特許 7580103 データ伝送装置及びデータ伝送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-31

(45)【発行日】2024-11-11

(54)【発明の名称】データ伝送装置及びデータ伝送方法

(51)【国際特許分類】

   H04L 1/22 20060101AFI20241101BHJP

   H04W 76/15 20180101ALI20241101BHJP

   H04W 72/04 20230101ALI20241101BHJP

   H04W 24/04 20090101ALI20241101BHJP

【ＦＩ】

H04L1/22

H04W76/15

H04W72/04

H04W24/04

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2020102776

(22)【出願日】2020-06-15

(65)【公開番号】P2021197628

(43)【公開日】2021-12-27

【審査請求日】2023-06-05

(73)【特許権者】

【識別番号】000242600

【氏名又は名称】北陽電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107478

【弁理士】

【氏名又は名称】橋本 薫

(72)【発明者】

【氏名】日野 政典

(72)【発明者】

【氏名】林屋 利明

【審査官】北村 智彦

(56)【参考文献】

【文献】特開平０７－０４６２２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１２／００２４３１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００１－２８５１６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１８８５０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０７８１１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１９４７９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－０７６３３５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０４Ｌ １／００

Ｈ０４Ｌ １／０８－１／２４

Ｈ０４Ｂ １／７４

Ｈ０４Ｗ ７６／１５

Ｈ０４Ｗ ７２／０４５７

Ｈ０４Ｗ ２４／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに相対移動自在に設置される第１無線通信装置と第２無線通信装置で構成されるデータ伝送装置であって、
前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置の双方に、第１帯域で無線通信する第１送信部と第１受信部を備えた第１通信部と、前記第１帯域とは異なる第２帯域で無線通信する第２送信部と第２受信部を備えた第２通信部と、前記第１通信部と前記第２通信部の双方を制御する通信制御部と、前記通信制御部に送信データを入力するデータ入力部と、前記通信制御部から受信データを出力するデータ出力部を備え、
送信側の通信制御部は、前記データ入力部から入力された送信データを前記第１送信部と前記第２送信部を介して並行して送信するように制御し、データを送信する際に、前記データ入力部から入力された送信データを、前記第１送信部を介して第１周期で繰り返し送信し、前記第２送信部を介して前記第１周期の半周期以下の第２周期で繰り返し送信するように構成され、
受信側の通信制御部は、前記第１受信部と前記第２受信部を介して並行して受信した受信データの何れか一方を前記データ出力部から出力するように構成され、データを受信する際に、前記第１受信部を介して前記第１周期で受信した受信データと前記第２受信部を介して前記第２周期で受信した受信データの何れか一方を前記第１周期で前記データ出力部から出力するように構成されているデータ伝送装置。

【請求項2】

前記通信制御部は、前記第１受信部と前記第２受信部で受信した受信データの真偽を判別するデータ判別部を備え、前記データ判別部で真と判別した最新の受信データを前記データ出力部から出力するように構成されている請求項１記載のデータ伝送装置。

【請求項3】

前記通信制御部は、前記第１受信部を介して受信し前記データ判別部で真と判別した受信データを、前記第２受信部で受信した受信データの真偽にかかわらず前記データ出力部から出力し、前記第１受信部を介して受信した受信データを前記データ判別部で偽と判別すると、前記第２受信部を介して受信し前記データ判別部で真と判別した受信データを前記データ出力部から出力するように構成されている請求項２記載のデータ伝送装置。

【請求項4】

前記通信制御部は、前記第１周期で前記第１受信部を介して真の受信データを得ることができず、かつ、前記第１周期で前記第２受信部を介して真の受信データを得ることができない場合に、以前に前記第１受信部または前記第２受信部を介して受信した真の受信データで直近の受信データを前記データ出力部から出力するように構成されている請求項３記載のデータ伝送装置。

【請求項5】

前記通信制御部は、前記第１受信部及び前記第２受信部の双方で真の受信データを得ることができない状態が前記第１周期を単位として所定回数継続すると通信エラーと判定するように構成されている請求項２から４の何れかに記載のデータ伝送装置。

【請求項6】

前記通信制御部は、通信エラーと判定した場合にその状態を表示するモニタ表示部を備えている請求項５記載のデータ伝送装置。

【請求項7】

前記第１通信部の通信帯域である前記第１帯域が光通信帯域に設定されるとともに、前記第２通信部の通信帯域である前記第２帯域がＲＦ通信帯域に設定され、
前記通信制御部は、前記第１通信部を介して真の受信データを受信できない場合でも、前記第２通信部を介して真の受信データを受信できる場合には、前記第１通信部を介した相手側との通信の確立中に出力する状態信号を維持するように構成されている請求項２から６の何れかに記載のデータ伝送装置。

【請求項8】

前記通信制御部は、前記第１通信部及び／または前記第２通信部を介して受信した真の受信データを少なくとも前記第１周期の間保持する記憶部を備えている請求項２から７の何れかに記載のデータ伝送装置。

【請求項9】

前記第１通信部は、前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置の双方または何れか一方に装脱可能に接続され、
前記通信制御部は、前記第１周期の周期内で前記第１受信部及び前記第２受信部で受信した各受信データを比較し、各受信データが相違する場合に通信エラーと判定するように構成されている請求項１から８の何れかに記載のデータ伝送装置。

【請求項10】

前記通信制御部は、前記第１受信部及び前記第２受信部で受信した各受信データを過去に遡って比較し、一方のみに受信データの変化があった場合は、変化した受信データを前記データ出力部から出力する請求項１から９の何れかに記載のデータ伝送装置。

【請求項11】

前記通信制御部は、前記第１受信部及び前記第２受信部で受信した各受信データを過去に遡って比較し、各受信データが前記第１周期を単位として所定回数継続して相違する場合に故障と判断するように構成されている請求項１から１０の何れかに記載のデータ伝送装置。

【請求項12】

互いに相対移動自在に設置される第１無線通信装置と第２無線通信装置との間で実行されるデータ伝送方法であって、
前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置の双方が、第１帯域で無線通信する第１通信ステップと、前記第１帯域とは異なる第２帯域で無線通信する第２通信ステップと、を実行可能に構成され、
前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置のうち送信側の無線通信装置は、外部から送信データが入力されると、前記第１通信ステップと前記第２通信ステップを並行して実行することにより、相手方に同一の送信データを送信し、前記送信側の無線通信装置で実行される前記第１通信ステップは、前記送信データを第１周期で繰り返し送信し、前記第２通信ステップは、前記送信データを前記第１周期の半周期以下の第２周期で繰り返し送信するように構成され、
前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置のうち受信側の無線通信装置は、前記第１通信ステップと前記第２通信ステップを並行して実行して、受信データの何れか一方を受信データとして外部に出力するように構成され、
前記受信側の無線通信装置は、前記第１通信ステップを介して前記第１周期で受信した受信データと前記第２通信ステップを介して前記第２周期で受信した受信データの何れか一方を前記第１周期で外部に出力するように構成されているデータ伝送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体デバイスの製造設備などに組み込まれるデータ伝送装置及びデータ伝送方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスの製造設備では、各製造装置間で半導体ウェハを自動搬送するために、各製造装置に設けられたロードポート上に載置された複数枚の半導体ウェハが収容されたウェハキャリア装置を搬送するＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）と称する天井走行式無人搬送車（以下、「搬送台車」と記す。）などの自動搬送装置が用いられている。

【0003】

このような搬送台車と製造装置にはデータ伝送装置が組み込まれ、データ伝送装置を介して授受される制御情報に基づいて、搬送台車と製造装置間でウェハキャリア装置が移載される。このようなデータ伝送装置として、ＳＥＭＩスタンダ－ドＥ８４に規定されるインターロックシーケンスを具現化した８ビットパラレル光データ伝送装置が用いられる。

【0004】

特許文献１には、このようなデータ伝送装置として、ビット情報が予め設定された任意の周期とパルス数とを組み合わせたパルス信号に変調されるとともに、任意のビット数で構成されビット間に所定幅のヌル期間が設定されたフレームデータを、発光素子と受光素子を介して送受信する光データ伝送装置が開示されている。

【0005】

また、特許文献２には、光データ伝送装置に通信エラーが発生する場合に備えて、無線通信機能を備えた光データ伝送装置が提案されている。

【0006】

しかし、光データ伝送で通信エラーが発生したときに無線通信に切り替えるように構成されているので、その間の通信が途切れることとなり、ウェハキャリア装置の移送が円滑に行なえなくなるという問題や、光データ伝送と無線通信の双方のハードウェアを構築する必要があり、装置コストが嵩むという問題もあった。

【0007】

特許文献３には、パルス位置変調方式により変調された、送信すべき情報が重畳されている無線搬送波を送信する無線信号送信処理部と、前記パルス位置変調方式により変調された、前記送信すべき情報が重畳されている光搬送波を送信する光信号送信処理部と、前記無線信号送信処理部及び前記光信号送信処理部に共通する前記パルス位置変調方式に従って、前記送信すべき情報を変調するベースバンド処理部と、を含む送信装置、及び、パルス位置変調方式により変調された、受信すべき情報が重畳されている無線搬送波を受信する無線信号受信処理部と、前記パルス位置変調方式により変調された、前記受信すべき情報が重畳されている光搬送波を受信する光信号受信処理部と、前記無線信号受信処理部及び前記光信号受信処理部に共通する前記パルス位置変調方式に従って、前記受信すべき情報を復調するベースバンド処理部と、を含む受信装置を備えた通信装置が開示されている。

【0008】

当該通信装置では、ベースバンド処理部を共用可能に構成することで、回路構成を簡素化してコストの低減を図っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【文献】特開２０１０－１６１７３１号公報

【文献】特開２０１５－２１３３１８号公報

【文献】特開２００８－２７１５００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

しかし、特許文献３に記載された通信装置でも、光信号受信処理部と無線信号受信処理部の双方で受信されたデータをベースバンド処理部で同時に復調することができず、光信号受信処理部と無線信号受信処理部の何れか一方で受信エラーが発生すると、その後に他方の受信処理部に切り替える構成であるため、切り替えに要する時間に送信された受信データを受信することができずに消失するという問題が解消されることはない。

【0011】

この問題は、特許文献２，３のように赤外光を用いた光通信と高周波を用いた無線通信の組み合わせに限るものではなく、帯域の異なる二系統の通信を行う場合でも発生する。

【0012】

本発明の目的は、上述した従来の問題に鑑み、帯域が異なる二系統の通信を行う場合に、データの消失を伴わずに系統を切り替えることができるデータ伝送装置及びデータ伝送方法を提供する点にある。

【課題を解決するための手段】

【0013】

この目的達成をするため、本発明によるデータ伝送装置の第一の特徴構成は、互いに相対移動自在に設置される第１無線通信装置と第２無線通信装置で構成されるデータ伝送装置であって、前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置の双方に、第１帯域で無線通信する第１送信部と第１受信部を備えた第１通信部と、前記第１帯域とは異なる第２帯域で無線通信する第２送信部と第２受信部を備えた第２通信部と、前記第１通信部と前記第２通信部の双方を制御する通信制御部と、前記通信制御部に送信データを入力するデータ入力部と、前記通信制御部から受信データを出力するデータ出力部を備え、送信側の通信制御部は、前記データ入力部から入力された送信データを前記第１送信部と前記第２送信部を介して並行して送信するように制御し、データを送信する際に、前記データ入力部から入力された送信データを、前記第１送信部を介して第１周期で繰り返し送信し、前記第２送信部を介して前記第１周期の半周期以下の第２周期で繰り返し送信するように構成され、受信側の通信制御部は、前記第１受信部と前記第２受信部を介して並行して受信した受信データの何れか一方を前記データ出力部から出力するように構成され、データを受信する際に、前記第１受信部を介して前記第１周期で受信した受信データと前記第２受信部を介して前記第２周期で受信した受信データの何れか一方を前記第１周期で前記データ出力部から出力するように構成されている点にある。

【0014】

第１無線通信装置と第２無線通信装置の其々に通信帯域の異なる第１通信部と第２通信部を備え、双方に備えた通信制御部によって第１通信部同士及び第２通信部同士で其々通信するように制御される。送信側の無線通信装置では、データ入力部を介して入力された送信データが通信制御部によって第１通信部に備えた第１送信部と第２通信部に備えた第２送信部を介して並行して送信され、受信側の無線通信装置では、送信データが第１通信部に備えた第１受信部と第２通信部に備えた第２受信部を介して並行して受信され、通信制御部によって何れか一方がデータ出力部から出力される。第１通信部と第２通信部の何れか一方に通信障害が発生しても、他方で通信障害が発生しない限りは受信データの消失という不都合な状態が発生しない。

【0015】

送信側の無線通信装置では、データ入力部から入力された送信データが、第１送信部から第１周期で繰り返し送信され、第２送信部から第２周期で繰り返し送信される。送信データに変化がない場合には、第１送信部から第１周期で同一のデータが繰り返し送信され、第２送信部から第２周期で同一のデータが繰り返し送信される。第２周期は第１周期の半周期以下の周期に設定されているため、第１送信部から送信データが１回送信される間に第２送信部から同一の送信データが少なくとも２回以上送信される。受信側の無線通信装置では、第１受信部によって第１周期で受信データが得られ、第２受信部によって第２周期で受信データが得られるので、通信制御部は第１受信部の受信データと第２受信部の受信データの何れかを選択してデータ出力部から第１周期、つまり長い方の周期で出力する。製品として要求される通信周期を第１周期に設定すれば、第１周期内で通信の冗長性を確保することができる。

【0016】

同第二の特徴構成は、上述した第一の特徴構成に加えて、前記通信制御部は、前記第１受信部と前記第２受信部で受信した受信データの真偽を判別するデータ判別部を備え、前記データ判別部で真と判別した最新の受信データを前記データ出力部から出力するように構成されている点にある。

【0017】

データ判別部を備えることにより受信データの信頼性を保証することができ、仮にデータ判別部で何れか一方の受信データが偽と判定されるような場合でも、真と判定された他方の受信データの最新値が受信データとして採用されるので、送信データの切り替わりから受信データの切り替わりまでの著しい遅延を回避することができる。

【0018】

同第三の特徴構成は、上述した第二の特徴構成に加えて、前記通信制御部は、前記第１受信部を介して受信し前記データ判別部で真と判別した受信データを、前記第２受信部で受信した受信データの真偽にかかわらず前記データ出力部から出力し、前記第１受信部を介して受信した受信データを前記データ判別部で偽と判別すると、前記第２受信部を介して受信し前記データ判別部で真と判別した受信データを前記データ出力部から出力するように構成されている点にある。

【0019】

第１受信部で受信され真と判別された受信データが優先してデータ出力部から出力される。第１受信部で受信された受信データが偽と判別される場合には、第２受信部で受信され真と判別された受信データが補完的に出力される。従って、受信データの欠落が回避できる。

【0020】

同第四の特徴構成は、上述した第三の特徴構成に加えて、前記通信制御部は、前記第１周期で前記第１受信部を介して真の受信データを得ることができず、かつ、前記第１周期で前記第２受信部を介して真の受信データを得ることができない場合に、以前に前記第１受信部または前記第２受信部を介して受信した真の受信データで直近の受信データを前記データ出力部から出力するように構成されている点にある。

【0021】

第１周期で第１受信部及び第２受信部の何れでも真の受信データが得られない場合に、第１受信部または第２受信部を介して受信した真の受信データで直近の受信データが補完的に出力される。従って、受信データの欠落が回避できる。

【0022】

同第五の特徴構成は、上述した第二から第四の何れかの特徴構成に加えて、前記通信制御部は、前記第１受信部及び前記第２受信部の双方で真の受信データを得ることができない状態が前記第１周期を単位として所定回数継続すると通信エラーと判定するように構成されている点にある。

【0023】

第１受信部及び第２受信部の双方で真の受信データが得られない場合に、直ちに通信エラーにすると、その後に正常復帰してもデータ伝送装置を組み込んだシステムが停止する虞がある。しかし、真の受信データを得ることができない状態が第１周期を単位として所定回数継続するまでに正常復帰すると、データ伝送装置を組み込んだシステムの停止を招くことがない。そこで、受信データの更新不能な状態が許容できる限度を、第１周期を単位として所定回数に設定するものである。

【0024】

同第六の特徴構成は、上述した第五の特徴構成に加えて、前記通信制御部は、通信エラーと判定した場合にその状態を表示するモニタ表示部を備えている点にある。

【0025】

モニタ表示部の表示状態を確認することで、どのような状態であるのかが容易に判断できる。

【0026】

同第七の特徴構成は、上述した第二から第六の何れかの特徴構成に加えて、前記第１通信部の通信帯域である前記第１帯域が光通信帯域に設定されるとともに、前記第２通信部の通信帯域である前記第２帯域がＲＦ通信帯域に設定され、前記通信制御部は、前記第１通信部を介して真の受信データを受信できない場合でも、前記第２通信部を介して真の受信データを受信できる場合には、前記第１通信部を介した相手側との通信の確立中に出力する状態信号を維持するように構成されている点にある。

【0027】

光通信を行なう受信側の第１通信部と送信側の第１通信部との間で通信が確立すると、受信側の第１通信部が状態信号をオン状態に切り替え、通信が途絶えると状態信号をオフ状態に切り替える。送信側の第１通信部は状態信号がオフ状態に切り替わると、通信エラーに伴って処理の中断を招くことになる。しかし、光通信を行なう第１通信部を介して真の受信データを受信できない場合でも、ＲＦ（Radio Frequency）通信を行なう第２通信部を介して真の受信データを受信できる場合には、受信側の第１通信部が状態信号を維持するため、通信エラーに伴う処理の中断を招くことがない。

【0028】

同第八の特徴構成は、上述した第二から第七の何れかの特徴構成に加えて、前記通信制御部は、前記第１通信部及び／または前記第２通信部を介して受信した真の受信データを少なくとも前記第１周期の間保持する記憶部を備えている点にある。

【0029】

例えば、第１通信部を介して受信した受信データが偽であっても、当該受信データに対応する第１周期に第２通信部を介して受信した真の受信データを記憶部に記憶することで、次の第１周期に記憶部から読み出した真の受信データをデータ出力部から出力することができる。第２通信部を介して受信した受信データが偽である場合も同様である。

【0030】

同第九の特徴構成は、上述した第一から第八の何れかの特徴構成に加えて、前記第１通信部は、前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置の双方または何れか一方に装脱可能に接続され、前記通信制御部は、前記第１周期の周期内で前記第１受信部及び前記第２受信部で受信した各受信データを比較し、各受信データが相違する場合に通信エラーと判定するように構成されている点にある。

【0031】

例えば、第１無線通信装置が受信側として機能し、第１通信部が第１無線通信装置に装脱可能に構成されているような場合で、第１通信部から第１無線通信装置に入力された受信データの真偽が通信制御部で検証できないような場合には、第１周期の周期内で第１受信部及び第２受信部で受信した各受信データを比較し、各受信データが相違する場合に通信エラーと判定することができる。

【0032】

同第十の特徴構成は、上述した第一から第九の何れかの特徴構成に加えて、前記通信制御部は、前記第１受信部及び前記第２受信部で受信した各受信データを過去に遡って比較し、一方のみに受信データの変化があった場合は、変化した受信データを前記データ出力部から出力する点にある。

【0033】

同第十一の特徴構成は、上述した第一から第十の何れかの特徴構成に加えて、前記通信制御部は、前記第１受信部及び前記第２受信部で受信した各受信データを過去に遡って比較し、各受信データが前記第１周期を単位として所定回数継続して相違する場合に故障と判断するように構成されている点にある。

【0034】

本発明によるデータ伝送方法の第一の特徴構成は、互いに相対移動自在に設置される第１無線通信装置と第２無線通信装置との間で実行されるデータ伝送方法であって、前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置の双方が、第１帯域で無線通信する第１通信ステップと、前記第１帯域とは異なる第２帯域で無線通信する第２通信ステップと、を実行可能に構成され、前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置のうち送信側の無線通信装置は、外部から送信データが入力されると、前記第１通信ステップと前記第２通信ステップを並行して実行することにより、相手方に同一の送信データを送信し、前記送信側の無線通信装置で実行される前記第１通信ステップは、前記送信データを第１周期で繰り返し送信し、前記第２通信ステップは、前記送信データを前記第１周期の半周期以下の第２周期で繰り返し送信するように構成され、前記第１無線通信装置と前記第２無線通信装置のうち受信側の無線通信装置は、前記第１通信ステップと前記第２通信ステップを並行して実行して、受信データの何れか一方を受信データとして外部に出力するように構成され、前記受信側の無線通信装置は、前記第１通信ステップを介して前記第１周期で受信した受信データと前記第２通信ステップを介して前記第２周期で受信した受信データの何れか一方を前記第１周期で外部に出力するように構成されている点にある。

【発明の効果】

【0035】

以上説明したように、本発明によれば、帯域が異なる二系統の通信を行う場合に、データの消失を伴わずに系統を切り替えることができるデータ伝送装置及びデータ伝送方法を提供することができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【0036】

【図1】データ伝送装置が組み込まれた半導体デバイスの製造設備の説明図

【図2】製造装置とＯＨＴの間のデータの送受信シーケンスの説明図

【図3】製造装置とＯＨＴの間のデータの送受信に伴う動作の説明図

【図4】（ａ）はデータ伝送装置の機能ブロック構成図、（ｂ）は送信側と受信側の無線通信装置の接続態様を示すデータ伝送装置の説明図、（ｃ）は第１通信部が装脱自在に構成された態様の説明図

【図5】第１通信部で送受信されるフレームデータの波形説明図

【図6】データ伝送装置で正常に遣り取りされる通信データのタイミングチャート

【図7】比較例を示し、データ伝送装置の第１通信部のみで遣り取りされ、通信エラーが発生した場合の通信データのタイミングチャート

【図8】比較例を示し、データ伝送装置で通信エラーが発生した場合の通信データのタイミングチャート

【図9】本発明のデータ伝送装置で通信エラーが発生した場合の通信データのタイミングチャート

【図10】データ伝送装置の具体的な構成例を示す説明図

【図11】（ａ）は図１０に示したデータ伝送装置の応用例の説明図、（ｂ）は図１０に示したデータ伝送装置の応用例の説明図

【図12】（ａ）は図１０に示したデータ伝送装置の応用例の説明図、（ｂ）は図１０に示したデータ伝送装置の応用例の説明図

【発明を実施するための形態】

【0037】

以下に本発明によるデータ伝送装置及びデータ伝送方法の実施形態を説明する。
［データ伝送装置が使用されるシステムの例示］
図１に示すように、半導体デバイスの製造設備では、半導体ウェハに順次所定の処理を施すための各種の製造装置ＭＥ（ＭＥ１，ＭＥ２，ＭＥ３，ＭＥ４）が通路ＰＷに沿って配設されている。各製造装置ＭＥ間で半導体ウェハＷを自動搬送するために、製造装置ＭＥの上部空間に設置された走行レールＲに沿って搬送台車ＯＨＴが走行可能に設けられ、各製造装置ＭＥに設けられたロードポートＬＰとの間でウェハキャリア装置ＣＲを受け渡しするように構成されている。

【0038】

搬送台車ＯＨＴは、走行レールＲに沿って自走する走行機構１を備えた基台２に、ウェハキャリア装置ＣＲを掴持するためのチャック機構３を備えた昇降体４を所定の昇降経路に沿って昇降させる昇降機構５が組み込まれている。

【0039】

昇降機構５は、昇降体４と、昇降体４の上面の所定の箇所に一端が固着された複数のベルト６と、ベルト６の夫々の他端が固着された巻取軸を回転駆動する昇降用モータを備え、基台２に設けられた昇降用モータの駆動によりベルト６が巻き上げまたは繰り出され、昇降体４が基台２に対して昇降可能に構成されている。

【0040】

チャック機構３は、ウェハキャリア装置ＣＲの上面の被掴持部を掴持するための一対の爪３Ａを備え、昇降体４内部に備えた掴持用ソレノイドまたはモータの駆動により、爪３Ａが掴持姿勢または開放姿勢となることでウェハキャリア装置ＣＲを掴持又は開放するように構成されている。

【0041】

このような搬送台車ＯＨＴは、例えば、走行レールＲに組み込まれた通信インタフェースを介してホストコンピュータと通信可能なシステム通信部を備え、ホストコンピュータからの指示に基づいて、所定の製造装置ＭＥに走行し、当該製造装置ＭＥとの間でウェハキャリア装置ＣＲを授受するように構成されている。

【0042】

搬送台車ＯＨＴと各製造装置ＭＥとの間でウェハキャリア装置ＣＲを授受するために、ＳＥＭＩ Ｅ８４－０２００Ａインタフェース規格に基づき動作するデータ伝送装置１０が組み込まれている。当該データ伝送装置１０は、搬送台車ＯＨＴ側に設けられた第１無線通信装置１０Ａと製造装置ＭＥ側に設けられた第２無線通信装置１０Ｂとで構成されている。

【0043】

搬送台車ＯＨＴには、システム通信部を介してホストコンピュータからの指令に基づいて所定の製造装置ＭＥに移動するために走行機構１を制御し、データ伝送装置１０を介した製造装置ＭＥとの送受信データに基づいて昇降機構５及びチャック機構３等を制御する制御装置が搭載されている。

【0044】

［データ伝送装置の説明］
図２及び図３には、ＳＥＭＩ Ｅ８４－０２００Ａインタフェース規格に基づいて、能動機器側の搬送台車ＯＨＴに設けられた第１無線通信装置１０Ａと受動機器側の製造装置ＭＥに設けられた第２無線通信装置１０Ｂとの間で行なわれる信号の遣り取りが示されている。第１無線通信装置１０Ａと第２無線通信装置１０Ｂにより本発明のデータ伝送装置１０が構成される。

【0045】

搬送台車ＯＨＴが製造装置ＭＥに対する所定位置に到達すると、第１無線通信装置１０ＡはＣＳ－０信号を出力して希望するロードポート番号を選択し、通信可能状態を示すＶＡＬＩＤ信号を出力する。

【0046】

ＶＡＬＩＤ信号を検出した第２無線通信装置１０Ｂが選択されたロードポート番号が準備できている旨の信号Ｌ－ＲＥＱを出力すると、第１無線通信装置１０Ａは移載要求信号ＴＲ－ＲＥＱを出力する。移載要求信号ＴＲ－ＲＥＱを受けた第２無線通信装置１０Ｂが移載要求受理信号ＲＥＡＤＹを出力すると、第１無線通信装置１０Ａは移載開始信号ＢＵＳＹを出力して、搬送台車ＯＨＴからウェハキャリア装置ＣＲが移載される。

【0047】

定位置にウェハキャリア装置ＣＲが移載されると第２無線通信装置１０Ｂの信号Ｌ－ＲＥＱがオフされ、これを受けて第１無線通信装置１０Ａは移載開始信号ＢＵＳＹをオフし、移載要求信号ＴＲ－ＲＥＱをオフするとともに、移載終了信号ＣＯＭＰＴを出力する。移載終了信号ＣＯＭＰＴを受けた第２無線通信装置１０Ｂは移載要求受理信号ＲＥＡＤＹをオフし、その後第１無線通信装置１０Ａは移載終了信号ＣＯＭＰＴ及びＶＡＬＩＤ信号をオフして移載動作を終了する。

【0048】

図４（ａ）に示すように、データ伝送装置１０は、搬送台車ＯＨＴと製造装置ＭＥとの関係のように、互いに相対移動自在に設置される第１無線通信装置１０Ａと第２無線通信装置１０Ｂで構成されている。

【0049】

第１無線通信装置１０Ａと第２無線通信装置１０Ｂの双方に、第１帯域で無線通信する第１送信部１１Ｔと第１受信部１１Ｒを備えた第１通信部１１と、第１帯域とは異なる第２帯域で無線通信する第２送信部１２Ｔと第２受信部１２Ｒを備えた第２通信部１２と、第１通信部１１と第２通信部１２の双方を制御する通信制御部１５と、通信制御部１５に送信データを入力するデータ入力部１３と、通信制御部１５から受信データを出力するデータ出力部１４と、第１通信部１１及び／または第２受信部１２Ｒの通信アドレスなどの通信条件を設定する通信設定部１６と、を備えている。通信設定部１６にはＲＳ２３２Ｃなどの汎用のシリアル通信ポートが設けられ、シリアル通信ポートを介して外部から通信条件を設定することができるように構成されている。

【0050】

データ入力部１３及びデータ出力部１４で入出力されるパラレル信号が、図２で説明したＳＥＭＩ Ｅ８４－０２００Ａインタフェース規格に準じた各信号となる。データ伝送装置１０は、搬送台車ＯＨＴと製造装置ＭＥとの間で遣り取りするパラレル信号を第１帯域と第２帯域の２系統の無線信号に変換して送受信する装置である。

【0051】

通信制御部１５は、ＣＰＵ及びメモリを備えた論理回路で構成され、データ入力部１３から入力された送信データを第１送信部１１Ｔと第２送信部１２Ｔを介して並行して送信するように制御し、第１受信部１１Ｒと第２受信部１２Ｒを介して並行して受信した受信データの何れか一方をデータ出力部から出力するように構成されている。

【0052】

詳述すると、通信制御部１５は、データ入力部１３から入力されたパラレル信号を送信データとして第１送信部１１Ｔと第２送信部１２Ｔの其々に受け渡す送信処理部１５Ａと、第１受信部１１Ｒで受信された受信データの真偽を判別する第１判別部１５Ｂと、第２受信部１２Ｒで受信された受信データの真偽を判別する第２判別部１５Ｃと、第１判別部１５Ｂから得られた受信データと第２判別部１５Ｃから得られた受信データとを比較して決定した受信データをデータ出力部１４に出力する比較部１５Ｄと、モニタ表示部１５Ｆと、比較部１５Ｄで受信エラーを検出するとモニタ表示部１５Ｆに備えたエラー表示を点灯制御するエラー処理部１５Ｅを備えている。

【0053】

第１通信部１１は、その通信帯域である第１帯域が光通信帯域に設定されるとともに、第２通信部１２は、その通信帯域である第２帯域がＲＦ（Radio Frequency）通信帯域に設定されている。

【0054】

第１送信部１１Ｔは、ベースバンド信号である送信データを所定のフレームデータのパルス信号に変調する変調回路と、変調回路で変調されたパルス信号を出力する発光素子である赤外域のＬＥＤを備えて構成され、第１受信部１１Ｒは光パルス信号を受信する受光素子であるフォトダイオードと、フォトダイオードで受光し、電気信号に変換されたフレームデータであるパルス信号をベースバンド信号である受信データに復調する復調回路を備えている。

【0055】

図５に示すように、フレームデータは、フレームの先頭を示すスタートビットＳＴＡと、複数のデータビットＤと、データビットＤのパリティを示すパリティビットＰと、フレームの終了を示すストップビットＳＴＰで構成されている。

【0056】

０または１で表される各ビット情報は、二種類のパルス周期と、二種類のパルス数の組合せで定義されている。

【0057】

スタートビットＳＴＡ、ストップビットＳＴＰ、データビットＤの０、データビットＤの１、パリティビットＰの其々に、上述した固有のパルス周期及びパルス数の組が定義されている。

【0058】

さらに、各ビットを構成するパルス出力期間ＳＰの間、即ち、各ビット間には所定時間のヌル期間ＮＰが設定されている。以後、パルス出力期間ＳＰに検出される一連のパルス信号をビットグループとも表記する。

【0059】

つまり、ビット情報が予め設定された任意の周期とパルス数とを組み合わせたパルス信号に変調されるとともに、任意のビット数で構成されビット間に所定幅のヌル期間が設定されたフレームデータが第１通信部１１間で送受信される。

【0060】

尚、ビット情報を示す周期とパルス数及びその組合せ、ヌル期間の長さ、フレームデータに含まれるデータビット数はシステムに応じて任意に設定されるものである。また、本明細書では詳述しないが、上述のフレームデータ以外に第１通信部１１間でハンドシェークのための他の信号が他の発光素子と受光素子を介して授受されるように構成されるものであってもよい。また、上述のフレームデータにデータ入力部から入力されたパラレル信号以外の他の信号が含まれるように構成されるものであってもよい。

【0061】

第２通信部１２は、５ＧＨｚ帯と２．４ＧＨｚ帯の無線伝送が可能な規格ＩＥＥＥ８０２．１１に準拠したＷｉ－Ｆｉ用のＲＦ無線通信部（Ｗｉ ＦｉはＷｉ－Ｆｉ Ａｌｌｉａｎｃｅの登録商標）であり、第２送信部１２Ｔは、ベースバンド信号である送信データからフレームデータを生成して５ＧＨｚ帯と２．４ＧＨｚ帯の無線信号に変調するデジタル変調回路と、デジタル変調回路で変調されたフレームデータを出力する送信アンテナを備えて構成され、第２受信部１２Ｒは高周波信号を受信する受信アンテナと、受信アンテナで受信したフレームデータをベースバンド信号に変換するデジタル復調回路を備えている。なお、ＩＥＥＥ８０２．１１に準拠したＲＦ無線通信部の構成は周知であるので詳細な説明は割愛する。

【0062】

図６に示すように、通信制御部１５は、第１送信部１１Ｔを介して第１周期Ｔ１でフレームデータを繰り返し送信し、第２送信部１２Ｔを介して第２周期Ｔ２でフレームデータを繰り返し送信するように構成されている。本実施形態では第１周期Ｔ１が２０ｍｓｅｃ．に設定され、第２周期Ｔ２が３．３ｍｓｅｃ．に設定されている。従って、基本的には第１受信部１１Ｒは第１周期Ｔ１でデータを受信し、第２受信部１２Ｒは第２周期Ｔ２でデータを受信することとなる。

【0063】

各通信制御部１５は、接続機器に対して通信状態を報知するための信号として「ＧＯ」信号を出力するように構成されている。即ち、相手方との通信が確立した状態で「ＧＯ」信号が立ち上げられ、所定のリトライ回数で通信が回復しない場合に「ＧＯ」信号が立ち下げられる。

【0064】

なお、以下の図６～図９においては、第１無線通信装置と第２無線通信装置との間における半二重通信の一方向の送受信動作を簡略化して表示している。送信側から受信側へのフレームデータの周期中の空白期間には、図示しない他方向への送受信が行われる。

【0065】

第１送信部１１Ｔを介して第１周期Ｔ１で繰り返し送信し、第２送信部１２Ｔを介して第１周期Ｔ１の半周期以下の相対的に短い時間の第２周期Ｔ２で繰り返し送信するように構成されていればよく、第１周期Ｔ１と第２周期Ｔ２の具体的な値は限定するものではない。

【0066】

そして、通信制御部１５に備えた比較部１５Ｄは、第１受信部１１Ｒを介して第１周期Ｔ１で受信した受信データと第２受信部１２Ｒを介して第２周期Ｔ２で受信した受信データを比較して何れか一方を第１周期Ｔ１でデータ出力部１４から出力する。

【0067】

図６に示すように、８ビットのパラレル信号ＩＮ１～ＩＮ８のうちＩＮ１のみが「１」を示す場合に、バイナリデータ０００００００１Ｂを表す１フレームのデータが、第１送信部１１Ｔから周期Ｔ１で繰返し繰り返し送信され、第２送信部１２Ｔから周期Ｔ２で繰り返し送信される。

【0068】

それらを受けて、バイナリデータ０００００００１Ｂを表す１フレームのデータが、第１受信部１１Ｒにより周期Ｔ１で繰返し繰り返し受信され、第２受信部１２Ｒにより周期Ｔ２で繰り返し受信される。

【0069】

少なくとも、８ビットのパラレル信号ＩＮ１～ＩＮ８は、周期Ｔ１の２倍の時間２Ｔ１の間は信号値が変化しないように、逆に言うと周期Ｔ１は、８ビットのパラレル信号ＩＮ１～ＩＮ８の最短の信号切替周期の１／２の値以上の値に設定されている。図６の例では、第１受信部１１Ｒにより常時正常に受信されているため、第１受信部１１Ｒで受信されたデータがデータ出力部１４から出力される。

【0070】

図４（ａ）に示した第１判別部１５Ｂと第２判別部１５Ｃにより、第１受信部１１Ｒと第２受信部１２Ｒで受信した受信データの真偽を判別するデータ判別部が構成され、データ判別部１５Ｂ，１５Ｃで真と判別した最新の受信データが比較部１５Ｄを介してデータ出力部１４から出力される。

【0071】

データ判別部１５Ｂ，１５Ｃでは、第１受信部１１Ｒと第２受信部１２Ｒで受信されたフレームデータデータが其々適正なデータであるか否かが判別される。具体的には、フレームデータのデータ長、ヘッダー、フッター、パリティ、ＣＲＣなどの値が適正であるか否かに基づいて適正なデータであるか否かが判別される。これらの判別はベースバンド信号を抽出する前のフレームデータに対して行なわれるため、データ判別部１５Ｂ，１５Ｃの機能の一部は第１受信部１１Ｒと第２受信部１２Ｒに備わっている場合もある。

【0072】

データ判別部１５Ｂ，１５Ｃにより受信データの信頼性を保証することができ、仮にデータ判別部１５Ｂ，１５Ｃで何れか一方の受信データが偽と判定されるような場合でも、比較部１５Ｄでは真と判定された他方の受信データの最新値が受信データとして採用される。比較部１５Ｄにはデータバッファとして機能する記憶部が設けられ、正常判定された所定周期の受信データが格納可能に構成されている。

【0073】

例えば、第１通信部１１を介して受信した受信データが偽であっても、当該受信データに対応する第１周期Ｔ１に第２通信部１２を介して受信した真の受信データを記憶部に記憶することで、次の第１周期Ｔ１に記憶部から読み出した真の受信データをデータ出力部から出力することができる。

【0074】

通信制御部１５に備えた比較部１５Ｄは、第１受信部１１Ｒを介して受信しデータ判別部１５Ｂで真と判別した受信データを、第２受信部１２Ｒで受信した受信データの真偽にかかわらずデータ出力部１４から出力し、第１受信部１１Ｒを介して受信した受信データをデータ判別部１５Ｂで偽と判別すると、第２受信部１２Ｒを介して受信しデータ判別部１５Ｃで真と判別した受信データをデータ出力部１４から出力するように構成されている。

【0075】

第１受信部１１Ｒで受信され真と判別された受信データが優先してデータ出力部から出力される。第１受信部１１Ｒで受信された受信データが偽と判別される場合には、第２受信部１２Ｒで受信され真と判別された受信データが補完的に出力される。従って、受信データの欠落が回避できる。

【0076】

さらに、通信制御部１５は、第１周期Ｔ１で第１受信部１１Ｒを介して真の受信データを得ることができず、かつ、第１周期Ｔ１で第２受信部１２Ｒを介して真の受信データを得ることができない場合に、以前に第１受信部１１Ｒを介して受信した真の受信データで直近の受信データをデータ出力部１４から出力するように構成されている。

【0077】

第１周期Ｔ１で第１受信部１１Ｒ及び第２受信部１２Ｒの何れでも真の受信データが得られない場合に、第１受信部１１Ｒを介して受信した真の受信データで直近の受信データが補完的に出力される。従って、受信データの欠落が回避できる。

【0078】

通信制御部１５は、第１受信部１１Ｒ及び第２受信部１２Ｒの双方で真の受信データを得ることができない状態が第１周期を単位として所定回数継続すると通信エラーと判定するように構成されている。

【0079】

第１受信部１１Ｒ及び第２受信部１２Ｒの双方で真の受信データが得られない場合に、直ちに通信エラーにすると、その後に正常復帰してもデータ伝送装置１０を組み込んだシステムが停止する虞がある。

【0080】

しかし、真の受信データを得ることができない状態が第１周期Ｔ１を単位として所定回数継続するまでに正常復帰すると、データ伝送装置１０を組み込んだシステムの停止を招くことがない。そこで、受信データの更新不能な状態が許容できる限度を、第１周期を単位として所定回数に設定するものである。具体的には、第１周期Ｔ１を単位として３回から５回の範囲に設定されているが、このような値に限るものではない。

【0081】

図７には、比較例として、第１通信部１１のみを備え第２通信部１２を備えていない第１及び第２無線通信装置１０Ａ，１０Ｂの信号のタイミングチャートが示されている。基本的に第２通信部１２を備えた第１及び第２無線通信装置１０Ａ，１０Ｂと同様に動作する。

【0082】

時刻ｔ１以前に通信が確立しており、その旨を示す状態信号である「ＧＯ」信号が受信側の通信制御部１５によりオンにされた状態から、通信が途切れて状態信号をオフする場合に、その直前の正常な受信データを維持して出力（図７では「リトライ」と記されている。）するように構成されている。

【0083】

通信制御部１５または第１受信部１１Ｒは、正常受信する度に監視タイマをリスタートさせ、監視タイマがタイムアウトを検出すると受信ができなかったと判断する異常判定処理を実行するように構成されている。つまり、データ判別部１５Ｂ，１５Ｃで実行されるフレームデータのエラー判定と、上述の異常判定処理の双方で通信エラーを判定するように構成されている。

【0084】

時刻ｔ２で通信エラーが発生しても時刻ｔ２が属する第１周期Ｔ１の次の第１周期Ｔ１が経過する迄の間は状態信号を維持して、正常受信された直近の受信データを当該次の第１周期Ｔ１の間に出力するように構成されている。

【0085】

時刻ｔ３でも通信エラーが継続して発生すると、通信制御部１５は状態信号をオフする。その後、時刻ｔ６で正常に受信すると状態信号をオンして通信を継続する。この例では、時刻ｔ２以降に連続して通信エラーが発生すると、通信が途絶えて受信データが途切れることになる。

【0086】

図８には、他の比較例として、第１通信部１１及び第２通信部１２を備え、送信側の無線通信装置１０Ａから送信データを第１送信部１１Ｔ及び第２送信部１２Ｔから並行して送信しつつ、受信側の無線通信装置１０Ｂで第１受信部１１Ｒに連続して通信エラーが発生したときに第２受信部１２Ｒの受信に切り替える例が示されている。連続して通信エラーが発生すると、状態信号はオフ状態になる。

【0087】

この例では、時刻ｔ２、ｔ３で連続して第１受信部１１Ｒで通信エラーが発生する迄の間は、第２受信部１２Ｒが動作しておらず、時刻ｔ４で第２受信部１２Ｒが作動しても、時刻ｔ４の属する第１周期Ｔ１で受信データが欠落することとなり、受信の切り替えによるタイムロスが発生する。

【0088】

図９に示すように、本発明によるデータ伝送装置１０によれば、送信側の無線通信装置１０Ａから送信データを第１送信部１１Ｔ及び第２送信部１２Ｔから並行して送信しつつ、受信側の無線通信装置１０Ｂで第１受信部１１Ｒ及び第２受信部１２Ｒで並行して受信しているため、時刻ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔ５で連続して第１受信部１１Ｒで通信エラーが発生しても、第２受信部１２Ｒで正常に受信されているため、第１周期Ｔ１の間に第１受信部１１Ｒと第２受信部１２Ｒ何れか一方で正常に受信データが得られると、受信データが欠落することがない。そして、第１周期Ｔ１の其々で正常に受信された最新の受信データが、次の第１周期Ｔ１で出力される。

【0089】

そして、通信制御部１５は、第１通信部１１を介して真の受信データを受信できない場合でも、第２通信部１２を介して真の受信データを受信できる場合には、第１通信部１１を介した相手側との通信の確立中に出力する状態信号を維持するように構成されている。

【0090】

上述したように、光通信を行なう受信側の第１通信部１１と送信側の第１通信部１１との間で通信が確立すると、受信側の第１通信部１１が状態信号をオン状態に切り替え、通信が途絶えると状態信号をオフ状態に切り替える。送信側の第１通信部１１は状態信号がオフ状態に切り替わると、通信エラーに伴って処理の中断を招くことになる。

【0091】

しかし、光通信を行なう第１通信部１１を介して真の受信データを受信できない場合でも、ＲＦ通信を行なう第２通信部１２を介して真の受信データを受信できる場合には、受信側の第１通信部１１が状態信号を維持するため、通信エラーに伴って処理の中断を招くことがない。

【0092】

図４（ｂ），（ｃ）には、図４（ａ）に示したデータ伝送装置１０の構成態様が示されている。図４（ｂ）は、図４（ａ）に示した第１無線通信部１０Ａと第２無線通信部１０Ｂが、第１通信部１１を介して光通信され、第２通信部１２を介して無線通信される態様が示されている。光通信の通信可能距離は１ｍ程度に設定され、無線通信の通信可能距離は１０ｍ程度に設定される。

【0093】

図４（ｃ）は、第１無線通信部１０Ａと第２無線通信部１０Ｂの其々に備えた第１通信部１１が、第２通信部１２などを備えた本体に対して装脱自在に構成された態様が示されている。第１通信部１１が本体に対して装脱自在に構成されることにより設置の自由度が高くなる。つまり、設置時の第１通信部１１同士の光軸の合わせ込みが容易になる。

【0094】

第１通信部１１が本体に対して装脱自在な構成では、通信制御部１５が第１通信部１１での受信データのエラー検出が困難になる場合がある。第１通信部１１から入力された受信データが第１周期前のデータに維持されている可能性がある。しかし、そのような場合でも、通信制御部１５は、第１周期Ｔ１の周期内で第１受信部１１Ｒ及び第２受信部１２Ｒで受信した各受信データを比較し、各受信データが相違する場合に通信エラーと判定するように構成することができる。なお、このような判定処理は、第１通信部１１が本体と一体に構成されている場合でも採用できる。

【0095】

同様に、通信制御部１５は、第１受信部１１Ｒ及び第２受信部１２Ｒで受信した各受信データを過去に遡って比較し、一方のみに受信データの変化があった場合は、変化した受信データをデータ出力部から出力するように構成してもよい。

【0096】

受信データが変化しないのは通信エラーが生じているか、故障しているか何れかであると判定するのである。

【0097】

通信制御部１５は、第１受信部１１Ｒ及び第２受信部１２Ｒで受信した各受信データを過去に遡って比較し、各受信データが第１周期を単位として所定回数継続して相違する場合に故障と判断するように構成してもよい。基本的に、同一の受信データであるべきところ、第１周期を単位として所定回数継続して相違すると、何れかの受信部１１Ｒ，１２Ｒに故障が発生している蓋然性があるからである。

【0098】

以上説明したように、本発明によるデータ伝送方法は、互いに相対移動自在に設置される第１無線通信装置と第２無線通信装置との間で実行されるデータ伝送方法であって、第１無線通信装置と第２無線通信装置の双方が、第１帯域で無線通信する第１通信ステップと、第１帯域とは異なる第２帯域で無線通信する第２通信ステップと、を実行可能に構成され、第１無線通信装置と第２無線通信装置のうち送信側の無線通信装置は、外部から送信データが入力されると、第１通信ステップと第２通信ステップを並行して実行することにより、相手方に同一の送信データを送信し、第１無線通信装置と第２無線通信装置のうち受信側の無線通信装置は、第１通信ステップと第２通信ステップを並行して実行して、受信データの何れか一方を受信データとして外部に出力するように構成されている。外部とは、第１無線通信装置または第２無線通信装置が接続された機器、例えば上述した製造装置ＭＥや搬送台車ＯＨＴをいう。

【0099】

また、送信側の無線通信装置で実行される第１通信ステップは、送信データを第１周期で繰り返し送信し、第２通信ステップは、送信データを第１周期の半周期以下の第２周期で繰り返し送信するように構成され、受信側の無線通信装置は、第１通信ステップを介して第１周期で受信した受信データと第２通信ステップを介して第２周期で受信した受信データの何れか一方を第１周期で外部に出力するように構成されている。

【0100】

そして、第１無線通信装置及び第２無線通信装置は、第１通信ステップと第２通信ステップで受信した受信データの真偽を判別するデータ判別ステップを備え、データ判別ステップで真と判別した最新の受信データを外部に出力するように構成されている。

【0101】

そして、通信制御部は、第１通信ステップで受信し前記データ判別ステップで真と判別した受信データを、第２通信ステップで受信した受信データの真偽にかかわらず外部に出力し、第１通信ステップで受信した受信データをデータ判別ステップで偽と判別すると、第２通信ステップで受信しデータ判別ステップで真と判別した受信データを外部に出力するように構成されている。

【0102】

さらに、第１無線通信装置及び前記第２無線通信装置は、第１通信ステップで、第１周期で真の受信データを得ることができず、かつ、第２通信ステップで、第１周期で真の受信データを得ることができない場合に、以前に第１通信ステップを介して受信した真の受信データで直前の受信データを外部に出力するように構成されている。

【0103】

以下、他の態様を説明する。
図１０には、データ伝送装置１０を構成する第１無線通信装置１０Ａ及び第２無線通信装置１０Ｂの具体的な構成が例示されている。

【0104】

主に通信制御部１５として機能するＣＰＵ、第２通信部１２として機能するＲＦ通信ユニット、第１通信部１１として機能する光通信ユニット、シリアル／パラレル変換回路であるＩ／Ｏインタフェース、イーサネット変換回路であるＰＨＹ、通信設定部１６として機能するＲＳ２３２Ｃドライバ、通信設定データや受信データ、パラレル入出力データや故障データのような重要データを格納する不揮発性のメモリ素子であるＦＲＡＭ（登録商標）などを備えている。

【0105】

Ｄ－ＳＵＢコネクタ２１を介して１０ビットパラレルデータが入力され、９ビットパラレルデータが出力される。１０ビットパラレルデータに送信データが含まれ、９ビットパラレルデータに受信データが含まれる。ＣＰＵとＩ／Ｏインタフェースとの間でシリアルデータがやり取りされ、Ｄ－ＳＵＢコネクタ２１を介してパラレルデータがやり取りされる。

【0106】

ＲＳ２３２Ｃの信号がＤ－ＳＵＢコネクタ２１を介してＲＳ２３２Ｃドライバに入出力される。また、ＤＣ２４Ｖの電源ラインが接続される。ＤＣ２４ＶはＤＣ／ＤＣコンバータによって電力系の電源となるＤＣ１２Ｖ、制御系の電源となるＤＣ３．３Ｖに変換される。

【0107】

イーサネットケーブルがコネクタＲＪ－４５を介してＰＨＹに接続され、ＰＨＹを介してＣＰＵとの間でデータがやり取りされる。また、第１通信部１１として機能する光通信ユニットはコネクタＲＪ－１１を介してＲＳ４８５ドライバと接続され、ＲＳ４８５ドライバを介してＣＰＵとの間でデータがやり取りされる。

【0108】

このようなデータ伝送装置１０は、上述した動作態様以外に異なる態様で動作可能に構成されている。
図１１（ａ）に示すように、第１通信部１１として機能する光通信ユニットを取り外せば、ＲＳ－２３２ＣまたはＥｔｈｅｒｎｅｔ（ETHERNET／イーサネットは、富士ゼロックス社の登録商標）インタフェースを介して通信アドレスや通信チャンネルなどの通信条件を設定することにより、例えば第２通信部１２を介したＲＦ通信を利用して８ビットパラレルデータの無線通信や、８ビットパラレルデータとＲＳ－２３２ＣやＥｔｈｅｒｎｅｔのシリアル通信とのデュアル通信に用いることができる。

【0109】

図１１（ｂ）に示すように、ＲＳ－２３２ＣまたはＥｔｈｅｒｎｅｔインタフェースを介して通信アドレスや通信チャンネルなどの通信条件を設定することにより、ＲＳ－２３２ＣまたはＥｔｈｅｒｎｅｔ上のデータの無線通信に用いることができる。

【0110】

図１２（ａ）に示すように、第１通信部１１として機能する光通信ユニットを用いて８ビットのパラレルデータを送受信しつつ、ＲＳ－２３２ＣまたはＥｔｈｅｒｎｅｔインタフェースを介して通信アドレスや通信チャンネルなどの通信条件を設定することにより、例えば第２通信部１２を介してＲＳ－２３２ＣやＥｔｈｅｒｎｅｔのシリアルデータをＲＦ通信できる。つまり、データソースの異なる２系統のデータを其々独立して送受信できる。

【0111】

図１２（ｂ）に示すように、８ビットのパラレルデータを第１通信部１１として機能する光通信ユニットを介して送受信しながら、第２通信部１２を介してタブレット型のコンピュータなどとＲＦ通信することで、タブレット型のコンピュータに第１通信部１１で送受信するデータのログをリアルタイムに表示することができる。

【0112】

つまり、データ伝送装置１０を図１０に示すように構成すれば、多目的に活用することができる。目的に応じて動作させるために、ＲＳ－２３２Ｃの通信インタフェースを介して通信制御部１５を設定すればよい。

【0113】

上述した実施形態は何れも本発明の一態様に過ぎず、当該記載により本発明の範囲が限定されるものではなく、各部の具体的構成は本発明による作用効果を奏する範囲において適宜変更することができることはいうまでもない。

【産業上の利用可能性】

【0114】

本発明は、帯域が異なる二系統の通信を行う場合に、データの消失を伴わずに系統を切り替えることができるデータ伝送装置として広く適用できる。

【符号の説明】

【0115】

１０：データ伝送装置
１０Ａ：第１無線通信装置
１０Ｂ：第２無線通信装置
１１：第１通信部
１１Ｔ：第１送信部
１１Ｒ：第１受信部
１２：第２通信部
１２Ｔ：第２送信部
１２Ｒ：第２受信部
１３：データ入力部
１４：データ出力部
１５：通信制御部
１６：通信設定部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】