特許 7580191 静電チャック

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-31

(45)【発行日】2024-11-11

(54)【発明の名称】静電チャック

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241101BHJP

   H02N 13/00 20060101ALI20241101BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 R

H02N13/00 D

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019215903

(22)【出願日】2019-11-29

(65)【公開番号】P2021086964

(43)【公開日】2021-06-03

【審査請求日】2022-09-02

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000004547

【氏名又は名称】日本特殊陶業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100099793

【弁理士】

【氏名又は名称】川北 喜十郎

(74)【代理人】

【識別番号】100154586

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 正広

(72)【発明者】

【氏名】菅家 篤

【審査官】井上 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開２０００－３３２０９１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０２Ｎ １３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

絶縁基体と１対の第１電極及び第２電極とを有し、前記絶縁基体は板状であって絶縁性の基板を載置するための載置面及び前記載置面の反対側の裏面を有し、前記第１電極及び前記第２電極が前記載置面に前記基板を静電吸着するよう前記絶縁基体の内部または前記裏面に設けられてなる静電チャックであって、
前記第１電極は第１主電極と複数の第１副電極とを有し、前記第１主電極は第１の方向に延在し、各第１副電極は基端部及び先端部を有し前記第１主電極に前記第１副電極の基端部で接続して前記第１の方向とは異なる第２の方向に線状に延在し、
前記第２電極は第２主電極と複数の第２副電極とを有し、前記第２主電極は第３の方向に延在し、各第２副電極は基端部及び先端部を有し前記第２主電極に前記第２副電極の基端部で接続して前記第３の方向とは異なる第４の方向に線状に延在し、
各第１副電極及び各第２副電極は０．３～２．０ｍｍの幅を有し、
各第１副電極は隣り合う前記第２副電極と幅方向に０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向し、各第１副電極の先端部が前記第２主電極と０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向し、
各第２副電極の先端部が前記第１主電極と０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向し、
前記第１副電極の幅をＷ１、長さをＬ１とし、前記第２副電極の幅をＷ２、長さをＬ２としたとき、６．９ｍｍ^２≦Ｗ１×Ｌ１≦５０ｍｍ^２及び６．９ｍｍ^２≦Ｗ２×Ｌ２≦５０ｍｍ^２を満たし、
前記Ｌ１及び前記Ｌ２は、それぞれ１２．６ｍｍ≦Ｌ１≦２３．１ｍｍ及び１２．６ｍｍ≦Ｌ２≦２３．１ｍｍを満たし、
前記載置面は、直径３００ｍｍ基板に相当する面積以上であることを、特徴とする静電チャック。

【請求項2】

前記第１電極は前記第１主電極を複数有し、前記第２電極は前記第２主電極を複数有することを、特徴とする請求項１記載の静電チャック。

【請求項3】

前記第１の方向及び前記第３の方向は同一円の半径方向であり、前記第２の方向及び前記第４の方向は前記同一円の円周に沿った円周方向であり、前記第１主電極及び前記第２主電極は前記円周方向に交互に配置されていることを、特徴とする請求項２記載の静電チャック。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体製造プロセス等で絶縁性の基板を静電吸着するために用いられる静電チャックに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、吸着面の反対面に１対の電極が対向して直線状または円周状に配置され、交互に入り組んで設けられた、絶縁性の基板吸着用の静電チャックが開示されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許３８０５１３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ガラス基板のような絶縁性基板を静電吸着するにはクーロン力及びグレーディエント力を発揮させることが有効であるとされる。その際、クーロン力は絶縁性基板のわずかな導電性に期待して電極と基板間の静電力により吸着せしめるものであり、グレーディエント力は1対の電極によって形成される電界の中におかれた絶縁性基板が分極して電界強度の傾き方向に力が働くとされている。すなわち、絶縁性の高い基板ではクーロン力での吸着は望めない。

【0005】

特許文献１に記載の絶縁性基板吸着用静電チャックの電極パターンでは、グレーディエント力を有効に奏するように電極が配置され、グレーディエント力は主に１対の電極間の離間位置に現れる。例えば、特許文献１の図４に示される電極パターンでは、ｘ－ｙ平面上において、１対の電極の直線状パターン同士が対向する方向に沿ったｘ軸に対して周期的な力が、１対の電極の直線状パターンの延びる方向に沿ったｙ軸に対しては一様な力が発現している。

【0006】

絶縁性基板を吸着固定する際、基板を歪ませることなく、吸着面上の基板の全体を均一に平面矯正して吸着固定することが望ましいが、特許文献１の静電チャックのように、吸着面において特定の平面内の個所のみに働く力がある場合、基板吸着時に基板が局所的にわずかに歪んで吸着されることがあるという課題があった。特に、特許文献１の静電チャックの電極パターンのように、一対の電極パターンの対向する方向が一様かつ対向する一対の電極パターンが特定の方向に長い場合に、このような歪が認められる場合があった。

【0007】

本発明は、このような課題に着目してなされたもので、基板吸着時に基板が局所的に歪むことを抑制し、平面矯正できる静電チャックを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、本発明に係る静電チャックは、絶縁基体と１対の第１電極及び第２電極とを有し、前記絶縁基体は板状であって絶縁性の基板を載置するための載置面及び前記載置面の反対側の裏面を有し、前記第１電極及び前記第２電極が前記載置面に前記基板を静電吸着するよう前記絶縁基体の内部または前記裏面に設けられてなる静電チャックであって、前記第１電極は第１主電極と複数の第１副電極とを有し、前記第１主電極は第１の方向に延在し、各第１副電極は基端部及び先端部を有し前記第１主電極に前記第１副電極の基端部で接続して前記第１の方向とは異なる第２の方向に線状に延在し、前記第２電極は第２主電極と複数の第２副電極とを有し、前記第２主電極は第３の方向に延在し、各第２副電極は基端部及び先端部を有し前記第２主電極に前記第２副電極の基端部で接続して第３の方向とは異なる前記第４の方向に線状に延在し、各第１副電極及び各第２副電極は０．３～２．０ｍｍの幅を有し、各第１副電極は隣り合う前記第２副電極と幅方向に０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向し、各第１副電極の先端部が前記第２主電極と０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向し、各第２副電極の先端部が前記第１主電極と０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向し、前記第１副電極の幅をＷ１、長さをＬ１とし、前記第２副電極の幅をＷ２、長さをＬ２としたとき、５ｍｍ^２≦Ｗ１×Ｌ１≦５０ｍｍ^２及び５ｍｍ^２≦Ｗ２×Ｌ２≦５０ｍｍ^２を満たすことを、特徴とする。

【0009】

本発明に係る静電チャックは、第１電極及び第２電極に外部電源からの電圧を印加することによって機能する。各第１副電極は第２副電極と幅方向に離間した状態で対向し、両者間に電位差が発生する。電極幅及び離間距離を上記所定の範囲に設定することにより載置面に載置された基板にグレーディエント力を効果的に働かせ、静電吸着させることができる。このとき、グレーディエント力は、主に電極幅方向の離間領域で発現する。

【0010】

第１副電極の先端部は第２主電極と上記所定の離間距離で対向しているため、第１副電極の先端部と第２主電極との間に電位差が発生する。また、第２副電極の先端部は第１主電極と上記所定の離間距離で対向しているため、第２副電極の先端部と第１主電極との間にも電位差が発生する。これにより、第１副電極及び第２副電極の先端部の領域にもグレーディエント力が発現する。

【0011】

第１副電極の幅と長さとの積及び第２副電極の幅と長さとの積を上記所定の範囲に設定することにより、第１副電極及び第２副電極の先端部の領域が電極を配置する平面において増加するため、副電極の幅方向に離間した領域のみでなく、先端部領域にもグレーディエント力を効果的に発揮させ、基板全面にグレーディエント力をより均等に働かせることができる。
その結果、基板吸着時に基板が局所的に歪むことを抑制し、基板を均等な力により平面矯正された状態で静電吸着させることができる。

【0012】

本発明に係る静電チャックにおいて、前記第１電極は前記第１主電極を複数有し、前記第２電極は前記第２主電極を複数有することが好ましい。
この場合、副電極の幅方向に離間した領域と先端部の領域とのバランスをとりやすくなるため、基板吸着時の基板の局所的な歪みを生じにくくし、基板をより平面矯正された状態で静電吸着させることができる。

【0013】

本発明に係る静電チャックにおいて、前記第１の方向及び前記第３の方向は同一円の半径方向であり、前記第２の方向及び前記第４の方向は前記同一円の円周に沿った円周方向であり、前記第１主電極及び前記第２主電極は前記円周方向に交互に配置されていることが好ましい。
この場合、円形の載置面で、副電極の幅方向に離間した領域と先端部の領域とのバランスをとりやすくなるため、円形の載置面で基板吸着時の基板の局所的な歪みを生じにくくし、基板をより平面矯正された状態で静電吸着させることができる。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、基板吸着時に基板が局所的に歪むことを抑制し、平面矯正できる静電チャックを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態の静電チャックの概略構成を示す（Ａ）平面図、（Ｂ）縦断面図である。

【図2】図１に示す静電チャックの電極パターンの一部を示す平面図である。

【図3】図２に示す電極パターンの（Ａ）好適例及び（Ｂ）不適例１、（Ｃ）不適例２を示す説明図である。

【図4】図１に示す静電チャックの他の電極パターンを示す平面図である。

【図5】静電チャックの従来例の電極パターンの一部を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
図１に示すように、本発明の実施の形態の静電チャックは、絶縁基体１と１対の第１電極２及び第２電極３とを有している。絶縁基体１は、円板状の基盤１１の上に絶縁層１２を設けて成っている。絶縁基体１は、絶縁性の基板を載置するための載置面１ａ及び載置面１ａの反対側の裏面１ｂを有している。第１電極２及び第２電極３は、端子４により直流電源または交流電源に接続されている。第１電極２及び第２電極３は、載置面１ａに基板を静電吸着するよう絶縁基体１の内部または裏面１ｂに設けられている。

【0017】

第１電極２は、複数の第１主電極２１と複数の第１副電極２２とを有している。第１主電極２１は、円板状の絶縁基体１の外周に沿った同心円の中心から半径方向（第１の方向）に線状に延在している。各第１副電極２２は、基端部２２ａ及び先端部２２ｂを有し、第１主電極２１の幅方向の両側に第１副電極２２の基端部２２ａで接続して第１の方向とは異なる第２の方向に線状に延在している。第２の方向は、円板状の絶縁基体１の外周に沿った同心円である同一円の円周に沿った円周方向である。

【0018】

第２電極３は、複数の第２主電極３１と複数の第２副電極３２とを有している。第２主電極３１は、第１主電極２１と同様に、円板状の絶縁基体１の外周に沿った同心円の中心から半径方向（第３の方向）に線状に延在している。各第１主電極２１及び各第２主電極３１は、同一円の円周方向に交互に等間隔で配置されている。

【0019】

各第２副電極３２は、基端部３２ａ及び先端部３２ｂを有している。各第２副電極３２は、第２主電極３１の幅方向の両側に第２副電極３２の基端部３２ａで接続して第３の方向とは異なる第４の方向に線状に延在している。第４の方向は、円板状の絶縁基体１の外周に沿った同心円である同一円の円周に沿った円周方向である。各第１副電極２２及び各第２副電極３２は、同一円の半径方向に交互に等間隔で配置されている。

【0020】

各第１副電極２２及び各第２副電極３２は、０．３～２．０ｍｍの幅を有している。各第１副電極２２は、隣り合う第２副電極３２と幅方向に０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向している。各第１副電極２２は、先端部２２ｂが第２主電極３１と０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向している。各第２副電極３２は、先端部３２ｂが第１主電極２１と０．３～２．５ｍｍ離間した状態で対向している。第１副電極２２の幅をＷ１、長さをＬ１とし、第２副電極３２の幅をＷ２、長さをＬ２としたとき、５ｍｍ^２≦Ｗ１×Ｌ１≦５０ｍｍ^２及び５ｍｍ^２≦Ｗ２×Ｌ２≦５０ｍｍ^２を満たしている。

【0021】

次に、作用について説明する。
静電チャックは、第１電極２及び第２電極３に外部電源からの電圧を印可することによって機能する。各第１副電極２２は各第２副電極３２と幅方向に離間した状態で対向し、両者間に電位差が発生する。電極幅及び離間距離を上記所定の範囲に設定することにより載置面１ａに載置された基板にグレーディエント力を効果的に働かせ、静電吸着させることができる。このとき、グレーディエント力は、第１副電極２２と第２副電極３２との間の離間領域で発現する。

【0022】

第１副電極２２の先端部２２ｂは第２主電極３１と上記所定の離間距離で対向しているため、第１副電極２２の先端部２２ｂと第２主電極３１との間に電位差がする。また、第２副電極３２の先端部３２ｂは第１主電極２１と上記所定の離間距離で対向しているため、第２副電極３２の先端部３２ｂと第１主電極２１との間にも電位差が発生する。これにより、第１副電極２２及び第２副電極３２の先端部２２ｂ，３２ｂと第１主電極２１及び第２主電極３１との間の離間領域にもグレーディエント力が発現する。

【0023】

５ｍｍ^２≦Ｗ１×Ｌ１≦５０ｍｍ^２及び５ｍｍ^２≦Ｗ２×Ｌ２≦５０ｍｍ^２の式において、第１副電極２２の長さＬ１または第２副電極３２の長さＬ２が小さくなると、第１副電極２２及び第２副電極３２の先端部２２ｂ，３２ｂの領域の数が絶縁基体１の全体で増加する。これにより、各副電極２２，３２の先端部２２ｂ，３２ｂとその延長線上で対向する第１主電極２１または第２主電極３１との離間領域にグレーディエント力が数多く発現し、静電吸着力が強くなる。

【0024】

しかし、第１副電極２２の長さＬ１と幅Ｗ１との積または第２副電極３２の長さＬ２と幅Ｗ２との積(すなわち、電極面積に相当)が５０ｍｍ^２を超えて大きくなると、クーロン力による効果が大きくなる一方、グレーディエント力は相対的に小さくなってしまい、絶縁性の基板の吸着には好ましくない。
また、第１副電極２２の幅W１または第２副電極３２の幅Ｗ２が大きすぎると、隣り合って対向する第１副電極２２と第２副電極３２との間の離間領域の数自体が絶縁基体１の全体で少なくなる。これにより、グレーディエント力自体が十分に働かず、基板を十分に静電吸着することができなくなる。

【0025】

図３（A）に、本発明の実施の形態の静電チャックの好適例を示す。図３（A）～（Ｃ）で、破線領域５は第１副電極２２及び第２副電極３２の幅方向の離間領域を示し、破線領域６は第１副電極２２及び第２副電極３２の先端部２２ｂ，３２ｂの離間領域を示す。図３（A）に示すように、第１副電極２２の幅と長さとの積及び第２副電極３２の幅と長さとの積を上記所定の範囲に設定することにより、第１副電極２２及び第２副電極３２の先端部２２ｂ，３２ｂの領域が電極を配置する平面において増加するため、副電極２２，３２の幅方向に離間した領域のみでなく、先端部２２ｂ，３２ｂの領域にもグレーディエント力を効果的に発揮させ、基板全面にグレーディエント力をより均等に働かせることができる。
その結果、基板吸着時に基板が局所的に歪むことを抑制し、基板を均等な力により平面矯正された状態で静電吸着させることができる。

【0026】

これに対し、図３（Ｂ）に示す不適例１では、第１副電極２２及び第２副電極３２の幅方向の離間領域（破線領域５）及び第１副電極２２及び第２副電極３２の先端部と第１主電極２１及び第２主電極３１との間の離間領域（破線領域６）のバランスが悪いため、局所的な歪を生じやすい。また、図３（Ｃ）に示す不適例２では、第１副電極２２及び第２副電極３２の幅が広すぎるため、グレーディエント力が働く領域の数自体が少なくなり、静電吸着力が弱い。

【0027】

本発明の実施の形態の静電チャックでは、特に、第１電極２は第１主電極２１を複数有し、第２電極３は第２主電極３１を複数有するので、隣り合う第１副電極２２と第２副電極３２との間の離間領域と先端部２２ｂ，３２ｂと第１主電極２１及び第２主電極３１との間の領域とのバランスをとりやすくなるため、基板吸着時の基板の局所的な歪みを生じにくくし、基板をより平面矯正された状態で静電吸着させることができる。

【0028】

また、第１主電極２１及び第２主電極３１の延在する方向（第１の方向、第３の方向）は同一円の半径方向であり、第１副電極２２及び第２副電極３２の延在する方向（第２の方向、第４の方向）は同一円の円周に沿った円周方向であり、第１主電極２１及び第２主電極３１は円周方向に交互に配置されているので、円形の載置面１ａで、副電極２２，３２の間の離間領域と先端部２２ｂ，３２ｂ及び主電極２１，３１の間の離間領域とのバランスをとりやすくなっている。このため、円形の載置面１ａ上での基板吸着時の基板の局所的な歪みを生じにくくし、基板をより平面矯正された状態で静電吸着させることができる。

【0029】

なお、図４に示すように、複数の第１主電極２１同士を接続する接続線２３及び／または複数の第２主電極３１同士を接続する接続線３３を有していてもよい。
また、電極パターンは、図２及び図４に示すパターンに限らず、他のパターンであってもよい。
第１副電極２２及び／または第２副電極３２は、円弧状のほか、直線状、屈曲形状またはさらに分岐した形状であってもよい。
第１主電極２１、第２主電極３１、第１副電極２２及び第２副電極３２は、形状にかかわらず、載置面１ａの領域と略同一の領域に略均等に配置されることが好ましい。

【実施例】

【0030】

(グリーンシート成形法による製法)
例えば特開２００８－１４７５４９に示されるセラミックスグリーンシート成形法により、静電チャックを作製した。
セラミックスグリーンシートは、Ａｌ_２Ｏ_３、ＡｌＮを主成分とすることが好適である。本実施例では、純度９９．５％のＡｌ_２Ｏ_３を原料粉として使用した。Ａｌ_２Ｏ_３とバインダーと可塑剤と分散剤と溶剤とをスラリー化してドクターブレードによりグリーンシートを成形した。成形するグリーンシートの厚みは０．５～２ｍｍが好適である。本実施例では、厚み０．６５ｍｍとした。

【0031】

セラミックスグリーンシートにスクリーンマスクを用いてＷ（タングステン）ペーストを印刷し層状の１対の電極を形成した。印刷するパターンは、図２に示すパターンとなるよう、適宜スクリーンマスクのデザインを調整した。
また、比較のため、図５に示すように、従来例の電極パターンで印刷したものを作製した。従来例の電極パターンは、円の中心側から半径方向に互いに反対側に伸びる第１主電極４１及び第２主電極５１を有し、中心が共通する複数の同心円の一部を切り欠いた円弧形状の第１副電極４２及び第２副電極５２を第１主電極４１及び第２主電極５１に交互に接続した形状のパターンである。

【0032】

１対の電極が２つのセラミックスグリーンシートの間に挟まれるように、作製したセラミックスグリーンシートを他のセラミックスグリーンシート（ビア導体となるＷペーストが充填されたビアホールを含む）と積層した積層体を形成した。必要に応じて、積層体の裏面にビア導体を介して電極と導通する端子を挿入するための止まり穴の加工及び当該穴を画定する表面にＷペーストを塗布した。その後、還元雰囲気下、１６００℃で３時間焼成してセラミックス焼結体を得た。その後、外形を機械加工した。
セラミックス焼結体の裏面の止まり穴に、外部電源との端子（コバール製）を挿入した状態で、電極と端子とを銀ロウ付けにより接合し、静電チャックを完成させた。このとき、静電チャックの電極パターンの最外周の中心線直径は３００ｍｍ、絶縁層の厚みは０．１ｍｍ、載置面の表面粗さＲａは０．１μｍとした。

【0033】

従来例の電極パターンでは、１２時方向に伸びた主電極４１より副電極４２が分岐している。また、主電極４１とは反対側の６時方向に延びた主電極５１より副電極５２が分岐している。副電極４２，５２の長さは、概ね円周の１／2程度である。グレーディエント力は、主に電極間の離間領域に発現する。そのため、グレーディエント力は、半径方向に周期的に偏在することになる。

【0034】

本実施例では、円の中心から半径方向に伸びる１２本の第１主電極２１と１２本の第２主電極３１とが円周方向に交互に配置されている。第１副電極２２及び第２副電極３２は、中心が共通する複数の同心円の円周に沿ってそれぞれ第１主電極２１及び第２主電極３１から両側に伸び、同一円の半径方向に交互に等間隔で配置されている。第１副電極２２及び第２副電極３２のパターンは、複数の同心円をそれぞれ２４分割したような円弧形状である。半径方向に伸びた主電極２１，３１より副電極２２，３２は、円周方向に分岐している。副電極２２，３２の長さは、概ね円周を２４分割した円弧長さ程度である。グレーディエント力は、主に電極間の離間領域に発現する。

【0035】

図２に示す本実施例の電極パターンでは、図５に示す従来の電極パターンに比較して、副電極２２，３２の分岐した位置（基端部２２ａ，３２ａ）から一方の先端部２２ｂ，３２ｂまでの長さＬが短く、副電極２２，３２の一方の先端部２２ｂ，３２ｂの個所数が増加している。副電極２２，３２の一方の先端部２２ｂ，３２ｂは、対向する電極に囲まれるようになり、副電極２２，３２の先端部２２ｂ，３２ｂの電界は主に副電極先端部の延長線上に存在する対向電極（第２主電極３１，第１主電極２１）との間で形成され、グレーディエント力が発現する。

【0036】

５ｍｍ^２≦Ｗ１×Ｌ１≦５０ｍｍ^２及び５ｍｍ^２≦Ｗ２×Ｌ２≦５０ｍｍ^２の式を満足させることにより、副電極２２，３２の先端部２２ｂ，３２ｂと副電極の先端部の延長線上に存在する対向電極（第２主電極３１，第１主電極２１）との離間箇所の数を増やすことができるため、グレーディエント力の発現箇所を従来より均質化でき、その結果、絶縁性基板をより歪なく吸着することができるようになる。

【0037】

(評価)
作製した本実施例の静電チャックと従来例の静電チャックについて、１対の端子に±３ｋＶの直流電圧を印可し、無アルカリガラス基板(直径３００ｍｍ、厚み０．７ｍｍ)を静電吸着させてその結果を観察した。
以下、実施例１～１０、比較例１～７は副電極長さＬと副電極幅Ｗを変えて評価した結果である。なお、下表の副電極長さはパターン内の最長のものとした。

【0038】

【表1】

表１のとおり、副電極長さＬと副電極幅Ｗの積が５０ｍｍ^２以下であると、静電吸着された基板の平面度が３μｍ未満となり、基板の局所的な平面度が改善されていることが示された。
なお、比較例４は吸着力が小さく、比較例５は電極間の絶縁不良が生じたため平面度の矯正を行うことができず、平面度の測定を行うことができなかった。

【符号の説明】

【0039】

１ 絶縁基体
２ 第１電極
３ 第２電極
１１ 基盤
１２ 絶縁層
１ａ 載置面
１ｂ 裏面
４ 端子
２１ 第１主電極
２２ 第１副電極
２２ａ 基端部
２２ｂ 先端部
３１ 第２主電極
３２ 第２副電極
３２ａ 基端部
３２ｂ 先端部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】