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特許7585295薄膜トランジスタ、アレイ基板及び表示装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-08
(45)【発行日】2024-11-18
(54)【発明の名称】薄膜トランジスタ、アレイ基板及び表示装置
(51)【国際特許分類】
   G02F 1/1368 20060101AFI20241111BHJP
   H01L 29/786 20060101ALI20241111BHJP
   G02F 1/1347 20060101ALN20241111BHJP
   G02F 1/13357 20060101ALN20241111BHJP
   G02F 1/1343 20060101ALN20241111BHJP
【FI】
G02F1/1368
H01L29/78 612
G02F1/1347
G02F1/13357
G02F1/1343
【請求項の数】 20
(21)【出願番号】P 2022505485
(86)(22)【出願日】2020-10-13
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2023-01-26
(86)【国際出願番号】 CN2020120562
(87)【国際公開番号】W WO2021098411
(87)【国際公開日】2021-05-27
【審査請求日】2023-10-11
(31)【優先権主張番号】201911143764.5
(32)【優先日】2019-11-20
(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN
(73)【特許権者】
【識別番号】510280589
【氏名又は名称】京東方科技集團股▲ふん▼有限公司
【氏名又は名称原語表記】BOE TECHNOLOGY GROUP CO.,LTD.
【住所又は居所原語表記】No.10 Jiuxianqiao Rd.,Chaoyang District,Beijing 100015,CHINA
(73)【特許権者】
【識別番号】520510450
【氏名又は名称】合肥京東方顕示技術有限公司
【氏名又は名称原語表記】HEFEI BOE DISPLAY TECHNOLOGY CO., LTD.
【住所又は居所原語表記】Block 15 group-A zone-E of Industrial park in Hefei New Station, Xinzhan District, Hefei, Anhui, 230012 China
(74)【代理人】
【識別番号】100108453
【弁理士】
【氏名又は名称】村山 靖彦
(74)【代理人】
【識別番号】100110364
【弁理士】
【氏名又は名称】実広 信哉
(72)【発明者】
【氏名】▲張▼ 云天
(72)【発明者】
【氏名】▲ルイ▼ 洲
(72)【発明者】
【氏名】江 ▲鵬▼
(72)【発明者】
【氏名】▲楊▼ ▲海▼▲鵬▼
(72)【発明者】
【氏名】戴 珂
(72)【発明者】
【氏名】▲張▼ 春旭
(72)【発明者】
【氏名】▲呉▼ 忠厚
(72)【発明者】
【氏名】田 ▲麗▼
【審査官】近藤 幸浩
(56)【参考文献】
【文献】特開2008-122969(JP,A)
【文献】特開2014-132337(JP,A)
【文献】特開2005-175248(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2018/0011357(US,A1)
【文献】特開平08-122801(JP,A)
【文献】特開2005-196118(JP,A)
【文献】特開2015-099331(JP,A)
【文献】中国特許出願公開第108983463(CN,A)
【文献】特開2004-145346(JP,A)
【文献】中国実用新案第209373316(CN,U)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G02F 1/1368
G02F 1/13
H01L 29/78
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ベース基板に設けられるとともに、前記ベース基板に位置するゲート電極と、第一電極と、第二電極とを含む薄膜トランジスタであって、
前記ゲート電極は、
第一方向に沿って延びる第一本体部分と、
前記第一方向に沿って延び、前記第一本体部分に電気的に接続されるとともに、前記第一本体部分から第一間隔を開けた第一延長部分とを含み、
前記第一電極は、
前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なる、第一重なり端と、
前記第一重なり端の前記第一本体部分から離れた側に位置する、前記ベース基板における正射影が前記第一延長部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なる、第一補償端と、
前記第一重なり端と前記第一補償端とを接続し、前記ベース基板における正射影が前記第一間隔による前記ベース基板における正射影内に位置する第一中間部分と、を含み、
前記第一中間部分が前記第一方向に沿って延びるストライプ部を含み、
前記第一電極は、
前記ストライプ部に接続され、前記ストライプ部の前記第一本体部分に近い第一側に位置するとともに、前記第一方向に沿って間隔を開けて並ぶ複数の第一部分と、
前記ストライプ部に接続され、前記ストライプ部の前記第一延長部分に近い第二側に位置するとともに、前記第一方向に沿って間隔を開けて並ぶ複数の第二部分と、を含み、
前記第一重なり端は、前記複数の第一部分のそれぞれの少なくとも一部を含み、前記第一補償端は、前記複数の第二部分のそれぞれの少なくとも一部を含み、
前記複数の第一部分は、前記複数の第二部分と一々と対応し、前記複数の第一部分と前記複数の第二部分は、前記ストライプ部を対称軸に軸対称である、
薄膜トランジスタ。
【請求項2】
前記複数の第一部分のそれぞれは、第一領域と第二領域とを含み、前記第一領域による前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影内に位置し、前記第二領域による前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影と重ならず、且つ、前記第一間隔による前記ベース基板における正射影内に位置し、
前記複数の第二部分のそれぞれは、第三領域と第四領域とを含み、前記第三領域による前記ベース基板における正射影が前記第一延長部分による前記ベース基板における正射影内に位置し、前記第四領域による前記ベース基板における正射影が前記第一延長部分による前記ベース基板における正射影と重ならず、且つ、前記第一間隔による前記ベース基板における正射影内に位置する、
請求項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項3】
前記複数の第一部分のそれぞれは、前記第一方向に直交し、且つ、前記複数の第二部分のそれぞれは、前記第一方向に直交する、
請求項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項4】
前記第二電極による前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なり、
前記第二電極は、前記第一方向に沿って並ぶとともに前記第一延長部分から離れた方向に沿って窪む複数の第一凹部分を含み、前記第一電極は、前記複数の第一部分と一々と対応する複数の第一突出部分をさらに含み、前記複数の第一突出部分のそれぞれが対応する前記第一部分に接続され、前記複数の第一突出部分がそれぞれ一々と対応して前記複数の第一凹部分内に進入し、且つ、
前記第一重なり端は、前記複数の第一突出部分をさらに含む、
請求項1~3の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項5】
前記第一本体部分は、前記第一延長部分に近いエッジを有し、前記エッジによる前記ベース基板における正射影が前記複数の第一部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部オーバーラップし、前記複数の第一部分のそれぞれによる前記第一方向における幅がそれに接続された前記第一突出部分による前記第一方向における幅よりも大きい、
請求項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項6】
前記第一延長部分の前記第一方向に直交する方向における幅は、0よりも大きく、3μm以下であり、
第一延長部分の前記第一方向に直交する方向における幅と第一本体部分の前記第一方向に直交する方向における幅との比は、0.2~0.3である、
請求項1~の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項7】
前記ゲート電極は、前記第一本体部分と前記第一延長部分を接続し、前記ベース基板における正射影が前記第一電極と前記第二電極による前記ベース基板における正射影と何れも重ならない第一接続部分をさらに含む、
請求項1~の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項8】
前記第一延長部分は、前記第一方向に第一端と第二端とを有し、前記第一本体部分は、前記第一方向に第一端と第二端とを有し、
前記第一接続部分は、前記第一延長部分の第一端と前記第一本体部分の第一端に接続し、且つ、
前記第一延長部分の第二端と前記第一本体部分の第二端は、前記第一接続部分の同一側に位置する、
請求項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項9】
前記第一方向と前記ベース基板のエッジの延伸方向との間の夾角は、0度よりも大きく90度よりも小さい、
請求項1~の何れか1項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項10】
前記ベース基板に設けられ、第二方向に沿って延びた複数本の第一信号線と第三方向に沿って延びた複数本の第二信号線とを含み、前記第二方向と前記第三方向が互に交差し、前記複数本の第一信号線と前記複数本の第二信号線が交差してアレイ状に配置された複数の光制御ユニットを区画し、
各前記光制御ユニットは、請求項1~の何れか1項に記載の薄膜トランジスタを含み、前記第一方向は、前記第二方向と前記第三方向との両者と交差し、前記薄膜トランジスタのゲート電極は、前記複数本の第一信号線のうちの一本に電気的に接続され、前記薄膜トランジスタの第一電極または第二電極は、前記複数本の第二信号線のうちの一本に電気的に接続される、
アレイ基板。
【請求項11】
前記複数の光制御ユニットは、第一光制御ユニットと第二光制御ユニットとを含み、
前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向は、前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向と交差する、
請求項10に記載のアレイ基板。
【請求項12】
前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタと前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、同一の第二信号線に接続されるとともに、前記同一の第二信号線の第一側と第二側にそれぞれ位置し、前記第一側と前記第二側が前記第二方向において互に反対側となる、
請求項11に記載のアレイ基板。
【請求項13】
前記第一光制御ユニットと前記第二光制御ユニットは、前記第三方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの行にそれぞれ位置し、且つ、前記第一光制御ユニットと前記第二光制御ユニットは、前記第二方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの列にそれぞれ位置する、
請求項12に記載のアレイ基板。
【請求項14】
前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第一電極の第一補償端による前記ベース基板における正射影の面積を第一面積とし、前記第一電極の第一重なり端による前記ベース基板における正射影の面積を第三面積とし、
前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第一電極の第一補償端による前記ベース基板における正射影の面積を第二面積とし、前記第一電極の第一重なり端による前記ベース基板における正射影の面積を第四面積とし、
前記第一面積と前記第面積との和は、前記第面積と前記第四面積との和と同じである、
請求項11~13の何れか1項に記載のアレイ基板。
【請求項15】
前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタと前記第三方向に沿った対称軸に対して軸対称であり、または、
前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第三方向に沿って並進された後で前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタと前記第三方向に沿った対称軸に対して軸対称である、
請求項11~14の何れか1項に記載のアレイ基板。
【請求項16】
前記複数本の第一信号線の少なくとも一部は、折れ線であり、且つ、連続した周期で並ぶ複数の第一折れ線ユニットを含み、1つの前記第一折れ線ユニットは、1つの前記光制御ユニットに対応し、
1つの前記第一折れ線ユニットは、第四方向に沿って延びた第一線分と第五方向に沿って延びた第二線分とを含み、第四方向は、第五方向と交差し、前記第四方向と前記第五方向が何れも前記第二方向と前記第三方向と交差し、
前記第一線分と前記第二線分は、前記第二方向に沿って順次並び、前記第一線分は、前記第二線分に接続された第一端を含み、前記第二線分は、前記第一線分の第一端に接続された第一端を含み、前記第一線分の第一端と前記第二線分の第一端との接続点は、前記第一折れ線ユニットの折曲点であり、
前記第一光制御ユニットにおいて、前記第一本体部分が前記第一折れ線ユニットの第一線分に接続され、且つ、
前記第二光制御ユニットにおいて、前記第一本体部分が前記第一折れ線ユニットの第二線分に接続された、
請求項11~15の何れか1項に記載のアレイ基板。
【請求項17】
前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向は、前記第五方向と同じであり、前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向は、前記第四方向と同じである、
請求項16に記載のアレイ基板。
【請求項18】
前記第一線分は、隣接する前記第一折れ線ユニットの前記第二線分に接続された第二端を含み、前記第二線分は、隣接する前記第一折れ線ユニットの前記第一線分の第二端に接続された第二端を含み、前記第一線分の第二端と前記第二線分の第二端との接続点による前記ベース基板における正射影が前記第二信号線による前記ベース基板における正射影に位置し、
前記第一光制御ユニットにおいて、前記第一線分の第二端が前記第一線分の第一端よりも前記薄膜トランジスタに近く、且つ、
前記第二光制御ユニットにおいて、前記第二線分の第二端が前記第二線分の第一端よりも前記薄膜トランジスタに近い、
請求項16または17に記載のアレイ基板。
【請求項19】
前記複数本の第二信号線の少なくとも一部は、折れ線であり、且つ、連続した周期で並ぶ複数の第二折れ線ユニットを含み、1つの前記第二折れ線ユニットが1つの前記光制御ユニットに対応し、
1つの前記第二折れ線ユニットは、第六方向に沿って延びた第一線分と第七方向に沿って延びた第二線分とを含み、第六方向が第七方向と交差し、前記第六方向と前記第七方向とが何れも前記第二方向と前記第三方向と交差し、
前記第一線分と前記第二線分は、前記第三方向に沿って順次並び、前記第一線分は、前記第二線分に接続された第一端を含み、前記第二線分は、前記第一線分の第一端に接続された第一端を含み、前記第一線分の第一端と前記第二線分の第一端との接続点は、前記第二折れ線ユニットの折曲点であり、
前記第一光制御ユニットにおいて、前記薄膜トランジスタの第一電極または第二電極が前記第二折れ線ユニットの第一線分に接続され、且つ、
前記第二光制御ユニットにおいて、前記薄膜トランジスタの第一電極または第二電極が前記第二折れ線ユニットの第線分に接続される、
請求項1118の何れか1項に記載のアレイ基板。
【請求項20】
請求項1119の何れか1項に記載のアレイ基板を含む表示装置であって、前記アレイ基板は、光制御基板であり、前記表示装置は、
前記光制御基板を含む光制御パネルと、
前記光制御パネルと積層して設けられ、複数本の前記第二方向に沿って延びた第一表示信号線と複数本の前記第三方向に沿って延びた第二表示信号線とを含み、前記複数本の第一表示信号線と前記複数本の第二表示信号線が交差してアレイ状に配置された複数のサブ画素ユニットを区画する表示液晶パネルと、
前記光制御パネルの前記表示液晶パネルから離れた側に位置するバックライトユニットと、をさらに含み、前記光制御パネルは、前記バックライトユニットからのバックライトがそれを経て前記表示液晶パネルに入射するのを許容するように配置される、
表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本願は、2019年11月20日付け提出された中国特許出願第201911143764.5号の優先権を主張し、ここで、上記中国出願の開示内容を全文で援用して本願の一部とする。
【0002】
本開示は、少なくとも一実施例が薄膜トランジスタ、アレイ基板及び表示装置に関する。
【背景技術】
【0003】
ローカルディミング技術を採用して表示コントラストを高めることができる。例えば、液晶表示装置は、積層された表示液晶パネルと光制御液晶パネルとを含み、バックライトユニットからの光は光制御液晶パネルを介して調整された後、表示液晶パネルに入り、表示のコントラストを高めることができる。表示液晶パネルと光制御液晶パネルは、それぞれアレイ基板を含み、アレイ基板は、薄膜トランジスタアレイを含む駆動回路を含む。光制御液晶パネルの駆動回路において、ゲート線とデータ線は、折れ線の配線でも直線の配線でもよい。光制御液晶パネルは、アレイ状を呈する複数の個別の光制御ユニットを含む光制御アレイを含み、各列の光制御ユニットは、1本のデータ線に対応する。当該列の光制御ユニットにおいて、薄膜トランジスタが当該データ線の同一側に位置してもよいし、または、隣接する行の光制御ユニットにおける薄膜トランジスタが当該データ線の異なる側にそれぞれ位置してもよい。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0004】
本開示の少なくとも一実施例は、ベース基板に設けられるとともに、前記ベース基板に位置するゲート電極と、第一電極と、第二電極とを含む薄膜トランジスタであって、前記ゲート電極は、第一方向に沿って延びる第一本体部分と、基本的に前記第一方向に沿って延び、前記第一本体部分に電気的に接続されるとともに、前記第一本体部分から第一間隔を開けた第一延長部分と、を含み、前記第一電極は、前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なる、第一重なり端と、前記第一重なり端の前記第一本体部分から離れた側に位置する、前記ベース基板における正射影が前記第一延長部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なる、第一補償端と、前記第一重なり端と前記第一補償端とを接続し、前記ベース基板における正射影が前記第一間隔による前記ベース基板における正射影内に位置する第一中間部分と、を含む薄膜トランジスタを提供する。
【0005】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記第一中間部分が前記第一方向に沿って延びるストライプ部を含み、前記第一電極は、前記ストライプ部に接続され、前記ストライプ部の前記第一本体部分に近い第一側に位置するとともに、前記第一方向に沿って間隔を開けて並ぶ複数の第一部分と、前記ストライプ部に接続され、前記ストライプ部の前記第一延長部分に近い第二側に位置するとともに、前記第一方向に沿って間隔を開けて並ぶ複数の第二部分と、を含み、前記第一重なり端は、前記複数の第一部分のそれぞれの少なくとも一部を含み、前記第一補償端は、前記複数の第二部分のそれぞれの少なくとも一部を含む。
【0006】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記複数の第一部分のそれぞれは、第一領域と第二領域とを含み、前記第一領域による前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影内に位置し、前記第二領域による前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影と重ならず、且つ、前記第一間隔による前記ベース基板における正射影内に位置し、前記複数の第二部分のそれぞれは、第三領域と第四領域とを含み、前記第三領域による前記ベース基板における正射影が前記第一延長部分による前記ベース基板における正射影内に位置し、前記第四領域による前記ベース基板における正射影が前記第一延長部分による前記ベース基板における正射影と重ならず、且つ、前記第一間隔による前記ベース基板における正射影内に位置する。
【0007】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記複数の第一部分は、前記複数の第二部分と一々と対応し、前記複数の第一部分と前記複数の第二部分は、前記ストライプ部を対称軸に軸対称である。
【0008】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記複数の第一部分のそれぞれは、前記第一方向に直交し、且つ、前記複数の第二部分のそれぞれは、前記第一方向に直交する。
【0009】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記第二電極による前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なり、前記第二電極は、前記第一方向に沿って並ぶとともに前記第一延長部分から離れた方向に沿って窪む複数の第一凹部分を含み、前記第一電極は、前記複数の第一部分と一々と対応する複数の第一突出部分をさらに含み、前記複数の第一突出部分のそれぞれが対応する前記第一部分に接続され、前記複数の第一突出部分がそれぞれ一々と対応して前記複数の第一凹部分に延長し、且つ、前記第一重なり端は、前記複数の第一突出部分をさらに含む。
【0010】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記第一本体部分は、前記第一延長部分に近いエッジを有し、当該エッジによる前記ベース基板における正射影が前記複数の第一部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部オーバーラップし、前記複数の第一部分のそれぞれによる前記第一方向における幅がそれに接続された前記第一突出部による前記第一方向における幅よりも大きい。
【0011】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記第一延長部分の前記第一方向に直交する方向における幅は、0よりも大きく、3μm以下であり、第一延長部分の前記第一方向に直交する方向における幅と第一本体部分の前記第一方向に直交する方向における幅との比は0.2~0.3である。
【0012】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記ゲート電極は、前記第一本体部分と前記第一延長部分を接続する、前記ベース基板における正射影が前記第一電極と前記第二電極による前記ベース基板における正射影と何れも重ならない第一接続部分をさらに含む。
【0013】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記第一延長部分は、前記第一方向に第一端と第二端とを有し、前記第一本体部分は、前記第一方向に第一端と第二端とを有し、前記第一接続部分は、前記第一延長部分の第一端と前記第一本体部分の第一端を接続し、且つ、前記第一延長部分の第二端と前記第一本体部分の第二端は、前記第一接続部分の同一側に位置する。
【0014】
例えば、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタにおいて、前記第一方向と水平方向との間の夾角は、0度よりも大きく90度よりも小さい。
【0015】
本開示の少なくとも一実施例は、前記ベース基板に設けられた、第二方向に沿って延びた複数本の第一信号線と第三方向に沿って延びた複数本の第二信号線とを含み、前記第二方向と前記第三方向が互に交差し、前記複数本の第一信号線と前記複数本の第二信号線が交差してアレイ状に配置された複数の光制御ユニットを区画し、各前記光制御ユニットは、本開示の実施例により提供される何れか1種の薄膜トランジスタを含み、前記第一方向は、前記第二方向と前記第三方向との両者と交差し、前記薄膜トランジスタのゲート電極は、前記複数本の第一信号線のうちの一本に電気的に接続され、前記薄膜トランジスタの第一電極または第二電極は、前記複数本の第二信号線のうちの一本に電気的に接続されるとともに、前記複数本の第一信号線及び前記複数本の第二信号線は、何れも前記ベース基板に設けられた、アレイ基板をさらに提供する。
【0016】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記複数の光制御ユニットは、第一光制御ユニットと第二光制御ユニットとを含み、前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向は、前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向と交差する。
【0017】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタと前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、同一の第二信号線に接続されるとともに、当該同一の第二信号線の第一側と第二側にそれぞれ位置し、当該第一側と当該第二側が前記第二方向において互に反対側となる。
【0018】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記第一光制御ユニットと前記第二光制御ユニットは、前記第三方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの行にそれぞれ位置し、且つ、前記第一光制御ユニットと前記第二光制御ユニットは、前記第二方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの列にそれぞれ位置する。
【0019】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第一電極の第一補償端による前記ベース基板における正射影の面積を第一面積とし、前記第一電極の第一重なり端による前記ベース基板における正射影の面積を第三面積とし、前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第一電極の第一補償端による前記ベース基板における正射影の面積を第二面積とし、前記第一電極の第一重なり端による前記ベース基板における正射影の面積を第四面積とし、前記第一面積は、前記第二面積と異なり、前記第三面積は、前記第四面積と異なり、前記第一面積と前記第二面積との和は、前記第三面積と前記第四面積との和と同じである。
【0020】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタと前記第三方向に沿った対称軸に対して軸対称であり、または、前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタは、前記第三方向に沿って並進された後で前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタと前記第三方向に沿った対称軸に対して軸対称である。
【0021】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記複数本の第一信号線の少なくとも一部は、折れ線であり、且つ、連続した周期で並ぶ複数の第一折れ線ユニットを含み、1つの前記第一折れ線ユニットは、1つの前記光制御ユニットに対応し、1つの前記第一折れ線ユニットは、第四方向に沿って延びた第一線分と第五方向に沿って延びた第二線分とを含み、第四方向は、第五方向と交差し、前記第四方向と前記第五方向が何れも前記第二方向と前記第三方向と交差し、前記第一線分と前記第二線分は、前記第二方向に沿って順次並び、前記第一線分は、前記第二線分に接続された第一端を含み、前記第二線分は、前記第一線分の第一端に接続された第一端を含み、前記第一線分の第一端と前記第二線分の第一端との接続点は、前記第一折れ線ユニットの折曲点であり、前記第一光制御ユニットにおいて、前記第一本体部分が前記第一折れ線ユニットの第一線分に接続され、且つ、前記第二光制御ユニットにおいて、前記第一本体部分が前記第一折れ線ユニットの第二線分に接続される。
【0022】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記第一光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向は、前記第五方向と同じであり、前記第二光制御ユニットに含まれる薄膜トランジスタにおける前記第一方向は、前記第四方向と同じである。
【0023】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記第一線分は、隣接する前記第一折れ線ユニットの前記第二線分に接続された第二端を含み、前記第二線分は、隣接する前記第一折れ線ユニットの前記第一線分の第二端に接続された第二端を含み、前記第一線分の第二端と前記第二線分の第二端との接続点の前記ベース基板における正射影が前記第二信号線による前記ベース基板における正射影に位置し、前記第一光制御ユニットにおいて、前記第一線分の第二端が前記第一線分の第一端よりも前記薄膜トランジスタに近く、且つ、前記第二光制御ユニットにおいて、前記第二線分の第二端が前記第二線分の第一端よりも前記薄膜トランジスタに近い。
【0024】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記複数本の第二信号線の少なくとも一部は、折れ線であり、且つ、連続した周期で並ぶ複数の第二折れ線ユニットを含み、1つの前記第二折れ線ユニットが1つの前記光制御ユニットに対応し、1つの前記第二折れ線ユニットは、第六方向に沿って延びた第一線分と第七方向に沿って延びた第二線分とを含み、第六方向が第七方向と交差し、前記第六方向と前記第七方向とが何れも前記第二方向と前記第三方向と交差し、前記第一線分と前記第二線分は、前記第三方向に沿って順次並び、前記第一線分は、前記第二線分に接続された第一端を含み、前記第二線分は、前記第一線分の第一端に接続された第一端を含み、前記第一線分の第一端と前記第二線分の第一端との接続点は、前記第二折れ線ユニットの折曲点であり、前記第一光制御ユニットにおいて、前記薄膜トランジスタの第一電極または第二電極が前記第二折れ線ユニットの第一線分に接続され、且つ、前記第二光制御ユニットにおいて、前記薄膜トランジスタの第一電極または第二電極が前記第二折れ線ユニットの第一線分に接続された
【0025】
例えば、本開示の一実施例により提供されるアレイ基板において、前記第二信号線の少なくとも一部は、直線である。
【0026】
本開示の少なくとも一実施例は、本開示の実施例により提供される何れか1種のアレイ基板を含む表示装置であって、前記アレイ基板は、光制御基板であり、前記表示装置は、前記光制御基板を含む光制御パネルと、前記光制御パネルと積層して設けられるとともに、複数本の前記第二方向に沿って延びた第一表示信号線と複数本の前記第三方向に沿って延びた第二表示信号線とを含み、前記複数本の第一表示信号線と前記複数本の第二表示信号線が交差してアレイ状に配置された複数のサブ画素ユニットを区画する表示液晶パネルと、前記光制御パネルの前記表示液晶パネルから離れた側に位置するバックライトユニットと、をさらに含み、前記光制御パネルは、バックライトユニットからのバックライトがそれを経て前記表示液晶パネルに入射するのを許容するように配置される、表示装置をさらに提供する。
【図面の簡単な説明】
【0027】
本発明の実施例の技術的手段をより明確に説明するために、以下、実施例の図面について簡単に説明するが、以下の説明における図面は、本発明の実施例の一部のみに関し、本発明を限定するものではないことが自明である。
【0028】
図1A】本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタの平面模式図である。
図1B図1AにおけるA-A’線に沿った断面模式図である。
図2A】本開示の一実施例により提供される他の薄膜トランジスタの平面模式図である。
図2B図2AにおけるB-B’線に沿った断面模式図である。
図2C図2AにおけるC-C’線に沿った断面模式図である。
図3A】薄膜トランジスタのアライメントずれが発生して寄生容量が変化する模式図である。
図3B】本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタのアライメントずれが発生するときの容量補償の模式図である。
図3C】本開示の他の一実施例により提供される薄膜トランジスタのアライメントずれが発生するときの容量補償の模式図である。
図4A】本開示の一実施例により提供される光制御基板の構成模式図である。
図4B図4Aに示す光制御基板の第一光制御ユニットと第二光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。
図5A】本開示の一実施例により提供される他の光制御基板の構成模式図である。
図5B図5Aに示す光制御基板の第一光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。
図5C図5Aに示す光制御基板の第二光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。
図6A】本開示の一実施例により提供される更なる光制御基板の構成模式図である。
図6B図6Aにおける局部の拡大模式図である。
図6C図6Aに示す光制御基板の第一光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。
図6D図6Aに示す光制御基板の第二光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。
図6E図6CにおけるB-B’線とD-D’線に沿った断面模式図である。
図7】本開示の一実施例により提供される表示装置の構成模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0029】
本発明の実施例の目的、技術的手段及び利点をさらに明確に説明するために、以下、本発明の実施例の図面を参照して、本発明の実施例の技術的手段について明確かつ完全に説明する。記載された実施例は、本発明の一部の実施例であり、全ての実施例ではないことは、明らかである。記載された本発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な仕事をせずに取得するその他の実施例は、いずれも本発明の保護範囲に含まれる。
【0030】
特に定義されない限り、ここで使用される技術用語又は科学用語は、当業者が理解する通常の意味のはずである。本特許出願の明細書及び請求の範囲で使用される「第一」、「第二」及び類似する用語は、何らかの順序、数量又は重要性を示すものではなく、異なる構成部分を区別するためのものに過ぎない。「含む」や「含まれる」などの類似する用語は、この用語の前に記載した素子や物がこの用語の後に挙げられる素子や物、及びそれらの均等物を含むことを意味するが、その他の素子や物を排除するものではない。「内」、「外」、「上」、「下」などは、相対位置関係を示すためのものに過ぎず、説明対象の絶対位置が変わると、当該相対位置関係もそれに応じて変わる可能性がある。
【0031】
本開示の図面は、厳密に実際の比率で描かれているものではなく、光制御基板における光制御ユニットとトランジスタの数も、図示の数に限定されるものではなく、各構造の具体的なサイズと数は、実際の必要に応じて決定することができる。本開示に記載されている図面は、構成模式図に過ぎない。
【0032】
通常、液晶パネルの駆動回路において、互いに交差するゲート線とデータ線によりアレイ状に配置された複数の画素ユニットを区画する。駆動回路は、薄膜トランジスタアレイをさらに含み、アレイ状に配置された複数の薄膜トランジスタを含む。各列の画素は、1本のデータ線に対応し、各列の画素ユニットにおける薄膜トランジスタは、いずれも当該データ線の同一側に設けられてもよいし、隣接する行の薄膜トランジスタは、当該データ線の両側にそれぞれ設けられてもよい。表示パネルの薄膜トランジスタアレイを作製する過程で、異なる層の金属間に相対的な位置ずれがあるため、異なる行の画素ユニットや異なる列の画素ユニット間の薄膜トランジスタの寄生容量に負荷の差が生じ、表示横縞が発生し、表示品質に影響を及ぼすなどのパネル表示異常を引き起こすことが多い。
【0033】
図3Aは、薄膜トランジスタが上述したアライメントずれが発生して寄生容量が変化する模式図である。図3Aに示すように、第一薄膜トランジスタは、ゲート電極1001とソース電極1002とを含み、第二薄膜トランジスタは、ゲート電極1003とソース電極1004とを含む。水平方向は、ゲート電極1001、ソース電極1002、ゲート電極1003及びソース電極1004の何れの延伸方向とも異なり、ゲート電極1001は、ゲート電極1003と延伸方向が異なり、ソース電極1002は、ソース電極1004と延伸方向が異なる。図3Aにおける第一薄膜トランジスタは、プロセス誤差により、ソース電極1002がゲート電極1001に対して水平方向に相対的なずれがあり、例えば、ソース電極1002が右方向にずれると、第一薄膜トランジスタのゲート電極1001とソース電極1002とのオーバーラップ面積が減少する。図3Aにおける第二薄膜トランジスタは、プロセス誤差により、ソース電極1004がゲート電極1003に対して水平方向に相対的なずれがあり、例えば、ソース電極1004が右方向にずれると、第二薄膜トランジスタのゲート電極1003とソース電極1004とのオーバーラップ面積が増大する。
【0034】
第一薄膜トランジスタの領域Rと第二薄膜トランジスタの領域Rとを例に紹介する。平板コンデンサの計算式によると、
【数1】
例えば、図3Aに示すように、ゲート電極1001に接続されたゲート線1005とゲート電極1003に接続されたゲート線1006の水平方向との夾角は、何れもθであり、ソース電極1002がゲート電極1001に対して変位のずれ
【数2】
(大きさが|ρ|に等しく、水平方向との夾角がαである)があるとき、第一薄膜トランジスタのゲート電極1001とソース電極1002とのオーバーラップ面積の減少量は、
【数3】
である。同じ理由で、ゲート電極1004がソース電極1002に対して変位のずれ
【数4】
(大きさが|ρ|に等しく、水平方向との夾角がαである)があるとき、第一薄膜トランジスタのゲート電極1001とソース電極1002とのオーバーラップ面積の減少量は、
【数5】
である。もし表示パネルにおいて、薄膜トランジスタの上述した変位のずれが異なれば、異なる薄膜トランジスタの寄生容量の大きさが異なり、表示パネルの位置によって表示ムラが発生し、表示品質に影響を及ぼす。例えば、図3Aに示す第一薄膜トランジスタと第二薄膜トランジスタは、表示パネルの隣接する行の画素ユニットにそれぞれ位置するとともに、隣接する列の画素ユニットにそれぞれ位置すると、奇偶行の画素ユニット間の結合容量に差が生じ、表示横縞を引起してしまう。
【0035】
本開示の少なくとも一実施例は、ベース基板に設けられるとともに、前記ベース基板に位置するゲート電極と、第一電極と、第二電極とを含む薄膜トランジスタであって、前記ゲート電極は、第一方向に沿って延びる第一本体部分と、基本的に前記第一方向に沿って延び、前記第一本体部分に電気的に接続されるとともに、前記第一本体部分から第一間隔を開けた第一延長部分とを含み、前記第一電極は、前記ベース基板における正射影が前記第一本体部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なる、第一重なり端と、前記第一重なり端の前記第一本体部分から離れた側に位置する、前記ベース基板における正射影が前記第一延長部分による前記ベース基板における正射影と少なくとも一部重なる、第一補償端と、前記第一重なり端と前記第一補償端とを接続し、前記ベース基板における正射影が前記第一間隔による前記ベース基板における正射影内に位置する第一中間部分と、を含む薄膜トランジスタを提供する。本開示の実施例により提供される薄膜トランジスタは、薄膜トランジスタを使用する必要がある任意の回路や基板に使用することができる。当該基板は、例えば、アレイ基板であり、例えば、表示基板や光制御基板などであり、当該回路は、例えば、表示駆動回路、光制御基板の光制御駆動回路などであり、アレイ基板や回路における薄膜トランジスタのゲート電極とソース/ドレイン電極のアライメントずれに起因する容量の差の問題を解決し、容量の差を補償するという技術的効果を達成する。
【0036】
図1Aは、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタの平面模式図であり、図1Bは、図1AにおけるA-A’線に沿った断面模式図である。図1A図1Bに示すように、薄膜トランジスタ10は、ベース基板5に位置するゲート電極3と、第一電極1と、第二電極2と、を含む。ゲート電極3は、第一本体部分31と第一延長部分32と、を含む。第一本体部分31は、第一方向に沿って延び、第一延長部分32は、基本的に第一方向に沿って延び、第一本体部分31に電気的に接続されるとともに、第一本体部分31から第一間隔41を開ける。例えば、第一間隔41は、第一方向に沿って延び、例えば、第一延長部分32の第一本体部分31に接続されない位置は、何れも第一間隔41を介して第一本体部分31から間隔される。第一電極1は、第一重なり端11と、第一補償端12と、第一中間部分13とを含み、第一重なり端11によるベース基板5における正射影が第一本体部分31によるベース基板5における正射影と少なくとも一部重なり、第一補償端12は、第一重なり端11の第一本体部分31から離れた側に位置し、第一補償端12によるベース基板5における正射影が第一延長部分32によるベース基板5における正射影と一部重なり、他の実施例において、第一補償端12によるベース基板5における正射影は、第一延長部分32によるベース基板5における正射影の第一方向に直交する幅全体と重なってもよく、例えば、第一延長部分32によるベース基板5における正射影全体と重なってもよい。第一中間部分13は、第一重なり端11と第一補償端12とを接続し、第一中間部分13によるベース基板5における正射影が第一間隔41によるベース基板5における正射影内に位置し、即ち、第一中間部分13は、第一間隔41内に位置し、ベース基板5に直交する方向にゲート電極3と重ならない。例えば、図1Aに示すように、第一重なり端11と、第一補償端12と、第一中間部分13とは、何れも第一方向に沿って延びるストライプである。例えば、第二電極2によるベース基板5における正射影は、第一本体部分31によるベース基板5における正射影と少なくとも一部重なる。例えば、図1Aにおいて、第二電極2によるベース基板5における正射影は、第一本体部分31によるベース基板における正射影内に位置する。
【0037】
図1Bに示すように、薄膜トランジスタ10は、ベース基板5に直交する方向にゲート電極3と重なられた半導体層6と、ゲート電極3を被覆するゲート絶縁層7とをさらに含み、半導体層6によるベース基板5における正射影は、ゲート電極3によるベース基板5における正射影内に位置することによって、当該薄膜トランジスタ10を用いるパネル(例えば、光制御パネルまたは表示パネル)の光透過率を高めるのに役立つ。
【0038】
当該薄膜トランジスタ10を作製する過程で、もし上述した変位のずれがあれば、第一延長部分32と第一補償端12は、このような変位のずれを補償できる。具体的には、図3Bは、本開示の一実施例により提供される薄膜トランジスタのアライメントずれが発生するときの容量補償の模式図である。図3Bに示すように、第一電極1と第二電極2を形成するための金属層がゲート電極3に対して変位のずれがあるとき、形成された第一電極1と第二電極2とゲート電極3には変位のずれがあり、例えば、変位のずれ
【数6】
(大きさが|ρ|に等しく、水平方向との夾角がαである)がある。第一本体部分31と第一延長部分32との水平方向との夾角は、何れもθであり、第一電極1がゲート電極3に対して変位のずれ
【数7】
(大きさが|ρ|に等しく、水平方向との夾角がαである)があるとき、ゲート電極3の第一本体部分31と第一電極1とのオーバーラップ面積の減少量は、
【数8】
である。同時に、ゲート電極3の第一延長部分32と第一電極1とのオーバーラップ面積の増大量は、
【数9】
であり、これにより、ゲート電極3と第一電極1とのオーバーラップ面積は、基本的に変わらない。従って、本開示の実施例により提供される薄膜トランジスタ10は、上述した変位のずれによる結合容量の差の問題を防止でき、当該薄膜トランジスタを用いる表示パネルにおいて、当該結合容量の差による表示異常を避けることができる。
【0039】
なお、水平方向は、基準方向であり、図1Aに示すように、水平方向は、例えば、ベース基板5のエッジ51の延伸方向である。
【0040】
例えば、第一方向は、任意の方向でもよく、第一方向と水平方向との間の夾角は、0度よりも大きく、90度よりも小さい。つまり、第一方向は、水平方向に対して傾斜している。このように、表示パネルには、複数の本開示の実施例により提供される薄膜トランジスタが含まれるとともに、複数の薄膜トランジスタにおける第一方向が互いに異なる場合に、薄膜トランジスタのゲート電極と第一電極とは、水平方向、または、水平方向に直交する方向、または同時に水平方向と直交方向に変位のずれであって、例えば、上述したずれ
【数10】
があるとき、ゲート電極3と第一電極1とのオーバーラップ面積は、何れも基本的に変わらず、容量補償を実現できる。これにより、上述した変位のずれによる結合容量の差の問題が防止される。
【0041】
本開示の実施例において、例えば、第一電極1は、ソース電極であり、第二電極2は、ドレイン電極であり、または、第一電極1は、ドレイン電極であり、第二電極2は、ソース電極である。
【0042】
例えば、ゲート電極3は、第一本体部分31と第一延長部分32を接続する第一接続部分33をさらに含み、第一接続部分33によるベース基板5における正射影が第一電極1と第二電極2によるベース基板5における正射影と何れも重ならないことで、第一接続部分33が変位の誤差によりゲート電極3と第一電極1、第二電極2とのオーバーラップ面積を変えることによる薄膜トランジスタの結合容量の差を避ける。
【0043】
例えば、第一延長部分32は、第一方向に第一端321と第二端322とを有し、第一本体部分31は、第一方向に第一端311と第二端312とを有し、第一接続部分33は、第一延長部分32の第一端321と第一本体部分31の第一端311を接続し、且つ、第一延長部分32の第二端322と第一本体部分31の第二端312は、第一接続部分33の同一側に位置する。このように、薄膜トランジスタ10の構造をコンパクトにし、薄膜トランジスタの体積を低減し、薄膜トランジスタを用いる表示パネルに薄膜トランジスタの占めるスペースを低減するのに有利である。
【0044】
例えば、第一延長部分32の第一方向に直交する方向における幅は、0よりも大きく、3μm以下である。第一延長部分の前記第一方向に直交する方向における幅と第一本体部分の前記第一方向に直交する方向における幅との比は、0.2~0.3である。勿論、本開示の実施例は、これを限定せず、実際のプロセス誤差に応じて設計できる。
【0045】
図2Aは、本開示の一実施例により提供される他の薄膜トランジスタの平面模式図であり、図2Bは、図2AにおけるB-B’線に沿った断面模式図であり、図2Cは、図2AにおけるC-C’線に沿った断面模式図である。図2A~2Cに示すように、第一中間部分13は、第一方向に沿って延びたストライプ部14を含む。第一電極1は、複数の第一部分15と複数の第二部分16とを含み、複数の第一部分15は、ストライプ部14に接続され、ストライプ部14の第一本体部分31に近い第一側に位置するとともに、第一方向に沿って間隔を開けて並び、複数の第二部分16は、ストライプ部14に接続され、ストライプ部14の第一延長部分32に近い第二側に位置するとともに、第一方向に沿って間隔を開けて並び、即ち、複数の第一部分15と複数の第二部分16は、ストライプ部14の対向する両側に位置する。且つ、第一重なり端11は、複数の第一部分15のそれぞれの少なくとも一部を含み、例えば、図2Aに示すように、複数の第一部分15のそれぞれは、第一領域151と第二領域152とを含み、第一領域151によるベース基板5における正射影が第一本体部分31によるベース基板5における正射影内に位置する。第二領域152によるベース基板5における正射影は、第一本体部分31によるベース基板5における正射影と重ならず、第一間隔41によるベース基板5における正射影内に位置する。第一補償端12は、複数の第二部分16のそれぞれの少なくとも一部を含むことによって、それぞれの第一部分15の上述した変位の誤差による容量の差の問題を解決し、容量補償を実現する。例えば、図2Aに示すように、複数の第二部分16のそれぞれは、第三領域161と第四領域162とを含み、第三領域161によるベース基板5における正射影が第一延長部分32によるベース基板5における正射影内に位置する。第四領域162によるベース基板5における正射影は、第一延長部分32によるベース基板5における正射影と重ならず、第一間隔41によるベース基板5における正射影内に位置する。図3Cに示すように、薄膜トランジスタ10におけるそれぞれの第一部分15と対応する第二部分16について、領域Dの容量補償状況は、全て図3Bに示すものと同様であり、上述した記載を参照されたい。
【0046】
例えば、図2Aに示すように、複数の第一部分15は、第一方向に直交し、且つ、複数の第二部分16は、第一方向に直交し、複数の第一部分15、ストライプ部14及び複数の第二部分16からなる構造は、全体的魚の骨の形をしている。且つ、複数の第一部分15は、複数の第二部分16と一々と対応し、複数の第一部分15と複数の第二部分16は、ストライプ部14を対称軸に軸対称である。これにより、複数の第一部分15のそれぞれの第一方向に直交する方向における幅は、対応する第二部分16の第一方向に直交する方向における幅に等しい。この場合に、構造は簡単であり、且つ、容量補償の効果は最高である。例えば、複数の第一部分15は、第一方向に直交し、且つ、複数の第二部分16は、第一方向に直交する。この場合に、上述した変位の誤差が発生した場合、それぞれの第一部分15と第一本体部分31とのオーバーラップ面積の変化量と、それぞれの第二部分16と第一延長部分32とのオーバーラップ面積の変化量とをより近づけることができ、補償効果がよりよい。勿論、他の実施例において、複数の第一部分15のそれぞれは、第一方向に直交せず、且つ、複数の第二部分16のそれぞれは、第一方向に直交しなくてもよい。例えば、複数の第一部分15のそれぞれの平面図形は、矩形であり、複数の第二部分16のそれぞれの平面図形は、矩形であり、他の図形よりも、上述した変位の誤差が発生した場合、それぞれの第一部分15と第一本体部分31とのオーバーラップ面積の変化量と、それぞれの第二部分16と第一延長部分32とのオーバーラップ面積の変化量とがより近づき、補償効果がよりよく、作製も容易である。勿論、複数の第一部分15のそれぞれの平面図形と複数の第二部分16のそれぞれの平面図形も他の図形であってもよく、例えば、平行四辺形などでもよく、本開示の実施例は、これを限定しない。
【0047】
例えば、図2Aに示すように、第二電極2も基本的に第一方向に沿って延び、第二電極2によるベース基板5における正射影は、第一本体部分31によるベース基板5における正射影の一部と重なり、第二電極2は、第一方向に沿って並ぶとともに第一延長部分32から離れた方向に沿って窪む複数の第一凹部分21を含み、第一電極1は、複数の第一部分15と一々と対応する複数の第一突出部分17をさらに含み、複数の第一突出部分17のそれぞれが対応する第一部分15に接続され、複数の第一突出部分17がそれぞれ一々と対応して複数の第一凹部分21内に進入する。第一重なり端11は、複数の第一突出部17をさらに含むことで、薄膜トランジスタの構造をコンパクトにし、薄膜トランジスタの体積を低減する。
【0048】
例えば、図2Aに示す実施例において、第一凹部分21は、U字状であり、もちろん、第一凹部分21の形状は、U字状に限らず、V字状または不規則な凹み形状などでもよく、本開示の実施例は、第一凹部分の具体的な形状を限定しない。
【0049】
例えば、図2A図2Bに示すように、薄膜トランジスタ10は、ベース基板5に直交する方向にゲート電極3と重なられた半導体層6と、ゲート電極3を被覆するゲート絶縁層7と、をさらに含む。第一本体部分31は、第一延長部分32に近いエッジ311を有し、当該エッジ311によるベース基板5における正射影と複数の第一部分15によるベース基板5における正射影とは、少なくとも一部オーバーラップし、複数の第一部分15のそれぞれによる第一方向における幅をそれらに接続された第一突出部17の第一方向における幅よりも大きくすることで、第一電極1が第一本体部分31のエッジ311の位置で断線するのが防止される。第一電極1は、エッジ311とオーバーラップするため、エッジ311の位置に層間の高さの差があり、もし第一電極1の幅が小さ過ぎれば、図2Bに示すように、断線の問題が発生しやすくなる。
【0050】
図2A~2Cに示す実施例について、言及されない特徴と技術効果は、何れも図1Aにおけるものと同じであり、上述した記載を参照されたい。ここで、詳しい説明は、省略する。
【0051】
本開示の少なくとも一実施例は、第二方向に沿って延びた複数本の第一信号線と第三方向に沿って延びた複数本の第二信号線とを含み、前記第二方向と前記第三方向が互に交差し、前記複数本の第一信号線と前記複数本の第二信号線が交差してアレイ状に配置された複数の光制御ユニッを区画するアレイ基板をさらに提供し、各前記光制御ユニットは、本開示の実施例により提供される何れの薄膜トランジスタを含み、前記第一方向は、前記第二方向と前記第三方向との両者と交差し、前記薄膜トランジスタのゲート電極は、前記複数本の第一信号線のうちの一本に電気的に接続され、前記薄膜トランジスタの第一電極または第二電極は、前記複数本の第二信号線のうちの一本に電気的に接続されるとともに、前記複数本の第一信号線及び前記複数本の第二信号線は、何れも前記ベース基板に設けられる。例えば、当該アレイ基板は、表示基板または光制御基板でもよい。
【0052】
液晶表示装置において、ローカルディミング技術を用いるために、例えば、直下型のバックライトユニットまたはサイドイン型のバックライトユニットを用いる場合に、表示液晶パネルとバックライトユニットの間に、液晶光制御パネルでもよい光制御パネルを追加することができる。当該光制御パネルは、所定の領域での光透過率を制御することができ、画面の輝度(階調)が高い部分について、光制御パネルの該当する領域の光透過率も高くなり、バックライトユニットからのより多くの光が通過するのを許容し、画面の輝度が低い部分について、光制御パネルの該当する領域の光透過率も低くなり、バックライトユニットからの少ない光が通過するのを許容することで、表示画面のコントラストを高め、表示画質を向上させる目的を達成する。例えば、当該光制御パネルは、本開示の実施例により提供される光制御基板を含むことができ、当該光制御基板を光制御パネルにおける液晶ステアリングを制御するために用いることによって、光制御の目的を達成する。勿論、本開示の実施例により提供される光制御基板は、薄膜トランジスタのゲート電極とソース/ドレイン電極とのアライメントずれに起因する容量の差の問題を解決し、容量の差を補償する技術効果を達成するために、2層液晶セル表示パネルに限らず、薄膜トランジスタを必要とする他の何れのパネルにも用いることができる。当該アレイ基板は、上述した光制御基板とすることができ、以下では、アレイ基板を上述した光制御基板とする例を紹介する。
【0053】
例示的に、図4Aは、本開示の一実施例により提供される光制御基板の構成模式図であり、図4Bは、図4Aに示す光制御基板の第一光制御ユニットと第二光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。図4A図4Bに示すように、光制御基板100は、第二方向に沿って延びた複数本の第一信号線103と第三方向に沿って延びた複数本の第二信号線104とを含み、第二方向と第三方向が互に交差し、複数本の第一信号線103と複数本の第二信号線104が交差してアレイ状に配置された複数の光制御ユニット106/107を区画し、各光制御ユニット106/107は、本開示の実施例により提供される何れか1種の薄膜トランジスタを含み、第一方向は、第二方向と交差するとともに、第三方向と交差する。薄膜トランジスタのゲート電極3は、複数本の第一信号線103のうちの一本に電気的に接続され、薄膜トランジスタの第一電極1または第二電極2は、複数本の第二信号線104のうちの一本に電気的に接続され、且つ、複数本の第一信号線103及び複数本の第二信号線104は、何れもベース基板5に設けられる。当該光制御基板100において、第一方向は、第二方向と交差するとともに、第三方向と交差するため、水平方向または、水平方向に直交する方向、または同時に水平方向と直交方向に変位のずれであって、例えば、上述したずれ
【数11】
があるとき、ゲート電極3と第一電極1とのオーバーラップ面積は、何れも基本的に変わらず、容量補償を実現できる。これにより、上述した変位のずれによる結合容量の差の問題が防止される。即ち、ゲート電極の金属層とソース電極/ドレイン電極の金属層との間に変位のずれがあることで、発生する異なる行の間の薄膜トランジスタのゲート電極とソース/ドレイン電極との間の結合容量の差が防止されることによって、それによるパネル表示異常、例えば、表示シワが防止される。
【0054】
なお、複数本の第一信号線と複数本の第二信号線との交差は、両者が電気的に接続されるものではなく、光制御基板は、第一信号線と複数本の第二信号とを互いに絶縁させるように複数本の第一信号線と複数本の第二信号線との間に位置する絶縁層をさらに含む。
【0055】
例えば、第一信号線103は、第一ゲート線であり、第二信号線104は、第一データ線である。第一ゲート線と第一データ線は、光制御基板100の光制御ユニット106/107における液晶分子(不図示)の回転を駆動するための第一ゲート信号と第一データ信号をそれぞれ提供するように配置され、光制御基板100によるバックライトの出射角の角度または強度に対する調整を実現する。さらに、例えば、本開示の他の一実施例において、第一信号線103は、第一ゲート線であり、第二信号線104は、第一データ線である。各光制御ユニット7に含まれる薄膜トランジスタをスイッチング素子とし、各光制御ユニット7は、画素電極、共通電極をさらに含む。図4Bに示すように、薄膜トランジスタのゲート電極3は、第一ゲート信号を受信するために第一ゲート線103に接続され、薄膜トランジスタの第二電極2(例えば、ソース電極)は、第一データ信号を受信するために第一データ線に接続され、薄膜トランジスタの第一電極1(例えば、ドレイン電極)は、導通状態にあるときに画素電極を充電するために画素電極(図では不図示)に接続され、共通電極と画素電極は、液晶層とともに液晶容量を形成し、画素電極が充電されると、共通電極と画素電極との間に電界が形成されて液晶層中の液晶分子の回転が制御される。光制御パネルが垂直電界方式または水平電界方式であることにより、共通電極と画素電極は、同一基板に位置して互いに隣接して設けられてもよいし、異なる基板に位置して互いに対向してもよい。図では、画素電極と共通電極は、示されないが、当業者は、汎用技術を参考にすることができる。
【0056】
例えば、図4A図4Bに示す実施例において、複数本の第一信号線103と複数本の第二信号線104は、何れも直線である。複数の光制御ユニットは、第一光制御ユニット106と第二光制御ユニット107とを含み、第一光制御ユニット106と第二光制御ユニット107は、第三方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの行にそれぞれ位置し、且つ、第一光制御ユニット106と第二光制御ユニット107は、第二方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの列にそれぞれ位置する。例えば、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101と第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102は、同一の第二信号線104に接続されるとともに、当該同一の第二信号線104の同一側にそれぞれ位置し、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101における第一方向は、第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102における第一方向と基本的に平行である。
【0057】
図5Aは、本開示の一実施例により提供される他の光制御基板の構成模式図であり、図5Bは、図5Aに示す光制御基板の第一光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図であり、図5Cは、図5Aに示す光制御基板の第二光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101における第一方向は、第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102における第一方向と交差する。例えば、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101と第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102は、同一の第二信号線104に接続されるとともに、当該同一の第二信号線104の第一側と第二側にそれぞれ位置する。当該第一側と当該第二側は、第二方向に互に反対側となり、即ち、薄膜トランジスタは、「Z」反転設計になることで、当該光制御基板を用いた表示パネルの首振りシワ現象を防止でき、特に大型パネル(例えば、65インチ以上)では、この利点がより顕著になっている。例えば、複数の光制御ユニットは、第一光制御ユニット106と第二光制御ユニット107とを含み、第一光制御ユニット106と第二光制御ユニット107は、第三方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの行にそれぞれ位置する。且つ、第一光制御ユニット106と第二光制御ユニット107は、第二方向に沿って並ぶ隣接する2つの光制御ユニットの列にそれぞれ位置することによって、当該光制御基板を用いた表示パネルにおいて、隣接する行の表示ユニットまたは隣接する列の表示ユニットの薄膜トランジスタに、上述した変位のずれによる表示不良の問題が発生するのを防止でき、表示横縞や縦筋を防止できる。
【0058】
例えば、図5A~5Cに示す実施例において、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101は、第一電極1の第一補償端12によるベース基板5における正射影の面積を第一面積とし、第一電極1の第一重なり端11によるベース基板5における正射影の面積を第三面積とし、第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102は、第一電極1の第一補償端12によるベース基板5における正射影の面積を第二面積とし、第一電極1の第一重なり端11によるベース基板5における正射影の面積を第四面積とし、第一面積は、第二面積と異なり、第三面積は、第四面積と異なり、第一面積と第二面積との和は、第三面積と第四面積とのと同じであり、よりよい補償効果を達成する。
【0059】
例えば、図5A~5Cに示す実施例において、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101は、第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102と第三方向に沿った対称軸に対して軸対称であり、または、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101は、第三方向に沿って並進された後で第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102と第二信号線104に平行な対称軸に対して軸対称であり、光制御基板全体の補償状況を均一にし、光制御基板全体の薄膜トランジスタの作製も容易になる。また、この場合、本実施例により提供される光制御基板は、図3Aに示す容量補償の問題を解決でき、前記変位のずれが発生した場合に、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101と第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102の結合容量は、何れも基本的に変わらず、それによる表示不良であって、例えば、表示横縞を避ける。
【0060】
例えば、他の実施例により提供される光制御基板において、複数本の第一信号線103と複数本の第二信号線104は、少なくとも一部が折れ線の配線である。典型的に、例えば、図6Aは、本開示の一実施例により提供されるさらなる光制御基板の構成模式図であり、図6Bは、図6Aにおける局部105の拡大模式図であり、図6Cは、図6Aに示す光制御基板の第一光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図であり、図6Dは、図6Aに示す光制御基板の第二光制御ユニットにおける薄膜トランジスタを含む局部の拡大模式図である。通常、表示液晶パネルの複数本の信号線は、互に交差する第二方向と第三方向に沿って延びた直線であり、これらの互いに交差する信号線により区画された複数のサブ画素ユニットの平面形状は、何れも矩形である。複数本の第一信号線103と複数本の第二信号線104は、少なくとも一部が折れ線の配線であり、従って、光制御ユニット106/107の平面形状は、矩形ではなく、光制御ユニット106/107の平面形状とサブ画素ユニットの平面形状は、異なり、配布規律も異なることによって、人の目にはモアレが感じられなくなり、モアレを解消または改善する効果を達成する。この場合に、例えば、図6A~6Dに示すように、複数本の第一信号線103は、少なくとも一部が折れ線であり、且つ、連続周期で並ぶ複数の第一折れ線ユニット1030を含み、1つの第一折れ線ユニット1030は、1つの光制御ユニット106/107に対応し、1つの第一折れ線ユニット1030は、第四方向に沿って延びた第一線分1031と第五方向に沿って延びた第二線分1032とを含み、第四方向は、第五方向と交差し、第四方向と第五方向が何れも第二方向と第三方向と交差し、第一線分1031と第二線分1032は、第二方向に沿って順次並び、第一線分1031は、第二線分1032に接続された第一端を含み、第二線分1032は、第一線分1031の第一端に接続された第一端を含み、第一線分1031の第一端と第二線分1032の第一端との接続点Aは、第一折れ線ユニット1030の折曲点である。第一光制御ユニット106において、第一本体部分31が第一折れ線ユニット1030の第一線分1031に接続され、例えば、この両者が一体成型され、且つ、第二光制御ユニット107において、第一本体部分31が第一折れ線ユニット1030の第二線分1032に接続され、例えば、この両者が一体成型されることによって、薄膜トランジスタのゲート電極3が光制御基板100の光制御ユニットにおける液晶分子を回転させるように駆動するための第一ゲート信号を受信する。複数の第一折れ線ユニット1030の少なくとも1つの第一線分1031と第二線分1032は、当該第一折れ線ユニット1030に対応する光制御ユニット106/107の第三方向における中央線108に対して対称である。本実施例において、モアレを改善すると同時に、隣接する行の表示ユニットまたは隣接する列の表示ユニットにおける薄膜トランジスタに、上述した変位のずれによる表示不良の問題が発生するのを防止でき、表示横縞や縦筋が防止される。
【0061】
例えば、図6Bに示すように、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101は、第三方向に沿って並進された後で、第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102と第二信号線104に平行な対称軸108に対して軸対称であり、光制御基板全体の補償状況を均一にし、光制御基板全体の薄膜トランジスタの作製も容易になる。
【0062】
例えば、図6Bに示すように、第一光制御ユニット106に含まれる薄膜トランジスタ101における第一方向は、第五方向と同じであり、第二光制御ユニット107に含まれる薄膜トランジスタ102における第一方向は、第四方向と同じであり、ゲート電極3とそれに接続された第一信号線103とが一体に形成されたときのパターニングを容易にし、且つ、薄膜トランジスタと第一信号線103の構造をコンパクトにして、光制御ユニット内の空間利用率を向上させる。
【0063】
例えば、図6A~6Dに示す実施例において、第一線分1031は、それに隣接する第一折れ線ユニット1030の第二線分1032に接続された第二端を含み、第二線分1032は、それに隣接する第一折れ線ユニットの第一線分の第二端に接続された第二端を含み、第一線分の第二端と第二線分の第二端との接続点によるベース基板における正射影が第二信号線によるベース基板5における正射影に位置し、第一光制御ユニット106において、第一線分1031の第二端は、第一線分1031の第一端よりも薄膜トランジスタ101に近く、且つ、第二光制御ユニット107において、第二線分1032の第二端は、第二線分1032の第一端よりも薄膜トランジスタ102に近い。
【0064】
例えば、図6A~6Dに示す実施例において、複数本の第二信号線104は、少なくとも一部が折れ線であり、且つ、連続周期で並ぶ複数の第二折れ線ユニット1040を含み、1つの第二折れ線ユニット1040は、1つの光制御ユニット106/107に対応し、1つの第二折れ線ユニット1040は、第六方向に沿って延びた第一線分1041と第七方向に沿って延びた第二線分1042とを含み、第六方向は、第七方向と交差し、第六方向と第七方向が何れも第二方向と第三方向と交差し、第一線分1041と第二線分1042は、第三方向に沿って順次並び、第一線分1041は、第二線分1042に接続された第一端を含み、第二線分1042は、第一線分1041の第一端に接続された第一端を含み、第一線分1041の第一端と第二線分1042の第一端との接続点Bは、第二折れ線ユニット1040の折曲点であり、第一光制御ユニット106において、薄膜トランジスタ101の第一電極1または第二電極2は、第二折れ線ユニット107の第一線分1041に接続され、且つ、第二光制御ユニット107において、薄膜トランジスタ102の第一電極1または第二電極2は、第二折れ線ユニット1040の第一線分1041に接続されることによって、薄膜トランジスタの第一電極1または第二電極2が光制御基板100の光制御ユニットにおける液晶分子を回転させるように駆動するための第一データ信号を受信する。
【0065】
勿論、他の実施例において、第二信号線104の少なくとも一部は、直線でもよい。例えば、第一信号線103は、図6Aに示す折れ線であり、第二信号線104は、図5Aに示す直線である。
【0066】
図6C図6Dに示すように、第一延長部分12は、第一方向に第一端と第二端とを有し、第一本体部分11は、第一方向に第一端と第二端とを有する。第一光制御ユニットにおいて、第一延長部分12の第一端は、第一延長部分12の第二端よりも当該第一光制御ユニットに接続された第二信号線104に近く、第一本体部分11の第一端は、第一本体部分11の第二端よりも当該第一光制御ユニットに接続された第二信号線104に近く、且つ、第二光制御ユニットにおいて、第一延長部分12の第一端は、第一延長部分12の第二端よりも当該第二光制御ユニットに接続された第二信号線104に近く、第一本体部分11の第一端は、第一本体部分11の第二端よりも当該第二光制御ユニットに接続された第二信号線104に近い。
【0067】
図6Eは、図6CにおけるB-B’線とD-D’線に沿った断面模式図である。図6Eに示すように、B-B’線に沿った断面について、前の記載を参照し、D-D’線に沿った断面模式図に示すように、光制御パネルは、ベース基板5に位置する共通電極44と、層間絶縁層43と、画素電極45とをさらに含む。層間絶縁層43は、第一電極1または第二電極2を被覆し、第一電極1は、外側接続部分18をさらに含み、外側接続部分18は、ストライプ部14に接続されるとともに、第一方向と交差する方向に沿って延び、外側接続部分18のストライプ部14の端部から離れた第一方向に沿ったサイズは、外側接続部分18の他の部分の第一方向における線幅よりも大きい。層間絶縁層43は、外側接続部分18を露出させるストライプ部14の端部から離れた通過孔を含み、画素電極45は、当該通過孔を介して外側接続部分18に電気的に接続されることによって、画素電極45と第一電極1との電気的な接続が実現される。図6Aに示すように、共通電極44の平面図形は、折れ線であり、即ち、共通電極44は、折れ線の配線であり、画素電極45の向きは、共通電極44の向きと一致することによって、共通電極44とスリット電界を形成する。例えば、光制御パネルは、液晶光制御パネルであり、液晶は、当該スリット電界の作用で偏向し、光制御を実現する。
【0068】
図6Aに示す実施例の他の提及されない特徴及び対応する技術効果は、何れも図5Aにおけるものと同じであり、前の記載を参照されたい。
【0069】
本開示の少なくとも一実施例は、表示装置をさらに提供し、当該表示装置は、本開示の実施例により提供される何れか1種の光制御基板を含む。例示的に、図7は、本開示の一実施例により提供される表示装置の構成模式図である。図7に示すように、表示装置1000は、本開示の実施例により提供される何れか1種のアレイ基板100を含み、例えば、アレイ基板100は、光制御基板である。表示装置1000は、積層して設けられた光制御液晶パネル1001と、表示液晶パネル1002と、バックライトユニット87とを含む。光制御液晶パネル1001は、上述した光制御基板100を含み、バックライトユニット9からのバックライトが先に光制御液晶パネル1001に入るように、バックライトユニット87は、光制御パネル2の表示液晶パネル1から離れた側に位置し、必要に応じて光制御液晶パネル1001を介してバックライトの出射角度または強度を調整してから表示液晶パネル1002に入射し、例えば、狭い視野角と広い視野角の切り替えのニーズ、表示パネルの各位置の発光強度を異ならせるように制御するニーズなどを実現する。バックライトユニット87は、直下型のバックライトユニットまたはサイドイン型のバックライトユニットでもよいが、本開示の実施例は、それを限定しない。
【0070】
光制御液晶パネル1001は、光制御基板100と、光制御液晶層85と、第二ブラックマトリックス88とを含み、光制御基板100は、本開示の実施例により提供される光制御基板100における第一データ線と、第二データ線と、薄膜トランジスタとを含む光制御駆動回路層81を含む。
【0071】
例えば、表示液晶パネル1002は、前記第二方向に沿って延びた複数本の第一表示信号線と、第三方向に沿って延びた複数本の第二表示信号線とを含む複数本の信号線を含み、複数本の第一表示信号線と複数本の第二表示信号線が交差してアレイ状に配置された複数のサブ画素ユニットを区画する。例えば、表示液晶パネル1002は、表示駆動回路層83と、表示液晶層86と、表示画素9と、第二ブラックマトリックス89とをさらに含む。例えば、表示画素9は、3つの異なる色のサブ画素を含み、それぞれは第一サブ画素91と、第二サブ画素92と、第三子画素93とであり、本開示の実施例は、サブ画素ユニットの数と色を限定しない。例えば、表示液晶パネル1002の駆動回路層83は、本開示の実施例により提供される薄膜トランジスタを含んでもよく、当該表示液晶パネル1002で薄膜トランジスタのゲート電極とソース電極/ドレイン電極とが変位のずれが発生することによる薄膜トランジスタの結合容量の差を防止することによって、当該結合容量の差による表示異常を避けることを達成する。
【0072】
例えば、複数本の第一表示信号線は、第二ゲート線であり、複数本の第二表示信号線は、第二データ線であり、第二ゲート線と第二データ線は、表示液晶パネル1002のカラーサブ画素ユニットにおける液晶分子を回転させるように駆動するための第二ゲート信号と第二データ信号をそれぞれ提供するように配置され、または、複数本の第一表示信号線と複数本の第二表示信号線は、第二ブラックマトリックスに構成される。
【0073】
当該表示装置1000は、液晶表示装置である。例えば、当該表示装置は、携帯、タブレット、ディスプレイ、ノートパソコン、ATM機など、表示機能を持つ何れの製品や部材として実現できる。当該表示装置1000は、表示液晶パネル1に入射されるバックライトの方向または強弱を制御できるとともに、薄膜トランジスタのゲート電極とソース電極/ドレイン電極とが変位のずれが発生することによる薄膜トランジスタの結合容量の差を防止することによって、当該結合容量の差による表示異常を避けることを達成できる。
【0074】
上記の記載は、本発明の例示的な実施形態に過ぎず、本発明の保護範囲を制限するためのものではなく、本発明の保護範囲は、添付の請求項によって決定される。
【符号の説明】
【0075】
1 第一電極
2 第二電極
3 ゲート電極
5 ベース基板
6 半導体層
7 ゲート絶縁層
9 表示画素
10 薄膜トランジスタ
11 第一重なり端
12 第一補償端
13 第一中間部分
14 ストライプ部
15 第一部分
16 第二部分
17 第一突出部分
18 外側接続部分
21 第一凹部分
31 第一本体部分
32 第一延長部分
33 第一接続部分
41 第一間隔
43 層間絶縁層
44 共通電極
45 画素電極
51 エッジ
81 光制御駆動回路層
83 駆動回路層
85 光制御液晶層
86 表示液晶層
87 バックライトユニット
88 第二ブラックマトリックス
89 第二ブラックマトリックス
91 第一サブ画素
92 第二サブ画素
93 第三サブ画素
100 光制御基板
101 薄膜トランジスタ
102 薄膜トランジスタ
103 第一信号線
104 第二信号線
105 局部
106 光制御ユニット
107 光制御ユニット
108 中央線、対称軸
151 第一領域
152 第二領域
161 第三領域
162 第四領域
311 第一端
312 第二端
321 第一端
322 第二端
1000 表示装置
1001 ゲート電極
1002 ソース電極
1003 ゲート電極
1004 ソース電極
1005 ゲート線
1006 ゲート線
1030 第一折れ線ユニット
1031 第一線分
1032 第二線分
1040 第二折れ線ユニット
1041 第一線分
1042 第二線分
図1A
図1B
図2A
図2B
図2C
図3A
図3B
図3C
図4A
図4B
図5A
図5B
図5C
図6A
図6B
図6C
図6D
図6E
図7