特許 7578875 検査治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-29

(45)【発行日】2024-11-07

(54)【発明の名称】検査治具

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20241030BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 G

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2021015320

(22)【出願日】2021-02-02

(65)【公開番号】P2022118643

(43)【公開日】2022-08-15

【審査請求日】2023-11-09

(73)【特許権者】

【識別番号】518232168

【氏名又は名称】ダイトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003395

【氏名又は名称】弁理士法人蔦田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】豊福 亮玄

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１２２１８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１８６３５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２０７９９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２３０５８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２０２９９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－０４７８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－２７７４８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１１／００４２２６５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－０３７５１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国登録特許第１０－１０３３９９２（ＫＲ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

各々デバイスが載置される複数の載置部が設けられ、当該載置部の所定位置にデバイスを位置決めする位置決め壁が形成された下側ベースと、
長手方向における一端側に前記下側ベースに固定された固定部と、他端部にデバイスを押圧する押圧部と、前記固定部と前記押圧部との間に下向きの押圧により長手方向に弾性伸長可能な板バネ部とが設けられた複数の押圧部材と、
前記下側ベースの上方に所定の間隔を空けて対向配置され、外力によって当該下側ベース側に移動することにより、複数の前記押圧部材の前記板バネ部をそれぞれ下方へ押圧する上側ベースと、を備え、
前記板バネ部が前記上側ベースに押圧されて伸長することで、前記押圧部がデバイス側へ移動し、前記位置決め壁との間でデバイスを挟持する検査治具。

【請求項2】

前記下側ベースは、デバイスの下面を支持するベース部と、前記ベース部の上面に積層される枠状プレートとを備え、
前記枠状プレートは、前記ベース部の上面に複数の前記載置部を区画する載置孔が形成され、前記載置孔の側壁が前記位置決め壁を構成する請求項１に記載の検査治具。

【請求項3】

前記枠状プレートは、前記押圧部を収容して前記載置部から前記押圧部材の長手方向に沿って延びる通路を前記ベース部の上面に区画する長孔が形成されている請求項２に記載の検査治具。

【請求項4】

前記枠状プレートの上面に積層され、前記通路の上面の一部を閉塞する上側プレートを備える請求項３に記載の検査治具。

【請求項5】

前記板バネ部は、長手方向における中央部が前記下側ベースと離間するように湾曲したアーチ状をなしている請求項１～４のいずれか１項に記載の検査治具。

【請求項6】

前記位置決め壁は、互いに直交する第１壁面と第２壁面とを含む請求項１～５のいずれか１項に記載の検査治具。

【請求項7】

前記押圧部材の長手方向が、前記第１壁面及び前記第２壁面の法線方向に対して傾斜している請求項６に記載の検査治具。

【請求項8】

前記押圧部は、デバイスを第１壁面側へ押圧する第１押圧片と、デバイスを第２壁面側へ押圧する第２押圧片とを含む請求項６又は７に記載の検査治具。

【請求項9】

前記押圧部の先端部は、二股状に分岐し、一方の先端部に前記第１押圧片が設けられ、他方の先端部に前記第２押圧片が設けられている請求項８に記載の検査治具。

【請求項10】

前記押圧部材は、前記押圧部と前記板バネ部との間に、長手方向の押圧力を受けて弾性的に変形する波形状部を有する請求項１～９のいずれか１項に記載の検査治具。

【請求項11】

複数の前記押圧部材は、第１の方向に間隔をあけて互いに平行に配置された複数の前記押圧部材からなる第１の押圧部材群と、第１の方向に間隔をあけて互いに平行に配置された複数の前記押圧部材からなる第２の押圧部材群と、から構成され、
前記第２の押圧部材群は、前記第１の押圧部材群から第１の方向に対して垂直な第２の方向へずれた位置であって、前記第２の押圧部材群を構成する複数の前記押圧部材が挟持するデバイスの位置が、前記第１の押圧部材群を構成する複数の前記押圧部材が挟持するデバイスの位置と第２の方向に重なるように、前記下側ベースに設けられている請求項１～１０のいずれか１項に記載の検査治具。

【請求項12】

前記押圧部と前記位置決め壁との間で挟持されたデバイスと接触する複数のプローブ針が設けられたプローブユニットと、前記上側ベースの上側に配置され前記プローブユニットが取り付けられたプローブベースと、前記プローブベースの上下方向への移動を案内するガイド部を備える請求項１～１１のいずれか１項に記載の検査治具。

【請求項13】

前記プローブユニットは、分割して前記プローブベースに固定されている請求項１２に記載の検査治具。

【請求項14】

前記ガイド部が前記下側ベースに固定されている請求項１２又は１３に記載の検査治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数のデバイスを一括して所定位置に位置決め固定する検査治具に関する。

【背景技術】

【0002】

複数のデバイスを同時に検査するために、複数のデバイスを一括して所定位置に位置決め固定する検査治具が提案されている（例えば、下記特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１の検査治具では、上側プレートと枠状プレートと下側プレートとが順次積層配置され、上側プレートおよび下側プレートの少なくとも一方にワークが挿入される孔が形成されている。可動プレートは、上側プレートおよび下側プレートに形成された孔に挿入されたワークを収容可能とする収容可能位置と、収容されたワークを押さえて固定する固定位置との間を移動可能なように枠状プレートの内側に設けられている。そして、可動プレートがバネ部材によって固定位置に付勢され孔に挿入されたワークを保持する。

【0004】

しかしながら、特許文献１の検査治具では、１枚の可動プレートがバネ部材から付勢力を受けて複数のデバイスを押圧するため、デバイスを収容する位置によって押圧力にバラツキが発生しやすく、デバイスが小さい場合や一度に多数のデバイスを固定する場合に全てのデバイスを所定位置に安定的に固定することが困難となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１９－１８６３５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、デバイスを押圧する押圧力にバラツキが発生しにくく、複数のデバイスを安定的に所定位置に固定することができる検査治具を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明にかかる検査治具は、各々デバイスが載置される複数の載置部が設けられ、当該載置部の所定位置にデバイスを位置決めする位置決め壁が形成された下側ベースと、長手方向における一端側に前記下側ベースに固定された固定部と、他端部にデバイスを押圧する押圧部と、前記固定部と前記押圧部との間に下向きの押圧により長手方向に弾性伸長可能な板バネ部とが設けられた複数の押圧部材と、前記下側ベースの上方に所定の間隔を空けて対向配置され、外力によって当該下側ベース側に移動することにより、複数の前記押圧部材の前記板バネ部をそれぞれ下方へ押圧する上側ベースと、を備え、前記板バネ部が前記上側ベースに押圧されて伸長することで、前記押圧部がデバイス側へ移動し、前記位置決め壁との間でデバイスを挟持するものである。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、複数のデバイスを一括して固定する場合であっても、デバイスを押圧する押圧力にバラツキが発生しにくく、複数のデバイスを安定的に所定位置に固定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態にかかる検査治具の一部を分解した斜視図。

【図2】クランプ部の一部を分解した斜視図

【図3】上側ベースを取り除いたクランプ部の要部拡大斜視図

【図4】クランプ部の要部拡大平面図

【図5】押圧部が収容可能位置に配置された検査治具の要部拡大断面図

【図6】押圧部が収容可能位置に配置されたクランプ部の要部拡大平面図

【図7】押圧部が固定位置に配置された検査治具の要部拡大断面図

【図8】押圧部が固定位置に配置されたクランプ部の要部拡大平面図

【図9】コンタクト部の斜視図

【図10】プローブ針がデバイスに接触した状態を示す検査治具の要部拡大断面図

【図11】本発明の変更例にかかるクランプ部の要部拡大平面図

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。

【0011】

なお、以下の説明において、上下方向とはデバイスＤを載置する面を鉛直上向きに配置したときの方向を示す。第１の方向、第２の方向、上下方向とは、それぞれ互い垂直な方向であって、各図において矢符Ｘ、Ｙ、Ｚで示す方向である。

【0012】

（１）検査治具１の全体構成
検査治具１は、図１に示すように、複数のデバイスＤを一括して所定位置に位置決め固定するクランプ部１０と、クランプ部１０の上方に配置されたコンタクト部７０とを備える。検査治具１は、不図示の駆動機構によってコンタクト部７０を下方へ移動させて、クランプ部１０に固定された複数のデバイスＤの上面に設けられた電極にプローブ針８２を接触させて電気接続する。

【0013】

（２）クランプ部１０
クランプ部１０は、図２に示すように、下側ベース１２と、下側ベース１２の上側に設けられた上側ベース１４と、下側ベース１２と上側ベース１４の間に挟まれた押圧部材１６とを備える。

【0014】

（３）下側ベース１２
下側ベース１２は、図３に示すように、デバイスベース１８と、デバイスベース１８の上面に積層された薄い平板状の枠状プレート２０と、枠状プレート２０の上面に積層された薄い平板状の上側プレート２２とを備える。枠状プレート２０及び上側プレート２２は複数のネジなどの固定具によってデバイスベース１８に固定され、デバイスベース１８が枠状プレート２０及び上側プレート２２を支持する。

【0015】

なお、デバイスベース１８、枠状プレート２０及び上側プレート２２は、ステンレス（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ４３０）などの金属など任意の材料で形成することができる。また、デバイスベース１８、枠状プレート２０及び上側プレート２２は、全て同一の材料で形成してもよく、また、異なる材料で形成してもよい。

【0016】

下側ベース１２の上側には、図２～図６に示すように、平面視略正方形状のデバイスＤを載置する載置部２４が複数設けられている。載置部２４に載置されたデバイスＤは、押圧部材１６によって載置部２４の所定位置に位置決めされた状態で固定される。

【0017】

好ましい態様として、複数の載置部２４は、第１の方向Ｘに沿って一定の間隔をあけて設けられた複数の載置部２４からなる第１の載置部群２４Ａと第２の載置部群２４Ｂとから構成されている。第２の載置部群２４Ｂは、第１の載置部群２４Ａから第２の方向Ｙへ所定距離ずれた位置であって、第２の載置部群２４Ｂを構成する複数の載置部２４の位置が、第１の載置部群２４Ａを構成する複数の載置部２４の位置と第２の方向Ｙに重なるように下側ベース１２に配置されている。

【0018】

枠状プレート２０は、複数の載置部２４に対応する位置に設けられた複数の載置孔２６と、各載置孔２６に接続された長孔２８と、収容孔２９が形成されている。

【0019】

載置孔２６は、デバイスＤを受け入れ可能なデバイスＤより大きい略矩形状の孔からなり、デバイスベース１８の上面に複数の載置部２４を区画する。載置孔２６の内側壁は、載置部２４に載置されたデバイスＤと接触してデバイスＤを位置決めする位置決め壁３０を構成する。

【0020】

長孔２８は、位置決め壁３０を構成する第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂの法線方向に対して傾斜する方向（以下、この方向を「長手方向」ということもある）Ｌに延びる細幅の孔からなる。長孔２８は、後述する押圧部材１６の押圧部４２を収容可能なように、押圧部４２より幅寸法（長手方向Ｌに垂直な方向の長さ）が大きく設けられている。
本実施形態では、長孔２８の延びる長手方向Ｌが第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂに対して等しい角度（つまり、４５度）となっている。長孔２８は、押圧部材１６の押圧部４２を収容し、押圧部４２が長孔２８の長手方向Ｌへ移動する通路をデバイスベース１８の上面に区画する。

【0021】

好ましい態様として、図３及び図６に示すように、位置決め壁３０は互いに直交する第１壁面３０ａと第２壁面３０ｂであってもよい。また、複数の載置孔２６に設けられた各第１壁面３０ａは互いに平行に設けられ、各第２壁面３０ｂも互いに平行に設けられてもよい。また、複数の載置孔２６に接続された長孔２８は互いに平行に設けられてもよい。

【0022】

長孔２８の長手方向Ｌの一方の端部に載置孔２６が連結されており、押圧部４２が長孔２８から載置孔２６へ進入可能になっている。

【0023】

収容孔２９は、長孔２８の長手方向Ｌの他方の端部から長手方向Ｌへ離れた位置に設けられた孔で、その内部に押圧部材１６が収納されている。

【0024】

枠状プレート２０の上面に積層された上側プレート２２は、枠状プレート２０に設けられた載置孔２６、長孔２８の一部分、及び収容孔２９のそれぞれと上下に連通する載置連通孔３２、導入孔３４及び収容連通孔３６が設けられている。

【0025】

導入孔３４は載置連通孔３２から長手方向Ｌに離れた位置に設けられており、導入孔３４と載置連通孔３２との間において、上側プレート２２が枠状プレート２０に設けられた長孔２８の上面の一部を閉塞している。

【0026】

（４）押圧部材１６
押圧部材１６は、細幅帯状の部材であり、複数の載置部２４に対応してそれぞれに１つずつ設けられている。複数の押圧部材１６は、その長手方向Ｌが下側ベース１２に設けられた長孔２８の長手方向Ｌと平行に配置されている。

【0027】

具体的には、図３に示すように、押圧部材１６は、長手方向Ｌの一端側に設けられた固定部４０と、長手方向Ｌの他端側に設けられた押圧部４２と、固定部４０と押圧部４２との間に設けられた板バネ部４４とを備える。押圧部材１６を構成する固定部４０、押圧部４２及び板バネ部４４は、ステンレス（ＳＵＳ３０４）などの適度なバネ性を有する金属から一体に形成されている。

【0028】

固定部４０は、下側ベース１２に設けられた収容孔２９及び収容連通孔３６に設けられている。固定部４０は、収容連通孔３６を上方から覆うようにデバイスベース１８に固定された押さえ板４６とデバイスベース１８の間で挟持され、デバイスベース１８に対して固定される。

【0029】

板バネ部４４は、長手方向Ｌにおける中央部が下側ベース１２から離間するように湾曲したアーチ状をなしている。板バネ部４４は、弾性力に抗して下方へ押圧されると長手方向Ｌに弾性伸長するようになっている。押圧部材１６は、固定部４０において長手方向Ｌの一端側がデバイスベース１８に固定されているため、板バネ部４４が弾性力に抗して下方へ押圧され長手方向Ｌに伸長すると、押圧部４２が枠状プレート２０の長孔２８によって区画された通路を通って長手方向Ｌへ移動して載置孔２６へ進入する。

【0030】

押圧部４２は、長手方向Ｌへ移動しながら載置孔２６へ進入すると、載置孔２６に収容されたデバイスＤに当接し、デバイスＤを第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂに押し付ける。これにより、デバイスＤが、第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂと押圧部４２との間で挟持され、第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂによって位置決めされた状態で固定される。

【0031】

好ましい態様として、複数の押圧部材１６は、第１の載置部群２４Ａに対応して設けられた複数の押圧部材１６からなる第１の押圧部材群１６Ａと、第２の載置部群２４Ｂに対応して設けられた複数の押圧部材１６からなる第２の押圧部材群１６Ｂとから構成されている。第２の押圧部材群１６Ｂを構成する複数の押圧部材１６によって挟持されたデバイスＤが、第１の押圧部材群１６Ａを構成する複数の押圧部材１６によって挟持されたデバイスＤと第２の方向Ｙに重なるように、複数の押圧部材１６が下側ベース１２に配置されている。

【0032】

好ましい態様として、図３、図６及び図８に示すように、押圧部４２は先端部が二股状に分岐し、外力を受けて互いに離隔するように弾性変形する一対の押圧片４２－１、４２－２が形成されてもよい。

【0033】

このような一対の押圧片４２－１、４２－２が載置孔２６へ進入すると、図８に示すように、一対の押圧片４２－１，４２－２の間に形成された隙間に載置部２４に載置されたデバイスＤの角部が嵌まる。そして、一方の押圧片４２－１が第１壁面３０ａに平行なデバイスＤの側面に接触してデバイスＤを第１壁面３０ａへ押圧し、他方の押圧片４２－２が第２壁面３０ｂに平行なデバイスＤの側面に接触してデバイスＤを第２壁面３０ｂへ押圧する。

【0034】

このような二股状に分岐した一対の押圧片４２－１、４２－２では、一対の押圧片４２－１、４２－２によるデバイスＤの押圧力が大きくなるにつれて、一対の押圧片４２－１，４２－２の先端が第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂの滑りながら、一対の押圧片４２－１，４２－２の隙間が広がるように弾性変形することで、デバイスＤに過剰な押圧力が作用することを防止する。

【0035】

（５）上側ベース１４
下側ベース１２の上側に配置された上側ベース１４は、ステンレス（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ４３０）などの金属で形成された平板状の部材である。図１、図２及び図５に示すように、上側ベース１４の下面には、下側ベース１２に設けられた全ての押圧部材１６の板バネ部４４と接触する加圧面５６と、押圧部材１６と接触しない位置において加圧面５６より下方へ突出するストッパ部５８とを備える。

【0036】

上側ベース１４は、加圧面５６に板バネ部４４を接触させた状態で、第１の方向Ｘに間隔をあけて設けられた連結ピン４８及び固定具５２や連結具４９を介して下側ベース１２に連結されている。

【0037】

連結ピン４８は、図２に示すように、軸部４８ａと、軸部４８ａの上側に設けられた雄ネジ部４８ｂと、雄ネジ部４８ｂの上側に設けられた先端軸部４８ｃとが、下側ベース１２より上方へ突出するように下側ベース１２に固定されている。連結ピン４８は、上側ベース１４に設けられた挿通孔５０に挿通され、雄ネジ部４８ｂに固定具５２が螺合する。

【0038】

連結具４９は、雄ネジ部４９ａと、雄ネジ部４９ａの上側に設けられた軸部４９ｂと、軸部４９ｂの上側に設けられた頭部４９ｃとを備える。連結具４９は、上側ベース１４に設けられた挿通孔５４に挿通され、雄ネジ部４９ａが下側ベース１２に設けられた雌ネジ部５５に螺合する。

【0039】

連結ピン４８及び連結具４９を介して下側ベース１２の上方に連結された上側ベース１４は、上側ベース１４に設けられた挿通孔５０及び挿通孔５４が連結ピン４８の軸部４８ａ及び連結具４９の軸部４９ｂにそれぞれガイドされながら上下動可能に設けられている。また、連結ピン４８の先端軸部４８ｃが上側ベース１４の上面より上方へ突出する。

【0040】

このような構成のクランプ部１０は、図５に示すような押圧機構９０によって上側ベース１４が押圧されていない状態では、加圧面５６に当接する複数の板バネ部４４によって、ストッパ部５８が下側ベース１２より上方に離れた位置に上側ベース１４が配置される。この状態では、図６に示すように、押圧部材１６の押圧部４２が、載置孔２６の第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂから充分に離れた位置（以下、この位置を「収容可能位置」ということもある）にあり、載置部２４にデバイスＤを載置したり、載置部２４に載置されたデバイスＤを取り出すことができる。

【0041】

そして、クランプ部１０は、図７に示すように押圧機構９０によって上側ベース１４が下方へ押圧されると、上側ベース１４の加圧面５６が複数の押圧部材１６の板バネ部４４を下方へ押圧し弾性変形させる。上側ベース１４は、このように板バネ部４４を弾性変形させながらストッパ部５８が下側ベース１２の上面に接触するまで下方へ移動する。このような板バネ部４４の弾性変形によって、押圧部４２は、図８に示すようにデバイスＤを第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂに押し付けて固定する位置（以下、この位置を「固定位置」ということもある）まで長手方向Ｌへ移動する。

【0042】

そして、クランプ部１０は、押圧機構９０による上側ベース１４の押圧を解除すると、押圧部材１６の板バネ部４４の弾性力によって上側ベース１４が上方へ移動し、押圧部材１６の押圧部４２が図６に示すような収容可能位置へ移動する。

【0043】

なお、本実施形態では、複数の押圧部材１６の板バネ部４４の弾性力によって上側ベース１４を支持する場合について説明したが、板バネ部４４の弾性力を補うコイルバネなどの弾性体を下側ベース１２と上側ベース１４との間に設け、板バネ部４４及び当該弾性体によって上側ベース１４を支持してもよい。

【0044】

（６）コンタクト部７０
コンタクト部７０は、図１及び図９に示すように、回路基板７４と、回路基板７４の下面に積層された絶縁板７５と、絶縁板７５の下面に積層されたプローブベース７６と、プローブベース７６の下面に設けられたプローブユニット７８と、押圧機構９０とを備える。

【0045】

回路基板７４は不図示の検査装置に接続され、検査装置から供給される検査信号をプローブユニット７８へ伝送する。

【0046】

プローブベース７６は、回路基板７４やプローブユニット７８を支持する平板状の部材である。プローブベース７６は、クランプ部１０の上側ベース１４の上側に配置され、プローブベース７６の下面にプローブユニット７８が設けられている。プローブユニット７８のプローブ針８２は、押圧部材１６の押圧部４２によって載置部２４の所定位置に位置決め固定されたデバイスＤの電極と上下に対向する。

【0047】

絶縁板７５及びプローブベース７６は、下側ベース１２のデバイスベース１８に固定された連結ピン４８の先端軸部４８ｃが挿入されるガイド孔７７ａ、７７ｂが設けられている。ガイド孔７７ａ、７７ｂが連結ピン４８の先端軸部４８ｃを摺動することでプローブベース７６の上下方向への移動が案内される。つまり、連結ピン４８の先端軸部４８ｃは、不図示の駆動装置によってコンタクト部７０が上下方向に移動する際に生じる下側ベース１２に対する水平方向（第１の方向Ｘ及び第２の方向）への位置ずれを防ぐガイド部として機能する。

【0048】

なお、本実施形態のように、多数のプローブ針８２を並べて設けた第１の方向Ｘに複数の連結ピン４８及び複数のガイド孔７７ａ、７７ｂを並べて設ける場合、１のガイド孔７７ａを先端軸部４８ｃの摺動に必要なクリアランスのみが形成されるよう形成し、残りのガイド孔７７ｂを第２の方向Ｙに先端軸部４８ｃの摺動に必要なクリアランスのみが形成され、第１の方向Ｘに先端軸部４８ｃの摺動に必要なクリアランスより大きい隙間ができるように形成してもよい。つまり、１のガイド孔７７ａと先端軸部４８ｃとの間に形成される隙間や、第２の方向Ｙに他のガイド孔７７ｂと先端軸部４８ｃとの間に形成される隙間に比べて、第１の方向Ｘに他のガイド孔７７ｂと先端軸部４８ｃとの間に形成される隙間が大きく設けられてもよい。このようにガイド孔７７ａ、７７ｂを形成することで、コンタクト部７０が高温雰囲気に曝され熱膨張することがあっても、下側ベース１２に対するコンタクト部７０の水平方向の位置ずれを防ぎつつ、コンタクト部７０をスムーズに上下動させることができる（図９参照）。

【0049】

プローブベース７６は、ステンレス（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ４３０）などの金属など任意の材料で形成することができるが、デバイスベース１８と同一の材料で形成することが好ましい。また、プローブベース７６よりプローブユニット７８は熱膨張係数の低い材料によって形成されていることが好ましい。

【0050】

プローブユニット７８は、プローブベース７６の下面に重ねて設けられた小基板８０と、押圧部材１６の押圧部４２と第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂとの間で挟持されたデバイスＤの電極に接触するプローブ針８２と、プローブ針８２を保持する保持部材８４とを備える。

【0051】

小基板８０は、プローブベース７６及び絶縁板７５を貫通するスルーホール８６を介して回路基板７４に接続されている。小基板８０は、下方へ突出するプローブ針８２が設けられており、回路基板７４とプローブ針８２とを電気的に接続する。

【0052】

プローブ針８２は、銅や銅合金等の導電性の金属からなる棒状の部材であり、下側ベース１２に設けられた複数の載置部２４に対応して複数（載置部２４と同数）設けられている。本実施形態では、第１の載置部群２４Ａに対応して第１の方向Ｘに沿って一定の間隔をあけて複数のプローブ針８２が設けられ、これらのプローブ針８２と第２の方向Ｙへ所定距離ずれた位置に第２の載置部群２４Ｂに対応して第１の方向Ｘに沿って一定の間隔をあけて複数のプローブ針８２が設けられている。

【0053】

保持部材８４は、セラミックスや合成樹脂など絶縁性の材料からなり、小基板８０から下方に突出するプローブ針８２を保持する。

【0054】

好ましい態様として、プローブユニット７８は、多数のプローブ針８２を並べて設けた第１の方向Ｘに分割してプローブベース７６に固定されてもよい。つまり、プローブユニット７８を構成する小基板８０及び保持部材８４が第１の方向Ｘに分割されている。なお、本実施形態では、図９に示すように、第１の方向Ｘに分割された小基板８０及び保持部材８４にそれぞれ複数（５つ）のプローブ針８２が設けられているが、プローブ針８２毎に小基板８０及び保持部材８４が分割されていてもよい。

【0055】

押圧機構９０は、図５及び図７に示すように、回路基板７４、絶縁板７５、及びプローブベース７６を貫通する孔部９１と、孔部９１に挿入された押圧棒９４と、押圧棒９４を上方へ付勢する付勢バネ９６とを備える。孔部９１はクランプ部１０の上側ベース１４と上下に対向する位置に設けられており、押圧機構９０に外力が作用していない状態では、図５に示すように、押圧棒９４が付勢バネ９６によって上側ベース１４から上方へ離れた位置に保持されている。

【0056】

このような押圧機構９０は、押圧棒９４が下方に押圧されると付勢バネ９６の付勢力に抗して下方へ移動して上側ベース１４を下方へ押圧する。これにより、ストッパ部５８が下側ベース１２の上面に接触するまで上側ベース１４が下方へ移動する。

【0057】

（７）検査治具１の動作
図５に示すように、コンタクト部７０がクランプ部１０の上方に離れた位置にあり、上側ベース１４のストッパ部５８が下側ベース１２より上方に離れた位置に配置され、押圧部材１６の押圧部４２が収容可能位置に配置された状態で、載置部２４にデバイスＤを載置する。

【0058】

複数の載置部２４にデバイスＤを載置した後、押圧機構９０の押圧棒９４を下方へ押圧して、図７に示すように、ストッパ部５８が下側ベース１２の上面に接触するまで上側ベース１４が下方へ移動させる。このように上側ベース１４が下方へ移動することで、押圧部材１６の押圧部４２が収容可能位置から固定位置へ移動して載置部２４に載置されたデバイスＤを第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂに押し付けて固定する。

【0059】

デバイスＤを固定した後、押圧機構９０が上側ベース１４を下方へ押圧した状態を維持しつつ、図１０に示すようにコンタクト部７０が下方へ移動することで、デバイスＤの電極にプローブ針８２を接触させて電気接続する。

【0060】

（８）効果
本実施形態の検査治具１では、複数の載置部２４に対応して複数の押圧部材１６が設けられているため、下側ベース１２に設けられた載置部２４の位置によることなく一定の押圧力でデバイスＤを保持することができ、複数のデバイスＤを一度に安定的に所定位置に固定することができる。

【0061】

本実施形態の検査治具１では、押圧部材１６の板バネ部４４が下側ベースと離間するように湾曲したアーチ状をなしており、平坦な加圧面５６によって複数の押圧部材１６の板バネ部４４を一度に押圧することで、全ての板バネ部４４を均一に下方へ押圧することができ、各載置部２４において一定の押圧力でデバイスＤを保持することができる。そのため、上側ベース１４を下方へ移動させるといった簡便な機構によって、複数のデバイスＤを一度に安定的に固定することができる。

【0062】

本実施形態の検査治具１では、デバイスベース１８の上面に設けられた枠状プレート２０に載置孔２６が設けられており、載置孔２６の周壁が位置決め壁３０を構成しているため、位置決め壁３０を精度良く設けることができ、デバイスＤを所望の位置に精度よく固定することができる。

【0063】

本実施形態の検査治具１では、載置部２４から長手方向Ｌに沿って延びる通路をデバイスベース１８の上面に区画する長孔２８が枠状プレート２０に形成され、押圧部材１６の押圧部４２が長孔２８によって形成された通路に収容されているため、押圧部４２が不所望な移動をすることがなく、デバイスＤを所望の位置に精度よく固定することができる。

【0064】

本実施形態の検査治具１では、長孔２８によりデバイスベース１８の上面に形成された通路の上面の一部が上側プレート２２によって閉塞されているため、押圧部４２が長孔２８から脱出するような不所望な移動をすることがなく、デバイスＤを所望の位置に精度よく固定することができる。

【0065】

本実施形態の検査治具１では、第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂの法線方向に対して傾斜する長手方向ＬにデバイスＤを押圧して第１壁面３０ａ及び第２壁面３０ｂに接触させて位置決めするため、押圧部４２によってデバイスＤを一方向へ押圧するだけで、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに位置決めすることができる。

【0066】

本実施形態の検査治具１では、押圧部材１６の押圧部４２が二股状に分岐し、一方の先端部に設けられた押圧片４２－１がデバイスＤを第１壁面３０ａ側へ押圧し、他方の先端部に設けられた押圧片４２－２がデバイスＤを第２壁面３０ｂ側へ押圧するため、デバイスＤに過剰な押圧力が作用することを防止することができる。

【0067】

本実施形態の検査治具１では、第２の押圧部材群１６Ｂを構成する複数の押圧部材１６によって挟持されたデバイスＤが、第１の押圧部材群１６Ａを構成する複数の押圧部材１６によって挟持されたデバイスＤと第２の方向Ｙに重なるように、複数の押圧部材１６が下側ベース１２に配置されている。これにより、搬送装置によって複数の載置部２４にデバイスＤを載置したり、載置されたデバイスＤを取り出したりする場合に、搬送装置の移動領域を小さくすることができ、検査治具１を組み込む検査装置を小型化することができる。

【0068】

本実施形態の検査治具１では、複数のプローブ針８２が設けられたプローブユニット７８が、プローブ針８２を並べて設けた第１の方向Ｘに分割してプローブベース７６に固定されているため、検査治具１を高温雰囲気に曝す場合であっても、小基板８０や保持部材８４の熱膨張によってプローブ針８２の位置が変化しにくくなり、載置部２４に固定されたデバイスＤにプローブ針８２を接触させることができる。

【0069】

本実施形態の検査治具１では、コンタクト部７０の上下方向への移動を案内する連結ピン４８が下側ベース１２に固定されているため、検査治具１を高温雰囲気に曝す場合であっても、下側ベース１２に生じた熱膨張に追従して連結ピン４８の位置が変化し、載置部２４に固定されたデバイスＤにプローブ針８２が接触するようにコンタクト部７０を上下動させることができる。

【0070】

以上、本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。以下に変更例を列挙する。

【0071】

（変更例）
次に上記した実施形態の変更例について説明する。上記した実施形態では、押圧部４２の先端部が二股状に分岐し、外力を受けて互いに離隔するように弾性変形する場合について説明したが、図１１に示すように、押圧部４２と板バネ部４４との間に、長手方向Ｌの押圧力を受けて弾性的に変形する波形状部５９を設けてもよい。

【0072】

このような場合であっても、押圧部４２によるデバイスＤの押圧力が大きくなるにつれて、波形状部５９が長手方向Ｌに弾性変形することでデバイスＤに過剰な押圧力が作用することを防止する。

【0073】

また、上記した実施形態では、押圧機構９０の押圧棒９４によって上側ベース１４を下方へ移動させることで、押圧部材１６の板バネ部４４を下方へ押圧する場合について説明したが、本発明において上側ベース１４を下方へ移動させる機構としては種々の機構を適用することができる。例えば、連結ピン４８の雄ネジ部４８ｂに対して固定具５２を締付方向へ回転することによって上側ベース１４を押し下げてもよい。

【符号の説明】

【0074】

１…検査治具、１０…クランプ部、１２…下側ベース、１４…上側ベース、１６…押圧部材、１６Ａ…第１の押圧部材、１６Ｂ…第２の押圧部材、１８…デバイスベース、２０…枠状プレート、２２…上側プレート、２４…載置部、２４Ａ…第１の載置部群、２４Ｂ…第２の載置部群、２６…載置孔、２８…長孔、２９…収容孔、３０…位置決め壁、３０ａ…第１壁面、３０ｂ…第２壁面、４０…固定部、４２…押圧部、４４…板バネ部、４６…押さえ板、４８…連結ピン、４８ａ…軸部、４８ｂ…雄ネジ部、４８ｃ…先端軸部、５６…加圧面、５８…ストッパ部、７０…コンタクト部、７２…プローブ針、７４…回路基板、７５…絶縁板、７６…プローブベース、７７ａ…ガイド孔、７７ｂ…ガイド孔、７８…プローブユニット、８０…小基板、８２…プローブ針、８４…保持部材、９０…押圧機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】