特許 7581989 中継器及びサーボシステム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-05

(45)【発行日】2024-11-13

(54)【発明の名称】中継器及びサーボシステム

(51)【国際特許分類】

   G05D 3/12 20060101AFI20241106BHJP

   G05B 19/05 20060101ALI20241106BHJP

【ＦＩ】

G05D3/12 W

G05B19/05 L

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021041155

(22)【出願日】2021-03-15

(65)【公開番号】P2022141032

(43)【公開日】2022-09-29

【審査請求日】2024-01-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000002945

【氏名又は名称】オムロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大野 悌

【審査官】渡邊 捷太郎

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６２－１２５４０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／１５０５４４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特許第６３４９６８７（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開２０１９－１１０７２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１３５９６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】欧州特許出願公開第０２２３３２５５（ＥＰ，Ａ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０５Ｄ ３／１２

Ｇ０５Ｂ １９／０５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

サーボドライバにより駆動されるモータの動作を示すフィードバック信号と前記モータにより駆動される駆動対象の変位に関連するパラメータを検出するセンサから出力された検出信号とを第１の信号線を介して出力するエンコーダと、前記サーボドライバとの通信を中継する中継器であって、
前記第１の信号線が接続され、前記エンコーダからの前記フィードバック信号及び前記検出信号を含む入力信号の入力を受け付ける入力部と、
第２の信号線が接続され、前記フィードバック信号及び前記検出信号を前記入力信号から分離し、分離した前記検出信号を前記第２の信号線を介して前記サーボドライバに出力する分離部と、
第３の信号線が接続され、前記分離部によって前記入力信号から分離された前記フィードバック信号を前記第３の信号線を介して前記サーボドライバに出力する通信部と、を備え、
前記中継器は、前記エンコーダを含む複数のエンコーダからの入力信号が入力可能に配置されるとともに、前記複数のエンコーダの夫々に対応するサーボドライバと通信可能に接続され、
前記分離部は、さらに、前記複数のエンコーダから入力された入力信号を、出力元エンコーダ毎にフィードバック信号と前記出力元エンコーダに関連付けられたセンサの検出信号とに分離し、分離した検出信号を前記出力元エンコーダに夫々対応するサーボドライバに送信し、
前記通信部は、前記分離部によって分離された前記フィードバック信号を、前記出力元エンコーダに夫々対応するサーボドライバに送信し、
前記中継器は、さらに、
前記サーボドライバのうちの第１サーボドライバによって駆動される第１モータの出力軸のみを駆動させて前記駆動対象を変位させる第１所定動作が行われたときに前記複数のエンコーダのいずれかから検出信号を受信した場合、該検出信号を送信したセンサを、前記第１サーボドライバに紐付けられる第１対応センサと認識する第１処理部と、
前記サーボドライバのうちの第２サーボドライバによって駆動される第２モータの出力軸のみを駆動させて前記第２モータによって駆動される第２駆動対象を変位させる第２所定動作が行われたときに前記複数のエンコーダのいずれかから検出信号を受信した場合、該検出信号を送信したセンサを、前記第２サーボドライバに紐付けられる第２対応センサ
と認識する第２処理部と、を備える、
中継器。

【請求項2】

前記第１所定動作は、前記駆動対象が、一方の端部から移動開始し他方の端部に到達するまでの、該駆動対象の駆動可能な全範囲における移動動作であり、
前記第２所定動作は、前記第２駆動対象が、一方の端部から移動開始し他方の端部に到達するまでの、該第２駆動対象の駆動可能な全範囲における移動動作である、
請求項１に記載の中継器。

【請求項3】

前記第１処理部によって前記第１対応センサと認識されたセンサのセンサ種類を、前記第１対応センサと認識したときの前記駆動対象の駆動範囲における位置情報に基づいて判定し、前記第２処理部によって前記第２対応センサとして認識されたセンサのセンサ種類を、前記第２対応センサと認識したときの前記第２駆動対象の駆動範囲における位置情報に基づいて判定する判定部をさらに備える、
請求項１または２に記載の中継器。

【請求項4】

サーボドライバにより駆動されるモータの動作を示すフィードバック信号と前記モータにより駆動される駆動対象の変位に関連するパラメータを検出するセンサから出力された検出信号とを第１の信号線を介して出力するエンコーダと、
前記サーボドライバと前記エンコーダとの通信を中継する中継器と、
を含むサーボシステムであって、
前記中継器は、
前記第１の信号線が接続され、前記エンコーダからの前記フィードバック信号及び前記検出信号を含む入力信号の入力を受け付ける入力部と、
第２の信号線が接続され、前記フィードバック信号及び前記検出信号を前記入力信号から分離し、分離した前記検出信号を前記第２の信号線を介して前記サーボドライバに出力する分離部と、
第３の信号線が接続され、前記分離部によって前記入力信号から分離された前記フィードバック信号を前記第２の信号線を介して前記サーボドライバに出力する通信部と、を備え、
前記中継器は、前記エンコーダを含む複数のエンコーダからの入力信号が入力可能に配置されるとともに、前記複数のエンコーダの夫々に対応するサーボドライバと通信可能に接続され、
前記分離部は、さらに、前記複数のエンコーダから入力された入力信号を、出力元エンコーダ毎にフィードバック信号と前記出力元エンコーダに関連付けられたセンサの検出信号とに分離し、分離した検出信号を前記出力元エンコーダに夫々対応するサーボドライバに送信し、
前記通信部は、前記分離部によって分離された前記フィードバック信号を、前記出力元エンコーダに夫々対応するサーボドライバに送信し、
前記中継器は、さらに、
前記サーボドライバのうちの第１サーボドライバによって駆動される第１モータの出力軸のみを駆動させて前記駆動対象を変位させる第１所定動作が行われたときに前記複数のエンコーダのいずれかから検出信号を受信した場合、該検出信号を送信したセンサを、前記第１サーボドライバに紐付けられる第１対応センサと認識する第１処理部と、
前記サーボドライバのうちの第２サーボドライバによって駆動される第２モータの出力軸のみを駆動させて前記第２モータによって駆動される第２駆動対象を変位させる第２所定動作が行われたときに前記複数のエンコーダのいずれかから検出信号を受信した場合、該検出信号を送信したセンサを、前記第２サーボドライバに紐付けられる第２対応センサと認識する第２処理部と、を備える、
サーボシステム。

【請求項5】

前記第１所定動作は、前記駆動対象が、一方の端部から移動開始し他方の端部に到達するまでの、該駆動対象の駆動可能な全範囲における移動動作であり、
前記第２所定動作は、前記第２駆動対象が、一方の端部から移動開始し他方の端部に到達するまでの、該第２駆動対象の駆動可能な全範囲における移動動作である、
請求項４に記載のサーボシステム。

【請求項6】

前記中継器が、
前記第１処理部によって前記第１対応センサと認識されたセンサのセンサ種類を、前記第１対応センサと認識したときの前記駆動対象の駆動範囲における位置情報に基づいて判定し、前記第２処理部によって前記第２対応センサとして認識されたセンサのセンサ種類を、前記第２対応センサと認識したときの前記第２駆動対象の駆動範囲における位置情報に基づいて判定する判定部をさらに備える、
請求項４または５に記載のサーボシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、中継器及びサーボシステムに関する。

【背景技術】

【0002】

サーボシステムでは、一般に、ＰＬＣ等のコントローラからの指令に従って、サーボドライバによるサーボモータのサーボ制御が行われる。このサーボ制御においては、サーボモータが備えるエンコーダ以外の外部センサの検出信号が利用される場合がある。外部センサには、モータにより駆動される駆動対象の特定の位置を検出する限界センサ等が例示できる。従来では、このような外部センサは、センサケーブルによって、サーボドライバに接続される。ここで、サーボシステムが適用される場所において、レイアウト等の理由により、サーボドライバがサーボモータから離れている場合がある。このような場合には、サーボドライバとサーボモータとの間をつなぐケーブルに、比較的長いケーブルが必要である。一方で、上記駆動対象の動きを検出するための外部センサは、その駆動対象の近くに配置されなければならない。

【0003】

サーボモータとサーボドライバとの間の距離が大きいと、センサとサーボドライバとを接続するセンサケーブルも長くなる。センサケーブルが長くなると、たとえば、センサケーブルの配線作業（たとえばセンサケーブルの接続あるいは引回し等）に大きな手間を要するといった問題が発生する。そこで、特許文献１には、センサの近くに配置されているサーボモータのエンコーダに当該センサをケーブル接続し、センサの検出信号とエンコーダにより生成されるフィードバック信号とをエンコーダからサーボドライバに送信する技術が開示されている。当該技術によれば、センサをエンコーダに繋ぐことでセンサの検出信号をサーボドライバに渡すことができ、センサとサーボドライバ間の配線が長くなることを抑制できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６３４９６８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

従来の技術によれば、エンコーダは、フィードバック信号とセンサの検出信号とを１本のケーブルで出力することができるため、サーボドライバとエンコーダ間の配線を省力化することができる。しかしながら、サーボドライバによっては、フィードバック信号と検出信号とを夫々異なるケーブルから受信するように設計されているものもある。このようなサーボドライバに対しては上記エンコーダを採用することができなくなるため、上記エンコーダを採用することによる配線の省力化が困難となる。

【0006】

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、フィードバック信号と検出信号とを夫々異なるケーブルから受信するように設計されたサーボドライバに対して、フィードバック信号と検出信号とを１本のケーブルで出力するエンコーダの採用を可能とする技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一側面に係る中継器は、サーボドライバにより駆動されるモータの動作を示すフィードバック信号と上記モータにより駆動される駆動対象の変位に関連するパラメータを検出するセンサから出力された検出信号とを第１の信号線を介して出力するエンコーダ
と、上記サーボドライバとの通信を中継する中継器である。上記第１の信号線が接続され、上記エンコーダからのフィードバック信号及び検出信号を含む入力信号の入力を受け付ける入力部と、第２の信号線が接続され、フィードバック信号及び検出信号を上記入力信号から分離し、分離した検出信号を第２の信号線を介して上記サーボドライバに出力する分離部と、第３の信号線が接続され、上記分離部によって入力信号から分離されたフィードバック信号を第３の信号線を介して上記サーボドライバに出力する通信部と、を備える。

【0008】

上記の中継器は、フィードバック信号とセンサの検出信号とを含む入力信号を第１の信号線を介して受信する。そして、中継器は、受信した入力信号から検出信号とフィードバック信号とを分離し、夫々を第２の信号線、第３の信号線を介して、サーボドライバに送信する。なお、センサとしては、駆動対象の位置に関連する原点センサ、限界センサ、リニアスケールとペアとなるフルクローズドセンサ等が例示できる。

【0009】

すなわち、本中継器は、１本の信号線を介してエンコーダから出力された入力信号をフィードバック信号と検出信号とに分離して、夫々を異なるケーブルで出力することができる。そのため、本中継器によれば、フィードバック信号と検出信号とを夫々異なるケーブルから受信するように設計されたサーボドライバに対して、フィードバック信号と検出信号とを１本のケーブルで出力するエンコーダの採用を可能とすることができる。

【0010】

上記中継器は、上記エンコーダを含む複数のエンコーダからの入力信号が入力可能に配置されるとともに、複数のエンコーダの夫々に対応するサーボドライバと通信可能に接続されてもよい。そして、上記分離部は、さらに、複数のエンコーダから入力された入力信号を、出力元エンコーダ毎にフィードバック信号と出力元エンコーダに関連付けられたセンサの検出信号とに分離し、分離した検出信号を出力元エンコーダに夫々対応するサーボドライバに送信してもよい。そして、通信部は、分離部によって分離されたフィードバック信号を、出力元エンコーダに夫々対応するサーボドライバに送信してもよい。このような中継器によれば、複数のエンコーダから入力信号が入力された場合に、フィードバック信号と検出信号とを出力元エンコーダに対応するサーボドライバに適切に振り分けて送信することができる。

【0011】

また、上記中継器は、さらに、上記サーボドライバのうちの第１サーボドライバによって駆動される第１モータの出力軸のみを駆動させて駆動対象を変位させる第１所定動作が行われたときに上記複数のエンコーダのうちのいずれかから検出信号を受信した場合、該検出信号を送信したセンサを、上記第１サーボドライバに紐付けられる第１対応センサと認識する第１処理部と、上記サーボドライバのうちの第２サーボドライバによって駆動される第２モータの出力軸のみを駆動させて上記第２モータによって駆動される第２駆動対象を変位させる第２所定動作が行われたときに上記複数のエンコーダのうちのいずれかから検出信号を受信した場合、該検出信号を送信したセンサを、上記第２サーボドライバに紐付けられる第２対応センサと認識する第２処理部と、を備えてもよい。

【0012】

第１所定動作では、上記第１モータのみが駆動され、サーボシステムに他の駆動軸がある場合は、他のモータは駆動されない。そのため、その第１所定動作が行われている期間において、センサにより何らかの検出信号が得られることは、当該センサは上記第１モータに関連するセンサであること、すなわち上記第１モータを駆動制御するサーボドライバに対応するセンサであることを意味する。なお、上記第１所定動作は、上記駆動対象が、一方の端部から移動開始し他方の端部に到達するまでの、該駆動対象の駆動可能な全範囲における移動動作であってもよいし、その他の形態の動作であってもよい。なお、第２所定動作では、上記第２モータのみが駆動され、サーボシステムに他の駆動軸がある場合は、他のモータは駆動されない。

【0013】

そこで、第１処理部は、第１所定動作が行われている期間において、センサから検出信号を受信した場合は、そのセンサを上記第１サーボドライバに対応するセンサ（対応センサ）として認識する。また、第２処理部は、第２所定動作が行われている期間において、センサから検出信号を受信した場合は、そのセンサを上記第２サーボドライバに対応するセンサ（対応センサ）として認識する。

【0014】

このように第１処理部と第２処理部によって、上記中継器は、第１サーボドライバによって受信されるように配置されるセンサ及び第２サーボドライバによって受信されるように配置されるセンサのそれぞれを好適に認識することができる。

【0015】

上述までの中継器は、第１処理部によって第１対応センサと認識されたセンサのセンサ種類を、第１対応センサと認識したときの駆動対象の駆動範囲における位置情報に基づいて判定し、第２処理部によって第２対応センサとして認識されたセンサのセンサ種類を、第２対応センサと認識したときの第２駆動対象の駆動範囲における位置情報に基づいて判定する判定部をさらに備えてもよい。対応センサの認識処理において、そのセンサ種類を判定することで、ユーザの利便性をさらに向上することができる。

【0016】

ここで、本発明をサーボシステムの側面から捉えることもできる。すなわち、サーボシステムは、サーボドライバにより駆動されるモータの動作を示すフィードバック信号と上記モータにより駆動される駆動対象の変位に関連するパラメータを検出するセンサから出力された検出信号とを第１の信号線を介して出力するエンコーダと、上記サーボドライバと上記エンコーダとの通信を中継する中継器と、を含む。そして、本サーボシステムにおける中継器は、上記第１の信号線が接続され、上記エンコーダからのフィードバック信号及び検出信号を含む入力信号の入力を受け付ける受付部と、第２の信号線が接続され、前記フィードバック信号及び前記検出信号を前記入力信号から分離し、分離した前記検出信号を前記第２の信号線を介して前記サーボドライバに出力する分離部と、第３の信号線が接続され、上記分離部によって入力信号から分離されたフィードバック信号を第３の信号線を介してサーボドライバに出力する通信部と、を備える。このような構成を採用することで、サーボシステムは、フィードバック信号と検出信号とを夫々異なるケーブルから受信するように設計されたサーボドライバに対して、フィードバック信号と検出信号とを１本のケーブルで出力するエンコーダの採用を可能とすることができる。

【発明の効果】

【0017】

フィードバック信号と検出信号とを夫々異なるケーブルから受信するように設計されたサーボドライバに対して、フィードバック信号と検出信号とを１本のケーブルで出力するエンコーダを採用することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施形態に係るサーボシステムの概略構成を示す第１の図である。

【図2】モータの概略構成を示す第１の図である。

【図3】中継器の機能的な構成を示す図である。

【図4】本発明の実施形態に係るサーボシステムの概略構成を示す第２の図である。

【図5】中継器の分離部が有する機能的な構成を示す図である。

【図6】センサ認識処理を実行する際に中継器において実行される処理の流れを示すフローチャートである。

【図7】図６に示すフローチャートのセンサ認識処理が行われた際の、ＰＬＣ、中継器、サーボドライバ間で行われる具体的な処理の流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。本開示では、サーボシステムの一つの例示的形態として、産業用システムを示す。しかしながら、本発明に係るサーボシステムの用途は特に限定されるものではない。

【0020】

＜第１の実施形態＞
図１は、サーボシステム１００の構成例を概略的に示すブロック図である。図１を参照して、サーボシステム１００は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）１と、サー
ボドライバ２と、中継器１５０とを含む。サーボドライバ２はサーボモータ３を駆動制御するように配置される。サーボモータ３の出力軸３２は、カップリング５１によって、ねじ軸５２と繋がれている。ねじ軸５２には精密ステージ５３が配置され、サーボモータ（以下、「モータ」という）３の駆動により精密ステージ５３が変位するように構成されている。精密ステージ５３には、ワーク８が載せられている。このように図に示すサーボシステム１００においては、モータ３による駆動軸の１本の駆動軸が設けられているが、駆動軸は２本以上設けられていてもよい。

【0021】

そして、モータ３による駆動軸においては、リニアスケール５４と、原点センサ６１と、限界センサ６２、６３と、フルクローズドセンサ６４とが配置されている。これらのセンサは、検出対象である精密ステージ５３の変位に関連するパラメータを検出する。

【0022】

原点センサ６１は、精密ステージ５３の原点位置を検出し、精密ステージ５３が原点位置に到達したときにＯＮ信号を出力し、それ以外の位置にあるときはＯＦＦ信号を出力する。限界センサ６２、６３は、モータ３による駆動軸における精密ステージ５３の可動範囲の端部位置を検出し、精密ステージ５３が端部位置に到達したときにＯＮ信号を出力し、それ以外の位置にあるときはＯＦＦ信号を出力する。例えば、限界センサ６２等がＯＮした場合、モータ３が停止することで精密ステージ５３が停止するように構成される。このような原点センサ６１、限界センサ６２、６３には、光電センサ、近接センサ、ファイバセンサ等を用いることができる。また、別法として、原点センサや限界センサには、画像センサを用いてもよい。この場合、各センサによる検出信号は、画像信号となる。

【0023】

また、リニアスケール５４は、ねじ軸５２の軸方向に沿って設置される。リニアスケール５４は、例えば反射型光電式のガラススケールであって、等ピッチのスリットが設けられている。そして、フルクローズドセンサ６４は、精密ステージ５３に設置されて、精密ステージ５３と一体的に移動する。フルクローズドセンサ６４は、発光部及び受光部（いずれも図示せず）を有する。発光部から出射された光は、対応するリニアスケール５４のスリットで反射されて、受光部上に干渉縞を生成する。精密ステージ５３が移動すると干渉縞も移動するため、受光部からの出力信号の強度は、精密ステージ５３の移動に応じて変化する。したがって、受光部からの出力信号の強度変化を監視することにより、精密ステージ５３の移動量を求めることができる。すなわち、フルクローズドセンサ６４は、精密ステージ５３の移動量を算出するための検出信号を出力し、その検出信号は、サーボドライバ２おけるフルクローズド制御に供される。

【0024】

ここで、ＰＬＣ１は、サーボドライバ２に指令信号を出力する。ＰＬＣ１は、予め準備されたプログラムに従う処理を実行することによって、たとえばサーボドライバ２の監視装置として機能する。

【0025】

そして、サーボドライバ２は、ＰＬＣ１から指令信号を受ける。さらにサーボドライバ２は、モータ３らフィードバック信号を受けるとともに、対応する原点センサ６１、限界センサ６２、６３あるいはフルクローズドセンサ６４から出力される検出信号を受ける。サーボドライバ２においては、それぞれ、位置制御器、速度制御器、電流制御器等を利用
したフィードバック制御を行うサーボ系が形成されており、これらの信号を利用して、モータ３をサーボ制御し駆動する。

【0026】

また、モータ３は、モータ本体３０とエンコーダ３１とを含む。モータ３は、例えばＡＣサーボモータである。モータ３は、サーボドライバ２からの駆動電流を、動力線４０を介して給電される。エンコーダ３１は、モータ本体３０の動作を検出する。エンコーダ３１は、検出された動作を示すフィードバック信号を、エンコーダケーブル４１を介して中継器１５０に出力する。

【0027】

中継器１５０は、エンコーダケーブル４１を介して入力された入力信号から、モータ本体３０のフィードバック信号、原点センサ６１、限界センサ６２、６３及びフルクローズドセンサ６４の検出信号を分離し、分離した信号の夫々をケーブル８１、８２、８３、８４、８５に出力する。

【0028】

続いて、各センサの配線について説明する。上記の通り、原点センサ６１、限界センサ６２、６３及びフルクローズドセンサ６４は、モータ３に関連する駆動軸に割り当てられる。そして、図１に示された形態においては、各センサからのセンサケーブルは、割り当てられている駆動軸のモータのエンコーダ３１に接続される。

【0029】

次に、上記の通り、各センサがケーブルで接続されるエンコーダ３１の機能的な構成について、図２に基づいて説明する。エンコーダ３１は、信号生成部３１１と、入力部３１２と、Ａ／Ｄ（アナログ－デジタル）変換部３１３と、通信部３１４と、電源供給部３１５と、表示部３１６とを含む。

【0030】

信号生成部３１１は、サーボドライバ２により駆動されるモータ３のモータ本体３０の動作を検出して、検出された動作を示すフィードバック信号を生成する。フィードバック信号は通信部３１４に出力される。フィードバック信号には、例えばモータ本体３０の回転軸の回転位置（角度）についての情報、当該回転軸の回転速度についての情報、当該回転軸の回転方向についての情報などが含まれる。信号生成部３１１の構成には、例えば公知のインクリメンタル型またはアブソリュート型の構成を適用することができる。

【0031】

入力部３１２は、各センサからの検出信号が入力される。本実施形態のエンコーダ３１においては、原点センサ６１のケーブル７１、限界センサ６２のケーブル７２、限界センサ６３のケーブル７３、フルクローズドセンサ６４のケーブル７４が入力部３１２に接続される。入力部３１２は、例えば配線を接続するための端子台またはコネクタである。入力部３１２は、各ケーブルを介して、各センサからの検出信号を受けるための入力インターフェイスとして機能する。入力された検出信号は、入力部３１２からＡ／Ｄ変換部３１３に出力される。Ａ／Ｄ変換部３１３は、入力部３１２からの検出信号をＡ／Ｄ変換して、その変換されたデジタル信号を通信部３１４に出力する。

【0032】

通信部３１４は、サーボドライバ２と通信するためのインターフェイスである。本実施の形態において、通信部３１４は、エンコーダケーブル４１を介して、フィードバック信号及び各センサからの検出信号を送る。ここで、サーボドライバ２は、１本のエンコーダケーブル４１でフィードバック信号と検出信号とを受信するようには設計されていない。そこで、本実施の形態では、エンコーダ３１とサーボドライバ２との間の信号の送受信を中継する中継器１５０が設けられる。そして、エンコーダ３１と中継器１５０とは、エンコーダケーブル４１によって接続される。そして、通信部３１４は、フィードバック信号および各センサからの検出信号を中継器１５０を介してサーボドライバ２に送る。この実施の形態では、通信部３１４からのフィードバック信号及び検出信号の送信には、シリアル通信が適用される。これにより、ケーブルに含まれる信号線の本数を少なくすることが
できる。エンコーダケーブル４１によるシリアル通信には、例えばＲＳ－２３２Ｃ（Recommended Standards 232）、ＲＳ－４２２、あるいはＲＳ－４８５などの公知の通信規
格を採用することができる。さらに、中継器１５０及びエンコーダケーブル４１を介して、エンコーダ３１はサーボドライバ２から電力が給電される。

【0033】

電源供給部３１５は、中継器１５０及びエンコーダケーブル４１を介してサーボドライバ２から得た電力の一部を、ケーブルで接続された各センサに供給する機能部である。当該電力の一部は、通信部３１４から電源供給部３１５に渡される。なお、図２においては、入力部３１２に接続される各ケーブルと電源供給部３１５に接続される各ケーブルを別々に記載しているが、実際には同一のケーブルを介して、各センサからの検出信号の授受と電力の供給が行われる。

【0034】

表示部３１６は、各センサからの検出信号が入力部３１２に入力されたときに、その入力に応じて点灯するＬＥＤである。すなわち、エンコーダ３１には接続される各センサのケーブルの数に応じてＬＥＤが配置されており、検出信号の入力があった場合にはその検出信号を送ってきたセンサに対応するＬＥＤが点灯する。なお、表示部３１６は、ＬＥＤではなく液晶等のディスプレイでもよく、その場合、検出信号の入力があったセンサがそのディスプレイに表示されてもよい。

【0035】

サーボドライバ２とエンコーダ３１との信号のやりとりを中継する中継器１５０の機能的な構成について、図３に基づいて説明する。中継器１５０は、入力部１５１と、分離部１５２と、通信部１５３と、電源供給部１５４とを含む。

【0036】

入力部１５１は、フィードバック信号及び各センサからの検出信号を含む信号がエンコーダケーブル４１を介して入力される。入力部１５１は、例えばエンコーダケーブル４１を接続するための端子台またはコネクタである。入力部１５１は、エンコーダケーブル４１を介して、フィードバック信号及び各センサからの検出信号を含む信号を受けるための入力インターフェイスとして機能する。入力部１５１に入力された信号は、入力部１５１から分離部１５２に出力される。

【0037】

分離部１５２は、入力部１５１から入力された信号からフィードバック信号及び各センサからの検出信号を分離する。分離部１５２は、例えばケーブル８１、８２、８３、８４の夫々を接続するための端子台またはコネクタを含む。分離したフィードバック信号は、分離部１５２から通信部１５３に入力され、通信部１５３からケーブル８５に出力される。また、分離した各センサの検出信号は、夫々異なるケーブル８１、８２、８３、８４に出力される。例えば、原点センサ６１の検出信号はケーブル８１に、限界センサ６２からの検出信号はケーブル８２に、限界センサ６３からの検出信号はケーブル８３に、フルクローズドセンサ６４からの検出信号はケーブル８４に、夫々出力される。各センサの検出信号の夫々をいずれのケーブルに出力するかは、例えば、ＰＬＣ１によって指定される。分離部１５２は、例えば、演算装置、記憶装置等を含み、上記分離部１５２の処理は、分離部１５２において所定のプログラム等が実行されることで実現される。

【0038】

電源供給部１５４は、サーボドライバ２から得た電力の一部を、エンコーダケーブル４１で接続されたエンコーダ３１に供給する機能部である。当該電力の一部は、通信部１５３から電源供給部１５４に渡される。なお、図３においては、入力部１５１に接続されるエンコーダケーブル４１と電源供給部１５４に接続されるエンコーダケーブル４１を別々に記載しているが、実際には同一のケーブルを介して、各センサからの検出信号の授受と電力の供給が行われる。

【0039】

本実施形態では、フィードバック信号及び各センサからの検出信号を含む信号がエンコ
ーダ３１からエンコーダケーブル４１を介して中継器１５０に入力される。中継器１５０は、入力された信号からフィードバック信号と各センサの検出信号とを分離し、分離した信号の夫々をケーブル８１、８２、８３、８４、８５に出力する。そのため、本実施形態によれば、フィードバック信号と検出信号の夫々を異なるケーブルを介して受信するように設計されたサーボドライバ２に対して、各センサから入力された検出信号とフィードバック信号とを一本のエンコーダケーブル４１で出力するエンコーダ３１を適用することができる。

【0040】

＜第２の実施形態＞
第１の実施形態では、中継器１５０には、ひとつのサーボドライバ２が接続される。第２の実施形態では、中継器１５０に２つのサーボドライバが接続される例について説明する。第１の実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。

【0041】

図４は、第２の実施形態に係るサーボシステムの概略構成を示す図である。サーボシステム１００ａでは、サーボドライバ２に加えてサーボドライバ２ａを含む。サーボドライバ２とサーボドライバ２ａとは通信ケーブル４２により接続される。サーボドライバ２ａはモータ３ａを駆動制御するように配置される。モータ３ａの出力軸３２ａは、カップリング５１ａによって、ねじ軸５２ａと繋がれている。ねじ軸５２ａには精密ステージ５３ａが配置され、モータ３ａの駆動により精密ステージ５３ａが変位するように構成されている。精密ステージ５３ａには、ワーク８ａが載せられている。

【0042】

モータ３ａは、サーボドライバ２ａからの駆動電流を、動力線４０aを介して給電され
る。エンコーダ３１ａは、モータ本体３０ａの動作を検出し、検出した動作を示すフィードバック信号を、エンコーダケーブル４１ａを介してサーボドライバ２ａに出力する。

【0043】

そして、モータ３aによる駆動軸においては、リニアスケール５４aと、原点センサ６１aと、限界センサ６２ａ、６３aと、フルクローズドセンサ６４ａとが配置されている。エンコーダ３１ａは、エンコーダ３１とは異なり、センサの入力を受け付けるようには設計されていない。そこで、第２の実施形態では、原点センサ６１aと、限界センサ６２ａ、
６３aと、フルクローズドセンサ６４ａからの検出信号は、ケーブル７１ａ、７２ａ、７
３ａ、７４ａを介して、エンコーダ３１に入力されるようになっている。エンコーダ３１は、原点センサ６１aと、限界センサ６２ａ、６３aと、フルクローズドセンサ６４ａからの検出信号もエンコーダケーブル４１を介して中継器１５０に出力する。

【0044】

第２の実施形態においても、中継器１５０は、エンコーダケーブル４１を介して受信した信号から、フィードバック信号と各センサの検出信号とを分離する。上記の通り、第２の実施形態においては、サーボドライバ２に入力されるべき検出信号及びサーボドライバ２ａに入力されるべき検出信号の双方が中継器１５０に入力される。

【0045】

各センサからの検出信号は、それを必要とする特定のサーボドライバまで到達する必要がある。原点センサ６１、限界センサ６２、６３、フルクローズドセンサ６４の検出信号は、サーボドライバ２に入力されるべき検出信号である。また、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ、フルクローズドセンサ６４ａの検出信号は、サーボドライバ２ａに入力されるべき検出信号である。そのため、中継器１５０は、原点センサ６１、限界センサ６２、６３、フルクローズドセンサ６４の検出信号をサーボドライバ２に転送し、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ、フルクローズドセンサ６４ａの検出信号をサーボドライバ２ａに転送する。

【0046】

このように検出信号を各サーボドライバに振り分けるためには、検出信号を送信するセンサと、その検出信号の宛先に対応するサーボドライバとの紐付け、すなわち中継器１５
０による対応センサ（当該サーボドライバに対応するセンサ）の認識処理が必要となる。以下に、当該認識処理について説明する。

【0047】

ここで、図５に中継器１５０の分離部１５２が有する機能部の概略構成を示す。分離部１５２が所定のプログラム等を実行することで、図５に示す各機能部が実現される。分離部１５２は、記憶部１５２１、第１処理部１５２２、第２処理部１５２３、判定部１５２４、振り分け部１５２５を有するが、これら以外の機能部を有していても構わない。

【0048】

振り分け部１５２５は、入力部１５１から渡された信号からフィードバック信号と検出信号とを分離する。そして、分離したフィードバック信号を通信部１５３へ出力する。また、振り分け部１５２５は、後述の第１所定動作が行われているときには分離した検出信号を第１処理部１５２２に出力し、後述の第２所定動作が行われているときには分離した検出信号を第２処理部１５２３に出力する。

【0049】

記憶部１５２１は、分離部１５２による対応センサの認識処理に必要な情報等のように、分離部１５２で行われる処理に関連する情報を記憶する機能部である。なお、後述する対応センサの認識処理によって決定される、サーボドライバと各センサとの紐付け関係を表す情報（対応関係情報）が、当該記憶部１５２１に記憶される。そして、記憶された当該対応関係情報に基づいて、分離部１５２は、各センサから送られてくる検出信号の宛先を振り分け、宛先のサーボドライバに対して特定のセンサからの検出信号を送り出す処理を行う。

【0050】

第１処理部１５２２は、モータ３の出力軸３２を駆動させて精密ステージ５３を変位させる第１所定動作が行われたときに特定のセンサから検出信号を受信した場合、その特定のセンサをサーボドライバ２に紐付けられる対応センサと認識する機能部である。第１所定動作は、例えば、エンコーダケーブル４１を介した中継器１５０からの指示に応じて、エンコーダ３１がモータ３を制御することで実現される。当該特定のセンサは、まだ分離部１５２によって認識処理はされていないがその検出信号が中継器１５０によって受信されるように配置されており、最終的にサーボドライバ２に割り当てられるべきセンサであって、本実施形態の場合、原点センサ６１、限界センサ６２、６３、フルクローズドセンサ６４が該当する。なお、第１所定動作は、精密ステージ５３が、一方の端部から移動開始し他方の端部に到達するまでの、その駆動可能な全範囲における移動動作である。

【0051】

第２処理部１５２３は、モータ３ａの出力軸３２ａを駆動させて精密ステージ５３ａを変位させる第２所定動作が行われたときに特定のセンサから検出信号を受信した場合、その特定のセンサをサーボドライバ２ａに紐付けられる対応センサと認識する機能部である。第２所定動作は、例えば、エンコーダケーブル４１ａを介した中継器１５０からの指示に応じて、エンコーダ３１ａがモータ３ａを制御することで実現される。当該特定のセンサは、まだ分離部１５２によって認識処理はされていないがその検出信号が中継器１５０によって受信されるように配置されており、最終的にサーボドライバ２ａに割り当てられるべきセンサであって、本実施形態の場合、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ、フルクローズドセンサ６４ａが該当する。なお、第２所定動作は、精密ステージ５３ａが、一方の端部から移動開始し他方の端部に到達するまでの、その駆動可能な全範囲における移動動作である。

【0052】

判定部１５２４は、第１処理部１５２２により認識されたセンサや第２処理部１５２３により認識されたセンサのセンサ種類を、各センサが認識されたときの精密ステージ５３、５３ａの位置情報に基づいて判定する機能部である。各原点センサ６１、６１ａ、限界センサ６２、６３、６２ａ、６３ａ、フルクローズドセンサ６４、６４ａは、精密ステージ５３、５３ａの変位に従ってその検出信号が変動することから、その検出信号は精密ス
テージ５３、５３ａの位置と強い相関がある。その相関性を利用して、判定部１５２４によるセンサ種類の判定処理が行われる。第１処理部１５２２、第２処理部１５２３による認識処理の結果や判定部１５２４によるセンサ種類が判定結果は、記憶部１５２１に記憶される。

【0053】

そして、振り分け部１５２５は、記憶部１５２１に第１処理部１５２２、第２処理部１５２３による認識処理の結果や判定部１５２４によるセンサ種類の判定結果が記憶されている場合には、記憶部１５２１に記憶された情報にしたがって、各センサの検出信号の夫々を、ケーブル８１、８２、８３、８４、９１、９２、９３、９４を介して、紐付けられたサーボドライバに出力する。

【0054】

次に、これらの機能部が協働することで実現されるセンサ認識処理について、図６及び図７に基づいて説明する。図６は、中継器１５０で行われる処理の流れを概略的に示したフローチャートであり、図７は、センサ認識処理が実行される際の、ＰＬＣ１、中継器１５０間における処理の流れを概略的に示したフローチャートである。

【0055】

先ず、図６に基づいて、中継器１５０で行われる処理の流れについて説明する。図６に示す処理は、所定の時間間隔で繰返し実行される。先ず、Ｓ１０１では、ＰＬＣ１からセンサ認識処理を実行する旨の指示が到達したか否かが判定される。Ｓ１０１で肯定判定されると処理はＳ１０２へ進み、否定判定されると処理は一旦終了する。

【0056】

Ｓ１０２では、ＰＬＣ１から届いたセンサ認識処理の指示に従って、中継器１５０は、サーボドライバ２に第１所定動作の指示を行う。ここで、第１所定動作や第２所定動作によるスキャン動作は、センサ認識処理が行われる各駆動軸において、対応するモータのみが駆動したときにその駆動動作に呼応する形で検出信号が出されるセンサを抽出するために、その駆動軸の一方の端部から他方の端部まで、すなわち可動範囲の全てにおいて精密ステージを移動させるモータの動作である。より具体的には、ねじ軸５２に沿った可動範囲の一方の端部に設けられているストッパ（図示せず）に精密ステージ５３が接触した状態から、他方の端部に設けられているストッパ（図示せず）に精密ステージ５３が接触するまで、モータ３を低速且つ一定速度で駆動させる。なお、この駆動の際、モータ３はトルク制御が行われることで、精密ステージ５３がストッパに接触した際の衝撃を可及的に軽減させている。

【0057】

Ｓ１０３では、第１所定動作によるスキャン動作、すなわちモータ３によるスキャン動作が開始される。この場合、ねじ軸５２の一方の端部に限界センサ６２が配置され、他方の端部に限界センサ６３が配置されているとすると、当該スキャン動作により、限界センサ６２、原点センサ６１、限界センサ６３の順序で検出信号が各センサから接続先のエンコーダ３１を介して中継器１５０に送られることになる。さらに、フルクローズドセンサ６４からの検出信号は、スキャン動作が行われている間は終始、中継器１５０に送信されることになる。また、エンコーダ３１には表示部３１６が設けられており、各センサからの検出信号が各エンコーダに入力されると、検出信号の入力タイミングにおいて表示部３１６のダイオードが点灯する。これにより、ユーザは、センサの検出信号の入力を視認できる。なお、各センサからの検出信号には、信号を生成したセンサを識別するための識別情報が含まれており、エンコーダ３１から検出信号を受け取った中継器１５０は、どのセンサからの検出信号であるかは把握できる。Ｓ１０３の処理が終了すると、Ｓ１０４へ進む。

【0058】

Ｓ１０４では、Ｓ１０３で開始されたスキャン動作に従って、第１処理部１５２２によるセンサ認識処理が行われる。具体的には、第１所定動作によるスキャン動作に伴って原点センサ６１、限界センサ６２、６３及びフルクローズドセンサ６４の検出信号が中継器
１５０に到達することで、第１処理部１５２２によりこれらのセンサがサーボドライバ２に対応するセンサであることを認識する。

【0059】

さらに、Ｓ１０４では、判定部１５２４によるセンサ種類の判定が行われる。具体的には、限界センサ６２、６３、原点センサ６１、フルクローズドセンサ６４のうち、精密ステージ５３の位置が可動範囲の最も外側に位置する際に検出信号を出すのが限界センサ６２、６３であるから、その検出信号が出された際の精密ステージ５３の位置情報（最も外側に位置することを意味する位置情報）に基づいてセンサ種類を「限界センサ」と判定することができる。また、精密ステージ５３の可動範囲の途中で検出信号を出すセンサの種類を「原点センサ」と判定することができる。また、スキャン動作が行われている間、すなわち精密ステージ５３の位置にかかわらず常時検出信号が出されているセンサについては、その種類を「フルクローズドセンサ」と判定することができる。Ｓ１０４の処理が終了するとＳ１０５へ進む。

【0060】

Ｓ１０５では、第２所定動作によるスキャン動作、すなわちモータ３ａによるスキャン動作が開始される。モータ３ａによるスキャン動作の詳細は、Ｓ１０２と同様であるため、その説明を省略する。Ｓ１０６では、Ｓ１０３と同様に、各センサからの検出信号が中継器１５０に入力される。Ｓ１０７では、センサ認識処理及びセンサ種類の判定が行われる。センサ認識処理及びセンサ種類の判定処理の詳細は、Ｓ１０４における処理と同様であるため、その説明を省略する。Ｓ１０６及びＳ１０７の処理により、第２所定動作によるスキャン動作に伴って原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ及びフルクローズドセンサ６４ａの検出信号が中継器１５０に到達することで、第２処理部１５２３によりこれらのセンサがサーボドライバ２ａに対応するセンサであることを認識する。

【0061】

Ｓ１０８では、Ｓ１０４及びＳ１０７によるセンサ認識処理の結果が記憶部１５２１に記憶される。以上の処理により、サーボドライバ２に対応するセンサとして、原点センサ６１、限界センサ６２、６３、フルクローズドセンサ６４が認識されたたことになる。また、サーボドライバ２ａに対応するセンサとして、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ、フルクローズドセンサ６４ａが認識されたことになる。

【0062】

次に、図６に示す処理が中継器１５０で実行されたときの、ＰＬＣ１、中継器１５０、サーボドライバ２、２ａ間のやり取りについて、図７に基づいて説明する。先ず、Ｓ１１でＰＬＣ１から中継器１５０及びサーボシステム１００ａに含まれるすべてのサーボドライバ２、２ａに対してセンサ認識処理の指示が出される。この指示に従って、図６に示した処理が中継器１５０及び各サーボドライバで実行されることになる。そして、Ｓ２１の処理の処理によって、先ずＳ３１でサーボドライバ２においてモータ３が駆動されてスキャン動作が開始される（図６のＳ１０２の処理を参照）。このとき、モータ３ａは停止している（Ｓ４１の処理を参照）。そして、そのスキャン動作に伴って、原点センサ６１、限界センサ６２、６３及びフルクローズドセンサ６４の検出信号がエンコーダ３１から中継器１５０に送信される（Ｓ２２）。

【0063】

第１所定動作が終了すると、サーボドライバ２は、Ｓ３２でモータ３を停止し、Ｓ３３で第１所定動作の終了を中継器１５０に通知する。第１所定動作の終了を通知された中継器１５０は、Ｓ２３で、それまでに検出信号を受信した原点センサ６１、限界センサ６２、６３、フルクローズドセンサ６４をサーボドライバ２に対応するセンサとして認識し、さらに、Ｓ２４で、各センサのセンサ種類を判定する（図６のＳ１０４の処理を参照）。

【0064】

センサ種類の判定が終了すると、中継器１５０は、Ｓ２５で、第２所定動作を行うようサーボドライバ２ａに通知する。これにより、サーボドライバ２ａは、自己の駆動軸においてスキャン動作を行う順番が到来したことを知る。

【0065】

次に、Ｓ４２では、サーボドライバ２ａにおいてモータ３ａが駆動されてスキャン動作が開始される（図６のＳ１０５の処理を参照）。そして、そのスキャン動作に伴って、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ及びフルクローズドセンサ６４ａの検出信号が各センサからエンコーダ３１に送信される。そして、中継器１５０は、各センサからの検出信号をエンコーダ３１から受信する（Ｓ２６）。

【0066】

これらの検出信号を受信した中継器１５０は、Ｓ２７で、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ及びフルクローズドセンサ６４ａをサーボドライバ２ａに対応するセンサとして認識し、さらに、Ｓ２８で、各センサのセンサ種類を判定する（図６のＳ１０７の処理を参照）。センサ認識の結果及びセンサ種類の判定結果は、中継器１５０の記憶部１５２１に格納される（Ｓ２９）。その後、中継器１５０は、Ｓ２Ａで、全ての駆動軸でのスキャン動作が終了した旨をＰＬＣ１に通知する。これにより、ＰＬＣ１は、Ｓ１２で、センサ認識処理が完了したことを知る。

【0067】

上述までのサーボシステム１００ａにおけるセンサ認識処理が行われることで、中継器１５０は、サーボドライバ２、２ａのそれぞれに対応するセンサを認識することができ、この結果、各センサの検出信号が、割り当てられたサーボドライバに好適に届けられることになる。

【0068】

なお、図４では、エンコーダ３１ａのフィードバック信号はサーボドライバ２ａに入力され、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ及びフルクローズドセンサ６４ａの検出信号はエンコーダ３１を介して中継器１５０に入力されたが、エンコーダ３１ａのフィードバック信号及び、原点センサ６１ａ、限界センサ６２ａ、６３ａ及びフルクローズドセンサ６４ａの検出信号を含む入力信号も中継器１５０に入力されてもよい。そして、中継器１５０の分離部１５２は、入力部１５１で入力を受け付けた入力信号を、入力部１５１から受け取った入力信号を対応するエンコーダ毎（エンコーダ３１、３１ａ）にフィードバック信号と検出信号とに分離してもよい。そして、分離部１５２は、分離した検出信号の夫々をサーボドライバ２、２ａに出力し、通信部１５３は分離部１５２によって分離されたフィードバック信号をサーボドライバ２、２ａに出力してもよい。いずれの信号をいずれのサーボドライバに出力するかは、例えば、ＰＬＣ１から受信した信号とサーボドライバとを対応付ける情報に基づいて決定してもよいし、上述の第１所定動作及び第２所定動作を用いて決定してもよい。

【0069】

＜付記１＞
サーボドライバ（２）により駆動されるモータ（３）の動作を示すフィードバック信号と前記モータ（３）により駆動される駆動対象（５３）の変位に関連するパラメータを検出するセンサ（６１、６２、６３、６４）から出力された検出信号とを第１の信号線（４１）を介して出力するエンコーダ（３１）と、前記サーボドライバ（２）との通信を中継する中継器（１５０）であって、
前記第１の信号線（４１）が接続され、前記エンコーダ（３１）からの前記フィードバック信号及び前記検出信号を含む入力信号の入力を受け付ける入力部（１５１）と、
第２の信号線（８１、８２、８３、８４）が接続され、前記フィードバック信号及び前記検出信号を前記入力信号から分離し、分離した前記検出信号を前記第２の信号線を介して前記サーボドライバに出力する分離部（１５２）と、
第３の信号線（８５）が接続され、前記分離部（１５２）によって前記入力信号から分離された前記フィードバック信号を前記第３の信号線（８５）を介して前記サーボドライバ（２）に出力する通信部（１５３）と、を備える、
中継器。

【0070】

＜付記２＞
サーボドライバ（２）により駆動されるモータの動作を示すフィードバック信号と前記モータ（３）により駆動される駆動対象（５３）の変位に関連するパラメータを検出するセンサ（６１、６２、６３、６４）から出力された検出信号とを第１の信号線（４１）を介して出力するエンコーダ（３１）と、
前記サーボドライバ（２）と前記エンコーダ（３１）との通信を中継する中継器（１５０）と、
を含むサーボシステム（１００）であって、
前記中継器（１５０）は、
前記第１の信号線（４１）が接続され、前記エンコーダ（２）からの前記フィードバック信号及び前記検出信号を含む入力信号の入力を受け付ける入力部（１５１）と、
第２の信号線（８１、８２、８３、８４）が接続され、前記フィードバック信号及び前記検出信号を前記入力信号から分離し、分離した前記検出信号を前記第２の信号線を介して前記サーボドライバに出力する分離部（１５２）と、
第３の信号線（８５）が接続され、前記分離部によって前記入力信号から分離された前記フィードバック信号を前記第３の信号線（８５）を介して前記サーボドライバ（２）に出力する通信部（１５３）と、を備える、
サーボシステム。

【符号の説明】

【0071】

１ ＰＬＣ
２、２ａ サーボドライバ
３、３ａ モータ
３０、３０ａ モータ本体
３１、３１ａ エンコーダ
３２、３２ａ 出力軸
５３、５３ａ 精密ステージ
５４、５４ａ リニアスケール
６１、６１ａ 原点センサ
６２、６２ａ、６３、６３ａ 限界センサ
６４、６４ａ フルクローズドセンサ
１００、１００ａ サーボシステム
１５０ 中継器
１５１ 入力部
１５２ 分離部
１５３ 通信部
１５４ 電源供給部
１５２１ 記憶部
１５２２ 第１処理部
１５２３ 第２処理部
１５２４ 判定部
１５２５ 振り分け部
３１１ 信号生成部
３１２ 入力部
３１４ 通信部
３１５ 電源供給部
３１６ 表示部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】