7582489 天井搬送車システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-05

(45)【発行日】2024-11-13

(54)【発明の名称】天井搬送車システム

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20241106BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20241106BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 551A

B65G1/00 501C

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2023541224

(86)(22)【出願日】2022-03-30

(86)【国際出願番号】 JP2022016114

(87)【国際公開番号】W WO2023017655

(87)【国際公開日】2023-02-16

【審査請求日】2023-11-02

(31)【優先権主張番号】P 2021131719

(32)【優先日】2021-08-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(74)【代理人】

【識別番号】100180851

【弁理士】

【氏名又は名称】▲高▼口 誠

(72)【発明者】

【氏名】小林 誠

【審査官】太田 義典

(56)【参考文献】

【文献】特開２００５－１７０５４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１９３０８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１４２７１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７２６０７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ １／００－ １／１３３

Ｂ６５Ｇ １／１４－ １／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

軌道を走行して被搬送物を搬送し、前記軌道の下方に配置された載置部に前記被搬送物を移載する保持ユニットを有する天井搬送車にティーチングユニットを保持させ、前記載置部に対する移載動作のティーチングを実行する天井搬送車システムであって、
前記保持ユニットは、
電源からの電力を供給する給電端子と、
前記ティーチングに関する情報を受信する第一通信部と、を備え、
前記ティーチングユニットは、
前記電力が供給される受電端子と、
前記ティーチングに関する情報を送信する第二通信部と、を備え、
前記保持ユニットによって前記ティーチングユニットが保持されたときに、前記受電端子と前記給電端子とが通電可能になると共に、前記第一通信部と前記第二通信部とが通信可能になる、天井搬送車システム。

【請求項2】

前記保持ユニットによって前記ティーチングユニットが保持されたときに、前記受電端子と前記給電端子とは互いに接触し、前記第一通信部と前記第二通信部とは互いに所定距離内に近接する、請求項１記載の天井搬送車システム。

【請求項3】

前記給電端子は、前記保持ユニットの下面に形成される凹部の奥側に設けられており、
前記受電端子は、前記ティーチングユニットの上面から突出かつ伸縮自在に設けられている、請求項１又は２記載の天井搬送車システム。

【請求項4】

前記凹部の開口側には、前記受電端子を前記凹部の奥側にガイドするテーパ部が形成されている、請求項３記載の天井搬送車システム。

【請求項5】

前記天井搬送車の走行を制御するコントローラを更に備えており、
前記コントローラは、
前記天井搬送車を前記ティーチングユニットが保管されている所定位置に向けて走行させると共に、前記所定位置に停止させて前記保持ユニットを下降させ、前記保持ユニットによって前記ティーチングユニットを保持させる保持制御と、
前記ティーチングユニットを保持した前記天井搬送車を、前記載置部に対応する移載位置に向けて走行させると共に、前記移載位置に停止させて前記載置部に対する移載動作を行なわせることによってティーチングデータを取得するティーチング制御と、を実行する、請求項１～４の何れか一項記載の天井搬送車システム。

【請求項6】

前記軌道は、ループ状に形成されたループ部分を有し、
前記載置部は、前記ループ部分に沿って複数配置されており、
前記コントローラは、所定の前記載置部に対する前記ティーチングが終了すると、前記ループ部分を周回走行させた後に、前記所定の載置部に隣接する別の前記載置部に対する前記ティーチングを前記天井搬送車に実行させる、請求項５記載の天井搬送車システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の一側面は、天井搬送車システムに関する。

【背景技術】

【0002】

天井付近に敷設された軌道を走行して、物品を搬送する天井搬送車が知られている。このような天井搬送車では、所定の載置部（ロードポート）に対して適切に物品を移載するために、天井搬送車を軌道のどの位置に停止させ、保持ユニット（更に詳細には、グリッパ）をどれくらい横方向に送り出し、鉛直方向を回転軸としてどれくらい回転させ、どれくらい下降させるか、を予め記憶（教示）させるティーチング作業が必要となる。例えば、特許文献１には、作業者によって天井搬送車の保持ユニットにティーチングユニットが取り付けられた後は、各載置部に対するティーチング作業が自動で実行される天井搬送車システムが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１８－１７７４２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような天井搬送車システムでは、保持ユニットがティーチングユニットを保持する動作から各載置部においてティーチングするまでの一連のティーチング作業を自動化したいという要望がある。しかしながら、上記従来の天井搬送車システムでは、ティーチングユニットへの電力供給及びティーチングユニットの制御のために、天井搬送車の保持ユニットとティーチングユニットとを有線等で電気的に接続することが必要であり、その接続作業は人手を介して行われている。この人手による接続作業が、一連のティーチング作業を自動化する上で妨げとなっている。

【0005】

そこで、本発明の一側面の目的は、一連のティーチング作業を自動化することができる、天井搬送車システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係る天井搬送車システムは、軌道を走行して被搬送物を搬送し、軌道の下方に配置された載置部に被搬送物を移載する保持ユニットを有する天井搬送車にティーチングユニットを保持させ、載置部に対する移載動作のティーチングを実行する天井搬送車システムであって、保持ユニットは、電源からの電力を供給する給電端子と、ティーチングに関する情報を受信する第一通信部と、を備え、ティーチングユニットは、電力が供給される受電端子と、ティーチングに関する情報を送信する第二通信部と、を備え、保持ユニットによってティーチングユニットが保持されたときに、受電端子と給電端子とが通電可能になると共に、第一通信部と第二通信部とが通信可能になる。

【0007】

この構成の天井搬送車システムでは、保持ユニットによってティーチングユニットが保持されることにより、受電端子と給電端子とが通電可能になると共に、第一通信部と第二通信部とが通信可能になる。これにより、保持ユニットにおいて、ティーチングユニットへの電力供給及びティーチングユニットとのティーチングに関する情報のやりとりが、人手を介した作業を必要とすることなく可能となる。この結果、一連のティーチング作業を自動化することができる。

【0008】

本発明の一側面に係る天井搬送車システムでは、保持ユニットによってティーチングユニットが保持されたときに、受電端子と給電端子とは互いに接触し、第一通信部と第二通信部とは互いに所定距離内に近接してもよい。この構成では、簡単な構成で受電端子と給電端子とを電気的に接続することができると共に、第一通信部と第二通信部とを無線通信可能な状態とすることができる。

【0009】

本発明の一側面に係る天井搬送車システムでは、給電端子は、保持ユニットの下面に形成される凹部の奥側に設けられており、受電端子は、ティーチングユニットの上面から突出かつ伸縮自在に設けられていてもよい。この構成では、給電端子は、保持ユニットの下面に形成される凹部の奥側に設けられているので、作業者が不用意に給電端子に触れる可能性を低減できる。この結果、作業者の安全性を高めることができる。更に、受電端子は、伸縮自在に設けられているので、保持ユニットがティーチングユニットを保持するときに、仮に受電端子が給電端子に強く接触したとしても、受電端子及び給電端子が損傷する可能性を低減できる。

【0010】

本発明の一側面に係る天井搬送車システムでは、凹部の開口側には、受電端子を凹部の奥側にガイドするテーパ部が形成されていてもよい。この構成では、受電端子と給電端子とを容易に接続することができる。

【0011】

本発明の一側面に係る天井搬送車システムは、前記天井搬送車の走行を制御するコントローラを更に備えており、コントローラは、天井搬送車をティーチングユニットが保管されている所定位置に向けて走行させると共に、所定位置に停止させて保持ユニットを下降させ、保持ユニットによってティーチングユニットを保持させる保持制御と、ティーチングユニットを保持した天井搬送車を、載置部に対応する移載位置に向けて走行させると共に、移載位置に停止させて載置部に対する移載動作を行なわせることによってティーチングデータを取得するティーチング制御と、を実行してもよい。この構成では、定期的なティーチング作業を自動化することができる。

【0012】

本発明の一側面に係る天井搬送車システムでは、軌道は、ループ状に形成されたループ部分を有し、載置部は、ループ部分に沿って複数配置されており、コントローラは、所定の載置部に対するティーチングが終了すると、ループ部分を周回走行させた後に、所定の載置部に隣接する別の載置部に対するティーチングを天井搬送車に実行させてもよい。この構成では、天井搬送車が一つの載置部のティーチングごとに周回走行を実行するので、ティーチングを実行する天井搬送車を原因とする、後続する他の天井搬送車の滞留を最小限に留めることができる。この結果、天井搬送車システムの稼働中においてティーチングを実行する場合であっても、天井搬送車の渋滞が発生することを低減できる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の一側面によれば、一連のティーチング作業を自動化することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す側面図である。

【図2】図２（Ａ）は、保持ユニットのベースを下方から見た斜視図である。図２（Ｂ）は、ベースに形成される凹部の断面図である。

【図3】図３は、ティーチングユニットが保持ユニットに保持されたときの給電端子と受電端子との位置関係及び第一通信部と第二通信部との位置関係を示した概略図である。

【図4】図４は、ティーチングユニットを前方から見た斜視図である。

【図5】図５は、ティーチングユニットを後方から見た斜視図である。

【図6】図６（Ａ）は、第一検知ユニットを示す正面図である。図６（Ｂ）は、第二検知ユニットを示す正面図である。

【図7】図７は、天井搬送車システムの機能構成を示したブロック図である。

【図8】図８（Ａ）～図８（Ｄ）は、一実施形態に係る天井搬送車システムによってティーチングが実行されるときの天井搬送車の動きの一例を示す図である。

【図9】図９（Ｅ）及び図９（Ｆ）は、一実施形態に係る天井搬送車システムによってティーチングが実行されるときの天井搬送車の動きの一例を示す図である。

【図10】図１０（Ａ）～図１０（Ｃ）は、従来の天井搬送車システムによってティーチングが実行されるときの天井搬送車の動きの一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図７～図１０を除く図面では、説明の便宜のために互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を示している。

【0016】

一実施形態の天井搬送車システム１００は、複数の図１に示されるような天井搬送車１と、図４及び図５に示されるようなティーチングユニット２０と、図７に示されるエリアコントローラ（コントローラ）１１０と、を備えている。

【0017】

図１に示されるように、一実施形態の天井搬送車１は、半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道Ｒに沿って走行する。一実施形態の天井搬送車１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）あるいはレチクルを収容するレチクルポッド等の容器（被搬送物）２００の搬送、及び、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられたロードポート（載置部）３００等に容器２００の移載を行う。容器２００には、一対のグリッパ１２，１２によって保持されるフランジ２２３が形成されている。

【0018】

天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット３と、ラテラルユニット４と、シータユニット５と、昇降駆動ユニット６と、保持ユニット７と、搬送車コントローラ８と、を備えている。フレームユニット２は、センターフレーム１５と、フロントフレーム１６と、リアフレーム１７と、を有している。フロントフレーム１６は、センターフレーム１５における前側（天井搬送車１の走行方向における前側）の端部から下方に延在している。リアフレーム１７は、センターフレーム１５における後側（天井搬送車１の走行方向における後側）の端部から下方に延在している。

【0019】

走行ユニット３は、センターフレーム１５の上方に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道Ｒの延在方向（Ｘ軸方向）に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道Ｒに沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム１５の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を走行方向と直交する横方向（Ｙ軸方向）に移動させる。シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、昇降駆動ユニット６及び保持ユニット７を水平面内において回動させる。昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、保持ユニット７を昇降させる。保持ユニット７は、昇降駆動ユニット６の下方に配置されている。

【0020】

図１～図３に示されるように、保持ユニット７は、ベース１１と、一対のグリッパ１２，１２と、センターコーン１９と、を有している。一対のグリッパ１２，１２は、水平方向に沿って開閉可能となるようにベース１１によって支持されている。一対のグリッパ１２，１２は、駆動モータ（図示省略）及びリンク機構（図示省略）によって開閉させられる。センターコーン１９は、フランジ２２３の挿入孔に挿入されることによって、容器２００に対して保持ユニット７が位置決めされる。本実施形態では、一対のグリッパ１２，１２が開状態のときに、グリッパ１２の保持面がフランジ２２３の下面の高さより下方となるように、保持ユニット７の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のグリッパ１２，１２が閉状態となることで、グリッパ１２の保持面がフランジ２２３の下面の下方へ進出し、この状態で昇降駆動ユニット６を上昇させることにより、一対のグリッパ１２，１２によってフランジ２２３が保持（把持）され、容器２００が保持される。

【0021】

図１及び図２には図示しないが、保持ユニット７には、走行ユニット３が走行するとき又は保持ユニット７が昇降するときの振動が容器２００に伝わることを抑制する緩衝機構が設けられてもよい。保持ユニット７は、図２（Ａ）、図２（Ｂ）及び図３に示されるように、電源から電力を供給する給電端子６３Ｂと、ティーチングユニット２０からティーチングに関する情報（後段にて詳述）を受信する第一通信部６５と、を更に備えている。

【0022】

給電端子６３Ｂは、電力制御部６３Ａを介して、走行ユニット３において高周波電流線から供給された電力が供給される部分であり、後段にて詳述するティーチングユニット２０に設けられる受電端子６１に電力を供給する。より詳細には、給電端子６３Ｂは、給電端子６３Ｂに接触した状態の受電端子６１に対して電力を供給する。

【0023】

給電端子６３Ｂは、保持ユニット７におけるベース１１の下面に形成される凹部１４の奥側に設けられている。凹部１４は、ベース１１の下面に二つ設けられている。二つの凹部１４，１４のそれぞれは、保持ユニット７によってティーチングユニット２０が保持されたときに、二つの受電端子６１，６１がそれぞれ内挿されるように形成されている。凹部１４の開口側には、受電端子６１を凹部１４の奥側にガイドするテーパ部１４ａが形成されている。

【0024】

図１及び図７に示される搬送車コントローラ８は、センターフレーム１５に配置されている。搬送車コントローラ８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read only memory）及びＲＡＭ(Random access memory)等によって構成された電子制御ユニットである。搬送車コントローラ８は、天井搬送車１の各部を制御する。

【0025】

本実施形態の搬送車コントローラ８は、予め設定された移載条件に基づき天井搬送車１の動作を制御し、ロードポート３００へ容器２００を移載させる。移載条件は、容器２００をロードポート３００へ移載するための制御パラメータである。移載条件には、容器２００をロードポート３００へ移載するときの、一対のグリッパ１２，１２のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向における各位置に関する情報と、一対のグリッパ１２，１２の水平面内の回転方向における位置であるθ方向位置に関する情報と、が含まれていてもよい。

【0026】

より詳細には、移載条件には、容器２００をロードポート３００へ移載するときの、走行ユニット３の駆動量（停止位置）と、ラテラルユニット４の駆動量と、シータユニット５の駆動量と、昇降駆動ユニット６の駆動量と、が含まれていてもよい。移載条件は、搬送車コントローラ８の記憶部（図示せず）に記憶されている。また、搬送車コントローラ８は、後段にて詳述するティーチングユニット２０が装着された際のティーチング動作も制御する。

【0027】

図７に示されるエリアコントローラ１１０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。エリアコントローラ１１０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。エリアコントローラ１１０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。

【0028】

エリアコントローラ１１０は、複数の天井搬送車１との間で通信を行い、複数の天井搬送車１を制御する。すなわち、エリアコントローラ１１０は、複数の天井搬送車１に各種指令を実行させる。例えば、エリアコントローラ１１０は、複数の天井搬送車１に搬送指令を実行させる。

【0029】

上述したような天井搬送車システム１００では、天井搬送車１による容器２００の搬送を開始するとき又はメンテナンスとして定期的にティーチングが実施される。ティーチングとは、予め設定された移載条件に従って容器２００を移載したときに、容器２００の移載位置が目標位置からどれだけずれるかを知得し、目標位置に対するずれがなくなるように天井搬送車１が実施すべき動作を記憶させることをいう。実施すべき動作の例には、移載条件に対する補正量（ティーチングに関する情報）、すなわち走行ユニット３の駆動量、ラテラルユニット４の駆動量、シータユニット５の駆動量及び昇降駆動ユニット６の駆動量が含まれる。

【0030】

本実施形態の天井搬送車システム１００では、天井搬送車１の保持ユニット７にティーチングユニット２０を保持させ、ロードポート３００に対する移載動作のティーチングを自動的に実行させる。このようなティーチングの自動的な実行は、エリアコントローラ１１０によって指令され、搬送車コントローラ８によって制御される。以下、ティーチングに用いられるティーチングユニット２０について詳細に説明する。

【0031】

図３～図７に示されるように、ティーチングユニット２０は、本体部２２と、一対の第一検知ユニット３０，３０と、第二検知ユニット４０と、第三測距センサ２７と、受電端子６１と、第二通信部６７と、ティーチング制御部２９と、を備えている。ティーチングユニット２０は、天井搬送車１によって保持可能なユニットである。ティーチングユニット２０は、容器２００と同等のサイズを有する。

【0032】

本体部２２は、フランジ２３と、第一本体部２４と、第二本体部２５と、を有している。フランジ２３は、天井搬送車１の保持ユニット７に搭載されて昇降されるグリッパ１２，１２（図１及び図２参照）に保持される。フランジ２３は、ティーチングユニット２０の上部中央に配置されている。第一本体部２４は、Ｚ軸方向に延在し、第二本体部２５から立設している。第一本体部２４には、後段にて詳述する第一検知ユニット３０，３０と、第二検知ユニット４０と、が固定される。第二本体部２５は、水平方向に延在する板状部材である。第二本体部２５は、後段にて詳述する、第一測距センサ５３、第三測距センサ２７，２７及びティーチング制御部２９が固定される。

【0033】

一対の第一検知ユニット３０，３０は、Ｘ軸方向に配列されている。第一検知ユニット３０は、支持部材３１と、リニアガイド３３と、第一規制部材３４と、タッチパネル３５と、第一測距センサ５３と、を有している。

【0034】

支持部材３１は、本体部２２に対して離接可能に設けられている。支持部材３１は、鉛直方向に延在する鉛直支持部３１ａと、水平方向に延在する水平支持部３１ｂと、を有する。鉛直支持部３１ａは、リニアガイド３３を介して本体部２２の第一本体部２４に固定される部分であり、水平支持部３１ｂは、タッチパネル３５を支持する部分である。鉛直支持部３１ａは、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ａに挿通されている。リニアガイド３３は、支持部材３１を本体部２２に対しＺ軸方向にスライド移動可能に支持する。第一規制部材３４は、本体部２２に固定されており、リニアガイド３３による支持部材３１のＺ軸方向への移動を一定範囲に規制する。具体的には、第一規制部材３４は、Ｚ軸方向に延びる孔部３１ｃ内を移動できる範囲で、支持部材３１のＺ軸方向への移動を規制する。

【0035】

タッチパネル３５は、本体部２２に対して離接可能に設けられた支持部材３１に固定されている。タッチパネル３５は、第二本体部２５に沿ったタッチ面を下面に有する。タッチパネル３５は、ロードポート３００に設置された位置決めピン３０１（図１参照）の先端に接触することで当該位置決めピン３０１の位置を検出する。

【0036】

第一測距センサ５３は、第二本体部２５に固定されている。第一測距センサ５３は、本体部２２と支持部材３１に設けられたタッチパネル３５との間の距離を検出する。第一測距センサ５３の光軸は、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ｂを介して上記支持部材３１の水平支持部３１ｂに交差するように配置されている。第一測距センサ５３は、タッチパネル３５によって位置決めピン３０１が検出された際の本体部２２とタッチパネル３５との距離をティーチング制御部２９に出力する。

【0037】

第二検知ユニット４０は、一対の第一検知ユニット３０,３０が配置される方向を正面として見たとき、一対の第一検知ユニット３０,３０の後方に配置されている。第二検知ユニット４０は、一つだけ配置されている。第一検知ユニット３０と第二検知ユニット４０とは、Ｙ軸方向（横方向）に配列されている。第二検知ユニット４０は、バンパープレート４１と、リニアガイド４３と、第二規制部材４４と、第二測距センサ５５と、を有している。

【0038】

バンパープレート４１は、鉛直方向に延在する鉛直支持部４１ａと、水平方向に延在する水平支持部４１ｂと、を有する。鉛直支持部４１ａは、リニアガイド４３を介して本体部２２の第一本体部２４に固定される部分である。水平支持部４１ｂは、板状部材であり、第一検知ユニット３０とは異なり、タッチパネル３５は固定されていない。鉛直支持部４１ａは、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ａに挿通されている。リニアガイド４３は、バンパープレート４１を本体部２２に対しＺ軸方向にスライド移動可能に支持する。第二規制部材４４は、本体部２２に固定されており、リニアガイド４３によるＺ軸方向への移動を一定範囲に規制する。具体的には、第二規制部材４４は、Ｚ軸方向に延びる孔部４１ｃ内を移動できる範囲で、バンパープレート４１のＺ軸方向への移動を規制する。

【0039】

第二測距センサ５５は、第二本体部２５に固定されている。第二測距センサ５５は、本体部２２とバンパープレート４１との間の距離を検出する。第二測距センサ５５の光軸は、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ａを介して上記バンパープレート４１の水平支持部４１ｂに交差するように配置されている。第二測距センサ５５は、バンパープレート４１が位置決めピン３０１に接触された際の本体部２２とバンパープレート４１との距離をティーチング制御部２９に出力する。

【0040】

第三測距センサ２７は、第二本体部２５に固定されており、第二本体部２５から下方に光軸が向けられている。第三測距センサ２７は、ティーチングユニット２０の下方に存在する物体との距離を計測する。第三測距センサ２７は、本体部２２とロードポート３００との距離が予め定められた距離になったことを検知すると、その旨の情報をティーチング制御部２９に出力すると共に、第一通信部６５及び第二通信部６７を介して搬送車コントローラ８に出力する。

【0041】

受電端子６１には、給電端子６３Ｂから電力が供給される。受電端子６１は、ティーチングユニット２０に備わるタッチパネル３５、第一測距センサ５３、第二測距センサ５５、第三測距センサ２７、第二通信部６７及びティーチング制御部２９に電力を供給する。受電端子６１は、ティーチングユニット２０におけるフランジ２３の上面から突出するように設けられると共に伸縮自在に設けられている。より詳細には、受電端子６１は、基端部６１Ａと先端部６１Ｂとを有しており、基端部６１Ａに対して先端部６１Ｂが上下動可能に設けられている。先端部６１Ｂは、基端部６１Ａから突出する方向に弾性部材等によって付勢されている。

【0042】

第二通信部６７は、ティーチングに関する情報を送信する。より詳細には、ティーチング制御部２９から出力されるティーチングに関する情報及び第三測距センサ２７から出力される情報を第一通信部６５及び第二通信部６７を介して搬送車コントローラ８に送信する。

【0043】

本実施形態では、保持ユニット７によってティーチングユニット２０が保持されたときに、受電端子６１と給電端子６３Ｂとが通電可能になると共に、第一通信部６５と第二通信部６７とが通信可能になる。より詳細には、保持ユニット７によってティーチングユニット２０が保持されたときに、受電端子６１と給電端子６３Ｂとは互いに接触し、第一通信部６５と第二通信部６７とは互いに所定距離内（例えば、５０ｍｍ以内）に近接する。第一通信部６５と第二通信部６７とは、既存の通信規格の近距離無線通信によって情報をやりとりする装置である。

【0044】

ティーチング制御部２９は、ティーチングユニット２０の各種機能を制御する制御ユニットである。ティーチング制御部２９は、ティーチングに関する情報を第一通信部６５及び第二通信部６７を介して搬送車コントローラ８へ出力する。具体的には、ティーチング制御部２９は、初期設定として記憶された移載条件に基づいて、走行ユニット３が軌道Ｒの所定位置に停止し、保持ユニット７が所定距離下降させられた状態で、一対のグリッパ１２，１２の位置が初期設定として記憶された移載条件からどれだけずれているか（移載条件に対する補正量）を、タッチパネル３５，３５で検出した位置決めピン３０１（図１参照）の位置に関する情報から算出し、当該移載条件に対する補正量をティーチングに関する情報として、第一通信部６５及び第二通信部６７を介して搬送車コントローラ８へ出力する。

【0045】

本実施形態のティーチングユニット２０は、一対のタッチパネル３５，３５及びバンパープレート４１が位置決めピン３０１に接触した際の本体部２２と一対のタッチパネル３５，３５のそれぞれとの距離Ｌ１，Ｌ２及び本体部２２とバンパープレート４１との距離Ｌ３が、第一測距センサ５３及び第二測距センサ５５により取得される。ティーチング制御部２９は、Ｘ軸方向に配列される距離Ｌ１，Ｌ２、Ｙ軸方向に配列される距離Ｌ１，Ｌ３又はＹ軸方向に配列される距離Ｌ２，Ｌ３に基づいて、本体部２２に対するロードポート３００の相対的な傾斜角度（水平面内におけるＸ軸周り又はＹ軸周りの傾き）を公知の方法から算出し、移載条件に対する補正量を算出することができる。

【0046】

本実施形態の天井搬送車システム１００では、ティーチングユニット２０のタッチパネル３５を位置決めピン３０１（図１参照）に対して接触及び離反を繰り返す動作（以下、単に「繰り返し動作」と称する。）が実行される。ティーチング制御部２９は、当該繰り返し動作が複数回繰り返し実施された後、当該検出結果に基づいて、移載条件又は移載条件に対する補正量を算出する。繰り返し動作は、第一測距センサ５３、第二測距センサ５５、第三測距センサ２７及び一対のタッチパネル３５，３５による検出結果に基づいて、搬送車コントローラ８が保持ユニット７を制御することによって実行される。この繰り返し動作により、補正量の算出に問題とならない程度までティーチングユニット２０の揺れを減少させることができる。

【0047】

上述したようにエリアコントローラ１１０は、天井搬送車１を制御して保持ユニット７にティーチングユニット２０を保持させ、ティーチングユニット２０を用いて移載動作のティーチングを実行させる。より詳細には、エリアコントローラ１１０は、天井搬送車１をティーチングユニット２０が保管されているバッファ等の保管箇所に向けて走行させると共に、当該保管箇所に停止して保持ユニット７を下降させ、保持ユニット７によってティーチングユニット２０を保持させる保持制御と、ティーチングユニット２０を保持した天井搬送車１を、ロードポート３００に対する移載位置に向けて走行させると共に、当該移載位置に停止してロードポート３００に対して移載動作を行なわせることによってティーチングデータを取得するティーチング制御と、を実行する。

【0048】

また、本実施形態のエリアコントローラ１１０は、上記保持制御のあと、複数のロードポート３００に対してティーチング制御を実行する。本実施形態の天井搬送車システム１００では、図８及び図９に示されるように、軌道Ｒは、ループ状に形成されたループ部分Ｐ１を有している。複数のロードポート３００は、ループ部分Ｐ１に沿って複数（本実施形態では三つ）配置されている。ティーチングユニット２０が保管されている上述のバッファは、図示はしないがロードポート３００と同様に、軌道Ｒの下方に配置されている。

【0049】

エリアコントローラ１１０は、ティーチングユニット２０を保持した天井搬送車１を所定のロードポート３００に対する移載位置に向けて走行させる。エリアコントローラ１１０は、天井搬送車１を所定のロードポート３００に対する移載位置に停止させ、所定のロードポート３００に対してティーチングを実行させる（図８（Ａ）参照）。エリアコントローラ１１０は、所定のロードポート３００に対してティーチングが終了すると、ループ部分Ｐ１を周回走行した後に（図８（Ｂ）参照）、先のロードポート３００に隣接する別のロードポート３００に対する移載位置に向けて走行させる。

【0050】

エリアコントローラ１１０は、天井搬送車１を別のロードポート３００に対する移載位置に停止させ、別のロードポート３００に対してティーチングを実行させる（図８（Ｃ）参照）。エリアコントローラ１１０は、別のロードポート３００に対してティーチングが終了すると、ループ部分Ｐ１を周回走行した後に（図８（Ｄ）参照）、別のロードポート３００に隣接する更なる別のロードポート３００に対する移載位置に向けて走行させる。

【0051】

エリアコントローラ１１０は、天井搬送車１を更なる別のロードポート３００に対する移載位置に停止させ、更なる別のロードポート３００に対してティーチングを実行させる（図９（Ｅ）参照）。エリアコントローラ１１０は、更なる別のロードポート３００に対してティーチングが終了すると、ティーチングユニット２０が保管されているバッファ等の保管箇所に向けて走行させる（図９（Ｆ）参照）。エリアコントローラ１１０は、当該保管箇所に停止して保持ユニット７を下降させ、保持ユニット７によって保持されたティーチングユニット２０をバッファに載置させる。

【0052】

このような一連のティーチングは、エリアコントローラ１１０が何らかのトリガーに基づいて自動的に実施するように構成してもよい。トリガーの例には、スケジュールに従った実行日が到来したとき、容器２００をロードポート３００に移載したときに発生する振動値が閾値を超えたとき、移載異常又はその徴候となる事象が出現したとき等が含まれる。

【0053】

エリアコントローラ１１０は、このようにして取得された各ロードポート３００のティーチングに関する情報を記憶すると共に各天井搬送車１に送信する。各天井搬送車１は、搬送車コントローラ８に記憶された移載条件と、エリアコントローラ１１０から送信されたティーチングに関する情報とに基づいて、容器２００を各ロードポート３００に移載する。

【0054】

上記実施形態の天井搬送車システム１００における作用効果について説明する。上記実施形態の天井搬送車システム１００では、保持ユニット７によってティーチングユニット２０が保持されたときに、受電端子６１と給電端子６３Ｂとが通電可能になると共に、第一通信部６５と第二通信部６７とが通信可能になる。これにより、ティーチングユニット２０への電力供給及びティーチングユニット２０とのティーチングに関する情報のやりとりが、人手を介した作業を必要とすることなく可能となる。この結果、一連のティーチング作業を自動化することができる。

【0055】

上記実施形態の天井搬送車システム１００では、保持ユニット７によってティーチングユニット２０が保持されたときに、受電端子６１と給電端子６３Ｂとは互いに接触し、第一通信部６５と第二通信部６７とは互いに所定距離内に近接する。これにより、簡単な構成で受電端子６１と給電端子６３Ｂとを電気的に接続することができると共に、第一通信部６５と第二通信部６７と無線通信可能な状態することができる。また、上記実施形態の天井搬送車システム１００のティーチングユニット２０は、受電端子６１及び給電端子６３Ｂを介して電力を得ることができるので、バッテリー等を搭載する必要がなく、充電作業の実施やバッテリーの管理等の手間を省くことができる。

【0056】

上記実施形態の天井搬送車システム１００の給電端子６３Ｂは、図２（Ａ）に示されるように、保持ユニット７の下面に形成される凹部１４の奥側に設けられているので、作業者が不用意に給電端子６３Ｂに触れる可能性を低減できる。この結果、作業者の安全性を高めることができる。更に、受電端子６１は、伸縮自在に設けられているので、保持ユニット７がティーチングユニット２０を保持するときに、仮に受電端子６１が給電端子６３Ｂに強く接触したとしても、受電端子６１及び給電端子６３Ｂが損傷する可能性を低減できる。

【0057】

上記実施形態の天井搬送車システム１００の凹部１４の開口側には、図２（Ｂ）に示されるように、受電端子６１を凹部１４の奥側にガイドするテーパ部１４ａが形成されているので、受電端子６１と給電端子６３Ｂとを容易に接続することができる。

【0058】

上記実施形態の天井搬送車システム１００では、エリアコントローラ１１０が、所定のバッファに載置されているティーチングユニット２０を保持ユニット７に保持させる保持制御と、ティーチングユニット２０を保持した天井搬送車１に所定のロードポート３００のティーチングデータを取得するティーチング制御と、を実行している。これにより、定期的なティーチングを自動化することができる。

【0059】

上記実施形態の天井搬送車システム１００のエリアコントローラ１１０は、図８及び図９に示されるように、天井搬送車１による所定のロードポート３００に対するティーチングが終了すると、ループ部分Ｐ１を周回走行させた後に、所定のロードポート３００に隣接する別のロードポート３００に対するティーチングを実行させる。

【0060】

ここで、従来のティーチング制御について説明する。搬送車コントローラは、ティーチングユニット２０を保持した天井搬送車１を所定のロードポート３００に対する移載位置に向けて走行させる。搬送車コントローラは、天井搬送車１を所定のロードポート３００に対する移載位置に停止させ、所定のロードポート３００に対してティーチングを実行させる（図１０（Ａ）参照）。搬送車コントローラは、天井搬送車１による所定のロードポート３００に対するティーチングが終了すると、ループ部分Ｐ１を周回走行させることなく、先のロードポート３００に隣接する別のロードポート３００に対する移載位置に天井搬送車１を移動させる。搬送車コントローラは、天井搬送車１を別のロードポート３００に対する移載位置に停止させ、別のロードポート３００に対してティーチングを実行させる（図１０（Ｂ）参照）。

【0061】

搬送車コントローラは、別のロードポート３００に対するティーチングが終了すると、ループ部分Ｐ１を周回走行させることなく、別のロードポート３００に隣接する更なる別のロードポート３００に対する移載位置に天井搬送車１を移動させる。搬送車コントローラは、天井搬送車１を更なる別のロードポート３００に対する移載位置に停止させ、更なる別のロードポート３００に対してティーチングを実行させる（図１０（Ｃ）参照）。このような制御では、ティーチングユニット２０を保持する天井搬送車１が三つのロードポート３００に対するティーチングを連続して実施するので、後続の天井搬送車１Ａが長く滞留する。

【0062】

この点、上記実施形態のエリアコントローラ１１０は、一つのロードポート３００でのティーチングごとに天井搬送車１に周回走行を実行させるので、ティーチングを実行する天井搬送車１の後続する他の天井搬送車１Ａの滞留を最小限に留めることができる。この結果、天井搬送車システム１００の稼働中においてティーチングを実行する場合であっても、天井搬送車１Ａの渋滞が発生することを低減できる。

【0063】

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0064】

上記実施形態の天井搬送車システム１００では、ティーチングユニット２０を保持する天井搬送車１が各ロードポート３００に対してティーチングを実行する例を挙げて説明したが、天井搬送車１ごとの特性（すなわち機差）を取得し、天井搬送車１ごとに保持ユニット７の状態を適切に調整することもできる。具体的には、エリアコントローラ１１０は、天井搬送車１ごとに保持ユニット７にティーチングユニット２０を保持させ、移載条件（又は、移載条件及び上述の方法によって取得したティーチングに関する情報）に基づいてティーチングユニット２０を各ロードポート３００に移載したときに、各ロードポート３００ごとにティーチングユニット２０が取得する情報に基づいて、天井搬送車１ごと、ロードポート３００ごとの特性を算出する。

【0065】

ティーチングユニット２０が取得する情報とは、タッチパネル３５、第一測距センサ５３及び第二測距センサ５５から得られる情報であり、更に詳細には位置決めピン３０１の位置に関する情報、一対のタッチパネル３５，３５及びバンパープレート４１が位置決めピン３０１に接触した際の本体部２２と一対のタッチパネル３５，３５のそれぞれとの距離Ｌ１，Ｌ２及び本体部２２とバンパープレート４１との距離Ｌ３に関する情報である。エリアコントローラ１１０は、このようにして得られた天井搬送車１ごとの特性を記憶すると共に各天井搬送車１に送信する。各天井搬送車１は、搬送車コントローラ８に記憶された移載条件と、エリアコントローラ１１０から送信されたロードポート３００ごとのティーチングに関する情報と、天井搬送車１ごとの特性とに基づいて、容器２００を各ロードポート３００に移載する。

【0066】

上記実施形態及び変形例の天井搬送車システム１００では、ベース１１に形成された凹部１４の奥側に給電端子６３Ｂが配置されている例を挙げて説明したが、例えば、グリッパ１２がティーチングユニット２０を保持したときに、給電端子６３Ｂがグリッパ１２に押し出されて突出（進出）する構成としてもよい。この構成であっても、作業者が不用意に給電端子６３Ｂに触れる可能性を低減できる。

【符号の説明】

【0067】

１…天井搬送車、７…保持ユニット、８…搬送車コントローラ、１１…ベース、１２…グリッパ、１４…凹部、１４ａ…テーパ部、２０…ティーチングユニット、２３…フランジ、２９…ティーチング制御部、６１…受電端子、６３Ａ…電力制御部、６３Ｂ…給電端子、６５…第一通信部、６７…第二通信部、１００…天井搬送車システム、１１０…エリアコントローラ（コントローラ）、２００…容器（被搬送物）、３００…ロードポート（載置部）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】