特許 7582487 顕微ラマン分光装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-05

(45)【発行日】2024-11-13

(54)【発明の名称】顕微ラマン分光装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/65 20060101AFI20241106BHJP

   G01J 3/06 20060101ALI20241106BHJP

   G01J 3/44 20060101ALI20241106BHJP

   G02B 21/00 20060101ALI20241106BHJP

【ＦＩ】

G01N21/65

G01J3/06

G01J3/44

G02B21/00

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2023539715

(86)(22)【出願日】2022-06-30

(86)【国際出願番号】 JP2022026204

(87)【国際公開番号】W WO2023013325

(87)【国際公開日】2023-02-09

【審査請求日】2023-10-17

(31)【優先権主張番号】P 2021127928

(32)【優先日】2021-08-04

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100179969

【弁理士】

【氏名又は名称】駒井 慎二

(72)【発明者】

【氏名】篠山智生

【審査官】井上 徹

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－００３１９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０９６３５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０２１／０２１５５３７（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／００－２１／７４

Ｇ０１Ｊ ３／００－ ３／５２

Ｇ０２Ｂ ２１／００－２１／３６

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＩＥＥＥ Ｘｐｌｏｒｅ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

波長の異なる励起光をそれぞれ出射する複数の励起光源と、
選択された１つの前記励起光源からの励起光の照射によって試料から放射されるラマン散乱光を回折格子によって分光する分光器と、
前記分光器によって分光されたラマン散乱光を検出して光電変換する検出器と、
を備え、前記複数の励起光源は、試料から発せられる蛍光の波長とラマン散乱光の波長とが重ならないような励起光を出射するものが選択的に駆動される顕微ラマン分光装置であって、
前記分光器は、
前記選択的に駆動される励起光源の励起光に応じて放射されるラマン散乱光がそれぞれ入射する複数の入射開口と、
前記入射開口から入射するラマン散乱光を前記回折格子へと導く光学系と、
前記回折格子によって分光された複数のラマン散乱光の光束を前記検出器に結像する結像レンズと、を備え、
前記光学系は、前記入射開口の数だけ備えられ、
前記結像レンズは、前記回折格子によって分光された複数の光束が入射され、前記検出器に結像することを特徴とする顕微ラマン分光装置。

【請求項2】

前記入射開口と前記光学系及び前記回折格子は、前記励起光源と同数設けられていることを特徴とする請求項１に記載の顕微ラマン分光装置。

【請求項3】

前記結像レンズによって集光した光束を共通の前記検出器の検出面に結像させることを特徴とする請求項１～２に記載の顕微ラマン分光装置。

【請求項4】

前記各光学系は、前記入射開口から入射するラマン散乱光を反射させる反射ミラーと、該反射ミラーによって反射した光を平行化させて前記各回折格子にそれぞれ導くコリメータレンズを備えることを特徴とする請求項１～３の何れかに記載の顕微ラマン分光装置。

【請求項5】

前記反射ミラーを１つとして複数の前記光学系に共用したことを特徴とする請求項４に記載の顕微ラマン分光装置。

【請求項6】

前記励起光源として、波長５３２ｎｍの励起レーザ光を出射するレーザ発振器と、波長７８５ｎｍの励起レーザ光を出射するレーザ発振器を備えることを特徴とする請求項１～５の何れかに記載の顕微ラマン分光装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、顕微鏡の対物レンズを用いて励起光を集光させることによってμｍオーダの高い空間分解能を得ることができる顕微ラマン分光装置に関する。

【背景技術】

【0002】

物質（試料）に特定の波長の光（単色光やレーザ光など）を照射すると、その照射光が散乱され、その一部は、分子振動によって照射光の波長とは異なる微弱なラマン散乱光となる。このラマン散乱光の振動数は、分子の固有振動数に一致するため、試料を構成する分子の振動や回転に基づいた或る決まった波数（ラマンシフト）にラマン散乱光が現れる。このラマン散乱光を分光して得られるラマンスペクトルを検出することによって、試料の分子レベルの構造を解析する装置がラマン分光装置であって、このラマン分光装置は、励起光源と分光器及び検出器から構成されており、これについては今までに種々の提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

また、ラマン分光装置の光学系に顕微鏡の対物レンズを用いて照射光（励起光）を集光させることによって、μｍオーダの高い空間分解能を得ることができる顕微ラマン分光装置についての提案もなされている（例えば、特許文献２参照）。

【0004】

ところで、試料は、紫外線や可視光に対する大小様々な蛍光特性を有しているため、試料からは照射光に応じた蛍光が発せられる。ラマン分光法においては、試料の自家蛍光が強い場合には、ラマン散乱光と蛍光の波長同士が重なってしまい、ラマンスペクトルの非常に微弱なラマンピークが蛍光スペクトルに埋もれてしまうために試料の解析を高精度に行うことができないという問題が発生する。

【0005】

そこで、特許文献３には、試料に対する予備測定として蛍光観察を実行し、試料がどの励起波長のレーザ光に対してどんな波長の蛍光を発するのかを予測し、蛍光の波長とラマン散乱光の波長とが重ならないような励起レーザ光を選択することによって、試料の分析を高精度に行うことができる顕微ラマン分光装置が提案されている。具体的には、この顕微ラマン分光装置は、複数の励起レーザ光源と、これらの励起レーザ光源を切り替えるためのレーザ自動切替機を備え、分光器には、複数のアパーチャの中から最適なものに選択するアパーチャ切替手段、複数の回折格子の中から励起レーザ光に応じた適切なものに切り替える回折格子切替手段、複数のＣＣＤ検出器の中から励起レーザ光に応じた適切なものに切り替える検出器切替手段などが設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２００６－１１３０２１号公報

【文献】特開２０１７－２０７５２２号公報

【文献】特許第６７８８２９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、特許文献３において提案された顕微ラマン分光装置においては、分光器に複数（励起レーザ光源の数と同数）のアパーチャ（入射開口）と回折格子及びＣＣＤ検出器を設け、これらを波長の異なる励起レーザ光に応じて切り替えるためのアパーチャ切替手段と回折格子切替手段及び検出器切替手段によって切り替える構成を採用しているため、分光器の構造が複雑化して大型化及び高コスト化を招くという問題がある。

【0008】

また、アパーチャや回折格子、検出器をそれぞれ物理的に切り替えるための各切替手段には可動部位がそれぞれ設けられているが、これらの可動部位の位置再現性などの問題が試料の解析結果に悪影響を及ぼす可能性もある。

【0009】

本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、分光器の構造単純化によって小型化と低コスト化を実現することができるとともに、試料を常に高精度で分析することができる顕微ラマン分光装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係る顕微ラマン分光装置は、波長の異なる励起光をそれぞれ出射する複数の励起光源と、選択された１つの前記励起光源からの励起光の照射によって試料から放射されるラマン散乱光を回折格子によって分光する分光器と、前記分光器によって分光されたラマン散乱光を検出して光電変換する検出器と、を備えるものであって、前記分光器は、複数の入射開口と、前記入射開口から入射するラマン散乱光を前記回折格子へと導く光学系と、前記回折格子によって分光された複数のラマン散乱光の光束を前記検出器に結像する結像レンズと、を備え、前記光学系は、前記入射開口の数だけ備えられ、前記結像レンズは、前記回折格子によって分光された複数の光束が入射され、前記検出器に結像することを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、分光器は、波長の異なる励起光を出射する複数の励起光源に対応して、これらの励起光源と同数の入射開口と、これらの入射開口の１つから入射するラマン光を回折格子へと導く複数（励起光源と同数）の光学系を備えているため、入射開口（アパーチャ）や回折格子を切り替えるための切替手段が不要となり、また、複数の光束を１つの結像レンズで検出器に結像できるため、分光器の構造が単純化して当該分光器の小型化と低コスト化を実現することができる。

【0012】

また、試料から発せられる蛍光の波長と重ならない波長の励起光を出射する励起光源を選択し、分光器においては、選択された励起光源に対応する光学系を用いてラマン散乱光をこれに対応する回折格子に導くことができる。このため、ラマン散乱光と蛍光の波長同士が重なってしまい、ラマンスペクトルの非常に微弱なラマンピークが蛍光スペクトルに埋もれてしまうという不具合の発生が防がれ、試料の解析を常に高精度に行うことができる。

【0013】

さらに、従来必要であったアパーチャや回折格子、検出器をそれぞれ物理的に切り替えるための各切替手段が不要となるため、該切替手段の可動部位の位置再現性などの問題によって試料の解析結果に悪影響が及ぶことがなく、このことによっても試料の解析を常に高精度に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明に係る顕微ラマン分光装置の全体構成を示す図である。

【図2】本発明に係る顕微ラマン分光装置の分光器の内部構成を示す断面図である。

【図3】シクロヘキサンのラマンスペクトルを示す図であって、（ａ）は励起波長５３２ｎｍで励起した場合の図、（ｂ）は励起波長７８５ｎｍで励起した場合の図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

【0016】

図１は本発明に係る顕微ラマン分光装置の全体構成を示す図であり、図示の顕微ラマン分光装置１は、励起レーザ光Ｌ１又はＬ２が照射された試料Ｓから放射される微弱なラマン散乱光Ｒ１又はＲ２を分光して得られるラマンスペクトルによって試料Ｓの分子構造や物性などを分析するものであって、特に顕微鏡の対物レンズ６によって励起レーザ光Ｌ１又はＬ２を集光させることによって数μｍオーダの局所的な分析が可能なものであり、以下のように構成されている。

【0017】

すなわち、図１に示す顕微ラマン分光装置１は、励起光源としての２つのレーザ発振器２，３と、選択された一方のレーザ発振器２または３からの励起レーザ光Ｌ１またはＬ２の照射によって試料Ｓから放射されるラマン散乱光Ｒ１またはＲ２を分光する分光器１０と、該分光器１０によって分光されたラマン散乱光を波長（波数）ごとに検出して光電変換するＣＣＤ検出器２０と、該ＣＣＤ検出器２０によって得られた信号をラマンシフト値（波数シフト値）に変換してラマンスペクトルとして表示するパーソナルコンピュータ（ＰＣ）３０を基本的に備えている。また、この顕微ラマン分光装置１には、選択された一方のレーザ発振器２または３から出射する励起レーザ光Ｌ１またはＬ２を試料Ｓに照射するとともに、試料Ｓから放射される微弱なラマン散乱光Ｒ１またはＲ２を分光器１０へと導く光学系Ｘが設けられている。

【0018】

前記２つのレーザ発振器２，３は、波長の異なる励起レーザ光Ｌ１，Ｌ２をそれぞれ出射するものであって、一方のレーザ発振器２は、波長５３２ｎｍの励起レーザ光Ｌ１を出射し、他方のレーザ発振器３は、波長７８５ｎｍの励起レーザ光Ｌ２を出射するものである。そして、これら２つのレーザ発振器２，３からそれぞれ出射する励起レーザ光Ｌ１またはＬ２を試料Ｓに照射するとともに、試料Ｓから放射されるラマン散乱光Ｒ１またはＲ２を分光器１０へと導く光学系Ｘは、複数（７つ）の反射ミラー（平面ミラー）Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６，Ｍ７と、２つのロングパスフィルタＬＰＦ１，ＬＰＦ２と、１つのダイクロイックミラーＤＭと、２つの集光レンズ４，５及び１つの顕微鏡用の対物レンズ６を含んで構成されている。

【0019】

次に、分光器１０の内部構造の詳細を図２に基づいて以下に説明する。

【0020】

図２は分光器の内部構成を示す断面図であり、図示の分光器１０は、矩形ボックス状のケース１１内に、２つ（レーザ発振器２，３と同数）の回折格子（グレーティング）１２，１３と、１つの結像レンズ１４と、該ケース１１の天面に形成された２つ（レーザ発振器２，３と同数）の入射開口１１ａ，１１ｂの一方から入射するラマン散乱光Ｒ１またはＲ２を一方の回折格子１２または１３へと導く２つの光学系I，IIを収容して構成されている。

【0021】

ここで、一方の光学系Iは、反射ミラー１５と、コリメータレンズ１６と、回折格子１７を含んで構成されており、他方の光学系IIは、反射ミラー１５とコリメータレンズ１８を含んで構成されており、１つの反射ミラー１５は、光学系I，IIに共用されている。このように１つの反射ミラー１５を２つの光学系I，IIに共用することによって、分光器１０の構成を単純化して該分光器１０の小型・コンパクト化と低コスト化を図ることができる。また、結像レンズ１４は、１つだけ設けられており、後述のように、光学系IまたはIIによって回折格子１２または１３へと導かれて分光されたラマン散乱光Ｒ１またはＲ２を共通の１つの結像レンズ１４によって集光してＣＣＤ検出器２０の検出面２０ａに結像させる構成を採用することによっても分光器１０の構造を単純化して該分光器１０の小型・コンパクト化と低コスト化を図ることができる。

【0022】

次に、以上のように構成された顕微ラマン分光装置１の作用について説明する。

【0023】

図１において、例えば、短波長側の一方のレーザ発振器２が選択され、このレーザ発振器２が駆動（点灯）された場合、このレーザ発振器２からは図１に破線にて示す波長５３２ｎｍの励起レーザ光Ｌ１が出射する。そして、この励起レーザ光Ｌ１は、反射ミラーＭ１，Ｍ２，Ｍ３によって順次反射してロングパスフィルタＬＰＦ１へと導かれ、このロングパスフィルタＬＰＦ１で反射して反射ミラーＭ４へと導かれ、この反射ミラーＭ４で反射した後にダイクロックミラーＤＭと反射ミラーＭ５，Ｍ６によって反射して試料Ｓに向けて照射される。ここで、試料Ｓに向かう波長５３２ｎｍの励起レーザ光Ｌ１は、対物レンズ６によって集光され、これによってμｍオーダの高い空間分解能を得ることができる。

【0024】

上述のように、一方のレーザ発振器２から出射する波長５３２ｎｍの励起レーザ光Ｌ１が試料Ｓに照射されると、試料Ｓからは微弱なラマン散乱光Ｒ１が放射され、このラマン散乱光Ｒ１は、図１に実線にて示すように、反射ミラーＭ６、Ｍ５、ダイクロイックミラーＤＭ、反射ミラーＭ４によって順次反射してロングパスフィルタＬＰＦ１に至る。そして、このラマン散乱光Ｒ１は、ロングパスフィルタＬＰＦ１を透過して反射ミラーＭ７で反射した後に集光レンズ４によって集光され、分光器１０のケース１１に開口する一方の入射開口１１ａから当該分光器１０の内部へと導入される。

【0025】

他方、長波長側の他方のレーザ発振器３が選択され、このレーザ発振器３が駆動（点灯）された場合、このレーザ発振器３からは図１に破線にて示す波長７８５ｎｍの励起レーザ光Ｌ２が出射する。そして、この励起レーザ光Ｌ２は、反射ミラーＭ２，Ｍ３によって順次反射してロングパスフィルタＬＰＦ２へと導かれる。その後、励起レーザ光Ｌ２は、ロングパスフィルタＬＰＦ２で反射し、ダイクロイックミラーＤＭを透過して反射ミラーＭ５へと至り、この反射ミラーＭ５と反射ミラーＭ６で順次反射して試料Ｓに向けて照射される。ここで、試料Ｓに向かう波長７８５ｎｍの励起レーザ光Ｌ２は、対物レンズ６によって絞られ、これによってμｍオーダの高い空間分解能（本実施の形態では、直径５μｍ）を得ることができる。

【0026】

上述のように、他方のレーザ発振器３から出射する波長７８５ｎｍの励起レーザ光Ｌ２が試料Ｓに照射されると、該試料Ｓからは微弱なラマン散乱光Ｒ２が放射され、このラマン散乱光Ｒ２は、図１に実線にて示すように、反射ミラーＭ６，Ｍ５で順次反射した後、ダイクロイックミラーＤＭとロングパスフィルタＬＰＦ２を順次透過して反射ミラーＭ７へと至る。そして、このラマン散乱光Ｒ２は、反射ミラーＭ７で反射した後に集光レンズ５によって集光され、分光器１０のケース１１に開口する他方の入射開口１１ｂから分光器１０の内部へと導入される。なお、波長が異なる励起レーザ光Ｌ１，Ｌ２をそれぞれ出射する２つのレーザ発振器２，３は、試料Ｓから発せられる蛍光の波長とラマン散乱光Ｒ１またはＲ２の波長とが重ならないような励起レーザ光Ｌ１またはＬ２を出射するものが選択され、選択された一方のレーザ発振器２または３が選択的に駆動（点灯）される。

【0027】

以上のようにしてラマン散乱光Ｒ１またはＲ２が入射開口１１ａまたは１１ｂによって集光されて分光器１０内へと導入されると、ラマン散乱光Ｒ１またはＲ２は、分光器１０に設けられた図２に示す光学系IまたはIIによって回折格子１２または１３に導かれて波長ごとに分光される。

【0028】

すなわち、図２に示すように、一方の入射開口１１ａを通過した一方のラマン散乱光Ｒ１が分光器１０のケース１１内へと導入されると、このラマン散乱光Ｒ１は、光学系Iを構成する反射ミラー１５によって反射した後、コリメータレンズ１６を透過することによって平行化されて平行光束とされる。そして、この平行光束は、回折格子１７によって方向を変えられて回折格子１２へと導かれ、この回折格子１２を透過することによって波長ごとに分光される。

【0029】

他方、他方の入射開口１１ｂを通過することによって集光された他方のラマン散乱光Ｒ２が分光器１０のケース１１内へと導入されると、このラマン散乱光Ｒ２は、光学系IIを構成する共通の反射ミラー１５によって反射した後、コリメータレンズ１８を透過することによって平行化されて平行光束とされる。そして、この平行光束は、回折格子１３へと導かれ、この回折格子１３を透過することによって波長ごとに分光される。

【0030】

ところで、本実施の形態では、試料Ｓ上に直径５μｍの空間分解能を達成する一方で、分光器１０の波長分解能は、最低限必要な値と得たいエネルギとの兼ね合いで０．３μｍ程度を選択している。この０．３μｍの波長分解能に相当する入射開口１１ａ，１１ｂの直径は、本実施の形態では、約３０μｍとなるため、試料Ｓの直径５μｍの領域からのラマン散乱光Ｒ１，Ｒ２を入射開口１１ａ，１１ｂにそれぞれ入射させるためには、試料Ｓから放射されるラマン散乱光Ｒ１，Ｒ２の直径を約６倍に拡大して入射開口１１ａ，１１ｂに結像させれば良い。このため、分光器１０に入射するラマン散乱光Ｒ１，Ｒ２のＦ値はさほど小さくなくても良い（明るい光束を入射させる必要がない）。

【0031】

以上のように、ラマン散乱光Ｒ１またはＲ２が回折格子１２又は１３によって分光されると、分光されたラマン散乱光Ｒ１又はＲ２は、結像レンズ１４によってＣＣＤ検出器２０の検出面２０ａに結像される。すると、ＣＣＤ検出器２０は、分光されたラマン散乱光Ｒ１又はＲ２を波長（波数）ごとに検出して光電変換し、このＣＣＤ検出器２０によって得られた信号がパーソナルコンピュータ（ＰＣ）３０によってラマンシフト値（波数シフト値）に変換されてラマンスペクトルとして表示される。

【0032】

ところで、本実施の形態では、分光器１０に入射するラマン散乱光Ｒ１，Ｒ２のＦ値は、約６であって、一般的な明るいラマン分光装置におけるＦ値２．３の６／２．３＝２．６倍であることを考慮すると、ラマン散乱光Ｒ１，Ｒ２の平行光束は、１／２．６≒０．３８と約４０％弱程度と小さくて済む。このため、１つの結像レンズ１４にラマン散乱光Ｒ１，Ｒ２をタンデムに入射させることができ、結像レンズ１４の径を小さく抑えて該結像レンズ１４の小型・コンパクト化を図ることができ、延いては分光器１０全体の小型・コンパクト化を実現することができる。

【0033】

ここで、ラマンスペクトルの一例を図３に示す。

【0034】

図３はシクロヘキサンのラマンスペクトルを示す図であって、（ａ）は励起波長５３２ｎｍで励起した場合の図、（ｂ）は励起波長７８５ｎｍで励起した場合の図である。なお、図３（ａ），（ｂ）に示すラマンスペクトルの横軸はラマンシフト（ｃｍ^－１）、縦軸はラマン強度である。

【0035】

図３（ａ），（ｂ）から明らかなように、励起波長５３２ｎｍで励起した場合と励起波長７８５ｎｍで励起した場合の何れにおいても、同ラマンシフト（波数）においてラマン強度のピークが現れるが、励起波長によって強度比が異なり、励起波長７８５ｎｍで励起した方が励起波長５３２ｎｍで励起したよりも高い強度ピーク値を示す。

【0036】

以上の説明で明らかなように、本実施の形態に係る顕微ラマン分光装置１によれば、分光器１０は、波長の異なる励起レーザ光を出射する２つのレーザ発振器２，３に対応して、これらのレーザ発振器２，３と同数の２つの入射開口１１ａ，１１ｂと、これらの入射開口１１ａ、１１ｂの１つから入射するラマン散乱光Ｒ１又はＲ２を回折格子１２又は１３へと導く複数（レーザ発振器２，３と同数）の２つ光学系I，IIを備えているため、入射開口１１ａ，１１ｂや回折格子１２，１３を切り替えるための切替手段が不要となり、結果的に分光器１０の構造が単純化して当該分光器１０の小型化と低コスト化が実現される。

【0037】

また、試料Ｓから発せられる蛍光の波長と重ならない波長の励起レーザ光Ｌ１，Ｌ２を出射するレーザ発振器２，３を選択し、分光器１０においては、選択されたレーザ発振器２又は３に対応するは光学系IまたはIIを用いてラマン散乱光Ｒ１又はＲ２をこれに対応する回折格子１２又は１３に導くことができる。このため、ラマン散乱光Ｒ１，Ｒ２と蛍光の波長同士が重なってしまい、ラマンスペクトルの非常に微弱なラマンピークが蛍光スペクトルに埋もれてしまうという不具合の発生が防がれ、試料Ｓの解析を常に高精度に行うことができる。

【0038】

さらに、従来必要であった入射開口１１ａ，１１ｂや回折格子１２，１３、ＣＣＤ検出器２０をそれぞれ物理的に切り替えるための各切替手段が不要となるため、該切替手段の可動部位の位置再現性などの問題によって試料Ｓの解析結果に悪影響が及ぶことがなく、このことによっても試料Ｓの解析を常に高精度に行うことができる。

【0039】

なお、以上の実施の形態においては、波長の異なる励起レーザ光Ｌ１，Ｌ２をそれぞれ出射する２つのレーザ発振器２，３を備える顕微ラマン分光装置１に対して本発明を適用した形態について説明したが、本発明は、波長の異なる励起レーザ光を出射する３つ以上のレーザ発振器を備える顕微ラマン分光装置に対しても同様に適用可能である。

【0040】

また、以上の実施の形態では、波長の異なる励起レーザ光として、波長５３２ｎｍの励起レーザ光Ｌ１と波長７８５ｎｍのレーザ光Ｌ２を例として説明したが、レーザ光の波長としては他の任意の波長（例えば、４８８ｎｍ、６３３ｎｍなど）を選択することができる。

【0041】

さらに、励起光源としては、励起レーザ光を出射するレーザ発振器の他、レーザ光以外の単色光を出射する他の任意の励起光源を用いることができる。

【0042】

その他、本発明は、以上説明した実施の形態に適用が限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。

【符号の説明】

【0043】

１ 顕微ラマン分光装置
２，３ レーザ発振器（励起光源）
４，５ 集光レンズ
６ 対物レンズ
１０ 分光器
１１ 分光器のケース
１１ａ，１１ｂ 入射開口
１２，１３，１７ 回折格子
１４ 結像レンズ
１５ 反射ミラー
１６，１８ コリメータレンズ
２０ ＣＣＤ検出器（検出器）
２０ａ ＣＣＤ検出器の検出面
３０ パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
I，II 光学系
ＤＭ ダイクロイックミラー
Ｌ１，Ｌ２ 励起レーザ光（励起光）
Ｍ１～Ｍ７ 反射ミラー
Ｒ１，Ｒ２ ラマン散乱光
Ｓ 試料
Ｘ 光学系

【図1】

【図2】

【図3】