特許 7593839 半導体装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-11-25

(45)【発行日】2024-12-03

(54)【発明の名称】半導体装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 23/29 20060101AFI20241126BHJP

   H01L 23/36 20060101ALI20241126BHJP

   H01L 23/28 20060101ALI20241126BHJP

【ＦＩ】

H01L23/36 A

H01L23/36 D

H01L23/28 B

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2021041332

(22)【出願日】2021-03-15

(65)【公開番号】P2022141152

(43)【公開日】2022-09-29

【審査請求日】2023-07-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(73)【特許権者】

【識別番号】000003207

【氏名又は名称】トヨタ自動車株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】520124752

【氏名又は名称】株式会社ミライズテクノロジーズ

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】長井 彰平

【審査官】ゆずりは 広行

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２００５／０１３３９０７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１２－００４３５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００６／０１８５８３６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２３／２９

Ｈ０１Ｌ ２３／３６

Ｈ０１Ｌ ２３／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

半導体チップ（１１ａ、１１ｂ、１１）を収容しているとともに、前記半導体チップの熱を吸収するヒートシンク（１２ａ、１２ｂ、１１２、２１２）が互いに反対方向を向く２つの表面の夫々に配置されている樹脂パッケージ（１０、１１０、２１０）と、
夫々の前記ヒートシンクに対向している冷却板（３０ａ、３０ｂ、１３０、２３０）と、
流動性を有しており、夫々の前記ヒートシンクと前記冷却板の間に充填されている伝熱材（４０）と、
前記伝熱材の中に分散配置されているとともに、夫々の前記ヒートシンクと前記冷却板に接している複数のスペーサ（４１、１４１、２４１）と、
を備えている、半導体装置（２）。

【請求項2】

一方の前記ヒートシンク（１２ｂ）と前記半導体チップ（１１ａ）との間に配置されている銅ブロック（２１）をさらに備えている、請求項１に記載の半導体装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書が開示する技術は、半導体装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に、半導体チップとヒートシンクの間に伝熱材が充填されている半導体装置が開示されている。伝熱材には流動性を有する材料が用いられている。流動性を有する伝熱材が外界へ漏れることを防止するため、半導体チップを囲むようにシール部材が配置されている。半導体チップはヒートシンクと基板の間に配置されており、シール部材はヒートシンクと基板に接している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０２０／１６２４１７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

伝熱材が流動性を有するため、半導体チップとヒートシンクの平行を保持することが難しい。特許文献１の半導体装置の場合、シール部材が半導体チップとヒートシンクを平行に保持することに寄与する。しかしながら、シール部材は半導体チップから離れているため、シール部材では半導体チップとヒートシンクを正確に平行に保持することは難しい。一方、半導体チップを収容した樹脂パッケージと、樹脂パッケージの表面に配置されているヒートシンクと、ヒートシンクに対向している冷却板を備えた半導体装置が知られている。本明細書は、半導体チップが樹脂パッケージに収容されており、樹脂パッケージの表面のヒートシンクと冷却板の間に流動性を有する伝熱材が充填されている半導体装置に関し、シンプルな構造でヒートシンクと冷却板を正確に平行に保つ技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本明細書が開示する半導体装置は、半導体チップを収容している樹脂パッケージと、冷却板と、流動性を有する伝熱材と、複数のスペーサを備える。樹脂パッケージの表面には、半導体チップの熱を吸収するヒートシンクが配置されている。冷却器は、ヒートシンクに対向している。伝熱材は、ヒートシンクと冷却器の間に充填されている。複数のスペーサは、伝熱材の中に分散配置されているとともに、ヒートシンクと冷却器に接している。複数のスペーサが、ヒートシンクと冷却板を正確に平行に保持する。本明細書が開示する技術は、複数のスペーサを分散配置するというシンプルな構造でヒートシンクと冷却板を正確に平行に保持することができる。

【0006】

本明細書が開示する技術の詳細とさらなる改良は以下の「発明を実施するための形態」にて説明する。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施例の半導体装置の斜視図である。

【図2】半導体装置の平面図である。

【図3】図２のIII－III線に沿った半導体装置の断面図である。

【図4】 第１参考例の半導体装置の断面図である。

【図5】 第２参考例の半導体装置の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

（第１実施例）図１－図３を参照して第１実施例の半導体装置２を説明する。図１に、半導体装置２の斜視図を示す。ただし、図１は、樹脂パッケージ１０から一方の冷却板３０ａを外した図を示している。冷却板３０ａは、樹脂パッケージ１０の幅広面に取り付けられる。図１では、直線ＭＬの左右で座標系の向きが異なる点に留意されたい。

【0009】

半導体装置２は、樹脂パッケージ１０の中に２個の半導体チップ１１ａ、１１ｂを収容したパワーモジュールである。２個の半導体チップ１１ａ、１１ｂは、パワートランジスタであり。樹脂パッケージ１０の中で直列に接続されている。半導体装置２は、例えば、パワートランジスタの直列接続を３セット備えるインバータに用いられる。

【0010】

樹脂パッケージ１０は扁平であり、その一つの幅狭面に３個のパワー端子１３ａ、１３ｂ、１３ｃが備えられており、反対側の幅狭面に制御端子１４ａ、１４ｂが設けられている。３個のパワー端子１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、それぞれ、２個の半導体チップ１１ａ、１１ｂの直列接続の正極、負極、中点に接続されている。制御端子１４ａは、半導体チップ１１ａの制御電極に接続されており、制御端子１４ｂは半導体チップ１１ｂの制御電極に接続されている。制御電極は、半導体チップ（パワートランジスタ）のゲート、半導体チップが備えている温度センサ、電流センサなどに導通している。

【0011】

樹脂パッケージ１０は扁平形状であり、その一方の幅広面にヒートシンク１２ａが配置されている。図１では見えないが、他方の幅広面にはヒートシンク１２ｂが配置されている。ヒートシンク１２ａ、１２ｂは、半導体チップ１１ａ、１１ｂと熱的に接続されており、半導体チップ１１ａ、１１ｂの熱を吸収する。ヒートシンク１２ａには冷却板３０ａが対向しており、ヒートシンク１２ｂには冷却板３０ｂが対向している。図１では図示を省略しているが、ヒートシンク１２ａと冷却板３０ａの間には、伝熱材とスペーサが挟まれている。ヒートシンク１２ａが半導体チップ１１ａ、１１ｂから吸収した熱は、伝熱材を介して冷却板３０ａに吸収される。すなわち、冷却板３０ａによって半導体チップ１１ａ、１１ｂが冷却される。同様に、ヒートシンク１２ｂと冷却板３０ｂの間にも伝熱材とスペーサが挟まれている。半導体チップ１１ａ、１１ｂは、冷却板３０ｂによっても冷却される。

【0012】

樹脂パッケージ１０には、ヒートシンク１２ａを囲むように、溝１５が設けられており、ヒートシンク１２ａに対向する冷却板３０ａには、凸条３１が設けられている。冷却板３０ａが樹脂パッケージ１０に取り付けられると、凸条３１が溝１５に嵌合し、溝１５とともに凸条３１がヒートシンク１２ａを囲む。ヒートシンク１２ａと冷却板３０ａの間に充填される伝熱材は流動性を有しており、溝１５と凸条３１は、伝熱材が外へ漏れることを防止する。樹脂パッケージ１０の反対側の冷却板３０ｂと放熱板も同様の構造を有している。

【0013】

図２に、半導体装置２の平面図を示す。図２では、冷却板３０ａを仮想線で描いてある。また、樹脂パッケージ１０に収容されている半導体チップ１１ａ、１１ｂは破線で描いてある。

【0014】

図２のIII－III線に沿った半導体装置２の断面を図３に示す。図３は、パワー端子１３ａ、半導体チップ１１ａ、制御端子１４ａを横断する平面で半導体装置２をカットした断面を示している。図３では、理解を助けるために、樹脂パッケージ１０の断面に付すべきハッチングは省略してある。また、半導体チップ１１ａは扁平形状を有しており、説明の便宜上、その幅広面を主面と称する。

【0015】

樹脂パッケージ１０の内部構造について説明する。ヒートシンク１２ａの裏面にハンダ層２２を介して半導体チップ１１ａの一方の主面が接合されている。一方の主面にはコレクタ電極が配置されており、ヒートシンク１２ａとコレクタ電極は、ハンダ層２２を介して導通する。図３に示されているように、ヒートシンク１２ａにはパワー端子１３ａがつながっている。ヒートシンク１２ａとパワー端子１３ａは一枚の金属板から作られている。半導体チップ１１ａのコレクタ電極は、ハンダ層２２とヒートシンク１２ａを介してパワー端子１３ａと導通する。

【0016】

半導体チップ１１ａの他方の主面には、エミッタ電極と制御電極が配置されている。エミッタ電極はハンダ層２３を介して銅ブロック２１に接合されており、銅ブロック２１はハンダ層２４を介してヒートシンク１２ｂに接合されている。図２には表れていないが、ヒートシンク１２ｂには半導体チップ１１ｂのコレクタ電極が導通している。すなわち、ヒートシンク１２ｂを介して２個の半導体チップ１１ａ、１１ｂが直列に接続される。半導体チップ１１ａの他方の主面には、制御電極も配置されており、制御電極は、ボンディングワイヤ２５で制御端子１４ａに接続されている。

【0017】

先に述べたように、樹脂パッケージ１０の表面（ヒートシンク１２ａが配置されている表面）には溝１５が設けられており、冷却板３０ａには凸条３１が設けられている。冷却板３０ａが樹脂パッケージ１０に取り付けられると、凸条３１は、溝１５に嵌合するとともに、ヒートシンク１２ａを囲む。後述するように、ヒートシンク１２ａと冷却板３０ａの間には、流動性を有する伝熱材４０が充填されている。溝１５と凸条３１は、伝熱材４０がヒートシンク１２ａと冷却板３０ａの間から漏れることを防止する。ヒートシンク１２ｂと冷却板３０ｂも同様の構造を有している。

【0018】

ヒートシンク１２ａと冷却板３０ａの間には、伝熱材４０が充填されている。伝熱材４０は、半導体チップ１１ａ、１１ｂの作動温度範囲で流動性を有する。伝熱材４０には、例えば、常温で流動性を有するガリウムＧａ（融点：２９．８度）を主原料とする。ほかに、伝熱材４０には、インジウムＩｎ（融点：１５６．４度）や、スズＳｎ（融点：２３２．０度）が含有されていてもよい。ＩｎやＳｎは常温では固体であるが、半導体チップ１１ａ、１１ｂの動作温度範囲では液状化することがある。これらの金属は熱伝導率が高く、伝熱材として用いられることがある。流動性を有する伝熱材として、グリスが採用されてもよい。

【0019】

伝熱材４０には、複数のスペーサ４１が分散配置されている。複数のスペーサ４１は、同じ直径を有している金属球であり、伝熱材４０が流動性を有するとき、伝熱材４０の中を自在に移動可能である。複数のスペーサ４１はヒートシンク１２ａと冷却板３０ａに接している。伝熱材４０の中に分散配置されている複数のスペーサ４１は、ヒートシンク１２ａと冷却板３０ａを平行に保つ。直径の同じ金属球（スペーサ４１）をヒートシンク１２ａと冷却板３０ａの間の空間に分散配置するので、ヒートシンク１２ａと冷却板３０ａを精確に平行に保つことができる。ヒートシンク１２ａと冷却板３０ａが平行であれば、ヒートシンク１２ａから冷却板３０ａへ熱が均一に拡散する。すなわち、半導体チップ１１ａ、１１ｂに対する冷却効率が良くなる。なお、スペーサ４１には、その融点が伝熱材４０の融点よりも高い材料が用いられる。

【0020】

半導体装置２は、扁平な樹脂パッケージ１０の両方の幅広面にヒートシンク１２ａ、１２ｂを備えており、ヒートシンク１２ａ、１２ｂのそれぞれに対向する冷却板３０ａ、３０ｂを備えている。ヒートシンク１２ｂと冷却板３０ｂの間にも、伝熱材４０が挟まれているとともに、伝熱材４０に、複数のスペーサ４１が分散配置されている。半導体チップ１１ａ、１１ｂは、両面の冷却板３０ａ、３０ｂにより冷却される。

【0021】

（第１参考例）図４に、第１参考例の半導体装置１０２の断面図を示す。第１参考例の半導体装置１０２は、扁平な樹脂パッケージ１１０の一方の幅広面にのみヒートシンク１１２を備えている。半導体装置１０２は、ヒートシンク１１２に対向する冷却板１３０も備えている。図４でも、樹脂パッケージ１１０の断面に付すべきハッチングは省略した。樹脂パッケージ１１０には、半導体チップ１１が収容されており、ハンダ層２２によりヒートシンク１１２に接合されている。ハンダ層２２により、半導体チップ１１とヒートシンク１１２は、電気的にも熱的にも接続される。ヒートシンク１１２は、半導体チップ１１の熱を吸収する。ヒートシンク１１２には冷却板１３０が対向しており、ヒートシンク１１２と冷却板１３０の間には、流動性を有する伝熱材４０が充填されている。ヒートシンク１１２の熱は、伝熱材４０を介して冷却板１３０に吸収される。

【0022】

伝熱材４０の中に、複数のスペーサ１４１が分散配置されている。複数のスペーサ１４１は、冷却板１３０の表面に設けられた突起群であり、その高さは等しい。複数のスペーサ１４１は、冷却板１３０の表面に固定されている。冷却板１３０に設けられた高さの等しい複数のスペーサ１４１も、ヒートシンク１１２と冷却板１３０を平行に保つ。

【0023】

（第２参考例）図５に、第２参考例の半導体装置２０２の断面図を示す。図５でも、樹脂パッケージ２１０の断面に付すべきハッチングは省略した。樹脂パッケージ２１０の中に半導体チップ１１ａが収容されている。樹脂パッケージ２１０の一方の幅広面には、ヒートシンク２１２が配置されており、半導体チップ１１とヒートシンク２１２は、内面が銅メッキされたビアホール２２２で電気的にも熱的にも接続されている。ヒートシンク２１２は、ビアホール２２２の内面の銅メッキを介して半導体チップ１１の熱を吸収する。

【0024】

第２参考例の半導体装置２０２では、扁平な樹脂パッケージ２１０が、回路基板を兼ねている。樹脂パッケージ２１０の上面には、いくつかの電子デバイス２０３が実装されている。電子デバイス２０３と半導体チップ１１は、不図示の配線パターンで電気的に接続されている。

【0025】

ヒートシンク２１２には冷却板２３０が対向しており、ヒートシンク２１２と冷却板２３０の間には、流動性を有する伝熱材４０が充填されている。伝熱材４０の中に、複数のスペーサ２４１が分散配置されている。複数のスペーサ１４１は、ヒートシンク２１２の表面（冷却板２３０に対向する面）に設けられた突起群であり、その高さは等しい。複数のスペーサ１４１は、ヒートシンク２１２の表面に固定されている。ヒートシンク２１２に設けられた高さの等しい複数のスペーサ２４１も、ヒートシンク２１２と冷却板２３０を平行に保つ。

【0026】

実施例の技術に関する留意点を述べる。半導体装置２（１０２、２０２）は、複数のスペーサ４１（１４１、２４１）を伝熱材４０の中に分散配置するというシンプルな構造によってヒートシンク１２ａ（１２ｂ、１１２、２１２）と冷却板３０ａ（３０ｂ、１３０、２３０）の正確な平行が保持される。別言すれば、ヒートシンク１２ａ（１２ｂ、１１２、２１２）と冷却板３０ａ（３０ｂ、１３０、２３０）の間に充填される伝熱材４０の厚みが均一に保持される。伝熱材４０の厚みが均一に保持されることで、ヒートシンク１２ａ（１２ｂ、１１２、２１２）から冷却板３０ａ（３０ｂ、１３０、２３０）への伝熱効率が高くなる。

【0027】

実施例の特徴の幾つかを以下に列記する。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。

【0028】

スペーサ１４１、２４１は、ヒートシンク１１２、２１２と冷却板１３０、２３０の一方に固定されている。スペーサ１４１、２４１は、例えば、ハンダバンプであってもよい。スペーサ１４１。２４１がヒートシンク１１２、２１２と冷却板１３０、２３０の一方に固定されていることで、スペーサ１４１、２４１が動かなくなる。また、樹脂パッケージ１１０（２１０）に冷却板１３０（２３０）を組み付ける作業がシンプルになる。

【0029】

樹脂パッケージ１０（１１０、２１０）に、ヒートシンク１２ａ（１２ｂ、１１２、２１２）、を囲む溝１５が備えられており、冷却板３０ａ（３０ｂ、１３０、２３０）に、ヒートシンク１２ａ（１２ｂ、１１２、２１２）を囲むとともに溝１５に嵌合する凸条３１が備えられている。溝１５と凸条３１が、伝熱材４０が外界へ漏れることを防止する。本明細書が開示する技術の一つは、流動性を有する伝熱材が外界へ漏れることを防止する。

【0030】

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

【符号の説明】

【0031】

２、１０２、２０２：半導体装置 １０、１１０、２１０：樹脂パッケージ １１、１１ａ、１１ｂ：半導体チップ １２ａ、１２ｂ、１１２、２１２：ヒートシンク １３ａ、１３ｂ、１３ｃ：パワー端子 １４ａ、１４ｂ：制御端子 １５：溝 ２１：銅ブロック ２２、２３、２４：ハンダ層 ２５：ボンディングワイヤ ３０ａ、３０ｂ、１３０、２３０：冷却板 ３１：凸条 ４０：伝熱材 ４１、１４１、２４１：スペーサ ２０３ ：電子デバイス ２２２ ：ビアホール

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】