特許 7582394 プローブピン

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-05

(45)【発行日】2024-11-13

(54)【発明の名称】プローブピン

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20241106BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20241106BHJP

   H01R 13/24 20060101ALI20241106BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R31/26 J

H01R13/24

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2023127945

(22)【出願日】2023-08-04

【審査請求日】2023-11-06

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000002945

【氏名又は名称】オムロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100145403

【弁理士】

【氏名又は名称】山尾 憲人

(74)【代理人】

【識別番号】100189555

【弁理士】

【氏名又は名称】徳山 英浩

(74)【代理人】

【識別番号】100172236

【弁理士】

【氏名又は名称】岩木 宣憲

(72)【発明者】

【氏名】酒井 貴浩

(72)【発明者】

【氏名】笹野 直哉

【審査官】青木 洋平

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２０－１８０８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０７６６６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２３６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２３４５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ １／０６－１／０７３

Ｇ０１Ｒ ３１／２６

Ｈ０１Ｒ １３／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

弾性部と、
前記弾性部の第１方向の両端のうちの一方の端部である第１端部に接続された第１接続部と、
前記弾性部の前記第１方向の両端のうちの他方の端部である第２端部に接続された第２接続部と、
を備え、
前記弾性部は、
前記第１端部から前記第１方向と交差する第２方向に延びる第１部分と、
前記第２端部から前記第２方向における前記第１部分と同じ側に延びる第２部分と、
前記第１部分の前記第２方向の両端のうちの前記第１端部から離れた端部と、前記第２部分の前記第２方向の両端のうちの前記第２端部から離れた端部とを接続する、湾曲形状の湾曲部と
を有し、
前記第１接続部の前記第１端部が接続されている端部と、前記第２接続部の前記第２端部が接続されている端部との間の前記第１方向に沿った長さは、前記弾性部の湾曲の内径より長く、
前記第１接続部は、前記第１方向における前記第２接続部から遠い方の端部に設けられた第１接点を備え、
前記第１接点は、接触対象物に対して接触可能な傾斜面を有し、
前記第２接続部は、前記第１方向における前記弾性部から遠い方の端部から前記第１方向において前記第１接続部から離れる方向へ突出した突起状の第２接点を備え、
前記第１方向に沿って見て、前記第２接点全体は、前記第１接続部および前記湾曲部の間にあり、前記第１接続部から外れた位置にあり、且つ前記湾曲部から外れた位置にあるプローブピン。

【請求項2】

前記第２部分は、前記第２方向において前記第２端部へ近づくにしたがって前記第１方向において前記第１端部に近づくように延びている請求項１に記載のプローブピン。

【請求項3】

前記第２接続部のうちの前記第１方向における前記第１接続部側の縁部は、前記第２方向に沿って延びている、または、前記第２方向において前記弾性部から離れるにしたがって前記第１方向において前記第１接続部から離れるように延びている請求項１または２に記載のプローブピン。

【請求項4】

前記弾性部は、前記弾性部が延びる長さ方向に沿ってそれぞれ延びており、前記長さ方向と直交する前記弾性部の幅方向に沿って隙間を空けて並んで配置された複数の長板部を備え、
前記複数の長板部は、前記湾曲部の湾曲形状の外側に位置するほど、前記幅方向に長い請求項１または２に記載のプローブピン。

【請求項5】

前記第１接点は、前記第１方向へ突出しており且つ前記第２方向において前記傾斜面に対して隙間を空けて対向した突起を更に備える請求項１または２に記載のプローブピン。

【請求項6】

前記第１接点の前記傾斜面は、前記第２方向において前記弾性部の前記湾曲部とは反対側を向いている請求項１または２に記載のプローブピン。

【請求項7】

前記第１方向に沿って見て、前記第２接続部のうち前記第２接点を含む部分は、前記弾性部と重なっており、
前記第２接続部は、前記第２接点と前記弾性部との間に前記第２方向に切り欠かれた切欠きを有する請求項１または２に記載のプローブピン。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、プローブピンに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、電子モジュールの導通検査、特性測定などに用いられるプローブピンが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２２－１３５１０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

一般に、特許文献１のプローブピンを含むプローブピンは、弾性部を有している。しかし、弾性部の伸縮によるプローブピンのストロークが短いと、検査時に接触不良を起こす場合がある。

【0005】

本開示は、接触信頼性の高いプローブピンを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様のプローブピンは、
弾性部と、
前記弾性部の第１方向の両端のうちの一方の端部である第１端部に接続された第１接続部と、
前記弾性部の前記第１方向の両端のうちの他方の端部である第２端部に接続された第２接続部と
を備え、
前記弾性部は、
前記第１端部から前記第１方向と交差する第２方向に延びる第１部分と、
前記第２端部から前記第２方向における前記第１部分と同じ側に延びる第２部分と、
前記第１部分の前記第２方向の両端のうちの前記第１端部から離れた端部と、前記第２部分の前記第２方向の両端のうちの前記第２端部から離れた端部とを接続する、湾曲形状の湾曲部と
を有し、
前記第１接続部の前記第１端部が接続されている端部と、前記第２接続部の前記第２端部が接続されている端部との間の前記第１方向に沿った長さは、前記弾性部の湾曲の内径より長い。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、接触信頼性の高いプローブピンを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本開示の一実施状態の検査ソケットを示す斜視図。

【図2】図１の検査ソケットの分解斜視図。

【図3】プローブピンの斜視図。

【図4】プローブピン及び接触対象物の平面図。

【図5】図４のＡ－Ａ線に沿った断面図。

【図6】図４のＢ－Ｂ線に沿った断面図。

【図7】図５のプローブピンの第１の変形例を示す断面図。

【図8】図６のプローブピンの第１の変形例を示す断面図。

【図9】図５のプローブピンの第２の変形例を示す断面図。

【図10】図６のプローブピンの第２の変形例を示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本開示の一例が添付図面に従って説明される。以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、本開示の適用物、または、本開示の用途を制限することを意図するものではない。図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。また、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」、「前」、「後」を含む用語）が用いられる。しかし、特定の方向あるいは位置を示す用語の使用は、図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。

【0010】

本開示の一実施形態の検査ソケット１は、図１及び図２に示すように、ハウジング２、３、４、５、６と、ハウジング２、３、４、５、６の内部に収容された複数の板状のプローブピン７とを備える。

【0011】

図２に示すように、ハウジング２は、ハウジング２を上下方向（例えば、各図に示されるＺ方向）に貫通する貫通孔２Ａ、２Ｂを有する。上下方向及びＺ方向は、第１方向の一例である。本実施形態では、上下方向において、ハウジング２が位置する側が上方であり、ハウジング６が位置する側が下方である。

【0012】

ハウジング３は、基部３１と、基部３１から上方へ突出した突出部３２とを有する。ここで、「上方へ突出」とは、「第１方向に沿ってハウジング６からハウジング２へ向かう方向へ突出」の意味である。突出部３２は、下方へ凹んだ凹部３Ａを有する。ここで、「下方へ凹んだ」とは、「第１方向に沿ってハウジング２からハウジング６へ向かう方向へ凹んだ」の意味である。突出部３２は、凹部３１Ａを構成する底面３１Ｂに、突出部３２を上下方向に貫通する複数の貫通孔３Ｂを有する。複数の貫通孔３Ｂの各々は、複数のプローブピン７の各々に対応している。

【0013】

ハウジング４は、ハウジング４を上下方向に貫通する貫通孔４Ａ、４Ｂを有する。

【0014】

ハウジング５は、複数のプローブピン７を図２に示すような配列に保持する。

【0015】

ハウジング６は、上方へ突出したピン６１と、上面（言い換えるとハウジング６の外面のうちハウジング４を向く面）から下方へ凹んだ凹部６Ａとを有する。ハウジング６は、凹部６Ａを構成する底面に、ハウジング６を上下方向に貫通する複数の貫通孔６Ｂを有する。複数の貫通孔６Ｂの各々は、複数のプローブピン７の各々に対応している。

【0016】

プローブピン７を保持するハウジング５の下部は、ハウジング６の凹部６Ａに収容される。ハウジング５の下部は、ハウジング５のうち第１方向においてハウジング６に近い部分である。このとき、各プローブピン７の第２接点１２１、１２２、７５２、７６２（図３参照）は、貫通孔６Ｂを通じて検査ソケット１の外部に露出されている。

【0017】

ハウジング２、３、４は、ハウジング５が収容されたハウジング６の上方に組み付けられている。ハウジング２、３、４は、下方からハウジング４、３、２の順序でハウジング６に組付けられている。

【0018】

ハウジング６のピン６１がハウジング４の貫通孔４Ｂとハウジング２の貫通孔２Ｂを貫通している。これにより、ハウジング２、４は、ハウジング６に対して位置決めされている。

【0019】

ハウジング３の突出部３２が、ハウジング２の貫通孔２Ａを下方から貫通している。これにより、突出部３２が検査ソケット１の外部に露出され、ハウジング３はハウジング２に対して位置決めされている。

【0020】

各プローブピン７の第１接続部１１（図５及び図６参照）は、ハウジング４の貫通孔４Ａを下方から貫通している。各プローブピン７の第１接点１１１、７５１、７６１（図３参照）は、ハウジング３の貫通孔３Ｂを通じて検査ソケット１の外部に露出されている。

【0021】

検査ソケット１が検査装置（不図示）に接続され、接触対象物８（図４、図５、及び図６参照）が検査ソケット１に接続される。前記の接続状態において、接触対象物８と検査装置との間の導通が検査される。

【0022】

検査装置が備える基板上に検査ソケット１が載置される。これにより、貫通孔６Ｂを通じて検査ソケット１の外部に露出された各プローブピン７の第２接点１２１、１２２、７５２、７６２（図３参照）が、基板上に形成された導電性のパッドに対して電気的に接続される。

【0023】

図４、図５、及び図６に示す接触対象物８は、ハウジング３の凹部３Ａに嵌められる。図５及び図６に示すように、接触対象物８は、複数の端子８１を備える。接触対象物８がハウジング３の凹部３Ａに嵌められているとき、各端子８１は、貫通孔３Ｂを通じて検査ソケット１の外部に露出された各プローブピン７の第１接点１１１、７５１、７６１（図３参照）と電気的に接続される。

【0024】

図３及び図４に示すように、プローブピン７は、第１プローブピン７１と、第２プローブピン７２と、第３プローブピン７３と、第４プローブピン７４と、第５プローブピン７５と、第６プローブピン７６とを備える。第１プローブピン７１と、第２プローブピン７２と、第３プローブピン７３と、第４プローブピン７４と、第５プローブピン７５と、第６プローブピン７６との各々は、少なくとも１つ設けられている。本実施形態において、プローブピン７は、１３個の第１プローブピン７１と、１３個の第２プローブピン７２と、１３個の第３プローブピン７３と、１３個の第４プローブピン７４と、２個の第５プローブピン７５と、２個の第６プローブピン７６とを備える。

【0025】

本実施形態において、第１プローブピン７１、第２プローブピン７２、第３プローブピン７３、及び第４プローブピン７４は、信号端子であり、第５プローブピン７５及び第６プローブピン７６は電源端子またはグランド端子である。しかし、各プローブピンの種類は、これに限らない。

【0026】

各第１プローブピン７１、各第２プローブピン７２、各第３プローブピン７３、各第４プローブピン７４、各第５プローブピン７５、及び各第６プローブピン７６は、間隔を空けて配置されている。つまり、各第１プローブピン７１、各第２プローブピン７２、各第３プローブピン７３、各第４プローブピン７４、各第５プローブピン７５、及び各第６プローブピン７６は、互いに電気的に絶縁されている。

【0027】

第１プローブピン７１、第３プローブピン７３、及び第５プローブピン７５は、検査ソケット１の上下方向と交差（本実施形態では直交）する前後方向（例えば、各図に示されるＹ方向）に沿って間隔を空けて並んでいる。前後方向及びＹ方向は、プローブピン７の板厚方向であり、第３方向の一例である。第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３は、前後方向において交互に配置されている。

【0028】

２個の第５プローブピン７５は、前後方向において１３個の第１プローブピン７１と１３個の第３プローブピン７３とを挟んでいる。つまり、２個の第５プローブピン７５は、第１プローブピン７１、第３プローブピン７３、及び第５プローブピン７５のうちの最も前方及び最も後方に配置されている。

【0029】

第２プローブピン７２、第４プローブピン７４、及び第６プローブピン７６は、検査ソケット１の前後方向に沿って間隔を空けて並んでいる。第２プローブピン７２及び第４プローブピン７４は、前後方向において交互に配置されている。

【0030】

２個の第６プローブピン７６は、前後方向において１３個の第２プローブピン７２と１３個の第４プローブピン７４とを挟んでいる。つまり、２個の第６プローブピン７６は、第２プローブピン７２、第４プローブピン７４、及び第６プローブピン７６のうちの最も前方及び最も後方に配置されている。

【0031】

図５に示すように、各第１プローブピン７１及び各第２プローブピン７２は、上下方向及び前後方向の双方と交差（本実施形態では上下方向及び前後方向の双方と直交）する左右方向（例えば、各図に示されるＸ方向）に間隔を空けて対向配置されている。左右方向及びＸ方向は、第２方向の一例である。

【0032】

図６に示すように、各第３プローブピン７３及び各第４プローブピン７４は、左右方向に間隔を空けて対向配置されている。

【0033】

本実施形態において、第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４は、同構成（言い換えると同サイズ且つ同形状）である。第４プローブピン７４は、第１プローブピン７１が左右方向において逆向きに配置されたものである。

【0034】

本実施形態において、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３は、同構成（言い換えると同サイズ且つ同形状）である。第３プローブピン７３は、第２プローブピン７２が左右方向において逆向きに配置されたものである。

【0035】

以上より、本実施形態において、検査ソケット１は、それぞれ異なる構成の４種類のプローブピン７を備える代わりに、２種類のプローブピン７を備えている。２種類のプローブピン７の一方はプローブピン７１、７４であり、２種類のプローブピン７の他方はプローブピン７２、７３である。

【0036】

図３に示すように、各第５プローブピン７５及び各第６プローブピン７６は、左右方向に間隔を空けて対向配置されている。

【0037】

本実施形態において、第５プローブピン７５及び第６プローブピン７６は、同構成（言い換えると同サイズ且つ同形状）である。本実施形態において、第５プローブピン７５と第６プローブピン７６とは、左右方向において逆向きに配置されている。第５プローブピン７５及び第６プローブピン７６は、第５プローブピン７５及び第６プローブピン７６の間において上下方向に延びる仮想線Ｌ１に対して互いに線対称に配置されている。

【0038】

以下、各プローブピン７の構成が説明される。本実施形態において、各第１プローブピン７１、各第２プローブピン７２、各第３プローブピン７３、各第４プローブピン７４、各プローブピン７５、及び各プローブピン７６は、概ね同構成である。そのため、以下では、第１プローブピン７１の構成が説明され、他のプローブピンの構成の説明は原則として省略される。なお、各図において、構成の共通点については、同一の符号が付される。ただし、他のプローブピンにおいて第１プローブピン７１と異なる構成については、説明される。以下の説明において、左右方向の「左方」および「右方」は、以下の意味である。つまり、第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３では、左右方向において、湾曲部１３３側が「左方」であり、湾曲部１３３と反対側が「右方」である。一方、第２プローブピン７２及び第４プローブピン７４では、左右方向において、湾曲部１３３と反対側が「左方」であり、湾曲部１３３側が「右方」である。

【0039】

図５に示すように、第１プローブピン７１は、第１接続部１１と、第２接続部１２と、弾性部１３とを備える。第１接続部１１は、弾性部１３の上下方向の両端のうちの一方の端部（本実施形態では弾性部１３の上端部）である第１端部１３Ａに接続されている。言い換えると、第１接続部１１の下端部（本実施形態では上下方向における弾性部１３に近い側の端部）は、弾性部１３の上端部に接続されている。第２接続部１２は、弾性部１３の上下方向の両端のうちの他方の端部（本実施形態では弾性部１３の下端部）である第２端部１３Ｂに接続されている。言い換えると、第２接続部１２の上端部（本実施形態では上下方向における弾性部１３に近い側の端部）は、弾性部１３の下端部に接続されている。

【0040】

第１接続部１１は、第１接続部１１の上端部（本実施形態では上下方向における第２接続部１２から遠い方の端部）に設けられた第１接点１１１を備える。第２接続部１２は、第２接続部１２の下端部（本実施形態では上下方向における第１接続部１１から遠い方の端部）に設けられた第２接点１２１を備える。つまり、第１プローブピン７１は、上下方向の一端部（本実施形態では上端部）に設けられた第１接点１１１と、上下方向の他端部（本実施形態では下端部）に設けられた第２接点１２１とを備える。

【0041】

弾性部１３は、第１部分１３１と、第２部分１３２と、湾曲部１３３とを有する。

【0042】

第１部分１３１は、第１端部１３Ａから左右方向に延びている。第２部分１３２は、第２端部１３Ｂから左右方向に延びている。第２部分１３２は、左右方向において第１部分１３１と同じ側に延びている。図５に示す例では、第１部分１３１は第１端部１３Ａから左方へ延び、第２部分１３２は第２端部１３Ｂから左方へ延びている。

【0043】

湾曲部１３３は、湾曲形状である。湾曲部１３３は、第１部分１３１の左右方向の両端のうちの第１端部１３Ａから離れた端部（例えば、図５では左端）と、第２部分１３２の左右方向の両端のうちの第２端部１３Ｂから離れた端部（図５では左端）とを接続する。

【0044】

弾性部１３の両端である第１端部１３Ａ及び第２端部１３Ｂは、左右方向において第１接続部１１及び第２接続部１２に対して同じ側（本実施形態では左側）から接続されている。つまり、弾性部１３は、第１接続部１１の左右方向の一側面（本実施形態では左面）に対して同じ側（本実施形態では左側）に位置している。

【0045】

第１接続部１１の第１端部１３Ａが接続されている端部１１Ａと、第２接続部１２の第２端部１３Ｂが接続されている端部１２Ａとの間の上下方向に沿った長さＬ２は、弾性部１３の湾曲の内径Ｒ１より長い。本実施形態において、端部１１Ａは第１接続部１１の下端部であり、端部１２Ａは第２接続部１２の上端部である。また、本実施形態において、弾性部１３の湾曲の内径Ｒ１は、湾曲部１３３の内径Ｒ１である。

【0046】

弾性部１３は、複数の長板部１３４（本実施形態では３つの長板部１３４Ａ、１３４Ｂ、１３４Ｃ）を備える。各長板部１３４Ａ、１３４Ｂ、１３４Ｃは、第１部分１３１と、第２部分１３２と、湾曲部１３３とに亘っている。

【0047】

各長板部１３４Ａ、１３４Ｂ、１３４Ｃは、弾性部１３の長さ方向に沿ってそれぞれ延びている。弾性部１３の長さ方向は、第１部分１３１から湾曲部１３３を経て第２部分１３２まで弾性部１３が延びている方向である。つまり、弾性部１３の長さ方向は、第１部分１３１及び第２部分１３２において左右方向であり、湾曲部１３３において湾曲形状に沿った方向である。

【0048】

各長板部１３４Ａ、１３４Ｂ、１３４Ｃは、弾性部１３の幅方向に沿って間隔を空けて並んで配置されている。弾性部１３の幅方向は、前後方向（本実施形態ではプローブピン７の板厚方向）と弾性部１３の長さ方向との双方と直交する方向である。

【0049】

複数の長板部１３４は、湾曲部１３３の湾曲形状の外側に位置するほど、幅方向に長い。本実施形態では、長板部１３４Ａは長板部１３４Ｂより幅方向に長く、長板部１３４Ｂは長板部１３４Ｃより幅方向に長い。

【0050】

第２部分１３２は、図５の紙面上で右方へ向かうにしたがって上方へ向かうように延びている。つまり、第２部分１３２は、左右方向において第２端部１３Ｂへ近づくにしたがって上下方向において第１端部１３Ａに近づくように延びている。すなわち、第２部分１３２の径方向の内縁を構成する面と外縁を構成する面とは、左右方向に対して傾斜した傾斜面である。

【0051】

第２接続部１２の上側の縁部１２Ｂは、図５の紙面上で右方へ向かうにしたがって下方へ向かうように延びている。つまり、第２接続部１２のうちの上下方向における第１接続部１１側（本実施形態では上側）の縁部１２Ｂは、左右方向において弾性部１３から離れるにしたがって上下方向において第１接続部１１から離れるように延びている。つまり、縁部１２Ｂは、左右方向に対して傾斜した傾斜面である。なお、縁部１２Ｂは、左右方向に沿って延びていてもよい。なお、図３に示すように、第５プローブピン７５及び第６プローブピン７６の縁部１２Ｂは、左右方向に沿って延びている。

【0052】

図５に示すように、第１接点１１１は、突起状であり、第１接続部１１の上端部から上方（本実施形態では第１方向において第２接続部１２から離れる方向）へ突出している。第１接点１１１は、傾斜面１１１Ａと、突起１１１Ｂとを備える。

【0053】

傾斜面１１１Ａは、第１接点１１１の左右方向の一方側に位置している。傾斜面１１１Ａは、上下方向において、弾性部１３から離れるにしたがって中心線Ｃから離れるように傾斜している。中心線Ｃは、第１接続部１１の左右方向の中心を通り且つ上下方向に延びる線である。

【0054】

突起１１１Ｂは、上方（本実施形態では第１方向において第２接続部１２から離れる方向）へ突出している。突起１１１Ｂは、左右方向において傾斜面１１１Ａに対して隙間を空けて対向している。突起１１１Ｂの突出先端（本実施形態では上端）は、傾斜面１１１Ａの上端より下方に位置し、傾斜面１１１Ａの下端より上方に位置している。つまり、第１方向において、突起１１１Ｂの突出先端は、傾斜面１１１Ａにおける弾性部１３から遠い側の端部と近い側の端部との間に位置している。

【0055】

傾斜面１１１Ａおよび突起１１１Ｂに、接触対象物８の端子８１が接触可能である。接触対象物８がハウジング３の凹部３Ａに嵌められているとき、端子８１は、前後方向に沿って見た側面視において、Ｕ字形状の部分を有する。つまり、端子８１は、先端部に下に凸の湾曲部を有する。傾斜面１１１Ａは、左右方向の一方側から端子８１の湾曲部に接触する。

【0056】

本実施形態において、第１接点１１１は、接触対象物８に対して接触可能な傾斜面を１つのみ有する。つまり、本実施形態において、第１接点１１１において、接触対象物８に対して接触可能な傾斜面は、傾斜面１１１Ａのみである。

【0057】

第２接点１２１は、突起状であり、第２接続部１２の下端部から下方（本実施形態では第１方向において第１接続部１１から離れる方向）へ突出している。第２接点１２１は、切欠き１２１Ｃを有する。切欠き１２１Ｃは、第２接点１２１の下面から上方（本実施形態では第１方向における第１接続部１１側）へ切り欠かれている。

【0058】

第２接続部１２は、切欠き１２Ｃを有する。切欠き１２Ｃは、第２接点１２１と弾性部１３の第２部分１３２との間に設けられている。切欠き１２Ｃは、第２接続部１２の左右方向の端部から左右方向に沿って切り欠かれている。

【0059】

第１プローブピン７１、第２プローブピン７２、第３プローブピン７３、及び第４プローブピン７４は、配置向き、構成などに相違点を有する。以下に詳述する。

【0060】

図５に示すように、第１プローブピン７１及び第２プローブピン７２は、弾性部１３が左右方向の外側を向くように左右方向に対向配置されている。図６に示すように、第３プローブピン７３及び第４プローブピン７４は、弾性部１３が左右方向の外側を向くように左右方向に対向配置されている。

【0061】

図５及び図６に示すように、第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４の傾斜面１１１Ａは、左右方向において第１接点１１１における弾性部１３の湾曲部１３３側に位置している。第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４の傾斜面１１１Ａは、左右方向において弾性部１３の湾曲部１３３とは反対側を向いている。第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４の突起１１１Ｂは、左右方向において傾斜面１１１Ａに対して弾性部１３の湾曲部１３３の反対側に位置している。

【0062】

第１プローブピン７１の傾斜面１１１Ａは、図５の紙面上において、第１接点１１１の左部に位置しており、右方へ向かうにしたがって下方へ向かうように延びており、右上を向いている。第１プローブピン７１の突起１１１Ｂは、図５の紙面上において、第１プローブピン７１の傾斜面１１１Ａの右方に位置している。第４プローブピン７４の傾斜面１１１Ａは、図６の紙面上において、第１接点１１１の右部に位置しており、左方へ向かうにしたがって下方へ向かうように延びており、左上を向いている。第４プローブピン７４の突起１１１Ｂは、図６の紙面上において、第４プローブピン７４の傾斜面１１１Ａの左方に位置している。

【0063】

図５及び図６に示すように、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３の傾斜面１１１Ａは、左右方向において第１接点１１１における弾性部１３とは反対側に位置している。第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３の傾斜面１１１Ａは、左右方向において弾性部１３の湾曲部１３３側を向いている。第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３の突起１１１Ｂは、左右方向において傾斜面１１１Ａに対して弾性部１３側に位置している。

【0064】

第２プローブピン７２の傾斜面１１１Ａは、図５の紙面上において、第１接点１１１の左部に位置しており、右方へ向かうにしたがって下方へ向かうように延びており、右上を向いている。第２プローブピン７２の突起１１１Ｂは、図５の紙面上において、第２プローブピン７２の傾斜面１１１Ａの右方に位置している。第３プローブピン７３の傾斜面１１１Ａは、図６の紙面上において、第１接点１１１の右部に位置しており、左方へ向かうにしたがって下方へ向かうように延びており、左上を向いている。第３プローブピン７３の突起１１１Ｂは、図６の紙面上において、第３プローブピン７３の傾斜面１１１Ａの左方に位置している。

【0065】

以上より、図５に示すように、第１プローブピン７１の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａと、第２プローブピン７２の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａとは、左右方向において同じ側（本実施形態では右方）を向いている。図６に示すように、第３プローブピン７３の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａと、第４プローブピン７４の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａとは、左右方向において同じ側（本実施形態では左方）を向いている。

【0066】

また、図５及び図６に示すように、第１プローブピン７１の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａ（図５参照）と、第３プローブピン７３の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａ（図６参照）とは、左右方向において反対側を向いている。第２プローブピン７２の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａ（図５参照）と、第４プローブピン７４の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａ（図６参照）とは、左右方向において反対側を向いている。

【0067】

また、前後方向に沿って見て、第１プローブピン７１の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａと、第３プローブピン７３の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａとは、左右方向において互いに向かい合っている。前後方向に沿って見て、第２プローブピン７２の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａと、第４プローブピン７４の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａとは、左右方向において互いに向かい合っている。

【0068】

第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４は、第２接点１２１及び切欠き１２Ｃを備える。第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３は、第２接点１２１の代わりに第２接点１２２を備える。第２接点１２２は、切欠き１２Ｃを備えていない。第２接点１２２は、切欠き１２１Ｃを有していない点で第２接点１２１と異なる。

【0069】

第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４では、上下方向に沿って見て第２接点１２１が第１接点１１１から外れた位置にある。第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４では、上下方向に沿って見て第２接点１２１が傾斜面１１１Ａから外れた位置にある。第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４では、上下方向に沿って見て第２接続部１２のうち第２接点１２１を含む部分は弾性部１３と重なっている。つまり、第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４では、左右方向において、第２接続部１２のうち第２接点１２１を含む部分の少なくとも一部は、弾性部１３の少なくとも一部と同位置である。また、第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４では、第１接続部１１に対して弾性部１３および第２接点１２１が左右方向における同じ側に位置している。

【0070】

第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３では、上下方向に沿って見て、第２接点１２２と第１接点１１１とは、少なくとも一部同士が互いに重なる位置にある。つまり、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３では、左右方向において、第２接点１２２の少なくとも一部は、第１接点１１１の少なくとも一部と同位置である。また、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３では、弾性部１３に対して第１接点１１１と第２接点１２２とが左右方向における同じ側に位置している。第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３では、上下方向に沿って見て、第２接点１２２と傾斜面１１１Ａとは、少なくとも一部同士が互いに重なる位置にある。つまり、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３では、左右方向において、第２接点１２２の少なくとも一部は、傾斜面１１１Ａの少なくとも一部と同位置である。また、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３では、弾性部１３に対して傾斜面１１１Ａと第２接点１２２とが左右方向における同じ側に位置している。

【0071】

図５に示すように、第１プローブピン７１及び第２プローブピン７２において、傾斜面１１１Ａは第１接点１１１における左部に設けられている。図６に示すように、第３プローブピン７３及び第４プローブピン７４において、傾斜面１１１Ａは第１接点１１１における右部に設けられている。図５及び図６（及び後述する図７～図１０）における左方は左右方向の一方側の一例であり、図５及び図６（及び後述する図７～図１０）における右方は左右方向の他方側の一例である。

【0072】

図５及び図６に示すように、第１プローブピン７１の第２接点１２１は、第３プローブピン７３の第２接点１２２に対して左方に位置する。つまり、前後方向に沿って見て、第１プローブピン７１の第２接点１２１は、第３プローブピン７３の第２接点１２２と重なっていない。すなわち、左右方向において、第１プローブピン７１の第２接点１２１は、第３プローブピン７３の第２接点１２２と異なる位置にある。なお、前後方向に沿って見て、第１プローブピン７１の第２接点１２１は、第３プローブピン７３の第２接点１２２の一部のみ重なっていてもよい。つまり、左右方向において、第１プローブピン７１の第２接点１２１は第３プローブピン７３の第２接点１２２と一部同位置であってもよい。

【0073】

第２プローブピン７２の第２接点１２２は、第４プローブピン７４の第２接点１２１に対して左方に位置する。つまり、前後方向に沿って見て、第２プローブピン７２の第２接点１２２は、第４プローブピン７４の第２接点１２１と重なっていない。すなわち、左右方向において、第２プローブピン７２の第２接点１２２は、第４プローブピン７４の第２接点１２１と異なる位置にある。なお、前後方向に沿って見て、第２プローブピン７２の第２接点１２２は、第４プローブピン７４の第２接点１２１の一部のみ重なっていてもよい。つまり、左右方向において、第２プローブピン７２の第２接点１２２は第４プローブピン７４の第２接点１２１と一部同位置であってもよい。

【0074】

前述したように、第１プローブピン７１及び第２プローブピン７２において、傾斜面１１１Ａは第１接点１１１における左部に設けられている。また、第１プローブピン７１の第２接点１２１は第３プローブピン７３の第２接点１２２に対して左方に位置し、第２プローブピン７２の第２接点１２２は第４プローブピン７４の第２接点１２１に対して左方に位置している。つまり、第１プローブピン７１の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａは、左右方向において、第１プローブピン７１の第１接点１１１のうち、第１プローブピン７１の第２接点１２１が第３プローブピン７３の第２接点１２２に対して配置されている側である左側に配置されている。また、第２プローブピン７２の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａは、左右方向において、第２プローブピン７２の第１接点１１１のうち、第２プローブピン７２の第２接点１２２が第４プローブピン７４の第２接点１２１に対して配置されている側である左側に配置されている。

【0075】

前述したように、第３プローブピン７３及び第４プローブピン７４「において、傾斜面１１１Ａは第１接点１１１における右部に設けられている。また、第３プローブピン７３の第２接点１２２は第１プローブピン７１の第２接点１２１に対して右方に位置し、第４プローブピン７４の第２接点１２１は第２プローブピン７２の第２接点１２２に対して右方に位置している。つまり、第３プローブピン７３の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａは、左右方向において、第３プローブピン７３の第１接点１１１のうち、第３プローブピン７３の第２接点１２２が第１プローブピン７１の第２接点１２１に対して配置されている側である右側に配置されている。また、第４プローブピン７４の第１接点１１１が有する傾斜面１１１Ａは、左右方向において、第４プローブピン７４の第１接点１１１のうち、第４プローブピン７４の第２接点１２１が第２プローブピン７２の第２接点１２２に対して配置されている側である右側に配置されている。

【0076】

第１プローブピン７１、第２プローブピン７２、第３プローブピン７３、及び第４プローブピン７４は、次のような効果を発揮できる。

【0077】

第１プローブピン７１、第２プローブピン７２、第３プローブピン７３、及び第４プローブピン７４において、端部１１Ａと端部１２Ａとの間の上下方向に沿った長さＬ２は、弾性部１３の湾曲の内径Ｒ１より長い。第２接続部１２のうちの上下方向における第１接続部１１側の縁部１２Ｂは、左右方向において弾性部１３から離れるにしたがって上下方向において第１接続部１１から離れるように延びている。そのため、第１プローブピン７１、第２プローブピン７２、第３プローブピン７３、及び第４プローブピン７４において、弾性部１３による上下方向のストロークを大きくすることができる。その結果、プローブピン７の接触信頼性を向上することができる。

【0078】

第２部分１３２は、左右方向において第２端部１３Ｂへ近づくにしたがって上下方向において第１端部１３Ａに近づくように延びている。そのため、各プローブピン７において、弾性部１３が占める部分を小さくすることができる。

【0079】

弾性部１３は、複数の長板部１３４を備える。複数の長板部１３４は、湾曲部１３３の湾曲形状の外側に位置するほど、幅方向に長い。そのため、弾性部１３を撓みやすくすることができる。

【0080】

第１接点１１１は接触対象物８に接触可能な傾斜面１１１Ａを有する。例えば、接触対象物８の端子８１が先端部に湾曲部を有する場合、傾斜面１１１Ａは左右方向の一方側から端子８１の湾曲部に接触する。端子８１の湾曲部の一方側のみに金メッキが施され、当該一方側以外にスズメッキが施されている場合、傾斜面１１１Ａを金メッキされた部分に接触させることができる。

【0081】

第１接点１１１は、傾斜面１１１Ａに加えて突起１１１Ｂを備える。そのため、第１接点１１１を接触対象物８に複数点で接触させることができる。

【0082】

第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４は、次のような効果を発揮できる。

【0083】

上下方向に沿って見て、第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４の第２接点１２１は、傾斜面１１１Ａから外れた位置にある。そのため、第１プローブピン７１と第３プローブピン７３とが前後方向に並べて配置された構成において、第１プローブピン７１の第２接点１２１と第３プローブピン７３の第２接点１２２との左右方向の位置を異なる位置とすることができる。同様に、第４プローブピン７４と第２プローブピン７２とが前後方向に並べて配置された構成において、第４プローブピン７４の第２接点１２１と第２プローブピン７２の第２接点１２２との左右方向の位置を異なる位置とすることができる。

【0084】

第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４の第２接続部１２は切欠き１２Ｃを有する。これにより、第２接点１２１を上下方向に撓ませることができる。

【0085】

第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３は、次のような効果を発揮できる。

【0086】

上下方向に沿って見て、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３の第２接点１２２の少なくとも一部は、傾斜面１１１Ａの少なくとも一部と重なっている。そのため、第２プローブピン７２と第４プローブピン７４とが前後方向に並べて配置された構成において、第２プローブピン７２の第２接点１２２と第４プローブピン７４の第２接点１２１との左右方向の位置を異なる位置とすることができる。同様に、第３プローブピン７３と第１プローブピン７１とが前後方向に並べて配置された構成において、第３プローブピン７３の第２接点１２２と第１プローブピン７１の第２接点１２１との左右方向の位置を異なる位置とすることができる。

【0087】

検査ソケット１は、次のような効果を発揮できる。

【0088】

第１プローブピン７１の第２接点１２１は、第３プローブピン７３の第２接点１２２に対して左方に位置し、第２プローブピン７２の第２接点１２２は、第４プローブピン７４の第２接点１２１に対して左方に位置している。このような構成であることにより、第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３を前後方向に交互に並べた場合に、前後方向に隣り合う２つの第２接点間のピッチを大きくすることができる。以下に詳述する。仮に、第１プローブピン７１の第２接点１２１と第３プローブピン７３の第２接点１２２との左右方向の位置が同じ場合、前後方向に交互に並べられた第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３の各第２接点１２１、１２２は前後に隣り合う。一方、第１プローブピン７１の第２接点１２１が第３プローブピン７３の第２接点１２２に対して左方に位置している場合、前後方向に交互に並べられた第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３の各第２接点１２１、１２２は前後に隣り合わない。この場合、２つの第１プローブピン７１の各第２接点１２１、１２１が前後に隣り合う。つまり、当該２つの第１プローブピン７１の間に第３プローブピン７３が位置しない分、隣り合う２つの第２接点間のピッチが大きくなる。同様に、第２プローブピン７２及び第４プローブピン７４を前後方向に交互に並べた場合も、前後方向に隣り合う２つの第２接点間のピッチを大きくすることができる。その結果、検査ソケット１の接触信頼性を向上することができる。

【0089】

各プローブピンの間隔が狭い場合、検査ソケットが搭載される基板上のパッド間隔も狭くなり、各パッドの形成が困難となるおそれがある。本実施形態の検査ソケット１では、前述したように、前後方向に隣り合う２つの第２接点間のピッチを大きくすることができる。これにより、基板上のパッド間隔を大きくすることができるため、各パッドの形成を容易に形成することができる。

【0090】

上下方向に沿って見た場合に、第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４において、第１接点１１１は第２接点１２１から外れた位置にある。上下方向に沿って見た場合に、第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３において、第１接点１１１と第２接点１２２とは互いに重なる位置にある。これにより、第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３が前後方向に交互に並べられた場合に、第１プローブピン７１の第２接点１２１と第３プローブピン７３の第２接点１２２との左右方向の位置を異なる位置とすることができる。また、第２プローブピン７２及び第４プローブピン７４が前後方向に交互に並べられた場合に、第２プローブピン７２の第２接点１２２と第４プローブピン７４の第２接点１２１との左右方向の位置を異なる位置とすることができる。

【0091】

第３プローブピン７３は、第２プローブピン７２と同構成であって第２プローブピン７２と左右方向において逆向きに配置されている。第４プローブピン７４は、第１プローブピン７１と同構成であって第１プローブピン７１と左右方向において逆向きに配置されている。これにより、検査ソケット１が備えるプローブピンの種類を少なくすることができる。

【0092】

左右方向において対向配置されている第１プローブピン７１及び第２プローブピン７２の各傾斜面１１１Ａは、左右方向において同じ側を向いている。左右方向において対向配置されている第３プローブピン７３及び第４プローブピン７４の各傾斜面１１１Ａは、左右方向において同じ側を向いている。これにより、左右方向に対向配置されている２つのプローブピンの傾斜面１１１Ａを、左右方向の同じ側から接触対象物８に接触させることができる。

【0093】

前後方向において並んで配置されている第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３の各傾斜面１１１Ａは、左右方向において反対側を向いている。前後方向において並んで配置されている第２プローブピン７２及び第４プローブピン７４の各傾斜面１１１Ａは、左右方向において反対側を向いている。これにより、前後方向に並んで配置されている２つのプローブピンの傾斜面１１１Ａを、左右方向の反対側から接触対象物８に接触させることができる。

【0094】

前後方向に沿って見て、前後方向において並んで配置されている第１プローブピン７１及び第３プローブピン７３の各傾斜面１１１Ａは、左右方向において互いに向かい合っている。前後方向に沿って見て、前後方向において並んで配置されている第２プローブピン７２及び第４プローブピン７４の各傾斜面１１１Ａは、左右方向において互いに向かい合っている。これにより、各プローブピンの傾斜面１１１Ａを、左右方向の外側から接触対象物８に接触させることができる。

【0095】

第１プローブピン７１、第２プローブピン７２、第３プローブピン７３、第４プローブピン７４の各々の第１接点１１１は、接触対象物８に対して接触可能な傾斜面１１１Ａを１つのみ有する。仮に、第１接点１１１が接触対象物８に対して接触可能な傾斜面を２つ有する場合、接触対象物８が一方の傾斜面に押し付けられることによって、接触対象物８が他方の傾斜面から離れる可能性が高まる。しかし、この構成によれば、接触対象物８における所望の位置に対する傾斜面１１１Ａの非接触の可能性を低くすることができる。

【0096】

検査ソケット１は、次のように構成することもできる。

【0097】

前述した実施形態では、検査ソケット１が２種類のプローブピン７を備えている構成が説明されている。２種類のプローブピン７の一方は、互いに同構成の第１プローブピン７１及び第４プローブピン７４である。２種類のプローブピン７の他方は、互いに同構成の第２プローブピン７２及び第３プローブピン７３である。しかし、検査ソケット１が備えるプローブピン７の種類は２種類に限らない。

【0098】

検査ソケット１が４種類のプローブピン７を備える構成が図７及び図８に示される。図７及び図８では、図５及び図６に示すプローブピンと同構成の部分については、同一の符号が付され、説明が省略される。図７及び図８に示す構成では、第１プローブピン７１、第２プローブピン７２、第３プローブピン７３、及び第４プローブピン７４の各々は、互いに異なる構成である第２接点を備える。つまり、第１プローブピン７１は第２接点１２３を備え、第２プローブピン７２は第２接点１２４を備え、第３プローブピン７３は第２接点１２５を備え、第４プローブピン７４は第２接点１２６を備える。第２接点１２３、１２４、１２５、１２６は、備える切欠きの数を異にする。第２接点１２３は３つの切欠きを有し、第２接点１２４は２つの切欠きを有し、第２接点１２５は切欠きを有しておらず、第２接点１２６は１つの切欠きを有する。

【0099】

前述した実施形態では、第１接点１１１が接触対象物８に対して接触可能な傾斜面１１１Ａを１つのみ有する構成が説明された。しかし、第１接点１１１は複数の傾斜面を有していてもよい。

【0100】

第１接点１１１が２つの傾斜面（傾斜面１１１Ａ及び第２の傾斜面１１１Ｃを有する構成が図９及び図１０に示される。図９及び図１０では、図５及び図６に示すプローブピンと同構成の部分については、同一の符号が付され、説明が省略される。図９及び図１０に示す構成では、各プローブピン７の第１接点１１１は、傾斜面１１１Ａに加えて第２の傾斜面１１１Ｃを有する。第２の傾斜面１１１Ｃは、傾斜面１１１Ａに対して左右方向に対向している。第２の傾斜面１１１Ｃは、左右方向に対向する傾斜面１１１Ａに対して逆向きに傾斜している。例えば、傾斜面１１１Ａが右上を向くように傾斜している場合、第２の傾斜面１１１Ｃは左上を向くように傾斜している。第２の傾斜面１１１Ｃには、傾斜面１１１Ａと同様に、接触対象物８の端子８１が接触可能である。傾斜面１１１Ａは左右方向の一方側から端子８１の湾曲部に接触する。一方、第２の傾斜面１１１Ｃは左右方向の他方側から端子８１の湾曲部に接触する。

【0101】

ハウジング２、３、４、５、６は、検査ソケット１の設計等に応じて、形状および構成を任意に変更することができる。例えば、ハウジング２、３、４、５、６の形状は、略四角柱形状に限らず、略円柱形状であってもよいし、略四角柱形状以外の略多角形状であってもよい。ハウジング１０は、５つの部材で構成されている場合に限らず、１つの部材で構成されていてもよいし、５つではない数の複数の部材で構成されていてもよい。

【0102】

検査ソケット１が有するプローブピン７の数は、検査ソケット１の設計等に応じて、任意に変更できる。

【0103】

例えば、図３及び図４に示す構成では、プローブピン７は、１３個の第１プローブピン７１と、１３個の第２プローブピン７２と、１３個の第３プローブピン７３と、１３個の第４プローブピン７４と、２個の第５プローブピン７５と、２個の第６プローブピン７６とを備える。ここで、左右方向に対向する一対のプローブピン７１、７２と左右方向に対向する一対のプローブピン７３、７４とが前後方向に並んで配置されたものを１つのプローブピンセットであるとする。この場合、図３及び図４に示す構成では、プローブピンセットが前後方向に１３個並べられている。このように配置されることにより、上下方向に沿って見た場合に、隣り合う第２接点１２１、１２２の左右方向の位置が異なる構成となる。このプローブピンセットが前後方向に並べられる個数が１３個以外であってもよい。

【0104】

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

【0105】

本開示の第１態様のプローブピン７は、
弾性部１３と、前記弾性部１３の第１方向の両端のうちの一方の端部である第１端部１３Ａに接続された第１接続部１１と、前記弾性部１３の前記第１方向の両端のうちの他方の端部である第２端部１３Ｂに接続された第２接続部１２と
を備え、
前記弾性部１３は、
前記第１端部から前記第１方向と交差する第２方向に延びる第１部分１３１と、
前記第２端部から前記第２方向における前記第１部分と同じ側に延びる第２部分１３２と、
前記第１部分の前記第２方向の両端のうちの前記第１端部から離れた端部と、前記第２部分の前記第２方向の両端のうちの前記第２端部から離れた端部とを接続する、湾曲形状の湾曲部１３３と
を有し、
前記第１接続部の前記第１端部が接続されている端部と、前記第２接続部の前記第２端部が接続されている端部との間の前記第１方向に沿った長さＬ２は、前記弾性部１３の湾曲の内径Ｒ１より長い。

【0106】

本開示の第２態様のプローブピン７は、第１態様のプローブピン７において、
前記第２部分１３２は、前記第２方向において前記第２端部１３Ｂへ近づくにしたがって前記第１方向において前記第１端部１３Ａに近づくように延びている。

【0107】

本開示の第３態様のプローブピン７は、第１態様または第２態様のプローブピン７において、
前記第２接続部１２のうちの前記第１方向における前記第１接続部１１側の縁部１２Ｂは、前記第２方向に沿って延びている、または、前記第２方向において前記弾性部１３から離れるにしたがって前記第１方向において前記第１接続部１１から離れるように延びている。

【0108】

本開示の第４態様のプローブピン７は、第１態様から第３態様のいずれか１つのプローブピン７において、
前記弾性部１３は、前記弾性部１３が延びる長さ方向に沿ってそれぞれ延びており、前記長さ方向と直交する前記弾性部１３の幅方向に沿って隙間を空けて並んで配置された複数の長板部１３４を備え、
前記複数の長板部１３４は、前記湾曲部１３３の湾曲形状の外側に位置するほど、前記幅方向に長い。

【0109】

本開示の第５態様のプローブピン７は、第１態様から第４態様のいずれか１つのプローブピン７において、
前記第１接続部１１は、前記第１方向における前記第２接続部１２から遠い方の端部に設けられた第１接点１１１を備え、
前記第１接点１１１は、接触対象物８に対して接触可能な傾斜面１１１Ａを有する。

【0110】

本開示の第６態様のプローブピン７は、第５態様のプローブピン７において、
前記第１接点１１１は、前記第１方向へ突出しており且つ前記第２方向において前記傾斜面１１１Ａに対して隙間を空けて対向した突起１１１Ｂを更に備える。

【0111】

本開示の第７態様のプローブピン７は、第５態様または第６態様のプローブピン７において、
前記第２接続部１２は、前記第１方向における前記第１接続部１１から遠い方の端部に設けられた第２接点１２２を備え、
前記第１方向に沿って見て、前記第２接点１２２の少なくとも一部は、前記傾斜面１１１Ａの少なくとも一部と重なっている。

【0112】

本開示の第８態様のプローブピン７は、第７態様のプローブピン７において、
前記傾斜面１１１Ａは、前記第２方向において前記弾性部１３の前記湾曲部１３３側を向いている。

【0113】

本開示の第９態様のプローブピン７は、第５態様または第６態様のプローブピン７において、
前記第２接続部１２は、前記第１方向における前記弾性部１３から遠い方の端部に設けられた第２接点１２１を備え、
前記第１方向に沿って見て、前記第２接点１２１は、前記傾斜面１１１Ａから外れた位置にある。

【0114】

本開示の第１０態様のプローブピン７は、第９態様のプローブピン７において、
前記傾斜面１１１Ａは、前記第２方向において前記弾性部１３の前記湾曲部１３３とは反対側を向いている。

【0115】

本開示の第１１態様のプローブピン７は、第９態様または第１０態様のプローブピン７において、
前記第１方向に沿って見て、前記第２接続部１２のうち前記第２接点１２１を含む部分は、前記弾性部１３と重なっており、
前記第２接続部１２は、前記第２接点１２１と前記弾性部１３との間に前記第２方向に切り欠かれた切欠き１２Ｃを有する。

【0116】

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

【産業上の利用可能性】

【0117】

本開示の検査ソケットは、例えば、光学モジュールなどの電子モジュールの検査に用いる検査装置に適用できる。

【符号の説明】

【0118】

１ 検査ソケット
２、３、４、５、６ ハウジング
１１ 第１接続部
１１Ａ 端部
１２ 第２接続部
１２Ａ 端部
１２Ｃ 切欠き
１３ 弾性部
１３１ 第１部分
１３２ 第２部分
１３３ 湾曲部
１３４ 長板部
１３Ａ 第１端部
１３Ｂ 第２端部
７１ 第１プローブピン
７２ 第２プローブピン
７３ 第３プローブピン
７４ 第４プローブピン
１１１ 第１接点
１１１Ａ 傾斜面
１１１Ｂ 突起
１２１、１２２ 第２接点

【要約】

【課題】接触信頼性の高いプローブピンを提供する。
【解決手段】プローブピンは、弾性部と、弾性部の第１方向の両端のうちの一方の端部である第１端部に接続された第１接続部と、他方の端部である第２端部に接続された第２接続部とを備える。弾性部は、第１端部から第１方向と交差する第２方向に延びる第１部分と、第２端部から第２方向における第１部分と同じ側に延びる第２部分と、第１部分の第２方向の両端のうちの第１端部から離れた端部と、第２部分の第２方向の両端のうちの第２端部から離れた端部とを接続する湾曲形状の湾曲部とを有する。第１接続部の第１端部が接続されている端部と、第２接続部の第２端部が接続されている端部との間の第１方向に沿った長さは、弾性部の湾曲の内径より長い。
【選択図】図５

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】