(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-31
(45)【発行日】2024-11-11
(54)【発明の名称】放電ツルーイング方法
(51)【国際特許分類】
B24B 53/00 20060101AFI20241101BHJP
B23H 5/00 20060101ALI20241101BHJP
【ＦＩ】
B24B53/00 D
B23H5/00 J
B24B53/00 B
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020190950
(22)【出願日】2020-11-17
(65)【公開番号】P2022080020
(43)【公開日】2022-05-27
【審査請求日】2023-09-26
(73)【特許権者】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100106518
【弁理士】
【氏名又は名称】松谷 道子
(74)【代理人】
【識別番号】100132241
【弁理士】
【氏名又は名称】岡部 博史
(74)【代理人】
【識別番号】100183265
【弁理士】
【氏名又は名称】中谷 剣一
(72)【発明者】
【氏名】久保 雅裕
(72)【発明者】
【氏名】上木原 伸幸
(72)【発明者】
【氏名】高野 利昭
【審査官】須中 栄治
(56)【参考文献】
【文献】特開２００４－１１４１７２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０４－２９４９７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－２９７３１６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０４－１６４５７１（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ５３／００－５７／０４
Ｂ２３Ｈ１／００－１１／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
Ｘ方向に移動可能なＸテーブルと、前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に移動可能なＹテーブルと、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に垂直なＺ方向に移動可能なＺテーブルと、を有する加工機において用いる導電性砥石を放電ツルーイングする方法であって、前記導電性砥石を前記Ｙテーブルに取り付けて前記Ｙ方向に平行な第１回転軸を中心に回転させ、かつ、円柱電極を前記Ｚテーブルに取り付けて前記Ｚ方向に平行な第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記第１回転軸を中心とした周方向に延びる側面である砥石面と前記円柱電極の側面とを接触させて、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させつつ前記導電性砥石と前記円柱電極とに接続された放電回路により電圧を印加して前記円柱電極を放電加工する第１の工程と、
前記第１の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記Ｘ方向において第１方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第２の工程と、
前記第２の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記第２の工程と前記Ｚ方向に異なる位置で、前記Ｘ方向において前記第１方向と反対側の第２方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第３の工程と、
を含む、
放電ツルーイング方法。
【請求項2】
前記第１の工程において、前記Ｚテーブルを移動させることにより、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させる、
請求項１に記載の放電ツルーイング方法。
【請求項3】
前記第２の工程において、前記Ｘテーブルおよび前記Ｚテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の前記第１方向から前記側面に配置し、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｙテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の円周に沿って移動させる、
請求項１または２に記載の放電ツルーイング方法。
【請求項4】
前記第３の工程において、前記Ｘテーブルおよび前記Ｚテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の前記第２方向から前記側面に配置し、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｙテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の円周に沿って移動させる、
請求項１から３のいずれか１項に記載の放電ツルーイング方法。
【請求項5】
前記第２の工程および前記第３の工程のそれぞれにおける放電加工終了時の前記Ｘテーブルの位置の中間位置に、前記Ｘテーブルを駆動させて前記導電性砥石を配置することで、前記導電性砥石の回転中心と前記第２回転軸の回転中心とのＸ方向における位置を一致させる第４の工程をさらに有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の放電ツルーイング方法。
【請求項6】
前記導電性砥石の前記砥石面は、半円状の断面を有し、前記第２の工程の放電加工終了時および前記第３の工程の放電加工終了時に、前記砥石面の半円の中心の前記Ｙ方向における位置と前記第２回転軸との前記Ｙ方向における位置が一致している、
請求項１から５のいずれか１項に記載の放電ツルーイング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、放電ツルーイング方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、主軸に取り付けた工具により所望の形状の電極を創成し、創成電極を用いて、主軸に付け替えた対象の砥石の放電ツルーイング／ドレッシングを行う機上放電ツルーイング／ドレッシング方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開昭６３－２８３８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に記載の放電ツルーイング方法では、高精度な加工を実現するという点で、未だ改善の余地がある。
【0005】
そこで、本開示は、加工精度を向上させた放電ツルーイング方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の放電ツルーイング方法は、
Ｘ方向に移動可能なＸテーブルと、前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に移動可能なＹテーブルと、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に垂直なＺ方向に移動可能なＺテーブルと、を有する加工機において用いる導電性砥石を放電ツルーイングする方法であって、
前記導電性砥石を前記Ｙテーブルに取り付けて前記Ｙ方向に平行な第１回転軸を中心に回転させ、かつ、円柱電極を前記Ｚテーブルに取り付けて前記Ｚ方向に平行な第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の砥石面と前記円柱電極の側面とを接触させて、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させつつ前記導電性砥石と前記円柱電極とに接続された放電回路により電圧を印加して前記円柱電極を放電加工する第１の工程と、
前記第１の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記Ｘ方向において第１方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第２の工程と、
前記第２の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記第２の工程と前記Ｚ方向に異なる位置で、前記Ｘ方向において前記第１方向と反対側の第２方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第３の工程と、
を含む。
Ｘ方向に移動可能なＸテーブルと、前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に移動可能なＹテーブルと、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に垂直なＺ方向に移動可能なＺテーブルと、を有する加工機において用いる導電性砥石を放電ツルーイングする方法であって、
前記導電性砥石を前記Ｙテーブルに取り付けて前記Ｙ方向に平行な第１回転軸を中心に回転させ、かつ、円柱電極を前記Ｚテーブルに取り付けて前記Ｚ方向に平行な第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の砥石面と前記円柱電極の側面とを接触させて、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させつつ前記導電性砥石と前記円柱電極とに接続された放電回路により電圧を印加して前記円柱電極を放電加工する第１の工程と、
前記第１の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記Ｘ方向において第１方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第２の工程と、
前記第２の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記第２の工程と前記Ｚ方向に異なる位置で、前記Ｘ方向において前記第１方向と反対側の第２方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第３の工程と、
を含む。
【発明の効果】
【0007】
本開示によると、加工精度を向上させた放電ツルーイング方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本開示の一実施の形態にかかる加工装置を示す概略斜視図
【発明を実施するための形態】
【0009】
（発明に至った経緯）
光学素子等の精密加工部品を研削加工するための導電性砥石は、ホイールの回転振れまたは形状を修正し、砥粒の突き出し量を調整することで研削精度を向上させている。ホイールの回転振れまたは形状の修正をツルーイング、砥粒の突き出し量の調整をドレッシングと呼ぶ。
光学素子等の精密加工部品を研削加工するための導電性砥石は、ホイールの回転振れまたは形状を修正し、砥粒の突き出し量を調整することで研削精度を向上させている。ホイールの回転振れまたは形状の修正をツルーイング、砥粒の突き出し量の調整をドレッシングと呼ぶ。
【0010】
また、研削精度を向上させるには、加工機上でツルーイングを実行するとよい。例えば、特許文献１には、マシニングセンタの機上において、主軸に取り付けた工具により、回転軸に取り付けられた電極を創成し、その後、工具に代わりメタルボンド砥石を主軸に取り付けて、創成電極を用いてメタルボンド砥石の放電ツルーイング／ドレッシングを行う方法が開示されている。
【0011】
特許文献１に記載の放電ツルーイング／ドレッシング方法では、創成電極とメタルボンド砥石とをともに回転させつつ接近させ、同時に放電用電流を供給することにより、放電ツルーイングが行われる。創成電極とメタルボンド砥石との距離が所定の値よりも小さくなると、パルス状に制御された放電用電流が流れて、メタルボンド砥石の加工が進む。その結果、砥石の断面には、電極の断面形状を反転したものが転写される。
【0012】
創成電極の消耗に伴い、メタルボンド砥石に正確な形状を転写することができなくなるため、特許文献１に記載の方法では、粗加工の放電ツルーイングの後に電極を再生して、仕上げ加工の放電ツルーイングを行うことが提案されている。
【0013】
しかし、特許文献１の放電ツルーイング方法では、放電加工が始まると同時に電極の消耗が進むため、放電ツルーイングの完了時には、消耗した創成電極の形状がメタルボンド砥石に転写されてしまう。また、放電ツルーイングを粗加工と仕上げ加工とに分けた場合でも、電極を再生する際に、全く同じ形状となることが保証されない。
【0014】
一般的に、レンズまたはミラー等の光学素子、またはそれらを成形する金型加工の分野において、サブミクロンの形状精度が要求されている。しかし、特許文献１により放電ツルーイングされた導電性砥石では、高精度な加工が困難であるという課題がある。
【0015】
そこで、本発明者（ら）は、加工精度を向上させた放電ツルーイング方法を検討し、以下の発明に至った。
【0016】
本開示の一態様にかかる放電ツルーイング方法は、
Ｘ方向に移動可能なＸテーブルと、前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に移動可能なＹテーブルと、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に垂直なＺ方向に移動可能なＺテーブルと、を有する加工機において用いる導電性砥石を放電ツルーイングする方法であって、
前記導電性砥石を前記Ｙテーブルに取り付けて前記Ｙ方向に平行な第１回転軸を中心に回転させ、かつ、円柱電極を前記Ｚテーブルに取り付けて前記Ｚ方向に平行な第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記第１回転軸を中心とした周方向に延びる側面である砥石面と前記円柱電極の側面とを接触させて、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させつつ前記導電性砥石と前記円柱電極とに接続された放電回路により電圧を印加して前記円柱電極を放電加工する第１の工程と、
前記第１の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記Ｘ方向において第１方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第２の工程と、
前記第２の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記第２の工程と前記Ｚ方向に異なる位置で、前記Ｘ方向において前記第１方向と反対側の第２方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第３の工程と、
を含む。
Ｘ方向に移動可能なＸテーブルと、前記Ｘ方向に垂直なＹ方向に移動可能なＹテーブルと、前記Ｘ方向および前記Ｙ方向に垂直なＺ方向に移動可能なＺテーブルと、を有する加工機において用いる導電性砥石を放電ツルーイングする方法であって、
前記導電性砥石を前記Ｙテーブルに取り付けて前記Ｙ方向に平行な第１回転軸を中心に回転させ、かつ、円柱電極を前記Ｚテーブルに取り付けて前記Ｚ方向に平行な第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記第１回転軸を中心とした周方向に延びる側面である砥石面と前記円柱電極の側面とを接触させて、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させつつ前記導電性砥石と前記円柱電極とに接続された放電回路により電圧を印加して前記円柱電極を放電加工する第１の工程と、
前記第１の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記Ｘ方向において第１方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第２の工程と、
前記第２の工程の終了後、前記Ｙテーブルに取り付けられた前記導電性砥石を前記第１回転軸を中心に回転させ、かつ、前記Ｚテーブルに取り付けられた前記円柱電極を第２回転軸を中心に回転させた状態で、前記導電性砥石の前記砥石面を、前記第２の工程と前記Ｚ方向に異なる位置で、前記Ｘ方向において前記第１方向と反対側の第２方向から前記円柱電極の前記側面に向かって移動させた後、前記円柱電極の前記側面に沿って円周方向に移動させつつ、前記放電回路により電圧を印加して、前記導電性砥石の前記砥石面を放電加工する第３の工程と、
を含む。
【0017】
このような構成によると、加工精度を向上させた放電ツルーイング方法を提供することができる。
【0018】
前記第１の工程において、
前記Ｚテーブルを移動させることにより、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させてもよい。
前記Ｚテーブルを移動させることにより、前記導電性砥石と前記円柱電極とを前記Ｚ方向に相対的に移動させてもよい。
【0019】
このような構成によると、円柱電極の形状精度を向上させることができる。
【0020】
前記第２の工程において、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｚテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の前記第１方向から前記側面に配置し、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｙテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の円周に沿って移動させてもよい。
前記Ｘテーブルおよび前記Ｚテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の前記第１方向から前記側面に配置し、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｙテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の円周に沿って移動させてもよい。
【0021】
このような構成によると、導電性砥石の形状精度を向上させることができる。
【0022】
前記第３の工程において、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｚテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の前記第２方向から前記側面に配置し、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｙテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の円周に沿って移動させてもよい。
前記Ｘテーブルおよび前記Ｚテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の前記第２方向から前記側面に配置し、
前記Ｘテーブルおよび前記Ｙテーブルを移動させることにより前記導電性砥石を前記円柱電極の円周に沿って移動させてもよい。
【0023】
このような構成によると、導電性砥石の形状精度を向上させることができる。
【0024】
前記第２の工程および前記第３の工程のそれぞれにおける放電加工終了時の前記Ｘテーブルの位置の中間位置に、前記Ｘテーブルを駆動させて前記導電性砥石を配置することで、前記導電性砥石の回転中心と前記第２回転軸の回転中心とを前記Ｘ方向において一致させる第４の工程をさらに有していてもよい。
【0025】
このような構成によると、導電性砥石が位置決めされた状態でワークの加工をすることができるため、ワークの加工精度を向上させることができる。
【0026】
前記導電性砥石の前記砥石面は、半円状の断面を有し、
前記第２の工程の放電加工終了時および前記第３の工程の放電加工終了時に、前記砥石面の半円の中心の前記Ｙ方向における位置と前記第２回転軸との前記Ｙ方向における位置が一致していてもよい。
前記第２の工程の放電加工終了時および前記第３の工程の放電加工終了時に、前記砥石面の半円の中心の前記Ｙ方向における位置と前記第２回転軸との前記Ｙ方向における位置が一致していてもよい。
【0027】
このような構成によると、導電性砥石が位置決めされた状態でワークの加工をすることができるため、ワークの加工精度を向上させることができる。
【0028】
【0029】
加工装置１００は、Ｘテーブル３と、Ｘテーブル３上に配置されたＹテーブル４と、Ｚテーブル５と、を有する。Ｘテーブル３は、Ｘ方向に移動可能である。Ｙテーブル４はＸ方向と直交するＹ方向に移動可能である。さらに、Ｚテーブル５は、Ｘ方向およびＹ方向に直交するＺ方向に移動可能である。すなわち、加工装置１００は、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸の３軸を有する加工装置であり、例えば縦型マシニングセンタ等である。
【0030】
Ｘテーブル３、Ｙテーブル４、およびＺテーブル５は、図示省略の数値制御装置により、ナノメートルの精度で駆動することができる。
【0031】
Ｙテーブル４には、スピンドル６が固定され円板状の導電性砥石１が取り付けられている。導電性砥石１は、スピンドル６により、Ｙ方向に平行な第１回転軸６ａ（図３参照）を中心に回転する。導電性砥石１としては、例えばダイヤモンド砥粒をメタルボンドで固めたメタルボンド砥石を使用することができる。導電性砥石１は、例えば、円板状のホイールの側面に、断面が半円状の砥石面１ａが形成されて構成される。
【0032】
また、Ｚテーブル５には、Ｃ軸７が配置され、Ｃ軸７の先端に円柱電極２が取り付けられている。Ｃ軸７は、円柱電極２を保持する治具を取り付けた割出機能を有するスピンドルである。円柱電極２は、Ｃ軸７により、Ｚ方向に平行な第２回転軸７ａ（図３参照）を中心に回転する。円柱電極２としては、例えば、直径６．０ｍｍの銅タングステン合金等の棒材を使用することができる。導電性砥石１には、放電回路２０から図示省略の接触端子により－電極が接続され、円柱電極２には、放電回路２０から図示省略の接触端子により＋電極が接続されている。
【0033】
【0034】
まず、円柱電極２を放電加工する第１の工程が実行される（ステップＳ１０１）。
【0035】
第１の工程では、加工装置１００のＺテーブル５に配置されたＣ軸７に円柱電極２が取り付けられる。このとき、円柱電極２の回転軸心とＣ軸７の回転軸心とが所望の精度で合致するように、円柱電極２を取り付ける。また、Ｙテーブル４のスピンドル６に導電性砥石１を取り付ける。
【0036】
図３は、図２の放電ツルーイング方法の第１の工程を示す概略斜視図である。図３に示すように、導電性砥石１を第１回転軸６ａを中心に回転させ、かつ、円柱電極２を第２回転軸７ａを中心に回転させた状態で、導電性砥石１の砥石面１ａと円柱電極２の側面２ａとを接触させる。ここで、導電性砥石１と円柱電極２とを、Ｚ方向に相対的に移動させつつ、導電性砥石１と円柱電極２とに接続された放電回路２０（図１参照）により電圧を印加して、円柱電極２の側面２ａを放電加工する。
【0037】
導電性砥石１と円柱電極２とは、数値制御装置の数値制御加工プログラムによりＺテーブル５を移動させることにより相対的に移動させることができる。すなわち、導電性砥石１と円柱電極２とがＺ方向において重ならない位置から、Ｚテーブル５を移動させることにより、導電性砥石１の砥石面１ａを円柱電極２の側面２ａに沿ってＺ方向に走査させる。導電性砥石１と円柱電極２が接触すると、放電回路２０からの電圧により円柱電極２の側面２ａが放電加工される。
【0038】
円柱電極２の側面２ａが均一に放電加工されるまで、導電性砥石１と円柱電極２とを相対的に移動させ放電加工することを繰り返す。
【0039】
第１の工程により、円柱電極２の真円度が修正され、形状精度の高い円柱電極２が形成される。また、導電性砥石１の回転振れが除去される。なお、精密加工部品を加工するための加工装置１００のＣ軸７には、回転精度が数十ｎｍ程度のエア軸受を用いられるとよい。この場合、第１の工程が終了したときに、円柱電極２は数十ｎｍの精度の真円度に加工される。
【0040】
図２に戻って、第１の工程の後、導電性砥石１の砥石面１ａを放電加工する第２の工程が実行される（ステップＳ１０２）。
【0041】
図４は、図２の放電ツルーイング方法の第２の工程を示す概略斜視図である。図５は、図４の放電ツルーイング方法の第２の工程の導電性砥石１および円柱電極２の動作を示す正面図である。第２の工程は、第１の工程と同様に、導電性砥石１を第１回転軸６ａを中心に回転させ、かつ、円柱電極を第２回転軸７ａを中心に回転させた状態で行われる。図４に示すように、第２の工程では、導電性砥石１の砥石面１ａをＸ方向において第１方向Ｄ１から円柱電極２の側面２ａに向かって移動させて、砥石面１ａを側面２ａに接触させる。次に、導電性砥石１の砥石面１ａを円柱電極２の側面２ａに沿って円周方向に移動させる。このように、導電性砥石１の砥石面１ａを移動させつつ、放電回路２０により電圧を印加して、導電性砥石１の砥石面１ａを放電加工する。ここで、Ｘ方向における第１方向Ｄ１とは、図４において右から左に向かう方向である。
【0042】
導電性砥石１をこのように移動させることで、第２の工程では、円柱電極２の右側１２ａに導電性砥石１の砥石面１ａを接触させて放電加工を行う。ここで、円柱電極２の右側１２ａとは、図４において、円柱電極２の底面の中心を通るＹＺ平面（破線Ｓ１を通る平面）で円柱電極２を切断したときの右側の部分である。
【0043】
具体的には、図５に示すように、導電性砥石１の砥石面１ａを、円柱電極２の右側１２ａ（図４参照）で、円柱電極２の側面２ａに沿って円周方向に移動しつつ、放電回路２０により電圧を印加する。第２の工程では、円柱電極２の側面２ａのうち、Ｚ方向の任意の位置１３（図４参照）に導電性砥石１を配置し、導電性砥石１を円柱電極２の側面２ａに沿って円周方向に移動させつつ放電加工を行う。導電性砥石１は、Ｘテーブル３およびＹテーブル４を数値制御装置の数値制御加工プログラムにより移動させて、円柱電極２の側面２ａに沿って円周方向に、すなわち図５に示す矢印Ｆ１に沿って動かすことができる。このとき、放電加工は、第１の工程と同様に、導電性砥石１を第１回転軸６ａを中心に回転させ、かつ、円柱電極２を第２回転軸７ａを中心に回転させた状態で実行される。第２の工程の終了後のＸテーブル３の座標８（図４参照）が記録される。座標８は、第２の工程が終了したときの、Ｘ方向における第１回転軸６ａの位置を示す。
【0044】
図６は、図４の放電ツルーイング方法の第２の工程の導電性砥石１の先端形状と円柱電極２との位置関係を示す正面図である。図６に示すように、導電性砥石１をＹ方向に移動させるＹテーブル４の高さＨ１と、円柱電極２が取り付けられているＣ軸７の回転中心高さＨ２とがずれている場合、Ｃ軸７の回転中心Ｃ１に対して導電性砥石１の砥石面１ａのうち、Ｙ方向に対してずれている方向の放電加工が減少する。このため、導電性砥石１の砥石面１ａの半円状の中心が、Ｃ軸７の回転中心Ｃ１に対して矯正される。そのため、導電性砥石１の砥石面１ａの半円の中心高さとＣ軸の回転中心高さを一致させることができる。
【0045】
このため、第２の工程の放電加工終了時、導電性砥石１の砥石面１ａの半円の中心のＹ方向における位置Ｈ１と、第２回転軸７ａのＹ方向における位置Ｈ２とが一致する。
【0046】
図２に戻って、第２の工程の後、導電性砥石１の砥石面１ａを放電加工する第３の工程が実行される（ステップＳ１０３）。
【0047】
図７は、図２の放電ツルーイング方法の第３の工程を示す概略斜視図である。図７に示すように、第３の工程は、第１の工程および第２の工程と同様に、導電性砥石１を第１回転軸６ａを中心に回転させ、かつ、円柱電極を第２回転軸７ａを中心に回転させた状態で行われる。図７に示すように、第３の工程では、導電性砥石１の砥石面１ａを、Ｘ方向において第１方向Ｄ１（図４参照）と反対側の第２方向Ｄ２から円柱電極２の側面２ａに向かって移動させて、砥石面１ａを側面２ａに接触させる。次に、導電性砥石１の砥石面１ａを円柱電極２の側面２ａに沿って円周方向に移動させる。このように、導電性砥石１の砥石面１ａを移動させつつ、放電回路２０により電圧を印加して、導電性砥石１の砥石面１ａを放電加工する。ここで、Ｘ方向における第２方向Ｄ２とは、図７において左から右に向かう方向である。
【0048】
導電性砥石１をこのように移動させることで、第３の工程では、円柱電極２の左側１２ｂに導電性砥石１の砥石面１ａを接触させて放電加工を行う。ここで、円柱電極２の左側１２ｂとは、図７において、円柱電極２の底面の中心を通るＹＺ平面（破線Ｓ１を通る平面）で円柱電極２を切断したときの左側の部分である。
【0049】
具体的には、図７に示すように、導電性砥石１の砥石面１ａを、円柱電極２の左側１２ｂで、円柱電極２の側面に沿って円周方向に移動しつつ、放電回路２０により電圧を印加する。第３の工程では、円柱電極の側面２ａのうち、第２の工程での放電加工の位置１３とＺ方向において異なる位置１４に導電性砥石１を配置し、Ｚ方向には移動させずに導電性砥石１を円柱電極２の側面２ａに沿って円周方向に移動させつつ放電加工を行う。また、第２の工程と同様に、導電性砥石１は、Ｘテーブル３およびＹテーブル４を数値制御装置の数値制御加工プログラムにより移動させて、円柱電極２の側面２ａに沿って円周方向に動かすことができる。このとき、放電加工は、第１の工程と同様に、導電性砥石１を第１回転軸６ａを中心に回転させ、かつ、円柱電極２を第２回転軸７ａを中心に回転させた状態で実行される。第３の工程の終了後のＸテーブル３の座標９が記録される。座標９は、第３の工程が終了したときの、Ｘ方向における第１回転軸６ａの位置を示す。
【0050】
第３の工程の放電加工終了時、第２の工程の終了時と同様に、導電性砥石１の砥石面１ａの半円の中心のＹ方向における位置Ｈ１と、第２回転軸７ａのＹ方向における位置Ｈ２とが一致する。
【0051】
第３の工程が終了すると、導電性砥石１の放電ツルーイングが完了する。第２の工程では円柱電極２の右側１２ａで砥石面１ａの放電加工を行い、第３の工程では円柱電極２の左側１２ｂで砥石面１ａの放電加工を行うため、導電性砥石１の形状精度を向上することができる。また、第２の工程と第３の工程とでは、円柱電極２の側面２ａのうちＺ方向において異なる位置で放電加工を行うため、放電加工による円柱電極２の消耗の影響を受けずに、導電性砥石１の放電ツルーイングを行うことができる。
【0052】
放電ツルーイングの終了後、円柱電極２に代わり、Ｃ軸７に加工されるワークを取り付けて回転軸合わせを行う。その後、導電性砥石１を用いて、ワークに対して任意の形状を転写加工する。
【0053】
ワークへの加工により、導電性砥石１の砥石面１ａに摩耗が発生した場合には、Ｃ軸７に再度円柱電極２を取り付けて回転軸合わせを行い、第２の工程および第３の工程を再び実行することで、導電性砥石１の形状精度を維持することができる。その結果、高精度な加工を継続的に実施することができる。
【0054】
［効果］
上述した実施の形態によると、加工精度を向上させた放電ツルーイング方法を提供することができる。
上述した実施の形態によると、加工精度を向上させた放電ツルーイング方法を提供することができる。
【0055】
第１の工程により、円柱電極２の真円度を向上させつつ、導電性砥石１の回転振れを除去することができる。真円度の向上した円柱電極２を用いて、第２の工程および第３の工程で導電性砥石１を放電加工することにより、導電性砥石１の形状精度を向上させることができる。したがって、加工対象のワークに対して、高精度な加工を実現することができる。
【0056】
なお、上述した実施の形態では、加工装置１００が３軸を有する例について説明したが、加工装置１００の軸構成はこれに限定されず、導電性砥石１と円柱電極２との位置を相対的に変化させることのできる軸構成であればよい。
【0057】
また、上述した実施の形態では、導電性砥石１として、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドにより固めた砥石を用いた例について説明したが、導電性砥石１の構成はこれに限定されず、放電加工を実施可能な、導電性を有する砥石であればよい。
【0058】
また、放電ツルーイング方法はさらに、第２の工程および第３の工程の終了後に、導電性砥石１の回転中心と第２回転軸７ａの回転中心とのＸ方向における位置を一致させる第４の工程を含んでもよい。
【0059】
第４の工程では、第２の工程で記録した座標８と第３の工程で記録した座標９との距離の１／２の位置に、数値制御加工プログラムによりＸテーブル３を移動させる。すなわち、Ｘテーブル３の位置の中間位置に、Ｘテーブル３を駆動させて導電性砥石１を配置する。第２の工程および第３の工程の後に、このようにＸテーブル３を移動させることにより、導電性砥石１の回転中心とＣ軸７の回転中心とのＸ方向における位置を一致させることができる。
【0060】
また、このときに、座標８と座標９との差から円柱電極２の直径を引くことにより、導電性砥石１の直径を算出することができる。
【0061】
このように、導電性砥石１のツルーイングの後に、導電性砥石１の回転中心とＣ軸７の回転中心とを一致させておくことにより、導電性砥石１の位置決めがなされた状態からワークの加工を開始することができる。すなわち、導電性砥石１のツルーイングの後、導電性砥石１の回転中心とＣ軸７の回転中心とのＸ方向における位置を一致させる工程が不要となる。その結果、ワークに対して高精度な加工を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【0062】
本開示は、加工機上で放電ツルーイングを際に特に有用である。
【符号の説明】
【0063】
１ 導電性砥石
１ａ 砥石面
２ 円柱電極
２ａ 側面
３ Ｘテーブル
４ Ｙテーブル
５ Ｚテーブル
６ａ 第１回転軸
７ａ 第２回転軸
２０ 放電回路
１００ 加工装置
１ａ 砥石面
２ 円柱電極
２ａ 側面
３ Ｘテーブル
４ Ｙテーブル
５ Ｚテーブル
６ａ 第１回転軸
７ａ 第２回転軸
２０ 放電回路
１００ 加工装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】