知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-01
(45)【発行日】2024-11-12
(54)【発明の名称】加圧装置
(51)【国際特許分類】
B30B 15/02 20060101AFI20241105BHJP
B30B 7/02 20060101ALI20241105BHJP
B30B 15/06 20060101ALI20241105BHJP
【ＦＩ】
B30B15/02 E
B30B7/02
B30B15/06 Z
B30B15/02 B
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2024067527
(22)【出願日】2024-04-18
【審査請求日】2024-04-24
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】森本 崇
(72)【発明者】
【氏名】平川 翔太
【審査官】豊島 唯
(56)【参考文献】
【文献】特開２００７－１９０７０４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－２０２７４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１７９４２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１２／０９８６７９（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ３０Ｂ １５／００ ー １５／０６
Ｂ３０Ｂ ７／００ ー ７／０４
Ｂ２９Ｃ ４３／００
Ｂ２９Ｃ ３３／１２
Ｈ０１Ｌ ２１／５６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
上下方向においてワークを挟み込んで加圧する加圧装置であって、前記ワークの上方向に配置される上加圧ユニット、
を有してなり、
前記上加圧ユニットは、
第１加圧部材と、
前記第１加圧部材よりも下方向に配置される第２加圧部材と、
前記第１加圧部材と前記第２加圧部材との間に、前記第１加圧部材と前記第２加圧部材とに隣接して配置される板状の中間部材と、
前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接する、金属製で平面状の上プレス面と、
を備えて、
前記中間部材は、
前記第２加圧部材に当接する当接領域と、
前記第２加圧部材に当接しない非当接領域と、
を備えて、
前記上プレス面は、
前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接するプレス面領域、
を備えて、
前記当接領域は、上下方向視において、
前記非当接領域に隣接して配置されて、
前記プレス面領域の外周線で示される第１外周線よりも内側に配置される、
加圧装置。
【請求項2】
前記上加圧ユニットは、前記上プレス面を備える第３加圧部材、
を備えて、
前記第３加圧部材は、前記第２加圧部材よりも下方向に、前記第２加圧部材に隣接して配置されて、
前記第２加圧部材は、前記ワークが加圧されるとき上下方向に圧縮されて、前記ワークの加圧が終了したとき加圧前の状態に復元可能な弾性材料で構成される、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項3】
前記第２加圧部材は、前記上プレス面、
を備える、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項4】
前記第１加圧部材は、前記ワークが加圧されるとき上下方向に圧縮されて、前記ワークの加圧が終了したとき加圧前の状態に復元可能な弾性材料で構成される、請求項２または３に記載の加圧装置。
【請求項5】
前記中間部材は、前記第２加圧部材に当接する当接面と、
上下方向において前記当接面よりも上方向に配置されて、前記第２加圧部材に当接しない非当接面と、
を備えて、
上下方向視において、前記当接領域は、前記当接面が配置される領域であり、
上下方向視において、前記非当接領域は、前記非当接面が配置される領域である、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の加圧装置。
【請求項6】
前記中間部材は、前記第２加圧部材に当接する当接面と、
前記中間部材を上下方向に貫通する貫通孔と、
を備えて、
上下方向視において、前記当接領域は、前記当接面が配置される領域であり、
上下方向視において、前記非当接領域は、前記貫通孔が配置される領域である、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の加圧装置。
【請求項7】
上下方向視において、前記当接領域が配置される配置領域の外周線で示される第２外周線の形状は、前記第１外周線の形状と相似形であり、上下方向視において、前記第１外周線で区画される前記プレス面領域の第１面積に対する、前記第２外周線で区画される前記配置領域の第２面積の比は、０．４０以上、かつ、０．９２以下である、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項8】
上下方向視において、前記当接領域が配置される配置領域は、前記中間部材のうち、前記第２加圧部材に当接する当接面から前記上プレス面までの間隔が大きくなるにつれて小さくなり、前記間隔が小さくなるにつれて大きくなる、ように設計される、請求項１に記載の加圧装置。
【請求項9】
前記プレス面領域は、上下方向視において、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークの一部の所定の領域を、前記ワークの他の領域よりも大きい加圧力で加圧する偏加圧領域、
を含み、
前記当接領域は、
前記偏加圧領域に対応する特定領域、
を含み、
上下方向視において、前記特定領域は、前記偏加圧領域の範囲内に配置される、
請求項１に記載の加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加圧装置に関する。
【背景技術】
【0002】
複数のシート状の基材（例えば、積層セラミックコンデンサのグリーンシート、プリント配線基板、など）が積層された積層体を加圧する装置として、加圧装置が用いられている。加圧装置は、一対の加圧ユニットにより積層体（被加圧物）を上下から挟み込み、積層体を所定の加圧力で加圧する。加圧ユニットのうち、積層体に当接する金型のプレス面は、積層体が加圧されるとき、積層体の上下面の全体に対してプレス面から均等な面圧が加えられるように、相互に平行な平面状に形成されている。
【0003】
このような加圧装置では、ワークが加圧されたとき、ワークの被プレス面に加えられる圧力が外縁部において顕著に高くなり、外縁部から中央部向けて低くなる現象（被プレス面の外縁部が強圧される現象）は、よく知られている（例えば、特許文献１参照）。この現象が生じると、ワークの被プレス面が均一に加圧されず、ワークの変形（ワークの中央部がワークの外縁部よりも膨らむような変形）が生じ得る。この現象の要因として、加圧時に生じる加圧ユニット（金型）の撓みなどが挙げられている。特に、ワークサイズがプレス面サイズに対して小さい場合に、ワークのエッジ部分が「テコの支点」のように機能することにより、この現象は生じ易くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０２０－１４６７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
一般的に、この現象を抑制するために、プレス面を備える金型の厚さを増加させることにより、金型自体の剛性を高める設計が、採用されている。この設計では、金型が大型化して、金型の重量が増加する。そのため、加圧装置の製造時およびメンテナンス時の作業性は、悪化する。また、金型（特にプレス面）の加工は難しくなり、金型に採用可能な材料は限られる。さらに、この設計でも、前述の現象の傾向は、残る。したがって、金型の厚みを増加させる技術とは異なる、被プレス面の外縁部が強圧される現象を改善する技術が求められている。このように、平面状のプレス面を備える金型を用いた被プレス面の圧力分布の制御は、難しい。
【0006】
本発明は、被プレス面の圧力分布を制御可能な加圧装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一実施態様における加圧装置は、上下方向においてワークを挟み込んで加圧する加圧装置であって、前記ワークの上方向に配置される上加圧ユニット、を有してなり、前記上加圧ユニットは、第１加圧部材と、前記第１加圧部材よりも下方向に配置される第２加圧部材と、前記第１加圧部材と前記第２加圧部材との間に、前記第１加圧部材と前記第２加圧部材とに隣接して配置される板状の中間部材と、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接する、金属製で平面状の上プレス面と、を備えて、前記中間部材は、前記第２加圧部材に当接する当接領域と、前記第２加圧部材に当接しない非当接領域と、を備えて、前記上プレス面は、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接するプレス面領域、を備えて、前記当接領域は、上下方向視において、前記非当接領域に隣接して配置されて、前記プレス面領域の外周線で示される第１外周線よりも内側に配置される、加圧装置である。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、被プレス面の圧力分布を制御可能な加圧装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明に係る加圧装置の実施の形態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図4】本発明の実施例の試験条件および試験結果を示す模式図である。
【図5】上記実施例の試験結果を示す圧力分布図である。
【図6】上記実施例において使用された図１の加圧装置の中間部材の模式底面図であり、（ａ）は第１タイプの模式底面図であり、（ｂ）は第２タイプの模式底面図であり、（ｃ）は第３タイプの模式底面図であり、（ｄ）は第４タイプの模式底面図である。
【図7】シミュレータによる応力の伝達状態を示していて、（ａ）は配置領域の面積よりも小さいワークが加圧されたときの伝達状態を示していて、（ｂ）は配置領域の面積よりも大きいワークが加圧されたときの伝達状態を示している。
【図8】圧力の偏在化を改善する要因を説明する模式図である。
【図9】本発明に係る加圧装置の第１変形例を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図10】本発明に係る加圧装置の第２変形例～第５変形例における中間部材の模式底面図であり、（ａ）は第２変形例における中間部材を示していて、（ｂ）は第３変形例における中間部材を示していて、（ｃ）は第４変形例における中間部材を示していて、（ｄ）は第５変形例における中間部材を示している。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本発明に係る加圧装置（以下「本装置」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0011】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸であるとき、Ｘ軸およびＹ軸は水平方向に平行であり、Ｚ軸は上下方向に平行である。「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、「＋Ｘ方向」はＸ軸方向の一方向であり、「－Ｘ方向」はＸ軸方向の他方向である。「Ｙ軸方向」はＹ軸に沿う方向であり、「＋Ｙ方向」はＹ軸方向の一方向であり、「－Ｙ方向」はＹ軸方向の他方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。「＋Ｚ方向」は上方向であり、「－Ｚ方向」は下方向である。「ＸＹ方向」はＸ軸方向およびＹ軸方向に沿う方向であり、「ＸＹ平面」はＸＹ方向（水平方向）に平行な仮想平面である。「ＸＺ方向」はＸ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＸＺ平面」はＸＺ方向（鉛直方向）に平行な仮想平面である。
【0012】
以下の説明において、下面は、下方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。上面は、上方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。すなわち、下面および上面の形状は、平面状である。また、各部材の厚さは、上下方向における各部材の長さである。
【0013】
本発明は、平面状のプレス面により上下方向からワークを加圧する加圧装置において、プレス面までの各部材内の応力の伝達を調整することにより、ワークの被プレス面の外縁部が強圧される現象を改善できる。また、本発明は、プレス面に伝達される応力を制御することにより、ワークの被プレス面の圧力分布を制御できる。
【0014】
「ワークの被プレス面の外縁部が強圧される現象」は、ワークが平面状のプレス面により加圧されたとき、ワークの被プレス面の外縁部に加えられる圧力が外縁部において顕著に高くなり、外縁部から中央部に向けて低くなる現象である。同現象は、以下単に、「外縁部の強圧現象」と記載される。
【0015】
「ワーク」は、本装置に加圧される対象（被加圧物）であり、例えば、シート状の基材（セラミックグリーンシートなど）、電子部品、回路などが搭載されている基板、などである。ワークは、被プレス面を備える。被プレス面は、本装置により上方向から加圧される上面である。
【0016】
●加圧装置●
●加圧装置の構成
図１は、本装置の実施の形態を示す、本装置の模式断面図である。
同図は、本装置１がＹ軸方向における中央部で切断された、ＸＺ平面に沿う本装置１の切断面を示している（図９も同じ。）。同図は、後述されるプレス面領域Ｒ３を太い破線で示している。
●加圧装置の構成
図１は、本装置の実施の形態を示す、本装置の模式断面図である。
同図は、本装置１がＹ軸方向における中央部で切断された、ＸＺ平面に沿う本装置１の切断面を示している（図９も同じ。）。同図は、後述されるプレス面領域Ｒ３を太い破線で示している。
【0017】
本装置１は、上下方向においてワークＷを挟み込んで加圧する。本装置１は、ベース部材２、枠部材３、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、上プレス板７、載置板８、下プレス板９、昇降装置１０、および制御装置１１を有してなる。ベース部材２、枠部材３、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７は、ワークＷよりも上方向に配置されていて、ワークＷを上方向から加圧する上加圧ユニットＵＰとして機能している。載置板８および下プレス板９は、ワークＷよりも下方向に配置されていて、ワークＷを下方向から加圧する下加圧ユニットＤＰとして機能している。
【0018】
ベース部材２は、枠部材３を介して、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７を支持している。ベース部材２は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。ベース部材２の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状（本実施の形態では、正方形状）であり、直方体状である。ベース部材２は、上下方向に移動（昇降）可能に昇降装置１０に支持されている。ベース部材２は、下面２ａを備える。
【0019】
枠部材３は、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および、上プレス板７の一部を収容する。枠部材３は、金属（例えば、ステンレス鋼）製である。枠部材３は、例えば、複数のボルト（不図示。以下同じ。）により、ベース部材２の下面２ａに取り付けられている。そのため、枠部材３は、ボルトの着脱により、ベース部材２から容易に着脱可能である。枠部材３は、本体部３１および内フランジ部３２を備える。
【0020】
本体部３１の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状（本実施の形態では、正方形状）であり、筒状（矩形筒状）である。本体部３１の内周面３１ａは、ＸＹ方向に向けられている。水平方向において、本体部３１は、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７の全周を囲むように配置されている。内周面３１ａの下端部は、全周に亘って内方向に向けて均等に突出していて、内フランジ部３２を形成している。すなわち、水平方向において、内フランジ部３２は、本体部３１から内方向に向けて突出していて、本体部３１と一体に形成されている。
【0021】
内フランジ部３２は、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７を支持していて、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７の下方向への移動を規制している。上下方向視において、内フランジ部３２の形状は、枠状（矩形枠状）である。内フランジ部３２は、上面３２ａおよび内周面３２ｂを備える。内周面３２ｂは、上下方向に平行な面であり、ＸＹ方向に向けられている。
【0022】
なお、本発明において、内フランジ部３２の形状は、矩形枠状に限定されない。すなわち、例えば、内フランジ部３２は、本体部３１からＸ軸方向またはＹ軸方向のみに向けて突出していてもよい。また、例えば、本体部３１からＸ軸方向および／またはＹ軸方向に向けて等距離に突出する複数の棒状の部分それぞれが、内フランジ部３２として機能していてもよい。
【0023】
第１緩衝部材４は、ワークＷが加圧されるとき、第１緩衝部材４に加えられた圧力を拡散および均一化させる。また、第１緩衝部材４は、ワークＷが加圧されるとき、中間部材５の軸ずれ（水平方向への移動）を抑制する。第１緩衝部材４は、ワークＷが加圧されるとき上下方向に圧縮されて、ワークＷの加圧が終了したとき加圧前の状態に復元可能な弾性材料（例えば、公知のプレス用緩衝材）製である。第１緩衝部材４の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状（本実施の形態では、正方形状）であり、シート状である。第１緩衝部材４は、枠部材３に収容されている。第１緩衝部材４は、ベース部材２の下方向に、ベース部材２に隣接して配置されている。第１緩衝部材４は、下面４ａおよび上面４ｂを備える。第１緩衝部材４は、本発明における第１加圧部材の一例である。
【0024】
中間部材５は、ワークＷが加圧されるとき、中間部材５に加えられた圧力を集中させることにより、被プレス面Ｗａにおける圧力分布の制御を実現する。中間部材５は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。中間部材５の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状（本実施の形態では、正方形状）であり、板状である。中間部材５は、枠部材３に収容されている。中間部材５は、第１緩衝部材４の下方向に、第１緩衝部材４と隣接して配置されている。中間部材５は、下面５ａ、上面５ｂ、非当接面５ｃ、および当接面５ｄを備える。
【0025】
下面５ａのうち、外縁部は、全周に亘って上方向に向けて凹んでいて、非当接面５ｃを形成している。下面５ａのうち、非当接面５ｃを除く中央部は、当接面５ｄを形成している。上下方向において、非当接面５ｃは、当接面５ｄよりも上方向に配置されている。非当接面５ｃの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状（本実施の形態では、正方形状）であり、枠状（矩形枠状）である。当接面５ｄの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状（本実施の形態では、正方形状）である。非当接面５ｃおよび当接面５ｄは、下方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。
【0026】
第２緩衝部材６は、ワークＷが加圧されるとき、第２緩衝部材６に加えられた圧力を拡散および均一化させる。また、第２緩衝部材６は、ワークＷが加圧されるとき、中間部材５の軸ずれを抑制する。第２緩衝部材６は、例えば、公知のプレス用緩衝材である。本実施の形態において、第２緩衝部材６の形状は、第１緩衝部材４の形状と同じである。第２緩衝部材６は、下面６ａおよび上面６ｂを備える。第２緩衝部材６は、枠部材３に収容されている。第２緩衝部材６は、中間部材５の下方向に、中間部材５に隣接して配置されている。第２緩衝部材６は、本発明における第２加圧部材の一例である。
【0027】
上プレス板７は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷを下方向に向けて加圧する。上プレス板７は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。上プレス板７の形状は、側方視において逆ハット状である。上プレス板７は、上面７ａ、本体部７１および外フランジ部７２を備える。上プレス板７は、本発明における第３加圧部材の一例である。
【0028】
本体部７１の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状（本実施の形態では、正方形状）であり、板状である。本体部７１は、下面７１ａおよび外周面７１ｂを備える。下面７１ａは、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷに対向して配置されていて、ワークＷの被プレス面Ｗａに当接する面である。すなわち、上下方向視において、下面７１ａのうち、一部の領域は、被プレス面Ｗａに当接する領域（以下「プレス面領域Ｒ３」という。）である。換言すれば、下面７１ａは、プレス面領域Ｒ３を備える。下面７１ａは、本発明における上プレス面の一例である。
【0029】
外周面７１ｂの上半部は、全周に亘って外方向に向けて均等に突出していて、外フランジ部７２を形成している。すなわち、水平方向において、外フランジ部７２は、本体部７１から外方向に向けて突出していて、本体部７１と一体に形成されている。したがって、上プレス板７の上面７ａは、本体部７１および外フランジ部７２それぞれの上面により形成されている。外フランジ部７２の形状は、枠状（矩形枠状）である。外フランジ部７２は、下面７２ａを備える。
【0030】
なお、本発明において、外フランジ部７２の形状は、矩形枠状に限定されない。すなわち、例えば、外フランジ部７２は、外周面７１ｃからＸ軸方向またはＹ軸方向のみに向けて突出していてもよい。つまり、外フランジ部７２は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に平行な外周面７１ｂのみから突出していてもよい。また、例えば、本体部７１からＸ軸方向および／またはＹ軸方向に向けて等距離に突出する複数の棒状の部分それぞれが、外フランジ部７２として機能していてもよい。
【0031】
上プレス板７は、本体部７１の下部を除き、枠部材３に収容されている。すなわち、上下方向において、本体部７１の下部（下面７１ａ）は、枠部材３よりも下方向に位置している。上プレス板７は、第２緩衝部材６の下方向に、第２緩衝部材６に隣接して配置されている。外フランジ部７２の下面７２ａは、内フランジ部３２の上面３２ａに当接している。その結果、内フランジ部３２は、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７の下方向への移動を規制していて、これらを支持している。
【0032】
第１緩衝部材４の上面４ｂはベース部材２の下面２ａに当接していて、下面４ａは中間部材５の上面５ｂに当接している。中間部材５の当接面５ｄは、第２緩衝部材６の上面６ｂの一部に当接している。非当接面５ｃは、上面６ｂよりも上方向に、上面６ｂと対向して配置されている。すなわち、非当接面５ｃは、上面６ｂに当接していない。したがって、上下方向視において、中間部材５のうち、当接面５ｄは第２緩衝部材６に当接している領域（以下「当接領域Ｒ１」という。）を形成していて、非当接面５ｃは第２緩衝部材６に当接していない領域（以下「非当接領域Ｒ２」という。）を形成している。すなわち、上下方向視において、当接領域Ｒ１は当接面５ｄが配置されている領域であり、非当接領域Ｒ２は非当接面５ｃが配置されている領域である。第２緩衝部材６の下面６ａは、上プレス板７の上面７ａに当接している。
【0033】
図２は、上加圧ユニットＵＰの模式底面図である。
同図は、説明の便宜上、内周面３１ａ、第１緩衝部材４、中間部材５、および第２緩衝部材６を太い二点鎖線で示していて、ワークＷおよびプレス面領域Ｒ３を細い二点鎖線で示している。以下の説明において、図１は、図２と共に適宜参照される。
同図は、説明の便宜上、内周面３１ａ、第１緩衝部材４、中間部材５、および第２緩衝部材６を太い二点鎖線で示していて、ワークＷおよびプレス面領域Ｒ３を細い二点鎖線で示している。以下の説明において、図１は、図２と共に適宜参照される。
【0034】
上加圧ユニットＵＰにおける各部材の、Ｘ軸方向およびＹ軸方向、すなわち、ＸＹ方向における長さの関係が、説明される。ベース部材２の長さＬ２は、枠部材３の長さＬ３よりも大きい。本体部３１の内周面３１ａ同士の間隔Ｌ３１は、第１緩衝部材４の長さＬ４、中間部材５の長さＬ５、第２緩衝部材６の長さＬ６、および上プレス板７の外フランジ部７２の長さＬ７２と同じである（僅かに大きい）。第１緩衝部材４の長さＬ４は、中間部材５の長さＬ５、第２緩衝部材６の長さＬ６、および上プレス板７の外フランジ部７２の長さＬ７２と同じである。本体部７１（すなわち、下面７１ａ）の長さＬ７１は、内フランジ部３２の内周面３２ｂ同士の間隔Ｌ３２よりも小さい。
【0035】
ワークＷの被プレス面Ｗａの長さＬｗは、下面７１ａの長さＬ７１よりも小さい。すなわち、プレス面領域Ｒ３の長さＬＲ３は、下面７１ａの長さＬ７１よりも小さい。換言すれば、ワークサイズは、上プレス面サイズよりも小さい。中間部材５の当接面５ｄの長さＬ５１は、下面７１ａの長さＬ７１、および、被プレス面Ｗａの長さＬｗよりも小さい。すなわち、当接領域Ｒ１の長さＬＲ１は、プレス面領域Ｒ３の長さＬＲ３よりも小さい。
【0036】
図３は、本装置１において画定される各領域の上下方向視における位置関係を示す模式図である。
同図は、説明の便宜上、中間部材５を太い実線で示していて、非当接領域Ｒ２（非当接面５ｃ）をグレーの領域で示していて、下面７１ａを細い二点鎖線で示していて、プレス面領域Ｒ３を太い二点鎖線で示している。以下の説明において、図１および図２は、図３と共に適宜参照される。
同図は、説明の便宜上、中間部材５を太い実線で示していて、非当接領域Ｒ２（非当接面５ｃ）をグレーの領域で示していて、下面７１ａを細い二点鎖線で示していて、プレス面領域Ｒ３を太い二点鎖線で示している。以下の説明において、図１および図２は、図３と共に適宜参照される。
【0037】
上下方向視において、当接領域Ｒ１は、プレス面領域Ｒ３の外周線で示される第１外周線Ｌｏ１よりも内側に配置されている。上下方向視において、当接領域Ｒ１は、非当接領域Ｒ２に全周を囲まれるように、非当接領域Ｒ２に隣接して配置されている。すなわち、上下方向視において、第１外周線Ｌｏ１は、当接領域Ｒ１と重複しておらず、非当接領域Ｒ２と重複している。
【0038】
本実施の形態において、中間部材５は、１個の当接面５ｄを備えている。上下方向視において、当接面５ｄが配置される領域（以下「配置領域Ｒｘ」という。）は、プレス面領域Ｒ３（すなわち、第１外周線Ｌｏ１で区画される領域）の範囲内に限定される。すなわち、配置領域Ｒｘの外周線で示される第２外周線Ｌｏ２は、第１外周線Ｌｏ１よりも内側に配置されていて、第１外周線Ｌｏ１とは重複しない。上下方向視において、第２外周線Ｌｏ２は、第１外周線Ｌｏ１と同じ形状（本実施の形態では、正方形状）であり、相似形である。
【0039】
以下の説明において、主に参照される図面は、図１に戻る。
載置板８は、ワークＷが載置される部材である。載置板８は、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。 載置板８の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う正方形状であり、板状である。載置板８は、下プレス板９の上に載置されている。載置板８は、上面である載置面８ａを備える。
載置板８は、ワークＷが載置される部材である。載置板８は、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。 載置板８の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う正方形状であり、板状である。載置板８は、下プレス板９の上に載置されている。載置板８は、上面である載置面８ａを備える。
【0040】
下プレス板９は、ワークＷが加圧されるとき、上加圧ユニットＵＰからの加圧力に応じて、ワークＷを上方向に向けて加圧する。下プレス板９は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。下プレス板９の形状は、上下方向視において、ＸＹ方向に沿う正方形状であり、板状である。
【0041】
昇降装置１０は、ベース部材２を昇降させる。昇降装置１０は、例えば、公知の油圧シリンダである。
【0042】
制御装置１１は、本装置１全体の動作を制御する。
【0043】
このように構成されている本装置１では、枠部材３は、ボルトの着脱により、ベース部材２に対して着脱可能である。そのため、枠部材３が取り外されることにより、第１緩衝部材４、中間部材５、および第２緩衝部材６は、容易に交換可能である。
【0044】
なお、本発明において、ベース部材２、枠部材３、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、上プレス板７、載置板８、および下プレス板９それぞれの上下方向視における形状は、正方形状に限定されない。
【0045】
【0046】
先ず、ワークＷが載置板８の載置面８ａに載置される。
【0047】
次いで、制御装置１１は、昇降装置１０の動作を制御して、上加圧ユニットＵＰを所定の位置まで降下させる。このとき、上プレス板７の下面７１ａは、ワークＷに当接している。すなわち、プレス面領域Ｒ３は、被プレス面Ｗａに当接している。
【0048】
次いで、制御装置１１は、昇降装置１０の動作を制御して、上加圧ユニットＵＰをさらに下降させて、上加圧ユニットＵＰと下加圧ユニットＤＰとの間で、ワークＷを加圧する。このとき、後述のとおり、第１緩衝部材４から中間部材５に加えられる圧力は、拡散されて、均一化される。中間部材５から第２緩衝部材６に加えられる圧力は、当接面５ｄに当接している部分に集中される。第２緩衝部材６から上プレス板７に加えられる圧力は、拡散されて、均一化される。上プレス板７からワークＷに加えられる圧力は、プレス面領域Ｒ３に当接する部分（被プレス面Ｗａ）に集中される。このように、各部材内で圧力が加えられた結果、ワークＷのエッジ部分は「テコの支点」のように機能せず、外縁部の強圧現象は、生じない。その結果、被プレス面Ｗａにおける圧力分布は、均一化される。
【0049】
また、ワークＷが加圧されるとき、中間部材５には、数ＭＰａ～数十ＭＰａの圧力が加えられる。一般的に、平面状の金属面同士が接触して加圧される場合に、被加圧側の金属面の法線方向に対して加圧側の加圧軸がずれていると（いわゆる、軸ずれが生じていると）、被加圧側は平坦に加圧されない。軸ずれは、本装置１の各構成部品が精密に製造されていても、種々の要因により、生じ得る。そのため、仮に、中間部材５がベース部材２および上プレス板７に直接当接していると、中間部材５と、ベース部材２および上プレス板７と、の間で、軸ずれが生じ得る。本実施の形態では、第１緩衝部材４がベース部材２と中間部材５との間に配置されていて、第２緩衝部材６が中間部材５と上プレス板７との間に配置されている。前述のとおり、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６は、弾性材料製であり、両者間の軸を一致させるように作用する。そのため、ベース部材２に対する中間部材５の軸ずれ、および、上プレス板７に対する中間部材５の軸ずれは、共に抑制される。
【0050】
●実施例●
次に、第１緩衝部材４、中間部材５、および第２緩衝部材６が組み込まれた既存の加圧装置（試験装置）による加圧試験の試験結果が、本発明の実施例および参考例として説明される。以下の実施例の説明において、富士フィルム株式会社製の「プレスケール（登録商標：以下単に「スケール」という。）」が圧力の測定に用いられている。加圧力は、５ＭＰａである。試験の便宜上、第１緩衝部材４は、一部の参考例を除き、使用されていない。各参考例および一部の比較例では、スケールのみが加圧されている。全ての試験条件において、上プレス板７の形状は、１６０ｍｍ×１６４ｍｍ×１５ｍｍの直方体状である。
次に、第１緩衝部材４、中間部材５、および第２緩衝部材６が組み込まれた既存の加圧装置（試験装置）による加圧試験の試験結果が、本発明の実施例および参考例として説明される。以下の実施例の説明において、富士フィルム株式会社製の「プレスケール（登録商標：以下単に「スケール」という。）」が圧力の測定に用いられている。加圧力は、５ＭＰａである。試験の便宜上、第１緩衝部材４は、一部の参考例を除き、使用されていない。各参考例および一部の比較例では、スケールのみが加圧されている。全ての試験条件において、上プレス板７の形状は、１６０ｍｍ×１６４ｍｍ×１５ｍｍの直方体状である。
【0051】
以下の実施例の説明において、図１～図３は、適宜参照される。また、以下の説明において、先に説明された実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と共通する機能を有する要素については、説明の便宜上、同一の名称および符号が付されている。
【0052】
図４は、本発明の実施例の試験条件および試験結果を示す模式図である。
図５は、試験結果を示す圧力分布図である。
図６は、各実施例において使用された中間部材５の模式底面図であり、（ａ）は第１タイプの模式底面図であり、（ｂ）は第２タイプの模式底面図であり、（ｃ）は第３タイプの模式底面図であり、（ｄ）は第４タイプの模式底面図である。
図５では、各スケールの色の濃淡は圧力の大小を示していて、圧力は色が濃くなるにつれて大きくなる。図６では、太い二点鎖線は、第２外周線Ｌｏ２を示している。グレーの領域は、後述される非当接面５ｃ，５ｃ１，５ｃ２を示している。
図５は、試験結果を示す圧力分布図である。
図６は、各実施例において使用された中間部材５の模式底面図であり、（ａ）は第１タイプの模式底面図であり、（ｂ）は第２タイプの模式底面図であり、（ｃ）は第３タイプの模式底面図であり、（ｄ）は第４タイプの模式底面図である。
図５では、各スケールの色の濃淡は圧力の大小を示していて、圧力は色が濃くなるにつれて大きくなる。図６では、太い二点鎖線は、第２外周線Ｌｏ２を示している。グレーの領域は、後述される非当接面５ｃ，５ｃ１，５ｃ２を示している。
【0053】
（試験条件）
先ず、図４に示されている試験条件が、説明される。「タイプ」は、中間部材５の種類を示している。各タイプの詳細は、図６に示されていて、後述される。「第１緩衝部材」および「第２緩衝部材」において、「－」は未使用を示していて、「Ａ」はシバタ工業株式会社製の「ジャバラシート：ＥＰＴ１．０」を示していて、「Ｂ」は三福工業株式会社製の「ホットプレス用緩衝部材：ＭＦ－２０Ｓ」を示している。「その他」において、「＊１」は、第２緩衝部材６と上プレス板７との間に、ＰＧＸ製の断熱材が使用されていることを示している。「＊２」は、ワークサイズが３０ｍｍのワークが１１０ｍｍ×１１０ｍｍの正方形状の第１外周線Ｌｏ１内に、３行×３列の配置パターンで均等に配置されていること、を示している。ワーク同士の間隔は、５ｍｍである。「＊３」は、厚さＴ１が１０ｍｍの上プレス板７が使用されていることを示している。「面積比」は、プレス面領域Ｒ３の面積「Ａ３」に対する配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」の比（Ａｘ／Ａ３）を示している。ワークＷの形状は、正方形状である。「結果」において、「◎」は、外縁部の強圧現象が生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布が比較的均一になるように制御されていること、を示している。「〇」は、均圧性は◎よりも劣るが、外縁部の強圧現象が生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布が中間部材５の形状に対応した圧力分布となるように制御されていることを示している。「△」は、外縁部の強圧現象の傾向は残存するが、被プレス面Ｗａの圧力分布において同現象が抑制されていることを示している。「×」は、外縁部の強圧現象が生じていることを示している。換言すれば、「×」は、被プレス面Ｗａの圧力分布が外縁部から中央部に向かって低くなるように制御可能であることを示している。
先ず、図４に示されている試験条件が、説明される。「タイプ」は、中間部材５の種類を示している。各タイプの詳細は、図６に示されていて、後述される。「第１緩衝部材」および「第２緩衝部材」において、「－」は未使用を示していて、「Ａ」はシバタ工業株式会社製の「ジャバラシート：ＥＰＴ１．０」を示していて、「Ｂ」は三福工業株式会社製の「ホットプレス用緩衝部材：ＭＦ－２０Ｓ」を示している。「その他」において、「＊１」は、第２緩衝部材６と上プレス板７との間に、ＰＧＸ製の断熱材が使用されていることを示している。「＊２」は、ワークサイズが３０ｍｍのワークが１１０ｍｍ×１１０ｍｍの正方形状の第１外周線Ｌｏ１内に、３行×３列の配置パターンで均等に配置されていること、を示している。ワーク同士の間隔は、５ｍｍである。「＊３」は、厚さＴ１が１０ｍｍの上プレス板７が使用されていることを示している。「面積比」は、プレス面領域Ｒ３の面積「Ａ３」に対する配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」の比（Ａｘ／Ａ３）を示している。ワークＷの形状は、正方形状である。「結果」において、「◎」は、外縁部の強圧現象が生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布が比較的均一になるように制御されていること、を示している。「〇」は、均圧性は◎よりも劣るが、外縁部の強圧現象が生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布が中間部材５の形状に対応した圧力分布となるように制御されていることを示している。「△」は、外縁部の強圧現象の傾向は残存するが、被プレス面Ｗａの圧力分布において同現象が抑制されていることを示している。「×」は、外縁部の強圧現象が生じていることを示している。換言すれば、「×」は、被プレス面Ｗａの圧力分布が外縁部から中央部に向かって低くなるように制御可能であることを示している。
【0054】
（第１タイプ）
第１タイプの中間部材５は、１個の非当接面５ｃ、および１個の当接面５ｄを備える。上下方向視において、当接面５ｄの形状は、１１５ｍｍ×１１５ｍｍの正方形状である。上下方向視において、非当接面５ｃの形状は、当接面５ｄの全周を囲む１６０ｍｍ×１６４ｍｍの矩形枠状である。当接面５ｄの厚さは、５ｍｍである。なお、上下方向視において、当接面５ｄの形状は、実施例１７のみ、９５ｍｍ×９５ｍｍの正方形状である。
第１タイプの中間部材５は、１個の非当接面５ｃ、および１個の当接面５ｄを備える。上下方向視において、当接面５ｄの形状は、１１５ｍｍ×１１５ｍｍの正方形状である。上下方向視において、非当接面５ｃの形状は、当接面５ｄの全周を囲む１６０ｍｍ×１６４ｍｍの矩形枠状である。当接面５ｄの厚さは、５ｍｍである。なお、上下方向視において、当接面５ｄの形状は、実施例１７のみ、９５ｍｍ×９５ｍｍの正方形状である。
【0055】
（第２タイプ）
第２タイプの中間部材５は、２個の非当接面５ｃ１，５ｃ２、および１個の当接面５ｄを備える。上下方向視において、非当接面５ｃ１の形状は、４５ｍｍ×４５ｍｍの正方形状である。上下方向視において、当接面５ｄの形状は、非当接面５ｃ１の全周を囲む９５ｍｍ×９５ｍｍの矩形枠状である。非当接面５ｃ２の形状は、当接面５ｄの全周を囲む１６０ｍｍ×１６４ｍｍの矩形枠状である。当接面５ｄの厚さは、５ｍｍである。
第２タイプの中間部材５は、２個の非当接面５ｃ１，５ｃ２、および１個の当接面５ｄを備える。上下方向視において、非当接面５ｃ１の形状は、４５ｍｍ×４５ｍｍの正方形状である。上下方向視において、当接面５ｄの形状は、非当接面５ｃ１の全周を囲む９５ｍｍ×９５ｍｍの矩形枠状である。非当接面５ｃ２の形状は、当接面５ｄの全周を囲む１６０ｍｍ×１６４ｍｍの矩形枠状である。当接面５ｄの厚さは、５ｍｍである。
【0056】
（第３タイプ）
第３タイプの中間部材５は、１個の非当接面５ｃ、および９個の当接面５ｄ１～５ｄ９を備える。上下方向視において、当接面５ｄ１～５ｄ９の形状は、２５ｍｍ×２５ｍｍの正方形状である。当接面５ｄ１～５ｄ９は、９５ｍｍ×９５ｍｍの正方形状の第２外周線Ｌｏ２内に、３行×３列の配置パターンで、均等に配置されている。当接面５ｄ１～５ｄ９同士の間隔は、１０ｍｍである。非当接面５ｃは、第２外周線Ｌｏ２の内側に配置されている１０ｍｍ幅の格子状の部分、および、第２外周線Ｌｏ２の外側に配置されている矩形枠状の部分を備える。換言すれば、上下方向視において、非当接面５ｃの形状は、格子状である。当接面５ｄ１～５ｄ９の厚さは、５ｍｍである。
第３タイプの中間部材５は、１個の非当接面５ｃ、および９個の当接面５ｄ１～５ｄ９を備える。上下方向視において、当接面５ｄ１～５ｄ９の形状は、２５ｍｍ×２５ｍｍの正方形状である。当接面５ｄ１～５ｄ９は、９５ｍｍ×９５ｍｍの正方形状の第２外周線Ｌｏ２内に、３行×３列の配置パターンで、均等に配置されている。当接面５ｄ１～５ｄ９同士の間隔は、１０ｍｍである。非当接面５ｃは、第２外周線Ｌｏ２の内側に配置されている１０ｍｍ幅の格子状の部分、および、第２外周線Ｌｏ２の外側に配置されている矩形枠状の部分を備える。換言すれば、上下方向視において、非当接面５ｃの形状は、格子状である。当接面５ｄ１～５ｄ９の厚さは、５ｍｍである。
【0057】
（第４タイプ）
第４タイプの中間部材５は、１個の非当接面５ｃ、および４個の当接面５ｄ１～５ｄ４を備える。上下方向視において、当接面５ｄ１～５ｄ４の形状は、４５ｍｍ×４５ｍｍの正方形状である。当接面５ｄ１～５ｄ４は、１１５ｍｍ×１１５ｍｍの正方形状の第２外周線Ｌｏ２内に、２行×２列の配置パターンで、均等に配置されている。当接面５ｄ１～５ｄ４同士の間隔は、２５ｍｍである。非当接面５ｃは、第２外周線Ｌｏ２の内側に配置されている１５ｍｍ幅の格子状の部分、および、第２外周線Ｌｏ２の外側に配置されている矩形枠状の部分を備える。換言すれば、上下方向視において、非当接面５ｃの形状は、格子状である。当接面５ｄ１～５ｄ４の厚さは、５ｍｍである。
第４タイプの中間部材５は、１個の非当接面５ｃ、および４個の当接面５ｄ１～５ｄ４を備える。上下方向視において、当接面５ｄ１～５ｄ４の形状は、４５ｍｍ×４５ｍｍの正方形状である。当接面５ｄ１～５ｄ４は、１１５ｍｍ×１１５ｍｍの正方形状の第２外周線Ｌｏ２内に、２行×２列の配置パターンで、均等に配置されている。当接面５ｄ１～５ｄ４同士の間隔は、２５ｍｍである。非当接面５ｃは、第２外周線Ｌｏ２の内側に配置されている１５ｍｍ幅の格子状の部分、および、第２外周線Ｌｏ２の外側に配置されている矩形枠状の部分を備える。換言すれば、上下方向視において、非当接面５ｃの形状は、格子状である。当接面５ｄ１～５ｄ４の厚さは、５ｍｍである。
【0058】
●実施例１～５
実施例１～５では、第１タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１５０ｍｍ、１３０ｍｍ、および１２０ｍｍの３種に設定されている。面積比は、「０．５９」「０．７８」「０．９２」である。実施例４では、断熱材が使用されている。実施例１～４では、第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されていて、実施例５では、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ａ」が使用されている。全ての条件で、外縁部の強圧現象は生じておらず、特に、実施例２，３，５において、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。ワークサイズが大きくなるにつれて、ワークＷに加えられる圧力は、外縁部よりも中央部において増加傾向にあった。これは、面積比が調整されることにより、被プレス面Ｗａの圧力分布が制御可能であること、を示している。実施例４には、圧力分布に僅かな偏りが生じていた。これは、断熱材により当接面５ｄから下面７１ａまでの間隔が長くなったためであると推測される。また、試験時の各部材およびワークＷの配置による影響（軸ずれの影響）もこの僅かな偏りの要因であると推測される。この影響は、実施例５のように、第２緩衝部材６の厚さを厚くすることにより、緩和可能である。
実施例１～５では、第１タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１５０ｍｍ、１３０ｍｍ、および１２０ｍｍの３種に設定されている。面積比は、「０．５９」「０．７８」「０．９２」である。実施例４では、断熱材が使用されている。実施例１～４では、第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されていて、実施例５では、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ａ」が使用されている。全ての条件で、外縁部の強圧現象は生じておらず、特に、実施例２，３，５において、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。ワークサイズが大きくなるにつれて、ワークＷに加えられる圧力は、外縁部よりも中央部において増加傾向にあった。これは、面積比が調整されることにより、被プレス面Ｗａの圧力分布が制御可能であること、を示している。実施例４には、圧力分布に僅かな偏りが生じていた。これは、断熱材により当接面５ｄから下面７１ａまでの間隔が長くなったためであると推測される。また、試験時の各部材およびワークＷの配置による影響（軸ずれの影響）もこの僅かな偏りの要因であると推測される。この影響は、実施例５のように、第２緩衝部材６の厚さを厚くすることにより、緩和可能である。
【0059】
●実施例６，７
実施例６，７では、第２タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１２０ｍｍに設定されている。面積比は、「０．６３」である。実施例６では、第２緩衝部材６に「Ａ」が使用されていて、実施例７では、第２緩衝部材６に「Ｂ」が使用されている。全ての条件で、外縁部の強圧現象は生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。実施例６では、ワークＷに加えられる圧力は、中央部よりも外縁部において大きくなっていた。実施例７では、実施例６と比較して、ワークＷに加えられる圧力は、外縁部よりも中央部において大きくなっていた。これは、第２緩衝部材６の構成を変更することにより、被プレス面Ｗａの圧力分布に対する中間部材５の影響が変化すること、を示している。すなわち、「Ａ」は「Ｂ」よりも応力を均一に拡散させる傾向を有して、「Ｂ」は「Ａ」よりも応力を中央に集中させる傾向を有している。このように、第２緩衝部材６の構成は、中間部材５による被プレス面Ｗａの圧力分布の制御に影響を与える因子となり得る。
実施例６，７では、第２タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１２０ｍｍに設定されている。面積比は、「０．６３」である。実施例６では、第２緩衝部材６に「Ａ」が使用されていて、実施例７では、第２緩衝部材６に「Ｂ」が使用されている。全ての条件で、外縁部の強圧現象は生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。実施例６では、ワークＷに加えられる圧力は、中央部よりも外縁部において大きくなっていた。実施例７では、実施例６と比較して、ワークＷに加えられる圧力は、外縁部よりも中央部において大きくなっていた。これは、第２緩衝部材６の構成を変更することにより、被プレス面Ｗａの圧力分布に対する中間部材５の影響が変化すること、を示している。すなわち、「Ａ」は「Ｂ」よりも応力を均一に拡散させる傾向を有して、「Ｂ」は「Ａ」よりも応力を中央に集中させる傾向を有している。このように、第２緩衝部材６の構成は、中間部材５による被プレス面Ｗａの圧力分布の制御に影響を与える因子となり得る。
【0060】
●実施例８～１３
実施例８～１３では、第３タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１５０ｍｍ、１３０ｍｍ、１２０ｍｍ、および１００ｍｍの４種に設定されている。面積比は、順に「０．４０」「０．５３」「０．６３」「０．９０」である。実施例８～１１では、第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されていて、実施例１２では、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ａ」が使用されていて、実施例１３では、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ｂ」が使用されている。実施例８～１０，１２，１３では、外縁部の強圧現象は生じておらず、特に、実施例９，１０，１２において、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。実施例１１では、同現象の傾向が僅かに生じているが、ワークＷの中央部も加圧されており、同現象は改善されている。実施例１０，１２，１３を比較すると、実施例１３では、ワークＷに加えられる圧力は、外縁部よりも中央部において大きくなっていた。また、実施例８でも、同様である。この結果は、第２緩衝部材６の材質および当接領域Ｒ１の大きさにより、被プレス面Ｗａにおける圧力分布を当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の形状に依存した分布に制御可能であること、を示している。
実施例８～１３では、第３タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１５０ｍｍ、１３０ｍｍ、１２０ｍｍ、および１００ｍｍの４種に設定されている。面積比は、順に「０．４０」「０．５３」「０．６３」「０．９０」である。実施例８～１１では、第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されていて、実施例１２では、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ａ」が使用されていて、実施例１３では、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ｂ」が使用されている。実施例８～１０，１２，１３では、外縁部の強圧現象は生じておらず、特に、実施例９，１０，１２において、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。実施例１１では、同現象の傾向が僅かに生じているが、ワークＷの中央部も加圧されており、同現象は改善されている。実施例１０，１２，１３を比較すると、実施例１３では、ワークＷに加えられる圧力は、外縁部よりも中央部において大きくなっていた。また、実施例８でも、同様である。この結果は、第２緩衝部材６の材質および当接領域Ｒ１の大きさにより、被プレス面Ｗａにおける圧力分布を当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の形状に依存した分布に制御可能であること、を示している。
【0061】
●実施例１４，１５
実施例１５，１６では、第４タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１２０ｍｍに設定されていて、上プレス板７の厚さＴ１は、１５ｍｍおよび１０ｍｍの２種に設定されている。実施例１５では、外縁部の強圧現象は生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。一方、実施例１６では、当接領域Ｒ１（当接面５ｄ１～５ｄ４）を中心とする４か所に、圧力が集中するような圧力分布（すなわち、中間部材５の形状に依存した圧力分布）が得られた。この結果は、上プレス板７の内部における応力の拡散の程度が厚さＴ１に依存していること、を示している。そのため、厚さＴ１が小さい実施例１６では、実施例１５よりも顕著に中間部材５の形状に依存した圧力分布が得られている。すなわち、この結果は、厚さＴ１に基づいて、圧力分布が制御可能であること、を示している。
実施例１５，１６では、第４タイプの中間部材５が使用されていて、ワークサイズは１２０ｍｍに設定されていて、上プレス板７の厚さＴ１は、１５ｍｍおよび１０ｍｍの２種に設定されている。実施例１５では、外縁部の強圧現象は生じておらず、被プレス面Ｗａの圧力分布は均一になるように制御されている。一方、実施例１６では、当接領域Ｒ１（当接面５ｄ１～５ｄ４）を中心とする４か所に、圧力が集中するような圧力分布（すなわち、中間部材５の形状に依存した圧力分布）が得られた。この結果は、上プレス板７の内部における応力の拡散の程度が厚さＴ１に依存していること、を示している。そのため、厚さＴ１が小さい実施例１６では、実施例１５よりも顕著に中間部材５の形状に依存した圧力分布が得られている。すなわち、この結果は、厚さＴ１に基づいて、圧力分布が制御可能であること、を示している。
【0062】
●実施例１６，１７
実施例１６では、第１タイプ（９５ｍｍ×９５ｍｍ）の中間部材５が使用されていて、実施例１７では、第３タイプの中間部材５が使用されている。実施例１６，１７では、ワークサイズ３０ｍｍの９個のワークＷが同時に加圧されている。実施例１６では、上下方向視において、全てのワークＷに対して１個の当接面５ｄ（当接領域Ｒ１）が対応している（全てのワークＷの上方向に１個の当接面５ｄが配置されている）。面積比は、順に「０．７５（９５ｍｍ×９５ｍｍ／１１０ｍｍ×１１０ｍｍ）」「０．６９（３０ｍｍ×３０ｍｍ）」である。実施例１６では、各ワークＷのワークサイズは当接面５ｄよりも小さいが、各ワークＷにおいて、外縁部の強圧現象は生じていない。この結果は、９個のワークＷが１個のワークＷ（ワークサイズ１１０ｍｍのワークＷ）として加圧可能であること、下面７１ａのうち、各ワークＷが当接している領域を包含する領域がプレス面領域Ｒ３として機能していること、複数のワークＷを一括で加圧しても本発明は実施可能であること、を示している。しかし、実施例１６では、プレス面領域Ｒ３の外縁側に配置されているワークＷ（特に、プレス面領域Ｒ３の外縁部側の部分）が、若干強く加圧されていた。一方、実施例１７では、複数のワークＷが同時に加圧されても、全てのワークＷが均等に加圧されていた。この結果は、中間部材５の幾何形状が局所的にも影響を与えること、下面７１ａのうち、各ワークＷ（ワークサイズ３０ｍｍ）に接する個々の領域がプレス面領域Ｒ３として機能していること、上下方向視において、各当接面５ｄ１～５ｄ９が配置されている個々の領域が配置領域Ｒｘとして機能していること、および、個々の面積比が「１」未満であることにより、各ワークＷの被プレス面Ｗａにおける圧力分布が均等になるように制御可能であること、を示している。
実施例１６では、第１タイプ（９５ｍｍ×９５ｍｍ）の中間部材５が使用されていて、実施例１７では、第３タイプの中間部材５が使用されている。実施例１６，１７では、ワークサイズ３０ｍｍの９個のワークＷが同時に加圧されている。実施例１６では、上下方向視において、全てのワークＷに対して１個の当接面５ｄ（当接領域Ｒ１）が対応している（全てのワークＷの上方向に１個の当接面５ｄが配置されている）。面積比は、順に「０．７５（９５ｍｍ×９５ｍｍ／１１０ｍｍ×１１０ｍｍ）」「０．６９（３０ｍｍ×３０ｍｍ）」である。実施例１６では、各ワークＷのワークサイズは当接面５ｄよりも小さいが、各ワークＷにおいて、外縁部の強圧現象は生じていない。この結果は、９個のワークＷが１個のワークＷ（ワークサイズ１１０ｍｍのワークＷ）として加圧可能であること、下面７１ａのうち、各ワークＷが当接している領域を包含する領域がプレス面領域Ｒ３として機能していること、複数のワークＷを一括で加圧しても本発明は実施可能であること、を示している。しかし、実施例１６では、プレス面領域Ｒ３の外縁側に配置されているワークＷ（特に、プレス面領域Ｒ３の外縁部側の部分）が、若干強く加圧されていた。一方、実施例１７では、複数のワークＷが同時に加圧されても、全てのワークＷが均等に加圧されていた。この結果は、中間部材５の幾何形状が局所的にも影響を与えること、下面７１ａのうち、各ワークＷ（ワークサイズ３０ｍｍ）に接する個々の領域がプレス面領域Ｒ３として機能していること、上下方向視において、各当接面５ｄ１～５ｄ９が配置されている個々の領域が配置領域Ｒｘとして機能していること、および、個々の面積比が「１」未満であることにより、各ワークＷの被プレス面Ｗａにおける圧力分布が均等になるように制御可能であること、を示している。
【0063】
●参考例１～７
参考例１～４では、第１タイプの中間部材５が使用されていて、参考例５，６では、第２タイプの中間部材５が使用されていて、参考例７では、第３タイプの中間部材５が使用されている。前述のとおり、参考例１～７では、スケールのみが加圧されている。参考例１では、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６は使用されていない。参考例２では、第１緩衝部材４に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されていて、第２緩衝部材６は使用されていない。参考例３，５，７では、第１緩衝部材４が使用されておらず、第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されている。参考例４では、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されている。参考例６では、第１緩衝部材４が使用されておらず、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ｂ」が使用されている。全ての条件で、外縁部の強圧現象は生じておらず、条件ごとに中間部材５の形状に依存した圧力分布が得られた。参考例１では、上下方向視において、当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の角が位置する部分近傍の圧力が高い圧力分布が得られた。参考例２では、参考例１における圧力が少し拡散したような圧力分布が得られた。参考例３～５，７では、上下方向視において、当接領域Ｒ１が位置する部分の圧力が高い圧力分布が得られた。参考例４では、参考例３における圧力が少し拡散したような圧力分布が得られた。参考例５では、当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の形状に対応する矩形枠状の圧力分布が得られた。参考例６では、当接領域Ｒ１の中央部の圧力が高い圧力分布が得られた。これらの結果は、中間部材５が外縁部の強圧現象の改善に寄与していること、を示している。また、同結果は、中間部材５の当接領域Ｒ１に応力（圧力）が集中していること、を示している。さらに、同結果は、第２緩衝部材６が中間部材５により集中された圧力を拡散させていること、を示している。さらにまた、同結果は、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６それぞれの有無および材質により、被プレス面Ｗａにおける圧力分布を当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の形状に依存した分布に制御可能であること、を示している。
参考例１～４では、第１タイプの中間部材５が使用されていて、参考例５，６では、第２タイプの中間部材５が使用されていて、参考例７では、第３タイプの中間部材５が使用されている。前述のとおり、参考例１～７では、スケールのみが加圧されている。参考例１では、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６は使用されていない。参考例２では、第１緩衝部材４に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されていて、第２緩衝部材６は使用されていない。参考例３，５，７では、第１緩衝部材４が使用されておらず、第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されている。参考例４では、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６に厚さ１ｍｍの「Ａ」が使用されている。参考例６では、第１緩衝部材４が使用されておらず、第２緩衝部材６に厚さ２ｍｍの「Ｂ」が使用されている。全ての条件で、外縁部の強圧現象は生じておらず、条件ごとに中間部材５の形状に依存した圧力分布が得られた。参考例１では、上下方向視において、当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の角が位置する部分近傍の圧力が高い圧力分布が得られた。参考例２では、参考例１における圧力が少し拡散したような圧力分布が得られた。参考例３～５，７では、上下方向視において、当接領域Ｒ１が位置する部分の圧力が高い圧力分布が得られた。参考例４では、参考例３における圧力が少し拡散したような圧力分布が得られた。参考例５では、当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の形状に対応する矩形枠状の圧力分布が得られた。参考例６では、当接領域Ｒ１の中央部の圧力が高い圧力分布が得られた。これらの結果は、中間部材５が外縁部の強圧現象の改善に寄与していること、を示している。また、同結果は、中間部材５の当接領域Ｒ１に応力（圧力）が集中していること、を示している。さらに、同結果は、第２緩衝部材６が中間部材５により集中された圧力を拡散させていること、を示している。さらにまた、同結果は、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６それぞれの有無および材質により、被プレス面Ｗａにおける圧力分布を当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）の形状に依存した分布に制御可能であること、を示している。
【0064】
●比較例１～９
比較例１～４では、中間部材５は使用されていない。比較例５～７では、第１タイプの中間部材５が使用されていて、比較例８では、第２タイプの中間部材５が使用されていて、比較例９では、第３タイプの中間部材５が使用されている。比較例１～２では、スケールのみが加圧されている。比較例５～９では、ワークサイズは、配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」よりも小さくなるように設定されている。比較例１，３～９では、外縁部の強圧現象を示す典型的な圧力分布が得られた。一方、比較例２では、第２緩衝部材６により、比較例１における圧力が拡散したような圧力分布が得られた。この結果によれば、第２緩衝部材６は、ワークＷが配置されていない場合には、外縁部の強圧現象を抑制する。しかし、中間部材５および第２緩衝部材６は、配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」よりも小さいワークＷが加圧されるとき、同現象を抑制しない。
比較例１～４では、中間部材５は使用されていない。比較例５～７では、第１タイプの中間部材５が使用されていて、比較例８では、第２タイプの中間部材５が使用されていて、比較例９では、第３タイプの中間部材５が使用されている。比較例１～２では、スケールのみが加圧されている。比較例５～９では、ワークサイズは、配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」よりも小さくなるように設定されている。比較例１，３～９では、外縁部の強圧現象を示す典型的な圧力分布が得られた。一方、比較例２では、第２緩衝部材６により、比較例１における圧力が拡散したような圧力分布が得られた。この結果によれば、第２緩衝部材６は、ワークＷが配置されていない場合には、外縁部の強圧現象を抑制する。しかし、中間部材５および第２緩衝部材６は、配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」よりも小さいワークＷが加圧されるとき、同現象を抑制しない。
【0065】
●ワークの被プレス面の外縁部が強圧される現象の改善
前述の実施例および参考例より、ワークＷの被プレス面Ｗａの外縁部が強圧される現象は、中間部材５により改善されている。この要因について、本発明の発明者らの所見が以下に説明される。
前述の実施例および参考例より、ワークＷの被プレス面Ｗａの外縁部が強圧される現象は、中間部材５により改善されている。この要因について、本発明の発明者らの所見が以下に説明される。
【0066】
図７は、シミュレータによる応力の伝達状態を示していて、（ａ）は配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」よりも小さいワークＷが加圧されたときの伝達状態を示していて、（ｂ）は配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」よりも大きいワークＷが加圧されたときの伝達状態を示している。
図８は、圧力の偏在化を改善する要因を説明する模式図である。
図８は、圧力の偏在化を改善する要因を説明する模式図である。
【0067】
図７において、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６は、使用されていない。図７（ａ）において、配置領域Ｒｘの大きさは１１５ｍｍ×１１５ｍｍであり、ワークサイズは８０ｍｍ×８０ｍｍである。図７（ｂ）において、配置領域Ｒｘの大きさは１１５ｍｍ×１１５ｍｍであり、ワークサイズは１４０ｍｍ×１４０ｍｍである。図８は、説明の便宜上、応力の大きさを黒塗り矢印で示していて、応力が集中または拡散していく様子を破線で示している。
【0068】
図７（ａ）に示されるとおり、配置領域Ｒｘよりも小さいワークＷが加圧されたとき、中間部材５から加えられる圧力により上プレス板７の内部に生じた応力は、上プレス板７の下面７１ａの全体（プレス面領域Ｒ３よりも外側）に伝達されている。そして、ワークＷから載置板８に伝達される圧力は、ワークＷのエッジ部分で最大になっている。下面７１ａ全体からワークＷに圧力が加えられたとき、プレス面領域Ｒ３よりも外側の部分からの外力（圧力）を受ける対象は、存在しない。そのため、同部分が「テコの力点」、ワークＷのエッジ部分が「テコの支点」のように機能する。このとき、プレス面領域Ｒ３の外側に伝達された応力は、プレス面領域Ｒ３の外縁部に集中する。その結果、下面７１ａからの圧力がワークＷのエッジ部分に過剰に加えられて、外縁部の強圧現象が生じる。
【0069】
一方、図７（ｂ）に示されるとおり、配置領域Ｒｘよりも大きいワークＷが加圧されたとき、中間部材５から加えられる圧力により上プレス板７の内部に生じた応力は、上プレス板７内で拡散されつつ、プレス面領域Ｒ３に向けて伝達されている。そして、ワークＷから載置板８に加えられる圧力は、ワークＷのエッジ部分で最大にならず、ワークＷの下方向に拡散している。これは、ワークＷのエッジ部分が「テコの支点」のように機能していないこと、すなわち、外縁部の強圧現象が抑制されていること、を示している。
【0070】
図８に示されるとおり、ベース部材２から圧力が加えられたとき、第１緩衝部材４の内部に生じた応力は、第１緩衝部材４の内部で拡散されて、均一化される。そのため、第１緩衝部材４から中間部材５に加えられる圧力は、拡散されて、均一化される。すなわち、中間部材５の上面５ｂにおける圧力分布は、均一化される。次いで、第１緩衝部材４から圧力が加えられたとき、中間部材５の内部に生じた応力は、中間部材５の内部で当接面５ｄ（当接領域Ｒ１）に集中して伝達される。そのため、中間部材５から第２緩衝部材６に加えられる圧力は、当接面５ｄに当接している部分に集中される。このとき、非当接面５ｃ（非当接領域Ｒ２）に伝達された応力は、当接面５ｄ（当接領域Ｒ１）の外縁側に集中する。したがって、当接面５ｄから第２緩衝部材６に加えられる圧力は、中央部よりも外縁部において高くなる。次いで、中間部材５から圧力が加えられたとき、第２緩衝部材６に生じた応力は、第２緩衝部材６の内部で拡散されて、均一化される。そのため、第２緩衝部材６から上プレス板７に加えられる圧力は、拡散されて、均一化される。すなわち、上プレス板７の上面７ａにおける圧力分布は、均一化される。次いで、第２緩衝部材６から圧力が加えられたとき、上プレス板７の内部に生じた応力は、上プレス板７の内部でやや拡散されて、下面７１ａのうち、主に、プレス面領域Ｒ３の範囲内に伝達される。すなわち、上プレス板７の内部を伝達される応力は、プレス面領域Ｒ３の外側よりもプレス面領域Ｒ３の範囲内に集中する。そのため、上プレス板７からワークＷに加えられる圧力は、プレス面領域Ｒ３に当接する部分（被プレス面Ｗａ）に集中される。その結果、ワークＷのエッジ部分は「テコの支点」のように機能せず、外縁部の強圧現象は、生じない。
【0071】
ここで、上プレス板７の内部における応力の拡散の程度は、サンブナンの原理に示されているように、上プレス板７の厚さＴ１が大きくなるにつれて、大きくなる。すなわち、下面７１ａのうち、応力が集中して伝達される領域（以下「集中領域」という。）は、上プレス板７の厚さＴ１が大きくなるにつれて大きくなり、同厚さＴ１が小さくなるにつれて小さくなる。したがって、集中領域の大きさは、上プレス板７の厚さＴ１、および、当接面５ｄ（当接領域Ｒ１）の面積（すなわち、配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」）により、制御可能である。換言すれば、集中領域の大きさを所定の範囲（プレス面領域Ｒ３の範囲）に維持するためには、配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」は、中間部材５の当接面５ｄから下面７１ａまでの間隔が大きくなるにつれて小さくなり、同間隔が小さくなるにつれて大きくなる、ように設計される。
【0072】
このように、上下方向視において、プレス面領域Ｒ３の面積「Ａ３」に対する配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」の比（面積比：Ａｘ／Ａ３）は、上プレス板７の厚さＴ１、材質、および、上プレス板７に加えられる圧力などの種々のパラメータに依存するが、少なくとも「１」未満に設計される。前述の実施例に示される条件の場合、例えば、面積比は、好ましくは「０．３２」以上に設計されて、さらに好ましくは「０．４０」以上かつ「０．９２」以下に設計されていて、さらに好ましくは、「０．５３」以上かつ「０．９２」以下に設計されている。面積「Ａ３」は本発明における第１面積の一例であり、面積「Ａｘ」は本発明における第２面積の一例である。
【0073】
●まとめ
以上説明された実施の形態によれば、上加圧ユニットＵＰは、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および下面７１ａを備える。第２緩衝部材６は、第１緩衝部材４よりも下方向に配置されている。中間部材５は、第１緩衝部材４と第２緩衝部材６との間に、第１緩衝部材４と第２緩衝部材６とに隣接して配置されている。下面７１ａは、金属製であり、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷに当接する。下面７１ａは、ＸＹ方向に平行な平面状である。中間部材５は、非当接面５ｃ（非当接領域Ｒ２）および当接面５ｄ（当接領域Ｒ１）を備える。下面７１ａは、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷに当接するプレス面領域Ｒ３を備える。上下方向視において、当接領域Ｒ１は、プレス面領域Ｒ３の外周線で示される第１外周線Ｌｏ１よりも内側に配置される。この構成によれば、中間部材５の内部において、応力は、中間部材５の内部で当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）に集中される。次いで、上プレス板７の内部において、応力は、下面７１ａに伝達される過程で拡散されつつ、プレス面領域Ｒ３に向けて伝達される。すなわち、応力は、プレス面領域Ｒ３に集中する。その結果、ワークＷのエッジ部分に過剰な圧力が加えられず、外縁部の強圧現象は改善される。すなわち、本装置１は、外縁部の強圧現象が生じないように、被プレス面Ｗａの圧力分布を制御できる。
以上説明された実施の形態によれば、上加圧ユニットＵＰは、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および下面７１ａを備える。第２緩衝部材６は、第１緩衝部材４よりも下方向に配置されている。中間部材５は、第１緩衝部材４と第２緩衝部材６との間に、第１緩衝部材４と第２緩衝部材６とに隣接して配置されている。下面７１ａは、金属製であり、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷに当接する。下面７１ａは、ＸＹ方向に平行な平面状である。中間部材５は、非当接面５ｃ（非当接領域Ｒ２）および当接面５ｄ（当接領域Ｒ１）を備える。下面７１ａは、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷに当接するプレス面領域Ｒ３を備える。上下方向視において、当接領域Ｒ１は、プレス面領域Ｒ３の外周線で示される第１外周線Ｌｏ１よりも内側に配置される。この構成によれば、中間部材５の内部において、応力は、中間部材５の内部で当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）に集中される。次いで、上プレス板７の内部において、応力は、下面７１ａに伝達される過程で拡散されつつ、プレス面領域Ｒ３に向けて伝達される。すなわち、応力は、プレス面領域Ｒ３に集中する。その結果、ワークＷのエッジ部分に過剰な圧力が加えられず、外縁部の強圧現象は改善される。すなわち、本装置１は、外縁部の強圧現象が生じないように、被プレス面Ｗａの圧力分布を制御できる。
【0074】
このように、本発明は、上プレス板７の厚さＴ１を大きくして上プレス板７の剛性を高める従来の設計を採用していない。したがって、本発明では、上プレス板７の厚さＴ１は、従来の設計よりも薄くできる。そのため、第１緩衝部材４、中間部材５、および第２緩衝部材６の交換に係る作業者の負担は、軽減される。また、本装置１は、上プレス板７の厚さＴ１の大きさにより、上プレス板７の内部における応力の拡散量を制御して、被プレス面Ｗａの圧力分布を制御できる。
【0075】
また、以上説明された実施の形態によれば、上加圧ユニットＵＰは、下面７１ａを備える上プレス板７を備える。上プレス板７は、第２緩衝部材６よりも下方向に、第２緩衝部材６に隣接して配置される。第２緩衝部材６は、ワークＷが加圧されるとき、上下方向に圧縮されて、ワークＷの加圧が終了したとき加圧前の状態に復元可能な弾性材料で構成されている。この構成によれば、中間部材５の内部の応力が当接領域Ｒ１（当接面５ｄ）に集中しても、第２緩衝部材６の内部に生じた応力は、第２緩衝部材６の内部で拡散して、均一化される。その結果、第２緩衝部材６から上プレス板７に加えられる圧力は、均一化される。したがって、上プレス板７の内部に生じる応力は、均一化される。そのため、プレス面領域Ｒ３に伝達される応力の分布は、仮に第２緩衝部材６が存在しない場合の同分布と比較して、均一化される。その結果、本装置１は、被プレス面Ｗａの圧力分布が均一になるように制御できる。また、弾性材料製である第２緩衝部材６が中間部材５と上プレス板７との間に配置されていることにより、上プレス板７に対する中間部材５の軸ずれは、抑制される。
【0076】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、第１緩衝部材４は、ワークＷが加圧されるとき、上下方向に圧縮されて、ワークＷの加圧が終了したとき加圧前の状態に復元可能な弾性材料で構成されている。この構成によれば、第１緩衝部材４から中間部材５に加えられる圧力は、均一化される。また、弾性材料製である第１緩衝部材４がベース部材２と中間部材５との間に配置されていることにより、ベース部材２に対する中間部材５の軸ずれは、抑制される。
【0077】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、中間部材５は、非当接面５ｃおよび当接面５ｄを備える。当接面５ｄは、第２緩衝部材６に当接している。非当接面５ｃは、上下方向において、当接面５ｄよりも上方向に配置されていて、第２緩衝部材６に当接していない。上下方向視において、当接領域Ｒ１は当接面５ｄが配置されている領域であり、非当接領域Ｒ２は非当接面５ｃが配置されている領域である。この構成によれば、板状の部材の下面に凹部を形成するだけで、中間部材５は、容易に形成される。また、当接面５ｄの位置および形状は、凹部の位置および形状に応じて、任意に設計される。したがって、本装置１は、被プレス面Ｗａの圧力分布を、中間部材５の形状に依存した分布、または、均一な分布になるように制御できる。
【0078】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、上下方向視において、プレス面領域Ｒ３の外周線で示される第１外周線Ｌｏ１の形状は、正方形状である。上下方向視において、当接面５ｄが配置される配置領域Ｒｘの形状は、正方形状である。上下方向視において、配置領域Ｒｘは、第１外周線Ｌｏ１の内側に配置されている。すなわち、第２外周線Ｌｏ２の形状は、第１外周線Ｌｏ１の形状と相似形である。上下方向視において、プレス面領域Ｒ３の面積「Ａ３」に対する配置領域Ｒｘの面積「Ａｘ」の比は、「０．４０」以上、かつ、「０．９２」以下である。この構成によれば、本装置１は、外縁部の強圧現象を確実に改善できると共に、被プレス面Ｗａの圧力分布を制御できる。
【0079】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、配置領域Ｒｘは、中間部材５のうち、第２緩衝部材６に当接する当接面５ｄから下面７１ａまでの間隔が大きくなるにつれて小さくなり、同間隔が小さくなるにつれて大きくなる、ように設計される。この構成によれば、ワークＷの被プレス面Ｗａの長さ（ワークサイズ）、および、上プレス板７の厚さＴ１に基づいて、ワークＷに応じた当接面５ｄを備える（配置領域Ｒｘを有する）中間部材５は、容易に設計される。
【0080】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、本装置１は、第１緩衝部材４を備えていなくてもよい。すなわち、中間部材５は、ベース部材２の下方向に、ベース部材２に隣接して配置されてもよい。この場合、ベース部材２は、本発明における第１加圧部材として機能している。この構成では、前述の実施例１～１２に示されるとおり、本装置１は、外縁部の強圧現象を改善できると共に、被プレス面Ｗａの圧力分布を均一になるように制御できる。
なお、本発明において、本装置１は、第１緩衝部材４を備えていなくてもよい。すなわち、中間部材５は、ベース部材２の下方向に、ベース部材２に隣接して配置されてもよい。この場合、ベース部材２は、本発明における第１加圧部材として機能している。この構成では、前述の実施例１～１２に示されるとおり、本装置１は、外縁部の強圧現象を改善できると共に、被プレス面Ｗａの圧力分布を均一になるように制御できる。
【0081】
また、本発明において、本装置１は、第２緩衝部材６を備えていなくてもよい。すなわち、上プレス板７は、中間部材５の下方向に、中間部材５に隣接して配置される。この場合、上プレス板７は、本発明における第２加圧部材として機能している。この構成では、上プレス板７の内部で伝達される応力の分布は、第１実施形態よりも不均一になるが、前述の参考例２に示されるとおり、外縁部の強圧現象は改善される。
【0082】
さらに、本発明において、本装置１は、第１緩衝部材４および第２緩衝部材６を備えていなくてもよい。すなわち、中間部材５は、ベース部材２の下方向に、ベース部材２に隣接して配置されてもよい。また、上プレス板７は、中間部材５の下方向に、中間部材５に隣接して配置される。この場合、ベース部材２は本発明における第１加圧部材として機能していて、上プレス板７は本発明における第２加圧部材として機能している。この構成では、上プレス板７の内部で伝達される応力の分布は、第１実施形態よりもさらに不均一になるが、前述の参考例１に示されるとおり、外縁部の強圧現象は改善される。
【0083】
さらにまた、本発明において、中間部材５の材料は、加圧時に当接領域Ｒ１の形状（面積）がほぼ変化しない材料であればよく、高い剛性を有する金属に限定されない。すなわち、例えば、本装置１は、中間部材５に代えて、中間部材５と同じ形状を有する第１緩衝部材４または第２緩衝部材６を本発明における中間部材として備えていてもよい。また、例えば、中間部材５は、硬質断熱部材製でもよい。
【0084】
さらにまた、本発明において、中間部材５は当接領域Ｒ１と非当接領域Ｒ２とを備えていればよく、中間部材５の形状は、第１実施形態の形状に限定されない。すなわち、例えば、中間部材５は、後述される第２変形例～第５変形例における中間部材５Ｂ～５Ｅのような形状に形成されていてもよい。
【0085】
さらにまた、本発明において、上プレス板７の厚さＴ１は、ワークＷが加圧されるとき、当接領域Ｒ１の下方向に位置する部分が弾性変形可能な程度の大きさに（すなわち、薄く）設計されてもよい。この場合、当接領域Ｒ１は、例えば、ワークＷの被プレス面Ｗａの形状または組成に応じて、被プレス面Ｗａのうち、局所的な加圧が必要な領域の上方向に配置されている。この構成では、上プレス板７は、局所的に弾性変形する。したがって、本装置１は、例えば、被プレス面Ｗａのうち、組成の差異により加圧後に突出する部分のみを局所的に加圧できる。また、例えば、本装置１は、複数のワークＷを一括して加圧できて、複雑な形状のワークＷを局所的に加圧できる。さらに、例えば、厚さＴ１が薄い場合、本装置１は、面積比を「１」に近づけることにより、被プレス面Ｗａの圧力分布を均一に制御できて、面積比を小さくすることにより、被プレス面Ｗａの圧力分布を中間部材５の形状に依存した分布に制御できる。このような厚さＴ１の設計は、上プレス板７の剛性を高める従来の設計では、採用し得ない設計である。
【0086】
さらにまた、本発明において、下加圧ユニットＤＰは、ワークＷを加熱する熱ユニットを備えていてもよい。
【0087】
さらにまた、本発明において、中間部材５は、複数の当接面５ｄを備えていてもよい。この場合、各当接面５ｄの形状は、後述される第３変形例の当接面５ｄ１～５ｄ９のように同じでもよく、または、個々に異なっていてもよい。
【0088】
さらにまた、本発明において、上下方向視における当接面５ｄの形状は、矩形状に限定されない。すなわち、例えば、上下方向視における当接面５ｄの形状は、下面７１ａに伝達される応力の分布の形状に応じて、有限要素法などの公知の解析手法を用いて、目的に応じた最適形状を求める逆問題を解くことにより、任意に設計されてもよい。
【0089】
さらにまた、本発明において、ＸＹ方向において、中間部材５の長さＬ５は、上プレス板７の外フランジ部７２の長さＬ７２よりも小さくてもよい。すなわち、例えば、長さＬ５は、プレス面領域Ｒ３の長さＬＲ３よりも小さくてもよい。換言すれば、上下方向視において、中間部材５は、第１外周線Ｌｏ１よりも内側のみに配置されていてもよい。
【0090】
さらにまた、本発明において、本装置１は、３個以上の上加圧ユニットＵＰおよび下加圧ユニットＤＰを備えていてもよい。すなわち、本装置１は、３段以上の加圧装置でもよい。
【0091】
さらにまた、本発明において、本装置１は、中間部材５と第２緩衝部材６との間に配置されている、断熱材料製の断熱部材を備えてもよい。この場合、上下方向視において、断熱部材の形状は、第２緩衝部材６と同じ形状でもよい。本装置１が第２緩衝部材６を備えていないとき、断熱部材は、本発明における第２加圧部材として機能し得る。この構成では、下加圧ユニットＤＰがワークＷを加熱する熱ユニットを備えていても、熱ユニットからの熱は、断熱部材により遮断されて、第２緩衝部材６、第１緩衝部材４、およびベース部材２に伝達されない。
【0092】
さらにまた、本発明において、プレス面領域Ｒ３は、前述の実施例１７に示されるとおり、複数のワークＷが一括して加圧されて、かつ、上下方向視において全てのワークＷに対して１つの当接面５ｄが対応しているとき、下面７１ａのうち、各ワークＷが当接している領域を包含する領域であってもよい。すなわち、プレス面領域Ｒ３は、各ワークＷが当接する複数の領域を包含してもよい。この場合、第１外周線Ｌｏ１は、同領域の外周線で示される。
【0093】
さらにまた、本発明において、プレス面領域Ｒ３は、前述の実施例１４に示されるとおり、複数のワークＷが一括して加圧されて、かつ、上下方向視において各ワークＷに対して各当接面５ｄ１～５ｄ９が対応しているとき、下面７１ａのうち、各ワークＷが当接している領域それぞれであってもよい。すなわち、下面７１ａは、複数のプレス面領域Ｒ３を備えていてもよい。この場合、第１外周線Ｌｏ１は、各領域の外周線で示される。
【0094】
さらにまた、本発明において、ワークＷの上には、下面７１ａの保護、および、ワークＷの貼り付き防止を目的とする保護シートが被せられていてもよい。保護シートの厚さは、その内部において応力の均一化がほぼ生じない程度に薄い。そのため、保護シートの有無による本発明の効果の差異は、生じない。
【0095】
●変形例●
次に、本装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されていて、その詳細な説明は省略される。以下の変形例において、図１および図２は、適宜参照される。
次に、本装置１の変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されていて、その詳細な説明は省略される。以下の変形例において、図１および図２は、適宜参照される。
【0096】
●第１変形例
図９は、本装置の第１変形例を示す、本装置の模式断面図である。
図９は、本装置の第１変形例を示す、本装置の模式断面図である。
【0097】
本装置１Ａは、上下方向において２つのワークＷ１，Ｗ２を挟み込んで加圧する。本装置１Ａは、ベース部材２、枠部材３、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、上プレス板７、載置板８、下プレス板９、昇降装置１０、制御装置１１、第２ベース部材１２、第２枠部材１３、第３緩衝部材１４、第２中間部材１５、第４緩衝部材１６、第２上プレス板１７、および第２載置板１８を有してなる。ベース部材２、枠部材３、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７は、上下方向においてワークＷ１よりも上方向に配置されていて、ワークＷ１を上方向から加圧する上加圧ユニットＵＰとして機能している。載置板８および第２ベース部材１２は、上下方向においてワークＷ１よりも下方向に配置されていて、ワークＷ１を下方向から加圧する下加圧ユニットＤＰとして機能している。同様に、第２ベース部材１２、第２枠部材１３、第３緩衝部材１４、第２中間部材１５、第４緩衝部材１６、および第２上プレス板１７は、上下方向においてワークＷ２よりも上方向に配置されていて、ワークＷ２を上方向から加圧する第２上加圧ユニットＵＰ２として機能している。第２載置板１８および第２下プレス板１９は、上下方向においてワークＷ２よりも下方向に配置されていて、ワークＷ２を下方向から加圧する第２下加圧ユニットＤＰ２として機能している。すなわち、本装置１Ａは、上方向から順に、上加圧ユニットＵＰ、下加圧ユニットＤＰ、第２上加圧ユニットＵＰ２、および第２下加圧ユニットＵＤ２が配置されている２段加圧装置である。
【0098】
第２ベース部材１２は、第２枠部材１３を介して、第３緩衝部材１４、第２中間部材１５、第４緩衝部材１６、および第２上プレス板１７を支持している。第２ベース部材１２の構成は、ベース部材２の構成と共通する。第２ベース部材１２は、上下方向に移動（昇降）可能に昇降装置１０に支持されている。第２ベース部材１２の上には、載置板８が載置されている。第２ベース部材１２は、下加圧ユニットＤＰの下プレス板としても機能している。上下方向において、第２ベース部材１２の大きさ（厚さ）は、載置板８を介して第２ベース部材１２に伝達される圧力により第２ベース部材１２の内部に生じる応力が、第２ベース部材１２の内部で十分に拡散可能な程度の大きさに設定される。
【0099】
第２枠部材１３は、第３緩衝部材１４、第２中間部材１５、第４緩衝部材１６、および、第２上プレス板１７の一部を収容する。第２枠部材１３の構成は、枠部材３の構成と共通する。第２枠部材１３は、本体部１３１および内フランジ部１３２を備える。本体部１３１は、内周面１３１ａを備える。内フランジ部１３２は、上面１３２ａおよび内周面１３２ｂを備える。
【0100】
第３緩衝部材１４は、ワークＷ２が加圧されるとき、第３緩衝部材１４に加えられた圧力を拡散および均一化させる。また、第３緩衝部材１４は、ワークＷ２が加圧されるとき、第２中間部材１５の軸ずれを抑制する。第３緩衝部材１４の構成は、第１緩衝部材４の構成と共通する。第３緩衝部材１４は、下面１４ａおよび上面１４ｂを備える。第３緩衝部材１４は、本発明における第１加圧部材の一例である。
【0101】
第２中間部材１５は、ワークＷ２が加圧されるとき、第２中間部材１５に加えられた圧力を集中させる。第２中間部材１５の構成は、中間部材５の構成と共通する。第２中間部材１５は、下面１５ａ、上面１５ｂ、非当接面１５ｃ、および当接面１５ｄを備える。第２中間部材１５は、本発明における中間部材の一例である。上下方向視において、第２中間部材１５のうち、当接面１５ｄが配置されている領域は当接領域Ｒ１１であり、非当接面１５ｃが配置されている領域は非当接領域Ｒ１２である。
【0102】
第４緩衝部材１６は、ワークＷ２が加圧されるとき、第４緩衝部材１６に加えられた圧力を拡散および均一化させる。また、第４緩衝部材１６は、ワークＷ２が加圧されるとき、第２中間部材１５の軸ずれを抑制する。第４緩衝部材１６の構成は、第２緩衝部材６の構成と共通する。第４緩衝部材１６は、下面１６ａおよび上面１６ｂを備える。第４緩衝部材１６は、本発明における第２加圧部材の一例である。
【0103】
第２上プレス板１７は、ワークＷ２が加圧されるとき、ワークＷ２を下方向に向けて加圧する。第２上プレス板１７の構成は、上プレス板７の構成と共通する。第２上プレス板１７は、上面１７ａ、本体部１７１および外フランジ部１７２を備える。本体部１７１は、下面１７１ａを備える。下面１７１ａは、プレス面領域Ｒ１３を備える。第２上プレス板１７は、本発明における第３加圧部材の一例である。下面１７１ａは、本発明における上プレス面の一例である。外フランジ部１７２は、下面１７２ａを備える。
【0104】
第２載置板１８は、ワークＷ２が載置される部材である。第２載置板１８の構成は、載置板８の構成と共通する。第２載置板１８は、第２下プレス板１９の上に載置されている。第２載置板１８は、上面である載置面１８ａを備える。
【0105】
第２下プレス板１９は、ワークＷ２が加圧されるとき、第２上加圧ユニットＵＰ２からの圧力に応じて、ワークＷ２を上方向に向けて加圧する。第２下プレス板１９の構成は、下プレス板９の構成と共通する。
【0106】
第２ベース部材１２、第２枠部材１３、第３緩衝部材１４、第２中間部材１５、第４緩衝部材１６、および第２上プレス板１７それぞれの位置関係および大小関係は、ベース部材２、枠部材３、第１緩衝部材４、中間部材５、第２緩衝部材６、および上プレス板７それぞれの位置関係および大小関係と共通する。
【0107】
なお、第１変形例において、各部材の寸法公差などにより、中間部材５の上面５ｂにおける圧力分布は、第２中間部材１５の上面１５ｂにおける圧力分布と異なり得る。また、第２ベース部材１２の厚さが薄い場合、ワークＷ１自体が本発明における中間部材として機能して、第２ベース部材１２から第２中間部材１５に伝達される圧力はその影響を受け得る。この場合、中間部材５の当接領域Ｒ１の長さＬＲ１はワークＷ１に加えられる圧力に応じて設定されて、第２中間部材１５の当接領域Ｒ１１の長さＬＲ１１はワークＷ２に加えられる圧力に応じて設定されるとよい。すなわち、長さＬＲ１１は、長さＬＲ１と異なってもよい。
【0108】
また、第１変形例において、本装置１Ａは、第３緩衝部材１４を備えていなくてもよい。すなわち、第２中間部材１５は、第２ベース部材１２の下方向に、第２ベース部材１２に隣接して配置されてもよい。この場合、第２ベース部材１２は、本発明における第１加圧部材として機能している。
【0109】
さらに、第１変形例において、本装置１Ａは、第４緩衝部材１６を備えていなくてもよい。すなわち、第２上プレス板１７は、第２中間部材１５の下方向に、第２中間部材１５に隣接して配置される。この場合、第２上プレス板１７は、本発明における第２加圧部材として機能している。
【0110】
さらにまた、第１変形例において、本装置１Ａは、第３緩衝部材１４および第４緩衝部材１６を備えていなくてもよい。すなわち、第２中間部材１５は、第２ベース部材１２の下方向に、第２ベース部材１２に隣接して配置されてもよい。また、第２上プレス板１７は、第２中間部材１５の下方向に、第２中間部材１５に隣接して配置される。この場合、第２ベース部材１２は本発明における第１加圧部材として機能していて、第２上プレス板１７は本発明における第２加圧部材として機能している。
【0111】
●第２変形例～第５変形例
本装置の第２変形例～第５変形例では、中間部材の構成が、第１実施形態と異なる。そのため、以下の説明では、中間部材のみが説明される。
本装置の第２変形例～第５変形例では、中間部材の構成が、第１実施形態と異なる。そのため、以下の説明では、中間部材のみが説明される。
【0112】
図１０は本装置の第２変形例～第５変形例における中間部材の模式底面図であり、（ａ）は第２変形例における中間部材を示していて、（ｂ）は第３変形例における中間部材を示していて、（ｃ）は第４変形例における中間部材を示していて、（ｄ）は第５変形例における中間部材を示している。
同図は、配置領域Ｒｘの第２外周線Ｌｏ２を太い破線で示していて、プレス面領域Ｒ３（被プレス面Ｗａ）を二点鎖線で示している。
同図は、配置領域Ｒｘの第２外周線Ｌｏ２を太い破線で示していて、プレス面領域Ｒ３（被プレス面Ｗａ）を二点鎖線で示している。
【0113】
第２変形例における中間部材５Ｂは、２個の非当接面５ｃ１，５ｃ２、および１個の当接面５ｄを備える。上下方向視において、非当接面５ｃ１の形状は矩形状であり、当接面５ｄの形状は非当接面５ｃ１の全周を囲む矩形枠状であり、非当接面５ｃ２の形状は当接面５ｄの全周を囲む矩形枠状である。第２外周線Ｌｏ２は、当接面５ｄの外周線と同じである。上下方向視において、当接領域Ｒ１は当接面５ｄが配置されている領域であり、非当接領域Ｒ２は非当接面５ｃ１，５ｃ２が配置されている領域である。この構成では、実施例６～７および参考例５～６に示されるとおり、本装置１は、外縁部の強圧現象を改善できる。また、本装置１は、被プレス面Ｗａの圧力分布を、中間部材５の形状に依存した分布に制御できる。
【0114】
第３変形例における中間部材５Ｃは、１個の非当接面５ｃ、および９個の当接面５ｄ１～５ｄ９を備える。上下方向視において、当接面５ｄ１～５ｄ９の形状は、同じ矩形状である。当接面５ｄ１～５ｄ９は、３行×３列の配置パターンで、均等に配置されている。上下方向視において、配置領域Ｒｘは、全ての当接面５ｄ１～５ｄ９が配置されて、かつ、その面積が最小となる形状（第３変形例では矩形状）の領域である。非当接面５ｃ１は、配置領域Ｒｘの内側に配置されている格子状の部分、および、配置領域Ｒｘの外側に配置されている矩形枠状の部分、を備える。上下方向視において、当接領域Ｒ１は当接面５ｄ１～５ｄ９が配置されている領域であり、非当接領域Ｒ２は非当接面５ｃが配置されている領域である。この構成では、実施例８～１２および参考例７に示されるとおり、本装置１は、外縁部の強圧現象を改善できる。また、本装置１は、被プレス面Ｗａの圧力分布を、中間部材５の形状に依存した分布に制御できる。
【0115】
第４変形例における中間部材５Ｄは、１２個の非当接面５ｃ１～５ｃ１２、９個の当接面５ｄ１～５ｄ９、および４個の貫通部５ｅ１～５ｅ４を備える。上下方向視において、当接面５ｄ１～５ｄ９の形状は、同じ矩形状である。当接面５ｄ１～５ｄ９は、３行×３列の配置パターンで、均等に配置されている。上下方向視において、隣り合う当接面５ｄ１～５ｄ９は、橋状の部分により接続されている。非当接面５ｃ１～５ｃ１２は、同橋状の部分に配置されている。貫通部５ｅ１～５ｅ４は、中間部材５Ｄを上下方向に貫通する貫通孔である。上下方向視において、貫通部５ｅ１～５ｅ４の形状は、クロス状である。貫通部５ｅ１～５ｅ４は、当接面５ｄ１～５ｄ９を区画するように、当接面５ｄ１～５ｄ９の間に配置されている。上下方向視において、配置領域Ｒｘは、全ての当接面５ｄ１～５ｄ９が配置されて、かつ、その面積が最小となる領域である。上下方向視において、当接領域Ｒ１は当接面５ｄ１～５ｄ９が配置されている領域であり、非当接領域Ｒ２は非当接面５ｃ１～５ｃ１２および貫通部５ｅ１～５ｅ４が配置されている領域である。第４変形例では、中間部材５Ｄの長さＬ５は、第１緩衝部材４の長さＬ４および第２緩衝部材６の長さＬ６よりも小さい。そのため、中間部材５Ｄの周囲には、矩形枠状の空間が形成されている。第１緩衝部材４の外縁部は、同空間を介して、第２緩衝部材６の外縁部に対向している。この構成では、板状の部材に非当接領域Ｒ２として機能する貫通孔を形成して、橋状の部分に非当接面５ｃ１～５ｃ１２を形成するだけで、中間部材５Ｄは、容易に形成される。また、当接面５ｄの位置および形状は、貫通孔の位置よび形状に応じて、任意に設計される。
【0116】
なお、第４変形例において、橋状の部分には、非当接面５ｃ１～５ｃ１２が形成されていなくてもよい。この場合、橋状の部分は、当接面として機能する。この構成では、非当接面５ｃ１～５ｃ１２の形成が不要となり、板状の部材に非当接領域Ｒ２として機能する貫通孔を形成するだけで、中間部材５Ｄは容易に形成可能である。
【0117】
また、第４変形において、貫通部５ｅ１～５ｅ４の形状はクロス状に限定されず、貫通部５ｅ１～５ｅ４の数は４個に限定されない。
【0118】
第５変形例における中間部材５Ｅは、１個の非当接面５ｃ、および１個の当接面５ｄを備える。上下方向視において、当接面５ｄの形状は、矩形状である。上下方向視において、当接面５ｄは、プレス面領域Ｒ３の内側、かつ、中間部材５Ｅの１個の角側に偏るように配置されている。上下方向視において、非当接面５ｃの形状は、当接面５ｄの全周を囲む矩形枠状である。上下方向視において、当接領域Ｒ１は当接面５ｄが配置されている領域であり、非当接領域Ｒ２は非当接面５ｃが配置されている領域である。このように中間部材５Ｅが形成されることにより、プレス面領域Ｒ３のうち、上下方向視において、当接領域Ｒ１を含み、当接領域Ｒ１を中心とする所定の領域（図１０（ｄ）においてハッチングされた領域）は、他の領域Ｒ３ｂよりも大きい圧力でワークＷを加圧する偏加圧領域Ｒ３ａである。上下方向視において、当接領域Ｒ１は、偏加圧領域Ｒ３ａの範囲内に配置されていて、偏加圧領域Ｒ３ａに対応している。換言すれば、当接領域Ｒ１は、偏加圧領域Ｒ３ａに対応する領域（以下「特定領域Ｒ１ａ」という。）を含んでいる。この構成では、本装置１は、被プレス面Ｗａのうち、所定の領域（偏加圧領域Ｒ３ａに当接する領域）の圧力が他の領域の圧力よりも高くなるように制御できる。偏加圧領域Ｒ３ａの位置および長さは、プレス面領域Ｒ３に対する特定領域Ｒ１ａ（当接面５ｄ）の位置および長さに応じて、任意に設計される。すなわち、本装置１は、中間部材５に代えて中間部材５Ｅを用いることにより、平面状のプレス面により直接的に（または、保護シートを介して間接的に）ワークを加圧する従来の加圧装置（以下「従来装置」という。）では実現不可能であった、被プレス面Ｗａのうち、任意の領域の偏加圧を実行できる。また、複数の偏加圧領域Ｒ３ａが形成されるように、複数の特定領域Ｒ１ａ（当接面５ｄ）が形成されることにより、本装置１は、従来装置では実現不可能であった、複数のワークＷの一括加圧も実行できる。
【0119】
なお、第５変形例において、中間部材５Ｅは、特定領域Ｒ１ａを含む複数の当接領域Ｒ１に対応する複数の当接面５ｄを備えていてもよい。
【0120】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0121】
本発明の第１の実施態様は、上下方向においてワーク（例えば、ワークＷ，Ｗ１，Ｗ２）を挟み込んで加圧する加圧装置（例えば、加圧装置１，１Ａ）であって、前記ワークの上方向に配置される上加圧ユニット（例えば、上加圧ユニットＵＰ、第２上加圧ユニットＵＰ２）、を有してなり、前記上加圧ユニットは、第１加圧部材（例えば、ベース部材２、第１緩衝部材４、第３緩衝部材１４）と、前記第１加圧部材よりも下方向に配置される第２加圧部材（例えば、第２緩衝部材６、上プレス板７、第４緩衝部材１６、第２上プレス板１７）と、前記第１加圧部材と前記第２加圧部材との間に、前記第１加圧部材と前記第２加圧部材とに隣接して配置される中間部材（例えば、中間部材５～５Ｅ）と、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接する、金属製で平面状の上プレス面（例えば、下面７１ａ，１７１ａ）と、を備えて、前記中間部材は、前記第２加圧部材に当接する当接領域（例えば、当接領域Ｒ１，Ｒ１１）と、前記第２加圧部材に当接しない非当接領域（例えば、非当接領域Ｒ２，Ｒ１２）と、を備えて、前記上プレス面は、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接するプレス面領域（例えば、プレス面領域Ｒ３，Ｒ１３）、を備えて、前記当接領域は、上下方向視において、前記非当接領域に隣接して配置されて、前記プレス面領域の外周線で示される第１外周線（例えば、第１外周線Ｌｏ１）よりも内側に配置される、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、外縁部の強圧現象が生じないように、被プレス面の圧力分布を制御できる。
この構成によれば、本装置は、外縁部の強圧現象が生じないように、被プレス面の圧力分布を制御できる。
【0122】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記上加圧ユニットは、前記上プレス面を備える第３加圧部材（例えば、上プレス板７、第２上プレス板１７）、を備えて、前記第３加圧部材は、前記第２加圧部材（例えば、第２緩衝部材６、第４緩衝部材１６）よりも下方向に、前記第２加圧部材に隣接して配置されて、前記第２加圧部材は、前記ワークが加圧されるとき上下方向に圧縮されて、前記ワークの加圧が終了したとき加圧前の状態に復元可能な弾性材料で構成される、加圧装置である。
この構成によれば、ワークの被プレス面は、均一に加圧される。また、上プレス板に対する中間部材の軸ずれは、抑制される。
この構成によれば、ワークの被プレス面は、均一に加圧される。また、上プレス板に対する中間部材の軸ずれは、抑制される。
【0123】
本発明の第３の実施態様は、第１の実施態様において、前記第２加圧部材（例えば、上プレス板７、第２上プレス板１７）は、前記上プレス面、を備える、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、各段において、外縁部の強圧現象が生じないように、被プレス面の圧力分布を制御できる。
この構成によれば、本装置は、各段において、外縁部の強圧現象が生じないように、被プレス面の圧力分布を制御できる。
【0124】
本発明の第４の実施態様は、第２または第３の実施態様において、前記第１加圧部材（例えば、第１緩衝部材４、第３緩衝部材１４）は、前記ワークが加圧されるとき上下方向に圧縮されて、前記ワークの加圧が終了したとき加圧前の状態に復元可能な弾性材料で構成される、加圧装置である。
この構成によれば、第１緩衝部材から中間部材に加えられる圧力は、均一化される。また、ベース部材に対する中間部材の軸ずれは、抑制される。
この構成によれば、第１緩衝部材から中間部材に加えられる圧力は、均一化される。また、ベース部材に対する中間部材の軸ずれは、抑制される。
【0125】
本発明の第５の実施態様は、第１乃至第３のいずれか１つの実施態様において、前記中間部材は、前記第２加圧部材に当接する当接面（例えば、当接面５ｄ，５ｄ１～５ｄ９）と、上下方向において前記当接面よりも上方向に配置されて、前記第２加圧部材に当接しない非当接面（例えば、非当接面５ｃ，５ｃ１～５ｃ１２）と、を備えて、上下方向視において、前記当接領域は、前記当接面が配置される領域であり、上下方向視において、前記非当接領域は、前記非当接面が配置される領域である、加圧装置である。
この構成によれば、板状の部材の下面に凹部を形成するだけで、中間部材は、容易に形成される。
この構成によれば、板状の部材の下面に凹部を形成するだけで、中間部材は、容易に形成される。
【0126】
本発明の第６の実施態様は、第１乃至第３のいずれか１つの実施態様において、前記中間部材（例えば、中間部材５Ｄ）は、前記第２加圧部材に当接する当接面（例えば、当接面５ｄ１～５ｄ９）と、前記中間部材を上下方向に貫通する貫通孔（例えば、貫通部５ｅ１～５ｅ４）と、を備えて、上下方向視において、前記当接領域は、前記当接面が配置される領域であり、上下方向視において、前記非当接領域は、前記貫通孔が配置される領域である、加圧装置である。
この構成によれば、板状の部材に非当接領域として機能する貫通孔を形成するだけで、中間部材は、容易に形成される。
この構成によれば、板状の部材に非当接領域として機能する貫通孔を形成するだけで、中間部材は、容易に形成される。
【0127】
本発明の第７の実施態様は、第１の実施態様において、上下方向視において、前記当接領域が配置される配置領域（例えば、配置領域Ｒｘ）の外周線で示される第２外周線（例えば、第２外周線Ｌｏ２）の形状は、前記第１外周線の形状と相似形であり、上下方向視において、前記第１外周線で区画される前記プレス面領域の第１面積（例えば、面積「Ａ３」）に対する、前記第２外周線で区画される前記配置領域の第２面積（例えば、面積「Ａｘ」）の比は、０．４０以上、かつ、０．９２以下である、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、外縁部の強圧現象を確実に改善できると共に、被プレス面の圧力分布を制御できる。
この構成によれば、本装置は、外縁部の強圧現象を確実に改善できると共に、被プレス面の圧力分布を制御できる。
【0128】
本発明の第８の実施態様は、第１の実施態様において、上下方向視において、前記当接領域が配置される配置領域は、前記中間部材のうち、前記第２加圧部材に当接する当接面から前記上プレス面までの間隔（例えば、厚さ「Ｔ１」）が大きくなるにつれて小さくなり、前記間隔が小さくなるにつれて大きくなる、ように設計される、加圧装置である。
この構成によれば、ワークに応じた当接面を備える（配置領域を有する）中間部材は、容易に設計される。
この構成によれば、ワークに応じた当接面を備える（配置領域を有する）中間部材は、容易に設計される。
【0129】
本発明の第９の実施態様は、第１の実施態様において、前記プレス面領域は、上下方向視において、前記ワークが加圧されるとき、前記ワークの一部の所定の領域を、前記ワークの他の領域よりも大きい加圧力で加圧する偏加圧領域（例えば、偏加圧領域Ｒ３ａ）、を含み、前記当接領域は、前記偏加圧領域に対応する特定領域（例えば、特定領域Ｒ１ａ）、を含み、上下方向視において、前記特定領域は、前記偏加圧領域の範囲内に配置される、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、被プレス面のうち、任意の領域が強く加圧されるように、被プレス面の圧力分布を制御できる。
この構成によれば、本装置は、被プレス面のうち、任意の領域が強く加圧されるように、被プレス面の圧力分布を制御できる。
【符号の説明】
【0130】
１ 加圧装置
２ ベース部材（第１加圧部材）
４ 第１緩衝部材（第１加圧部材）
５ 中間部材
５ｃ，５ｃ１～５ｃ１２ 非当接面
５ｄ，５ｄ１～５ｄ９ 当接面
６ 第２緩衝部材（第２加圧部材）
７ 上プレス板（第２加圧部材、第３加圧部材）
７１ａ 下面（上プレス面）
１２ 第２ベース部材（第１加圧部材）
１４ 第３緩衝部材（第１加圧部材）
１５ 第２中間部材（中間部材）
１５ｃ 非当接面
１５ｄ 当接面
１６ 第４緩衝部材（第２加圧部材）
１７ 上プレス板（第２加圧部材、第３加圧部材）
１７１ａ 下面（上プレス面）
Ｒ１ 当接領域
Ｒ２ 非当接領域
Ｒ１１ 当接領域
Ｒ１２ 非当接領域
Ｒｘ 配置領域
Ｒ３ａ 偏加圧領域
Ｒ３ｂ 他の領域
２ ベース部材（第１加圧部材）
４ 第１緩衝部材（第１加圧部材）
５ 中間部材
５ｃ，５ｃ１～５ｃ１２ 非当接面
５ｄ，５ｄ１～５ｄ９ 当接面
６ 第２緩衝部材（第２加圧部材）
７ 上プレス板（第２加圧部材、第３加圧部材）
７１ａ 下面（上プレス面）
１２ 第２ベース部材（第１加圧部材）
１４ 第３緩衝部材（第１加圧部材）
１５ 第２中間部材（中間部材）
１５ｃ 非当接面
１５ｄ 当接面
１６ 第４緩衝部材（第２加圧部材）
１７ 上プレス板（第２加圧部材、第３加圧部材）
１７１ａ 下面（上プレス面）
Ｒ１ 当接領域
Ｒ２ 非当接領域
Ｒ１１ 当接領域
Ｒ１２ 非当接領域
Ｒｘ 配置領域
Ｒ３ａ 偏加圧領域
Ｒ３ｂ 他の領域
【要約】
【課題】被プレス面の圧力分布を制御可能な加圧装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧装置１，１Ａは、第１加圧部材４，１４と、第１加圧部材よりも下方向に配置される第２加圧部材６，１６と、第１加圧部材と第２加圧部材との間に、第１加圧部材と第２加圧部材とに隣接して配置される中間部材５，１５，５Ｂ～５Ｅと、金属製で平面状の上プレス面７１ａ，１７１ａと、を備える。中間部材は、第２加圧部材に当接する当接領域Ｒ１，Ｒ１１と、第２加圧部材に当接しない非当接領域Ｒ２，Ｒ１２と、を備える。上プレス面は、ワークに当接するプレス面領域Ｒ３，Ｒ１３、を備える。当接領域は、上下方向視において、非当接領域に隣接して配置されて、プレス面領域の外周線で示される第１外周線Ｌｏ１よりも内側に配置される。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に係る加圧装置１，１Ａは、第１加圧部材４，１４と、第１加圧部材よりも下方向に配置される第２加圧部材６，１６と、第１加圧部材と第２加圧部材との間に、第１加圧部材と第２加圧部材とに隣接して配置される中間部材５，１５，５Ｂ～５Ｅと、金属製で平面状の上プレス面７１ａ，１７１ａと、を備える。中間部材は、第２加圧部材に当接する当接領域Ｒ１，Ｒ１１と、第２加圧部材に当接しない非当接領域Ｒ２，Ｒ１２と、を備える。上プレス面は、ワークに当接するプレス面領域Ｒ３，Ｒ１３、を備える。当接領域は、上下方向視において、非当接領域に隣接して配置されて、プレス面領域の外周線で示される第１外周線Ｌｏ１よりも内側に配置される。
【選択図】図１
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】