特許 7582476 複合コイル部品及び電子回路ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-05

(45)【発行日】2024-11-13

(54)【発明の名称】複合コイル部品及び電子回路ユニット

(51)【国際特許分類】

   H01F 27/00 20060101AFI20241106BHJP

   H01F 27/29 20060101ALI20241106BHJP

   H01F 17/04 20060101ALI20241106BHJP

   H03H 7/09 20060101ALI20241106BHJP

【ＦＩ】

H01F27/00 R

H01F27/29 F

H01F27/29 H

H01F17/04 A

H03H7/09 A

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2023531770

(86)(22)【出願日】2022-06-14

(86)【国際出願番号】 JP2022023854

(87)【国際公開番号】W WO2023276658

(87)【国際公開日】2023-01-05

【審査請求日】2023-10-13

(31)【優先権主張番号】P 2021111090

(32)【優先日】2021-07-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】本多 宏之

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 康誌

(72)【発明者】

【氏名】吉田 峰日登

【審査官】井上 健一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－２１３１８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／１１６０５５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００７－３６１５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－１４５９４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１２６６３４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｆ ２７／００

Ｈ０１Ｆ ２７／２９

Ｈ０１Ｆ １７／０４

Ｈ０３Ｈ ７／０９

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

磁性体の支持体と、
前記支持体に設けられた第１電極対、第２電極対、及び第３電極と、
前記支持体に巻き付けられて第１コモンモードチョークコイルとなる２つの第１コイルと、
前記支持体に巻き付けられて第２コモンモードチョークコイルとなる２つの第２コイルと、
前記支持体に巻き付けられる第３コイルと、を備え、
前記２つの第１コイルの一端は、前記第１電極対の各電極にそれぞれ接続され、
前記２つの第２コイルの一端は、前記第２電極対の各電極にそれぞれ接続され、
前記第３コイルの一端は、前記第３電極に接続され、
前記２つの第１コイルのうち一方の他端と、前記２つの第２コイルのうち一方の他端と、前記第３コイルの他端とが電気的に接続され、
前記２つの第１コイルのうち他方の他端と、前記２つの第２コイルのうち他方の他端とが電気的に接続される、
複合コイル部品。

【請求項2】

第１補助電極と、第２補助電極とをさらに備え、
前記第１補助電極において前記２つの第１コイルのうち一方の他端と、前記２つの第２コイルのうち一方の他端と、前記第３コイルの他端とが電気的に接続され、
前記第２補助電極において、前記２つの第１コイルのうち他方の他端と、前記２つの第２コイルのうち他方の他端とが電気的に接続される、
請求項１に記載の複合コイル部品。

【請求項3】

前記２つの第１コイルのうち一方の他端と、前記２つの第２コイルのうち一方の他端との間には、コンデンサが接続されている、請求項１に記載の複合コイル部品。

【請求項4】

前記支持体は、第１コア部と、第２コア部とを備え、
前記第１コイル及び前記第３コイルは、前記第１コア部に巻き付けられており、
前記第２コイルは、前記第２コア部に巻き付けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の複合コイル部品。

【請求項5】

前記支持体は、第１コア部を備え、
前記第１コイル、前記第２コイル及び前記第３コイルは、前記第１コア部に巻き付けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の複合コイル部品。

【請求項6】

差動伝送ラインに接続する電子回路ユニットであって、
集積回路と、
電源回路と、
前記集積回路に接続される第１電極対、前記差動伝送ラインに接続される第２電極対、及び前記電源回路に接続される第３電極を備える複合コイル部品と、を備え、
前記複合コイル部品は、
磁性体の支持体と、
前記支持体に支持された前記第１電極対、前記第２電極対、及び前記第３電極と、
前記支持体に巻き付けられて第１コモンモードチョークコイルとなる２つの第１コイルと、
前記支持体に巻き付けられて第２コモンモードチョークコイルとなる２つの第２コイルと、
前記支持体に巻き付けられる第３コイルと、を備え、
前記２つの第１コイルの一端は、前記第１電極対の各電極にそれぞれ接続され、
前記２つの第２コイルの一端は、前記第２電極対の各電極にそれぞれ接続され、
前記第３コイルの一端は、前記第３電極に接続され、
前記２つの第１コイルのうち一方の他端と、前記２つの第２コイルのうち一方の他端と、前記第３コイルの他端とが電気的に接続され、
前記２つの第１コイルのうち他方の他端と、前記２つの第２コイルのうち他方の他端と、が電気的に接続される、
電子回路ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複合コイル部品及び電子回路ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１及び２には、差動伝送ラインに差動信号と直流電流とを重畳させて伝送する回路が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－２１３１８６号公報

【文献】特開２０１９－２０１２３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の回路では、直流電源を供給するコイルが２つある。直流電源を供給するコイルが２つであることにともなって、接続されるコモンモードチョークコイルの特性に制約がある。そこで、特許文献２のように直流電源を供給するコイルを１つにすると、このコイルに起因した不要な輻射を抑制できない可能性がある。

【0005】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、直流電源を供給するコイルを１つにしつつ、直流電源を供給するコイルに起因した不要な輻射を抑制する複合コイル部品及び電子回路ユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面の複合コイル部品は、磁性体の支持体と、前記支持体に支持された第１電極対、第２電極対、及び第３電極と、前記支持体に巻き付けられて第１コモンモードチョークコイルとなる２つの第１コイルと、前記支持体に巻き付けられて第２コモンモードチョークコイルとなる２つの第２コイルと、前記支持体に巻き付けられる第３コイルと、を備え、前記２つの第１コイルの一端は、前記第１電極対の各電極にそれぞれ接続され、前記２つの第２コイルの一端は、前記第２電極対の各電極にそれぞれ接続され、前記第３コイルの一端は、前記第３電極に接続され、前記２つの第１コイルのうち一方の他端と、前記２つの第２コイルのうち一方の他端と、前記第３コイルの他端とが電気的に接続され、前記２つの第１コイルのうち他方の他端と、前記２つの第２コイルのうち他方の他端とが電気的に接続される。

【0007】

本発明の他側面の電子回路ユニットは、差動伝送ラインに接続する電子回路ユニットであって、集積回路と、電源回路と、前記集積回路に接続される第１電極対、前記差動伝送ラインに接続される第２電極対、及び前記電源回路に接続される第３電極を備える複合コイル部品と、を備え、前記複合コイル部品は、磁性体の支持体と、前記支持体に支持された前記第１電極対、前記第２電極対、及び前記第３電極と、前記支持体に巻き付けられて第１コモンモードチョークコイルとなる２つの第１コイルと、前記支持体に巻き付けられて第２コモンモードチョークコイルとなる２つの第２コイルと、前記支持体に巻き付けられる第３コイルと、を備え、前記２つの第１コイルの一端は、前記第１電極対の各電極にそれぞれ接続され、前記２つの第２コイルの一端は、前記第２電極対の各電極にそれぞれ接続され、前記第３コイルの一端は、前記第３電極に接続され、前記２つの第１コイルのうち一方の他端と、前記２つの第２コイルのうち一方の他端と、前記第３コイルの他端とが電気的に接続され、前記２つの第１コイルのうち他方の他端と、前記２つの第２コイルのうち他方の他端と、が電気的に接続される。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、コモンモードチョークコイルの特性の自由度を高め、直流電源を供給するコイルに起因した不要な輻射を抑制することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、実施形態１の差動伝送ラインに接続する電子回路ユニットの等価回路図である。

【図2】図２は、実施形態１の複合コイル部品の構成を示す正面図である。

【図3】図３は、図２の底面図である。

【図4】図４は、図２の第１側面の側面図である。

【図5】図５は、図２の第２側面の側面図である。

【図6】図６は、実施形態１の複合コイル部品の周波数特性の例を説明するための説明図である。

【図7】図７は、実施形態１の複合コイル部品の周波数特性の例を説明するための説明図である。

【図8】図８は、実施形態２の差動伝送ラインに接続する電子回路ユニットの等価回路図である。

【図9】図９は、実施形態２の複合コイル部品の構成を示す正面図である。

【図10】図１０は、図９の底面図である。

【図11】図１１は、実施形態３の複合コイル部品の構成を示す正面図である。

【図12】図１２は、図１１の底面図である。

【図13】図１３は、図１１の第１側面の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。各実施の形態は例示であり、異なる実施の形態で示した構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。第２の実施の形態以降では第１の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。

【0011】

（実施形態１）
図１は、実施形態１の差動伝送ラインに接続する電子回路ユニットの等価回路図である。電子回路ユニット１００は、主線路６０と、主線路６０が接続される電子回路モジュール４０とを有する。主線路６０は、差動伝送ラインである。主線路６０の信号線は、それぞれ、電子回路モジュール４０の外部接続用端子４３、４４に接続される。

【0012】

電子回路モジュール４０では、集積回路４１と、電源回路４２と、複合コイル部品２０とがプリント基板上に搭載される。集積回路４１は、いわゆる電子制御ユニットであり、主線路６０を介して、主線路６０に接続された他の機器と差動信号の送受信を行う。電子制御ユニットは、送受信の通信回路や終端回路（ターミネータ）を含む。電子制御ユニットは、集積回路４１と、プリント基板上の他の電子部品とを含んでもよい。

【0013】

電源回路４２は、主線路６０の信号線の一方に電源電流を重畳する。主線路６０の差動伝送ラインでは、差動信号と直流電流とが重畳され、差動信号と直流電流とが他の機器へ伝送される。なお、電源回路４２は、集積回路４１に含まれていてもよい。

【0014】

複合コイル部品２０は、第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２及び第３コイル３３を含む。第１コモンモードチョークコイル３１及び第２コモンモードチョークコイル３２の各々のインピーダンスは、主線路６０のインピーダンスと同じとなる。第１コモンモードチョークコイル３１は、２つの第１コイルを含む。２つの第１コイルの一端は、第１電極対１１の各電極にそれぞれ接続される。第１電極対１１の各電極は、集積回路４１に接続される。

【0015】

第２コモンモードチョークコイル３２は、２つの第２コイルを含む。２つの第２コイルの一端は、第２電極対１２の各電極にそれぞれ接続される。第２電極対１２の各電極は、それぞれ、外部接続用端子４３、４４に接続される。

【0016】

第３コイル３３の一端は、第３電極１３に接続される。第３電極１３は、電源回路４２に接続される。また、第３コイル３３は、負荷インピーダンスの低い電源回路４２へ差動信号の高周波数成分が伝達されないようにするための回路（Ｂｉａｓ－Ｔ回路）の一部となる。

【0017】

第１補助電極１４において、第１コモンモードチョークコイル３１となる２つの第１コイルのうち一方の他端と、第２コモンモードチョークコイル３２となる２つの第２コイルのうち一方の他端と、第３コイル３３の他端とが電気的に接続される。第２補助電極１５において、２つの第１コイルのうち他方の他端と、２つの第２コイルのうち他方の他端とが接続される。これにより、複合コイル部品２０が備える第１補助電極１４及び第２補助電極１５において、第３コイル３３と、第１コモンモードチョークコイル３１及び第２コモンモードチョークコイル３２とが接続されるため、複合コイル部品２０の小型化を図ることができる。

【0018】

図２は、実施形態１の複合コイル部品の構成を示す正面図である。図３は、図２の底面図である。図４は、図２の第１側面の側面図である。図５は、図２の第２側面の側面図である。図２から図５に示すように、支持体２８は、第１コア部２１、第１鍔部２２、第２鍔部２３、第３鍔部２４、天板部２５及び第２コア部２６を含む。第１コア部２１、第１鍔部２２、第２鍔部２３、第３鍔部２４、天板部２５及び第２コア部２６は、Ｎｉ－Ｚｎ系フェライト等の磁性材料で形成される。

【0019】

第１コア部２１は、第１鍔部２２と第２鍔部２３とに挟まれている。第２コア部２６は、第２鍔部２３と第３鍔部２４とに挟まれている。第１鍔部２２、第２鍔部２３、第３鍔部２４は、第１コア部２１及び第２コア部２６の外形よりも大きい。第１コア部２１、第１鍔部２２、第２鍔部２３、第３鍔部２４及び第２コア部２６は、一体成形されている。

【0020】

第１電極対１１、第２電極対１２、及び第３電極１３、第１補助電極１４及び第２補助電極１５は、Ａｕ、Ｃｕ又はこれらの合金などの導電体である。第１鍔部２２の底面に、第１電極対１１及び第３電極１３が設けられている。第２鍔部２３の底面に、第１補助電極１４及び第２補助電極１５が設けられている。第３鍔部２４の底面に、第２電極対１２が設けられている。第１電極対１１、第２電極対１２、及び第３電極１３、第１補助電極１４及び第２補助電極１５は、支持体２８の底面の異なる位置に配置されている。ここで、支持体２８の底面は、電子回路モジュール４０（図１参照）のプリント基板に対向する。

【0021】

第１コア部２１は、例えば四角柱、又は円柱状である。同様に、第２コア部２６も、例えば四角柱、又は円柱状である。第１コア部２１には、第１コモンモードチョークコイル３１となる、２つの第１コイルが巻き付けられている。第１コア部２１には、第１コイルに重畳するように、第３コイル３３が巻き付けられている。第２コア部２６には、第２コモンモードチョークコイル３２となる、２つの第２コイルが巻き付けられている。第１コモンモードチョークコイル３１と、第３コイル３３が同じ第１コア部２１に巻き付けられるので、複合コイル部品２０の小型化を図ることができる。

【0022】

図３に示すように、第１コモンモードチョークコイル３１となる、２つの第１コイルの一端は、第１電極対１１の各電極にそれぞれ接続される。２つの第１コイルの他端は、第１補助電極１４及び第２補助電極１５にそれぞれ接続される。第２コモンモードチョークコイル３２となる、２つの第２コイルの一端は、第２電極対１２の各電極にそれぞれ接続される。２つの第２コイルの他端は、第１補助電極１４及び第２補助電極１５にそれぞれ接続される。第３コイル３３の一端は、第３電極１３に接続される。第３コイル３３の他端は、第１補助電極１４に接続される。

【0023】

天板部２５は、支持体２８の上面を覆う。天板部２５は、第１鍔部２２、第２鍔部２３及び第３鍔部２４に接しており、閉磁回路が形成される。

【0024】

図６及び図７は、実施形態１の複合コイル部品の周波数特性の例を説明するための説明図である。図６の横軸は、周波数を表し、縦軸は、Ｓパラメータのディファレンシャルモードからコモンモードへのモード変換透過特性（Ｓｃｄ２１）を表している。図７の横軸は、周波数を表し、縦軸は、Ｓパラメータのモード変換反射特性（Ｓｃｄ２２）を表している。図６及び図７に示す評価例において、比較例は、特許文献２に示す等価回路であり、実施例は、実施形態１の等価回路である。つまり、比較例は、実施形態１の第２コモンモードチョークコイル３２がない。

【0025】

比較例では、第３コイルは、差動伝送ラインの信号線の一方のみにインダクタンスを付与するので、モード変換特性（Ｓｃｄ２１及びＳｃｄ２２）の劣化が懸念される。これに対して、実施例では、第３コイル３３のインダクタンス成分により、差動信号の一部がコモンモードに変換されたとしても、第２コモンモードチョークコイル３２がコモンモード減衰量を大きくする。その結果、図６及び図７に示すように、第２コモンモードチョークコイル３２がある実施例は、比較例に比べ、モード変換特性（Ｓｃｄ２１及びＳｃｄ２２）が向上する。

【0026】

以上説明したように、実施形態１の複合コイル部品２０は、磁性体の支持体２８と、支持体２８に設けられた第１電極対１１、第２電極対１２、及び第３電極１３と、第１コモンモードチョークコイル３１となる２つの第１コイルと、第２コモンモードチョークコイル３２となる２つの第２コイルと、第３コイル３３と、を備える。第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２及び第３コイル３３は、支持体２８に巻き付けられる。

【0027】

これにより、第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２及び第３コイル３３は一体化されている。実施形態１の複合コイル部品２０では、第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２及び第３コイル３３をそれぞれ個別の部品とする場合と比べて、電子回路モジュール４０のプリント基板に実装する部品点数が削減され、電子回路モジュール４０のコストが低減される。

【0028】

また、Ｂｉａｓ－Ｔ回路を構成する第３コイル３３と、第１コモンモードチョークコイル３１及び第２コモンモードチョークコイル３２とが、共通の支持体２８に巻き付けられているため、複合コイル部品２０の小型化を図ることができる。

【0029】

電子回路ユニット１００は、差動伝送ラインである主線路６０の信号線の一方に電源電流を重畳する。差動伝送ラインである主線路６０の信号線の両方にインダクタを接続する場合に比べて、差動伝送ラインである主線路６０の信号線の片方にインダクタを接続するので、選定される第１コモンモードチョークコイル３１のコイルの巻き線径やコア材料に制限が小さくなり、第１コモンモードチョークコイル３１の特性の自由度を高めることができる。

【0030】

そして、複合コイル部品２０は、モード変換特性を向上させることができるので、Ｂｉａｓ－Ｔ回路を構成する第３コイル３３に起因する不要な輻射を抑制することができる。

【0031】

（実施形態２）
図８は、実施形態２の差動伝送ラインに接続する電子回路ユニットの等価回路図である。実施形態２の電子回路ユニット１００の等価回路は、コンデンサＣ１を備える点で実施形態１と異なる。なお、実施形態２では、実施形態１と同じ構成には、同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。

【0032】

図８に示すように、第１コモンモードチョークコイル３１の第１コイル及び第２コモンモードチョークコイル３２の第２コイルの各々の間にコンデンサＣ１が接続される。コンデンサＣ１は、第３コイル３３とともに、ノイズフィルタ回路（Ｂｉａｓ－Ｔ回路）の一部となる。

【0033】

図９は、実施形態２の複合コイル部品の構成を示す正面図である。図１０は、図９の底面図である。図９及び図１０に示すように、複合コイル部品２０は、第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２、第３コイル３３及び２つのコンデンサＣ１を含む。

【0034】

図９及び図１０に示すように、第１補助電極１４は、電極片１４Ａと電極片１４ＢとにスリットＳＬで分割されている。第２補助電極１５は、電極片１５Ａと電極片１５ＢとにスリットＳＬで分割されている。一方のコンデンサＣ１の各端子は、電極片１４Ａと電極片１４Ｂとにそれぞれ電気的に接続されている。他方のコンデンサＣ１の各端子は、電極片１５Ａと電極片１５Ｂとに電気的に接続されている。

【0035】

以上説明したように、第１コモンモードチョークコイル３１の第１コイル及び第２コモンモードチョークコイル３２の第２コイルの各々の間にコンデンサＣ１が接続されるので、実施形態１よりも、負荷インピーダンスの低い電源回路４２へ差動信号の高周波数成分が伝達されにくくなる。

【0036】

実施形態２の複合コイル部品２０では、第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２、第３コイル３３及びコンデンサＣ１をそれぞれ個別の部品とする場合と比べて、電子回路モジュール４０のプリント基板に実装する部品点数が削減され、電子回路モジュール４０のコストが低減される。

【0037】

（実施形態３）
図１１は、実施形態３の複合コイル部品の構成を示す正面図である。図１２は、図１１の底面図である。図１３は、図１１の第１側面の側面図である。支持体２９の第２側面は、図５と同様であるので説明を省略する。実施形態３の複合コイル部品２０は、第２コア部２６を備えない点で実施形態１と異なる。なお、実施形態３では、実施形態１と同じ構成には、同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。

【0038】

支持体２９は、第１コア部２１、第１鍔部２２、第２鍔部２３、第３鍔部２４及び天板部２５を含む。第１コア部２１、第１鍔部２２、第２鍔部２３、第３鍔部２４及び天板部２５は、Ｎｉ－Ｚｎ系フェライト等の磁性材料で形成される。

【0039】

第１コア部２１は、第２鍔部２３と第３鍔部２４とに挟まれている。第１鍔部２２、第２鍔部２３、第３鍔部２４は、第１コア部２１の外形よりも大きい。第１コア部２１、第１鍔部２２、第２鍔部２３及び第３鍔部２４は、一体成形されている。第１電極対１１の各電極と第２電極対１２の各電極とは、スリットＳＬ２で分割されている。

【0040】

天板部２５は、支持体２８の上面を覆う。天板部２５は、第１鍔部２２、第２鍔部２３及び第３鍔部２４に接しており、閉磁回路が形成される。

【0041】

第１コア部２１は、例えば四角柱、又は円柱状である。第１コア部２１には、第１コモンモードチョークコイル３１となる、２つの第１コイルが巻き付けられている。第１コア部２１には、第２コモンモードチョークコイル３２となる、２つの第２コイルが巻き付けられている。第１コア部２１には、第１コイル及び第２コイルに重畳するように、第３コイル３３が巻き付けられている。

【0042】

これにより、第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２及び第３コイル３３は一体化されている。実施形態３の複合コイル部品２０では、第１コモンモードチョークコイル３１、第２コモンモードチョークコイル３２及び第３コイル３３をそれぞれ個別の部品とする場合と比べて、電子回路モジュール４０のプリント基板に実装する部品点数が削減され、電子回路モジュール４０のコストが低減される。

【0043】

また、Ｂｉａｓ－Ｔ回路を構成する第３コイル３３と、第１コモンモードチョークコイル３１及び第２コモンモードチョークコイル３２とが、共通の第１コア部２１に巻き付けられているため、複合コイル部品２０の小型化を図ることができる。

【0044】

なお、実施形態３の複合コイル部品２０においても、実施形態２のコンデンサＣ１を備えてもよい。

【0045】

なお、上記した実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれる。

【符号の説明】

【0046】

１１ 第１電極対
１２ 第２電極対
１３ 第３電極
１４ 第１補助電極
１５ 第２補助電極
２０ 複合コイル部品
２１ 第１コア部
２６ 第２コア部
２８、２９ 支持体
３１ 第１コモンモードチョークコイル
３２ 第２コモンモードチョークコイル
３３ 第３コイル
４１ 集積回路
４２ 電源回路
６０ 主線路
１００ 電子回路ユニット
Ｃ１ コンデンサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】