技術分野
回路基板の製造方法に係り、例えば半導体素子等が実装される回路基板の製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
パワー半導体素子を伝熱用の金属回路基板に設けたパワーモジュールの一般的な製造方法では、回路となる銅板を絶縁層とベースとなる銅板に接合した後に、銅板を機械加工(一般にはドリル加工)及びエッチング加工している。絶縁基板の回路は、近年の大電流化に対応するため、厚銅化の要求が高まっている。銅板を機械加工する際にはドリル形状の影響により、板厚が厚くなるほど絶縁幅が大きくなって回路自体が大型化してしまうという課題があり、新たな技術が求められていた。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、
金属板の一方の面に回路パターンを設け、他方の面を回路パターンが設けられていないベース面としたベース回路金属板を生成する回路形成工程と、
前記ベース回路金属板の前記回路パターンの抜き部に第1の樹脂を充填し、かつ前記回路パターン上を前記第1の樹脂で覆うことで樹脂被覆金属回路を生成する樹脂被覆工程と、
前記樹脂被覆金属回路の前記回路パターンを覆う前記第1の樹脂と前記ベ・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、半導体素子が実装される回路基板において、回路基板の大型化を抑制する技術を提供できる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
、パワーモジュールを模式的に示した断面図である。
【図2】
、パワーモジュールの製造工程を示したチャート図である。
1 パワー半導体チップ
2 シンタリング層
3 Cu回路
4 放熱シート
5 Cuヒートシンク
6 第1の樹脂
7 リード線
8 樹脂封止部
30 ベース回路Cu板
30A 樹脂被覆Cu回路
30B 放熱ベース基板
31 金属板ベース部
32 回路パターン部
33 抜き部
51 ヒートシンク基部
52 ヒートシンクフィン部
61 樹脂被覆部
62 樹脂充填部
100 パワーモジュール
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