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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-30
(45)【発行日】2024-11-08
(54)【発明の名称】マルチガスマスフローコントローラ及びその制御方法
(51)【国際特許分類】
G05D 7/06 20060101AFI20241031BHJP
G01F 1/86 20060101ALI20241031BHJP
G01F 1/68 20060101ALI20241031BHJP
【ＦＩ】
G05D7/06 B
G01F1/86
G01F1/68 Z
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2022529097
(86)(22)【出願日】2020-12-02
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2023-02-27
(86)【国際出願番号】 JP2020044766
(87)【国際公開番号】W WO2021124876
(87)【国際公開日】2021-06-24
【審査請求日】2023-10-20
(31)【優先権主張番号】16/720,891
(32)【優先日】2019-12-19
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】724014121
【氏名又は名称】桑名金属工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100114557
【弁理士】
【氏名又は名称】河野 英仁
(74)【代理人】
【識別番号】100078868
【弁理士】
【氏名又は名称】河野 登夫
(72)【発明者】
【氏名】スミルノフ，アレクセイ ヴィ．
【審査官】牧 初
(56)【参考文献】
【文献】特開平０７－０１９９１７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０８－０９４４０６（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１１／０２４７３９０（ＵＳ，Ａ１）
【文献】欧州特許出願公開第０２３６５４１１（ＥＰ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０５Ｄ ７／００－７／０６
Ｇ０１Ｆ １／５６－１／９０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
マスフローコントローラを制御する方法であって、前記マスフローコントローラの流量センサにプロセスガスを供給すること、
特性ガスに関連した前記流量センサ用の感度係数をプロセスガス用の変換係数で調整して、前記流量センサ用のガス調整された感度係数を取得すること、
特性ガスに関連した前記流量センサ用の非線形性データをプロセスガス用の非線形性係数で調整して、前記流量センサ用のガス調整された非線形性データを取得すること、
前記ガス調整された感度係数及び前記ガス調整された非線形性データを用いて、前記流量センサ用のガス調整された特性データを作成すること、
前記流量センサからの流量センサ信号を用いて、前記ガス調整された特性データから流量値を取得すること、並びに、
セットポイント信号と共に前記流量値を用いて、前記マスフローコントローラの弁を制御すること
を含む方法。
【請求項2】
前記流量センサ用のガス調整された感度係数を取得することは、前記流量センサが特性ガスと使用された際に前記流量センサの理想的な信号を示す前記流量センサ用の感度係数を得ること、
前記マスフローコントローラのメモリから前記プロセスガス用の変換係数を得ること、及び、
前記感度係数を前記変換係数で調整して、前記ガス調整された感度係数を取得すること
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項3】
前記流量センサ用のガス調整された非線形性データを取得することは、前記流量センサ用の特性ガスに関連した非線形性データを得ること、
前記プロセスガス用の非線形性係数を前記マスフローコントローラのメモリから得ること、及び、
前記流量センサ用の非線形性データを前記プロセスガス用の非線形性係数で調整して、前記ガス調整された非線形性データを取得すること
を含んでおり、
前記非線形性データは、前記特性ガスに関連して事前に作成される、
請求項１に記載の方法。
【請求項4】
前記ガス調整された感度係数は、特性ガス用の感度係数を取得し、前記特性ガス用の感度係数を前記プロセスガス用の変換係数で除することにより、
作成される、請求項１に記載の方法。
【請求項5】
前記ガス調整された特性データは{（ｆｉ，ｓｉ／ＣＦ＋ＮＬＦ×ｚｉ）｜ｉ＝１，２，・・・，ｎ}で示され、ＣＦは前記プロセスガス用の変換係数であり、ＮＬＦはガス特定の非線形性係数であり、ｓｉ＝ＳＣ×ｆｉであって、ｆｉは流量値であり、ＳＣは前記流量センサ及び特性ガス用の感度係数であり、ｚｉはｓｉ－ｙｉに等しい非線形性値であって、ｙｉは{（ｆｉ，ｙｉ）｜ｉ＝１，２，・・・，ｎ}で示される前記特性ガス用の特性データの信号値である、請求項１に記載の方法。
【請求項6】
マスフローコントローラであって、ガス用の主流路、
前記主流路を通る前記ガスの流量を制御する弁、
前記主流路に連結しており、前記ガスの質量流量を示す流量センサ信号を提供する流量センサ、
感度係数をプロセスガス用の変換係数で調整して、前記流量センサが特性ガスと使用された際に前記流量センサの理想的な信号を示す前記流量センサ用のガス調整された感度係数を作成するように構成された感度調整モジュール、
前記流量センサ用の特性ガスに関連した非線形性データを前記プロセスガス用の非線形性係数で調整して、前記特性ガスに関連して事前に作成されるガス調整された非線形性データを作成するように構成された非線形性調整モジュール、
前記ガス調整された感度係数及び前記ガス調整された非線形性データを用いて、前記流量センサ用のガス調整された特性データを作成し、前記流量センサからの前記流量センサ信号を用いて、前記ガス調整された特性データから流量値を取得するように構成された特性モジュール、並びに、
セットポイント信号と共に前記流量値を用いて、前記マスフローコントローラの前記弁を制御するように構成されたコントローラ
を備えるマスフローコントローラ。
【請求項7】
前記感度係数、前記非線形性データ、前記変換係数、及び、前記非線形性係数を記憶する不揮発性メモリを備える、請求項６に記載のマスフローコントローラ。
【請求項8】
前記変換係数及び前記非線形性係数をネットワーク接続を介して受け取るように構成されたインターフェイスコンポーネントを備える、請求項６に記載のマスフローコントローラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、マスフローセンサ及びマスフローコントローラに関し、特に、限定はされないが、本発明は、マスフローセンサの精度を向上することに関する。
【背景技術】
【0002】
典型的なマスフローコントローラ（ＭＦＣ）は、さまざまな工業プロセスの中でも、熱エッチング、ドライエッチングなどの工業プロセスにおけるガスの流量を設定し、測定し、制御する装置である。ＭＦＣの重要な部分は、装置を通って流れるガスの質量流量を測定する熱式流量センサである。
【0003】
（ガスの質量流量に対して完全な線形従属性を有する）理想的な流量センサ信号とは対照的に、熱式流量センサにて出力される流量センサ信号は、流体の実際の流量に対して非線形であり、熱式流量センサの感度はより大きい流量にて低下する。言い換えると、流量に対する流量センサ信号の感度は、一定ではなく、流量が増加するにつれて減少する。ここで、感度とは、測定されたガスの質量流量に対する流量センサ信号の割合を意味する。
【0004】
典型的なマスフローコントローラでは、熱式流量センサの非線形性が特性ガスを用いて特徴付けられ、ＭＦＣのメモリ内にテーブル形式で特性データとして格納される。熱式流量センサからの流量センサ信号は特性データを用いて調整され、測定流量を提供する。
【0005】
プロセスガスが制御される際に、このプロセスガスの生のガスデータにて特性データが調整されるが、この調整は（各マスフローコントローラの熱式流量センサ間の）違いを考慮していない。例えば、センサ構成及び電圧調整のような多くの内部の態様は熱式流量センサ間で変化するため、特性データへの調整の適用は不正確な流量測定の結果を招く。
【0006】
したがって、流量センサ信号へのマルチガス非線形性調整による現在の方法の欠点を克服する新規で画期的な特徴を提供できる方法及び／または装置の必要性が存在する。
【発明の概要】
【0007】
一態様は、マスフローコントローラの流量センサにプロセスガスを供給することと、流量センサ用のガス調整された感度係数を取得することと、流量センサ用のガス調整された非線形性データを取得することとを含む、マスフローコントローラを制御する方法に特徴付けられる。この方法は、また、ガス調整された感度係数及びガス調整された非線形性データを用いて、流量センサ用のガス調整された特性データを作成することを含む。流量センサからの流量センサ信号を用いて、ガス調整された特性データから流量値が取得され、セットポイント信号と共にこの流量値が用いられて、マスフローコントローラの弁を制御する。
【0008】
別の態様は、ガス用の主流路と、主流路を通るガスの流量を制御する弁と、主流路に連結しており、ガスの質量流量を示す流量センサ信号を提供する流量センサとを備えるマスフローコントローラに特徴付けられる。マスフローコントローラの感度調整モジュールは、感度係数をプロセスガス用の変換係数で調整して、流量センサ用のガス調整された感度係数を作成するように構成されている。マスフローコントローラの非線形性調整モジュールは、流量センサ用の特性ガスに関連した非線形性データをプロセスガス用の非線形性係数で調整して、ガス調整された非線形性データを作成するように構成されている。マスフローコントローラの特性モジュールは、ガス調整された感度係数及びガス調整された非線形性データを用いて、流量センサ用のガス調整された特性データを作成するように構成され、また、流量センサからの流量センサ信号を用いて、ガス調整された特性データから流量値を取得するように構成されている。マスフローコントローラのコントローラは、セットポイント信号と共に流量値を用いて、マスフローコントローラの弁を制御するように構成されている。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】流量センサ信号へのマルチガス非線形性調整のための改良された手法を内蔵したマスフローコントローラ（ＭＦＣ）のブロック図である。
【図2】開示された実施の形態に関連して実行される典型的な方法を示すフローチャートである。
【図4】特性ガスに関連した流量センサ用の特性データを示すグラフである。
【図5】特性ガスに関連した流量センサ用の理想的な線形性信号を示すグラフである。
【図6】流量センサ用の非線形性データの作成を示すグラフである。
【図7】特性ガスに関連した流量センサ用の典型的な非線形性データを示すグラフである。
【図8】プロセスガスに関連した流量センサ用の理想的な信号を示すグラフである。
【図10】流量センサ用のガス調整された特性データの作成を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0010】
図面を参照すると、図１は、多様なガスのタイプにわたって測定及び制御の正確性を改善するための手法を内蔵したＭＦＣ１００を示している。これらのコンポーネントの図示された配置は、論理上のものであって、実際のハードウェア図を意味しない。よって、実際の実装時にあっては、これらのコンポーネントは、結合されたり、更に分離されたり、消去されたり、及び／又は、追加されたりすることができる。当業者であれば、図１に示されるコンポーネントは、ハードウェアにて構成されても良く、ファームウェアと結びついたハードウェアにて構成されても良く、及び／又は、ソフトウェアにて構成されても良いことを理解する。また、この明細書を考慮すれば、個々のコンポーネントの構造は当該分野における通常の技術として良く知られている。
【0011】
開示を通して、制御されるガスに関していくつかの例及び実施の形態が述べられるが、そのような例及び実施の形態が、ガス又は液体である流体に概して適用されることは認識すべきであり、流体は単体の混合物及び／又は化合物であっても良い。例えば、液体は硫酸であっても良く、ガスは窒素であっても良い。本適用によれば、ＭＦＣ１００は、ガス状の流体（例えば、窒素）、及び／又は液相の流体（例えば、塩酸）を、例えば半導体工場の工具へ送達する。多くの実施の形態におけるＭＦＣ１００は、異なるタイプの流体を、変化する温度及び圧力の下で、異なるタイプのコンテナ、容器へ送達するように構成されている。
【0012】
図示するように、ＭＦＣ１００のベース１０５は、ガスが流れるバイパス１１０を有する。バイパス１１０は、主流路１１５とセンサ管１２０とに一定の割合でガスを分配する。結果として、センサ管１２０を通るガスの流量が、ＭＦＣ１００の主流路１１５を通って流れるガスの流量を示すことになる。
【0013】
本実施の形態では、センサ管１２０は、ＭＦＣ１００の流量センサ１２３の一部をなす小さな孔の管体である。図示するように、センサ素子１２５，１３０がセンサ管１２０の外側に（例えば、巻き付けられて）結合している。一つの例示される実施の形態では、センサ素子１２５，１３０は測温抵抗素子（例えば、導線のコイル）であるが、他のタイプのセンサ（例えば、抵抗温度検出器（ＲＴＤ）、熱電対）を利用しても良い。更に、別の実施の形態は、異なるセンサ部材、センサからの信号を処理するための異なる構成を、本発明の範囲から逸脱しない限りで利用しても良い。
【0014】
図示するように、センサ素子１２５，１３０は、センサ素子回路１３５に電気的に接続されている。一般的に、センサ素子回路１３５は、（センサ素子１２５，１３０からの信号１４６，１４８に応じて）流量センサ信号１５０を提供するように構成されている。この流量センサ信号１５０は、センサ管１２０を通る流量を示しているため、ＭＦＣ１００の主流路１１５を通る流量を示している。
【0015】
流量センサ信号１５０は、センサ素子１２５，１３０間の温度差に影響を及ぼすセンサ管１２０に沿った温度プロフィールにより定義される。流量センサ信号１５０は、流量の範囲の全体にわたってセンサ管１２０を通る流量に対して非線形であり、流量センサ信号１５０の感度はより大きな流量で（より小さな流量に比べて）低下する。例えば、簡潔に図４を参照すると、窒素などの特性ガスにおける流量センサ信号１５０と流量センサ１２３を通る流体の質量流量との関係を表す流量センサ１２３用の典型的な特性データが示されている。図４に示すように、流量センサ１２３の感度がより大きな流量で（より小さな流量に比べて）低下していることを、典型的な特性データは示している。
【0016】
図４に示される特性データは、ＭＦＣ１００が顧客に販売される前に、特性プロセスの間に作成されて良い。この特性プロセスは、例えば、流量センサ１２３にガスを流すこと、流量センサ１２３の作動域の０％から１００％までの流量値の範囲にわたる多様な流量のための正確なマスフローメータ（図示せず）を用いてガスの流量を測定すること、及び、測定された流量のそれぞれにおける流量センサ信号１５０の値を取得することを含んでいる。（特性ガスに関連した流量センサ１２３用の）特性データは、{（ｆｉ，ｙｉ）｜ｉ＝１，２，・・・，ｎ}で示され、ｆｉは流量値であり、ｙｉは信号値である。
【0017】
上述したように、典型的なマスフローコントローラにあって、流量センサ１２３の非線形性は、特性ガスによって特徴付けられ、ＭＦＣ１００のメモリ内にテーブル形式にて特性データとして格納される。その後、特性データを用いて流量センサ１２３からの流量センサ信号１５０が調整され、流量の測定を提供する。特性データはプロセスガス用の生のガスデータにより調整されるが、従来例の調整では、それぞれの異なるマスフローコントローラの熱式流量センサ間の差異が考慮されていない。例えば、熱式流量センサ間でセンサ構成及び電圧調整などの多くの内部態様が変動するので、特性データへの調整によって不正確な流れ測定及び正しくないマスフロー制御になる。
【0018】
本開示の態様は、流量センサ１２３が流量センサ１２３の２つの作動態様に関係している点に特徴付けされており、これらの２つの態様のそれぞれは、測定されて制御されるプロセスガスに基づいて調整される。より詳細には、図４に示される特性データは、１）（感度係数１６２として示される）理想的な信号部分と、２）（非線形性データ１６７として格納され、理想的な信号データと図４の特性データとの差異値として示される）非線形性部分との２つの部分に分離される。
【0019】
図２を参照すると、多様なガスのタイプにわたって改善された測定及び制御の正確性を提供するための方法が示されている。示すように、流量センサ１２３用の感度係数１６２が、特性データの理想的な信号部分の提示として、作成されてＭＦＣ１００に格納される（ブロック２００）。更に、流量センサ１２３用の非線形性データ１６７が、特性データの非線形性部分の提示として、作成されてＭＦＣ１００に格納される（ブロック２０２）。図５～図７は、まとめて、特性データを理想的な信号部分と非線形性部分とに分ける典型的な手法を示している。図１に示すように、非線形性データ１６７と感度係数１６２とは、流量センサ１２３用の特性ガスデータとして格納されている。
【0020】
図５を参照すると、線形である理想的な流量センサ信号を示す特性ガス用の典型的な理想的な信号部分を示すグラフが示されている。理想的な信号部分（理想信号とも称する）は、理想信号を表す線に沿った任意の点における理想的な流量センサ信号と質量流量との比である感度係数（ＳＣ）としての信号値で表される。流量センサ１２３は、（ＭＦＣ１００が制御するように設計されている）図５に示すような質量流量の範囲内において理想的な信号部分を実際には出力しないが、非常に低い流量にあっては、流量センサ１２３は線形状に作動する。結果として、感度係数を取得するために低い流量にて流量センサ信号１５０をサンプリングすることにより、理想的な信号部分が作成され、高い流量での理想的な信号値を算出するために、感度係数が使用される。理想的な信号部分の各理想的な信号値はｓｉ＝ＳＣ×ｆｉで表され、ＳＣは感度係数であって、ｆｉはｉ＝１，２，・・・，ｎとした流量値である。
【0021】
図６に示すように、理想的な信号部分における複数の信号値ｓｉのそれぞれと、特性ガス用の特性データの対応する信号値ｙｉとの差を取得することにより、非線形性データが作成される。非線形性データは、{（ｆｉ，ｚｉ）｜ｉ＝１，２，・・・，ｎ}として表され、ｆｉは流量値であり、ｚｉは特性ガス用の流量値に関連した非線形性値であり、非線形性値ｚｉはｓｉ－ｙｉに等しい。図７は、結果としての非線形性データを示す図である。よって、流量センサ１２３用の感度係数１６２と非線形性データ１６７との関係に、流量センサ１２３は特徴付けられる。
【0022】
このような手法に合わせて、図１は、流量センサ１２３用の格納された感度係数１６２及び格納された非線形性データ１６７を示している。上述したように、この格納された感度係数１６２及び格納された非線形性データ１６７は、特性プロセスの間に作成され、ＭＦＣ１００が使用のために販売される前にＭＦＣ１００内に格納される。
【0023】
理想的な信号部分（例えば、感度係数１６２）及び非線形性部分（例えば、非線形性データ１６７）についてＭＦＣ１００の流量センサ１２３を特徴付けることは、使用されるプロセスガスのタイプに基づいてこれらの２つの作動態様が各別に調整されることを可能にする。
【0024】
更に、変換係数ＣＦがＭＦＣ１００内に格納されて、格納された変換係数１６４を作成する（ブロック２０４）。変換係数１６４のそれぞれは、特性ガスに関連したいくつかの特定パラメータ用の値のプロセスガスに関連したその特定パラメータ用の値に対する割合である。例えば、変換係数のそれぞれは、特定の流量値について、特性ガス用の理想的な信号値の特定のプロセスガス用の理想的な信号値に対する割合を表している。受け付けられた正確性の度合いに応じて、変換係数のそれぞれは、特性ガスの熱容量のプロセスガスの熱容量に対する割合を表す。
【0025】
更に、ガスに特有の非線形性係数（ＮＬＦ）がＭＦＣ１００内に格納されて、格納された非線形性係数１６８を作成する（ブロック２０６）。この非線形性係数は、経験的に又は実験的に（例えば、生のガスの測定結果から）由来する。
【0026】
ブロック２００～２０６を参照して述べられた過程は、ＭＦＣ１００が利用者に販売される前に実行される特性プロセスの間に実施される。作動中に、プロセスガスの流量の制御を調整するために、特性データの理想的な信号部分（例えば、感度係数１６２）及び特性データの非線形性部分（例えば、非線形性データ１６７）が調整される。より詳細には、格納された感度係数１６２が感度調整モジュール１６０にて（プロセスガス用の）変換係数１６４の１つにより調整されて、ガス調整された感度係数（ＧＡＳＣ）を取得する（ブロック２０８）。上述したように、感度係数は流量センサ１２３用の特性データの理想的な信号部分を表し、感度係数をプロセスガス用の変換係数で除することによりそのガス調整された感度係数が取得される（ＧＡＳＣ＝ＳＣ／ＣＦ）。図８は、特性ガス用の理想的な信号部分とプロセスガス用の理想的な信号部分とを示している。
【0027】
更に、非線形性調整モジュール１６６は、格納されている非線形性データ１６７をプロセスガス用の非線形性係数１６８の１つにより調整して、ガス調整された非線形性データ（ＧＡＮＬ）を取得する（ブロック２１０）。図９は、ガス調整された特性データを作成するための特性ガス用の非線形性データの調整を示す。ガス調整された特性データは、プロセスガス用の非線形性値として表される。
【0028】
示すように、流量センサ１２３用及びプロセスガス用のガス調整された特性データ（ＧＡＣＤ）は、ガス調整された感度係数（ＧＡＳＣ）とガス調整された非線形性データ（ＧＡＮＬ）の非線形性値とを用いて、特性モジュール１６９にて作成される（ブロック２１２）。図１０は、ガス調整された特性データの作成を図示している。ガス調整された特性データは{（ｆｉ，ｓｉ／ＣＦ＋ＮＬＦ×ｚｉ）｜ｉ＝１，２，・・・，ｎ}で表され、ＣＦはプロセスガス用の変換係数であり、ＮＬＦはガス特定の非線形性係数である。
【0029】
作動時に、流量センサ１２３はＭＦＣ１００を通って流れるガスに応じて流量センサ信号１５０を出力し、流量センサ１２３からの流量センサ信号１５０を用いて、ガス調整された特性データ（ＧＡＣＤ）からの流量値が取得される（ブロック２１４）。図１０にあって、例えば、ｆｓ１の値を有する流量センサ信号１５０はｆｖ１の値を有する流量値に対応する。取得された流量値はセットポイント信号１８６と共に、ＭＦＣ１００の弁１４０を制御するために用いられる。特に、流量値は測定フロー信号１６１にて表され、セットポイント信号１８６は所望の質量流量を表すので、流量値が所望の質量流量に等しくなるまで、コントローラ１７０は弁１４０を制御する。
【0030】
明瞭化のために示されていないが、特性モジュール１６９がアナログ／デジタル変換器を用いて流量センサ信号１５０をデジタル表現に増幅及び変換できることは、認識されるべきである。この流量センサ信号１５０のデジタル表現は、流量センサ信号１５０に対応した流量値を取得するために用いられ、特性モジュール１６９は、取得された流量を表すデジタル信号として測定フロー信号１６１を出力する。
【0031】
弁１４０は、圧電式弁またはソレノイド弁にて実現されて良く、制御信号１８０は、電圧（圧電式弁の場合）または電流（ソレノイド弁の場合）であって良い。
【0032】
次に図３を参照すると、図１を参照して示されるＭＦＣ１００を実現するために利用され得る内部コンポーネント１１００を表すブロック図が示されている。示すように、表示部１１１２及び不揮発性メモリ１１２０はバス１１２２に接続しており、バス１１２２は、また、ランダムアクセメモリ（ＲＡＭ）１１２４、（Ｎ個の処理コンポーネントを含む）処理部１１２６、ソレノイド／ピエゾ型弁１１３０に連結している弁駆動コンポーネント１１２８、インターフェイスコンポーネント１１３２、通信コンポーネント１１３４、及びマスフローセンサ１１３６に接続している。図３に示すコンポーネントは内部のコンポーネントを表しているが、図３はハードウェア図を意図しているのではなく、図３に示されるコンポーネントの多くは、共通の構成で実現されるかまたは追加の内部コンポーネント中に分配されても良い。更に、他の現存する及びまだ開発されていない内部コンポーネント及び構造が、図３を参照して示されている機能コンポーネントを実装するために利用され得ることは、間違いなく予期される。
【0033】
表示部１１１２は概して作動してユーザに内容の表示を提供し、いくつかの実装では、表示部１１１２はＬＣＤ表示装置またはＯＬＥＤ表示装置で実現される。例えば、表示部１１１２は、測定フロー信号１６１のグラフ的または数的な表現として、指し示された流量を提供して良い。一般的に、不揮発性メモリ１１２０は、デ－タと図１に示された機能コンポーネントに関連するコードを含む実行可能なコードとを格納する（例えば、永続的に格納する）ように機能する。例えばいくつかの実施の形態にあっては、不揮発性メモリ１１２０は、ブートローダコード、ソフトウェア、作動システムコード、ファイルシステムコード、及び、図１に関連して述べられたモジュールの１または複数の部分の実装を容易にするためのコードを含んでいる。
【0034】
多くの実装において、不揮発性メモリ１１２０はフラッシュメモリ（例えば、ＮＡＮＤまたはＯＮＥＮＡＮＤメモリ）で実現されるが、他のタイプのメモリが利用され得ることは容易に予想される。不揮発性メモリ１１２０からのコードを実行することは可能であるが、不揮発性メモリ１１２０内の実行可能なコードが典型的にＲＡＭ１１２４にロードされて処理部１１２６内のＮ個の処理コンポーネントのうちの１または複数にて実行される。示すように、処理部１１２６は、コントローラ１７０にて実行される機能によって利用されるアナログの温度及び圧力の入力を受け取るようにしても良い。ＲＡＭ１１２４に接続されたＮ個の処理コンポーネントは一般的に作動して、図１に示される機能コンポーネントを発効させるために不揮発性メモリ１１２０に格納されている指示を実行する。
【0035】
インターフェイスコンポーネント１１３２は一般的に、ユーザがＭＦＣ１００と相互に作用し合えるようにする１または複数のコンポーネントを表現する。インターフェイスコンポーネント１１３２は、例えば、キーパッド、タッチスクリーン、及び１または複数のアナログまたはデジタルのコントローラを含んでおり、インターフェイスコンポーネント１１３２がユーザからの入力をセットポイントに翻訳するように使用されても良い。また、通信コンポーネント１１３４は一般的に、ＭＦＣ１００が外部の処理ツールを含む外部のネットワーク及び装置と通信できるようにする。例えば、指し示された流量は通信コンポーネント１１３４を介して外部の装置へ通信されても良い。当業者であれば、通信コンポーネント１１３４が、様々な無線通信（例えば、ＷｉＦｉ）及び有線通信（例えば、イーサーネット）が可能である（例えば、集積されたまたは分散された）コンポーネントを含んでも良いことを認識する。
【0036】
図３に示されたマスフローセンサ１１３６は、図１に示された流量センサ１２３を実現するために当業者に知られたコンポーネントの集まりを示している。これらのコンポーネントは、センサ素子、増幅器、アナログ／デジタル変換器、フィルタを含んでも良い。
【0037】
これらの実施の形態に対する種々の変更は当業者にとって明らかであり、ここで定義される一般原則が、本発明の精神及び範囲を逸脱しないで他の実施の形態に適用されても良い。よって、本発明は、ここに示された実施の形態に限定されることを意図してはおらず、ここで開示された原理及び新規な特徴に一致する最も広い範囲に符合する。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】