特許 7589862 フロースイッチ及びフロースイッチ取付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-18

(45)【発行日】2024-11-26

(54)【発明の名称】フロースイッチ及びフロースイッチ取付方法

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/00 20220101AFI20241119BHJP

   G01F 1/80 20060101ALI20241119BHJP

   G01P 13/00 20060101ALI20241119BHJP

【ＦＩ】

G01F1/00 U

G01F1/80

G01P13/00 C

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2024514927

(86)(22)【出願日】2023-04-06

(86)【国際出願番号】 JP2023014223

(87)【国際公開番号】W WO2023199838

(87)【国際公開日】2023-10-19

【審査請求日】2024-09-18

(31)【優先権主張番号】P 2022066733

(32)【優先日】2022-04-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110000970

【氏名又は名称】弁理士法人 楓国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】渡邊 芽衣

【審査官】羽飼 知佳

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－１５０６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０６６１８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１７９７５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１９－５２１３５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｆ １／００－ ９／０２

Ｇ０１Ｆ １５／００－１５／１８

Ｇ０１Ｐ １３／００－１３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブ内を流れる流体の流れを検出するフロースイッチであって、
前記フロースイッチは、
前記チューブの変形を検出するセンサ部を備え、
前記チューブの外周面は、前記流体が流れる第１方向に視て、前記チューブの中心より第２方向に位置する第１領域、及び、前記チューブの中心より第３方向に位置する第２領域、を有し、
前記第２方向及び前記第３方向は、前記第１方向に直交し、
前記第３方向は、前記第２方向の反対方向であり、
前記湾曲部は、前記第２方向に突出するように湾曲する形状を含み、
前記センサ部は、前記湾曲部において、前記第１領域と、前記第２領域と、に跨って固定され、
前記第１領域の前記センサ部が固定される部分の面積は、前記第２領域の前記センサ部が固定される部分の面積より大きい、
フロースイッチ。

【請求項2】

前記センサ部は、圧電フィルムを含む、
請求項１に記載のフロースイッチ。

【請求項3】

前記圧電フィルムの主面は、前記圧電フィルムが平面に展開された状態で、前記圧電フィルムの主面の法線方向に視て、矩形状を有する、
請求項２に記載のフロースイッチ。

【請求項4】

前記圧電フィルムが左右方向に伸張されたときに前記圧電フィルムが発生する電荷の極性は、前記圧電フィルムが前後方向に伸張されたときに前記圧電フィルムが発生する電荷の極性と異なる、
請求項２又は請求項３に記載のフロースイッチ。

【請求項5】

前記圧電フィルムは、少なくとも一軸方向に延伸されているポリ乳酸を有するフィルムである、
請求項２又は請求項３に記載のフロースイッチ。

【請求項6】

前記圧電フィルムの主面は、前記圧電フィルムが平面に展開された状態で、左右方向に延びる長手方向を有し、かつ、前後方向に延びる短手方向を有し、
前記圧電フィルムの一軸延伸方向は、前記圧電フィルムが平面に展開された状態で、前記左右方向及び前記前後方向に対して４５度の角度を形成する、
請求項５に記載のフロースイッチ。

【請求項7】

前記センサ部が検出する前記チューブの変形は、前記チューブの曲げである、
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のフロースイッチ。

【請求項8】

前記湾曲部は、弾性変形、又は、弾性変形及び塑性変形により、変形する、
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のフロースイッチ。

【請求項9】

前記チューブの前記第１方向に垂直な断面の外縁は、円形状を含む、
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のフロースイッチ。

【請求項10】

前記流体は、水である、
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のフロースイッチ。

【請求項11】

可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブ内を流れる流体の流れを検出するフロースイッチであって、
前記フロースイッチは、
前記チューブの変形を検出するセンサ部を備え、
前記チューブの外周面は、前記流体が流れる第１方向に視て、前記チューブの中心より第２方向に位置する第１領域、及び、前記チューブの中心より第３方向に位置する第２領域、を有し、
前記第２方向及び前記第３方向は、前記第１方向に直交し、
前記第３方向は、前記第２方向の反対方向であり、
前記湾曲部は、前記第２方向に突出するように湾曲する形状を含み、
前記センサ部は、前記湾曲部において、前記第１領域と、前記第２領域と、に跨って固定され、
前記第２領域の前記センサ部が固定される部分の面積は、前記第１領域の前記センサ部が固定される部分の面積より大きい、
フロースイッチ。

【請求項12】

可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブに対して、センサ部を取り付けるフロースイッチ取付方法であって、
前記チューブの外周面は、前記チューブ内の流体が流れる第１方向に視て、前記チューブの中心より第２方向に位置する第１領域、及び、前記チューブの中心より第３方向に位置する第２領域、を有し、
前記第２方向及び前記第３方向は、前記第１方向に直交し、
前記第３方向は、前記第２方向の反対方向であり、
前記湾曲部は、前記第２方向に突出するように湾曲する形状を含み、
前記センサ部が前記チューブの変形を検出するように、前記センサ部を前記湾曲部において、前記第１領域と、前記第２領域と、に跨って固定し、
前記第１領域の前記センサ部が固定される部分の面積は、前記第２領域の前記センサ部が固定される部分の面積より大きい、
フロースイッチ取付方法。

【請求項13】

可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブに対して、センサ部を取り付けるフロースイッチ取付方法であって、
前記チューブの外周面は、前記チューブ内の流体が流れる第１方向に視て、前記チューブの中心より第２方向に位置する第１領域、及び、前記チューブの中心より第３方向に位置する第２領域、を有し、
前記第２方向及び前記第３方向は、前記第１方向に直交し、
前記第３方向は、前記第２方向の反対方向であり、
前記湾曲部は、前記第２方向に突出するように湾曲する形状を含み、
前記センサ部が前記チューブの変形を検出するように、前記センサ部を前記湾曲部において、前記第１領域と、前記第２領域と、に跨って固定し、
前記第２領域の前記センサ部が固定される部分の面積は、前記第１領域の前記センサ部が固定される部分の面積より大きい、
フロースイッチ取付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流体の流れを検出するフロースイッチ及びフロースイッチ取付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来のフロースイッチ及びフロースイッチ取付方法に関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の水流スイッチが知られている。この水流スイッチは、流量スイッチ及び差圧動作開閉部を備えている。流量スイッチは、流路における小流量の流れを検出する。また、差圧動作開閉部は、流量スイッチによる検出時の流量に基づいて流路を開く。このような水流スイッチは、水が流れる流路に設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００７－２８５９９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、特許文献１に記載の水流スイッチにおいて、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出したいという要望がある。

【0005】

そこで、本発明の目的は、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出できるフロースイッチ及びフロースイッチ取付方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一形態に係るフロースイッチは、
可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブ内を流れる流体の流れを検出するフロースイッチであって、
前記フロースイッチは、
前記チューブの変形を検出するセンサ部を備え、
前記センサ部は、前記チューブの外周面、かつ、前記湾曲部に固定される。

【0007】

本発明の一形態に係るフロースイッチ取付方法は、
可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブに対して、センサ部を取り付けるフロースイッチ取付方法であって、
前記センサ部が前記チューブの変形を検出するように、前記センサ部を前記チューブの外周面、かつ、前記湾曲部に固定する。

【0008】

本明細書において、方向を以下のように定義する。流体が流れる方向を第１方向ＤＩＲ１と定義する。また、第１方向ＤＩＲ１に直交する方向を第２方向ＤＩＲ２と定義する。また、第３方向ＤＩＲ３を第２方向ＤＩＲ２の反対方向と定義する。第２方向ＤＩＲ２及び第３方向ＤＩＲ３は、第１方向ＤＩＲ１に直交する。また、フロースイッチ１において、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、圧電フィルム１１の第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１が並ぶ方向を上下方向と定義する。また、上下方向に視て、圧電フィルム１１の長辺が延びる方向を左右方向と定義する。上下方向に視て、圧電フィルム１１の短辺が延びる方向を前後方向と定義する。上下方向、左右方向及び前後方向は、互いに直交している。なお、本明細書における方向の定義は、一例である。従って、フロースイッチ１の実使用時における方向と本明細書における方向とが一致している必要はない。また、図１乃至図１５において上下方向が反転してもよい。図１乃至図１５において左右方向が反転してもよい。図１乃至図１５において前後方向が反転してもよい。

【0009】

以下では、Ｘ，Ｙは、フロースイッチ１の部品又は部材である。本明細書において、特に断りのない場合には、Ｘの各部について以下のように定義する。Ｘの上部とは、Ｘの上半分を意味する。Ｘの上端とは、Ｘの上方向の端を意味する。Ｘの上端部とは、Ｘの上端及びその近傍を意味する。この定義は、上方向以外の方向にも適用される。

【0010】

また、「Ｘは、Ｙの上に位置している。」とは、ＸがＹの真上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Ｘは、Ｙと重なっている。「Ｘは、Ｙより上に位置している。」とは、ＸがＹの真上に位置していること、及び、ＸがＹの斜め上に位置していることを意味する。従って、上下方向に視て、Ｘは、Ｙと重なっていてもよいし、Ｙと重なっていなくてもよい。この定義は、上方向以外の方向にも適用される。

【0011】

本明細書において、「ＸとＹとが電気的に接続される」とは、ＸとＹとの間で電気が導通していることを意味する。従って、ＸとＹとが接触していてもよいし、ＸとＹとが接触していなくてもよい。ＸとＹとが接触していない場合には、ＸとＹとの間に導電性を有するＺが配置されている。

【発明の効果】

【0012】

本発明によれば、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出できるフロースイッチ及びフロースイッチ取付方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、第１の実施形態に係るフロースイッチ１の斜視図である。

【図2】図２は、第１の実施形態に係るセンサ部３を下方向に視た平面図である。

【図3】図３は、第１の実施形態に係るセンサ部３のＡ－Ａにおける断面図である。

【図4】図４は、第１の実施形態に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。

【図5】図５は、第１の実施形態に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。

【図6】図６は、第１の実施形態に係るセンサ部３がチューブ２に固定されていない状態におけるチューブ２及びセンサ部３を前方向に視た側面図である。

【図7】図７は、水５がチューブ２内を流れていない状態における第１の実施形態に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。

【図8】図８は、水５がチューブ２内を流れている状態における第１の実施形態に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。

【図9】図９は、第１の変形例に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。

【図10】図１０は、第１の変形例に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。

【図11】図１１は、第１の変形例に係るセンサ部３がチューブ２に固定されていない状態におけるチューブ２及びセンサ部３を前方向に視た側面図である。

【図12】図１２は、水５がチューブ２内を流れていない状態における第１の変形例に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。

【図13】図１３は、水５がチューブ２内を流れている状態における第１の変形例に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。

【図14】図１４は、第２の変形例に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。

【図15】図１５は、第３の変形例に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

［第１の実施形態］
以下に、本発明の第１の実施形態に係るフロースイッチ１の構成について図面を参照しながら説明する。図１は、第１の実施形態に係るフロースイッチ１の斜視図である。図２は、第１の実施形態に係るセンサ部３を下方向に視た平面図である。図３は、第１の実施形態に係るセンサ部３のＡ－Ａにおける断面図である。図４は、第１の実施形態に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。図５は、第１の実施形態に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。

【0015】

フロースイッチ１は、可撓性を有するチューブ２内を流れる流体の流れを検出する。チューブ２の材料は、例えば、金属又は樹脂である。従って、チューブ２は、弾性変形する。

【0016】

フロースイッチ１は、図１に示すように、センサ部３を備えている。センサ部３は、チューブ２の変形を検出する。本実施形態では、センサ部３が検出するチューブ２の変形は、チューブ２の曲げである。また、センサ部３は、可撓性を有している。センサ部３は、上下方向に並ぶ第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１を有している。第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１の法線方向は、上下方向である。第１上主面ＵＳ１は、第１下主面ＬＳ１の上に位置している。

【0017】

センサ部３は、図１に示すように、上下方向に視て、矩形状を有している。センサ部３は、左右方向に延びる長手方向を有している。また、センサ部３は、前後方向に延びる短手方向を有している。すなわち、センサ部３の左右方向の長さは、センサ部３の前後方向の長さより長い。

【0018】

センサ部３は、図２に示すように、圧電フィルム１１、上電極１２ａ及び電極部材１３を含んでいる。圧電フィルム１１は、シート形状を有している。従って、圧電フィルム１１は、図３に示すように、上下方向に並ぶ第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２を有している。第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２の法線方向は、上下方向である。第２上主面ＵＳ２は、第２下主面ＬＳ２の上に位置している。また、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２は、図２に示すように、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、左右方向に延びる長手方向を有している。また、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２は、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、前後方向に延びる短手方向を有している。すなわち、圧電フィルム１１の左右方向の長さは、圧電フィルム１１の前後方向の長さより長い。

【0019】

本実施形態では、圧電フィルム１１は、図２に示すように、上下方向に視て、矩形状を有している。すなわち、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２は、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、上下方向（圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２の法線方向）に視て、矩形状を有している。また、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２は、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、左右方向に延びる長辺、及び、前後方向に延びる短辺を有している。圧電フィルム１１は、圧電フィルム１１の変形量に応じた電荷を発生する。本実施形態では、圧電フィルム１１は、ＰＬＡフィルムである。以下に、圧電フィルム１１について、より詳細に説明する。

【0020】

圧電フィルム１１は、圧電フィルム１１が左右方向に伸張されたときに発生する電荷の極性が、圧電フィルム１１が前後方向に伸張されたときに発生する電荷の極性と逆となる特性を有している。具体的には、圧電フィルム１１は、キラル高分子から形成されるフィルムである。キラル高分子とは、例えば、ポリ乳酸（ＰＬＡ）、特にＬ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）である。キラル高分子からなるＰＬＬＡは、主鎖が螺旋構造を有する。ＰＬＬＡは、一軸延伸されて分子が配向する圧電性を有する。圧電フィルム１１は、ｄ１４の圧電定数を有している。圧電フィルム１１の一軸延伸方向ＯＤは、図２に示すように、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、左右方向及び前後方向のそれぞれに対して４５度の角度を形成している。この４５度は、例えば、４５度±１０度程度を含む角度を含む。これにより、圧電フィルム１１は、圧電フィルム１１が左右方向に伸張されること又は前後方向に伸張されることにより、電荷を発生する。圧電フィルム１１が左右方向に伸張されたときに圧電フィルム１１が発生する電荷の極性は、圧電フィルム１１が前後方向に伸張されたときに圧電フィルム１１が発生する電荷の極性と異なる。圧電フィルム１１は、例えば、左右方向に伸張されると負の電荷を発生する。圧電フィルム１１は、例えば、前後方向に伸張されると正の電荷を発生する。電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１１の変形量に依存する。より正確には、電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１１の変形量の微分値に比例する。

【0021】

上電極１２ａは、グランド電極である。上電極１２ａは、上下方向に並ぶ上主面及び下主面を有している。上電極１２ａは、グランドに接続される。上電極１２ａは、図３に示すように、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２に設けられている。上電極１２ａは、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２の全体を覆っている。上電極１２ａは、図示しない粘着層を含んでいる。そして、この粘着層により、上電極１２ａが圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２に固定されている。上電極１２ａの上主面は、センサ部３の第１上主面ＵＳ１である。

【0022】

電極部材１３は、図３に示すように、圧電フィルム１１の第２下主面ＬＳ２に設けられている。また、電極部材１３は、下電極１２ｂ及びフレキシブルプリント基板１４を有している。

【0023】

下電極１２ｂは、信号電極である。下電極１２ｂから検知信号が出力される。本実施形態では、下電極１２ｂは、図３に示すように、後述するフレキシブルプリント基板１４の上主面に設けられている。すなわち、下電極１２ｂは、後述するフレキシブルプリント基板１４の複数の絶縁体層の内の最も上に位置する絶縁体層の上主面に設けられている導体層である。

【0024】

フレキシブルプリント基板１４は、可撓性を有する回路基板である。フレキシブルプリント基板１４は、上下方向に並ぶ上主面及び下主面を有している。フレキシブルプリント基板１４は、信号線、グランド線及び複数の絶縁体層を含んでいる。複数の絶縁体層は、上下方向に積層されている。信号線及びグランド線は、絶縁体層に設けられている導体層である。信号線は、下電極１２ｂと電気的に接続されている。信号線には、下電極１２ｂが出力する検知信号が伝送される。グランド線は、上電極１２ａと電気的に接続されている。グランド線は、グランド電位に接続されている。フレキシブルプリント基板１４の下主面は、センサ部３の第１下主面ＬＳ１である。

【0025】

このようなセンサ部３は、図４に示すように、接着材４を介して、チューブ２の外周面ＯＳに固定される。より詳細には、接着材４は、センサ部３の第１下主面ＬＳ１の全体を覆っている。また、接着材４は、チューブ２の外周面ＯＳに固定される。本実施形態では、センサ部３は、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２の長辺が第１方向ＤＩＲ１に延びるように、チューブ２の外周面ＯＳに固定される。圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２の短辺は、左右方向に視て、チューブ２の周囲を周回している。

【0026】

本実施形態では、チューブ２は、図４に示すように、左直線部２１Ｌ、右直線部２１Ｒ及び湾曲部２２を有する。左直線部２１Ｌは、左下方向から右上方向に延びる形状を有し、かつ、曲がっていない。右直線部２１Ｒは、左上方向から右下方向に延びる形状を有し、かつ、曲がっていない。湾曲部２２は、左右方向に延びる形状を有し、かつ、上方向に突出するように湾曲する形状を含んでいる。センサ部３は、湾曲部２２に固定される。

【0027】

より詳細には、本実施形態では、図４に示すように、水５がチューブ２内を流れる。水５は、本発明の流体の一例である。本実施形態では、水５は、チューブ２内を、左直線部２１Ｌの左端から右直線部２１Ｒの右端に流れる。すなわち、左直線部２１Ｌにおいて、第１方向ＤＩＲ１は、右上方向である。また、右直線部２１Ｒにおいて、第１方向ＤＩＲ１は、右下方向である。また、湾曲部２２において、水５は、チューブ２内を、湾曲部２２の左端から湾曲部２２の右端に流れる。すなわち、本実施形態では、湾曲部２２の左部において、第１方向ＤＩＲ１は、右上方向である。また、湾曲部２２の右部において、第１方向ＤＩＲ１は、右下方向である。また、湾曲部２２の左右方向の中央の位置において、第１方向ＤＩＲ１は、右方向である。

【0028】

湾曲部２２は、図４に示すように、第２方向ＤＩＲ２に突出するように湾曲する形状を含んでいる。具体的には、第２方向ＤＩＲ２は、上方向である。第３方向ＤＩＲ３は、下方向である。

【0029】

また、チューブ２の第１方向ＤＩＲ１に垂直な断面の外縁は、図５に示すように、円形状を含んでいる。また、チューブ２の第１方向ＤＩＲ１に垂直な断面の内縁は、円形状を含んでいる。外周面ＯＳは、第１方向ＤＩＲ１に視て、チューブ２の中心Ｏより第２方向ＤＩＲ２に位置する第１領域Ａ１、及び、チューブ２の中心Ｏより第３方向ＤＩＲ３に位置する第２領域Ａ２を有している。本実施形態では、センサ部３は、第１領域Ａ１に固定されている。

【0030】

ところで、フロースイッチ１は、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出できる構造を有している。以下にこの構造について説明する。図６は、第１の実施形態に係るセンサ部３がチューブ２に固定されていない状態におけるチューブ２及びセンサ部３を前方向に視た側面図である。図７は、水５がチューブ２内を流れていない状態における第１の実施形態に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。図８は、水５がチューブ２内を流れている状態における第１の実施形態に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。なお、図８では、チューブ２及びセンサ部３が変形する様子を説明するため、チューブ２及びセンサ部３の変形を強調して示している。

【0031】

センサ部３がチューブ２に固定されていない状態で、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２の長手方向は、左右方向に延びている。また、センサ部３がチューブ２に固定されていない状態で、圧電フィルム１１の第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２の短手方向は、前後方向に延びている。また、圧電フィルム１１は、センサ部３がチューブ２に固定されていない状態で、僅かに左右方向に延ばされている。センサ部３を、図６に示すように、湾曲部２２の上から湾曲部２２に向けて下方向に移動させることにより、センサ部３を、図７に示すように、チューブ２の外周面ＯＳ、かつ、湾曲部２２に固定する。本実施形態では、センサ部３を、第１領域Ａ１かつ湾曲部２２に固定する。センサ部３は、チューブ２に固定されている状態で、僅かに左右方向に延ばされている。これにより、センサ部３がチューブ２に固定されている状態で、センサ部３には、第１方向ＤＩＲ１及び第１方向ＤＩＲ１の反対方向に縮む張力が発生している。これにより、センサ部３は、チューブ２の変形を検出することができる。

【0032】

圧電フィルム１１が発生する電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１１の変形量の微分値に比例する。すなわち、センサ部３がチューブ２に固定されている状態、かつ、水５がチューブ２内を流れていない状態で、圧電フィルム１１は、電荷を発生しない。信号線には、チューブ２が変形していないことを示す検知信号が伝送される。

【0033】

水５がチューブ２内を流れている状態では、チューブ２の中心Ｏより第２方向ＤＩＲ２に位置する水５の流速は、チューブ２の中心Ｏより第３方向ＤＩＲ３に位置する水５の流速より大きい。従って、水５がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。より詳細には、水５がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、図８に示すように、水５から力Ｆを受ける。具体的には、左直線部２１Ｌでは、水５は、右上方向に進行する。湾曲部２２は、第２方向ＤＩＲ２に突出するように湾曲する形状を含んでいる。そのため、水５は、湾曲部２２の内周面の内のチューブ２の中心Ｏより第２方向ＤＩＲ２に位置する部分に衝突する。これにより、水５の進行方向が変化して、水５は、湾曲部２２に沿って流れる。このとき、水５は、湾曲部２２に力Ｆを与える。力Ｆの方向は、湾曲部２２が上方向に突出するように湾曲する形状を含んでいることにより、第２方向ＤＩＲ２である。これにより、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。より詳細には、湾曲部２２は、弾性変形により、湾曲部２２の直径が大きくなるように変形する。これにより、センサ部３は、第１方向ＤＩＲ１に伸張するように変形する。従って、圧電フィルム１１は、左右方向に伸張される。その結果、圧電フィルム１１は、負の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0034】

チューブ２内を流れていた水５が停止し始めると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆが小さくなる。チューブ２内を流れていた水５が完全に停止すると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆは、零になる。これにより、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。より詳細には、湾曲部２２は、弾性変形により、水５がチューブ２内を流れていない状態の形状に戻る。具体的には、湾曲部２２は、弾性変形により、湾曲部２２の直径が小さくなるように変形する。これにより、センサ部３は、第１方向ＤＩＲ１に縮むように変形する。従って、圧電フィルム１１は、左右方向に圧縮される。その結果、圧電フィルム１１は、正の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0035】

［効果］
フロースイッチ１によれば、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出することができる。より詳細には、チューブ２は、可撓性を有し、かつ、湾曲部２２を有する。これにより、流体がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、流体から力Ｆを受ける。その結果、流体がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、変形する。また、チューブ２内を流れていた流体が完全に停止すると、湾曲部２２が流体から受けていた力Ｆは、零になる。その結果、流体がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、変形する。そこで、フロースイッチ１は、チューブ２の変形を検出するセンサ部３を備えている。センサ部３は、チューブ２の外周面ＯＳ、かつ、湾曲部２２に固定される。これにより、フロースイッチ１は、検出対象の流体と接触しない。また、フロースイッチ１は、センサ部３が湾曲部２２の変形を検出することにより、流体の流れを検出する。その結果、フロースイッチ１によれば、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出することができる。

【0036】

フロースイッチ１によれば、流体の流れを検出する感度を向上させることができる。より詳細には、チューブ２の湾曲部２２は、第２方向ＤＩＲ２に突出するように湾曲する形状を含んでいる。また、チューブ２の外周面ＯＳは、流体が流れる第１方向ＤＩＲ１に視て、チューブ２の中心Ｏより第２方向ＤＩＲ２に位置する第１領域Ａ１、及び、チューブ２の中心Ｏより第３方向ＤＩＲ３に位置する第２領域Ａ２を有している。これにより、流体がチューブ２内を流れ始めると、第１領域Ａ１かつ湾曲部２２には引張応力が働く。一方、流体がチューブ２内を流れ始めると、第２領域Ａ２かつ湾曲部２２には圧縮応力が働く。そこで、センサ部３は、第１領域Ａ１に固定されている。これにより、引張応力により圧電フィルム１１が変形することによって圧電フィルム１１が発生する電荷と圧縮応力により圧電フィルム１１が変形することによって圧電フィルム１１が発生する電荷とが打ち消し合うことがない。従って、センサ部３の感度が向上する。その結果、フロースイッチ１によれば、流体の流れを検出する感度を向上させることができる。

【0037】

フロースイッチ１によれば、センサ部３をチューブ２の外周面ＯＳ、かつ、湾曲部２２に固定しやすくなる。より詳細には、センサ部３は、圧電フィルム１１を含んでいる。また、圧電フィルム１１は、シート形状を有している。これにより、センサ部３は、可撓性を有している。その結果、フロースイッチ１によれば、センサ部３をチューブ２の外周面ＯＳ、かつ、湾曲部２２に固定しやすくなる。

【0038】

フロースイッチ取付方法によれば、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出できるフロースイッチ１をチューブ２に取り付けることができる。より詳細には、チューブ２は、可撓性を有し、かつ、湾曲部２２を有する。センサ部３がチューブ２の変形を検出するように、センサ部３をチューブ２の外周面ＯＳ、かつ、湾曲部２２に固定する。その結果、フロースイッチ取付方法によれば、検出対象の流体と接触せずに、流体の流れを検出できるフロースイッチ１をチューブ２に取り付けることができる。

【0039】

［第１の変形例］
以下に、本発明の第１の変形例に係るフロースイッチ１ａについて、図を参照しながら説明する。図９は、第１の変形例に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。図１０は、第１の変形例に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。図１１は、第１の変形例に係るセンサ部３がチューブ２に固定されていない状態におけるチューブ２及びセンサ部３を前方向に視た側面図である。図１２は、水５がチューブ２内を流れていない状態における第１の変形例に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。図１３は、水５がチューブ２内を流れている状態における第１の変形例に係るセンサ部３を固定したチューブ２を前方向に視た側面図である。なお、図１３では、チューブ２及びセンサ部３が変形する様子を説明するため、チューブ２及びセンサ部３の変形を強調して示している。なお、第１の変形例に係るフロースイッチ１ａについては、第１の実施形態に係るフロースイッチ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。

【0040】

フロースイッチ１ａは、図９及び図１０に示すように、センサ部３がチューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２に固定されている点において、フロースイッチ１と相違する。

【0041】

センサ部３を、図１１に示すように、湾曲部２２の下から湾曲部２２に向けて上方向に移動させることにより、センサ部３を、図１２に示すように、チューブ２の外周面ＯＳ、かつ、湾曲部２２に固定する。本実施形態では、センサ部３を、第２領域Ａ２かつ湾曲部２２に固定する。センサ部３は、チューブ２に固定されている状態で、僅かに左右方向に延ばされている。これにより、センサ部３がチューブ２に固定されている状態で、センサ部３には、第１方向ＤＩＲ１及び第１方向ＤＩＲ１の反対方向に縮む張力が発生している。これにより、センサ部３は、チューブ２の変形を検出することができる。

【0042】

圧電フィルム１１が発生する電荷の大きさは、伸張又は圧縮による圧電フィルム１１の変形量の微分値に比例する。すなわち、センサ部３がチューブ２に固定されている状態、かつ、水５がチューブ２内を流れていない状態で、圧電フィルム１１は、電荷を発生しない。信号線には、チューブ２が変形していないことを示す検知信号が伝送される。

【0043】

水５がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、図１３に示すように、弾性変形により、変形する。これにより、センサ部３は、第１方向ＤＩＲ１に縮むように変形する。従って、圧電フィルム１１は、左右方向に圧縮される。その結果、圧電フィルム１１は、正の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0044】

チューブ２内を流れていた水５が停止し始めると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆが小さくなる。チューブ２内を流れていた水５が完全に停止すると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆは、零になる。これにより、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。より詳細には、湾曲部２２は、弾性変形により、水５がチューブ２内を流れていない状態の形状に戻る。具体的には、湾曲部２２は、弾性変形により、湾曲部２２の直径が小さくなるように変形する。これにより、センサ部３は、第１方向ＤＩＲ１に伸張するように変形する。従って、圧電フィルム１１は、左右方向に伸張される。その結果、圧電フィルム１１は、負の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0045】

以上のようなフロースイッチ１ａにおいても、フロースイッチ１と同じ効果を奏する。

【0046】

［第２の変形例］
以下に、本発明の第２の変形例に係るフロースイッチ１ｂについて、図を参照しながら説明する。図１４は、第２の変形例に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。なお、第２の変形例に係るフロースイッチ１ｂについては、第１の実施形態に係るフロースイッチ１と異なる部分のみ説明し、後は省略する。

【0047】

フロースイッチ１ｂは、図１４に示すように、センサ部３がチューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１と、第２領域Ａ２と、に跨って固定されている点において、フロースイッチ１と相違する。

【0048】

チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１のセンサ部３が固定される部分の面積は、図１４に示すように、チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２のセンサ部３が固定される部分の面積より大きい。

【0049】

水５がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。これにより、チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に伸張するように変形する。一方、チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に縮むように変形する。チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１のセンサ部３が固定される部分の面積が、チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２のセンサ部３が固定される部分の面積より大きいため、圧電フィルム１１は、負の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0050】

チューブ２内を流れていた水５が停止し始めると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆが小さくなる。チューブ２内を流れていた水５が完全に停止すると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆは、零になる。これにより、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。より詳細には、湾曲部２２は、弾性変形により、水５がチューブ２内を流れていない状態の形状に戻る。具体的には、湾曲部２２は、弾性変形により、湾曲部２２の直径が小さくなるように変形する。これにより、チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に縮むように変形する。一方、チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に伸張するように変形する。チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１のセンサ部３が固定される部分の面積が、チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２のセンサ部３が固定される部分の面積より大きいため、圧電フィルム１１は、正の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0051】

以上のようなフロースイッチ１ｂにおいても、フロースイッチ１と同じ効果を奏する。

【0052】

［第３の変形例］
以下に、本発明の第３の変形例に係るフロースイッチ１ｃについて、図を参照しながら説明する。図１５は、第３の変形例に係るチューブ２、センサ部３及び接着材４のＢ－Ｂにおける断面図である。なお、第３の変形例に係るフロースイッチ１ｃについては、第１の実施形態に係るフロースイッチ１ａと異なる部分のみ説明し、後は省略する。

【0053】

フロースイッチ１ｃは、図１５に示すように、センサ部３がチューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１と、第２領域Ａ２と、に跨って固定されている点において、フロースイッチ１ａと相違する。

【0054】

チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２のセンサ部３が固定される部分の面積は、図１５に示すように、チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１のセンサ部３が固定される部分の面積より大きい。

【0055】

水５がチューブ２内を流れ始めると、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。これにより、チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に伸張するように変形する。一方、チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に縮むように変形する。チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２のセンサ部３が固定される部分の面積が、チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１のセンサ部３が固定される部分の面積より大きいため、圧電フィルム１１は、正の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0056】

チューブ２内を流れていた水５が停止し始めると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆが小さくなる。チューブ２内を流れていた水５が完全に停止すると、湾曲部２２が水５から受けていた力Ｆは、零になる。これにより、湾曲部２２は、弾性変形により、変形する。より詳細には、湾曲部２２は、弾性変形により、水５がチューブ２内を流れていない状態の形状に戻る。具体的には、湾曲部２２は、弾性変形により、湾曲部２２の直径が小さくなるように変形する。これにより、チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に縮むように変形する。一方、チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２に固定されている圧電フィルム１１の部分は、第１方向ＤＩＲ１に伸張するように変形する。チューブ２の外周面ＯＳの第２領域Ａ２のセンサ部３が固定される部分の面積が、チューブ２の外周面ＯＳの第１領域Ａ１のセンサ部３が固定される部分の面積より大きいため、圧電フィルム１１は、負の電荷を発生する。信号線には、チューブ２が変形したことを示す検知信号が伝送される。

【0057】

以上のようなフロースイッチ１ｃにおいても、フロースイッチ１ａと同じ効果を奏する。

【0058】

［その他の実施形態］
本発明に係るフロースイッチは、フロースイッチ１，１ａ～１ｃに限らず、その要旨の範囲において変更可能である。また、フロースイッチ１，１ａ～１ｃの構造を任意に組み合わせてもよい。

【0059】

なお、センサ部３は、上下方向に視て、矩形状を有していなくてもよい。矩形状とは、矩形及び矩形を僅かに変形した形状を含む。この場合、センサ部３は、左右方向に延びる長手方向を有していればよい。例えば、第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１のそれぞれは、センサ部３が平面に展開された状態で、第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１のそれぞれの法線方向に見て、楕円状を有していてもよい。

【0060】

なお、圧電フィルム１１は、上下方向に視て、矩形状を有していなくてもよい。この場合、圧電フィルム１１は、左右方向に延びる長手方向を有していればよい。例えば、第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２のそれぞれは、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２のそれぞれの法線方向に見て、楕円状を有していてもよい。

【0061】

なお、センサ部３の左右方向の長さは、センサ部３の前後方向の長さと同じであってもよい。例えば、第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１のそれぞれは、センサ部３が平面に展開された状態で、第１上主面ＵＳ１及び第１下主面ＬＳ１のそれぞれの法線方向に見て、正方形状又は円形状を有していてもよい。

【0062】

なお、圧電フィルム１１の左右方向の長さは、圧電フィルム１１の前後方向の長さと同じであってもよい。例えば、第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２のそれぞれは、圧電フィルム１１が平面に展開された状態で、第２上主面ＵＳ２及び第２下主面ＬＳ２のそれぞれの法線方向に見て、正方形状又は円形状を有していてもよい。

【0063】

なお、圧電フィルム１１は、少なくとも一軸方向に延伸されているポリ乳酸を有するフィルムであってもよい。

【0064】

なお、圧電フィルム１１は、ｄ３１の圧電定数を有していてもよい。ｄ３１の圧電定数を有する圧電フィルム１１は、例えば、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）フィルムである。また、圧電フィルム１１は、圧電セラミックであってもよい。

【0065】

なお、圧電フィルム１１が左右方向に伸張されたときに圧電フィルム１１が発生する電荷の極性は、圧電フィルム１１が前後方向に伸張されたときに圧電フィルム１１が発生する電荷の極性と同じであってもよい。

【0066】

なお、圧電フィルム１１の一軸延伸方向ＯＤと前後方向及び左右方向のそれぞれとが形成する角度は、４５度に限られない。

【0067】

なお、上電極１２ａが信号電極であり、下電極１２ｂがグランド電極であってもよい。

【0068】

なお、下電極１２ｂは、フレキシブルプリント基板１４の上主面と下主面との間に設けられていてもよい。すなわち、下電極１２ｂは、フレキシブルプリント基板１４内に位置していてもよい。

【0069】

なお、フレキシブルプリント基板１４は、必須の構成要件ではない。

【0070】

なお、チューブ２は、左直線部２１Ｌ及び右直線部２１Ｒを有していなくてもよい。

【0071】

なお、流体は、水５に限られない。流体は、例えば、油又は空気等であってもよい。

【0072】

なお、接着材４は、必須の構成要件ではない。

【0073】

なお、湾曲部２２は、弾性変形により、変形することに限られない。湾曲部２２は、塑性変形により、変形してもよい。また、湾曲部２２は、弾性変形及び塑性変形により、変形してもよい。これらの場合においても、フロースイッチ１と同じ効果を奏する。また、チューブ２の先端にノズルが設けられていてもよい。この場合、湾曲部２２は、ノズルの位置が変化できるように、チューブ２に設けられる。ノズルの位置が変化すると、湾曲部２２が弾性変形する。これにより、湾曲部２２の曲率半径が変化する。この場合においても、フロースイッチ１と同じ効果を奏する。

【0074】

なお、センサ部３は、チューブ２の左右方向周りの捻れを検出してもよい。また、センサ部３が検出するチューブ２の変形方向は、左右方向に限らず、上下方向又は前後方向であってもよく、任意の方向であってもよい。また、センサ部３が検出するチューブ２の変形方向は、複数の方向であってもよい。

【0075】

なお、センサ部３は、チューブ２の変形量又は応力を検出してもよい。また、センサ部３は、例えば、歪ゲージを含んでいてもよい。

【0076】

なお、チューブ２の第１方向ＤＩＲ１に垂直な断面の外縁は、円形状を含んでいなくてもよい。

【0077】

なお、チューブ２の第１方向ＤＩＲ１に垂直な断面の内縁は、円形状を含んでいなくてもよい。

【0078】

なお、フロースイッチ１，１ａ～１ｃは、下電極１２ｂから出力された検知信号に基づいて、流体の流れ始めの時刻及び流体の停止し始めの時刻を演算する演算回路を更に備えてもよい。例えば、あらかじめ、判定値を演算回路に設定する。流体が流れ始める前において、チューブ２の先端に設けられる外部機器の動作により、湾曲部２２が大きく変形する場合、演算回路は、検知信号が判定値以上になった時刻がある場合に、検知信号が判定値以上になった時刻の検知信号をマスクしてもよい。

【0079】

本発明は、以下の構造を有する。

【0080】

（１）
可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブ内を流れる流体の流れを検出するフロースイッチであって、
前記フロースイッチは、
前記チューブの変形を検出するセンサ部を備え、
前記センサ部は、前記チューブの外周面、かつ、前記湾曲部に固定される、
フロースイッチ。

【0081】

（２）
前記外周面は、前記流体が流れる第１方向に視て、前記チューブの中心より第２方向に位置する第１領域、及び、前記チューブの中心より第３方向に位置する第２領域、を有し、
前記第２方向及び前記第３方向は、前記第１方向に直交し、
前記第３方向は、前記第２方向の反対方向であり、
前記湾曲部は、前記第２方向に突出するように湾曲する形状を含み、
前記センサ部は、前記第１領域に固定される、
（１）に記載のフロースイッチ。

【0082】

（３）
前記センサ部は、前記第１領域と、前記第２領域と、に跨って固定され、
前記第１領域の前記センサ部が固定される部分の面積は、前記第２領域の前記センサ部が固定される部分の面積より大きい、
（２）に記載のフロースイッチ。

【0083】

（４）
前記外周面は、前記流体が流れる第１方向に視て、前記チューブの中心より第２方向に位置する第１領域、及び、前記チューブの中心より第３方向に位置する第２領域、を有し、
前記第２方向及び前記第３方向は、前記第１方向に直交し、
前記第３方向は、前記第２方向の反対方向であり、
前記湾曲部は、前記第２方向に突出するように湾曲する形状を含み、
前記センサ部は、前記第２領域に固定される、
（１）に記載のフロースイッチ。

【0084】

（５）
前記センサ部は、前記第１領域と、前記第２領域と、に跨って固定され、
前記第２領域の前記センサ部が固定される部分の面積は、前記第１領域の前記センサ部が固定される部分の面積より大きい、
（４）に記載のフロースイッチ。

【0085】

（６）
前記センサ部は、圧電フィルムを含む、
（１）乃至（５）のいずれかに記載のフロースイッチ。

【0086】

（７）
前記圧電フィルムの主面は、前記圧電フィルムが平面に展開された状態で、前記圧電フィルムの主面の法線方向に視て、矩形状を有する、
（６）に記載のフロースイッチ。

【0087】

（８）
前記圧電フィルムが左右方向に伸張されたときに前記圧電フィルムが発生する電荷の極性は、前記圧電フィルムが前後方向に伸張されたときに前記圧電フィルムが発生する電荷の極性と異なる、
（６）又は（７）に記載のフロースイッチ。

【0088】

（９）
前記圧電フィルムは、少なくとも一軸方向に延伸されているポリ乳酸を有するフィルムである、
（６）乃至（８）のいずれかに記載のフロースイッチ。

【0089】

（１０）
前記圧電フィルムの主面は、前記圧電フィルムが平面に展開された状態で、左右方向に延びる長手方向を有し、かつ、前後方向に延びる短手方向を有し、
前記圧電フィルムの一軸延伸方向は、前記圧電フィルムが平面に展開された状態で、前記左右方向及び前記前後方向に対して４５度の角度を形成する、
（９）に記載のフロースイッチ。

【0090】

（１１）
前記センサ部が検出する前記チューブの変形は、前記チューブの曲げである、
（１）乃至（１０）のいずれかに記載のフロースイッチ。

【0091】

（１２）
前記湾曲部は、弾性変形、又は、弾性変形及び塑性変形により、変形する、
（１）乃至（１１）のいずれかに記載のフロースイッチ。

【0092】

（１３）
前記チューブの前記流体が流れる第１方向に垂直な断面の外縁は、円形状を含む、
（１）乃至（１２）のいずれかに記載のフロースイッチ。

【0093】

（１４）
前記流体は、水である、
（１）乃至（１３）のいずれかに記載のフロースイッチ。

【0094】

（１５）
可撓性を有し、かつ、湾曲部を有するチューブに対して、センサ部を取り付けるフロースイッチ取付方法であって、
前記センサ部が前記チューブの変形を検出するように、前記センサ部を前記チューブの外周面、かつ、前記湾曲部に固定する、
フロースイッチ取付方法。

【符号の説明】

【0095】

１，１ａ，１ｂ，１ｃ：フロースイッチ
２：チューブ
３：センサ部
４：接着材
５：水
１１：圧電フィルム
１２ａ：上電極
１２ｂ：下電極
１３：電極部材
１４：フレキシブルプリント基板
２１Ｌ：左直線部
２１Ｒ：右直線部
２２：湾曲部
Ａ１：第１領域
Ａ２：第２領域
ＤＩＲ１：第１方向
ＤＩＲ２：第２方向
ＤＩＲ３：第３方向
Ｆ：力
ＬＳ１：第１下主面
ＬＳ２：第２下主面
Ｏ：中心
ＯＤ：一軸延伸方向
ＯＳ：外周面
ＵＳ１：第１上主面
ＵＳ２：第２上主面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】