特許 7584047 部品装着装置及び部品装着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-07

(45)【発行日】2024-11-15

(54)【発明の名称】部品装着装置及び部品装着方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20241108BHJP

   H05K 13/08 20060101ALI20241108BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

H05K13/08 B

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021073908

(22)【出願日】2021-04-26

(65)【公開番号】P2022168444

(43)【公開日】2022-11-08

【審査請求日】2024-02-16

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(74)【代理人】

【識別番号】100137235

【弁理士】

【氏名又は名称】寺谷 英作

(74)【代理人】

【識別番号】100131417

【弁理士】

【氏名又は名称】道坂 伸一

(72)【発明者】

【氏名】衛藤 亮介

(72)【発明者】

【氏名】永冶 利彦

(72)【発明者】

【氏名】石本 憲一郎

(72)【発明者】

【氏名】池田 徹

【審査官】森林 宏和

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－１１８５６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１５／１５１２４６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００２－２４６８００（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００ － １３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

装着ヘッドに取り付けられた複数の吸着ノズルを用いて部品を基板に装着する部品装着装置であって、
部品の装着状態に関する情報である第１情報に基づいて装着不具合を検出し、前記複数の吸着ノズルの中、不良の可能性がある第１吸着ノズルを検出する検出部と、
前記装着ヘッドにおいて前記第１吸着ノズルが取り付けられた第１位置から、前記装着ヘッドにおける第２位置へと前記第１吸着ノズルの取り付け位置を変更して、部品の装着動作を継続するように前記装着ヘッドを制御する制御部と、
前記取り付け位置の変更後の部品の装着状態に関する情報である第２情報に基づいて、前記装着不具合が前記第１吸着ノズルに起因するか否かを判定する判定部とを備える、
部品装着装置。

【請求項2】

前記第２位置に取り付けられた前記第１吸着ノズルにおいて前記装着不具合が発生した場合、前記判定部は、前記装着不具合が前記第１吸着ノズルに起因すると判定する、
請求項１に記載の部品装着装置。

【請求項3】

前記複数の吸着ノズルは、前記第１吸着ノズルと等価な第２吸着ノズルを含み、
前記第２吸着ノズルは、前記第２位置に取り付けられており、
不良の可能性がある前記第１吸着ノズルが検出された場合、前記制御部は、
前記装着ヘッドに取り付けられていない予備の吸着ノズルを保管しているノズル交換部へと前記装着ヘッドから前記第１吸着ノズルと前記第２吸着ノズルとを返却し、
前記第１吸着ノズルを取り外した前記装着ヘッドの前記第１位置に前記第２吸着ノズルを取り付け、
前記第２吸着ノズルを取り外した前記装着ヘッドの前記第２位置に前記第１吸着ノズルを取り付け、
前記装着動作を継続するように前記装着ヘッドを制御する、
請求項１又は２に記載の部品装着装置。

【請求項4】

前記第２位置に取り付けられた前記第１吸着ノズルにおいて前記装着不具合が発生しない場合、前記制御部は、
前記ノズル交換部へと前記装着ヘッドから前記第１吸着ノズルと前記第２吸着ノズルとを返却し、
前記第１吸着ノズルを取り外した前記装着ヘッドの前記第２位置に前記第２吸着ノズルを取り付け、
前記第２吸着ノズルを取り外した前記装着ヘッドの前記第１位置に前記第１吸着ノズルを取り付け、
前記装着動作を継続するように前記装着ヘッドを制御する、
請求項３に記載の部品装着装置。

【請求項5】

前記複数の吸着ノズルは、前記第１吸着ノズルと等価な吸着ノズルを複数含み、
前記第２吸着ノズルは、複数の前記等価な吸着ノズルの中、最も装着不具合が少ない、
請求項４に記載の部品装着装置。

【請求項6】

少なくとも前記判定部の判定結果を出力する出力部をさらに備える、
請求項１から５のいずれか１項に記載の部品装着装置。

【請求項7】

前記第１情報と前記第２情報とは、前記装着動作のエラーに関する情報である、
請求項１から６のいずれか１項に記載の部品装着装置。

【請求項8】

前記第１情報と前記第２情報とは、前記基板における部品の装着位置の検査結果に関する情報である、
請求項１から６のいずれか１項に記載の部品装着装置。

【請求項9】

部品装着装置を用いて部品を基板に装着する部品装着方法であって、
前記部品装着装置は、装着ヘッドと、前記装着ヘッドに取り付けられた複数の吸着ノズルとを有し、
前記部品装着方法は、
部品の装着状態に関する情報である第１情報に基づいて装着不具合を検出し、前記複数の吸着ノズルの中、不良の可能性がある第１吸着ノズルを検出し、
前記装着ヘッドにおいて前記第１吸着ノズルが取り付けられた第１位置から、前記装着ヘッドにおける第２位置へと前記第１吸着ノズルの取り付け位置を変更して、部品の装着動作を継続し、
前記取り付け位置の変更後の部品の装着状態に関する第２情報に基づいて、前記装着不具合が前記第１吸着ノズルに起因するか否かを判定する、
部品装着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、部品装着装置及び部品装着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の特許文献１には、流量計測部から部品供給部への吸着ノズルの移動範囲の間で吸着ノズルが一時停止する位置に、エア流量が計測された吸着ノズルの判定が不良である場合に、その不良と判定された吸着ノズルを新たな吸着ノズルと自動的に交換するノズル交換部を設けた部品装着装置が開示されている。

【0003】

また、従来の特許文献２には、部品を実装するに際し、吸着ノズルによる部品の吸着状態を確認し、吸着状態が不良である第１の吸着ノズルを検出しかつ装着ヘッドに装着されている吸着ノズルの中に不良吸着ノズルと等価な第２の吸着ノズルが存在していることを検出した場合には、装着ヘッドに装着されていない予備の保管吸着ノズルを保管しているノズル交換部へ、装着ヘッドから第１、第２の吸着ノズルを返却し、第１の吸着ノズルを取り外した装着ヘッドの位置に第２の吸着ノズルを装着して実装動作を継続する電子部品実装機が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第３９０１３４４号公報

【文献】特開２００２－２４６８００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１の部品装着装置では、不良と判定された吸着ノズルを新たな吸着ノズルと自動的に交換する場合、生産を一時的に停止させるため、時間を要することになる。

【0006】

また、特許文献２の電子部品実装機では、吸着ノズルを交換後の状況を監視したり、一定期間後に確認したりするため、時間を要することになる。

【0007】

そこで、本開示は、生産の時間的損失の発生を抑制することができる部品装着装置及び部品装着方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の一態様に係る部品装着装置は、装着ヘッドに取り付けられた複数の吸着ノズルを用いて部品を基板に装着する部品装着装置であって、部品の装着状態に関する情報である第１情報に基づいて装着不具合を検出し、前記複数の吸着ノズルの中、不良の可能性がある第１吸着ノズルを検出する検出部と、前記装着ヘッドにおいて前記第１吸着ノズルが取り付けられた第１位置から、前記装着ヘッドにおける第２位置へと前記第１吸着ノズルの取り付け位置を変更して、部品の装着動作を継続するように前記装着ヘッドを制御する制御部と、前記取り付け位置の変更後の部品の装着状態に関する情報である第２情報に基づいて、前記装着不具合が前記第１吸着ノズルに起因するか否かを判定する判定部とを備える。

【発明の効果】

【0009】

本開示の部品装着装置及び部品装着方法によれば、生産の時間的損失の発生を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施の形態に係る部品実装システムを示す図である。

【図2】図２は、実施の形態に係る部品装着装置を示す平面図である。

【図3】図３は、実施の形態に係る部品装着装置に用いられる装着ヘッドを示す斜視図である。

【図4】図４は、実施の形態に係る部品装着装置における真空吸引系統及びエアブロー系統の構成を示すブロック図である。

【図5】図５は、実施の形態に係る部品装着装置の制御系の構成を示すブロック図である。

【図6】図６は、実施の形態に係る部品装着装置の処理動作を示すフローチャートである。

【図7】図７は、実施の形態に係る部品装着装置の第１吸着ノズルと第２吸着ノズルとの取り付け位置を変更する様子を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

【0012】

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。また、以下の実施の形態において、略水平等の表現を用いている。例えば、略水平は、完全に水平であることを意味するだけでなく、実質的に水平である、すなわち、例えば数％程度の誤差を含むことも意味する。また、略水平は、本開示による効果を奏し得る範囲において水平という意味である。他の「略」を用いた表現についても同様である。

【0013】

また、以下の実施の形態では、基板搬送方向をＸ軸方向（図１における左右方向）と規定し、基板搬送方向と直交する方向であり水平面と平行な方向をＹ軸方向と規定し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と直交する方向をＺ軸方向（上下方向）と規定する。

【0014】

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

【0015】

（実施の形態）
＜構成：部品装着装置１＞
図１は、実施の形態に係る部品実装システム１ｂを示す図である。図２は、実施の形態に係る部品装着装置１の平面図である。

【0016】

図１及び図２に示すように、部品実装システム１ｂは、基板３に部品（電子部品）を実装して実装基板（電子回路基板）を製造することができる。部品実装システム１ｂは、検査装置１ｄ、及び、部品装着装置１等を備えている。これら装置は、通信ネットワークを介して管理コンピュータ１ｃに接続されている。

【0017】

検査装置１ｄは、部品装着装置１により部品を実装された実装後の基板３における部品の実装状態を検査し、正しい装着位置からの位置ズレの状態を検出する。検査装置１ｄは、１つの基板３に実装されている全ての部品についての位置ズレの状態を示す情報を纏めた、実装基板についての基板検査情報を生成する。検査装置１ｄは、検査結果として生成した基板検査情報を管理コンピュータ１ｃに出力したり、装置記憶部３１に出力したりする。

【0018】

管理コンピュータ１ｃは、検査装置１ｄ及び部品装着装置１等を管理するライン管理機能を有している。例えば、管理コンピュータ１ｃは、検査装置１ｄによって取得された基板検査情報に基づいて、部品装着装置１による基板３への部品の実装時の精度を表す評価値を算出する。

【0019】

部品装着装置１では、部品を基板３の所定位置に装着して実装基板を製造することができる。なお、部品装着装置１では、電子部品以外の部品を装着対象物に装着することもできる。

【0020】

本実施の形態の部品装着装置１は、基台１ａ、基板搬送部２、部品供給部４、Ｙ軸ビーム６、Ｘ軸ビーム７、装着ヘッド８、部品認識カメラ１１、ノズル交換部１０、及び、基板認識カメラ１２を備えている。

【0021】

基台１ａは、基板３及び基板搬送部２等を配置することが可能である。基台１ａには、その上面に、Ｘ軸方向に沿って延びる基板搬送部２が配設されている。

【0022】

基板搬送部２は、上流側装置から受け渡された基板３を搬送することで、実装作業位置に基板３を位置決めして保持する。基板搬送部２に対するＹ軸方向の両側には、部品供給部４がそれぞれ配置されている。

【0023】

部品供給部４は、装着ヘッド８が部品を取り出すため、言い換えれば、装着ヘッド８に部品を供給するための構造体である。部品供給部４には、複数のテープフィーダ５が並設して装着されている。テープフィーダ５は部品を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、部品実装機構を構成する装着ヘッド８は、装着位置に部品を位置させることができる。

【0024】

また、基台１ａの上面におけるＸ軸プラス方向側の一端部には、長尺状のＹ軸ビーム６がＹ軸方向に沿って略水平に配設されている。また、Ｙ軸ビーム６には、長尺状の一対のＸ軸ビーム７がＹ軸方向に沿ってスライド自在に装着されている。

【0025】

一対のＸ軸ビーム７のうちの一方が基板搬送部２に対してＹ軸プラス方向側に配設され、一対のＸ軸ビーム７のうちの他方が基板搬送部２に対してＹ軸マイナス方向側に配設されている。また、一対のＸ軸ビーム７は、Ｘ軸方向に沿って略水平に配設されている。

【0026】

一対のＸ軸ビーム７は、Ｙ軸ビーム６が有するリニア駆動機構によってＹ軸方向に移動することができる。一対のＸ軸ビーム７のそれぞれには、装着ヘッド８がスライド自在に装着されている。

【0027】

装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９を有している。また、装着ヘッド８は、Ｘ軸ビーム７が有するリニア駆動機構によりＸ軸方向に沿って移動することができる。

【0028】

リニア駆動機構の駆動によってＸ軸ビーム７及び装着ヘッド８がＸ－Ｙ平面において、自在に移動することにより、装着ヘッド８は、ノズルユニット９に設けられた複数の吸着ノズル１５によって、それぞれの部品供給部４に配置されたテープフィーダ５から部品を真空吸引（部品を吸着）して取り出し、基板３の上方に移動して部品を基板３の装着位置に搭載する。

【0029】

また、基台１ａにおいて基板搬送部２とそれぞれの部品供給部４との間には、部品認識カメラ１１及びノズル交換部１０が配設されている。部品供給部４から部品を取り出した装着ヘッド８が部品認識カメラ１１の上方を通過することにより、部品認識カメラ１１は、装着ヘッド８が通過する撮像タイミングで、装着ヘッド８に装着された複数の吸着ノズル１５のうちの第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２に保持された状態の部品を撮像する。このため、部品認識カメラ１１は、複数の吸着ノズル１５のうちの第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２に吸着された部品を認識することができる。具体的には、部品認識カメラ１１は、第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａとして、第２吸着ノズル１５ｂ２の吸着面、又は、第２吸着ノズル１５ｂ２の長さを認識する。本実施の形態では、第２吸着ノズル１５ｂ２は、第１吸着ノズル１５ｂ１と並んで設けられている。また、第１吸着ノズル１５ｂ１及び第２吸着ノズル１５ｂ２を総称して吸着ノズル１５と呼ぶことがある。

【0030】

また、部品認識カメラ１１が第１吸着ノズル１５ｂ１に吸着された部品及び第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａを認識する場合、部品認識カメラ１１は、第１照明条件で部品を認識したり、第１照明条件とは異なる第２照明条件で先端部１５ａを認識したりする。

【0031】

ノズル交換部１０は、吸着ノズル１５が複数配列されており、装着ヘッド８がノズル交換部１０にアクセスすることにより、吸着ノズル１５の着脱を行う。これにより、装着ヘッド８には、部品に応じた吸着ノズル１５を装着することができる。

【0032】

また、第１吸着ノズル１５ｂ１及び第２吸着ノズル１５ｂ２は、部品を吸着（真空吸着）することができ、吸着した部品を離間させたりすることができる。また、第１吸着ノズル１５ｂ１及び第２吸着ノズル１５ｂ２は、このような真空吸着だけでなく、ブローしたりすることもできる。

【0033】

装着ヘッド８が取り付けられている結合プレート８ａには、Ｘ軸ビーム７の下面側に位置し、装着ヘッド８と一体的に移動する基板認識カメラ１２が配設されている。基板認識カメラ１２は、撮像方向を下向きにした姿勢で結合プレート８ａに配設されている。基板搬送部２に保持された基板３の上方に装着ヘッド８を移動させることにより、基板認識カメラ１２は、基板３の位置認識マーク等を撮像したり、部品実装後に基板３の上方に移動して基板３に搭載された部品を撮像したりする。

【0034】

部品認識カメラ１１、及び、基板認識カメラ１２によって取得された画像データを画像認識処理することにより、装着ヘッド８において吸着ノズル１５に保持された状態の部品の位置ズレ、及び、基板搬送部２に保持された基板３の位置ズレを検出することができる。装着ヘッド８は、部品実装動作において、これらの位置ズレを加味して、位置を補正して部品を基板３の装着位置に実装する。

【0035】

次に、装着ヘッド８について、図２及び図３を用いて説明する。図３は、実施の形態に係る部品装着装置１に用いられる装着ヘッド８を示す斜視図である。

【0036】

図２及び図３に示すように、装着ヘッド８は、結合プレート８ａを介してＸ軸ビーム７に装着されている。装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９を並べた状態で配置している。それぞれのノズルユニット９は、ノズル駆動部９ａからノズル軸１３を下方に延出させるように配置している。ノズル軸１３の下端部に結合されたノズル装着部１４には、複数の吸着ノズル１５が着脱自在に装着されている。それぞれのノズル駆動部９ａは、ノズル軸１３と結合された昇降軸をリニアモータにより昇降させるノズル昇降機構を有している。ノズル駆動部９ａが駆動することにより、ノズル装着部１４に装着された複数の吸着ノズル１５は、個別に昇降する。このような、装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９の他に、ノズル駆動部９ａ、ノズル軸１３、ノズル装着部１４及び吸着ノズル１５を有している。なお、装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９、複数のノズル駆動部９ａ、複数のノズル軸１３、複数のノズル装着部１４及び複数の吸着ノズル１５を有しているが、特に言及しない限り、１つのノズルユニット９、１つのノズル駆動部９ａ、１つのノズル軸１３、１つのノズル装着部１４及び１つの吸着ノズル１５について説明する。

【0037】

吸着ノズル１５は、真空吸引する部品のサイズ、及び、形状に応じて複数の種類が用意されている。例えば、大きなサイズの部品には、吸着ノズル１５の下端部における図３の吸着面１５ａ１が大きな吸着ノズル１５が使用される。

【0038】

また、装着ヘッド８は、装着する吸着ノズル１５の種類に応じて複数の種類が用意されている。例えば、大きな部品を吸着する大きな吸着ノズル１５を装着する場合は、大きなノズルユニット９を有する装着ヘッド８が使用される。

【0039】

次に、真空吸引系統及びエアブロー系統について、図２～４を用いて説明する。図４は、実施の形態に係る部品装着装置１における真空吸引系統及びエアブロー系統の構成を示すブロック図である。

【0040】

図２～４に示すように、ノズル軸１３は、ノズル装着部１４を挿通して吸着ノズル１５に連通している。ノズル軸１３の内部に設けられた流路孔は、流量センサ１６を介して出力経路１７に接続されている。すなわち、ノズル軸１３の吸引孔と出力経路１７は、流量センサ１６及び出力経路１７を介して、切換バルブ１８の出力ポートＡ１に接続されることで、切換バルブ１８と吸着ノズル１５とを接続する吸引・エアブロー回路となる。

【0041】

流量センサ１６は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。つまり、流量センサ１６は、複数の吸着ノズル１５における所定の吸着ノズル１５の内部を流れる空気の流量を計測する。例えば、流量センサ１６は、流量センサ１６からノズル軸１３の方向（矢印ａ）に流れ出る正方向と、ノズル軸１３から流量センサ１６の方向（矢印ｂ）に流れ込む負方向の、正逆２方向の空気の流量を計測する。言い換えれば、流量センサ１６は、吸着ノズル１５が吸引した場合の真空流量、又は、吸着ノズル１５がブローした場合のブロー流量を計測する。流量センサ１６は、吸引流量の計測結果、及び、ブロー流量の計測結果をノズル制御部２３が有する第１判定部２５に出力する。

【0042】

切換バルブ１８は、２つの入力ポートＰ１、Ｐ２と出力ポートＡ１を有する電磁弁等で構成されている。切換バルブ１８では、外部からの選択信号により、入力ポートＰ１から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態と、入力ポートＰ２から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態とが切り換えられる。切換バルブ１８の入力ポートＰ１は真空ポンプ１９に、入力ポートＰ２はブローバルブ２０の出力ポートＡ２に、出力ポートＡ１は流量センサ１６に通じる出力経路１７に、それぞれ接続されている。また、真空ポンプ１９は、負の圧力（真空）を発生させることができる。

【0043】

ブローバルブ２０は、２つの入力ポートＰ３、Ｐ４と出力ポートＡ２を有する電磁弁等で構成されている。ブローバルブ２０では、外部からの選択信号により、入力ポートＰ３から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態と、入力ポートＰ４から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態とが切り換えられる。ブローバルブ２０の入力ポートＰ３はエア供給源２１に、入力ポートＰ４は大気供給源２２に、出力ポートＡ２は切換バルブ１８の入力ポートＰ２に、それぞれ接続されている。また、エア供給源２１は、正圧空気を供給することができる。また、大気供給源２２は、大気圧の空気を供給することができる。なお、大気供給源２２は、ブローバルブ２０の入力ポートＰ４を開放状態にすることでも実現することができる。

【0044】

切換バルブ１８及びブローバルブ２０は、ノズル制御部２３が有するバルブ制御部２４に接続されている。流量センサ１６の計測結果は、ノズル制御部２３が有する第１判定部２５に入力される。ノズル制御部２３が有するバルブ記憶部２６には、バルブ制御部２４によって切換バルブ１８とブローバルブ２０との状態を切り換えるタイミング情報、第１判定部２５によって流量センサ１６が計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するタイミング情報、及び、所定値（判定値）が記憶されている。ノズル制御部２３は、装着ヘッド８に配設されており、装着ヘッド８を結合プレート８ａに取り付けた状態で、装置制御部３０と接続される。

【0045】

バルブ制御部２４が切換バルブ１８を制御して、入力ポートＰ１から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態（吸引状態）にすると、真空ポンプ１９が切換バルブ１８及び流量センサ１６を介して吸着ノズル１５と連通し、吸着ノズル１５は下端部の吸着面１５ａ１から真空吸引する。

【0046】

吸着面１５ａ１に部品が当接している状態で吸着ノズル１５が部品を真空吸引すると、吸着ノズル１５によって部品が真空吸着される。この時、流量センサ１６が計測する空気の流量（真空流量）は、実質的にゼロとなる。吸着面１５ａ１に部品が当接していない状態で吸着ノズル１５から真空吸引すると、吸着ノズル１５より外気（空気）が吸引される。このため、流量センサ１６は、負の空気の流量を計測することができる。

【0047】

バルブ制御部２４が切換バルブ１８を制御して入力ポートＰ２から出力ポートＡ１への経路を開通させ、ブローバルブ２０を制御して入力ポートＰ３から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態（ブロー状態）にすると、エア供給源２１は、ブローバルブ２０、切換バルブ１８及び流量センサ１６を介して吸着ノズル１５と連通し、吸着ノズル１５から正圧空気が吐出される。すなわち、エア供給源２１は、吸着ノズル１５から正圧空気を吐出させるエアブロー手段となる。この時、流量センサ１６によって、正の空気の流量が計測される。

【0048】

バルブ制御部２４が切換バルブ１８を制御して入力ポートＰ２から出力ポートＡ１への経路を開通させ、ブローバルブ２０を制御して入力ポートＰ４から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態（大気圧状態）にすると、大気供給源２２がブローバルブ２０、切換バルブ１８及び流量センサ１６を介して吸着ノズル１５と連通し、吸着ノズル１５が大気圧となる。この時、流量センサ１６が計測する空気の流量は、実質的にゼロとなる。

【0049】

このように、切換バルブ１８及びブローバルブ２０は、真空ポンプ１９とエア供給源２１とを選択的に吸着ノズル１５に接続させる切換手段となる。そして、流量センサ１６は、この切換手段（切換バルブ１８及びブローバルブ２０）と吸着ノズル１５とを接続する吸引・エアブロー回路に介設され、吸引・エアブロー回路を通過する空気の流量を正逆２方向で計測する。

【0050】

第１判定部２５は、流量センサ１６が計測した空気の流量とバルブ記憶部２６が記憶する所定値とを比較して、空気の流量が所定値を超えたか否かを判定する。具体的には、第１判定部２５は、流量センサ１６によって計測された流量に基づいて第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２に部品が吸着されているか否かを判定する。例えば、第１判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が部品の吸着動作を行った後に流量センサ１６によって計測された流量が所定値以上の場合、部品は第２吸着ノズル１５ｂ２によって吸着されていないと判定する。また、第１判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が部品の吸着動作を行った後に流量センサ１６によって計測された流量が所定値未満の場合、部品は第２吸着ノズル１５ｂ２によって吸着されていると判定する。第１判定部２５が判定するタイミングは、バルブ記憶部２６が記憶するタイミング情報に基づいて、バルブ制御部２４によって制御される。第１判定部２５による判定結果は、バルブ制御部２４を介して装置制御部３０に送信される。

【0051】

また、第１判定部２５は、部品認識カメラ１１による第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａの認識結果に基づいて、第２吸着ノズル１５ｂ２の良否を判定する。第１判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常（不良品）であると判定すると、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常であることを示す判定結果を報知部３４に出力する。また、第１判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が正常（良品）であると判定すると、第２吸着ノズル１５ｂ２が正常であることを示す判定結果を報知部３４に出力する。

【0052】

次に、部品装着装置１の構成について、図２～５を用いて説明する。図５は、実施の形態に係る部品装着装置１の制御系の構成を示すブロック図である。

【0053】

図２～５に示すように、部品装着装置１は、装置制御部３０、装置記憶部３１、基板搬送部２、部品供給部４、装着ヘッド８、Ｙ軸ビーム６、Ｘ軸ビーム７、部品認識カメラ１１、基板認識カメラ１２、真空ポンプ１９、エア供給源２１、大気供給源２２、入力部３２、表示部３３、報知部３４、検出部３５、第２判定部３６及び出力部３７を備えている。また、装着ヘッド８は、さらにノズル制御部２３を備えている。

【0054】

ノズル制御部２３は、装着ヘッド８において第１吸着ノズル１５ｂ１が取り付けられた第１位置から、装着ヘッド８における第２位置へと第１吸着ノズル１５ｂ１の取り付け位置を変更して、部品の装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。また、ノズル制御部２３は、バルブ制御部２４、第１判定部２５及びバルブ記憶部２６を備えている。ノズル制御部２３には、流量センサ１６、切換バルブ１８、及び、ブローバルブ２０が接続されている。ノズル制御部２３は、制御部の一例である。

【0055】

装置制御部３０は、ＣＰＵ機能を備える演算処理装置であり、内部処理機能として実装制御部３０ａ及び異常処理部３０ｂを備えている。装置記憶部３１は、記憶装置であり、実装データ３１ａ、バルブ制御データ３１ｂ、判定制御データ３１ｃ、基板検査情報等の生産データを記憶している。

【0056】

実装データ３１ａには、基板３における部品の装着位置、実装される部品の種類（部品名）等の情報が含まれる。実装制御部３０ａは、実装データ３１ａに基づいて、基板搬送部２、部品供給部４、装着ヘッド８、ノズル駆動部９ａ及びヘッド移動機構を制御することで、吸着ノズル１５によって、基板３の装着位置に部品が実装できるように制御する。

【0057】

バルブ制御データ３１ｂには、吸着ノズル１５が真空吸着した部品を基板３に搭載する際に、バルブ制御部２４が切換バルブ１８、ブローバルブ２０を切り換えるタイミング情報等が記憶されている。

【0058】

判定制御データ３１ｃには、ノズル制御部２３の第１判定部２５により流量センサ１６の計測結果を判定するタイミング情報、計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するための閾値である所定値等が記憶されている。

【0059】

バルブ制御データ３１ｂのタイミング情報、判定制御データ３１ｃのタイミング情報、及び、所定値は、装着ヘッド８の種類（ノズルユニット９の数等）、装着ヘッド８の装着される吸着ノズル１５の種類に応じた値が、実験及び経験に基づいて予め決定されている。そして、部品装着装置１に装着される装着ヘッド８の種類、ノズルユニット９に装着される吸着ノズル１５の種類等、部品装着装置１の構成に対応する各種データは、バルブ制御データ３１ｂ、及び、判定制御データ３１ｃからノズル制御部２３が有するバルブ記憶部２６に転送されることで記憶される。

【0060】

入力部３２は、キーボード、タッチパネル、マウス等の入力装置であり、操作コマンドやデータ入力時等に用いられる。

【0061】

表示部３３は、液晶パネル等の表示装置であり、入力部３２による操作のための操作画面等の各種情報の他、基板認識カメラ１２によって撮像された撮像画像を表示する。

【0062】

報知部３４は、報知灯、フラッシュランプ、ブザー等であり、部品装着装置１の異常等の稼動状況を作業者に報知する。例えば、報知部３４は、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常であることを、第１判定部２５が判定した場合、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常であることを示すエラーを報知する。

【0063】

異常処理部３０ｂは、第１判定部２５によって真空吸引系統、又は、エアブロー系統の異常が検出された場合に異常処理を実行する。具体的には、異常処理部３０ｂは、異常が検出された際に基板３に搭載されていた部品の装着位置を基板認識カメラ１２によって撮像させることで、撮像させた撮像画像を表示部３３に表示させる。さらに、異常処理部３０ｂは、報知部３４を作動させて作業者に異常を報知させる。

【0064】

すなわち、第１判定部２５によって、真空ポンプ１９、エア供給源２１、切換バルブ１８、ブローバルブ２０、及び、吸引・エアブロー回路のいずれかが異常と判定されると、第１判定部２５によって異常と判定された際に部品が搭載されたことが期待される基板３上の装着位置を、基板認識カメラ１２が撮像する。そして、表示部３３が基板認識カメラ１２によって撮像された基板３上の位置の撮像画像を表示することで、報知部３４は、合わせて異常を報知する。

【0065】

検出部３５は、部品の装着状態に関する情報である第１情報に基づいて装着不具合を検出し、複数の吸着ノズル１５の中、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１を検出する。検出部３５は、検出した不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１を示す情報を第２判定部３６に出力する。ここで、第１情報は、装着動作のエラーに関する情報、又は、基板３における部品の装着位置の検査結果に関する情報である。

【0066】

装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを判定するために、ノズル制御部２３は、第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２との取り付け位置を変更する。具体的には、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１が検出された場合、ノズル制御部２３は、装着ヘッド８に取り付けられていない予備の吸着ノズルを保管しているノズル交換部１０へと装着ヘッド８から第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２とを返却する。そして、ノズル制御部２３は、第１吸着ノズル１５ｂ１を取り外した装着ヘッド８の第１位置に第２吸着ノズル１５ｂ２を取り付け、第２吸着ノズル１５ｂ２を取り外した装着ヘッド８の第２位置に第１吸着ノズル１５ｂ１を取り付け、装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。

【0067】

ここで、複数の吸着ノズル１５は、第１吸着ノズル１５ｂ１と等価な第２吸着ノズル１５ｂ２を含んでいる。第２吸着ノズル１５ｂ２は、装着ヘッド８において、第２位置に取り付けられている。また、複数の吸着ノズル１５は、第１吸着ノズル１５ｂ１と等価な吸着ノズル１５を複数含んでいる。また、第２吸着ノズル１５ｂ２は、複数の等価な吸着ノズル１５の中、最も装着不具合が少ないものとする。

【0068】

また、第２判定部３６は、取り付け位置の変更後の部品の装着状態に関する情報である第２情報に基づいて、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを判定する。

【0069】

第２位置に取り付けられた第１吸着ノズル１５ｂ１において装着不具合が発生した場合、第２判定部３６は、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因すると判定する。ここで、第２情報は、装着動作のエラーに関する情報、又は、基板３における部品の装着位置の検査結果に関する情報である。第２判定部３６は、判定部の一例である。

【0070】

また、第２位置に取り付けられた第１吸着ノズル１５ｂ１において装着不具合が発生しない場合、ノズル制御部２３は、ノズル交換部１０へと装着ヘッド８から第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２とを返却する。また、ノズル制御部２３は、第１吸着ノズル１５ｂ１を取り外した装着ヘッド８の第２位置に第２吸着ノズル１５ｂ２を取り付け、第２吸着ノズル１５ｂ２を取り外した装着ヘッド８の第１位置に第１吸着ノズル１５ｂ１を取り付け、装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。

【0071】

出力部３７は、少なくとも第２判定部３６の判定結果を出力する。出力部３７は、例えば、出力インターフェイス、モニタ等の表示部、及び、スピーカ等の音声出力部等である。

【0072】

＜処理動作＞
次に、本実施の形態に係る部品装着装置１及び部品装着方法の処理動作について説明する。図６は、実施の形態に係る部品装着装置１の処理動作を示すフローチャートである。

【0073】

まずは、図６に示すように、部品装着装置１は、装着ヘッド８に設けられているノズルユニット９における複数の吸着ノズル１５の状態の監視を開始する（Ｓ１１）。

【0074】

検出部３５は、部品の装着状態に関する情報である第１情報に基づいて装着不具合を検出し、複数の吸着ノズル１５の中、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１を検出する。具体的には、複数の吸着ノズル１５のそれぞれの状態監視では、部品の吸着ミス、及び、装着エラー等のエラーの有無が監視される。例えば、同一のテープフィーダ５に対して部品吸着する場合、検出部３５は、複数の吸着ノズル１５のうち、吸着ミス及び装着エラー（部品の持ち帰り、及び、落下）等のエラーが多い吸着ノズル１５を検出したりする。例えば、複数の吸着ノズル１５として第１吸着ノズル１５ｂ１、第２吸着ノズル１５ｂ２、第３吸着ノズル１５ｂ３等の等価な吸着ノズル１５が同一のテープフィーダ５に対して部品吸着する場合、検出部３５は、この第１吸着ノズル１５ｂ１、第２吸着ノズル１５ｂ２、第３吸着ノズル１５ｂ３等のうち、エラー発生数が最も多い、又は、閾値以上の吸着ノズル１５を、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１として検出したりする。

【0075】

次に、部品装着装置１は、装置記憶部３１に記憶されている生産データに基づいて、生産を開始する（Ｓ１２）。

【0076】

検出部３５は、検出した不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１を示す情報を第２判定部３６に出力する。第２判定部３６は、複数の吸着ノズル１５のうちの特定の吸着ノズル１５において、吸着ミス及び装着エラーといったエラー発生数、又は、エラー発生率が所定値以上であるか否かを判定する（Ｓ１３）。つまり、第２判定部３６は、エラー発生数、又は、エラー発生率が所定値以上の吸着ノズル１５が存在するか否かを判定する。なお、第２判定部３６は、基板３において正しい装着位置からの位置ズレの状態を示す情報である基板検査情報に基づいて、エラー発生数、又は、エラー発生率が所定値以上であるか否かを判定してもよい。

【0077】

第２判定部３６は、吸着ミス及び装着エラーといったエラー発生数、又は、エラー発生率が所定値未満であることを判定した場合（Ｓ１３でＮＯ）、部品装着装置１は、生産を継続し（Ｓ２９）、ステップＳ３０に進む。

【0078】

一方、第２判定部３６は、吸着ミス及び装着エラーといったエラー発生数、又は、エラー発生率が所定値以上であることを判定した場合（Ｓ１３でＹＥＳ）、装着ヘッド８に設けられているノズルユニット９における複数の吸着ノズル１５に等価な吸着ノズル１５が存在しているか否かを判定する（Ｓ１４）。

【0079】

第２判定部３６は、装着ヘッド８に設けられているノズルユニット９における複数の吸着ノズル１５に等価な吸着ノズル１５が存在していないことを判定した場合（Ｓ１４でＮＯ）、ステップＳ２１に進む。

【0080】

一方、第２判定部３６は、装着ヘッド８に設けられているノズルユニット９における複数の吸着ノズル１５に等価な吸着ノズル１５が存在していることを判定した場合（Ｓ１４でＹＥＳ）、ノズル交換部１０に、吸着ノズル１５を配置するための２つ以上の空きスロットが存在しているか否かを判定する（Ｓ１５）。つまり、第２判定部３６は、吸着ノズル１５を交換できる状況であるか否かを判定すると言える。

【0081】

第２判定部３６は、ノズル交換部１０に、吸着ノズルを配置するための２以上の空きスロットが存在していないことを判定すると（Ｓ１５でＮＯ）、ステップＳ２１に進む。

【0082】

一方、第２判定部３６は、ノズル交換部１０に、吸着ノズルを配置するための２以上の空きスロットが存在していることを判定すると（Ｓ１５でＹＥＳ）、ノズル制御部２３は、エラーが最も少ない等価な吸着ノズル１５と特定の吸着ノズル１５とを自動交換して装着ヘッド８に取り付ける（Ｓ１６）。

【0083】

ステップＳ１６の動作について、図７を用いて説明する。図７は、実施の形態に係る部品装着装置１の第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２との取り付け位置を変更する様子を示す図である。

【0084】

ノズル制御部２３は、装着ヘッド８において第１吸着ノズル１５ｂ１が取り付けられた第１位置から、装着ヘッド８における第２位置へと第１吸着ノズル１５ｂ１の取り付け位置を変更して、部品の装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。具体的には、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１が検出された場合、ノズル制御部２３は、装着ヘッド８に取り付けられていない予備の吸着ノズルを保管しているノズル交換部１０へと装着ヘッド８から第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２とを返却する。そして、ノズル制御部２３は、第１吸着ノズル１５ｂ１を取り外した装着ヘッド８の第１位置に第２吸着ノズル１５ｂ２を取り付け、第２吸着ノズル１５ｂ２を取り外した装着ヘッド８の第２位置に第１吸着ノズル１５ｂ１を取り付け、装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。

【0085】

例えば、複数の吸着ノズル１５として第１吸着ノズル１５ｂ１、第２吸着ノズル１５ｂ２、第３吸着ノズル１５ｂ３等の等価な吸着ノズル１５が同一のテープフィーダ５に対して部品吸着することが可能な場合、第１吸着ノズル１５ｂ１がエラーの最も多い吸着ノズル１５であり、第２吸着ノズル１５ｂ２がエラーの最も少ない吸着ノズル１５であるとする。この場合、装着ヘッド８は、ノズル交換部１０を用いて、装着ヘッド８における取り付け位置（第１位置）に取り付けられている第１吸着ノズル１５ｂ１と、装着ヘッド８における取り付け位置（第２位置）に取り付けられている第２吸着ノズル１５ｂ２とを交換することで、第２吸着ノズル１５ｂ１を第２位置に取り付け、第２吸着ノズル１５ｂ１を第１位置に取り付ける。

【0086】

次に、部品装着装置１は、ステップＳ１６でエラーが最も少ない等価な吸着ノズル１５と特定の吸着ノズル１５とを交換した状態の装着ヘッド８を用いて、部品装着動作を再開する（Ｓ１７）。例えば、部品装着装置１は、装着ヘッド８の第１位置に取り付けられている吸着ノズル１５ｂ２と、装着ヘッド８の第２位置に取り付けられている吸着ノズル１５ｂ１とを用いて、部品装着動作を再開する。

【0087】

次に、第２判定部３６は、ステップＳ１７で再開した部品装着動作において、エラー発生状況が改善されたか否かを判定する（Ｓ１８）。つまり、第２判定部３６は、装着ヘッド８の第１位置に取り付けられている吸着ノズル１５ｂ２のエラー発生数、又は、エラー発生率が所定値未満であるか否かを判定する。第２判定部３６は、エラー発生率が所定値以上の場合、第１位置におけるエラー発生状況は改善されていないと判定する（Ｓ１８でＮＯ）。この場合、例えば、装着ヘッド８に何らかの問題があると考えられる。

【0088】

次に、装着ヘッド８は、交換した等価な吸着ノズル１５と特定の吸着ノズル１５とを元の取り付け位置に自動的に戻す（Ｓ２０）。具体的には、第１位置におけるエラー発生率が所定値以上の場合、ノズル制御部２３は、ノズル交換部１０へと装着ヘッド８から第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２とを返却する。また、ノズル制御部２３は、第１吸着ノズル１５ｂ１を取り外した装着ヘッド８の第２位置に第２吸着ノズル１５ｂ２を取り付け、第２吸着ノズル１５ｂ２を取り外した装着ヘッド８の第１位置に第１吸着ノズル１５ｂ１を取り付け、装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。

【0089】

例えば、装着ヘッド８における第１位置に取り付けられている吸着ノズル１５ｂ２と、装着ヘッド８における第２位置に取り付けられている吸着ノズル１５ｂ１とを交換することで、吸着ノズル１５ｂ１を第１位置に取り付け、吸着ノズル１５ｂ２を第２位置に取り付ける。

【0090】

そして、部品装着装置１は、処理動作を、ステップＳ２１に進める。

【0091】

一方、第２判定部３６は、ステップＳ１７で再開した部品装着動作において、第１位置におけるエラー発生状況が改善されたことを判定した場合（Ｓ１８でＹＥＳ）、エラー発生状況の乗り移りの有無を判定し（Ｓ１９）、ステップＳ２８に進む。ここで、エラー発生状況の乗り移りとは、第２位置の吸着ノズル１５ｂ１のエラー発生数、又は、エラー発生率が所定値以上となることをいう。エラー発生状況の乗り移りがあったと判定された場合、吸着ノズル１５ｂ１が異常であると考えられる。

【0092】

また、ステップＳ１４、ステップＳ１５及びステップＳ２１の説明に戻る。

【0093】

ステップＳ１４でＮＯの場合、ステップＳ１５でＮＯの場合、及び、ステップＳ２０を経由した場合、第２判定部３６は、ノズル交換部１０に等価な吸着ノズル１５が存在しているか否かを判定する（Ｓ２１）。

【0094】

第２判定部３６は、ノズル交換部１０に等価な吸着ノズル１５が存在していると判定した場合（Ｓ２１でＹＥＳ）、特定の吸着ノズルと等価な吸着ノズル１５とを自動交換し（Ｓ２２）、ステップＳ２４に進む。

【0095】

一方、第２判定部３６は、ノズル交換部１０に等価な吸着ノズル１５が存在していないと判定した場合（Ｓ２１でＮＯ）、手動交換を作業者に指示するために、報知部３４を介して、手動交換を促す指示を出力する。つまり、報知部３４は、作業者に手動交換を促す指示を報知し（Ｓ２３）、ステップＳ２４に進む。

【0096】

次に、部品装着装置１は、ステップＳ２２又はＳ２３による交換後の吸着ノズル１５と特定の吸着ノズル１５とを交換した状態の装着ヘッド８を用いて、部品装着動作を再開する（Ｓ２４）。

【0097】

次に、第２判定部３６は、ステップＳ２４で再開した部品装着動作において、エラー発生状況が改善されたか否かを判定する（Ｓ２５）。

【0098】

第２判定部３６は、ステップＳ２５で再開した部品装着動作において、エラー発生状況が改善されていないことを判定した場合（Ｓ２５でＮＯ）、部品装着装置１は、動作（生産）を停止（設備停止）し（Ｓ２７）、ステップＳ２８に進む。

【0099】

一方、第２判定部３６は、ステップＳ２５で再開した部品装着動作において、エラー発生状況が改善されたことを判定した場合（Ｓ２５でＹＥＳ）、ノズル交換部１０の特定の吸着ノズル１５は不良ノズルとして設定し（Ｓ２６）、ステップＳ２８に進む。

【0100】

また、ステップＳ１９、ステップＳ２６及びステップＳ２７の説明に戻る。

【0101】

ステップＳ１９、ステップＳ２６又はステップＳ２７を経由した場合、出力部３７は、作業者に対して判定結果（調査結果）を通知し（Ｓ２８）、ステップＳ３０に進む。

【0102】

また、ステップＳ２８及びステップＳ２９の説明に戻る。

【0103】

ステップＳ２８又はステップＳ２９を経由した場合、ステップＳ３０に進む。

【0104】

次に、第２判定部３６は、生産が完了しているか否かを判定する（Ｓ３０）。

【0105】

第２判定部３６は、生産が完了していないことを判定すると（Ｓ３０でＮＯ）、部品装着装置１は、ステップＳ１３に処理動作を戻す。

【0106】

一方、第２判定部３６は、生産が完了したことを判定すると（Ｓ３０でＹＥＳ）、部品装着装置１は、複数の吸着ノズル１５の状態の監視を終了し（Ｓ３１）、処理動作を終了する。

【0107】

＜作用効果＞
次に、本実施の形態における部品装着装置１及び部品装着方法の作用効果について説明する。

【0108】

上述したように、本実施の形態の部品装着装置１は、装着ヘッド８に取り付けられた複数の吸着ノズル１５を用いて部品を基板に装着する部品装着装置１であって、部品の装着状態に関する情報である第１情報に基づいて装着不具合を検出し、複数の吸着ノズル１５の中、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１を検出する検出部３５と、装着ヘッド８において第１吸着ノズル１５ｂ１が取り付けられた第１位置から、装着ヘッド８における第２位置へと第１吸着ノズル１５ｂ１の取り付け位置を変更して、部品の装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する制御部（ノズル制御部２３）と、取り付け位置の変更後の部品の装着状態に関する情報である第２情報に基づいて、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを判定する判定部（第２判定部３６）とを備える。

【0109】

これによれば、部品装着装置１では、生産中において、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを判定することができるため、装着不具合の調査をするために部品装着装置１を停止させなくてもよくなる。また、例えば作業者が原因の究明をする場合よりも効率的に調査をすることができる。

【0110】

したがって、この部品装着装置１では、生産の時間的損失の発生を抑制することができる。その結果、例えば、装着不具合のある吸着ノズル１５を交換するために部品装着装置１を停止させたり、交換後の吸着ノズル１５の状況を監視及び確認したりしなくてもよくなるため、部品装着装置１における生産性の低下を抑制することができる。

【0111】

特に、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを判定することができるため、例えば装着不具合の判断を作業者がする場合に比べて、精度よく判定することができる。

【0112】

また、本実施の形態の部品装着方法は、部品装着装置１を用いて部品を基板に装着する部品装着方法である。部品装着装置１は、装着ヘッド８と、装着ヘッド８に取り付けられた複数の吸着ノズル１５とを有する。また、部品装着方法は、部品の装着状態に関する情報である第１情報に基づいて装着不具合を検出し、複数の吸着ノズル１５の中、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１を検出し、装着ヘッド８において第１吸着ノズル１５ｂ１が取り付けられた第１位置から、装着ヘッド８における第２位置へと第１吸着ノズル１５ｂ１の取り付け位置を変更して、部品の装着動作を継続し、取り付け位置の変更後の部品の装着状態に関する第２情報に基づいて、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを判定する。

【0113】

この部品装着方法においても、上述と同様の作用効果を奏する。

【0114】

また、本実施の形態の部品装着装置１において、第２位置に取り付けられた第１吸着ノズル１５ｂ１において装着不具合が発生した場合、判定部は、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因すると判定する。

【0115】

これによれば、装着ヘッド８における第１吸着ノズル１５ｂ１の取り付け位置を変更しても、第１吸着ノズル１５ｂ１に装着不具合が発生していれば、装着不具合のある第１吸着ノズル１５ｂ１を精度よく特定することができる。その結果、装着不具合の原因を特定することができるため、第１吸着ノズル１５ｂ１を交換する等の対応をとることができるようになる。

【0116】

また、本実施の形態の部品装着装置１において、複数の吸着ノズル１５は、第１吸着ノズル１５ｂ１と等価な第２吸着ノズル１５ｂ２を含む。また、第２吸着ノズル１５ｂ２は、第２位置に取り付けられている。そして、不良の可能性がある第１吸着ノズル１５ｂ１が検出された場合、制御部は、装着ヘッド８に取り付けられていない予備の吸着ノズル１５を保管しているノズル交換部１０へと装着ヘッド８から第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２とを返却し、第１吸着ノズル１５ｂ１を取り外した装着ヘッド８の第１位置に第２吸着ノズル１５ｂ２を取り付け、第２吸着ノズル１５ｂ２を取り外した装着ヘッド８の第２位置に第１吸着ノズル１５ｂ１を取り付け、装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。

【0117】

これによれば、装着ヘッド８に取り付けられている第１吸着ノズル１５ｂ１と等価の第２吸着ノズル１５ｂ２との位置を交換することで、第１吸着ノズル１５ｂ１に装着不具合があるか否かを精度よく判定することができるようになる。

【0118】

また、本実施の形態の部品装着装置１において、第２位置に取り付けられた第１吸着ノズル１５ｂ１において装着不具合が発生しない場合、制御部は、ノズル交換部１０へと装着ヘッド８から第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２とを返却し、第１吸着ノズル１５ｂ１を取り外した装着ヘッド８の第２位置に第２吸着ノズル１５ｂ２を取り付け、第２吸着ノズル１５ｂ２を取り外した装着ヘッド８の第１位置に第１吸着ノズル１５ｂ１を取り付け、装着動作を継続するように装着ヘッド８を制御する。

【0119】

また、本実施の形態の部品装着装置１において、複数の吸着ノズル１５は、第１吸着ノズル１５ｂ１と等価な吸着ノズル１５を複数含む。そして、第２吸着ノズル１５ｂ２は、複数の等価な吸着ノズル１５の中、最も装着不具合が少ない。

【0120】

これによれば、最も装着不具合が少ない第２吸着ノズル１５ｂ２と、第１吸着ノズル１５ｂ１との取り付け位置を変更することで、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを精度よく判定することができるようになる。

【0121】

また、本実施の形態の部品装着装置１は、少なくとも判定部の判定結果を出力する出力部３７をさらに備える。

【0122】

これによれば、作業者は、判定結果に応じて、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを把握することができる。

【0123】

また、本実施の形態の部品装着装置１において、第１情報と第２情報とは、装着動作のエラーに関する情報である。

【0124】

これによれば、装着動作のエラーがあれば、生産中であっても第１吸着ノズル１５ｂ１を交換する等の対応をとることができる。このため、装着動作にエラーのある第１吸着ノズル１５ｂ１を使用し続けることによる、部品装着装置１における製品の歩留まりの低下を抑制することができる。

【0125】

また、本実施の形態の部品装着装置１において、第１情報と第２情報とは、基板３における部品の装着位置の検査結果に関する情報である。

【0126】

これによれば、部品の正しい装着位置からの位置ズレの状態を把握することができるようになる。このため、装着不具合が第１吸着ノズル１５ｂ１に起因するか否かを精度よく判定することができるようになる。

【0127】

（その他の変形例）
以上、本開示に係る部品装着装置及び部品装着方法について、上記各実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思い付く各種変形を実施の形態に施したものも、本開示の範囲に含まれてもよい。

【0128】

例えば、上記実施の形態に係る部品装着装置及び部品装着方法に含まれる各部は典型的に集積回路であるＬＳＩとして実現される。これらは個別に１チップ化されてもよいし、一部又は全てを含むように１チップ化されてもよい。

【0129】

また、集積回路化はＬＳＩに限るものではなく、専用回路又は汎用プロセッサで実現してもよい。ＬＳＩ製造後にプログラムすることが可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）、又はＬＳＩ内部の回路セルの接続や設定を再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサを利用してもよい。

【0130】

なお、上記各実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ハードディスク又は半導体メモリ等の記憶媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

【0131】

また、上記で用いた数字は、全て本開示を具体的に説明するために例示するものであり、本開示の実施の形態は例示された数字に制限されない。

【0132】

また、ブロック図における機能ブロックの分割は一例であり、複数の機能ブロックを一つの機能ブロックとして実現したり、一つの機能ブロックを複数に分割したり、一部の機能を他の機能ブロックに移してもよい。また、類似する機能を有する複数の機能ブロックの機能を単一のハードウェア又はソフトウェアが並列又は時分割に処理してもよい。

【0133】

また、フローチャートにおける各ステップが実行される順序は、本開示を具体的に説明するために例示するためであり、上記以外の順序であってもよい。また、上記ステップの一部が、他のステップと同時（並列）に実行されてもよい。

【0134】

なお、上記の各実施の形態に対して当業者が思い付く各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。

【産業上の利用可能性】

【0135】

本開示の部品装着装置及び部品装着方法は、部品を基板に実装する分野において有用である。

【符号の説明】

【0136】

１ 部品装着装置
３ 基板
８ 装着ヘッド
１０ ノズル交換部
１５ 吸着ノズル
１５ｂ１ 第１吸着ノズル
１５ｂ２ 第２吸着ノズル
１６ 流量センサ（計測部）
２３ ノズル制御部（制御部）
３５ 検出部
３６ 第２判定部（判定部）
３７ 出力部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】