特許 7587738 熱処理炉

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-13

(45)【発行日】2024-11-21

(54)【発明の名称】熱処理炉

(51)【国際特許分類】

   F27B 5/06 20060101AFI20241114BHJP

   F27D 17/00 20060101ALI20241114BHJP

   B01D 53/44 20060101ALI20241114BHJP

   B01D 53/74 20060101ALI20241114BHJP

   B01D 8/00 20060101ALI20241114BHJP

【ＦＩ】

F27B5/06

F27D17/00 104G

B01D53/44 ZAB

B01D53/44 130

B01D53/74

B01D8/00 Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2021084482

(22)【出願日】2021-05-19

(65)【公開番号】P2022178004

(43)【公開日】2022-12-02

【審査請求日】2023-09-11

(73)【特許権者】

【識別番号】591159619

【氏名又は名称】島津産機システムズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100129702

【弁理士】

【氏名又は名称】上村 喜永

(74)【代理人】

【識別番号】100094248

【弁理士】

【氏名又は名称】楠本 高義

(72)【発明者】

【氏名】森元 陽介

【審査官】柏原 郁昭

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６３－０５１９０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】登録実用新案第３２２５８５１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平０７－３１８２６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－３１７２０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２７４５６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０９４７０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０２７５５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２７Ｂ ５／０６

Ｆ２７Ｄ １７／００

Ｂ０１Ｄ ５３／４４

Ｂ０１Ｄ ５３／７４

Ｂ０１Ｄ ８／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部に収容された被処理物を加熱する炉本体と、
前記被処理物から放出される放出ガスを排出するガス排出流路と、
前記ガス排出流路上に設けられ、前記放出ガスの成分の少なくとも一部を液化又は固化させるトラップと、
前記トラップに接続されて、該トラップから流れ出る前記放出ガスの液化成分を回収する回収ボックスと、
前記炉本体、ガス排出流路、トラップ、及び、回収ボックスを内部に収容する筐体と、
前記筐体の前面に相当する壁体に対向して設けられ、前記筐体の前面に相当する壁体を閉鎖または露出させるための開閉扉と、
を備え、
前記壁体のうちの前記トラップの少なくとも一部及び前記回収ボックスの少なくとも一部に対向する部分には、前記開閉扉が開けられた状態において前記トラップの少なくとも一部及び前記回収ボックスの少なくとも一部を露出させて、これらを前面から取り出すための開口が形成されていることを特徴とする熱処理炉。

【請求項2】

前記トラップが長尺状をなし、その長手方向が鉛直となるように配置されている請求項１に記載の熱処理炉。

【請求項3】

前記トラップが、前記液化成分が外部に流出する液体流出口を下側に具備し、
前記回収ボックスが、前記液体流出口の下側に着脱可能に連結され、前記トラップ及び前記回収ボックスが鉛直方向に並ぶように構成された請求項１または２に記載の熱処理炉。

【請求項4】

内部に収容された被処理物を加熱する炉本体と、
前記被処理物から放出される放出ガスを排出するガス排出流路と、
前記ガス排出流路上に設けられ、前記放出ガスの成分の少なくとも一部を液化又は固化させるトラップと、
前記トラップに接続されて、該トラップから流れ出る前記放出ガスの液化成分を回収する回収ボックスと、
前記炉本体、ガス排出流路、トラップ、及び、回収ボックスを内部に収容する筐体と、
を備え、
前記筐体の収容空間を形成する壁体に、前記トラップの少なくとも一部及び前記回収ボックスの少なくとも一部を露出させる開口が形成され、
前記ガス排出流路の下流側に接続され、前記炉本体の側方に配置された排気ポンプをさらに備え、
前記トラップ及び回収ボックスが、前記炉本体の側方であって、前記排気ポンプよりも前面側に配置されている、熱処理炉。

【請求項5】

前記トラップ及び回収ボックスが前記炉本体よりも低い位置に配置されている請求項１乃至４いずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項6】

前記トラップが、
一端が開閉可能に構成された外筒体と、
前記外筒体内に収容されて、前記放出ガスをその表面で液化又は固化させるフィン機構と、を備え、
前記フィン機構が前記外筒体の一端から外部へ取り外せるように構成された請求項１乃至５いずれか一項に記載の熱処理炉。

【請求項7】

前記回収ボックスが、
前記トラップから前記液化成分が流入するインナーカップと、
前記インナーカップの外側を覆うように設けられたアウターケースと、を具備することを特徴とする請求項１乃至６いずれか一項に記載の熱処理炉。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、熱処理炉に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、金属又は磁性材料等からなる被処理物を熱処理炉に入れ、所定圧力下において所定温度に加熱し、被処理物の脱脂や焼結が行われている。このような熱処理中には、ガス状になったバインダや粒子状のダスト等を含む放出ガスが被処理物から発生する。炉内を減圧するポンプ等を長期間に亘って安定稼働させるために、例えば特許文献１には、ガス状になったバインダをトラップで液化させて捕集し、トラップの下方に接続されたワックスポッドで回収することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平０２―２２８４０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、近年、金属３Ｄプリンタが市場投入され、少量多品種の熱処理が可能な熱処理炉が求められつつある。このような用途の熱処理炉は、従来の大規模な工場で使用される熱処理炉と異なり、ラボルームやオフィス等の設置面積が限られた場所で使用できるように小型化する必要がある。また、従来のように工場作業によってトラップやワックスポッド等のメンテナンスを行うことは難しい。

【0005】

そこで、本発明は上述したような問題に鑑みてなされたものであり、被処理物から放出されるバインダ等の成分を捕集するための機構のメンテナンスが容易な熱処理炉を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

すなわち、本発明に係る熱処理炉は、内部に収容された被処理物を加熱する炉本体と、前記被処理物から放出される放出ガスを前記炉本体内から外部へ排出するガス排出流路と、前記ガス排出流路上に設けられ、前記放出ガスの成分の少なくとも一部を液化又は固化させるトラップと、前記トラップに接続されて、該トラップから流れ出る前記放出ガスの液化成分を回収する回収ボックスと、前記炉本体、ガス排出流路、トラップ、及び、回収ボックスを内部に収容する筐体と、を備え、前記筐体の収容空間を形成する壁体に、前記トラップの少なくとも一部及び前記回収ボックスの少なくとも一部を露出させる開口が形成されていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、前記開口が形成されているので、前記収容空間内に配置されている前記トラップ及び回収ボックスを前記開口から簡単に取り外すことができる。このため、例えば前記トラップで固化したワックス等を除去したり、前記回収ボックスに回収された液化成分の廃棄を行ったりしやすい。したがって、ラボルームやオフィス等で使用しやすい熱処理炉にすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態における熱処理炉の構成を示す模式図である。

【図2】同実施形態におけるトラップ及び回収ボックスの詳細を示す模式図である。

【図3】同実施形態における開閉扉が閉じた状態の筐体を示す模式図である。

【図4】同実施形態における開閉扉が開き、トラップ及び回収ボックスが露出している状態を示す模式図である。

【図5】同実施形態における熱処理炉の平面視における各部材の配置を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［装置構成］
本発明の一実施形態における熱処理炉１００について図１乃至図５を参照しながら説明する。

【0010】

この熱処理炉１００は、例えばラボルームやオフィス等の限られたスペース内で設置できるように構成されたものであり、例えば金属や磁性材料等の被処理物Ｗの脱脂や焼結を行うために用いられる。なお、熱処理炉１００は、半焼結、焼成、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、焼戻し、焼きなまし、溶体化処理、または時効熱処理等を行うために用いてもよい。

【0011】

図１に示すように熱処理炉１００は、被処理物Ｗが内部に収容されて、加熱される炉本体１と、炉本体１内を排気又は減圧する排気ポンプ４と、炉本体１内の被処理物Ｗから発生する放出ガスからバインダや油脂成分等を捕集するトラップ２及び回収ボックス３を具備する捕集機構ＴＭと、を備えている。

【0012】

炉本体１は、内部が所定圧力に保たれる圧力容器１１と、圧力容器１１内に設けられた概略直方体状をなす断熱体１２と、断熱体１２内に設けられ、概略直方体形状をなすとともに内部に被処理物Ｗが収容されるタイトボックス１３と、断熱体１２とタイトボックス１３との間に設けられたヒータ機構１４と、を備えている。すなわち、圧力容器１１、断熱体１２、タイトボックス１３は入れ子構造をなす。

【0013】

また、炉本体１と排気ポンプ４との間には炉本体１内の被処理物Ｗから発生する放出ガスを炉本体１の外部に排出するためのガス排出流路Ｌが接続されている。

【0014】

圧力容器１１は、その一部が蓋体により開閉可能に構成されており、蓋体が閉じられると圧力容器１１内は気密空間になる。圧力容器１１内は排気ポンプ４の作用によって内部が減圧されたり、図示しないガス源から圧力容器１１内に供給される不活性ガス等によって加圧されたりする。

【0015】

断熱体１２は例えばグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。この断熱体１２はヒータ機構１４で発生する熱が断熱体１２の外側へ放熱されるのを防止する。

【0016】

タイトボックス１３（インナーケース）は、内部に加熱空間を形成する概略直方体形状をなす箱体である。

【0017】

ヒータ機構１４は、断熱体１２とタイトボックス１３との間に設けられる。

【0018】

トラップ２及び回収ボックス３を具備する捕集機構ＴＭは、タイトボックス１３の排出口１３Ｂから排気される被処理物Ｗから発生した放出ガス中からバインダやワックス等の成分を分離捕集する。本実施形態では捕集機構ＴＭは概略円筒状をなすとともに、その中心軸（長手方向）が鉛直となるように配置される。

【0019】

図２に示すようにトラップ２は鉛直方向に長尺状をなすとともに二重管構造を有し、内部にラビリンスが形成されたものである。具体的にはトラップ２は、下側から放出ガスが流入し、上側からバインダやワックス等が除去されたガスが流出するように構成された外筒体２１と、冷却媒体が流れる内筒体２３と、外筒体２１内に着脱可能に設けられる多数のフィンからなり、その表面で放出ガスの少なくとも一部の成分を液化又は固化させるフィン機構２２と、を備えている。

【0020】

外筒体２１の下側から流入した放出ガスはフィン機構２２及び内筒体２３によって冷却されて、ガス状のバインダやワックスを液化又は固化させる。放出ガスの液化成分は自重で外筒体２１の下側に移動し、外筒体２１の下側開口である液体流出口２４から回収ボックス３内へと流入するように構成されている。また、バインダやワックスのうち固体化したものは、フィンに付着することになる。このような固体化したバインダやワックスをフィンから除去するために、外筒体２１の外側周面を覆うように配管ヒータ２５が設けてある。具体的には、炉本体１内における被処理物の熱処理工程後に、配管ヒータ２５で外筒体２１を加熱することによって、フィンに付着しているバインダやワックスを液化させ、回収ボックス３へ流し、回収する。加えて、外筒体２１の上側の閉鎖端は開閉可能に構成されており、内部に収容されているフィン機構２２をメンテナンス時に取り出すことができる。

【0021】

回収ボックス３は、トラップ２の下側部分に対して真空用クランプＶＣによって着脱可能に取り付けられており、トラップ２から流れてくる液化成分が貯留される。具体的には回収ボックス３は、トラップ２から液化成分が流入するインナーカップ３１と、インナーカップ３１の外側を覆うように設けられたアウターケースであるワックスポッド３２と、を具備する。

【0022】

インナーカップ３１は使い捨て可能な例えば樹脂等の材料で形成されたカップであって、トラップ２により放出ガスから分離された液化成分、又は、液化成分が再び固化したものが内部に貯留される。インナーカップ３１は、その上端開口部が外筒体２１の液体流出口２４を外側から覆うように着脱可能に取り付けられる。メンテナンス時にはこのインナーカップ３１は未使用のインナーカップ３１に交換される。

【0023】

ワックスポッド３２は、インナーカップ３１から何らかの原因で液化成分等が漏出したとしても外部に液化成分が撒き散らされるのを防ぐように構成されている。具体的にはインナーカップ３１全体を内部に収容する容積を有し、側面部に一対の取っ手が設けられた一端が開口した円筒状をなす。ワックスポッド３２はインナーカップ３１全体がその内部に収容された状態で外筒体２１に対して着脱可能に取り付けられる。想定されている使用態様では、インナーカップ３１にすべての液化成分が貯留されるため、メンテナンス時にはワックスポッド３２については簡単な清掃のみでよい。

【0024】

炉本体１、捕集機構ＴＭ、排気ポンプ４、減圧排気流路Ｌ１、及び、ガス排出流路Ｌは図３乃至図５に示す筐体５内に収容されている。この筐体５は概略直方体形状をなし、壁体５１によって形成される内側に各部材が収容される収容空間５２が形成される。なお、筐体５の前面側は炉本体１内に被処理物Ｗを搬入するための搬入口１５が露出するように構成されている。

【0025】

また、筐体５の前面には開閉扉５４が設けられており、開閉扉５４が開けられた状態ではトラップ２の上側部分と回収ボックス３が露出するように構成されている。具体的には図４に示すように壁体５１において開閉扉５４で閉じられる部分にはトラップ２の上側部分と、回収ボックス３を筐体５の外部に露出させるための開口５３がそれぞれ形成されている。また、収容空間５２において開口５３が形成されている近傍ではトラップ２の上側に他の部材が設けられていない空間が設けてある。同様に収容空間５２において回収ボックス３下側にも他の部材が設けられていない所定容積の空間が設けてある。このようにトラップ２内のフィン機構２２の上方向への取り外しや回収ボックス３の下方向への取り外しができるようにしてある。この開口５３は筐体５の開閉扉５４が閉じられている状態では閉止される。すなわち、炉本体１内において被処理物Ｗの熱処理が行われて、高温の放出ガスが流れている間は外部からトラップ２及び回収ボックス３にはユーザは触ることができないように構成されている。

【0026】

次に図４におけるＡ－Ａ線断面模式図である図５を参照しながら収容空間５２内における炉本体１、トラップ２、回収ボックス３，排気ポンプ４のレイアウトについて説明する。なお、炉本体１の内部構造、及び、減圧排気流路Ｌ１、ガス排出流路Ｌについては図５では省略している。筐体５内において横幅方向に対して左側には炉本体１が配置されるとともに、炉本体１の側方である横幅方向に右側にはトラップ２及び回収ボックス３を具備する捕集機構ＴＭ、及び、排気ポンプ４が集めて配置される。さらに、筐体５内においてトラップ２及び回収ボックス３を具備する捕集機構ＴＭは、排気ポンプ４よりも前面側に配置される。また、図１及び図４に示すように炉本体１は筐体５内において上方に配置されるとともに、捕集機構ＴＭ及び排気ポンプ４は炉本体１よりも低い位置である筐体５のほぼ底面近傍に配置される。ここで低い位置とは、例えば炉本体１の下面よりも捕集機構ＴＭ全体が低い位置にあること、あるいは、炉本体１の下面よりも低い位置に捕集機構ＴＭの下面があることを意味する。

【0027】

［熱処理時の動作］
次に熱処理炉１００による使用した被処理物Ｗの熱処理方法について説明する。（１）被処理物Ｗをタイトボックス１３に収納し、圧力容器１１の蓋をして密閉する。（２）ヒータ機構１４をオンにしてタイトボックス１３内を所定温度に昇温するとともに、ガス源から圧力容器１１及びタイトボックス１３内に所定のガスを導入し、被処理物Ｗに対して所定の熱処理を行う。（３）必要に応じて排気ポンプ４を駆動させ、圧力容器１１内又はタイトボックス１３内からガスを強制排気し、炉本体１内の空気や被処理物Ｗから発生する放出ガスをガス源から供給されるガスに置換する。なお、タイトボックス１３内から排気された放出ガスはガス排出流路を流れ、トラップ２において放出ガスに含まれるガス状のバインダやワックスが冷却によって液化又は固化される。放出ガスの液化成分は自重によってトラップ２から回収ボックス３内へと流れて捕集される。（４）被処理物Ｗの処理が終了したら、被処理物Ｗが冷却された後、圧力容器１１とタイトボックス１３を開けて被処理物Ｗを取り出す。

【0028】

［捕集機構ＴＭのメンテナンス］
次に捕集機構ＴＭのメンテナンスについて説明する。前述した熱処理工程後、トラップ２のフィン機構２２には固化したバインダやワックス等が付着している。これらを再び液化して回収ボックス３内へと流すために、配管クリーニングが実施される。すなわち、排気ポンプ４が停止された状態において配管ヒータ２５でトラップ２が加熱され、固化している成分を再び液化し、自重によって回収ボックス３まで流す。このような配管クリーニングは例えば被処理物Ｗの冷却工程時に行う。

【0029】

このような配管クリーニングを定期的に行っても、フィン機構２２には少しずつバインダやワックス等に由来する固形成分が堆積していくので、例えば配管クリーニングが所定回数行われるごとにユーザによってフィン機構２２の清掃や交換が行われる。すなわち、炉本体１及び排気ポンプ４等を停止させた状態において筐体５の開閉扉５４が開放され、図４に示すようにトラップ２及び回収ボックス３が開口５３から露出される。次に開口５３を介してトラップ２又は回収ボックス３の取り外しが行われて、清掃又は交換作業が行われる。

【0030】

具体的にはトラップ２の外筒体２１の上面を開放して内部からフィン機構２２が上方向に引き抜かれて、筐体５の前面側へ引き出される。フィン機構２２に固着している成分等が清掃された後、再びフィン機構２２は開口５３を介して外筒体２１の中に挿入される。

【0031】

また、トラップ２と回収ボックス３との間を連結している真空用クランプＶＣが外されると、回収ボックス３において外側の構造体であるワックスポッド３２が下側へと引き抜かれて、筐体５の前面側へ引き出される。次にインナーカップ３１を取り外して別のインナーカップ３１に交換された後、再びワックスポッド３２がインナーカップ３１の外側からトラップ２に対して取り付けられる。最後に開閉扉５４を閉じることで作業が終了する。

【0032】

［効果］
このように構成された熱処理炉１００であれば、操作面である筐体５の前面側にトラップ２と回収ボックス３を外部に露出させるための開口５３が設けられているので、上述したようにメンテナンス時において捕集機構ＴＭの各部品を筐体５の外側に取り外すことが簡単にできる。具体的には、概略円筒状をなす捕集機構ＴＭは炉本体１よりも低い位置に配置されているとともに筐体５において底面近傍に配置されており、かつ、各機器はコンパクトに構成されているので、例えば脚立等を用いなくてもフィン機構２２を上方向に引き抜き、その後筐体５の前面側から取り出すことは容易にできる。同様に回収ボックス３のインナーカップ３１もユーザは筐体５の前面側から簡単にアクセスできるので、交換作業を簡単に行うことができる。

【0033】

また、従来であれば上述したようなトラップ２や回収ボックス３のメンテナンスを容易にするために、長尺状をなすトラップ２を横方向に向けて配置していたので、熱処理炉１００としてのフットプリントが大きくなってしまっていた。これに対して本実施形態の熱処理炉１００であれば捕集機構ＴＭのメンテナンスを容易にしつつ、長尺状をなすトラップ２を垂直方向に沿って配置できるので、熱処理炉１００としてのフットプリントを小さくし、コンパクトに構成できる。したがって、例えばラボルームやオフィスのような限られたスペースに好適な熱処理炉１００として構成できる。

【0034】

その他の実施形態について説明する。

【0035】

捕集機構又はトラップについてはその長手方向が鉛直をなすものに限られず、例えば長手方向が鉛直方向に対して所定角度内で斜めに配置されていてもよい。熱処理炉としてのフットプリントを小さくするには、できる限り捕集機構又はトラップの長手方向が鉛直をなすようにすればよい。

【0036】

開口の設け方や各機器の筐体内の配置について前記実施形態において説明した態様に限られない。例えば筐体の側面や背面に開口が形成されて、トラップ及び回収ボックスの交換を行えるようにしてもよい。

【0037】

回収ボックスについてはインナーカップを設けずにワックスポッドのみを設けても良い。
また、炉本体の上面を基準として、捕集機構ＴＭの上端部が炉本体の上面よりも低い位置にあるように構成してもよい。

【0038】

フィン機構については外筒体に対して固定されたものであってもよい。この場合、トラップ全体を筐体内から取り外してメンテナンスが行えるようにしてもよい。また、トラップは水冷によってバインダやワックスを液化又は固化させるものに限られず、例えば空冷やその他の冷媒を用いて除去した成分を液化又は固化させるものであってもよい。

【0039】

（第１項）一態様における熱処理炉は、内部に収容された被処理物を加熱する炉本体と、前記被処理物から放出される放出ガスを排出するガス排出流路と、前記ガス排出流路上に設けられ、前記放出ガスの成分の少なくとも一部を液化又は固化させるトラップと、前記トラップに接続されて、該トラップから流れ出る前記放出ガスの液化成分を回収する回収ボックスと、前記炉本体、ガス排出流路、トラップ、及び、回収ボックスを内部に収容する筐体と、を備え、前記筐体の収容空間を形成する壁体に、前記トラップの少なくとも一部及び前記回収ボックスの少なくとも一部を露出させる開口が形成されていることを特徴とする。

【0040】

第１項に記載の熱処理炉によれば、前記開口が形成されているので、前記筐体内に収容されている前記トラップ及び前記回収ボックスを前記開口から簡単に取り外すことができる。このため、前記トラップ及び前記回収ボックスのメンテナンスが容易となり、例えばラボルームやオフィス等で使用しやすい熱処理炉にすることが可能となる。

【0041】

（第２項）メンテナンス時以外は高温のガスが流れる可能性がある前記トラップ及び前記回収ボックスに対してユーザが触れることができないようにして、安全性を高められるようにするには、前記筐体が前記開口を閉止する開閉扉を有したものであればよい。

【0042】

（第３項）熱処理炉としてのフットプリントを小さくし、ラボルームやオフィス等のようにスペースの限られている場所でも設置可能な熱処理炉を構成するには、前記トラップが長尺状をなし、当該トラップの長手方向が鉛直となるように配置されていればよい。

【0043】

（第４項）前記トラップ及び前記回収ボックスをコンパクトに構成するには、前記トラップが、前記液化成分が外部に流出する液体流出口を下側に具備し、前記回収ボックスが、前記液体流出口の下側に着脱可能に連結され、前記トラップ及び前記回収ボックスが鉛直方向に並ぶように構成されたものであればよい。

【0044】

（第５項）前記トラップ及び前記回収ボックスのメンテナンスを容易に行うことができるようにしながら、熱処理炉としてフットプリントを小さくできる具体的な各機器のレイアウトとしては、前記ガス排出流路の下流側に接続され、前記炉本体の側方に配置された排気ポンプをさらに備え、前記トラップ及び回収ボックスが、前記炉本体の側方であって、前記排気ポンプよりも前面側に配置されているものが挙げられる。

【0045】

（第６項）脚立等の器具を用いなくても前記トラップ及び前記回収ボックスの清掃や交換を行えるようにしてメンテナンス性を高められるようにするには、前記筐体内において前記トラップ及び前記回収ボックスが前記炉本体よりも低い位置に配置されるものであればよい。

【0046】

（第７項）前記トラップが、一端が開閉可能に構成された外筒体と、前記外筒体内に収容されるフィン機構と、を備え、前記フィン機構が前記外筒体の一端から外部へ取り外せるように構成された請求項１乃至６いずれか一項に記載の熱処理炉。

【0047】

（第８項）また、本発明に係る熱処理炉の別態様は、被処理物が内部に収容され、加熱される炉本体と、前記被処理物から放出される放出ガスを前記炉本体内から外部へ排気するガス排出流路と、前記ガス排出流路上に設けられ、前記放出ガスを冷却してその成分の少なくとも一部を液化又は固化させるトラップと、前記トラップの下方に設けられ、当該トラップから流れ出る前記放出ガスの液化成分が回収される回収ボックスと、を備え、前記回収ボックスが、前記トラップから前記液化成分が流入するインナーカップと、前記インナーカップの外側を覆うように設けられたアウターケースと、を具備する。

【0048】

第８項の熱処理炉であれば、インナーカップを使い捨てることができ、回収ボックスのメンテナンスに係る手間を大幅に低減できる。

【符号の説明】

【0049】

１００ ：熱処理炉
１ ：炉本体
１１ ：圧力容器
１２ ：断熱体
１３ ：タイトボックス
１３Ａ ：導入口
１３Ｂ ：排出口
１４ ：ヒータ機構
１４Ｐ ：ヒータプレート
２ ：トラップ
２１ ：外筒体
２２ ：フィン機構
２３ ：内筒体
２４ ：液体流出口
２５ ：配管ヒータ
３ ：回収ボックス
３１ ：インナーカップ
３２ ：ワックスポッド（アウターケース）
４ ：排気ポンプ
５ ：筐体
５１ ：壁体
５２ ：収容空間
５３ ：開口
５４ ：開閉扉
Ｌ ：ガス排出流路
ＴＭ ：捕集機構
ＶＣ ：真空用クランプ
Ｗ ：被処理物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】