7598455 同心円構造の静電チャック電極パターン構造

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-03

(45)【発行日】2024-12-11

(54)【発明の名称】同心円構造の静電チャック電極パターン構造

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20241204BHJP

   H01L 21/3065 20060101ALI20241204BHJP

   C23C 14/50 20060101ALI20241204BHJP

   C23C 16/458 20060101ALI20241204BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 R

H01L21/302 101G

C23C14/50 A

C23C16/458

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2023521659

(86)(22)【出願日】2021-02-19

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-10-31

(86)【国際出願番号】 CN2021076783

(87)【国際公開番号】W WO2022077820

(87)【国際公開日】2022-04-21

【審査請求日】2023-04-07

(31)【優先権主張番号】202011087867.7

(32)【優先日】2020-10-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】522367492

【氏名又は名称】烟台睿瓷新材料技術有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＲＡＹＣＥＲ ＡＤＶＡＮＣＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】１３ｔｈ Ｇｕｉｙａｎｇ Ｓｔｒｅｅｔ， ＥＴＤＺ Ｙａｎｔａｉ， Ｓｈａｎｄｏｎｇ ２６４００６， Ｃｈｉｎａ

(74)【代理人】

【識別番号】110002262

【氏名又は名称】ＴＲＹ国際弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】張 巨先

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】特表２００４－５３１９０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－５７０１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－８４９３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０５４００２０９（ＵＳ，Ａ）

【文献】特開２００８－４２１４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１７７５９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１４６４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－８０１６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－７８１０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５

Ｃ２３Ｃ １４／５０

Ｃ２３Ｃ １６／４５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

同心円構造の静電チャック電極パターン構造であって、
前記電極パターン構造について、静電チャックの中心は、無電極小円である中心円であり、前記中心円の外周は、隔離リングと呼ばれる、直径が異なる複数の無電極塗布層同心リングであり、前記中心円から外への隔離リングは、順に第１隔離リング、第２隔離リング・・・と呼ばれ、このように第ｍ隔離リングと記され、隣接する２つの隔離リングの間は、電極リングであり、前記中心円と第１隔離リングとの間は、第１電極リングであり、第１隔離リングと第２隔離リングとの間は、第２電極リングであり、このように、第ｍ－１隔離リングと第ｍ隔離リングとの間は、第ｍ電極リングであり、第ｍ隔離リングと第ｍ＋１隔離リングとの間は、第ｍ＋１電極リングであり、
ｘ個の電極を有する静電チャックにおいて、第ｍ電極リング内には長さが直径方向に沿って分布するｘ個の直線隔離領域が設けられ、各直線隔離領域の両端は、それぞれ対応する第ｍ－１隔離リング、第ｍ隔離リングに接続され、これにより、第ｍ電極リングがｘ個の直線隔離領域によりｘ個の弧状電極領域に分離され、第ｍ隔離リングの各直線隔離領域に対応する部位には空隙が設けられ、該空隙の一方側の第ｍ隔離リングが前記直線隔離領域に接続され、前記空隙の他方側の第ｍ隔離リングが前記直線隔離領域と隔離し、第ｍ電極リングと第ｍ＋１電極リングは前記空隙によって連通し、前記空隙は、リンク間連通口と呼ばれることを特徴とする、同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項2】

第ｍ電極リング内のそれぞれの弧状電極領域は、さらにｍ－１個以下の他の直線隔離領域によってＣｍ個のユニット弧状電極領域に分離され、
第ｍ電極リング内の他の直線隔離領域と第ｍ隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング頂端連通口と呼ばれ、
第ｍ電極リング内の他の直線隔離領域と第ｍ－１隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング底端連通口と呼ばれ、
前記他の直線隔離領域は、一端が同リング底端連通口又は同リング頂端連通口であり、他端は対応する隔離リングに直接接続され、
Ｃｍは、対応する第ｍリングの自然数であり、Ｃｍの値は、１以上の自然数であり、ｍの増大に伴ってＣｍは増大し又は変化せず、ｍは１以上の正の整数であることを特徴とする、請求項１に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項3】

前記第ｍ電極リング内のそれぞれの弧状電極領域において、前記ｍ－１個以下の他の直線隔離領域は周方向に沿って均等に分布され、又は、
それぞれの電極リング内において、前記ｘ個の直線隔離領域は前記周方向に沿って均等に分布されることを特徴とする、請求項２に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項4】

第１電極リングから外へのそれぞれの電極リング構造では、第ｍ電極リングは、それぞれのリンク間連通口を有する弧状電極領域において、リンク間連通口を介して第ｍ＋１電極リングのＣｍ＋１個のユニット弧状電極領域に接続され、第ｍ電極リングのリンク間連通口の出口と第ｍ＋１電極リングのリンク間連通口の出口とは、周方向において夾角を有し、即ち、角度のずれが存在し、同一の直径にあることではない、ことを特徴とする、請求項２に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項5】

１つの電極ユニットにおける第ｍ電極リングの弧状電極領域のリンク間連通口の出口は、第ｍ隔離リングに位置し、それぞれのリンク間連通口の出口位置は前記周方向に沿って均等に分布されることを特徴とする、請求項４に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項6】

電極リング又は弧状電極領域は、金属電極であり、直線隔離領域及び隔離リングは、いずれも無電極塗布層の非導電性構造であることを特徴とする、請求項１に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項7】

前記ｘ個の電極は、単一電極、二電極、三電極、四電極、五電極又は六電極であり、即ち、対応するｘ＝１、２、３、４、５又は６であることを特徴とする、請求項１に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項8】

中心に金属電極がない円の直径は、０．３ｍｍから２０ｍｍの値であり、
隔離リングの線幅は、０．０３ｍｍから５ｍｍの値であり、
直線隔離領域の幅は、０．０３ｍｍから５ｍｍの値であり、
電極リングの幅は、０．５ｍｍから８０ｍｍの値であり、
同リング底端連通口又は同リング頂端連通口の径方向の長さは、０．２ｍｍから１０ｍｍの値であり、
リンク間連通口の周方向の長さは、０．２ｍｍから１０ｍｍの値であることを特徴とする、請求項１に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項9】

前記中心に金属電極がない円の直径は、５ｍｍから１２ｍｍの値であり、
前記隔離リングの線幅は、０．２ｍｍから１．５ｍｍの値であり、
前記直線隔離領域の幅は、０．２ｍｍから１．５ｍｍの値であり、
前記電極リングの幅は、３ｍｍから２５ｍｍの値であり、
前記同リング底端連通口又は同リング頂端連通口の径方向の長さは、１．０ｍｍから５．０ｍｍの値であり、
前記リンク間連通口の周方向の長さは、１．０ｍｍから５．０ｍｍの値であることを特徴とする、請求項８に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【請求項10】

第１電極リング内の直線隔離領域と前記中心円の外周との間における非接続の隙間部分は、中心連通口と呼ばれ、各電極パターンにおける中心連通口の数は、ｘＣ１－ｘ個であり、Ｃ１は自然数であることを特徴とする、請求項１に記載の同心円構造の静電チャック電極パターン構造。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体及び材料科学分野に関し、具体的には、半導体製造プロセスにおける同心円構造の静電チャック電極パターン、特にパターン構造に関する。

【背景技術】

【0002】

エッチング、ＰＶＤ、ＣＶＤ、イオン注入などの半導体プロセスにおいて、静電チャックは静電引力を利用してシリコンウェハ（ｗａｆｅｒ）を安定的に保持するために使用され、厳しいプロセス条件下で動作する必要がある。そのため、これらのプロセス条件下で使用される静電チャックは、高温同時焼成セラミックス（ＨＴＣＣ）でなければならない。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

大型静電チャックについては、例えば直径が２００ｍｍ以上の静電チャックの場合、セラミック材料と金属電極間の熱膨張係数の差が大きいため、共焼同時焼成後に金属電極とセラミック材料間に大きな残留熱応力が発生する。この問題が解決できない場合、静電チャックの使用中の安定性や信頼性に影響を与えることがあるし、最悪の場合、割れや層間の分離が生じ、セラミック盤が廃棄されることになる。残留熱応力を低減する方法としては、熱膨張係数が近い材料を選択すること以外にも、電極構造の設計によっても解決することができる。大型の金属電極を複数の小さなサイズの領域に分割することで、残留熱応力を分散させ、残留熱応力を低減することができる。また、静電チャックの作業中には、吸着力が均一であり、表面に残留する静電気ができるだけ少ないことが求められる。残留静電気を減らすために、日本クリエイティブテクノロジー株式会社は二電極構造を設計し、正負の電極を用いて残留静電気を除去した。肖仁耀と孫雪平は、六電極構造を設計し、電圧の切り替えによって残留静電気を除去した。どの方法で残留静電気を除去するにしても、吸着力の均一性を確保するとともに、静電チャックの電極構造の均一性と対称性は必須条件である。このため、双半円二極型電極、六分円六電極、多ユニット二電極などが設計された。ただし、双半円二極型電極や六分円六電極の分割ユニットは大きすぎるため、残留熱応力を低減するのに不利である。また、多ユニット二電極構造では、多くの非連通の孤立した電極が形成される場合があるため、連通の問題を解決する必要がある。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明は、同心円構造の静電チャック電極パターン構造を提供することを目的とする。このような構造の静電チャック電極は、対称性が良好で、構造が均一で、簡単である。

【0005】

同心円構造の静電チャック電極パターン構造であって、
パターン構造全体について、静電チャックの中心は、無電極小円である中心円であり、中心円の外周は、隔離リングと呼ばれる、直径が異なる複数の無電極塗布層同心リングであり、中心円から外への隔離リングは、順に第１隔離リング、第２隔離リング・・・と呼ばれ、このように第ｍ隔離リングと記され、隣接する２つの隔離リングの間は、電極リングであり、中心円と第１隔離リングとの間は、第１電極リングであり、第１隔離リングと第２隔離リングとの間は、第２電極リングであり、このように、第ｍ－１隔離リングと第ｍ隔離リングとの間は、第ｍ電極リングであり、第ｍ隔離リングと第ｍ＋１隔離リングとの間は、第ｍ＋１電極リングであり、
各電極リング内には、長さが直径方向に沿って分布する複数の直線隔離領域（即ち、無電極塗布層）が設けられ、直線隔離領域は、対応する電極リング内に均等に分布し、ｘ個の電極を有する静電チャックにおける第ｍ電極リング内に設けられる直線隔離領域数はｘＣ_ｍと記され、第ｍ電極リング内の直線隔離領域と第ｍ隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング頂端連通口と呼ばれ、第ｍ電極リング内の直線隔離領域と第ｍ－１隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング底端連通口と呼ばれ、第１電極リング内の直線隔離領域と中心円の外周との間における非接続の隙間部分は、中心連通口と呼ばれ、第ｍ電極リング内の直線隔離領域の両端は、それぞれ対応する第ｍ－１隔離リング、第ｍ隔離リングに接続されるが、対応する第ｍ隔離リングはここに空隙が設けられ、空隙の一方側の隔離リングが直線隔離領域に接続され、空隙の他方側の隔離リングが遊離であり、この空隙によって、第ｍ電極リングと第ｍ＋１電極リングは電気的に連通し、この空隙をリンク間連通口と呼ばれ、
各電極パターンにおける中心連通口の数は、ｘＣ_１－ｘ個であり、各電極リング内の全ての直線隔離領域のうち、合計ｘ個の直線隔離領域にリンク間連通口が設けられ、リンク間連通口を有する直線隔離領域は、対応する電極リング内に均等に分布し、対応する電極リングをｘ等分し、第ｍ電極リングがｘ等分された後のそれぞれの弧状電極領域は、さらにｍ－１個以下の直線隔離領域によってＣ_ｍ個のより小さいユニット弧状電極領域に等分され、第ｍ電極リングがｘ等分された後のそれぞれの弧状電極領域における対応する直線隔離領域（即ち、対応するｍ－１個以下の直線隔離領域）は、一端が同リング底端連通口又は同リング頂端連通口であり、他端が隔離リングに直接接続され、好ましくは、第ｍ電極リングがｘ等分された後のそれぞれの弧状電極領域における直線隔離領域は周方向に均等に分布される、同心円構造の静電チャック電極パターン構造である。

【0006】

第１電極リングから外へのそれぞれの電極リング構造では、第ｍ電極リングは、それぞれのリンク間連通口を有する弧状電極領域から、リンク間連通口を介して第ｍ＋１電極リングのＣ_ｍ＋１個のユニット弧状電極領域に接続され、このＣ_ｍ＋１個のユニット弧状電極領域の軸線が順に隣接して接続され、第ｍ電極リングのリンク間連通口の出口（前記電極リングのリンク間連通口の出口とは、電極リングの外側直径に対応するリンク間連通口を指す）と第ｍ＋１電極リングのリンク間連通口の出口とは、周方向において夾角を有し、即ち、角度のずれが存在し、同一の直径にあることではなく、最外層の電極リングまで上記と同様であり、このように接続して対応するのは１つの電極ユニットであり、合計ｘ個の電極ユニットがあり、かつそれぞれの電極ユニットにおける弧状電極領域は、第１電極リングから外へ最外層の電極リングまで一体に接続される。

【0007】

さらに好ましくは、１つの電極ユニットにおける第ｍ電極リングの弧状電極領域のリンク間連通口の出口は、第ｍ＋１電極リングの弧状電極領域の周方向対称軸に位置する。

【0008】

好ましくは、電極リング又は弧状電極領域は金属電極のみであり、直線隔離領域及び隔離リングはいずれも無電極塗布層の非導電性構造である。

【0009】

好ましくは、直線隔離領域及び隔離リングは線幅を有する。

【0010】

好ましくは、いくつかの必要な電極ユニットを構成し、前記電極ユニットは、単一電極、二電極、三電極、四電極、五電極、六電極などであってもよく、即ち、対応するｘ＝１、２、３、４、５、６である。

【0011】

好ましくは、Ｃｍは、対応する第ｍリングの自然数であり、Ｃｍの値は、１以上の自然数であり、異なるリングは、Ｃｍの値が異なってもよく、一般的に、ｍの増大に伴ってＣｍは増大し又は変化しない。

【0012】

好ましくは、中心に金属電極がない円の直径は、０．３ｍｍから２０ｍｍの値であり、さらに好ましくは５ｍｍから１２ｍｍの値である。

【0013】

好ましくは、隔離リングの線幅（径方向）は、０．０３ｍｍから５ｍｍの値であり、さらに好ましくは０．２ｍｍから１．５ｍｍの値である。

【0014】

好ましくは、直線隔離領域の幅は、０．０３ｍｍから５ｍｍの値であり、さらに好ましくは０．２ｍｍから１．５ｍｍの値である。

【0015】

好ましくは、電極リングの幅（径方向）は、０．５ｍｍから８０ｍｍの値であり、さらに好ましくは３ｍｍから２５ｍｍの値である。

【0016】

好ましくは、同リング底端連通口又は同リング頂端連通口の径方向の長さは、０．２ｍｍから１０ｍｍの値であり、さらに好ましくは１．０ｍｍから５．０ｍｍの値である。

【0017】

好ましくは、リンク間連通口の周方向の長さは、０．２ｍｍから１０ｍｍの値であり、さらに好ましくは１．０ｍｍから５．０ｍｍの値である。

【発明の効果】

【0018】

以上より、本発明は、同心円構造の静電チャック電極パターン構造を設計した。このような構造の静電チャック電極では、分割ユニットを小型化することで残留熱応力の低減に有利であるとともに、ユニット分割の過程での孤立電極の発生が回避されるため、対称性が良好で、構造が均一で、簡単な静電チャック電極である。静電チャックにおける電極ユニットが複数の小弧状電極領域に分割された後、小弧状電極領域の接続ポイントの設置により、静電チャック全体における電極は、任意の必要な電極数に分割され得る。例えば、全ての小電極ユニットを接続する場合、静電チャックは単一電極であり、全ての小電極ユニットを互いに接続されない２つの部分に配置する場合、静電チャックは二電極である。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の同心円構造の静電チャック電極パターン構造の構造図及び部材定義模式図である。

【図2】本発明の実施例1に係る同心円構造の静電チャック電極パターン構造である。

【図3】本発明の実施例2に係る同心円構造の静電チャック電極パターン構造である。

【図4】本発明の実施例3に係る同心円構造の静電チャック電極パターン構造である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

詳細な実施例について説明する前に、本発明は、本明細書及び図面に示される詳細な構造や素子の配置に限定されないことを理解すべきである。本発明は、他の方法で実現される実施例であってもよい。また、本明細書で使用される言葉や用語は、記述目的のみであり、限定的な解釈として扱われるべきではない。本明細書で使用される「含む」、「含有する」、「有する」などの類似した言葉は、その後に挙げられる事項、その同等物、及びその他の付加的な事項を含むことを意味する。特に、「１つの素子」を説明する際に、本発明はその素子の数が１つに限定されるわけではなく、複数を含んでもよい。

【0021】

以下、図面を参照しながら本発明の各実施形態を説明する。また、本発明は、以下の実施形態に限定されず、本発明の技術的思想に基づいて様々な変形を加えることができる。

【0022】

図１は、本発明の同心円構造の静電チャック電極パターン構造の構造図及び部材定義模式図である。この同心円構造の静電チャック全体のパターン構造について、静電チャックの中心は、無電極小円である中心円１０１であり、中心円１０１の外周は、隔離リングと呼ばれる、直径が異なる複数の無電極塗布層同心リングである。中心円１０１から外への隔離リングは、順に第１隔離リング１０７、第２隔離リング……であり、このように第ｍ隔離リングと記され、隣り合う２つの隔離リングの間は電極リングであり、中心円１０１と第１隔離リングとの間は第１電極リング１１１であり、第１隔離リング１０７と第２隔離リングとの間は第２電極リングであり、このように第ｍ－１隔離リング１０８と第ｍ隔離リング１０９との間は第ｍ電極リング１１２であり、第ｍ隔離リング１０９と第ｍ＋１隔離リング１１０との間は第ｍ＋１電極リング１１３である。

【0023】

各電極リング内には長さが直径方向に沿って分布する複数の直線隔離領域１０３（即ち、無電極塗布層）が設けられる。直線隔離領域１０３は、対応する電極リング内に均等に分布する。Ｘ個の電極を有する静電チャックにおける第ｍ電極リング１１２内に設けられる直線隔離領域１０３の数は、ｘＣｍと記される。第ｍ電極リング１１２内の直線隔離領域１０３と第ｍ隔離リング１０９との間における非接続の隙間部分は、同リング頂端連通口１０４と呼ばれる。第ｍ電極リング１１２内の直線隔離領域１０３と第ｍ－１隔離リング１０８との間における非接続の隙間部分は、同リング底端連通口１０５である。第１電極リング１１１内の直線隔離領域１０３と中心円１０１の外周との間における非接続の隙間部分は、中心連通口１０２と呼ばれる。第ｍ電極リング１１２内の直線隔離領域１０３の両端は、それぞれ対応する第ｍ－１隔離リング１０８、第ｍ隔離リング１０９に接続されるが、対応する第ｍ隔離リング１０９は、ここに空隙が設けられる。空隙の一方側の隔離リングは直線隔離領域１０３に接続され、空隙の他方側の隔離リングは遊離する。この空隙によって、第ｍ電極リング１１２と第ｍ＋１電極リング１１３は電気的に連通するため、この空隙をリンク間連通口１０６と呼ばれる。

【0024】

各電極パターンにおける中心連通口１０２の数はｘＣ１－ｘ個である。各電極リング内の全ての直線隔離領域１０３のうち、合計ｘ個の直線隔離領域１０３にリンク間連通口１０６が設けられる。リンク間連通口１０６が設けられる直線隔離領域１０３は、対応する電極リング内に均等に分布し、対応する電極リングをｘ等分する。第ｍ電極リング１１２がｘ等分された後のそれぞれの弧状電極領域は、さらにｍ－１個以下の直線隔離領域１０３によってＣｍ個のより小さいユニット弧状電極領域に等分される。第ｍ電極リング１１２がｘ等分された後のそれぞれの弧状電極領域における対応する直線隔離領域１０３（即ち、対応するｍ－１個以下の直線隔離領域１０３）は、一端が同リング底端連通口１０５又は同リング頂端連通口１０４であり、他端が隔離リングに直接接続される。好ましくは、第ｍ電極リング１１２がｘ等分された後のそれぞれの弧状電極領域における直線隔離領域１０３は周方向に沿って均等に分布される。

【0025】

第１電極リング１１１から外へ、それぞれの電極リング構造では、第ｍ電極リング１１２は、それぞれのリンク間連通口１０６を有する弧状電極領域から、リンク間連通口１０６を介して第ｍ＋１電極リング１１３のＣｍ＋１個のユニット弧状電極領域に接続され、Ｃｍ＋１個のユニット弧状電極領域が順に隣接して接続されることにより、Ｃｍ＋１個のユニット弧状電極領域が電気的に接続する。第ｍ電極リング１１２のリンク間連通口１０６の出口（前記電極リングのリンク間連通口１０６の出口とは、電極リングの外側直径に対応するリンク間連通口１０６を指す）と、第ｍ＋１電極リング１１３のリンク間連通口１０６の出口とは、周方向において夾角を有し、即ち、角度のずれが存在し、同一の直径にあることではない。最外層の電極リングまで上記と同様である。このように接続して対応するのは１つの電極ユニットであり、合計ｘ個の電極ユニットがあり、かつそれぞれの電極ユニットにおける弧状電極領域は、第１電極リング１１１から外へ最外層の電極リングまで一体に接続される。

【0026】

さらに好ましくは、１つの電極ユニットにおける第ｍ電極リング１１２の弧状電極領域のリンク間連通口１０６の出口は、第ｍ＋１電極リング１１３の弧状電極領域の周方向対称軸に位置する。

【0027】

好ましくは、電極リング又は弧状電極領域は、金属電極のみである。直線隔離領域及び隔離リングは、いずれも無電極塗布層の非導電性構造である。

【0028】

好ましくは、直線隔離領域及び隔離リングは、線幅を有する。

【0029】

好ましくは、いくつかの必要な電極ユニットを構成し、前記電極ユニットは、単一電極、二電極、三電極、四電極、五電極、六電極など（即ち、対応するｘ＝１、２、３、４、５、６）であってもよい。

【0030】

好ましくは、Ｃｍは、対応する第ｍリングの自然数である。Ｃｍの値は、１以上の自然数である。異なるリングは、Ｃｍの値が異なってもよい。一般的に、ｍの増大に伴ってＣｍは増大し又は変化しない。

【0031】

好ましくは、中心に金属電極がない円の直径は０．３ｍｍから２０ｍｍの値であり、さらに好ましくは５ｍｍから１２ｍｍの値である。

【0032】

好ましくは、隔離リング線幅（径方向）は、０．０３ｍｍから５ｍｍの値であり、さらに好ましくは０．２ｍｍから１．５ｍｍの値である。

【0033】

好ましくは、直線隔離領域の幅は、０．０３ｍｍから５ｍｍの値であり、さらに好ましくは０．２ｍｍから１．５ｍｍの値である。

【0034】

好ましくは、電極リング（径方向）の幅は、０．５ｍｍから８０ｍｍの値であり、さらに好ましくは３ｍｍから２５ｍｍの値である。

【0035】

好ましくは、同リング底端連通口又は同リング頂端連通口の径方向の長さは、０．２ｍｍから１０ｍｍの値であり、さらに好ましくは１．０ｍｍから５．０ｍｍの値である。

【0036】

好ましくは、リンク間連通口の周方向の長さは、０．２ｍｍから１０ｍｍの値であり、さらに好ましくは１．０ｍｍから５．０ｍｍの値である。

【0037】

実施例１
図２は、単一電極同心円構造の静電チャック電極パターン構造を示す。図２に示すように、構造全体は、全ての電極リングのユニット弧状電極領域の連通により１つの電極を形成する。

【0038】

具体的には、この単一電極同心円構造の静電チャック全体のパターン構造は、以下の通りである。静電チャックの中心は、無電極小円である中心円２０１であり、中心円２０１の外周は、隔離リングと呼ばれる直径が異なる複数の無電極塗布層同心リングである。中心円２０１から外への隔離リングは、順に第１隔離リング２０８、第２隔離リング２０９、第３隔離リング２１０、第４隔離リング２１１、第５隔離リング２１２、及び最外層に位置する電極最大外径周線２０７と呼ばれる。ここで、電極最大外径周線２０７は、第６隔離リングである。隣接する２つの隔離リングの間は、電極リングである。中心円２０１と第１隔離リング２０８との間は、第１電極リング２１３である。第１隔離リング２０８と第２隔離リング２０９との間は、第２電極リング２１４である。第２隔離リング２０９と第３隔離リング２１０との間は、第３電極リング２１５である。第３隔離リング２１０と第４隔離リング２１１との間は、第４電極リング２１６である。第４隔離リング２１１と第５隔離リング２１２との間は、第５電極リング２１７である。第５隔離リング２１２と電極最大外径周線２０７との間は、第６電極リング２１８である。

【0039】

各電極リング内には長さが直径方向に沿って分布する複数の直線隔離領域２０３（即ち、無電極塗布層）が設けられる。直線隔離領域２０３は、対応する電極リング内に均等に分布する。Ｘ個の電極を有する静電チャックにおける第ｍ電極リング内に設けられる直線隔離領域２０３の数は、ｘＣｍと記される。第ｍ電極リング内の直線隔離領域２０３と第ｍ隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング頂端連通口２０４と呼ばれる。第ｍ電極リング内の直線隔離領域２０３と第ｍ－１隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング底端連通口２０５である。第１電極リング２１３内の直線隔離領域２０３と中心円１０１の外周との間における非接続の隙間部分は、中心連通口２０２と呼ばれる。第ｍ電極リング内の直線隔離領域２０３の両端は、それぞれ対応する第ｍ－１隔離リング、第ｍ隔離リングに接続されるが、対応する第ｍ隔離リングは、ここに空隙が設けられる。空隙の一方側の隔離リングは直線隔離領域２０３に接続され、空隙の他方側の隔離リングは遊離する。この空隙によって、第ｍ電極リングと第ｍ＋１電極リングは電気的に連通し、この空隙は、リンク間連通口２０６と呼ばれる。

【0040】

各電極パターンにおける中心連通口２０２の数はｘＣ１－ｘ個である。本実施例は、単一電極同心円構造の静電チャック電極パターン構造であるため、ｘ＝１であり、各電極パターンにおける中心連通口２０２の数はＣ１－１個である。各電極リング内の全ての直線隔離領域２０３のうち、合計１個の直線隔離領域２０３にリンク間連通口２０６が設けられる。リンク間連通口２０６が設けられる直線隔離領域２０３は、対応する電極リング内に均等に分布し、対応する電極リングを１等分する。第ｍ電極リングが１等分された後のこの弧状電極領域は、さらにｍ－１個以下の直線隔離領域２０３によってＣｍ個のより小さいユニット弧状電極領域に等分される。第ｍ電極リングが１等分された後のこの弧状電極領域における対応する直線隔離領域２０３（即ち、対応するｍ－１個以下の直線隔離領域２０３）は、一端が同リング底端連通口２０５又は同リング頂端連通口２０４であり、他端が隔離リングに直接接続される。好ましくは、第ｍ電極リングが１等分された後のこの弧状電極領域における直線隔離領域２０３の分布位置関係は、周方向に沿って対称的である。

【0041】

第１電極リング２１３から外へ、それぞれの電極リング構造では、第ｍ電極リングは、それぞれのリンク間連通口２０６を有する弧状電極領域から、リンク間連通口２０６を介して第ｍ＋１電極リングのＣｍ＋１個のユニット弧状電極領域に接続され、Ｃｍ＋１個のユニット弧状電極領域の軸線が順に隣接して接続される。第ｍ電極リングのリンク間連通口２０６の出口（前記電極リングのリンク間連通口２０６の出口とは、電極リングの外側直径に対応するリンク間連通口２０６を指す）と、第ｍ＋１電極リングのリンク間連通口２０６の出口とは、周方向において夾角を有し、即ち、角度のずれが存在し、同一の直径にあることではない。最外層の電極リングまで上記と同様である。このように接続して対応するのは１つの電極ユニットであり、合計１個の電極ユニットがあり、かつこの電極ユニットにおける弧状電極領域は、第１電極リング２１３から外へ最外層の電極リングまで一体に接続される。

【0042】

本実施例では、中心円２０１の外周に６層の隔離リングがあるため、ｍは１から６の間の自然数である。

【0043】

実施例２
図３は、四電極同心円構造の静電チャック電極パターン構造を示す。図３に示すように、構造全体では、４つの独立した電極が形成され、灰色は１つの独立した電極の接続関係を示す。

【0044】

具体的には、この四電極同心円構造の静電チャック全体のパターン構造は、以下の通りである。静電チャックの中心は、無電極小円である中心円３０１であり、中心円３０１の外周は、隔離リングと呼ばれる直径が異なる複数の無電極塗布層同心リングである。中心円３０１から外への隔離リングは、順に第１隔離リング３０８、第２隔離リング３０９、第３隔離リング３１０、第４隔離リング３１１、第５隔離リング３１２、及び最外層に位置する電極最大外径周線３０７と呼ばれる。ここで、電極最大外径周線３０７は、第６隔離リングである。隣接する２つの隔離リングの間は、電極リングである。中心円３０１と第１隔離リング３０８との間は、第１電極リング３１３である。第１隔離リング３０８と第２隔離リング３０９との間は、第２電極リング３１４である。第２隔離リング３０９と第３隔離リング３１０との間は、第３電極リング３１５である。第３隔離リング３１０と第４隔離リング３１１との間は、第４電極リング３１６である。第４隔離リング３１１と第５隔離リング３１２との間は、第５電極リング３１７である。第５隔離リング３１２と電極最大外径周線３０７との間は、第６電極リング３１８である。

【0045】

各電極リング内には長さが直径方向に沿って分布する複数の直線隔離領域３０３（即ち、無電極塗布層）が設けられる。直線隔離領域３０３は、対応する電極リング内に均等に分布する。Ｘ個の電極を有する静電チャックにおける第ｍ電極リング内に設けられる直線隔離領域３０３の数は、ｘＣｍと記される。第ｍ電極リング内の直線隔離領域３０３と第ｍ隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング頂端連通口３０４と呼ばれる。第ｍ電極リング内の直線隔離領域３０３と第ｍ－１隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング底端連通口３０５である。第ｍ電極リング内の直線隔離領域３０３の両端は、それぞれ対応する第ｍ－１隔離リング、第ｍ隔離リングに接続されるが、対応する第ｍ隔離リングは、ここに空隙が設けられる。空隙の一方側の隔離リングは直線隔離領域３０３に接続され、空隙の他方側の隔離リングは遊離する。この空隙によって、第ｍ電極リングと第ｍ＋１電極リングは電気的に連通し、この空隙は、リンク間連通口３０６と呼ばれる。

【0046】

本実施例は、四電極同心円構造の静電チャック電極パターン構造であるため、ｘ＝４である。

【0047】

各電極リング内の全ての直線隔離領域３０３のうち、合計４個の直線隔離領域３０３にリンク間連通口３０６が設けられる。リンク間連通口３０６が設けられる直線隔離領域３０３は、対応する電極リング内に均等に分布し、対応する電極リングを４等分する。第ｍ電極リングが４等分された後のそれぞれの弧状電極領域は、さらにｍ－１個以下の直線隔離領域３０３によってＣｍ個のより小さいユニット弧状電極領域に等分される。第ｍ電極リングが４等分された後のそれぞれの弧状電極領域における対応する直線隔離領域３０３（即ち、対応するｍ－１個以下の直線隔離領域３０３）は、一端が同リング底端連通口３０５又は同リング頂端連通口３０４であり、他端が隔離リングに直接接続される。好ましくは、第ｍ電極リングが４等分された後のそれぞれの弧状電極領域における直線隔離領域３０３の分布位置関係は、周方向に沿って対称的である。

【0048】

第１電極リング３１３から外へ、それぞれの電極リング構造では、第ｍ電極リングは、それぞれのリンク間連通口３０６を有する弧状電極領域から、リンク間連通口３０６を介して第ｍ＋１電極リングのＣｍ＋１個のユニット弧状電極領域に接続され、Ｃｍ＋１個のユニット弧状電極領域の軸線が順に隣接して接続される。第ｍ電極リングのリンク間連通口３０６の出口（前記電極リングのリンク間連通口３０６の出口とは、電極リングの外側直径に対応するリンク間連通口３０６を指す）と、第ｍ＋１電極リングのリンク間連通口３０６の出口とは、周方向において夾角を有し、即ち、角度のずれが存在し、同一の直径にあることではない。最外層の電極リングまで上記と同様である。このように接続して対応するのは１つの電極ユニットであり、合計４個の電極ユニットがあり、かつそれぞれの電極ユニットにおける弧状電極領域は、第１電極リング３１３から外へ最外層の電極リングまで一体に接続される。図３に示される１つの電極パターン３０２を参照されたい。

【0049】

本実施例では、中心円３０１の外周に６層の隔離リングがあるため、ｍは１から６の間の自然数である。

【0050】

実施例３
図４は、六電極同心円構造の静電チャック電極パターン構造を示す。図３に示すように、構造全体では、６つの独立した電極が形成され、灰色は１つの独立した電極の接続関係を示す。

【0051】

具体的には、この六電極同心円構造の静電チャック全体のパターン構造は、以下の通りである。静電チャックの中心は、無電極小円である中心円４０１であり、中心円４０１の外周は、隔離リングと呼ばれる直径が異なる複数の無電極塗布層同心リングである。中心円４０１から外への隔離リングは、順に第１隔離リング４０８、第２隔離リング４０９、第３隔離リング４１０、第４隔離リング４１１、第５隔離リング４１２、第６隔離リング４１３、第７隔離リング４１４、及び最外層に位置する電極最大外径周線４０７と呼ばれる。ここで、電極最大外径周線４０７は、第８隔離リングである。隣接する２つの隔離リングの間は、電極リングである。中心円４０１と第１隔離リング４０８との間は、第１電極リング４１５である。第１隔離リング４０８と第２隔離リング４０９との間は、第２電極リング４１６である。第２隔離リング４０９と第３隔離リング４１０との間は、第３電極リング４１７である。第３隔離リング４１０と第４隔離リング４１１との間は、第４電極リング４１８である。第４隔離リング４１１と第５隔離リング４１２との間は、第５電極リング４１９である。第５隔離リング４１２と第６隔離リング４１３との間は、第６電極リング４２０である。第６隔離リング４１３と第７隔離リング４１４との間は、第７電極リング４２１である。第７隔離リング４１４と電極最大外径周線４０７との間は、第８電極リング４２２である。

【0052】

各電極リング内には長さが直径方向に沿って分布する複数の直線隔離領域４０３（即ち、無電極塗布層）が設けられる。直線隔離領域４０３は、対応する電極リング内に均等に分布する。Ｘ個の電極を有する静電チャックにおける第ｍ電極リング内に設けられる直線隔離領域４０３の数は、ｘＣｍと記される。第ｍ電極リング内の直線隔離領域４０３と第ｍ隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング頂端連通口４０４と呼ばれる。第ｍ電極リング内の直線隔離領域４０３と第ｍ－１隔離リングとの間における非接続の隙間部分は、同リング底端連通口４０５である。第ｍ電極リング内の直線隔離領域４０３の両端は、それぞれ対応する第ｍ－１隔離リング、第ｍ隔離リングに接続されるが、対応する第ｍ隔離リングは、ここに空隙が設けられる。空隙の一方側の隔離リングは直線隔離領域４０３に接続され、空隙の他方側の隔離リングは遊離する。この空隙によって、第ｍ電極リングと第ｍ＋１電極リングは電気的に連通し、この空隙は、リンク間連通口４０６と呼ばれる。

【0053】

本実施例は、六電極同心円構造の静電チャック電極パターン構造であるため、ｘ＝６である。

【0054】

各電極リング内の全ての直線隔離領域４０３のうち、合計６個の直線隔離領域４０３にリンク間連通口４０６が設けられる。リンク間連通口４０６が設けられる直線隔離領域４０３は、対応する電極リング内に均等に分布し、対応する電極リングを６等分する。第ｍ電極リングが６等分された後のそれぞれの弧状電極領域は、さらにｍ－１個以下の直線隔離領域４０３によってＣｍ個のより小さいユニット弧状電極領域に等分される。第ｍ電極リングが６等分された後のそれぞれの弧状電極領域における対応する直線隔離領域４０３（即ち、対応するｍ－１個以下の直線隔離領域４０３）は、一端が同リング底端連通口４０５又は同リング頂端連通口４０４であり、他端が隔離リングに直接接続される。好ましくは、第ｍ電極リングが６等分された後のそれぞれの弧状電極領域における直線隔離領域４０３の分布位置関係は、周方向に沿って対称的である。

【0055】

第１電極リング４１５から外へ、それぞれの電極リング構造では、第ｍ電極リングは、それぞれのリンク間連通口４０６を有する弧状電極領域から、リンク間連通口４０６を介して第ｍ＋１電極リングのＣｍ＋１個のユニット弧状電極領域に接続され、Ｃｍ＋１個のユニット弧状電極領域の軸線が順に隣接して接続される。第ｍ電極リングのリンク間連通口４０６の出口（前記電極リングのリンク間連通口４０６の出口とは、電極リングの外側直径に対応するリンク間連通口４０６を指す）と、第ｍ＋１電極リングのリンク間連通口４０６の出口とは、周方向において夾角を有し、即ち、角度のずれが存在し、同一の直径にあることではない。最外層の電極リングまで上記と同様である。このように接続して対応するのは１つの電極ユニットであり、合計６個の電極ユニットがあり、かつそれぞれの電極ユニットにおける弧状電極領域は、第１電極リング４１５から外へ最外層の電極リングまで一体に接続される。図４に示される１つの電極パターン４０２を参照されたい。

【0056】

本実施例では、中心円４０１の外周に８層の隔離リングがあるため、ｍは１から８の間の自然数である。

【0057】

以上より、本発明は、同心円構造の静電チャック電極パターン構造を設計した。このような構造の静電チャック電極では、分割ユニットを小型化することで残留熱応力の低減に有利であるとともに、ユニット分割の過程での孤立電極の発生が回避されるため、対称性が良好で、構造が均一で、簡単な静電チャック電極である。静電チャックにおける電極ユニットが複数の小弧状電極領域に分割された後、小弧状電極領域の接続ポイントの設置により、静電チャック全体における電極は、任意の必要な電極数に分割され得る。例えば、全ての小電極ユニットを接続する場合、静電チャックは単一電極であり、全ての小電極ユニットを互いに接続されない２つの部分に配置する場合、静電チャックは二電極である。

【0058】

本明細書で説明されている概念は、その精神と特徴から逸脱しない範囲で他の形態で実施することができる。公開されている具体的な実施例は、例示的であり制限的ではないと考えるべきである。したがって、本発明の範囲は、これらの説明に基づくものではなく、添付する特許請求の範囲によって決定される。特許請求の範囲の文字通りの意味及び同等の範囲内でのすべての変更は、本発明の範囲に属するものとされる。

【0059】

符号の説明
図１において、１０１：中心円；１０２：中心連通口；１０３：直線隔離領域；１０４：同リング頂端連通口；１０５：同リング底端連通口；１０６：リンク間連通口；１０７：第１隔離リング；１０８：第ｍ－１隔離リング；１０９：第ｍ隔離リング；１１０：第ｍ＋１隔離リング；１１１：第１電極リング；１１２：第ｍ電極リング；１１３：第ｍ＋１電極リング。
図２において、２０１：中心円；２０２：中心連通口；２０３：直線隔離領域；２０４：同リング頂端連通口；２０５：同リング底端連通口；２０６：リンク間連通口；２０７：電極最大外径周線；２０８：第１隔離リング；２０９：第２隔離リング；２１０：第３隔離リング；２１１：第４隔離リング；２１２：第５隔離リング；２１３：第１電極リング；２１４：第２電極リング；２１５：第３電極リング；２１６：第４電極リング；２１７：第５電極リング；２１８：第６電極リング。
図３において、３０１：中心円；３０２：１つの電極パターン；３０３：直線隔離領域；３０４：同リング頂端連通口；３０５：同リング底端連通口；３０６：リンク間連通口；３０７：電極最大外径周線；３０８：第１隔離リング；３０９：第２隔離リング；３１０：第３隔離リング；３１１：第４隔離リング；３１２：第５隔離リング；３１３：第１電極リング；３１４：第２電極リング；３１５：第３電極リング；３１６：第４電極リング；３１７：第５電極リング；３１８：第６電極リング。
図４において、４０１：中心円；４０２：１つの電極パターン；４０３：直線隔離領域；４０４：同リング頂端連通口；４０５：同リング底端連通口；４０６：リンク間連通口；４０７：電極最大外径周線；４０８：第１隔離リング；４０９：第２隔離リング；４１０：第３隔離リング；４１１：第４隔離リング；４１２：第５隔離リング；４１３：第６隔離リング；４１４：第７隔離リング；４１５：第１電極リング；４１６：第２電極リング；４１７：第３電極リング；４１８：第４電極リング；４１９：第５電極リング；４２０：第６電極リング；４２１：第７電極リング；４２２：第８電極リング

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】