特許 7587415 気体排出装置、気体排出方法、および洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-12

(45)【発行日】2024-11-20

(54)【発明の名称】気体排出装置、気体排出方法、および洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   B01D 19/00 20060101AFI20241113BHJP

   B01D 24/00 20060101ALI20241113BHJP

   B01D 29/00 20060101ALI20241113BHJP

   B01D 29/11 20060101ALI20241113BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20241113BHJP

   B08B 9/032 20060101ALI20241113BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20241113BHJP

【ＦＩ】

B01D19/00 H

B01D29/00 A

B01D29/10 510C

B08B3/02 D

B08B9/032 321

H05K13/04 Z

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020216233

(22)【出願日】2020-12-25

(65)【公開番号】P2022101875

(43)【公開日】2022-07-07

【審査請求日】2023-09-06

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】三浦 和馬

(72)【発明者】

【氏名】下坂 賢司

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 嘉人

【審査官】萩原 周治

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－０２８３２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２０４９８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２１０９１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】実公昭４６－０３３０３２（ＪＰ，Ｙ１）

【文献】実開昭５９－１８４９０８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０２０－０８１９１３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０１Ｄ １９／００－１９／０４

Ｂ０１Ｄ ２４／００－３７／０４

Ｂ０８Ｂ １／００－１３／００

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／３８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ケースの内部に配設され、液体から不純物を除去する除去膜と、
前記ケースの下方に備えられる液体排出口を塞ぐ蓋部材と、
前記ケースの上方に備えられる気体排出口に連結され、前記ケースの内部から気体を排出する気体排出弁と、
を備え、
タンクに貯留された液体が前記ケースの内部に投入されるように構成されており、
前記気体排出弁が、前記タンクの上限液位より上方に配設される気体排出装置。

【請求項2】

前記ケースの内部に液体が投入された後に、前記気体排出弁が自動で開弁し、前記ケースの内部から液体を排出するためのポンプが作動する請求項１に記載の気体排出装置。

【請求項3】

前記気体排出口は前記タンクの上限液位より下方に位置しているが、
前記気体排出弁が、前記気体排出口から上方に向って延び出す配管を介して前記気体排出口に連結されることで、前記気体排出弁が、前記タンクの上限液位より上方に配設される請求項１または請求項２に記載の気体排出装置。

【請求項4】

ケースの内部に配設され液体から不純物を除去する除去膜と、前記ケースの下方に備えられる液体排出口を塞ぐ蓋部材と、前記ケースの上方に備えられる気体排出口に連結され前記ケースの内部から気体を排出する気体排出弁と、を備える気体排出装置の前記ケースの内部から気体を排出する気体排出方法であって、
前記ケースの内部にタンクに貯留された液体を投入する液体投入工程と、
前記液体投入工程において前記ケースの内部に液体が投入された後に、前記タンクの上限液位より上方に配設された前記気体排出弁を自動で開弁する開弁工程と、
前記開弁工程において前記気体排出弁が自動で開弁した後に、前記ケースの内部から液体を排出するためのポンプが作動するポンプ作動工程と、
を含む気体排出方法。

【請求項5】

ケースの内部に配設され、液体から不純物を除去する除去膜と、前記ケースの下方に備えられる液体排出口を塞ぐ蓋部材と、前記ケースの上方に備えられる気体排出口に連結され、前記ケースの内部から気体を排出する気体排出弁と、を有する気体排出装置と、
前記ケースの内部の液体を投入するためのタンクと、
を備え、
前記気体排出弁が、前記タンクの上限液位より上方に配設されており、
前記気体排出装置により不純物が除去された液体を用いて保持具を洗浄する洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体から不純物を除去する除去膜を備えた気体排出装置等に関する。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献には、液体から不純物を除去する除去膜により濾過された水を用いて洗浄を行う技術が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－０７４５６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

除去膜を有する装置の内部に気体が混入すると装置を適切に使用することができない虞がある。そこで、本明細書は、除去膜を有する装置の内部から気体を適切に排出することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するために、本明細書は、ケースの内部に配設され、液体から不純物を除去する除去膜と、前記ケースの下方に備えられる液体排出口を塞ぐ蓋部材と、前記ケースの上方に備えられる気体排出口に連結され、前記ケースの内部から気体を排出する気体排出弁と、を備え、タンクに貯留された液体が前記ケースの内部に投入されるように構成されており、前記気体排出弁が、前記タンクの上限液位より上方に配設される気体排出装置を開示する。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、気体排出弁によりケースの内部から気体を適切に排出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】電子部品装着装置を示す斜視図である。

【図2】吸着ノズルを示す斜視図である。

【図3】ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。

【図4】ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。

【図5】洗浄・乾燥機構を示す概略図である。

【図6】下部洗浄ヘッドを示す斜視図である。

【図7】洗浄・乾燥機構を示す概略図である。

【図8】ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。

【図9】メーカー推奨姿勢で配設された二次フィルタを示す断面図である。

【図10】メーカー推奨姿勢で配設された二次フィルタを含む洗浄・乾燥機構を示す概略図である。

【図11】メーカー推奨姿勢で配設された二次フィルタを含む洗浄・乾燥機構を示す概略図である。

【図12】反転姿勢で配設された二次フィルタを示す断面図である。

【図13】作業手順フローを示す図である。

【図14】作業手順フローを示す図である。

【図15】従来の二次フィルタを示す図である。

【図16】本発明の二次フィルタを示す図である。

【図17】作業手順フローを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本開示の好適な実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。

【0009】

図１に、電子部品装着装置１０を示す。先ず、電子部品装着装置１０の構成について説明する。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、装着機と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

【0010】

各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、移動装置と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム３２と、そのフレーム３２に上架されたビーム３４とによって構成されている。

【0011】

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。

【0012】

移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム３２上の任意の位置に移動させられる。

【0013】

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、装着ヘッド２６には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド２６に取り付けられる吸着ノズル６０の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。また、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が付されている。２Ｄコード７４には、個別情報として、吸着ノズル６０のＩＤ（identification）等が示されている。なお、２Ｄコード７４に代えて、バーコード又はＲＦタグがフランジ部６６の上面に付されてもよい。但し、ＲＦタグがフランジ部６６の上面に付される場合には、ＲＦタグから個別情報を取得するためのリーダが、後述するノズル管理装置（図３参照）８０の移載ヘッド（図４参照）１２０に取り付けられる。

【0014】

また、吸着ノズル６０は、負圧エア、正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２
６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。

【0015】

供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。

【0016】

ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収や、ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。

【0017】

次に、装着機１４による装着作業について説明する。装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が、作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。

【0018】

装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。

【0019】

次に、ノズル管理装置の構成について説明する。ノズル管理装置８０は、図３に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示し、各操作が行われるタッチパネル８６等が配設されている。

【0020】

ノズル管理装置８０は、図４に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、ノズル乾燥装置１００を有している。なお、図４は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。また、ノズル管理装置８０には、制御装置２００が接続されている。なお、制御装置２００の詳細な説明は、後述する。

【0021】

管理装置本体９０は、フレーム１０２と、そのフレーム１０２に上架されたビーム１０４とによって構成されている。フレーム１０２は、中空構造とされており、フレーム１０２内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム１０２の上面に露出している。

【0022】

パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム１０２の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム１０２の上面側に移動する。

【0023】

ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム１０４に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８と、エア供給装置１３０とが取り付けられている。

【0024】

保持チャック１２８は、２本の保持爪（図示省略）を有しており、それら２本の保持爪を接近させることで、吸着ノズル６０を胴体筒６４において保持し、２本の保持爪を離間させることで、保持した吸着ノズル６０を離脱する。また、ヘッド移動装置１２２は、移載ヘッド１２０をフレーム１０２の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム１０２の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３１が設けられており、固定ステージ１３１にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。

【0025】

ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とジョイント１４６とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム１０２の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。

【0026】

また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、上述したように、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。

【0027】

また、ジョイント１４６は、エア供給装置１３０の下面に配設され、そのエア供給装置１３０からエアが供給される。そして、エア供給装置１３０からジョイント１４６に供給されるエアを用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、ジョイント１４６が、ヘッド移動装置１２２の作動により、後述する洗浄パレット１５８に載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、ジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１３０からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。

【0028】

なお、フレーム１０２の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記
検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。

【0029】

ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図３で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。

【0030】

ノズル洗浄装置９８により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、露出位置に移動している洗浄パレット１５８に移載される。そして、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動する。洗浄・乾燥機構１５０は、図５に示すように、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２とハウジング１７４と循環装置１７６とを含む。

【0031】

上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２とは、ハウジング１７４内の上下方向において、互いに向かい合うように配置されている。そして、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２との間を、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により移動する。上部洗浄ユニット１７０は、上部洗浄ヘッド１７８を有しており、上部洗浄ユニット１７０の下面において、上部洗浄ヘッド１７８をスライド可能に保持している。なお、上部洗浄ヘッド１７８の下面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されている。また、下部洗浄ユニット１７２は、下部洗浄ヘッド１８０を有しており、下部洗浄ユニット１７２の上面において、下部洗浄ヘッド１８０をスライド可能に保持している。なお、下部洗浄ヘッド１８０の上面には、図６に示すように、複数の噴射穴１８１が形成されている。

【0032】

また、ハウジング１７４の底面は、貯水タンク１８２として機能しており、ハウジング１７４の底面に貯留された洗浄水が、循環装置１７６によって循環され、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユニット１７２の各洗浄ヘッド１７８，１８０に供給される。詳しくは、循環装置１７６は、図７に示すように、排水路１８４と一次フィルタ１８６と連結路１８７と二次フィルタ１８８と加圧ポンプ１９０と洗浄ヘッドバルブ１９１と給水路１９２とを含む。ハウジング１７４の貯水タンク１８２には、洗浄水が貯留されており、その貯水タンク１８２の底面に近い側壁に、排水路１８４の一端が開口している。排水路１８４は、概して水平方向に向かって延び出しており、排水路１８４の他端に一次フィルタ１８６が配設されている。これにより、貯水タンク１８２に貯留されている洗浄水が、自然落下して排水路１８４に流れ込み、一次フィルタ１８６によって、不純物が取り除かれる。

【0033】

その一次フィルタ１８６の下流側には、連結路１８７の一端が連結されており、連結路１８７は、斜め下方に向かって延び出している。そして、連結路１８７の他端に二次フィルタ１８８が配設されている。これにより、一次フィルタ１８６から排出された洗浄水が、自然落下して連結路１８７に流れ込み、二次フィルタ１８８によって、再度、不純物が取り除かれる。そして、二次フィルタ１８８の下流側に、加圧ポンプ１９０が配設されており、その加圧ポンプ１９０には、洗浄ヘッドバルブ１９１を介して、給水路１９２が接続されている。このため、二次フィルタ１８８から洗浄水が加圧ポンプ１９０に流れ込み、加圧ポンプ１９０によって加圧された洗浄水が、洗浄ヘッドバルブ１９１を介して、給水路１９２に送り出される。その給水路１９２は、上部洗浄ユニット１７０と下部洗浄ユ
ニット１７２とに接続されており、各洗浄ヘッド１７８，１８０から洗浄水が洗浄パレット１５８に向かって噴出される。なお、各洗浄ヘッド１７８，１８０から洗浄水が噴出される際には、各洗浄ヘッド１７８，１８０は、電磁モータ（図８参照）１９６の作動によりスライドする。これにより、洗浄パレット１５８に載置されている複数の吸着ノズル６０が洗浄される。

【0034】

また、図５に示すように、下部洗浄ユニット１７２と貯水タンク１８２との間には、仕切板１９８が配設されている。仕切板１９８は、傾斜した状態で配設されている。このため、各洗浄ヘッド１７８，１８０から噴出された洗浄水は、仕切板１９８の上に落ちる。そして、洗浄水は、傾斜した状態で配設された仕切板１９８の上を流れ、貯水タンク１８２に再貯留される。このように、洗浄・乾燥機構１５０では、洗浄水の循環が行われている。

【0035】

また、洗浄・乾燥機構１５０には、上部洗浄ユニット１７０および、下部洗浄ユニット１７２の隣に、複数の送風管（図示省略）が配設されている。複数の送風管は、洗浄パレット移動機構１５２により移動される洗浄パレット１５８の上方及び下方に配設されている。これにより、各洗浄ユニット１７０，１７２によって洗浄された洗浄パレット１５８に向かって風が吹きこまれ、洗浄パレット１５８に載置されている吸着ノズル６０が乾燥する。

【0036】

ノズル乾燥装置１００は、吸着ノズル６０の乾燥を行う装置であり、図１に示すように、露出位置に位置する洗浄パレット１５８の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８では、乾燥も行われるが、吸着ノズル６０の内部に水分が残存する場合がある。特に、吸着ノズル６０では、胴体筒６４と吸着管６８とが摺動するため、胴体筒６４と吸着管６８との摺動面に、水分が残存する場合がある。このため、ノズル乾燥装置１００には、上面に開口する乾燥庫（図示省略）が形成されており、洗浄の完了した吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その吸着ノズル６０が乾燥庫に挿入される。乾燥庫１６０の内部には、エアブロー装置（図８参照）１９９が配設されており、乾燥庫に挿入された吸着ノズル６０に、エアブロー装置１９９によりエアが吹き付けられる。これにより、胴体筒６４と吸着管６８との摺動面の水分を除去し、吸着ノズル６０を適切に乾燥することができる。

【0037】

また、制御装置２００は、図８に示すように、コントローラ２０２と、複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、エア供給装置１３０、ノズル検査装置９６、加圧ポンプ１９０、洗浄ヘッドバルブ１９１、電磁モータ１９６、エアブロー装置１９９に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。

【0038】

ノズル管理装置８０では、上述した構成によって、吸着ノズル６０を適切に管理するべく、吸着ノズル６０の洗浄などが行われる。詳しくは、作業者は、洗浄対象の吸着ノズル６０が収容されているノズルトレイ７６を、ノズル管理装置８０の固定ステージ１３１に載置する。ノズル管理装置８０では、固定ステージ１３１にノズルトレイ７６が載置されると、載置されたノズルトレイ７６の上方に、カメラ１２６が、ヘッド移動装置１２２の作動により移動し、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０を撮像する。この際、コントローラ２０２は、その撮像により得られた撮像データに基づいて、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０のＩＤを取得する。そして、コントローラ２０２は、取得した吸着ノズル６０のＩＤを利用して、ノズル管理装置８０において吸着ノズル６０を管理する。

【0039】

そして、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０の撮像により、吸着ノズル６０のＩＤが取得されると、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズル洗浄装置９８の洗浄パレット１５８に移載される。この際、洗浄パレット１５８は、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動している。そして、洗浄パレット１５８への吸着ノズル６０の移載が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動し、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動される。この際、洗浄パレット１５８に収容されている吸着ノズル６０が保持チャック１２８により保持されて、ノズル乾燥装置１００において更に乾燥される。そして、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。

【0040】

このように、ノズル管理装置８０では、ノズル洗浄装置９８において洗浄された吸着ノズル６０がノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻されて、パレット収容装置９２において保管、若しくは、電子部品装着装置１０において部品の装着作業に用いられる。なお、ノズル洗浄装置９８では、吸着ノズル６０の洗浄の前準備として、洗浄・乾燥機構１５０の貯水タンク１８２に洗浄水が貯留されて、その洗浄水を循環装置１７６により循環させる必要がある。しかしながら、上述した循環装置１７６では、二次フィルタ１８８が本来の配設姿勢と異なる姿勢で配設されているために、洗浄水を適切に循環させることができない虞がある。

【0041】

詳しくは、二次フィルタ１８８は、図９に示すように、ケース２１０と除去膜２１２とにより構成されている。ケース２１０は、概して円柱形状とされており、ケース２１０の内部は空洞とされている。また、除去膜２１２は、概して円筒形状とされており、除去膜２１２の外径は、ケース２１０の内径の半分程度とされている。そして、除去膜２１２がケース２１０の内部に同軸的に配設されている。これにより、ケース２１０の内部が、ケース２１０の内壁面と除去膜２１２の外壁面とに囲まれる第１区画室２１６と、除去膜２１２の内壁面に囲まれる第２区画室２１８とに区画される。

【0042】

また、ケース２１０の一方の端面には、第２区画室２１８に連通し、第２区画室２１８から気体を排出するための気体排出穴２２０が形成されており、その気体排出穴２２０にはネジ２２２が嵌め込まれている。なお、作業者がネジ２２２を締めることで、気体排出穴２２０が密閉され、作業者がネジ２２２を緩めて取り外すことで、気体排出穴２２０が開放する。また、ケース２１０の他方の端面には、第２区画室２１８に連通し、第２区画室２１８から液体を排出するための液体排出穴２２６が形成されており、その液体排出穴２２６にはネジ２２８が嵌め込まれている。なお、作業者がネジ２２８を締めることで、液体排出穴２２６が密閉され、作業者がネジ２２８を緩めて取り外すことで、液体排出穴２２６が開放する。

【0043】

また、ケース２１０の壁面には、液体排出穴２２６が形成されているケース２１０の端面に近い箇所において第１区画室２１６に連通する流入穴２３０と、液体排出穴２２６が形成されているケース２１０の端面に近い箇所において第２区画室２１８に連通する流出穴２３２とが形成されている。このため、流入穴２３０から液体をハウジング内に流入させることで、第１区画室２１６に液体が貯まる（矢印２３４）。そして、第１区画室２１６に貯まった液体が除去膜２１２を介して第２区画室２１８に流入する（矢印２３６）。この際、除去膜２１２によって不純物が取り除かれる。そして、第２区画室２１８に流入した液体が流出穴２３２から二次フィルタ１８８の外部に流出する（矢印２３８）。なお、二次フィルタ１８８の使用時において、通常、ネジ２２２，２２８は締められており、
気体排出穴２２０及び液体排出穴２２６は密閉されている。

【0044】

このような構造の二次フィルタ１８８は、本来、図９に示すように、気体排出穴２２０が下方を向くとともに、液体排出穴２２６が上方を向く姿勢で配設される。つまり、二次フィルタ１８８のメーカーは、気体排出穴２２０が下方を向くとともに、液体排出穴２２６が上方を向く姿勢で二次フィルタ１８８を配設するように推奨している。そして、二次フィルタ１８８が図９に示す姿勢（以下、「メーカー推奨姿勢」と記載する）で配設された場合には、作業者がネジ２２２を緩めて気体排出穴２２０から取り外すことで、第２区画室２１８から液体を排出することができる。また、作業者がネジ２２８を緩めて液体排出穴２２６から取り外すことで、第２区画室２１８から気体を排出することができる。

【0045】

しかしながら、図７での二次フィルタ１８８の配設位置にメーカー推奨姿勢で二次フィルタ１８８を配置すると、図１０に示すように、一次フィルタ１８６と二次フィルタ１８８の流入穴２３０とが略同じ高さとなり、一次フィルタ１８６から二次フィルタ１８８に洗浄水が自然落下しない。そこで、一次フィルタ１８６から二次フィルタ１８８に洗浄水を自然落下させるために、図１１に示すように、二次フィルタ１８８の流入穴２３０が一次フィルタ１８６より下方に位置するように、二次フィルタ１８８をメーカー推奨姿勢で配設する必要がある。つまり、二次フィルタ１８８が従来、配設されていた位置（図７での二次フィルタ１８８の配設位置）より、下方に二次フィルタ１８８を配設する必要がある。しかし、ノズル管理装置８０の内部には余剰スペースが少ないため、図１１に示すように、二次フィルタ１８８の流入穴２３０が一次フィルタ１８６より下方に位置するように、二次フィルタ１８８をメーカー推奨姿勢で配置することはできない。

【0046】

このようなことに鑑みて、循環装置１７６では、図７に示すように、メーカー推奨姿勢を上下方向に反転させた姿勢（以下、「反転姿勢」と記載する）で二次フィルタ１８８が配設されており、二次フィルタ１８８の流入穴２３０を一次フィルタ１８６より下方に位置させている。つまり、循環装置１７６では、図１２に示すように、気体排出穴２２０が上方を向くとともに、液体排出穴２２６が下方を向く反転姿勢で配設される。このように、二次フィルタ１８８を反転姿勢で配設することで、余剰スペースの少ないノズル管理装置８０の内部において、二次フィルタ１８８の流入穴２３０が一次フィルタ１８６より下方に位置するように、二次フィルタ１８８を配設することができる。

【0047】

しかしながら、二次フィルタ１８８を反転姿勢で配設すると、液体排出穴２２６が下方を向くため、循環装置１７６で洗浄水を循環させている際に、液体排出穴２２６から気体を排出することができない。つまり、循環装置１７６で洗浄水を循環させている際に、二次フィルタ１８８の内部には洗浄水が入っているため、二次フィルタ１８８のケース２１０の下端面に開口する液体排出穴２２６から気体を排出することができない。このため、二次フィルタ１８８の貯水タンク１８２に新規に洗浄水が投入される際，貯水タンク１８２の洗浄水が交換される際に、洗浄水を適切に循環させることができない虞がある。

【0048】

詳しくは、図１３に示す作業手順フローを用いて説明する。まず、作業者は、ノズル管理装置８０の内部に配置されている循環装置１７６を目視することができるように、ノズル管理装置８０のサイドカバーを取り外す（Ｓ１０）。また、ノズル管理装置８０の壁面には、給水口（図７参照）２５０が形成されており、その給水口２５０は給水路（図７参照）２５２を経由して、貯水タンク１８２に接続されている。このため、作業者が給水口２５０に水を投入する（Ｓ１２）。これにより、洗浄水が貯水タンク１８２に貯まり、貯水タンク１８２から、一次フィルタ１８６を経由して、洗浄水が二次フィルタ１８８に自然落下する。そして、二次フィルタ１８８の流出穴２３２から洗浄水が流出し、加圧ポンプ１９０にまで至る。また、作業者は、給水口２５０に水を投入した後に、給水コマンドのスタートボタンを操作する（Ｓ１４）。この操作により、洗浄ヘッドバルブ１９１がコ
ントローラ２０２からの指令により、つまり、自動で開弁し、加圧ポンプ１９０も自動で作動する（Ｓ１６）。

【0049】

このように、洗浄ヘッドバルブ１９１が開弁し、加圧ポンプ１９０が作動することで、加圧ポンプ１９０まで洗浄水が流れ込んでいる場合には、加圧ポンプ１９０により洗浄水が加圧される。そして、加圧された洗浄水が、開弁している洗浄ヘッドバルブ１９１を通って、給水路１９２を経由して、上部洗浄ユニット１７０及び下部洗浄ユニット１７２に流れる。このため、洗浄ヘッドバルブ１９１が開弁し、加圧ポンプ１９０が作動してから所定時間経過後に、洗浄ヘッドバルブ１９１がコントローラ２０２からの指令により、つまり、自動で閉弁し、加圧ポンプ１９０が自動で停止する（Ｓ１８）。そして、作業者が目視で循環装置１７６において洗浄水が循環しているか否かを判断する（Ｓ２０）。この際、循環装置１７６において洗浄水が循環している場合（Ｓ２０：ＹＥＳ）に、作業者はノズル管理装置８０にサイドカバーを取り付ける（Ｓ２２）。これにより、循環装置１７６において洗浄水が循環し、洗浄・乾燥機構１５０により吸着ノズル６０の洗浄を行うことができる。

【0050】

一方で、貯水タンク１８２から、一次フィルタ１８６を経由して、二次フィルタ１８８に自然落下した洗浄水が、加圧ポンプ１９０にまで至っていない場合等には、所定時間、洗浄ヘッドバルブ１９１が開弁し、加圧ポンプ１９０が作動しても洗浄水が循環装置１７６において循環しない場合がある（Ｓ２０：ＮＯ）。このような場合には、作業者が、再度、給水コマンドのスタートボタンを操作し、Ｓ１４～Ｓ２０の処理が繰り返される。しかしながら、反転姿勢で配設された二次フィルタ１８８では、液体排出穴２２６から気体、つまり、エアを排出することができないため、二次フィルタ１８８の内部にエアが入り込んでいる場合には、Ｓ１４～Ｓ２０の処理が複数回、実行される場合がある。また、エアを含んだ洗浄水が加圧ポンプ１９０により加圧されて、洗浄ヘッドバルブ１９１及び給水路１９２を経由して各洗浄ユニット１７０，１７２まで流れ込んでも、図６に示すように、各洗浄ユニット１７０，１７２の噴射穴１８１は小さいため、エアを含んだ洗浄水が噴射穴から噴射され難い。このため、Ｓ１４～Ｓ２０の処理が複数回、実行される場合がある。

【0051】

このため、循環装置１７６では、反転姿勢で配設されている二次フィルタ１８８において、気体排出穴２２０からのエア抜き作業が作業者の手動により実行される。詳しくは、図１４に示す作業手順フローを用いて説明する。まず、作業者は、ノズル管理装置８０の内部に配置されている循環装置１７６を目視することができるように、ノズル管理装置８０のサイドカバーを取り外し（Ｓ２０）、給水口２５０に水を投入する（Ｓ２２）。これにより、洗浄水が貯水タンク１８２に貯まり、貯水タンク１８２から、一次フィルタ１８６を経由して、洗浄水が二次フィルタ１８８に自然落下する。そして、作業者は、二次フィルタ１８８において気体排出穴２２０からのエア抜き作業を手動で行う（Ｓ３４）。つまり、作業者は、二次フィルタ１８８のネジ２２２を緩めて気体排出穴２２０から取り外す。これにより、二次フィルタ１８８の内部に洗浄水が流れ込んでいる状態であっても、二次フィルタ１８８の内部からエアを抜くことができる。

【0052】

ただし、洗浄水が貯水タンク１８２から自然落下して、二次フィルタ１８８の内部の全体に洗浄水が流れ込むように、二次フィルタ１８８の全体が、貯水タンク１８２の上限水位より下方に位置するように、二次フィルタ１８８は配設されている。詳しくは、給水口２５０から貯水タンク１８２に投入された洗浄水は、貯水タンク１８２の所定の高さに至ると、排水路（図７参照）２５６から排出される。このため、貯水タンク１８２には、その所定の高さまでしか洗浄水を貯留することができず、その所定の高さが貯水タンク１８２での洗浄水の限界水位（図１５参照）２６０となる。そして、貯水タンク１８２に貯まった洗浄水が、自然落下して、二次フィルタ１８８の内部の全体に洗浄水が流れ込むよう
に、図１５に示すように、二次フィルタ１８８の全体が、貯水タンク１８２の上限水位２６０より下方に位置するように、二次フィルタ１８８は配設されている。つまり、二次フィルタ１８８の気体排出穴２２０は貯水タンク１８２の上限水位２６０より下方に位置している。

【0053】

このため、作業者が二次フィルタ１８８のネジ２２２を緩めて気体排出穴２２０から取り外した状態で、給水口２５０から貯水タンク１８２に水を投入し続けると、気体排出穴２２０から水が溢れ出てしまう。そこで、作業者は、貯水タンク１８２の貯留された洗浄水の水位を確認しながら、給水口２５０から貯水タンク１８２に水を投入する必要がある。詳しくは、洗浄・乾燥機構１５０には、貯水タンク１８２の貯留された洗浄水の水位を表す水位メータ（図７参照）２５８が設けられている。そして、その水位メータ２５８には、二次フィルタ１８８の気体排出穴２２０の上端の高さに相当する水位（以下、「排出穴上端水位」と記載する）（図１５参照）２６６が記されている。このため、作業者は、水位メータ２５８を確認しながら、給水口２５０から貯水タンク１８２に水を投入する。つまり、作業者は、二次フィルタ１８８のネジ２２２を緩めて気体排出穴２２０から取り外した状態で、給水口２５０から所定量の水を投入し、水位メータ２５８を確認する。この際、水位メータ２５８が排出穴上端水位２６６まで至っていなければ、再度、作業者は、給水口２５０から所定量の水を投入する。そして、作業者は、再度、水位メータ２５８を確認する。このように、作業者が、給水口２５０からの所定量の水の投入と、水位メータ２５８の確認とを繰り返して実行し、水位メータ２５８が排出穴上端水位２６６の直前まで上昇したら、作業者は、ネジ２２２を気体排出穴２２０に嵌め込む。これにより、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業が完了する。

【0054】

また、別の手法として、二人の作業者でエア抜き作業を行うこともできる。つまり、一人の作業者が給水口２５０から貯水タンク１８２に継続的に水を投入し、もう一人の作業者が、水位メータ２５８を確認する。そして、水位メータ２５８を確認している作業者が、水位メータ２５８が排出穴上端水位２６６まで上昇する直前に、その旨を、給水している作業者に伝える。これにより、作業者は給水を止めて、ネジ２２２を気体排出穴２２０に嵌め込む。これにより、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業が完了する。

【0055】

また、別の手法として、気体排出穴２２０から洗浄水が溢れ出ることを前提としてエア抜き作業を行うこともできる。つまり、作業者が、ウェス等を用意して、気体排出穴２２０の周囲にウェスを置いておく。そして、作業者は、気体排出穴２２０を目視しながら、給水口２５０から貯水タンク１８２に継続的に水を投入する。この際、気体排出穴２２０から洗浄水が溢れ出たら、作業者は、給水を止めて、ネジ２２２を気体排出穴２２０に嵌め込む。これにより、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業が完了する。なお、作業者は、気体排出穴２２０から溢れ出た洗浄水をウェスで拭き取る必要がある。

【0056】

このような手法により、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業が完了すると、作業者は、給水コマンドのスタートボタンを操作する（Ｓ３６）。この操作により、洗浄ヘッドバルブ１９１がコントローラ２０２からの指令により開弁し、加圧ポンプ１９０も作動する（Ｓ３８）。そして、洗浄ヘッドバルブ１９１が開弁し、加圧ポンプ１９０が作動してから所定時間経過後に、洗浄ヘッドバルブ１９１がコントローラ２０２からの指令により閉弁し、加圧ポンプ１９０も停止する（Ｓ４０）。このように、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業が実行された後に、洗浄ヘッドバルブ１９１が開弁し、加圧ポンプ１９０も作動することで、循環装置１７６において洗浄水が適切に循環する。このため、作業者はノズル管理装置８０にサイドカバーを取り付けて（Ｓ４２）、循環装置１７６における循環作業が完了する。

【0057】

このように、作業者が手動で二次フィルタ１８８からのエア抜き作業を行うことで、循
環装置１７６において適切に洗浄水を循環させることができる。しかしながら、作業者による手動でのエア抜き作業は、種々の問題がある。つまり、作業者による給水と水位メータ２５８の確認との繰り返し作業は、作業者の負担が大きい。また、二人で給水と水位メータ２５８の確認とを分担した場合には、作業者が二人必要となり、他の作業が停止する虞がある。また、気体排出穴２２０から洗浄水が溢れ出ることを前提としたエア抜き作業では、溢れ出た水の拭き取り作業等、作業者の負担が大きい。また、ノズル管理装置８０の内部で水が溢れ出ることは、当然、好ましくない。さらに言えば、気体排出穴２２０から取り外したネジ２２２を作業者が手動で気体排出穴２２０に嵌め込む必要があり、ネジの閉め忘れやネジの緩み等にも気を付ける必要がある。

【0058】

このようなことに鑑みて、気体排出穴２２０に、ネジ２２２の代わりに、コントローラ２０２の指令により自動で開閉するエア抜きバルブが連結され、そのエア抜きバルブは、配管を利用して、貯水タンク１８２の上限水位２６０より上方に位置するように配置される。具体的には、図１６に示すように、二次フィルタ１８８の気体排出穴２２０に、配管２７０の一端が嵌め込まれ、その配管２７０の他端は、貯水タンク１８２の上限水位２６０の上方にまで延び出している。そして、その配管２７０の他端にエア抜きバルブ２７２が取り付けられている。なお、エア抜きバルブ２７２はコントローラ２０２に接続されており、コントローラ２０２の指令により自動で開閉する。このように、エア抜きバルブ２７２が気体排出穴２２０に連結されることで、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業がエア抜きバルブ２７２により自動で実行される。

【0059】

詳しくは、図１７に示す作業手順フローを用いて説明する。まず、作業者は、給水口２５０に水を投入する（Ｓ５０）。これにより、洗浄水が貯水タンク１８２に貯まり、貯水タンク１８２から、一次フィルタ１８６を経由して、洗浄水が二次フィルタ１８８に自然落下する。そして、作業者は、給水コマンドのスタートボタンを操作する（Ｓ５２）。この操作により、二次フィルタ１８８に配設されたエア抜きバルブ２７２が、コントローラ２０２からの指令により開弁、つまり、自動で開弁する（Ｓ５４）。この際、貯水タンク１８２には継続的に水が投入されており、貯水タンク１８２から継続的に二次フィルタ１８８の内部に洗浄水が流れ込んでいるため、二次フィルタ１８８の内部で洗浄水が順次、貯留される。つまり、二次フィルタ１８８の内部において、洗浄水の水位が順次、上昇する。このように、二次フィルタ１８８の内部において、洗浄水の水位が順次、上昇する際に、気体排出穴２２０からエアが抜け出して、そのエアが配管２７０を経由して、開弁しているエア抜きバルブ２７２から排出される。また、エア抜きバルブ２７２は、上述したように、貯水タンク１８２の上限水位２６０より上方に位置しているため、貯水タンク１８２に上限水位２６０まで洗浄水が貯留されても、エア抜きバルブ２７２から洗浄水が溢れ出ることはない。このため、エア抜きバルブ２７２を開弁した状態で、貯水タンク１８２に継続的に水を投入することができる。

【0060】

そして、所定時間、エア抜きバルブ２７２を開弁した状態で、貯水タンク１８２に継続的に水が投入されることで、二次フィルタ１８８の内部において洗浄水が流出穴２３２に至るまで充填される。この際、二次フィルタ１８８の内部のエアが全て二次フィルタ１８８の外部に排出されることで、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業が完了する。このため、エア抜きバルブ２７２が開弁してから所定時間経過した後に、エア抜きバルブ２７２が、コントローラ２０２からの指令により閉弁、つまり、自動で閉弁する（Ｓ５６）。続いて、洗浄ヘッドバルブ１９１がコントローラ２０２からの指令により開弁し、加圧ポンプ１９０も作動する（Ｓ５８）。そして、洗浄ヘッドバルブ１９１が開弁し、加圧ポンプ１９０が作動してから所定時間経過後に、洗浄ヘッドバルブ１９１がコントローラ２０２からの指令により閉弁し、加圧ポンプ１９０も停止する（Ｓ６０）。これにより、循環装置１７６における循環作業が完了する。なお、循環装置１７６における循環作業が完了した後に、作業者は給水口２５０からの水の投入を停止する。

【0061】

このように、二次フィルタ１８８におけるエア抜き作業がエア抜きバルブ２７２により自動で実行されることで、作業者の手間を省くとともに、気体排出穴２２０から洗浄水が溢れ出ることを防止することが可能となる。また、ネジの閉め忘れ、ネジの緩み等も気を付ける必要がなくなる。さらに言えば、作業者が循環装置１７６を目視で確認する必要もないため、ノズル管理装置８０のサイドカバーの着脱も行う必要もなくなる。

【0062】

なお、吸着ノズル６０は、保持具の一例である。洗浄・乾燥機構１５０は、洗浄装置の一例である。貯水タンク１８２は、タンクの一例である。二次フィルタ１８８は、気体排出装置の一例である。加圧ポンプ１９０は、ポンプの一例である。ケース２１０は、ケースの一例である。除去膜２１２は、除去膜の一例である。気体排出穴２２０は、気体排出口の一例である。液体排出穴２２６は、液体排出口の一例である。ネジ２２８は、蓋部材の一例である。配管２７０は、配管の一例である。エア抜きバルブ２７２は、気体排出弁の一例である。また、Ｓ５０の処理を実行する工程が、液体投入工程の一例である。Ｓ５４の処理を実行する工程が、開弁工程の一例である。Ｓ５８の処理を実行する工程が、ポンプ作動工程の一例である。

【0063】

以上、上記した本実施形態では、以下の効果を奏する。

【0064】

循環装置１７６の二次フィルタ１８８では、ケース２１０の内部に除去膜２１２が配設されており、そのハウジングの上端面に、液体を排出するための気体排出穴２２０が形成され、ハウジングの下端面に、気体を排出するための液体排出穴２２６が形成されている。そして、液体排出穴２２６はネジ２２８により塞がれており、気体排出穴２２０には、気体を排出するためのエア抜きバルブ２７２が配設されている。これにより、気体排出穴２２０から好適に気体を排出することができる。

【0065】

また、二次フィルタ１８８では、ケース２１０に洗浄水が投入された後に、エア抜きバルブ２７２が自動で開弁し、ハウジングの内部から洗浄水を排出するための加圧ポンプ１９０が作動する。これにより、自動でエア抜き作業を行うとともに、循環装置１７６において好適に洗浄水を循環させることができる。

【0066】

また、循環装置１７６では、貯水タンク１８２に貯水された洗浄水が二次フィルタ１８８のケース２１０の内部に投入されるように構成されており、その貯水タンク１８２の上限水位２６０より上方にエア抜きバルブ２７２が配設されている。これにより、エア抜きバルブ２７２から洗浄水が溢れ出ることを防止することができる。

【0067】

また、二次フィルタ１８８の気体排出穴２２０は貯水タンク１８２の上限水位２６０より下方に位置しているが、エア抜きバルブ２７２は、気体排出穴２２０から上方に向って延び出す配管２７０を介して気体排出穴２２０に連結されることで、貯水タンク１８２の上限水位２６０より上方に配設されている。これにより、適切にエア抜きバルブ２７２を貯水タンク１８２の上限水位２６０より上方に配設することができる。

【0068】

尚、本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施形態では、二次フィルタ１８８が洗浄・乾燥機構１５０の循環装置１７６において用いられているが、液体から不純物を除去する目的であれば、種々の装置，機構において用いることができる。

【0069】

また、上記実施例では、ケース２１０に洗浄水が投入された後に、エア抜きバルブ２７２が自動で開弁しているが、ケース２１０に洗浄水が投入される前に、エア抜きバルブ２
７２が自動で開弁してもよい。また、上記実施例では、エア抜きバルブ２７２が自動で開弁してから、加圧ポンプ１９０が作動しているが、エア抜きバルブ２７２が自動で開弁する前に、加圧ポンプ１９０が作動してもよい。

【0070】

また、上記実施例では、エア抜きバルブ２７２が配管２７０を介して気体排出穴２２０に連結されているが、エア抜きバルブ２７２が直接、気体排出穴２２０に連結されてもよい。このような場合には、エア抜きバルブ２７２が貯水タンク１８２の上限水位２６０より上方に位置するように、二次フィルタ１８８を上方にずらして配設することが望ましい。

【0071】

また、上記実施例では、コントローラ２０２からの指令により自動で開閉するエア抜きバルブ２７２が採用されているが、手動で開閉するエア抜きバルブが採用されてもよい。

【符号の説明】

【0072】

６０：吸着ノズル（保持具） １５０：洗浄・乾燥機構（洗浄装置） １８２：貯水タンク（タンク） １８８：二次フィルタ（フィルタ） １９０：加圧ポンプ（ポンプ） ２１０：ケース ２１２：除去膜 ２２０：気体排出穴（液体排出口）
２２６：気体排出穴（気体排出口） ２２８：ネジ（蓋部材） ２７０：配管 ２７２：エア抜きバルブ（気体排出弁）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】