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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-14
(45)【発行日】2024-11-22
(54)【発明の名称】センサユニットおよびセンサシステム
(51)【国際特許分類】
G01F 1/20 20060101AFI20241115BHJP
【ＦＩ】
G01F1/20 G
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2024097473
(22)【出願日】2024-06-17
【審査請求日】2024-06-21
(31)【優先権主張番号】P 2023218362
(32)【優先日】2023-12-25
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000226242
【氏名又は名称】日機装株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100141173
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 啓一
(72)【発明者】
【氏名】小澤 和広
【審査官】羽飼 知佳
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１６－１１４４２８（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１６／１１４２６４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】中国特許出願公開第１０４６０６７４０（ＣＮ，Ａ）
【文献】特開２０２０－００３２７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６３－１７０４４７（ＪＰ，Ｕ）
【文献】中国実用新案第２０４０１７０２０（ＣＮ，Ｕ）
【文献】特開２００８－２３２７４１（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭５４－１２５９８３（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１５－１６９６０３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｆ １／２０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
防爆エリアに配置されたサイトグラスを通過する液体を検知するセンサユニットであって、前記サイトグラスは、
前記液体を滴下する筒状のノズルと、
前記ノズルと対向するように配置される覗窓と、
を備えて、
前記サイトグラスには、
前記サイトグラスの上方向に配置されて、前記ノズルに供給される前記液体が流れる金属製の導入配管と、
前記サイトグラスの下方向に配置されて、前記ノズルから滴下された前記液体が流れる金属製の導出配管と、
が接続されて、
前記防爆エリアに、前記覗窓に対向するように配置されるセンサと、
前記サイトグラスに間接的に取り付けられて、前記センサを保持する取付部材と、
前記サイトグラスを収容する筐体と、
前記筐体を前記導入配管と前記導出配管それぞれに取り付ける複数の筐体締結部材と、
を有してなり、
前記センサは、
光電センサであり、
前記防爆エリアに対応する防爆構造と、
前記覗窓を介して、前記液体に向けて光ビームを放射する発光部と、
前記覗窓を介して、前記サイトグラスの内側からの内部光を受光して、前記内部光に応じた電気信号を生成する受光部と、
生成された前記電気信号に基づいて、前記液体の滴下の有無のうち、いずれか一方を示す検出信号を生成して、非防爆エリアに配置される機器に前記検出信号を出力する信号処理回路と、
前記発光部と前記受光部と前記信号処理回路とを収容するセンサ筐体と、
を備えて、
前記発光部は、
前記光ビームを放射する単一の発光素子、
を備えて、
前記受光部は、
前記内部光を受光する単一の受光素子、
を備えて、
前記筐体は、
前記覗窓の少なくとも一部に対向するように配置される第１壁部と、
前記筐体締結部材により、前記導入配管を挟み込むように前記導入配管に取り付けられる第１挟持部と、
前記筐体締結部材により、前記導出配管を挟み込むように前記導出配管に取り付けられる第２挟持部と、
を備えて、
前記第１壁部は、
前記光ビームと前記内部光とが通過可能な通過部、
を備えて、
前記取付部材は、前記光ビームが、前記液体に向けて放射されるように、前記ノズルに対する前記センサの位置を変更可能に、前記センサを保持して、
前記センサは、前記筐体の外方向に、前記通過部に対向するように配置されて、
前記取付部材は、
前記センサを保持する保持部材と、
前記保持部材を前記第１壁部に取付ける第１締結部材と、
前記センサを前記保持部材に取り付ける第２締結部材と、
を備えて、
前記ノズルに対する前記センサの位置は、
前記筐体締結部材が緩められたとき、上下方向に調整可能であり、
前記第１締結部材が緩められたとき、上下方向を含む前記第１壁部に平行な方向に調整可能であり、
前記第２締結部材が緩められたとき、上下方向と、前記第１壁部に平行な方向と、に直交する方向に調整可能であり、
前記第１締結部材が緩められたときの上下方向の調整量は、前記筐体締結部材が緩められたときの上下方向の調整量よりも小さい、
センサユニット。
【請求項2】
前記液体の滴下方向において、前記受光部は、前記センサ筐体内に前記発光部と並んで配置される、請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項3】
前記発光部は、ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５に準拠した放射パワーの前記光ビームを放射する、請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項4】
前記サイトグラスは、前記ノズルに対して、前記覗窓の反対側に配置される第２覗窓、
を備えて、
前記筐体は、
前記第２覗窓の全面と、前記第１壁部と、に対向するように配置される第２壁部、
を有してなる、
請求項１に記載のセンサユニット。
【請求項5】
前記第２壁部は、前記第２覗窓に対向する閉位置と、前記第２覗窓に対向しない開位置と、の間で移動可能な開閉蓋、
を備える、
請求項４に記載のセンサユニット。
【請求項6】
防爆エリアに配置されたサイトグラスを通過する液体を検知するセンサシステムであって、前記サイトグラスは、
前記液体を滴下する筒状のノズルと、
前記ノズルと対向するように配置される透明な覗窓と、
を備えて、
請求項１に記載のセンサユニットと、
前記センサユニットに接続されて、前記センサユニットからの検出信号が入力される機器と、
を有してなり、
前記機器は、非防爆エリアに配置される、
センサシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、センサユニットおよびセンサシステムに関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、天然ガスに付臭剤を添加する付臭設備のように、防爆エリア内において、極少流量の液体の流量を監視する場合、その流量は、一般的な流量計の下限値を下回る。そのため、作業者がサイトグラス内を通過する液体を目視で監視する方法が、一般的に採用されている。しかし、目視による監視は、作業員の勤務中にしか実行できない。一方、サイトグラス内を監視カメラで監視する場合、防爆構造を有する高額な監視カメラユニットが必要となる。また、映像の確認は作業員により実行されるため、流量の常時監視は難しい。
【0003】
これまでにも、光ファイバおよび光電センサを用いて、防爆エリア内における極少流量の液体の流量を監視する方法が、提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特許第５５７９９４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に開示された監視方法は、サイトグラス内を通過（落下）する液滴を、光を用いて検出している。同監視方法では、アンプユニットは非防爆エリアに配置されていて、光ファイバユニットのみが防爆エリアに延ばされている。そのため、アンプユニットには、防爆構造が不要となる。また、流量を電気的に監視するため、流量の常時監視が可能となる。しかしながら、監視対象は、落下する小さな液滴である。また、液滴は、サイトグラスの内部に配置されるノズルから滴下されるが、ノズルの形状はサイトグラスの種類ごとに変わり得る。さらに、サイトグラス（ノズル）の大きさは、液体の配管サイズに応じて、変わる。そのため、液滴を精度よく検出するためには、サイトグラスごとに、光ファイバユニットの位置調整が必要となる。このように、同液滴の検出精度の向上には、さらなる改善の余地がある。
【0006】
本発明は、精度よくサイトグラス内を通過する極小流量の液体を検知可能なセンサユニットおよびセンサシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の一実施態様におけるセンサユニットは、防爆エリアに配置されたサイトグラスを通過する液体を検知するセンサユニットであって、前記サイトグラスは、前記液体を滴下する筒状のノズルと、前記ノズルと対向するように配置される覗窓と、を備えて、前記サイトグラスには、前記サイトグラスの上方向に配置されて、前記ノズルに供給される前記液体が流れる金属製の導入配管と、前記サイトグラスの下方向に配置されて、前記ノズルから滴下された前記液体が流れる金属製の導出配管と、が接続されて、前記防爆エリアに、前記覗窓に対向するように配置されるセンサと、前記サイトグラスに間接的に取り付けられて、前記センサを保持する取付部材と、前記サイトグラスを収容する筐体と、前記筐体を前記導入配管と前記導出配管それぞれに取り付ける複数の筐体締結部材と、を有してなり、前記センサは、光電センサであり、前記防爆エリアに対応する防爆構造と、前記覗窓を介して、前記液体に向けて光ビームを放射する発光部と、前記覗窓を介して、前記サイトグラスの内側からの内部光を受光して、前記内部光に応じた電気信号を生成する受光部と、生成された前記電気信号に基づいて、前記液体の滴下の有無のうち、いずれか一方を示す検出信号を生成して、非防爆エリアに配置される機器に前記検出信号を出力する信号処理回路と、前記発光部と前記受光部と前記信号処理回路とを収容するセンサ筐体と、を備えて、前記発光部は、前記光ビームを放射する単一の発光素子、を備えて、前記受光部は、前記内部光を受光する単一の受光素子、を備えて、前記筐体は、前記覗窓の少なくとも一部に対向するように配置される第１壁部と、前記筐体締結部材により、前記導入配管を挟み込むように前記導入配管に取り付けられる第１挟持部と、前記筐体締結部材により、前記導出配管を挟み込むように前記導出配管に取り付けられる第２挟持部と、を備えて、前記第１壁部は、前記光ビームと前記内部光とが通過可能な通過部、を備えて、前記取付部材は、前記光ビームが、前記液体に向けて放射されるように、前記ノズルに対する前記センサの位置を変更可能に、前記センサを保持して、前記センサは、前記筐体の外方向に、前記通過部に対向するように配置されて、前記取付部材は、前記センサを保持する保持部材と、前記保持部材を前記第１壁部に取付ける第１締結部材と、前記センサを前記保持部材に取り付ける第２締結部材と、を備えて、前記ノズルに対する前記センサの位置は、前記筐体締結部材が緩められたとき、上下方向に調整可能であり、前記第１締結部材が緩められたとき、上下方向を含む前記第１壁部に平行な方向に調整可能であり、前記第２締結部材が緩められたとき、上下方向と、前記第１壁部に平行な方向と、に直交する方向に調整可能であり、前記第１締結部材が緩められたときの上下方向の調整量は、前記筐体締結部材が緩められたときの上下方向の調整量よりも小さい、センサユニットである。
【0008】
本発明の一実施態様におけるセンサシステムは、防爆エリアに配置されたサイトグラスを通過する液体を検知するセンサシステムであって、前記サイトグラスは、前記液体を滴下する筒状のノズルと、前記ノズルと対向するように配置される覗窓と、を備えて、上記センサユニットと、前記センサユニットに接続されて、前記センサユニットからの検出信号が入力されるバリアリレーと、前記バリアリレーに接続されて、前記バリアリレーに中継された前記検出信号に基づいて、前記液体の滴下の異常を報知する報知部と、を有してなり、前記バリアリレーと前記報知部とは、非防爆エリアに配置される、センサシステムである。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、精度よくサイトグラス内を通過する極小流量の液体を検知できる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】本発明に係るセンサシステムの実施の形態を示す、センサシステムの構成図である。
【図2】上記センサシステムの機能ブロック図である。
【図3】本発明に係るセンサユニットの実施の形態を示す、センサユニットの模式正面図である。
【図7】上記センサユニットが備えるセンサの位置調整方法に含まれる、光ビームの位置の微調整方法を説明する模式図である。
【図8】位置調整後のセンサによる対象液の検知状態の確認結果を示す模式図である。
【図9】本発明に係るセンサユニットの第１変形例を示す、センサユニットの模式断面図である。
【図10】本発明に係るセンサユニットの第２変形例を示す、センサユニットの模式側面図である。
【図12】本発明に係るセンサユニットの第３変形例を示す、センサユニットの模式正面図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明に係るセンサシステム（以下「本システム」という。）およびセンサユニット（以下「本ユニット」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【0012】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸であるとき、Ｘ軸およびＹ軸は水平方向に平行であり、Ｚ軸は上下方向に平行である。「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、「＋Ｘ方向」はＸ軸方向の一方向であり、「－Ｘ方向」はＸ軸方向の他方向である。「Ｙ軸方向」はＹ軸に沿う方向であり、「＋Ｙ方向」はＹ軸方向の一方向であり、「－Ｙ方向」はＹ軸方向の他方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。各図面において、座標系の二重丸は、その図面における奥行側を示している。
【0013】
●センサシステム●
本システムの実施の形態が、ガスに付臭剤を添加する付臭設備に本システムが用いられている場合を例に、以下に説明される。付臭設備は、防爆エリアに配置されている。
本システムの実施の形態が、ガスに付臭剤を添加する付臭設備に本システムが用いられている場合を例に、以下に説明される。付臭設備は、防爆エリアに配置されている。
【0014】
●センサシステムの構成
図１は、本システムの実施の形態を示す、本システムの構成図である。
図２は、本システムの機能ブロック図である。
図１は、説明の便宜上、サイトグラスＳのうち、外部から視認できない一部の部材を破線で示している。
図１は、本システムの実施の形態を示す、本システムの構成図である。
図２は、本システムの機能ブロック図である。
図１は、説明の便宜上、サイトグラスＳのうち、外部から視認できない一部の部材を破線で示している。
【0015】
本システム１は、防爆エリアＡ１に配置されている付臭設備（不図示。以下同じ。）が備えるサイトグラスＳの内側を通過（落下）する対象液Ｌを検知する。本システム１は、本ユニット２、バリアリレー６、外部装置７、および信号線８を有してなる。本ユニット２の構成は、後述される。
【0016】
「サイトグラスＳ」は、公知のノズル式のサイトグラスである。そのため、以下の説明では、サイトグラスＳの構成の概要のみが説明されて、同構成の詳細な説明は省略される。サイトグラスＳは、ノズルＳ１、管体Ｓ２、２個の覗窓Ｓ３，Ｓ４、接続部Ｓ５，Ｓ６、４個のボルトＢ、８個のナットＮを備える。
【0017】
ノズルＳ１は、管体Ｓ２の内側に対象液Ｌを滴下する。ノズルＳ１は、上下方向に沿って管体Ｓ２の内側に配置されている。ノズルＳ１の形状は、円筒状である。ノズルＳ１の下端部の開口端面Ｓ１ａは、上下方向に対して傾斜するように形成されている傾斜端面である。すなわち、ノズルＳ１は、傾斜端面を構成している開口端面Ｓ１ａを備える。上下方向において、開口端面Ｓ１ａは、管体Ｓ２の略中央部に位置している。管体Ｓ２は、ノズルＳ１を収容する。覗窓Ｓ３，Ｓ４は、管体Ｓ２の内側を管体Ｓ２の外部から視認可能に、ノズルＳ１を挟み込むように、管体Ｓ２の開口面Ｓ２ａ，Ｓ２ｂに取り付けられている。すなわち、覗窓Ｓ３，Ｓ４は、上下方向と直交するＹ軸方向において、ノズルＳ１と対向するように配置されている。覗窓Ｓ３，Ｓ４は、透明なガラス窓Ｓ３ａ，Ｓ４ａ、およびガラス窓Ｓ３ａ，Ｓ４ａを保持する保持枠Ｓ３ｂ，Ｓ４ｂを備える。覗窓Ｓ３は＋Ｙ方向に向けられていて、覗窓Ｓ４は－Ｙ方向に向けられている。覗窓Ｓ３，Ｓ４は、上下方向に平行に配置されている。覗窓Ｓ３は本発明における覗窓の一例であり、覗窓Ｓ４は本発明における第２覗窓の一例である。接続部Ｓ５は、導入配管Ｌ１を介して、対象液Ｌの供給元（例えば、ポンプ）と接続されている。導入配管Ｌ１は、ノズルＳ１に供給される対象液Ｌが流れる、金属製の管である。導入配管Ｌ１は、サイトグラスＳの上方向に配置されていて、接続部Ｓ５に接続されている。接続部Ｓ６は、導出配管Ｌ２を介して、対象液Ｌの供給先（例えば、ガス配管）と接続されている。導出配管Ｌ２は、ノズルＳ１から滴下された対象液Ｌが流れる、金属製の管である。導出配管Ｌ２は、サイトグラスＳの下方向に配置されていて、接続部Ｓ６に接続されている。ボルトＢおよびナットＮは、覗窓Ｓ３，Ｓ４を管体Ｓ２に取り付けている。ナットＮは、各ボルトＢの両端部側に取り付けられている。各ボルトＢの両端部は、ナットＮよりもＹ軸方向に突出している。ボルトＢは、本発明における締結部材の一例である。以下の説明において、４個のボルトＢそれぞれが特に区別されるとき、これらの末尾には符号「１１」～「１４」が付記される。
【0018】
「対象液Ｌ」は、液滴として、開口端面Ｓ１ａからサイトグラスＳの内側に滴下される液体である。本実施の形態において、対象液Ｌは、透明な付臭剤である。対象液Ｌは、本発明における液体の一例である。
【0019】
バリアリレー６は、防爆エリアＡ１に配置されているセンサ３からの検知信号を非防爆エリアＡ２に配置されている外部装置７に中継する、本質安全防爆構造の中継装置である。また、バリアリレー６は、センサ３に作動電流を供給するように構成されている。バリアリレー６は、可燃性ガスへの引火を引き起こす火花や配線の高温加熱を未然に防ぐ本質安全防爆構造を有している、公知のバリアリレーである。バリアリレー６は、非防爆エリアＡ２に配置されている。バリアリレー６は、ケーブル３６を介してセンサ３に接続されていて、信号線８を介して外部装置７に接続されている。バリアリレー６は、本発明における機器の一例である。
【0020】
外部装置７は、バリアリレー６を介して受信する検知信号に基づいて、所定の動作（例えば、滴下状態の報知（表示灯の点灯／消灯、報知音の発出など）、滴下状態の記録、など）を実行する。外部装置７は、例えば、ＰＣ（Personal Computer）である。外部装置７は、非防爆エリアＡ２に配置されている。検知信号の詳細は、後述される。外部装置７は、本発明における機器の一例である。
【0021】
なお、本発明において、外部装置７は、ＰＣに限定されない。すなわち、例えば、外部装置７は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）、または、警報装置でもよい。
【0022】
●センサユニット●
●センサユニットの構成
図３は、本ユニットの実施の形態を示す、本ユニット２の模式正面図である。
図４は、本ユニット２の図３のＡＡ線における模式断面図である。
図３は、＋Ｙ方向から見た本ユニット２を示している。同図は、説明の便宜上、サイトグラスＳを破線で示している。以下の説明において、図１および図２は、適宜参照される。
●センサユニットの構成
図３は、本ユニットの実施の形態を示す、本ユニット２の模式正面図である。
図４は、本ユニット２の図３のＡＡ線における模式断面図である。
図３は、＋Ｙ方向から見た本ユニット２を示している。同図は、説明の便宜上、サイトグラスＳを破線で示している。以下の説明において、図１および図２は、適宜参照される。
【0023】
本ユニット２は、サイトグラスＳの内側を通過（落下）する対象液Ｌを検知する。本ユニット２は、センサ３、取付部材４、および背面シールド部材５を備える。
【0024】
センサ３は、防爆エリアＡ１に対応する本質安全防爆構造を備える、公知の光電センサである。センサ３は、例えば、竹中電子工業株式会社製の「ディスタンスセンサＸＤＬＮ－Ｓ３０Ｒ」である。センサ３は、筐体３１、発光部３２、受光部３３、制御回路３４、信号処理回路３５、およびケーブル３６を備える。
【0025】
筐体３１は、発光部３２、受光部３３、制御回路３４、および信号処理回路３５を収容する。筐体３１は、本発明におけるセンサ筐体の一例である。
【0026】
発光部３２は、制御回路３４の制御に基づいて、被放射対象（対象液Ｌ、開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂ）に対して、国際規格「ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５」に準拠した光パワー（例えば、１５０ｍＷ未満）の光ビームＬＢを放射する。発光部３２は、公知の発光素子３２ａ、および透過窓３２ｂを備える。透過窓３２ｂは、光ビームＬＢを透過する。透過窓３２ｂは、例えば、ＰＣ（polycarbonate）などの透明な合成樹脂製である。光ビームＬＢは、可視光である。
【0027】
受光部３３は、センサ３の外部からの光（以下「外部光」という。）を受光して、受光した外部光に対応する電気信号を生成する。電気信号は、信号処理回路３５に送信される。受光部３３は、公知の受光素子３３ａ、および透過窓３３ｂを備える。透過窓３３ｂは、外部光を透過する。透過窓３３ｂは、例えば、ＰＣなどの透明な合成樹脂製である。透過窓３３ｂは、透過窓３２ｂと同一仮想平面上に、透過窓３２ｂと並んで配置されている。ここで、「外部光」は、サイトグラスＳの内側から覗窓Ｓ３を介して受光部３３に入光される光（以下「内部光」という。）を含む。内部光は、光ビームＬＢの被放射対象からの反射光を含む。
【0028】
制御回路３４は、発光部３２の動作を制御する公知の制御回路である。
【0029】
信号処理回路３５は、例えば、受光素子３３ａからの電気信号に基づいて、受光素子３３ａが受光する外部光の光量の変化量を取得して、同変化量に基づいて対象液Ｌの存在（すなわち、滴下）を検知して、検知信号を生成する。検知信号は、ケーブル３６を介して、バリアリレー６に送信される。
【0030】
ケーブル３６は、信号処理回路３５からの検知信号をバリアリレー６に送信する。
【0031】
取付部材４は、センサ３を保持すると共に、覗窓Ｓ３を＋Ｙ方向側から覆う。取付部材４は、第１取付部材４１、第２取付部材４２、２個のボルトＢ１，Ｂ２、８個のワッシャＷ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，Ｗ６，Ｗ７，Ｗ８、および６個のナットＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，Ｎ５，Ｎ６を備える。第１取付部材４１および第２取付部材４２は、本発明における第１シールド部材の一例である。
【0032】
【0033】
第１取付部材４１は、第２取付部材４２を保持する。第１取付部材４１は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。第１取付部材４１の形状は、上方視において、＋Ｘ方向および＋Ｙ方向に凸となるＬ字状の、板状である。第１取付部材４１は、スライド部４１ａ、保持部４１ｂ、２個のスライド孔４１ｃ，４１ｄ、および２個の保持孔４１ｅ，４１ｆを備える。
【0034】
第１取付部材４１は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向（以下「ＸＺ軸方向」という。）に沿う矩形板状のスライド部４１ａ、および、Ｙ軸およびＺ軸方向（以下「ＹＺ軸方向」という。）に沿う矩形板状の保持部４１ｂで構成されている。スライド部４１ａは、保持部４１ｂの＋Ｘ方向に配置されている。
【0035】
スライド孔４１ｃ，４１ｄは、サイトグラスＳのボルトＢ１１，Ｂ１２が挿通される貫通孔である。スライド孔４１ｃ，４１ｄの内径は、ボルトＢ１１，Ｂ１２の外径よりも大きく、後述されるＸＺ軸調整の移動量に基づいて、設定されている。スライド孔４１ｃ，４１ｄは、スライド部４１ａのＸ軸方向における中央部の上端部および下端部に配置されている。Ｙ軸方向視において、スライド孔４１ｃ，４１ｄの位置は、ボルトＢ１１，Ｂ１２の位置と重複している。
【0036】
保持孔４１ｅ，４１ｆは、ボルトＢ１，Ｂ２が挿通される貫通孔である。保持孔４１ｅ，４１ｆは、保持部４１ｂのＹ軸方向における中央部に、上下方向に並んで配置されている。
【0037】
図６は、第２取付部材４２の図３のＤＤ線における模式断面図である。
以下の説明において、図１～図４は、適宜参照される。同図は、説明の便宜上、ボルトＢ１，Ｂ２，Ｂ１３，Ｂ１４の一部を二点鎖線で示している。
以下の説明において、図１～図４は、適宜参照される。同図は、説明の便宜上、ボルトＢ１，Ｂ２，Ｂ１３，Ｂ１４の一部を二点鎖線で示している。
【0038】
第２取付部材４２は、センサ３を保持する。第２取付部材４２は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。第２取付部材４２の形状は、上方視において、－Ｘ方向および＋Ｙ方向に凸となるＬ字状の、板状である。第２取付部材４２は、スライド部４２ａ、シールド部４２ｂ、２個のガイド孔４２ｃ，４２ｄ、２個のスライド孔４２ｅ，４２ｆ、および光通過孔４２ｇを備える。
【0039】
第２取付部材４２は、ＹＺ軸方向に沿う矩形板状のスライド部４２ａ、および、ＸＺ軸方向に沿う矩形板状のシールド部４２ｂで構成されている。スライド部４２ａは、シールド部４２ｂの＋Ｘ方向に配置されている。
【0040】
ガイド孔４２ｃ，４２ｄは、ボルトＢ１，Ｂ２が挿通される貫通孔である。ガイド孔４２ｃ，４２ｄの形状は、Ｙ軸方向に縦長の長丸状である。ガイド孔４２ｃ，４２ｄは、スライド部４２ａのＹ軸方向における中央部に、上下方向に並んで配置されている。Ｘ軸方向視において、ガイド孔４２ｃ，４２ｄの位置は、第１取付部材４１の保持孔４１ｅ，４１ｆの位置と重複している。Ｙ軸方向において、ガイド孔４２ｃ，４２ｄの長さは、ボルトＢ１，Ｂ２の外径よりも大きく、後述されるＹ軸調整の移動量に基づいて、設定されている。
【0041】
スライド孔４２ｅ，４２ｆは、ボルトＢ１３，Ｂ１４が挿通される貫通孔である。スライド孔４２ｅ，４２ｆの内径は、ボルトＢ１３，Ｂ１４の外径よりも大きく、後述されるＸＺ軸調整の移動量に基づいて、設定されている。スライド孔４２ｅ，４２ｆは、シールド部４２ｂの－Ｘ方向側の端部の上端部および下端部に配置されている。Ｙ軸方向視において、スライド孔４２ｅ，４２ｆの位置は、ボルトＢ１３，Ｂ１４の位置と重複している。
【0042】
光通過孔４２ｇは、センサ３からの光ビームＬＢおよび外部光を通過させる貫通孔である。光通過孔４２ｇの形状は、上下方向に縦長の長方形状である。光通過孔４２ｇは、シールド部４２ｂの中央部に配置されている。
【0043】
第１取付部材４１は、第２取付部材４２の＋Ｘ方向に、第２取付部材４２に隣接して配置されている。保持部４１ｂは、スライド部４２ａに当接している。ボルトＢ１は、＋Ｘ方向側から、ワッシャＷ１、保持孔４１ｅ、ガイド孔４２ｃ、およびワッシャＷ２に挿通されている。ナットＮ１は、ボルトＢ１の先端部に取り付けられている。同様に、ボルトＢ２は、＋Ｘ方向側から、ワッシャＷ３、保持孔４１ｆ、ガイド孔４２ｄ、およびワッシャＷ４に挿通されている。ナットＮ２は、ボルトＢ２の先端部に取り付けられている。その結果、第２取付部材４２は、第１取付部材４１に取り付けられている。このとき、Ｙ軸方向視において、第１取付部材４１および第２取付部材４２の形状は、矩形状（正方形状）である。
【0044】
ボルトＢ１１は、スライド孔４１ｃおよびワッシャＷ５に挿通されている。ボルトＢ１２は、スライド孔４１ｄおよびワッシャＷ６に挿通されている。ボルトＢ１３は、スライド孔４２ｆおよびワッシャＷ７に挿通されている。ボルトＢ１４は、スライド孔４２ｅおよびワッシャＷ８に挿通されている。ナットＮ３は、ボルトＢ１１の＋Ｙ方向側の端部に取り付けられている。ナットＮ４は、ボルトＢ１２の＋Ｙ方向側の端部に取り付けられている。ナットＮ５は、ボルトＢ１３の＋Ｙ方向側の端部に取り付けられている。ナットＮ６は、ボルトＢ１４の＋Ｙ方向側の端部に取り付けられている。その結果、第１取付部材４１および第２取付部材４２は、ボルトＢ１１～Ｂ１４およびナットＮ３～Ｎ６を用いて、サイトグラスＳ（覗窓Ｓ３）を＋Ｙ方向側から覆うように、サイトグラスＳに直接的に取り付けられている。このとき、スライド部４１ａおよびシールド部４２ｂは覗窓Ｓ３の全面（光通過孔４２ｇが対向している部分を除く）に対向して配置されていて、シールド部４２ｂはガラス窓Ｓ３ａの大部分を＋Ｙ方向側から覆っている。
【0045】
ここで、センサ３は、光通過孔４２ｇを＋Ｙ方向側から覆うように、シールド部４２ｂに取り付けられている。このとき、センサ３（発光部３２および受光部３３）は、ガラス窓Ｓ３ａに対向するように配置されていて、発光部３２の光ビームＬＢが開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂに照射されるように、シールド部４２ｂに取り付けられている。すなわち、第１取付部材４１および第２取付部材４２は、センサ３と共に、覗窓Ｓ３の全面に対向している。発光部３２は、受光部３３の下方に、配置されている。すなわち、上下方向において、発光部３２は、受光部３３と並んで配置されている。換言すれば、ノズルＳ１から滴下される液滴（対象液Ｌ）の落下方向において、発光部３２は、受光部３３と並んで配置されている。
【0046】
背面シールド部材５は、覗窓Ｓ４を－Ｙ方向側から覆う。背面シールド部材５は、支持部材５１、開閉蓋５２、および４個のナットＮ７，Ｎ８（２個は不図示。以下同じ。）を備える。
【0047】
支持部材５１は、開閉蓋５２を支持する。支持部材５１は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。支持部材５１の形状は、ＸＺ軸方向に沿う矩形板状である。支持部材５１は、１個の中央孔５１ａおよび４個の挿通孔（不図示）を備える。
【0048】
中央孔５１ａは、支持部材５１を貫通する貫通孔である。中央孔５１ａは、支持部材５１の中央に配置されている。中央孔５１ａの形状は、例えば、円形状である。Ｙ軸方向視において中央孔５１ａの大きさは、ガラス窓Ｓ４ａの大きさと略同じである。中央孔５１ａは、ガラス窓Ｓ４ａに対向するように配置されている。その結果、本システム１（本ユニット２）の使用者は、ガラス窓Ｓ４ａを介して、支持部材５１よりも－Ｙ方向側から、ノズルＳ１から滴下される対象液Ｌを監視できる。
【0049】
開閉蓋５２は、中央孔５１ａを開閉する蓋である。開閉蓋５２は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。開閉蓋５２の形状は、例えば、円板状である。開閉蓋５２は、中央孔５１ａを開閉可能に、支持部材５１の－Ｙ方向側の面に支持されている。開閉蓋５２が閉じているとき、開閉蓋５２は、覗窓Ｓ４（ガラス窓Ｓ４ａ）に対向している閉位置に位置している。一方、開閉蓋５２が開いているとき、開閉蓋５２は、覗窓Ｓ４（ガラス窓Ｓ４ａ）に対向していない開位置に位置している。すなわち、開閉蓋５２は、閉位置と開位置との間で移動可能となるように、支持部材５１を介して、サイトグラスＳに取り付けられている。
【0050】
ボルトＢ１１～Ｂ１４は、支持部材５１の対応する挿通孔に挿通されている。４個のナットＮ７，Ｎ８は、対応するボルトＢ１１～Ｂ１４の－Ｙ方向側の端部に取り付けられている。その結果、支持部材５１は、覗窓Ｓ４を－Ｙ方向側から覆うように、サイトグラスＳに取り付けられている。開閉蓋５２が閉じているとき、支持部材５１および開閉蓋５２は、覗窓Ｓ４の全面に対向して配置されている。すなわち、支持部材５１および開閉蓋５２は、本発明における第２シールド部材として機能している。
【0051】
【0052】
センサ３の位置調整は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向における調整（以下「ＸＺ軸調整」という。）、および、Ｙ軸方向における調整（以下「Ｙ軸調整」という。）を含む。センサ３の位置調整は、例えば、ＸＺ軸調整、Ｙ軸調整、の順に実行される。
【0053】
ＸＺ軸調整では、先ず、ナットＮ３～Ｎ６が、緩められる。その結果、第１取付部材４１および第２取付部材４２（すなわち、第２取付部材４２に取り付けられているセンサ３）は、スライド孔４１ｃ，４１ｄ，４２ｅ，４２ｆの内径と、ボルトＢ１１～Ｂ１４の外径と、の差分の範囲内で、Ｘ軸方向およびＺ軸方向（覗窓Ｓ３に平行な方向）に移動可能となる。
【0054】
次いで、光ビームＬＢが発光部３２から放射されて、ノズルＳ１から対象液Ｌが滴下される。このとき、使用者は、開閉蓋５２を開けることにより、サイトグラスＳ内を－Ｙ方向側から視認できる。
【0055】
次いで、発光部３２の位置が、目視により、調整される。具体的には、開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂ、および、開口端面Ｓ１ａに表面張力で付着する、滴下直前の対象液Ｌが、光ビームＬＢのスポット径ＤＬＢ（図７参照）内に入るように、発光部３２の位置が調整される。前述のとおり、開口端面Ｓ１ａは傾斜しており、開口端面Ｓ１ａの向きに応じて、光ビームＬＢの位置の微調整が必要となる。液滴は開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂから滴下されるため、使用者は、同下端部Ｓ１ｂを光ビームＬＢの放射の目印とすることにより、ＸＺ軸調整を目視で容易に実行できる。
【0056】
図７は、センサ３の位置調整方法に含まれる、ＸＺ軸調整における光ビームＬＢの位置の微調整方法を説明する模式図である。同図は、説明の便宜上、ノズルＳ１が回転した状態を破線で示している。
図７に示されるように、滴下直前の対象液Ｌの位置は、開口端面Ｓ１ａが＋Ｙ方向に向けられているときの同位置を基準として、開口端面Ｓ１ａが＋Ｘ方向に向けられると－Ｘ方向に移動して、開口端面Ｓ１ａが－Ｘ方向に向けられると＋Ｘ方向に移動する。対象液Ｌに放射されている光ビームＬＢのスポット径ＤＬＢは、ノズルＳ１に付着している対象液Ｌよりは大きい。しかし、スポット径ＤＬＢは、開口端面Ｓ１ａの向きに応じて対象液Ｌが位置し得る範囲全てをカバーできる大きさを有していない。そのため、開口端面Ｓ１ａの向きに応じて、光ビームＬＢの位置の微調整が必要となる。また、開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂの位置や形状は、製造誤差などにより、サイトグラスＳごとに変わり得る。さらに、ノズルＳ１の直径は、サイトグラスＳの種類（サイトグラスＳに接続される配管径）により、変わる。そのため、サイトグラスＳごとに、光ビームＬＢの位置の調整は、必要となる。
図７に示されるように、滴下直前の対象液Ｌの位置は、開口端面Ｓ１ａが＋Ｙ方向に向けられているときの同位置を基準として、開口端面Ｓ１ａが＋Ｘ方向に向けられると－Ｘ方向に移動して、開口端面Ｓ１ａが－Ｘ方向に向けられると＋Ｘ方向に移動する。対象液Ｌに放射されている光ビームＬＢのスポット径ＤＬＢは、ノズルＳ１に付着している対象液Ｌよりは大きい。しかし、スポット径ＤＬＢは、開口端面Ｓ１ａの向きに応じて対象液Ｌが位置し得る範囲全てをカバーできる大きさを有していない。そのため、開口端面Ｓ１ａの向きに応じて、光ビームＬＢの位置の微調整が必要となる。また、開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂの位置や形状は、製造誤差などにより、サイトグラスＳごとに変わり得る。さらに、ノズルＳ１の直径は、サイトグラスＳの種類（サイトグラスＳに接続される配管径）により、変わる。そのため、サイトグラスＳごとに、光ビームＬＢの位置の調整は、必要となる。
【0057】
【0058】
Ｙ軸調整では、先ず、ナットＮ１，Ｎ２が、緩められる。その結果、第２取付部材４２は、ボルトＢ１，Ｂ２の外径と、Ｙ軸方向におけるガイド孔４２ｃ，４２ｄの長さと、の差分の範囲内で、Ｙ軸方向（覗窓Ｓ３に垂直な方向）に移動可能となる。
【0059】
次いで、滴下直前の対象液Ｌに放射されている光ビームＬＢのスポット径ＤＬＢが適切な大きさ（例えば、対象液Ｌの全体がスポット径ＤＬＢ内に収まる大きさ）になるように、第２取付部材４２の位置が調整される。次いで、ナットＮ１，Ｎ２が締められて、第１取付部材４１に対する第２取付部材４２の位置が固定される。次いで、ナットＮ５，Ｎ６が、光ビームＬＢの向きが変わらない程度に、仮止めされる。
【0060】
なお、Ｙ軸調整において、第２取付部材４２の位置は、スポット径ＤＬＢの大きさに関わらず、センサ３による対象液Ｌの検知状態が良好となる位置に調整されてもよい。
【0061】
次いで、ノズルＳ１からの対象液Ｌの滴下を停止して、開閉蓋５２が閉じられる。次いで、ノズルＳ１の開口端面Ｓ１ａに対象液Ｌが付着していない状態で、センサ３の初期設定が実行される。その結果、対象液Ｌの有無を判定する閾値が、設定される。この状態で、センサ３は、開口端面Ｓ１ａに対象液Ｌが付着していない状態を背景として認識して、開口端面Ｓ１ａに対象液Ｌが付着している状態を検知できる。
【0062】
このように、本ユニット２は、覗窓Ｓ３に平行な方向（ＸＺ軸方向）、および覗窓Ｓ３に垂直な方向（Ｙ軸方向）にセンサ３を移動させて、被放射対象に対するセンサ３の位置調整を可能としている。すなわち、第１取付部材４１、第２取付部材４２、スライド孔４１ｃ，４１ｄ，４２ｅ，４２ｆ、ボルトＢ１，Ｂ２、およびガイド孔４２ｃ，４２ｄは、センサ３をＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動させる移動機構として機能している。センサ３の位置調整が実行されることにより、光ビームＬＢは滴下直前の対象液Ｌに向けて放射されて、センサ３は対象液Ｌの有無を精度よく検知できる。
【0063】
図８は、位置調整後のセンサ３による対象液Ｌの検知状態の確認結果を示す模式図である。
同図において、センサ３とガラス窓Ｓ３ａとの間の距離（直近、７０ｍｍ、１２０ｍｍ）、センサ３の向き（縦向き、横向き）、および開閉蓋５２の位置（開位置、閉位置）が変更されたときの、センサ３による対象液Ｌの検知状態が「〇：検知可能」「×：検知不可能」により示されている。「設定１」は、開閉蓋５２が閉位置に位置している状態で初期設定が実行されたこと、を示している。「設定２」は、開閉蓋５２が開位置に位置している状態で初期設定が実行されたこと、を示している。「縦向き」は、受光部３３が発光部３２の上方に配置されている状態を示している。「横向き」は、Ｘ軸方向において、受光部３３が発光部３２に並んで配置されている状態を示している。「直近」は、センサ３が取付部材４により最もガラス窓Ｓ３ａに近づけられているときの距離（例えば、約２０ｍｍ）を示している。検知状態の確認において、呼び径が「１５Ａ」のサイトグラスＳが、使用されている。第２取付部材４２は、シールド部４２ｂを備えていない。サイトグラスＳは、屋内に配置されている。環境光の光源は、蛍光灯である。
同図において、センサ３とガラス窓Ｓ３ａとの間の距離（直近、７０ｍｍ、１２０ｍｍ）、センサ３の向き（縦向き、横向き）、および開閉蓋５２の位置（開位置、閉位置）が変更されたときの、センサ３による対象液Ｌの検知状態が「〇：検知可能」「×：検知不可能」により示されている。「設定１」は、開閉蓋５２が閉位置に位置している状態で初期設定が実行されたこと、を示している。「設定２」は、開閉蓋５２が開位置に位置している状態で初期設定が実行されたこと、を示している。「縦向き」は、受光部３３が発光部３２の上方に配置されている状態を示している。「横向き」は、Ｘ軸方向において、受光部３３が発光部３２に並んで配置されている状態を示している。「直近」は、センサ３が取付部材４により最もガラス窓Ｓ３ａに近づけられているときの距離（例えば、約２０ｍｍ）を示している。検知状態の確認において、呼び径が「１５Ａ」のサイトグラスＳが、使用されている。第２取付部材４２は、シールド部４２ｂを備えていない。サイトグラスＳは、屋内に配置されている。環境光の光源は、蛍光灯である。
【0064】
距離が「直近」のとき、センサ３は、全ての条件において、対象液Ｌを検知している。このとき、受光部３３は主に内部光を受光しており、内部光には－Ｙ方向側（覗窓Ｓ４側）からの環境光が影響を与えている。このように、距離が「直近」のとき、（主に開閉蓋５２の位置による）環境光の変化による受光量の変化は、センサ３の検知状態に影響を与えていない。そのため、距離が「直近」のとき、センサユニット２は、シールド部４２ｂおよび背面シールド部材５を備えていなくてもよい。
【0065】
距離が「７０ｍｍ」のとき、センサ３は、開閉蓋５２が初期設定時の位置に位置しているときのみ、対象液Ｌを検知している。このとき、受光部３３は、内部光と共に、受光部３３に直接入光される環境光も受光している。この環境光の影響により、開閉蓋５２の位置による内部光の変化が、センサ３の検知状態に影響を与えているものと推測される。そのため、センサ３の位置がガラス窓Ｓ３ａから遠ざかるとき、受光部３３に向かう環境光の遮断は、センサ３の検知精度の向上に有効であると推測される。
【0066】
距離が「１２０ｍｍ」のとき、センサ３は、開閉蓋５２が初期設定時の位置に位置していて、センサ３が「縦向き」に配置されているときのみ、対象液Ｌを検知している。そのため、センサ３の向きについては、「縦向き」が「横向き」よりも適している。
【0067】
なお、本発明において、センサ３の位置調整方法は、上記の内容に限定されない。すなわち、例えば、Ｙ軸調整は実行されなくてもよく、Ｙ軸調整の後にＸＺ軸調整が実行されてもよい。また、例えば、センサ３の初期設定は、開閉蓋５２が開けられている状態で実行されてもよく、開口端面Ｓ１ａに対象液Ｌが付着した状態で実行されてもよい。後者の場合、センサ３は、対象液Ｌが開口端面Ｓ１ａに付着されていないとき（滴下直後）に、対象液Ｌの不存在を検知して、対象液Ｌが無いことを示す検知信号を送信してもよい。さらに、ＸＺ軸調整において、対象液Ｌを滴下することなく、開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂを基準に光ビームＬＢの位置が決められてもよい。
【0068】
【0069】
本システム１が動作しているとき、発光部３２は、制御回路３４の制御に基づいて、光ビームＬＢを放射している。受光部３３は、外部光（内部光）を受光して、受光量に基づく電気信号を信号処理回路３５に送信する。信号処理回路３５は、電気信号に基づいて、外部光（内部光）の光量の変化量を取得して、同変化量と閾値とを比較して、検知信号を生成する。信号処理回路３５は、例えば、変化量が閾値よりも大きいとき、対象液Ｌが有ることを示す検知信号を生成する。検知信号は、バリアリレー６を介して、外部装置７に送信される。外部装置７は、検知信号に基づいて、サイトグラスＳを通過する対象液Ｌを監視する。すなわち、例えば、外部装置７は、所定時間間隔（例えば、対象液Ｌの滴下間隔の数回分の間隔）において、検知信号を受信しないとき、滴下状態の異常（不滴下）を報知する。また、例えば、外部装置７は、検知信号を受信する都度、受信時間を記憶することにより、滴下状態を記憶する。
【0070】
ここで、一般的に、極小流量の液体の液滴は、小さい。そのため、滴下中の液滴に光ビームＬＢが放射されると、小さな液滴が、光ビームＬＢ内を瞬時に通過する。この場合、受光部３３が受光する外部光の変化量は、微量となる。したがって、液滴の検出精度は、低下し得る。本システム１では、光ビームＬＢは、滴下中の対象液Ｌの液滴ではなく、滴下直前の対象液Ｌに放射されている。滴下直前の対象液Ｌの大きさは液滴の大きさと略同じであり、かつ、対象液Ｌは滴下されるまで大きくなりながら所定の位置（開口端面Ｓ１ａの下方、かつ、開口端面Ｓ１ａに隣接する位置：スポット径ＤＬＢ内）に留まる。すなわち、対象液Ｌは、滴下されるまで光ビームＬＢ内に留まる。そして、対象液Ｌが滴下された直後は、対象液Ｌは光ビームＬＢ内に存在しない。したがって、対象液Ｌの滴下前後において、受光部３３が受光する内部光は大きく変化する。その結果、センサ３は、対象液Ｌの有無、すなわち、滴下の有無を確実に検知できる。
【0071】
なお、本発明において、対象液Ｌの表面張力が小さい場合、対象液Ｌは滴下直前に開口端面Ｓ１ａに十分に付着することなく、滴下される。この場合でも、対象液Ｌは、滴下前には、開口端面Ｓ１ａの表面に、表面張力に応じる大きさで付着していて、滴下直後には、開口端面Ｓ１ａに付着していない。そのため、滴下前後において、開口端面Ｓ１ａ（特に下端部Ｓ１ｂ）における光の反射状態は対象液Ｌの有無により変化して、受光部３３に受光される内部光は変化する。したがって、この場合でも、センサ３は、対象液Ｌの有無、すなわち、滴下の有無を確実に検知できる。
【0072】
また、サイトグラスＳには、屋内の照明光や、窓からの太陽光などの環境光が照射され得る。環境光は、太陽の位置、季節、照明のＯＮ／ＯＦＦなどにより、頻繁に変化する。また、環境光の中には、光ビームＬＢの反射光よりも大きい光量を有するものも存在する。そのため、環境光が受光部３３に受光されると、対象液Ｌの有無による内部光の微小な変化が環境光の変化に埋没して、センサ３は対象液Ｌの有無を誤検知し得る。本システム１では、スライド部４１ａおよびシールド部４２ｂはセンサ３と共にＸ軸方向およびＺ軸方向に移動して、シールド部４２ｂはセンサ３と共にＹ軸方向に移動する。したがって、スライド部４１ａおよびシールド部４２ｂは、センサ３の位置調整の前後において、覗窓Ｓ３を＋Ｙ方向から覆っている。同様に、開閉蓋５２が閉められることにより、支持部材５１および開閉蓋５２は、覗窓Ｓ４を－Ｙ方向から覆っている。その結果、Ｙ軸方向側からの環境光は、スライド部４１ａおよびシールド部４２ｂに遮断されて、覗窓Ｓ３，Ｓ４には直接的に入光されず、サイトグラスＳの内側の明暗に大きな影響を与えない。また、受光部３３は光通過孔４２ｇのみを介して外部光を受光するため、受光部３３は、受光精度に影響が出るような環境光を受光することなく、内部光を受光できる。その結果、本システム１では、受光部３３は、環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液Ｌの有無を検知できる。
【0073】
さらに、対象液Ｌの滴下方向（上下方向）において、受光部３３は、発光部３２の上方に、発光部３２と並んで配置されている。この構成では、図８に示されるとおり、受光部３３は、対象液Ｌの通過（滴下）に基づく内部光の光量の変化を捉え易い。すなわち、センサ３の検知精度は、向上する。
【0074】
さらにまた、開閉蓋５２が開けられることにより、使用者は、従来通りの目視によっても、対象液Ｌの滴下の有無を確認できる。
【0075】
●まとめ
以上説明された実施の形態によれば、本ユニット２は、センサ３および取付部材４を備える。センサ３は、光電センサであり、防爆エリアＡ１に、覗窓Ｓ３に対向するように配置されている。センサ３は、防爆エリアＡ１に対する本質安全防爆構造、筐体３１、発光部３２、受光部３３、および信号処理回路３５を備える。取付部材４は、サイトグラスＳに直接的に取り付けられていて、発光部３２からの光ビームＬＢが、対象液Ｌに向けて放射されるように、センサ３を保持している。この構成によれば、対象液Ｌは、滴下時に光ビームＬＢ内を通過する。したがって、対象液Ｌの滴下前後において、受光部３３が受光する外部光（主に反射光）は大きく変化する。その結果、センサ３は、対象液Ｌの有無、すなわち、滴下の有無を精度よく検知できる。
以上説明された実施の形態によれば、本ユニット２は、センサ３および取付部材４を備える。センサ３は、光電センサであり、防爆エリアＡ１に、覗窓Ｓ３に対向するように配置されている。センサ３は、防爆エリアＡ１に対する本質安全防爆構造、筐体３１、発光部３２、受光部３３、および信号処理回路３５を備える。取付部材４は、サイトグラスＳに直接的に取り付けられていて、発光部３２からの光ビームＬＢが、対象液Ｌに向けて放射されるように、センサ３を保持している。この構成によれば、対象液Ｌは、滴下時に光ビームＬＢ内を通過する。したがって、対象液Ｌの滴下前後において、受光部３３が受光する外部光（主に反射光）は大きく変化する。その結果、センサ３は、対象液Ｌの有無、すなわち、滴下の有無を精度よく検知できる。
【0076】
また、以上説明された実施の形態によれば、対象液Ｌの滴下方向（上下方向）において、受光部３３は、筐体３１内に発光部３２と並んで配置されている。この構成によれば、受光部３３は、対象液Ｌの通過（滴下）に基づく内部光の光量の変化を捉え易い。すなわち、センサ３の検知精度は、向上する。
【0077】
さらに、以上説明された実施の形態によれば、発光部３２は、ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５に準拠した放射パワーの光ビームＬＢを放射する。この構成によれば、防爆エリアＡ１において、光ビームＬＢの放射が要因となる被放射対象の発火は、生じない。そのため、本システム１（本ユニット２）は、ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５に適合する。
【0078】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、取付部材４は、光ビームＬＢが開口端面Ｓ１ａの下端部Ｓ１ｂに付着している対象液Ｌに向けて放射されるように、ノズルＳ１に対するセンサ３の位置を変更可能に、センサ３を保持している。この構成によれば、対象液Ｌは、滴下されるまで光ビームＬＢ内に留まる。そして、対象液Ｌが滴下された直後は、対象液Ｌは光ビームＬＢ内に存在しない。したがって、対象液Ｌの滴下前後において、受光部３３が受光する外部光（主に反射光）は大きく変化する。その結果、センサ３は、対象液Ｌの有無、すなわち、滴下の有無を確実に検知できる。すなわち、センサ３の検知精度は、向上する。
【0079】
さらにまた、以上説明された実施の形態によれば、取付部材４は、スライド孔４１ｃ，４１ｄ，４２ｅ，４２ｆ、ボルトＢ１，Ｂ２、およびガイド孔４２ｃ，４２ｄを備える。この構成によれば、本システム１（本ユニット２）の使用者は、ＸＺ軸調整およびＹ軸調整を容易に実行できる。
【0080】
さらにまた、取付部材４は、第１取付部材４１および第２取付部材４２を備える。第１取付部材４１および第２取付部材４２は、センサ３と共に、覗窓Ｓ３の全面に対向するように配置されている。この構成によれば、＋Ｙ方向から覗窓Ｓ３に向かう環境光は、第１取付部材４１および第２取付部材４２に遮断されて、覗窓Ｓ３（ガラス窓Ｓ３ａ）には直接的に入光されない。そのため、同環境光は、サイトグラスＳ内の明暗に大きな影響を与えない。また、受光部３３は、同環境光の影響を受けていない内部光を受光できる。その結果、受光部３３は、同環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液Ｌの有無を検知できる。
【0081】
さらにまた、本ユニット２は、支持部材５１および開閉蓋５２を備える。支持部材５１および開閉蓋５２は、覗窓Ｓ４に対向するように配置されている。開閉蓋５２は、閉位置と開位置との間で移動可能となるように、支持部材５１を介して、サイトグラスＳに取り付けられている。この構成によれば、開閉蓋５２が閉位置に位置しているとき、－Ｙ方向から覗窓Ｓ４に向かう環境光は、支持部材５１および開閉蓋５２に遮断されて、覗窓Ｓ４（ガラス窓Ｓ４ａ）には直接的に入光されない。そのため、例えば、サイトグラスＳの配置環境により環境光（例えば、西日など）が突発的に覗窓Ｓ４に入射されても、同環境光は、サイトグラスＳ内の明暗に大きな影響を与えない。また、受光部３３は、同環境光の影響を受けていない内部光を受光できる。その結果、受光部３３は、同環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液Ｌの有無を検知できる。さらに、開閉蓋５２が開けられることにより、使用者は、目視により、対象液Ｌの滴下の有無を確認できる。
【0082】
さらにまた、第１取付部材４１および第２取付部材４２は、ボルトＢ１１～Ｂ１４を用いて、覗窓Ｓ３（サイトグラスＳ）に直接的に取り付けられている。この構成によれば、取付部材４の部品点数は、削減される。
【0083】
●変形例●
次に、センサユニットの変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の各変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、他の変形例と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、その変形例と同じ符号が付されている。以下の各変形例の説明において、図１～図４は、適宜参照される。
次に、センサユニットの変形例が、先に説明した実施の形態（以下「第１実施形態」という。）と異なる点を中心に、以下に説明される。以下の各変形例において、説明の便宜上、第１実施形態と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、第１実施形態と同じ符号が付されている。また、他の変形例と同じ部材、および、共通する機能を有する部材には、その変形例と同じ符号が付されている。以下の各変形例の説明において、図１～図４は、適宜参照される。
【0084】
●第１変形例
図９は、本ユニットの第１変形例を示す、本ユニットの模式断面図である。
同図は、図４に示されている本ユニット２と同じ位置で切断された本ユニット２Ａの模式断面を示している。第１変形例における本ユニット２Ａは、本ユニット２Ａが筐体９を備える点において、第１実施形態における本ユニット２と異なる。
図９は、本ユニットの第１変形例を示す、本ユニットの模式断面図である。
同図は、図４に示されている本ユニット２と同じ位置で切断された本ユニット２Ａの模式断面を示している。第１変形例における本ユニット２Ａは、本ユニット２Ａが筐体９を備える点において、第１実施形態における本ユニット２と異なる。
【0085】
本ユニット２Ａは、センサ３、取付部材４、および筐体９を備える。
【0086】
筐体９は、サイトグラスＳ、センサ３、および取付部材４を収容する。筐体９は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。筐体９の形状は、中空の直方体状である。筐体９は、第１筐体９ａ、第２筐体９ｂ、および開閉蓋９ｃを備える。筐体９のうち、＋Ｙ方向側の半部は第１筐体９ａを構成していて、－Ｙ方向側の半部は第２筐体９ｂを構成している。第２筐体９ｂは、中央孔９ｄを備える。中央孔９ｄは、第２筐体９ｂを貫通する貫通孔である。中央孔９ｄは、ガラス窓Ｓ４ａに対向するように配置されている。中央孔９ｄは、本発明における開口部の一例である。使用者は、ガラス窓Ｓ４ａを介して、第２筐体９ｂよりも－Ｙ方向側からノズルＳ１から滴下される対象液Ｌを監視できる。開閉蓋９ｃは、中央孔９ｄを開閉する蓋である。開閉蓋９ｃは、中央孔９ｄを閉じてガラス窓Ｓ４ａに対向する閉位置と、中央孔９ｄを開放してガラス窓Ｓ４ａに対向しない開位置と、の間で移動可能に、第２筐体９ｂに取り付けられている。第２筐体９ｂは支持部材５１と共通する機能を有していて、中央孔９ｄは中央孔５１ａと共通する機能を有していて、開閉蓋９ｃは開閉蓋５２と共通する機能を有している。
【0087】
第１筐体９ａおよび第２筐体９ｂは、接続部Ｓ５，Ｓ６を挟み込むようにして、サイトグラスＳに取り付けられる。その結果、筐体９は、サイトグラスＳ、センサ３、および取付部材４の全周を取り囲むように配置されている。このとき、筐体９は、サイトグラスＳ、センサ３、および取付部材４を収容している。
【0088】
このように、筐体９がサイトグラスＳに取り付けられることにより、環境光は、筐体９に遮断されて、センサ３および覗窓Ｓ３，Ｓ４には入光されない。その結果、受光部３３は、環境光の影響を受けていない内部光のみを受光できる。その結果、本システム１では、受光部３３は、環境光に変化が生じても、さらに精度よく安定して対象液Ｌの有無を検知できる。
【0089】
なお、第１変形例において、筐体９は、開閉蓋９ｃおよび中央孔９ｄを備えていなくてもよい。
【0090】
また、第１変形例において、筐体９は、接続部Ｓ５の上面および接続部Ｓ６の下面に取り付けられていてもよい。
【0091】
●第２変形例
図１０は、本ユニットの第２変形例を示す、本ユニットの模式側面図である。
図１０は、－Ｘ方向から見た本ユニット２Ｂを示している。第２変形例における本ユニット２Ｂは、本ユニット２Ｂが筐体１０を備える点において、第１実施形態における本ユニット２と異なる。以下の説明において、図１および図２は、適宜参照される。
図１０は、本ユニットの第２変形例を示す、本ユニットの模式側面図である。
図１０は、－Ｘ方向から見た本ユニット２Ｂを示している。第２変形例における本ユニット２Ｂは、本ユニット２Ｂが筐体１０を備える点において、第１実施形態における本ユニット２と異なる。以下の説明において、図１および図２は、適宜参照される。
【0092】
本ユニット２Ｂは、センサ３、取付部材４Ｂ、筐体１０、２個の中間部材１１，１２、４個のボルトＢ２５，Ｂ２６，Ｂ２７，Ｂ２８（図１１参照。以下同じ。）、および４個のナットＮ２３，Ｎ２４，Ｎ２５，Ｎ２６（図１１参照。以下同じ。）を備える。
【0093】
図１１は、取付部材４Ｂおよび筐体１０の模式分解斜視図である。
同図は、説明の便宜上、サイトグラスＳ、導入配管Ｌ１、および導出配管Ｌ２を二点鎖線で示している。以下の説明において、図１０は、図１１と共に適宜参照される。
同図は、説明の便宜上、サイトグラスＳ、導入配管Ｌ１、および導出配管Ｌ２を二点鎖線で示している。以下の説明において、図１０は、図１１と共に適宜参照される。
【0094】
取付部材４Ｂは、センサ３を保持する。取付部材４Ｂは、第３取付部材４３、４個のボルトＢ２１，Ｂ２２，Ｂ２３，Ｂ２４、４個のワッシャＷ２１，Ｗ２２，Ｗ２３，Ｗ２４、および２個のナットＮ２１，Ｎ２２を備える。
【0095】
第３取付部材４３は、センサ３を保持する。第３取付部材４３は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。第３取付部材４３の形状は、上方視において、＋Ｘ方向および＋Ｙ方向に凸となるＬ字状の、板状である。第３取付部材４３は、スライド部４３ａ、保持部４３ｂ、２個のスライド孔４３ｃ，４３ｄ、および２個の保持孔４３ｅ，４３ｆを備える。
【0096】
第３取付部材４３は、ＸＺ軸方向に沿う矩形板状のスライド部４３ａ、および、ＹＺ軸方向に沿う矩形板状の保持部４３ｂで構成されている。スライド部４３ａは、保持部４３ｂの＋Ｘ方向に配置されている。
【0097】
スライド孔４３ｃ，４３ｄは、ボルトＢ２１，Ｂ２２が挿通される貫通孔である。スライド孔４３ｃ，４３ｄの形状は、Ｘ軸方向に縦長の長丸状である。スライド孔４３ｃ，４３ｄは、スライド部４３ａのＸ軸方向における中央部に、上下方向に並んで配置されている。スライド孔４３ｃ，４３ｄの大きさは、ボルトＢ２１，Ｂ２２の外径よりも大きく、ＸＺ軸調整の移動量に基づいて、設定されている。
【0098】
保持孔４３ｅ，４３ｆは、ボルトＢ２３，Ｂ２４が挿通される貫通孔である。保持孔４３ｅ，４３ｆの形状は、Ｙ軸方向に縦長の長丸状である。保持孔４３ｅ，４３ｆは、保持部４３ｂのＹ軸方向における中央部に、上下方向に並んで配置されている。保持孔４３ｅ，４３ｆの大きさは、ボルトＢ２３，Ｂ２４の外径よりも大きく、Ｙ軸調整の移動量に基づいて、設定されている。
【0099】
筐体１０は、サイトグラスＳを収容する。筐体１０の形状は、－Ｘ方向に開口する矩形箱状である。筐体１０は、例えば、ステンレス鋼などの金属製である。筐体１０は、５個の壁部１０１，１０２，１０３，１０４，１０５、および４個の挟持部１０６，１０７，１０８，１０９を備える。
【0100】
壁部１０１，１０２の形状は、ＸＺ軸方向に沿う矩形状の、板状である。壁部１０１は、矩形状の切欠部１０ａ、および２個の挿通孔１０ｂ，１０ｃを備える。切欠部１０ａは、壁部１０１の上下方向における中央部、かつ、－Ｘ方向側の半部に配置されている。挿通孔１０ｂ，１０ｃは、壁部１０１の切欠部１０ａよりも＋Ｘ方向に、上下方向に並んで配置されている。壁部１０２は、壁部１０１の－Ｙ方向に、壁部１０１と対向するように配置されている。壁部１０１は本発明における第１壁部の一例であり、壁部１０２は本発明における第２壁部の一例であり、切欠部１０ａは本発明における通過部の一例である。
【0101】
壁部１０３の形状は、ＹＺ軸方向に沿う矩形状の、板状である。壁部１０３は、壁部１０１，１０２の＋Ｘ方向に、壁部１０１，１０２に隣接して配置されている。
【0102】
壁部１０４，１０５の形状は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向（以下「ＸＹ軸方向」という。）に沿う矩形状の、板状である。壁部１０４は、壁部１０１～１０３の上方向に、壁部１０１～１０３に隣接して配置されている。壁部１０４は、矩形状の切欠部１０ｄを備える。切欠部１０ｄは、壁部１０４のＹ軸方向における中央部、かつ、－Ｘ方向側の半部に配置されている。壁部１０５は、壁部１０１～１０３の下方向に、壁部１０１～１０３に隣接して配置されている。壁部１０５は、矩形状の切欠部１０ｅを備える。切欠部１０ｅは、壁部１０５のＹ軸方向における中央部、かつ、－Ｘ方向側の半部に配置されている。切欠部１０ｅ，１０ｄの大きさは、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２の外径に基づいて、設定されている。
【0103】
壁部１０１～１０５それぞれは、隣接する壁部１０１～１０５と一体に成型されている。
【0104】
挟持部１０６～１０９の形状は、ＸＺ軸方向に沿う矩形状の、板状である。挟持部１０６～１０９それぞれは、２個の挿通孔１０ｆ，１０ｇを備える。挿通孔１０ｆ，１０ｇは、挟持部１０６～１０９それぞれの上下方向における中央部に、Ｘ軸方向に並んで配置されている。挟持部１０６は、切欠部１０ｄの＋Ｙ方向側の端部、かつ、壁部１０４の上方向に配置されている。挟持部１０７は、切欠部１０ｄの－Ｙ方向側の端部、かつ、壁部１０４の上方向に配置されている。挟持部１０８は、切欠部１０ｅの＋Ｙ方向側の端部、かつ、壁部１０５の下方向に配置されている。挟持部１０９は、切欠部１０ｅの－Ｙ方向側の端部、かつ、壁部１０５の下方向に配置されている。挟持部１０６，１０７は相互に対向していて、挟持部１０８，１０９は相互に対向している。挟持部１０６，１０７は本発明における第１挟持部の一例であり、挟持部１０８，１０９は本発明における第２挟持部の一例である。
【0105】
挟持部１０６，１０７は壁部１０４と一体に成型されていて、挟持部１０８，１０９は壁部１０５と一体に成型されている。
【0106】
中間部材１１は、挟持部１０６，１０７と導入配管Ｌ１との間に配置されていて、筐体１０を支持している。中間部材１１の形状は、直方体状である。中間部材１１は、例えば、合成樹脂製である。中間部材１１は、３個の挿通孔１１ａ，１１ｂ，１１ｃを備える。挿通孔１１ａは、中間部材１１を上下方向に貫通する貫通孔である。挿通孔１１ａは、中間部材１１のＸＹ軸方向の中央部に配置されている。挿通孔１１ｂ，１１ｃは、中間部材１１をＹ軸方向に貫通する貫通孔である。挿通孔１１ｂ，１１ｃは、中間部材１１の上下方向の中央部に、Ｘ軸方向に並んで配置されている。中間部材１１は、Ｙ軸方向の中央部において、２個の半体１１１，１１２に分割可能である。
【0107】
中間部材１２は、挟持部１０８，１０９と導出配管Ｌ２との間に配置されていて、筐体１０を支持している。中間部材１２の構成は、中間部材１１の構成と共通する。すなわち、中間部材１２は、３個の挿通孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃを備えていて、２個の半体１２１，１２２に分割可能である。
【0108】
第３取付部材４３は、壁部１０１の＋Ｙ方向に配置されている。ボルトＢ２１は、挿通孔１０ｂ、スライド孔４３ｃ、およびワッシャＷ２１に挿通されていて、ボルトＢ２２は、挿通孔１０ｃ、スライド孔４３ｄ、およびワッシャＷ２１に挿通されている。ナットＮ２１はボルトＢ２１に取り付けられていて、ナットＮ２２はボルトＢ２２に取り付けられている。その結果、第３取付部材４３は、保持部４３ｂが切欠部１０ａの＋Ｘ方向側の端部に沿うように、壁部１０１（筐体１０）の＋Ｙ方向側の面に取り付けられている。ボルトＢ２３はワッシャＷ２３および保持孔４３ｅに挿通されていて、ボルトＢ２４はワッシャＷ２４および保持孔４３ｆに挿通されている。センサ３は、ボルトＢ３４，Ｂ２４により、保持部４３ｂの－Ｘ方向側の面に取り付けられている。
【0109】
導入配管Ｌ１は挿通孔１１ａに挿通されていて、導出配管Ｌ２は挿通孔１２ａに挿通されている。中間部材１１は挟持部１０６，１０７の間に配置されていて、中間部材１２は挟持部１０８，１０９の間に配置されている。ボルトＢ２５は挟持部１０６，１０７の挿通孔１０ｆおよび挿通孔１１ｂに挿通されていて、ボルトＢ２６は挟持部１０６，１０７の挿通孔１０ｇおよび挿通孔１１ｃに挿通されている。ナットＮ２３はボルトＢ２５に取り付けられていて、ナットＮ２４はボルトＢ２６に取り付けられている。ボルトＢ２７は挟持部１０８，１０９の挿通孔１０ｆおよび挿通孔１２ｂに挿通されていて、ボルトＢ２８は挟持部１０８，１０９の挿通孔１０ｇおよび挿通孔１２ｃに挿通されている。ナットＮ２５はボルトＢ２７に取り付けられていて、ナットＮ２６はボルトＢ２８に取り付けられている。その結果、挟持部１０６，１０７は中間部材１１を介して導入配管Ｌ１を挟み込むように導入配管Ｌ１に取り付けられていて（挟持している）、挟持部１０８，１０９は中間部材１２を介して導出配管Ｌ２を挟み込むように導出配管Ｌ２に取り付けられている（挟持している）。すなわち、筐体１０は、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２を介して、サイトグラスＳに間接的に取り付けられている。つまり、筐体１０は、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２に支持されている。取付部材４Ｂは、筐体１０、導入配管Ｌ１、および導出配管Ｌ２を介して、サイトグラスＳに間接的に取り付けられている。
【0110】
サイトグラスＳは、筐体１０に収容されている。壁部１０１は、覗窓Ｓ３の一部に対向するようにサイトグラスＳの＋Ｙ方向に配置されている。すなわち、壁部１０１は、本発明における第１シールド部材と共通する機能を有している。切欠部１０ａは、覗窓Ｓ３の＋Ｙ方向に配置されている。壁部１０２は、覗窓Ｓ４の全面に対向するようにサイトグラスＳの－Ｙ方向に配置されている。すなわち、壁部１０２は、本発明における第２シールド部材と共通する機能を有している。壁部１０３はサイトグラスＳの＋Ｘ方向に配置されていて、壁部１０４はサイトグラスＳの上方向に配置されていて、壁部１０５はサイトグラスＳの下方向に配置されている。センサ３は、覗窓Ｓ３に対向するように、覗窓Ｓ３および切欠部１０ａの＋Ｙ方向に配置されている。すなわち、センサ３は、筐体１０の外方向に配置されている。光ビームＬＢは切欠部１０ａを通過して対象液Ｌに照射されて、内部光は切欠部１０ａを通過して受光部３３に受光される。サイトグラスＳは、５方向を筐体（壁部１０１～１０５）に囲まれている。そのため、環境光は、筐体９に遮断されて、覗窓Ｓ３，Ｓ４には入光され難い。その結果、内部光に対する環境光の影響は、少なくなる。その結果、本システム１では、受光部３３は、環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液Ｌの有無を検知できる。
【0111】
このような構成を備える本ユニット２Ｂは、既設のサイトグラスＳに対して、側方（＋Ｘ方向）から容易に取付可能である。
【0112】
また、本ユニット２Ｂでは、センサ３の位置は、サイトグラスＳに対する筐体１０の位置の調整により、大まかに調整（粗調整）可能である。また、ＸＺ軸調整は、スライド孔４３ｃ，４３ｄに対するボルトＢ２１，Ｂ２２の位置調整により、実行可能である。Ｙ軸調整は、保持孔４３ｅ，４３ｆに対するボルトＢ２３，Ｂ２４の位置調整により、実行可能である。
【0113】
さらに、本ユニット２Ｂでは、筐体１０の重心は、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２の中心軸線からずれている。したがって、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２には、筐体１０による偏荷重が加えられている。前述のとおり、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２は金属製であり、筐体１０による偏荷重が加えられても、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２は変形せず、サイトグラスＳに対するセンサ３の位置も固定される。したがって、仮に、何らかの要因（例えば、設備内の機械振動、地震など）による振動がサイトグラスＳに伝達されても、センサ３はサイトグラスＳと共に振動して、同位置は変わらない。
【0114】
なお、第２変形例において、本ユニット２Ｂは、中間部材１１，１２を備えていなくてもよい。この場合、挟持部１０６～１０９は、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２を挟持可能な凹凸形状を備えていてもよい。
【0115】
また、第２変形例において、筐体１０は、壁部１０３を備えていなくてもよい。
【0116】
さらに、第２変形例において、筐体１０は、導入配管Ｌ１および導出配管Ｌ２に取付可能であればよく、挟持部１０６～１０９を備えていなくてもよい。
【0117】
さらにまた、第２変形例において、中間部材１１は、分割可能に構成されていなくてもよい。この場合、例えば、中間部材１１は、挿通孔１１ａに代えて、導入配管Ｌ１が挿入可能なスリットを備えていてもよい。中間部材１２も同様である。
【0118】
さらにまた、第２変形例において、挟持部１０７，１０９の挿通孔１０ｆ，１０ｇは、雌ねじ孔でもよい。この場合、本ユニット２Ｂは、ナットＮ２３～Ｎ２６を備えていなくてもよい。
【0119】
●第３変形例
図１２は、本ユニットの第３変形例を示す、本ユニットの模式正面図である。
図１２は、＋Ｙ方向から見た本ユニット２Ｃを示している。第３変形例における本ユニット２Ｃは、本ユニット２Ｃが第２取付部材４２を備えていない点において、第１実施形態における本ユニット２と異なる。以下の説明において、図１および図２は、適宜参照される。
図１２は、本ユニットの第３変形例を示す、本ユニットの模式正面図である。
図１２は、＋Ｙ方向から見た本ユニット２Ｃを示している。第３変形例における本ユニット２Ｃは、本ユニット２Ｃが第２取付部材４２を備えていない点において、第１実施形態における本ユニット２と異なる。以下の説明において、図１および図２は、適宜参照される。
【0120】
本ユニット２Ｃは、センサ３、取付部材４Ｃ、および背面シールド部材５を備える。
【0121】
取付部材４Ｃは、第１取付部材４１Ｃ、２個のボルトＢ２３，Ｂ２４、２個のワッシャＷ５，Ｗ６および２個のナットＮ３，Ｎ４を備える。第１取付部材４１Ｃは、スライド部４１ａ、保持部４１ｂ、２個のスライド孔４１ｃ，４１ｄ（図５参照）、および２個の保持孔（不図示。以下同じ。）を備える。保持孔の構成は、保持孔４３ｅ，４３ｆの構成と同じである。センサ３は、保持部４１ｂの－Ｘ方向側の面に、Ｂ２１，Ｂ２２により取り付けられている。この構成では、ＸＺ軸調整は第１変形例の取付部材４と同様に実行可能であり、Ｙ軸調整は第２変形例の取付部材４Ｂと同様に実行可能である。
【0122】
●その他の実施形態●
なお、本発明において、発光部３２は、サイトグラスＳが配置されている場所の防爆環境に応じて、国際規格「ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５」に準拠していない光パワーの光ビームＬＢを放射してもよい。
なお、本発明において、発光部３２は、サイトグラスＳが配置されている場所の防爆環境に応じて、国際規格「ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５」に準拠していない光パワーの光ビームＬＢを放射してもよい。
【0123】
また、本発明において、光ビームＬＢは、対象液Ｌと共に、ノズルＳ１の開口端面Ｓ１ａにも放射されていてもよい。
【0124】
さらに、本発明において、光ビームＬＢは、ノズルＳ１から滴下された対象液Ｌに放射されていてもよい。
【0125】
さらにまた、本発明において、受光部３３は、発光部３２の下方に配置されていてもよい。
【0126】
さらにまた、本発明において、受光部３３は、Ｘ軸方向において発光部３２と並んで配置されていてもよい（センサ３の向きは「横向き」でもよい）。
【0127】
さらにまた、本発明において、取付部材４は、Ｙ軸調整を実行可能な機構を備えていなくてもよい。すなわち、例えば、取付部材４は、第１取付部材４１および第２取付部材４２に代えて、覗窓Ｓ３を＋Ｙ方向側から覆うシールド部４２ｂを備えていてもよい。この場合、スライド孔４１ｃ，４１ｄ，４２ｅ，４２ｆは、同シールド部４２ｂに配置されている。
【0128】
さらにまた、第２変形例および第３変形例において、センサ３は、図８に示されるように、ガラス窓Ｓ３ａに近づけて配置されるとよい。
【0129】
さらにまた、本発明において、第１取付部材４１は、ボルトＢ１１，Ｂ１２に代えて、ボルトＢ１２，Ｂ１３、ボルトＢ１３，Ｂ１４、またはボルトＢ１１，Ｂ１４に取り付けられていてもよい。この場合、第２取付部材４２は、第１取付部材４１の位置に対応して、ボルトＢ１１，Ｂ１４、ボルトＢ１１，Ｂ１２、またはボルトＢ１２，Ｂ１３に取り付けられていてもよい。
【0130】
さらにまた、本発明において、シールド部４２ｂは、光通過孔４２ｇの側方に配置される貫通孔、および、同貫通孔を開閉可能な蓋部材を備えていてもよい。この構成では、センサ３の位置調整において、使用者は、開閉蓋５２を開けなくても、貫通孔を介して、光ビームＬＢを視認できる。
【0131】
さらにまた、本発明において、取付部材４は、ボルトＢ１１～Ｂ１４に代えて、第１取付部材４１をＸＺ軸方向に移動可能にサイトグラスＳに取り付ける専用部材を備えていてもよい。
【0132】
さらにまた、本発明において、取付部材４は、ボルトＢ１１～Ｂ１４およびナットＮにより覗窓Ｓ３に取り付けられていてもよい。
【0133】
さらにまた、本発明において、取付部材４は、サイトグラスＳに間接的に取り付けられていてもよい。
【0134】
さらにまた、本発明において、取付部材４は、ナットＮ５，Ｎ６およびワッシャＷ７，Ｗ８を備えていなくてもよい。
【0135】
さらにまた、本発明において、覗窓Ｓ４に入光される環境光がセンサ３の検知状態に影響を与えない環境下において、センサユニット２は、背面シールド部材５を備えていなくてもよい。
【0136】
さらにまた、本発明において、ボルトＢ１１～Ｂ１４は、サイトグラスＳではなく、センサユニット２が備えていてもよい（センサユニット２用の専用品でもよい）。
【0137】
さらにまた、本発明において、取付部材４はセンサ３を３軸方向に移動可能に構成されていればよく、取付部材４の構成は第１実施形態の構成に限定されない。
【0138】
さらにまた、本発明において、ガイド孔４２ｃ，４２ｄは、円形状でもよい。この場合、Ｙ軸調整は、実行されなくてもよい。
【0139】
さらにまた、本発明において、ノズルＳ１の開口端面Ｓ１ａは、水平方向に平行でもよい。
【0140】
さらにまた、本システム１が用いられる設備は、付臭設備に限定されない。
【0141】
さらにまた、本発明において、対象液Ｌは、透明な付臭剤に限定されない。すなわち、例えば、対象液Ｌは、着色された液体でもよい。
【0142】
●本発明の実施態様●
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
次に、以上説明した各実施形態から把握される本発明の実施態様について、各実施形態において記載された用語と符号とを援用しつつ、以下に記載する。
【0143】
本発明の第１の実施態様は、防爆エリア（例えば、防爆エリアＡ１）に配置されたサイトグラス（例えば、サイトグラスＳ）を通過する液体（例えば、対象液Ｌ）を検知するセンサユニット（例えば、センサユニット２，２Ａ～２Ｃ）であって、前記サイトグラスは、前記液体を滴下する筒状のノズル（例えば、ノズルＳ１）と、前記ノズルと対向するように配置される覗窓（例えば、覗窓Ｓ３）と、を備えて、前記防爆エリアに、前記覗窓に対向するように配置されるセンサ（例えば、センサ３）と、前記サイトグラスに直接的または間接的に取り付けられて、前記センサを保持する取付部材（例えば、取付部材４，４Ｂ，４Ｃ）と、を有してなり、前記センサは、光電センサであり、前記防爆エリアに対応する防爆構造と、前記覗窓を介して、前記液体に向けて光ビーム（例えば、光ビームＬＢ）を放射する発光部（例えば、発光部３２）と、前記覗窓を介して、前記サイトグラスの内側からの内部光を受光して、前記内部光に応じた電気信号を生成する受光部（例えば、受光部３３）と、生成された前記電気信号に基づいて、前記液体の滴下の有無のうち、いずれか一方を示す検出信号を生成して、非防爆エリア（例えば、非防爆エリアＡ２）に配置される機器（例えば、バリアリレー６、外部装置７）に前記検出信号を出力する信号処理回路（例えば、信号処理回路３５）と、前記発光部と前記受光部と前記信号処理回路とを収容するセンサ筐体（例えば、筐体３１）と、を備えて、前記取付部材は、前記光ビームが、前記液体に向けて放射されるように、前記センサを前記サイトグラスに取り付ける、センサユニットである。
この構成によれば、センサは、対象液の有無、すなわち、滴下の有無を確実に検知できる。
この構成によれば、センサは、対象液の有無、すなわち、滴下の有無を確実に検知できる。
【0144】
本発明の第２の実施態様は、第１の実施態様において、前記液体の滴下方向において、前記受光部は、前記センサ筐体内に前記発光部と並んで配置される、センサユニットである。
この構成によれば、センサの検知精度は、向上する。
この構成によれば、センサの検知精度は、向上する。
【0145】
本発明の第３の実施態様は、第１の実施態様において、前記発光部は、ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５に準拠した放射パワーの前記光ビームを放射する、センサユニットである。
この構成によれば、本ユニットは、ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５に適合する。
この構成によれば、本ユニットは、ＩＥＣ６００７９－２８：２０１５に適合する。
【0146】
本発明の第４の実施態様は、第１乃至第３のいずれか１つの実施態様において、前記取付部材は、前記光ビームが、前記ノズルの下端部（例えば、下端部Ｓ１ｂ）に向けて放射されるように、前記ノズルに対する前記センサの位置を変更可能に、前記センサを保持する、センサユニットである。
この構成によれば、センサの検知精度は、向上する。
この構成によれば、センサの検知精度は、向上する。
【0147】
本発明の第５の実施態様は、第４の実施態様において、前記取付部材は、前記センサと共に、前記覗窓の少なくとも１部に対向するように配置される第１シールド部材（例えば、第１取付部材４１、第２取付部材４２）、を備えて、前記センサは、前記第１シールド部材に保持される、センサユニット（例えば、センサユニット２，２Ｃ）である。
この構成によれば、受光部は、環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
この構成によれば、受光部は、環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
【0148】
本発明の第６の実施態様は、第５の実施態様において、前記サイトグラスは、前記ノズルに対して、前記覗窓の反対側に配置される第２覗窓（例えば、覗窓Ｓ４）、を備えて、前記第２覗窓の全面に対向するように配置される第２シールド部材（例えば、支持部材５１、開閉蓋５２）、を有してなる、センサユニットである。
この構成によれば、受光部は、環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
この構成によれば、受光部は、環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
【0149】
本発明の第７の実施態様は、第６の実施態様において、前記第２シールド部材は、前記第２覗窓に対向する閉位置と、前記第２覗窓に対向しない開位置と、の間で移動可能な開閉蓋（例えば、開閉蓋５２）、を備える、センサユニットである。
この構成によれば、受光部は、同環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
この構成によれば、受光部は、同環境光に変化が生じても、精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
【0150】
本発明の第８の実施態様は、第４の実施態様において、前記サイトグラスは、前記ノズルに対して、前記覗窓の反対側に配置される第２覗窓（例えば、覗窓Ｓ４）、を備えて、前記サイトグラスを収容する筐体（例えば、筐体１０）、を有してなり、前記サイトグラスには、前記サイトグラスの上方向に配置されて、前記ノズルに供給される前記液体が流れる金属製の導入配管（例えば、導入配管Ｌ１）と、前記サイトグラスの下方向に配置されて、前記ノズルから滴下された前記液体が流れる金属製の導出配管（例えば、導出配管Ｌ２）と、が接続されて、前記筐体は、前記覗窓の少なくとも一部に対向するように配置される第１壁部（例えば、壁部１０１）と、前記第１壁部と対向するように配置されて、前記第２覗窓の全面と、前記第１壁部と、に対向するように配置される第２壁部（例えば、壁部１０２）と、前記導入配管を挟み込むように前記導入配管に取り付けられる第１挟持部（例えば、挟持部１０６，１０７）と、前記導出配管を挟み込むように前記導出配管に取り付けられる第２挟持部（例えば、挟持部１０８，１０９）と、を備えて、前記第１壁部は、前記光ビームと前記内部光とが通過可能な通過部（例えば、切欠部１０ａ）、を備えて、前記センサは、前記筐体の外方向に、前記通過部に対向するように配置されて、前記筐体は、前記導入配管と前記導出配管とに取り付けられる、センサユニット（例えば、センサユニット２Ｂ）である。
この構成によれば、本ユニットは、既設のサイトグラスに対して、側方から容易に取付できる。
この構成によれば、本ユニットは、既設のサイトグラスに対して、側方から容易に取付できる。
【0151】
本発明の第９の実施態様は、第５の実施態様において、前記サイトグラスは、前記ノズルが収容される管体（例えば、管体Ｓ２）と、前記覗窓を前記管体に取り付ける複数の締結部材（例えば、ボルトＢ１１～Ｂ１４）と、を備えて、前記第１シールド部材は、前記締結部材を用いて、前記覗窓に取り付けられる、センサユニットである。
この構成によれば、取付部材の部品点数は、削減される。
この構成によれば、取付部材の部品点数は、削減される。
【0152】
本発明の第１０の実施態様は、第５の実施態様において、前記サイトグラスの全周を取り囲むように配置されて、前記センサと前記サイトグラスと前記取付部材とを収容する筐体（例えば、筐体９）、を有してなる、センサユニット（例えば、センサユニット２Ａ）である。
この構成によれば、受光部は、環境光に変化が生じても、さらに精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
この構成によれば、受光部は、環境光に変化が生じても、さらに精度よく安定して対象液の有無を検知できる。
【0153】
本発明の第１０の実施態様は、防爆エリア（例えば、防爆エリアＡ１）に配置されたサイトグラス（例えば、サイトグラスＳ）を通過する液体（例えば、対象液Ｌ）を検知するセンサシステム（例えば、センサシステム１）であって、前記サイトグラスは、前記液体を滴下する筒状のノズル（例えば、ノズルＳ１）と、前記ノズルと対向するように配置される覗窓（例えば、覗窓Ｓ３）と、を備えて、請求項１に記載のセンサユニット（例えば、センサユニット２，２Ａ～２Ｃ）と、前記センサユニットに接続されて、前記センサユニットからの検出信号が入力される機器（例えば、バリアリレー６、外部装置７）と、を有してなり、前記機器は、非防爆エリア（例えば、非防爆エリアＡ２）に配置される、センサシステムである。
この構成によれば、センサは、対象液の有無、すなわち、滴下の有無を確実に検知できる。
この構成によれば、センサは、対象液の有無、すなわち、滴下の有無を確実に検知できる。
【符号の説明】
【0154】
１ センサシステム
２ センサユニット
３ センサ
３１ 筐体（センサ筐体）
３２ 発光部
３３ 受光部
３５ 信号処理回路
４ 取付部材
４１ 第１取付部材（第１シールド部材）
４２ 第２取付部材（第１シールド部材）
５１ 支持部材（第２シールド部材）
５２ 開閉蓋（第２シールド部材、開閉蓋）
６ バリアリレー（機器）
７ 外部装置（機器）
２Ａ センサユニット
９ 筐体
２Ｂ センサユニット
４Ｂ 取付部材
１０ 筐体
１０ａ 切欠部（通過部）
１０１ 壁部（第１壁部）
１０２ 壁部（第２壁部）
１０６，１０７ 挟持部（第１挟持部）
１０８，１０９ 挟持部（第２挟持部）
２Ｃ センサユニット
４Ｃ 取付部材
４１Ｃ 第１取付部材（第１シールド部材）
Ａ１ 防爆エリア
Ａ２ 非防爆エリア
Ｓ サイトグラス
Ｓ１ ノズル
Ｓ２ 管体
Ｓ３ 覗窓
Ｓ４ 覗窓（第２覗窓）
Ｌ１ 導入配管
Ｌ２ 導出配管
２ センサユニット
３ センサ
３１ 筐体（センサ筐体）
３２ 発光部
３３ 受光部
３５ 信号処理回路
４ 取付部材
４１ 第１取付部材（第１シールド部材）
４２ 第２取付部材（第１シールド部材）
５１ 支持部材（第２シールド部材）
５２ 開閉蓋（第２シールド部材、開閉蓋）
６ バリアリレー（機器）
７ 外部装置（機器）
２Ａ センサユニット
９ 筐体
２Ｂ センサユニット
４Ｂ 取付部材
１０ 筐体
１０ａ 切欠部（通過部）
１０１ 壁部（第１壁部）
１０２ 壁部（第２壁部）
１０６，１０７ 挟持部（第１挟持部）
１０８，１０９ 挟持部（第２挟持部）
２Ｃ センサユニット
４Ｃ 取付部材
４１Ｃ 第１取付部材（第１シールド部材）
Ａ１ 防爆エリア
Ａ２ 非防爆エリア
Ｓ サイトグラス
Ｓ１ ノズル
Ｓ２ 管体
Ｓ３ 覗窓
Ｓ４ 覗窓（第２覗窓）
Ｌ１ 導入配管
Ｌ２ 導出配管
【要約】 （修正有）
【課題】精度よくサイトグラス内を通過する小流量の液体を検知する。
【解決手段】本発明に係るセンサユニット２は、防爆エリアに配置されたサイトグラスＳを通過する液体Ｌを検知する。サイトグラスは、ノズルＳ１と覗窓Ｓ３とを備える。センサユニットは、覗窓に対向するように配置されるセンサ３と、センサをサイトグラスに取り付ける取付部材と、を有してなる。センサは、光電センサである。センサは、防爆エリアに対応する防爆構造と、発光部３２と、サイトグラスの内側からの内部光に応じた電気信号を生成する受光部３３と、生成された電気信号に基づいて、液体の滴下の有無を示す検出信号を生成して、非防爆エリアＡ２に配置される機器６に検出信号を出力する信号処理回路と、センサ筐体３１と、を備える。取付部材は、光ビームＬＢが、液体に向けて放射されるように、センサをサイトグラスに取り付ける。
【選択図】図４
【解決手段】本発明に係るセンサユニット２は、防爆エリアに配置されたサイトグラスＳを通過する液体Ｌを検知する。サイトグラスは、ノズルＳ１と覗窓Ｓ３とを備える。センサユニットは、覗窓に対向するように配置されるセンサ３と、センサをサイトグラスに取り付ける取付部材と、を有してなる。センサは、光電センサである。センサは、防爆エリアに対応する防爆構造と、発光部３２と、サイトグラスの内側からの内部光に応じた電気信号を生成する受光部３３と、生成された電気信号に基づいて、液体の滴下の有無を示す検出信号を生成して、非防爆エリアＡ２に配置される機器６に検出信号を出力する信号処理回路と、センサ筐体３１と、を備える。取付部材は、光ビームＬＢが、液体に向けて放射されるように、センサをサイトグラスに取り付ける。
【選択図】図４
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】