発明の名称 ガス処理装置を含む真空ライン
出願人 アデイクセン・バキユーム・プロダクト (識別番号 511148259)
特許公開件数ランキング 4781 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 3848 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7598441
公報発行日 2024年12月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7598441
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