特許 7581035 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-01

(45)【発行日】2024-11-12

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20241105BHJP

   B41J 2/015 20060101ALI20241105BHJP

   B41J 2/05 20060101ALI20241105BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 611

B41J2/14 201

B41J2/015 101

B41J2/05

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2020206568

(22)【出願日】2020-12-14

(65)【公開番号】P2022093855

(43)【公開日】2022-06-24

【審査請求日】2023-12-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001243

【氏名又は名称】弁理士法人谷・阿部特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤井 康雄

(72)【発明者】

【氏名】添田 康宏

(72)【発明者】

【氏名】三浦 洋介

【審査官】牧島 元

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－０５９２５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７１６７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－００６１０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１７６６９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－２０２７１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０１８５１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－００１７４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－１４８９２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１５０８９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１７９５２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００８／０００２０００（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１ － ２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体に熱を付与する電気熱変換素子と、
前記電気熱変換素子を保護するとともに、液体と接する位置に設けられた上部電極が複数形成された上部電極部と、
前記上部電極部に対応して設けられ、液体を介して前記上部電極と電気的に接続可能に設けられた対向電極が複数形成された対向電極部と、
前記上部電極部および前記対向電極部に対して印加する電圧を発生させる発生手段と、を有し、
前記上部電極部と前記対向電極部とは、複数設けられ、
前記発生手段は、
入力信号に基づいて印加する電圧を発生させるデジタルアナログコンバータを複数備え、
前記上部電極部のそれぞれに対して、１つの前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加し、
前記対向電極部のそれぞれに対して、異なる前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。

【請求項2】

前記デジタルアナログコンバータは、前記液体吐出ヘッド用基板における別の構成と兼用されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。

【請求項3】

前記構成は、温度検出部であることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド用基板。

【請求項4】

液体に熱を付与する電気熱変換素子と、
前記電気熱変換素子を保護するとともに、液体と接する位置に設けられた上部電極が複数形成された上部電極部と、
前記上部電極部に対応して設けられ、液体を介して前記上部電極と電気的に接続可能に設けられた対向電極が複数形成された対向電極部と、
前記上部電極部および前記対向電極部の少なくとも一方に対して印加する電圧を発生させる発生手段と、を有し、
前記発生手段は、抵抗分圧によって、前記上部電極部および前記対向電極部の少なくとの一方に対して印加する電圧を発生させることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。

【請求項5】

前記抵抗分圧した電圧は、選択手段を介して、前記上部電極部および前記対向電極部の少なくとも一方に出力されることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド用基板。

【請求項6】

液体に熱を付与する電気熱変換素子と、
前記電気熱変換素子を保護するとともに、液体と接する位置に設けられた上部電極が複数形成された上部電極部と、
前記上部電極部に対応して設けられ、液体を介して前記上部電極と電気的に接続可能に設けられた対向電極が複数形成された対向電極部と、
前記上部電極部および前記対向電極部に対して印加する電圧を発生させる発生手段と、を有し、
前記上部電極部と前記対向電極部とは、複数設けられ、
前記発生手段は、
入力信号に基づいて印加する電圧を発生させるデジタルアナログコンバータを複数備え、
前記上部電極部のそれぞれに対して、異なる前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加し、
前記対向電極部のそれぞれに対して、１つの前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。

【請求項7】

液体に熱を付与する電気熱変換素子と、
前記電気熱変換素子を保護するとともに、液体と接する位置に設けられた上部電極が複数形成された上部電極部と、
前記上部電極部に対応して設けられ、液体を介して前記上部電極と電気的に接続可能に設けられた対向電極が複数形成された対向電極部と、
前記上部電極部および前記対向電極部に対して印加する電圧を発生させる発生手段と、を有し、
前記上部電極部と前記対向電極部とは、複数設けられ、
前記発生手段は、
入力信号に基づいて印加する電圧を発生させるデジタルアナログコンバータを複数備え、
前記上部電極部のそれぞれに対して、異なる前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加し、
前記対向電極部のそれぞれに対して、異なる前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。

【請求項8】

液体に熱を付与する電気熱変換素子と、
前記電気熱変換素子を保護するとともに、液体と接する位置に設けられた上部電極が複数形成された上部電極部と、
前記上部電極部に対応して設けられ、液体を介して前記上部電極と電気的に接続可能に設けられた対向電極が複数形成された対向電極部と、
前記上部電極部および前記対向電極部に対して印加する電圧を発生させる発生手段と、を有し、
前記上部電極部と前記対向電極部とは、複数設けられ、
前記発生手段は、
入力信号に基づいて印加する電圧を発生させるデジタルアナログコンバータを複数備え、
前記上部電極部および該上部電極部に対応する前記対向電極部よりなる組のそれぞれに対して、異なる前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加し、
前記デジタルアナログコンバータは、切替手段を介して、互いに対応する前記上部電極部および前記対向電極部に対して選択的に電圧を印加することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。

【請求項9】

前記発生手段は、前記上部電極部と前記対向電極部とスルーホール実装を介して接続されており、
前記スルーホール実装は、外部構成と接続可能な電極の近傍に形成される
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。

【請求項10】

前記対向電極部は、前記上部電極部に対して、前記上部電極部の延在方向と交差する方向の少なくとも一方側において、前記上部電極部と所定間隔を空けて平行して延設されることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。

【請求項11】

前記上部電極は、電気化学反応によって液体に溶出可能な材料を含むことを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。

【請求項12】

前記上部電極および前記対向電極はイリジウムを含むことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。

【請求項13】

請求項１から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板を備え、
前記電気熱変換素子による熱エネルギーによって液体を沸騰させ、該沸騰による発泡の力で、該液体を吐出口から吐出することを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項14】

請求項１３に記載の液体吐出ヘッドから吐出された液体により、所定の処理を実行することを特徴とする液体吐出装置。

【請求項15】

前記液体は、インクであって、
前記液体吐出ヘッドは、記録媒体に対して前記インクを吐出することにより記録を行うことを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば、インクジェット方式によりインクを吐出可能な記録ヘッド用基板などとして、広く適用可能な液体吐出ヘッド用基板、当該液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッド、および当該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

発熱抵抗素子に電圧を印加して液体中に膜沸騰を生じさせ、泡の成長エネルギーによって液体を吐出する方式の液体吐出ヘッドでは、色材などを含有したインクなどの液体を吐出する場合に、コゲーションの発生が問題となる。コゲーションとは、発熱抵抗素子による熱によって、熱溶解性のインク成分が、分解、変性などして、発熱抵抗素子あるいは発熱抵抗素子の表面を覆う塗膜上にコゲとして付着する現象である。コゲーションの発生は、発熱抵抗素子から液体への熱伝導性を低下させ、発泡ひいては吐出動作を不安定にする要因となる。

【0003】

特許文献１には、発熱抵抗素子の上部保護層の表面に、電気化学反応によって液体中に溶出可能な材料で電極層を形成し、当該電極層に電圧を印加することで、付着したコゲを除去する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００８－１０５３６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に開示された技術では、発熱抵抗素子や上部保護層などが形成された液体吐出ヘッド用の基板とは別体で設けられた電圧発生部で生成された電圧を電極層に対して印加する。このため、電圧発生部から電極層までの配線において電圧降下が生じ、これによって、電極層に対して、コゲの抑制やコゲを除去するための電圧を精度よく印加することができない可能性がある。また、コゲの抑制やコゲを除去するための適正な電圧値は、インクの種類によって異なる場合がある。このため、異なる種類のインクを吐出可能な構成の場合、基板において、インクの種類ごとに電圧値を異ならせるためには、インクの種類ごとに電圧を印加するための電極が必要となる場合があり、基板が大型化する虞がある。

【0006】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板の大型化を抑制しつつ、電極層に精度よく電圧を印加することが可能な技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明の一実施形態は、液体に熱を付与する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子を保護するとともに、液体と接する位置に設けられた上部電極が複数形成された上部電極部と、前記上部電極部に対応して設けられ、液体を介して前記上部電極と電気的に接続可能に設けられた対向電極が複数形成された対向電極部と、前記上部電極部および前記対向電極部に対して印加する電圧を発生させる発生手段と、を有し、前記上部電極部と前記対向電極部とは、複数設けられ、前記発生手段は、入力信号に基づいて印加する電圧を発生させるデジタルアナログコンバータを複数備え、前記上部電極部のそれぞれに対して、１つの前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加し、前記対向電極部のそれぞれに対して、異なる前記デジタルアナログコンバータにより電圧を印加することを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、基板の大型化を抑制しつつ、電極層（上部電極、対向電極）に対して適正に電圧を印加することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッドの概略構成図。

【図2】液体吐出ヘッド用基板の平面図。

【図3】液体吐出ヘッド用基板の一部の構成を示す図。

【図4】液体吐出ヘッド用基板の回路図。

【図5】ＤＡＣの回路図。

【図6】液体吐出ヘッド用基板の回路図。

【図7】液体吐出ヘッド用基板の回路図。

【図8】液体吐出ヘッド用基板の回路図。

【図9】液体吐出ヘッド用基板の回路図。

【図10】液体吐出ヘッド用基板の回路図。

【図11】液体吐出ヘッド用基板の回路図。

【図12】液体吐出ヘッドを備えた記録装置の説明図。

【図13】液体吐出ヘッド用基板の変形例を示す図。

【図14】液体吐出ヘッド用基板の変形例の一例を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、添付の図面を参照しながら、液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出装置の実施の形態の一例を詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本発明を限定するものではなく、また、実施形態で説明されている特徴の組み合わせのすべてが本発明の解決手段に必須ものとは限らない。また、実施形態に記載されている構成要素の相対位置、形状などは、特に限定していない限り、あくまで例示であり、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

【0011】

（第１実施形態）
まず、図１乃至図５を参照しながら、第１実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。図１は、実施形態による液体吐出ヘッド用基板が用いられた液体吐出ヘッドの概略構成図である。図２は、液体吐出ヘッド用基板の構成を模式的に示す平面図である。図３（ａ）は、図２のＩＩＩａ－ＩＩＩａ線断面図であり、図３（ｂ）は、図２のＩＩＩｂ枠の拡大図である。なお、図２、図３（ａ）（ｂ）では、理解を容易にするために、一部の構成について省略して示している。

【0012】

液体吐出ヘッド１００は、圧力室１０２（後述する）に液体を供給する供給路１０４と、圧力室１０２から液体を回収する回収路１０６とが形成された液体吐出ヘッド用基板（以下、単に「基板」とも称する。）１０８を備えている。この基板１０８の一方の面には、液体を吐出するための複数の吐出口１１０による吐出口列が形成された流路形成部材１１２が設けられている。また、一方の面と対向する基板１０８の他方の面には、カバープレート１１４が設けられている。

【0013】

供給路１０４および回収路１０６は、流路形成部材１１２における吐出口１１０の配列方向に沿って延在している。また、基板１０８の一方の面には、供給路１０４と連通する複数の供給口１１６が、吐出口１１０の配列方向に沿って配列されている。さらに、基板１０８の一方の面には、回収路１０６と連通する複数の回収口１１８が、吐出口１１０の配列方向に沿って配列されている。

【0014】

基板１０８の一方の面には、吐出口１１０に対応する位置に、液体を熱エネルギーによって発泡させるための熱作用部１２０が形成されている。この熱作用部１２０は、液体を吐出させるための発熱抵抗素子３０４（図３（ａ）参照）と、発熱抵抗素子３０４を保護する上部電極２０１（後述する）とを含む。熱作用部１２０は、流路形成部材１１２に形成された圧力室１０２内に位置する。発熱抵抗素子３０４（電気熱変換素子とも称する。）は、圧力室１０２内の液体を沸騰させ、この沸騰による発泡の力で、液体を吐出口１１０から吐出させる。また、基板１０８の一方の面には、基板１０８の電気的接続用の端子としての電極１２２が設けられている。

【0015】

カバープレート１１４には、供給路１０４に連通する開口１２４、回収路１０６に連通する開口（不図示）が設けられている。この開口１２４から液体吐出ヘッド１００に液体が供給され、回収路１０６に連通する開口を介して液体吐出ヘッド１００から液体が回収される。従って、液体吐出ヘッド１００において、液体は、開口１２４、供給路１０４、供給口１１６を通って圧力室１０２へ供給される。また、圧力室１０２に供給された液体は回収口１１８、回収路１０６、回収路１０６に連通する開口を通って回収される。

【0016】

流路形成部材１１２には、基板１０８とともに、圧力室１０２を含み、かつ、液体が貯留される空間である液室１２６が形成される。この液室１２６は、吐出口１１０の配列方向に沿って延在し、各吐出口列に対応して形成されている。各液室１２６内では、基板１０８において、熱作用部１２０を含み、かつ、当該熱作用部１２０の機能を維持するための構成を含むヒータ列部２００が設けられている。なお、本実施形態では、液体吐出ヘッド１００において液室１２６が３つ設けられているため、基板１０８には、３つのヒータ列部２００ａ、２００ｂ、２００ｃが形成されている（図２参照）。

【0017】

各ヒータ列部２００では、熱作用部１２０において、発熱抵抗素子３０４の真上を被覆するように上部電極２０１が形成されている（図２、図３（ａ）参照）。具体的には、ヒータ列部２００は、上部電極２０１が複数形成された上部電極部２０２を備えている。この上部電極部２０２では、上部電極２０１が吐出口１１０の配列方向に沿って配列されている。

【0018】

また、液室１２６では、上部電極２０１に対応して対向電極２０３が形成されている（図２、図３（ａ）参照）。具体的には、ヒータ列部２００は、上部電極部２０２の両側において、対向電極２０３が複数形成された対向電極部２０４を備えている。この対向電極部２０４では、上部電極部２０２と平行に延設され、対向電極２０３が吐出口１１０の配列方向に平行に配列されている。

【0019】

上部電極部２０２は、配線３０６と保護層３０８とによって形成されている（図３（ａ）参照）。具体的には、基板１０８では、上面に発熱抵抗素子３０４が形成された絶縁層３０２上に絶縁層３１０が形成されている。そして、絶縁層３１０上において、各吐出口１１０に対応する位置に設けられた複数の発熱抵抗素子３０４を覆うように、吐出口１１０の配列方向に沿って配線３０６が延設される。この配線３０６は、発熱抵抗素子３０４の真上に位置する領域が開口するように、保護層３０８で覆われている。そして、この配線３０６では、保護層３０８で覆われていない開口した領域が、上部電極２０１として機能することとなる。

【0020】

また、上部電極部２０２に対応して設けられる対向電極部２０４は、液体吐出ヘッドとした際に、液室１２６に貯留される液体を介して対向電極２０３が上部電極部２０２の上部電極２０１と電気的に接続可能な構成となっている。具体的には、対向電極部２０４は、配線３１２と保護層３１４とによって形成されている（図３（ａ）参照）。具体的には、絶縁層３１０上において、吐出口１１０の配列方向（図３（ａ）では紙面に垂直な方向）と交差（本実施形態では直交）する方向に所定間隔を空けて、当該配列方向に沿って配線３１２が延設される。この配線３１２は、上部電極２０１に対応する領域が開口するように、保護層３１４で覆われている。そして、この配線３１２では、保護層３１４で覆われていない開口した領域が、対向電極２０３として機能することとなる。

【0021】

配線３０６は、パターン２１０を介して、電極１２２に接続されたＴＨＴ（Ｔｈｒｏｕｇｈ－ｈｏｌｅ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ：スルーホール実装）２１４（図３（ｂ）参照）に接続される。また、配線３１２は、パターン２１２を介して、ＴＨＴ２１４に接続される。ＴＨＴ２１４は、上部電極部２０２および対向電極部２０４へ印加する電圧を発生する回路である電圧発生部２１６と接続されている（図３（ｂ）参照）。これにより、本実施形態では、基板１０８上に設けられた電圧発生部２１６が、ＴＨＴ２１４およびパターン２１０を介して上部電極部２０２に電圧を印加することで、各上部電極２０１に電圧が印加されることとなる。また、電圧発生部２１６が、ＴＨＴ２１４およびパターン２１２を介して対向電極部２０４に電圧を印加することで、各対向電極２０３に電圧が印加されることとなる。このように、本実施形態では、電圧発生部２１６が、上部電極部２０２および対向電極部２０４に対して印加する電圧を発生させる発生部として機能している。

【0022】

なお、ＴＨＴ２１４については、電極１２２の近傍に配置されている。電極１２２は、液体に触れないように封止材で封止される。従って、ＴＨＴ２１４について、電極１２２に対する封止材で封止することで、基板１０８の大型化を抑制することができるとともに、封止ミスなどを抑制することができ、基板１０８の性能に対する信頼性の低下を抑制することができる。

【0023】

上部電極部２０２に用いられる配線３０６は、電気化学反応によって、液室１２６に貯留される液体中に溶出可能な材料により形成される。また、対向電極部２０４に用いられる配線３１２は、上部電極２０１と液室１２６に貯留される液体との電気化学反応を生じさせ、上部電極２０１を当該液体中に溶出させる材料により形成される。配線３１２は、例えば、配線３０６と同じ材料を用いて形成される。また、配線３０６および配線３１２は、導電性材料により形成される。上部電極２０１は、発熱抵抗素子３０４を物理的および化学的衝撃から保護する機能を有するとともに、発熱抵抗素子３０４で発生する熱を瞬時に液体に伝達する熱伝導性を有する必要がある。配線３０６および配線３１２としては、上記した条件を満たす材料であれば、公知の種々の物質を用いてもよい。本実施形態では、配線３０６および配線３１２は、例えば、イリジウム（Ｉｒ）により形成される。なお、配線３０６と配線３１２とは、互いに同じ材料であることに限定されるものではなく、互いに異なる材料であってもよい。

【0024】

上部電極２０１は、絶縁層３１０を介して発熱抵抗素子３０４を被覆するように形成される電極となっている。液体吐出ヘッド１００から液体を吐出する処理の実行中では、上部電極２０１は、主に液体中の陰イオンを寄せ付けなくするために、負の電極として機能させる。これにより、液体を吐出する処理中では、液体に由来するコゲの上部電極２０１に対する付着を抑制することができる。また、上部電極２０１を、対向電極２０３に対して相対的に電位が高い状態とすることで、上部電極２０１を液体中に溶出させるとともに、上部電極２０１に付着した、液体に由来するコゲを除去することができる。

【0025】

対向電極２０３は、液体吐出ヘッド１００から液体を吐出する処理の実行中では、液体中の陰イオンを上部電極２０１から遠ざけるために、正の電極として機能させる。上部電極２０１に付着したコゲを除去する際には、上部電極２０１を対向電極２０３に対して相対的に電位が高くなるように、液体を介して上部電極２０１と対向電極２０３との間に電圧を印加する。これにより、上部電極２０１と液体との間で電気化学反応が生じさせ、この上部電極２０１を液体中へ溶出させる反応を持続させる。これに伴い、液体を介して上部電極２０１から対向電極２０３へ向かう電流が流れる。

【0026】

具体的には、対向電極部２０４に対して、対向電極２０３が溶出しない程度の電極を印加し、上部電極２０１に対しては電圧０Ｖとして、上部電極２０１上の液体成分を除去あるいは分散させてコゲの抑制を行う。また、上部電極部２０２に対して、上部電極２０１が溶出する電圧を印加し、対向電極２０３に対しては電圧０Ｖとして、上部電極２０１を液体中に溶出させて、上部電極２０１上に付着したコゲの除去を行う。

【0027】

次に、基板１０８の回路構成について説明する。図４は、第１実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８の回路図である。図５は、図４のＤＡＣの回路図である。基板１０８では、発熱抵抗素子３０４は、発熱抵抗素子３０４の駆動を制御するドライバ４０２と、電極１２２に接続された２４ＶのＶＨ４０４とに接続されている。ドライバ４０２は、制御回路４０６、電極１２２に接続された５ＶのＶＨＴＭ４０８、発熱抵抗素子３０４、および電極１２２に接続された０ＶのＧＮＤＨ４１０に接続されている。ドライバ４０２は、制御回路４０６からの制御信号に基づいて、ドライバ４０２の駆動能力をあげるためＶＨＴＭ４０８の５Ｖに昇圧後に発熱抵抗素子３０４を駆動する。発熱抵抗素子３０４は、ドライバ４０２の駆動に応じてＶＨ４０４の電圧が印加され、これにより、吐出口１１０からインクが吐出される。

【0028】

基板１０８は、温度変化による液体の吐出量の変動を抑制するための温度検出部４１２を備えている。温度検出部４１２は、ダイオードの温度特性を利用した温度センサ４１４、ロジック部４１６、ＶＨＴＭ４０８に接続されたデジタルアナログコンバータ（ＤＡＣ）４１８、および比較器４２０により構成されている。温度検出部４１２は、温度センサ４１４により取得したアナログの温度値をデジタル変換して、制御回路４０６に出力する。

【0029】

ロジック部４１６は、制御回路４０６により制御され、比較器４２０での温度センサ４１４とＤＡＣ４１８との出力値の比較結果に基づいて、ＤＡＣ４１８の制御を行い、デジタルの温度値を制御回路４０６に出力する。制御回路４０６は、出力された温度値を、電極１２２を介して、基板１０８と別体に設けられた外部制御回路（不図示）へ送信する。本実施形態では、温度検出部４１２および制御回路４０６は、図２では図示を省略したが、基板１０８に設けられている。なお、制御回路４０６は、外部制御回路からの出力情報などに基づいて、上部電極部２０２や対向電極部２０４へ印加する電圧を制御するなどの基板１０８における各種の制御を行う。

【0030】

電圧発生部２１６は、制御回路４０６により制御されるＤＡＣ４２２、４２４、４２６、４２８を備えている。ＤＡＣ４２２、４２４、４２６、４２８はそれぞれ、ＶＨＴＭ４０８に接続されている。ＤＡＣ４２２は、ヒータ列部２００ａ、２００ｂ、２００ｃの上部電極部２０２に接続されている。ＤＡＣ４２４は、ヒータ列部２００ａの対向電極部２０４に接続されている。ＤＡＣ４２６は、ヒータ列部２００ｂの対向電極部２０４に接続されている。ＤＡＣ４２８は、ヒータ列部２００ｃの対向電極部２０４に接続されている。

【0031】

ＤＡＣ４２２～４２８は、その出力側において、接続される上部電極部２０２または対向電極部２０４を介して、制御回路４０６に接続されている。ＤＡＣ４２２～４２８の出力値は、制御回路４０６に出力された後に、電極１２２を介して外部制御回路に出力される。なお、ＤＡＣ４２２～４２８は、上部電極部２０２や対向電極部２０４の手前で制御回路４０６に接続されるようにしてもよい。

【0032】

ＤＡＣ４１８およびＤＡＣ４２２～４２８は、図５に示す回路構成となっている。電源５０２とグランド５０４とを抵抗５０６で分圧し、デジタル値である入力信号５０８に従い、抵抗５０６の所定の分割箇所を選択器５１０で選択し、増幅器５１２を介して、端子５１４にアナログ値を出力する。即ち、各ＤＡＣは、制御回路４０６から出力された入力信号５０８に基づいて、所定値の電圧を出力することとなる。本実施形態では、デジタルアナログ変換機であるＤＡＣとして抵抗分割方式を用いるようにしたが、これに限定されるものではない。即ち、Ｒ－２Ｒ方式、容量分割方式などの公知の種々の方式を用いるようにしてもよい。

【0033】

以上の構成において、液体吐出ヘッド１００から液体の吐出を伴う処理の実行中には、制御回路４０６の制御により、ＤＡＣ４２２に０Ｖ、ＤＡＣ４２４、４２６、４２８に、例えば、０．５Ｖなどの所定値の電圧を印加するように設定する。即ち、制御回路４０６が、ＤＡＣ４２４、４２６、４２８に対して、当該所定値の電圧を印加するための入力信号５０８を出力する。なお、当該所定値としては、液室１２６から吐出口１１０を介して吐出する液体の種類、上部電極２０１を形成する配線３０６および対向電極２０３を形成する配線３１２の材料などに応じて決定される。また、当該所定値は、効率的に上部電極２０１へのコゲの付着を抑制することが可能な値とする。これにより、上部電極２０１が負の電極、対向電極２０３が正の電極として機能し、上記処理を実行中に液体に由来するコゲの上部電極２０１への付着が抑制される。

【0034】

また、上部電極２０１に付着したコゲを除去する際には、制御回路４０６の制御により、ＤＡＣ４２２に、例えば、２Ｖなどの所定値の電圧，ＤＡＣ４２４、４２６、４２８に０Ｖの電圧を印加するように設定する。即ち、制御回路４０６が、ＤＡＣ４２２に対して、上記所定値の電圧を印加するための入力信号５０８を出力する。なお、当該所定値としては、液室１２６から吐出口１１０を介して吐出する液体の種類、上部電極２０１を形成する配線３０６および対向電極２０３を形成する配線３１２の材料などに応じて決定される。また、当該所定値は、効率的に上部電極２０１からコゲを抑制することが可能な値とする。これにより、上部電極２０１が正の電極、対向電極２０３が負の電極として機能し、上部電極２０１が液体に溶出して、上部電極２０１に付着したコゲが除去される。

【0035】

以上において説明したように、本実施形態による基板１０８では、基板１０８上に設けられている電圧発生部２１６によって、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２および対向電極部２０４に対して所定の電圧を印加可能なようにした。このため、基板１０８と別体で設けられた外部構成としての電圧発生部から電圧を印加するような技術と比較して、電圧発生部から上部電極部２０２および対向電極部２０４までの配線が短くなる。これにより、電圧発生部と上部電極部２０２および対向電極部２０４とを接続する配線における電圧降下が抑制され、上部電極２０１、対向電極２０３に対して、高い精度で、目的とする値の電圧を印加することができるようになる。

【0036】

また、ＤＡＣ４２４、４２６、４２８は、それぞれ異なるヒータ列部２００の対向電極部２０４に接続されている。このため、液体吐出ヘッド１００が、異なるヒータ列部２００を備えた液室１２６に連通する吐出口１１０から、異なる種類の液体を吐出する構成の場合、対向電極部２０４に対して、液体の種類に応じて、コゲの抑制に適した値となる電圧を印加することができる。これにより、液体吐出ヘッド１００では、効率的にコゲを抑制することができるようになる。

【0037】

また、対向電極部２０４に対して、異なる値の電圧値を印加する場合、公知技術のように外部の電圧発生部から電圧を印加する構成であると、各ヒータ列部に対して、それぞれ電圧発生部と接続する電極を設ける必要がある。これに対して、本実施形態の基板１０８では、こうした電極を、設ける必要がないため、基板１０８の大型化が抑制されるとともに、当該電極に対する封止の必要がなくなり、基板性能に対する信頼性を維持できる。

【0038】

（第２実施形態）
次に、図６を参照しながら、第２実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。なお、以下の説明では、上記した第１実施形態による液体吐出ヘッド用基板と同一または相当する構成については、第１実施形態で用いた符号と同一の符号を用いることにより、その詳細な説明を省略する。

【0039】

この第２実施形態では、電圧発生部２１６の一部のＤＡＣを、温度検出部４１２と兼用する構成とした点において、上記した第１実施形態と異なっている。

【0040】

図６は、第２実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８の回路図である。本実施形態では、基板１０８では、電圧発生部２１６は、上部電極部２０２へ電圧を印加する構成として、ＤＡＣ６０２を備えている。なお、ＤＡＣ６０２は、温度検出部４１２で兼用可能に接続されている。

【0041】

具体的には、ＤＡＣ６０２は、出力側において切替部６０４に接続されている。切替部６０４は、ＤＡＣ６０２を、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２または温度検出部４１２で用いられる比較器４２０に選択的に接続可能な構成となっている。また、ＤＡＣ６０２は、入力側において切替部６０６と接続されている。切替部６０６は、制御回路４０６または温度検出部４１２で用いられるロジック部４１６を選択的に、ＤＡＣ６０２に接続可能な構成となっている。なお、切替部６０４、６０６はそれぞれ、制御回路４０６により制御されて接続先が選択される。

【0042】

ヒータ列部２００ａ、２００ｂ、２００ｃにおける上部電極部２０２に電圧を印加する際には、切替部６０６によって制御回路４０６がＤＡＣ６０２と接続され、切替部６０４によってＤＡＣ６０２が当該上部電極部２０２に接続される。また、温度検出部４１２を機能させる際には、切替部６０６によってロジック部４１６がＤＡＣ６０２と接続され、切替部６０４によってＤＡＣ６０２が比較器４２０に接続される。

【0043】

以上において説明したように、本実施形態による基板１０８では、電圧発生部２１６において各ヒータ列部２００の上部電極部２０２へ電圧を印加するＤＡＣを、温度検出部４１２で兼用可能な構成とした。これにより、上記第１実施形態で説明した作用効果に加えて、基板１０８を小型化することが可能となる。

【0044】

本実施形態では、温度検出部４１２が兼用する電圧発生部２１６のＤＡＣを、上部電極部２０２に接続されるＤＡＣとしたが、これに限定されるものではない。即ち、温度検出部４１２が兼用するＤＡＣは、対向電極部２０４に接続される電圧発生部２１６の３つのＤＡＣのうちのいずれか１つのＤＡＣとしてもよい。また、電圧発生部２１６におけるＤＡＣを、温度検出部４１２と兼用するようにしたが、これに限定されるものではない。即ち、電圧発生部２１６のＤＡＣを、基板１０８に設けられた、ＤＡＣを備えた他の構成と兼用する構成としてもよい。

【0045】

（第３実施形態）
次に、図７を参照しながら、第３実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。なお、以下の説明では、上記した第１実施形態による液体吐出ヘッド用基板と同一または相当する構成については、第１実施形態で用いた符号と同一の符号を用いることにより、その詳細な説明を省略する。

【0046】

この第３実施形態では、電圧発生部２１６において、抵抗分圧により取り出した電圧を、上部電極部２０２および対向電極部２０４に印加するようにした点において、上記第１実施形態と異なっている。

【0047】

図７は、第３実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８の回路図である。なお、図７では、理解を容易にするために、温度検出部４１２の構成を省略して示している。本実施形態では、基板１０８において電圧発生部２１６は、抵抗アレイ７０２と、抵抗アレイ７０２からの出力を増幅する増幅器７０４、７０６、７０８、７１０を備えている。抵抗アレイ７０２は、電極１２２に接続された２４ＶのＶＨＴ７１２に接続されている。ＶＨＴ７１２は、ソースフォロアのＶＨＴバッファ７１４に接続される。ＶＨＴ７１２は、抵抗アレイ７０２からの取り出し電圧をＶＨＴバッファ７１４に入力し、ドライバ４０２へ駆動電圧の５Ｖを供給する。

【0048】

増幅器７０４は、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２に接続され、増幅器７０６は、ヒータ列部２００ａの対向電極部２０４に接続される。また、増幅器７０８は、ヒータ列部２００ｂの対向電極部２０４に接続され、増幅器７１０は、ヒータ列部２００ｂの対向電極部２０４に接続される。これにより、抵抗アレイ７０２からの出力は、各増幅器で増幅されて、上部電極部２０２または対向電極部２０４に入力される。

【0049】

増幅器７０４～７１０は、その出力側において、接続される上部電極部２０２または対向電極部２０４を介して制御回路４０６に接続されている。増幅器７０４～７１０の出力値は、制御回路４０６に出力された後に、電極１２２を介して外部制御回路に出力される。なお、増幅器７０４～７１０は、上部電極部２０２や対向電極部２０４の手前で制御回路４０６に接続されるようにしてもよい。

【0050】

以上において説明したように、本実施形態による基板１０８では、電圧発生部２１６において抵抗アレイ７０２を用いて上部電極部２０２および対向電極部２０４に所望の電圧を印加するようにした。これにより、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

【0051】

なお、本実施形態では、抵抗アレイ７０２を用いて抵抗分割方式によって、上部電極部２０２および対向電極部２０４に電圧を印加するようにしたが、これに限定されるものではない。即ち、容量分割方式などの公知の種々の技術を用いて上部電極部２０２および対向電極部２０４に電圧を印加するようにしてもよい。また、本実施形態では、共有をＶＨＴバッファ７１４としたが、その他の部位としてもよい。

【0052】

（第４実施形態）
次に、図８を参照しながら、第４実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。なお、以下の説明では、上記した第１実施形態および第３実施形態による液体吐出ヘッド用基板と同一または相当する構成については、第１実施形態および第３実施形態で用いた符号と同一の符号を用いることにより、その詳細な説明を省略する。

【0053】

この第４実施形態では、電圧発生部２１６において、抵抗分圧により取り出した電圧を、上部電極部２０２および対向電極部２０４に印加するようにした点において、上記第１実施形態と異なっている。また、第４実施形態では、抵抗分圧により取り出し電圧を、印加する対象となる上部電極部２０２または対向電極部２０４に接続された増幅器に、選択的に接続可能な選択部を備えるようにした点において、上記第３実施形態と異なっている。

【0054】

図８は、第４実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８の回路図である。なお、図８では、理解を容易にするために、温度検出部４１２の構成を省略して示している。本実施形態では、基板１０８において電圧発生部２１６は、抵抗アレイ７０２と増幅器７０４、７０６、７０８、７１０とが、選択部８０２を介して接続されている。

【0055】

選択部８０２は、選択部８０２ａ、８０２ｂ、８０２ｃ、８０２ｄを備えている。選択部８０２ａは増幅器７０４に接続され、選択部８０２ｂは増幅器７０６に接続され、選択部８０２ｃは増幅器７０８に接続され、選択部８０２ｄは増幅器７１０に接続される。選択部８０２ａは、抵抗アレイ７０２からの引き出し電圧のうち、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２に印加する電圧を増幅器７０４に入力させる。また、選択部８０２ｂは、抵抗アレイ７０２からの引き出し電圧のうち、ヒータ列部２００ａの対向電極部２０４に印加する電圧を増幅器７０６に入力させる。さらに、選択部８０２ｃは、抵抗アレイ７０２からの引き出し電圧のうち、ヒータ列部２００ｂの対向電極部２０４に印加する電圧を増幅器７０８に入力させる。さらにまた、選択部８０２ｄは、抵抗アレイ７０２からの引き出し電圧のうち、ヒータ列部２００ｃの対向電極部２０４に印加する電圧を増幅器７１０に入力させる。

【0056】

以上において説明したように、本実施形態による基板１０８では、電圧発生部２１６において抵抗アレイ７０２を用いて上部電極部２０２および対向電極部２０４に電圧を印加するようにした。このとき、上部電極部２０２および対向電極部２０４に対しては、選択部８０２によって、抵抗アレイ７０２からの引き出し電圧のうち、目的とする値の電圧が印加されるようにした。これにより、上記第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

【0057】

（第５実施形態）
次に、図９を参照しながら、第５実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。なお、以下の説明では、上記した第１実施形態による液体吐出ヘッド用基板と同一または相当する構成については、第１実施形態で用いた符号と同一の符号を用いることにより、その詳細な説明を省略する。

【0058】

この第５実施形態では、下記の点において上記第１実施形態と異なっている。即ち、基板１０８では、各ヒータ列部２００における対向電極部２０４に対して、電圧発生部２１６の同一のＤＡＣから電圧が印加されるようにした。また、各ヒータ列部２００における上部電極部２０２に対してそれぞれ、電圧発生部２１６における異なるＤＡＣから電圧が印加されるようにした。

【0059】

図９は、第５実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８の回路図である。本実施形態では、電圧発生部２１６は、制御回路４０６により制御されるＤＡＣ９０２．９０４、９０６、９０８を備えている。ＤＡＣ９０２、９０４、９０６、９０８はそれぞれ、ＶＨＴＭ４０８に接続されている。ＤＡＣ９０２は、ヒータ列部２００ａの上部電極部２０２に接続されている。ＤＡＣ９０４は、ヒータ列部２００ｂの上部電極部２０２に接続されている。ＤＡＣ９０６は、ヒータ列部２００ｃの上部電極部２０２に接続されている。ＤＡＣ９０８は、ヒータ列部２００ａ、２００ｂ、２００ｃの対向電極部２０４に接続されている。

【0060】

ＤＡＣ９０２～９０８は、その出力側において、接続される上部電極部２０２または対向電極部２０４を介して制御回路４０６に接続されている。ＤＡＣ９０２～９０８の出力値は、制御回路４０６に出力された後に、電極１２２を介して外部制御回路に出力される。なお、ＤＡＣ９０２～９０８は、上部電極部２０２や対向電極部２０４の手前で制御回路４０６に接続されるようにしてもよい。ＤＡＣ９０２、９０４、９０６、９０８はそれぞれ、ＤＡＣ４１８と同様に、図５に示す回路構成となっている。

【0061】

以上の構成において、液体吐出ヘッド１００から液体の吐出を伴う処理の実行中には、制御回路４０６の制御により、ＤＡＣ９０２、９０４、９０６に０Ｖ、ＤＡＣ９０８に、例えば、０．５Ｖなどの所定値の電圧を印加するように設定する。即ち、制御回路４０６が、ＤＡＣ９０８に対して、当該所定値の電圧を印加するための入力信号５０８を出力する。なお、当該所定値としては、液室１２６から吐出口１１０を介して吐出する液体の種類、上部電極２０１を形成する配線３０６および対向電極２０３を形成する配線３１２の材料などに応じて決定される。また、当該所定値は、効率的に上部電極２０１へのコゲの付着を抑制することが可能な値とする。これにより、上部電極２０１が負の電極、対向電極２０３が正の電極として機能し、上記処理を実行中に液体に由来するコゲの上部電極２０１への付着が抑制される。

【0062】

また、上部電極２０１に付着したコゲを除去する際には、制御回路４０６の制御により、ＤＡＣ９０２、９０４、９０６に、例えば、２Ｖなどの所定値の電圧、ＤＡＣ９０８に０Ｖの電圧を印加するように設定する。即ち、制御回路４０６が、ＤＡＣ９０２、９０４、９０６に対して、当該所定値の電圧を印加するための入力信号５０８を出力する。なお、当該所定値としては、液室１２６から吐出口１１０を介して吐出する液体の種類、上部電極２０１を形成する配線３０６および対向電極２０３を形成する配線３１２の材料などに応じて決定される。また、当該所定値は、効率的に上部電極２０１からコゲを除去することが可能な値とする。これにより、上部電極２０１が正の電極、対向電極２０３が負の電極として機能し、上部電極２０１が液体に溶出して、上部電極２０１に付着したコゲが除去される。

【0063】

以上において説明したように、本実施形態による基板１０８では、基板１０８上に設けられている電圧発生部２１６によって、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２および対向電極部２０４に対して所定の電圧を印加するようにした。このため、上記第１実施形態と同様に、上部電極２０１、対向電極２０３に対して、高い精度で、目的とする値の電圧を印加することができるようになる。

【0064】

また、ＤＡＣ９０２、９０４、９０６は、それぞれ異なるヒータ列部２００の上部電極部２０２に接続されている。このため、異なるヒータ列部２００を備えた液室１２６に連通する吐出口１１０から、異なる種類の液体を吐出する構成の場合、上部電極部２０２に対して、液体の種類に応じて、コゲの除去に適した値となる電圧を印加することができる。これにより、液体吐出ヘッド１００では、効率的にコゲを除去することができるようになる。

【0065】

また、上部電極部２０２に対して、異なる値の電圧値を印加する場合、公知技術のように外部の電圧発生部から電圧を印加する構成であると、各ヒータ列部に対して、それぞれ電圧発生部と接続する電極を設ける必要がある。これに対して、本実施形態の基板１０８では、こうした電極を、設ける必要がないため、基板１０８の大型化が抑制されるとともに、当該電極に対する封止の必要がなくなり、基板性能に対する信頼性の低下が生じ難くなる。

【0066】

（第６実施形態）
次に、図１０を参照しながら、第６実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。なお、以下の説明では、上記した第１実施形態および第５実施形態による液体吐出ヘッド用基板と同一または相当する構成については、第１実施形態および第５実施形態で用いた符号と同一の符号を用いることにより、その詳細な説明を省略する。

【0067】

この第６実施形態では、各ヒータ列部２００における上部電極部２０２および対向電極部２０４に対してそれぞれ、電圧発生部２１６における異なるＤＡＣから電圧が印加されるようにした点において、上記第１実施形態および第５実施形態と異なっている。

【0068】

図１０は、第６実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８の回路図である。本実施形態では、電圧発生部２１６は、ＶＨＴＭ４０８に接続されたＤＡＣ４２４、４２６、４２８、９０２、９０４、９０６を備えている。

【0069】

具体的には、ヒータ列部２００ａでは、上部電極部２０２に対してＤＡＣ９０２から電圧が印加され、対向電極部２０４に対してＤＡＣ４２４から電圧が印加される。また、ヒータ列部２００ｂでは、上部電極部２０２に対してＤＡＣ９０４から電圧が印加され、対向電極部２０４に対してＤＡＣ４２６から電圧が印加される。さらに、ヒータ列部２００ｃでは、上部電極部２０２に対してＤＡＣ９０６から電圧が印加され、対向電極部２０４に対してＤＡＣ４２８から電圧が印加される。

【0070】

以上の構成において、例えば、それぞれ異なるヒータ列部２００を備えた液室１２６に連通する吐出口１１０から、異なる液体を吐出する構成の場合には、以下のように制御することができる。

【0071】

液体吐出ヘッド１００から液体の吐出を伴う処理の実行中には、制御回路４０６の制御により、ＤＡＣ９０２、９０４、９０６に０Ｖ、ＤＡＣ４２４に０．５Ｖ、ＤＡＣ４２６に０．６Ｖ、ＤＡＣ４２８に０．７Ｖの電圧を印加するように設定する。なお、ＤＡＣ４２４、４２６、４２８に設定される電圧値は、それぞれ吐出する液体に由来するコゲの上部電極２０１への付着を効率的に抑制可能な値となる。このように、液体の種類に応じて、コゲの抑制に適した電圧を対向電極部２０４に印加する。これにより、上部電極２０１が負の電極、対向電極２０３が正の電極として機能し、コゲの抑制を効率的に実行することができる。

【0072】

また、上部電極部２０２に付着したコゲを除去する際には、制御回路４０６の制御により、ＤＡＣ９０２に２Ｖ、ＤＡＣ９０４に２．４Ｖ、ＤＡＣ９０６に２．８Ｖ、ＤＡＣ４２４、４２６、４２８に０Ｖの電圧を印加するように設定する。なお、ＤＡＣ９０２、９０４、９０６に設定される電圧値は、それぞれ吐出する液体に由来するコゲを上部電極２０１から効率的に除去可能な値となる。このように、液体の種類に応じて、コゲの除去に適した電圧を上部電極部２０２に印加する。これにより、上部電極２０１が正の電極、対向電極２０３が負の電極として機能し、コゲの除去を効率的に実行することができる。

【0073】

以上において説明したように、本実施形態による基板１０８では、基板１０８上に設けられた電圧発生部２１６によって、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２および対向電極部２０４のそれぞれに対して個別に異なる電圧を印加することができるようにした。これにより、上記第１実施形態の同様の作用効果に加えて、上記第５実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

【0074】

（第７実施形態）
次に、図１１を参照しながら、第７実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。なお、以下の説明では、上記した第１実施形態による液体吐出ヘッド用基板と同一または相当する構成については、第１実施形態で用いた符号と同一の符号を用いることにより、その詳細な説明を省略する。

【0075】

この第７実施形態では、電圧発生部２１６において、各ヒータ列部２００に対して、上部電極部２０２および対向電極部２０４のそれぞれに選択的に電圧を印加することができるＤＡＣを備えるようにした点において、上記第１実施形態と異なっている。

【0076】

図１１は、第７実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８の回路図である。本実施形態では、電圧発生部２１６は、制御回路４０６により制御されるＤＡＣ１１０２、１１０４、１１０６を備えている。ＤＡＣ１１０２、１１０４、１１０６はそれぞれＶＨＴＭ４０８に接続されている。ＤＡＣ１１０２は、切替部１１０８を介して、ヒータ列部２００ａの上部電極部２０２または対向電極部２０４に選択的に接続可能となっている。ＤＡＣ１１０４は、切替部１１１０を介して、ヒータ列部２００ｂの上部電極部２０２または対向電極部２０４に選択的に接続可能となっている。ＤＡＣ１１０６は、切替部１１１２を介して、ヒータ列部２００ｃの上部電極部２０２または対向電極部２０４に選択的に接続可能となっている。

【0077】

切替部１１０８、１１１０、１１１２は、制御回路４０６の制御によって、ＤＡＣ１１０２、１１０４、１１０６による電圧を印加する対象を選択する。切替部１１０８、１１１０、１１１２はそれぞれ同じ構成となっている。従って、以下の説明では、切替部１１１２の構成について説明し、切替部１１０８、１１１０の構成についてはその説明を省略する。

【0078】

切替部１１１２は、２つのスイッチ部Ｓａ、Ｓｂを備えている。制御回路４０６は、このスイッチ部Ｓａ、Ｓｂを制御して、ＤＡＣ１１１２が電圧を印加する対象を選択することとなる。スイッチ部Ｓａは、対向電極部２０４を、ＤＡＣまたはグランドＧに選択的に接続する。また、スイッチ部Ｓｂは、上部電極部２０２を、ＤＡＣまたはグランドＧに選択的に接続する。制御回路４０６は、スイッチ部Ｓａ、Ｓｂを制御して、ＤＡＣを上部電極部２０２または対向電極部２０４に接続させる。

【0079】

ＤＡＣ１１０２～１１０６は、その出力側において、接続される上部電極部２０２または対向電極部２０４を介して制御回路４０６に接続されている。ＤＡＣ１１０２～１１０６の出力値は、制御回路４０６に出力された後に、電極１２２を介して外部制御回路に出力される。なお、ＤＡＣ１１０２～１１０６は、上部電極部２０２や対向電極部２０４の手前で制御回路４０６に接続されるようにしてもよい。ＤＡＣ１１０２、１１０４、１１０６はそれぞれ、ＤＡＣ４１８と同様に、図５に示す回路構成となっている。

【0080】

以上の構成において、液体吐出ヘッド１００から液体の吐出を伴う処理の実行中には、各ＤＡＣと各切替部とを制御して、上部電極部２０２へ０Ｖ、対向電極部２０４に、例えば、０．５Ｖなどの所定値の電圧を印加するよう設定する。具体的には、切替部１１０８、１１１０、１１１２では、スイッチ部Ｓｂにより上部電極部２０２がグランドＧに接続され、スイッチ部Ｓａにより対向電極部２０４が対応するＤＡＣに接続される。これにより、上部電極２０１が負の電極、対向電極２０３が正の電極として機能し、上記処理を実行中に液体に由来するコゲの上部電極２０１への付着が抑制される。

【0081】

また、上部電極２０１に付着したコゲを除去する際には、制御回路４０６の制御により、切替部１１０８、１１１０、１１１２を制御して、上部電極部２０２に、例えば、２Ｖなどの所定値の電圧、対向電極部２０４に０Ｖの電圧を印加するように設定する。具体的には、切替部１１０８、１１１０、１１１２では、スイッチ部Ｓｂにより上部電極部２０２が対応するＤＡＣに接続され、スイッチ部Ｓａにより対向電極部２０４がグランドＧに接続される（図１１に示す状態である。）。これにより、上部電極２０１が正の電極、対向電極２０３が負の電極として機能し、上部電極２０１が液体に溶出して、上部電極２０１に付着したコゲが除去される。

【0082】

以上において説明したように、本実施形態による基板１０８では、基板１０８上に設けられた電圧発生部２１６によって、ヒータ列部２００ごとに、上部電極部２０２または対向電極部２０４に所定値の電圧を印加可能な構成とした。これにより、上記第６実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

【0083】

（第８実施形態）
次に、図１２を参照しながら、上記実施形態による液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置について説明する。なお、以下の説明では、上記した各実施形態による液体吐出ヘッド用基板と同一または相当する構成については、各実施形態で用いた符号と同一の符号を用いることにより、その詳細な説明を省略する。

【0084】

本実施形態では、液体吐出装置として、記録媒体に対してインクジェット方式によりインクを吐出して記録するインクジェット記録装置を例として説明する。従って、以下の説明では、液体吐出ヘッドは記録ヘッドとして説明される。なお、インクジェット記録装置としては、記録機能のみを備えたシングルファンクションプリンタであってもよいし、記録機能のほかにスキャナ機能などの種々の機能を備えたマルチファンクションプリンタであってもよい。

【0085】

以下の説明において、「記録」は、記録媒体上に画像、模様、パターン、構造物など、人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものを形成する場合だけでなく、媒体の加工を行う場合を含む。「記録媒体」とは、一般的なインクジェット記録装置で用いられる紙のみならず、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、樹脂、木材、皮革など、記録液を付すことが可能なものを含む。「記録液」は、記録媒体に付与されることにより、画像、模様、パターンなどの形成または記録媒体の加工に供されるインクなどの液体だけでなく、付与された記録液に対して、例えば、凝固、不溶化などの処理を行う種々の処理液を含む。

【0086】

図１２（ａ）は、上記実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８を用いた記録ヘッドを備えた記録部の斜視構成図である。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置の概略構成図である。なお、以下の説明では、インクジェット記録装置を、単に「記録装置」とも称する。

【0087】

記録装置１２０１は、記録媒体Ｐに対してインクを付与する記録部１２０２を備えている。この記録部１２０２は、上記実施形態による液体吐出ヘッド用基板１０８を用いた記録ヘッド１２００を備えた記録ヘッド部１２０４と、記録ヘッド部１２０４に取り付けられたインクタンク１２０６とを有する。

【0088】

また、記録装置１２０１は、記録媒体Ｐの搬送方向と交差（本実施形態では直交）する方向において、往復移動可能なキャリッジ１２０８を備えている（図１２（ｂ）参照）。キャリッジ１２０８は、螺旋溝が形成されたリードスクリュー１２１０に取り付けられている。リードスクリュー１２１０の回転によってキャリッジ１２０８はガイド１２１２に沿って矢印Ａ方向および矢印Ｂ方向に移動することができる。リードスクリュー１２１０の回転は、駆動力伝達ギア１２１４、１２１６を介して、駆動モータ１２１８の回転に連動する。

【0089】

記録部１２０２は、このキャリッジ１２０８に搭載される。従って、記録部１２０２は、キャリッジ１２０８を介して、記録媒体Ｐの搬送方向と交差する方向で往復移動可能となっている。なお、記録部１２０２は、キャリッジ１２０８に搭載された際に、キャリッジ１２０８からの電気信号を受けるための電気的コンタクト（不図示）を備えており、当該電気信号に従って記録ヘッド１２００の吐出口１１０よりインクを吐出する。キャリッジ１２０８には、記録制御部（後述する）から当該電気信号が入力される。

【0090】

インクタンク１２０６は、記録ヘッド部１２０４に供給するインクを保持する。記録部１２０２では、インクタンク１２０６と記録ヘッド部１２０４とを、例えば、破線部分Ｋで分離することができ、インクタンク１２０６を交換可能な構成となっている。インクタンク１２０６は、例えば、繊維質状または多孔質状のインク保持部材（不図示）を有しており、当該インク保持材によってインクを保持することができる。

【0091】

記録装置１２０１は、記録媒体Ｐを搬送する搬送部（不図示）を備えている。記録媒体Ｐは、搬送部によってプラテン１２２０上に搬送される。プラテン１２２０上に搬送される記録媒体Ｐは、押え板１２２２によって、キャリッジ１２０８の移動方向に亘って、プラテン１２２０に押さえられる。また、記録装置１２０１は、矢印Ｂ方向から矢印Ａ方向へ移動方向の転換するタイミングを検出するためのフォトカプラ１２２４、１２２６と、記録ヘッド１２００の吐出口１１０が形成された面をキャッピングして保護するキャップ部材１２３２とを備えている。さらに、記録装置１２０１は、記録ヘッド１２００の吐出口１１０が形成された面（以下、「吐出口面」とも称する。）を払拭して、当該面に付着した付着物を除去可能なクリーニングブレード１２３４を備えている。

【0092】

フォトカプラ１２２４、１２２６は、キャリッジ１２０８において、矢印Ａ方向の上流側に設けられたレバー１２２８を検知可能となっている。フォトカプラ１２２４、１２２６においてレバー１２２８を検知すると、記録制御部は、駆動モータ１２１８の回転方向を切り替えて、キャリッジ１２０８の移動方向を矢印Ｂ方向から矢印Ａ方向に変更する。また、キャップ部材１２３２は、支持部材１２３０に支持されている。また、キャップ部材１２３２は、その内部を吸引部（不図示）により吸引可能な構成となっている。これにより、記録装置１２０１では、キャップ部材１２３２が記録ヘッド１２００をキャッピングした状態で、吸引部が駆動することで、吐出口１１０からのインクの吐出状態を良好に維持・回復することができる。

【0093】

クリーニングブレード１２３４としては、公知の種々の技術を用いることができる。本実施形態では、クリーニングブレード１２３４は、移動部材１２３６に保持され、移動部材１２３６によって、記録媒体Ｐの搬送方向および記録部１２０２の移動方向と交差する方向に移動可能となっている。上記付着物を除去するクリーニング時には、移動部材１２３６を介してクリーニングブレード１２３４は、移動する記録部１２０２における吐出口面と当接可能な位置まで移動し、記録部１２０２の移動によって、当該吐出口面の付着物を除去することとなる。なお、クリーニングブレード１２３４および移動部材１２３６は、本体支持板１２３８により支持されている。

【0094】

記録装置１２０１には、記録制御部（不図示）が設けられている。記録装置１２０１では、記録制御部によって、外部からの記録データなどの電気信号に従って、各機構のそれぞれの駆動を制御することとなる。記録装置１２０１は、記録制御部の制御によって、キャリッジ１２０８を介して記録部１２０２が移動する際の記録と、搬送部による記録媒体Ｐの搬送とを交互に繰り返すことで、記録媒体Ｐへの記録を完成させる。

【0095】

本実施形態では、上記実施形態による液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッドを、記録媒体に対して記録する記録装置に適用した場合について説明したが、これに限定されるものではない。即ち、上記実施形態による液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッドを、液体吐出ヘッドから液体を吐出して、例えば、粉末材料を硬化して三次元造形物を作製する三次元造形装置に適用するようにしてもよい。

【0096】

（他の実施形態）
なお、上記した実施形態は、以下の（１）乃至（６）に示すように変形してもよい。

【0097】

（１）上記実施形態では特に記載しなかったが、上部電極２０１と対向電極２０３とは、それ１つ当たりの面積、つまり、電極として液体と接触可能な面積が、同じであってもよいし、対向電極２０３の方が小さくてもよい。また、上部電極２０１と対向電極２０３とは、設けられた個数が、対向電極２０３の方が多くなるようにしたが（図２参照）、対向電極２０３の方が少なくなるようにしてもよい。あるいは、図１３のように、上部電極部２０２の延在方向と交差する方向の一方側において、上部電極２０１と同数の対向電極２０３が設けられるようにしてもよい。

【0098】

（２）上記第１～４実施形態では特に記載しなかったが、コゲの除去が不要な場合には、上部電極部２０２へ電圧を印加するためのＤＡＣ（または、それに相当する構成）を省略してもよい。この場合、上部電極部２０２は、ＴＨＴ２１４を介して電圧発生部２１６に接続するのではなく、電極１２２に接続されたＩｒ１４０２（イリジウム電極）を、基板１０８外でグランドに接続するようにしてもよい。ここで、Ｉｒ１４０２は上部電極２０１を構成する配線３０６と積層方向において同じ層として設けてもよい。

【0099】

具体的には、例えば、第１実施形態の場合、ＤＡＣ４２２を省略し、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２をＩｒ１４０２に接続することとなる（図１４（ａ）（ｂ）参照）。こうした構成において、コゲを除去させる場合には、外部からＩｒ１４０２へ電圧を印加し、その他は外部でグランドに接続するようにする。

【0100】

なお、上記のようにコゲの除去が不要な場合、上部電極２０１は液体との電気化学反応によって液体に溶出可能な材料で構成されていなくてもよい。上部電極２０１は、液体と接する位置に設けられ、電極として機能すればよい。即ち、上部電極２０１を形成する配線３０６は、上部電極２０１を電極として機能させることが可能であれば、どのような材料であってもよい。

【0101】

また、上記第５実施形態では、コゲの抑制が不要な場合には、対向電極部２０４へ電圧を印加するためのＤＡＣ９０８を省略してもよい。この場合、対向電極部２０４は、ＴＨＴ２１４を介して電圧発生部２１６に接続するのではなく、電極１２２を介して、基板１０８外でグランドに接続するようにしてもよい。

【0102】

（３）上記第５、第６、第７実施形態では特に記載しなかったが、これらの実施形態では、上記第２、第３、第４実施形態の技術を適用するようにしてもよい。また、上記実施形態では、基板１０８においてヒータ列部２００を３つ設けるようにしたが、これに限定されるものではなく、基板１０８にはヒータ列部２００を、１つ、２つ、または４つ以上設けるようにしてもよい。また、各ヒータ列部２００が吐出するインクの種類が異なっていても、それぞれに対応する上部電極部２０２や対向電極部２０４に対して必ずしも異なる電圧を印加する必要はない。即ち、インクの種類が異なる２つの上部電極部２０２や２つの対向電極部２０４に対し、２つの異なる電圧を印加可能なように構成すればよい。その際、その他のインクの種類の上部電極部２０２や対向電極部２０４に対しては共通の電圧を印加するような回路構成であってもよい。

【0103】

（４）上記実施形態では、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２および対向電極部２０４に対して、１つの電圧発生部２１６から電圧を印加するようにしたが、これに限定されるものではない。即ち、各ヒータ列部２００の上部電極部２０２と対向電極部２０４とに対して、異なる電圧発生部から電圧を印加するようにしてもよい。この場合、各上部電極部２０２のそれぞれに対して電圧発生部を設けるようにしてもよいし、複数設けられた上部電極部２０２に対して１つの電圧発生部を設けるようにしてもよい。なお、対向電極部２０４についても、上部電極部２０２と同様にして電圧発生部を設けるようにしてもよい。

【0104】

（５）上記実施形態による液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出ヘッドは、インクを吐出して記録媒体に記録する記録装置のみに適用されるものではなく、液体吐出ヘッドから種々の液体を吐出する液体吐出装置として広く適用可能である。また、上記第８実施形態では、記録装置１２０１を、所定方向に搬送される記録媒体Ｐに対して、所定方向と交差する方向に記録部１２０２を移動しながら記録する、所謂、シリアルスキャンタイプの記録装置としたが、これに限定されるものではない。即ち、記録装置１２０１は、記録媒体Ｐにおける記録領域の幅方向（所定方向と交差する方向）全域に亘る長尺な記録ヘッドを用いる、所謂、フルラインタイプの記録装置としてもよい。さらに、上記第８実施形態では、記録装置１２０１を、搬送される記録媒体Ｐに対して記録を行う、所謂、ペーパームーブタイプの記録装置としたが、これに限定されるものではない。即ち、載置された記録媒体Ｐに対して、記録ヘッドが移動して記録を行う、所謂、フラットベッドタイプの記録装置としてもよい。

【0105】

（６）上記実施形態および上記した（１）乃至（５）に示す各種の形態は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。

【符号の説明】

【0106】

１０８ 液体吐出ヘッド用基板
２０１ 上部電極
２０２ 上部電極部
２０３ 対向電極
２０４ 対向電極部
２１６ 電圧発生部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】