特許7593893試料加工装置およびシールド

発明の名称　試料加工装置およびシールド

出願人　日本電子株式会社　（識別番号 4271）

　　　　特許公開件数ランキング 501 位（19件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 654 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7593893

公報発行日　2024年12月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7593893

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