特許 7581539 エアナイフ、及びこれを備えたレジスト剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-01

(45)【発行日】2024-11-12

(54)【発明の名称】エアナイフ、及びこれを備えたレジスト剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/027 20060101AFI20241105BHJP

   G03F 7/42 20060101ALN20241105BHJP

【ＦＩ】

H01L21/30 572B

G03F7/42

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023567384

(86)(22)【出願日】2021-12-15

(86)【国際出願番号】 JP2021046261

(87)【国際公開番号】W WO2023112200

(87)【国際公開日】2023-06-22

【審査請求日】2024-03-06

(73)【特許権者】

【識別番号】520487808

【氏名又は名称】シャープディスプレイテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002848

【氏名又は名称】弁理士法人ＮＩＰ＆ＳＢＰＪ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】荻野 和基

【審査官】佐藤 海

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１６７６１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１００７７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－２２２２８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２７０８４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０１３８３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０２６６６９８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

エアナイフ本体と、
前記エアナイフ本体にスリット状に形成され、送り込まれた気体を吹き出す吹出口と、
前記エアナイフ本体の内部に形成され、前記送り込まれた気体を前記吹出口に導く風路と、
少なくとも一部が前記風路の内部に配され、頭部と、前記頭部から前記吹出口に向かって延出する脚部と、前記頭部に設けられる持手部と、を有する清掃部と、を備え、
前記清掃部は、前記吹出口の長手方向に沿って移動可能に設けられ、
前記エアナイフ本体に開口部が形成され、
前記持手部は、前記風路から前記開口部を通り前記エアナイフ本体の外部に延出していることを特徴とするエアナイフ。

【請求項2】

エアナイフ本体と、
前記エアナイフ本体にスリット状に形成され、送り込まれた気体を吹き出す吹出口と、
前記エアナイフ本体の内部に形成され、前記送り込まれた気体を前記吹出口に導く風路と、
少なくとも一部が前記風路の内部に配され、頭部と、前記頭部から前記吹出口に向かって延出する脚部と、前記頭部に設けられる持手部と、を有する清掃部と、を備え、
前記清掃部は、前記吹出口の長手方向に沿って移動可能に設けられ、
前記エアナイフ本体には、前記清掃部の少なくとも前記頭部および前記脚部を収納する収納部が設けられ、
前記収納部は、前記吹出口の長手方向における前記風路の外側に位置することを特徴とするエアナイフ。

【請求項3】

前記頭部は、前記吹出口の短手方向において、前記吹出口の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１または２に記載のエアナイフ。

【請求項4】

前記頭部は取付部を有し、
前記持手部は、前記取付部に対して取り外し可能な被取付部を有することを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のエアナイフ。

【請求項5】

前記開口部を塞ぐカバー部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のエアナイフ。

【請求項6】

前記エアナイフ本体は、前記開口部の周囲に設けられる固定部を有し、
前記カバー部は、前記固定部に固定されることを特徴とする請求項５に記載のエアナイフ。

【請求項7】

前記脚部は、板状の部材であり、前記頭部と接続する根元部分から前記吹出口側の先端部分に向かって、前記吹出口の長手方向における幅が漸次狭くなることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のエアナイフ。

【請求項8】

請求項１～７のいずれか１項に記載のエアナイフと、
基板上にレジストを剥離する剥離液を塗布する塗布装置と、
前記基板を搬送する搬送装置と、を含むことを特徴とするレジスト剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エアナイフ、及びこれを備えたレジスト剥離装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基板上に形成されたレジストを剥離する剥離装置が知られている。当該剥離装置は、基板上に形成されたレジストを剥離するために基板に剥離液を塗布する塗布装置と、基板に洗浄液を噴きかける高圧シャワーと、基板上にエアを吹き出すエアナイフと、を備えている。一般に、レジスト剥離後の基板上に剥離液が付着していると、基板上に形成されるパターンに欠陥が生じてしまう。そのため、塗布装置において剥離液を塗布した後、高圧シャワーにより洗浄液を基板上に噴きかけて、基板を洗浄する。洗浄後の基板は、エアナイフから吹き出されるエアにより液切りされる。

【0003】

しかし、エアナイフによる液切りする処理を行った後であっても、基板上にミスト状の液体が付着してしまうことがある。その原因の一つとして、エアナイフの吹出口に異物が付着していることが考えられる。エアナイフの吹出口に付着した異物は、例えば（ｉ）吹出口から吹き出されるエアに乱れを生じさせることや、（ｉｉ）吹出口から吹き出されるエアと一緒に吹出口に付着した異物を吹き出してしまうこと等に対する原因となる可能性がある。その結果、吹出口から吹き出されるエアに異常が生じ、基板上にミスト状の液体が付着してしまうと考えられる。従って、エアナイフの吹出口に付着した異物を除去する必要がある。

【0004】

例えば、特許文献１には、スリット状の開口部を清掃する清掃部材が開示されている。当該清掃部材は、ノズルの外部からノズルの内部に向かってノズルの開口部に挿入される。当該清掃部材をノズルの開口部の長手方向に沿って移動させることにより、開口部に付着した異物を除去する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】日本国特許５７７１４３２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１のように清掃部材をノズルの外部からノズルの内部に挿入する場合、ノズルの開口部に付着した異物を清掃部材によりノズルの内部に送り込んでしまう可能性がある。それにより、ノズルの開口部に付着した異物が、ノズルの外部へ排出されず、ノズル内部に残存する可能性がある。

【0007】

そのため、特許文献１の清掃部材を用いてエアナイフの吹出口を清掃したとしても、吹出口から吹き出されるエアに生じる異常が解消されない可能性がある。そのため、基板上にミスト状の液体が付着してしまう可能性がある。

【0008】

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、吹出口から吹き出されるエアに起因して基板上に異物が付着するのを防ぐことができるエアナイフを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るエアナイフは、エアナイフ本体と、前記エアナイフ本体にスリット状に形成され、送り込まれた気体を吹き出す吹出口と、前記エアナイフ本体の内部に形成され、前記送り込まれた気体を前記吹出口に導く風路と、前記風路の内部に配され、頭部と、前記頭部から前記吹出口に向かって延出する脚部と、前記頭部に設けられる持手部と、を有する清掃部と、を備え、前記清掃部は、前記吹出口の長手方向に沿って移動可能に設けられることを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、吹出口から吹き出されるエアに起因して基板上に異物が付着するのを防ぐことができるエアナイフを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態１に係るレジスト剥離装置の概略図である。

【図2】図１に示すレジスト剥離装置に含まれるエアナイフの清掃時の態様を模式的に示す図である。

【図3】図２に示すエアナイフの内部構成を模式的に示す断面図である。

【図4】図１に示すレジスト剥離装置に含まれるエアナイフの通常時の態様を模式的に示す図である。

【図5】図４に示すエアナイフの内部構成を模式的に示す断面図である。

【図6】実施形態１に係るエアナイフに設けられる清掃部を模式的に示した正面図である。

【図7】実施形態１に係るエアナイフに設けられる清掃部を模式的に示した側面図である。

【図8】実施形態１に係る清掃部の脚部の第１変形例を模式的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

〔実施形態１〕
以下、本発明の一実施形態について、図１～７を用いて詳細に説明する。

【0013】

（レジスト剥離装置）
図１を用いて、レジスト剥離装置１０について説明する。図１は、レジスト剥離装置１０の概略図である。レジスト剥離装置１０は、レジスト剥離槽２０と、リンス槽３０と、搬送装置４０とを含む。なお、レジスト剥離装置１０は、エッチング処理槽、洗浄処理槽、乾燥処理槽などの他の処理槽を含んでいてもよいし、レジスト剥離槽２０のみであってもよい。

【0014】

レジスト剥離槽２０は、基板１００上に形成されたレジストを剥離する処理を行う槽である。レジスト剥離槽２０は、塗布装置２１と、洗浄装置２２と、エアナイフ５０Ａ、５０Ｂとを含む。レジスト剥離槽２０の入口２０１には、エアナイフ５０Ａが設けられている。エアナイフ５０Ａは、基板１００に対して垂直に風（気体）を吹き出す。

【0015】

エアナイフ５０Ａの後流には、塗布装置２１が設けられている。塗布装置２１は、基板１００に形成されたレジストを剥離する剥離液を基板１００に塗布する。塗布装置２１は、いずれも図示していないが、剥離液を貯留する液体貯留部、剥離液を吐出するシャワーノズル、及び剥離液を液体貯留部からシャワーノズルへ供給する液体供給部を備える。塗布装置２１は、液体貯留部に貯留された剥離液をシャワーノズルから噴出することにより、基板に剥離液を塗布する。なお、塗布装置２１は、剥離液に基板をディップすることにより基板１００に剥離液を塗布する装置であってもよい。

【0016】

塗布装置２１の後流には、洗浄装置２２が設けられている。洗浄装置２２は、剥離液が塗布された基板１００を洗浄するための洗浄液を基板１００に噴出する。洗浄装置２２は、液体貯留部から供給された洗浄液を高圧シャワーノズルから噴出することにより、基板１００を洗浄する。洗浄装置２２よりも後流であって、レジスト剥離槽２０の出口２０２にはエアナイフ５０Ｂが設けられている。図１の矢印で示すように、エアナイフ５０Ｂは、風向きをレジスト剥離槽２０の内側に向けつつ基板１００に風を吹き出す。エアナイフ５０Ｂにより、基板１００上に付着する液体が液切りされる。なお、エアナイフ５０Ｂは、基板１００に対して垂直に風を吹き出してもよい。

【0017】

リンス槽３０は、レジスト剥離処理が施された基板１００をリンスする処理を行う槽である。リンス槽３０は、塗布装置３１と、洗浄装置３２と、アクアナイフ３３と、エアナイフ５０Ｃとを含む。リンス槽３０の入口３０１には、エアナイフ５０Ｃが設けられている。図１の矢印にて示すように、エアナイフ５０Ｃは、風向きをリンス槽３０の内側に向けつつ基板１００に風を吹き出す。エアナイフ５０Ｃは、基板１００を乾燥させると共に、リンス液がレジスト剥離槽２０に侵入するのを防止する。エアナイフ５０Ｃよりも後流には、アクアナイフ３３が設けられている。アクアナイフ３３は、洗浄液を基板１００に噴出することにより、基板１００の表面に付着した異物を除去する。アクアナイフ３３は、図１の矢印で示すように、リンス槽３０の内部側に向けて洗浄液を噴出する。

【0018】

アクアナイフ３３よりも後流には、塗布装置３１が設けられている。塗布装置３１は、レジストが剥離された基板１００をリンスするリンス液を基板１００に塗布する。塗布装置３１は、液体貯留部から供給されたリンス液をシャワーノズルから噴出する。リンス液をシャワーノズルから噴出することにより、塗布装置３１は基板１００にリンス液を塗布する。塗布装置３１よりも後流には、洗浄装置３２が設けられている。洗浄装置３２は、リンス液が塗布された基板１００を洗浄するための洗浄液を基板１００に噴出する。洗浄装置３２は、液体貯留部から供給された洗浄液を高圧シャワーから基板に噴出することにより、基板を洗浄する。

【0019】

搬送装置４０は、レジスト剥離槽２０及びリンス槽３０において、基板１００を搬送する装置である。具体的には、搬送装置４０は、レジスト剥離槽２０の入口２０１からレジスト剥離槽２０の出口２０２へと、及びリンス槽３０の入口３０１からリンス槽３０の出口３０２へと、基板１００を搬送する。搬送装置４０は、複数のローラにより基板１００を搬送する。なお、搬送装置４０は、ベルトにより基板１００を搬送するものであってもよい。

【0020】

（エアナイフ）
図２～図５を用いて、エアナイフ５０Ｂの構成について説明する。図２は、図１に示すレジスト剥離装置１０に含まれるエアナイフ５０Ｂの清掃時の態様を模式的に示す図である。図３は、図２に示すエアナイフ５０Ｂの内部構成を模式的に示す断面図である。図４は、図１に示すレジスト剥離装置１０に含まれるエアナイフ５０Ｂの通常時の態様を模式的に示す図である。図５は、図４に示すエアナイフ５０Ｂの内部構成を模式的に示す断面図である。エアナイフ５０Ｂが備える各構成要素の形状および位置関係などを説明するにあたって、便宜上、図２などに示すようなＸ（Ｘ１－Ｘ２）方向、Ｙ（Ｙ１－Ｙ２）方向、Ｚ（Ｚ１－Ｚ２）方向という三方向の座標軸を規定する。なお、エアナイフ５０Ａ及び５０Ｃについては、エアナイフ５０Ｂと同様の構成を備えていてもよい。

【0021】

本願において、風路５３（第１風路５３１、第２風路５３２）の長手方向とは、風路５３に送り込まれた気体が吹出口５２に向かう気体の流れ方向と直交する方向における長手方向を意味し、風路５３（第１風路５３１、第２風路５３２）の短手方向とは、風路５３に送り込まれた気体が吹出口５２に向かう気体の流れ方向と直交する方向における短手方向を意味する。本実施形態において、エアナイフ５０Ｂおよび吹出口５２の長手方向は風路５３の長手方向と同一であり、エアナイフ５０Ｂおよび吹出口５２の長手方向は風路５３の長手方向と同一である。本実施形態において、エアナイフ５０Ｂ、風路５３（第１風路５３１、第２風路５３２）、および吹出口５２の長手方向はＸ方向に相当し、エアナイフ５０Ｂ、風路５３（第１風路５３１、第２風路５３２）、および吹出口５２の短手方向はＺ方向に相当する。また、本願において、清掃部の脚部の幅は上記風路５３の長手方向における長さを意味し、清掃部の脚部の厚みは上記風路５３の短手方向における長さを意味する。

【0022】

図２及び図３に示すように、エアナイフ５０Ｂは、エアナイフ本体５１と、風路５３と、開口部５４と、収納部５５とを有する。エアナイフ本体５１はＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属製である。なお、エアナイフ本体は、金属以外の剥離液に対して耐性のある材料により形成されてもよい。なお、エアナイフ本体５１の形状は特に限定されず、矩形、三角形、多角形、又は円形のような形状であってもよい。また、エアナイフ本体５１は、Ｌ字型のような屈曲した形状、湾曲した形状等を有するものであってもよい。また、エアナイフ本体５１は、吹き出されるエアの向きを変える風向板等を有していてもよい。

【0023】

図２及び図３に示すように、風路５３はエアナイフ本体５１の内部に形成される。図２において、風路５３が形成されている部分を破線で示す。風路５３は、図示しない送風部から送り込まれる風（気体）をエアナイフ５０Ｂの吹出口５２から吹き出すまでの送風経路を構成する。本実施形態において、風路５３に送り込まれた風が吹出口５２に向かう風の流れ方向はＹ２方向である。風路５３は、第１風路５３１と、第２風路５３２とを有する。

【0024】

第１風路５３１は、第２風路５３２よりも送風経路の上流に位置する。第１風路５３１は、清掃部７０の頭部７１が移動可能な風路である。第２風路５３２は第１風路５３１と接続する風路である。第２風路５３２は、エアナイフ本体５１にスリット状に形成された風路である。第２風路５３２は清掃部７０の脚部７２が移動可能な風路である。第２風路５３２の終端がエアナイフ５０Ｂの吹出口５２を形成する。第２風路５３２の短手方向における幅Ｓ２は、第１風路の短手方向における幅Ｓ１よりも狭くなるように形成されている。なお、第２風路５３２の幅Ｓ２は、第１風路の幅Ｓ１と同じであってもよい。

【0025】

図２及び図３に示すように、開口部５４はエアナイフ本体５１に形成されている。開口部５４は、第１風路５３１とエアナイフ本体５１の外部空間とを繋ぐ開口である。開口部５４は、清掃部７０の持手部７３が移動可能な開口である。図２に示すように、開口部５４は、エアナイフ本体５１の長手方向において、開口部５４の両端の間に風路５３が位置するように形成されている。即ち、エアナイフ本体５１の長手方向において、開口部５４の両端の間に第２風路５３２が位置する。なお、少なくとも第２風路５３２がエアナイフ本体５１の長手方向における開口部５４の両端の間に位置していればよい。また、図３に示すように、開口部５４の周囲にはカバー部６０を固定するための固定部５６が設けられている。図示した例において、固定部５６はネジ穴である。なお、図面の見やすさを考慮し、図２における固定部５６についての記載は省略している。

【0026】

図２に示すように、エアナイフ本体５１には、清掃部７０の不使用時に清掃部７０を収納するための収納部５５が設けられている。収納部５５には、清掃部７０の頭部７１および脚部７２が収納される。なお、収納部５５は、清掃部７０の持手部７３を更に収納するものであってもよい。収納部５５は、風路５３の外側に設けられている。収納部５５は、吹出口５２の長手方向において、風路５３の片側のみに設けてもよいし、風路５３の両側に設けてもよい。また、エアナイフ本体５１に収納部５５を設けず、開口部５４から、又は開口部５４とは別の開口から清掃部７０をエアナイフ本体５１から取り出すようにしてもよい。

【0027】

（カバー部）
図４及び図５に示すように、カバー部６０は、エアナイフ本体５１の開口部５４を塞ぐ部材である。カバー部６０は、ゴム製又は樹脂製の部材である。図５に示すように、カバー部６０は、カバー本体６１と、突部６２と、貫通孔６３とを有する。カバー本体６１は、開口部５４の開口の面積よりも大きく形成されている。カバー本体６１は、エアナイフ本体５１の開口部５４を覆うようにして、開口部５４を塞いでいる。カバー本体６１の外部に露出する面は、図示していないが、剥離液に晒されないようにＳＵＳ等の金属、又は金属以外の剥離液に対して耐性のある材料により覆われている。なお、カバー本体６１を開口部５４の開口の面積と同程度の大きさ、及び形状としてもよい。この場合、カバー本体６１が、開口部５４に確実に嵌めこまれることにより、開口部５４を塞ぐようにしてもよい。

【0028】

カバー本体６１には、開口部５４に挿入可能な突部６２が設けられている。突部６２は、（ｉ）開口部５４の面積と同程度の大きさ及び形状、又は（ｉｉ）開口部５４の開口の面積よりも小さく、開口部５４に挿入可能な形状、となるように形成される。図５に示すように、カバー部６０がエアナイフ本体５１に固定されたとき、突部６２の先端はエアナイフ本体５１の第１風路５３１まで延出する。カバー本体６１に突部６２を設けることにより、カバー部６０をエアナイフ本体５１に対して位置決めすることができる。また、開口部５４の空間を隙間なく埋めるように突部６２を形成することにより、エアナイフ本体５１の第１風路５３１内において乱流が発生するのを減少させることができる。

【0029】

図５に示すように、カバー本体６１には、エアナイフ本体５１の固定部５６と対応する位置に貫通孔６３が形成されている。貫通孔６３には、カバー部６０をエアナイフ本体５１に固定するためのネジ６５が挿通される。貫通孔６３に挿通されたネジ６５がエアナイフ本体５１の固定部５６に螺合することにより、カバー部６０がエアナイフ本体５１に固定される。なお、カバー部６０の突部６２とエアナイフ本体５１の開口部５４との間に〇リングを設けてもよい。〇リングにより、開口部５４をシールするようにしてもよい。

【0030】

なお、カバー部６０はネジ構造によりエアナイフ本体５１に固定されているが、これに限られない。例えば、エアナイフ本体５１には固定部５６としての係合孔が形成され、カバー部６０には当該係合孔に係合する係合部が設けられる係合構造としてもよい。当該係合構造では、カバー部６０の係合部は、当該係合部の先端に突起部が設けられる。カバー部６０の係合部をエアナイフ本体５１の係合孔に嵌めこむことにより、当該突起部が当該係合孔と係合する。これにより、カバー部６０がエアナイフ本体５１に固定される。なお、カバー部６０に係合孔を設け、エアナイフ本体５１に突起部が設けられた係合部を設けられる構成としてもよい。

【0031】

（清掃部）
図２、３、６、７を用いて、エアナイフ５０Ｂに設けられる清掃部７０について説明する。図６は、エアナイフ５０Ｂに設けられる清掃部７０を模式的に示した正面図である。図６は、図３に示す清掃部７０をＺ１方向から見た図に相当する。図７は、エアナイフ５０Ｂに設けられる清掃部７０を模式的に示した側面図である。図７は、図２に示す清掃部７０をＸ２方向から見た図に相当する。

【0032】

図３に示すように、清掃部７０は、エアナイフ本体５１の内部に設けられている。清掃部７０は、風路５３の長手方向に沿って移動可能である。図６及び図７に示すように、清掃部７０は、頭部７１と、脚部７２と、持手部７３と、を有する。

【0033】

清掃部７０の頭部７１は、エアナイフ５０Ｂの第１風路５３１内に位置する。頭部７１は第１風路内を移動可能である。頭部７１は、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属、又は金属以外の剥離液に対して耐性のある材料により形成される部材である。図示した例においては、頭部７１は円柱状の形状である。なお、頭部７１の形状はこれに限られず、例えば直方体状、多角柱体、円錐、多角錐等のような形状とすることができる。頭部７１の幅Ｈ１は、第２風路５３２の幅Ｓ２よりも大きくなるように形成されている。なお、頭部７１の幅Ｈ１は、第２風路５３２の幅Ｓ２と同程度となるように設けてもよい。頭部７１には、持手部７３を取り付けるための取付部７５が形成されている。本実施形態において、取付部７５はネジ穴である。

【0034】

清掃部７０の頭部７１には棒状の持手部７３が設けられている。持手部７３は、ＳＵＳ等の金属製、又は樹脂製等の部材である。持手部７３は、頭部７１に対して取り外し可能である。持手部７３の一方端には、持手部７３を頭部７１の取付部に取り付けるための被取付部７４が形成されている。本実施形態において、被取付部７４はネジ山である。持手部７３の他方端は、作業者が保持しやすいように球体の形状を成している。持手部７３の他方端の形状は、球体に限られず、作業者が保持しやすい形状とすればよい。なお、持手部７３は頭部７１と一体構造として形成してもよい。持手部７３は、開口部５４を介して、エアナイフ本体５１の外部から清掃部７０の頭部７１に取り付けられる。図３に示すように、清掃部７０の頭部７１に持手部７３を取り付けた状態では、持手部７３の他方端がエアナイフ本体５１の外部まで延出している。

【0035】

なお、持手部７３はネジ構造により頭部７１に取り付けられているが、これに限られない。例えば、頭部７１に形成された係合孔に持手部７３の係合部を係合させる係合構造、頭部７１に持手部７３をクリップするクリップ構造等その他の方法により、頭部７１に持手部７３を取り付けてもよい。

【0036】

清掃部７０の頭部７１には、脚部７２が設けられている。脚部７２は、板状の部材である。脚部７２は、ＳＵＳ等の金属、又は金属以外の剥離液に対して耐性のある材料により形成される部材である。なお、脚部７２は、これに限られず、複数の繊維状の部材が設けられたブラシ状、綿状のものであってもよい。

【0037】

図３に示すように、脚部７２は頭部７１から吹出口５２に向かって延出している。脚部７２は、第２風路５３２内に位置し、吹出口５２の長手方向に沿って第２風路５３２内を移動可能である。脚部７２は、第２風路５３２の長手方向に延出する少なくとも１つの壁と当接可能である。脚部７２の先端は、第２風路５３２の吹出口５２と実質的に同じ位置に位置する。なお、脚部７２の先端は、エアナイフ本体５１の外部に突出していてもよいし、吹出口５２よりもエアナイフ本体の内側に位置していてもよい。

【0038】

図６に示すように、Ｘ方向において、脚部７２の先端の幅Ｗ２は、頭部７１と接続する脚部７２の根元部分の幅Ｗ１よりも狭くなるように形成されている。Ｘ方向における脚部７２の幅は、清掃部７０の頭部７１と接続する根元部分からエアナイフ５０Ｂの吹出口５２側の先端部分に向かうにつれ漸次狭くなっている。また、脚部７２の幅は、根元部分から先端部分にかけて実質的に一定の幅としてもよい。

【0039】

図７に示すように、第２風路５３２の方向において、脚部７２の先端の厚さＷ４は、清掃部７０の頭部７１と接続する根元部分の脚部７２の厚さＷ３よりも薄くなるように形成されている。脚部７２の厚さは、根元部分から先端部分に向かうにつれ漸次薄くなっている。脚部７２の先端部分の厚さを薄くすることにより、脚部により掻き出された異物を脚部の形状に沿って外部へ排出するためのスペースを形成することができる。また、脚部７２の根元部分の厚さＷ３は、第２風路５３２の幅Ｓ２と同程度の大きさとなるように形成される。このように、脚部７２の根元部分の幅Ｗ３を厚くすることにより、異物が第１風路５３１側に侵入するのを防ぐことができる。なお、脚部７２は、脚部７２の根元部分の厚さＷ３と、脚部７２の先端の厚さＷ４とを実質的に同じ厚さとなるように形成してもよい。

【0040】

（エアナイフの清掃作業について）
エアナイフ５０Ｂの風路５３を清掃する場合、作業者はエアナイフ本体５１からカバー部６０を取り外す。その後、作業者は収納部５５に収納された清掃部７０の頭部７１に持手部７３を取り付ける。収納部５５が設けられていない場合は、開口部５４又は開口部５４とは別の開口から清掃部７０を挿入し、所定の位置に配置させる。作業者は、エアナイフ本体５１の外部に位置する持手部７３を持ち、開口部５４の長手方向に沿って持手部７３を移動させる。

【0041】

持手部７３を開口部５４に沿って移動させることにより、清掃部７０の頭部７１が第１風路５３１内を第１風路５３１の長手方向に沿って移動する。頭部７１が第１風路５３１の長手方向に沿って移動すると、清掃部７０の脚部７２が第２風路５３２の長手方向に沿って移動する。即ち、清掃部７０は吹出口５２の長手方向に沿って移動する。この際、脚部７２は、長手方向に延出する第２風路５３２の少なくとも１つの壁と摺接しながら移動する。これにより、脚部７２は第２風路５３２に付着した異物をエアナイフ本体５１の外部へ排出する。

【0042】

風路５３を清掃した後は、清掃部７０を収納部５５に収納する。収納部５５が設けられていない場合は、開口部５４又は開口部５４とは別の開口から清掃部７０を取り出す。収納部５５に清掃部７０を収納した後、頭部７１から持手部７３を取り外し、エアナイフ本体５１にカバー部６０を取り付けて開口部５４を塞ぐ。

【0043】

〔変形例１〕
図８を用いて、実施形態１に係る清掃部７０の脚部７２の第１変形例について説明する。図８は、清掃部７０の脚部７２の第１変形例を模式的に示す図である。なお、清掃部７０の脚部７２１以外の構成については、上述の実施形態において説明した構成と同じであるため、説明を省略する。図８に示す矢印は、脚部７２１がエアナイフ本体５１の第２風路５３２内を移動するときの移動方向を示している。

【0044】

図８に示すように、清掃部７０の脚部７２１は、第２風路５３２の長手方向において、厚さが異なるように形成されている。第２風路５３２の長手方向における一方側の脚部７２１の厚さＷ５よりも、第２風路５３２の長手方向における他方側の脚部７２１の厚さＷ６の方が薄くなるように構成されている。脚部７２１の厚さは、第２風路５３２の長手方向の一方側に向かうにつれ漸次幅が狭くなるように形成されている。また、脚部７２１の頭部７１と接続する根元側の厚さＷ７は、脚部７２１の先端側の厚さＷ８よりも厚くなっている。即ち、脚部７２１の厚さは、根元部分から先端部分に向かうにつれ漸次薄くなっている。

【0045】

このように、第２風路５３２の長手方向において、脚部７２１の厚さを漸次薄くすることにより、長手方向に延出する第２風路５３２の少なくとも１つの壁と当接する面積を少なくすることができる。これにより、清掃部７０をスムーズにエアナイフ本体５１の風路５３内を移動させることができる。

【0046】

〔まとめ〕
本発明の態様１に係るエアナイフ５０Ｂは、エアナイフ本体５１と、エアナイフ本体５１にスリット状に形成され、送り込まれた気体を吹き出す吹出口５２と、エアナイフ本体５１の内部に形成され、前記送り込まれた気体を吹出口５２に導く風路５３と、風路５３の内部に配され、頭部７１と、頭部７１から吹出口５２に向かって延出する脚部７２と、頭部７１に設けられる持手部７３と、を有する清掃部７０と、を備え、清掃部７０は、吹出口５２の長手方向に沿って移動可能に設けられることを特徴とする。

【0047】

上記の構成によれば、清掃部をエアナイフ本体の外部からエアナイフ本体の内部へ挿入させる必要がない。そのため、吹出口や風路に付着した異物を風路の内部に送り込むことなくエアナイフの外部へ排出することができる。これにより、吹出口から吹き出されるエアに起因して基板上に異物が付着するのを防ぐことができるエアナイフを提供することができる。

【0048】

本発明の態様２に係るエアナイフ５０Ｂは、上記態様１において、頭部７１は、吹出口５２の短手方向において、吹出口５２の幅よりも大きいことを特徴とする。

【0049】

上記の構成によれば、清掃部は、吹出口の短手方向において、エアナイフの吹出口よりも幅の広い頭部を有することとなる。そのため、清掃部の頭部は吹出口を通過することができない。これにより、清掃部が吹出口からエアナイフ本体の外部へ落下することを防ぐことができる。

【0050】

本発明の態様３に係るエアナイフ５０Ｂは、上記態様１または２において、エアナイフ本体５１に開口部５４が形成され、持手部７３は、風路５３（第１風路５３１）から開口部５４を通りエアナイフ本体５１の外部に延出していることを特徴とする。

【0051】

上記の構成によれば、作業者は、エアナイフ本体の外部に延出する持手部を操作することにより清掃部を移動させる。そのため、作業者はエアナイフ本体に手を入れて清掃部を移動させる必要がない。これにより、作業者は容易に清掃部を移動させることができる。

【0052】

本発明の態様４に係るエアナイフ５０Ｂは、上記態様３において、頭部７１は取付部７５を有し、持手部７３は、取付部７５に対して取り外し可能な被取付部７４を有することを特徴とする。

【0053】

上記の構成によれば、清掃部の持手部は、清掃部の頭部に対して取り外し可能となる。そのため、清掃部を不使用の際、清掃部の頭部から取り外した状態とすることができる。これにより、清掃部の不使用時におけるエアナイフ外部の周辺のスペースを有効に活用することができる。

【0054】

本発明の態様５に係るエアナイフ５０Ｂは、上記態様３または４において、開口部５４を塞ぐカバー部６０を更に備えることを特徴とする。上記の構成によれば、エアナイフは、エアナイフの開口部を塞ぐカバーを備えることとなる。そのため、エアナイフの開口部からエアナイフの内部にミスト状の液体や異物等が浸入することを防ぐことができる。これにより、吹出口から吹き出されるエアに起因して基板上に異物が付着するのを防ぐことができるエアナイフを提供することができる。

【0055】

本発明の態様６に係るエアナイフ５０Ｂは、上記態様５において、エアナイフ本体５１は、開口部５４の周囲に設けられる固定部５６を有し、カバー部６０は、固定部５６に固定されることを特徴とする。

【0056】

上記構成によれば、エアナイフ本体５１に設けられた固定部により、カバー部をエアナイフ本体に固定することができる。これにより、カバー部がエアナイフ本体から脱落するのを防ぐことができる。

【0057】

本発明の態様７に係るエアナイフ５０Ｂは、上記態様１から６のいずれかにおいて、脚部７２は、板状の部材であり、頭部７１と接続する根元部分から吹出口５２側の先端部分に向かって、吹出口５２の長手方向における幅が漸次狭くなることを特徴とする。

【0058】

上記の構成によれば、清掃部の脚部は、清掃部の頭部と接続する根元部分が太く、エアナイフの吹出口側の先端部分に向かって漸次細くなることとなる。そのため、脚部によって吹出口から掻き出された異物を脚部の形状に沿って吹出口方向に移動させることができる。その結果、異物をエアナイフの外部へ排出することができる。これにより、吹出口から吹き出されるエアに起因して基板上に異物が付着するのを防ぐことができるエアナイフを提供することができる。

【0059】

本発明の態様８に係るエアナイフ５０Ｂは、上記態様１から７のいずれかにおいて、エアナイフ本体５１には、清掃部７０を収納する収納部５５が設けられ、収納部５５は、吹出口５２の長手方向における風路５３の外側に位置することを特徴とする。

【0060】

上記の構成によれば、清掃部の不使用時においては、エアナイフの吹出口よりも外側に設けられた収納部に清掃部を収納する。そのため、基板上にエアを吹き出す際、清掃部が原因となって生じる吹き出されるエアの乱れが生じることがない。これにより、吹出口から吹き出されるエアの乱れを生じさせにくいエアナイフを提供することができる。

【0061】

本発明の態様９に係るレジスト剥離装置１０は、上記態様の１から８のいずれかに記載のエアナイフ５０Ｂと、基板１００上にレジストを剥離する剥離液を塗布する塗布装置２１と、基板１００を搬送する搬送装置４０と、を含むことを特徴とする。

【0062】

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0063】

１０ レジスト剥離装置
２０ レジスト剥離槽
２１、３１ 塗布装置
２２、３２ 洗浄装置
３０ リンス槽
３３ アクアナイフ
４０ 搬送装置
５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ エアナイフ
５１ エアナイフ本体
５３ 風路
５３１ 第１風路
５３２ 第２風路
５４ 開口部
５５ 収納部
５６ 固定部
６０ カバー部
６１ カバー本体
６２ 突部
６３ 貫通孔
６５ ネジ
７０ 清掃部
７１ 頭部
７２、７２１ 脚部
７３ 持手部
７４ 被取付部
７５ 取付部
１００ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】