特許 7598396 真空ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-03

(45)【発行日】2024-12-11

(54)【発明の名称】真空ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20241204BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 H

F04D19/04 G

F04D19/04 E

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023008521

(22)【出願日】2023-01-24

(65)【公開番号】P2024104364

(43)【公開日】2024-08-05

【審査請求日】2024-01-31

(73)【特許権者】

【識別番号】508275939

【氏名又は名称】エドワーズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100097559

【弁理士】

【氏名又は名称】水野 浩司

(74)【代理人】

【識別番号】100123674

【弁理士】

【氏名又は名称】松下 亮

(74)【代理人】

【識別番号】100173680

【弁理士】

【氏名又は名称】納口 慶太

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 健太郎

(72)【発明者】

【氏名】三輪田 透

(72)【発明者】

【氏名】中辻 重義

【審査官】石黒 雄一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２２－１５８１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２２／１３１０３５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－１４８１５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１１５２６３７７６（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｂ １／００－５３／２２

Ｆ０４Ｃ ２／００－２９／１２

Ｆ０４Ｄ １／００－３５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

吸気口及び排気口のうち少なくとも前記排気口が設けられた、ケーシングと、
前記ケーシング及び前記排気口のうち少なくとも前記ケーシングの一部を高温とする加熱手段と、
を備えた真空ポンプであって、
前記真空ポンプは、
前記ケーシングの側面を覆う、環状かつ薄板状の側面カバーと、
前記排気口の周囲を覆う、薄板状の排気口カバーと、
を有し、
前記排気口カバーは、前記側面カバーとは別部品であり、かつ、前記側面カバーが取り付けられた状態でも脱着可能であることを特徴とする真空ポンプ。

【請求項2】

前記排気口カバーは、前記排気口の周囲を囲う様にほぼ一周をカバーし、かつ、少なくとも２部品で構成されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記排気口カバーは、前記排気口の中心を通る中心線に対して、線対称に分割された構造であることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記側面カバーまたは前記排気口カバーと、前記ケーシングとの間に空隙を有し、
前記空隙において、前記側面カバーまたは前記排気口カバーの変形を低減させる強度向上対策が施されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記強度向上対策は、前記側面カバーまたは前記排気口カバーにおいて、少なくとも一端が前記ケーシング側に折り曲げられている構造を用いたものであることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

前記強度向上対策は、前記ケーシングと、前記側面カバーまたは前記排気口カバーとの間に配置された支柱構造を用いたものであることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

前記ケーシングにおいて、前記側面カバーまたは前記排気口カバーが配置される部分は、温度調整手段により、温度調整されていることを特徴とする請求項１～６の何れか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項8】

前記ケーシングは、前記真空ポンプ内の排気流路の真空を確保する構造体である内側ケーシングと、該内側ケーシングの周囲を覆う外側ケーシングの二重構造で形成されることを特徴とする請求項１～６の何れか一項に記載の真空ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばターボ分子ポンプ等の真空ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、真空ポンプの一種としてターボ分子ポンプが知られている。このターボ分子ポンプにおいては、ポンプ本体内のモータへの通電により回転翼を回転させ、ポンプ本体に吸い込んだガス（プロセスガス）の気体分子（ガス分子）を弾き飛ばすことによりガスを排気するようになっている。また、このようなターボ分子ポンプには、ポンプ内の温度を適切に管理するために、ヒータや冷却管を備えたタイプのものがある。

【0003】

また、後掲の特許文献１（段落０００５、０００６など）には、ベースを、空気断熱層を介して覆うカバー部材を備え、ユーザが高温部に触れる危険を回避することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０２２－１５８１４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１（段落００２９など）には、カバー部材によりベースの外周側を覆ってユーザが高温部であるベースに触れる危険性を回避することや、カバー部材に熱を伝えないようにすること、及び、カバー部材を冷却すること等が開示されている。しかし、真空ポンプの安全性をより一層向上するためには、さらなる改良が必要である。

【0006】

本発明の目的とするところは、安全性をより一層向上することが可能な真空ポンプを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために本発明に係る真空ポンプは、
吸気口及び排気口のうち少なくとも前記排気口が設けられた、ケーシングと、
前記ケーシング及び前記排気口のうち少なくとも前記ケーシングの一部を高温とする加熱手段と、
を備えた真空ポンプであって、
前記真空ポンプは、
前記ケーシングの側面を覆う、環状かつ薄板状の側面カバーと、
前記排気口の周囲を覆う、薄板状の排気口カバーと、
を有し、
前記排気口カバーは、前記側面カバーとは別部品であり、かつ、前記側面カバーが取り付けられた状態でも脱着可能であることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

上記発明によれば、安全性をより一層向上することが可能な真空ポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態に係るターボ分子ポンプの構成を模式的に示す説明図である。

【図2】アンプ回路の回路図である。

【図3】電流指令値が検出値より大きい場合の制御を示すタイムチャートである。

【図4】電流指令値が検出値より小さい場合の制御を示すタイムチャートである。

【図5】図１と同じターボ分子ポンプの構成を異なる部位に符号を付して示す説明図である。

【図6】ターボ分子ポンプの排気ポート１５が設けられた側を示す側面図である。

【図7】ターボ分子ポンプを、排気ポート１５が設けられた側を背後にして示す側面図である。

【図8】図６のターボ分子ポンプを、第２排気口カバー部品２２２Ｂと第２側面カバー部品２２４Ｂとを取り外して示す側面図である。

【図9】図７のターボ分子ポンプを、第２側面カバー部品２２４Ｂを取り外して示す側面図である。

【図10】（ａ）は第２排気口カバー部品２２２Ｂを示す斜視図、（ｂ）は第２側面カバー部品２２４Ｂを示す斜視である。

【図11】変形例のターボ分子ポンプの構成を模式的に示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプについて、図面に基づき説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプとしてのターボ分子ポンプ１００を示している。このターボ分子ポンプ１００は、例えば、半導体製造装置等のような対象機器の真空チャンバ（図示略）に接続されるようになっている。

【0011】

＜＜ターボ分子ポンプ１００の基本構成＞＞
このターボ分子ポンプ１００の縦断面図を図１に示す。図１において、ターボ分子ポンプ１００は、円筒状の外筒１２７の上端に吸気口１０１が形成されている。そして、外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードである複数の回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３が備えられている。この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。

【0012】

上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４の近接に、かつ上側径方向電磁石１０４のそれぞれに対応されて４個の上側径方向センサ１０７が備えられている。上側径方向センサ１０７は、例えば伝導巻線を有するインダクタンスセンサや渦電流センサなどが用いられ、ロータ軸１１３の位置に応じて変化するこの伝導巻線のインダクタンスの変化に基づいてロータ軸１１３の位置を検出する。この上側径方向センサ１０７はロータ軸１１３、すなわちそれに固定された回転体１０３の径方向変位を検出し、破線で示す制御装置２００に送るように構成されている。

【0013】

この制御装置２００においては、例えばＰＩＤ調節機能を有する補償回路が、上側径方向センサ１０７によって検出された位置信号に基づいて、上側径方向電磁石１０４の励磁制御指令信号を生成し、図２に示すアンプ回路１５０（後述する）が、この励磁制御指令信号に基づいて、上側径方向電磁石１０４を励磁制御することで、ロータ軸１１３の上側の径方向位置が調整される。

【0014】

そして、このロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄、ステンレスなど）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。

【0015】

さらに、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク（「アーマチャディスク」ともいう）１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向位置信号が制御装置２００に送られるように構成されている。

【0016】

そして、制御装置２００において、例えばＰＩＤ調節機能を有する補償回路が、軸方向センサ１０９によって検出された軸方向位置信号に基づいて、軸方向電磁石１０６Ａと軸方向電磁石１０６Ｂのそれぞれの励磁制御指令信号を生成し、アンプ回路１５０が、これらの励磁制御指令信号に基づいて、軸方向電磁石１０６Ａと軸方向電磁石１０６Ｂをそれぞれ励磁制御することで、軸方向電磁石１０６Ａが磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂが金属ディスク１１１を下方に吸引し、ロータ軸１１３の軸方向位置が調整される。

【0017】

このように、制御装置２００は、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。なお、これら上側径方向電磁石１０４、下側径方向電磁石１０５及び軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂを励磁制御するアンプ回路１５０については、後述する。

【0018】

一方、モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各磁極は、ロータ軸１１３との間に作用する電磁力を介してロータ軸１１３を回転駆動するように、制御装置２００によって制御されている。また、モータ１２１には図示しない例えばホール素子、レゾルバ、エンコーダなどの回転速度センサが組み込まれており、この回転速度センサの検出信号によりロータ軸１１３の回転速度が検出されるようになっている。

【0019】

さらに、例えば下側径方向センサ１０８近傍に、図示しない位相センサが取り付けてあり、ロータ軸１１３の回転の位相を検出するようになっている。制御装置２００では、この位相センサと回転速度センサの検出信号を共に用いて磁極の位置を検出するようになっている。

【0020】

回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）とわずかの空隙（所定の間隔）を隔てて複数枚の固定翼１２３（１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・）が配設されている。回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。

【0021】

また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。そして、固定翼１２３の外周端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５（１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・）の間に嵌挿された状態で支持されている。

【0022】

固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設されている。ベース部１２９には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。チャンバ（真空チャンバ）側から吸気口１０１に入ってベース部１２９に移送されてきた排気ガスは、排気口１３３へと送られる。

【0023】

さらに、ターボ分子ポンプ１００の用途によって、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間には、ネジ付スペーサ１３１が配設される。ネジ付スペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝（図示略）が複数条刻設されている。ネジ溝（図示略）の螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。回転体１０３の回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）が形成された回転体本体１０３ａの下部には回転体下部円筒部１０３ｂが垂下されている。この回転体下部円筒部１０３ｂの外周面は、円筒状で、かつネジ付スペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付スペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。回転翼１０２および固定翼１２３によってネジ溝（図示略）に移送されてきた排気ガスは、ネジ溝（図示略）に案内されつつベース部１２９へと送られる。このように、ネジ付スペーサ１３１と、これに対向する回転体下部円筒部１０３ｂは、ホルベック型排気機構部を構成する。ホルベック型排気機構部は、ネジ付スペーサ１３１に対する回転体下部円筒部１０３ｂの回転により、排気ガスに方向性を与え、ターボ分子ポンプ１００の排気特性を向上する。

【0024】

ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。ベース部１２９はターボ分子ポンプ１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。

【0025】

かかる構成において、回転翼１０２がロータ軸１１３と共にモータ１２１により回転駆動されると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバから排気ガスが吸気される。吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。このとき、排気ガスが回転翼１０２に接触する際に生ずる摩擦熱や、モータ１２１で発生した熱の伝導などにより、回転翼１０２の温度は上昇するが、この熱は、輻射又は排気ガスの気体分子（ガス分子）などによる伝導により固定翼１２３側に伝達される。

【0026】

固定翼スペーサ１２５は、外周部で互いに接合しており、固定翼１２３が回転翼１０２から受け取った熱や排気ガスが固定翼１２３に接触する際に生ずる摩擦熱などを外部へと伝達する。

【0027】

なお、上記では、ネジ付スペーサ１３１は回転体１０３の回転体下部円筒部１０３ｂの外周に配設し、ネジ付スペーサ１３１の内周面にネジ溝（図示略）が刻設されているとして説明した。しかしながら、これとは逆に回転体下部円筒部１０３ｂの外周面にネジ溝が刻設され、その周囲に円筒状の内周面を有するスペーサが配置される場合もある。

【0028】

また、ターボ分子ポンプ１００の用途によっては、吸気口１０１から吸引されたガスが上側径方向電磁石１０４、上側径方向センサ１０７、モータ１２１、下側径方向電磁石１０５、下側径方向センサ１０８、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂ、軸方向センサ１０９などで構成される電装部に侵入することのないよう、電装部は周囲をステータコラム１２２で覆われ、このステータコラム１２２内はパージガス（保護ガス）にて所定圧に保たれる場合もある。

【0029】

この場合には、ベース部１２９にはパージガス導入用配管（「パージガスポート」ともいう、図示略）が配設され、この配管を通じてパージガスが導入される。導入されたパージガスは、保護ベアリング１２０とロータ軸１１３間、モータ１２１のロータとステータ間、ステータコラム１２２と回転翼１０２の内周側円筒部（回転体下部円筒部１０３ｂ）やベース部１２９との間の隙間を通じて排気口１３３へ送出される。

【0030】

ここに、ターボ分子ポンプ１００は、機種の特定と、個々に調整された固有のパラメータ（例えば、機種に対応する諸特性）に基づいた制御を要する。この制御パラメータを格納するために、上記ターボ分子ポンプ１００は、その本体内に電子回路部を備えている。電子回路部は、ＥＥＰ－ＲＯＭ等の半導体メモリ及びそのアクセスのための半導体素子等の電子部品、それらの実装用の基板から構成される。この電子回路部は、ターボ分子ポンプ１００の下部を構成するベース部１２９の例えば中央付近の図示しない回転速度センサの下部に収容され、気密性の底蓋１４５によって閉じられている。

【0031】

ところで、半導体の製造工程では、チャンバに導入されるプロセスガスの中には、その圧力が所定値よりも高くなり、或いは、その温度が所定値よりも低くなると、固体となる性質を有するものがある。ターボ分子ポンプ１００内部では、排気ガスの圧力は、吸気口１０１で最も低く排気口１３３で最も高い。プロセスガスが吸気口１０１から排気口１３３へ移送される途中で、その圧力が所定値よりも高くなったり、その温度が所定値よりも低くなったりすると、プロセスガスは、固体状となり、ターボ分子ポンプ１００内部に付着して堆積する。

【0032】

例えば、Ａｌエッチング装置にプロセスガスとしてＳｉＣｌ_４が使用された場合、低真空（７６０［ｔｏｒｒ］～１０^－２［ｔｏｒｒ］）かつ、低温（約２０［℃］）のとき、固体生成物（例えばＡｌＣｌ_３）が析出し、ターボ分子ポンプ１００内部に付着堆積することが蒸気圧曲線からわかる。これにより、ターボ分子ポンプ１００内部にプロセスガスの析出物が堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプ１００の性能を低下させる原因となる。そして、前述した生成物は、排気口付近やネジ付スペーサ１３１付近の圧力が高い部分で凝固、付着し易い状況にあった。

【0033】

そのため、この問題を解決するために、従来はベース部１２９等の外周に図示しないヒータや環状（リング状）の水冷管１４９を巻着させ、かつ例えばベース部１２９に図示しない温度センサ（例えばサーミスタ）を埋め込み、この温度センサの信号に基づいてベース部１２９の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つようにヒータの加熱や水冷管１４９による冷却の制御（以下ＴＭＳという。ＴＭＳ；ＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＭａｎａｇｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ）が行われている。

【0034】

次に、このように構成されるターボ分子ポンプ１００に関して、その上側径方向電磁石１０４、下側径方向電磁石１０５及び軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂを励磁制御するアンプ回路１５０について説明する。このアンプ回路の回路図を図２に示す。

【0035】

図２において、上側径方向電磁石１０４等を構成する電磁石巻線１５１は、その一端がトランジスタ１６１を介して電源１７１の正極１７１ａに接続されており、また、その他端が電流検出回路１８１及びトランジスタ１６２を介して電源１７１の負極１７１ｂに接続されている。そして、トランジスタ１６１、１６２は、いわゆるパワーＭＯＳＦＥＴとなっており、そのソース－ドレイン間にダイオードが接続された構造を有している。

【0036】

このとき、トランジスタ１６１は、そのダイオードのカソード端子１６１ａが正極１７１ａに接続されるとともに、アノード端子１６１ｂが電磁石巻線１５１の一端と接続されるようになっている。また、トランジスタ１６２は、そのダイオードのカソード端子１６２ａが電流検出回路１８１に接続されるとともに、アノード端子１６２ｂが負極１７１ｂと接続されるようになっている。

【0037】

一方、電流回生用のダイオード１６５は、そのカソード端子１６５ａが電磁石巻線１５１の一端に接続されるとともに、そのアノード端子１６５ｂが負極１７１ｂに接続されるようになっている。また、これと同様に、電流回生用のダイオード１６６は、そのカソード端子１６６ａが正極１７１ａに接続されるとともに、そのアノード端子１６６ｂが電流検出回路１８１を介して電磁石巻線１５１の他端に接続されるようになっている。そして、電流検出回路１８１は、例えばホールセンサ式電流センサや電気抵抗素子で構成されている。

【0038】

以上のように構成されるアンプ回路１５０は、一つの電磁石に対応されるものである。そのため、磁気軸受が５軸制御で、電磁石１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂが合計１０個ある場合には、電磁石のそれぞれについて同様のアンプ回路１５０が構成され、電源１７１に対して１０個のアンプ回路１５０が並列に接続されるようになっている。

【0039】

さらに、アンプ制御回路１９１は、例えば、制御装置２００の図示しないディジタル・シグナル・プロセッサ部（以下、ＤＳＰ部という）によって構成され、このアンプ制御回路１９１は、トランジスタ１６１、１６２のｏｎ／ｏｆｆを切り替えるようになっている。

【0040】

アンプ制御回路１９１は、電流検出回路１８１が検出した電流値（この電流値を反映した信号を電流検出信号１９１ｃという）と所定の電流指令値とを比較するようになっている。そして、この比較結果に基づき、ＰＷＭ制御による１周期である制御サイクルＴｓ内に発生させるパルス幅の大きさ（パルス幅時間Ｔｐ１、Ｔｐ２）を決めるようになっている。その結果、このパルス幅を有するゲート駆動信号１９１ａ、１９１ｂを、アンプ制御回路１９１からトランジスタ１６１、１６２のゲート端子に出力するようになっている。

【0041】

なお、回転体１０３の回転速度の加速運転中に共振点を通過する際や定速運転中に外乱が発生した際等に、高速かつ強い力での回転体１０３の位置制御をする必要がある。そのため、電磁石巻線１５１に流れる電流の急激な増加（あるいは減少）ができるように、電源１７１としては、例えば５０Ｖ程度の高電圧が使用されるようになっている。また、電源１７１の正極１７１ａと負極１７１ｂとの間には、電源１７１の安定化のために、通常コンデンサが接続されている（図示略）。

【0042】

かかる構成において、トランジスタ１６１、１６２の両方をｏｎにすると、電磁石巻線１５１に流れる電流（以下、電磁石電流ｉＬという）が増加し、両方をｏｆｆにすると、電磁石電流ｉＬが減少する。

【0043】

また、トランジスタ１６１、１６２の一方をｏｎにし他方をｏｆｆにすると、いわゆるフライホイール電流が保持される。そして、このようにアンプ回路１５０にフライホイール電流を流すことで、アンプ回路１５０におけるヒステリシス損を減少させ、回路全体としての消費電力を低く抑えることができる。また、このようにトランジスタ１６１、１６２を制御することにより、ターボ分子ポンプ１００に生じる高調波等の高周波ノイズを低減することができる。さらに、このフライホイール電流を電流検出回路１８１で測定することで電磁石巻線１５１を流れる電磁石電流ｉＬが検出可能となる。

【0044】

すなわち、検出した電流値が電流指令値より小さい場合には、図３に示すように制御サイクルＴｓ（例えば１００μｓ）中で１回だけ、パルス幅時間Ｔｐ１に相当する時間分だけトランジスタ１６１、１６２の両方をｏｎにする。そのため、この期間中の電磁石電流ｉＬは、正極１７１ａから負極１７１ｂへ、トランジスタ１６１、１６２を介して流し得る電流値ｉＬｍａｘ（図示せず）に向かって増加する。

【0045】

一方、検出した電流値が電流指令値より大きい場合には、図４に示すように制御サイクルＴｓ中で１回だけパルス幅時間Ｔｐ２に相当する時間分だけトランジスタ１６１、１６２の両方をｏｆｆにする。そのため、この期間中の電磁石電流ｉＬは、負極１７１ｂから正極１７１ａへ、ダイオード１６５、１６６を介して回生し得る電流値ｉＬｍｉｎ（図示せず）に向かって減少する。

【0046】

そして、いずれの場合にも、パルス幅時間Ｔｐ１、Ｔｐ２の経過後は、トランジスタ１６１、１６２のどちらか１個をｏｎにする。そのため、この期間中は、アンプ回路１５０にフライホイール電流が保持される。

【0047】

このような基本構成を有するターボ分子ポンプ１００は、図１中の上側（吸気口１０１の側）が対象機器の側に繋がる吸気部となっており、下側（排気口１３３を構成する排気ポート１５が図中の右側に突出するようベース部１２９に設けられた側）が、図示を省略する補助ポンプ（バックポンプ）等に繋がる排気部となっている。そして、ターボ分子ポンプ１００は、図１に示すような鉛直方向の垂直姿勢のほか、倒立姿勢や水平姿勢、傾斜姿勢でも用いることが可能となっている。

【0048】

また、ターボ分子ポンプ１００においては、前述の外筒１２７、後述するヒータスペーサ２１２、後述するアウターウォール２１４、及び、ベース部１２９等とが組み合わさってケーシング２１５を構成している。ケーシング２１５については後述する。また、図１の例のターボ分子ポンプ１００は、円形な箱状の電装ケース１９８を備えており、前述の制御装置２００は、電装ケース１９８の中に配置されている。

【0049】

ターボ分子ポンプ１００におけるケーシング２１５の内部の構成は、モータ１２１によりロータ軸１１３等を回転させる回転機構部と、回転機構部より回転駆動される排気機構部に分けることができる。また、排気機構部は、回転翼１０２や固定翼１２３等により構成されるターボ分子ポンプ機構部と、回転体下部円筒部１０３ｂやネジ付スペーサ１３１等により構成されるネジ溝ポンプ機構部（ホルベック型排気機構部）に分けて考えることができる。

【0050】

また、前述のパージガス（保護ガス）は、軸受部分や回転翼１０２等の保護のために使用され、排気ガス（プロセスガス）に因る腐食の防止や、回転翼１０２の冷却等を行う。このパージガスの供給は、一般的な手法により行うことが可能である。

【0051】

例えば、ベース部１２９の所定の部位（排気口１３３に対してほぼ１８０度離れた位置など）に、径方向に直線状に延びるパージガスポート（図示略）を設ける。そして、このパージガスポートに対し、ベース部１２９の外側からパージガスボンベ（Ｎ２ガスボンベなど）や、流量調節器（弁装置）などを介してパージガスを供給する。

【0052】

前述の保護ベアリング１２０は、「タッチダウン（Ｔ／Ｄ）軸受」、「バックアップ軸受」などとも呼ばれる。これらの保護ベアリング１２０により、例えば万が一電気系統のトラブルや大気突入等のトラブルが生じた場合であっても、ロータ軸１１３の位置や姿勢を大きく変化させず、回転翼１０２やその周辺部が損傷しないようになっている。

【0053】

なお、ターボ分子ポンプ１００や回転体１０３の構造を示す図１では、部品の断面を示すハッチングの記載は、図面が煩雑になるのを避けるため、ヒータ１４８を除き省略している。

【0054】

＜＜ケーシング２１５の構成＞＞
図５は、図１と同様に、本実施形態におけるターボ分子ポンプ１００の内部構造を示している。図１では図示が煩雑になるのを避けるために、ケーシング２１５の細部や、後述する断熱カバー２１０に係る符号の記載が省略されていた。

【0055】

図５では、ケーシング２１５の細部や、後述する断熱カバー２１０に係る符号が示されている。また、図５では、一部の部品（ヒータ１４８、アウターウォール２１４、ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０）についてのみ、周囲の部品との区別を明確にするため、ハッチングが記載されている。

【0056】

ケーシング２１５は、部分的に二重構造を有している。ケーシング２１５における軸方向の途中の部位から、ベース部１２９までの部位は、ヒータスペーサ２１２と、アウターウォール２１４とを用いて構成されている。詳細は後述するが、ヒータスペーサ２１２は、ターボ分子ポンプ１００内の排気流路の真空を確保する構造体であり、内側ケーシングを構成している。アウターウォール２１４は、ヒータスペーサ２１２の周囲を覆う構造体であり、外側ケーシングを構成している。

【0057】

ヒータスペーサ２１２と、アウターウォール２１４は、いずれも、例えばアルミニウム、ステンレスなどの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。ヒータスペーサ２１２と、アウターウォール２１４は、削り出し加工により、凹凸のある円筒状に加工されている。

【0058】

ヒータスペーサ２１２は、アウターウォール２１４よりも小径に形成されており、アウターウォール２１４の内側（内周側）に配置されている。換言すれば、アウターウォール２１４は、ヒータスペーサ２１２の外側（外周側）に配置され、ヒータスペーサ２１２を囲うように配置されている。

【0059】

＜＜ヒータスペーサ２１２＞＞
ヒータスペーサ２１２には、カートリッジ式のヒータ１４８が組み込まれている。ヒータ１４８は、１つのみ図示されているが、左右方向に複数（例えば４個以上など）配置されても良い。そして、ヒータ１４８からは、導電用のリード線１４８ａが導出されている。リード線１４８ａは、ヒータスペーサ２１２の周囲に、周回するように引き回され、制御装置２００に電気的に接続されている。

【0060】

ヒータスペーサ２１２は、ヒータ１４８により、全体に亘り加熱される。ヒータスペーサ２１２の温度は、例えば１５０℃強に達する場合がある。ヒータスペーサ２１２は、前述したネジ付スペーサ１３１に、熱伝達が可能なように接している。また、ヒータスペーサ２１２には、排気ポート１５が差し込まれて接続されている。ヒータスペーサ２１２の熱は、ネジ付スペーサ１３１や排気ポート１５に伝わり、ネジ付スペーサ１３１や排気ポート１５が加熱される。

【0061】

ヒータスペーサ２１２は、固定翼スペーサ１２５（１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・）のうち、最も排気ポート１５側（ベース部１２９側）に位置する最下段の固定翼スペーサ１２５ｆにも熱伝達が可能なように接している。ヒータスペーサ２１２の熱は、最下段の固定翼スペーサ１２５ｆにも伝わり、最下段の固定翼スペーサ１２５ｆやその周辺が加熱される。

【0062】

＜＜アウターウォール２１４＞＞
ヒータスペーサ２１２の外側に位置するアウターウォール２１４に対しては、周囲の部品との間の熱的な絶縁が施されている。アウターウォール２１４と、ヒータスペーサ２１２との間には、隙間２１６が介在しており、アウターウォール２１４は、全周に亘りヒータスペーサ２１２に直接的に接触しないよう配置されている。

【0063】

＜＜水冷スペーサ１２５ｄ＞＞
アウターウォール２１４の軸方向の一端側（図１では上側）には、水冷スペーサ１２５ｄが設けられている。水冷スペーサ１２５ｄは、固定翼スペーサ１２５（１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・）の１つである。

【0064】

水冷スペーサ１２５ｄは、例えば、削り出し加工により環状に形成されており、ケーシング２１５の、軸方向の途中の部位を構成している。水冷スペーサ１２５ｄは、今回の構造では、排気ポート１５よりも、吸気口１０１に近い部位に位置しているが、ターボ分子ポンプ１００内の温度分布により適宜位置を変えることが可能である。水冷スペーサ１２５ｄについては、作製の過程で、鋳造加工や鍛造加工が行われていてもよい。

【0065】

水冷スペーサ１２５ｄには、水冷管２１８が組み込まれており、水冷管２１８の中には冷却水が流れる。水冷スペーサ１２５ｄは、水冷管２１８により冷却されて温度調整される。水冷スペーサ１２５ｄは、ヒータスペーサ２１２に接触しておらず、水冷スペーサ１２５ｄと、ヒータスペーサ２１２との間には、他の固定翼スペーサ（図５の例では固定翼スペーサ１２５ｅ、１２５ｆ）が介在している。

【0066】

＜＜ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０＞＞
水冷スペーサ１２５ｄとアウターウォール２１４との間には、環状のヒート・インシュレータ・ワッシャ（断熱リング）２２０が設けられている。ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０は、縦断面で、門型（コの字型）の断面を有するよう形成されている。

【0067】

ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０は、水冷スペーサ１２５ｄと、アウターウォール２１４との間に介在している。また、インシュレータ・ワッシャ２２０の外周側には、水冷スペーサ１２５ｄとアウターウォール２１４との間の隙間２２１が形成されている。ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０や隙間２２１により、水冷スペーサ１２５ｄの熱がアウターウォール２１４に伝わることが防止されている。

【0068】

＜＜水冷スペーサ１２５ｄによる冷却＞＞
多段の回転翼１０２（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・）と固定翼１２３（１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・）のうち、排気ポート１５側（ベース部１２９側、下流側）の回転翼１０２（例えば、回転翼１０２ｅ、１０２ｆ）や、固定翼１２３（例えば、固定翼１２３ｅ、１２３ｆ）は、排気ガスの移送に伴い、相対的に高温（例えば、１００℃程度）になる場合がある。

【0069】

また、排気ポート１５側（ベース部１２９側、下流側）の固定翼１２３（ここでは固定翼１２３ｅ、１２３ｆ）は、ヒータスペーサ２１２に近いことから、ヒータスペーサ２１２の熱によっても高温になる。さらに、固定翼１２３（ここでは固定翼１２３ｅ、１２３ｆ）からの輻射熱によっても、排気ポート１５側（ベース部１２９側）の回転翼１０２（ここでは回転翼１０２ｅ、１０２ｆ）は高温になる。排気ポート１５側（ベース部１２９側、下流側）の固定翼１２３や回転翼１０２を高温化することにより、排気ガスの成分による生成物の堆積を防止できる。

【0070】

このような温度環境に対して、本実施形態では、固定翼スペーサ１２５（１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・）には水冷スペーサ１２５ｄが含まれている。水冷スペーサ１２５ｄは、水冷管２１８により冷却される。このため、排気ポート１５側（ベース部１２９側）における、固定翼スペーサ１２５（１２５ｅ、１２５ｆ）、固定翼１２３（ここでは固定翼１２３ｅ、１２３ｆ）、回転翼１０２（ここでは回転翼１０２ｅ、１０２ｆ）の熱が緩和される。

【0071】

また、水冷スペーサ１２５ｄとアウターウォール２１４との間には、ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０や隙間２１６が介在している。したがって、ヒータスペーサ２１２とアウターウォール２１４との間の熱経路では、水冷スペーサ１２５ｄ、ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０、隙間２１６による温度調整が行われ、アウターウォール２１４の温度上昇が防止される。つまり、アウターウォール２１４は、ケーシング２１５の内部の熱が伝わり難いように温度調整された部品の１つとなっている。

【0072】

＜＜断熱カバー２１０による断熱＞＞
外筒１２７及びベース部１２９の外側には、断熱カバー２１０が設けられている。断熱カバー２１０は、外筒１２７における水冷スペーサ１２５ｄから、ベース部１２９までの範囲を、ほぼ全周に亘って覆っている。

【0073】

断熱カバー２１０は、図６及び図７に示すように、排気口カバー２２２と側面カバー２２４とにより構成されている。排気口カバー２２２と側面カバー２２４は別部品であり、いずれも、厚さが０．５ｍｍ～数ｍｍ程度の薄板（板金）を用いて形成されている。

【0074】

＜＜排気口カバー２２２＞＞
排気口カバー２２２は、排気ポート１５（排気口１３３）の周囲を囲っており、排気ポート１５の周方向に関して、ほぼ一周をカバーしている。換言すれば、排気口カバー２２２は、排気ポート１５（排気口１３３）の周囲を囲う様にほぼ一周（排気ポート１５における周方向の一周）をカバーしている。この排気口カバー２２２は、例えば、「排気ポートカバー」と称することも可能である。

【0075】

排気口カバー２２２は、第１排気口カバー部品２２２Ａ、及び、第２排気口カバー部品２２２Ｂの複数部品（本実施形態では２部品）により構成されている。両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂは、いずれも、ステンレス製で厚みが０．５ｍｍ～数ｍｍ程度の板金部品である。但し、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂは、側面カバー２２４に比べ曲面積が小さいため、厚みを増やすことが容易である。厚みは断熱性に対して優位に働くだけでなく、プレス加工などで製作した際に端部に生じるバリやエッジの対応（除去等）を容易にできる。

【0076】

図１０（ａ）は、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂのうち、第２排気口カバー部品２２２Ｂを示している。第２排気口カバー部品２２２Ｂは、外筒１２７の曲面に沿うよう湾曲している。図示は省略するが、もう一方の第１排気口カバー部品２２２Ａも同様に、外筒１２７の曲面に沿うよう湾曲している。

【0077】

第１排気口カバー部品２２２Ａ、及び、第２排気口カバー部品２２２Ｂは、中心線Ａ（図６に一点鎖線で示す）に対して、線対称に配置されている。中心線Ａは、ターボ分子ポンプ１００の軸心に対して平行で、正面視で排気口１３３の中心を通る線である。

【0078】

両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂの形状や配置は、線対称なものに限られない。例えば、図示は省略するが、中心線Ａが、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂのいずれか一方を通るように、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂの大きさのバランスを決定してもよい。

【0079】

また、中心線Ａは、ターボ分子ポンプ１００の軸心に対して平行なものに限定されない。例えば、中心線Ａに対して交差（例えば直交）する向きの中心線Ｂを定め、この中心線Ｂに対して、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂを線対称に配置する、といったことも可能である。

【0080】

両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂは、側面カバー２２４が取り付けられた状態でも脱着可能である。このように、側面カバー２２４を取り付けた状態でも脱着可能とすることで、例えば、排気ポート１５に排気口ヒータ２２６（後述する）を装着するような場合に、側面カバー２２４も併せて取り外すようにした場合や、断熱カバー２１０の全体を取り外すようにした場合に比べて、作業が容易になる。

【0081】

例えば、図５で示すように、排気ポート１５には、ターボ分子ポンプ１００の用途によって、排気口ヒータ２２６（二点鎖線で模式的に示す）が装着される場合がある。排気口ヒータ２２６は、排気ポート１５の周囲を覆うようにして、排気ポート１５に装着される。また、排気口ヒータ２２６の装着や取り外しは、オンサイトでユーザにより行われることが多い。

【0082】

排気ポート１５の基端部は、アウターウォール２１４の凹部２２８に進入しており、排気口ヒータ２２６の基端部も、アウターウォール２１４の凹部２２８の奥に到達している。排気口ヒータ２２６の装着の際には、排気口ヒータ２２６の基端部が、アウターウォール２１４の凹部２２８に差し込まれる。

【0083】

このような排気口ヒータ２２６の装着の際に、断熱カバー２１０（ここでは、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂ）を取り付けたままでは、排気口ヒータ２２６を、断熱カバー類に干渉させたまま押し込んで、断熱カバー類を変形させてしまう、といったようなことが起きかねない。

【0084】

そこで、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂを取り外すことにより、作業のための視野を広く確保できる。そして、排気口ヒータ２２６の装着作業を正確に行うことが可能となる。また、取り外しのための作業範囲が小となり、断熱カバー２１０全体を取り外す場合に比べて、取り外しや、再度の取り付けの作業を容易に、作業性よく行うことが可能となる。

【0085】

さらに、本実施形態においては、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂは、アウターウォール２１４に取り付けられている。両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂの取り付けは、脱落防止ネジ２３０を用いて行われている。脱落防止ネジ２３０は、一般的な種々のものを採用可能である。本実施形態では、十字穴付き脱落防止鍋小ネジに、脱落防止ワッシャ（図示略）を組み合わせたものが用いられている。

【0086】

十字穴付き脱落防止鍋小ネジは、図示は省略するが、ねじ部が軸部よりも径方向に張り出している。十字穴付き脱落防止鍋小ネジは、第１排気口カバー部品２２２Ａ（又は第２排気口カバー部品２２２Ｂ）と脱落防止ワッシャを挟むようにしてねじ込まれている。十字穴付き脱落防止鍋小ネジを緩めた場合に、ねじ部が脱落防止ワッシャの窪んだ部分に引っ掛かり、十字穴付き脱落防止鍋小ネジの脱落が防止される。

【0087】

このような十字穴付き脱落防止鍋小ネジや脱落防止ワッシャとしては、例えば、鍋屋バイテック会社製のもの等を採用することが可能である。

【0088】

なお、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂの固定には、ねじ類に限らず、その他の固定具を用いてもよい。ねじ類以外の固定具としては、例えば、面ファスナー（十分な耐熱性のあるもの）などを例示できる。

【0089】

＜＜側面カバー２２４＞＞
続いて、前述の側面カバー２２４は、ターボ分子ポンプ１００の側面を、排気ポート１５の周囲を除いて覆っている。側面カバー２２４と、排気口カバー２２２とにより、ターボ分子ポンプ１００の側面が、ほぼ３６０度に亘り覆われている。

【0090】

側面カバー２２４は、ターボ分子ポンプ１００の周方向に関して、複数（ここでは２つ）に分割されており、第１側面カバー部品２２４Ａ、及び、第２側面カバー部品２２４Ｂにより構成されている。両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂは、いずれも、ステンレス製で厚みが０．５ｍｍ～数ｍｍ程度の板金部品である。

【0091】

図１０（ｂ）は、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂのうち、第２側面カバー部品２２４Ｂを示している。第２側面カバー部品２２４Ｂは、アウターウォール２１４、水冷スペーサ１２５ｄ、及び、ベース部１２９の曲面に沿って湾曲している。図示は省略するが、もう一方の第１側面カバー部品２２４Ａも同様に、アウターウォール２１４、水冷スペーサ１２５ｄ、及び、ベース部１２９の曲面に沿って湾曲している。

【0092】

また、本実施形態においては、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂは、アウターウォール２１４に取り付けられている。両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの取り付けも、脱落防止ネジ２３０を用いて行われている。脱落防止ネジ２３０は、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂと同様に、一般的な種々のものを採用可能である。

【0093】

＜＜排気口カバー２２２、及び、側面カバー２２４の表面温度抑制＞＞
前述のように、排気口カバー２２２、及び、側面カバー２２４は、アウターウォール２１４に固定されている。アウターウォール２１４は、ヒータスペーサ２１２との間に隙間２１６を介在させている。また、アウターウォール２１４は、水冷スペーサ１２５ｄとの間に、ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０を介在させている。

【0094】

前述したように、ヒータスペーサ２１２の温度は１５０℃強になる場合があり、排気ポート１５側（ベース部１２９側、下流側）の回転翼１０２（例えば、回転翼１０２ｅ、１０２ｆ）や、固定翼１２３（例えば、固定翼１２３ｅ、１２３ｆ）の温度は、例えば１００℃程度になる場合がある。

【0095】

このような温度環境下において、排気口カバー２２２、及び、側面カバー２２４の表面温度は、測定の結果、６５℃以下に抑えられている。これは、本実施形態のターボ分子ポンプ１００において、排気口カバー２２２や側面カバー２２４が接するアウターウォール２１４が、ケーシング２１５の内部の熱に対して温度調整されているためである。また、アウターウォール２１４と水冷スペーサ１２５ｄとの間に、ヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０や隙間２２１が介在しているためでもある。

【0096】

＜＜側面カバー２２４の強度向上対策＞＞
側面カバー２２４には、強度向上対策が施されている。本実施形態においては、強度向上対策として、板金の折り曲げ加工が採用されている。強度向上対策は、側面カバー２２４の変形を低減させるものとなっている。

【0097】

図１０（ｂ）に示すように、第２側面カバー部品２２４Ｂの長手方向（ターボ分子ポンプ１００の周方向）の一端部には、折り曲げ構造が採用されている。折り曲げ構造は、第２側面カバー部品２２４Ｂの端部を、数ミリ（例えば５ｍｍ）程度の幅で内側（内周面側）に折曲し、折り曲げ部２３２Ｂを設けることにより形成されている。

【0098】

第２側面カバー部品２２４Ｂは、図６に示すように、折り曲げ部２３２Ｂを第２排気口カバー部品２２２Ｂの側に向けて、アウターウォール２１４に取り付けられている。

【0099】

第１側面カバー部品２２４Ａにも同様な構造が採用されている。第１側面カバー部品２２４Ａは、図６に示すように、折り曲げ部２３２Ａを第１排気口カバー部品２２２Ａの側に向けて、アウターウォール２１４に取り付けられている。

【0100】

このような折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂを設けることにより、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの、一端部における剛性が高められ、側面カバー２２４の強度が向上する。また、折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂにより、第１側面カバー部品２２４Ａの端部にできるアウターウォール２１４の凹部２２８との間の隙間や、第２側面カバー部品２２４Ｂの端部にできるアウターウォール２１４の凹部２２８との間の隙間を、折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂの幅Ｃ（図１０（ｂ）にて折り曲げ部２３２Ｂについて示す）に亘って埋めることができる。

【0101】

このような強度向上対策を施さない場合、例えば、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂと、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂとの境界部分に、外側から過度な荷重や衝撃が加わると、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂや、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂが変形することが考えられる。そして、隙間２３４Ａ、２３４Ｂ（図６）が、例えば１０ｍｍ程度に拡がり、作業者の手指や工具等の進入が可能となる虞がある。

【0102】

排気ポート１５の周辺は高温になり易く、隙間２３４Ａ、２３４Ｂに手指や工具が進入すると、手指や工具が高温な部位に接触することが考えられる。また、ヒータスペーサ２１２の周囲には、ヒータ１４８用のリード線１４８ａが周回していたり、電気的端子が設けられていたりするため、進入した手指が、これらの電気系統部品に接触することも考えられる。したがって、隙間２３４Ａ、２３４Ｂへの手指や工具の進入を防ぐことは重要である。

【0103】

そして、上述のような強度向上対策を施すことにより、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂが補強され、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの端部における剛性が向上する。このため、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの変形を防止でき、隙間２３４Ａ、２３４Ｂが拡大するのを防止することが可能となる。そして、隙間２３４Ａ、２３４Ｂへ、作業者の手指や工具が進入するのを防止できる。

【0104】

また、剛性のみでなく、断熱性を考慮した場合、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの、アウターウォール２１４に接触する部分の面積を増やさないことが望ましい。このため、例えば、折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂと、アウターウォール２１４の凹部２２８との関係を、折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂの幅Ｃ（図１０（ｂ）にて折り曲げ部２３２Ｂについて示している）が、アウターウォール２１４の凹部２２８に収まる程度とする。

【0105】

このようにすることにより、折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂがアウターウォール２１４に接触するのを防止でき、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの、アウターウォール２１４に接触する部分の面積が増えるのを防止できる。

【0106】

なお、図示は省略するが、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの、互いに向かい合った側の端部２３６Ａ、２３６Ｂに、折り曲げ部（例えば、折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂと同様なもの）を設けることが可能である。この場合には、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの端部２３６Ａ、２３６Ｂに衝撃が加わっても、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの変形が防止される。

【0107】

また、上述したような強度向上対策は、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂに限らず、例えば、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂに対しても適用することが可能である。図示は省略するが、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂに折り曲げ部（例えば、折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂと同様なもの）を形成することが可能である。

【0108】

また、強度向上対策は、板金の折り曲げ加工に限定されない。例えば、強度向上対策として、図１１に変形例（第２実施形態としてもよい）を示すように、支柱部材２３８の設置を行うことが可能である。図１１のタイプのターボ分子ポンプ２６０においては、排気口カバー２２２とアウターウォール２１４との間に空隙２４２が形成されている。また、側面カバー２２４とアウターウォール２１４との間にも、空隙２４４が形成されている。

【0109】

これらの空隙２４２、２４４には、支柱部材２３８が設置されている。支柱部材２３８は、アウターウォール２１４周囲に複数（例えば８本など）設置されている。支柱部材２３８の断面形状は、例えば、真円の円筒状（カラー状、スリーブ状）である。

【0110】

図１１の例において、支柱部材２３８には、脱落防止ネジ２３０の軸部が通されており、支柱部材２３８は、脱落防止ネジ２３０の軸部の全周を囲んでいる。支柱部材２３８の軸方向の一端は、アウターウォール２１４に接しており、多端は、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂや、両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂに接している。

【0111】

このような支柱部材２３８を設けることで、排気口カバー２２２とアウターウォール２１４との間の空隙２４２や、側面カバー２２４とアウターウォール２１４との間の空隙２４４が存在する場合に、排気口カバー２２２や側面カバー２２４が、アウターウォール２１４に対して、単に浮いた状態にならず、排気口カバー２２２や側面カバー２２４を補強することができる。そして、排気口カバー２２２や側面カバー２２４の変形により、作業者の手指や工具が進入し得るほどに隙間が拡大するのを防止できる。

【0112】

図１１のターボ分子ポンプ２６０においては、上述のような強度向上対策のみでなく、支柱部材２３８等による断熱も行われている。図５の例のターボ分子ポンプ１００におけるヒート・インシュレータ・ワッシャ２２０を省略し、その代わりに、アウターウォール２１４と、排気口カバー２２２や側面カバー２２４との間に、空隙２４２、２４４を介在させたタイプである。図１１のターボ分子ポンプ２６０は、空隙２４２、２４４を形成することにより、排気口カバー２２２や側面カバー２２４の温度上昇を抑制している。

【0113】

さらに、図１１の例において、支柱部材２３８は、アウターウォール２１４と、排気口カバー２２２や側面カバー２２４とに接している。このため、支柱部材２３８は、補強材として機能するのみでなく、断熱材としても機能する。そして、支柱部材２３８により、アウターウォール２１４から、排気口カバー２２２や側面カバー２２４に対して熱が伝達されるのを防止できる。

【0114】

図１１に示すような構成は、図５に示すような構成に比べてアウターウォール２１４がより高温になり易いタイプのターボ分子ポンプに適している。

【0115】

なお、図１１の例では、支柱部材２３８は筒状であり、脱落防止ネジ２３０を介して支柱部材２３８の固定が行われている。しかし、これに限定されるものではなく、例えば、支柱部材２３８を中実な棒状の部材とすることが可能である。この場合、図示は省略するが、支柱部材２３８の固定は、一般的な種々の方法により行うことができる。

【0116】

例えば、支柱部材２３８における軸方向の両端部に雄ネジを形成する。そして、一方の雄ネジ部分を、アウターウォール２１４にねじ込み、アウターウォール２１４に連結する。さらに、他方の雄ネジ部分を、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂや両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂの孔に通し、外側からのナット締めにより、両排気口カバー部品２２２Ａ、２２２Ｂや両側面カバー部品２２４Ａ、２２４Ｂに固定する。

【0117】

＜＜ターボ分子ポンプ１００、２６０によるその他のメリット＞＞
本実施形態のターボ分子ポンプ１００（図５等）や、変形例のターボ分子ポンプ２６０（図１１）によれば、これまでに説明したメリットのほか、例えば、アウターウォール２１４が、板金製の部品ではなく、削り出し加工による部品であることから、例えば、段差部分のエッジ部に、大きいＲ（曲率半径）の面取りを施し易い。このため、ユーザの手指がアウターウォール２１４のエッジ部に触れた場合の安全性を、容易に確保できる。
＜＜本実施形態から抽出できる発明＞＞

【0118】

以上説明した実施形態から以下のような発明を抽出することが可能である。
（１）吸気口（吸気口１０１など）及び排気口（排気口１３３など）のうち少なくとも前記排気口が設けられた、ケーシング（外筒１２７、アウターウォール２１４、及び、ヒータスペーサ２１２を含んで構成されるケーシング２１５など）と、
前記ケーシング及び前記排気口のうち少なくとも前記ケーシングの一部を高温とする加熱手段（ヒータ１４８など）と、
を備えた真空ポンプ（ターボ分子ポンプ１００など）であって、
前記真空ポンプは、
前記ケーシングの側面を覆う、環状かつ薄板状の側面カバー（側面カバー２２４など）と、
前記排気口の周囲を覆う、薄板状の排気口カバー（排気口カバー２２２など）と、
を有し、
前記排気口カバーは、前記側面カバーとは別部品であり、かつ、前記側面カバーが取り付けられた状態でも脱着可能であることを特徴とする真空ポンプ。
（２）前記排気口カバーは、前記排気口の周囲を囲う様にほぼ一周をカバーし、かつ、少なくとも２部品で構成されることを特徴とする上記（１）に記載の真空ポンプ。
（３）前記排気口カバーは、前記排気口の中心を通る中心線（中心線Ａなど）に対して、線対称に分割された構造であることを特徴とする上記（２）に記載の真空ポンプ。
（４）前記側面カバーまたは前記排気口カバーと、前記ケーシングとの間に空隙（空隙２４２、２４４など）を有し、
前記空隙において、前記側面カバーまたは前記排気口カバーの変形を低減させる強度向上対策（折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂを設けること、支柱部材２３８を設けること、など）が施されていることを特徴とする上記（１）に記載の真空ポンプ。
（５）前記強度向上対策は、前記側面カバーまたは前記排気口カバーにおいて、少なくとも一端が前記ケーシング側に折り曲げられている構造（折り曲げ部２３２Ａ、２３２Ｂを設けた構造など）を用いたものであることを特徴とする上記（４）に記載の真空ポンプ。
（６）前記強度向上対策は、前記ケーシングと、前記側面カバーまたは前記排気口カバーとの間に配置された支柱構造（支柱部材２３８を設けた構造など）を用いたものであることを特徴とする上記（４）に記載の真空ポンプ。
（７）前記ケーシングにおいて、前記側面カバーまたは前記排気口カバーが配置される部分は、温度調整手段（ヒータ１４８など）により、温度調整されていることを特徴とする上記（１）～（６）の何れか一項に記載の真空ポンプ。
（８）前記ケーシングは、前記真空ポンプ内の排気流路の真空を確保する構造体である内側ケーシング（ヒータスペーサ２１２など）と、該内側ケーシングの周囲を覆う外側ケーシング（アウターウォール２１４など）の二重構造で形成されることを特徴とする上記（１）～（６）の何れか一項に記載の真空ポンプ。

【0119】

なお、本発明は、上述の各実施形態に限定されず、要旨を逸脱しない範囲で種々に変形や各実施形態の組合せをすることが可能である。

【符号の説明】

【0120】

１５ ：排気ポート
１００、２６０ ：ターボ分子ポンプ
１０１ ：吸気口
１０２ ：回転翼
１０３ ：回転体
１２３ ：固定翼
１２５ ：固定翼スペーサ
１２５ｄ ：水冷スペーサ
１３３ ：排気口
１４８ ：ヒータ
１４８ａ ：リード線
１４９ ：水冷管
２１０ ：断熱カバー
２１２ ：ヒータスペーサ
２１４ ：アウターウォール
２１５ ：ケーシング
２１６ ：隙間
２１８ ：水冷管
２２０ ：ヒート・インシュレータ・ワッシャ
２２２ ：排気口カバー
２２２Ａ ：第１排気口カバー部品
２２２Ｂ ：第２排気口カバー部品
２２４ ：側面カバー
２２４Ａ ：第１側面カバー部品
２２４Ｂ ：第２側面カバー部品
２２６ ：排気口ヒータ
２２８ ：凹部
２３０ ：脱落防止ネジ
２３２Ａ、２３２Ｂ ：折り曲げ部
２３４Ａ、２３４Ｂ ：隙間
２３８ ：支柱部材
２４２、２４４ ：空隙

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】