特許 7591645 電子部品検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-20

(45)【発行日】2024-11-28

(54)【発明の名称】電子部品検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 29/22 20060101AFI20241121BHJP

   G01R 27/02 20060101ALI20241121BHJP

   G01N 27/20 20060101ALI20241121BHJP

【ＦＩ】

G01R29/22 G

G01R27/02 R

G01N27/20 Z

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2023510740

(86)(22)【出願日】2022-03-07

(86)【国際出願番号】 JP2022009766

(87)【国際公開番号】W WO2022209611

(87)【国際公開日】2022-10-06

【審査請求日】2023-07-31

(31)【優先権主張番号】P 2021055173

(32)【優先日】2021-03-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000004064

【氏名又は名称】日本碍子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088672

【弁理士】

【氏名又は名称】吉竹 英俊

(74)【代理人】

【識別番号】100088845

【弁理士】

【氏名又は名称】有田 貴弘

(74)【代理人】

【識別番号】100134991

【弁理士】

【氏名又は名称】中尾 和樹

(74)【代理人】

【識別番号】100148507

【弁理士】

【氏名又は名称】喜多 弘行

(72)【発明者】

【氏名】池田 竜介

(72)【発明者】

【氏名】日比野 朝彦

(72)【発明者】

【氏名】大西 孝生

【審査官】永井 皓喜

(56)【参考文献】

【文献】特開平６－１４８２４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／０５４３３７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－４１８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２５１４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１０２６１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／０６６９３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０２０／２６２２５６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００７－１２９７７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平９－３３３３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００６／１１５１１０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１０－１９０８１５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ ２９／２２

Ｇ０１Ｒ ２７／０２

Ｇ０１Ｎ ２７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１電極が設けられた第１面と、第２電極が設けられた第２面とを有する電子部品を、第１端子および第２端子を有する測定器を用いて検査する、電子部品検査方法であって、
（ａ）前記第１面および前記第２面のうち前記第２面のみを着脱可能に導電性粘着シートに粘着させる工程と、
（ｂ）前記測定器の前記第１端子を前記第１電極へ前記第１面で電気的に接続し、かつ前記測定器の前記第２端子を前記第２電極へ前記第２面で前記導電性粘着シートを介して電気的に接続しつつ、前記測定器によって前記電子部品を測定する工程と、
を備える電子部品検査方法。

【請求項2】

請求項１に記載の電子部品検査方法であって、
前記工程（ａ）において、前記導電性粘着シートは金属部材に支持されている、電子部品検査方法。

【請求項3】

請求項２に記載の電子部品検査方法であって、
前記工程（ｂ）において、前記測定器の前記第２端子は、前記導電性粘着シートへ前記金属部材を介して電気的に接続されている、電子部品検査方法。

【請求項4】

請求項１から３のいずれか１項に記載の電子部品検査方法であって、
前記工程（ｂ）は、
（ｂ－１）少なくともひとつの測定周波数を含む周波数領域において前記第１端子と前記第２端子との間でのインピーダンス測定を行う工程、
を含み、
前記少なくともひとつの測定周波数での、前記第２電極と前記第２端子との間での前記導電性粘着シートのインピーダンスの絶対値は、前記第１電極と前記第２電極との間での前記電子部品のインピーダンスの絶対値よりも小さい、電子部品検査方法。

【請求項5】

請求項４に記載の電子部品検査方法であって、
前記少なくともひとつの測定周波数は、１ＭＨｚ以上の周波数を含む、電子部品検査方法。

【請求項6】

請求項４または５に記載の電子部品検査方法であって、
前記電子部品は部分的に圧電体からなる、電子部品検査方法。

【請求項7】

請求項６に記載の電子部品検査方法であって、
前記少なくともひとつの測定周波数は、前記電子部品の最大外形寸法に対応した反共振周波数を含む、電子部品検査方法。

【請求項8】

請求項７に記載の電子部品検査方法であって、
（ｃ）前記工程（ｂ－１）の前記インピーダンス測定における前記反共振周波数でのインピーダンスに基づいて前記電子部品の機械的欠陥を評価する工程、
をさらに備える、電子部品検査方法。

【請求項9】

請求項４または５に記載の電子部品検査方法であって、
前記少なくともひとつの測定周波数は、前記電子部品の少なくともひとつの電気的共振周波数を含む、電子部品検査方法。

【請求項10】

請求項１から９のいずれか１項に記載の電子部品検査方法であって、
前記工程（ｂ）において、前記電子部品を検査するために、前記電子部品に対する測定工程が、測定システムを用いて行われ、
前記導電性粘着シートは、前記電子部品ではなく前記測定システムに含まれる、電子部品検査方法。

【請求項11】

請求項１から１０のいずれか１項に記載の電子部品検査方法であって、
（ｄ）前記工程（ｃ）の後、前記電子部品を前記導電性粘着シートから分離する工程、
をさらに備える、電子部品検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子部品検査方法に関し、特に、電子部品へ電気的に接続された測定器によって電子部品を測定する電子部品検査方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

国際公開第２０１９／０５４３３７号公報（特許文献１）は、圧電素子の検査方法を例示している。圧電素子の一方の面には、第１端子および第２端子が形成されている。まず、圧電素子の、一方の面と対向する他方の面が、１×１０^１６Ω以上の表面抵抗を有する微粘着シートに保持される。そして、第１端子の電極と第２端子の電極との間に電圧が印加され、電気特性評価が行われる。電気特性評価としては、容量検査と共振検査とが行われる。容量検査においては、ＬＣＲメータによって周波数１ｋＨｚの測定信号で静電容量が測定される。共振検査においては、ネットワークアナライザによって周波数７．２～７．９ＭＨｚの測定信号で圧電素子のインピーダンスの周波数依存性が測定される。共振検査の結果を評価することによって、圧電素子がクラックを有するか否かを判定することができる。具体的には、共振周波数におけるインピーダンスのピーク値が所定の閾値を超える場合、圧電素子がクラックを有しないと判定される。一方で、共振周波数におけるインピーダンスのピーク値が所定の閾値を超えない場合、圧電素子がクラックを有すると判定される。

【0003】

上記公報に記載の検査方法は、共通の面に設けられた２つの電極間に電圧を印加することによって行われる。しかしながら、多くのチップ電子部品の検査において、電気的接続を要する２つの端子は、異なる面に設けられており、典型的には両端面に設けられている。よって多くの場合、上記公報に記載の検査方法を適用することができない。

【0004】

これに対して、特開２０１９－６７９３５号公報（特許文献２）は、互いに対向する両端部のそれぞれに電極を有するチップ電子部品の検査方法を開示している。この検査方法によれば、収容孔の内部に、それぞれの電極の少なくとも一部がチップ電子部品収容孔の両開口面から突き出るようにチップ電子部品が収容される。そして、両端部の電極のそれぞれに、検査器の可動ローラ電極端子および固定電極端子が接触させられることによって、電圧が印加される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】国際公開第２０１９／０５４３３７号公報

【文献】特開２０１９－６７９３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上記検査方法においては、収容孔内で電子部品が変位することがある。その結果、電子部品が収容孔の内壁に衝突することがある。そして衝突の衝撃によって、電子部品が紛失したり破損したりすることがある。また、当該変位の結果、電子部品の電極へ測定器の端子が十分に接触しないことがある。この場合、再検査が必要となるので、検査に要する時間が増大してしまう。

【0007】

本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、大きなダメージなしに安定的に電子部品を固定しつつ、電子部品へ測定器を電気的に接続することによる電子部品検査を容易に行うことができる、電子部品検査方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

第１態様は、第１電極が設けられた第１面と、第２電極が設けられた第２面とを有する電子部品を、第１端子および第２端子を有する測定器を用いて検査する、電子部品検査方法であって、（ａ）第１面および第２面のうち第２面のみを導電性粘着シートに粘着させる工程と、（ｂ）測定器の第１端子を第１電極へ第１面で電気的に接続し、かつ測定器の第２端子を第２電極へ第２面で導電性粘着シートを介して電気的に接続しつつ、測定器によって電子部品を測定する工程と、を備える。

【0009】

第２態様は、第１態様の電子部品検査方法であって、工程（ａ）において、導電性粘着シートは金属部材に支持されている。

【0010】

第３態様は、第２態様の電子部品検査方法であって、工程（ｂ）において、測定器の第２端子は、導電性粘着シートへ金属部材を介して電気的に接続されている。

【0011】

第４態様は、第１から第３態様の電子部品検査方法であって、工程（ｂ）は、（ｂ－１）少なくともひとつの測定周波数を含む周波数領域において第１端子と第２端子との間でのインピーダンス測定を行う工程、を含む。少なくともひとつの測定周波数での、第２電極と第２端子との間での導電性粘着シートのインピーダンスの絶対値は、第１電極と第２電極との間での電子部品のインピーダンスの絶対値よりも小さい。

【0012】

第５態様は、第４態様の電子部品検査方法であって、少なくともひとつの測定周波数は、１ＭＨｚ以上の周波数を含む。

【0013】

第６態様は、第４または第５態様の電子部品検査方法であって、電子部品は部分的に圧電体からなる。

【0014】

第７態様は、第６態様の電子部品検査方法であって、少なくともひとつの測定周波数は、電子部品の最大外形寸法に対応した反共振周波数を含む。

【0015】

第８態様は、第７態様の電子部品検査方法であって、（ｃ）工程（ｂ－１）のインピーダンス測定における反共振周波数でのインピーダンスに基づいて電子部品の機械的欠陥を評価する工程、をさらに備える。

【0016】

第９態様は、第４または第５態様の電子部品検査方法であって、少なくともひとつの測定周波数は、電子部品の少なくともひとつの電気的共振周波数を含む。

【発明の効果】

【0017】

第１態様によれば、第１に、電子部品の固定が導電性粘着シートの粘着性を用いて行われる。これにより、ダメージを与えることなく安定的に電子部品を固定することができる。第２に、測定器の第２端子が電子部品の第２電極へ第２面で導電性粘着シートを介して電気的に接続される。これにより、電子部品の第１電極への測定器の電気的接続が容易となるように電子部品の第１面を向けつつ、電子部品の第２電極への第２面での電気的接続は、導電性粘着シートの導電性を用いて容易に確保することができる。以上から、大きなダメージなしに安定的に電子部品を固定しつつ、電子部品へ測定器を電気的に接続することによる電子部品検査を容易に行うことができる。

【0018】

第２態様によれば、導電性粘着シートは金属部材に支持されている。これにより、導電性粘着シートだけでなく金属部材も、電子部品の第２電極と測定器の第２端子との間の電気的経路として用いることができる。

【0019】

第３態様によれば、測定器の第２端子は、導電性粘着シートへ金属部材を介して電気的に接続されている。これにより、測定器の第２端子からの電気的経路を、導電性粘着シートへではなく、金属部材へと取り付けることができる。

【0020】

第４態様によれば、少なくともひとつの測定周波数での、第２電極と第２端子との間での導電性粘着シートのインピーダンスの絶対値は、第１電極と第２電極との間での電子部品のインピーダンスの絶対値よりも小さい。これにより、当該測定周波数においては、導電性粘着シートのインピーダンスによって大きく妨げられることなく、電子部品のインピーダンスを測定することができる。

【0021】

第５態様によれば、少なくともひとつの測定周波数は、１ＭＨｚ以上の周波数を含む。これにより、十分に高周波での検査を行うことができる。

【0022】

第６態様によれば、電子部品は部分的に圧電体からなる。これにより、測定器からの電圧印加による電子部品の機械的共振を、電子部品の検査に利用することができる。

【0023】

第７態様によれば、少なくともひとつの測定周波数は、電子部品の最大外形寸法に対応した反共振周波数を含む。これにより、できるだけ低い測定周波数を用いつつ、電子部品の機械的共振を電子部品の検査に利用することができる。

【0024】

第８態様によれば、反共振周波数でのインピーダンスに基づいて電子部品の機械的欠陥が評価される。これにより、機械的共振を用いて電子部品の機械的欠陥を評価することができる。

【0025】

第９態様によれば、少なくともひとつの測定周波数は、電子部品の少なくともひとつの電気的共振周波数を含む。これにより、電子部品の検査に電子部品の電気的共振を利用することができる。

【0026】

この発明の目的、特徴、態様、および利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】一実施の形態に係る電子部品検査方法における測定工程を概略的に示す図である。

【図2】一実施の形態に係る電子部品検査方法を概略的に示すフロー図である。

【図3】導電性が相対的に低い導電性粘着シートと、導電性が相対的に高い導電性粘着シートと、電子部品と、の各々のインピーダンスの周波数依存性を例示するグラフ図である。

【図4】比較例に係る電子部品検査方法における測定工程を概略的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。

【0029】

図１は、本実施の形態に係る電子部品検査方法における測定工程を概略的に示す図である。図１を参照して、本実施の形態において検査される圧電素子１１０（電子部品）は、基部１０と、電極１１（第１電極）が設けられた上面ＦＣ１（第１面）と、電極１２（第２電極）が設けられた下面ＦＣ２（第２面）とを有している。ここで第２面は、第１面とは異なる面であり、典型的には、本実施の形態においてそうであるように、第１面とは反対の面である。基部１０の少なくとも一部はセラミックスからなっていてよく、本実施の形態においては圧電体セラミックスからなる。よって本実施の形態における電子部品は、部分的に圧電体からなる。基部１０はその内部に、電極１１および電極１２の各々から延びる内部電極層（図示せず）を含んでいてよい。

【0030】

次に、測定工程に用いられる測定システムの構成について、以下に説明する。

【0031】

ネットワークアナライザ２００（測定器）は、圧電素子１１０を検査するためのものであり、端子ＴＭ１（第１端子）および端子ＴＭ２（第２端子）を有している。端子ＴＭ１および端子ＴＭ２のそれぞれには、配線経路ＬＮ１および配線経路ＬＮ２が接続されている。配線経路ＬＮ１は、配線ＣＢ１（例えば信号ケーブル）と、それを介して端子ＴＭ１に接続されたプローブＰＢ１（例えば、プローブ針）と、を有している。

【0032】

ステージ４００（金属部材）は、金属からなる部材であり、例えばアルミニウムからなる。ステージ４００は、配線経路ＬＮ２によってネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２に電気的に接続されている。ステージ４００は、支持面（図１における上面）を有している。支持面は平坦面であることが好ましく、当該平坦面は、鉛直方向に対して垂直であることが好ましい。

【0033】

導電性粘着シート３１０は、粘着面（図１における上面）と、裏面（図１における下面）とを有している。粘着面は、粘着によって圧電素子１１０を保持するための保持力を有している。粘着面の保持力は、物理的接着（二次結合、言い換えれば分子間結合）によるものであってよい。粘着面の保持力は、例えば、０．９８Ｎ／ｃｍ^２（０．１０ｋｇｆ／ｃｍ^２）以上、４．９Ｎ／ｃｍ^２（０．５０ｋｇｆ／ｃｍ^２）以下である。導電性粘着シート３１０の裏面は、ステージ４００の支持面上に取り付けられている。これにより、導電性粘着シート３１０はステージ４００と電気的に接続されている。

【0034】

導電性粘着シート３１０は導電性を有している。導電性粘着シート３１０は、典型的には、樹脂からなる母材と、母材中に分散された導電性フィラーとを有している。母材は、例えば、フッ素ゴムからなる。導電性フィラーは、例えば、カーボンブラックからなる。

【0035】

導電性粘着シート３１０の厚みは、例えば、０．１ｍｍ以上、１．０ｍｍ以下である。導電性粘着シート３１０のヤング率は、例えば、５．０ＭＰａ以上、１０．０ＭＰａ以下である。導電性粘着シート３１０の耐熱性は、例えば、９０℃以上である。導電性粘着シート３１０の熱伝導率は、例えば、０．０５Ｗ／ｍＫ以上である。

【0036】

図２は、当該測定工程を含む電子部品検査方法を概略的に示すフロー図である。

【0037】

ステップＳＴ１０（図２）にて粘着工程が行われる。具体的には、図１に示されているように、圧電素子１１０の下面ＦＣ２が、ステージ４００に支持された導電性粘着シート３１０の粘着面に粘着させられる。一方、圧電素子１１０の上面ＦＣ１は導電性粘着シート３１０に粘着されない。よって、上面ＦＣ１および下面ＦＣ２のうち下面ＦＣ２のみが導電性粘着シート３１０に粘着させられる。下面ＦＣ２が導電性粘着シート３１０に粘着されることによって、圧電素子１１０と導電性粘着シート３１０とが互いに固定されるだけでなく、圧電素子１１０の電極１２と導電性粘着シート３１０とが互いに電気的に接続される。

【0038】

ステップＳＴ２０（図２）にて測定工程が行われる。具体的には、ネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ１が圧電素子１１０の電極１１へ上面ＦＣ１で電気的に接続され、かつ、ネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２が圧電素子１１０の電極１２へ下面ＦＣ２で導電性粘着シート３１０を介して電気的に接続される。これらの接続が維持されつつ、ネットワークアナライザ２００によって圧電素子１１０が測定される。このとき、配線経路ＬＮ２は、導電性粘着シート３１０を介することなくステージ４００へ直接的に接続されていてよく、その場合、ネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２は導電性粘着シート３１０へステージ４００を介して電気的に接続される。一方、端子ＴＭ１の電気的接続は、プローブＰＢ１を上方から圧電素子１１０の電極１１へ上面ＦＣ１で接触させることによって確保される。本実施の形態においては、端子ＴＭ１と端子ＴＭ２との間でのインピーダンス測定が、少なくともひとつの測定周波数を含む周波数領域において行われる。少なくともひとつの測定周波数は、１ＭＨｚ以上の周波数を含んでいてよい。測定には、例えば、＋４ｄＢｍの測定信号が用いられる。

【0039】

図３を参照して、周波数ｆを表す横軸を有するグラフにおいて、導電性が相対的に低い導電性粘着シート３１０のインピーダンスＺ_ＳＨ、導電性が相対的に高い導電性粘着シート３１０のインピーダンスＺ_ＳＬ、および、電極１１と電極１２との間での圧電素子１１０のインピーダンスＺ_Ｃの各々についての、周波数依存性が例示されている。ここで、導電性粘着シート３１０のインピーダンスは、電極１２とネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２との間のインピーダンスとして定義される。なお図３の例で示されている各インピーダンスは、その絶対値で示されている。グラフ中の矢印は、圧電素子１１０の最大外形寸法に対応した反共振周波数ｆ_Ａ（並列共振周波数）を示している。

【0040】

ある測定周波数でのインピーダンスＺ_Ｃの値が圧電素子１１０の評価に用いられることになる場合、当該測定周波数において、導電性粘着シート３１０のインピーダンスの絶対値は、圧電素子１１０のインピーダンスＺ_Ｃよりも小さいことが好ましい。特に、反共振周波数ｆ_ＡでのインピーダンスＺ_Ｃのピーク値が圧電素子１１０の評価に用いられることになる場合、反共振周波数ｆ_Ａにおいて、導電性粘着シート３１０のインピーダンスの絶対値は、インピーダンスＺ_Ｃよりも小さいことが好ましい。よってその場合、インピーダンスＺ_ＳＨではなくインピーダンスＺ_ＳＬを有する導電性粘着シート３１０が用いられることが好ましい。

【0041】

ステップＳＴ３０（図２）にて評価工程が行われる。具体的には、上記ステップＳＴ２０でのインピーダンス測定における上記反共振周波数ｆ_ＡでのインピーダンスＺ_Ｃのピーク値に基づいて圧電素子１１０の機械的欠陥が評価される。典型的には、予め定められた閾値を基準として、上記ピーク値が相対的に大きければ圧電素子１１０はクラックを有しないと判定され、上記ピーク値が相対的に小さければ圧電素子１１０はクラックを有すると判定される。

【0042】

図４は、比較例に係る電子部品検査方法における測定工程を概略的に示す図である。本比較例においては、ネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２に接続された配線経路ＬＮ２が、配線ＣＢ２およびプローブＰＢ２を有している。また本比較例において検査される圧電素子１９０は、基部９０と、電極９１と、電極９２とを有している。電極９１および電極９２の各々は、上面ＦＣ１および下面ＦＣ２の両方にわたって延びている。よって、測定のための電気的接続を確保する目的で、電極９１および電極９２のそれぞれにプローブＰＢ１およびプローブＰＢ２を上方から上面ＦＣ１で接触させることができる。このとき、圧電素子１９０の下面ＦＣ２は粘着シート３９０に粘着されている。粘着シート３９０の絶縁性が十分に高くないと、電極９１と電極９２との間の粘着シート３９０を介しての電気的接続が、電極９１と電極９２との間でのネットワークアナライザ２００による測定を、大きく乱してしまう。よって、当該測定の観点において十分な程度に、粘着シート３９０は非導電性を有している必要がある。このように、本比較例の粘着シート３９０と、前述した実施の形態における導電性粘着シート３１０（図１）とでは、導電性に求められる要件が反対である。また、そもそも本比較例においては圧電素子１９０が上面ＦＣ１に電極９１および電極９２の両方を有している必要があるので、本比較例の測定工程を圧電素子１１０（図１）の測定に適用することはできない。

【0043】

本実施の形態によれば、第１に、圧電素子１１０の固定が導電性粘着シート３１０の粘着性を用いて行われる。これにより、ダメージを与えることなく安定的に圧電素子１１０を固定することができる。第２に、ネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２が圧電素子１１０の電極１２へ下面ＦＣ２で導電性粘着シート３１０を介して電気的に接続される。これにより、圧電素子１１０の電極１１へのネットワークアナライザ２００の電気的接続が容易となるように圧電素子１１０の上面ＦＣ１を向けつつ、圧電素子１１０の電極１２への下面ＦＣ２での電気的接続は、導電性粘着シート３１０の導電性を用いて容易に確保することができる。以上から、大きなダメージなしに安定的に圧電素子１１０を固定しつつ、圧電素子１１０へネットワークアナライザ２００を電気的に接続することによる圧電素子１１０の検査を容易に行うことができる。

【0044】

導電性粘着シート３１０はステージ４００に支持されている。これにより、導電性粘着シート３１０だけでなくステージ４００も、圧電素子１１０の電極１２とネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２との間の電気的経路として用いることができる。

【0045】

ネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２は、導電性粘着シート３１０へステージ４００を介して電気的に接続されている。これにより、ネットワークアナライザ２００の端子ＴＭ２からの配線経路ＬＮ２を、導電性粘着シート３１０へではなく、ステージ４００へと取り付けることができる。

【0046】

少なくともひとつの測定周波数での、電極１２と端子ＴＭ２との間での導電性粘着シート３１０のインピーダンスの絶対値は、インピーダンスＺ_Ｃ（図３）よりも小さいことが好ましい。これにより、当該周波数においては、導電性粘着シート３１０のインピーダンスによって大きく妨げられることなく、圧電素子１１０のインピーダンスＺ_Ｃを測定することができる。特に、反共振周波数ｆ_ＡでのインピーダンスＺ_Ｃのピーク値が圧電素子１１０の評価に用いられることになる場合、反共振周波数ｆ_Ａにおいて、導電性粘着シート３１０のインピーダンスの絶対値は、インピーダンスＺ_Ｃよりも小さいことが好ましい。よってその場合は、前述したように、インピーダンスＺ_ＳＨ（図３）ではなくインピーダンスＺ_ＳＬ（図３）を有する導電性粘着シート３１０が用いられることが好ましい。

【0047】

少なくともひとつの測定周波数は、１ＭＨｚ以上の周波数を含むことが好ましい。これにより、十分に高周波での検査を行うことができる。

【0048】

圧電素子１１０は部分的に圧電体からなる。これにより、ネットワークアナライザ２００からの電圧印加による圧電素子１１０の機械的共振を、圧電素子１１０の検査に利用することができる。圧電素子１１０の機械的共振が着目される際には、多くの場合において、上述したように、少なくともひとつの測定周波数が１ＭＨｚ以上の周波数を含む必要がある。特に、圧電素子１１０のサイズが小さいほど、より高い周波数での測定が必要である。

【0049】

少なくともひとつの測定周波数は、本実施の形態においては、圧電素子１１０の最大外形寸法に対応した反共振周波数ｆ_Ａを含む。これにより、できるだけ低い測定周波数を用いつつ、圧電素子１１０の機械的共振を圧電素子１１０の検査に利用することができる。具体的には、機械的共振を用いて圧電素子１１０の機械的欠陥を評価することができる。

【0050】

なお、上記実施の形態においては、電子部品が圧電素子１１０である場合について詳述したが、電子部品は圧電素子に限定されるものではなく、非圧電素子であってもよい。非圧電素子は、圧電現象を積極的に利用しない素子であり、例えばキャパシタである。非圧電素子は、部分的に圧電体からなっていてよく、あるいは、非圧電体のみからなっていてよい。よって、電子部品は、必ずしも部分的に圧電体からなる必要はない。電子部品としての非圧電素子が部分的に圧電体からなる場合、上記実施の形態と同様、圧電現象に関連した測定を行うことが可能であり、具体的には、電子部品の最大外形寸法に対応した反共振周波数でのインピーダンスに基づいて機械的欠陥を評価することが可能である。例えば、キャパシタの誘電体材料が圧電性を有している場合、そのような評価が可能である。また、電子部品が部分的に圧電体からなるか否かを問わず、当該電子部品が電気的共振周波数を有する場合において、少なくともひとつの測定周波数が当該電気的共振周波数を含んでいれば、電子部品の検査に電子部品の電気的共振を利用することができる。

【0051】

また、上記実施の形態においては、測定器がネットワークアナライザ２００である場合について詳述したが、測定器はネットワークアナライザに限定されるものではなく、例えば、ＬＣＲメータであってもよい。ＬＣＲメータにより、電子部品のインダクタンス、キャパシタンスおよび抵抗の少なくともいずれかを測定することができる。測定の用途によっては、測定周波数は１ＭＨｚ未満であってよく、例えば、キャパシタンスの測定には、しばしば１ｋＨｚ程度の周波数が用いられる。また測定周波数はゼロであってもよく、周波数ゼロは直流を意味する。

【符号の説明】

【0052】

１０ ：基部
１１ ：第１電極
１２ ：第２電極
１１０ ：圧電素子（電子部品）
２００ ：ネットワークアナライザ（測定器）
３１０ ：導電性粘着シート
４００ ：ステージ（金属部材）
ＰＢ１ ：プローブ
ＴＭ１ ：第１端子
ＴＭ２ ：第２端子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】