特許7581539エアナイフ、及びこれを備えたレジスト剥離装置

発明の名称　エアナイフ、及びこれを備えたレジスト剥離装置

出願人　シャープディスプレイテクノロジー株式会社　（識別番号 520487808）

　　　　特許公開件数ランキング 208 位（156件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 537 位（41件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7581539

公報発行日　2024年11月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7581539

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