特許 7591203 保管システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-20

(45)【発行日】2024-11-28

(54)【発明の名称】保管システム

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20241121BHJP

   B65G 1/137 20060101ALI20241121BHJP

   B65G 1/00 20060101ALN20241121BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 551Z

B65G1/137 Z

B65G1/00 501C

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2023545404

(86)(22)【出願日】2022-08-10

(86)【国際出願番号】 JP2022030530

(87)【国際公開番号】W WO2023032622

(87)【国際公開日】2023-03-09

【審査請求日】2024-02-27

(31)【優先権主張番号】P 2021142787

(32)【優先日】2021-09-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100118784

【弁理士】

【氏名又は名称】桂川 直己

(72)【発明者】

【氏名】北村 亘

【審査官】内田 茉李

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０３６１２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０８５２８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－２５５１１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０１９０１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２０７３３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０５３６６１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｇ １／０４

Ｂ６５Ｇ １／１３７

Ｂ６５Ｇ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

外部から搬入される物品を保管するとともに、保管した前記物品を外部に搬出する保管システムにおいて、
外部から前記物品が搬入される場所である搬入ポートと、
前記物品を保管する保管棚と、
前記物品を外部に搬出する場所である搬出ポートと、
軌道に沿って移動することにより、前記搬入ポート、前記保管棚、又は前記搬出ポートにアクセスする複数の搬送装置と、
前記搬入ポートから前記搬出ポートに至る経路が使用可能な軌道で構成されるという第１条件を満たし、かつ、前記第１条件を満たす軌道に沿って前記物品を搬送可能な前記搬送装置があるという第２条件を満たしたときに、保管システムが使用可能であると判定する判定部と、
を備え、
前記軌道は、複数のループ軌道と、複数の前記ループ軌道同士を接続する接続軌道と、を含み、
前記搬入ポート及び前記搬出ポートは、前記ループ軌道に隣接して設けられ、
前記保管棚は、前記ループ軌道で囲まれる領域と、前記ループ軌道同士の間と、に配置されることを特徴とする保管システム。

【請求項2】

請求項１に記載の保管システムであって、
前記判定部は、前記第１条件及び前記第２条件に加え、更に、前記第１条件を満たす軌道に隣接して設けられた前記保管棚が前記物品を保管可能であるという第３条件を満たしたときに、外部から搬入される前記物品を保管可能であると判定することを特徴とする保管システム。

【請求項3】

請求項１に記載の保管システムであって、
前記搬入ポート及び前記搬出ポートが複数設けられており、
前記判定部は、前記搬入ポート及び前記搬出ポートの全ての組合せについて、前記第１条件を満たすか否かを判定することを特徴とする保管システム。

【請求項4】

請求項１に記載の保管システムであって、
前記判定部は、前記搬入ポートに前記物品を搬入する指令を行う管理装置と通信可能であり、
前記判定部は、保管システムが使用可能か否かを前記管理装置に送信することを特徴とする保管システム。

【請求項5】

請求項４に記載の保管システムであって、
前記搬入ポート及び前記搬出ポートが複数設けられており、
前記判定部は、前記第１条件及び前記第２条件を満たす前記搬入ポート及び前記搬出ポートを特定する識別情報を前記管理装置に送信することを特徴とする保管システム。

【請求項6】

請求項１に記載の保管システムであって、
前記保管棚は、鉛直方向に並べて複数の前記物品を保管可能であり、
前記搬送装置は、天井に設けられた前記軌道に沿って走行可能であるとともに、昇降することにより前記保管棚の前記物品にアクセスすることを特徴とする保管システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、外部から搬入される物品を保管するとともに物品を外部に搬出する保管システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１は、保管棚と、スタッカクレーンと、を備えるパージストッカを開示する。保管棚は、パージ装置によりパージされた容器を保管する。スタッカクレーンは、天井搬送車から受け取った容器を搬送して保管棚に保管する。また、スタッカクレーンは、保管棚に保管されている容器を取り出して、天井搬送車に受け渡す。

【0003】

特許文献２は、走行経路に沿って走行車を走行させる走行車システムを開示する。走行経路には、荷物の受け渡しを行うステーションが複数設けられている。走行車システムでは、走行車が走行できない走行不可区間が設定されている。走行車システムは、あるステーションを出発して走行不可区間を経由せずに同じステーションに戻ってくることができる場合、このステーションを使用可能と設定する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６５６２０７８号公報

【文献】特許第５０３５４２４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１のパージストッカは、スタッカクレーンを１つのみ備えるため、例えばスタッカクレーンが使用不能になった場合、パージストッカが使用不能となる。特許文献２の走行車システムは、ステーションの使用可否を判定するが、使用可能と判定したステーションにアクセスできる走行車があるか否かまでは判定しない。従って、使用可能か否か判定する精度について改善の余地があった。

【0006】

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、複数の搬送装置を備える保管システムにおいて、一部の装置が使用できない場合であっても保管システムが使用可能か否かを精度良く判定可能な構成を提供することにある。

【課題を解決するための手段及び効果】

【0007】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

【0008】

本発明の観点によれば、以下の構成の保管システムが提供される。即ち、保管システムは、外部から搬入される物品を保管するとともに、保管した前記物品を外部に搬出する。保管システムは、搬入ポートと、保管棚と、搬出ポートと、複数の搬送装置と、判定部と、を備える。前記搬入ポートは、外部から前記物品が搬入される場所である。前記保管棚は、前記物品を保管する。前記搬出ポートは、前記物品を外部に搬出する場所である。前記搬送装置は、軌道に沿って移動することにより、前記搬入ポート、前記保管棚、又は前記搬出ポートにアクセスする。前記判定部は、前記搬入ポートから前記搬出ポートに至る経路が使用可能な軌道で構成されるという第１条件を満たし、かつ、前記第１条件を満たす軌道に沿って前記物品を搬送可能な前記搬送装置があるという第２条件を満たしたときに、保管システムが使用可能であると判定する。前記軌道は、複数のループ軌道と、複数の前記ループ軌道同士を接続する接続軌道と、を含む。前記搬入ポート及び前記搬出ポートは、前記ループ軌道に隣接して設けられる。前記保管棚は、前記ループ軌道で囲まれる領域と、前記ループ軌道同士の間と、に配置される。

【0009】

これにより、保管システムの一部が使用不能であったとしても、保管システムの他の部分が使用可能である場合は、保管システムを使用可能と判定できる。従って、保管システムを効率的に運用できる。特に、軌道だけでなく搬送装置も含めて判定を行うことにより、保管システムが使用可能か否かについて精度良く判定できる。また、複数のループ軌道を含むような複雑な軌道に対しても、保管システムが使用可能か否かを判定できる。

【0010】

前記の保管システムにおいては、前記判定部は、前記第１条件及び前記第２条件に加え、更に、前記第１条件を満たす軌道に隣接して設けられた前記保管棚が前記物品を保管可能であるという第３条件を満たしたときに、外部から搬入される前記物品を保管可能であると判定することが好ましい。

【0011】

これにより、保管システムが使用可能か否かだけでなく、保管システムに実際に物品を保管可能か否かを判定できる。

【0012】

前記の保管システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記搬入ポート及び前記搬出ポートが複数設けられている。前記判定部は、前記搬入ポート及び前記搬出ポートの全ての組合せについて、前記第１条件を満たすか否かを判定する。

【0013】

これにより、保管システムが使用可能にもかかわらず使用不能と判定されることをより確実に防止できる。

【0014】

前記の保管システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記判定部は、前記搬入ポートに前記物品を搬入する指令を行う管理装置と通信可能である。前記判定部は、保管システムが使用可能か否かを前記管理装置に送信する。

【0015】

これにより、保管システムが使用可能であることを管理装置に送信できるので、保管システムを有効に活用できる。

【0016】

前記の保管システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記搬入ポート及び前記搬出ポートが複数設けられている。前記判定部は、前記第１条件及び前記第２条件を満たす前記搬入ポート及び前記搬出ポートを特定する識別情報を前記管理装置に送信する。

【0017】

これにより、使用可能な搬入ポートと搬出ポートを管理装置に知らせることができるので、管理システムを更に有効に活用できる。

【0020】

前記の保管システムにおいては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記保管棚は、鉛直方向に並べて複数の前記物品を保管可能である。前記搬送装置は、天井に設けられた前記軌道に沿って走行可能であるとともに、昇降することにより前記保管棚の前記物品にアクセスする。

【0021】

多数の物品を保管可能な保管棚を備える保管システムに本発明を適用することにより、本発明の効果をより有効に発揮させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の一実施形態に係る保管システムの構成を概略的に示す図。

【図2】クレーンの構成を概略的に示す側面図。

【図3】保管システムの使用可否を判定する処理を示すフローチャート。

【図4】第１例における使用不能な軌道、保管棚、及びクレーンを概略的に示す図。

【図5】第２例における使用不能な軌道、保管棚、及びクレーンを概略的に示す図。

【図6】第３例における使用不能な軌道、保管棚、及びクレーンを概略的に示す図。

【図7】別の実施形態に係る軌道を概略的に示す図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図１を参照して保管システム１の構成について説明する。図１は、保管システム１の構成を概略的に示す図である。

【0024】

本実施形態の保管システム１は、半導体製品を製造する工場に複数設置されており、図２に示す物品５０を保管するためのシステムである。保管システム１が保管する物品５０は、ウエハ（半導体ウエハ）を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ－Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）である。工場には、ウエハを処理する処理装置が設けられており、例えば処理装置に供給される前のウエハを一時的に保管するため等に保管システム１が用いられる。なお、物品５０は、レチクルを収容するレチクルポッドであってもよい。

【0025】

図１に示すように、保管システム１は、軌道１０と、搬入ポート２１と、搬出ポート２２と、保管棚３０と、クレーン（搬送装置）４０と、を備える。

【0026】

軌道１０は、工場の天井に設けられている。軌道１０は、クレーン４０を走行させるための部材である。図２に示すように、軌道１０は、走行レール１０ａと、給電レール１０ｂと、を備える。走行レール１０ａには、クレーン４０を支持するととともに、クレーン４０を走行させるための走行支持面が形成されている。給電レール１０ｂは、走行レール１０ａの下側に配置されている。給電レール１０ｂには、図略の給電線が配置されており、クレーン４０に電力を供給する。また、給電レール１０ｂの近傍には、図略の信号線が配置されており、クレーン４０と後述の管理装置１０３とで通信を行うことができる。

【0027】

軌道１０は、ループ軌道１１，１２，１３と、接続軌道１４，１５，１６，１７と、を備える。ループ軌道１１，１２，１３は、ループ状の軌道である。ループ軌道１１，１２，１３は、一方通行であり、図に示す矢印の方向（右回り）にのみクレーン４０が走行可能である。ループ軌道１１，１２，１３は、それぞれ並べて配置されており、接続軌道１４，１５，１６，１７によって接続されている。具体的には、ループ軌道１１とループ軌道１２が接続軌道１４，１７で接続されており、ループ軌道１２とループ軌道１３が接続軌道１５，１６で接続されている。接続軌道１４，１５，１６，１７は、一方通行であり、図に示す矢印の方向にのみクレーン４０が走行可能である。

【0028】

搬入ポート２１及び搬出ポート２２は、保管システム１の外部に接続されている。保管システム１の外部には、上述した処理装置と、処理装置と保管システム１とを接続する接続経路と、接続経路に沿って走行する台車と、が設けられている。搬入ポート２１では、クレーン４０が台車から物品５０を受け取る（物品５０が搬入される）。搬入ポート２１から搬入された物品５０は、クレーン４０によって保管棚３０に一時的に置かれる。その後、クレーン４０によって保管棚３０から物品５０が取り出された後に、搬出ポート２２において、クレーン４０が台車に物品５０を受け渡す（物品５０が搬出される）。

【0029】

なお、クレーン４０と台車による物品５０の受渡しは、直接ではなく間接的に行われてもよい。即ち、搬入ポート２１又は搬出ポート２２に受渡し台が設けられて、受渡し台を介して物品５０を受け渡してもよい。本実施形態の保管システム１は、複数の搬入ポート２１と複数の搬出ポート２２とを備える。これに代えて、搬入ポート２１の設置数が１つであってもよいし、搬出ポート２２の設置数が１つであってもよい。

【0030】

保管棚３０は、物品５０を保管する。図２に示すように、保管棚３０は、鉛直方向に並べられた棚板３１を有する。それぞれの棚板３１には、クレーン４０を用いて物品５０を置くことができる。これにより、保管棚３０は、複数の物品を保管可能である。保管棚３０は、軌道１０に沿って並べて配置されている。具体的には、保管棚３０は、ループ軌道１１，１２，１３で囲まれる領域と、ループ軌道１１，１２，１３同士の間と、に配置される。言い換えれば、保管棚３０は、軌道１０に沿って移動するクレーン４０の進行方向に対して側方（左側又は右側）に配置されている。

【0031】

クレーン４０は、走行部４１と、受電部４２と、移載部４３と、ガイド柱４４と、を備える。複数のクレーン４０はそれぞれ同じ構成である。

【0032】

走行部４１は、走行レール１０ａ内に配置されている。走行部４１は、クレーン４０を走行させるための動力を発生させる走行モータと、走行レール１０ａの走行支持面に接するように配置される車輪と、を備える。車輪は、走行モータによって回転駆動される。受電部４２は、給電レール１０ｂ内に配置されている。受電部４２は、給電レール１０ｂの給電線から電力を取得するピックアップコイル等であり、給電線から取得した電力を走行モータ等の電気機器に供給する。

【0033】

移載部４３は、ガイド柱４４に沿って鉛直方向に移動可能である。移載部４３は、棚板３１に対してフォーク等の部材を伸縮可能である。この構成により、移載部４３は、保管棚３０の棚板３１に物品５０を置いたり、保管棚３０の棚板３１に置かれている物品５０を取り出したりする。また、保管システム１は、工場の床面に設けられたガイドレール１８を備える。ガイドレール１８には、図略のレールが形成されている。ガイド柱４４は、このレールに沿って移動可能である。

【0034】

保管システム１は、保管制御装置（判定部）１０１によって制御されている。保管制御装置１０１は、サーバ又はＰＣ等であり、演算装置と、記憶装置と、通信装置と、を備える。保管制御装置１０１は、例えば、クレーン４０が搬入ポート２１で物品５０を受け取る作業、クレーン４０が保管棚３０に物品５０を置く作業、クレーン４０が搬出ポート２２で物品５０を受け渡す作業に関する制御を行う。保管制御装置１０１は、保管システム１毎に設けられている。

【0035】

保管制御装置１０１には、通信制御装置１０２が接続されている。通信制御装置１０２は、クレーン４０等と通信するための通信装置を備える。通信制御装置１０２は、定期的にクレーン４０（詳細にはクレーン４０に設けられたクレーン制御装置）と通信することにより、クレーン４０が使用可能であることを確認するとともに、クレーン４０の位置を取得する。また、通信制御装置１０２は、クレーン４０からの応答を受信できない場合、又は、クレーン４０から自機が使用不能であることを示す信号を受信した場合、クレーン４０が使用不能であることを取得する。通信制御装置１０２は、クレーン４０の使用可否に関する情報を保管制御装置１０１へ送信する。なお、通信制御装置１０２が行う処理の少なくとも一部を保管制御装置１０１が行ってもよい。

【0036】

保管制御装置１０１には、管理装置１０３が接続されている。管理装置１０３は、サーバ又はＰＣ等であり、演算装置と、記憶装置と、通信装置と、を備える。管理装置１０３は、工場に設けられる各システムを総括的に制御する。例えば、管理装置１０３は、保管制御装置１０１に供給する物品５０を決定したり、処理装置に供給する物品５０を決定したりする。

【0037】

次に、図３から図６を参照して、保管システム１の状態に基づいて保管システム１が使用可能か否かを判定する処理を説明する。保管システム１が使用可能とは、搬入ポート２１から物品５０を搬入可能であり、搬入された物品５０を保管棚３０に保管可能であり、かつ、搬出ポート２２から物品５０を搬出可能であることを示す。

【0038】

図３には、保管システム１の状態に基づいて保管システム１が使用可能か否かを判定する処理を示すフローチャートが記載されている。以下、図４の具体例を参照しながら図３のフローチャートを説明する。

【0039】

図４には、保管システム１の使用可能な部分が使用不可能な部分と区別して表示されている。図４は、ループ軌道１２に位置するクレーン４０で異常が発生してクレーン４０が停止した例である。この場合、クレーン４０は、通信制御装置１０２との定期的な通信に応答できない。また、保管制御装置１０１はクレーン４０の位置に基づいてクレーン４０を制御するため、クレーン４０の応答が受信できなくなる直前のクレーン４０の位置を特定できる。これにより、クレーン４０に異常が発生したこと及びその位置を特定できる。なお、クレーン４０の通信機能が生存している場合、自機に異常があること及び自機の位置をクレーン４０から通信制御装置１０２に送信してもよい。保管制御装置１０１は、通信制御装置１０２と通信を行うことにより、クレーン４０が使用可能か否かに関する情報を取得する。

【0040】

図４に示す例では、異常が発生したクレーン４０が位置するループ軌道１２及び接続軌道１６が使用不能となる。更に、これらの軌道１０に隣接する保管棚３０が使用不能となる。

【0041】

本実施形態では、クレーン４０の異常に基づいて、使用可能な軌道１０を特定する。これに代えて、又は加えて、別の部分の異常に基づいて、使用可能な軌道１０を特定してもよい。例えば、軌道１０の給電レール１０ｂに異常がある場合、異常がある領域については軌道１０が使用不能と特定してもよい。あるいは、軌道１０に設けられた信号線に異常がある場合、異常がある領域については軌道１０が使用不能と特定してもよい。

【0042】

初めに、保管制御装置１０１は、１つの搬入ポート２１と１つの搬出ポート２２の組合せを選択する（Ｓ１０１）。後述するように、搬入ポート２１又は搬出ポート２２が複数ある場合、保管制御装置１０１は、搬入ポート２１と搬出ポート２２の全ての組合せについて以下の判定を行う。

【0043】

次に、保管制御装置１０１は、選択した搬入ポート２１から搬出ポート２２までが使用可能な軌道１０で接続されているか否かを判定する（Ｓ１０２、第１条件）。具体的には、保管制御装置１０１は、選択した搬入ポート２１及び搬出ポート２２を基準点として経路探索を行う。そして、軌道１０は、使用可能な軌道１０のみを通る経路（使用不能な軌道１０を通らない経路）が存在するかを判定する。

【0044】

特に、本実施形態のように一方通行の経路を含む場合は、搬入ポート２１を起点として搬出ポート２２を終点とする経路と、搬出ポート２２を起点として搬入ポート２１を終点とする経路と、の両方を探索することが好ましい。なぜなら、保管システム１が機能するためには、クレーン４０が搬入ポート２１から搬出ポート２２に一度到達するだけでは不十分であり、クレーン４０が搬入ポート２１及び搬出ポート２２に自在にアクセスできる必要があるためである。

【0045】

図４に示す例では、搬入ポート２１と搬出ポート２２について何れの組合せを選択した場合でもループ軌道１１が第１条件を満たすことになる。

【0046】

次に、保管制御装置１０１は、第１条件を満たす軌道１０上で動作可能なクレーン４０が存在するか否かを判定する（Ｓ１０３、第２条件）。保管制御装置１０１は、通信制御装置１０２から取得した情報と、第１条件の判定結果と、に基づいて、この判定を行う。保管制御装置１０１は、第１条件を満たす軌道１０上に、使用可能なクレーン４０が存在する場合、第２条件を満たすと判定する。あるいは、保管制御装置１０１は、判定時点では第１条件を満たす軌道１０上に存在しないクレーン４０であっても、第１条件を満たす軌道１０まで移動可能なクレーン４０が存在する場合も、第２条件を満たすと判定する。

【0047】

次に、保管制御装置１０１は、第１条件を満たす軌道１０に隣接して設けられた保管棚３０が物品５０を保管可能か否かを判定する（Ｓ１０４、第３条件）。保管棚３０が物品５０を保管可能とは、保管棚３０が使用可能であり、かつ、保管棚３０に物品５０を置くための空棚があることである。保管棚３０が使用可能とは、例えば、保管棚３０にエラーが発生していないことである。保管制御装置１０１は、第１条件を満たす軌道１０に隣接して設けられた保管棚３０の空棚の数（即ち、有効な棚の数）を算出し、空棚の数が１以上であるか否かを判定する。軌道１０に隣接して設けられるとは、軌道１０に沿って移動するクレーン４０がアクセス可能である位置に設けられるとの意味である。

【0048】

なお、本実施形態の構成に代えて、第１条件を満たす軌道１０に隣接して設けられた保管棚３０の空棚の数が閾値以上である場合に第３条件を満たすと判断してもよい。

【0049】

図４に示す例では、ループ軌道１１の内側に配置された保管棚３０は、第１条件を満たす軌道１０（ループ軌道１１）に隣接して設けられている。更に、接続軌道１４と１７の間に配置された保管棚３０のうちループ軌道１１に近い側の保管棚３０についても、第１条件を満たす軌道１０（ループ軌道１１）に隣接して設けられている。そのため、保管制御装置１０１は、これらの保管棚３０に空棚がある場合、保管棚３０が物品５０を保管可能と判定する。

【0050】

保管制御装置１０１は、上述した第１条件、第２条件、及び第３条件を全て満たす場合、ステップＳ１０１で選択した搬入ポート２１と搬出ポート２２を使用可能と判定して登録する（Ｓ１０５）。また、保管制御装置１０１は、搬入ポート２１と搬出ポート２２の少なくとも１つの組合せが使用可能であった場合、保管システム１が使用可能と判定する。なぜなら、少なくとも１つの組合せを用いて、保管システム１を運用することが可能であるからである。本実施形態では、第１条件及び第２条件だけでなく第３条件についても判定しているため、保管システム１が使用可能であることに加えて、外部から搬入される物品５０が保管可能であることも判定できる。

【0051】

次に、保管制御装置１０１は、未判定の搬入ポート２１と搬出ポート２２の組合せがあるか否かを判定する（Ｓ１０６）。未判定の搬入ポート２１と搬出ポート２２の組合せがある場合、保管制御装置１０１は、再びステップＳ１０１からＳ１０５の処理を行う。なお、保管制御装置１０１は、第１条件、第２条件、第３条件の何れか１つを満たさないと判定した場合も、未判定の搬入ポート２１と搬出ポート２２の組合せがあるか否かを判定する（Ｓ１０６）。

【0052】

保管制御装置１０１は、未判定の搬入ポート２１と搬出ポート２２の組合せが無い場合、言い換えれば、全ての搬入ポート２１と搬出ポート２２の組合せについて判定を行った場合、判定結果を管理装置１０３に送信する（Ｓ１０７）。

【0053】

保管制御装置１０１が管理装置１０３に送信する判定結果は、例えば、保管システム１が使用可能か否か、使用可能と判定された搬入ポート２１と搬出ポート２２の識別情報、有効な棚の数がある。

【0054】

次に、図５及び図６に示す例についての判定結果を説明する。

【0055】

図５は、ループ軌道１１に位置するクレーン４０で異常が発生してクレーン４０が停止した例である。この場合、ループ軌道１１の一部及び接続軌道１７が使用不能となる。更に、これらの軌道１０に隣接する保管棚３０が使用不能となる。

【0056】

図５では、搬入ポート２１及び搬出ポート２２は、ループ軌道１１に隣接して設けられている。本実施形態のループ軌道１１は一方通行であるため、搬入ポート２１から搬出ポート２２に到達する経路は存在しない。従って、第１条件（図３のＳ１０２）を満たさないため、保管システム１が使用不能と判定される。

【0057】

図６は、ループ軌道１１のうち搬入ポート２１及び搬出ポート２２の近傍に位置するクレーン４０で異常が発生してクレーン４０が停止した例である。この場合、ループ軌道１１の一部（特に搬入ポート２１及び搬出ポート２２が設けられる位置）が使用不能となる。しかし、図６に示す例では、更に、ループ軌道１３に隣接して搬入ポート２１及び搬出ポート２２が設けられている。

【0058】

ループ軌道１１に隣接する搬入ポート２１及び搬出ポート２２を基準点とする経路は存在しない。従って、これらの搬入ポート２１及び搬出ポート２２については使用可能とは判定されない。一方、ループ軌道１３に隣接する搬入ポート２１及び搬出ポート２２を基準点とする経路は存在する。具体的には、搬入ポート２１からループ軌道１３を通って搬出ポート２２に戻る経路と、搬入ポート２１からループ軌道１３、接続軌道１６、ループ軌道１２、接続軌道１５を通って搬出ポート２２に戻る経路と、が存在する。従って、図６に示すように、第１条件を満たす軌道１０が存在することとなる。また、第１条件を満たす軌道１０に使用可能なクレーン４０が存在しているため、物品５０を保管可能な空棚が存在する場合、保管システム１が使用可能と判定される。

【0059】

上記実施形態では、軌道１０は一方通行であるが、軌道１０は往復移動可能であってもよい。例えば、図７には、往復移動可能に設定された軌道１０を備える保管システム１が記載されている。

【0060】

図７の軌道１０は、Ｕ字軌道９１，９２，９３を備える。Ｕ字軌道９１，９２，９３は、それぞれ独立しており、接続されていない。Ｕ字軌道９１，９２，９３には、それぞれ搬入ポート２１及び搬出ポート２２が設けられている。Ｕ字軌道９１，９２，９３に隣接して、保管棚３０が設けられている。Ｕ字軌道９１，９２，９３には、それぞれ１台のクレーン４０が設けられている。この種の軌道１０においても、基本的には、上記実施形態と同じ処理を行うことにより、保管システム１が使用可能か否かを判定できる。ただし、以下の状況において、例えば、図７において搬入ポート２１と搬出ポート２２に隣接する軌道１０が使用可能であり、それ以外の軌道１０（即ち、保管棚３０に隣接する軌道１０）が使用不能である状況を考える。この場合、搬入ポート２１と搬出ポート２２が使用可能な軌道１０で接続されているので、保管制御装置１０１は、ステップＳ１０２でＹｅｓと判定する。また、搬入ポート２１と搬出ポート２２に隣接する軌道１０にクレーン４０が存在した場合、保管制御装置１０１は、ステップＳ１０３でＹｅｓと判定する。また、ステップＳ１０４では、保管制御装置１０１は、この軌道１０に隣接する保管棚３０が物品を保管可能か否かを判定する。しかし、搬入ポート２１及び搬出ポート２２に隣接する軌道１０には、そもそも保管棚３０が存在しない。この場合であっても、保管制御装置１０１は、ステップＳ１０４でＮｏと判定する。なぜなら、保管棚３０が存在しない場合、物品５０を保管可能でないからである。

【0061】

以上に説明したように、本実施形態の保管システム１は、外部から搬入される物品５０を保管するとともに、保管した物品５０を外部に搬出する。保管システム１は、搬入ポート２１と、保管棚３０と、搬出ポート２２と、複数のクレーン４０と、保管制御装置１０１と、を備える。搬入ポート２１は、外部から物品５０が搬入される場所である。保管棚３０は、物品５０を保管する。搬出ポート２２は、物品５０を外部に搬出する場所である。クレーン４０は、軌道１０に沿って移動することにより、搬入ポート２１、保管棚３０、又は搬出ポート２２にアクセスする。保管制御装置１０１は、搬入ポート２１から搬出ポート２２に至る経路が使用可能な軌道１０で構成されるという第１条件を満たし、かつ、第１条件を満たす軌道１０に沿って物品５０を搬送可能なクレーン４０があるという第２条件を満たしたときに、保管システム１が使用可能であると判定する。

【0062】

これにより、保管システム１の一部が使用不能であったとしても、保管システム１の他の部分が使用可能である場合は、保管システム１を使用可能と判定できる。従って、保管システム１を効率的に運用できる。特に、軌道１０だけでなくクレーン４０も含めて判定を行うことにより、保管システム１が使用可能か否かについて精度良く判定できる。

【0063】

本実施形態の保管システム１において、保管制御装置１０１は、第１条件及び第２条件に加え、更に、第１条件を満たす軌道１０に隣接して設けられた保管棚３０が物品５０を保管可能であるという第３条件を満たしたときに、外部から搬入される物品５０を保管可能であると判定する。

【0064】

これにより、保管システム１が使用可能か否かだけでなく、保管システム１に実際に物品を保管可能か否かを判定できる。

【0065】

本実施形態の保管システム１において、搬入ポート２１及び搬出ポート２２が複数設けられている。保管制御装置１０１は、搬入ポート２１及び搬出ポート２２の全ての組合せについて、第１条件を満たすか否かを判定する。

【0066】

これにより、保管システム１が使用可能にもかかわらず使用不能と判定されることをより確実に防止できる。

【0067】

本実施形態の保管システム１において、保管制御装置１０１は、搬入ポート２１に物品５０を搬入する指令を行う管理装置１０３と通信可能である。保管制御装置１０１は、保管システム１が使用可能か否かを管理装置１０３に送信する。

【0068】

これにより、保管システムが使用可能であることを管理装置１０３に送信できるので、保管システムを有効に活用できる。

【0069】

本実施形態の保管システム１において、搬入ポート２１及び搬出ポート２２が複数設けられている。保管制御装置１０１は、第１条件及び前記２条件を満たす搬入ポート２１及び搬出ポート２２を特定する識別情報を管理装置１０３に送信する。

【0070】

これにより、使用可能な搬入ポートと搬出ポートを管理装置１０３に知らせることができるので、管理システムを更に有効に活用できる。

【0071】

本実施形態の保管システム１において、軌道１０は、複数のループ軌道１１，１２，１３と、複数のループ軌道１１，１２，１３同士を接続する接続軌道１４，１５，１６，１７と、を含む。搬入ポート２１及び搬出ポート２２は、ループ軌道１１，１２，１３に隣接して設けられる。保管棚３０は、ループ軌道１１，１２，１３で囲まれる領域と、ループ軌道１１，１２，１３同士の間と、に配置される。

【0072】

これにより、複数のループ軌道１１，１２，１３を含むような複雑な軌道１０に対しても、保管システム１が使用可能か否かを判定できる。

【0073】

本実施形態の保管システム１において、保管棚３０は、鉛直方向に並べて複数の物品５０を保管可能である。クレーン４０は、天井に設けられた軌道１０に沿って走行可能であるとともに、昇降することにより保管棚３０の物品５０にアクセスする。

【0074】

多数の物品を保管可能な保管棚を備える保管システムに本発明を適用することにより、本発明の効果をより有効に発揮させることができる。

【0075】

本実施形態には以下の特徴１から特徴７が含まれる。
［特徴１］
外部から搬入される物品を保管するとともに、保管した前記物品を外部に搬出する保管システムにおいて、
外部から前記物品が搬入される場所である搬入ポートと、
前記物品を保管する保管棚と、
前記物品を外部に搬出する場所である搬出ポートと、
軌道に沿って移動することにより、前記搬入ポート、前記保管棚、又は前記搬出ポートにアクセスする複数の搬送装置と、
前記搬入ポートから前記搬出ポートに至る経路が使用可能な軌道で構成されるという第１条件を満たし、かつ、前記第１条件を満たす軌道に沿って前記物品を搬送可能な前記搬送装置があるという第２条件を満たしたときに、保管システムが使用可能であると判定する判定部と、
を備えることを特徴とする保管システム。
［特徴２］
特徴１に記載の保管システムであって、
前記判定部は、前記第１条件及び前記第２条件に加え、更に、前記第１条件を満たす軌道に隣接して設けられた前記保管棚が前記物品を保管可能であるという第３条件を満たしたときに、外部から搬入される前記物品を保管可能であると判定することを特徴とする保管システム。
［特徴３］
特徴１又は２に記載の保管システムであって、
前記搬入ポート及び前記搬出ポートが複数設けられており、
前記判定部は、前記搬入ポート及び前記搬出ポートの全ての組合せについて、前記第１条件を満たすか否かを判定することを特徴とする保管システム。
［特徴４］
特徴１から３までの何れか一項に記載の保管システムであって、
前記判定部は、前記搬入ポートに前記物品を搬入する指令を行う管理装置と通信可能であり、
前記判定部は、保管システムが使用可能か否かを前記管理装置に送信することを特徴とする保管システム。
［特徴５］
特徴４に記載の保管システムであって、
前記搬入ポート及び前記搬出ポートが複数設けられており、
前記判定部は、前記第１条件及び前記２条件を満たす前記搬入ポート及び前記搬出ポートを特定する識別情報を前記管理装置に送信することを特徴とする保管システム。
［特徴６］
特徴１から５までの何れか一項に記載の保管システムであって、
前記軌道は、複数のループ軌道と、複数の前記ループ軌道同士を接続する接続軌道と、を含み、
前記搬入ポート及び前記搬出ポートは、前記ループ軌道に隣接して設けられ、
前記保管棚は、前記ループ軌道で囲まれる領域と、前記ループ軌道同士の間と、に配置されることを特徴とする保管システム。
［特徴７］
特徴１から６までの何れか一項に記載の保管システムであって、
前記保管棚は、鉛直方向に並べて複数の前記物品を保管可能であり、
前記搬送装置は、天井に設けられた前記軌道に沿って走行可能であるとともに、昇降することにより前記保管棚の前記物品にアクセスすることを特徴とする保管システム。

【0076】

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

【0077】

上記実施形態で示したフローチャートは一例であり、一部の処理を省略したり、一部の処理の内容を変更したり、新たな処理を追加したりしてもよい。例えば、ステップＳ１０４（第３条件）の処理を省略してもよい。

【0078】

上記実施形態において、保管制御装置１０１は、第１条件（軌道１０の条件）を判定した後に第２条件（クレーン４０の条件）を判定する。しかし、実質的に同じ内容を判定するのであれば、判定処理を第１条件と第２条件に区分しなくてもよい。例えば、保管制御装置１０１は、１つのクレーン４０を選択し、このクレーン４０が搬入ポート２１から搬出ポート２２まで移動可能であるか否かを判定し、この処理を全てのクレーン４０に対して行ってもよい。

【0079】

上記実施形態において、保管制御装置１０１は、第１条件（軌道１０の条件）を判定した後に第３条件（保管棚３０の条件）を判定する。しかし、実質的に同じ内容を判定するのであれば、判定処理を第１条件と第３条件に区分しなくてもよい。例えば、保管制御装置１０１は、１つの保管棚３０を選択し、この保管棚３０が、搬入ポート２１から搬出ポート２２に至る使用可能な軌道１０に隣接して設けられているか否かを判定し、この処理を全ての保管棚３０に対して行ってもよい。なお、第２条件（クレーン４０の条件）を判定する処理は、例えば、使用可能な軌道１０に保管棚３０が設けられているか否かの判定の後に行うことができる。

【0080】

上記実施形態では、搬送装置の例としてクレーン４０を挙げて説明したが、物品５０を搬送可能であれば、クレーン４０に限られず、別の構成の搬送装置（天井搬送車等）にも本発明を適用できる。

【0081】

上記実施形態では、半導体製品を製造する工場に設置される保管システム１について説明したが、この保管システム１は、他の製品を製造する工場に設置することもできる。また、この保管システム１は、製造工場以外の建屋（例えば倉庫）に設置することもできる。

【符号の説明】

【0082】

１ 保管システム
１０ 軌道
２１ 搬入ポート
２２ 搬出ポート
３０ 保管棚
４０ クレーン（搬送装置）
５０ 物品
１０１ 保管制御装置（判定部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】