伸ばされやすい領域）において、粘着材３３の伸びを抑制することができる。
【0054】
上述のように、ステップＳ１１において、粘着材３３は、第１シート部３１の上面３１１の全面に亘って貼付されることが好ましい。これにより、第１シート部３１と第２シート部３２との固定、および、ＣＮＴデバイス２の第１シート部３１への固定の双方を、粘着材３３により実現することができる。その結果、ＣＮＴ複合部材１の構造を簡素化することができるとともに、ＣＮＴ複合部材１の製造を容易とすることができる。
【0055】
上述のように、接続シート部２１は、一対の電極２２間に供給される電力により発熱して対象物を加熱する電熱部であることが好ましい。上記ＣＮＴ複合部材１の製造方法では、ＣＮＴ複合部材１の外観性および接続シート部２１の封止性を向上しつつ、接続シート部２１に含浸している溶剤を気化させて除去することができるため、当該製造方法は、接続シート部２１の発熱により溶剤が気化しやすい上記構造に特に適している。
【0056】
上述のように、粘着材３３は、シート状の基材の両面に粘着層が設けられた両面粘着テープであることが好ましい。上記ＣＮＴ複合部材１の製造方法では、粘着材３３における皺の発生を抑制することができるため、当該製造方法は、比較的小さい力で伸ばされて皺を生じやすい両面粘着テープを粘着材３３として用いる場合に特に適している。
【0057】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るＣＮＴ複合部材１ａについて説明する。図１１は、ＣＮＴ複合部材１ａを示す断面図であり、上述の図２に対応する。ＣＮＴ複合部材１ａでは、上述の粘着材３３に加えて、他の粘着材３４が第１シート部３１と第２シート部３２との間に設けられる。ＣＮＴ複合部材１ａの他の構造は、上述のＣＮＴ複合部材１と略同様である。以下の説明では、ＣＮＴ複合部材１ａの各構成に、ＣＮＴ複合部材１の対応する構成と同符号を付す。
【0058】
粘着材３４は、例えば、粘着材３３と同様に、シート状の基材の両面に粘着層が設けられた両面粘着テープである。粘着材３４は、例えば、粘着材３３と同じ種類の（すなわち、同じ特性を有する）両面粘着テープである。なお、粘着材３４は、粘着材３３とは異なる特性を有する両面粘着テープであってもよい。
【0059】
粘着材３４は、第２シート部３２の下面（すなわち、図１１中の下側の主面）に貼付されている。粘着材３４は、厚さ方向においてＣＮＴデバイス２と対向し、ＣＮＴデバイス２のうち少なくとも接続シート部２１に接合される。なお、図１１に示す例では、粘着材３４は、第２シート部３２の下面において略全面に亘って設けられており、ＣＮＴデバイス２の略全体および第１シート部３１上の粘着材３３と接合されている。
【0060】
次に、図４および図１２を参照しつつ、ＣＮＴ複合部材１ａの製造方法について説明する。図１２は、ＣＮＴ複合部材１ａの製造の流れの一部を示す図である。ＣＮＴ複合部材１ａが製造される際には、まず、ＣＮＴ複合部材１の製造と同様に、上述のステップＳ１１～Ｓ１５（図４参照）が行われる。その後、図１２に示すステップＳ２１が行われ、ステップＳ２２～Ｓ２４が行われる。ステップＳ２２～Ｓ２４は、上述のステップＳ１６の詳細な流れを示す。
【0061】
具体的には、まず、第１シート部３１の上面３１１（図８参照）に粘着材３３が貼付され（ステップＳ１１）、接続シート部２１および一対の電極２２（すなわち、ＣＮＴデバイス２）が、第１シート部３１の上面３１１上に配置される（ステップＳ１２）。続いて、支持部材４１（図８参照）が第１シート部３１の下面３１２上に固定され（ステップＳ１３）、ＣＮＴデバイス２が第１シート部３１および支持部材４１と共に加熱される。これにより、ＣＮＴデバイス２の接続シート部２１に含浸している溶剤が気化し、接続シート部２１から除去される（ステップＳ１４）。ステップＳ１４における加熱は、例えば、ベーキング炉において１００℃～２００℃にて０．５時間～５時間行われる。その後、支持部材４１が第１シート部３１から剥離されて除去される（ステップＳ１５）。
【0062】
ステップＳ１１～Ｓ１５が終了すると、第２シート部３２の一方の主面に粘着材３４が貼付される（ステップＳ２１）。本実施の形態では、粘着材３４は、第２シート部３２の当該主面の略全面に亘って貼付される。続いて、第１シート部３１に貼付された粘着材３３、および、粘着材３３上に固定されたＣＮＴデバイス２を覆うように、第１シート部３１上に第２シート部３２が積層される（ステップＳ２２）。このとき、第２シート部３２に貼付されている粘着材３４は、ＣＮＴデバイス２および粘着材３３と厚さ方向に対向し、ＣＮＴデバイス２および粘着材３３と接触する。
【0063】
なお、上述のステップＳ２１は、ステップＳ２２よりも前であれば、どのタイミングで行われてもよい。例えば、ステップＳ２１は、ステップＳ１１～Ｓ１５のいずれかと並行して行われてもよく、ステップＳ１１～Ｓ１５のいずれかのステップ間に行われてもよく、ステップＳ１１よりも前に行われてもよい。
【0064】
ステップＳ２２にて積層された第１シート部３１および第２シート部３２は、互いに対して押圧されて固定される（ステップＳ２３）。ステップＳ２３における押圧は、例えば、上述のラミネータ５（図９および図１０参照）により行われる。ラミネータ５では、間にＣＮＴデバイス２を挟んだ第１シート部３１および第２シート部３２が、上記と同様に、２つのロール５１，５２の間を押圧されつつ通過することにより、互いに対して固定される。
【0065】
上述のように、ラミネータ５では、ロール５１，５２の少なくとも一方が加熱されることにより、第１シート部３１および第２シート部３２が加熱されてもよい。この場合、ラミネータ５を通過中の第１シート部３１および第２シート部３２の温度は、例えば、５０℃～６０℃である。また、第１シート部３１および第２シート部３２がラミネータ５を通過するのに要する時間は、例えば約１秒である。
【0066】
上述のように、間にＣＮＴデバイス２を挟んだ第１シート部３１および第２シート部３２が２つのロール５１，５２の間を通過する際には、第１シート部３１および第２シート部３２の移動方向は、一対の電極２２の延びる方向（すなわち、一対の電極２２の長手方向）に略平行とされることが好ましい。これにより、第１シート部３１および第２シート部３２が、ロール５１，５２から加えられる力や熱等により、上記移動方向に沿ってうねって皺が発生することを抑制することができる。
【0067】
ステップＳ２３では、第２シート部３２が第１シート部３１に対して押圧されることにより、第２シート部３２に貼付されている粘着材３４が、第１シート部３１上の粘着材３４、接続シート部２１および一対の電極２２に接合される。接続シート部２１は、多数のカーボンナノチューブにより構成されているため、表面に微小な凹凸が存在する。このため、ステップＳ２３の終了後においても、接続シート部２１に接合された粘着材３４と接続シート部２１の表面との間に、微少な空間が残存する場合がある。当該微少な空間が存在する位置では、粘着材３４と接続シート部２１との接合強度が低下するため、ＣＮＴ複合部材１ａをＣＮＴヒータとして使用する際に、高温環境下において接続シート部２１と粘着材３４とが剥離しやすくなる可能性がある。
【0068】
そこで、ステップＳ２３が終了すると、粘着材３４を所定の後処理温度まで加熱することにより、粘着材３４を軟化させて接続シート部２１の表面になじませるエージング処理が行われる（ステップＳ２４）。これにより、ステップＳ２３の終了時点において、接続シート部２１と粘着材３４との間に微少な空間が残存している場合であっても、当該空間が削減されて接続シート部２１と粘着材３４との密着性が向上する。また、第１シート部３１および第２シート部３２がラミネータ５を通過することにより変形している（例えば、湾曲している）場合、当該変形が解消または低減される。ステップＳ２４が終了して第１シート部３１および第２シート部３２等が常温近傍まで降温すると、ＣＮＴ複合部材１ａの製造が終了する。当該降温は、自然冷却により行われてもよく、降温速度が制御された制御冷却により行われてもよい。
【0069】
ステップＳ２４は、例えば、間にＣＮＴデバイス２、粘着材３３および粘着材３４を挟んで互いに固定された第１シート部３１および第２シート部３２が、ベーキング炉に収容されて上述の後処理温度にて所定時間加熱されることにより行われる。当該後処理温度は、粘着材３４の耐熱温度以下であり、かつ、粘着材３４の粘着層の軟化温度以上である。後処理温度は、例えば６０℃～１００℃であり、本実施の形態では８０℃である。ステップＳ２４における加熱時間は、例えば０．５時間～８時間であり、本実施の形態では４時間である。ステップＳ２４における加熱時のアレニウスパラメータＥは、好ましくは１．０５以上である。アレニウスパラメータＥは、以下の式１により求められる。
【0070】
Ｅ＝ｋＢ×Ｔ×ｌｎ（ｖｔ） ・・・ （式１）
【0071】
式１中のｋＢは、ボルツマン定数（ｅＶ／Ｋ）であり、Ｔは加熱温度（Ｋ）であり、ｖは頻度因子（１／ｓ）であり、ｔは加熱時間（ｓ）である。
【0072】
以下の表１は、アレニウスパラメータＥと、第１シート部３１および第２シート部３２の接合状態との関係を示す実験結果である。実験例１～６では、加熱温度Ｔおよび加熱時間ｔを変更することによりアレニウスパラメータＥを変更した。また、アレニウスパラメータＥは、ｋＢを０．００００８６１（ｅＶ／Ｋ）とし、ｖを１×１０１１（１／ｓ）として求めた。
【0073】
【表1】
【0074】
表１中の評価は、粘着材３４の接続シート部２１に対する接合状態の良否を示す。当該評価は、ステップＳ１１～Ｓ１５，Ｓ２１～Ｓ２４により製造されたＣＮＴ複合部材１ａに電力を供給し、ＣＮＴヒータとして使用した場合における粘着材３４と接続シート部２１との接合状態を目視することにより行った。評価の欄の「△」は、粘着材３４と接続シート部２１との間に剥離が生じ、接続シート部２１の面積に対する剥離面積の割合が１０％以上であることを示す。評価の欄の「○」は、粘着材３４と接続シート部２１との間に剥離が生じ、接続シート部２１の面積に対する剥離面積の割合が５％未満であることを示す。評価の欄の「◎」は、粘着材３４と接続シート部２１との間に剥離が実質的に生じていないことを示す。
【0075】
実験例１～３では、加熱温度を２７℃（すなわち、３００Ｋ）とし、加熱時間をそれぞれ３６００秒、５７６００秒、２３０４００秒とした。実験例１～３のアレニウスパラメータＥはそれぞれ、０．８７、０．９４、０．９７であり、評価は全て「△」であった。実験例４～６では、加熱温度を８０℃（すなわち、３５３Ｋ）とし、加熱時間をそれぞれ３６００秒、７２００秒、１４４００秒とした。実験例４～６のアレニウスパラメータＥはそれぞれ、１．０２、１．０４、１．０６であった。実験例４，５の評価は「○」であり、実験例６の評価は「◎」であった。実験例１～６から、アレニウスパラメータＥは１．０５以上であることが好ましい。
【0076】
以上に説明したように、ＣＮＴ複合部材１ａの製造方法は、第１シート部３１の一方の主面（すなわち、上面３１１）の少なくとも周辺領域３１３に、第１シート部３１よりも熱膨張率が小さい粘着材３３を貼付する工程（ステップＳ１１）と、一対の電極２２、および、一対の電極２２間を接続するＣＮＴ成形体（すなわち、接続シート部２１）を、第１シート部３１の上面３１１上に配置する工程（ステップＳ１２）と、第１シート部３１よりも熱膨張率が小さい支持部材４１を第１シート部３１に固定する工程（ステップＳ１３）と、ステップＳ１１ないしステップＳ１３よりも後に、接続シート部２１を加熱することにより、接続シート部２１に含浸している溶剤を気化させて除去する工程（ステップＳ１４）と、ステップＳ１４よりも後に、第１シート部３１と第２シート部３２とを、接続シート部２１および粘着材３３を間に挟んで積層し、粘着材３３により第２シート部３２を第１シート部３１に固定して接続シート部２１を封止する工程（ステップＳ１６）と、を備える。
【0077】
また、ＣＮＴ複合部材１ａの製造方法は、ステップＳ１６よりも前に、第２シート部３２の主面に他の粘着材３４を貼付する工程（ステップＳ２１）をさらに備える。さらに、ステップＳ１６は、第１シート部３１、粘着材３３およびＣＮＴデバイス２上に、ＣＮＴデバイス２と粘着材３４とを対向させつつ第２シート部３２を積層する工程（ステップＳ２２）と、ステップＳ２２にて積層された第１シート部３１および第２シート部３２を、互いに対して押圧して固定する工程（ステップＳ２３）と、ステップＳ２３よりも後に、粘着材３４を所定の後処理温度まで加熱する工程（ステップＳ２４）と、を備える。
【0078】
当該製造方法では、上記と同様に、支持部材４１によって第１シート部３１の熱膨張を抑制することにより、粘着材３３の不可逆的な伸びに起因する粘着材３３における皺の発生を抑制することができる。また、ステップＳ２４におけるエージング処理により、接続シート部２１と粘着材３４との密着性を向上することができる。その結果、高温環境下において粘着材３４が接続シート部２１から部分的に剥離して膨らみ、接続シート部２１の封止性が低下したりＣＮＴ複合部材１の外観性が低下することを抑制することができる。
【0079】
上述のように、ステップＳ２４における加熱時のアレニウスパラメータＥは１．０５以上であることが好ましい。これにより、接続シート部２１と粘着材３４との密着性をさらに向上することができる。
【0080】
上述のＣＮＴ複合部材１，１ａの製造方法では、様々な変更が可能である。
【0081】
例えば、ＣＮＴ複合部材１，１ａの平面視における形状は、略矩形状には限定されず、様々に変更されてよい。また、接続シート部２１および各電極２２の形状および配置も様々に変更されてよい。第１シート部３１および第２シート部３２の形状も様々に変更されてよい。例えば、第２シート部３２は、必ずしも第１シート部３１と同形状である必要はなく、第１シート部３１よりも小さくてもよい。支持部材４１の形状も様々に変更されてよい。
【0082】
ＣＮＴ複合部材１，１ａでは、第１シート部３１および／または第２シート部３２の外面に接着剤等により固定される膜状または薄板状の放熱部が設けられてもよい。当該放熱部は、例えば、金属箔または金属製のシート状部材である。放熱部は、第１シート部３１および／または第２シート部３２の外面に蒸着等により形成された金属製の薄膜であってもよい。放熱部は、接続シート部２１からの熱を均等化して放熱する放熱面である。
【0083】
粘着材３３は、必ずしも両面粘着テープである必要はなく、様々に変更されてよい。例えば、粘着材３３は、粘着剤により形成された薄膜状の層であってもよい。粘着材３４についても同様である。
【0084】
支持部材４１は、必ずしも第１シート部３１の長手方向の略全長に亘って固定される必要はなく、第１シート部３１の長手方向の一部のみに固定されてもよい。また、支持部材４１は、必ずしも長手方向に沿って周辺領域３１３に固定される必要はなく、長手方向以外の方向に沿って周辺領域３１３に固定されてもよい。支持部材４１は、必ずしも平面視において粘着材３３と重なる位置に固定される必要はない。支持部材４１は、必ずしも周辺領域３１３に固定される必要はなく、第１シート部３１の熱膨張による粘着材３３の伸びを抑制可能な位置であれば、第１シート部３１上の様々な位置に固定されてよい。
【0085】
上述のように、支持部材４１は、第１シート部３１の上面３１１に固定されてもよい。また、支持部材４１は、第１シート部３１の上面３１１および下面３１２の双方に固定されてもよい。この場合、第１シート部３１の上面３１１に固定された支持部材４１と、下面３１２に固定された支持部材４１とは、平面視において重なっていてもよく、重なっていなくてもよい。
【0086】
ＣＮＴ複合部材１，１ａの上記製造方法では、支持部材４１を除去する工程（ステップＳ１５）は、第２シート部３２を第１シート部３１に固定する工程（ステップＳ１６）よりも後、または、ステップＳ１６と並行して行われてもよい。また、当該製造方法では、ステップＳ１５は必ずしも必要なく、支持部材４１が第１シート部３１に固定された状態のＣＮＴ複合部材１が製品として利用されてもよい。例えば、支持部材４１が第１シート部３１の下面３１２の略全面に亘って設けられ、上述の放熱部として利用されてもよい。
【0087】
ＣＮＴ複合部材１ａの上記製造方法では、ステップＳ２４において第１シート部３１および第２シート部３２の湾曲等の変形が低減されるが、必ずしもこれには限定されない。例えば、ステップＳ２４において第１シート部３１および第２シート部３２を所定形状の治具に沿わせることにより、ＣＮＴ複合部材１ａを意図的に変形させることも可能である。また、ステップＳ２４では、粘着材３４のうち接続シート部２１と対向する部位のみが、第２シート部３２または第１シート部３１を介して加熱されてもよい。この場合、例えば、粘着材３４のうち接続シート部２１と対向する部位のみに光が照射され、あるいは、加熱された空気等が付与される。
【0088】
ＣＮＴデバイス２では、例えば、接続シート部２１を構成する多数のカーボンナノチューブが、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）水溶液等を主成分とする接着剤により互いに接着されてもよい。また、当該接着剤により、接続シート部２１が第１シート部３１に接着されてもよい。当該接着剤は、エポキシ系、アクリル系またはシリコーンゴム系の接着剤であってもよい。当該接着剤は、導電性添加材を含んでいてもよい。当該導電性添加材は、例えば、銀（Ａｇ）等の金属微粒子、グラフェン（具体的には、シート状グラフェンを粉砕した粉体）、ミルドファイバー、または、カーボンナノチューブの粉体である。当該導電性添加材の直径は、好ましくは１０μｍ以下であり、より好ましくは１μｍ未満である。なお、上記接着剤は、導電性添加材を含んでいなくてもよい。
【0089】
ＣＮＴ複合部材１，１ａは必ずしもＣＮＴヒータである必要はなく、接続シート部２１も必ずしも発熱部である必要はない。例えば、ＣＮＴ複合部材１，１ａは歪みセンサ等のセンサであってもよく、接続シート部２１は当該センサの導電部であってもよい。
【0090】
ＣＮＴ複合部材１，１ａでは、必ずしも接続シート部２１のようなシート状のＣＮＴ成形体が設けられる必要はなく、例えば、糸状（すなわち、撚糸状または無撚糸状）のＣＮＴ成形体が一対の電極２２の間に設けられてもよい。
【0091】
上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。
【符号の説明】
【0092】
１，１ａ ＣＮＴ複合部材
２１ 接続シート部
２２ 電極
３１ 第１シート部
３２ 第２シート部
３３ 粘着材
４１ 支持部材
３１１ （第１シート部の）上面
３１２ （第１シート部の）下面
３１３ （第１シート部の）周辺領域
Ｓ１１～Ｓ１６ ステップ
２１ 接続シート部
２２ 電極
３１ 第１シート部
３２ 第２シート部
３３ 粘着材
４１ 支持部材
３１１ （第１シート部の）上面
３１２ （第１シート部の）下面
３１３ （第１シート部の）周辺領域
Ｓ１１～Ｓ１６ ステップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】