特許 7593787 クリーニングヘッド及びマスククリーニング方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-25

(45)【発行日】2024-12-03

(54)【発明の名称】クリーニングヘッド及びマスククリーニング方法

(51)【国際特許分類】

   B41F 35/00 20060101AFI20241126BHJP

   B41F 15/12 20060101ALI20241126BHJP

【ＦＩ】

B41F35/00 C

B41F15/12 A

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020189712

(22)【出願日】2020-11-13

(65)【公開番号】P2022078787

(43)【公開日】2022-05-25

【審査請求日】2023-10-17

(73)【特許権者】

【識別番号】000006895

【氏名又は名称】矢崎総業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】福代 勝

(72)【発明者】

【氏名】名取 武治

【審査官】長田 守夫

(56)【参考文献】

【文献】特開平２－１１２９９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平９－１９３３６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１５７０５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－７３３５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平４－１０５５８１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００２－１９２７０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１３０１６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｆ ３５／００－３５／０６

Ｂ４１Ｆ １５／００－１５／４６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

導電板上の縦型電極部品に接続材料を供給するためのマスクであって、一面側に孔を有し、他面側に第１凹部を有し、前記孔が前記第１凹部の底部を貫通する前記マスクに、シート状のクリーニング部材を押し付けて、前記孔から前記第１凹部に供給されて付着した前記接続材料を除去するクリーニングヘッドであって、
ヘッド本体と、
前記ヘッド本体の前記マスク側の先端部に形成された第２凹部に、前記ヘッド本体から突出して設けられた軟質材と、を備え、
前記ヘッド本体は、一端が前記先端部に形成された前記第２凹部の底面に開口する第一吸引孔を有し、
前記ヘッド本体が前記クリーニング部材を前記他面に押し付けることにより、前記軟質材が前記第１凹部に押し付けられて前記第１凹部の形状に沿って変形し、
前記軟質材は、前記軟質材を貫通し前記第一吸引孔に連通する第二吸引孔を有する、クリーニングヘッド。

【請求項2】

導電板上の縦型電極部品に接続材料を供給するためのマスクであって、一面側に孔を有し、他面側に凹部を有し、前記孔が前記凹部の底部を貫通する前記マスクの前記他面に、クリーニングヘッドによって、シート状のクリーニング部材を押し付けて、前記孔から前記凹部に供給されて付着した前記接続材料を除去する、マスククリーニング方法であって、
前記クリーニングヘッドは、
ヘッド本体と、
前記ヘッド本体の前記マスク側の先端部に、前記ヘッド本体から突出して設けられた軟質材と、を備え、
前記ヘッド本体が前記クリーニング部材を前記他面に押し付けることにより、前記軟質材が前記凹部に押し付けられて前記凹部の形状に沿って変形し、
前記接続材料を除去した後、前記凹部にブラックライトを照射して前記マスクを前記他面側から撮影し、
撮影画像に基づいて、付着物の有無を検査する、マスククリーニング方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリーニングヘッド及びマスククリーニング方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般的な電極部品（横型電極部品）を配線基板に接続するため、配線基板に印刷マスクを用いてはんだペースト等の接続材料を印刷する。配線基板への印刷が完了した印刷マスクは、配線基板に面する側（基板面側）の接続材料のニジミや残り材などがクリーニングされる。クリーニングは、マスクの基板面側平面に、タオルをクリーニングヘッドにて押し付け、溶剤を塗布し、バキュームすることにより、自動で行われる（例えば、特許文献１参照。）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１３－１６６３１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、リードフレーム（金属端子）とブリッジとの間にダイオードチップを配置したダイオードコネクタにおいては、リードフレームに塗布された接続材料上に実装されたダイオードチップ等の縦型電極部品の上部電極に、接続材料を印刷する。縦型電極部品に干渉しないように接続材料を印刷供給するために、下面に凹部（ハーフエッチ構造）を有した印刷マスクが用いられる。

【0005】

しかしながら、ハーフエッチ構造を有した印刷マスクをクリーニングする際、マスクの基板側平面にタオルを押し付けても、ハーフエッチ構造の底部（ハーフエッチ底部）にタオルが到達できずハーフエッチ底部をクリーニングできない。この状態で印刷が継続されると、ハーフエッチ底部に残留した接続材料が縦型電極部品に付着する不具合（縦型電極部品の張り付き不具合）が発生するおそれがある。

【0006】

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、マスクのハーフエッチ底部の付着物を除去して、縦型電極部品がマスクに張り付く不具合を防止することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前述した目的を達成するために、本発明に係るクリーニングヘッド及びマスククリーニング方法は、下記（１）～（２）を特徴としている。
（１）導電板上の縦型電極部品に接続材料を供給するためのマスクであって、一面側に孔を有し、他面側に第１凹部を有し、前記孔が前記第１凹部の底部を貫通する前記マスクに、シート状のクリーニング部材を押し付けて、前記孔から前記第１凹部に供給されて付着した前記接続材料を除去するクリーニングヘッドであって、
ヘッド本体と、
前記ヘッド本体の前記マスク側の先端部に形成された第２凹部に、前記ヘッド本体から突出して設けられた軟質材と、を備え、
前記ヘッド本体は、一端が前記先端部に形成された前記第２凹部の底面に開口する第一吸引孔を有し、
前記ヘッド本体が前記クリーニング部材を前記他面に押し付けることにより、前記軟質材が前記第１凹部に押し付けられて前記第１凹部の形状に沿って変形し、
前記軟質材は、前記軟質材を貫通し前記第一吸引孔に連通する第二吸引孔を有する、クリーニングヘッド。
（２）導電板上の縦型電極部品に接続材料を供給するためのマスクであって、一面側に孔を有し、他面側に凹部を有し、前記孔が前記凹部の底部を貫通する前記マスクの前記他面に、クリーニングヘッドによって、シート状のクリーニング部材を押し付けて、前記孔から前記凹部に供給されて付着した前記接続材料を除去する、マスククリーニング方法であって、
前記クリーニングヘッドは、
ヘッド本体と、
前記ヘッド本体の前記マスク側の先端部に、前記ヘッド本体から突出して設けられた軟質材と、を備え、
前記ヘッド本体が前記クリーニング部材を前記他面に押し付けることにより、前記軟質材が前記凹部に押し付けられて前記凹部の形状に沿って変形し、
前記接続材料を除去した後、前記凹部にブラックライトを照射して前記マスクを前記他面側から撮影し、
撮影画像に基づいて、付着物の有無を検査する、マスククリーニング方法。

【0008】

上記（１）の構成のクリーニングヘッド及び上記（２）の構成のマスククリーニング方法によれば、ヘッド本体がクリーニング部材を他面に押し付けることにより、軟質材が凹部に押し付けられて凹部の形状に沿って変形するので、クリーニング部材を凹部の底部に押し付けて、底部の付着物を除去することができる。よって、縦型電極部品がマスクに張り付く不具合を防止できる。尚、本開示において、縦型電極部品は、電子素子の上部及び下部にそれぞれ電極（上部電極、下部電極）を有する部品を意味する。

【0009】

更に、上記（１）の構成のクリーニングヘッドによれば、ヘッド本体及び軟質材に設けた第一及び第二吸引孔を介して、底部の付着物を真空吸引により確実に除去できる。

【0010】

更に、上記（２）の構成のマスククリーニング方法によれば、クリーニング実施後に、底部の付着物の有無を検査するので、クリーニング効果を担保して、縦型電極部品のマスク１２への張り付きを確実に防止できる。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、マスクのハーフエッチ底部の付着物を除去して、縦型電極部品が印刷マスクに張り付く不具合を防止できる。

【0012】

以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という。）を添付の図面を参照して通読することにより、本発明の詳細は更に明確化されるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、本発明の第一実施形態に関し、リードフレーム上の縦型電極部品にマスクを用いて接続材料を供給した例を示す図である。

【図2】図２は、第一実施形態のクリーニングヘッドの概略構成を示す側面図である。

【図3】図３は、図２のクリーニングヘッドの先端部近傍の拡大図である。

【図4】図４は、ハーフエッチ構造をクリーニングしている様子を示す図である。

【図5】図５は、本発明の第二実施形態に係るマスクの構成を示す図である。

【図6】図６は、第二実施形態に係るマスクの変形例１を示す図である。

【図7】図７は、第二実施形態に係るマスクの変形例２を示す図である。

【図8】図８は、第二実施形態に係るマスククリーニング方法を示す図である。

【図9】図９は、本発明の第三実施形態に係るマスク及び検査用カメラの配置を示す図である。

【図10】図１０は、第三実施形態に係る検査用カメラの動作を示す図である。

【図11】図１１は、第三実施形態に係る検査用カメラの動作を示す図である。

【図12】図１２は、第三実施形態に係るマスクのハーフエッチ構造底部に付着物が存在する状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明に関する具体的な実施形態について、各図を参照しながら以下に説明する。以下、例えば、ダイオードチップと金属端子（リードフレーム）とを収納したダイオードコネクタの製造時等、電子素子の上下に電極が配置された縦型電極部品の組み立て時に発生する不具合の防止策について説明する。すなわち、接続材料の印刷用マスクへの付着による縦型電子部品の張り付き不具合を抑制するための、クリーニングヘッド、ハーフエッチ構造付マスク、及びマスククリーニング方法について説明する。

【0015】

＜第一実施形態＞
＜ハーフエッチ構造１７を有するマスク１２を用いた接続材料１６の印刷＞
図１は、本発明の第一実施形態に関し、リードフレーム１４上の縦型電極部品１５にマスク１２を用いて接続材料１６を供給した例を示す図であり、マスク１２の厚み方向に切断した端面を示す。リードフレーム１４（導電板）の上面には、はんだペーストやフラックス等の接続材料１３が配置され、接続材料１３上に縦型電極部品１５が実装されている。

【0016】

マスク１２は、上面１２ａ（一面）側に孔１８を有し、下面１２ｂ（他面）側にハーフエッチ構造１７（凹部）を有する。ハーフエッチ構造１７は、マスク１２の下面１２ｂに開口した開口部２０と、開口部２０と略同一のサイズの底部１９と、を有し、マスク１２の厚み方向における断面が矩形状の凹部（直方体形状の凹部）を有する。すなわち、ハーフエッチ構造１７は、底部１９の周囲に、直角のエッチング壁を有する。上面１２ａ側に開口した孔１８が、ハーフエッチ構造１７の底部１９を貫通する。孔１８は、一例として、底部１９Ａの中心に対応する位置に設けられる。

【0017】

マスク１２を、リードフレーム１４上に実装された縦型電極部品１５の上部電極が、マスク１２の孔１８の直下に位置するように、リードフレーム１４上にマスク１２の下面１２ｂを接触させて配置する。そして、マスク１２の上面１２ａにおいてスキージ１１を摺動させることで、マスク１２の孔１８を介して縦型電極部品１５の上部電極に、はんだペーストやフラックス等の接続材料１６が印刷供給される。マスク１２がハーフエッチ構造１７を有するので、マスク１２とリードフレーム１４上の縦型電極部品１５との干渉が防止される。尚、マスク１２には、一又は複数の縦型電極部品１５と同数のハーフエッチ構造１７が設けられる。

【0018】

＜ハーフエッチ構造１７のクリーニングについて＞
図１を参照して説明したように、ハーフエッチ構造１７を有するマスク１２を用いてリードフレーム１４上の縦型電極部品１５に接続材料１６を印刷する際、ハーフエッチ構造１７の底部１９に、接続材料が付着する。図２～図４を参照して、マスク１２の下面１２ｂのクリーニングについて説明する。

【0019】

図２は、第一実施形態のクリーニングヘッドＣＨの概略構成を示す側面図であり、図３は、図２のクリーニングヘッドＣＨの先端部１ａ近傍の拡大図である。クリーニングヘッドＣＨは、ヘッド本体１と、クリーニングタオル２と、軟質材３と、ローラー４ａ、４ｂと、支持体５とが、例えば直方体状の筐体内に収容される。クリーニングタオル２は、シート状のクリーニング部材であり、モーターにより回転駆動されるローラー４ａ、４ｂの間に架け渡される。尚、クリーニングタオル２に代えて、クリーニングペーパーを用いてもよい。また、クリーニングタオル２及びローラー４ａ、４ｂは、クリーニングヘッドＣＨに内蔵されなくてもよい。支持体５は、ヘッド本体１を下方から支持する。クリーニングヘッドＣＨは、図示しない制御装置によって、マスク１２の下方において、上下方向及び左右方向に移動される。尚、クリーニングヘッドＣＨは、図２の紙面に垂直な前後方向にも移動可能である。

【0020】

ヘッド本体１は、直方体の上側の二辺が面取りされた、略直方体形状を有し、上側（マスク１２側）の先端部１ａの凹部に、軟質材３を有する。ヘッド本体１は、ローラー４ａ、４ｂの間の、溶剤が塗布されたクリーニングタオル２を、上方に押し上げて、マスク１２の下面１２ｂに押し付ける。ローラー４ａ、４ｂの回転により、クリーニングタオル２の使用済み部分が巻き取られ、クリーニングタオル２の未使用部分がマスク１２の下面１２ｂ又は底部１９に当接する。ヘッド本体１は、一端が先端部１ａに開口する吸引孔６ａ（第一吸引孔）及び溶剤供給孔６ｂを有する。吸引孔６ａは、ヘッド本体１を上下方向に貫通し、他端が支持体５内の吸引機構に接続される。溶剤供給孔６ｂは、ヘッド本体１を上下方向に貫通し、他端が支持体５内の溶剤供給機構に接続される。

【0021】

軟質材３は、先端部１ａにおいて、ヘッド本体１から上方に突出して設けられる。軟質材３は、ヘッド本体１よりも軟質な、例えば発泡系エラストマー等の樹脂材料で構成される。軟質材３は、ヘッド本体１がクリーニングタオル２をマスク１２の下面１２ｂに押し付けることにより、図３に示すように、軟質材３がハーフエッチ構造１７に押し付けられてハーフエッチ構造１７の形状に沿って変形する。溶剤供給機構から溶剤供給孔６ｂを介して供給されたエタノール等の溶剤は、ヘッド本体１の先端部１ａ及び軟質材３を覆うクリーニングタオル２の部位にしみわたり、マスク１２の下面１２ｂ及びハーフエッチ構造１７の底部１９に塗布される。クリーニングヘッドＣＨにより、マスク１２（底部１９）へのクリーニングタオル２の押し付け及び溶剤塗布による付着物の拭き取りが実現される。

【0022】

軟質材３は、軟質材３を貫通し吸引孔６ａに連通する吸引孔７（第二吸引孔）を有する。吸引孔７は、図３に示すように、吸引孔６ａの上部に位置し、吸引孔６ａよりもサイズが小さい。軟質材３は、左右の幅が、ハーフエッチ構造１７（底部１９及び開口部２０）の左右の幅よりも大きい。軟質材３がハーフエッチ構造１７の底部１９に押し付けられると、ヘッド本体１及び軟質材３に設けられた吸引孔６ａ、７を介して、底部１９に付着した接続材料が真空吸引されて除去される。

【0023】

＜ハーフエッチ構造１７のクリーニング方法＞
クリーニングヘッドＣＨのヘッド本体１を押し上げて、クリーニングタオル２をマスク１２の下面１２ｂに押し付けて、下面１２ｂに付着した接続材料を除去する。図３に示すように、軟質材３がハーフエッチ構造１７に入り込み、底部１９に付着した接続材料を除去する。

【0024】

以上説明したように、本実施形態のクリーニングヘッドＣＨによれば、軟質材３がハーフエッチ構造１７に入り込んで底部１９に摺接することにより、底部１９に付着した接続材料（付着物）を除去できる。また、クリーニングヘッドＣＨは、ヘッド本体１及び軟質材３に設けた吸引孔６ａ、７を介して、底部１９に付着した接続材料を真空吸引により確実に除去できる。

【0025】

＜第一実施形態の課題＞
図４は、ハーフエッチ構造１７をクリーニングしている様子を示す図であり、図４（ａ）はマスク１２の厚み方向に切断した端面を示し、図４（ｂ）はマスク１２の下面１２ｂ側から視たハーフエッチ構造１７を示す。図１に示した接続材料１６の印刷が繰り返し行われた後、クリーニングタオル２による底部１９のクリーニングが行われる。ハーフエッチ構造１７が直方体形状に窪み、底部１９の周囲が下面１２ｂに垂直なエッチング壁で囲まれることから、クリーニングの際、底部１９の隅にクリーニングタオル２が到達できず、接続材料の付着物１６ａが残る場合がある。この付着物１６ａが、縦型電極部品１５と接触する領域Ｒに進入することにより、縦型電極部品１５がマスク１２におけるハーフエッチ構造１７の底部１９に張り付く不具合が発生する。そこで、第二実施形態では、この不具合の発生を防止する技術について説明する。

【0026】

＜第二実施形態＞
図５は、本発明の第二実施形態に係るマスク１２Ａの構成を示す図であり、図５（ａ）はマスク１２Ａの厚み方向に切断した端面を示し、図５（ｂ）はマスク１２Ａの下面１２ｂ側から視たハーフエッチ構造１７Ａを示す。第一実施形態のマスク１２がハーフエッチ構造１７を有していたのに対し、本実施形態のマスク１２Ａは開放形のハーフエッチ構造１７Ａを有する点が異なる。本実施形態において、第一実施形態で説明した部材・部位と同一の部材・部位には同一の符号を付し重複する説明は省略する。

【0027】

図５に示すマスク１２Ａのハーフエッチ構造１７Ａは、図４に示したハーフエッチ構造１７と同じ深さを有し、ハーフエッチ構造１７の底部１９と、同じ形状、同じ面積の底部１９Ａを有する。ハーフエッチ構造１７Ａは、底部１９Ａから下面１２ｂ（リードフレーム１４側、図１参照）に向けて放射状に広がるようにエッチングされた、開放形のハーフエッチ構造１７Ａを有する。ハーフエッチ構造１７Ａは、矩形状の底部１９Ａと、下面１２ｂに開口した矩形状の開口部２０Ａと、底部１９Ａから開口部２０Ａに向かって広がるように傾斜するテーパ部２１、２２と、を有する。すなわち、ハーフエッチ構造１７Ａは、図５に示すように、マスク１２Ａの厚み方向の切断面が台形形状を有する。

【0028】

テーパ部２１は、底部１９Ａにおける、クリーニングタオル２が摺動する方向（図５（ａ）、（ｂ）における左右方向）に交差する二辺１９Ａａ、１９Ａｂから、開口部２０Ａの互いに対向する二辺２０Ａａ、２０Ａｂにそれぞれ延びる。テーパ部２２は、底部１９Ａにおける他の二辺１９Ａｃ、１９Ａｄから、開口部２０Ａの他の二辺２０Ａｃ、２０Ａｄにそれぞれ延びる。下面１２ｂとテーパ部２１、２２とは、クリーニングタオル２が底部１９Ａの全面に接触可能となる程度の角度を有し、この角度は周囲の開口部との関係により適宜定められる。一例として、下面１２ｂとテーパ部２１とのなす角Ｔ１は、１２０～１３５度である。

【0029】

図６及び図７に、ハーフエッチ構造１７Ａと形状が異なるハーフエッチ構造１７Ａ－１、１７Ａ－２を有するマスク１２Ａ－１、１２Ａ－２をそれぞれ示す。図６（ａ）、図７（ａ）はマスク１２Ａ－１、１２Ａ－２の厚み方向に切断した端面をそれぞれ示し、図６（ｂ）、図７（ｂ）はマスク１２Ａ－１、１２Ａ－２の下面１２ｂ側から視たハーフエッチ構造１７Ａ－１、１７Ａ－２をそれぞれ示す。

【0030】

図５に示すハーフエッチ構造１７Ａが底部１９の四辺から下面１２ｂの開口部２０の四辺に向かってそれぞれ広がるように傾斜するテーパ部２１、２２を有するのに対し、図６に示すハーフエッチ構造１７Ａ－１は、テーパ部２２を有しない。すなわち、ハーフエッチ構造１７Ａ－１は、底部１９Ａ－１の互いに対向する二辺１９Ａ－１ａ、１９Ａ－１ｂから開口部２０Ａ－１の二辺２０Ａ－１ａ、２０Ａ－１ｂに向かって傾斜する一対のテーパ部２１を有する。一方、ハーフエッチ構造１７Ａ－１における、底部１９Ａ－１の他の二辺１９Ａ－１ｃ、１９Ａ－１ｄから開口部２０Ａ－１の二辺２０Ａ－１ｃ、２０Ａ－１ｄへは傾斜しない鉛直部とされている。ハーフエッチ構造１７Ａ－１はハーフエッチ構造１７Ａと同じ深さを有し、底部１９Ａ－１は、底部１９Ａと同様に、図４に示したハーフエッチ構造１７の底部１９と、同じ形状、同じ面積を有する。下面１２ｂとテーパ部２１とは、クリーニングタオル２が底部１９Ａ－１の隅部を含む全面に接触可能となる程度の角度を有し、この角度は周囲の開口部との関係により適宜定められる。下面１２ｂとテーパ部２１とのなす角Ｔ２は、一例として、１２０～１３５度である。

【0031】

図７に示すハーフエッチ構造１７Ａ－２は、円形状の底部１９Ａ－２と、下面１２ｂに開口した円形状の開口部２０Ａ－２と、底部１９Ａ－２から開口部２０Ａ－２に向かって広がるように傾斜するテーパ部２３と、を有する。ハーフエッチ構造１７Ａ－２は、ハーフエッチ構造１７Ａと同じ深さを有し、底部１９Ａ－２は、底部１９Ａと同程度の面積を有する。下面１２ｂとテーパ部２３とは、クリーニングタオル２が底部１９Ａ－２の隅部を含む全面に接触可能となる程度の角度を有し、この角度は周囲の開口部との関係により適宜定められる。下面１２ｂとテーパ部２３とのなす角Ｔ３は、一例として、１２０～１３５度である。

【0032】

＜ハーフエッチ構造１７Ａのクリーニング方法＞
図８は、第二実施形態に係るマスククリーニング方法を示す図であり、図５に示したハーフエッチ構造１７Ａを拡大して模式的に示す。図８（ａ）に示すように、ハーフエッチ構造１７Ａの底部１９Ａに接続材料の付着物１６ａが付着している。ハーフエッチ構造１７Ａの右側から、クリーニングタオル２を押圧部Ｗによりテーパ部２１及び底部１９Ａに押し付ける。クリーニングタオル２は、ハーフエッチ構造１７Ａの表面から浮くことなくテーパ部２１及び底部１９Ａに接触して、左側へ摺動しながら付着物１６ａをかき取る。押圧部Ｗは、自動印刷機の場合には、図２及び図３に示した軟質材３に相当し、手動の場合には作業者の指に相当する。

【0033】

図８（ｂ）に示すように、押圧部Ｗ及びクリーニングタオル２が底部１９Ａを左方向へ移動すると、クリーニングタオル２にかき取られた付着物１６ａが、左方向へ移動される。さらに、押圧部Ｗ及びクリーニングタオル２が底部１９Ａを左方向へ移動すると、図８（ｃ）に示すように、クリーニングタオル２によってハーフエッチ構造１７Ａから付着物１６ａがかき出されて、排除される。このとき、クリーニングタオル２の新規表面（未使用表面）が底部１９Ａに接触しており、仕上げクリーニングが同時に行われる。

【0034】

以上説明したように、本実施形態のマスク１２Ａのハーフエッチ構造１７Ａがテーパ部２１、２２を有する開放形であることにより、底部１９Ａの全面にクリーニングタオル２を接触させて、底部１９Ａの隅部に付着した付着物１６ａをもかき取ることができる。このように、ハーフエッチ構造１７Ａの底部１９Ａの全面において付着物１６ａを完全に除去できるので、縦型電極部品１５のマスク１２Ａへの張り付き不具合を抑制できる。尚、図６及び図７に示したハーフエッチ構造１７Ａ－１、１７Ａ－２についても、テーパ部２１、２３を有する開放形であることから、クリーニングタオル２を底部１９Ａ－１、１９Ａ－２の全面に接触させて、隅部の付着物１６ａを完全に除去できる。

【0035】

＜第三実施形態＞
第三実施形態では、第一及び第二実施形態で説明した、マスク１２、１２Ａ、１２Ａ－１、１２Ａ－２のクリーニング後に実施される、付着物の有無を画像検査する方法について説明する。尚、以下、マスク１２の画像検査方法を説明するが、他のマスク１２Ａ、１２Ａ－１、１２Ａ－２についても同様に画像検査を行うことができる。

【0036】

図９は、第三実施形態に係るマスク１２及び検査用カメラ３１の配置を示す図であり、図１０及び図１１は、検査用カメラ３１の動作を示す図である。また、図１２は、マスク１２のハーフエッチ構造１７の底部１９に付着物Ｆが存在する状態を示す図である。

【0037】

前述したように、ハーフエッチ構造１７を有するマスク１２を用いた接続材料の印刷供給が繰り返し行われると、ハーフエッチ構造１７の底部１９に接続材料がニジミ付着し、縦型電極部品がマスク１２に付着する不具合が発生する。そこで、印刷が、任意に設定された回数行われる毎に、マスク１２のクリーニングを実施し、不具合を抑制している。

【0038】

図１２において、接続材料がフラックスのみの場合の付着物Ｆを二点鎖線で示す。孔１８の周りにニジミ付着した接続材料がはんだペーストの場合には、はんだ粒子を目視又は画像にて確認できるが、ニジミ付着した接続材料が微小フラックスの場合には付着物Ｆが透明色のため認識できない。このため、マスク１２がクリーニングされた後、次のクリーニングが実施されるまでの間に、マスク１２に縦型電極部品が張り付く不具合が発生する場合がある。

【0039】

そこで、本実施形態では、図１２に示す微小フラックスの付着物Ｆに、ブラックライトを照射してカメラ認識を実施することにより、フラックス中の樹脂分を白色化させて、認識可能とする。

【0040】

図９は、図１に示したようにリードフレーム１４上の縦型電極部品１５に接続材料１６を印刷した後、リードフレーム１４が印刷機より搬出された後の状態を示す。マスク１２は、ハーフエッチ構造１７と、次に搬入されるリードフレーム１４と孔１８の位置とを画像上で位置合わせするための位置合わせマーク３０と、を有する。マスク１２の下方には、検査用カメラ３１が設けられ、少なくとも左右方向に移動可能とされる。検査用カメラ３１は、ブラックライト及びＬＥＤライトの切替照明機能を有する。

【0041】

検査用カメラ３１は、通常印刷時には、図９に示す位置で待機する。新規のリードフレーム１４が搬入されると、図１０に示すように、検査用カメラ３１は、位置合わせマーク３０を認識するための所定位置に移動し、新規のリードフレーム１４とマスク１２の孔１８との位置合わせのために、ＬＥＤ照明により画像撮影及び認識を行う。

【0042】

リードフレーム１４上の縦型電極部品１５に接続材料１６が印刷され、リードフレーム１４が搬出されると、図１１に示すように、検査用カメラ３１は、ハーフエッチ構造１７の直下、すなわち、孔１８の中心位置の直下に移動する。検査用カメラ３１は、マスク１２の下面１２ｂ側からハーフエッチ構造１７にブラックライトを照射して、マスク１２を下面１２ｂ側から撮影する。

【0043】

検査用カメラ３１は、この撮影画像に基づいて、付着物Ｆの有無を検出する。ブラックライト照明によりフラックス中の樹脂分が白色化されて認識可能となる。検査用カメラ３１又は制御装置等が付着物Ｆの面積を算出することにより、縦型電極部品１５のマスク１２への接着力を算出でき、張り付き有無の閾値を算出できる。この閾値（許容面積）以上の付着物Ｆの面積が検出された場合にハーフエッチ構造１７の底部１９のクリーニングを実施することにより、縦型電極部品１５のマスク１２への張り付き不具合を未然に防止できる。尚、接続材料１６がはんだ粒子を含む場合には、ブラックライト照明ではなくＬＥＤ照明に切り替えてカメラ認識を実施することで、付着物の有無及び付着物の面積を認識できる。

【0044】

以上説明したように、本実施形態の画像検査方法によれば、新規リードフレーム１４への接続材料１６の印刷が完了する都度、ハーフエッチ構造１７の底部１９にブラックライトを照射して撮影した画像に基づいて、付着物Ｆの有無を検査することにより、フラックス中の樹脂分を白色化させて認識が可能となる。よって、付着物Ｆがある場合には底部１９のクリーニングを実施することにより、縦型電極部品１５のマスク１２への張り付き不具合を未然に防止できる。

【0045】

また、付着物Ｆの面積を算出することにより、縦型電極部品１５のマスク１２への張り付き有無の閾値が算出されるため、閾値以上の付着物Ｆの面積が検出された場合に底部１９のクリーニングを実施する等により、クリーニング頻度を調整できる。

【0046】

さらに、本実施形態の画像検査方法は、第一実施形態及び第二実施形態で説明したマスククリーニングの実施後に行うことができる。マスククリーニングの実施後に、ハーフエッチ構造１７、１７Ａ、１７Ａ－１、１７Ａ－２の底部１９、１９Ａ、１９Ａ－１、１９Ａ－２における付着物の有無を検査することにより、クリーニング効果を担保して、縦型電極部品１５のマスク１２への張り付きを確実に防止できる。

【0047】

ここで、上述した本発明の実施形態に係るクリーニングヘッド及びマスククリーニング方法の特徴をそれぞれ以下［１］～［４］に簡潔に纏めて列記する。
［１］導電板（リードフレーム１４）上の縦型電極部品（１５）に接続材料（１６）を供給するためのマスク（１２）であって、一面（上面１２ａ）側に孔（１８）を有し、他面（下面１２ｂ）側に凹部（ハーフエッチ構造１７）を有し、前記孔が前記凹部の底部（１９）を貫通する前記マスクに、シート状のクリーニング部材（クリーニングタオル２）を押し付けて、前記孔から前記凹部に供給されて付着した前記接続材料を除去するクリーニングヘッド（ＣＨ）であって、
ヘッド本体（１）と、
前記ヘッド本体の前記マスク側の先端部（１ａ）に、前記ヘッド本体から突出して設けられた軟質材（３）と、を備え、
前記ヘッド本体が前記クリーニング部材を前記他面に押し付けることにより、前記軟質材が前記凹部に押し付けられて前記凹部の形状に沿って変形する、クリーニングヘッド（ＣＨ）。
［２］前記ヘッド本体は、一端が前記先端部に開口する第一吸引孔（吸引孔６ａ）を有し、
前記軟質材は、前記軟質材を貫通し前記第一吸引孔に連通する第二吸引孔（吸引孔７）を有する、［１］に記載のクリーニングヘッド。
［３］上記［１］又は［２］に記載のクリーニングヘッドによって、前記クリーニング部材を前記他面に押し付けて、前記凹部に付着した前記接続材料を除去する、マスククリーニング方法。
［４］前記接続材料を除去した後、前記凹部にブラックライトを照射して前記マスクを前記他面側から撮影し、
撮影画像に基づいて、付着物の有無を検査する、上記［３］に記載のマスククリーニング方法。

【符号の説明】

【0048】

１ ヘッド本体
１ａ 先端部
２ クリーニングタオル
３ 軟質材
４ａ、４ｂ ローラー
５ 支持体
６ａ、７ 吸引孔
６ｂ 溶剤供給孔
１１ スキージ
１２、１２Ａ、１２Ａ－１、１２Ａ－２ マスク
１２ａ 上面
１２ｂ 下面
１３、１６ 接続材料
１４ リードフレーム
１５ 縦型電極部品
１６ａ 付着物
１７、１７Ａ、１７Ａ－１、１７Ａ－２ ハーフエッチ構造
１８ 孔
１９、１９Ａ、１９Ａ－１、１９Ａ－２ 底部
２０、２０Ａ、２０Ａ－１、２０Ａ－２ 開口部
２１、２２、２３ テーパ部
３０ 位置合わせマーク
３１ 検査用カメラ
ＣＨ クリーニングヘッド
Ｆ 付着物
Ｒ 領域
Ｗ 押圧部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】