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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-12
(45)【発行日】2024-11-20
(54)【発明の名称】測定装置および測定方法
(51)【国際特許分類】
G01R 29/26 20060101AFI20241113BHJP
G01R 29/08 20060101ALI20241113BHJP
H04B 17/15 20150101ALI20241113BHJP
H04B 17/29 20150101ALI20241113BHJP
【ＦＩ】
G01R29/26 D
G01R29/08 D
H04B17/15
H04B17/29
【請求項の数】
14
(21)【出願番号】P 2021537687
(86)(22)【出願日】2020-07-21
(86)【国際出願番号】 JP2020028272
(87)【国際公開番号】W WO2021024800
(87)【国際公開日】2021-02-11
【審査請求日】2023-06-16
(31)【優先権主張番号】P 2019145783
(32)【優先日】2019-08-07
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000002185
【氏名又は名称】ソニーグループ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】前島 淳司
(72)【発明者】
【氏名】福永 誠吾
(72)【発明者】
【氏名】加藤 義寛
(72)【発明者】
【氏名】藤森 光太郎
【審査官】田口 孝明
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２００８／０２９５２２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】米国特許第０９７６８８９２（ＵＳ，Ｂ１）
【文献】特開２０１６－０３２２９６（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第１０２３７７６５（ＵＳ，Ｂ１）
【文献】特開２０１４－０６２８７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０５－２８１２７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－０５４３７２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
ＩＰＣ Ｇ０１Ｒ ２９／００－２９／２６、
Ｈ０４Ｂ １／６０、
３／４６－３／４９３、
１７／００－１７／４０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被測定物に対して高周波信号による第１の信号を印加する送信部と、前記被測定物から発生する高周波信号による第２の信号を受信する受信部と、
前記受信部により受信された前記第２の信号における、前記第１の信号の周波数帯域の信号を急峻な特性且つ高い減衰比で減衰させるフィルタ部と、
前記受信部により受信された前記第２の信号における前記周波数帯域の信号が前記フィルタ部で減衰された信号を測定する測定部と、
を備え、
前記受信部は、
前記送信部が前記第１の信号を印加している間に前記第２の信号を受信する
測定装置。
【請求項2】
１つのプローブを共通に用いて、前記送信部による前記第１の信号の印加と、前記受信部による前記第２の信号の受信と、を行う請求項１に記載の測定装置。
【請求項3】
前記第１の信号と前記第２の信号とを分離する信号分離部をさらに備え、前記第１の信号を前記信号分離部を介して前記プローブに供給し、
前記プローブから出力される前記第２の信号を前記信号分離部を介して前記受信部に供給する
請求項２に記載の測定装置。
【請求項4】
前記信号分離部は、ディプレクサである請求項３に記載の測定装置。
【請求項5】
前記信号分離部は、サーキュレータである請求項３に記載の測定装置。
【請求項6】
前記送信部による前記第１の信号の印加を行うプローブと、前記受信部による前記第２の信号の受信行うプローブと、が異なる請求項１に記載の測定装置。
【請求項7】
前記受信部は、前記送信部により前記被測定物に印加された前記第１の信号により該被測定物の内部で発生するノイズが変調された変調ノイズを含む前記第２の信号を受信する
請求項１に記載の測定装置。
【請求項8】
前記送信部が前記第１の信号を前記被測定物に印加する位置と、前記受信部が前記第２の信号を受信する位置と、のうち少なくとも一方を測定位置に移動させる移動制御部をさらに備え、前記移動制御部は、
前記測定位置を前記被測定物上の２次元平面で順次変更する
請求項１に記載の測定装置。
【請求項9】
前記測定部は、前記測定位置で測定された前記第２の信号を示す情報を、該測定位置と関連付けて表示部に表示させる
請求項８に記載の測定装置。
【請求項10】
前記測定部は、前記測定位置それぞれに関連付けられた前記第２の信号を示す情報それぞれを、前記２次元平面のマップにより、該測定位置それぞれに関連付けて前記表示部に表示させる
請求項９に記載の測定装置。
【請求項11】
前記測定部は、前記第２の信号を示す情報のそれぞれを、該第２の信号を示す情報に対応する濃度を表す画像を用いた前記マップにより前記表示部に表示させる
請求項１０に記載の測定装置。
【請求項12】
前記測定部は、前記測定位置それぞれに対応する前記２次元平面上における境界を示す情報を、前記マップに重畳させて前記表示部に表示させる
請求項１０に記載の測定装置。
【請求項13】
前記測定部は、前記被測定物の画像を前記マップに重畳させて前記表示部に表示させる
請求項１０に記載の測定装置。
【請求項14】
送信部が被測定物に対して高周波信号による第１の信号を印加している間に、受信部が該被測定物から発生する高周波信号による第２の信号を受信し、受信した前記第２の信号における、前記第１の信号の周波数帯域の信号を急峻な特性且つ高い減衰比で減衰させた信号を測定部が測定する測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、測定装置および測定方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年の電子情報通信機器におけるネットワーク利用傾向により、スマートフォンなどのモバイル端末を始めとして、様々な機器に複数のワイヤレス機能が搭載されている。また、スマートフォンに代表されるように、モバイル端末に搭載されるシステム規模も年々増大している。このような背景から、電子機器からの不要電磁界（ノイズ）放射量を規制しているＥＭＩ(Electromagnetic Interference)への対応のみならず、近年では、電子機器内のノイズが自身のワイヤレス特性へ影響を与えるＲＦ(Radio Frequency)感度劣化への対応の必要性も増している。
【0003】
ノイズがＲＦ感度劣化に影響を与えるタイプとしては、ノイズの種類に応じて２つのタイプ（タイプ（１）およびタイプ（２）とする）が知られている。
【0004】
タイプ（１）は、機器が有するＩＣ(Integrated Circuit)などノイズ源が有するノイズが、ＲＦ受信周波数帯域を含む広帯域にわたって発生しており、その機器のアンテナからそのまま検知されてＲＦ感度劣化が生じる場合である。タイプ（２）は、機器が有するＩＣなどノイズ源が有するノイズが機器内部で発生するＲＦ送信波により変調され、その変調されたノイズがＲＦ受信周波数帯域を含む帯域にわたって発生してしまい、その機器のアンテナから検知されてＲＦ感度劣化が生じる場合である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００３－２７９６１１号公報
【文献】特開２００２－２５７８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上述したタイプ（１）に対するノイズ源の測定技術は、既に様々な技術が検討されている（例えば特許文献１、特許文献２）。しかしながら、タイプ（１）に対するノイズ源の測定技術では、タイプ（２）における機器内部のＲＦ送信波により変調されたノイズ源の測定を行うことが困難である。
【0007】
本開示は、機器内部の信号での変調により発生するノイズ源を容易に測定可能な測定装置および測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示に係る測定装置は、被測定物に対して高周波信号による第１の信号を印加する送信部と、前記被測定物から発生する高周波信号による第２の信号を受信する受信部と、前記受信部により受信された前記第２の信号における、前記第１の信号の周波数帯域の信号を急峻な特性且つ高い減衰比で減衰させるフィルタ部と、前記受信部により受信された前記第２の信号における前記周波数帯域の信号が前記フィルタ部で減衰された信号を測定する測定部と、を備え、前記受信部は、前記送信部が前記第１の信号を印加している間に前記第２の信号を受信する。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1A】本開示に係る測定の原理について説明するための図である。
【図1B】本開示に係る測定の原理について説明するための図である。
【図2】第１の実施形態に係る測定装置の一例の構成を概略的に示すブロック図である。
【図3】第１の実施形態に係る測定装置による測定方法を説明するための図である。
【図4】第１の実施形態の第１の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【図5】第１の実施形態の第２の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【図6A】ＳＧによる送信信号Ｔｘの生成、出力をオフとした場合の測定結果の例を示す図である。
【図6B】ＳＧによる送信信号Ｔｘの生成、出力をオン、被測定物の駆動がオフの状態における測定結果の例を示す図である。
【図6C】ＳＧによる送信信号Ｔｘの生成、出力をオン、被測定物の駆動をオンとした状態における測定結果の例を示す図である。
【図7】第２の実施形態に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【図8】第２の実施形態に適用可能なＰＣの一例の構成を示すブロック図である。
【図9】第２の実施形態に係るＰＣの機能を説明するための一例の機能ブロック図である。
【図10】第２の実施形態に係る測定部の機能を説明するための一例の機能ブロック図である。
【図11】第２の実施形態に適用可能な、プローブの位置を移動させるための移動装置の一例の構成を概略的に示す斜視図である。
【図12】第２の実施形態に適用可能な移動装置を駆動するための駆動部の一例の構成を示すブロック図である。
【図13】第２の実施形態に係る測定装置における測定処理を示す一例のフローチャートである。
【図14】第２の実施形態に適用可能な、他の例による移動装置の構成例を概略的に示す側面図である。
【図15】測定条件として設定される測定範囲の例を示す図である。
【図16】第２の実施形態に係る、測定範囲における測定位置と、各測定位置における分析結果の例を示す図である。
【図17A】第２の実施形態に適用可能な、各領域の分析結果を、数値に応じた濃度で表した例を示す図である。
【図17B】第２の実施形態に適用可能な、各領域の分析結果を、数値に応じた濃度で表した例を示す図である。
【図18A】第２の実施形態に適用可能な、各領域の分析結果を、数値に応じた濃度で表した他の例を示す図である。
【図18B】第２の実施形態に適用可能な、各領域の分析結果を、数値に応じた濃度で表した他の例を示す図である。
【図19】第２の実施形態の第１の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【図20】第２の実施形態の第２の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本開示の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより、重複する説明を省略する。
【0011】
（本開示に係る測定の原理）
本開示の各実施形態は、電子機器のワイヤレス特性に影響を与えるＲＦ(Radio Frequency)感度劣化の要因となる、当該電子機器内のノイズに関する測定を行う技術に関する。
本開示の各実施形態は、電子機器のワイヤレス特性に影響を与えるＲＦ(Radio Frequency)感度劣化の要因となる、当該電子機器内のノイズに関する測定を行う技術に関する。
【0012】
先ず、各実施形態の説明に先立って、理解を容易とするために、本開示に係る測定の原理について概略的に説明する。図１Ａおよび図１Ｂは、本開示に係る測定の原理について説明するための図である。なお、図１Ａおよび図１Ｂにおける各グラフ、および、以下の同様の各グラフは、横軸が周波数、縦軸が信号の電力をそれぞれ示す。
【0013】
電子機器内のノイズがＲＦ感度劣化に影響を与えるタイプとしては、ノイズの種類に応じて２つタイプ（タイプ（１）およびタイプ（２）とする）が知られている。
【0014】
図１Ａは、タイプ（１）のノイズおよびそのノイズによる電子機器におけるＲＦ感度劣化を説明するための図である。図１Ａのグラフ１０００は、対象となる電子機器内部において、ＩＣ(Integrated Circuit)などノイズ源が有するノイズ１０１０が、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxを含む広帯域にわたって発生していることを示している。タイプ（１）は、このノイズ１０１０が、当該電子機器が備えるアンテナ１０２０からそのまま検知されてＲＦ感度劣化が生じる場合である。
【0015】
タイプ（２）は、ＩＣなど非線形素子によるノイズ源が有するノイズがデバイスに対して印加されるＲＦ送信波により変調され、その変調されたノイズが受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxを含む帯域にわたって発生してしまい、アンテナから検知されてＲＦ感度劣化が生じる場合である。
【0016】
タイプ（２）のノイズについて、図１Ｂを用いてより具体的に説明する。図１Ｂにおいて、グラフ１００１は、対象となる電子機器内部において、ＩＣなどノイズ源が有するノイズ１０１１が、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxを含まない範囲で発生していることを示している。図１Ｂの例では、ノイズ１０１１は、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxに対して低い周波数帯域で発生している。この場合、このノイズ１０１１が、当該電子機器が備えるアンテナ１０２０により検知されることは無い。
【0017】
しかしながら、ノイズ源がＩＣなどの非線形素子を搭載したデバイスである場合、そのノイズ源に対して周波数帯域ｆTxのＲＦ送信波を印加すると（グラフ１００２参照）、ノイズ源にて発生するノイズ１０１１がこのＲＦ送信波により変調されるインターモジュレーションが発生する。以降、インターモジュレーションにより変調されたノイズを、変調ノイズと呼ぶ。このインターモジュレーションにより、図１Ｂのグラフ１００３に例示される変調ノイズ１０１２が生成される。グラフ１００３の例では、この変調ノイズ１０１２は、周波数帯域が受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxを含んでいる。したがって、当該電子機器が備えるアンテナ１０２０にこの変調ノイズ１０１２が検知され、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxに対するＲＦ感度劣化が生じる。
【0018】
インターモジュレーションについて、より具体的に説明する。ある周波数ｆ1の高周波信号が別の周波数ｆ2の高周波信号に印加された場合に、周波数ｆ2の高周波信号が周波数ｆ1の高周波信号により変調されて、次式（１）および（２）で示される周波数ｆ3およびｆ4の信号が生成される。
【0019】
ｆ3＝｜ｆ1－ｆ2｜ …（１）
ｆ4＝ｆ1＋ｆ2 …（２）
ｆ4＝ｆ1＋ｆ2 …（２）
【0020】
上述の式（１）および式（２）において、周波数ｆ1をＲＦ送信波の周波数帯域ｆTxとする。また、周波数ｆ2を、ノイズ１０１１が含む任意の周波数ｆnoiseとする。この場合、周波数帯域ｆTxに対して｜ｆTx－ｆnoise｜だけ低い周波数と、(ｆTx＋ｆnoise)だけ高い周波数と、にノイズ１０１１の周波数｜ｆTx－ｆnoise｜に対応する位置の成分が現れる。これをノイズ１０１１が含む周波数帯域全体に適用すると、ＲＦ送信波の周波数帯域ｆTxの両側に、ノイズ１０１１の周波数特性を対称に展開した変調ノイズ１０１２が生成される。
【0021】
ここで、周波数ｆnoiseにおいて、ＲＦ送信波の周波数帯域ｆTxと、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxとの差分の周波数｜ｆTx－ｆRx｜における成分を考える。グラフ１００２および１００３の例では、この周波数｜ｆTx－ｆRx｜は、ノイズ１０１１の周波数帯域に含まれるため、上述した式（１）および（２）に従い、変調ノイズ１０１２の成分として、次式（３）および式（４）で示される位置に現れる。
【0022】
ｆ5＝ｆTx＋｜ｆTx－ｆRx｜ …（３）
ｆ6＝ｆTx－｜ｆTx－ｆRx｜ …（４）
ｆ6＝ｆTx－｜ｆTx－ｆRx｜ …（４）
【0023】
これらのうち、周波数ｆ6は、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxと等しい。そのため、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxに対して変調ノイズ１０１２の成分が加わることになり、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxに対するＲＦ感度劣化が生じる。
【0024】
既存技術による測定方法では、インターモジュレーションにより発生する変調ノイズ１０１２の測定が困難であった。本開示では、対象となる電子機器においてインターモジュレーションを発生させた状態での測定を実行可能としている。そのため、インターモジュレーションによるノイズ源の特定が容易となり、電子機器におけるインターモジュレーションに起因するＲＦ感度劣化を抑制することが可能となる。
【0025】
［第１の実施形態］
次に、第１の実施形態について説明する。図２は、第１の実施形態に係る測定装置の一例の構成を概略的に示すブロック図である。図２において、測定装置１ａは、信号発生器１０（以降、ＳＧ１０）と、電力増幅器１１（以降、ＰＡ１１）と、バンドパスフィルタ１２（以降、ＢＰＦ１２）と、ディプレクサ１３（以降、ＤＵＰ１３）と、バンドエリミネーションフィルタ１４（以降、ＢＥＦ１４）と、低雑音増幅器１５（以降、ＬＮＡ１５）と、測定器（以降、ＳＡ１６）１６と、プローブ２０と、を含む。
次に、第１の実施形態について説明する。図２は、第１の実施形態に係る測定装置の一例の構成を概略的に示すブロック図である。図２において、測定装置１ａは、信号発生器１０（以降、ＳＧ１０）と、電力増幅器１１（以降、ＰＡ１１）と、バンドパスフィルタ１２（以降、ＢＰＦ１２）と、ディプレクサ１３（以降、ＤＵＰ１３）と、バンドエリミネーションフィルタ１４（以降、ＢＥＦ１４）と、低雑音増幅器１５（以降、ＬＮＡ１５）と、測定器（以降、ＳＡ１６）１６と、プローブ２０と、を含む。
【0026】
ＳＧ１０は、所望の周波数の高周波信号を出力可能とされている。測定装置１ａにおいては、被測定物３０に印加するための周波数帯域ｆTxの高周波信号による送信信号Ｔｘを生成、出力する。ＳＧ１０が生成、出力する送信信号Ｔｘは、被測定物３０が本来受信するＲＦ送信波を模した疑似ＲＦ送信波である。ＳＧ１０から出力された送信信号Ｔｘは、ＰＡ１１に供給される。ＰＡ１１は、高出力可能な電力増幅器であって、ＳＧ１０から供給された送信信号Ｔｘの電力を増幅して出力する。
【0027】
ＢＰＦ１２は、特定の周波数帯域の信号を通過させ、当該特定の周波数帯域外の周波数の信号を急峻な特性、且つ、高い減衰比で減衰させるフィルタである。以下、急峻な特性、且つ、高い減衰比での減衰を、高減衰と呼ぶ。この例では、ＢＰＦ１２は、周波数帯域ｆTxの信号を通過させ、それ以外の周波数帯域の信号を高減衰させる。ＰＡ１１から出力された周波数帯域ｆTxの送信信号Ｔｘは、ＢＰＦ１２を通過してＤＵＰ１３に供給される。
【0028】
ＤＵＰ１３は、周波数帯域の異なる２つの高周波信号を分離する信号分離子である。例えば、ＤＵＰ１３は、通過させる周波数帯域が互いに異なる２つのバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）を含む。図２の例では、ＤＵＰ１３が含む２つのＢＰＦのうち一方は、送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxの高周波信号を通過させ、それ以外の周波数帯域の高周波信号を高減衰させる送信信号用のＢＰＦである。また、ＤＵＰが含む２つのＢＰＦのうち他方は、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxの高周波信号を通過させ、それ以外の周波数帯域の高周波信号を高減衰させる受信信号用のＢＰＦである。
【0029】
プローブ２０は、例えば電磁界プローブであって、１つの探針を含む。プローブ２０は、ＤＵＰ１３の送信信号用のＢＰＦから出力された送信信号Ｔｘを被測定物３０に印加するために用いられる。また、プローブ２０は、被測定物３０から放射された変調ノイズを受信するためにも用いられる。すなわち、信号の送信と受信とを、１つのプローブ２０を共通に用いて行う。プローブ２０により受信された信号（例えば変調ノイズ）は、プローブ２０から出力されてＤＵＰ１３の受信信号用のＢＰＦに供給される。ＤＵＰ１３は、ＢＰＦ１２から出力された送信信号Ｔｘと、プローブ２０から供給された変調ノイズと、を分離して、それぞれの供給先に供給する。なお、プローブ２０として、アンテナを用いてもよい。また、被測定物３０となるスマートフォン、タブレット型パーソナルコンピュータなどの電子機器に組み込まれたアンテナをプローブ２０として直接接続してもよい。
【0030】
ＢＥＦ１４は、特定の周波数帯域の信号を高減衰させ、それ以外の周波数帯域の信号を通過させる。この例では、ＢＥＦ１４は、送信信号Ｔｘの周波数帯域である周波数帯域ｆTxの信号を高減衰させ、それ以外の周波数帯域の信号を通過させる。ＤＵＰ１３の受信信号用のＢＰＦから供給された変調ノイズは、ＢＥＦ１４に供給され、周波数帯域ｆTxの成分を高減衰されて出力される。
【0031】
ＢＥＦ１４から出力された、周波数帯域ｆTxの成分を高減衰された変調ノイズは、ＬＮＡ１５に供給される。ＬＮＡ１５は、微小信号や微小ノイズを増幅可能な低雑音増幅器である。周波数帯域ｆTxの成分を高減衰された変調ノイズは、ＬＮＡ１５で増幅されてＳＡ(Spectrum Analyzer)１６に供給される。
【0032】
ＳＡ１６は、ＬＮＡ１５から供給された信号の特徴の分析を行うための装置である。例えば、ＳＡ１６は、供給された信号を分析して、その信号の電力、波形、変調方式などを示す情報を取得する。ＳＡ１６は、例えばディスプレイを備え、分析結果をディスプレイに表示することができる。
【0033】
【0034】
なお、図３において、被測定物３０は、無線通信が可能な電子機器であって、周波数帯域ｆTxの高周波信号を送信し、周波数帯域ｆTxとは異なる周波数帯域ｆRxの高周波信号を受信するものとする。被測定物３０としては、スマートフォン、タブレット型パーソナルコンピュータなどを適用することができる。これに限らず、被測定物３０は、ＩＣなどの非線形素子を備え、振幅変調に基づく信号の送信と受信とを、互いに異なる周波数帯域で、且つ、並列に行う電子機器であれば、他の種類の電子機器であってもよい。また、被測定物３０に適用可能な通信技術としては、ＦＤＤ(Frequency Division Duplex)があり、通信方式としては、ＵＭＴＳ(Universal Mobile Telecommunications System)、ＣＤＭＡ(Code Division Multiple Access)、ＬＴＥ(Long Term Evolution)など様々な通信方式が考えられる。
【0035】
被測定物３０の測定時には、被測定物３０の送信機能および受信機能を稼働させておく。
【0036】
ＳＧ１０は、周波数帯域ｆTxの高周波信号による送信信号Ｔｘを生成する。図３において、グラフ１００は、送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxと、被測定物３０のある受信チャネルＣＨによる受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxの関係の例を示している。この例では、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxは、送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxよりも高い周波数とされている。
【0037】
この送信信号Ｔｘが、経路１２０に従い、ＰＡ１１およびＢＰＦ１２を介してＤＵＰ１３に入力され、ＤＵＰ１３が有する送信信号用のＢＰＦを通過してプローブ２０に供給される（経路１２１）。プローブ２０に供給された送信信号Ｔｘがプローブ２０から送信され、被測定物３０に印加される。グラフ１０１は、被測定物３０に印加される送信信号Ｔｘの例を示している。グラフ１０１に示されるように、被測定物３０に印加される送信信号Ｔｘは、ＳＧ１０で生成された送信信号Ｔｘの電力が増幅された信号となっている。
【0038】
被測定物３０は、内部にＩＣやＬＳＩ(Large Scale Integration)など非線形素子を含む。このような非線形素子は、動作時にノイズを発生する。例えば被測定物３０が自身が有するアンテナから周波数帯域ｆTxの送信信号Ｔｘを送信する場合、このノイズが、インターモジュレーションにより送信信号Ｔｘに基づき変調される。これにより、ノイズの周波数特性に対応する変調ノイズが送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxの両側に対称に発生する（図３、グラフ１０２参照）。この変調ノイズの周波数帯域に被測定物３０の受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxが含まれている場合、被測定物３０において受信信号Ｒｘに対するＲＦ感度劣化が生じる。
【0039】
変調ノイズは、被測定物３０の内部で伝搬されると共に、被測定物３０の外部に放射される。外部に放射された変調ノイズは、プローブ２０により受信される。プローブ２０に受信された変調ノイズは、経路１２２を介してＤＵＰ１３に入力され、ＤＵＰ１３が有する受信信号用のＢＰＦを介してＢＥＦ１４に供給される（経路１２３）。変調ノイズは、ＢＥＦ１４において送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxが高減衰される。ＢＥＦ１４により周波数帯域ｆTxが高減衰された変調ノイズは、ＬＮＡ１５にて低雑音の増幅処理を施され、増幅された変調ノイズがＳＡ１６に供給される。
【0040】
ここで、プローブ２０による変調ノイズの受信、および、受信された変調ノイズのＤＵＰ１３、ＢＥＦ１４およびＬＮＡ１５を介してのＳＡ１６への供給は、プローブ２０により送信信号Ｔｘを被測定物３０に印加している間に行われる。換言すれば、プローブ２０により送信信号Ｔｘを被測定物３０に対して印加する期間と時間的に重複する期間において、変調ノイズのＳＡ１６への供給が行われる。これにより、測定装置１ａは、被測定物３０の内部で発生したノイズがインターモジュレーションにより送信信号Ｔｘに基づき変調された変調ノイズの測定を実行することが可能となる。
【0041】
また、ＤＵＰ１３から出力された変調ノイズは、ＢＥＦ１４において送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxが高減衰されている。このＢＥＦ１４の作用により、送信系（例えば経路１２０および１２１）から受信系（経路１２３）への信号の回り込みを抑制している。すなわち、ＢＥＦ１４を用いない場合、送信系から受信系に回り込んだ送信信号Ｔｘと、プローブ２０により受信された変調ノイズと、の電力差が大きくなってしまうおそれがある。この場合、測定結果が、例えばＳＡ１６の表示部における表示範囲（ダイナミックレンジ）に収まらなくなる可能性がある。ＢＥＦ１４で周波数帯域ｆTxの成分を減衰させることで、周波数帯域ｆTxの成分によるピークを抑制することができ、測定結果が表示範囲に収まらない状態を回避することができる。
【0042】
図３の例では、グラフ１０３に例示されるように、グラフ１０２に示される変調ノイズの特性に対し、送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxおよび周波数帯域ｆTxを中心とする所定範囲の信号レベルがＢＥＦ１４により急峻に減衰され、さらに、ＬＮＡ１５により全体の信号レベルが上げられている。このように、送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆＴｘによるピークを抑えつつ、全体の信号レベルを上げることで、ＳＡ１６による分析、表示などが容易となる。
【0043】
（第１の実施形態の第１の変形例）
次に、第１の実施形態の第１の変形例について説明する。図４は、第１の実施形態の第１の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
次に、第１の実施形態の第１の変形例について説明する。図４は、第１の実施形態の第１の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【0044】
図４に示される、第１の実施形態の第１の変形例に係る測定装置１ｂは、プローブ２０に送る送信信号Ｔｘと、プローブ２０により受信されプローブ２０から供給される信号とを分離する信号分離子として、図２のＤＵＰ１３の代わりに、サーキュレータ４０を用いている。サーキュレータ４０は、一般的には３つのポートを備え、ポートに入力された高周波信号を特定の方向にのみ通過させる特性を有する。サーキュレータでは、あるポートに入力された高周波信号を、特定の方向に隣接するポートから出力させることができる。このサーキュレータの特性を利用することで、信号の分離を実現できる。
【0045】
図４の例では、サーキュレータ４０は、３つのポートＰ1、Ｐ2およびＰ3を有し、ＢＰＦ１２の出力がサーキュレータ４０のポートＰ1に接続される。プローブ２０がサーキュレータ４０のポートＰ2に接続される。また、ＢＥＦ１４がサーキュレータ４０のポートＰ3に接続される。サーキュレータ４０は、ポートＰ1→ポートＰ2→ポートＰ3の方向（図４における左回り）に高周波信号を通過させる。サーキュレータ４０は、この逆方向、すなわち、図４における右回りの方向には高周波信号を通過させない。
【0046】
このように構成することで、ＢＰＦ１２の出力がサーキュレータ４０のポートＰ1からポートＰ2に送られ、ポートＰ2から出力されてプローブ２０に供給される。プローブ２０から出力された信号（変調ノイズ）は、サーキュレータ４０のポートＰ2からポートＰ3に送られ、ポートＰ３から出力されてＢＥＦ１４に供給される。一方、サーキュレータ４０は、図４における右回りの方向では高周波信号を通過させないため、ポートＰ1に入力された送信信号ＴｘがそのままポートＰ3に送られてＢＥＦ１４に供給されることは無い。
【0047】
サーキュレータ４０は、上述したＤＵＰ１３と比較して、特定の周波数帯域の減衰が無い一方で、高周波信号を歪ませる要素を有しており、それ自身がノイズ源となる可能性がある。したがって、信号分離子としてＤＵＰ１３およびサーキュレータ４０の何れを用いるかは、測定に要求される内容などに基づき適宜、選択することが好ましい。
【0048】
（第１の実施形態の第２の変形例）
次に、第１の実施形態の第２の変形例について説明する。上述した第１の実施形態および第１の実施形態の第１の変形例では、送信信号Ｔｘの被測定物３０に対する印加と、被測定物３０から放射される変調ノイズの受信と、を１つのプローブ２０を共通に用いて行っていた。これに対して、第１の実施形態の第２の変形例では、送信信号Ｔｘの被測定物３０に対する印加と、被測定物３０から放射される変調ノイズの受信と、を異なるプローブを用いて行う。
次に、第１の実施形態の第２の変形例について説明する。上述した第１の実施形態および第１の実施形態の第１の変形例では、送信信号Ｔｘの被測定物３０に対する印加と、被測定物３０から放射される変調ノイズの受信と、を１つのプローブ２０を共通に用いて行っていた。これに対して、第１の実施形態の第２の変形例では、送信信号Ｔｘの被測定物３０に対する印加と、被測定物３０から放射される変調ノイズの受信と、を異なるプローブを用いて行う。
【0049】
図５は、第１の実施形態の第２の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。図５において、測定装置１ｃは、プローブ２０Ｔｘとプローブ２０Ｒｘとの２つのプローブを含む。プローブ２０Ｔｘは、ＢＰＦ１２から出力された送信信号Ｔｘを被測定物３０に印加する。送信信号Ｔｘの印加により被測定物３０から放射された変調ノイズは、プローブ２０Ｒｘにより受信され、プローブ２０ＲｘからＢＥＦ１４に供給される。
【0050】
このように、第１の実施形態の第２の変形例に係る測定装置１ｃは、送信信号Ｔｘの被測定物３０に対する印加と、被測定物３０から放射された変調ノイズの受信と、をそれぞれ個別のプローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘを用いて行っている。そのため、測定装置１ｃは、上述したＤＵＰ１３やサーキュレータ４０といった信号分離子が不要である。一方、この測定装置１ｃにより第１の実施形態による測定装置１ａと同等の測定を行う場合、プローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘにより被測定物３０の同一位置を狙うことになり、プローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘの設置に注意を払う必要がある。
【0051】
また、測定装置１ｃにおいて、プローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘのそれぞれで、被測定物３０の互い異なる位置を狙うこともできる。この場合、例えばプローブ２０Ｔｘによる狙い位置と、プローブ２０Ｒｘによる狙い位置と、の間における変調ノイズの伝搬の特性を調べることが可能である。
【0052】
（測定結果の具体的な例）
次に、第１の実施形態およびその各変形例による測定結果の具体的な例について説明する。なお、ここでは、図４を用いて説明した、信号分離子としてサーキュレータ４０を用いた測定装置１ｂを例にとって説明を行う。
次に、第１の実施形態およびその各変形例による測定結果の具体的な例について説明する。なお、ここでは、図４を用いて説明した、信号分離子としてサーキュレータ４０を用いた測定装置１ｂを例にとって説明を行う。
【0053】
図４において、測定装置１ｂは、ＳＧ１０により周波数が８３６［ＭＨｚ］の送信信号Ｔｘを生成し、この送信信号ＴｘをＰＡ１１、ＢＰＦ１２およびサーキュレータ４０を介して、２４［ｄＢｍＷ］の電力にてプローブ２０に供給するものとする。プローブ２０を被測定物３０に押し当てる状態で、当該被測定物３０に対して送信信号Ｔｘを印加する。当該プローブ２０により受信された信号を、サーキュレータ４０、ＢＥＦ１４およびＬＮＡ１５を介してＳＡ１６に供給する。ＳＡ１６は、例えば、供給された信号の周波数成分を分析して周波数毎のレベルを測定結果として取得し、取得した測定結果を、横軸を周波数、縦軸をレベルとしたグラフによりディスプレイに表示させる。また、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxを８８１［ＭＨｚ］とする。
【0054】
【0055】
図６Ａは、ＳＧ１０による送信信号Ｔｘの生成、出力をオフとした場合の測定結果の例を示す図である。なお、図６Ａは、被測定物３０の駆動のオンとオフとを切り替えた場合の測定結果を示している。特性線７０ａにおいて、送信信号Ｔｘの周波数ｆTxＴｘの付近に生じている山部分の波形は、測定装置１ｂにおける各フィルタやアンプ群による特性を示している。この特性線７０ａに示される特性は、被測定物３０がオン、オフの何れの状態でも変化が無い。これにより、この状態にて、ノイズ源デバイスである被測定物３０の駆動のみをオンにしても何も観測されず、被測定物３０の単体では、例えば受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxまでのノイズを発生していないことが分かる。
【0056】
図６Ｂは、ＳＧ１０による送信信号Ｔｘの生成、出力をオン、被測定物３０の駆動がオフの状態における測定結果の例を示す図である。特性線７０ｂにおいて、送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTxにスペクトラムのピークが観測されており、所期の送信信号Ｔｘを発生できていることが分かる。
【0057】
図６Ｃは、ＳＧ１０による送信信号Ｔｘの生成、出力をオン、被測定物３０の駆動をオンとした状態における測定結果の例を示す図である。特性線７０ｃにおいて、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxの付近にピーク７１が現れ、ある程度大きなノイズが観測されていることが分かる。また、周波数帯域ｆRxの両側の波形も、複数の小さなピークが現れ、図６Ｂの特性線７０ｂとは異なっていることが分かる。
【0058】
図６Ａ～図６Ｃに示されるように、被測定物３０の単体の動作ではノイズが観測されず、送信信号Ｔｘの被測定物３０に対する印加のみでもノイズが観測されていない。一方、被測定物３０を駆動し、且つ、送信信号Ｔｘを被測定物３０に印加させた状態で、図６Ｃに示されるノイズが観測されている。これらより、このノイズは、目的としている変調ノイズであることが分かる。以上より、本開示の技術を用いることで変調ノイズが測定可能であることが示される。
【0059】
以上説明したように、第１の実施形態およびその各変形例によれば、非線形素子を搭載した被測定物３０においてインターモジュレーションにより発生する変調ノイズを測定することができる。また、第１の実施形態およびその各変形例によれば、この変調ノイズの測定を行うシステムを、既存の装置を活用して構築することができ、コストパフォマンスに優れている。
【0060】
［第２の実施形態］
次に、本開示の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は、上述したプローブ２０を、被測定物３０の近傍で移動させ被測定物３０を走査可能としたものである。被測定物３０に対してプローブ２０を自動的に走査させることで、被測定物３０における変調ノイズの分布を容易に測定可能となる。
次に、本開示の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は、上述したプローブ２０を、被測定物３０の近傍で移動させ被測定物３０を走査可能としたものである。被測定物３０に対してプローブ２０を自動的に走査させることで、被測定物３０における変調ノイズの分布を容易に測定可能となる。
【0061】
図７は、第２の実施形態に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。図７において、測定装置２ａは、図２に示した測定装置１ａに対して、ポジショナー６０と、パーソナルコンピュータ５０（以下、ＰＣ５０）とが追加されている。ポジショナー６０は、プローブ２０が取り付けられ、当該プローブ２０を水平面内（Ｘ軸およびＹ軸）、および、垂直方向（Ｚ軸方向）でそれぞれ移動させるための機構を備える。ＰＣ５０は、ポジショナー６０の動作と、ＳＧ１０および測定器１６それぞれの動作と、を同期させて制御する。
【0062】
図８は、第２の実施形態に適用可能なＰＣ５０の一例の構成を示すブロック図である。図８において、ＰＣ５０は、互いにバス５２０により通信可能に接続された、ＣＰＵ(Central Processing Unit)５００と、ＲＯＭ(Read Only Memory)５０１と、ＲＡＭ(Random Access Memory)５０２と、ストレージ５０３と、表示制御部５０４と、データＩ／Ｆ５０５と、機器Ｉ／Ｆ５０６と、通信Ｉ／Ｆ５０７と、を含む。
【0063】
ストレージ５０３は、ハードディスクドライブやフラッシュメモリといった不揮発性の記憶媒体であって、ＣＰＵ５００が動作するためのプログラムやデータを記憶することができる。ＣＰＵ５００は、ストレージ５０３やＲＯＭ５０１に予め記憶されるプログラムに従い、ＲＡＭ５０２をワークメモリとして用いて、このＰＣ５０の全体の動作を制御する。
【0064】
表示制御部５０４は、ディスプレイ５１０が接続され、ＣＰＵ５００によりプログラムに従い生成された表示制御信号に基づきディスプレイ５１０が表示可能な表示信号を生成する。表示制御部５０４は、生成した表示信号をディスプレイ５１０に供給する。ディスプレイ５１０は、表示制御部５０４から供給された表示信号に従い画面を表示する。
【0065】
データＩ／Ｆ５０５は、外部の機器とデータや制御信号の送受信を行うためのインタフェースである。データＩ／Ｆ５０５としては、例えばＵＳＢ(Universal Serial Bus)を適用することができる。また、データＩ／Ｆ５０５に対して、マウスなどのポインティングデバイスやキーボードといった入力デバイス５１１を接続することができる。入力デバイス５１１は、ユーザ操作に応じた制御信号を生成する。この制御信号は、データＩ／Ｆ５０５を介してＣＰＵ５００に渡される。
【0066】
機器Ｉ／Ｆ５０６は、ＳＧ１０、ＳＡ１６およびポジショナー６０と接続するためのインタフェースである。ＣＰＵ５００は、プログラムに従い、ＳＧ１０、ＳＡ１６、ポジショナー６０を制御する制御信号を生成し、生成した制御信号を機器Ｉ／Ｆ５０６を介してＳＧ１０、ＳＡ１６、ポジショナー６０に供給する。また、ＳＧ１０、ＳＡ１６、ポジショナー６０から出力されたステータス情報などが、機器Ｉ／Ｆ５０６を介してＣＰＵ５００に渡される。ＳＡ１６による測定結果を、機器Ｉ／Ｆ５０６を介してＣＰＵ５００に渡してもよい。これに限らず、ＳＡ１６による測定結果は、データＩ／Ｆ５０５を介してＣＰＵ５００に渡してもよい。
【0067】
通信Ｉ／Ｆ５０７は、ＬＡＮ(Local Area Network)などのネットワークとの通信を制御する。
【0068】
図９は、第２の実施形態に係るＰＣ５０の機能を説明するための一例の機能ブロック図である。図９において、ＰＣ５０は、位置制御部５３０と、信号制御部５３１と、測定部５３２と、機器通信部５３３と、入力部５３４と、表示部５３５と、を含む。これら位置制御部５３０、信号制御部５３１、測定部５３２、機器通信部５３３、入力部５３４および表示部５３５は、ＣＰＵ５００上で動作する測定プログラムにより実現される。これに限らず、位置制御部５３０、信号制御部５３１、測定部５３２、機器通信部５３３、入力部５３４および表示部５３５のうち一部または全部を、互いに協働して動作するハードウェア回路により構成してもよい。
【0069】
位置制御部５３０は、ポジショナー６０によるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸方向の移動を制御するための移動制御信号を生成する。信号制御部５３１は、ＳＧ１０による送信信号Ｔｘの生成を制御するための信号制御信号を生成する。測定部５３２は、ＳＡ１６の動作を制御するための測定制御信号を生成する。また、測定部５３２は、ＳＡ１６から測定結果を取得し、取得した測定結果の分析なども行う。機器通信部５３３は、機器Ｉ／Ｆ５０６を制御して、ＳＧ１０、ＳＡ１６およびポジショナー６０に対する通信を行う。移動制御信号、信号制御信号および測定制御信号のそれぞれは、この機器通信部５３３により、ポジショナー６０、ＳＧ１０およびＳＡ１６のそれぞれに送信される。
【0070】
入力部５３４は、入力デバイス５１１に対してなされた入力を受け付け、受け付けた入力に応じた制御信号に基づきＰＣ５０に所定の動作を実行させる。表示部５３５は、所定の表示を行うための表示制御信号を生成する。生成された表示制御信号は、表示制御部５０４に渡される。
【0071】
【0072】
取得部５３２１は、ＳＡ１６から、所定のタイミングで測定結果を取得する。例えば、取得部５３２１は、位置制御部５３０によるポジショナー６０の位置制御と、信号制御部５３１による送信信号Ｔｘの生成の制御と、に同期させて、ＳＡ１６から測定結果を取得する。取得部５３２１は、例えば、ＳＡ１６から、周波数を示す情報と、当該周波数におけるレベルを示す情報とを関連付けて取得する。また、取得部５３２１は、位置制御部５３０から、これら周波数を示す情報およびレベルを示す情報と、に対応する位置情報を取得することができる。
【0073】
分析部５３２２は、取得部５３２１により取得された測定結果を分析する。例えば、分析部５３２２は、取得した測定結果がレベルを示す情報を複数、含む場合、複数のレベルの平均値などの統計値を分析結果として求めることができる。これに限らず、分析部５３２２は、取得した測定結果が、それぞれ周波数を示す情報と、レベルを示す情報とによる複数の組を含む場合、レベルの平均や分散など、所望の統計値を分析結果として求めることも可能である。分析部５３２２は、この測定結果に基づく分析結果を、取得部５３２１により取得された位置情報と関連付けて表示情報生成部５３２３に渡す。
【0074】
表示情報生成部５３２３は、分析部５３２２から渡された分析結果および位置情報に基づく画面をディスプレイ５１０などに表示させるための表示情報を生成する。表示情報生成部５３２３は、例えば分析結果および位置情報を一覧として表示させる表示情報を生成することができる。
【0075】
また、表示情報生成部５３２３は、分析結果を、対応する位置情報に基づきマップを生成して表示させることができる。このとき、表示情報生成部５３２３は、分析結果を数値として、位置情報に基づき表示するマップを生成することができる。また、表示情報生成部５３２３は、分析結果を、その値に対応する濃度（色の濃さ、明暗）などの画像情報として、マップ表示させることができる。
【0076】
さらに、表示情報生成部５３２３は、位置情報に基づき、分析結果を表示するマップに、分析結果に対応する境界を示す画像をさらに表示させることができる。さらにまた、表示情報生成部５３２３は、被測定物３０の被測定面の画像を予め取得し、当該画像をマップに重畳させて表示させることができる。
【0077】
第２の実施形態に係る処理を実行するための測定プログラムは、例えば、上述した各部（位置制御部５３０、信号制御部５３１、測定部５３２、機器通信部５３３、入力部５３４および表示部５３５）を含むモジュール構成となっており、実際のハードウェアとしてはＣＰＵ５００が例えばストレージ５０３から当該測定プログラムを読み出して実行することにより上記各部が主記憶装置（例えばＲＡＭ５０２）上にロードされ、各部が主記憶装置上に生成されるようになっている。
【0078】
（第２の実施形態に適用可能なポジショナーについて）
次に、第２の実施形態に適用可能なポジショナー６０について、概略的に説明する。図１１および図１２は、第２の実施形態に適用可能なポジショナー６０の一例の構成を示す図である。図１１は、第２の実施形態に適用可能な、プローブ２０の位置を移動させるための移動装置２００ａの一例の構成を概略的に示す斜視図である。図１２は、図１１に示される移動装置２００ａを駆動するための駆動部２０１の一例の構成を示すブロック図である。これら移動装置２００ａおよび駆動部２０１を含んでポジショナー６０が構成される。
次に、第２の実施形態に適用可能なポジショナー６０について、概略的に説明する。図１１および図１２は、第２の実施形態に適用可能なポジショナー６０の一例の構成を示す図である。図１１は、第２の実施形態に適用可能な、プローブ２０の位置を移動させるための移動装置２００ａの一例の構成を概略的に示す斜視図である。図１２は、図１１に示される移動装置２００ａを駆動するための駆動部２０１の一例の構成を示すブロック図である。これら移動装置２００ａおよび駆動部２０１を含んでポジショナー６０が構成される。
【0079】
なお、図１１において、図上の上下方向をＺ軸、図上の左右方向をＸ軸、右斜め上から左斜め下の方向をＹ軸とする。
【0080】
図１１の例では、移動装置２００ａは、４本の脚２１１と、水平移動部２１２、２１２ａおよび２１２ｂと、垂直移動部２１３と、プローブ支持部２１４と、を含む。４本の脚２１１により台座が構成され、台座に対してそれぞれＹ軸方向に沿って水平移動部２１２ａおよび２１２ｂが設けられる。水平移動部２１２ａおよび２１２ｂに対して、水平移動部２１２がＹ軸方向に移動可能に設けられる。水平移動部２１２に対して垂直移動部２１３がＸ軸方向に移動可能に設けられる。垂直移動部２１３は、さらに、水平移動部２１２に対してＺ軸方向に移動可能に構成される。垂直移動部２１３に対して、プローブ支持部２１４が設けられ、プローブ支持部２１４の下端にプローブ２０が設けられる。
【0081】
プローブ２０は、Ｘ軸およびＹ軸方向に、水平移動部２１２、２１２ａおよび２１２ｂの所定の範囲内で自在に移動させることができ、また、Ｚ軸方向に、垂直移動部２１３の所定の範囲内で自在に移動させることができる。これにより、プローブ２０は、水平に設置された被測定物３０上の２次元平面を、所定の範囲内で自在に移動可能となる。
【0082】
図１２において、駆動部２０１は、モータ２０２Ｘ、２０２Ｙおよび２０２Ｚと、駆動回路２０３Ｘ、２０３Ｙおよび２０３Ｚと、モータ制御部２０４と、インタフェース（Ｉ／Ｆ）２０５と、を含む。
【0083】
モータ２０２Ｘは、垂直移動部２１３をＸ軸方向に移動させるためのモータであって、例えば垂直移動部２１３内部に設けられる。モータ２０２Ｙは、垂直移動部２１３をＹ軸方向に移動させるためのモータであって、例えば水平移動部２１２内部に設けられる。また、モータ２０２Ｚは、垂直移動部２１３をＺ軸方向に移動させるためのモータであって、例えば垂直移動部２１３内部に設けられる。
【0084】
駆動回路２０３Ｘ、２０３Ｙおよび２０３Ｚそれぞれは、モータ制御部２０４の制御に従い、モータ２０２Ｘ、２０２Ｙおよび２０２Ｚのそれぞれを１対１に駆動する。モータ制御部２０４は、ＰＣ５０の機器Ｉ／Ｆ５０６から送信された、プローブ２０の位置を変更するための制御信号がＩ／Ｆ２０５に受信され、モータ制御部２０４に渡される。モータ制御部２０４は、この制御信号に基づき各モータ２０２Ｘ、２０２Ｙおよび２０２Ｚを駆動させるための各駆動制御信号を生成し、生成した各駆動制御信号を、各駆動回路２０３Ｘ、２０３Ｙおよび２０３Ｚにそれぞれ供給する。各駆動回路２０３Ｘ、２０３Ｙおよび２０３Ｚは、それぞれ渡された各駆動制御信号に従い、モータ２０２Ｘ、２０２Ｙおよび２０２Ｚをそれぞれ駆動する。
【0085】
図１３は、第２の実施形態に係る測定装置２ａにおける測定処理を示す一例のフローチャートである。なお、被測定物３０は、予め、移動装置２００ａに対する所定の位置に設置されるものとする。また、被測定物３０は、初期状態では例えば電源がオフとされ、動作していないものとする。
【0086】
ステップＳ１０で、例えばユーザにより、ＰＣ５０に対して測定条件が入力され、測定装置２ａに対して測定条件が設定される。測定条件は、例えば、送信信号Ｔｘの周波数帯域ｆTx、受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRx、プローブ２０により被測定物３０に印加する送信信号Ｔｘの信号レベルを含む。測定条件は、さらに、被測定物３０における測定範囲を示す座標情報、測定範囲における測定位置を示す情報（測定点数、各測定位置の座標を示す情報など）を含む。設定された測定条件は、例えばＲＡＭ５０２あるいはストレージ５０３に記憶される。
【0087】
次のステップＳ１１で、初期値による測定を行う。例えば、位置制御部５３０は、ポジショナー６０を制御して、プローブ２０の位置を初期位置に移動させる。信号制御部５３１は、ＳＧ１０を送信信号Ｔｘを出力しないように制御する。測定部５３２は、プローブ２０から受信された信号を取得し、取得した信号を分析して分析結果を保持する。
【0088】
次のステップＳ１２で、例えば被測定物３０の電源をオンとし、被測定物３０を稼働させる。このステップＳ１２の処理は、例えば、ユーザによる被測定物３０の操作により実行される。
【0089】
被測定物３０を稼働させると、処理がステップＳ１３に移行される。例えば、ステップＳ１２で被測定物３０を稼働させた後、例えばユーザがＰＣ５０に対して所定の操作を行うことで、処理がステップＳ１３に移行される。
【0090】
ステップＳ１３で、位置制御部５３０は、ステップＳ１０で設定された測定条件に従い移動装置２００ａを制御して、プローブ２０を所定の位置に移動させる。次のステップＳ１４で、送受信処理、すなわち、送信信号Ｔｘの送信と、被測定物３０から放射される信号の受信と、がなされる。
【0091】
より具体的には、信号制御部５３１は、ＳＧ１０を制御して送信信号Ｔｘを出力させる（ステップＳ１４Ｔｘ）。これにより、送信信号ＴｘがＰＡ１１、ＢＰＦ１２およびＤＵＰ１３を介してプローブ２０に供給され、送信信号Ｔｘが被測定物３０に印加される。また、ステップＳ１４Ｒｘで、プローブ２０により被測定物３０から放射された信号が受信される。このステップＳ１４Ｒｘの処理は、ステップＳ１４Ｔｘにより送信信号Ｔｘが被測定物３０に印加されている間に実行される。
【0092】
次のステップＳ１５で、ステップＳ１４Ｒｘでプローブ２０により受信された信号が、ＤＵＰ１３、ＢＥＦ１４およびＬＮＡ１５を介してＳＡ１６に取得される。ＳＡ１６は、取得した信号に基づき測定結果を生成し、生成した測定結果をＰＣ５０に送る。ＰＣ５０において、測定部５３２は、ＳＡ１６から送られた測定結果を取得し、例えばＲＡＭ５０２に記憶する。
【0093】
次のステップＳ１６で、位置制御部５３０は、ステップＳ１０の測定条件で設定された全ての測定位置での測定が終了したか否かを判定する。終了していないと判定した場合（ステップＳ１６、「Ｎｏ」）、処理がステップＳ１３に戻され、次の測定位置での処理が開始される。終了していると判定された場合（ステップＳ１６、「Ｙｅｓ」）、図１３のフローチャートによる一連の処理が終了される。
【0094】
なお、図１３のフローチャートによる一連の処理が終了すると、測定部５３２は、分析部５３２２により、ステップＳ１５で取得されＲＡＭ５０２に記憶された測定結果に対して分析を行い、表示情報生成部５３２３により分析結果に基づき表示情報を生成する。
【0095】
上述したように、第２の実施形態では、ポジショナー６０を用いることで、プローブ２０を被測定物３０上における２次元平面内で移動させ、測定位置を順次変更する動作を自動制御により実行することができる。そのため、被測定物３０の表面における変調ノイズの放射量の分布を、容易に把握することが可能となる。
【0096】
（移動装置の他の例）
次に、プローブ２０を移動させる移動装置を、図１１に示した移動装置２００ａとは異なる構成により実現した例について説明する。図１４は、第２の実施形態に適用可能な、他の例による移動装置２００ｂの構成例を概略的に示す側面図である。図１４において、移動装置２００ｂは、台座２２０の水平面において回転する回転台２２１と、それぞれ関節部２２３、２２５および２２７により台座の水平面に対して垂直な面内で回転する腕部２２４、２２６および２２８と、を備える。
次に、プローブ２０を移動させる移動装置を、図１１に示した移動装置２００ａとは異なる構成により実現した例について説明する。図１４は、第２の実施形態に適用可能な、他の例による移動装置２００ｂの構成例を概略的に示す側面図である。図１４において、移動装置２００ｂは、台座２２０の水平面において回転する回転台２２１と、それぞれ関節部２２３、２２５および２２７により台座の水平面に対して垂直な面内で回転する腕部２２４、２２６および２２８と、を備える。
【0097】
台座２２０に対して回転台２２１が設けられ、回転台２２１に設けられる突起部２２２に対して関節部２２３により腕部２２４の一端が接続される。腕部２２４の他端は、関節部２２５により腕部２２６の一端に接続される。腕部２２６の他端は、関節部２２７により腕部２２８の一端に接続される。腕部２２８には、プローブ支持部２２９が設けられ、プローブ支持部２２９により、腕部２２８の他端側にプローブ２０が取り付けられる。また、回転台２２１、ならびに、各関節部２２３、２２５および２２７のそれぞれに対して、ＰＣ５０からの制御信号に応じて駆動制御されるモータが、それぞれ設けられる。
【0098】
このような構成において、回転台２２１が台座２２０の水平面に対して、図１４に矢印Ａで示されるように回転可能とされる。また、関節部２２３、２２５および２２７それぞれが、図１４に矢印Ｂ、ＣおよびＤでそれぞれ示されるように、台座２２０の水平面に対して垂直な面で回転可能とされる。これにより、プローブ２０が、例えば垂直の姿勢を保ったまま、水平に設置された被測定物３０上の２次元平面を、所定の範囲内で自在に移動可能となる。
【0099】
（第２の実施形態に係る測定結果の表示例）
次に、第２の実施形態に係る測定結果（分析結果）の表示例について説明する。図１５は、図１３のフローチャートのステップＳ１０で測定条件として設定される測定範囲の例を示す図である。図１５の例では、被測定物３０は、スマートフォンであって、図１５における上部に受話部３０１およびカメラ３０２などが配され、中央部に画面３００が配される。下部の領域３０３には、送話部や当該スマートフォンに対する主要な操作を行うための操作子などが配される（図示しない）。図１５の例では、測定範囲３１０は、画面３００の全域を含み、且つ、受話部３０１およびカメラ３０２の一部と、領域３０３の一部を含む範囲とされている。
次に、第２の実施形態に係る測定結果（分析結果）の表示例について説明する。図１５は、図１３のフローチャートのステップＳ１０で測定条件として設定される測定範囲の例を示す図である。図１５の例では、被測定物３０は、スマートフォンであって、図１５における上部に受話部３０１およびカメラ３０２などが配され、中央部に画面３００が配される。下部の領域３０３には、送話部や当該スマートフォンに対する主要な操作を行うための操作子などが配される（図示しない）。図１５の例では、測定範囲３１０は、画面３００の全域を含み、且つ、受話部３０１およびカメラ３０２の一部と、領域３０３の一部を含む範囲とされている。
【0100】
図１６は、第２の実施形態に係る、測定範囲３１０における測定位置と、各測定位置における分析結果の例を示す図である。なお、図１６は、各測定位置における分析結果がそれぞれ数値として表示される分析結果画面３１１の例を示している。
【0101】
図１６の例では、測定範囲３１０が水平方向に５分割、垂直方向に９分割され、４５の領域に分割されている。測定位置は、例えば各領域の中央部とすることが考えられる。また、各領域における分析結果の数値は、それぞれ各領域（各測定位置）における信号レベルの平均値であるものとする。
【0102】
各領域の分析結果を、例えば数値に対応して表示を異ならせた画像により表現すると、測定結果をより直感的に把握することが可能となる。
【0103】
図１７Ａおよび図１７Ｂは、第２の実施形態に適用可能な、各領域の分析結果を、数値に応じた濃度で表した例を示す図である。図１７Ａにおいて、分析結果画面３１２ａは、各領域の境界が表示されると共に、各領域の数値が大きい程、その領域の表示の濃度を高くして表示している。図１７Ａの例では、最下段の中央の領域が最も濃度が高く、より数値が大きい、すなわち、変調ノイズの放射量が多いことが分かる。また、最上段の特に中央部の領域は、他の領域に比べて濃度が低く、より数値が小さい。すなわち、変調ノイズの放射量が少ないことが分かる。
【0104】
図１７Ｂは、図１７Ａに示した分析結果画面３１２ａに対して、被測定物３０の画像３２０を重畳して表示させた例である。図１７Ｂにおいて、被測定物３０の輪郭が明確に表示されると共に、分析結果画面３１２ａに対して、画面の画像３００’と、受話部の画像３０１’と、カメラの画像３０２’と、図１５の領域３０３に対応する領域３０３’と、が重畳して表示されている。これにより、被測定物３０のどの位置で変調ノイズの放射量が多いか、などを直感的に把握することが可能となる。例えば、被測定物３０の下端側の中央部に、変調ノイズのノイズ源となる要素が配置されていると推測できる。
【0105】
図１８Ａおよび図１８Ｂは、第２の実施形態に適用可能な、各領域の分析結果を、数値に応じた濃度で表した他の例を示す図である。図１８Ａに示される分析結果画面３１２ｂは、図１７Ａの場合と同様に、各領域の数値が大きい程、その領域の表示の濃度を高くして表示している。このとき、分析結果画面３１２ｂは、各領域の境界を明示せず、全体としてグラデーション状に分析結果を表示している。測定範囲３１０に対する分割数が多く、各領域の面積が小さい場合などに各領域の境界を表示すると、画面が煩雑になってしまうおそれがある。図１８Ａのように各領域の境界の表示を行わないようにすることで、変調ノイズの放射量の分布の把握をより容易とすることが可能である。
【0106】
図１８Ｂは、図１８Ａに示した分析結果画面３１２ｂに対して、被測定物３０の画像３２０を重畳して表示させた例である。図１７Ｂの場合と同様に、分析結果画面３１２ｂに対して、画面の画像３００’と、受話部の画像３０１’と、カメラの画像３０２’と、図１５の領域３０３に対応する領域３０３’と、が重畳して表示されている。各領域の境界が表示されないため、変調ノイズの放射量の分布と、被測定物３０の各部品と、の関係をより容易に把握することが可能となる。
【0107】
（第２の実施形態の第１の変形例）
次に、第２の実施形態の第１の変形例について説明する。図１９は、第２の実施形態の第１の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
次に、第２の実施形態の第１の変形例について説明する。図１９は、第２の実施形態の第１の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【0108】
図１９に示される、第２の実施形態の第１の変形例に係る測定装置２ｂは、図４を用いて説明した第１の実施形態の第１の変形例と同様に、プローブ２０に送る送信信号Ｔｘと、プローブ２０により受信されプローブ２０から供給される信号とを分離する信号分離子として、図７のＤＵＰ１３の代わりに、サーキュレータ４０を用いている。その他の構成は、図７に示した測定装置２ａと同様であるので、ここでの説明を省略する。
【0109】
この図１９の構成においても、上述した図７の構成と同様に、ポジショナー６０を用いてプローブ２０を被測定物３０上における２次元平面内で移動させ、測定位置を順次変更する動作を自動制御により実行することができる。そのため、被測定物３０の表面における変調ノイズの放射量の分布を、容易に把握することが可能となる。
【0110】
（第２の実施形態の第２の変形例）
次に、第２の実施形態の第２の変形例について説明する。図２０は、第２の実施形態の第２の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
次に、第２の実施形態の第２の変形例について説明する。図２０は、第２の実施形態の第２の変形例に係る測定装置の一例の構成を示すブロック図である。
【0111】
図２０に示される、第２の実施形態の第２の変形例に係る測定装置２ｃは、図５を用いて説明した第１の実施形態の第２の変形例と同様に、送信信号Ｔｘの被測定物３０に対する印加をプローブ２０Ｔｘを用いて行い、被測定物３０から放射される変調ノイズの受信を、プローブ２０Ｔｘと異なるプローブ２０Ｒｘを用いて行う。
【0112】
図２０において、ポジショナー６１は、２つのプローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘをそれぞれ個別に移動可能とされている。例えば、図１１の構成では、水平移動部２１２、２１２ａおよび２１２ｂと、垂直移動部２１３と、を段違いで２組備えることが考えられる。図１４の例では、移動装置２００ｂを単に２台並べて設置することが考えられる。
【0113】
また、図２０の例では、受信用のプローブ２０Ｒｘから出力された信号が、ＢＰＦ１７を介してＢＥＦ１４に供給されている。ＢＰＦ１７は、例えば受信信号Ｒｘの周波数帯域ｆRxの高周波信号を通過させ、それ以外の周波数帯域の高周波信号を高減衰させるＢＰＦが用いられる。
【0114】
第２の実施形態の第２の変形例に係る測定装置２ｃは、プローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘそれぞれの位置を自動制御により個別に制御可能である。したがって、プローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘのそれぞれ被測定物３０の互い異なる位置を狙う場合に、より複雑な測定位置の移動を、より容易に実現することが可能である。例えば、プローブ２０Ｔｘの位置を固定とし、プローブ２０Ｒｘを移動させて測定範囲３１０の各測定位置での測定を行い、プローブ２０Ｒｘによる全ての測定位置での測定が終了した後、プローブ２０Ｔｘの位置を移動させて固定的とし、再びプローブ２０Ｒｘを移動させて測定範囲３１０の各測定位置での測定を行う、といった制御を、より容易に実現することが可能である。これにより、例えばプローブ２０Ｔｘによる狙い位置と、プローブ２０Ｒｘによる狙い位置と、の間における伝搬の特性のより詳細な調査を、容易に実行可能である。
【0115】
このように、個別に移動を制御可能な２つのプローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘを用いる場合、プローブ２０Ｔｘおよび２０Ｒｘのうち少なくとも一方のみを移動させて測定を行う方法も有効となる。
【0116】
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また他の効果があってもよい。
【0117】
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）
被測定物に対して高周波信号による第１の信号を印加する送信部と、
前記被測定物から発生する高周波信号による第２の信号を受信する受信部と、
前記受信部により受信された前記第２の信号を測定する測定部と、
を備え、
前記受信部は、
前記送信部が前記第１の信号を印加している間に前記第２の信号を受信する
測定装置。
（２）
１つのプローブを共通に用いて、前記送信部による前記第１の信号の印加と、前記受信部による前記第２の信号の受信と、を行う
前記（１）に記載の測定装置。
（３）
前記第１の信号と前記第２の信号とを分離する信号分離部をさらに備え、
前記第１の信号を前記信号分離部を介して前記プローブに供給し、
前記プローブから出力される前記第２の信号を前記信号分離部を介して前記受信部に供給する
前記（２）に記載の測定装置。
（４）
前記信号分離部は、ディプレクサである
前記（３）に記載の測定装置。
（５）
前記信号分離部は、サーキュレータである
前記（３）に記載の測定装置。
（６）
前記送信部による前記第１の信号の印加を行うプローブと、前記受信部による前記第２の信号の受信行うプローブと、が異なる
前記（１）に記載の測定装置。
（７）
前記受信部は、
前記送信部により前記被測定物に印加された前記第１の信号により該被測定物の内部で発生するノイズが変調された変調ノイズを含む前記第２の信号を受信する
前記（１）乃至（６）の何れかに記載の測定装置。
（８）
前記送信部が前記第１の信号を前記被測定物に印加する位置と、前記受信部が前記第２の信号を受信する位置と、のうち少なくとも一方を測定位置に移動させる移動制御部をさらに備え、
前記移動制御部は、
前記測定位置を前記被測定物上の２次元平面で順次変更する
前記（１）乃至（７）の何れかに記載の測定装置。
（９）
前記測定部は、
前記測定位置で測定された前記第２の信号を示す情報を、該測定位置と関連付けて表示部に表示させる
前記（８）に記載の測定装置。
（１０）
前記測定部は、
前記測定位置それぞれに関連付けられた前記第２の信号を示す情報それぞれを、前記２次元平面のマップにより、該測定位置それぞれに関連付けて前記表示部に表示させる
前記（９）に記載の測定装置。
（１１）
前記測定部は、
前記第２の信号を示す情報のそれぞれを、該第２の信号を示す情報に対応する濃度を表す画像を用いた前記マップにより前記表示部に表示させる
前記（１０）に記載の測定装置。
（１２）
前記測定部は、
前記測定位置それぞれに対応する前記２次元平面上における境界を示す情報を、前記マップに重畳させて前記表示部に表示させる
前記（１０）に記載の測定装置。
（１３）
前記測定部は、
前記被測定物の画像を前記マップに重畳させて前記表示部に表示させる
前記（１０）に記載の測定装置。
（１４）
送信部が被測定物に対して高周波信号による第１の信号を印加している間に、受信部が該被測定物から発生する高周波信号による第２の信号を受信し、受信した前記第２の信号を測定部が測定する
測定方法。
（１）
被測定物に対して高周波信号による第１の信号を印加する送信部と、
前記被測定物から発生する高周波信号による第２の信号を受信する受信部と、
前記受信部により受信された前記第２の信号を測定する測定部と、
を備え、
前記受信部は、
前記送信部が前記第１の信号を印加している間に前記第２の信号を受信する
測定装置。
（２）
１つのプローブを共通に用いて、前記送信部による前記第１の信号の印加と、前記受信部による前記第２の信号の受信と、を行う
前記（１）に記載の測定装置。
（３）
前記第１の信号と前記第２の信号とを分離する信号分離部をさらに備え、
前記第１の信号を前記信号分離部を介して前記プローブに供給し、
前記プローブから出力される前記第２の信号を前記信号分離部を介して前記受信部に供給する
前記（２）に記載の測定装置。
（４）
前記信号分離部は、ディプレクサである
前記（３）に記載の測定装置。
（５）
前記信号分離部は、サーキュレータである
前記（３）に記載の測定装置。
（６）
前記送信部による前記第１の信号の印加を行うプローブと、前記受信部による前記第２の信号の受信行うプローブと、が異なる
前記（１）に記載の測定装置。
（７）
前記受信部は、
前記送信部により前記被測定物に印加された前記第１の信号により該被測定物の内部で発生するノイズが変調された変調ノイズを含む前記第２の信号を受信する
前記（１）乃至（６）の何れかに記載の測定装置。
（８）
前記送信部が前記第１の信号を前記被測定物に印加する位置と、前記受信部が前記第２の信号を受信する位置と、のうち少なくとも一方を測定位置に移動させる移動制御部をさらに備え、
前記移動制御部は、
前記測定位置を前記被測定物上の２次元平面で順次変更する
前記（１）乃至（７）の何れかに記載の測定装置。
（９）
前記測定部は、
前記測定位置で測定された前記第２の信号を示す情報を、該測定位置と関連付けて表示部に表示させる
前記（８）に記載の測定装置。
（１０）
前記測定部は、
前記測定位置それぞれに関連付けられた前記第２の信号を示す情報それぞれを、前記２次元平面のマップにより、該測定位置それぞれに関連付けて前記表示部に表示させる
前記（９）に記載の測定装置。
（１１）
前記測定部は、
前記第２の信号を示す情報のそれぞれを、該第２の信号を示す情報に対応する濃度を表す画像を用いた前記マップにより前記表示部に表示させる
前記（１０）に記載の測定装置。
（１２）
前記測定部は、
前記測定位置それぞれに対応する前記２次元平面上における境界を示す情報を、前記マップに重畳させて前記表示部に表示させる
前記（１０）に記載の測定装置。
（１３）
前記測定部は、
前記被測定物の画像を前記マップに重畳させて前記表示部に表示させる
前記（１０）に記載の測定装置。
（１４）
送信部が被測定物に対して高周波信号による第１の信号を印加している間に、受信部が該被測定物から発生する高周波信号による第２の信号を受信し、受信した前記第２の信号を測定部が測定する
測定方法。
【符号の説明】
【0118】
１ａ，１ｂ，１ｃ，２ａ，２ｂ，２ｃ 測定装置
１０ ＳＧ
１１ ＰＡ
１２，１７ ＢＰＦ
１３ ＤＵＰ
１４ ＢＥＦ
１５ ＬＮＡ
１６ ＳＡ
２０，２０Ｔｘ，２０Ｒｘ プローブ
３０ 被測定物
４０ サーキュレータ
５０ ＰＣ
６０，６１ ポジショナー
２００ａ，２００ｂ 移動装置
３１０ 測定範囲
３１２ａ，３１２ｂ 分析結果画面
５３０ 位置制御部
５３１ 信号制御部
５３２ 測定部
５３２１ 取得部
５３２２ 分析部
５３２３ 表示情報生成部
１０ ＳＧ
１１ ＰＡ
１２，１７ ＢＰＦ
１３ ＤＵＰ
１４ ＢＥＦ
１５ ＬＮＡ
１６ ＳＡ
２０，２０Ｔｘ，２０Ｒｘ プローブ
３０ 被測定物
４０ サーキュレータ
５０ ＰＣ
６０，６１ ポジショナー
２００ａ，２００ｂ 移動装置
３１０ 測定範囲
３１２ａ，３１２ｂ 分析結果画面
５３０ 位置制御部
５３１ 信号制御部
５３２ 測定部
５３２１ 取得部
５３２２ 分析部
５３２３ 表示情報生成部
【図1A】
【図1B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図6C】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17A】
【図17B】
【図18A】
【図18B】
【図19】
【図20】