特許7581392真空排気装置、及びプラズマ発生装置

発明の名称　真空排気装置、及びプラズマ発生装置

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1274 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1061 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7581392

公報発行日　2024年11月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7581392

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