特許7586645IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

プローブ、測定装置、及び測定方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

被測定物（ひずみゲージ、回路基板等）の端子にプローブを接触させて被測定物の電気的特性を測定する際、測定値にばらつきが生じ得る。即ち、同一の被測定物に対して同一の条件で行った複数回の測定の結果が、互いに同一とならないことがある。このような測定値のばらつきは、測定結果の信頼性に影響を及ぼすため、望ましくない。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第１の態様に従えば、 被測定物の電気的特性を測定するためのプローブであって、 前記被測定物に接触させる接触面を有し、 該接触面の最大高さＲｚが３μｍ以上且つ８μｍ以下であるプローブが提供される。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明のプローブ、該プローブを備える測定装置、及び該プローブを用いる測定方法によれば、測定値のばらつきを抑制することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１（ａ）はひずみゲージストリップの上面図である。図１（ｂ）は、ひずみゲージストリップに含まれるひずみゲージの上面図である。図１（ｃ）はひずみゲージ内に構成されたホイートストンブリッジの回路図である
【図2】 図２は、本発明の測定装置の側面図である。
【図3】 図３は、測定装置が備えるテーブルの斜視図である。
【図4】 図４は、本発明の測定装置の、一部を省略した上面図である。
【図5】 図５は、本発明のプローブの側面図である。
【図6】 図６は、本発明の測定方法のフローチャートである。
【図7】 図７（ａ）～図７（ｄ）は測定装置の動作を説明する図である。図７（ａ）は、テーブルがワーク交換位置にある状態を示す。図７（ｂ）はテーブルがスタンバイ位置にある状態を示す。図７（ｃ）は、テーブルがワーク測定位置にある状態を示す。図７（ｄ）は、テーブルがマーキング位置にある状態を示す。
【図8】 図８は、実施例１～１１のプローブと比較例１～３のプローブについて、最大高さＲｚ、及びばらつきの判定結果を示す表である。
【図9】 図９（ａ）、図９（ｂ）、図９（ｃ）は、プローブの接触面と端子との接触状態の変化が接触抵抗に与える影響を説明するための説明図である。
【図10】 図１０（ａ）、図１０（ｂ）、図１０（ｃ）は、プローブの接触面と端子との接触状態の変化が接触抵抗に与える影響を説明するための説明図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１０ ベース、２０ 駆動機構、３０ テーブル、４０ プローブ保持機構、５０ プローブ、６０、測定実行部、７０ マーキング機構、１００ 測定装置、９００ ひずみゲージストリップ、ＳＧｍｎ ひずみゲージ

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