特許7595498研磨体及びウェハ研磨方法

発明の名称　研磨体及びウェハ研磨方法

出願人　株式会社ノリタケカンパニーリミテド　（識別番号 4293）

　　　　特許公開件数ランキング 684 位（12件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 303 位（31件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7595498

公報発行日　2024年12月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7595498

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