特許 7585886 制御装置及び制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-11

(45)【発行日】2024-11-19

(54)【発明の名称】制御装置及び制御方法

(51)【国際特許分類】

   F16C 32/04 20060101AFI20241112BHJP

   H02K 7/09 20060101ALI20241112BHJP

【ＦＩ】

F16C32/04 A

H02K7/09

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2021035092

(22)【出願日】2021-03-05

(65)【公開番号】P2022135348

(43)【公開日】2022-09-15

【審査請求日】2024-02-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000005234

【氏名又は名称】富士電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】鳥越 圭介

(72)【発明者】

【氏名】國分 博之

【審査官】松江川 宗

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－０７４０４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０５－０９１１７１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１９－２１８９６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｃ ３２／００－３２／０６

Ｈ０２Ｋ ７／００－７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電動機に取り付けられた磁気軸受を制御する制御装置であって、
位置振動分析部と、位置振動補償部を有し、
前記位置振動分析部は、波形計数法によって位置振動の上下ピーク値を求め、前記上下ピーク値を用いて位置変動幅を検出し、
前記位置振動補償部は、前記位置振動分析部が検出した前記位置変動幅に基づいて、浮上位置指令を調整する、
制御装置。

【請求項2】

前記位置振動分析部は、波形計数法により、前記位置振動の脈動値を求める、
請求項１に記載の制御装置。

【請求項3】

前記位置振動補償部は、前記脈動値が閾値より大きいときに、前記位置変動幅に基づいて、浮上位置指令を調整する、
請求項２に記載の制御装置。

【請求項4】

電動機に取り付けられた磁気軸受を制御する制御方法であって、
波形計数法によって位置振動の上下ピーク値を求める工程と、
前記上下ピーク値を用いて位置変動幅を検出する工程と、
検出した前記位置変動幅に基づいて、浮上位置指令を調整する工程と、
を含む、
制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、制御装置及び制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電動機の小型化や高出力密度化のために、電動機の高速回転化が求められている。電動機の回転子は、固定子と軸受を介して接触する。したがって、電動機を高速回転化する際に、回転速度が一定速度以上になると、接触による摩擦や振動が課題となる。

【0003】

そこで、高速回転化する電動機には、磁気軸受と呼ばれる、回転子を浮上させて接触抵抗を廃した技術が用いられる。磁気軸受は、冷凍機や圧縮機、ターボファンなどで用いられている。

【0004】

特許文献１には、減速において回転軸の位置振動成分が有する慣性力による不安定化を防ぐため、予め任意の範囲を設定可能な広帯域フィルタをトラッキングフィルタと別に設け、その成分を抽出して指令信号を補償する磁気軸受制御装置が開示されている。

【0005】

特許文献２には、能動的に磁気軸受の振動成分を複数検出し、それぞれゲインを掛けて除去するように浮上位置を制御する磁気軸受の制御装置が開示されている。

【0006】

特許文献３には、トラッキングフィルタの正弦波、余弦波をロータに取り付けたロータリエンコーダの角度情報から作成する磁気軸受の制御装置が開示されている。

【0007】

特許文献４には、安定化を目的として、ロータの振動モードを分離する磁気軸受の制御装置が開示されている。

【0008】

特許文献５には、磁気軸受制御装置における浮上開始時の制御について開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【文献】特開２０１０－１６４１８５号公報

【文献】特開平０７－２５９８５３号公報

【文献】特開平０９－１４４７５６号公報

【文献】特開２０１９－０１５３０３号公報

【文献】特開２０１９－２１８９６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

電動機において、回転子・回転軸の製造における切削ばらつきや傷、研磨の精度、そして材料自体の密度・品質等に応じて、重量のバランスを均一にすることは難しい。回転子を１分間に数千回転程度の速度で回転させる場合には、重量バランスの影響は非常に少ない。しかしながら、回転子を１分間に数万回転以上の速度で回転させる場合、回転子の重量の偏りによって、回転子の位置が変動する不釣り合いという現象が発生する。

【0011】

したがって、回転子を１分間に数万回転以上の速度で回転させる場合には、回転子が固定子や位置センサ、タッチダウンベアリングなどに衝突し、電動機の破壊することを防止するために対策が必要である。

【0012】

一方、重量バランスの影響は、電動機毎によって異なるため、予め振動データを収集する必要があり、データから補正値を導出する必要がある。振動データからどの程度まで振動を抑えたいかを考慮し、補正値を決定して抑制を行う際の補正値の決定方法について、特許文献１から特許文献５には開示されていない。また、この補正値をどのように決め、どの条件で補正を行わせるかは、ノウハウや設定する技術者の経験に基づいて行われている。

【0013】

また、電動機毎に補正値が変化するため、１台１台で補正値を設定すると膨大な時間がかかる。更に、人の手によって補正値を決定するための多少のずれがある。

【0014】

本開示は、電動機の個体ばらつきに左右されることなく簡易かつ高精度な補正値の決定可能な制御装置及び制御方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本開示の一の態様によれば、電動機に取り付けられた磁気軸受を制御する制御装置であって、位置振動分析部と、位置振動補償部を有し、前記位置振動分析部は、波形計数法によって位置振動の上下ピーク値を求め、前記上下ピーク値を用いて位置変動幅を検出し、前記位置振動補償部は、前記位置振動分析部が検出した前記位置変動幅に基づいて、浮上位置指令を調整する制御装置を提供する。

【発明の効果】

【0016】

本開示の各実施形態によれば、電動機の個体ばらつきに左右されることなく簡易かつ高精度な補正値の決定ができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、本実施形態に係る制御装置及び制御装置が制御する電動機の一例の概略構成図である。

【図2】図２は、本実施形態に係る制御装置が制御する電動機の磁気軸受コイルの一例の概略構成図である。

【図3】図３は、本実施形態に係る制御装置が制御する電動機の磁気軸受コイルを駆動する駆動回路の一例の概略構成図である。

【図4】図４は、本実施形態に係る制御装置が制御する電動機の磁気軸受の位置センサの取り付け位置を説明する図である。

【図5】図５は、本実施形態に係る制御装置が制御する電動機の磁気軸受の位置センサの取り付け位置を説明する図である。

【図6】図６は、本実施形態に係る制御装置が制御する電動機の回転軸のアンバランスについて説明する図である。

【図7】図７は、本実施形態に係る制御装置が制御する電動機の回転軸の位置変動を説明する図である。

【図8】図８は、本実施形態に係る制御装置の測定結果を説明する図である。

【図9】図９は、本実施形態に係る制御装置の測定結果を説明する図である。

【図10】図１０は、本実施形態に係る制御装置の測定結果を説明する図である。

【図11】図１１は、本実施形態に係る制御装置の測定結果を説明する図である。

【図12】図１２は、本実施形態に係る制御装置の測定結果を説明する図である。

【図13】図１３は、本実施形態に係る制御装置の制御処理を説明する図である。

【図14】図１４は、本実施形態に係る制御装置の制御処理を説明する図である。

【図15】図１５は、本実施形態に係る制御装置の機能ブロック図である。

【図16】図１６は、本実施形態に係る制御装置の制御処理を説明するフローチャートである。

【図17】図１７は、本実施形態に係る制御装置の制御処理結果の一例を説明する図である。

【図18】図１８は、本実施形態に係る制御装置の制御処理結果の一例を説明する図である。

【図19】図１９は、本実施形態に係る制御装置の制御処理を説明する図である。

【図20】図２０は、本実施形態に係る制御装置の制御処理を説明する図である。

【図21】図２１は、本実施形態に係る制御装置の制御処理を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の各実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、各実施形態に係る明細書及び図面の記載に関して、実質的に同一の又は対応する機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省略する場合がある。また、理解を容易にするため、図面における各部の縮尺は、実際とは異なる場合がある。

【0019】

平行、直角、直交、水平、垂直、上下、左右などの方向には、実施形態の効果を損なわない程度のずれが許容される。角部の形状は、直角に限られず、弓状に丸みを帯びてもよい。平行、直角、直交、水平、垂直には、略平行、略直角、略直交、略水平、略垂直が含まれてもよい。

【0020】

本開示は、電動機の軸受けを磁気軸受とし、回転子を浮上させて軸受けでの接触抵抗・摩擦を無くすことによって、高速回転を実現する電動機に関する。

【0021】

回転子は金属、例えば、鉄や磁石等、である。磁気軸受に相当する部分は、コイルからの磁力によって吸引又は反発される。磁気軸受が吸引又は反発されることによって、磁気軸受は、中心位置に浮上される。磁気軸受の位置は、コイルに流す電流の量と、回転子の位置と、吸引・反発の力を制御することによって制御される。

【0022】

図１は、本実施形態に係る制御装置２００が制御する電動機の一例の概略構成図である。電動機１０は、電動機用コイル１１と、磁気浮上を行うための磁気軸受コイル１２と、回転子と保護用のタッチダウンベアリングとの距離を計測する位置センサ１３及び位置センサ１４と、回転子の回転速度及び磁極位置を計測する速度センサ１５と、を備える。

【0023】

また、電動機１０は、制御装置２００に接続される。制御装置２００は、磁気軸受コイル１２に流す電流を制御する。また、制御装置２００は、位置センサ１３、位置センサ１４、速度センサ１５のデータを取得する。

【0024】

図２は、本実施形態に係る制御装置２００が制御する電動機１０の磁気軸受コイル１２の一例の概略構成図である。磁気軸受コイル１２は、常に直流成分を流し磁束を発生させるバイアス巻線１２１と、流す電流の向きや強さを調整することで、バイアス巻線の磁束を強めたり、弱めたりするＸ軸巻線１２２及びＹ軸巻線１２３と、を備える。Ｘ軸巻線１２２及びＹ軸巻線１２３に流す直流電流を制御することによって、回転子とコイルとの間の吸引力、及び反発力を制御し、回転子を磁気浮上させる。

【0025】

図３は、本実施形態に係る制御装置２００が制御する電動機１０の磁気軸受コイル１２を駆動する駆動回路の一例である駆動回路２０の概略構成図である。

【0026】

駆動回路２０は、磁気軸受コイルのうち、Ｘ軸巻線１２２及びＹ軸巻線１２３に流す電流を制御する。なお、駆動回路２０は、３相の電力変換装置であってもよいし、単相の電力変換装置を２台用いてもよい。

【0027】

ここでは、３相の電力変換装置である駆動回路２０について説明する。駆動回路２０は、三相交流電源３０から供給される電力を変換して、Ｘ軸巻線１２２及びＹ軸巻線１２３に電力を供給する。駆動回路２０は、コンバータ回路２１と、コンデンサ２２と、インバータ回路２３と、電流測定回路２４と、電圧測定回路２５と、インバータ回路２３のトランジスタを駆動するゲート駆動回路２６と、電源制御回路２７と、を備える。

【0028】

なお、電動機は、２つの磁気軸受コイル１２を備える。そして、２つの磁気軸受コイル１２のそれぞれの制御を行うことから、３相の電力変換装置であれば２台、単相の電力変換装置であれば４台用いることとなる。

【0029】

次に、位置センサ１３及び位置センサ１４と速度センサ１５について説明する。位置センサ１３及び位置センサ１４と速度センサ１５は電動機に装着される。

【0030】

位置センサ１３及び位置センサ１４は、回転子とタッチダウンベアリングまでの距離を検出する。位置センサ１３及び位置センサ１４は片極のものでもよいし、差動式のものでもよい。

【0031】

速度センサ１５は、電動機の回転速度や、磁極位置を検出する。回転速度及び磁極位置を検出する速度センサは、光学式でもよいし、磁気式でもよいし、回転速度及び磁極位置が検出できるのであれば、他の方式を採用してもよい。また、これらの方式を組み合わせてもよい。

【0032】

図４及び図５は、本実施形態に係る制御装置２００が制御する電動機の磁気軸受の位置センサの取り付け位置を説明する図である。図４及び図５は、作動タイプの位置センサ１３及び位置センサ１４の取り付け位置を示す。

【0033】

図４では、位置センサ１３及び位置センサ１４と、回転子１６との位置の関係を示す。位置センサ１３は、回転子１６から等距離の位置に円周方向に等間隔に、位置センサ１３１、１３２、１３３及び１３４を備える。位置センサ１３１と位置センサ１３３は、位置センサ１３２及び位置センサ１３４に対して回転子１６の軸方向にずれて配置される。また、位置センサ１４は、回転子１６から等距離の位置に円周方向に等間隔に、位置センサ１４１、１４２、１４３及び１４４を備える。位置センサ１４１と位置センサ１４３は、位置センサ１４２及び位置センサ１４４に対して回転子１６の軸方向にずれて配置される。

【0034】

なお、位置センサ１３及び位置センサ１４の取り付け位置は上記に限らない。例えば、上記と異なる位置に設けて、座標変換を用いて、検出した回転子の浮上位置を制御位置に変換してもよい。

【0035】

制御装置２００は、位置センサで検出した回転子の浮上位置を制御するように、磁気軸受のコイルに電流を流し、回転子に浮上力を発生させる。回転子の浮上力は回転子の総重量で決定され、発生させる浮上力はコイルに流す電流と巻数で決定される。静止状態での浮上力は静荷重となる。したがって、回転子の停止・回転に関係なく、常に回転子を浮上させるためにエネルギーが必要となる。

【0036】

次に、回転子にアンバランスがある場合の不釣り合い力について説明する。回転子は、軸方向に垂直な断面で完全に均一な真円で、重量の偏りも無いことが理想である。しかしながら、製造・加工のばらつき・精度や、材料・物性・形状の差異、品質などの要因により、重量の偏りが発生する。たとえば、回転子には、磁石や飛散防止のカバーなどが取り付けられると、回転子の重量に偏りが発生する。また、形状が変化すると重さのバランスは均一とならずに、偏りの要因となりうる。

【0037】

例えば、図６に示すように、回転子１６に仮想的なおもり１６１があるとする。おもり１６１は、アンバランス質量と呼ばれる。おもり１６１の質量をｍ、回転軸の回転速度をω、回転子１６の半径をｒとすると、おもり１６１に係る力（不釣り合い力）Ｆは、式１で表される。

【0038】

【数1】

【0039】

式１で示されるように、不釣り合い力Ｆは、おもり１６１の質量に比例し、速度の二乗に比例する。したがって、１分あたり数千回転であれば、不釣り合い力Ｆは非常に小さく影響は無視されうる。しかしながら、１分あたり数万回転以上では、不釣り合い力Ｆは、磁気軸受の回転子の浮上力を超える力となり、回転子の位置が変動する原因となる。

【0040】

例えば、半径１０ｃｍの回転子に質量０．１ｇのアンバランス質量があると仮定する。半径１０ｃｍの回転子に質量０．１ｇのアンバランス質量があると、不釣り合い力Ｆは式１より、回転速度が１０００ｒｐｍの時約１１０Ｎとなる。一方、回転速度が１００００ｒｐｍ時約１１０００Ｎとなる。すなわち、回転速度が１０倍になれば不釣り合い力は１００倍に、回転速度が２０倍になれば不釣り合い力は４００倍になる。

【0041】

制御装置２００は、回転子１６が最大でどれだけの振幅で振動しているのかを把握して、振動している振幅に応じて補正をかける。制御装置２００は、回転子１６の振動の振幅のピーク値を検出する。

【0042】

高速回転時における回転子１６の浮上位置を示す波形は、理想的には、図７に示すように正弦波状となる。しかしながら、実際の回転子１６の浮上位置を示す波形には、回転速度の周波数成分以外も多分に含まれる。すなわち、実際の回転子１６の浮上位置の脈動成分を含んだ振動波形は図８のような波形となる。

【0043】

図８に示すような脈動を含む波形の振幅のピーク値の検出方法を説明する。制御装置２００では、振動波形の上昇と下降の変化点を抽出する。そして、抽出した変化点を山・谷と置き、山と谷との間の振幅値に対して波形計数処理を行う。波形計数処理に用いる波形計数法とは、波形の中からサイクルの大きさを求めるための手法である。

【0044】

波形計数法としては、極大極小法や、最大最小法、レインフロー法などがある。

【0045】

極大極小法について説明する。振動波形のうち、正傾斜から負傾斜に移行した点を極大値、負傾斜から正傾斜に移行した点を極小値として抽出する方法である。極大極小法の場合、小さな脈動のピーク値は見ることができるが、脈動に埋もれてしまった大きな振幅のピーク値を見ることができない。

【0046】

次に、最大最小法について説明する。振動波形のうち、ゼロを正傾斜で過ぎてから再び負傾斜でゼロを過ぎるまでの最大値、ゼロを負傾斜で過ぎてから再び正傾斜で過ぎるまでの最小値を抽出する方法である。最大最小法の場合、大きな振動のピーク値は見ることができるが、大きな振動にのっている小さな脈動のピーク値を見ることができない。

【0047】

次に、レインフロー法（雨だれ法）について説明する。振動波形の山・谷が検出されるタイミングごとにスタックと呼ばれるバッファに値を格納し、その中からペアを見つける処理を行って信号の中に含まれる最小最大の振幅値や、小さな振幅を得ることができる。この処理によって、振動の大きさを取得できる。振動の大きさは一定ではなく、常に変化することから、振動の経過を複数取得し、平均化や分散などの統計解析によって変化を定量化することで、振動の大きさの確からしさを求めることができる。

【0048】

レインフロー法によって振動成分の上下ピーク値、脈動成分の上下ピーク値を用いて位置変動幅を検出すると、図９のようにピーク値の小さな脈動成分（脈動値）と、ピーク値の大きな位置振動成分が算出される。なお、例えば、極大極小法と最大最小法と組み合わせて、最大最小法により振動成分の上下ピーク値を求め、極大極小法により振動成分の脈動成分を求めてもよい。

【0049】

ピーク値を検出する場合、周期毎にピーク値が変動する場合がある。この場合、平均値を用いてもよいし、最大値を用いてもよい。また、分布を統計解析して、式２に示す分散、式３に示す偏差、中央値を取ってもよい。

【0050】

【数2】

なお、ｎはデータの個数、ｘ_ｉは、各データの値、μは平均値を表す。

【0051】

【数3】

なお、ｘ_ｉは、各データの値、μは平均値を表す。

【0052】

回転速度に応じた振動成分の上下ピーク値を集計した結果を表１に示す。また、回転速度に応じた振動成分の上下ピーク値を集計した結果のグラフを図１０に示す。

【0053】

【表1】

【0054】

さらに、表１に示した結果を多項式近似にて近似した結果を図１１に示す。図１１に示す結果より、速度に応じた振動成分の上下ピーク値は、回転速度をｘ、ピーク値をｙとすると、ｙ＝ａｘ^２＋ｂという式で示される二次曲線的になることが分かる。これは、前述の不釣り合い力の式で示される力と位置振動とに強い相関があるからである。正側と負側の２つの二次関数や指数関数等の近似を求めて係数ならびにオフセット量（静加重に相当する位置量）を推定する。

【0055】

なお、上記二次関数や指数関数等の近似方法以外にも、表２に挙げるもので近似してもよい。

【0056】

【表2】

【0057】

また、得られている回転速度と振幅のピーク値を、物理量から計算のしやすい単位系に正規化してもよい。例えば、最高速度や最大のピーク値を１に正規化した結果を表３に示す。

【0058】

【表3】

【0059】

＜一定値となる静荷重と、速度の二乗で増大する動荷重（不釣り合い力）の分離＞
補正を開始する速度については、目標となる低減量とその範囲によって決める。例えば、許容される位置振動のピークが±５０μｍであれば、ピークが±５０μｍの時にゲインＧを大きく取るように設計する。開始速度から、最高速度までを線形的にゲインＧを増やすことや、二次関数又は指数関数的に設定してもよい。また、表２に挙げる手法で近似してもよい。

【0060】

ここで、ゲインＧは振動を抑制するために入力する力の大きさ（補正値）を決定する係数のことである。ゲインＧが大きくなれば抑制力は大きくなる。適切なゲインＧをかけて振動を抑制することで、図１２のように回転速度に応じた振動成分の上下ピーク値は抑制することができる。

【0061】

また、補正を開始する回転速度を決定し、目標となる低減量を決めれば、トラッキングフィルタを用いて補正できる。トラッキングフィルタは、バンドパスフィルタの一種であり、特定の周波数成分を抽出できる。トラッキングフィルタを用いれば、補正の必要の無い良好な電動機であっても、高速回転時の磁気軸受の電流消費を抑えることができる。したがって、システムの効率改善にも繋がる。また、電動機の補正を行う条件なども明確化できる。したがって、製造不具合や品質改善等の定量的な評価としても用いることができる。

【0062】

ただし、トラッキングフィルタは、互いに直交となる信号でのみ適用が可能である。浮上位置はＸ軸及びＹ軸の直交する２軸で使用できる。また、トラッキングフィルタは、位相を入力として使用でき、速度・位置センサの位相（角度）をそのまま入力として用いることができる。トラッキングフィルタ２１０のブロック図を図１３に示す。

【0063】

トラッキングフィルタ２１０を用いた制御ブロック図を図１４に示す。動荷重の成分に対する低減量について説明する。トラッキングフィルタ２１０を通した２つの信号Ｘｏｕｔ及びＹｏｕｔは、元の信号のＸ、Ｙに含まれる周波数成分のみを含む。よって、元の信号Ｘ、Ｙから、Ｘｏｕｔ、Ｙｏｕｔを引くことで、不釣り合い力によって発生する振動成分の影響を除去できる。しかしながら、全てを除去しても、実際に抑えこめないことや、逆に過補償となり、後段の電流調節器が飽和したり振動したりする可能性もある。よって、適切なゲインＧを乗じて、元の信号Ｘ、Ｙに引くためのＧ×Ｘｏｕｔ、Ｇ×Ｙｏｕｔを決める必要がある。

【0064】

ゲインＧの決定に関して、上記信号Ｘ、Ｙは脈動成分を含む振動波形であるため、信号取得の瞬間によっては、本来の振動よりも大きな振動成分又は小さな振動成分となってしまう。そこで、脈動成分を含む信号のピーク値から脈動成分のピーク値を差し引くことで、脈動のない振動成分を取り出せる。取り出した振動成分のピーク値を、表３に示した最高速度や最大のピーク値を１として正規化したのと同様に、取り出した振動成分の最大値を正規化し、ゲインＧの値の決定を行う。

【0065】

ゲインＧは事前に試験を行い、テーブル化して制御内に組み込み、速度に応じたゲイン値を乗じてもよいし、制御周期ごとに計測を行い、ゲインＧの値を算出して、乗じてもよい。

【0066】

図１５は、制御装置２００の機能ブロックを示す機能ブロック図である。制御装置２００は、試運転部２０１と、データ取得部２０２と、位置振動分析部２０３と、不釣り合い力推定部２０４と、補償開始速度決定部２０５と、補正値算出部２０６と、補正値格納部２０７と、位置振動補償部２０８と、を備える。

【0067】

試運転部２０１は、電動機１０の試運転を行う際に、電動機１０を制御する制御装置に回転指令を送信する。そして、試運転部２０１は、電動機１０が指定した速度になったかどうか確認する。具体的には、試運転部２０１は、最低速度から最高速度まで徐々に速度を上げていくように電動機１０を制御する制御装置に回転指令を送信する。

【0068】

データ取得部２０２は、位置センサ１３及び位置センサ１４から、回転子１６の位置の情報を取得する。また、データ取得部２０２は、速度センサ１５から、回転子１６の回転速度と回転角度の情報を取得する。

【0069】

位置振動分析部２０３は、データ取得部２０２で取得した回転子１６の位置の情報から、波形計数法を行うことによって、回転子１６の振動振幅を求める。なお、位置振動分析部２０３は、制御方法として、波形計数法によって位置振動の上下ピーク値を求める工程と、上下ピーク値を用いて位置変動幅を検出する工程と、を行う。

【0070】

不釣り合い力推定部２０４は、位置振動分析部２０３で求めた回転子１６の振動振幅と、回転速度から回転子１６に発生する不釣り合い力を推定する。

【0071】

補償開始速度決定部２０５は、ゲインＧの補償をどの回転速度から開始するかを決定する。

【0072】

補正値算出部２０６は、不釣り合い力推定部２０４で推定した不釣り合い力から、ゲインＧの補正値を算出する。

【0073】

補正値格納部２０７は、補正値算出部２０６で算出したゲインＧの補正値を格納する。格納されたゲインＧの補正値は、電動機１０を実際に動作させるときに使用される。

【0074】

位置振動補償部２０８は、補正値格納部２０７に格納されたゲインＧの補正値を用いて、浮上位置指令の補償を行う。なお、位置振動補償部２０８は、制御方法として、検出した位置変動幅に基づいて、浮上位置指令を調整する工程を行う。

【0075】

次に、補正値算出について説明する。図１６は、補正値を算出する処理のフローチャートである。

【0076】

試運転部２０１は、試運転を開始する（ステップＳ１０）。そして、試運転部２０１は、電動機１０を制御する制御装置に回転指令を送信して、回転子１６の回転速度を所定の速度に変更する（ステップＳ２０）。次に、データ取得部２０２は、位置センサ１３及び位置センサ１４から回転子１６の浮上位置を取得する。また、データ取得部２０２は、速度センサ１５から回転速度を取得する（ステップＳ３０）。

【0077】

次に、試運転部２０１は、回転子１６の回転速度が最高速度に到達したか否かについて判定を行う（ステップＳ４０）。回転子１６の回転速度が最高速度に到達していない場合（ステップＳ４０のＮｏ）は、試運転部２０１は、指令速度を上げて（ステップＳ５０）、ステップＳ２０に戻り、電動機１０を制御する制御装置に回転指令を送信して、回転速度を変更する。

【0078】

回転子１６の回転速度が最高速度に到達した場合（ステップＳ４０のＹｅｓ）は、試運転部２０１は、電動機１０を制御する制御装置に回転を停止する指令を送信して、電動機１０を停止する（ステップＳ６０）。そして、不釣り合い力推定部２０４は、不釣り合い力を推定し、補正値算出部２０６は、不釣り合い力推定部２０４で推定した不釣り合い力から、ゲインＧの補正値を算出する（ステップＳ７０）。そして、補正値格納部２０７は、補正値算出部２０６で算出したゲインＧの補正値を格納する。そして、処理を終了する。

【0079】

なお、補正値を算出する際に、補償開始速度決定部２０５は、ゲインＧの補償をどの回転速度から開始するかを決定してもよい。例えば、位置振動の脈動成分（脈動値）が、閾値より大きい場合に、ゲインＧの補償を行うようにしてもよい。

【0080】

図１７は、制御装置２００における処理結果を説明する図である。補正前のデータは、算出される振幅ピーク値（浮上位置）より、不釣り合い力によって発生する振動成分を抽出した結果である。抽出した結果により、補正を行う上限値と下限値、また補正開始速度を決定し、正規化を行いゲイン値の決定を行う。決定された調整ゲインの結果を図１８に示す。

【0081】

なお、補正を行わない範囲においては、ゲイン値は０とする。図１７の振幅データより決定されたゲインＧを用いて補正値を算出すると、補正値はゲインＧとトラッキングフィルタより得られた信号Ｘｏｕｔを用いて式４で表せる。ただし、ゲインＧは－１～０の間で決定され、制御装置２００の特性により変化する。

【0082】

【数4】

【0083】

補正した結果を図１７の補正後で示す。

【0084】

図１９に示すように、磁気軸受を用いる電動機であっても、通常はタッチダウンベアリングと呼ばれる補助的なベアリング１７を用いる。よって、回転子１６が、ベアリング１７に当たらないように浮上の制御を行う。よって、ベアリング１７と回転子１６の軸の隙間の量ΔＤが、振動ピーク値の許容最大値となる。

【0085】

よって、許容最大値に対して、実際に試運転を行って、トラッキングフィルタ無しの場合の振動を測定する。このとき、許容最大値に到達する可能性が加速中にある場合には、そこまでとし、それまでの値から最高速度における振動ピーク値を算出する。算出方法は、前述の二次関数補間や、指数関数補間、線形補間を用いることとなる。

【0086】

低減量としては、低減した結果が目標とする最大値を超えないようにする。ただし、電動機の製造ばらつきを考慮して、製造の工数、コストを考慮したものとするため、過度な補正を行うことは望ましくない。よって、許容最大値に対してマージンを取った係数を乗じて決定するものとする。たとえば許容最大値が１００μｍであれば、５０％のマージンとして５０μｍを振幅ピーク値の最大とするなどである。

【0087】

振幅のピーク値も、平均を用いるのか、試運転で得られた最大値を用いるのかによってもマージンを決定する考え方は変わる。よって、振幅のピーク値の統計解析を行って、偏差が十分小さければ平均値を、大きければ最大値を用いるなどの対応をとることができる。

【0088】

開始速度の決め方について説明する。トラッキングフィルタで抑制する不釣り合い力の影響が回転速度の二乗で増大する。不釣り合い力の増大に対してどの速度から補正を開始するかについては、様々な方法がある。

【0089】

実際の回転子の振動には、一定値となる静荷重と、速度の二乗で増大する動荷重の二種類がある。図２０に示すように、回転子１６には、静荷重と動荷重を合成した力が働く。更には、回転子１６の位置の変動には、脈動成分が含まれるため、図２１に示すように、最大と最小の間で一定の幅を持って変動する。

【0090】

もっとも低いところから２倍、全体の平均、最大値と最小値の範囲を基準にして８０％以下の地点などが挙げられる。この中で、もっともなめらかに補正が行えるよう、統計的手法で自動選定を行うこともできる。

【0091】

また、例えば、振動成分がその他の脈動成分に埋もれるような状態の場合、振動の大きさの平均値、分散（式２）、偏差（式３）を求めることで、分布が平坦になっていることを定量的に表すことができる。

【0092】

このことより、回転速度に同期した振動成分が、たとえばその他の小さな振動成分に対して２倍などの大きさ以上になった場合、振動抑制の制御を開始するといったことが可能である。

【0093】

なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

【符号の説明】

【0094】

１０ 電動機
１１ 電動機用コイル
１２ 磁気軸受コイル
１３ 位置センサ
１４ 位置センサ
１５ 速度センサ
１６ 回転子
１７ ベアリング
２０ 駆動回路
２００ 制御装置
２０３ 位置振動分析部
２０８ 位置振動補償部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】