(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-07
(45)【発行日】2024-11-15
(54)【発明の名称】加圧装置
(51)【国際特許分類】
B30B 15/34 20060101AFI20241108BHJP
H01L 21/60 20060101ALI20241108BHJP
【ＦＩ】
B30B15/34 A
H01L21/60 311T
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2024083315
(22)【出願日】2024-05-22
【審査請求日】2024-05-23
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】森 隆博
(72)【発明者】
【氏名】森永 高広
(72)【発明者】
【氏名】井手迫 聡
(72)【発明者】
【氏名】森本 崇
【審査官】豊島 唯
(56)【参考文献】
【文献】特開２００５－１５２９１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭５６－１１３９４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特公昭５６－０２４１９２（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】特開平１１－２５７８８４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－３２６２６３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ３０Ｂ １５／００ － １５／３４
Ｂ２１Ｄ ２２／２０ － ２４／００
Ｂ２１Ｄ ３７／１６
Ｆ２８Ｄ １５／０２ － １５／０６
Ｂ２９Ｃ ４３／１０
Ｈ０１Ｌ ２１／６０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークを加圧する加圧装置であって、前記ワークよりも下方向に配置されて、前記ワークを加熱または冷却可能な第１金型ユニットと、
前記第１金型ユニットと共に前記ワークを加熱または冷却可能な第２金型ユニットと、
を有してなり、
前記第２金型ユニットは、
複数のヒートパイプと、
複数の前記ヒートパイプが固定されて、前記ワークが加熱または冷却されているとき、前記ワークと前記第１金型ユニットとの間に配置される金型本体部と、
複数の前記ヒートパイプのうち、対応する前記ヒートパイプを加熱または冷却可能な熱源ユニットと、
を備えて、
前記ヒートパイプそれぞれは、
前記金型本体部から水平方向に突出する突出端部、
を備えて、
前記熱源ユニットは、
前記突出端部それぞれに対して移動可能であり、対応する前記突出端部に当接可能な複数の当接部と、
前記突出端部に対する前記当接部の当接と離間とを切り替える当接切替部と、
を備えて、
前記当接切替部は、
前記第２金型ユニットが前記ワークの加熱または冷却を開始するとき、前記当接部を前記突出端部に当接させて、
前記第２金型ユニットが前記ワークの加熱または冷却を終了するとき、前記当接部を前記突出端部から離間させる、
加圧装置。
【請求項2】
前記第２金型ユニットは、前記金型本体部の温度を測定可能な温度測定器、
を備えて、
前記当接切替部は、前記温度測定器の測定結果に基づいて、前記当接部の前記当接と前記離間とを切り替える、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項3】
前記第１金型ユニットは、前記ワークを加熱する加熱金型ユニット、
を備えて、
前記熱源ユニットは、
前記ヒートパイプを冷却する冷却源、
または、
前記ヒートパイプを加熱する加熱源、
を備えて、
前記当接切替部は、規定の温度プロファイルに沿って、前記ワークが加熱されるように、前記当接部の前記当接と前記離間とを切り替える、
請求項２に記載の加圧装置。
【請求項4】
前記第１金型ユニットは、前記ワークを冷却する冷却金型ユニット、
を備えて、
前記熱源ユニットは、
前記ヒートパイプを冷却する冷却源、
または、
前記ヒートパイプを加熱する加熱源、
を備えて、
前記当接切替部は、規定の温度プロファイルに沿って、前記ワークが冷却されるように、前記当接部の前記当接と前記離間とを切り替える、
請求項２に記載の加圧装置。
【請求項5】
前記第１金型ユニットは、前記ワークを加熱する加熱金型ユニット、
または、
前記ワークを冷却する冷却金型ユニット、
を備えて、
前記熱源ユニットは、
前記ヒートパイプを加熱する加熱源と、
前記ヒートパイプを冷却する冷却源と、
前記加熱源と前記冷却源とを切り替える熱源切替部、
を備えて、
前記熱源切替部は、規定の温度プロファイルに沿って、前記ワークが加熱または冷却されるように、前記加熱源と前記冷却源とを切り替える、
請求項２に記載の加圧装置。
【請求項6】
前記熱源ユニットは、対応する前記ヒートパイプを加熱する加熱ユニットと、
対応する前記ヒートパイプを冷却する冷却ユニットと、
前記加熱ユニットと前記冷却ユニットとを切り替えるユニット切替部、
を備えて、
前記ユニット切替部は、
前記ヒートパイプが加熱されるとき、前記加熱ユニットの前記当接部が対応する前記突出端部に当接可能となるように、前記加熱ユニットと前記冷却ユニットとを切り替えて、
前記ヒートパイプが冷却されるとき、前記冷却ユニットの前記当接部が対応する前記突出端部に当接可能となるように、前記加熱ユニットと前記冷却ユニットとを切り替える、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項7】
前記ヒートパイプそれぞれは、前記金型本体部から水平方向における第１方向に突出して、前記突出端部として機能する第１突出端部と、
前記金型本体部から前記第１方向の反対方向である第２方向に突出して、前記突出端部として機能する第２突出端部と、
を備えて、
前記熱源ユニットは、
前記第１突出端部に対応する第１熱源ユニットと、
前記第２突出端部に対応する第２熱源ユニットと、
を備えて、
前記第１熱源ユニットは、
対応する前記ヒートパイプを加熱する加熱ユニット、
または、
対応する前記ヒートパイプを冷却する冷却ユニットであり、
前記第２熱源ユニットは、
前記加熱ユニット、
または、
前記冷却ユニットである、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項8】
前記熱源ユニットは、複数の前記当接部が配置される熱源本体部、
を備えて、
前記当接切替部は、前記熱源本体部を移動させることにより、複数の前記当接部を前記突出端部に一括して当接させて、または、離間させる、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の加圧装置。
【請求項9】
複数の前記ヒートパイプは、第１ヒートパイプと、
第２ヒートパイプと、
を備えて、
複数の前記当接部は、
前記第１ヒートパイプの前記突出端部に対応する第１当接部と、
前記第２ヒートパイプの前記突出端部に対応する第２当接部と、
を備えて、
前記第１当接部と前記第２当接部それぞれは、独立して移動可能である、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の加圧装置。
【請求項10】
上下方向視において、前記金型本体部は、第１領域と、
前記第１領域とは、異なる温度制御が実行される第２領域と、
を備えて、
前記第１ヒートパイプは、前記第１領域に配置されて、
前記第２ヒートパイプは、前記第２領域に配置されて、
前記当接切替部は、前記第１当接部と前記第２当接部それぞれの前記当接と前記離間とを異なるタイミングで切り替える、
請求項９に記載の加圧装置。
【請求項11】
前記第１金型ユニットは、前記金型本体部に固定される複数の第１加熱源、または、複数の第１冷却源、
を備えて、
複数の前記ヒートパイプは、複数の前記第１加熱源、または、複数の前記第１冷却源よりも上方向に配置されて、
上下方向において、前記金型本体部のうち、複数の前記第１加熱源、または、複数の前記第１冷却源が配置されている領域は、前記第１金型ユニットとして機能して、
上下方向において、前記金型本体部のうち、複数の前記ヒートパイプが配置されている領域は、前記第２金型ユニットとして機能する、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項12】
前記第２金型ユニットは、前記第１金型ユニットと別体であり、前記金型本体部は、前記第１金型ユニットに対して、水平方向に相対移動可能であり、
前記ワークが加熱または冷却されないとき、
前記金型本体部は、前記第１金型ユニットの上方向の処理位置から、前記処理位置から水平方向に離間した待機位置に相対移動する、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項13】
前記第１金型ユニットは、複数の第１加熱源、または、複数の第１冷却源、
を備えて、
前記第１加熱源または前記第１冷却源の形状は、直線状であり、
複数の前記第１加熱源それぞれ、または、複数の前記第１冷却源それぞれは、相互に平行に配置されて、
上下方向視において、複数の前記ヒートパイプは、前記第１加熱源または前記第１冷却源と直交する、または、平行となるように、相互に平行に配置される、
請求項１に記載の加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加圧装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、電子部品などの被加圧物（以下「ワーク」という。）を加圧するために、加圧装置が用いられている。例えば、特許文献１に開示された加圧装置は、上下加圧ユニットを備えて、両ユニットによりワークを挟持・加圧する。同加圧装置は、下加圧ユニットが備えるヒータによりワークを加熱する。ヒータは、金型の内部に配置されている。同加圧装置では、ワークの加圧および加熱が完了した後、ワークは金型に当接したまま冷却される。金型は、ヒータに大きな圧力が加えられないように、加圧に耐える構造を有している。そのため、金型の体積は大きく、金型の熱容量も大きい。したがって、ワークの加熱時間および冷却時間は、長くなる。すなわち、ワークの加熱時および冷却時の温度変化率は、比較的小さくなる（緩やかになる）。
【0003】
一方、特許文献２に開示された加圧装置では、下加圧ユニットは、常時加熱されている加熱ユニット、および、常時冷却されている冷却ユニットを備える。加熱ユニットおよび冷却ユニットは、ワークを保持した上加圧ユニットに対して移動可能に構成されていて、加圧処理の進行状況に応じて、適宜切り替えられる。そのため、下加圧ユニットによる加熱と冷却との切り替え時間が短縮されて、ワークの加熱時間および冷却時間も短縮される。すなわち、ワークの加熱時および冷却時の温度変化率は、大きくなる（急峻になる）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００４－２９６７４６号公報
【文献】特開２０１７－１９９８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
このように、それぞれの加圧装置は、ワークの加熱時および冷却時の温度勾配（加熱時間および冷却時間）において、反対の特徴を有する。しかし、ワークの加熱時および冷却時の温度変化率（加熱時間および冷却時間）は、成り行きとなり、制御し難い。
【0006】
本発明は、ワークの加熱時および／または冷却時の温度変化率を制御可能な加圧装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一実施態様における加圧装置は、ワークを加圧する加圧装置であって、前記ワークよりも下方向に配置されて、前記ワークを加熱または冷却可能な第１金型ユニットと、前記第１金型ユニットと共に前記ワークを加熱または冷却可能な第２金型ユニットと、を有してなり、前記第２金型ユニットは、複数のヒートパイプと、複数の前記ヒートパイプが固定されて、前記ワークが加熱または冷却されているとき、前記ワークと前記第１金型ユニットとの間に配置される金型本体部と、複数の前記ヒートパイプのうち、対応する前記ヒートパイプを加熱または冷却可能な熱源ユニットと、を備えて、前記ヒートパイプそれぞれは、前記金型本体部から水平方向に突出する突出端部、を備えて、前記熱源ユニットは、前記突出端部それぞれに対して移動可能であり、対応する前記突出端部に当接可能な複数の当接部と、前記突出端部に対する前記当接部の当接と離間とを切り替える当接切替部と、を備えて、前記当接切替部は、前記第２金型ユニットが前記ワークの加熱または冷却を開始するとき、前記当接部を前記突出端部に当接させて、前記第２金型ユニットが前記ワークの加熱または冷却を終了するとき、前記当接部を前記突出端部から離間させる、加圧装置である。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、ワークの加熱時および／または冷却時の温度勾配を変更可能な加圧装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明に係る加圧装置の実施の形態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図3】上記加圧装置の第２金型ユニットの模式平面図である。
【図6】ワークが上記加圧装置の収容室に収容された状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図7】上記加圧装置の加熱金型ユニットおよび本体部が処理位置に位置している状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図9】上記加圧装置のチャンバユニットが下降した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図10】ワークの加熱時におけるワーク、上記加熱金型ユニット、および上記本体部の温度変化の一例を示すタイミングチャートである。
【図11】上記加圧装置の第１クランプ部材が挟持位置に移動した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図12】上記第１クランプ部材が非挟持位置に移動した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図13】上記加圧装置の冷却金型ユニットが処理位置に移動した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図15】上記チャンバユニットが下降した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図16】ワークの冷却時におけるワーク、上記冷却金型ユニット、および上記本体部の温度変化の一例を示すタイミングチャートである。
【図17】上記第１クランプ部材が挟持位置に移動した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図18】上記第１クランプ部材が非挟持位置に移動した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図19】ワークの実際の温度変化の一例を示す模式図である。
【図20】ワークの加熱時に上記加圧装置の第２クランプ部材が挟持位置に移動した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図21】本発明に係る加圧装置の別の実施の形態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図23】上記加圧装置の加熱金型ユニットの模式平面図である。
【図24】上記加圧装置の冷却金型ユニットの模式平面図である。
【図25】上記加圧装置の第１クランプ部材が挟持位置に移動した状態を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図26】本発明に係る加圧装置の第１変形例を示す、加圧装置の模式断面図である。
【図27】（ａ）は本発明に係る加圧装置の第２変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図であり、（ｂ）は本発明に係る加圧装置の第３変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図であり、（ｃ）は本発明に係る加圧装置の第４変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図である。
【図28】（ａ）は本発明に係る加圧装置の第５変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＧ矢視における加圧装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本発明に係る加圧装置（以下「本装置」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0011】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸であるとき、Ｘ軸およびＹ軸は水平方向に平行であり、Ｚ軸は上下方向に平行である。「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、「＋Ｘ方向」はＸ軸方向の一方向であり、「－Ｘ方向」はＸ軸方向の他方向である。＋Ｘ方向は本発明における第１方向の一例であり、－Ｘ方向は本発明における第２方向の一例である。「Ｙ軸方向」はＹ軸に沿う方向であり、「＋Ｙ方向」はＹ軸方向の一方向であり、「－Ｙ方向」はＹ軸方向の他方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。「＋Ｚ方向」は上方向であり、「－Ｚ方向」は下方向である。「ＸＹ方向」はＸ軸方向およびＹ軸方向に沿う方向であり、「ＸＹ平面」はＸＹ方向（水平方向）に平行な仮想平面である。「ＸＺ方向」はＸ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＸＺ平面」はＸＺ方向（鉛直方向）に平行な仮想平面である。
【0012】
以下の説明において、下面は、下方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。上面は、上方向に面していて、ＸＹ方向に平行な面である。すなわち、下面および上面の形状は、平面状である。
【0013】
●加圧装置（１）●
●加圧装置（１）の構成
図１は、本装置の実施の形態を示す、本装置の模式断面図である。
図２は、図１のＡ矢視における本装置の模式断面図である。
図１は、本装置１がＸ軸方向における中央部で切断された、ＹＺ平面に沿う本装置１の切断面を示している（図６、図７、図１３、および図２０も同じ。）。図２は、本装置１がＹ軸方向における中央部で切断された、ＸＺ平面に沿う本装置１の切断面を示している（図８～図１１、図１４～図１７、図２１、図２４～図２６も同じ。）。
●加圧装置（１）の構成
図１は、本装置の実施の形態を示す、本装置の模式断面図である。
図２は、図１のＡ矢視における本装置の模式断面図である。
図１は、本装置１がＸ軸方向における中央部で切断された、ＹＺ平面に沿う本装置１の切断面を示している（図６、図７、図１３、および図２０も同じ。）。図２は、本装置１がＹ軸方向における中央部で切断された、ＸＺ平面に沿う本装置１の切断面を示している（図８～図１１、図１４～図１７、図２１、図２４～図２６も同じ。）。
【0014】
本装置１は、上下方向においてワークＷを挟み込んで加圧する。本装置１は、制御装置２、載置板３、第１金型ユニット４、第２金型ユニット５、ベース部材１２、サイド部材１３、上型１４、枠部材１５、加圧パッド１６、第１ばね部材１７、第２ばね部材１８、２つのシール部材１９，２０、およびポンプＰを備える。載置板３、第１金型ユニット４、および第２金型ユニット５は、ワークＷよりも下方向に配置されていて、ワークＷを下方向から加圧する下加圧ユニットＤＰとして機能している。ベース部材１２、サイド部材１３、上型１４、枠部材１５、加圧パッド１６、第１ばね部材１７、第２ばね部材１８、および２つのシール部材１９，２０は、ワークＷよりも上方向に配置されていて、ワークＷを上方向から加圧する上加圧ユニットＵＰとして機能している。
【0015】
制御装置２は、本装置１全体の動作を制御する。制御装置２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサ、ＣＰＵの作業領域として機能するＲＡＭ（Random Access Memory）などの揮発性メモリ、制御プログラムなどの各種情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）などの不揮発性メモリ、および、本装置１の動作に必要な情報（例えば、後述される温度プロファイルＰｒ１，Ｐｒ２：図１２および図１８参照）を記憶する記憶部を備える。
【0016】
載置板３は、ワークＷが載置される部材であり、後述される収容室Ｒ（図６参照。以下同じ。）を区画する。載置板３は、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。載置板３の形状は、上方視においてＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、板状である。載置板３は、上面３ａおよび下面３ｂを備える。上面３ａは、ワークＷが載置される載置面である。
【0017】
第１金型ユニット４は、ワークＷを加熱および冷却する。第１金型ユニット４は、加熱金型ユニット４０、冷却金型ユニット４１、および第１ユニット搬送装置４２を備える。
【0018】
加熱金型ユニット４０は、ワークＷを加熱する。加熱金型ユニット４０は、上加圧ユニットＵＰの下方向の処理位置と、処理位置から水平方向（本実施の形態では、－Ｙ方向）に離間した待機位置と、の間で移動可能である。加熱金型ユニット４０は、本体部４０ａ、断熱部材４０ｂ、複数の加熱源４０ｃ、および複数の冷却源４０ｄを備える。
【0019】
本体部４０ａは、加熱源４０ｃおよび冷却源４０ｄを内包する。本体部４０ａは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部４０ａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。本体部４０ａは、上面４０ｅを備える。断熱部材４０ｂは、本体部４０ａを上下に２分割するように配置されている。断熱部材４０ｂは、加熱源４０ｃの熱の下方向への伝達を抑制している。加熱源４０ｃは、ワークＷを加熱する。加熱源４０ｃは、例えば、公知の直管状ヒータである。加熱源４０ｃは、本体部４０ａの上半部の内部に、Ｙ軸方向に平行となるように配置されている。冷却源４０ｄは、例えば、本体部４０ａの下半部を冷却する冷媒が流れる直管状の流路である。冷媒は、冷却装置（不図示。以下同じ。）により冷却されていて、冷却源４０ｄと冷却装置との間で循環されている。冷却源４０ｄは、本体部４０ａの下半部の内部に、Ｙ軸方向に平行となるように配置されている。
【0020】
冷却金型ユニット４１は、ワークＷを冷却する。冷却金型ユニット４１は、上加圧ユニットＵＰの下方向の処理位置と、処理位置から水平方向（本実施の形態では、＋Ｙ方向）に離間した待機位置と、の間で移動可能である。冷却金型ユニット４１は、本体部４１ａ、および複数の冷却源４１ｂを備える。
【0021】
本体部４１ａは、冷却源４１ｂを保護する。本体部４１ａは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部４１ａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。本体部４１ａは、上面４１ｃを備える。冷却源４１ｂの構成は、冷却源４０ｄの構成と共通する。冷却源４１ｂは、本体部４１ａの内部に、Ｙ軸方向に平行となるように配置されている。
【0022】
第１ユニット搬送装置４２は、加熱金型ユニット４０および冷却金型ユニット４１を処理位置とそれぞれの待機位置との間で搬送する。第１ユニット搬送装置４２は、例えば、公知の動力源（例えば、モータ：不図示）、動力伝達機構（例えば、ギア、ボールねじなど：不図示）、およびレール（不図示）を備える。
【0023】
第２金型ユニット５は、ワークＷが加熱または冷却されているとき、第１金型ユニット４と共にワークＷを加熱または冷却する。また、第２金型ユニット５は、ワークＷの加熱時の加熱時間および温度変化率、および、ワークＷの冷却時の冷却時間および温度変化率を制御する。第２金型ユニット５は、第１金型ユニット４とは別体である。第２金型ユニット５は、本体部６、複数のヒートパイプ７、第１熱源ユニット８、第２熱源ユニット９、複数の温度測定器１０、および第２ユニット搬送装置１１を備える。
【0024】
本体部６は、ヒートパイプ７を保護する。本体部６は、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部６の形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。本体部６は、後述される本加圧力に耐えられる程度の強度を有すると共に、ワークＷの加熱時／冷却時の本体部６の熱容量が比較的小さくなるような厚みを有する。本体部６の体積は本体部４０ａ，４１ａの体積よりも小さく（例えば、１／ｎ：ｎは２以上の整数）、本体部６の熱容量は本体部４０ａ，４１ａの熱容量よりも小さい。本体部６は、上加圧ユニットＵＰの下方向の処理位置と、処理位置から水平方向（本実施の形態では、－Ｙ方向）に離間した待機位置と、の間で移動可能である。本体部６は、本発明における金型本体部の一例である。本体部６は、上面６ａ、下面６ｂ、複数（本実施の形態では、６個）の挿通孔６ｃ、および複数（本実施の形態では、３個）の挿入穴６ｄを備える。
【0025】
【0026】
挿通孔６ｃは、本体部６をＸ軸方向に沿って貫通する貫通孔である。以下の説明において、挿通孔６ｃそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。Ｙ軸方向において、挿通孔６ｃ１～６ｃ６は、＋Ｙ方向側から順に等間隔で配置されている。
【0027】
挿入穴６ｄは、Ｘ軸方向に沿い、本体部６の＋Ｘ方向側に向けて開口している非貫通孔である。以下の説明において、挿入穴６ｄそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「３」が付記される。挿入穴６ｄ１は挿通孔６ｃ１，６ｃ２間に配置されていて、挿入穴６ｄ２は挿通孔６ｃ３，６ｃ４間に配置されていて、挿入穴６ｄ３は挿通孔６ｃ５，６ｃ６間に配置されている。
【0028】
ヒートパイプ７は、例えば、揮発性の作動流体が封入されている、公知のヒートパイプである。ヒートパイプ７の形状は、直管状である。ヒートパイプ７は、第１端部７ａおよび第２端部７ｂを備える。ヒートパイプ７は、対応する挿通孔６ｃに挿通されていて、本体部６に固定されている。すなわち、上下方向視において、ヒートパイプ７は、Ｘ軸方向に平行に配置されていて、加熱源４０ｃおよび冷却源４１ｂと直交するように、相互に平行に配置されている。第１端部７ａは本体部６から＋Ｘ方向に突出していて、第２端部７ｂは本体部６から－Ｘ方向に突出している。第１端部７ａは本発明における突出端部および第１突出端部の一例であり、第２端部７ｂは本発明における突出端部および第２突出端部の一例である。以下の説明において、ヒートパイプ７それぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。
【0029】
図４は、図３のＢ矢視における第１熱源ユニット８の模式図である。
同図は、説明の便宜上、後述される当接部８０ｂを太い実線で示していて、第１端部７ａのＹＺ平面に沿う断面も図示している。以下の説明において、図１および図２は、図３と共に適宜参照される。
同図は、説明の便宜上、後述される当接部８０ｂを太い実線で示していて、第１端部７ａのＹＺ平面に沿う断面も図示している。以下の説明において、図１および図２は、図３と共に適宜参照される。
【0030】
第１熱源ユニット８は、第１端部７ａに対応していて、ヒートパイプ７（作動流体）を冷却する。すなわち、第１熱源ユニット８は、ヒートパイプ７を冷却する冷却ユニットである。第１熱源ユニット８は、２個の第１クランプ部材８０，８１、２個の第１熱源８２，８３、および第１熱源移動機構８４を備える。
【0031】
第１クランプ部材８０，８１は、ヒートパイプ７が冷却されるとき、ヒートパイプ７の第１端部７ａに当接して、ヒートパイプ７からの熱を第１熱源８２，８３に伝達する。第１クランプ部材８０，８１は、例えば、高い熱伝導性を有する金属（例えば、銅合金）製である。第１クランプ部材８０，８１の形状は、例えば、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、Ｙ軸方向に沿う長手方向を有する直方体状である。第１クランプ部材８０は、下面８０ａを備える。下面８０ａのうち、一部の領域は、ヒートパイプ７が冷却されるとき、対応する第１端部７ａに当接する当接部８０ｂとして機能している。すなわち、第１クランプ部材８０は、複数（本実施の形態では、６個）の当接部８０ｂを備える。Ｙ軸方向において、当接部８０ｂは、等間隔で配置されている。第１クランプ部材８１は、上面８１ａを備える。上面８１ａのうち、一部の領域は、ヒートパイプ７が冷却されるとき、対応する第１端部７ａに当接する当接部８１ｂとして機能している。すなわち、第１クランプ部材８１は、複数（本実施の形態では、６個）の当接部８１ｂを備える。Ｙ軸方向において、当接部８１ｂは、等間隔で配置されている。本体部６が待機位置に位置しているとき、当接部８１ｂは、当接部８０ｂと対向している。第１クランプ部材８０，８１は、上下方向に移動可能である。第１クランプ部材８０，８１は、本発明における熱源本体部の一例である。以下の説明において、当接部８０ｂ，８１ｂそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。
【0032】
第１熱源８２，８３は、第１クランプ部材８０，８１を介して、ヒートパイプ７を冷却する冷却源である。第１熱源８２，８３は、例えば、第１クランプ部材８０，８１を冷却する冷媒が流れる流路である。冷媒は、冷却装置により冷却されていて、第１熱源８２，８３と冷却装置との間で循環されている。第１熱源８２は第１クランプ部材８０の内部に配置されていて、第１熱源８３は第１クランプ部材８１の内部に配置されている。
【0033】
第１熱源移動機構８４は、第１クランプ部材８０，８１を、挟持位置と非挟持位置との間で上下方向に移動させる。「挟持位置」は、第１クランプ部材８０，８１が第１端部７ａを挟持する位置である。「非挟持位置」は、第１クランプ部材８０，８１が第１端部７ａから離間する位置である。第１クランプ部材８０，８１が挟持位置と非挟持位置との間で移動することにより、当接部８０ｂ，８１ｂは第１端部７ａに対して相対移動する。すなわち、第１熱源移動機構８４は、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを切り替える。第１熱源移動機構８４は、例えば、公知の動力源（例えば、モータ：不図示）、および動力伝達機構（例えば、ギア、ボールねじなど：不図示）を備える。第１熱源移動機構８４は、本発明における当接切替部の一例である。
【0034】
【0035】
第２熱源ユニット９は、第２端部７ｂに対応していて、ヒートパイプ７（作動流体）を加熱する。すなわち、第２熱源ユニット９は、ヒートパイプ７を加熱する加熱ユニットである。第２熱源ユニット９は、２個の第２クランプ部材９０，９１、２個の第２熱源９２，９３、および第２熱源移動機構９４を備える。
【0036】
第２クランプ部材９０，９１は、ヒートパイプ７が加熱されるとき、ヒートパイプ７の第２端部７ｂに当接して、第２熱源９２，９３からの熱をヒートパイプ７に伝達する。第２クランプ部材９０，９１の構成は、第１クランプ部材８０，８１の構成と共通する。すなわち、第２クランプ部材９０は、下面９０ａおよび複数（本実施の形態では、６個）の当接部９０ｂを備える。第２クランプ部材９１は、上面９１ａおよび複数（本実施の形態では、６個）の当接部９１ｂを備える。本体部６が待機位置に位置しているとき、当接部９１ｂは、当接部９０ｂと対向している。第２クランプ部材９０，９１は、上下方向に移動可能である。第２クランプ部材９０，９１は、本発明における熱源本体部の一例である。以下の説明において、当接部９０ｂ，９１ｂそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。
【0037】
第２熱源９２，９３は、第２クランプ部材９０，９１を介して、ヒートパイプ７を加熱する加熱源である。第２熱源９２，９３は、例えば、公知の管状ヒータである。第２熱源９２は第２クランプ部材９０の内部に配置されていて、第２熱源９３は第２クランプ部材９１の内部に配置されている。
【0038】
第２熱源移動機構９４は、第２クランプ部材９０，９１を、挟持位置と非挟持位置との間で上下方向に移動させる。「挟持位置」は、第２クランプ部材９０，９１が第２端部７ｂを挟持する位置である。「非挟持位置」は、第２クランプ部材９０，９１が相互に遠ざかって第２端部７ｂから離間する位置である。第２クランプ部材９０，９１が挟持位置と非挟持位置との間で移動することにより、当接部９０ｂ，９１ｂは第２端部７ｂに対して相対移動する。すなわち、第２熱源移動機構９４は、第２端部７ｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを切り替える。第２熱源移動機構９４の構成は、第１熱源移動機構８４の構成と共通する。第２熱源移動機構９４は、本発明における当接切替部の一例である。
【0039】
挿通孔６ｃ、ヒートパイプ７、当接部８０ｂ，８１ｂ，９０ｂ，９１ｂそれぞれにおいて、区別のために付記された符号の番号が同じ部材同士は、相互に対応している。すなわち、例えば、挿通孔６ｃ１はヒートパイプ７１に対応していて、ヒートパイプ７１は挿通孔６ｃ１に挿通されている。当接部８０ｂ１，８１ｂ１は第１端部７ａ１に対応していて、第１端部７ａ１に当接可能である。当接部９０ｂ１，９１ｂ１は第２端部７ｂ１に対応していて、第２端部７ｂ１に当接可能である。
【0040】
ここで、第１熱源ユニット８および第２熱源ユニット９は、本発明における熱源ユニットの一例である。換言すれば、本発明における熱源ユニットは、第１熱源ユニット８および第２熱源ユニット９を備える。
【0041】
温度測定器１０は、本体部６の温度を測定する。温度測定器１０は、例えば、公知の熱電対である。温度測定器１０は、本体部６の対応する挿入穴６ｄに挿入されている。以下の説明において、温度測定器１０それぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「３」が付記される。温度測定器１０１は挿入穴６ｄ１に挿入されていて、温度測定器１０２は挿入穴６ｄ２に挿入されていて、温度測定器１０３は挿入穴６ｄ３に挿入されている。
【0042】
以下の説明において、図１および図２が主に参照される。
第２ユニット搬送装置１１は、本体部６を処理位置と待機位置との間で搬送する。第２ユニット搬送装置１１は、例えば、公知の動力源（例えば、モータ：不図示）、動力伝達機構（例えば、ギア、ボールねじなど：不図示）、およびレール（不図示）を備える。
第２ユニット搬送装置１１は、本体部６を処理位置と待機位置との間で搬送する。第２ユニット搬送装置１１は、例えば、公知の動力源（例えば、モータ：不図示）、動力伝達機構（例えば、ギア、ボールねじなど：不図示）、およびレール（不図示）を備える。
【0043】
ベース部材１２は、上型１４、第１ばね部材１７、および第２ばね部材１８を支持する。ベース部材１２の形状は、上方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。
【0044】
サイド部材１３は、後述される収容室Ｒを区画する。下方向視において、サイド部材１３の形状は、ＸＹ方向に沿う矩形状であり、枠状である。サイド部材１３は、上型１４、枠部材１５、および加圧パッド１６を収容している。サイド部材１３は、第２ばね部材１８を介して、ベース部材１２に支持されている。サイド部材１３は、下面１３ａ、および、サイド部材１３の内面および外面に開口している貫通孔１３ｂを備える。
【0045】
上型１４は、加圧パッド１６を介して、上方向からワークＷを加圧する。上型１４は、ベース部材１２の下方向に配置されていて、ベース部材１２に取り付けられている。上型１４の形状は、下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。
【0046】
枠部材１５は、加圧パッド１６を保持する。下方向視において、枠部材１５の形状は、ＸＹ軸方向に沿う矩形状であり、枠状である。水平方向において、枠部材１５は、上型１４を囲むように配置されている。上下方向において、枠部材１５の下端部は、上型１４よりも下方向に位置している。枠部材１５は、第１ばね部材１７を介して、ベース部材１２に支持されている。
【0047】
加圧パッド１６は、ワークＷが加圧されるとき、ワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧すると共に、後述される収容室Ｒを区画する。加圧パッド１６は、枠部材１５の下端部に保持されていて、上型１４の下方向に配置されている。加圧パッド１６は、柔軟層１６ａおよび断熱層１６ｂを備える。
【0048】
柔軟層１６ａは、例えば、公知の高い流動性および低い反発弾性率を有する弾性体材料製である。柔軟層１６ａは、例えば、柔軟層１６ａの上下に配置されている２枚の膜部材（不図示。以下同じ。）の間に充填されていて、枠部材１５に囲まれている。
【0049】
断熱層１６ｂは、例えば、公知の高い柔軟性および低い熱伝導性を有する繊維素材製である。断熱層１６ｂは、柔軟層１６ａの下方向に、柔軟層１６ａに隣接して配置されている。断熱層１６ｂは、例えば、柔軟層１６ａと同様に、上下方向において２枚の膜部材（不図示。以下同じ。）の間に充填されていて、枠部材１５に囲まれている。
【0050】
なお、本発明において、ワークＷの温度が柔軟層１６ａの耐熱温度よりも低いとき、加圧パッド１６は、断熱層１６ｂを備えていなくてもよい。
【0051】
第１ばね部材１７は、枠部材１５を上型１４に対して上下方向に相対移動可能に支持する。第１ばね部材１７は、ベース部材１２と枠部材１５との間に配置されていて、それぞれに取り付けられている。
【0052】
第２ばね部材１８は、サイド部材１３を上型１４および枠部材１５に対して上下方向に相対移動可能に支持する。第２ばね部材１８は、ベース部材１２とサイド部材１３との間に配置されていて、それぞれに取り付けられている。
【0053】
シール部材１９，２０は、サイド部材１３と枠部材１５との間、および載置板３とサイド部材１３との間を気密に封止する。シール部材１９，２０は、例えば、公知のＯ－リングである。シール部材１９は、サイド部材１３と枠部材１５との間に配置されている。シール部材２０は、サイド部材１３の下面１３ａに配置されている。
【0054】
ポンプＰは、貫通孔１３ｂに接続されている、公知の真空ポンプである。
【0055】
本実施の形態では、ワークＷが加圧されるとき、上加圧ユニットＵＰ、および載置板３により、ワークＷが収容されるチャンバユニットＣＵ（図７参照）が組み立てられている。チャンバユニットＣＵが組み立てられたとき、ワークＷは、載置板３、サイド部材１３、枠部材１５、加圧パッド１６、およびシール部材１９，２０により区画された密閉空間（以下「収容室Ｒ（図６参照）」という。）に、収容されている。
【0056】
●加圧装置（１）の動作
次に、本装置１の動作が、以下に説明される。以下の説明において、図１～図５は、適宜参照される。本装置１において、ワークＷが搬入される前、加熱金型ユニット４０は処理位置に位置していて、冷却金型ユニット４１は待機位置に位置していて、上加圧ユニットＵＰは加熱金型ユニット４０の上方向に位置している。
次に、本装置１の動作が、以下に説明される。以下の説明において、図１～図５は、適宜参照される。本装置１において、ワークＷが搬入される前、加熱金型ユニット４０は処理位置に位置していて、冷却金型ユニット４１は待機位置に位置していて、上加圧ユニットＵＰは加熱金型ユニット４０の上方向に位置している。
【0057】
先ず、ワークＷが載置された載置板３が、冷却金型ユニット４１に載置される。次いで、第１ユニット搬送装置４２は、加熱金型ユニット４０を待機位置に搬送して、冷却金型ユニット４１を処理位置に搬送する。
【0058】
次いで、制御装置２は、シール部材２０が載置板３に密着するまで、上加圧ユニットＵＰを下降させる。このとき、載置板３と上加圧ユニットＵＰとの間には収容室Ｒが形成されていて、ワークＷは収容室Ｒに収容されている。
【0059】
図６は、ワークＷが収容室Ｒに収容された状態を示す、本装置１の模式断面図である。
【0060】
次いで、制御装置２は、ポンプＰを動作させて、収容室Ｒ内の雰囲気を減圧雰囲気にする。このとき、真空圧（収容室ＲとチャンバユニットＣＵ（図７参照。以下同じ。）の外部空間との圧力差）により、載置板３がサイド部材１３に密着して（取り付けられて）、第２ばね部材１８が収縮して載置板３およびサイド部材１３が上昇する。その結果、加圧パッド１６がワークＷに接触して、ワークＷは真空圧に応じた予備加圧力により予備加圧される。予備加圧により、加圧パッド１６がワークＷの表面の形状に応じて変形して、ワークＷは載置板３および加圧パッド１６に保持される。ここで、予備加圧力は、後述される本加圧力よりも十分に小さい。このように、載置板３が上加圧ユニットＵＰに取り付けられることにより、チャンバユニットＣＵが組み立てられて、ワークＷがチャンバユニットＣＵに収容される。
【0061】
次いで、制御装置２は、チャンバユニットＣＵを上昇させる。次いで、第１ユニット搬送装置４２および第２ユニット搬送装置１１は、加熱金型ユニット４０および本体部６を処理位置に搬送して、冷却金型ユニット４１を待機位置に搬送する。
【0062】
【0063】
ヒートパイプ７の第１端部７ａは第１クランプ部材８０，８１の間に位置していて、第２端部７ｂは第２クランプ部材９０，９１の間に位置している。本体部６の下面６ｂは、加熱金型ユニット４０の本体部４０ａの上面４０ｅに当接している。加熱金型ユニット４０は、既定の加熱用の温度「Ｔ１：例えば、約４００℃」まで加熱されている。そのため、加熱金型ユニット４０からの熱は本体部６に伝達されて、本体部６は温度「Ｔ１」まで加熱される。ここで、温度「Ｔ１」は、ワークＷの加熱速度を上げるため、既定の処理用の温度「Ｔ２：例えば、３００℃」よりも高い温度に設定されている。
【0064】
次いで、制御装置２は、載置板３が本体部６に当接するまでチャンバユニットＣＵを下降させる。このとき、本体部６およびヒートパイプ７は、載置板３と加熱金型ユニット４０との間に配置されている。
【0065】
図９は、チャンバユニットＣＵが下降した状態を示す、本装置１の模式断面図である。
図１０は、ワークＷの加熱時におけるワークＷ、加熱金型ユニット４０、および本体部６の温度変化の一例を示すタイミングチャートである。
図１０は、制御装置２がワークＷの温度制御において参照する温度プロファイルＰｒ１の一例も示している。以下の説明において、図１０は、適宜参照される。
図１０は、ワークＷの加熱時におけるワークＷ、加熱金型ユニット４０、および本体部６の温度変化の一例を示すタイミングチャートである。
図１０は、制御装置２がワークＷの温度制御において参照する温度プロファイルＰｒ１の一例も示している。以下の説明において、図１０は、適宜参照される。
【0066】
次いで、制御装置２は、ワークＷに所定の加圧力（以下「本加圧力」という。）が加えられるまで、ベース部材１２を下降させる。このとき、上型１４は、枠部材１５およびサイド部材１３に対して相対的に下降する。そのため、上型１４は、加圧パッド１６を下方向へ向けて押圧して、加圧パッド１６はワークＷの表面の形状に追従するように変形して、ワークＷを均等に加圧する。
【0067】
また、載置板３が本体部６に当接したとき、制御装置２は、加熱金型ユニット４０の設定温度を「Ｔ２」に変更する。本体部４０ａの熱容量は大きいため、加熱金型ユニット４０および本体部６の温度は、温度「Ｔ１」から温度「Ｔ２」へと比較的緩やかに低下する。このとき、加熱金型ユニット４０からの熱は、本体部６および載置板３を介して、ワークＷに伝達される。このとき、ワークＷの加熱速度は、ワークＷの温度が加熱金型ユニット４０および本体部６の温度（温度「Ｔ１」～「Ｔ２」）近くになるまでは速く、ワークＷの温度がさらに同温度に近づくにつれて遅くなる。そのため、本実施の形態では、同加熱速度を速くするため、載置板３が当接する前の加熱金型ユニット４０の設定温度は、温度「Ｔ２」よりも高い温度「Ｔ１」に設定されている。この温度「Ｔ１」が高くなるにつれて、ワークＷの加熱速度は速くなるが、ワークＷの温度は温度「Ｔ２」を超過し易くなる（オーバーシュートし易くなる）。そこで、この温度超過を抑制するために、第２金型ユニット５が用いられる。
【0068】
次いで、ワークＷが既定の温度「Ｔ３」まで加熱されたとき、第１熱源移動機構８４は、第１クランプ部材８０，８１を挟持位置に移動させる。このとき、当接部８０ｂ１～８０ｂ６，８１ｂ１～８１ｂ６は、一括して移動して、一括して対応する第１端部７ａ１～７ａ６に当接する。その結果、第１熱源ユニット８は、ヒートパイプ７に接触する。
【0069】
温度「Ｔ３」は、後述されるヒートパイプ７の冷却により、ワークＷの温度が温度「Ｔ２」を超過しないように（または、仮に、ワークＷの温度が温度「Ｔ２」を超過しても、超過温度が小さくなるように）、温度「Ｔ２」よりも低い温度に予め設定されている。本実施の形態では、例えば、ワークＷの温度変化率は、予め測定されている。第１熱源移動機構８４は、その温度変化率、および、載置板３が本体部６に当接した時からの経過時間、に基づいて、所定の経過時間においてワークＷの温度が温度「Ｔ２」に到達したものとして、第１クランプ部材８０，８１を移動させる。
【0070】
なお、本発明において、第１熱源移動機構８４は、本体部６が既定の温度「Ｔｘ」まで冷却されたとき、第１クランプ部材８０，８１を挟持位置に移動させてもよい。すなわち、第１熱源移動機構８４は、温度測定器１０の測定結果に基づいて、当接部８０ｂ１～８０ｂ６，８１ｂ１～８１ｂ６の離間と当接とを切り替えてもよい。この場合、例えば、ワークＷの温度変化率は予め測定されていて、温度「Ｔｘ」は同温度変化率に基づいて予め設定されている。
【0071】
図１１は、第１クランプ部材８０，８１が挟持位置に移動した状態を示す、本装置１の模式断面図である。
【0072】
第１クランプ部材８０，８１が挟持位置に移動したとき、当接部８０ｂ，８１ｂは、上下方向から対応する第１端部７ａに当接している。第１クランプ部材８０，８１は、第１熱源８２，８３により、予め既定の温度「Ｔｃ：例えば、約２０℃」まで冷却されている。すなわち、第１クランプ部材８０，８１は、第１端部７ａに対する冷却源としても機能する。前述のとおり、第１クランプ部材８０，８１の形状は直方体状であり、全ての当接部８０ｂ，８１ｂは１個の第１クランプ部材８０，８１に配置されている。すなわち、第１クランプ部材８０，８１の熱容量は、比較的大きい。そのため、第１クランプ部材８０，８１はヒートパイプ７により加熱され難く、第１端部７ａは第１クランプ部材８０，８１により急冷却される。したがって、（加熱金型ユニット４０から伝達される）本体部６の熱は、ヒートパイプ７を介して第１クランプ部材８０，８１に伝達される。その結果、本体部６の温度は、加熱金型ユニット４０の温度よりも低くなり、温度「Ｔ２」に近づく。ワークＷの加熱速度は、温度「Ｔ３」から温度「Ｔ２」までの間で、急速に低下する。このとき、ワークＷの加熱時の温度変化率は、ヒートパイプ７を冷却することなく加熱源４０ｃの電源をＯＦＦにした場合と比較して、小さくなる。その後、ワークＷの温度は、温度「Ｔ２」で安定する。このように、本装置１は、ワークＷの加熱時にヒートパイプ７を冷却することにより、ワークＷの加熱時の温度変化率を制御する。その結果、本装置１は、ワークＷの加熱速度を速めつつ、ワークＷの温度超過を抑制するような温度制御を実現する。
【0073】
次いで、加熱金型ユニット４０の温度が温度「Ｔ２」まで低下したとき、第１熱源移動機構８４は、第１クランプ部材８０，８１を非挟持位置に移動させる。このとき、当接部８０ｂ１～８０ｂ６，８１ｂ１～８１ｂ６は、一括して移動して、一括して対応する第１端部７ａ１～７ａ６から離間する。その結果、第１熱源ユニット８は、ヒートパイプ７から離間する。
【0074】
図１２は、第１クランプ部材８０，８１が非挟持位置に移動した状態を示す、本装置１の模式断面図である。
【0075】
第１クランプ部材８０，８１が非挟持位置に移動したとき、第１クランプ部材８０，８１は、第１端部７ａから機械的に離間される。その結果、本体部６、ヒートパイプ７、およびワークＷの温度は、加熱金型ユニット４０の温度である温度「Ｔ２」に維持される。
【0076】
なお、本発明において、第１熱源移動機構８４は、例えば、温度測定器１０の温度測定結果に基づいて、規定の温度プロファイルＰｒ１に沿ってワークＷが加熱されるように、当接部８０ｂ，８１ｂの第１端部７ａへの当接と離間とを１回以上切り替えてもよい。この場合、ワークＷの加熱時の温度は、温度プロファイルＰｒ１にさらに沿うように変化する。その結果、本装置１は、ワークＷの加熱時の温度変化率を温度プロファイルＰｒ１に沿って正確に制御できる。このように、ワークＷの加熱時の温度変化率は、第１金型ユニット４および第２金型ユニット５により制御される。換言すれば、ワークＷが加熱されているとき、第２金型ユニット５は、第１金型ユニット４と共にワークＷを加熱している。
【0077】
次いで、所定時間の経過後、制御装置２は、ワークＷの加圧を終了させる。次いで、制御装置２は、チャンバユニットＣＵを上昇させて、載置板３を本体部６から離間させる。次いで、第１ユニット搬送装置４２は、加熱金型ユニット４０を待機位置に移動させて、冷却金型ユニット４１を処理位置に移動させる。このとき、本体部６およびヒートパイプ７は、載置板３と冷却金型ユニット４１との間に配置されている。
【0078】
【0079】
ヒートパイプ７の第１端部７ａは第１クランプ部材８０，８１の間に位置していて、第２端部７ｂは第２クランプ部材９０，９１の間に位置している。本体部６の下面６ｂは、冷却金型ユニット４１の本体部４１ａの上面４１ｃに当接している。冷却金型ユニット４１は、予め既定の温度「Ｔ４：例えば、約２０℃」に冷却されている。また、前述のとおり、本体部６の熱容量は本体部４１ａの熱容量よりも小さい。そのため、本体部６からの熱は冷却金型ユニット４１に伝達されて、本体部６は温度「Ｔ４」まで冷却される。
【0080】
次いで、制御装置２は、載置板３が本体部６に当接するまでチャンバユニットＣＵを下降させる。
【0081】
図１５は、チャンバユニットＣＵが下降した状態を示す、本装置１の模式断面図である。
図１６は、ワークＷの冷却時におけるワークＷ、冷却金型ユニット４１、および本体部６の温度変化の一例を示すタイミングチャートである。
図１６は、制御装置２がワークＷの温度制御において参照する温度プロファイルＰｒ２の一例も示している。以下の説明において、図１６は、適宜参照される。
図１６は、ワークＷの冷却時におけるワークＷ、冷却金型ユニット４１、および本体部６の温度変化の一例を示すタイミングチャートである。
図１６は、制御装置２がワークＷの温度制御において参照する温度プロファイルＰｒ２の一例も示している。以下の説明において、図１６は、適宜参照される。
【0082】
載置板３が本体部６に当接したとき、ワークＷおよび載置板３からの熱は、本体部６に伝達される。その結果、ワークＷおよび載置板３は急冷却されて、本体部６は急加熱される。このとき、本体部６は、ワークＷ、載置板３、および、本体部６よりも熱容量の大きい本体部４１ａを備える冷却金型ユニット４１、に冷却されている。そのため、本体部６の温度変化率（加熱速度）は、ワークＷおよび載置板３の温度変化率（冷却速度）よりも小さい。
【0083】
次いで、第１熱源移動機構８４は、本体部６が既定の温度「Ｔ５」まで加熱されたとき、第１クランプ部材８０，８１を挟持位置に移動させる。このとき、当接部８０ｂ１～８０ｂ６，８１ｂ１～８１ｂ６は、一括して移動して、一括して対応する第１端部７ａ１～７ａ６に当接する。その結果、第１熱源ユニット８は、ヒートパイプ７に接触する。
【0084】
温度「Ｔ５」は、本体部６の温度が上昇し過ぎないように、後述される温度「Ｔ６」よりも低い温度に予め設定されている。本実施の形態では、第１熱源移動機構８４は、温度測定器１０の測定結果に基づいて、当接部８０ｂ１～８０ｂ６，８１ｂ１～８１ｂ６の離間と当接とを切り替えている。
【0085】
なお、本発明において、第１熱源移動機構８４は、ワークＷが既定の温度「Ｔｙ」まで冷却されたとき、第１クランプ部材８０，８１を挟持位置に移動させてもよい。この場合、例えば、ワークＷの温度変化率は予め測定されていて、温度「Ｔｙ」は同温度変化率に基づいて予め設定されている。第１熱源移動機構８４は、載置板３が本体部６に当接した時からの経過時間に基づいて、ワークＷの温度を推定する。
【0086】
図１７は、第１クランプ部材８０，８１が挟持位置に移動した状態を示す、本装置１の模式断面図である。
【0087】
第１クランプ部材８０，８１が挟持位置に移動したとき、当接部８０ｂ，８１ｂは、上下方向から対応する第１端部７ａに当接している。前述のとおり、第１クランプ部材８０，８１は、第１端部７ａに対する冷却源として機能する。その結果、本体部６の加熱は抑制されて、本体部６の温度は、温度「Ｔ５」近傍（例えば、温度「Ｔ５」と温度「Ｔ６」との間の温度）に維持されて、次いで、緩やかに低下する。その結果、本体部６の温度上昇によるワークＷの冷却速度の低下は、抑制される。すなわち、ワークＷの温度変化率の減少は、抑制される。
【0088】
次いで、第１熱源移動機構８４は、ワークＷの温度が既定の温度「Ｔ６」まで冷却されたとき、第１クランプ部材８０，８１を非挟持位置に移動させる。このとき、当接部８０ｂ１～８０ｂ６，８１ｂ１～８１ｂ６は、一括して移動して、一括して対応する第１端部７ａ１～７ａ６から離間する。本実施の形態では、例えば、ワークＷの温度変化率は、予め測定されている。第１熱源移動機構８４は、その温度変化率、および、載置板３が本体部６に当接した時からの経過時間、に基づいて、所定の経過時間においてワークＷの温度が温度「Ｔ６」に到達したものとして、第１クランプ部材８０，８１を移動させる。
【0089】
なお、本発明において、第１熱源移動機構８４は、本体部６が既定の温度「Ｔｚ」まで冷却されたとき、第１クランプ部材８０，８１を非挟持位置に移動させてもよい。すなわち、第１熱源移動機構８４は、温度測定器１０の測定結果に基づいて、当接部８０ｂ１～８０ｂ６，８１ｂ１～８１ｂ６の当接と離間とを切り替えてもよい。この場合、例えば、ワークＷの温度変化率は予め測定されていて、温度「Ｔｚ」は同温度変化率に基づいて予め設定されている。
【0090】
図１８は、第１クランプ部材８０，８１が非挟持位置に移動した状態を示す、本装置１の模式断面図である。
【0091】
第１クランプ部材８０，８１が非挟持位置に移動したとき、第１クランプ部材８０，８１は、第１端部７ａから機械的に離間される。その後、ワークＷの温度は緩やかに低下して、冷却金型ユニット４１および本体部６の温度も緩やかに温度「Ｔ４」に低下する。
【0092】
なお、本発明において、第１熱源移動機構８４は、例えば、温度測定器１０の温度測定結果に基づいて、規定の温度プロファイルＰｒ２に沿ってワークＷが冷却されるように、当接部８０ｂ，８１ｂの第１端部７ａへの当接と離間とを１回以上切り替えてもよい。この場合、ワークＷの冷却時の温度は、温度プロファイルＰｒ２にさらに沿うように変化する。その結果、本装置１は、ワークＷの冷却時の温度変化率を温度プロファイルＰｒ２に沿って正確に制御できる。このように、ワークＷの冷却時の温度変化率は、第１金型ユニット４および第２金型ユニット５により制御される。換言すれば、ワークＷが冷却されているとき、第２金型ユニット５は、第１金型ユニット４と共にワークＷを冷却している。
【0093】
次いで、所定時間の経過後、制御装置２は、チャンバユニットＣＵを上昇させて、載置板３を本体部６から離間させる。次いで、第２ユニット搬送装置１１は、本体部６を待機位置に移動させる。次いで、制御装置２は、載置板３が冷却金型ユニット４１に当接するまで、チャンバユニットＣＵを下降させる。次いで、制御装置２は、ポンプＰを停止させて、収容室Ｒの雰囲気を不活性ガスでパージすることにより、ワークＷをチャンバユニットＣＵから取り出す。
【0094】
図１９は、ワークＷの実際の温度変化の一例を示す模式図である。
【0095】
同図において、「例１」は、本発明の一実施例として、本装置１により、加熱時にヒートパイプ７を冷却したときの温度変化を示している。「例２」は、比較例として、予め加熱されている加熱金型ユニット４０にチャンバユニットＣＵを当接させたときの温度変化を示している。「例３」は、予め加熱されていない加熱金型ユニット４０にチャンバユニットＣＵを当接させた後に、加熱金型ユニット４０を加熱したときの温度変化を示している。同図に示されるとおり、「例１」では、「例２」と同じ加熱時間で、「例２」とは異なる温度変化率（「例３」に近い温度変化率）が得られている。
【0096】
このように、本装置１では、ワークＷの加熱時に、ヒートパイプ７が冷却されることにより、本体部６は冷却されて、ワークＷの加熱速度は急速に減少する。すなわち、ワークＷの温度変化率は、急速に小さくなる（大きく変更される）。その結果、ワークＷが温度「Ｔ３」まで急加熱されても、ワークＷの温度は温度「Ｔ２」を超過しない。そして、ヒートパイプ７から冷却源（第１クランプ部材８０，８１および第１熱源８２，８３）が機械的に離間されることにより、ヒートパイプ７の冷却は強制的に終了する。その結果、ヒートパイプ７の熱的状態は、冷却状態（温度平衡状態）から、加熱金型ユニット４０による加熱状態に瞬間的に切り替わる。同様に、本装置１では、ワークＷの冷却時に、ヒートパイプ７が冷却されることにより、本体部６は冷却されて、本体部６の温度上昇によるワークＷの冷却速度の低下は抑制される。すなわち、ワークＷの温度変化率の減少は、抑制される。その結果、ヒートパイプ７が冷却されない場合と比較して、ワークＷの温度変化率は大きくなり、ワークＷは急冷却される。そして、ヒートパイプ７から冷却源が機械的に離間されることにより、ヒートパイプ７の冷却は強制的に終了する。その結果、ヒートパイプ７の熱的状態は、冷却状態（温度平衡状態）から冷却金型ユニット４１による冷却状態に瞬間的に切り替わる。この熱的状態の瞬間的な切替は、ヒートパイプ７から熱源が機械的に離間されることにより可能となるものであり、ヒートパイプ７の熱源のＯＮ／ＯＦＦの切替では得られないものである。
【0097】
本装置１は、第２金型ユニット５が第１金型ユニット４と共にワークＷを冷却することにより、加熱時および冷却時におけるワークＷの温度変化率を少なくとも２段階で制御可能である。したがって、本装置１は、ワークＷの加熱時間および冷却時間を変更可能である。また、本装置１は、ヒートパイプ７に対する熱源の当接および離間の回数およびタイミングを制御することにより、ワークＷの複雑な温度制御を可能とすると共に、ワークＷの加熱時（冷却時）の温度変化率を目的に応じて制御可能である。すなわち、例えば、ワークＷが焼結材であり、ワークＷの温度が焼結開始温度に到達する前に、ワークＷに本加圧力が加えられていなければならないとき、本装置１は、焼結開始温度前後における加熱時の温度変化率を変えることにより、同ワークＷに対応可能である。このように、本装置１は、ワークＷに加えられる加圧力と、温度と、の関係を、ワークＷの種類ごとに制御可能となる。
【0098】
なお、本発明において、ワークＷの加熱時、第１クランプ部材８０，８１に代えて、第２クランプ部材９０，９１が当接位置に移動していてもよい。
【0099】
図２０は、ワークＷの加熱時に第２クランプ部材９０，９１が挟持位置に移動した状態を示す、本装置１の模式断面図である。
【0100】
この場合、ワークＷは、急加熱される。すなわち、ワークＷの加熱時の温度変化率は大きくなり、加熱時間は短くなる。ワークＷが温度「Ｔ３」まで加熱されたとき、第２熱源移動機構９４は第２クランプ部材９０，９１を非当接位置に移動させて、第１熱源移動機構８４は第１クランプ部材８０，８１を当接位置に移動させる。その結果、ワークＷの温度は、温度「Ｔ２」を超過しない。この構成は、特に、加熱金型ユニット４０の加熱性能が低い場合に有効である。
【0101】
また、本発明において、ワークＷの冷却時、第１クランプ部材８０，８１に代えて、第２クランプ部材９０，９１が当接位置に移動してもよい。この場合、ワークＷは徐冷される。すなわち、ワークＷの冷却時の温度変化率は小さくなり、冷却時間は長くなる。
【0102】
さらに、本発明において、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接および離間のタイミングは、本実施の形態に限定されない。第２端部７ｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接および離間のタイミングも、同様である。
【0103】
●まとめ（１）
以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、第１金型ユニット４および第２金型ユニット５を備える。第２金型ユニット５は、第１金型ユニット４と共にワークＷを加熱または冷却する。第２金型ユニット５は、本体部６、複数のヒートパイプ７、第１熱源ユニット８、および第２熱源ユニット９を備える。本体部６は、ワークＷの加熱時および冷却時に、第１金型ユニット４とワークＷ（載置板３）との間に配置されている。第１熱源ユニット８は、複数の当接部８０ｂ，８１ｂ、および第１熱源移動機構８４を備える。第２熱源ユニット９は、複数の当接部９０ｂ，９１ｂ、および第２熱源移動機構９４を備える。第１熱源移動機構８４は、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを切り替える。第２熱源移動機構９４は、第２端部７ｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを切り替える。この構成によれば、本装置１は、ヒートパイプ７の熱的状態を、加熱状態と冷却状態との間で瞬間的に切り替え可能である。したがって、本装置１は、ヒートパイプ７に対する熱源の当接および離間の回数およびタイミングを制御することにより、ワークＷの複雑な温度制御を可能とすると共に、ワークＷの加熱時および冷却時の温度変化率を目的に応じて制御できる。
以上説明された実施の形態によれば、本装置１は、第１金型ユニット４および第２金型ユニット５を備える。第２金型ユニット５は、第１金型ユニット４と共にワークＷを加熱または冷却する。第２金型ユニット５は、本体部６、複数のヒートパイプ７、第１熱源ユニット８、および第２熱源ユニット９を備える。本体部６は、ワークＷの加熱時および冷却時に、第１金型ユニット４とワークＷ（載置板３）との間に配置されている。第１熱源ユニット８は、複数の当接部８０ｂ，８１ｂ、および第１熱源移動機構８４を備える。第２熱源ユニット９は、複数の当接部９０ｂ，９１ｂ、および第２熱源移動機構９４を備える。第１熱源移動機構８４は、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを切り替える。第２熱源移動機構９４は、第２端部７ｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを切り替える。この構成によれば、本装置１は、ヒートパイプ７の熱的状態を、加熱状態と冷却状態との間で瞬間的に切り替え可能である。したがって、本装置１は、ヒートパイプ７に対する熱源の当接および離間の回数およびタイミングを制御することにより、ワークＷの複雑な温度制御を可能とすると共に、ワークＷの加熱時および冷却時の温度変化率を目的に応じて制御できる。
【0104】
また、以上説明された実施の形態によれば、第２金型ユニット５は、温度測定器１０を備える。第１熱源移動機構８４および第２熱源移動機構９４は、温度測定器１０の温度測定結果に基づいて、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを制御して、第２端部７ｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを制御する。この構成によれば、ワークＷの温度（温度変化率）は、下加圧ユニットＤＰのうち、最もワークＷに近い部材である本体部６の実温度に基づいて、制御される。そのため、ワークＷの温度制御の精度は、向上する。
【0105】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、第１金型ユニット４は、加熱金型ユニット４０を備える。第１熱源ユニット８は、ヒートパイプ７を冷却する第１熱源８２，８３を備える。第１熱源移動機構８４は、温度プロファイルＰｒ１に沿ってワークＷが加熱されるように、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを制御する。この構成によれば、本装置１は、ワークＷの加熱時の温度変化率および加熱時間を、温度プロファイルＰｒ１に沿って制御できる。
【0106】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、第１金型ユニット４は、冷却金型ユニット４１を備える。第２熱源ユニット９は、ヒートパイプ７を加熱する第２熱源９２，９３を備える。第２熱源移動機構９４は、温度プロファイルＰｒ２に沿ってワークＷが冷却されるように、第２端部７ｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを制御する。この構成によれば、本装置１は、ワークＷの冷却時の温度変化率および冷却時間を、温度プロファイルＰｒ２に沿って制御できる。
【0107】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、ヒートパイプ７が冷却されるとき、当接部８０ｂ，８１ｂが第１端部７ａに当接していて、ヒートパイプ７が加熱されるとき、当接部９０ｂ，９１ｂが第２端部７ｂに当接している。換言すれば、第１熱源移動機構８４および第２熱源移動機構９４は、ヒートパイプ７の加熱および冷却に応じて、第１熱源ユニット８と第２熱源ユニット９とを切り替えている。すなわち、第１熱源移動機構８４および第２熱源移動機構９４は、本発明におけるユニット切替部として機能している。この構成によれば、本装置１は、ワークＷの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間をさらに制御できる。
【0108】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、第２金型ユニット５は、第１端部７ａに対応する第１熱源ユニット８、および、第２端部７ｂに対応する第２熱源ユニット９を備える。第１熱源ユニット８は冷却ユニットであり、第２熱源ユニット９は加熱ユニットである。この構成によれば、ワークＷの加熱時に当接部８０ｂ，８１ｂを第１端部７ａに当接させると、ワークＷの加熱時の温度変化率は小さくなり、加熱時間は長くなる。また、ワークＷの冷却時に当接部８０ｂ，８１ｂを第１端部７ａに当接させると、ワークＷの冷却時の温度変化率は大きくなり、冷却時間は短くなる。一方、ワークＷの加熱時に当接部９０ｂ，９１ｂを第２端部７ｂに当接させると、ワークＷの加熱時の温度変化率は大きくなり、加熱時間は短くなる。また、ワークＷの冷却時に当接部９０ｂ，９１ｂを第２端部７ｂに当接させると、ワークＷの冷却時における温度変化率は小さくなり、冷却時間は長くなる。このように、本装置１は、ワークＷの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間を制御できる。
【0109】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、第１熱源移動機構８４は、第１クランプ部材８０，８１を移動させることにより、複数の当接部８０ｂ，８１ｂを対応する第１端部７ａに一括して当接させて、または、一括して離間させる。第２熱源移動機構９４は、第２クランプ部材９０，９１を移動させることにより、複数の当接部９０ｂ，９１ｂを対応する第２端部７ｂに一括して当接させて、または、一括して離間させる。この構成によれば、第１クランプ部材８０，８１および第２クランプ部材９０，９１の構造は、単純化できる。また、第１クランプ部材８０，８１および第２クランプ部材９０，９１の熱容量は、比較的大きくなる。
【0110】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、第２金型ユニット５は、第１金型ユニット４と別体である。本体部６は、第１金型ユニット４に対して、水平方向に相対移動可能である。ワークＷが加熱または冷却されないとき、本体部６は、処理位置から待機位置に相対移動する。この構成によれば、第２金型ユニット５の使用の有無は、自由に選択可能である。すなわち、本装置１は、第１金型ユニット４のみを用いて、ワークＷを加熱／冷却できる。その結果、本装置１は、第２金型ユニット５の使用の有無の選択により、ワークＷの加熱時／冷却時の温度変化率および時間を変更できる。また、加熱金型ユニット４０および冷却金型ユニット４１に対して１個の第２金型ユニット５が、使用可能である。そのため、加熱金型ユニット４０および冷却金型ユニット４１それぞれ専用の第２金型ユニット５が必要な場合と比較して、本装置１の構成は簡素化される。さらに、加熱金型ユニット４０に本体部６を当接させることにより、本体部６は、加熱金型ユニット４０の温度ではなく、室温から加熱可能である。
【0111】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、上下方向視において、ヒートパイプ７は、加熱源４０ｃおよび冷却源４１ｂと直交するように、相互に平行に配置されている。この構成によれば、ヒートパイプ７が第１熱源ユニット８または第２熱源ユニット９により加熱または冷却されていないとき、本体部６の均温性は、向上する。
【0112】
●加圧装置（２）●
次に、本装置の別の実施の形態（以下「第２実施形態」という。）が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）とは異なる部分を中心に、以下に説明される。第２実施形態では、第２金型ユニットが第１金型ユニットと一体である点が、第１実施形態と異なる。以下の説明において、第１実施形態と同じ要素、および、共通する機能を有する要素には、第１実施形態と同一の符号が付されていて、その説明は省略される。以下の説明において、図４および図５は、適宜参照される。
次に、本装置の別の実施の形態（以下「第２実施形態」という。）が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）とは異なる部分を中心に、以下に説明される。第２実施形態では、第２金型ユニットが第１金型ユニットと一体である点が、第１実施形態と異なる。以下の説明において、第１実施形態と同じ要素、および、共通する機能を有する要素には、第１実施形態と同一の符号が付されていて、その説明は省略される。以下の説明において、図４および図５は、適宜参照される。
【0113】
【0114】
本装置１Ｚは、上下方向においてワークＷを挟み込んで加圧する。本装置１Ｚは、制御装置２、載置板３、金型ユニット４Ｚ、ベース部材１２、サイド部材１３、上型１４、枠部材１５、加圧パッド１６、第１ばね部材１７、第２ばね部材１８、２つのシール部材１９，２０、およびポンプＰを備える。載置板３、および金型ユニット４Ｚは、ワークＷよりも下方向に配置されていて、ワークＷを下方向から加圧する下加圧ユニットＤＰＺとして機能している。
【0115】
金型ユニット４Ｚは、ワークＷを加熱および冷却する。金型ユニット４Ｚは、加熱金型ユニット４０Ｚ、冷却金型ユニット４１Ｚ、第１ユニット搬送装置４２、複数（第２実施形態では、各６個）のヒートパイプ７，７Ｚ、第１熱源ユニット８、第２熱源ユニット９、および複数（第２実施形態では、各３個）の温度測定器１０を備える。
【0116】
加熱金型ユニット４０Ｚは、ワークＷを加熱する。加熱金型ユニット４０Ｚは、処理位置と待機位置との間で移動可能である。加熱金型ユニット４０Ｚは、本体部４０Ｚａ、断熱部材４０ｂ、複数の加熱源４０ｃ、複数の冷却源４０ｄ、上面４０ｅ、および複数（第２実施形態では、６個）の挿通孔４０ｆ、および複数（第２実施形態では、３個）の挿入穴４０ｇを備える。
【0117】
本体部４０Ｚａは、加熱源４０ｃ、冷却源４０ｄ、およびヒートパイプ７を保護する。本体部４０Ｚａは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部４０Ｚａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。断熱部材４０ｂは、本体部４０Ｚａを上下に２分割するように配置されている。加熱源４０ｃは、本体部４０Ｚａの上半部の内部に、Ｙ軸方向に平行となるように配置されている。冷却源４０ｄは、本体部４０Ｚａの下半部の内部に、Ｙ軸方向に平行となるように配置されている。
【0118】
【0119】
挿通孔４０ｆは、本体部４０ＺａをＸ軸方向に沿って貫通する貫通孔である。挿通孔４０ｆは、加熱源４０ｃよりも上方向であって、本体部４０Ｚａの上部に配置されている。以下の説明において、挿通孔４０ｆそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。Ｙ軸方向において、挿通孔４０ｆ１～４０ｆ６は、＋Ｙ方向側から順に等間隔で配置されている。
【0120】
挿入穴４０ｇは、Ｘ軸方向に沿い、本体部４０Ｚａの＋Ｘ方向側に向けて開口している非貫通孔である。以下の説明において、挿入穴４０ｇそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「３」が付記される。挿入穴４０ｇ１は挿通孔４０ｆ１，４０ｆ２間に配置されていて、挿入穴４０ｇ２は挿通孔４０ｆ３，４０ｆ４間に配置されていて、挿入穴４０ｇ３は挿通孔４０ｆ５，４０ｆ６間に配置されている。
【0121】
ヒートパイプ７は、対応する挿通孔４０ｆに挿通されていて、本体部４０Ｚａに固定されている。すなわち、本体部４０Ｚａは、本発明における金型本体部としても機能している。その結果、上下方向において、本体部４０Ｚａのうち、ヒートパイプ７が固定されている領域（上部側の領域）は、第１熱源ユニット８、第２熱源ユニット９、および温度測定器１０と共に、第１実施形態の第２金型ユニット５として機能している。同様に、本体部４０Ｚａのうち、ヒートパイプ７が固定されている領域よりも下部側の領域（加熱源４０ｃおよび冷却源４０ｄが配置されている領域）は、第１実施形態の第１金型ユニット４として機能している。すなわち、金型ユニット４Ｚは、第１実施形態の第１金型ユニット４および第２金型ユニット５を備えている。このように、第２実施形態では、第１実施形態の第１金型ユニット４（加熱金型ユニット４０）と第２金型ユニット５の一部（本体部６およびヒートパイプ７）とは、一体である。
【0122】
挿通孔４０ｆ、ヒートパイプ７、当接部８０ｂ，８１ｂ，９０ｂ，９１ｂそれぞれにおいて、区別のために付記された符号の番号が同じ部材同士は、相互に対応している。すなわち、例えば、挿通孔４０ｆ１はヒートパイプ７Ｚ１に対応していて、ヒートパイプ７Ｚ１は挿通孔４０ｆ１に挿通されている。当接部８０ｂ１，８１ｂ１は第１端部７ａ１に対応していて、第１端部７ａ１に当接可能である。当接部９０ｂ１，９１ｂ１は第２端部７ｂ１に対応していて、第２端部７ｂ１に当接可能である。
【0123】
以下の説明において、図２１および図２２が主に参照される。
冷却金型ユニット４１Ｚは、ワークＷを冷却する。冷却金型ユニット４１Ｚは、処理位置と待機位置との間で移動可能である。冷却金型ユニット４１は、本体部４１Ｚａ、複数の冷却源４１ｂ、上面４１ｃ、および複数（本実施の形態では、６個）の挿通孔４１ｄ、および複数（本実施の形態では、３個）の挿入穴４１ｅを備える。
冷却金型ユニット４１Ｚは、ワークＷを冷却する。冷却金型ユニット４１Ｚは、処理位置と待機位置との間で移動可能である。冷却金型ユニット４１は、本体部４１Ｚａ、複数の冷却源４１ｂ、上面４１ｃ、および複数（本実施の形態では、６個）の挿通孔４１ｄ、および複数（本実施の形態では、３個）の挿入穴４１ｅを備える。
【0124】
本体部４１Ｚａは、冷却源４１ｂおよびヒートパイプ７Ｚを保護する。本体部４１Ｚａは、例えば、高い剛性を有する金属（例えば、炭素鋼）製である。本体部４１Ｚａの形状は、上下方向視においてＸＹ方向に沿う矩形状であり、直方体状である。冷却源４１ｂは、本体部４１Ｚａの内部に、Ｙ軸方向に平行となるように配置されている。
【0125】
【0126】
挿通孔４１ｄは、本体部４１ＺａをＸ軸方向に沿って貫通する貫通孔である。挿通孔４１ｄは、冷却源４１ｂよりも上方向であって、本体部４１Ｚａの上部に配置されている。以下の説明において、挿通孔４１ｄそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。Ｙ軸方向において、挿通孔４１ｄ１～４１ｄ６は、＋Ｙ方向側から順に等間隔で配置されている。
【0127】
挿入穴４１ｅは、Ｘ軸方向に沿い、本体部４１Ｚａの＋Ｘ方向側に開口している非貫通孔である。以下の説明において、挿入穴４１ｅそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「３」が付記される。挿入穴４１ｅ１は挿通孔４１ｄ１，４１ｄ２間に配置されていて、挿入穴４１ｅ２は挿通孔４１ｄ３，４１ｄ４間に配置されていて、挿入穴４１ｅ３は挿通孔４１ｄ５，４１ｄ６間に配置されている。
【0128】
ヒートパイプ７Ｚの構成は、ヒートパイプ７の構成と共通する。ヒートパイプ７Ｚは、第１端部７Ｚａおよび第２端部７Ｚｂを備える。ヒートパイプ７Ｚは、対応する挿通孔４１ｄに挿通されていて、本体部４１Ｚａに固定されている。すなわち、本体部４１Ｚａは、本発明における金型本体部としても機能している。その結果、本体部４１Ｚａのうち、ヒートパイプ７Ｚが固定されている領域（上部側の領域）は、第１熱源ユニット８、第２熱源ユニット９、および温度測定器１０と共に、第１実施形態の第２金型ユニット５として機能している。同様に、本体部４１Ｚａのうち、ヒートパイプ７Ｚが固定されている領域よりも下部側の領域（冷却源４１ｂが配置されている領域）は、第１実施形態の第１金型ユニット４として機能している。このように、第２実施形態では、第１実施形態の第１金型ユニット４（冷却金型ユニット４１Ｚ）と第２金型ユニット５の一部とは、一体である。
【0129】
第１端部７Ｚａは本体部４１Ｚａから＋Ｘ方向に突出していて、第２端部７Ｚｂは本体部４１Ｚａから－Ｘ方向に突出している。第１端部７Ｚａおよび第２端部７Ｚｂは、本発明における突出端部の一例である。以下の説明において、ヒートパイプ７Ｚそれぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。
【0130】
以下の説明において、図２１～図２４が主に参照される。
温度測定器１０は、対応する挿入穴４０ｇ，４１ｅに挿入されている。以下の説明において、温度測定器１０それぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。温度測定器１０１は挿入穴４０ｇ１に挿入されていて、温度測定器１０２は挿入穴４０ｇ２に挿入されていて、温度測定器１０３は挿入穴４０ｇ３に挿入されている。温度測定器１０４は挿入穴４１ｅ１に挿入されていて、温度測定器１０５は挿入穴４１ｅ２に挿入されていて、温度測定器１０６は挿入穴４１ｅ３に挿入されている。
温度測定器１０は、対応する挿入穴４０ｇ，４１ｅに挿入されている。以下の説明において、温度測定器１０それぞれが特に区別されるとき、これらの符号の末尾には「１」～「６」が付記される。温度測定器１０１は挿入穴４０ｇ１に挿入されていて、温度測定器１０２は挿入穴４０ｇ２に挿入されていて、温度測定器１０３は挿入穴４０ｇ３に挿入されている。温度測定器１０４は挿入穴４１ｅ１に挿入されていて、温度測定器１０５は挿入穴４１ｅ２に挿入されていて、温度測定器１０６は挿入穴４１ｅ３に挿入されている。
【0131】
挿通孔４１ｄ、ヒートパイプ７Ｚ、当接部８０ｂ，８１ｂ，９０ｂ，９１ｂそれぞれにおいて、区別のために付記された符号の番号が同じ部材同士は、相互に対応している。すなわち、例えば、挿通孔４１ｄ１はヒートパイプ７Ｚ１に対応していて、ヒートパイプ７Ｚ１は挿通孔４１ｄ１に挿通されている。当接部８０ｂ１，８１ｂ１は第１端部７Ｚａ１に対応していて、第１端部７Ｚａ１に当接可能である。当接部９０ｂ１，９１ｂ１は第２端部７Ｚｂ１に対応していて、第２端部７Ｚｂ１に当接可能である。
【0132】
●加圧装置（２）の動作
次に、本装置１Ｚの動作が、以下に説明される。以下の説明において、図８、図９、および図２１～図２４は、適宜参照される。本装置１Ｚにおいて、ワークＷが搬入される前、加熱金型ユニット４０Ｚは処理位置に位置していて、冷却金型ユニット４１Ｚは退避位置に位置している。
次に、本装置１Ｚの動作が、以下に説明される。以下の説明において、図８、図９、および図２１～図２４は、適宜参照される。本装置１Ｚにおいて、ワークＷが搬入される前、加熱金型ユニット４０Ｚは処理位置に位置していて、冷却金型ユニット４１Ｚは退避位置に位置している。
【0133】
先ず、ワークＷが載置された載置板３が、冷却金型ユニット４１Ｚに載置される。次いで、第１ユニット搬送装置４２は、加熱金型ユニット４０Ｚを待機位置に搬送して、冷却金型ユニット４１Ｚを処理位置に搬送する。このとき、第１熱源ユニット８および第２熱源ユニット９は、ヒートパイプ７Ｚに接触していない。
【0134】
次いで、第１実施形態と同様に、ワークＷがチャンバユニットＣＵに収容される。
【0135】
次いで、制御装置２は、チャンバユニットＣＵを上昇させて、加熱金型ユニット４０Ｚを処理位置に移動させて、冷却金型ユニット４１Ｚを待機位置に移動させる。このとき、ヒートパイプ７の第１端部７ａは第１クランプ部材８０，８１の間に位置していて、第２端部７ｂは第２クランプ部材９０，９１の間に位置している。加熱金型ユニット４０Ｚは、予め既定の温度「Ｔ１」まで加熱されている。
【0136】
次いで、制御装置２は、載置板３が本体部４０Ｚａに当接するまでチャンバユニットＣＵを下降させる。このとき、制御装置２は、加熱金型ユニット４０の設定温度を「Ｔ２」に変更する。また、制御装置２は、ベース部材１２を下降させて、ワークＷに本加圧力を加える。次いで、ワークＷが所定の温度「Ｔ３」まで加熱されたとき、第１熱源移動機構８４は、第１クランプ部材８０，８１を挟持位置に移動させる。
【0137】
図２５は、第１クランプ部材８０，８１が挟持位置に移動した状態を示す、本装置１Ｚの模式断面図である。
【0138】
次いで、第１熱源移動機構８４は、温度測定器１０の温度測定結果に基づいて、規定の温度プロファイルＰｒ１（図１０参照。以下同じ。）に沿ってワークＷが加熱されるように、当接部８０ｂ，８１ｂの第１端部７ａへの当接と離間とを切り替える。その結果、ワークＷの加熱時の温度変化率は、温度プロファイルＰｒ１に沿うように変化する。
【0139】
次いで、加熱金型ユニット４０の温度が温度「Ｔ２」まで低下したとき、第１熱源移動機構８４は、第１クランプ部材８０，８１を非挟持位置に移動させる。その結果、本体部６、ヒートパイプ７、およびワークＷの温度は、加熱金型ユニット４０の温度である温度「Ｔ２」に維持される。
【0140】
次いで、所定時間の経過後、制御装置２は、ワークＷの加圧を終了させる。次いで、制御装置２は、チャンバユニットＣＵを上昇させて、載置板３を本体部４０Ｚａから離間させる。次いで、第１ユニット搬送装置４２は、加熱金型ユニット４０Ｚを待機位置に移動させて、冷却金型ユニット４１Ｚを処理位置に移動させる。このとき、ヒートパイプ７Ｚの第２端部７Ｚｂは第１クランプ部材８０，８１の間に位置していて、第２端部７Ｚｂは第２クランプ部材９０，９１の間に位置している。ここで、冷却ユニット５０は、予め既定の温度「Ｔ４」に冷却されている。
【0141】
次いで、制御装置２は、載置板３が本体部６に当接するまでチャンバユニットＣＵを下降させる。次いで、第１熱源移動機構８４は、本体部６が所定の温度「Ｔ５」まで加熱されたとき、第１クランプ部材８０，８１を挟持位置に移動させる。次いで、第１熱源移動機構８４は、ワークＷの温度が既定の温度「Ｔ６」まで冷却されたとき、第１クランプ部材８０，８１を非挟持位置に移動させる。次いで、制御装置２は、第１実施形態と同様に、ワークＷをチャンバユニットＣＵから取り出す。
【0142】
●まとめ（２）
以上説明された実施の形態によれば、本装置１Ｚは、金型ユニット４Ｚを備える。金型ユニット４Ｚのうち、第１実施形態の第２金型ユニット５として機能する領域は、第１実施形態の第１金型ユニット４として機能する領域とワークＷ（載置板３）との間に配置されている。金型ユニット４Ｚは、本体部４０Ｚａ，４１Ｚａ、複数のヒートパイプ７，７Ｚ、第１熱源ユニット８、および第２熱源ユニット９を備える。第１熱源ユニット８は、複数の当接部８０ｂ，８１ｂ、および第１熱源移動機構８４を備える。第２熱源ユニット９は、複数の当接部９０ｂ，９１ｂ、および第２熱源移動機構９４を備える。第１熱源移動機構８４は、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを切り替える。第２熱源移動機構９４は、第２端部７Ｚｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを切り替える。この構成によれば、第１実施形態と同様に、本装置１Ｚは、ワークＷの複雑な温度制御を可能とすると共に、ワークＷの加熱時および冷却時の温度変化率を目的に応じて制御できる。
以上説明された実施の形態によれば、本装置１Ｚは、金型ユニット４Ｚを備える。金型ユニット４Ｚのうち、第１実施形態の第２金型ユニット５として機能する領域は、第１実施形態の第１金型ユニット４として機能する領域とワークＷ（載置板３）との間に配置されている。金型ユニット４Ｚは、本体部４０Ｚａ，４１Ｚａ、複数のヒートパイプ７，７Ｚ、第１熱源ユニット８、および第２熱源ユニット９を備える。第１熱源ユニット８は、複数の当接部８０ｂ，８１ｂ、および第１熱源移動機構８４を備える。第２熱源ユニット９は、複数の当接部９０ｂ，９１ｂ、および第２熱源移動機構９４を備える。第１熱源移動機構８４は、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを切り替える。第２熱源移動機構９４は、第２端部７Ｚｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを切り替える。この構成によれば、第１実施形態と同様に、本装置１Ｚは、ワークＷの複雑な温度制御を可能とすると共に、ワークＷの加熱時および冷却時の温度変化率を目的に応じて制御できる。
【0143】
また、以上説明された実施の形態によれば、金型ユニット４Ｚは、温度測定器１０を備える。第１熱源移動機構８４および第２熱源移動機構９４は、温度測定器１０の温度測定結果に基づいて、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを制御して、第２端部７Ｚｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを制御する。この構成によれば、第１実施形態と同様に、ワークＷの温度制御の精度は、向上する。
【0144】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、第１熱源移動機構８４は、温度プロファイルＰｒ１に沿ってワークＷが加熱されるように、第１端部７ａに対する当接部８０ｂ，８１ｂの当接と離間とを制御する。この構成によれば、本装置１Ｚは、ワークＷの加熱時の温度変化率および加熱時間を、温度プロファイルＰｒ１に沿って制御できる。
【0145】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、第２熱源移動機構９４は、温度プロファイルＰｒ２に沿ってワークＷが冷却されるように、第２端部７Ｚｂに対する当接部９０ｂ，９１ｂの当接と離間とを制御する。この構成によれば、本装置１Ｚは、ワークＷの冷却時の温度変化率および冷却時間を、温度プロファイルＰｒ２に沿って制御できる。
【0146】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、第１実施形態と同様に、第１熱源移動機構８４および第２熱源移動機構９４は、本発明におけるユニット切替部として機能している。この構成によれば、本装置１Ｚは、ワークＷの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間をさらに制御できる。
【0147】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、金型ユニット４Ｚは、第１端部７ａに対応する第１熱源ユニット８、および、第２端部７Ｚｂに対応する第２熱源ユニット９を備える。第１熱源ユニット８は冷却ユニットであり、第２熱源ユニット９は加熱ユニットである。この構成によれば、本装置１Ｚは、第１実施形態と同様に、ワークＷの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間を制御できる。
【0148】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、第１熱源移動機構８４は、複数の当接部８０ｂ，８１ｂを対応する第１端部７ａに一括して当接させて、または、一括して離間させる。第２熱源移動機構９４は、複数の当接部９０ｂ，９１ｂを対応する第２端部７Ｚｂに一括して当接させて、または、一括して離間させる。この構成によれば、第１クランプ部材８０，８１および第２クランプ部材９０，９１の構造は、単純化できる。また、第１クランプ部材８０，８１および第２クランプ部材９０，９１の熱容量は、比較的大きくなる。
【0149】
さらにまた、以上説明された実施の形態では、加熱金型ユニット４０Ｚは本体部４０Ｚａに固定される複数の加熱源４０ｃを備えて、冷却金型ユニット４１Ｚは本体部４１Ｚａに固定される複数の冷却源４１ｂを備える。ヒートパイプ７は加熱源４０ｃよりも上方向に配置されていて、ヒートパイプ７Ｚは冷却源４１ｂよりも上方向に配置されている。上下方向において、本体部４０Ｚａのうち、加熱源４０ｃが配置されている領域は第１実施形態の第１金型ユニット４として機能していて、ヒートパイプ７が配置されている領域は第１実施形態の第２金型ユニット５として機能している。上下方向において、本体部４１Ｚａのうち、冷却源４１ｂが配置されている領域は第１実施形態の第１金型ユニット４として機能していて、ヒートパイプ７Ｚが配置されている領域は第１実施形態の第２金型ユニット５として機能している。この構成では、第１実施形態のように、第２金型ユニット５の移動が必要なく、本装置１Ｚは、第１実施形態の本装置１よりも、小型化できる。
【0150】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、上下方向視において、ヒートパイプ７は加熱源４０ｃと直交するように相互に平行に配置されていて、ヒートパイプ７Ｚは冷却源４１ｂと直交するように相互に平行に配置されている。この構成によれば、ヒートパイプ７，７Ｚが第１熱源ユニット８または第２熱源ユニット９により加熱または冷却されていないとき、本体部６の均温性は、向上する。
【0151】
なお、第２実施形態において、加熱金型ユニット４０Ｚはヒートパイプ７を備えていなくてもよく、または、冷却金型ユニット４１Ｚはヒートパイプ７Ｚを備えていなくてもよい。
【0152】
また、第２実施形態において、加熱金型ユニット４０Ｚは本体部４０ａおよび本体部６を備えていて、冷却金型ユニット４１Ｚは本体部４１ａおよび本体部６を備えていてもよい。この場合、本体部６それぞれは、本体部４０ａ，４１ａに固定される。この構成では、加熱金型ユニット４０Ｚおよび冷却金型ユニット４１Ｚのメンテナンス性は、向上する。
【0153】
●変形例●
次に、本装置の変形例が、第１実施形態とは異なる部分を中心に、以下に説明される。以下の変形例の説明において、第１実施形態と同じ要素、および、共通する機能を有する要素には、説明の便宜上、第１実施形態と同一の符号が付されていて、その説明は省略される。各変形例は、第２実施形態にも適用可能である。以下の説明において、図１～図５は、適宜参照される。
次に、本装置の変形例が、第１実施形態とは異なる部分を中心に、以下に説明される。以下の変形例の説明において、第１実施形態と同じ要素、および、共通する機能を有する要素には、説明の便宜上、第１実施形態と同一の符号が付されていて、その説明は省略される。各変形例は、第２実施形態にも適用可能である。以下の説明において、図１～図５は、適宜参照される。
【0154】
●第１変形例
図２６は、本装置の第１変形例を示す、本装置の模式断面図である。
図２６は、本装置の第１変形例を示す、本装置の模式断面図である。
【0155】
第１変形例では、第２金型ユニット５は、本体部６、複数のヒートパイプ７、第１熱源ユニット８、第２熱源ユニット９、複数の温度測定器１０、第２ユニット搬送装置１１、およびユニット切替装置２１を備える。ユニット切替装置２１は、本発明におけるユニット切替部の一例である。
【0156】
第１変形例では、第２熱源ユニット９も、第１端部７ａに対応している。すなわち、第２クランプ部材９０，９１は、ヒートパイプ７が加熱されるとき、ヒートパイプ７の第１端部７ａに当接して、第２熱源９２，９３からの熱をヒートパイプ７に伝達する。
【0157】
ユニット切替装置２１は、第１端部７ａに対して、第１熱源ユニット８と第２熱源ユニット９とを切り替える。具体的には、ユニット切替装置２１は、ヒートパイプ７が加熱されるとき、当接部８０ｂ，８１ｂまたは当接部９０ｂ，９１ｂが対応する第１端部７ａに当接可能となるように、第１熱源ユニット８と第２熱源ユニット９とを切り替える。同様に、ユニット切替装置２１は、ヒートパイプ７が冷却されるとき、当接部８０ｂ，８１ｂまたは当接部９０ｂ，９１ｂが対応する第１端部７ａに当接可能となるように、第１熱源ユニット８と第２熱源ユニット９とを切り替える。この構成においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
【0158】
なお、第１変形例において、第２端部７ｂは、後述される第２変形例のように、本体部６から突出していなくてもよい。
【0159】
また、第１変形例において、第２金型ユニット５は、第２端部７ｂに対応する第１熱源ユニット８、第２熱源ユニット９、およびユニット切替装置２１を備えていてもよい。
【0160】
●第２変形例～第４変形例
図２７（ａ）は本装置の第２変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図であり、（ｂ）は、本装置の第３変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図であり、（ｃ）は、本装置の第４変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図である。
第２変形例～第４変形例では、ヒートパイプ７の配置および／または数が、第１実施形態と異なる。
図２７（ａ）は本装置の第２変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図であり、（ｂ）は、本装置の第３変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図であり、（ｃ）は、本装置の第４変形例を示す、第２金型ユニットの模式平面図である。
第２変形例～第４変形例では、ヒートパイプ７の配置および／または数が、第１実施形態と異なる。
【0161】
図２７（ａ）に示されるとおり、第２変形例では、ヒートパイプ７の第１端部７ａのみが本体部６から突出していて、第２端部７ｂは本体部６の内部に配置されている。また、第２金型ユニット５は、第２熱源ユニット９を備えていない。この構成では、第１端部７ａが加熱されているとき、第２端部７ｂは大気中に曝されていない。そのため、第２端部７ｂは放熱板のように機能せず、本体部６の－Ｘ方向側の端部の温度は低下し難い。
【0162】
なお、第２変形例において、第１熱源８２は加熱源であり、第１熱源８３は冷却源でもよい。この場合、第１熱源８２がＯＮのとき第１熱源８３はＯＦＦとなり、第１熱源８３がＯＮのとき第１熱源８２はＯＦＦとなる。このＯＮ／ＯＦＦの切替は、例えば、制御装置２において制御される。すなわち、制御装置２は、本発明における熱源切替部として機能し得る。この構成では、本装置１は、１つの第１熱源ユニット８で、ヒートパイプ７を加熱および冷却できる。この場合、換言すれば、この第１熱源ユニット８は、加熱ユニットおよび冷却ユニットとして機能していて、本発明におけるユニット切替部としても機能する。
【0163】
図２７（ｂ）に示されるとおり、第３変形例では、半数のヒートパイプ７２，７４，７６の第１端部７ａ２，７ａ４，７ａ６は本体部６から＋Ｘ方向に向けて突出していて、第２端部７ｂ２，７ｂ４，７ｂ６は本体部６の内部に配置されている。同様に、半数のヒートパイプ７１，７３，７５の第２端部７ｂ１，７ｂ３，７ｂ５は本体部６から－Ｘ方向に向けて突出していて、第１端部７ａ１，７ａ３，７ａ５は本体部６の内部に配置されている。
【0164】
図２７（ｃ）に示されるとおり、第４変形例では、第２金型ユニット５は、８個のヒートパイプ７１～７８を備える。Ｙ軸方向において、ヒートパイプ７１～７８は、＋Ｙ方向から順に配置されている。ヒートパイプ７１，７２間の間隔は、ヒートパイプ７７，７８の間隔と同じであり、ヒートパイプ７２，７３間の間隔よりも小さい。ヒートパイプ７３～７６は等間隔で配置されていて、その間隔はヒートパイプ７２，７３間の間隔よりも大きい。すなわち、Ｙ軸方向において、隣り合うヒートパイプ７１～７８間の間隔は、本体部６の端部に近づくと狭くなる（間隔は均一ではない）。この構成では、本体部６のうち、温度が低下し易い端部にヒートパイプ７を集中して配置させることにより、同端部の温度の低下は抑制される。
【0165】
●第５変形例
図２８（ａ）は本装置の第５変形例を示す、第２金型ユニット５の模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＧ矢視における第１熱源ユニット８の模式図である。
同図では、説明の便宜上、後述される第１領域Ａ１１、第３領域Ａ１３はハッチングで示されていて、第２領域Ａ１２はグレーで示されている。
図２８（ａ）は本装置の第５変形例を示す、第２金型ユニット５の模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＧ矢視における第１熱源ユニット８の模式図である。
同図では、説明の便宜上、後述される第１領域Ａ１１、第３領域Ａ１３はハッチングで示されていて、第２領域Ａ１２はグレーで示されている。
【0166】
図２８に示されるとおり、第５変形例では、第１熱源ユニット８は、当接部８０ｂ１，８１ｂ１を備える第１部８Ａ、当接部８０ｂ２～８０ｂ５，８１ｂ２～８１ｂ５を備える第２部８Ｂ、および当接部８０ｂ６，８１ｂ６を備える第３部８Ｃ、の３部に物理的に区分けされている。第１部８Ａ、第２部８Ｂ、および第３部８Ｃそれぞれは、独立して動作可能である。第１熱源移動機構８４は、第１部８Ａ、第２部８Ｂ、および第３部８Ｃそれぞれの当接と離間とを異なる／同じタイミングで切り替える。すなわち、当接部８０ｂ１，８０ｂ６，８１ｂ１，８１ｂ６は、当接部８０ｂ２～８０ｂ５，８１ｂ２～８１ｂ５と独立して移動可能である。上下方向視において、本体部６のうち、ヒートパイプ７１が配置されている領域は第１領域Ａ１１であり、ヒートパイプ７２～７５が配置されている領域は第２領域Ａ１２であり、ヒートパイプ７６が配置されている領域は第３領域Ａ１３である。第２金型ユニット５は、５個の温度測定器１０１～１０５を備える。温度測定器１０４は本体部６の＋Ｙ方向側の端部に配置されていて、温度測定器１０５は本体部６の－Ｙ方向側の端部に配置されている。ヒートパイプ７１（７６）は本発明における第１ヒートパイプの一例であり、ヒートパイプ７２～７５は本発明における第２ヒートパイプの一例である。当接部８０ｂ１，８０ｂ６，８１ｂ１，８１ｂ６は本発明における第１当接部の一例であり、当接部８０ｂ２～８０ｂ５，８１ｂ２～８１ｂ５は本発明における第２当接部の一例である。この構成では、第１領域Ａ１１、第２領域Ａ１２、および第３領域Ａ１３において、異なる温度制御および同じ温度制御が可能となる。
【0167】
なお、第５変形例において、第１熱源ユニット８において物理的に区分けされる部の数は、「３」に限定されない。すなわち、例えば、第１熱源ユニット８は、ヒートパイプ７１～７６ごとに区分けされていてもよい。この場合、ヒートパイプ７１，７３，７５に対応する部は加熱ユニットとして機能して、ヒートパイプ７２，７４，７６に対応する部は冷却ユニットとして機能してもよい。
【0168】
また、第５変形例において、第２部８Ｂは、冷却ユニットとして機能してもよい。
【0169】
●その他の実施形態●
なお、各実施形態において、本装置１，１Ｚは、加熱金型ユニット４０，４０Ｚまたは冷却金型ユニット４１，４１Ｚ、および第１ユニット搬送装置４２を備えていなくてもよい。この場合、本装置１において、チャンバユニットＣＵは、上下方向に移動しなくてもよい。
なお、各実施形態において、本装置１，１Ｚは、加熱金型ユニット４０，４０Ｚまたは冷却金型ユニット４１，４１Ｚ、および第１ユニット搬送装置４２を備えていなくてもよい。この場合、本装置１において、チャンバユニットＣＵは、上下方向に移動しなくてもよい。
【0170】
また、第１実施形態において、第２金型ユニット５は、ワークＷの加熱時または冷却時のみ用いられてもよい。
【0171】
さらに、各実施形態において、第１熱源ユニット８は加熱ユニットでもよく、第２熱源ユニット９は冷却ユニットでもよい。
【0172】
さらにまた、各実施形態において、第１熱源ユニット８および第２熱源ユニット９は、共に、加熱ユニットまたは冷却ユニットでもよい。
【0173】
さらにまた、各実施形態において、ヒートパイプ７，７Ｚの数は、「６」に限定されない。この場合、挿通孔６ｃ，４０ｆ，４１ｄの数は、ヒートパイプ７，７Ｚの数に応じて設定される。
【0174】
さらにまた、各実施形態において、ヒートパイプ７が沿う方向は、ヒートパイプ７が水平方向に平行に配置されていればよく、Ｘ軸方向に限定されない。すなわち、例えば、ヒートパイプ７は、Ｙ軸方向に沿って配置されていてもよい。この場合、上下方向視において、ヒートパイプ７は、加熱源４０ｃおよび冷却源４１ｂと平行に配置される。この構成でも、ヒートパイプ７が第１熱源ユニット８または第２熱源ユニット９により加熱または冷却されていないとき、本体部６の均温性は、向上する。
【0175】
さらにまた、各実施形態において、ヒートパイプ７は、等間隔で配置されていなくてもよい。すなわち、例えば、第４変形例のように、ヒートパイプ７の一部の間隔は、他の一部の間隔と異なっていてもよい。また、例えば、ヒートパイプ７は、上下方向視において、ワークＷが載置される位置に集中的に配置されていてもよい。
【0176】
さらにまた、各実施形態において、第１熱源ユニット８および第２熱源ユニット９がヒートパイプ７，７Ｚに当接する方法は、挟持による方法に限定されない。すなわち、例えば、第１熱源ユニット８および第２熱源ユニット９は、第１端部７ａまたは第２端部７ｂが挿入（嵌入）される挿入孔を備えていてもよい。この場合、第１熱源移動機構８４および第２熱源移動機構９４は、第１端部７ａまたは第２端部７ｂに対して挿入孔を相対的に移動させるように構成される。挿入孔は、本発明における当接部として機能する。また、例えば、第１クランプ部材８０または第１クランプ部材８１のみがヒートパイプ７に当接していてもよい。この場合、第１熱源ユニット８は、第１クランプ部材８０，８１のいずれか一方のみを備えていてもよい。第２熱源ユニット９も同様である。
【0177】
さらにまた、各実施形態において、本装置１，１Ｚは、温度測定器１０を備えていなくてもよい。この構成でも、既に温度変化が既知のワークＷであれば、本装置１，１Ｚは、ワークＷに応じた温度制御（温度勾配の制御）が可能である。
【0178】
さらにまた、各実施形態において、温度測定器１０の数は、「３」または「６」に限定されない。この場合、挿入穴６ｄ，４０ｇ，４１ｅの数は、温度測定器１０の数に応じて設定される。
【0179】
さらにまた、各実施形態において、温度測定器１０は、熱電対に限定されない。
【0180】
さらにまた、各実施形態において、記憶部は、温度プロファイルＰｒ１，Ｐｒ２を記憶していなくてもよい。すなわち、第１熱源移動機構８４は、温度プロファイルＰｒ１に沿ってワークＷが加熱されるように、当接部８０ｂ，８１ｂの第１端部７ａへの当接と離間とを切り替えなくてもよい。第２熱源移動機構９４も同様である。
【0181】
さらにまた、各実施形態において、記憶部は、温度プロファイルＰｒ１，Ｐｒ２とは異なる温度プロファイルを記憶していてもよい。
【0182】
さらにまた、各実施形態において、加熱金型ユニット４０，４０Ｚおよび冷却金型ユニット４１，４１Ｚは、Ｘ軸方向に沿って搬送されていてもよい。
【0183】
さらにまた、第１実施形態において、本体部６は、Ｘ軸方向に沿って搬送されていてもよい。
【0184】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0185】
本発明の第１の実施態様は、ワーク（例えば、ワークＷ）を加圧する加圧装置（例えば、加圧装置１，１Ｚ）であって、前記ワークよりも下方向に配置されて、前記ワークを加熱または冷却可能な第１金型ユニット（例えば、第１金型ユニット４、金型ユニット４Ｚ）と、前記第１金型ユニットと共に前記ワークを加熱または冷却可能な第２金型ユニット（例えば、第２金型ユニット５、金型ユニット４Ｚ）と、を有してなり、前記第２金型ユニットは、複数のヒートパイプ（例えば、ヒートパイプ７，７Ｚ）と、複数の前記ヒートパイプが固定されて、前記ワークが加熱または冷却されているとき、前記ワークと前記第１金型ユニットとの間に配置される金型本体部（例えば、本体部６、本体部４０Ｚａ，４１Ｚａ）と、複数の前記ヒートパイプのうち、対応する前記ヒートパイプを加熱または冷却可能な熱源ユニット（例えば、第１熱源ユニット８、第２熱源ユニット９）と、を備えて、前記ヒートパイプそれぞれは、前記金型本体部から水平方向に突出する突出端部（例えば、第１端部７ａ、第２端部７ｂ）、を備えて、前記熱源ユニットは、前記突出端部それぞれに対して移動可能であり、対応する前記突出端部に当接可能な複数の当接部（例えば、当接部８０ｂ，８１ｂ，９０ｂ，９１ｂ）と、前記突出端部に対する前記当接部の当接と離間とを切り替える当接切替部（例えば、第１熱源移動機構８４、第２熱源移動機構９４）と、を備える、加圧装置である。
この構成によれば、ワークの複雑な温度制御が可能となると共に、ワークの加熱時および冷却時の温度変化率は目的に応じて制御できる。
この構成によれば、ワークの複雑な温度制御が可能となると共に、ワークの加熱時および冷却時の温度変化率は目的に応じて制御できる。
【0186】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記第２金型ユニットは、前記金型本体部の温度を測定可能な温度測定器（例えば、温度測定器１０）、を備えて、前記当接切替部は、前記温度測定器の測定結果に基づいて、前記当接部の前記当接と前記離間とを切り替える、加圧装置である。
この構成によれば、ワークの温度制御の精度は、向上する。
この構成によれば、ワークの温度制御の精度は、向上する。
【0187】
本発明の第３の実施態様は、第２の実施態様において、前記第１金型ユニットは、前記ワークを加熱する加熱金型ユニット（例えば、加熱金型ユニット４０，４０Ｚ）、を備えて、前記熱源ユニットは、前記ヒートパイプを冷却する冷却源（例えば、第１熱源８２，８３）、または、前記ヒートパイプを加熱する加熱源（例えば、第２熱源９２，９３）、を備えて、前記当接切替部は、規定の温度プロファイル（例えば、温度プロファイルＰｒ１）に沿って、前記ワークが加熱されるように、前記当接部の前記当接と前記離間とを切り替える、加圧装置である。
この構成によれば、ワークの加熱時の温度変化率および加熱時間は、温度プロファイルに沿って制御できる。
この構成によれば、ワークの加熱時の温度変化率および加熱時間は、温度プロファイルに沿って制御できる。
【0188】
本発明の第４の実施態様は、第２の実施態様において、前記第１金型ユニットは、前記ワークを冷却する冷却金型ユニット（例えば、冷却金型ユニット４１，４１Ｚ）、を備えて、前記熱源ユニットは、前記ヒートパイプを冷却する冷却源、または、前記ヒートパイプを加熱する加熱源、を備えて、前記当接切替部は、規定の温度プロファイル（例えば、温度プロファイルＰｒ２）に沿って、前記ワークが冷却されるように、前記当接部の前記当接と前記離間とを切り替える、加圧装置である。
この構成によれば、ワークの冷却時の温度変化率および冷却時間は、温度プロファイルに沿って制御できる。
この構成によれば、ワークの冷却時の温度変化率および冷却時間は、温度プロファイルに沿って制御できる。
【0189】
本発明の第５の実施態様は、第２の実施態様において、前記第１金型ユニットは、前記ワークを加熱する加熱金型ユニット、または、前記ワークを冷却する冷却金型ユニット、を備えて、前記熱源ユニットは、前記ヒートパイプを加熱する加熱源（例えば、第１熱源８２、第２熱源９２）と、前記ヒートパイプを冷却する冷却源（例えば、第１熱源８３、第２熱源９３）と、前記加熱源と前記冷却源とを切り替える熱源切替部（例えば、第１熱源移動機構８４、第２熱源移動機構９４）と、を備えて、前記熱源切替部は、規定の温度プロファイルに沿って、前記ワークが加熱または冷却されるように、前記加熱源と前記冷却源とを切り替える、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、１個の第１熱源ユニットで、ヒートパイプを加熱および冷却できる。
この構成によれば、本装置は、１個の第１熱源ユニットで、ヒートパイプを加熱および冷却できる。
【0190】
本発明の第６の実施態様は、第１の実施態様において、前記熱源ユニットは、対応する前記ヒートパイプを加熱する加熱ユニット（例えば、第２熱源ユニット９）と、対応する前記ヒートパイプを冷却する冷却ユニット（例えば、第１熱源ユニット８）と、前記加熱ユニットと前記冷却ユニットとを切り替えるユニット切替部（例えば、ユニット切替装置２１）と、を備えて、前記ユニット切替部は、前記ヒートパイプが加熱されるとき、前記加熱ユニットの前記当接部が対応する前記突出端部に当接可能となるように、前記加熱ユニットと前記冷却ユニットとを切り替えて、前記ヒートパイプが冷却されるとき、前記冷却ユニットの前記当接部が対応する前記突出端部に当接可能となるように、前記加熱ユニットと前記冷却ユニットとを切り替える、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、ワークの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間を制御できる。
この構成によれば、本装置は、ワークの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間を制御できる。
【0191】
本発明の第７の実施態様は、第１の実施態様において、前記ヒートパイプそれぞれは、前記金型本体部から水平方向における第１方向（例えば、＋Ｘ方向）に突出して、前記突出端部として機能する第１突出端部（例えば、第１端部７ａ）と、前記金型本体部から前記第１方向の反対方向である第２方向（例えば、－Ｘ方向）に突出して、前記突出端部として機能する第２突出端部（例えば、第２端部７ｂ）と、を備えて、前記熱源ユニットは、前記第１突出端部に対応する第１熱源ユニット（例えば、第１熱源ユニット８）と、前記第２突出端部に対応する第２熱源ユニット（例えば、第２熱源ユニット９）と、を備えて、前記第１熱源ユニットは、対応する前記ヒートパイプを加熱する加熱ユニット、または、対応する前記ヒートパイプを冷却する冷却ユニットであり、前記第２熱源ユニットは、前記加熱ユニット、または、前記冷却ユニットである、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、ワークの加熱時／冷却時の温度勾配および加熱時間／冷却時間をさらに制御できる。
この構成によれば、本装置は、ワークの加熱時／冷却時の温度勾配および加熱時間／冷却時間をさらに制御できる。
【0192】
本発明の第８の実施態様は、第１乃至第７のいずれかの実施態様において、前記熱源ユニットは、複数の前記当接部が配置される熱源本体部（例えば、第１クランプ部材８０，８１、第２クランプ部材９０，９１）、を備えて、前記当接切替部は、前記熱源本体部を移動させることにより、複数の前記当接部を前記突出端部に一括して当接させて、または、離間させる、加圧装置である。
この構成によれば、第１クランプ部材および第２クランプ部材の構造は、単純化できる。
この構成によれば、第１クランプ部材および第２クランプ部材の構造は、単純化できる。
【0193】
本発明の第９の実施態様は、第１乃至第７のいずれかの実施態様において、複数の前記ヒートパイプは、第１ヒートパイプ（例えば、ヒートパイプ７１）と、第２ヒートパイプ（例えば、ヒートパイプ７２～７５）と、を備えて、複数の前記当接部は、前記第１ヒートパイプの前記突出端部（例えば、第１端部７ａ１，７ａ６）に対応する第１当接部（例えば、当接部８０ｂ１，８０ｂ６，８１ｂ１，８１ｂ６）と、前記第２ヒートパイプの前記突出端部（例えば、第１端部７ａ２～７ａ５）に対応する第２当接部（例えば、当接部８０ｂ２～８０ｂ５，８１ｂ２～８１ｂ５）と、を備えて、前記第１当接部と前記第２当接部それぞれは、独立して移動可能である、加圧装置である。
この構成によれば、第１ヒートパイプおよび第２ヒートパイプにおいて、異なる温度制御が可能となる。
この構成によれば、第１ヒートパイプおよび第２ヒートパイプにおいて、異なる温度制御が可能となる。
【0194】
本発明の第１０の実施態様は、第９の実施態様において、上下方向視において、前記金型本体部は、第１領域（例えば、第１領域Ａ１１）と、前記第１領域とは、異なる温度制御が実行される第２領域（例えば、第２領域Ａ１２）と、を備えて、前記第１ヒートパイプは、前記第１領域に配置されて、前記第２ヒートパイプは、前記第２領域に配置されて、前記当接切替部は、前記第１当接部と前記第２当接部それぞれの前記当接と前記離間とを異なるタイミングで切り替える、加圧装置である。
この構成によれば、第１領域および第２領域において、異なる温度制御が可能となる。
この構成によれば、第１領域および第２領域において、異なる温度制御が可能となる。
【0195】
本発明の第１１の実施態様は、第１の実施態様において、前記第１金型ユニット（例えば、加熱金型ユニット４０Ｚ、冷却金型ユニット４１Ｚ）は、前記金型本体部に固定される複数の第１加熱源（例えば、加熱源４０ｃ）、または、複数の第１冷却源（例えば、冷却源４１ｂ）、を備えて、複数の前記ヒートパイプ（例えば、ヒートパイプ７，７Ｚ）は、複数の前記第１加熱源、または、複数の前記第１冷却源よりも上方向に配置されて、上下方向において、前記金型本体部のうち、複数の前記第１加熱源、または、複数の前記第１冷却源が配置されている領域は、前記第１金型ユニットとして機能して、上下方向において、前記金型本体部のうち、複数の前記ヒートパイプが配置されている領域は、前記第２金型ユニットとして機能する、加圧装置である。
この構成によれば、ワークの複雑な温度制御が可能となると共に、ワークＷの加熱時および冷却時の温度変化率は目的に応じて制御できる。
この構成によれば、ワークの複雑な温度制御が可能となると共に、ワークＷの加熱時および冷却時の温度変化率は目的に応じて制御できる。
【0196】
本発明の第１２の実施態様は、第１の実施態様において、前記第２金型ユニット（例えば、第２金型ユニット５）は、前記第１金型ユニット（例えば、第１金型ユニット４）と別体であり、前記金型本体部は、前記第１金型ユニットに対して、水平方向に相対移動可能であり、前記ワークが加熱または冷却されないとき、前記金型本体部は、前記第１金型ユニットの上方向の処理位置から、前記処理位置から水平方向に離間した待機位置に相対移動する、加圧装置である。
この構成によれば、本装置は、第２金型ユニットの使用の有無の選択により、ワークの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間を制御できる。
この構成によれば、本装置は、第２金型ユニットの使用の有無の選択により、ワークの加熱時／冷却時の温度変化率および加熱時間／冷却時間を制御できる。
【0197】
本発明の第１３の実施態様は、第１の実施態様において、前記第１金型ユニットは、複数の第１加熱源（例えば、加熱源４０ｃ）、または、複数の第１冷却源（例えば、冷却源４１ｂ）、を備えて、前記第１加熱源または前記第１冷却源の形状は、直線状であり、複数の前記第１加熱源それぞれ、または、複数の前記第１冷却源それぞれは、相互に平行に配置されて、上下方向視において、複数の前記ヒートパイプは、前記第１加熱源または前記第１冷却源と直交する、または、平行となるように、相互に平行に配置される、加圧装置である。
この構成によれば、ヒートパイプが第１熱源ユニットまたは第２熱源ユニットにより加熱または冷却されていないとき、本体部の均温性は、向上する。
この構成によれば、ヒートパイプが第１熱源ユニットまたは第２熱源ユニットにより加熱または冷却されていないとき、本体部の均温性は、向上する。
【符号の説明】
【0198】
１ 加圧装置
２ 制御装置
４ 第１金型ユニット
４０ 加熱金型ユニット
４０ｃ 加熱源
４１ 冷却金型ユニット
４１ｂ 冷却源
５ 第２金型ユニット
６ 本体部
７ ヒートパイプ
７１ ヒートパイプ（第１ヒートパイプ）
７２～７５ ヒートパイプ（第２ヒートパイプ）
７ａ 第１端部（突出端部、第１突出端部）
７ｂ 第２端部（突出端部、第２突出端部）
８ 第１熱源ユニット（熱源ユニット、冷却ユニット）
８０ 第１クランプ部材（熱源本体部）
８０ｂ 当接部
８０ｂ１～８０ｂ６ 当接部（第１当接部、第２当接部）
８１ 第１クランプ部材（熱源本体部）
８１ｂ 当接部
８１ｂ１～８１ｂ６ 当接部（第１当接部、第２当接部）
８２ 第１熱源（冷却源、加熱源）
８３ 第１熱源（冷却源、加熱源）
８４ 第１熱源移動機構（当接切替部、熱源切替部）
９ 第２熱源ユニット（熱源ユニット、加熱ユニット）
９０ 第２クランプ部材（熱源本体部）
９０ｂ 当接部
９１ 第２クランプ部材（熱源本体部）
９１ｂ 当接部
９２ 第２熱源（加熱源、冷却源）
９３ 第２熱源（加熱源、冷却源）
９４ 第２熱源移動機構（当接切替部、熱源切替部）
１０ 温度測定器
２１ ユニット切替部
１Ｚ 加圧装置
４Ｚ 金型ユニット
４０Ｚ 加熱金型ユニット
４０Ｚａ 本体部
４１Ｚ 冷却金型ユニット
４１Ｚａ 本体部
７Ｚ ヒートパイプ
Ａ１１ 第１領域
Ａ１２ 第２領域
Ｐｒ１ 温度プロファイル
Ｐｒ２ 温度プロファイル
２ 制御装置
４ 第１金型ユニット
４０ 加熱金型ユニット
４０ｃ 加熱源
４１ 冷却金型ユニット
４１ｂ 冷却源
５ 第２金型ユニット
６ 本体部
７ ヒートパイプ
７１ ヒートパイプ（第１ヒートパイプ）
７２～７５ ヒートパイプ（第２ヒートパイプ）
７ａ 第１端部（突出端部、第１突出端部）
７ｂ 第２端部（突出端部、第２突出端部）
８ 第１熱源ユニット（熱源ユニット、冷却ユニット）
８０ 第１クランプ部材（熱源本体部）
８０ｂ 当接部
８０ｂ１～８０ｂ６ 当接部（第１当接部、第２当接部）
８１ 第１クランプ部材（熱源本体部）
８１ｂ 当接部
８１ｂ１～８１ｂ６ 当接部（第１当接部、第２当接部）
８２ 第１熱源（冷却源、加熱源）
８３ 第１熱源（冷却源、加熱源）
８４ 第１熱源移動機構（当接切替部、熱源切替部）
９ 第２熱源ユニット（熱源ユニット、加熱ユニット）
９０ 第２クランプ部材（熱源本体部）
９０ｂ 当接部
９１ 第２クランプ部材（熱源本体部）
９１ｂ 当接部
９２ 第２熱源（加熱源、冷却源）
９３ 第２熱源（加熱源、冷却源）
９４ 第２熱源移動機構（当接切替部、熱源切替部）
１０ 温度測定器
２１ ユニット切替部
１Ｚ 加圧装置
４Ｚ 金型ユニット
４０Ｚ 加熱金型ユニット
４０Ｚａ 本体部
４１Ｚ 冷却金型ユニット
４１Ｚａ 本体部
７Ｚ ヒートパイプ
Ａ１１ 第１領域
Ａ１２ 第２領域
Ｐｒ１ 温度プロファイル
Ｐｒ２ 温度プロファイル
【要約】
【課題】ワークの加熱時および／または冷却時の温度勾配を変更可能な加圧装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧装置１は、第１金型ユニット４と、第２金型ユニット５と、を有してなる。第２金型ユニットは、複数のヒートパイプ７と、複数のヒートパイプが固定されて、ワークが加熱または冷却されているとき、ワークと第１金型ユニットとの間に配置される金型本体部６と、複数のヒートパイプのうち、対応するヒートパイプを加熱または冷却可能な熱源ユニット８，９と、を備える。ヒートパイプそれぞれは、金型本体部から水平方向に突出する突出端部７ａ，７ｂ、を備える。熱源ユニットは、突出端部それぞれに対して移動可能であり、対応する突出端部に当接可能な複数の当接部８０ｂ，８１ｂ，９０ｂ，９１ｂと、突出端部に対する当接部の当接と離間とを切り替える当接切替部８４，９４と、を備える。
【選択図】図２
【解決手段】本発明に係る加圧装置１は、第１金型ユニット４と、第２金型ユニット５と、を有してなる。第２金型ユニットは、複数のヒートパイプ７と、複数のヒートパイプが固定されて、ワークが加熱または冷却されているとき、ワークと第１金型ユニットとの間に配置される金型本体部６と、複数のヒートパイプのうち、対応するヒートパイプを加熱または冷却可能な熱源ユニット８，９と、を備える。ヒートパイプそれぞれは、金型本体部から水平方向に突出する突出端部７ａ，７ｂ、を備える。熱源ユニットは、突出端部それぞれに対して移動可能であり、対応する突出端部に当接可能な複数の当接部８０ｂ，８１ｂ，９０ｂ，９１ｂと、突出端部に対する当接部の当接と離間とを切り替える当接切替部８４，９４と、を備える。
【選択図】図２
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】