特許 7598088 紫外線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-03

(45)【発行日】2024-12-11

(54)【発明の名称】紫外線照射装置

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/12 20060101AFI20241204BHJP

   A61L 2/10 20060101ALN20241204BHJP

【ＦＩ】

B01J19/12 C

A61L2/10

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2020195726

(22)【出願日】2020-11-26

(65)【公開番号】P2022084101

(43)【公開日】2022-06-07

【審査請求日】2023-08-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000003757

【氏名又は名称】東芝ライテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100146592

【弁理士】

【氏名又は名称】市川 浩

(74)【代理人】

【氏名又は名称】白井 達哲

(74)【代理人】

【識別番号】100176751

【弁理士】

【氏名又は名称】星野 耕平

(72)【発明者】

【氏名】原 拓也

【審査官】隅川 佳星

(56)【参考文献】

【文献】実開昭５５－０１２９５９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１３－１７１８８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０２６７５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１６－５３１７３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１８３２３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０７１２３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０７９７５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１５３３７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／０４００３９（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ａ６１Ｌ ２／１０ － １２／１４

Ｂ０１Ｊ １０／００ － １９／３２

Ｆ２１Ｋ ９／００ － ４５／７０

Ｆ２１Ｓ ２／００

Ｆ２１Ｖ ２９／５０３

Ｈ０５Ｋ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

収納部と；
前記収納部の内部に設けられ、紫外線を照射可能な発光素子を有する発光部と；
前記収納部の内部に設けられ、前記発光部が設けられるベースと、前記ベースの、前記発光部が設けられる側とは反対側に設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；
前記収納部の内部において、前記複数のフィンと隙間を介して設けられ、前記複数のフィンに気体を供給可能な送風部と；
を具備し、
前記複数のフィンが並ぶ方向と交差する方向において、前記収納部の一対の側面のそれぞれには、少なくとも１つの孔が設けられ、
前記孔は、前記収納部の一対の前記側面のそれぞれの、前記複数のフィンと対向する位置に設けられ、
前記収納部の内部であって、前記収納部の一対の前記側面のそれぞれの、前記孔と対向する位置には、板状を呈し、前記収納部の外部側に向かうに従い前記発光部から離れる方向に傾斜する羽板が設けられている紫外線照射装置。

【請求項2】

前記羽板は、前記収納部に対して、回転自在に設けられている請求項１記載の紫外線照射装置。

【請求項3】

前記収納部の、前記発光部が設けられる側の端部に設けられ、前記発光素子から照射された前記紫外線を透過可能な窓をさらに備え、
前記羽板の、前記収納部の内部側の端部と、前記窓の前記紫外線の出射面との間の距離をＬ１（ｍｍ）、前記羽板の、前記収納部の外部側の端部と、前記窓の紫外線の出射面との間の距離をＬ２（ｍｍ）とした場合に、以下の式を満足する請求項１または２に記載の紫外線照射装置。

【数1】

【請求項4】

前記羽板の一方の面と、前記窓の紫外線の出射面との間の角度をθとした場合に、以下の式を満足する請求項３記載の紫外線照射装置。

【数2】

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、紫外線照射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ワークに塗布された樹脂やインクなどの硬化や乾燥、ワークの表面の改質、ワークの表面に付着した異物の分解、ワークの表面に付着した細菌やウィルスの殺菌や不活性化などのために、ワークに紫外線を照射する紫外線照射装置がある。

【0003】

この様な紫外線照射装置に設けられる光源としては、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどが用いられてきた。
近年においては、長寿命化、省エネルギー化、小型化などの観点から、高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどに代えて、紫外線を照射する発光ダイオードが用いられるようになってきている。

【0004】

ここで、発光ダイオードを点灯させると、発光ダイオードから紫外線が照射されるが、熱も発生する。発生した熱により発光ダイオードの温度が高くなると、温度上昇に伴い光量が減少する。また、発光ダイオードの温度が最大ジャンクション温度を超えると、寿命が短くなったり、故障したりするおそれがある。

【0005】

そのため、発光ダイオードが設けられる放熱フィンと、気体（例えば、空気）を放熱フィンに供給するファンとを備えた紫外線照射装置が提案されている。

【0006】

この場合、発光ダイオードはワークの近傍に設けられるため、発光ダイオードが設けられる放熱フィンも、ワークの近傍に位置することになる。そのため、放熱フィンに供給された気体が、紫外線照射装置の収納部の外部に排出された際に、ワークに到達する場合がある。排出された気体がワークに到達すると、ワークに設けられた樹脂やインクなどの位置がズレたり、紫外線照射の効果が低減したり、排出された気体に巻き込まれたゴミがワークに付着したりするおそれがある。
そこで、収納部の外部に排出された気体がワークに到達するのを抑制することができる技術の開発が望まれていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】実用新案登録３１９４２６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明が解決しようとする課題は、収納部の外部に排出された気体がワークに到達するのを抑制することができる紫外線照射装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

実施形態に係る紫外線照射装置は、収納部と；前記収納部の内部に設けられ、紫外線を照射可能な発光素子を有する発光部と；前記収納部の内部に設けられ、前記発光部が設けられるベースと、前記ベースの、前記発光部が設けられる側とは反対側に設けられた複数のフィンと、を有する放熱部と；前記収納部の内部において、前記複数のフィンと隙間を介して設けられ、前記複数のフィンに気体を供給可能な送風部と；を具備している。前記複数のフィンが並ぶ方向と交差する方向において、前記収納部の一対の側面のそれぞれには、少なくとも１つの孔が設けられている。前記孔は、前記収納部の一対の前記側面のそれぞれの、前記複数のフィンと対向する位置に設けられている。前記収納部の内部であって、前記収納部の一対の前記側面のそれぞれの、前記孔と対向する位置には、板状を呈し、前記収納部の外部側に向かうに従い前記発光部から離れる方向に傾斜する羽板が設けられている。

【発明の効果】

【0010】

本発明の実施形態によれば、収納部の外部に排出された気体がワークに到達するのを抑制することができる紫外線照射装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施の形態に係る紫外線照射装置を例示するための模式斜視図である。

【図2】図１における紫外線照射装置のＡ－Ａ線断面図である。

【図3】発光モジュールを例示するための模式斜視図である。

【図4】図３における発光モジュールをＢ方向から見た模式斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

【0013】

本実施の形態に係る紫外線照射装置１は、例えば、紫外線硬化型の樹脂（例えば、接着剤やインクなど）の硬化や乾燥、半導体装置や液晶パネルなどの製造工程における表面改質、ドライ洗浄、光配向などの各種の処理、細菌やウィルスなどの殺菌や不活性化、などの幅広い分野において用いることができる。なお、紫外線照射装置１の用途は、例示をしたものに限定されるわけではない。

【0014】

図１は、本実施の形態に係る紫外線照射装置１を例示するための模式斜視図である。
図２は、図１における紫外線照射装置１のＡ－Ａ線断面図である。
図３は、発光モジュール２を例示するための模式斜視図である。
図４は、図３における発光モジュール２をＢ方向から見た模式斜視図である。

【0015】

図１および図２に示すように、紫外線照射装置１には、例えば、発光モジュール２、回路基板３、および筐体４を設けることができる。
図２に示すように、発光モジュール２は、筐体４（収納部４０）の内部に設けることができる。
図２～図４に示すように、発光モジュール２は、例えば、発光部２１、および冷却部２２を有する。

【0016】

発光部２１は、筐体４（収納部４０）の内部に設けられ、紫外線を照射可能な発光素子２１ｂを有する。発光部２１は、窓４５の近傍に設けることができる。

【0017】

図３および図４に示すように、発光部２１は、例えば、複数設けることができる。複数の発光部２１が設けられる場合には、複数の発光部２１を一方向に並べて設けることができる。例えば、複数の発光部２１は、複数の放熱部２２ａが並ぶ方向に並べて設けることができる。

【0018】

なお、複数の発光部２１が設けられる場合を例示したが、１つの発光部２１を設けるようにしてもよい。すなわち、発光部２１は、少なくとも１つ設けることができる。
ただし、所定の大きさの発光部２１が複数設けられるようにすれば、異なる大きさの紫外線照射装置１に対して、同じ発光部２１を用いることが可能となる。また、発光素子２１ｂが故障などした際に、故障などが発生した発光素子２１ｂが設けられている発光部２１のみを交換することができる。そのため、製造コストの低減、在庫管理の容易化、メンテナンス性の向上、メンテナンス費用の低減などを図ることができる。また、発光部２１の大きさが過度に大きくなることがないので、発光部２１の製造が容易となったり、発光部２１の取り扱いが容易となったりする。

【0019】

発光部２１は、例えば、基板２１ａ、および複数の発光素子２１ｂを有する。
基板２１ａは、板状を呈している。基板２１ａの平面形状は、例えば、四角形とすることができる。基板２１ａは、単層構造を有するものであってもよいし、多層構造を有するものであってもよい。基板２１ａの、放熱部２２ａ側とは反対側の面には、図示しない配線パターンを設けることができる。配線パターンは、例えば、銀合金や銅合金などの金属から形成することができる。

【0020】

基板２１ａの材料は、例えば、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどの無機材料、紙フェノールやガラスエポキシなどの有機材料、金属板の表面を絶縁材料で被覆したメタルコア基板などとすることができる。この場合、発光素子２１ｂにおいて発生した熱の放熱を考慮すると、基板２１ａは、熱伝導率の高い材料を用いて形成することが好ましい。例えば、基板２１ａは、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどのセラミックス、高熱伝導性樹脂、メタルコア基板などから形成することができる。なお、高熱伝導性樹脂は、例えば、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）やナイロンなどの樹脂に、酸化アルミニウムなどを含むフィラーを混合させたものである。

【0021】

図４に示すように、基板２１ａは、例えば、ネジなどの締結部材を用いて、放熱部２２ａのベース２２ａ１に取り付けることができる。この場合、基板２１ａとベース２２ａ１との間に、弾性を有する伝熱シートを設けることができる。また、基板２１ａとベース２２ａ１との間に、シリコーングリスなどからなる層を設けることもできる。

【0022】

弾性を有する伝熱シートや、シリコーングリスからなる層などが設けられていれば、基板２１ａとベース２２ａ１との間に隙間が生じるのを抑制することができるので、発光素子２１ｂにおいて発生した熱が放熱部２２ａに伝わり易くなる。そのため、放熱部２２ａによる放熱効果を向上させることができる。

【0023】

発光素子２１ｂは、高圧水銀ランプなどに比べて寿命が長いが、経時的に光量が減少する。また、発光素子２１ｂが故障することも考えられる。締結部材により、基板２１ａが放熱部２２ａのベース２２ａ１に着脱自在に設けられていれば、発光部２１の交換などが容易となる。

【0024】

また、基板２１ａは、例えば、熱伝導率の高い接着剤などを用いて、放熱部２２ａのベース２２ａ１に接着することもできる。熱伝導率の高い接着剤は、例えば、無機材料を含むフィラーが混合された接着剤とすることができる。無機材料は、例えば、酸化アルミニウムや窒化アルミニウムなどのセラミックスとすることができる。

【0025】

熱伝導率の高い接着剤を用いて、基板２１ａが放熱部２２ａのベース２２ａ１に接着されていれば、基板２１ａとベース２２ａ１との間に隙間が生じるのを抑制することができるので、発光素子２１ｂにおいて発生した熱が放熱部２２ａに伝わり易くなる。また、発光部２１の構成が簡易化なものとなる。

【0026】

複数の発光素子２１ｂは、基板２１ａの、放熱部２２ａ側とは反対側の面に設けられている。複数の発光素子２１ｂは、基板２１ａの表面に設けられた配線パターンに電気的に接続されている。複数の発光素子２１ｂの光の出射面は、窓４５に向けられている。複数の発光素子２１ｂから出射した紫外線は、窓４５（透光部４５ｂ）を介して紫外線照射装置１の外部に照射される。

【0027】

複数の発光素子２１ｂは、並べて設けられている。例えば、図４に示すように、複数の発光素子２１ｂは、マトリクス状に並べて設けることができる。複数の発光素子２１ｂの配設形態や数は、図４に例示をしたものに限定されるわけではなく、紫外線照射装置１の大きさや用途などに応じて適宜変更することができる。

【0028】

複数の発光素子２１ｂは、紫外線を照射可能なものであれば特に限定はない。
複数の発光素子２１ｂは、例えば、発光ダイオード、レーザダイオードなどとすることができる。

【0029】

複数の発光素子２１ｂは、例えば、チップ状の発光素子とすることができる。この場合、複数の発光素子２１ｂは、ＣＯＢ（Chip On Board）により実装パッドに実装することができる。また、複数の発光素子２１ｂを覆う封止部を設けることができる。

【0030】

また、複数の発光素子２１ｂは、例えば、表面実装型の発光素子とすることもできる。また、複数の発光素子２１ｂは、例えば、砲弾型などのリード線を有する発光素子とすることもできる。
ただし、複数の発光素子２１ｂがチップ状の発光素子であれば、狭い領域に多くの発光素子２１ｂを設けることができる。そのため、発光部２１の小型化、ひいては紫外線照射装置１の小型化を図ることができる。

【0031】

冷却部２２は、例えば、放熱部２２ａ、および送風部２２ｂを有する。
図３および図４に示す様に、放熱部２２ａは、例えば、複数設けることができる。複数の放熱部２２ａが設けられる場合には、複数の放熱部２２ａを一方向に並べて設けることができる。

【0032】

なお、複数の放熱部２２ａが設けられる場合を例示したが、１つの放熱部２２ａを設けるようにしてもよい。すなわち、放熱部２２ａは、少なくとも１つ設けることができる。 ただし、所定の大きさの放熱部２２ａが複数設けられるようにすれば、異なる大きさの紫外線照射装置１に対して、同じ放熱部２２ａを用いることが可能となる。そのため、製造コストの低減や在庫管理の容易化などを図ることができる。また、放熱部２２ａの大きさが過度に大きくなることがないので、放熱部２２ａの製造が容易となったり、放熱部２２ａの取り扱いが容易となったりする。

【0033】

放熱部２２ａは、例えば、ベース２２ａ１、および、複数のフィン２２ａ２を有する。 ベース２２ａ１、および、複数のフィン２２ａ２は、熱伝導率の高い材料から形成することができる。例えば、ベース２２ａ１、および、複数のフィン２２ａ２は、アルミニウム合金などの金属から形成することができる。ベース２２ａ１、および、複数のフィン２２ａ２は、例えば、ダイカスト(die casting)法などを用いて、一体に形成することができる。

【0034】

ベース２２ａ１は、板状を呈している。ベース２２ａ１の平面形状は、例えば、略四角形とすることができる。ベース２２ａ１は、例えば、筐体４の収納部４０の内壁に取り付けることができる。ベース２２ａ１には、発光部２１（基板２１ａ）が設けられる。

【0035】

複数のフィン２２ａ２は、薄板状を呈し、ベース２２ａ１の、発光部２１が設けられる側とは反対側に設けられている。図３および図４に示すように、例えば、複数のフィン２２ａ２は、複数の発光部２１が並ぶ方向に並べて設けることができる。

【0036】

送風部２２ｂは、複数のフィン２２ａ２に気体を供給する。気体は、例えば、紫外線照射装置１が設置された雰囲気に含まれている気体とすることができる。気体は、例えば、空気などである。

【0037】

図２に示すように、送風部２２ｂは、筐体４（収納部４０）の内部に設けることができる。送風部２２ｂは、例えば、ブラケット２２１ｂ１を介して、筐体４の収納部４０の内壁に取り付けることができる。送風部２２ｂは、複数のフィン２２ａ２の、ベース２２ａ１側とは反対側に設けることができる。この場合、送風部２２ｂと複数のフィン２２ａ２との間には所定の隙間を設けることができる。送風部２２ｂと複数のフィン２２ａ２との間に隙間が設けられていれば、複数のフィン２２ａ２に供給される気体の量に偏りが生じるのを抑制することができる。

【0038】

なお、送風部２２ｂは、例えば、筐体４（収納部４０）の外部に設けることもできる。ただし、送風部２２ｂが筐体４（収納部４０）の内部に設けられていれば、送風部２２ｂと放熱部２２ａとの間の距離を短くすることができるので、冷却効率を向上させることができる。また、送風部２２ｂから排出された気体を、収納部４０の内壁により放熱部２２ａに導くことができる。すなわち、送風部２２ｂから排出された気体が拡散するのを抑制することができる。そのため、送風部２２ｂから排出された気体を、複数のフィン２２ａ２に効率よく供給することができる。

【0039】

送風部２２ｂには、特に限定はないが、例えば、軸流ファンとすることができる。送風部２２ｂが軸流ファンであれば、気体の供給量を多くすることができるので、冷却効率を向上させることができる。

【0040】

送風部２２ｂは、例えば、１つの放熱部２２ａに対して少なくとも１つ設けることができる。例えば、図３に例示をしたものの場合には、１つの放熱部２２ａに対して、１つの送風部２２ｂが設けられている。送風部２２ｂの数は、放熱部２２ａの大きさや、発光部２１における発熱量などに応じて適宜変更することができる。

【0041】

図２に示すように、回路基板３は、筐体４（収納部４０）の内部に設けることができる。回路基板３は、例えば、発光モジュール２の、窓４５側とは反対側に設けることができる。回路基板３は、例えば、筐体４の収納部４０の内壁に取り付けることができる。

【0042】

回路基板３は、例えば、紫外線照射装置１に設けられた要素の制御を行う。回路基板３は、複数の発光素子２１ｂの点灯と消灯とを切り替えたり、送風部２２ｂによる気体の供給と供給の停止とを切り替えたりすることができる。

【0043】

筐体４は、例えば、収納部４０、蓋４１、コネクタ４２、コネクタ４３、フィルタ４４、窓４５、およびを羽板４６有する。
収納部４０は、箱状を呈し、内部に、例えば、発光モジュール２および回路基板３を収納する空間を有する。

【0044】

図１および図２に示すように、収納部４０の外観は、例えば、略直方体や、略立方体とすることができる。この様な形態を有する収納部４０とすれば、複数の紫外線照射装置１を近接させて設けることが容易となる。収納部４０は、例えば、図１に示すように、骨組み構造体にパネルをネジ止めしてもよいし、射出成形法などを用いて筒状の収納部４０を一体に成形してもよい。

【0045】

複数のフィン２２ａ２が並ぶ方向と交差する方向において、収納部４０の、一対の側面４０ａのそれぞれには、少なくとも１つの孔４０ｂを設けることができる。複数の孔４０ｂを設ける場合には、複数の孔４０ｂを、複数のフィン２２ａ２が並ぶ方向、および、複数のフィン２２ａ２が並ぶ方向と交差する方向、の少なくともいずれかの方向に並べて設けることができる。

【0046】

送風部２２ｂから複数のフィン２２ａ２に供給された気体は、複数のフィン２２ａ２同士の間の隙間を流れ、孔４０ｂを介して紫外線照射装置１の外部に排出される。そのため、孔４０ｂは、気体の流れ１０１が円滑となるような位置に設けることが好ましい。例えば、孔４０ｂは、収納部４０の側面４０ａの、複数のフィン２２ａ２と対向する位置に設けることができる。側面４０ａに垂直な方向から見た場合に、孔４０ｂの内部には、フィン２２ａ２を露出させることができる。

【0047】

孔４０ｂは、例えば、複数のフィン２２ａ２が並ぶ方向に延びた形状を有する。孔４０ｂの平面形状は、例えば、略長方形とすることができる。この様にすれば、側面４０ａに垂直な方向から見た場合に、孔４０ｂの内部に複数のフィン２２ａ２を露出させることができるので、冷却効率を向上させることができる。

【0048】

収納部４０の材料には特に限定はない。例えば、収納部４０は、金属などの熱伝導率の高い材料から形成することができる。熱伝導率の高い材料を用いて収納部４０を形成すれば、発光部２１において発生した熱を、収納部４０を介して外部に放出することが容易となる。
また、収納部４０は、樹脂などから形成することもできる。樹脂などを用いて収納部４０を形成すれば、軽量化や製造コストの低減などを図ることができる。

【0049】

蓋４１は、収納部４０の、発光モジュール２が設けられる側とは反対側の端部に設けることができる。蓋４１は、例えば、板状を呈し、収納部４０の端部の開口を覆うように設けられている。蓋４１の材料には、特に限定はない。蓋４１は、例えば、金属や樹脂などから形成することができる。

【0050】

蓋４１には、例えば、コネクタ４２、コネクタ４３、およびフィルタ４４などを設けることができる。
コネクタ４２は、例えば、紫外線照射装置１の外部に設けられた制御装置などと、回路基板３とを電気的に接続するために設けることができる。コネクタ４２は、例えば、通信用のコネクタなどとすることができる。

【0051】

コネクタ４３は、例えば、紫外線照射装置１の外部に設けられた電源などと、回路基板３とを電気的に接続するために設けることができる。コネクタ４３は、例えば、電力用のコネクタなどとすることができる。

【0052】

なお、コネクタ４２、４３が蓋４１に設けられる場合を例示したが、コネクタ４２、４３は、収納部４０の側面などに設けてもよい。ただし、コネクタ４２、４３が蓋４１に設けられていれば、複数の紫外線照射装置１を近接させて設けることが容易となる。

【0053】

フィルタ４４は、少なくとも１つ設けることができる。送風部２２ｂによる気体の供給が行われると、収納部４０の外部にある気体が、フィルタ４４を介して収納部４０の内部に導入される。フィルタ４４が設けられていれば、紫外線照射装置１が設置された雰囲気に含まれているゴミなどが、収納部４０の内部に侵入するのを抑制することができる。また、収納部４０の内部にゴミなどが侵入するのを抑制することができれば、紫外線照射装置１からの排気にゴミなどが含まれるのを抑制することができる。そのため、ゴミなどが、ワーク１００に付着するのを抑制することができる。

【0054】

窓４５は、収納部４０の、発光部２１が設けられる側の端部に設けることができる。窓４５は、収納部４０の端部の開口を覆うように設けられている。
図２に示すように、窓４５は、例えば、枠部４５ａ、および透光部４５ｂを有する。

【0055】

枠部４５ａは、例えば、板状を呈し、収納部４０の端部に取り付けられている。枠部４５ａの中央には、孔４５ａ１が設けられている。孔４５ａ１は、枠部４５ａを厚み方向に貫通している。孔４５ａ１は、複数の発光素子２１ｂが設けられる領域と対向する位置に設けることができる。

【0056】

枠部４５ａは、例えば、紫外線を透過せず、紫外線に対する耐性を有する材料から形成することができる。枠部４５ａは、例えば、金属や樹脂などから形成することができる。

【0057】

透光部４５ｂは、孔４５ａ１の内部に設けられている。透光部４５ｂは、例えば、紫外線を透過し、紫外線に対する耐性を有する材料から形成することができる。透光部４５ｂは、例えば、紫外線透過ガラス（ultraviolet transmitting glass）、アクリル樹脂などから形成することができる。

【0058】

透光部４５ｂは、例えば、枠部４５ａに接着したり、ネジ止めしたりすることができる。また、インサート成形法や二色成形法などを用いて、枠部４５ａおよび透光部４５ｂを一体に形成することもできる。

【0059】

ここで、前述したように、複数のフィン２２ａ２同士の間の隙間を流れた気体は、孔４０ｂを介して紫外線照射装置１の外部に排出される。紫外線照射装置１の外部に排出された気体は拡散するので、一部がワーク１００に到達するおそれがある。

【0060】

また、ワーク１００に到達する紫外線の強度を考慮すると、紫外線照射装置１とワーク１００との間の距離は小さくすることが好ましい。また、送風部２２ｂが複数のフィン２２ａ２の近傍に設けられていると、送風部２２ｂから排出された気体を、複数のフィン２２ａ２に効率よく供給することができるが、流速の速い気体が紫外線照射装置１から排出されることになる。これらのような場合には、紫外線照射装置１の外部に排出された気体の一部が、ワーク１００にさらに到達し易くなる。

【0061】

気体がワーク１００に到達すると、ワーク１００に設けられた、樹脂やインクなどの位置がズレたり、紫外線照射の効果が低減したり、排出された気体に巻き込まれたゴミがワーク１００に付着したりするおそれがある。

【0062】

そこで、本実施の形態に係る紫外線照射装置１には、羽板４６が設けられている。
羽板４６は、板状を呈し、例えば、図２に示すように、収納部４０の内部に設けることができる。羽板４６は、孔４０ｂと対向する位置に設けることができる。羽板４６は、窓４５（透光部４５ｂ）の紫外線の出射面、ひいてはワーク１００の表面に対して傾斜している。羽板４６の、収納部４０の内部側の端部と、窓４５（透光部４５ｂ）の、紫外線の出射面との間の距離をＬ１（ｍｍ）とし、羽板４６の、収納部４０の外部側の端部と、窓４５（透光部４５ｂ）の、紫外線の出射面との間の距離をＬ２（ｍｍ）とした場合に、「Ｌ１（ｍｍ）＜Ｌ２（ｍｍ）」とすることができる。

【0063】

この様な傾斜を有する羽板４６が設けられていれば、紫外線照射装置１から排出される気体の流れ１０１を、ワーク１００から離れる方向に向けることができる。そのため、排出された気体の一部が、ワーク１００に到達するのを抑制することができる。

【0064】

この場合、平板状を呈する羽板４６とし、羽板４６の一方の面と、窓４５（透光部４５ｂ）の紫外線の出射面との間の角度をθとした場合、角度θが小さすぎると、排出された気体の一部が、ワーク１００に到達するおそれがある。一方、角度θが大きすぎると、気体の排出抵抗が大きくなり、放熱部２２ａにおける冷却効率が低下するおそれがある。

【0065】

本発明者の得た知見によれば、「３０°≦θ≦６０°」とすれば、排出された気体の一部が、ワーク１００に到達するのを抑制することができ、且つ、放熱部２２ａにおける冷却効率を向上させることができる。

【0066】

また、「３０°≦θ≦６０°」の範囲において、角度θを大きくすれば、排出された気体の一部が、ワーク１００に到達し難くなる。角度θを小さくすれば、放熱部２２ａにおける冷却効率を高くすることができる。そのため、紫外線照射装置１とワーク１００との間の距離や、発光素子２１ｂの発熱量と数などに応じて、角度θを適宜変更することもできる。

【0067】

この場合、羽板４６が、収納部４０に対して、回転自在に設けられていれば、状況に応じて角度θを調整するのが容易となる。例えば、羽板４６の、長手方向の両端に軸を設け、収納部４０の内壁に軸を支持する軸受けを設けることができる。

【0068】

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

【符号の説明】

【0069】

１ 紫外線照射装置、２ 発光モジュール、３ 回路基板、４ 筐体、２１ 発光部、２１ａ 基板、２１ｂ 発光素子、２２ 冷却部、２２ａ 放熱部、２２ａ２ フィン、２２ｂ 送風部、４０ 収納部、４０ａ 側面、４０ｂ 孔、４５ 窓、４５ｂ 透光部、４６ 羽板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】