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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-20
(45)【発行日】2024-11-28
(54)【発明の名称】電気特性測定用温度槽、電気特性測定装置及び電気特性測定方法
(51)【国際特許分類】
G01N 25/00 20060101AFI20241121BHJP
G01N 22/00 20060101ALI20241121BHJP
【ＦＩ】
G01N25/00 M
G01N22/00 Y
G01N22/00 S
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2021129835
(22)【出願日】2021-08-06
(65)【公開番号】P2022132025
(43)【公開日】2022-09-07
【審査請求日】2023-08-28
(31)【優先権主張番号】P 2021030721
(32)【優先日】2021-02-26
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000108797
【氏名又は名称】エスペック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100100480
【弁理士】
【氏名又は名称】藤田 隆
(72)【発明者】
【氏名】岡 哲也
(72)【発明者】
【氏名】中西 優貴
(72)【発明者】
【氏名】菊池 郁織
【審査官】前田 敏行
(56)【参考文献】
【文献】特開平１１－１１８７３２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－１０８８０７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－２５８７００（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１５／００７７１３７（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開平１０－０３３９９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－０３８７８３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｎ ２５／００
Ｇ０１Ｎ ２２／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
内部に試料が配置され、当該試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定用温度槽において、前記試料を覆う収容空間を構成する空間形成部材を有し、
前記空間形成部材は、前記収容空間に気体を供給する第１開口と、前記空間形成部材の外部の空間で照射された電磁波を通過させる１又は複数の第２開口とを有し、
前記第１開口と前記第２開口とは、前記第１開口の中心線と前記第２開口の中心線とが、交差又は一面から見たときに交差する位置関係となっており、
前記第１開口から前記収容空間に供給される気体の一部又は全部が外部に排出される経路が形成されていることを特徴とする電気特性測定用温度槽。
【請求項2】
前記空間形成部材は、複数の面を有し、前記第１開口は、少なくともその一面に設けられ、前記第２開口は、他の面に設けられ、前記第１開口が設けられた第１面又は当該第１面の仮想的な延長面と、前記第２開口が設けられた第２面又は当該第２面の仮想的な延長面とが、交差する関係となっていることを特徴とする請求項１に記載の電気特性測定用温度槽。
【請求項3】
前記第１面または当該第１面の仮想的な延長面と、前記第２面または当該第２面の仮想的な延長面とが、直交する関係となっていることを特徴とする請求項２に記載の電気特性測定用温度槽。
【請求項4】
試料支持部材を有し、当該試料支持部材は、箔状及び／又は板状であって平面的な試料を支持するものであり、前記第２開口は、前記試料の主面に対向することとなる位置にあり、前記第１開口は、前記試料の辺に対向することとなる位置にあることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電気特性測定用温度槽。
【請求項5】
前記第１開口から前記収容空間に供給される気体の一部又は全部が、前記第２開口から外部に排出されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電気特性測定用温度槽。
【請求項6】
前記空間形成部材には、第３開口があり、当該第３開口から前記試料が前記収容空間に挿入されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電気特性測定用温度槽。
【請求項7】
前記第２開口に、電磁波を透過しやすい材料で作られた封鎖部材が装着されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の電気特性測定用温度槽。
【請求項8】
温度調節した気体を供給する気体供給部を有し、前記気体供給部から前記空間形成部材に前記気体を供給して、前記空間形成部材内の環境を調節することが可能であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の電気特性測定用温度槽。
【請求項9】
請求項１乃至８のいずれかに記載の電気特性測定用温度槽と、電磁波を照射する電磁波照射装置と、電磁波を受信する電磁波受信装置を有することを特徴とする電気特性測定装置。
【請求項10】
箔状及び／又は板状の試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定方法において、前記電磁波を通過させる開口を有する空間形成部材内に前記試料を配置し、
前記試料の辺に対向する方向から、前記空間形成部材内に所定の温度に調整された気体を供給し、前記試料を前記気体の通風環境に置き、
その状態で前記試料の主面に前記空間形成部材外の空間から前記電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得し、
前記空間形成部材内に供給された前記気体の一部又は全部は前記空間形成部材の外部に排出されることを特徴とする電気特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、材料の電気特性に関連するデータを取得する際に使用される電気特性測定用温度槽に関するものである。また本発明は、電気特性測定装置、及び電気特性測定方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
材料の誘電率や透磁率等の電気的特性を評価する方法の一つとして、Ｓパラメータ法が知られている。
代表的なＳパラメータ法は、アンテナを２つ対向して配置し、その間に試料を置いて電磁波を入射し、電磁波の反射／吸収特性から材料のＳパラメータを測定し、Ｓパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性等を評価する方法である。
特許文献１にはＳパラメータ法を利用する測定装置が開示されている。
代表的なＳパラメータ法は、アンテナを２つ対向して配置し、その間に試料を置いて電磁波を入射し、電磁波の反射／吸収特性から材料のＳパラメータを測定し、Ｓパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性等を評価する方法である。
特許文献１にはＳパラメータ法を利用する測定装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第６５９０２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
Ｓパラメータの測定に際しては、常温の環境に試料を設置して、試料に電磁波を照射する場合が多い。これに対して、高温環境や低温環境における電気的特性を評価したいという要求がある。
一つの方法として、例えば高温や低温のチャンバー内に機器を設置して、Ｓパラメータを測定することが考えられるが、一般的に、アンテナ等を高温環境下や低温環境下にさらすことは困難である。
本発明は、従来技術の上記した課題を解決するものであり、高温環境や低温環境等における電気的特性を評価することができる電気特性測定用温度槽、電気特性測定装置及び電気特性測定方法を提供するものである。
一つの方法として、例えば高温や低温のチャンバー内に機器を設置して、Ｓパラメータを測定することが考えられるが、一般的に、アンテナ等を高温環境下や低温環境下にさらすことは困難である。
本発明は、従来技術の上記した課題を解決するものであり、高温環境や低温環境等における電気的特性を評価することができる電気特性測定用温度槽、電気特性測定装置及び電気特性測定方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
上記した課題を解決するための態様は、内部に試料が配置され、当該試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定用温度槽において、前記試料を覆う収容空間を構成する空間形成部材を有し、前記空間形成部材は、前記収容空間に気体を供給する第１開口と、電磁波を通過させる１又は複数の第２開口とを有し、前記第１開口と前記第２開口とは、前記第１開口の中心線と前記第２開口の中心線とが、交差又は一面から見たときに交差する位置関係となっていることを特徴とする電気特性測定用温度槽である。
上記した課題を解決するための具体的態様は、内部に試料が配置され、当該試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定用温度槽において、前記試料を覆う収容空間を構成する空間形成部材を有し、前記空間形成部材は、前記収容空間に気体を供給する第１開口と、前記空間形成部材の外部の空間で照射された電磁波を通過させる１又は複数の第２開口とを有し、前記第１開口と前記第２開口とは、前記第１開口の中心線と前記第２開口の中心線とが、交差又は一面から見たときに交差する位置関係となっており、前記第１開口から前記収容空間に供給される気体の一部又は全部が外部に排出される経路が形成されていることを特徴とする電気特性測定用温度槽である。
上記した課題を解決するための具体的態様は、内部に試料が配置され、当該試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定用温度槽において、前記試料を覆う収容空間を構成する空間形成部材を有し、前記空間形成部材は、前記収容空間に気体を供給する第１開口と、前記空間形成部材の外部の空間で照射された電磁波を通過させる１又は複数の第２開口とを有し、前記第１開口と前記第２開口とは、前記第１開口の中心線と前記第２開口の中心線とが、交差又は一面から見たときに交差する位置関係となっており、前記第１開口から前記収容空間に供給される気体の一部又は全部が外部に排出される経路が形成されていることを特徴とする電気特性測定用温度槽である。
【0006】
上記した態様において、前記空間形成部材は、複数の面を有し、前記第１開口は、少なくともその一面に設けられ、前記第２開口は、他の面に設けられ、前記第１開口が設けられた第１面又は当該第１面の仮想的な延長面と、前記第２開口が設けられた第２面又は当該第２面の仮想的な延長面とが、交差する関係となっていることが望ましい。
【0007】
上記した態様において、前記第１面または当該第１面の仮想的な延長面と、前記第２面または当該第２面の仮想的な延長面は、直交する関係となっていることが望ましい。
【0008】
上記した各態様において、試料支持部材を有し、当該試料支持部材は、箔状及び／又は板状であって平面的な試料を支持するものであり、前記第２開口は、前記試料の主面に対向することとなる位置にあり、前記第１開口は、前記試料の辺に対向することとなる位置にあることが望ましい。
【0009】
上記した各態様において、前記第１開口から前記収容空間に供給される気体の一部又は全部が、前記第２開口から外部に排出されることが望ましい。
【0010】
上記した各態様において、前記空間形成部材には、第３開口があり、当該第３開口から前記試料が前記収容空間に挿入されることが望ましい。
【0011】
上記した各態様において、前記第２開口に、電磁波を透過しやすい材料で作られた封鎖部材が装着されていることが望ましい。
【0012】
上記した各態様において、温度調節した気体を供給する気体供給部を有し、前記気体供給部から前記空間形成部材に前記気体を供給して、前記空間形成部材内の環境を調節することが可能であることが望ましい。
【0013】
電気特性測定装置に関する態様は、上記したいずれかの電気特性測定用温度槽と、電磁波を照射する電磁波照射装置と、電磁波を受信する電磁波受信装置を有することを特徴とする。
【0014】
同様の課題を解決するためのもう一つの態様は、箔状及び／又は板状の試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定方法において、前記試料の辺に対向する方向から、所定の温度に調整された気体を供給し、前記試料を前記気体の通風環境に置き、その状態で試料の主面に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得することを特徴とする電気特性測定方法である。
同様の課題を解決するためのもう一つの態様は、箔状及び／又は板状の試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定方法において、前記電磁波を通過させる開口を有する空間形成部材内に前記試料を配置し、前記試料の辺に対向する方向から、前記空間形成部材内に所定の温度に調整された気体を供給し、前記試料を前記気体の通風環境に置き、その状態で前記試料の主面に前記空間形成部材外の空間から前記電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得し、前記空間形成部材内に供給された前記気体の一部又は全部は前記空間形成部材の外部に排出されることを特徴とする電気特性測定方法である。
同様の課題を解決するためのもう一つの態様は、箔状及び／又は板状の試料に電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得する電気特性測定方法において、前記電磁波を通過させる開口を有する空間形成部材内に前記試料を配置し、前記試料の辺に対向する方向から、前記空間形成部材内に所定の温度に調整された気体を供給し、前記試料を前記気体の通風環境に置き、その状態で前記試料の主面に前記空間形成部材外の空間から前記電磁波を照射して当該試料の電気特性に関連するデータを取得し、前記空間形成部材内に供給された前記気体の一部又は全部は前記空間形成部材の外部に排出されることを特徴とする電気特性測定方法である。
【発明の効果】
【0015】
本発明によると、高温環境や低温環境等における試料の電気的特性を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明の実施形態の電気特性測定装置の斜視図である。
【図2】本発明の実施形態の電気特性測定用温度槽の斜視図である。
【図5】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の他の実施形態の電気特性測定用温度槽の空間形成部材の斜視図及び平面断面図である。
【図6】本発明のさらに他の実施形態の電気特性測定用温度槽の空間形成部材の正面図であり、（ａ）は、第２開口を閉じた状態を示し、（ｂ）は、第２開口を開いた状態を示す。
【図7】本発明のさらに他の実施形態の電気特性測定用温度槽の空間形成部材の断面図である。
【図8】中心線の関係を説明する説明図であり、（ａ）は、中心線が交差した状態を示し、（ｂ）は、中心線が一面から見たときに交差した状態を示す。
【図9】本発明のさらに他の実施形態の電気特性測定用温度槽の空間形成部材の斜視図である。
【図11】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の他の実施形態の電気特性測定用温度槽の空間形成部材の斜視図及び平面断面図である。
【図12】本発明のさらに他の実施形態の電気特性測定用温度槽の空間形成部材の斜視図であり、（ａ）は、開閉扉を閉じた状態を示し、（ｂ）は、開閉扉を開いた状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態の電気特性測定装置１は、Ｓパラメータを測定する装置である。Ｓパラメータは、材料の電気特性に関連するデータの一つである。Ｓパラメータを測定することによって、材料の電気特性に関連するデータが取得される。
本実施形態の電気特性測定装置１は、電気特性測定用温度槽２と、マイクロ波長の電磁波を照射する送信側アンテナ５と、マイクロ波長の電磁波を受信する受信側アンテナ６を有している。
送信側アンテナ５及び受信側アンテナ６は、いずれも公知のホーンレンズアンテナである。
本実施形態の電気特性測定装置１は、電気特性測定用温度槽２と、マイクロ波長の電磁波を照射する送信側アンテナ５と、マイクロ波長の電磁波を受信する受信側アンテナ６を有している。
送信側アンテナ５及び受信側アンテナ６は、いずれも公知のホーンレンズアンテナである。
【0018】
電気特性測定用温度槽２は、図１、図２、図３の様に、空間形成部材１０と、試料支持部材１１と、土台部材１２及び気体供給装置（気体供給部）１３を有している。
空間形成部材１０は、本体部２０と、脚部１８を有している。
空間形成部材１０は、本体部２０と、脚部１８を有している。
【0019】
空間形成部材１０は、電磁波を透過させにくい素材で作られていることが望ましい。
【0020】
本実施形態で採用する本体部２０は、図２の様に直方体の箱であり、天面壁２１、底面壁２２、正面壁２５、裏面壁２６及び左右の側面壁２７、２８を有している。天面壁（第１面）２１に対し、正面壁（第２面）２５、裏面壁（第２面）２６及び左右の側面壁２７、２８は、直接的に９０度の角度で接している。従って、天面壁２１の壁面と、正面壁２５、裏面壁２６及び左右の側面壁２７、２８の壁面は、直交する。
上述した複数の壁面によって、空間形成部材１０の内部には収容空間３０が形成されている。
上述した複数の壁面によって、空間形成部材１０の内部には収容空間３０が形成されている。
【0021】
天面壁２１（第１面）には、接続管３１が取り付けられている。接続管３１は、天面壁２１を貫通し、収容空間３０と外部とを連通するものである。接続管３１の開口が、収容空間３０に気体を導入する第１開口３３となっている。本実施形態では、第１開口３３が、空間形成部材１０の上方に開口している。第１開口３３の中心を通り、開口面と垂直に交わる中心線（以下、第１中心線と称する。）１００は、収容空間３０の中心線と一致する。
【0022】
正面壁２５（第２面）と裏面壁２６（第２面）には、電磁波を通過させる第２開口４０、４１が設けられている。第２開口４０、４１は底面壁２２から上方に離れた位置にある。
本実施形態では、第２開口４０、４１は、いずれも丸穴であるが、孔の形状は限定されるものでない。例えば楕円であってもよく、四角形その他の多角形であってもよい。不定形形状であってもよい。
本実施形態では、第２開口４０、４１は、第１開口３３とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（天面壁２１）は、第２開口４０、４１が設けられた面（正面壁２５と裏面壁２６）と９０度の角度で交差する関係となっている。
本実施形態では、第２開口４０、４１は、いずれも丸穴であるが、孔の形状は限定されるものでない。例えば楕円であってもよく、四角形その他の多角形であってもよい。不定形形状であってもよい。
本実施形態では、第２開口４０、４１は、第１開口３３とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（天面壁２１）は、第２開口４０、４１が設けられた面（正面壁２５と裏面壁２６）と９０度の角度で交差する関係となっている。
【0023】
二つの第２開口４０、４１は、互いに対向する面に設けられている。第２開口４０の中心を通り、開口面と垂直に交わる中心線２００ａと、第２開口４１の中心を通り、開口面と垂直に交わる中心線２００ｂとは一致している。以下、これら中心線２００ａ、２００ｂを第２中心線２００と称する。
本実施例では、中心線２００ａと中心線２００ｂが一致した関係になるように、第２開口４０、４１が、正面壁２５と裏面壁２６にそれぞれ設けられているが、これに限定されない。例えば、第２開口４０の開口面から中心線２００ａに沿って仮想的に延長した開口面と、第２開口４１の開口面から中心線２００ｂに沿って仮想的に延長した開口面との一部、が重なるように、第２開口４０、４１が、正面壁２５と裏面壁２６に設けられてもよい。
また、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００は、図８（ａ）の様に、９０度の角度で交差する。
本実施形態では、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する関係となっているが、これに限定されない。例えば、図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が一面から見た時に交差する関係にあってもよい。
図８（ａ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する交差角度Αは、９０度の近傍であることが望ましい。また、第１中心線１００と第２中心線２００が一面から見た時に交差する関係の場合、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する状態を投影した面（例えば図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面）から見たときの交差角度Αは、９０度の近傍であることが望ましい。即ち、直交あるいは、それに近い状態であることが望ましい。例えば、交差角度Αは、９０度からプラスマイナス３０度以内であることが望ましい。
また、第１開口３３を第１中心線１００に沿って仮想的に延長した軌跡（柱状となる。）と、第２開口４０、４１を第２中心線２００（中心線２００ａ、中心線２００ｂ）に沿って仮想的に延長した軌跡（梁状となる。）と、が少なくとも一部重なるように、第１開口３３が天面壁２１（第１面）に設けられ、第２開口４０、４１が正面壁２５と裏面壁２６にそれぞれ設けられていることが望ましい。
本実施例では、中心線２００ａと中心線２００ｂが一致した関係になるように、第２開口４０、４１が、正面壁２５と裏面壁２６にそれぞれ設けられているが、これに限定されない。例えば、第２開口４０の開口面から中心線２００ａに沿って仮想的に延長した開口面と、第２開口４１の開口面から中心線２００ｂに沿って仮想的に延長した開口面との一部、が重なるように、第２開口４０、４１が、正面壁２５と裏面壁２６に設けられてもよい。
また、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００は、図８（ａ）の様に、９０度の角度で交差する。
本実施形態では、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する関係となっているが、これに限定されない。例えば、図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が一面から見た時に交差する関係にあってもよい。
図８（ａ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する交差角度Αは、９０度の近傍であることが望ましい。また、第１中心線１００と第２中心線２００が一面から見た時に交差する関係の場合、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する状態を投影した面（例えば図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面）から見たときの交差角度Αは、９０度の近傍であることが望ましい。即ち、直交あるいは、それに近い状態であることが望ましい。例えば、交差角度Αは、９０度からプラスマイナス３０度以内であることが望ましい。
また、第１開口３３を第１中心線１００に沿って仮想的に延長した軌跡（柱状となる。）と、第２開口４０、４１を第２中心線２００（中心線２００ａ、中心線２００ｂ）に沿って仮想的に延長した軌跡（梁状となる。）と、が少なくとも一部重なるように、第１開口３３が天面壁２１（第１面）に設けられ、第２開口４０、４１が正面壁２５と裏面壁２６にそれぞれ設けられていることが望ましい。
【0024】
底面壁２２には、スリット状の第３開口４３が設けられている。
第３開口４３は、前記した第１開口３３の真下の位置にあり、前記した第１中心線１００と交差する。
第３開口４３は、前記した様にスリット状であって細長く、図２の様に、正面壁２５及び裏面壁２６に対して平行にのびている。
本実施形態では、第３開口４３の形状は長方形であるが、これに限定されず、例えば第３開口４３の形状は正方形であってもよいし、長穴であってもよい。
第３開口４３は、前記した第１開口３３の真下の位置にあり、前記した第１中心線１００と交差する。
第３開口４３は、前記した様にスリット状であって細長く、図２の様に、正面壁２５及び裏面壁２６に対して平行にのびている。
本実施形態では、第３開口４３の形状は長方形であるが、これに限定されず、例えば第３開口４３の形状は正方形であってもよいし、長穴であってもよい。
【0025】
脚部１８は、本体部２０の四隅から垂下した柱部４５を有している。
【0026】
試料支持部材１１は、基台部５０と支持部５１を有している。支持部５１によって、箔状又は薄い板状の試料３００を保持することができる。図２において、支持部５１の中央にある円形の部分が試料３００である。試料３００は、例えば所定形状に成型された箔であり、主面３０１を有し、その周囲に辺部３０２がある。
支持部５１は、板状であり、試料３００を取り付ける開口５３を有している。
支持部５１の正面形状は、例えば四角形であり、図２で示す姿勢を基準として、上辺５５、下辺５６、縦辺５７、５８がある。
支持部５１の厚さｔ（図３）は、前記したスリット状の第３開口４３を通過できる程度の大きさである。
支持部５１の厚さｔは、第３開口４３の短辺側の大きさに近い。そのため、支持部５１は、その正面及び裏面が、本体部２０の正面壁２５（第２面）及び裏面壁２６（第２面）に対向する姿勢をとる場合に限り、第３開口４３を通過することができる。
支持部５１は、試料３００の取付位置及び試料３００の取付姿勢を規制するものであり、試料３００を特定の姿勢で支持するものである。すなわち、支持部５１は、箔状又は薄い板状の平面的な試料３００を、当該試料３００の厚さ方向に直交する面（主面３０１）がＹ軸に対して直交する姿勢で支持する。
支持部５１は、板状であり、試料３００を取り付ける開口５３を有している。
支持部５１の正面形状は、例えば四角形であり、図２で示す姿勢を基準として、上辺５５、下辺５６、縦辺５７、５８がある。
支持部５１の厚さｔ（図３）は、前記したスリット状の第３開口４３を通過できる程度の大きさである。
支持部５１の厚さｔは、第３開口４３の短辺側の大きさに近い。そのため、支持部５１は、その正面及び裏面が、本体部２０の正面壁２５（第２面）及び裏面壁２６（第２面）に対向する姿勢をとる場合に限り、第３開口４３を通過することができる。
支持部５１は、試料３００の取付位置及び試料３００の取付姿勢を規制するものであり、試料３００を特定の姿勢で支持するものである。すなわち、支持部５１は、箔状又は薄い板状の平面的な試料３００を、当該試料３００の厚さ方向に直交する面（主面３０１）がＹ軸に対して直交する姿勢で支持する。
【0027】
土台部材１２は、トレイ状の部材である。
【0028】
気体供給装置（気体供給部）１３は、内部に図示しない空調機器を内蔵し、所望の温度に調整された空気を空間形成部材１０に供給するものである。
本実施形態で採用する気体供給装置１３は、空調機器として、冷却器と加熱ヒータを備えている。また図示しない送風機を備えている。
本実施形態で採用する気体供給装置１３は、乾燥空気を加熱又は冷却して温度を調節し、低湿度の空気を空間形成部材１０に供給するものである。
なお、気体供給装置（気体供給部）１３は、温度に加えて湿度を調整するものであってもよい。
空間形成部材１０の接続管３１と、気体供給装置（気体供給部）１３が、ダクト５２によって接続されている。
本実施形態で採用する気体供給装置１３は、空調機器として、冷却器と加熱ヒータを備えている。また図示しない送風機を備えている。
本実施形態で採用する気体供給装置１３は、乾燥空気を加熱又は冷却して温度を調節し、低湿度の空気を空間形成部材１０に供給するものである。
なお、気体供給装置（気体供給部）１３は、温度に加えて湿度を調整するものであってもよい。
空間形成部材１０の接続管３１と、気体供給装置（気体供給部）１３が、ダクト５２によって接続されている。
【0029】
図１、図３、図４（ａ）の様に、送信側アンテナ５と、受信側アンテナ６が、距離を離して対向する姿勢に配置され、その間に、電気特性測定用温度槽２の空間形成部材１０が設置されている。
送信側アンテナ５と、受信側アンテナ６は、その中心線が第２中心線２００と一致する姿勢となっている。
空間形成部材１０の中には、試料支持部材１１に支持された試料３００が配置される。
送信側アンテナ５と、受信側アンテナ６は、その中心線が第２中心線２００と一致する姿勢となっている。
空間形成部材１０の中には、試料支持部材１１に支持された試料３００が配置される。
【0030】
試料３００は、支持部５１に取り付けられた状態で、底面壁２２に設けられたスリット状の第３開口４３から収容空間３０に挿入される。前記した様に、支持部５１は、その正面及び裏面が、本体部２０の正面壁２５（第２面）及び裏面壁２６（第２面）に対向する姿勢をとる場合に限り、第３開口４３を通過することができる。
そのため、試料支持部材１１及び試料３００の向きは、第３開口４３の向きに規制される。
そのため、試料支持部材１１及び試料３００の向きは、第３開口４３の向きに規制される。
【0031】
ここで、第３開口４３は、正面壁２５及び裏面壁２６と平行にのびている。また第２開口４０、４１は、正面壁２５及び裏面壁２６に設けられている。
そのため、試料支持部材１１の正面及び裏面は、正面壁２５及び裏面壁２６と対向する。試料３００は、試料支持部材１１の支持部５１に取り付けられており、試料３００の主面３０１は、正面壁２５及び裏面壁２６と対向する。また第２開口４０、４１は、正面壁２５及び裏面壁２６に設けられているから、当該第２開口４０、４１は試料３００の主面３０１と対向する。
そのため、試料支持部材１１の正面及び裏面は、正面壁２５及び裏面壁２６と対向する。試料３００は、試料支持部材１１の支持部５１に取り付けられており、試料３００の主面３０１は、正面壁２５及び裏面壁２６と対向する。また第２開口４０、４１は、正面壁２５及び裏面壁２６に設けられているから、当該第２開口４０、４１は試料３００の主面３０１と対向する。
【0032】
前記した様に、第３開口４３は、前記した第１開口３３の真下の位置にあり、第３開口４３の開口面は、前記した第１中心線１００と交差する。
そのため、試料支持部材１１の支持部５１の上辺５５、及び試料３００は、第１開口３３の真下の位置に配置されることとなり、且つ第３開口４３は、試料支持部材１１の支持部５１の下辺５６及び試料３００の辺部３０２と対向する。
そのため、試料支持部材１１の支持部５１の上辺５５、及び試料３００は、第１開口３３の真下の位置に配置されることとなり、且つ第３開口４３は、試料支持部材１１の支持部５１の下辺５６及び試料３００の辺部３０２と対向する。
【0033】
次に、電気特性測定装置１の機能について説明する。
Ｓパラメータを測定する準備として、空間形成部材１０の収容空間３０に試料３００を入れる。
図２の様に、試料支持部材１１の支持部５１に試料３００を保持させ、試料支持部材１１を土台部材１２の上に置く。
この状態で、試料支持部材１１及び試料３００の上に、空間形成部材１０を被せる。その結果、試料支持部材１１及び試料３００が、第３開口４３を経て収容空間３０内に入る。
Ｓパラメータを測定する準備として、空間形成部材１０の収容空間３０に試料３００を入れる。
図２の様に、試料支持部材１１の支持部５１に試料３００を保持させ、試料支持部材１１を土台部材１２の上に置く。
この状態で、試料支持部材１１及び試料３００の上に、空間形成部材１０を被せる。その結果、試料支持部材１１及び試料３００が、第３開口４３を経て収容空間３０内に入る。
【0034】
本実施形態の電気特性測定装置１では、空間形成部材１０の接続管３１と、気体供給装置（気体供給部）１３がダクト５２によって接続されており、気体供給装置１３から温度調節された空気が第１開口３３から空間形成部材１０の収容空間３０に供給され、余剰の気体は主に第２開口４０、４１から外部に放出される。
【0035】
前記した様に、試料３００は、第１開口３３の真下の位置に配置され、且つ第３開口４３は、試料３００の辺部３０２と対向する。第１開口３３も、試料３００の辺部３０２と対向する。
そのため、第１開口３３から収容空間３０に吹き出された送風は、図３の矢印の様に、主面３０１と平行に流れる。そのため、試料３００に送風の動圧が掛かりにくく、試料３００が揺れにくい。
また試料３００の周囲は、気体供給装置（気体供給部）１３によって温度調節された気体で囲まれる状態となるので、試料３００の温度が気体の温度に馴染み、気体の温度と略同じ温度に調整される。
そのため、第１開口３３から収容空間３０に吹き出された送風は、図３の矢印の様に、主面３０１と平行に流れる。そのため、試料３００に送風の動圧が掛かりにくく、試料３００が揺れにくい。
また試料３００の周囲は、気体供給装置（気体供給部）１３によって温度調節された気体で囲まれる状態となるので、試料３００の温度が気体の温度に馴染み、気体の温度と略同じ温度に調整される。
【0036】
また余剰の気体が、第２開口４０、４１から外部に放出されるので、第２開口４０、４１から、外気が進入しにくい。
なお、第２開口４０、４１が底面壁２２から上方に離れた位置にある。そのため例えば収容空間３０を低温環境に調整した場合、冷気が底面壁２２と第２開口４０、４１の間に滞留し、外気の進入を防ぐ効果が期待できる。
なお、第２開口４０、４１が底面壁２２から上方に離れた位置にある。そのため例えば収容空間３０を低温環境に調整した場合、冷気が底面壁２２と第２開口４０、４１の間に滞留し、外気の進入を防ぐ効果が期待できる。
【0037】
この環境の下、Ｓパラメータを測定する。即ち、送信側アンテナ５から試料３００にマイクロ波を照射し、通過したマイクロ波を、受信側アンテナ６で受信する。
本実施形態によると、試料３００を所望の環境下に置いて、Ｓパラメータを測定することができる。
また、本実施形態によると、送信側アンテナ５及び受信側アンテナ６が電気特性測定用温度槽２の外側にあるため、アンテナを高温環境下や低温環境下にさらすことを避けることができる。
また、本実施形態によると、第２開口４０、４１が開放されているため、所望の環境下においても、電波が減衰する影響がない状態でＳパラメータを測定することができる。
本実施形態によると、試料３００を所望の環境下に置いて、Ｓパラメータを測定することができる。
また、本実施形態によると、送信側アンテナ５及び受信側アンテナ６が電気特性測定用温度槽２の外側にあるため、アンテナを高温環境下や低温環境下にさらすことを避けることができる。
また、本実施形態によると、第２開口４０、４１が開放されているため、所望の環境下においても、電波が減衰する影響がない状態でＳパラメータを測定することができる。
【0038】
また、収容空間３０内が陽圧傾向となり、且つ第２開口４０、４１から余剰の気体を常時放出するので、第２開口４０、４１から外気が侵入しにくい。そのため、例えば、収容空間３０が低温環境に調節されていたとしても、結露や霜が発生しにくい。
また本実施形態では、乾燥空気を温度調節した低湿度の空気を空間形成部材１０に供給するので、仮に収容空間３０が高温環境に調節されていて、排出された気体が外気によって冷却されても、湯気が発生しにくい。
また本実施形態では、乾燥空気を温度調節した低湿度の空気を空間形成部材１０に供給するので、仮に収容空間３０が高温環境に調節されていて、排出された気体が外気によって冷却されても、湯気が発生しにくい。
【0039】
以上説明した電気特性測定装置１は、伝送測定と称される方法に使用されるものであり、図４（ａ）の様に、送信側アンテナ５と受信側アンテナ６が、距離を離して対向する姿勢に配置され、その間に、電気特性測定用温度槽２の空間形成部材１０が設置される平面的レイアウトとなる。そのため、第２開口４０、４１が２個設けられている。しかしながら、本発明は、この構成に限定されるものではなく、用途に応じて第２開口の数を変更することができる。
以下に説明する変形例において、同一の部材に同一の番号を付して、重複する説明を省略する。
上記測定法の他に、斜入射反射測定と称される方法もある。斜入射反射測定に本発明を適用する場合には、図４（ｂ）の様に、送信側アンテナ５と受信側アンテナ６を、試料３００に対して扇状に配置する。
斜入射反射測定に使用する空間形成部材７０は、正面壁２５にのみ、第２開口４０がある。即ち第２開口４１を有していない。
以下に説明する変形例において、同一の部材に同一の番号を付して、重複する説明を省略する。
上記測定法の他に、斜入射反射測定と称される方法もある。斜入射反射測定に本発明を適用する場合には、図４（ｂ）の様に、送信側アンテナ５と受信側アンテナ６を、試料３００に対して扇状に配置する。
斜入射反射測定に使用する空間形成部材７０は、正面壁２５にのみ、第２開口４０がある。即ち第２開口４１を有していない。
【0040】
前述した空間形成部材１０、７０は、いずれも直方体であったが、空間形成部材の形状は任意である。以下に説明する変形例において、同一の部材に同一の番号を付して、重複する説明を省略する。
例えば図５（ａ）に示す空間形成部材７１は、天面壁２１を有する円筒形である。空間形成部材７１では、天面壁２１に接続管３１が取り付けられ、円筒形の側面８０に第２開口４０、４１がある。
空間形成部材７１においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３が設けられた面とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（天面壁２１）は、第２開口４０、４１が設けられた面（側面８０）と９０度の角度で交差する関係となっている。
また、第１中心線１００と第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。第３開口４３の開口面は、第１中心線１００と交差する。
例えば図５（ａ）に示す空間形成部材７１は、天面壁２１を有する円筒形である。空間形成部材７１では、天面壁２１に接続管３１が取り付けられ、円筒形の側面８０に第２開口４０、４１がある。
空間形成部材７１においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３が設けられた面とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（天面壁２１）は、第２開口４０、４１が設けられた面（側面８０）と９０度の角度で交差する関係となっている。
また、第１中心線１００と第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。第３開口４３の開口面は、第１中心線１００と交差する。
【0041】
図５（ｂ）に示す空間形成部材７２は、天面壁２１を有する多角柱形である。具体的には空間形成部材７２は、六角柱状である
空間形成部材７２においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３が設けられた面とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（天面壁２１）は、第２開口４０、４１が設けられた面（正面壁２５、裏面壁２６）と９０度の角度で交差する関係となっている。
また、第１中心線１００と第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。第３開口４３の開口面は、第１中心線１００と交差する。
空間形成部材７２においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３が設けられた面とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（天面壁２１）は、第２開口４０、４１が設けられた面（正面壁２５、裏面壁２６）と９０度の角度で交差する関係となっている。
また、第１中心線１００と第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。第３開口４３の開口面は、第１中心線１００と交差する。
【0042】
図５（ｃ）に示す空間形成部材７３は、天面壁２１と、正面壁２５等との間に傾斜壁８１があり、天面壁２１と正面壁２５等とは直接的には交差していない。
しかしながら、天面壁２１は水平姿勢であり、正面壁２５は垂直姿勢に近いから、天面壁２１の仮想的な延長面８２と、正面壁２５の仮想的な延長面８３は、９０度の角度で交差する関係となっている。
また、第１中心線１００と第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。第３開口４３の開口面は、第１中心線１００と交差する。
しかしながら、天面壁２１は水平姿勢であり、正面壁２５は垂直姿勢に近いから、天面壁２１の仮想的な延長面８２と、正面壁２５の仮想的な延長面８３は、９０度の角度で交差する関係となっている。
また、第１中心線１００と第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。第３開口４３の開口面は、第１中心線１００と交差する。
【0043】
【0044】
空間形成部材の容積は任意であり、試料３００の大きさに応じて適宜の大きさに製作することができる。空間形成部材の大きさを、試料３００の大きさに合わせて製作することにより、収容空間３０の環境調整に要する気体の供給量を低減することができる。
【0045】
第２開口４０、４１の位置や大きさは、電磁波のビーム幅や入射角に応じて適宜設計することができる。
外気の進入を防ぐという観点からは、第２開口４０、４１の位置や大きさは、小さい方が望ましい。
また、空間形成部材は、前述したように第２開口４１を有していなくてもよい。
外気の進入を防ぐという観点からは、第２開口４０、４１の位置や大きさは、小さい方が望ましい。
また、空間形成部材は、前述したように第２開口４１を有していなくてもよい。
【0046】
以上説明した実施形態では、第２開口４０、４１は、常に開放状態であるが、第２開口４０、４１は、封鎖可能であってもよい。
図６に示す空間形成部材７５には、第２開口４０、４１に扉やシャッター等の開閉手段８５が設けられている。
空間形成部材７５は、開閉手段８５を閉じて収容空間３０内の温度等を調節し、開閉手段８５を開いて試料に電磁波を照射する。
図６に示す空間形成部材７５には、第２開口４０、４１に扉やシャッター等の開閉手段８５が設けられている。
空間形成部材７５は、開閉手段８５を閉じて収容空間３０内の温度等を調節し、開閉手段８５を開いて試料に電磁波を照射する。
【0047】
以上説明した実施形態では、いずれも天面側に第１開口３３を設けたが、他の面に第１開口３３を設けてもよい。例えば側面壁２７、２８に第１開口３３を設けてもよい。
また、図５（ｃ）に示す空間形成部材７３において、傾斜壁８１に第１開口３３を設けてもよい。
また、図５（ｃ）に示す空間形成部材７３において、傾斜壁８１に第１開口３３を設けてもよい。
【0048】
図９、図１０に示す空間形成部材７７は、側面壁２７に第１開口３３を設けたものである。なお、作図の関係上、図１０（ａ）では、土台部材１２を省略している。
空間形成部材７７は、図１に示す空間形成部材１０と同様に、本体部２０が直方体の箱状であり、天面壁２１、底面壁２２、正面壁２５、裏面壁２６及び左右の側面壁２７、２８を有している。上述した複数の壁面によって、空間形成部材７７の内部には収容空間３０が形成されている。
第１開口３３が設けられた側面壁２７と、第２開口４０、４１が設けられた正面壁２５及び裏面壁２６は、直交する。
空間形成部材７７は、図１に示す空間形成部材１０と同様に、本体部２０が直方体の箱状であり、天面壁２１、底面壁２２、正面壁２５、裏面壁２６及び左右の側面壁２７、２８を有している。上述した複数の壁面によって、空間形成部材７７の内部には収容空間３０が形成されている。
第１開口３３が設けられた側面壁２７と、第２開口４０、４１が設けられた正面壁２５及び裏面壁２６は、直交する。
【0049】
空間形成部材７７では、側面壁２７（第１面）に接続管３１が取り付けられている。接続管３１は、側面壁２７を貫通し、収容空間３０と外部とを連通するものである。接続管３１の開口が、収容空間３０に気体を導入する第１開口３３となっている。本実施形態では、第１開口３３が、空間形成部材７７の側面に開口している。
【0050】
本実施形態においても、正面壁２５（第２面）と裏面壁２６（第２面）に、第２開口４０、４１が設けられている。
本実施形態においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（側面壁２７）は、第２開口４０、４１が設けられた面（正面壁２５と裏面壁２６）と９０度の角度で交差する関係となっている。
本実施形態においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３とは異なる面に設けられている。そして第１開口３３が設けられた面（側面壁２７）は、第２開口４０、４１が設けられた面（正面壁２５と裏面壁２６）と９０度の角度で交差する関係となっている。
【0051】
本実施形態においても、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００は、図１０の様に、９０度の角度で交差する。
本実施形態では、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する関係となっているが、これに限定されず、例えば、前記した図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が一面から見た時に交差する関係にあってもよい。
本実施形態では、第１中心線１００と第２中心線２００が交差する関係となっているが、これに限定されず、例えば、前記した図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が一面から見た時に交差する関係にあってもよい。
【0052】
本実施形態では、側面壁２７に設けられた第１開口３３から空間形成部材７７の収容空間３０に温度調節した気体が供給され、余剰の気体は主に第２開口４０、４１から外部に放出される。
【0053】
試料３００は、第１開口３３の真横の位置に配置される。第１開口３３は、試料３００の辺部３０２と対向する。
第１開口３３から収容空間３０に吹き出された送風は、試料３００の主面３０１と平行に流れる。そのため、試料３００に送風の動圧が掛かりにくく、試料３００が揺れにくい。
また試料３００の周囲は、温度調節された気体で囲まれる状態となるので、試料３００の温度が気体の温度に馴染み、気体の温度と略同じ温度に調整される。
第１開口３３から収容空間３０に吹き出された送風は、試料３００の主面３０１と平行に流れる。そのため、試料３００に送風の動圧が掛かりにくく、試料３００が揺れにくい。
また試料３００の周囲は、温度調節された気体で囲まれる状態となるので、試料３００の温度が気体の温度に馴染み、気体の温度と略同じ温度に調整される。
【0054】
前記した様に、空間形成部材の形状は任意であるから、第１開口３３を設ける位置についても、空間形成部材の形状に応じて変更することができる。
例えば図１１（ａ）に示す空間形成部材６１は、天面壁２１を有する円筒形である。空間形成部材６１では、円筒形の側面８０に、接続管３１（第１開口３３）と第２開口４０、４１がある。
空間形成部材６１においても、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。
例えば図１１（ａ）に示す空間形成部材６１は、天面壁２１を有する円筒形である。空間形成部材６１では、円筒形の側面８０に、接続管３１（第１開口３３）と第２開口４０、４１がある。
空間形成部材６１においても、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００は、９０度の角度で交差する。
【0055】
図１１（ｂ）に示す空間形成部材６２は、天面壁２１を有する多角柱形である。
空間形成部材６２では、側面８０のうち一つの面に接続管３１（第１開口３３）が設けられている。空間形成部材６２においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３が設けられた面とは異なる面に設けられている。
空間形成部材６２では、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００が、６０度の角度で交差する。
図１１（ａ）、（ｂ）に示す空間形成部材６１、６２についても、図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が、一面から見た時に交差する関係となっていてもよい。
空間形成部材６２では、側面８０のうち一つの面に接続管３１（第１開口３３）が設けられている。空間形成部材６２においても、第２開口４０、４１は、第１開口３３が設けられた面とは異なる面に設けられている。
空間形成部材６２では、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００が、６０度の角度で交差する。
図１１（ａ）、（ｂ）に示す空間形成部材６１、６２についても、図８（ｂ）のＹ－Ｚ平面の様に、第１中心線１００と第２中心線２００が、一面から見た時に交差する関係となっていてもよい。
【0056】
図１１（ｃ）に示す空間形成部材６３は、天面壁２１と正面壁２５等との間に傾斜壁８１があり、傾斜壁８１に接続管３１（第１開口３３）が設けられている。第２開口４０、４１は、正面壁２５と裏面壁２６に設けられている。
空間形成部材６３においては、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００は、矢印Ａ方向から見たときに交差する。
空間形成部材６３においては、第１開口３３の中心を通る第１中心線１００と、第２開口４０、４１の中心を通る第２中心線２００は、矢印Ａ方向から見たときに交差する。
【0057】
以上説明した実施形態では、空間形成部材を試料３００の上から被せることによって試料３００を収容空間３０に入れるが、空間形成部材のいずれかの面を開放して試料３００を収容空間３０に入れてもよい。
図１２に示す空間形成部材７９は、空間形成部材のいずれかの面を開放することができる構造を備えたものである。
図１２に示す空間形成部材７９は、開閉扉７８を有する点を除いて、図９、図１０の空間形成部材７７と同じである。
図１２に示す空間形成部材７９は、空間形成部材のいずれかの面を開放することができる構造を備えたものである。
図１２に示す空間形成部材７９は、開閉扉７８を有する点を除いて、図９、図１０の空間形成部材７７と同じである。
【0058】
本実施形態では、図１２（ｂ）の様に、天面壁２１の全部と、正面壁２５の全部と、底面壁２２の一部が一体化されて他の部分（以下、筐体部９８と言う）から独立し、開閉扉７８を構成している。即ち、開閉扉７８は、天面壁２１を構成する天板部８９と、天板部８９の一辺に垂直に設置され、正面壁２５を構成する縦壁部９０を有し、その下辺部に、底面壁２２の一部を構成する底板部９１が設けられている。筐体部９８側の底面壁２２は、大きく切り欠かれている。
底板部９１の奥行ｗは、筐体部９８の底面壁２２の切り欠き部９３の奥行Ｗよりも小さく、開閉扉７８が閉じられた際には、筐体部９８の底面壁２２と、開閉扉７８の底板部９１の間に、第３開口４３に相当する隙間が形成される。
開閉扉７８は、その一辺が、筐体部９８の裏面壁２６の上辺にヒンジ９９を介して接続されており、開閉扉７８を跳ね上げて収容空間３０の天面と正面及び底面の一部を開放することができる。
底板部９１の奥行ｗは、筐体部９８の底面壁２２の切り欠き部９３の奥行Ｗよりも小さく、開閉扉７８が閉じられた際には、筐体部９８の底面壁２２と、開閉扉７８の底板部９１の間に、第３開口４３に相当する隙間が形成される。
開閉扉７８は、その一辺が、筐体部９８の裏面壁２６の上辺にヒンジ９９を介して接続されており、開閉扉７８を跳ね上げて収容空間３０の天面と正面及び底面の一部を開放することができる。
【0059】
開閉扉７８の縦壁部９０には、摘み９５付きのねじ軸９６が装着されている。また筐体部９８の底面壁２２の端面にはネジ穴９７が設けられている。
開閉扉７８を閉じ、ねじ軸９６をネジ穴９７に係合することにより、開閉扉７８を筐体部９８に固定することができる。
開閉扉７８を閉じ、ねじ軸９６をネジ穴９７に係合することにより、開閉扉７８を筐体部９８に固定することができる。
【0060】
本実施形態では、開閉扉７８を開き、試料３００を保持させた試料支持部材１１を空間形成部材７９内に入れる。試料支持部材１１は、土台部材１２の上に置かれ、試料３００は、収容空間３０内に入る。
本実施形態では、開閉扉７８に底面壁２２の一部を構成する底板部９１があり、開閉扉７８を開くことによって、底面壁２２の辺部から第３開口４３に至る領域が開放状態となる。そのため、土台部材１２に空間形成部材７９を固定した状態で、試料３００を収容空間３０内に入れることができる。
本実施形態では、開閉扉７８に底面壁２２の一部を構成する底板部９１があり、開閉扉７８を開くことによって、底面壁２２の辺部から第３開口４３に至る領域が開放状態となる。そのため、土台部材１２に空間形成部材７９を固定した状態で、試料３００を収容空間３０内に入れることができる。
【0061】
図１２に示す空間形成部材７９の開閉扉７８は、空間形成部材７９の天面壁２１と、正面壁２５と、底面壁２２の一部の３者を開放するものであるが、正面壁２５又は裏面壁２６と、底面の一部を開放するものであってもよい。
また天面壁２１、正面壁２５、裏面壁２６及び左右の側面壁２７、２８のいずれかだけが開閉するものであってもよい。
空間形成部材７９は、図１２（ｂ）の様に、開閉扉７８が開放時に跳ね上げられた姿勢をとるものであるが、開閉扉の開閉方向は限定されるものではなく、左右に開くものであってもよい。
また天面壁２１、正面壁２５、裏面壁２６及び左右の側面壁２７、２８のいずれかだけが開閉するものであってもよい。
空間形成部材７９は、図１２（ｂ）の様に、開閉扉７８が開放時に跳ね上げられた姿勢をとるものであるが、開閉扉の開閉方向は限定されるものではなく、左右に開くものであってもよい。
【0062】
また開閉扉７８は、他の実施形態で採用することもできる。例えば、図１２の様な開閉扉７８を採用し、当該開閉扉の天板部８９に接続管３１を取り付けて第１開口３３を構成してもよい。
【0063】
以上説明した実施形態では、余剰の気体を第２開口４０、４１から排気したが、例えば図７に示す空間形成部材７６の様に、他の部位に排気口８７を設けてもよい。
また、図７に示す空間形成部材７６の様に、第２開口４０、４１を、電磁波が透過しやすい材料で作られた封鎖部材８８で封鎖してもよい。封鎖部材８８は、第２開口４０及び４１のいずれか一方に設けられていてもよい。
また、図７に示す空間形成部材７６の様に、第２開口４０、４１を、電磁波が透過しやすい材料で作られた封鎖部材８８で封鎖してもよい。封鎖部材８８は、第２開口４０及び４１のいずれか一方に設けられていてもよい。
【0064】
以上説明した実施形態では、気体供給装置１３から空間形成部材に対して一方的に温度調節した気体が供給され、余剰の気体は空間形成部材から外部に放出される。
この構成によると、収容空間３０内に外気が侵入しても、気体が気体供給装置１３に戻らないので、気体供給装置１３の冷却器に霜が発生しにくく、霜取りのための中断が発生しにくい。また霜が融けることによる加湿が無いという利点もある。
しかしながら、本発明は、気体供給装置１３と空間形成部材との間で気体を循環させる構成を採用することを否定するものではない。
また気体供給装置１３と空間形成部材が一体であってもよい。
この構成によると、収容空間３０内に外気が侵入しても、気体が気体供給装置１３に戻らないので、気体供給装置１３の冷却器に霜が発生しにくく、霜取りのための中断が発生しにくい。また霜が融けることによる加湿が無いという利点もある。
しかしながら、本発明は、気体供給装置１３と空間形成部材との間で気体を循環させる構成を採用することを否定するものではない。
また気体供給装置１３と空間形成部材が一体であってもよい。
【0065】
以上説明した実施形態では、本体部２０の底面壁２２に、試料３００を入れるための第３開口４３があり、当該第３開口４３の形状をスリット状とすることにより、試料支持部材１１の姿勢を規制している。このため、試料支持部材１１に試料３００が取り付けられた状態で試料３００が本体部２０に挿入されると、試料３００の主面３０１が、必然的に第２開口４０、４１と対向する。
本実施形態では、第３開口４３によって、試料３００の姿勢を規制している。即ち本実施形態では、第３開口４３が、試料３００の姿勢を規制する姿勢規制手段となっている。
姿勢規制手段は、第３開口４３を活用するものに限定されるものでない。
例えば、土台部材１２に、印や係合部があって、空間形成部材及び試料支持部材１１を置く位置や姿勢が限定されるものであってもよい。この場合、特定の位置に特定の姿勢で、空間形成部材及び試料支持部材１１を設置することによって、試料３００の主面３０１が、必然的に第２開口４０、４１と対向する構成を採用することも推奨される。
本実施形態では、第３開口４３によって、試料３００の姿勢を規制している。即ち本実施形態では、第３開口４３が、試料３００の姿勢を規制する姿勢規制手段となっている。
姿勢規制手段は、第３開口４３を活用するものに限定されるものでない。
例えば、土台部材１２に、印や係合部があって、空間形成部材及び試料支持部材１１を置く位置や姿勢が限定されるものであってもよい。この場合、特定の位置に特定の姿勢で、空間形成部材及び試料支持部材１１を設置することによって、試料３００の主面３０１が、必然的に第２開口４０、４１と対向する構成を採用することも推奨される。
【0066】
以上説明した実施形態では、空間形成部材が脚部１８を有しているが、空間形成部材が脚部１８を有していなくてもよい。
また、本体部２０に底面壁２２を有しているが、底面壁２２を設けなくてもよい。すなわち、本体部２０が下に凹の形状であってもよい。
また、本体部２０に底面壁２２を有しているが、底面壁２２を設けなくてもよい。すなわち、本体部２０が下に凹の形状であってもよい。
【0067】
以上説明した実施形態では、二つの第２開口４０、４１の形状が同一であるが、二つの第２開口４０、４１の形状が異なっていてもよい。例えば一方の第２開口が円形であり、他方が四角形であってもよい。
また以上説明した実施形態では、第２開口４０の中心線と、第２開口４１の中心線が一致しているが、両者が異なっていてもよい。
また以上説明した実施形態では、第２開口４０の中心線と、第２開口４１の中心線が一致しているが、両者が異なっていてもよい。
【0068】
空間形成部材を断熱材で覆ってもよい。
【符号の説明】
【0069】
１ 電気特性測定装置
２ 電気特性測定用温度槽
５ 送信側アンテナ（電磁波照射装置）
６ 受信側アンテナ（電磁波受信装置）
１０、６１、６２、６３ 空間形成部材
７０、７１、７２、７３、７５、７６、７７、７９ 空間形成部材
１１ 試料支持部材
１３ 気体供給装置
２１ 天面壁（第１面）
２２ 底面壁
２５ 正面壁（第２面）
２６ 裏面壁（第２面）
２７ 側面壁
２８ 側面壁
３０ 収容空間
３１ 接続管
３３ 第１開口
４０ 第２開口
４１ 第２開口
４３ 第３開口
８５ 開閉手段
８７ 排気口
８８ 封鎖部材
１００ 第１中心線
２００ 第２中心線
３００ 試料
３０１ 主面
３０２ 辺部
２ 電気特性測定用温度槽
５ 送信側アンテナ（電磁波照射装置）
６ 受信側アンテナ（電磁波受信装置）
１０、６１、６２、６３ 空間形成部材
７０、７１、７２、７３、７５、７６、７７、７９ 空間形成部材
１１ 試料支持部材
１３ 気体供給装置
２１ 天面壁（第１面）
２２ 底面壁
２５ 正面壁（第２面）
２６ 裏面壁（第２面）
２７ 側面壁
２８ 側面壁
３０ 収容空間
３１ 接続管
３３ 第１開口
４０ 第２開口
４１ 第２開口
４３ 第３開口
８５ 開閉手段
８７ 排気口
８８ 封鎖部材
１００ 第１中心線
２００ 第２中心線
３００ 試料
３０１ 主面
３０２ 辺部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】