特許 7586119 測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-11

(45)【発行日】2024-11-19

(54)【発明の名称】測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01D 11/30 20060101AFI20241112BHJP

【ＦＩ】

G01D11/30 B

【請求項の数】 19

(21)【出願番号】P 2022047634

(22)【出願日】2022-03-23

(65)【公開番号】P2023141353

(43)【公開日】2023-10-05

【審査請求日】2023-10-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100132241

【弁理士】

【氏名又は名称】岡部 博史

(74)【代理人】

【識別番号】100189555

【弁理士】

【氏名又は名称】徳山 英浩

(74)【代理人】

【識別番号】100158207

【弁理士】

【氏名又は名称】河本 尚志

(72)【発明者】

【氏名】宮▲崎▼ 志功

【審査官】藤澤 和浩

(56)【参考文献】

【文献】特開平０４－３１９６６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２９２７７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－３１１１４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６２－０１２８１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０９４９５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－３１９６６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｄ １１／００ ～ １１／３０

Ｇ１２Ｂ １／００ ～ １７／０８

Ｇ０１Ｐ ２１／００ ～ ２１／０２

Ｇ０１Ｐ １５／００ ～ １５／１８

Ｇ０１Ｌ ２５／００ ～ ２７／０２

Ｇ０１Ｆ ２５／００ ～ ２５／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに対向する第１側面壁および第２側面壁を有する測定室と、
前記測定室の内部の温度を制御する温度制御機器と、
前記測定室の外部に配置された第１設置部と、
前記測定室の外部に配置された第２設置部と、
第１端が前記第１設置部に保持され、第２端が前記第２設置部に保持された棒状部材と、
被測定物の特性を測定する測定機器と、を備えた測定装置であって、
前記第１側面壁に第１貫通孔が形成され、
前記第２側面壁に第２貫通孔が形成され、
前記棒状部材は、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の両方に挿通され、かつ、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔の両方と非接触であり、前記第１端が前記第１貫通孔から前記測定室の外部に導出されて前記第１設置部に保持され、前記第２端が前記第２貫通孔から前記測定室の外部に導出されて前記第２設置部に保持され、
前記測定機器は、前記測定室の内部において、前記棒状部材に、直接または間接に、載置または垂下され、
前記第１設置部に、防振部材が設けられ、
前記第２設置部に、防振部材が設けられた、
測定装置。

【請求項2】

前記第１設置部と前記第２設置部とが、前記測定室の外部において、相互に結合された、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項3】

前記防振部材が、防振ゲルである、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項4】

前記第１貫通孔において、前記第１側面壁および前記棒状部材の少なくとも一方に、空気入出抑制機構が形成され、
前記第２貫通孔において、前記第２側面壁および前記棒状部材の少なくとも一方に、空気入出抑制機構が形成された、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項5】

前記空気入出抑制機構が、
前記測定室の外部において、それぞれ、前記棒状部材の外周に取り付けられた、鍔状の第１蓋部材および第２蓋部材を含み、
前記測定室の外部から、前記棒状部材が伸びる方向に見たとき、前記第１蓋部材は、前記第１貫通孔の前記棒状部材以外の部分を覆い、前記第２蓋部材は、前記第２貫通孔の前記棒状部材以外の部分を覆い、
前記第１蓋部材は、前記第１側面壁と非接触であり、前記第２蓋部材は、前記第２側面壁と非接触である、
請求項４に記載された測定装置。

【請求項6】

前記空気入出抑制機構が、更に、
前記第１側面壁の前記第１貫通孔に、または、前記第１貫通孔の近傍に取り付けられた第１対向部材と、
前記第２側面壁の前記第２貫通孔に、または、前記第２貫通孔の近傍に取り付けられた第２対向部材と、を含み、
前記第１対向部材は、前記第１蓋部材と対向して配置され、かつ、前記第１蓋部材と非接触であり、
前記第２対向部材は、前記第２蓋部材と対向して配置され、かつ、前記第２蓋部材と非接触であり、
前記棒状部材が伸びる方向に切断した、前記棒状部材と前記第１蓋部材と前記第２蓋部材と前記第１対向部材と前記第２対向部材の全てを含む断面を見たとき、
前記第１蓋部材と前記第１対向部材の間に第１間隙が形成され、
前記第２蓋部材と前記第２対向部材の間に第２間隙が形成された、
請求項５に記載された測定装置。

【請求項7】

前記第１間隙および前記第２間隙が、それぞれ、途中で屈曲された、
請求項６に記載された測定装置。

【請求項8】

前記第１間隙および前記第２間隙が、それぞれ、階段状に屈曲された、
請求項７に記載された測定装置。

【請求項9】

前記第１間隙および前記第２間隙が、それぞれ、クランク状に屈曲された、
請求項７に記載された測定装置。

【請求項10】

前記第１間隙の幅の最大寸法、および、前記第２間隙の幅の最大寸法が、それぞれ、５ｍｍ以下である、
請求項６に記載された測定装置。

【請求項11】

前記第１間隙の幅の最大寸法、および、前記第２間隙の幅の最大寸法が、それぞれ、３ｍｍ以下である、
請求項１０に記載された測定装置。

【請求項12】

前記棒状部材が、筒状である、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項13】

前記棒状部材が伸びる方向に対して垂直な面で切断した、前記棒状部材の断面の外縁が、円形である、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項14】

前記棒状部材が、アルミニウム製である、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項15】

前記棒状部材が、少なくとも３つの分割棒状部材に分割され、
前記分割棒状部材どうしが、前記分割棒状部材の材質よも熱伝導率が小さい材質によって作製された、断熱部材を介して接続された、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項16】

前記断熱部材が、樹脂製である、
請求項１５に記載された測定装置。

【請求項17】

前記棒状部材が伸びる方向に対して垂直な方向から透視したとき、
１つの前記断熱部材が、前記第１側面壁と重なり、
別の１つの前記断熱部材が、前記第２側面壁と重なる、
請求項１５に記載された測定装置。

【請求項18】

前記温度制御機器が、前記測定室の外側に取り付けられた、
請求項１に記載された測定装置。

【請求項19】

被測定物が、加速度センサ、角速度センサから選ばれる、少なくとも１つの種類の慣性センサである、
請求項１に記載された測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、所望の温度で、かつ、振動の影響を小さくして、被測定物の特性を測定することができる測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

被測定物の特性を測定する際には、温度の管理と、振動の抑制が重要である。

【0003】

たとえば、被測定物が電子部品である場合には、測定時の電子部品の温度によって、特性が変化してしまう場合が多い。したがって、電子部品の特性を測定するときには、電子部品の温度を予め定められた温度に保つことが必要である。また、電子部品の特性を評価する場合に、複数の温度（たとえば、－２０℃と、＋２５℃と、＋１１０℃）での特性を必要とする場合がある。

【0004】

また、被測定物が、加速度センサ、角速度センサなどの慣性センサである場合には、振動のあるところで測定をしたのでは、正確な特性を得ることができない。

【0005】

そこで、測定装置においては、種々の方法で、温度の調整と、振動の抑制が試みられている。

【0006】

たとえば、特許文献１（特開２００５-３２６３８４号公報）に開示された測定装置（電子部品の調整検査装置）は、装置の底面近傍に、防振部材として防振ゴムを備えている。また、特許文献１の測定装置では、電子部品の温度を所定の温度に維持するために、電子部品を温度調整ユニットの上に載せて特性を測定する。

【0007】

特許文献２（特開昭６２-１２８１０号公報）に開示された測定装置（レートジャイロ）は、自走ロボットの位置や方位角を測定するための測定装置である。特許文献２の測定装置は、自走ロボットに取り付けられる。特許文献２の測定装置は、自走ロボットのモータなどの振動を除去するために防振部材に取り付けられ、かつ、防振部材ごと恒温室内に設置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【文献】特開２００５-３２６３８４号公報

【文献】特開昭６２-１２８１０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

特許文献１の測定装置は、装置の底面近傍に防振部材として防振ゴムを備えている。しかしながら、特許文献１の測定装置は、電子部品を温度調整ユニットの上に載せて、電子部品の特性を測定するため、温度調整ユニットの発生させる振動の影響を除去することができない。温度調整ユニットが、単に加熱するヒータなどだけである場合は振動の問題は小さいが、冷却のためのエアーコンプレッサなどを含む場合には、振動が大きく、たとえば、被測定物が、加速度センサ、角速度センサなどの電子部品（慣性センサ）である場合には、正確な特性を得ることが難しい。

【0010】

一方、近時、防振ゲルなど、極めて良好に振動の影響を除去する（振動を吸収して伝えない）防振部材が実用化されている。しかしながら、防振ゲルなどは、一般的に使用可能な温度範囲が定められており、この範囲を外れると、良好に振動を吸収できなかったり、短期間で劣化して使用できなくなったり（振動を吸収しなくなったり）する虞がある。

【0011】

特許文献２に開示された測定装置（レートジャイロ）は、振動の影響を除去するために防振部材に取り付けられ、かつ、防振部材ごと恒温室内に設置されている。このような構造を採用した場合には、防振部材が恒温室内の温度の影響を受けるため、防振部材に、使用可能な温度範囲が定められた防振部材を使用できない虞がある。たとえば、恒温室の温度を、－４０℃から＋１３０℃の範囲で変化させて、所望の温度において被測定物の特性を測定しようとする場合には、防振部材に、たとえば、使用可能温度が－２０℃から＋６０℃の防振ゲルを使用することはできない。

【0012】

そこで、本発明は、所望の温度で、かつ、振動の影響を小さくして、被測定物の特性を測定することができる測定装置を提供することを目的とする。本発明の測定装置においては、防振部材（たとえば防振ゲル）の使用可能温度の範囲外の温度においても、被測定物の特性を測定することができる。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の一実施態様にかかる測定装置は、上述した課題を解決するために、互いに対向する第１側面壁および第２側面壁を有する測定室と、測定室の内部の温度を制御する温度制御機器と、測定室の外部に配置された第１設置部と、測定室の外部に配置された第２設置部と、第１端が第１設置部に保持され、第２端が第２設置部に保持された棒状部材と、被測定物の特性を測定する測定機器と、を備えた測定装置であって、第１側面壁に第１貫通孔が形成され、第２側面壁に第２貫通孔が形成され、棒状部材は、第１貫通孔および第２貫通孔の両方に挿通され、かつ、第１貫通孔および第２貫通孔の両方と非接触であり、第１端が第１貫通孔から測定室の外部に導出されて第１設置部に保持され、第２端が第２貫通孔から測定室の外部に導出されて第２設置部に保持され、測定機器は、測定室の内部において、棒状部材に、直接または間接に、載置または垂下され、第１設置部に、防振部材が設けられ、第２設置部に、防振部材が設けられたものとする。

【発明の効果】

【0014】

本発明の測定装置は、所望の温度で、かつ、振動の影響を小さくして、被測定物の特性を測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】測定装置１００の正面図である。

【図2】測定装置１００の平面図である。

【図3】測定装置１００の側面図である。

【図4】測定装置１００の断面図である。

【図5】測定装置１００の要部断面図である。

【図6】測定装置２００の正面図である。

【図7】測定装置３００の要部断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。

【0017】

なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。

【0018】

［第１実施形態］
図１～図５に、第１実施形態にかかる測定装置１００を示す。ただし、図１は、測定装置１００の正面図である。図２は、測定装置１００の平面図である。図３は、測定装置１００の側面図である。図４は、後述する棒状部材７０が存在する部分で切断し、正面方向から見た、測定装置１００の断面図である。図５は、図４と同じ部分で切断した、測定装置１００の要部断面図である。なお、これらの図面には、測定装置１００の幅方向Ｗ、高さ方向Ｔ、長さ方向（奥行方向）Ｌを示している場合があり、以下の明細書において、それらの方向について言及する場合がある。なお、本実施形態においては、後述する棒状部材７０が伸びる方向を、測定装置１００の幅方向Ｗとする。特に明記しない限り、他の実施形態においても、この方向を幅方向Ｗとする。

【0019】

測定装置１００は、測定室１０を備えている。測定室１０は、後述する温度制御機器５６によって温度が調整され、内部の温度が所望の温度に維持される恒温室である。

【0020】

測定室１０は、内部に空間を有する直方体形状（立方体形状であってもよい）をしている。測定室１０は、幅方向Ｗにおいて、互いに対向する第１側面壁１０ａ、第２側面壁１０ｂと、高さ方向Ｔにおいて、互いに対向する底面壁１０ｃ、天面壁１０ｄと、長さ方向Ｌにおいて、互いに対向する前面壁１０ｅ、後面壁１０ｆとを有している。なお、底面壁１０ｃを省略し、測定装置１００を設置するベース（たとえば測定装置１００を設置する部屋の床）を、底面壁１０ｃ代わりに使用してもよい。

【0021】

本実施形態においては、前面壁１０ｅに開口が設けられ、その開口に、開閉が自在なドア２０が取り付けられている。ドア２０は、ヒンジ２０ａによって、前面壁１０ｅの開口に取り付けられている。ドア２０には、ドアノブ２０ｂが取り付けられている。ドア２０には、測定室１０の内部が観察できるように、断熱ガラスを使った窓２０ｃが形成されている。

【0022】

第１側面壁１０ａ、第２側面壁１０ｂ、底面壁１０ｃ、天面壁１０ｄ、前面壁１０ｅ、後面壁１０ｆの材質は、それぞれ任意であるが、できるだけ、熱伝導性の低い材質であることが好ましい。また、第１側面壁１０ａ、第２側面壁１０ｂ、底面壁１０ｃ、天面壁１０ｄ、前面壁１０ｅ、後面壁１０ｆを、それぞれ多層に構成し、その中間層を断熱材で形成してもよい。

【0023】

測定装置１００は、第１側面壁１０ａ、第２側面壁１０ｂ、底面壁１０ｃ、天面壁１０ｄ、前面壁１０ｅ、後面壁１０ｆの寸法（縦方向の寸法、横方向の寸法、厚さ寸法）は、それぞれ任意である。

【0024】

測定装置１００は、第１設置部３０と、第２設置部４０とを備えている。第１設置部３０および第２設置部４０は、いずれも、測定室１０の外部に配置されている。第１設置部３０は、測定室１０の第１側面壁１０ａに対向して配置されている。第２設置部４０は、測定室１０の第２側面壁１０ｂに対向して配置されている。

【0025】

第１設置部３０の構造は任意である。第１設置部３０は、後述する棒状部材７０の一端を保持することができるものであれば、種々の構造を採用することができる。

【0026】

本実施形態においては、第１設置部３０は、第１構造体３１を備えている。第１構造体３１は、垂直部材３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄと、水平部材３１ｅ、３１ｆ、３１ｇと、を組み合わせて作製されている。垂直部材３１ａ～３１ｄ、水平部材３１ｅ～３１ｇは、それぞれ直方体形状からなり、それぞれ必要に応じて、各寸法（縦方向の寸法、横方向の寸法、長さ方向の寸法）が定められている。垂直部材３１ａ～３１ｄ、水平部材３１ｅ～３１ｇの材質は任意であるが、たとえば金属が使用される。なお、垂直部材３１ａ～３１ｄ、水平部材３１ｅ～３１ｇの材質は、できるだけ、剛性が高いことが好ましい。垂直部材３１ａ～３１ｄ、水平部材３１ｅ～３１ｇは、必要な個所が、たとえば溶接によって、相互に接合されている。

【0027】

第１設置部３０は、レール３２を備えている。レール３２は、水平部材３１ｇの上に設けられている。レール３２の構造、材質、寸法などは任意である。

【0028】

第１設置部３０は、スライド部材３３を備えている。スライド部材３３は、レール３２に取り付けられている。スライド部材３３の構造、材質、寸法などは任意である。

【0029】

第１設置部３０は、第１保持板３４を備えている。第１保持板３４は、スライド部材３３に取り付けられている。第１保持板３４には、後述する棒状部材７０を保持するための第１保持孔３４ａが形成されている。第１保持板３４の材質、寸法などは任意である。

【0030】

スライド部材３３は、レール３２の上を前後にスライドさせ、固定させることができる。すなわち、スライド部材３３は、測定装置１００の長さ方向Ｌにおいて、位置を調整し、固定することができる。また、第１保持板３４は、スライド部材３３に対して上下にスライドさせ、固定させることができる。すなわち、第１保持板３４は、測定装置１００の高さ方向Ｔにおいて、位置を調整し、固定することができる。この結果、第１設置部３０は、図３の第１保持板３４の近傍に矢印で示すように、第１保持板３４の第１保持孔３４ａの位置を、測定装置１００の長さ方向Ｌ、および、高さ方向Ｔにおいて、自在に調整し、固定することができる。

【0031】

第２設置部４０は、測定室１０を幅方向Ｗの中央で切断した断面を含む面を対象面として、第１設置部３０と面対象に形成されている。第２設置部４０の各構成要素は、第１設置部３０の各構成要素と同じ材質で作製されている。以下の明細書の説明においては、説明の便宜上、第２設置部４０の各構成要素に符号を付すが、図面には、図面作成上の制約から、垂直部材４１ｂ、４１ｄ、水平部材４１ｅが描画されていない。

【0032】

第２設置部４０は、第２構造体４１を備えている。第２構造体４１は、垂直部材４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄと、水平部材４１ｅ、４１ｆ、４１ｇと、を組み合わせて作製されている。

【0033】

第２設置部４０は、レール４２を備えている。レール４２は、水平部材４１ｇの上に設けられている。

【0034】

第２設置部４０は、スライド部材４３を備えている。スライド部材４３は、レール４２に取り付けられている。

【0035】

第２設置部４０は、第２保持板４４を備えている。第２保持板４４は、スライド部材４３に取り付けられている。第２保持板４４には、後述する棒状部材７０を保持するための第２保持孔４４ａが形成されている。

【0036】

第２設置部４０は、第２保持板４４の第２保持孔４４ａの位置を、測定装置１００の長さ方向Ｌ、および、高さ方向Ｔにおいて、自在に調整し、固定することができる。

【0037】

第１設置部３０の第１構造体３１と第２設置部４０の第２構造体４１とが、測定室１０の外部（前面壁１０ｅの手前）において、水平部材５１ａ、５１ｂによって相互に結合されている。これにより、第１設置部３０、第２設置部４０は、それぞれ、測定装置１００の幅方向Ｗに倒れることがなくなり、かつ、振動を抑制する効果が強化されている。

【0038】

第１設置部３０の第１構造体３１の垂直部材３１ａ、３１ｂ、第２設置部４０の第２構造体４１の垂直部材４１ａ、４１ｂの底面に、それぞれ、防振部材６０が設けられている。防振部材６０の構造、形状、材質、寸法などは任意であるが、本実施形態においては、ブロック状の防振ゲルを使用した。本実施形態の防振部材（防振ゲル）６０の使用可能温度は、たとえば、－２０℃から＋６０℃とされている。防振部材６０は、使用可能温度の範囲外で使用すると、良好に振動を抑制しない虞がある。また、防振部材６０は、使用可能温度の範囲外で使用すると、短期間で劣化して使用できなくなる（振動を抑制しなくなる）虞がある。

【0039】

本実施形態においては、垂直部材３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂの底面に防振部材６０を設けたが、防振部材６０を設ける位置は任意であり、垂直部材３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂの途中などに、それぞれ、防振部材６０を設けてもよい。また、上述したように、防振部材６０の構造、材質などは任意であり、防振ゲルに代えて、防振ゴム、防振バネなどを使用してもよい。

【0040】

各防振部材６０の底面に、設置板６１が設けられている。設置板６１の構造、材質、寸法などは任意である。

【0041】

測定装置１００は、棒状部材７０を備えている。棒状部材７０の構造、材質、寸法などは任意である。本実施形態においては、棒状部材７０は、特に図４、図５から分かるように、３つの分割棒状部材７１、７２、７３が、第１断熱部材７４と、第２断熱部材７５とで接続されたものからなる。より具体的には、棒状部材７０は、分割棒状部材７１が第１断熱部材７４と接続され、第１断熱部材７４が分割棒状部材７２と接続され、分割棒状部材７２が第２断熱部材７５と接続され、第２断熱部材７５が分割棒状部材７３と接続されたものからなる。

【0042】

分割棒状部材７１、７２、７３の構造、材質、寸法などは任意である。本実施形態においては、分割棒状部材７１、７２、７３に、アルミニウム製の円筒状のものを使用した。本実施形態においては、棒状部材７０の中間部となる分割棒状部材７２の長さ寸法は、分割棒状部材７１、７３の長さ寸法よりも大きい。

【0043】

第１断熱部材７４、第２断熱部材７５の構造、形状、寸法などは任意である。第１断熱部材７４、第２断熱部材７５の材質には、棒状部材７０（分割棒状部材７１、７２、７３）の材質よりも、熱伝導率が低いものを使用する。本実施形態においては、第１断熱部材７４、第２断熱部材７５に、それぞれ、ポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene)などの熱伝導率が低い樹脂製の円柱状のものを使用した。なお、ポリテトラフルオロエチレンは、テフロン（登録商標）という商品名で呼ばれる場合がある。

【0044】

図５に示すように、第１断熱部材７４の一端に、円筒状の分割棒状部材７１と嵌合する円柱状の突起７４ａが形成され、第１断熱部材７４の他端に、円筒状の分割棒状部材７２と嵌合する円柱状の突起７４ｂが形成されている。第２断熱部材７５の一端に、円筒状の分割棒状部材７２と嵌合する円柱状の突起７５ａが形成され、第２断熱部材７５の他端に、円筒状の分割棒状部材７３と嵌合する円柱状の突起７５ｂが形成されている。

【0045】

図５に示すように、分割棒状部材７１が、第１断熱部材７４の突起７４ａに嵌合されたうえ、ネジ７１ａによって、第１断熱部材７４の突起７４ａに固定されている。分割棒状部材７２の一端が、第１断熱部材７４の突起７４ｂに嵌合されたうえ、ネジ７２ａによって、第１断熱部材７４の突起７４ｂに固定されている。分割棒状部材７２の他端が、第２断熱部材７５の突起７５ａに嵌合されたうえ、ネジ７２ｂによって、第２断熱部材７５の突起７５ａに固定されている。分割棒状部材７３が、第２断熱部材７５の突起７５ｂに嵌合されたうえ、ネジ７３ａによって、第２断熱部材７５の突起７５ｂに固定されている。

【0046】

棒状部材７０は、分割棒状部材７１、７２、７３に筒状（円筒状）のものを使用しているため軽い。棒状部材７０は、分割棒状部材７１、７２、７３にアルミニウム製のものを使用しているため、鉄製や銅製などのものを使用した場合に比べて軽い。棒状部材７０は、分割棒状部材７１、７２、７３にアルミニウム製のものを使用しているため、銅製のものを使用した場合に比べて、全体としての熱伝導率が低い。棒状部材７０は、途中に第１断熱部材７４、第２断熱部材７５が介在されているため、全体としての熱伝導率が低い。棒状部材７０は、棒状部材７０が伸びる方向に対して垂直な面で切断した断面の外縁が円形であるため、曲げ応力に対して強く、重量の大きい物を載置したり、垂下させたりすることができる。

【0047】

図４、図５などに示すように、測定室１０の第１側面壁１０ａに第１貫通孔１１が形成され、第２側面壁１０ｂに第２貫通孔１２が形成されている。第１貫通孔１１、第２貫通孔１２の形成位置、寸法、形状などは、任意である。本実施形態においては、第１貫通孔１１、第２貫通孔１２の開口の形状を、円形にした。

【0048】

棒状部材７０は、第１貫通孔１１と第２貫通孔１２の両方に挿通されている。棒状部材７０は、第１貫通孔１１と第２貫通孔１２の両方と非接触である。棒状部材７０の一端が、第１貫通孔１１から測定室１０の外部に導出されている。棒状部材７０の他端が、第２貫通孔１２から測定室１０の外部に導出されている。

【0049】

棒状部材７０の一端が、第１設置部３０の第１保持板３４の第１保持孔３４ａに保持（固定）されている。棒状部材７０の他端が、第２設置部４０の第２保持板４４の第２保持孔４４ａに保持（固定）されている。この結果、棒状部材７０の分割棒状部材７２が、測定室１０の内部では、宙に浮いたような状態で配置されている。すなわち、棒状部材７０は、測定室１０と非接触である。

【0050】

測定室１０の第１側面壁１０ａの第１貫通孔１１に、第１空気入出抑制機構が設けられている。第１空気入出抑制機構は、後述する第１蓋部材８１と、後述する第１対向部材８２とで構成されている。測定室１０の第２側面壁１０ｂの第２貫通孔１２に、第２空気入出抑制機構が設けられている。第２空気入出抑制機構は、後述する第２蓋部材９１と、後述する第２対向部材９２とで構成されている。第１蓋部材８１と第２蓋部材９１とには、同じ部材が使用されている。第１対向部材８２と第２対向部材９２とには、同じ部材が使用されている。

【0051】

図５に示すように、第１蓋部材８１、第２蓋部材９１は、測定室１０の外部において、棒状部材７０の外周に取付けられた、鍔状（フランジ状）の部材である。測定室１０の外部から棒状部材７０が伸びる方向に見たとき、第１蓋部材８１は、第１貫通孔１１の棒状部材７０以外の部分を覆い、第２蓋部材９１は、第２貫通孔１２の棒状部材７０以外の部分を覆っている。第１蓋部材８１、第２蓋部材９１は、第１貫通孔１１、第２貫通孔１２を通って、測定室１０の外部から内部に空気が流入したり、測定室１０の内部から外部に空気が流出したりするのを抑制するための部材である。

【0052】

本実施形態においては、第１蓋部材８１、第２蓋部材９１は、棒状部材７０が伸びる方向に見たとき、外縁が円形をしている。ただし、この形状は任意であり、たとえば、４角形などであってもよい。

【0053】

第１蓋部材８１、第２蓋部材９１は、それぞれ、貫通孔を有し、その貫通孔に棒状部材７０が挿通されている。第１蓋部材８１は、ネジ８１ａによって、第１断熱部材７４に固定されている。第２蓋部材９１は、ネジ９１ａによって、第２断熱部材７５に固定されている。第１蓋部材８１、第２蓋部材９１は、それぞれ、測定室１０側に凹凸が形成されているが、その詳細については後述する。

【0054】

第１対向部材８２は、測定室１０の第１側面壁１０ａの第１貫通孔１１に取り付けられている。第１対向部材８２は、第１蓋部材８１に対向して配置されている。上述したとおり、第１対向部材８２は、第１蓋部材８１とで第１空気入出抑制機構を構成し、第１貫通孔１１を通って、測定室１０の外部から内部に空気が流入したり、測定室１０の内部から外部に空気が流出したりするのを抑制している。

【0055】

同様に、第２対向部材９２は、測定室１０の第２側面壁１０ｂの第２貫通孔１２に取り付けられている。第２対向部材９２は、第２蓋部材９１に対向して配置されている。上述したとおり、第２対向部材９２は、第２蓋部材９１とで第２空気入出抑制機構を構成し、第２貫通孔１２を通って、測定室１０の外部から内部に空気が流入したり、測定室１０の内部から外部に空気が流出したりするのを抑制している。

【0056】

図５に示すように、第１対向部材８２は、内側部材８２ａと、外側部材８２ｂとを備えている。内側部材８２ａは、貫通孔を有するパイプ状部と、そのパイプ状部の一端に設けられた鍔状部とを備えている。外側部材８２ｂも、貫通孔を有するパイプ状部と、そのパイプ状部の一端に設けられた鍔状部とを備えている。なお、内側部材８２ａのパイプ状部の外径の寸法は、外側部材８２ｂのパイプ状部の内径の寸法と等しいか、若干、小さい。第１対向部材８２は、内側部材８２ａの鍔状部を第１側面壁１０ａの内面に当接させた状態で、内側部材８２ａのパイプ状部を第１貫通孔１１の外側に突出させ、外側部材８２ｂの鍔状部を第１側面壁１０ａの外面に当接させた状態で、外側部材８２ｂのパイプ状部を内側部材８２ａのパイプ状部に被せ、ネジ８２ｃで内側部材８２ａと外側部材８２ｂとを固定することによって、第１貫通孔１１に取り付けられている。なお、内側部材８２ａのパイプ状部の内径面と、棒状部材７０との間には間隙が設けられ、両者は非接触にされている。

【0057】

同様に、第２対向部材９２は、内側部材９２ａと、外側部材９２ｂとを備えている。内側部材９２ａは、貫通孔を有するパイプ状部と、そのパイプ状部の一端に設けられた鍔状部とを備えている。外側部材９２ｂも、貫通孔を有するパイプ状部と、そのパイプ状部の一端に設けられた鍔状部とを備えている。なお、内側部材９２ａのパイプ状部の外径の寸法は、外側部材９２ｂのパイプ状部の内径の寸法と等しいか、若干、小さい。第２対向部材９２は、内側部材９２ａの鍔状部を第２側面壁１０ｂの内面に当接させた状態で、内側部材９２ａのパイプ状部を第２貫通孔１２の外側に突出させ、外側部材９２ｂの鍔状部を第２側面壁１０ｂの外面に当接させた状態で、外側部材９２ｂのパイプ状部を内側部材９２ａのパイプ状部に被せ、ネジ９２ｃで内側部材９２ａと外側部材９２ｂとを固定することによって、第２貫通孔１２に取り付けられている。なお、内側部材９２ａのパイプ状部の内径面と、棒状部材７０との間には間隙が設けられ、両者は非接触にされている。

【0058】

この結果、図５に示すように、棒状部材７０が伸びる方向に切断した断面を見たとき、第１空気入出抑制機構の第１蓋部材８１と第１対向部材８２の間に第１間隙Ｓ１が形成され、第２空気入出抑制機構の第２蓋部材９１と第２対向部材９２の間に第２間隙Ｓ２が形成される。

【0059】

第１間隙Ｓ１を経由して、測定室１０の外部から内部に空気が流入したり、測定室１０の内部から外部に空気が流出したりするのを抑制するためには、第１間隙Ｓ１の幅は、できるだけ狭いことが好ましく、第１間隙Ｓ１内の流路は、できるだけ長いことが好ましい。同様に、第２間隙Ｓ２を経由して、測定室１０の外部から内部に空気が流入したり、測定室１０の内部から外部に空気が流出したりするのを抑制するためには、第２間隙Ｓ２の幅は、できるだけ狭いことが好ましく、第２間隙Ｓ２内の流路は、できるだけ長いことが好ましい。なお、間隙の幅を狭くするとともに、間隙を途中で屈曲させ、間隙内の流路を長くして、流体の通過を抑制する構造をラビリンスシールと呼び、その効果をラビリンス効果と呼ぶ場合がある。

【0060】

第１間隙Ｓ１の幅、第２間隙Ｓ２の幅は、空気の入出を抑制するうえでは、５ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍｍ以下であることが更に好ましい。本実施形態においては、第１間隙Ｓ１の幅、第２間隙Ｓ２の幅を、それぞれ３ｍｍとした。

【0061】

図５に示すように、本実施形態においては、第１蓋部材８１と第１対向部材８２とが、また、第２蓋部材９１と第２対向部材９２とが、それぞれ途中で階段状に屈曲されて、第１間隙Ｓ１内の流路、第２間隙Ｓ２内の流路が、それぞれ長くされている。

【0062】

測定装置１００は、測定室１０に第１貫通孔１１および第２貫通孔１２を設け、棒状部材７０を第１貫通孔１１および第２貫通孔１２に非接触で挿通させているが、第１空気入出抑制機構および第２空気入出抑制機構を設けているため、第１貫通孔１１を経由した空気の入出、および、第２貫通孔１２を経由した空気の入出が抑制されている。

【0063】

なお、第１空気入出抑制機構において、第１蓋部材８１は必須であるが、第１対向部材８２は省略することが可能である。同様に、第２空気入出抑制機構において、第２蓋部材９１は必須であるが、第２対向部材９２は省略することが可能である。ただし、第１対向部材８２、第２対向部材９２を省略する場合には、空気の出入りを抑制できるように、第１蓋部材８１、第２蓋部材９１の形状（構造）を設計変更することが好ましい。

【0064】

図１、図４に示すように、測定装置１００は、測定ユニット５５を備えている。本実施形態においては、測定ユニット５５は、測定室１０の内部において、棒状部材７０に垂下されている。

【0065】

測定ユニット５５の内部には、図示しないが、測定機器が収納されている。本実施形態においては、測定装置として、加速度センサ、角速度センサなどの慣性センサの特性を測定する測定装置が収納されている。慣性センサの慣性に関する特性を測定するためには、測定機器は外部の振動を受けない（外部の振動が抑制された）環境に配置されることが必要である。振動をうける環境では、慣性センサの慣性に関する特性を正確に測定することが難しいからである。ただし、本発明において、被測定物の種類は任意であり、慣性センサには限られない。

【0066】

測定装置１００は、測定室１０の後面壁１０ｆの下部に、温度制御機器５６が設けられている。温度制御機器５６は、測定室１０の内部の温度を、たとえば、－５５℃から＋１２５℃の範囲で、任意の温度に維持することができる。したがって、測定装置１００においては、測定ユニット５５の内部に収納された測定機器によって、たとえば、慣性センサの慣性に関する－５５℃から＋１２５℃の範囲の任意の温度における特性を、測定することができる。具体的には、たとえば、慣性センサの－４０℃における特性と、＋２５℃における特性と、＋１２５℃における特性とを測定することができる。

【0067】

なお、温度制御機器５６は、一般的に、冷却用にエアーコンプレッサを備えていることが多く、非常に大きな振動を発生させる場合がある。そのため、温度制御機器５６の振動が、測定室１０の内部の空気を介して、測定ユニット５５に伝わることにより、慣性センサの測定に悪影響を与える可能性がある。したがって、温度制御機器５６は、測定室１０の外部の測定室１０から離れた位置に設けられるほうが好ましい。

【0068】

測定装置１００は、所望の温度に維持された測定室１０の内部において、被測定物の特性を測定することができる。

【0069】

棒状部材７０を保持する第１設置部３０および第２設置部４０に、それぞれ、防振部材（防振ゲル）６０が設けられているため、棒状部材７０に垂下された測定ユニット５５に収容された測定機器に床から伝わる振動が抑制されている。したがって、測定装置１００は、精度の高い測定をおこなうことができる。

【0070】

測定室１０に大きな振動を発生させる温度制御機器５６が設けられているが、測定室１０と棒状部材７０とが非接触であるため、棒状部材７０に垂下された測定ユニット５５に収容された測定機器が、測定室１０や温度制御機器５６から受ける振動が抑制されている。また、温度制御機器５６の振動は測定室１０を介して床に伝わるが、上述したように、床からの振動は防振部材（防振ゲル）６０によって、抑制されている。したがって、測定装置１００は、精度の高い測定をおこなうことができる。

【0071】

測定装置１００は、防振部材（防振ゲル）６０の使用可能温度（たとえば－２０℃から＋６０℃）よりも広い温度範囲（たとえば－５５℃から＋１２５℃）で、被測定物の特性を測定することができる。

【0072】

測定装置１００は、第１空気入出抑制機構、第２空気入出抑制機構を備えているため、測定室１０に第１貫通孔１１、第２貫通孔１２を設けているにもかかわらず、第１貫通孔１１、第２貫通孔１２を通って、測定室１０の外部から内部に空気が流入したり、測定室１０の内部から外部に空気が流出したりすることが抑制されている。したがって、測定装置１００は、測定室１０の内部の温度の維持が容易である。

【0073】

測定装置１００は、第１保持板３４、第２保持板４４の位置を、測定装置１００の長さ方向Ｌおよび高さ方向Ｔにおいて、それぞれ、自在に調整し、固定することができるため、棒状部材７０の位置の調整が容易である。

【0074】

［第２実施形態］
図６に、第２実施形態にかかる測定装置２００を示す。ただし、図６は、測定装置２００の正面図である。

【0075】

第２実施形態にかかる測定装置２００は、上述した第１実施形態にかかる測定装置１００の構成の一部に変更を加えた。具体的には、測定装置１００では、測定機器を収容した測定ユニット５５を棒状部材７０に垂下させていたが、測定装置２００はこれを変更し、棒状部材７０の上にテーブル２５０を設け、テーブル２５０の上に測定機器２５１を載置した。

【0076】

測定装置２００においても、測定機器２５１によって、所望の温度で、かつ、振動を抑制して、高い精度で被測定物の特性を測定することができる。

【0077】

［第３実施形態］
図７に、第３実施形態にかかる測定装置３００を示す。ただし、図７は、測定装置３００の要部断面図である。

【0078】

第３実施形態にかかる測定装置３００も、上述した第１実施形態にかかる測定装置１００の構成の一部に変更を加えた。具体的には、測定装置３００では、第１空気入出抑制機構、第２空気入出抑制機構の形状（構造）を、測定装置１００の第１空気入出抑制機構、第２空気入出抑制機構から変更した。

【0079】

測定装置３００の第１空気入出抑制機構は、第１蓋部材３８１と、第１対向部材３８２とで構成されている。第１蓋部材３８１は、ネジ３８１ａによって、第１断熱部材７４に固定されている。第１対向部材３８２は、内側部材３８２ａと、外側部材３８２ｂとを備えている。第１対向部材３８２は、内側部材３８２ａの鍔状部を第１側面壁１０ａの内面に当接させた状態で、内側部材３８２ａのパイプ状部を第１貫通孔１１の外側に突出させ、外側部材３８２ｂの鍔状部を第１側面壁１０ａの外面に当接させた状態で、外側部材３８２ｂのパイプ状部を内側部材３８２ａのパイプ状部に被せ、ネジ３８２ｃで内側部材３８２ａと外側部材３８２ｂとを固定することによって、第１貫通孔１１に取り付けられている。

【0080】

同様に、測定装置３００の第２空気入出抑制機構は、第２蓋部材３９１と、第２対向部材３９２とで構成されている。第２蓋部材３９１は、ネジ３９１ａによって、第２断熱部材７５に固定されている。第２対向部材３９２は、内側部材３９２ａと、外側部材３９２ｂとを備えている。第２対向部材３９２は、内側部材３９２ａの鍔状部を第２側面壁１０ｂの内面に当接させた状態で、内側部材３９２ａのパイプ状部を第２貫通孔１２の外側に突出させ、外側部材３９２ｂの鍔状部を第２側面壁１０ｂの外面に当接させた状態で、外側部材３９２ｂのパイプ状部を内側部材３９２ａのパイプ状部に被せ、ネジ３９２ｃで内側部材３９２ａと外側部材３９２ｂとを固定することによって、第２貫通孔１２に取り付けられている。

【0081】

第１実施形態にかかる測定装置１００では、図５に示すように、第１蓋部材８１と第１対向部材８２の間に形成される第１間隙Ｓ１、第２蓋部材９１と第２対向部材９２の間に形成される第２間隙Ｓ２が、それぞれ、階段状に屈曲されていた。これに対し、第３実施形態にかかる測定装置３００は、第１蓋部材３８１と第１対向部材３８２の形状を変更するとともに、第２蓋部材３９１と第２対向部材３９２の形状を変更することによって、第１蓋部材３８１と第１対向部材３８２の間に形成される第１間隙Ｓ３１、第２蓋部材３９１と第２対向部材３９２の間に形成される第２間隙Ｓ２が、それぞれ、クランク状に屈曲されている。

【0082】

測定装置３００は、測定装置１００に比べて、第１間隙Ｓ３１、第２間隙Ｓ２内の流路が更に長くなっているため、第１空気入出抑制機構、第２空気入出抑制機構の空気の入出を抑制する機能が、更に向上している。

【0083】

以上、第１実施形態～第３実施形態にかかる測定装置１００、２００、３００について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更を加えることができる。

【0084】

たとえば、上記実施形態では、第１設置部３０の第１構造体３１と第２設置部４０の第２構造体４１とが、水平部材５１ａ、５１ｂによって相互に結合されていたが、第１設置部３０の第１構造体３１と第２設置部４０の第２構造体４１は必ずしも結合される必要はなく、相互に分離していてもよい。

【0085】

また、上記実施形態では、１つの測定室１０に対して１つの棒状部材７０が設けられていたが、１つの測定室１０に対して複数の棒状部材７０が設けられてもよい。

【0086】

また、上記実施形態では、特性が測定される被測定物として、加速度センサ、角速度センサなどの慣性センサを示したが、被測定物の種類は慣性センサには限られず、他の物理量センサであってもよい。また、被測定物の種類は電子部品にも限られない。

【0087】

本発明の一実施態様にかかる測定装置は、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。

【0088】

この測定装置において、第１設置部と第２設置部とが、測定室の外部において、相互に結合されることも好ましい。この場合には、第１設置部および第２設置部が安定し、振動を抑制する効果が向上する。

【0089】

防振部材が、防振ゲルであることも好ましい。防振ゲルを使用すれば、振動を効果的に抑制することができる。

【0090】

第１貫通孔において、第１側面壁および棒状部材の少なくとも一方に、空気入出抑制機構が形成され、第２貫通孔において、第２側面壁および棒状部材の少なくとも一方に、空気入出抑制機構が形成されることも好ましい。この場合には、第１貫通孔、第２貫通孔を経由した、測定室の内部から外部への空気の流出、測定室の外部から内部への空気の流入を抑制することができる。したがって、測定室の内部の温度の維持が容易になる。

【0091】

空気入出抑制機構が、測定室の外部において、それぞれ、棒状部材の外周に取り付けられた、鍔状の第１蓋部材および第２蓋部材を含み、測定室の外部から、棒状部材が伸びる方向に見たとき、第１蓋部材は、第１貫通孔の棒状部材以外の部分を覆い、第２蓋部材は、第２貫通孔の棒状部材以外の部分を覆い、第１蓋部材は、第１側面壁と非接触であり、第２蓋部材は、第２側面壁と非接触であることも好ましい。この場合には、第１貫通孔、第２貫通孔を経由した、測定室の内部から外部への空気の流出、測定室の外部から内部への空気の流入を、効果的に抑制することができる。

【0092】

空気入出抑制機構が、更に、第１側面壁の第１貫通孔に、または、第１貫通孔の近傍に取り付けられた第１対向部材と、第２側面壁の第２貫通孔に、または、第２貫通孔の近傍に取り付けられた第２対向部材と、を含み、第１対向部材は、第１蓋部材と対向して配置され、かつ、第１蓋部材と非接触であり、第２対向部材は、第２蓋部材と対向して配置され、かつ、第２蓋部材と非接触であり、棒状部材が伸びる方向に切断した、棒状部材と第１蓋部材と第２蓋部材と第１対向部材と第２対向部材の全てを含む断面を見たとき、第１蓋部材と第１対向部材の間に第１間隙が形成され、第２蓋部材と第２対向部材の間に第２間隙が形成されることも好ましい。この場合には、第１貫通孔、第２貫通孔を経由した、測定室の内部から外部への空気の流出、測定室の外部から内部への空気の流入を、効果的に抑制することができる。

【0093】

第１間隙および第２間隙が、それぞれ、途中で屈曲されていることも好ましい。たとえば、第１間隙および第２間隙が、それぞれ、階段状に屈曲されていることも好ましい。また、第１間隙および第２間隙が、それぞれ、クランク状に屈曲されていることも更に好ましい。これらの場合には、第１間隙、第２間隙の長さが長くなるため、測定室の内部から外部への空気の流出、測定室の外部から内部への空気の流入を、更に効果的に抑制することができる。

【0094】

第１間隙の幅の最大寸法、および、第２間隙の幅の最大寸法が、それぞれ、５ｍｍ以下であることも好ましい。この場合には、測定室の内部から外部への空気の流出、測定室の外部から内部への空気の流入を、効果的に抑制することができる。また、第１間隙の幅の最大寸法、および、第２間隙の幅の最大寸法が、それぞれ、３ｍｍ以下であることも更に好ましい。この場合には、測定室の内部から外部への空気の流出、測定室の外部から内部への空気の流入を、更に効果的に抑制することができる。

【0095】

棒状部材が、筒状であることも好ましい。この場合には、棒状部材を軽くすることができる。

【0096】

棒状部材が伸びる方向に対して垂直な面で切断した、棒状部材の断面の外縁が、円形であることも好ましい。この場合には、棒状部材が曲げ応力に対して強くなるため、棒状部材に、重量の大きい物を載置したり、垂下させたりすることが可能になる。

【0097】

棒状部材が、アルミニウム製であることも好ましい。この場合には、鉄製や銅製などのものを使用した場合に比べて、棒状部材を軽くすることができる。また、銅製のものを使用した場合に比べて、棒状部材の熱伝導率を低くすることができ、棒状部材を経由して、測定室の内部の熱が外部に流出したり、測定室の外部から内部に熱が流入したりすることを、抑制することができる。

【0098】

棒状部材が、少なくとも３つの分割棒状部材に分割され、分割棒状部材どうしが、分割棒状部材の材質よも熱伝導率が小さい材質によって作製された、断熱部材を介して接続されることも好ましい。この場合には、棒状部材を経由して、測定室の内部の熱が外部に流出したり、測定室の外部から内部に熱が流入したりすることを、抑制することができる。

【0099】

断熱部材が、ポリテトラフルオロエチレンなどの樹脂製であることも好ましい。この場合には、高い断熱性を得ることができ、かつ、加工が容易である。

【0100】

棒状部材が伸びる方向に対して垂直な方向から透視したとき、１つの断熱部材が、第１側面壁と重なり、別の１つの断熱部材が、第２側面壁と重なることも好ましい。この場合には、棒状部材を経由して、測定室の内部の熱が外部に流出したり、測定室の外部から内部に熱が流入したりすることを、効果的に抑制することができる。

【0101】

温度制御機器が、測定室の外側に取り付けられることも好ましい。この場合には、測定室の内部の空間を広くして、測定のために有効に活用することができる。なお、温度制御機器は大きな振動を発生させる場合があるが、本発明の測定装置においては、防振部材が有効に機能し、また、測定室と、測定機器が設けられる棒状部材とが非接触であるため、測定機器が温度制御機器から受ける振動の影響が小さい。

【0102】

被測定物が、加速度センサ、角速度センサから選ばれる、少なくとも１つの種類の慣性センサであることも好ましい。慣性センサの特性は振動のあるところで測定するのは難しいが、本発明の測定装置においては防振部材が有効に機能するため、慣性センサの特性を高い精度で測定することができる。

【符号の説明】

【0103】

１０・・・測定室
１０ａ・・・第１側面壁
１０ｂ・・・第２側面壁
１０ｃ・・・底面壁
１０ｄ・・・天面壁
１０ｅ・・・前面壁
１０ｆ・・・後面壁
１１・・・第１貫通孔
１２・・・第２貫通孔
２０・・・ドア
２０ａ・・・ヒンジ
２０ｂ・・・ドアノブ
２０ｃ・・・窓
３０・・・第１設置部
３１・・・第１構造体
３１ａ～３１ｄ・・・垂直部材
３１ｅ～３１ｇ・・・水平部材
３２・・・レール
３３・・・スライド部材
３４・・・第１保持板
３４ａ・・・第１保持孔
４０・・・第２設置部
４１・・・第２構造体
４１ａ～４１ｄ・・・垂直部材
４１ｅ～４１ｇ・・・水平部材
４２・・・レール
４３・・・スライド部材
４４・・・第２保持板
４４ａ・・・第２保持孔
５１ａ、５１ｂ・・・水平部材
５５・・・測定ユニット
５６・・・温度制御機器
６０・・・防振部材（防振ゲル）
６１・・・設置板
７０・・・棒状部材
７１、７２、７３・・・分割棒状体
７１ａ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ・・・ネジ
７４・・・第１断熱部材
７４ａ、７４ｂ・・・突起
７５・・・第２断熱部材
７５ａ、７５ｂ・・・突起
８１、３８１・・・第１蓋部材
８１ａ、３８１ａ・・・ネジ
８２、３８２・・・第１対向部材
８２ａ、３８２ａ・・・内側部材
８２ｂ、３８２ｂ・・・外側部材
８２ｃ、３８２ｃ・・・ネジ
９１、３９１・・・第２蓋部材
９１ａ、３９１ａ・・・ネジ
９２、３９２・・・第２対向部材
９２ａ、３９２ａ・・・内側部材
９２ｂ、３９２ｂ・・・外側部材
９２ｃ、３９２ｃ・・・ネジ
２５０・・・テーブル
２５１・・・測定機器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】