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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-11-29
(45)【発行日】2024-12-09
(54)【発明の名称】振動型アクチュエータ及びそれを備える電子機器
(51)【国際特許分類】
H02N 2/12 20060101AFI20241202BHJP
G02B 7/04 20210101ALI20241202BHJP
【ＦＩ】
H02N2/12
G02B7/04 E
【請求項の数】
16
(21)【出願番号】P 2020208356
(22)【出願日】2020-12-16
(65)【公開番号】P2022095180
(43)【公開日】2022-06-28
【審査請求日】2023-09-20
(73)【特許権者】
【識別番号】000001007
【氏名又は名称】キヤノン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100126240
【弁理士】
【氏名又は名称】阿部 琢磨
(74)【代理人】
【識別番号】100223941
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 佳子
(74)【代理人】
【識別番号】100159695
【弁理士】
【氏名又は名称】中辻 七朗
(74)【代理人】
【識別番号】100172476
【弁理士】
【氏名又は名称】冨田 一史
(74)【代理人】
【識別番号】100126974
【弁理士】
【氏名又は名称】大朋 靖尚
(72)【発明者】
【氏名】小島 信行
【審査官】服部 俊樹
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１３－０３８８７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１９８６５８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１７４６１８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０２Ｎ ２／１２
Ｇ０２Ｂ ７／０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
弾性体と、前記弾性体に固定された電気－機械エネルギー変換素子と、を有する振動子と、前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を保持する基台と、
前記振動子と接触する接触体と、
前記接触体及び前記振動子を、を第１の方向に加圧する加圧部材と、を備え、
前記接触体が前記振動子に対して、前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に移動する振動型アクチュエータであって、
前記保持部材は、
前記振動子を、前記第１の方向に移動可能に支持する支持部と、
前記第１の方向に延びる嵌合凹部と、を有し、
前記基台は、前記第１の方向に延び、前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部を有し、
前記嵌合凹部と前記嵌合凸部が接触する接触面における法線方向が、前記第１の方向の成分及び前記第２の方向の成分を含むことを特徴とすることを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項2】
弾性体と、前記弾性体に固定された電気－機械エネルギー変換素子と、を有する振動子と、
前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を保持する基台と、
前記振動子と接触する接触体と、
前記接触体及び前記振動子を、を第１の方向に加圧する加圧部材と、を備え、
前記接触体が前記振動子に対して、前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に移動する振動型アクチュエータであって、
前記保持部材は、
前記振動子を、前記第１の方向に移動可能に支持する支持部と、
前記第１の方向に延びる嵌合凹部と、を有し、
前記基台は、前記第１の方向に延び、前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部を有し、
前記第１の方向及び前記第２の方向に交差する方向を第３の方向とするとき、前記嵌合凹部と前記嵌合凸部が接触する接触面における法線方向が、前記第１の方向の成分及び前記第３の方向の成分を含むことを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項3】
前記第１の方向及び前記第２の方向に交差する方向を第３の方向とするとき、前記嵌合凹部と前記嵌合凸部が接触する接触面における法線方向が、前記第１の方向の成分及び前記第３の方向の成分を含むことを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項4】
前記保持部材は、前記嵌合凸部としての、第１の嵌合凸部、第２の嵌合凸部及び第３の嵌合凸部と、
前記嵌合凹部としての、第１の嵌合凹部、第２の嵌合凹部及び第３の嵌合凹部と、
前記加圧部材による加圧により、前記第１の嵌合凸部と前記第１の嵌合凹部が接触する、前記接触面としての第１の接触面、前記第２の嵌合凸部と前記第２の嵌合凹部が接触する、前記接触面としての第２の接触面、及び前記第３の嵌合凸部と前記第３の嵌合凹部が接触する、前記接触面としての第３の接触面と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項5】
前記第１の嵌合凸部、前記第２の嵌合凸部及び前記第３の嵌合凸部のいずれかの先端が、前記第１の嵌合凹部、前記第２の嵌合凹部又は前記第３の嵌合凹部の底部と接触することを特徴とする請求項４に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項6】
前記保持部材は、前記嵌合凸部としての、第１の嵌合凸部及び第２の嵌合凸部と、
前記嵌合凹部としての、第１の嵌合凹部及び第２の嵌合凹部と、
前記加圧部材による加圧により、前記第１の嵌合凸部と前記第１の嵌合凹部が接触する、前記接触面としての第１の接触面、及び前記第２の嵌合凸部と前記第２の嵌合凹部が接触する、前記接触面としての第２の接触面と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項7】
前記第１の嵌合凸部及び前記第２の嵌合凸部のいずれかうち少なくとも一つの先端が、前記第１の嵌合凹部又は前記第２の嵌合凹部の底部と接触することを特徴とする請求項６に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項8】
前記保持部材は、前記嵌合凸部としての、第１の嵌合凸部及び第２の嵌合凸部と、
前記嵌合凹部としての、第１の嵌合凹部と、
前記加圧部材による加圧により、前記第１の嵌合凸部と前記第１の嵌合凹部が接触する、前記接触面としての第１の接触面、及び前記第２の嵌合凸部と前記第１の嵌合凹部が接触する、前記接触面としての第２の接触面と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項9】
前記第１の嵌合凸部及び前記第２の嵌合凸部のいずれかうち少なくとも一つの先端が、前記第１の嵌合凹部又は前記第２の嵌合凹部の底部と接触することを特徴とする請求項８に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項10】
前記保持部材は、前記振動型アクチュエータの駆動周波数域の周波数が共振周波数である振動モードを有しないことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項11】
前記保持部材は、可聴域の周波数が共振周波数である振動モードを有しないことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項12】
前記可聴域の周波数は、２０Ｈｚ以上且つ２０ｋＨｚ以下であることを特徴とする請求項１１に記載に振動型アクチュエータ。
【請求項13】
前記接触面は、前記保持部材の第１の方向に変形する曲げ振動モードの節を含むように形成されていることを特徴とする請求項２乃至９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項14】
前記保持部材は、前記振動子における異なる２つの振動モードの共通の節を加圧する加圧凸部を有することを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項15】
前記保持部材は、第２の方向及び第３の方向に対して対称形状であることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項16】
請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、前記振動型アクチュエータの駆動によって位置決めされる部材と、を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、振動型アクチュエータ及びそれを備える電子機器に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、弾性体と、弾性体に固定された電気－機械エネルギー変換素子と、を有する、平板上の振動体（振動子）を用いた振動波モータ（振動型アクチュエータ）がある。この振動型アクチュエータは、振動子に励起された振動により、振動子と、振動子と加圧接触する被駆動体（接触体）と、を相対的に移動させるものである。
【0003】
この振動型アクチュエータでは、振動子の振動エネルギーが、接触体以外の部材に伝達することにより、出力効率が低下する。また、振動子の振動エネルギーが、接触体以外の部材に伝達することにより、不要な音（異音）が発生する。
【0004】
特許文献１には、このような課題を解決する手段として、弾性体の長手方向の両端に設けられ、保持部材に固定（接合）された、弾性体と保持部材とを連結する腕部が開示されている。この腕部により、振動子は、保持部材に支持されている。また、振動子から保持部材への振動の伝播を抑制するために、この腕部は、細くすることにより、剛性が低く設計されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０１７－２００２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、このような設計によっても、振動子が保持部材に接合されているので、振動が接触体以外の部材に伝搬し易く、出力効率の低下や異音の発生を抑制するという点では、さらなる改良が求められていた。
【0007】
本発明は、出力効率の低下や異音の発生を抑制した振動型アクチュエータ及びそれを備える電子機器を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明における課題を解決する手段は、弾性体と、前記弾性体に固定された電気－機械エネルギー変換素子と、を有する振動子と、
前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を保持する基台と、
前記振動子と接触する接触体と、
前記接触体及び前記振動子を、を第１の方向に加圧する加圧部材と、を備え、
前記接触体が前記振動子に対して、前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に移動する振動型アクチュエータであって、
前記保持部材は、
前記振動子を、前記第１の方向に移動可能に支持する支持部と、
前記第１の方向に延びる嵌合凹部と、を有し、
前記基台は、前記第１の方向に延び、前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部を有し、
前記嵌合凹部と前記嵌合凸部が接触する接触面における法線方向が、前記第１の方向の成分及び前記第２の方向の成分を含む。
また、本発明における課題を解決するほかの手段は、弾性体と、前記弾性体に固定された電気－機械エネルギー変換素子と、を有する振動子と、
前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を保持する基台と、
前記振動子と接触する接触体と、
前記接触体及び前記振動子を、を第１の方向に加圧する加圧部材と、を備え、
前記接触体が前記振動子に対して、前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に移動する振動型アクチュエータであって、
前記保持部材は、
前記振動子を、前記第１の方向に移動可能に支持する支持部と、
前記第１の方向に延びる嵌合凹部と、を有し、
前記基台は、前記第１の方向に延び、前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部を有し、
前記第１の方向及び前記第２の方向に交差する方向を第３の方向とするとき、前記嵌合凹部と前記嵌合凸部が接触する接触面における法線方向が、前記第１の方向の成分及び前記第３の方向の成分を含む。
前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を保持する基台と、
前記振動子と接触する接触体と、
前記接触体及び前記振動子を、を第１の方向に加圧する加圧部材と、を備え、
前記接触体が前記振動子に対して、前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に移動する振動型アクチュエータであって、
前記保持部材は、
前記振動子を、前記第１の方向に移動可能に支持する支持部と、
前記第１の方向に延びる嵌合凹部と、を有し、
前記基台は、前記第１の方向に延び、前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部を有し、
前記嵌合凹部と前記嵌合凸部が接触する接触面における法線方向が、前記第１の方向の成分及び前記第２の方向の成分を含む。
また、本発明における課題を解決するほかの手段は、弾性体と、前記弾性体に固定された電気－機械エネルギー変換素子と、を有する振動子と、
前記振動子を保持する保持部材と、
前記保持部材を保持する基台と、
前記振動子と接触する接触体と、
前記接触体及び前記振動子を、を第１の方向に加圧する加圧部材と、を備え、
前記接触体が前記振動子に対して、前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に移動する振動型アクチュエータであって、
前記保持部材は、
前記振動子を、前記第１の方向に移動可能に支持する支持部と、
前記第１の方向に延びる嵌合凹部と、を有し、
前記基台は、前記第１の方向に延び、前記嵌合凹部と嵌合する嵌合凸部を有し、
前記第１の方向及び前記第２の方向に交差する方向を第３の方向とするとき、前記嵌合凹部と前記嵌合凸部が接触する接触面における法線方向が、前記第１の方向の成分及び前記第３の方向の成分を含む。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、出力効率の低下や異音の発生を抑制した振動型アクチュエータ及びそれを備える電子機器を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】第１の実施形態に係る振動型アクチュエータの正面図。
【図5】振動モードを説明する図である。
【図6】振動モードの節位置を示す図である。
【図11】保持部材の振動モードの共振周波数を示す図。
【図12】保持部材の代表的な振動モードの形状を示す図。
【図13】第１の実施形態に係る接触面の他の構成を説明する部分断面図。
【図14】第２の実施形態に係る保持部材の下面図。
【図15】第２の実施形態に係る基台の部分平面図。
【図18】第３の実施形態に係る基台を説明する部分斜視図。
【図19】第３の実施形態に係る基台と保持部材の接触状態を説明する部分断面図。
【図20】第４の実施形態に係る基台と保持部材を説明する分解斜視図。
【図21】第４の実施形態に係る基台と保持部材の接触状態を説明する部分断面図。
【図22】第４の実施形態に係る基台と保持部材の接触状態を説明する部分断面図。
【図23】第４の実施形態に係る保持部材の他の構成を説明する部分断面図。
【図24】第５の実施形態に係るステータユニットの構成を説明する分解斜視図。
【図25】第６の実施形態に係る振動型アクチュエータの構成を説明する斜視図。
【図26】第６の実施形態に係る振動型アクチュエータの構成を説明する分解斜視図。
【図27】第７実施形態に係る、（ａ）撮像装置の概略構成を示す上面図、（ｂ）撮像装置の概略構成を示すブロック図。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【0012】
＜第１の実施形態＞
図１は、第１の実施形態に係る振動波モータ１（振動型アクチュエータ）の概略構成を示す側面図である。図２は、振動型アクチュエータ１の分解斜視図である。振動型アクチュエータ１は、固定部材９、伝達ユニット８、ロータユニット７、ステータユニット２、波ばね形状の加圧ばね３１（加圧部材）及び加圧調整リング２０を有する。振動型アクチュエータ１は、ベース（基部）となる固定部材９の円筒形状部に、円環形状を有するステータユニット２、円環形状を有するロータユニット７、伝達ユニット８、加圧ばね３１及び加圧調整リング２０が嵌め込まれて組み立てられている。
図１は、第１の実施形態に係る振動波モータ１（振動型アクチュエータ）の概略構成を示す側面図である。図２は、振動型アクチュエータ１の分解斜視図である。振動型アクチュエータ１は、固定部材９、伝達ユニット８、ロータユニット７、ステータユニット２、波ばね形状の加圧ばね３１（加圧部材）及び加圧調整リング２０を有する。振動型アクチュエータ１は、ベース（基部）となる固定部材９の円筒形状部に、円環形状を有するステータユニット２、円環形状を有するロータユニット７、伝達ユニット８、加圧ばね３１及び加圧調整リング２０が嵌め込まれて組み立てられている。
【0013】
ロータユニット７は、ロータホルダ７３、ロータ７１（接触体）、及びロータホルダ７３とロータ７１の間に挟持された伝達ゴム７２によって構成されている。ロータユニット７は、固定部材９の円筒形状部に対して回転可能な状態で、固定部材９の円筒形状部に嵌め込まれている。
【0014】
伝達ユニット８は、コロリング８４と３個のコロ８５により構成されている。３個のコロ８５の回転軸は、振動型アクチュエータ１でのロータユニット７の回転軸Ｐ（固定部材９の中心軸と合致する）と直交している。また、３個のコロ８５は、加圧ばね３１及び加圧調整リング２０により、固定部材９のフランジ部９ｄとロータホルダ７３とにより回転軸Ｐの軸方向に加圧された状態で保持されている。
【0015】
ロータユニット７は、３個のコロ８５の回転によって、回転軸Ｐを回転中心として、円滑な回転動作を行うことができるようになっている。
【0016】
ステータユニット２は、３個の振動体ユニット５、略円環形状の基台１７により構成されている。振動体ユニット５はそれぞれ、加圧ばね３１及び加圧調整リング２０により、ロータ２１と加圧接触している。
【0017】
振動体ユニット５はそれぞれ、回転軸Ｐを中心とする円の接線方向に駆動力を発生するように、加圧受けユニット６を介して、基台１７に配置されており、振動体ユニット５が発生する駆動力の合力は、回転軸Ｐまわりの回転駆動力となる。
【0018】
ステータユニット２は、回転軸Ｐの軸方向には変位可能であるが、回転軸Ｐまわりでの変位が規制されるように、その一部が、固定部材９に形成された嵌合溝９ｃに嵌合するように組み付けられている。これにより、振動体ユニット５による回転駆動力を受けるロータユニット７は、固定部材９に対して、回転軸Ｐまわりの回転変位を生じる。
【0019】
加圧調整リング２０は、固定部材９の円筒形状部９ｂの所定位置に固定されており、加圧調整リング２０とステータユニット２の基台１７とで加圧ばね３１を挟み込んでいる。基台１７において、加圧ばね３１と接触する面は略平面に形成されており、回転軸Ｐの軸方向での加圧調整リング２０の位置を調整することにより、加圧ばね３１に弾性変形を生じさせている。
【0020】
加圧ばね３１が弾性変形することによって、ステータユニット２、ロータユニット７及び伝達ユニット８が、固定部材９のフランジ部９ｄに対して加圧され、各ユニット間の位置関係が保持されている。ステータユニット２が発生する駆動力はこの加圧力により生じる摩擦力を用いることでロータユニット７に伝達されて回転駆動が行われる。加圧力は、回転軸Ｐにより示される方向と同一の方向に付与されている。
【0021】
図３は、ステータユニット２の斜視図である。図３においては、１つの振動体ユニット５を分離した状態で表している。基台１７は、略リング状に形成されており、内径側には、固定部材９と嵌合されて回転方向の移動が規制される凸部１７ｃが形成されている。基台１７のステータユニット２が組み合わされている３箇所各々には、加圧方向と一致する方向に延出する３つの嵌合凸部である第１の嵌合凸部１７ｂ１，第２の嵌合凸部１７ｂ２，第３の嵌合凸部１７ｂ３が形成されている。
【0022】
図４は、１つの振動体ユニット５の斜視図である。説明のため上記で示した加圧方向をＺ方向（第１の方向）とする。また、振動体ユニット５により生じる発生力（モータで発生する力）の方向をＸ方向（第２の方向）とする。また、これらＺ方向（第１の方向）及びＸ方向（第２の方向）に交差（好ましくは、直交）する方向をＹ方向（第３の方向）とする。
【0023】
各振動体ユニット５は、振動子６及び保持部材１３により形成されている。振動子６は、弾性体１１、圧電素子１２（電気－機械エネルギー変換素子）、フレキシブル基板１４から構成されている。弾性体１１は、矩形部１１ａと、矩形部１１ａの第１の面に設けられた２つの突起部１１ｂとを有する。なお、弾性体１１は板状の形状を有しており、第１の面とは、矩形部１１ａの厚み方向と交差（好ましくは、直交）する方向に広がる面を有する２つの面のうちの一方の面を指す。また、厚み方向は、加圧方向と一致する方向である。
【0024】
弾性体１１の第１の面と対向する第２の面には、矩形板状の圧電素子１２が接着（接合）されており、弾性体１１と圧電素子１２が振動体を構成する。圧電素子１２において弾性体１１と接着されている面と対向する面には、圧電素子１２との電気的な接続を行うフレキシブル基板１４が接合されている。
【0025】
保持部材１３は、振動子６の圧電素子１２を備える面側に、Ｚ方向（第１の方向）に並ぶように配されている。保持部材１３は、本体部１３ａからＺ方向（第１の方向）に延出する２つの加圧凸部１３ｃを備える。これら２つの加圧凸部１３ｃは、振動子６と接触して、加圧力が振動子６と保持部材１３とで作用する箇所となる。
【0026】
保持部材１３には、本体部１３ａからＺ方向（第１の方向）に延出する４つのガイド凸部１３ｄ（支持部）が形成されている。これらガイド凸部１３ｄに囲まれるように、振動子６の弾性体１１及び圧電素子１２が配されている。これら４つのガイド凸部１３ｄにより、振動子６は、Ｚ方向（第１の方向）に移動自由（移動可能）に支持されている。また、これら４つのガイド凸部１３ｄにより、振動子６は、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）に移動することができないように規制される状態で支持されている。
【0027】
次に、図５を用いて振動子６に励起される振動モードについて説明する。本実施例では圧電素子３にフレキシブルプリント基板５を通じて交流電圧を印加して、振動子６に２つの異なる面外曲げ振動を励振し、これらの振動を合成した振動を生じさせる。
【0028】
第１の振動モードであるモードＡは、振動子６の長手方向であるＸ方向に平行に２つの節が現れる一次の面外曲げ振動モードである。モードＡの振動により、２つの突起部１１ｂがＺ方向に変位する。第２の振動モードであるモードＢは、振動子６の短手方向であるＹ方向におおよそ平行な３つの節が現れる二次の面外曲げ振動モードである。モードＢの振動により、２つの突起部１１ｂがＸ方向に変位する。
【0029】
これらのモード（モードＡ、モードＢ）の振動を合成することによって、２つの突起部１１ｂが、ＺＸ面内で楕円運動又は円運動を行う。この２つの突起部１１ｂにロータ７１（接触体）を接触させることによって、Ｘ方向に摩擦力が発生し、振動子６とロータ７１（接触体）とを相対的に移動させる駆動力（推力）が発生する。
【0030】
振動波アクチュエータ１を効率よく駆動するためには、振動子６に励振させる２つの振動モードの振動（変位）を阻害することなく振動子６を支持することが必要となり、このためには、これら２つの振動モードの節近傍を支持することが望ましい。このような理由から、振動子６に励振される２つの振動モードの共通の節を加圧・保持するために、図４に示すように保持部材１３に２つの加圧凸部１３ｃを設けている。図６にその接触位置と各振動モードにおける節位置を示す。図６（ａ）には、モードＡにおける節位置を示す。図６（ｂ）には、モードＢにおける節位置を示す。なお、簡略化のため、フレキシブル基板１４は省略している。
【0031】
図６において、黒色に塗りつぶされた部分は節近傍を示している。具体的には各振動モードの最大変位の３５％以下の変位の個所を黒く表示している。ここではこの最大変位の３５％以下の変位の個所を節近傍と定義する。モードＡ、Ｂを重ね合わせると黒い部分が重なる場所、つまり共通の節近傍が６個出現（丸印４か所と星印２か所）する。このうち星印で表す２か所が、振動子２をより効率的に支持する以下２つの観点で好ましい。まず他４か所よりも変位がより小さいこと、次にＺＸ断面で見るとＸ方向には１点で加圧されているために突起部１１ｂとロータ７１とのＹ軸回りのイコライズ機能をもたせ、接触を均一化させることが可能だからである。
【0032】
このような理由から、図６の星印部を、加圧凸部１３ｃにより接触させることで、単に振動子の裏面を一様に面加圧・面支持する構造と比べ、より効率的に振動子６を加圧している。さらに加圧凸部１３ｃと振動子６の間に作用する摩擦力によって振動子６をＸ方向及びＹ方向に保持している。本実施例では、フレキシブル基板１４と加圧凸部１３ｃが接触しているが、この最大静止摩擦力が、ロータ７１に発生する推力よりも常に大きい値になるように加圧力と摩擦係数を調整している。いわば加圧凸部１３ｃによってあたかも点接触するかのように加圧するため、振動波アクチュエータ１の駆動中に、振動子６が保持部材１３に対して移動することを大きく低減している。
【0033】
図７は、保持部材１３をマイナスＺ方向から見た下面図である。保持部材１３の振動子６が配されている面と対向する面には、６か所に嵌合凹部が形成されている。これらの嵌合凹部は保持部材１３がＸ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）に対して対称形状となるように形成されている。
【0034】
嵌合凹部のうち、マイナスＸ方向の第１の嵌合凹部１３ｂ１、第２の嵌合凹部１３ｂ２及びプラスＸ方向の第３の嵌合凹部１３ｂ３がそれぞれ、基台１７の第１の嵌合凸部１７ｂ１、第２の嵌合凸部１７ｂ２及び第３の嵌合凸部１７ｂ３と接触している。そして、３か所の接触面である第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３が形成されている。
【0035】
基台１７と保持部材１３とは、これら第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３のみで接触している。第１の嵌合凹部１３ｂ１及び第２の嵌合凹部１３ｂ２は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、Ｙ方向（第３の方向）に長辺を持つ略長円形状であり、底部は各方向に傾斜を持つように形成されている。傾斜に関しては、図９等を用いて後述する。第３の嵌合凹部１３ｂ３は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、Ｘ方向（第２の方向）に長辺を持つ略長円形状であり、底部は同様に各方向に傾斜を持つように形成されている。
【0036】
図８は、基台１７の一部を表す平面図である。第１の接触面Ｃ１１を形成する第１の嵌合凸部１７ｂ１は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、略長円形状であり、先端は、各方向にＲを持つ形状に形成されている。
【0037】
第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３を形成する第２の嵌合凸部１７ｂ２及び第３の嵌合凸部１７ｂ３は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、略球形状であり、先端は、半球形状に形成されている。
【0038】
図９及び図１０は、第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３での接触状態を表すステータユニット２の断面図である。図９は、接触面Ｃ１１において、Ｙ方向（第３の方向）を法線とする面での断面図である。図１０は、保持部材１３と基台１７とが実際に接触している第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３を含む位置でのＺ方向（第１の方向）を法線とする面での断面図である。
【0039】
ここで、先述した傾斜の状態を説明する。図９に示す断面では、第１の傾斜面１３ｂ１ｓは、法線がＺ方向（第１の方向）及びＸ方向（第２の方向）の成分を有しており、法線がＺ方向の成分のみを有する面に対して角度を備えていることを表している。
【0040】
なお、本説明では、法線がＺ方向（第１の方向）以外の成分を有する面を、傾斜面とする。特に、法線がＺ方向の成分及びＸ方向の成分のみを有する面を、Ｘ方向の傾斜面と表し、法線がＺ方向の成分及びＹ方向の成分のみを有する面を、Ｙ方向の傾斜面とする。法線がＺ方向の成分のみを有する面を、傾斜のない面とする。傾斜面は、平面に限定されず、連続的に法線方向（法線の方向）が変化し、このような傾斜面には、球面や円筒面も含まれるものとして説明する。
【0041】
図９に示す断面において、第１の接触面Ｃ１１は、第１の嵌合凹部１３ｂ１の第１の傾斜面１３ｂ１ｓと第１の嵌合凸部１７ｂ１とが接触している。この傾斜面において、基台１７と保持部材１３との加圧力が作用する。加圧力は、法線方向に作用するので、この加圧力は、Ｚ方向（第１の方向）及びＸ方向（第２の方向）に分解して表現できる。つまり、第１の接触面Ｃ１１における法線方向が、前記第１の方向及び前記第２の方向の成分を含む。第１の接触面Ｃ１１において、Ｘ方向（第２の方向）の作用、反作用力が生じることで、基台１７に対して、保持部材１３のＸ方向（第２の方向）の移動が制限されている。このような作用が各第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３に与えられる。
【0042】
図１０を用いて説明する。第１の接触面Ｃ１１は、第１の嵌合凸部１７ｂ１と第１の嵌合凹部１３ｂ１の第１の傾斜面１３ｂ１ｓとは、図９（ａ）で説明したように、Ｘ方向（第２の方向）で接触するとともに、同様な関係で、Ｙ方向（第３の方向）においても接触している。この第１の接触面Ｃ１１においては、保持部材１３の基台１７に対する、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の相対的な移動が制限されている。
【0043】
第２の接触面Ｃ１２は、第２の嵌合凸部１７ｂ２と第２の嵌合凹部１３ｂ２の第２の傾斜面１３ｂ２ｓとは、Ｘ方向（第２の方向）で接触している。この第２の接触面Ｃ１２においては、Ｘ方向（第２の方向）に、基台１７と保持部材１３の基台１７に対する、Ｘ方向（第２の方向）の相対的な移動が制限されている。第３の接触面Ｃ１３は、第３の嵌合凸部１７ｂ３と第３の嵌合凹部１３ｂ３の第３の傾斜面１３ｂ３ｓとはＹ方向（第３の方向）で接触している。この第２の接触面Ｃ１２においては、保持部材１３の基台１７に対する、相対的な移動が制限されている。
【0044】
これら第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３の作用により、保持部材２３の基台２７に対する、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の相対的な移動が制限されている。
【0045】
図１０に、記号ＦＰで示した箇所は、振動子６と保持部材１３とに作用する加圧力の合力が作用する位置を表している。前述した、２つの加圧凸部１３ｃは、投影的に図１０に示した箇所であり、この２か所に略同一の加圧力が作用するので、これら２点の中点であるＦＰに合力が作用する。第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３で囲まれる範囲内にＦＰが収まるように接触面を形成することで、加圧力が生じた状態で、保持部材１３を安定して保持することができる。
【0046】
保持部材１３の形状や材質に関して説明を続ける。図１１は、保持部材１３単体に生じる振動モードに関して、ＦＥＭ計算で得られた共振周波数を示したグラフである。図１１では、横軸は、周波数［ｋＨｚ］を表し、黒丸は、保持部材１３が有する振動モードの共振周波数を表している。また、Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３はそれぞれ、可聴域の周波数の上限値（２０ｋＨｚ），振動型アクチュエータの駆動周波数の下限値、振動型アクチュエータの駆動周波数の上限値を表している。なお、可聴域の周波数は、一般的には、２０Ｈｚ以上且つ２０ｋＨｚ以下といわれている。振動子６に超音波振動を励振している状態では、保持部材１３は、加圧凸部１３ｃにおいて振動子６の振動変位を受けている。このような状態で保持部材１３に、不要な音の発生源となる不要な振動が励振しないように、保持部材１３の形状や材質を決定している。
【0047】
具体的には、保持部材１３が有する振動モードの共振周波数が、可聴域の周波数の上限値（２０ｋＨｚ）以下に存在しないように、保持部材１３の形状や材質を決定している。また、保持部材１３が有する振動モードの共振周波数が、圧電素子１２に印加する交流電圧の周波数域（振動型アクチュエータの駆動周波数域であるＦ２からＦ３の間の周波数）に存在しないように、保持部材１３の形状や材質を決定している。
【0048】
図１２（ａ）、図１２（ｂ）にはそれぞれ、保持部材１３に生じる、不要な音の発生源となる、代表的な不要振動モードである２つの振動モード（第１の振動モードＳ１及び第２の振動モードＳ２）を示している。これら２つの振動モード（振動の形態）は共に、Ｚ方向（第１の方向）に変形する（第１の方向への変形が支配的な）曲げ変形の振動モード（曲げ振動モード）である。また、第１の振動モードＳ１及び第２の振動モードＳ２は、振動子６からの加振力に対して、加振されやすいと考えられる。
【0049】
第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３は、振動型アクチュエータ１の駆動時に、第１の振動モードＳ１及び第２の振動モードＳ２が保持部材１３に励振されても、基台１７への振動伝達がなるべく小さくなるように形成されている。たとえば、第１の接触面Ｃ１１、第２の接触面Ｃ１２及び第３の接触面Ｃ１３は、第１の振動モードＳ１及び第２の振動モードＳ２の振動変位の小さい箇所、いわゆる振動モードの節近傍又は節を含むように形成されている。
【0050】
また、図７に示すように、保持部材１３は、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）に対して略対称形状としている。これは、第１の振動モードＳ１及び第２の振動モードＳ２（図１２参照）やその他の振動モードが対称形状となることを目的としている。振動モードが対称形状であることで、保持部材１３の振動に関する挙動は、必要以上に複雑にならずに、振動に関する設計を確実に行うことができる。
【0051】
図１３に、本実施形態における他の構成を示す。図１３は、保持部材１３Ａの第１の嵌合凹部１３Ａｂ１及び基台１７Ａの第１の嵌合凸部１７Ａｂ１により形成されている、第１の接触面Ｃ１１の状態を示す部分断面図である。
【0052】
第１の嵌合凹部１３Ａｂ１の底部から凸状に第１の傾斜面１３Ａｂ１ｓが形成されている。第１の嵌合凸部１７Ａｂ１の先端部には、第１の傾斜面１３Ａｂ１ｓと接触する第１の受け部１７Ａｂ１ｓが形成されている。これら第１の傾斜面１３Ａｂ１ｓと第１の受け部１７Ａｂ１ｓとを接触させることで、図９等を用いて示したものと同様の効果を得ることができる。
【0053】
＜第２の実施形態＞
図１４は、第２の実施形態となる振動型アクチュエータ１における保持部材２３の下面図である。図１５は、同じく第２の実施形態となる振動型アクチュエータ１における基台２７の部分上面図である。
図１４は、第２の実施形態となる振動型アクチュエータ１における保持部材２３の下面図である。図１５は、同じく第２の実施形態となる振動型アクチュエータ１における基台２７の部分上面図である。
【0054】
図１４に示すように、第１の嵌合凹部２３ｂ１は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、Ｘ方向（第２の方向）に長手軸を持つ長円形状であり、底部は、各方向に傾斜を持つように形成されている。第２の嵌合凹部２３ｂ２は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、Ｘ方向（第２の方向）に長手軸を持つ長円形状であり、底部は、傾斜のない平面で形成されている。第３の嵌合凹部２３ｂ３は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、略円形状であり、底部は、各方向に傾斜を持つように形成されている。
【0055】
図１５に示すように、第１の嵌合凸部２７ｂ１，第２の嵌合凸部２７ｂ２及び第３の嵌合凸部２７ｂ３は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、略円形状であり、先端は、略半球形状に形成されている。図１６は、保持部品２３と基台２７とが組み合わされた状態での、第１の嵌合凹部２３ｂ１，第２の嵌合凹部２３ｂ２，第３の嵌合凹部２３ｂ３と第１の嵌合凸部２７ｂ１，第２の嵌合凸部２７ｂ２，第３の嵌合凸部２７ｂ３との接触状態を示す部分断面図である。
【0056】
第１の嵌合凹部２３ｂ１と第１の嵌合凸部２７ｂ１とが接触することで、第１の接触面Ｃ２１が構成されている（図１６（ａ）参照）。第３の嵌合凹部２３ｂ３と第３の嵌合凸部２７ｂ３とが接触することで、第３の接触面Ｃ２３が構成されている（図１６（ｂ）参照）。これらの接触状態に関しては、図９等で示した第１の実施形態と同様であるので、説明を省略する。第２の嵌合凹部２３ｂ２の底面は、前述のように、法線がＺ方向の成分のみを有する面（傾斜のない面）であり、この個所に、第２の嵌合凸部２７ｂ２の先端が接触して、第２の接触面Ｃ２２が構成されている（図１６（ａ）参照）。
【0057】
図１７は、第１の接触面Ｃ２１及び第３の接触面Ｃ２３を含む高さでの、法線がＺ方向の成分のみを有する面の断面図である。なお、第２の接触面Ｃ２２は、Ｚ方向（第１の方向）での位置が異なるため、本図では示されていない。第３の接触面Ｃ２３は、第３の嵌合凸部２７ｂ３と第３の嵌合凹部２３ｂ３の第３の傾斜面２３ｂ３ｓとは、Ｘ方向（第２の方向）で接触するとともに、Ｙ方向（第３の方向）においても接触している。この接触面Ｃ２３においては、保持部材２３の基台２７に対する、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の相対的な移動が制限されている。
【0058】
第１の接触面Ｃ２１は、嵌合凸部２７ｂ１と嵌合凹部２３ｂ３の第１の傾斜面２３ｂ１ｓとは、Ｙ方向（第３の方向）において接触している。この第１の接触面Ｃ２１においては、保持部材２３の基台２７に対する、Ｙ方向（第３の方向）の相対的な移動が制限されている。これら接触面Ｃ２１及びＣ２３の作用により、保持部材２３の基台２７に対する、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の相対的な移動が制限されている。また、第１の接触面Ｃ２１、第２の接触面Ｃ２２及び第３の接触面Ｃ２３により、保持部材２３は基台２７に対して、Ｚ方向（第１の方向）に保持されている。
【0059】
＜第３の実施形態＞
図１８は、第３の実施形態における基台３７の部分斜視図である。３か所に形成されている嵌合凸部３７ｂ１，３７ｂ２，３７ｂ３は、Ｚ方向（第１の方向）から見て、略円形状であり、先端は、円錐形状に形成されている。図１９は、保持部品３３と基台３７とが組み合わされた状態での、嵌合凹部３３ｂ１，３３ｂ２，３３ｂ３と嵌合凸部３７ｂ１，３７ｂ２，３７ｂ３との接触状態を示す部分断面図である。保持部材３３の嵌合凹部３３ｂ１及び３３ｂ３は、底面が略円錐形状に形成されている。
図１８は、第３の実施形態における基台３７の部分斜視図である。３か所に形成されている嵌合凸部３７ｂ１，３７ｂ２，３７ｂ３は、Ｚ方向（第１の方向）から見て、略円形状であり、先端は、円錐形状に形成されている。図１９は、保持部品３３と基台３７とが組み合わされた状態での、嵌合凹部３３ｂ１，３３ｂ２，３３ｂ３と嵌合凸部３７ｂ１，３７ｂ２，３７ｂ３との接触状態を示す部分断面図である。保持部材３３の嵌合凹部３３ｂ１及び３３ｂ３は、底面が略円錐形状に形成されている。
【0060】
嵌合凹部３３ｂ１の円錐形状の頂点と、嵌合凸部３３ｂ１の円錐形状の頂点と、が接触することで、第１の接触面Ｃ３１が構成されている（図１９（ａ）参照）。嵌合凹部３３ｂ３円錐形状の頂点と、第３の嵌合凸部３７ｂ３の円錐形状の頂点と、が接触することで、第３の接触面Ｃ３３が構成されている（図１９（ｂ）参照）。第３の嵌合凹部３３ｂ２の底面は、法線がＺ方向の成分のみを有する面（傾斜のない面）であり、この個所に、第２の嵌合凸部３７ｂ２の先端が接触して、第２の接触面Ｃ３２が構成されている（図１９（ａ）参照）。
【0061】
第１の接触面Ｃ３１及び第３の接触面Ｃ３３の作用により、保持部材３３は、基台３７に対して、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の移動が制限されている。また、第１の接触面Ｃ３１，第２の接触面Ｃ３２及び第３の接触面Ｃ３３により、保持部材３３は基台３７に対して、Ｚ方向（第１の方向）に保持されている。
【0062】
＜第４の実施形態＞
図２０は、第４の実施形態における、保持部材４３及び基台４７の斜視図である。図２０において、保持部材４３は、基台４７に対して、Ｚ方向（第１の方向）に移動するとともに、Ｘ軸回りに回転させて示している。
図２０は、第４の実施形態における、保持部材４３及び基台４７の斜視図である。図２０において、保持部材４３は、基台４７に対して、Ｚ方向（第１の方向）に移動するとともに、Ｘ軸回りに回転させて示している。
【0063】
保持部材４３の嵌合凹部４３ｂ１は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、Ｙ方向（第３の方向）に長軸を持つ長円形状であり、底面は、各方向に傾斜を持つ傾斜面が形成されている。第２の嵌合凹部４３ｂ２は、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、略円形状であり、底面は、各方向に傾斜を持つ傾斜面が形成されている。
【0064】
基台４７には、Ｚ方向（第１の方向）に延出し、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、Ｙ方向（第３の方向）に長軸を持つ長円形状に形成されている第１の嵌合凸部４７ｂ１が形成されている。第１の嵌合凸部４７ｂ１の先端は、Ｒを持つ形状に形成されている。基台４７には、Ｚ方向（第１の方向）に延出し、Ｚ方向（第１の方向）から見たときに、略円形状に形成されている嵌合凸部４７ｂ２が形成されている。第２の嵌合凸部４７ｂ２の先端は、Ｒを持つ略半球形状に形成されている。
【0065】
第１の嵌合凹部４３ｂ１と第１の嵌合凸部４７ｂ１が接触することにより、第１の接触面Ｃ４１が形成されている。第１の接触面Ｃ４１における法線方向は、Ｚ方向（第１の方向）の成分及びＹ方向（第３の方向）の成分を含む。また、第２の嵌合凹部４３ｂ２と第２の嵌合凸部４７ｂ２が接触することにより、第２の接触面Ｃ４２が形成されている。第２の接触面Ｃ４２における法線方向は、Ｚ方向（第１の方向）の成分及びＸ方向（第２の方向）の成分を含む。
【0066】
図２１は、保持部材４３の第１の嵌合凹部４３ｂ１と基台４７の第１の嵌合凸部４７ｂ１との接触状態を表す、部分断面図である。第１の嵌合凹部４３ｂ１と第１の嵌合凸部４７ｂ１は、Ｙ方向（第３の方向）に長さを持ち、Ｙ方向（第３の方向）の両端付近で互いに接触することで、第１の接触面Ｃ４１を形成する。
【0067】
このように第１の接触面Ｃ４１が形成されていることで、１つの嵌合凸部（第１の嵌合凸部４７ｂ１）で、Ｘ軸回りの傾きに対しての拘束を与えることができる。また、第２の接触面Ｃ４２が形成されていることで、１つの嵌合凸部（第２の嵌合凸部４７ｂ２）で、Ｙ軸回りの傾きに対して拘束を与えることができる。これら第１の接触面Ｃ４１及び第２の接触面Ｃ４２の作用により、保持部材４３の基台４７に対する、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の相対的な移動が制限されている。
【0068】
図２２は、第１の接触面Ｃ４１及び第２の接触面Ｃ４２を含む高さでのＺ方向（第１の方向）を法線とした面の断面図である。第１の接触面Ｃ４１は、図２０で説明したように、Ｙ方向（第３の方向）の両端付近で接触している。第２の接触面Ｃ４２は、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）で接触している。これら第１の接触面Ｃ４１及び第２の接触面Ｃ４２の作用により、保持部材４３の基台４７に対する、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の相対的な移動が制限されている。
【0069】
図２３は、本実施例における他の形態を示す保持部材４３である。保持部材４３Ａにおいては、１つの嵌合凹部（第１の嵌合凹部４３Ａｂ）が形成されている。そして、１つの嵌合凹部（第１の嵌合凹部４３Ａｂ）と２つの嵌合凸部（第１の嵌合凸部４７ｂ１と第２の嵌合凸部４７ｂ２）が接触する。そして、２か所の接触面である第１の接触面Ｃ４１及び第２の接触面Ｃ４２が形成されている。そして、それにより、保持部材４３と同様の作用が得られる。
【0070】
＜第５の実施形態＞
図２４は、第５の実施形態における振動型アクチュエータ１に用いられる、基台５７及び保持部材５３の接触状態を表す分解斜視図である。基台５７は、３つの嵌合凸部（第１の嵌合凸部５７ｂ１、第２の嵌合凸部５７ｂ２及び第３の嵌合凸部５７ｂ３）を備えている。保持部材５３には、図１４に示した、保持部材２３と同等の３つの嵌合凹部（第１の嵌合凹部５３ｂ１、第２の嵌合凹部５３ｂ２及び第３の嵌合凹部５３ｂ３）が形成されている。
図２４は、第５の実施形態における振動型アクチュエータ１に用いられる、基台５７及び保持部材５３の接触状態を表す分解斜視図である。基台５７は、３つの嵌合凸部（第１の嵌合凸部５７ｂ１、第２の嵌合凸部５７ｂ２及び第３の嵌合凸部５７ｂ３）を備えている。保持部材５３には、図１４に示した、保持部材２３と同等の３つの嵌合凹部（第１の嵌合凹部５３ｂ１、第２の嵌合凹部５３ｂ２及び第３の嵌合凹部５３ｂ３）が形成されている。
【0071】
基台５７の３つの嵌合凸部と保持部材の３つの嵌合凹部が接触して、保持部材５３は、基台５７に対しての相対的な移動が規制されている。保持部材５３と振動子６とは、保持部材５３に備えられる加圧凸部５３ｃで接触する。また、基台５７に形成されている２つのガイド部５７ｃにより、振動子６は基台５７に対して、Ｘ方向（第２の方向）及びＹ方向（第３の方向）の相対的に移動することができないように規制される状態で支持されている。
【0072】
＜第６の実施形態＞
図２５は、第６の実施形態における、振動型アクチュエータ５０の斜視図である。図２６は、振動型アクチュエータ５０の分解斜視図である。振動型アクチュエータ５０は、大略的に被駆動部５２及びステータ部５１により構成されている。被駆動部５２は、ステータ部５１に囲まれるように配置されており、後述するように、ステータ部５１に対して、相対的に、Ｘ軸方向に直線的に移動可能となっている。被駆動部５２は、被駆動枠体５４、出力伝達部６１及び摺動部材５５を有する。
図２５は、第６の実施形態における、振動型アクチュエータ５０の斜視図である。図２６は、振動型アクチュエータ５０の分解斜視図である。振動型アクチュエータ５０は、大略的に被駆動部５２及びステータ部５１により構成されている。被駆動部５２は、ステータ部５１に囲まれるように配置されており、後述するように、ステータ部５１に対して、相対的に、Ｘ軸方向に直線的に移動可能となっている。被駆動部５２は、被駆動枠体５４、出力伝達部６１及び摺動部材５５を有する。
【0073】
ステータ部５１は、振動子６、保持部材６３、基台６７、加圧ばね６０、支持枠６２、第１のレール５９及び第２のレール５８を有する。基台６７は、加圧ばね６０を介して、支持枠６２に保持されている。加圧ばね６０は、Ｚ方向（第１の方向）に変位して、振動子６と摺動部材５５とに加圧力を与える作用をなす。振動子６は、保持部材１３を介して、基台６７に保持されている。
【0074】
保持部材６３は、図４等で説明した保持部材１３と同一形状である。また、基台６７には、図３等で説明した基台１７の第１の嵌合凸部１７ｂ１、第２の嵌合凸部１７ｂ２及び第３の嵌合凸部１７ｂ３と同一形状の第１の嵌合凸部６７ｂ１、第２の嵌合凸部６７ｂ２及び第３の嵌合凸部６７ｂ３形成されている。また、基台６７には、保持部材６３の第１の嵌合凹部６３ｂ１、第２の嵌合凹部６３ｂ２及び第３の嵌合凹部６３ｂ３と接触して、接触面が形成されている。
【0075】
第１のレール５９と第２のレール５８は、支持枠６２のそれぞれの上部に固定されている。被駆動部５２において、摺動部材５５は、被駆動枠体５４の中央底部に形成された凹みに、接着剤等を用いて接合されている。
【0076】
摺動部材５５は、振動子６から摩擦駆動力を受けて、駆動突起１１ａと摺動する部材である。被駆動枠体５４の上面中央付近には、出力伝達部６１が、例えば、ねじ止め等により固定されている。被駆動枠体５４には、Ｘ軸方向に延在する、鋼球案内溝が設けられており、それぞれの鋼球案内溝に、１つの鋼球５６が配置されている。また、第１のレール５９と第２のレール５８において、鋼球案内溝とＺ軸方向で対向する面には、鋼球受け部（不図示）が設けられている。
【0077】
加圧ばね６０により発生させる加圧力は、摺動部材５５を介して、被駆動枠体５４に伝達され、これにより、被駆動枠体５４は、鋼球５６を介して、第１のレール５９と第２のレール５８に押し当てられる。こうして、被駆動部５２は、鋼球５６の転動により、Ｘ軸方向に移動可能に、ステータ部５１に保持されている。
【0078】
このような構成により、被駆動部５２をＸ軸方向に移動させることができる。
【0079】
＜第７の実施形態＞
上述した振動型アクチュエータ１，５０は、駆動によって位置決めされる部材を備える電子機器に広く適用が可能である。例えば、撮像装置（光学機器）のレンズ駆動、複写機の感光ドラムの回転駆動、ステージの駆動等の、様々な用途の駆動源に用いることができる。ここでは、一例として、振動型アクチュエータ１をレンズ鏡筒に配置されたレンズの駆動に用いた撮像装置（光学機器）について、図２７を用いて説明する。
上述した振動型アクチュエータ１，５０は、駆動によって位置決めされる部材を備える電子機器に広く適用が可能である。例えば、撮像装置（光学機器）のレンズ駆動、複写機の感光ドラムの回転駆動、ステージの駆動等の、様々な用途の駆動源に用いることができる。ここでは、一例として、振動型アクチュエータ１をレンズ鏡筒に配置されたレンズの駆動に用いた撮像装置（光学機器）について、図２７を用いて説明する。
【0080】
図２７（ａ）は、撮像装置７００の概略構成を示す上面図である。撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、撮像装置７００は、第１のレンズ群（不図示）、第２のレンズ群３２０、第３のレンズ群（不図示）、第４のレンズ群３４０、振動型駆動装置（振動型アクチュエータ）６２０，６４０を備えるレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとして、カメラ本体７３０に対して、着脱自在である。
【0081】
撮像装置７００では、振動型駆動装置６２０によって、第２のレンズ群３２０の駆動が行われ、位置決めされる。また、撮像装置７００では、振動型駆動装置６４０によって、第４のレンズ群３４０の駆動が行われ、位置決めされる。振動型駆動装置６２０，６４０はそれぞれ、振動型アクチュエータ１と、振動型アクチュエータ１の出力の変換機構とを有する。例えば、振動型駆動装置６２０を構成する被駆動体（ロータ２１）の回転を、ギア等により、光軸方向の直進運動に変換し、第２のレンズ群３２０の光軸方向における位置を調整する。振動型駆動装置６４０についても、同様の構成とすることができる。
【0082】
図２７（ｂ）は、撮像装置７００の概略構成を示すブロック図である。第１のレンズ群３１０、第２のレンズ群３２０、第３のレンズ群３３０、第４のレンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０が、レンズ鏡筒７４０内部の光軸上の所定位置に配置されている。第１のレンズ群３１０～第４のレンズ群３４０と光量調節ユニット３５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像する。撮像素子７１０は、光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。
【0083】
カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して、増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介して、ＣＰＵ７９０に接続されていると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介して、ＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じて、ＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。
【0084】
ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動型駆動装置６２０，６４０及びメータ６３０を制御することによって、第２のレンズ群３２０、第４のレンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０の光軸方向位置を調整する。
【0085】
ＣＰＵ７９０による制御下において、振動型駆動装置６２０は、第２のレンズ群３２０を光軸方向に移動させ、振動型駆動装置６４０は、第４のレンズ群３４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット３５０は、メータ６３０により駆動制御される。
【0086】
振動型駆動装置６２０により駆動される第２のレンズ群３２０の光軸方向位置は、第１のリニアエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型駆動装置６２０の駆動にフィードバックされる。同様に、振動型駆動装置６４０により駆動される第４のレンズ群３４０の光軸方向位置は、第２のリニアエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型駆動装置６４０の駆動にフィードバックされる。
【0087】
光量調節ユニット３５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされる。振動型アクチュエータ１を備える振動型駆動装置６２０，６４０を用いることにより、撮像装置７００のレンズ等を精度よく効率的に駆動することが可能となる。
【0088】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。さらに、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【0089】
１，５０ 振動波モータ（振動型アクチュエータ）
２ ステータユニット
７ ロータユニット
５ 振動体ユニット
６ 振動子
３１ 加圧ばね（加圧部材）
７１ ロータ（接触体）
１３，１３Ａ，２３，３３，４３，４３Ａ，５３，６３ 保持部材
１３ｂ１，２３ｂ１，３３ｂ１，４３ｂ１，４３Ａｂ 第１の嵌合凹部
１３ｂ２，２３ｂ２，３３ｂ２ ４３ｂ２ 第２の嵌合凹部
１３ｂ３，２３ｂ３，３３ｂ３ 第３の嵌合凹部
１３ｄ ガイド凸部（支持部）
１７，２７，３７，４７，５７，６７ 基台
１７ｂ１，２７ｂ１，３７ｂ１，４７ｂ１，５７ｂ１ 第１の嵌合凸部
１７ｂ２，２７ｂ２，３７ｂ２，４７ｂ２，５７ｂ２ 第２の嵌合凸部
１７ｂ３，２７ｂ３，３７ｂ３，５７ｂ３ 第３の嵌合凸部
Ｃ１１，Ｃ２１，Ｃ３１，Ｃ４１ 第１の接触面
Ｃ１２，Ｃ２２，Ｃ３２，Ｃ４２ 第２の接触面
Ｃ１３，Ｃ２３，Ｃ３３ 第３の接触面
２ ステータユニット
７ ロータユニット
５ 振動体ユニット
６ 振動子
３１ 加圧ばね（加圧部材）
７１ ロータ（接触体）
１３，１３Ａ，２３，３３，４３，４３Ａ，５３，６３ 保持部材
１３ｂ１，２３ｂ１，３３ｂ１，４３ｂ１，４３Ａｂ 第１の嵌合凹部
１３ｂ２，２３ｂ２，３３ｂ２ ４３ｂ２ 第２の嵌合凹部
１３ｂ３，２３ｂ３，３３ｂ３ 第３の嵌合凹部
１３ｄ ガイド凸部（支持部）
１７，２７，３７，４７，５７，６７ 基台
１７ｂ１，２７ｂ１，３７ｂ１，４７ｂ１，５７ｂ１ 第１の嵌合凸部
１７ｂ２，２７ｂ２，３７ｂ２，４７ｂ２，５７ｂ２ 第２の嵌合凸部
１７ｂ３，２７ｂ３，３７ｂ３，５７ｂ３ 第３の嵌合凸部
Ｃ１１，Ｃ２１，Ｃ３１，Ｃ４１ 第１の接触面
Ｃ１２，Ｃ２２，Ｃ３２，Ｃ４２ 第２の接触面
Ｃ１３，Ｃ２３，Ｃ３３ 第３の接触面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】