特許 7599098 霧化装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-05

(45)【発行日】2024-12-13

(54)【発明の名称】霧化装置

(51)【国際特許分類】

   B05B 17/06 20060101AFI20241206BHJP

   A61L 9/14 20060101ALI20241206BHJP

【ＦＩ】

B05B17/06

A61L9/14

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2022553520

(86)(22)【出願日】2021-08-11

(86)【国際出願番号】 JP2021029586

(87)【国際公開番号】W WO2022070622

(87)【国際公開日】2022-04-07

【審査請求日】2024-02-13

(31)【優先権主張番号】P 2020165397

(32)【優先日】2020-09-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2020165416

(32)【優先日】2020-09-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(74)【代理人】

【識別番号】100137235

【弁理士】

【氏名又は名称】寺谷 英作

(74)【代理人】

【識別番号】100131417

【弁理士】

【氏名又は名称】道坂 伸一

(72)【発明者】

【氏名】細見 聡彦

(72)【発明者】

【氏名】桐山 竜也

(72)【発明者】

【氏名】南口 勝

(72)【発明者】

【氏名】片山 浩幸

【審査官】佐藤 彰洋

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－１３０３９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０３８６４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６０－１３２６７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０００９９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５４－０６１３０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５６－１０７４２１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開昭５４－０３４１１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５９－０００３５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０００６７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２２１１３４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｂ １７／０６

Ａ６１Ｌ ９／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の共振点を有する超音波振動子と、
前記超音波振動子を発振動作させる駆動制御部と、
前記超音波振動子が発する音波、及び、当該音波を伝搬する液体が通過し、前記液体を柱状に噴出するための噴出口を有する貫通孔が設けられた部材と、
前記超音波振動子が発した音波が入射され、前記貫通孔を通過させて所定の焦点に集束させるように、入射された音波を出射する集音部と、を備え、
前記駆動制御部は、前記超音波振動子の１次の共振周波数よりも高次の共振周波数で前記超音波振動子を発振動作させ、
前記所定の焦点は、前記集音部から見て前記噴出口よりも遠方に位置する
霧化装置。

【請求項2】

前記集音部は、前記超音波振動子と前記部材との間に位置し、入射された音波を透過して出射する
請求項１に記載の霧化装置。

【請求項3】

前記集音部における音波を出射する出射面は、凹状である
請求項２に記載の霧化装置。

【請求項4】

前記集音部は、入射された音波を反射することで出射する
請求項１に記載の霧化装置。

【請求項5】

前記集音部における入射された音波を反射する反射面は、放物面である
請求項４に記載の霧化装置。

【請求項6】

前記噴出口の径は、前記集音部に集束された音波のビーム径よりも大きい
請求項１～５のいずれか１項に記載の霧化装置。

【請求項7】

前記噴出口の径は、前記ビーム径の１０倍以下である
請求項６に記載の霧化装置。

【請求項8】

前記部材は、前記部材の内壁が、前記集音部における音波を出射する表面から、前記所定の焦点に至るまでに集束する音波の経路外に位置するように配置されている
請求項１～７のいずれか１項に記載の霧化装置。

【請求項9】

前記駆動制御部は、５ＭＨｚを超える高次の共振周波数で前記超音波振動子を発振動作させる
請求項１～８のいずれか１項に記載の霧化装置。

【請求項10】

さらに、前記液体が収容される液相部と、前記液体が収容されない気相部と、が設けられた収容体を備え、
前記部材は、前記噴出口の周囲に位置する端部が前記気相部に位置するように配置されている
請求項１～９のいずれか１項に記載の霧化装置。

【請求項11】

前記部材における前記噴出口の周囲に位置する端部は、撥水性を有する
請求項１～１０のいずれか１項に記載の霧化装置。

【請求項12】

前記噴出口は、前記噴出口から噴出される柱状の前記液体である液柱の延在方向が鉛直方向と交差するように、前記部材に設けられている
請求項１～１１のいずれか１項に記載の霧化装置。

【請求項13】

前記液体に殺菌成分を含む
請求項１～１２のいずれか１項に記載の霧化装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、霧化装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、除菌、脱臭等に用いられるミストを発生させる霧化装置がある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１には、超音波発生器を用いて液体を霧化させる装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特表平６－５０７８３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

超音波振動子から発せられる超音波振動が液体に与えられると、振動エネルギーを受けた液体の水面から液柱が隆起する。液柱の表面にはキャピラリー波と呼ばれる微細な波が発生し、波の振幅が臨界点を超えたときに波の頭頂部が破断してミストが発生すると考えられている。

【0005】

ここで、超音波振動を用いた液体の霧化では、液体に与えられる振動の周波数が高い程、液柱から発生するミストのサイズが小さくなる。

【0006】

例えば、除菌、脱臭等に用いられるミストには、効果の観点から、粒径がナノメートルオーダからマイクロメートルオーダであることが求められる。微細化されたミストであれば、空間に噴霧されることで、ミストの空間に位置する菌及び悪臭ガス等との衝突確率及びミストの拡散性が向上され得る。

【0007】

しかしながら、超音波振動子が動作する固有周波数（基本共振周波数）を高くするためには、超音波振動子の厚みを薄くすることが必要となる。そのため、超音波振動子が動作する基本共振周波数を高くしようとする程、超音波振動子の製造が困難となる。これにより、超音波振動子を用いた液体の霧化では、ミストのサイズを小さくすることが難しい。

【0008】

また、液体に与える振動の周波数を高くした場合、ミストの発生量が著しく低下してしまうことが知られている。

【0009】

本開示は、ミストの粒径を適切なサイズに制御でき、且つ、ミストの発生量の低下を抑制できる霧化装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本開示の一態様に係る霧化装置は、複数の共振点を有する超音波振動子と、超音波振動子を発振動作させる駆動制御部と、超音波振動子が発する音波、及び、音波を伝搬する液体が通過し、液体を柱状に噴出するための噴出口を有する貫通孔が設けられた部材と、を備え、駆動制御部は、超音波振動子の１次の共振周波数よりも高次の共振周波数で超音波振動子を発振動作させる。

【発明の効果】

【0011】

本開示によれば、ミストの粒径を適切なサイズに制御でき、且つ、ミストの発生量の低下を抑制できる霧化装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、実施の形態１に係る霧化装置の構成を示す概略断面図である。

【図2】図２は、実施の形態１に係る霧化装置が備える部材を示す斜視図である。

【図3】図３は、超音波振動子のインピーダンス特性の一例を示す図である。

【図4】図４は、液体に印加される振動周波数に対するミストの粒径を示す図である。

【図5】図５は、実施の形態１の変形例に係る霧化装置の構成を示す概略断面図である。

【図6】図６は、実施の形態２に係る霧化装置の構成を示す概略断面図である。

【図7】図７は、噴出口の径とビーム径との関係を説明するための図である。

【図8】図８は、実施の形態３に係る霧化装置の構成を示す概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下では、本開示の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本開示の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本開示を限定する趣旨ではない。

【0014】

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。したがって、例えば、各図において縮尺等は必ずしも一致しない。また、各図において、実質的に同一の構成については同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する場合がある。

【0015】

また、本明細書及び図面において、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、三次元直交座標系の三軸を示している。各実施の形態では、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、Ｚ軸に垂直な方向（ＸＹ平面に平行な方向）を水平方向としている。なお、各実施の形態では、Ｚ軸正方向を鉛直上方として説明する。

【0016】

（実施の形態１）
［構成］
図１は、実施の形態１に係る霧化装置１００の構成を示す概略断面図である。図２は、実施の形態１に係る霧化装置１００が備える部材１３０を示す斜視図である。なお、図１においては、制御部１５０を機能的なブロックとして図示している。制御部１５０は、超音波振動子１２０及び供給部１４０と制御線等により制御可能に接続されており、各装置を制御する。制御部１５０は、例えば、マイコン（マイクロコントローラ）等で実現され、霧化装置１００の図示しない外殻筐体の内部に配置されている。制御部１５０は、例えば、図示しない外郭筐体の外側に取り付けられていてもよい。

【0017】

霧化装置１００は、液体２００をミスト化（霧化）して、大気中で浮遊する浮遊性を有するミスト２２０を発生するミスト発生装置である。例えば、霧化装置１００は、超音波振動子１２０が超音波振動することにより超音波振動子１２０から発せられる音波（以下、ビーム２３０と呼称する）を用いて、部材１３０に設けられた（形成された）噴出口１３２から液体２００からなる液柱２１０を噴出させる。噴出口１３２から噴出された液柱２１０の表面からは、無数のミスト２２０が発せられる。これにより、霧化装置１００は、ミスト２２０を発生させる。

【0018】

ミスト２２０は、液体２００がミスト化された複数の液体粒子のうちの１つである。霧化装置１００は、例えば、加湿装置、脱臭装置、又は、殺菌装置等に利用される。

【0019】

液体２００は、水であるが、油等の任意の液体が用いられてもよい。また、液体２００には、香料成分又は殺菌成分等が含まれていてもよい。例えば、液体２００が香料成分を含む場合には、霧化装置１００は、香料成分を含むミスト２２０を発生する香り発生器である。或いは、例えば、液体２００が次亜塩素酸等の殺菌成分を含む場合には、霧化装置１００は、殺菌装置である。

【0020】

ミスト２２０は、例えば、マイクロメートルオーダの径の微細な液体粒子であり、大気中で浮遊する浮遊性を有する。例えば、ミスト２２０の個数平均径は、数μｍ程度である。例えば、ミスト２２０の個数平均径は、１．５μｍ以下である。

【0021】

霧化装置１００は、収容体１１０と、超音波振動子１２０と、部材１３０と、供給部１４０と、制御部１５０と、を備える。

【0022】

収容体１１０は、液体２００を収容し、上方が開口している容器である。本実施の形態では、収容体１１０は、超音波振動子１２０及び部材１３０を支持している。収容体１１０に採用される材料は、例えば、樹脂材料であるが、特に限定されない。収容体１１０には、例えば、液体２００が収容される液相部１１１と、液体２００が収容されない気相部１１２と、が設けられている。

【0023】

超音波振動子１２０は、液体２００に超音波振動を印加するための振動子である。超音波振動子１２０は、複数の共振点（共振周波数）を有する。具体的には、超音波振動子１２０は、基本共振周波数（１次の共振周波数）の他に、当該基本共振周波数よりも高次の共振周波数で振動する共振点を有する。

【0024】

超音波振動子１２０は、制御部１５０（より具体的には、駆動制御部１５２）に電圧を印加されることで、超音波振動する。超音波振動子１２０は、例えば、圧電素子である。本実施の形態では、超音波振動子１２０は、Ｚ軸方向に振動することで、Ｚ軸正方向にビーム２３０を発するように収容体１１０の底部に配置されている。超音波振動子１２０からビーム２３０が発せられる向き（本実施の形態では、超音波振動子１２０のＺ軸正方向側）には、部材１３０が配置されている。

【0025】

部材１３０は、超音波振動子１２０が発するビーム２３０、及び、ビーム２３０を伝搬する液体２００が通過し、液体２００を柱状に噴出するための噴出口１３２を有する貫通孔１３１が設けられた有孔体である。貫通孔１３１は、超音波振動子１２０が発するビーム２３０が伝搬する方向に延在するように部材１３０に設けられている。噴出口１３２は、貫通孔１３１を通過した、超音波振動子１２０が発するビーム２３０を伝搬する液体２００からなる液柱２１０を噴出する。本実施の形態では、部材１３０は、筒状、より具体的には、中心に貫通孔１３１及び噴出口１３２を有する角状（ホーン状）である。

【0026】

貫通孔１３１は、超音波振動子１２０がビーム２３０を発する側（本実施の形態では、Ｚ軸正方向側）に向けて孔径が漸次縮径している。このように、部材１３０の内壁１３４（内面又は壁部ともいう）は、例えば、超音波振動子１２０がビーム２３０を発する方向（本実施の形態では、Ｚ軸方向）に対して傾斜したテーパ状の面である傾斜部となっている。これにより、ビーム２３０は、部材１３０の内面で反射されて噴出口１３２の近傍で集束（集音）される。

【0027】

噴出口１３２は、液柱２１０を形成するように液体２００を噴出するための開口である。

【0028】

なお、貫通孔１３１における下側の孔径（液体２００が貫通孔１３１に導入される側の開口部）と、貫通孔１３１における上側の孔径（つまり、噴出口１３２の孔径）との比率は、特に限定されない。噴出口１３２の孔径が１ｍｍ程度の場合、液柱２１０の幅（液柱２１０の延在方向に直交する方向の長さ）は、１ｍｍ程度となる。

【0029】

また、貫通孔１３１及び噴出口１３２の開口の形状は、例えば、円形であるが、正方形、長方形、又は、楕円形等でもよい。

【0030】

部材１３０の噴出口１３２が設けられた側の端部１３３（より具体的には、端面）は、例えば、撥水性となっている。言い換えると、部材１３０における噴出口１３２の周囲の端部１３３は、撥水性となっている。例えば、端部１３３に撥水性を有する膜等のフッ化物等の材料が設けられてもよいし、部材１３０の端部１３３の表面が撥水性を有するように加工されていてもよい。或いは、部材１３０が撥水性を有するフッ化物等の材料で実現されてもよい。このように、部材１３０における噴出口１３２の周囲に位置する端部１３３は、撥水性を有する。つまり、部材１３０は、例えば、少なくとも部材１３０における噴出口１３２が形成されている側の端部１３３が撥水性を有する。

【0031】

また、例えば、部材１３０は、噴出口１３２の周囲に位置する端部１３３が気相部１１２に位置するように配置されている。つまり、部材１３０における噴出口１３２が形成されている側の端部１３３は、収容体１１０の気相部１１２に位置する。例えば、後述する供給部１４０は、端部１３３が液体２００に浸らないように、液体２００を収容体１１０に供給する。或いは、収容体１１０の上方に位置する開口よりも上部に端部１３３が位置するように部材１３０が収容体１１０に配置されていてもよい。

【0032】

部材１３０に採用される材料は、特に限定されない。例えば、部材１３０に採用される材料は、樹脂材料である。なお、部材１３０に採用される材料として、ビーム２３０を反射する反射性材料が採用されてもよい。

【0033】

供給部１４０は、液体２００を収容体１１０に供給する給水部である。供給部１４０は、例えば、液体２００の収容体１１０への供給／非供給を切り替えるための電磁バルブと、液体２００が内部を通過する配管と、を備える。供給部１４０（より具体的には、供給部１４０が備える電磁バルブ）は、例えば、制御部１５０（より具体的には、供給制御部１５１）に制御されることで、上記した供給／非供給が切り替えられる。供給部１４０は、例えば、霧化装置１００から噴霧されるミスト２２０の元となる液体２００が貯蔵される図示しないタンク等と接続され、当該タンク等から供給される液体２００を、供給制御部１５１に制御されて収容体１１０に供給／非供給を切り替え可能に供給する。

【0034】

制御部１５０は、霧化装置１００の全体的な動作を制御する制御装置である。具体的には、制御部１５０は、超音波振動子１２０及び供給部１４０の動作を制御する。

【0035】

制御部１５０は、供給制御部１５１と、駆動制御部１５２と、を備える。

【0036】

供給制御部１５１は、供給部１４０の動作を制御するための処理部である。例えば、供給制御部１５１は、供給部１４０が備える電磁バルブを制御することで、供給部１４０に液体２００を収容体１１０に供給させる。霧化装置１００は、供給部１４０に液体２００に供給させる液体２００の供給量を制御するために、時間を計測するためにＲＴＣ（Ｒｅａｌ Ｔｉｍｅ Ｃｌｏｃｋ）等の計時部、収容体１１０に収容されている液体２００の量を測定するための水位センサ、又は、供給部１４０を流れる液体２００の液量を測定するための流量計等の計測装置を備えてもよい。供給制御部１５１は、当該計測装置の計測結果に基づいて、供給部１４０を制御してもよい。例えば、供給制御部１５１は、端部１３３が液体２００に浸らないように、供給部１４０に液体２００を収容体１１０に供給させる。

【0037】

駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０を発振動作（駆動）させる処理部である。具体的には、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０の１次の共振周波数よりも高次の共振周波数で超音波振動子１２０を発振動作させる。例えば、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０に電圧を印加するタイミング、電圧の大きさ、及び、周波数等を制御する。

【0038】

図３は、超音波振動子１２０のインピーダンス特性の一例を示す図である。例えば、図３に示すグラフの横軸は超音波振動子１２０に印加される電圧（例えば、交流電圧）の周波数であり、縦軸は印加された電圧の周波数における超音波振動子１２０のインピーダンスである。

【0039】

図３に示すように、例えば、超音波振動子１２０の１次の共振周波数は、２．５ＭＨｚである。また、例えば、超音波振動子１２０の３次の共振周波数は、８．２ＭＨｚである。また、例えば、超音波振動子１２０の５次の共振周波数は、１３．７ＭＨｚである。このように、超音波振動子１２０は、複数の共振点を有する。

【0040】

図４は、液体２００に印加される振動周波数に対するミスト２２０の粒径を示す図である。

【0041】

一般に、液体２００に印加される振動周波数に対するミスト２２０の粒径は、下記の式（１）に示すＬａｎｇの式で表される。

【0042】

【数1】

【0043】

なお、上記した式（１）において、ｄ_ｐはミスト２２０の粒径であり、ｋは実験的に求められる比例係数であり、ρは液体２００の密度であり、ｆは液体２００に与えられる振動周波数であり、σは液体２００の表面張力である。図４に示すグラフは、液体２００が水である場合において、Ｌａｎｇの式を用いたときにおける、液体２００に与える周波数に対するミスト２２０の粒径を示す。

【0044】

図４に示すように、例えば、ミスト２２０の粒径を１．５μｍ以下とするためには、５ＭＨｚ程度の周波数の振動を液体２００に与える必要がある。そのため、例えば、駆動制御部１５２は、５ＭＨｚを超える高次の共振周波数で超音波振動子１２０を発振動作させる。

【0045】

これにより、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０を制御することで、液柱２１０を発生させて液柱２１０から粒径が１．５μｍ以下のミスト２２０を発生させることができる。

【0046】

また、例えば、１μｍの粒径のミスト２２０を発生させるには、液体２００に８．５ＭＨｚ程度の周波数の振動を与える必要がある。そこで、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０の１次の共振周波数よりも高次（本実施の形態では、３次）の共振周波数で超音波振動子１２０を発振動作させる。具体的には、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０と部材１３０との並び方向に振動させる高次の共振周波数の電圧を超音波振動子１２０に印加することで、高次の共振周波数で超音波振動子１２０を振動させる。

【0047】

このように、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０を制御することで、液柱２１０を発生させて液柱２１０から粒径が１μｍ程度のミスト２２０を発生させる。

【0048】

制御部１５０は、例えば、マイクロコントローラ等で実現される。具体的には、制御部１５０は、超音波振動子１２０及び供給部１４０と通信するための通信インターフェース、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、入出力ポート、プログラムを実行するプロセッサ等で実現される。制御部１５０は、各動作を実行する専用の電子回路で実現されてもよい。また、制御部１５０は、例えば、コンバータ等を含む昇圧電源回路を備えてもよい。例えば、駆動制御部１５２は、商用電源等の図示しない外部電源から受けた電力に基づいて上記した超音波振動子１２０の高次の共振周波数の電圧を生成して、生成した電圧を超音波振動子１２０に印加することで、超音波振動子１２０を高次の共振周波数で振動させる。

【0049】

なお、霧化装置１００は、さらに、ミスト２２０を空間に搬送する送風部を備えてもよい。送風部は、例えば、ＤＣ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｕｒｒｅｎｔ）ファン等の扇風機である。送風部は、収容体１１０の外方に向けて気流を発生させることで液柱２１０から発せられるミスト２２０を収容体１１０から離れる方向に搬送する。送風部が配置される位置は、収容体１１０の内部でもよいし収容体１１０の外部でもよく、特に限定されない。

【0050】

［効果等］
以上説明したように、実施の形態１に係る霧化装置１００は、複数の共振点を有する超音波振動子１２０と、超音波振動子１２０を発振動作させる駆動制御部１５２と、超音波振動子１２０が発するビーム２３０、及び、ビーム２３０を伝搬する液体２００が通過し、液体２００を柱状に噴出するための噴出口１３２を有する貫通孔１３１が設けられた部材１３０と、を備える。駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０の１次の共振周波数よりも高次の共振周波数で超音波振動子１２０を発振動作させる。

【0051】

これによれば、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０が有する複数の共振点のうち高次の共振点、つまり、高次の共振周波数で超音波振動子１２０を発振動作させる。そのため、駆動制御部１５２は、例えば、ミスト２２０の粒径を１μｍ程度にするために要求される周波数で超音波振動子１２０を振動させることができる。また、部材１３０によれば、噴出口１３２のサイズを適切に設定することで、適切な径の液柱２１０が噴出される。部材１３０が設けられていないと、径の大きい液柱２１０が発生される。液柱２１０の径が大きくなると、液柱２１０内の単位体積当たりの振動エネルギーが小さくなる。これにより、ミスト２２０の発生量が著しく低下する、又は、液柱２１０からミスト２２０が発せられなくなる。そこで、部材１３０によって適切な径の液柱２１０が噴出口１３２から噴出されるようにすることで、液柱２１０の表面まで伝わる振動エネルギーを大きくする。これにより、ミスト２２０の発生量の低下が抑制される。以上のことから、霧化装置１００によれば、ミスト２２０の粒径を適切なサイズに制御でき、且つ、ミスト２２０の発生量の低下を抑制できる。

【0052】

また、例えば、駆動制御部１５２は、５ＭＨｚを超える高次の共振周波数で超音波振動子１２０を発振動作させる。

【0053】

これによれば、例えば、液体２００が水又は水溶液等であれば、図４に示すように、ミスト２２０の粒径を１μｍ程度に微細化できる。そのため、例えば、ミスト２２０の粒径が１０μｍ以上である場合と比較して、ミスト２２０の拡散性を向上させることができ、また、空間に位置する菌及び悪臭ガス等との衝突確率を向上させることができる。

【0054】

また、例えば、霧化装置１００は、さらに、液体２００が収容される液相部１１１と、液体２００が収容されない気相部１１２と、が設けられた収容体１１０を備える。例えば、部材１３０は、噴出口１３２の周囲に位置する端部１３３が気相部１１２に位置するように配置されている。

【0055】

これによれば、噴出口１３２から噴出された直後に液柱２１０が収容体１１０に収容されている液体２００と接触することを防ぐことができるため、液柱２１０の径を適切なサイズにさらに設定しやすくできる。

【0056】

また、例えば、部材１３０における噴出口１３２の周囲に位置する端部１３３は、撥水性を有する。

【0057】

これによれば、霧化装置１００がミスト２２０を発生させ続けても、端部１３３に液体２００が付着することを抑制できる。端部１３３で液体２００の付着（濡れ）が生じると、液柱２１０の直径が大きくなったり、液柱２１０の生成が不安定になる虞がある。これでは、ミスト２２０の発生量が低下する虞がある。そこで、端部１３３が撥水性を有することで、液柱２１０の径を安定化させることができるため、ミスト２２０の発生量が低下することをさらに抑制できる。

【0058】

［変形例］
続いて、実施の形態１に係る霧化装置の変形例について説明する。なお、以下で説明する変形例においては、実施の形態１に係る霧化装置１００との差異点を中心に説明する。変形例の説明においては、実施の形態１に係る霧化装置１００と実質的に同様の構成については、同様の符号を付し、説明を一部簡略化又は省略する場合がある。

【0059】

図５は、実施の形態１の変形例に係る霧化装置１００ａの構成を示す概略断面図である。

【0060】

霧化装置１００ａは、収容体１１０と、超音波振動子１２０と、部材１３０と、供給部１４０と、制御部１５０と、を備える。

【0061】

霧化装置１００ａでは、霧化装置１００と異なり、部材１３０が傾いている。具体的には、部材１３０は、噴出口１３２の孔軸（本変形例では、貫通孔１３１の延在方向であって、貫通孔１３１の孔軸に平行な軸）が鉛直方向（本実施の形態では、Ｚ軸方向）と交差するように、収容体１１０に配置されている。これにより、噴出口１３２から噴出される液柱２１０の延在方向は、鉛直方向と交差する。つまり、噴出口１３２は、液柱２１０の延在方向が鉛直方向と交差するように、部材１３０に設けられている。言い換えると、噴出口１３２は、噴出口１３２から噴出される柱状の液体２００である液柱２１０の延在方向が鉛直方向と交差するように、部材１３０に設けられている。

【0062】

これによれば、液柱２１０には、液柱の２１０の自重がかかりにくくなる。例えば、液柱２１０の延在方向が鉛直方向に平行な方向であるとすると、液柱２１０における下側部分には、液柱２１０における上側部分重みが加わる。そのため、液柱２１０の延在方向が鉛直方向に平行な方向であるとすると、液柱２１０の自重によって液柱２１０が形成されにくくなる。このように、噴出口１３２から噴出された直後の勢いを失った液柱２１０が、自重、落下等のために元の噴出口１３２の付近に返ってくるため、液柱２１０の径性が不安定となり液柱２１０における霧化量が低下する。そこで、噴出口１３２を、液柱２１０の延在方向が鉛直方向と交差するように、部材１３０に設けることで、液柱２１０に液柱２１０の自重が加わりにくくできる。これにより、液柱２１０が形成されやすくなる。

【0063】

なお、本変形例では、部材１３０が実施の形態１に係る霧化装置１００に対して傾けられて収容体１１０に配置されているが、噴出口１３２が、液柱２１０の延在方向が鉛直方向と交差するように、部材１３０に設けられていればよい。例えば、部材は、孔軸が鉛直方向と平行である貫通孔と、当該貫通孔と連通し且つ孔軸が鉛直方向と交差する噴出口と、を有してもよい。具体的には、部材は、実施の形態１に係る部材１３０の姿勢において、噴出口１３２の孔軸が貫通孔１３１の孔軸に対して交差するように形成されていてもよい。

【0064】

（実施の形態２）
続いて、実施の形態２に係る霧化装置について説明する。なお、以下で説明する実施の形態２においては、実施の形態１に係る霧化装置１００との差異点を中心に説明する。実施の形態２の説明においては、実施の形態１に係る霧化装置１００と実質的に同様の構成については、同様の符号を付し、説明を一部簡略化又は省略する場合がある。

【0065】

［構成］
図６は、実施の形態２に係る霧化装置１０１の構成を示す概略断面図である。

【0066】

霧化装置１０１は、収容体１１０と、超音波振動子１２０と、部材１３０と、供給部１４０と、制御部１５０と、集音部１６０と、を備える。このように、霧化装置１０１は、霧化装置１００の構成に加えて、さらに、集音部１６０を備える。

【0067】

集音部１６０は、超音波振動子１２０が発した音波（ビーム２３０）が入射され、入射されたビーム２３０を、貫通孔１３１を通過させて所定の焦点２４０に集束させる音響レンズである。つまり、所定の焦点２４０は、集音部１６０の焦点である。

【0068】

ここで、所定の焦点２４０は、（ｉ）噴出口１３２に位置する、又は、（ｉｉ）集音部１６０から見て噴出口１３２よりも遠方に位置する。

【0069】

本実施の形態では、集音部１６０は、超音波振動子１２０と部材１３０との間に位置し、入射されたビーム２３０を透過して出射する透過型の音響レンズである。集音部１６０におけるビーム２３０を出射する出射面１７０は、凹状である。出射面１７０と対向する位置に、部材１３０が配置されている。

【0070】

本実施の形態では、集音部１６０においてビーム２３０が入射される入射面は、超音波振動子１２０と接触して配置されている。これにより、超音波振動子１２０と集音部１６０との間でビーム２３０の干渉による減衰、及び、キャビテーションによって生じる微細な気泡の発生を抑制できる。

【0071】

集音部１６０のサイズは、任意でよい。例えば、集音部１６０は、超音波振動子１２０から出射されたビーム２３０の進行方向に沿ってみた場合に、超音波振動子１２０を覆い、且つ、超音波振動子１２０と同サイズ又は超音波振動子１２０より大きい。

【0072】

図７は、噴出口１３２の径Ｗ１とビーム径Ｗ２との関係を説明するための図である。

【0073】

噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６０に集束されたビーム２３０のビーム径Ｗ２よりも大きい。具体的には、噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６０に集束されたビーム２３０の所定の焦点２４０におけるビーム径Ｗ２よりも大きい。つまり、所定の焦点２４０では、ビーム２３０は、噴出口１３２の径Ｗ１よりビーム径Ｗ２が小さくなるように集束される。言い換えると、集音部１６０は、ビーム２３０の所定の焦点２４０におけるビーム径Ｗ２が噴出口１３２の径Ｗ１よりも小さくなるように形成されている。なお、ビーム径Ｗ２は、Ｗ２＝ａ×λ／Ｄ×Ｆで算出される。ａは任意の数値である比例係数であり、λはビーム２３０の波長であり、Ｄは超音波振動子１２０の直径であり、Ｆは集音部１６０の焦点距離である。

【0074】

また、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、ビーム径Ｗ２の１０倍以下である。具体的には、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、ビーム径Ｗ２よりも大きく、且つ、ビーム径Ｗ２の１０倍以下である。より具体的には、噴出口１３２の径Ｗ１は、所定の焦点２４０において、ビーム径Ｗ２よりも大きく、且つ、ビーム径Ｗ２の１０倍以下である。

【0075】

また、例えば、部材１３０は、部材１３０の内壁１３４が、言い換えると、部材１３０における貫通孔１３１を形成する内壁１３４が、集音部１６０におけるビーム２３０を出射する表面（つまり、出射面１７０）から、所定の焦点２４０に至るまでに集束するビーム２３０の経路外に位置するように配置されている。つまり、超音波振動子１２０、部材１３０、及び、集音部１６０は、集音部１６０におけるビーム２３０を出射する出射面１７０から、所定の焦点２４０に至るまで、ビーム２３０が部材１３０に接触しないように、形状及び配置等が設定されている。

【0076】

例えば、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０と集音部１６０との並び方向に振動させる高次の共振周波数の電圧を超音波振動子１２０に印加することで、高次の共振周波数で超音波振動子１２０を振動させる。これにより、超音波振動子１２０からは、集音部１６０に向けてビーム２３０が発せられる。超音波振動子１２０から発せられたビーム２３０は、所定の焦点２４０で集束されるように、集音部１６０を透過して出射される。集音部１６０から出射されたビーム２３０は、部材１３０の内壁１３４に接触しないように、貫通孔１３１及び噴出口１３２を通過する。これにより、液柱２１０には、部材１３０の内壁１３４で反射することによる振動エネルギーの損失が抑制され、且つ、集音部１６０によって集音されたビーム２３０が伝達される。

【0077】

集音部１６０に採用される材料は、ビーム２３０に対して透過性（例えば、ビーム２３０を７０％以上透過する性質）を有していればよく、特に限定されない。集音部１６０に採用される材料は、例えば、ポリカーボネート等の樹脂材料である。

【0078】

［効果等］
以上説明したように、実施の形態２に係る霧化装置１０１は、実施の形態１に係る霧化装置１００と同様に、超音波振動子１２０と、駆動制御部１５２と、噴出口１３２を有する貫通孔１３１が設けられた部材１３０と、を備える。また、霧化装置１０１は、さらに、超音波振動子１２０が発したビーム２３０が入射され、貫通孔１３１を通過させて所定の焦点２４０に集束させるように、入射されたビーム２３０を出射する集音部１６０を備える。所定の焦点２４０は、（ｉ）噴出口１３２に位置する、又は、（ｉｉ）集音部１６０から見て噴出口１３２よりも遠方に位置する。

【0079】

これによれば、超音波振動子１２０から発せられたビーム２３０は、液柱２１０が形成される位置で集束される。これにより、ビーム２３０の振動エネルギーを適切に液柱２１０に伝達できる。そのため、液柱２１０からミスト２２０をさらに発生させやすくできる。

【0080】

また、例えば、集音部１６０は、超音波振動子１２０と部材１３０との間に位置し、入射されたビーム２３０を透過して出射する。

【0081】

このように、集音部１６０は、ビーム２３０を透過して集束させる透過型の音響レンズで実現されてもよい。これによれば、集音部１６０は、簡便な構成でビーム２３０を集束させることができる。

【0082】

また、例えば、集音部１６０におけるビーム２３０を出射する出射面１７０は、凹状である。

【0083】

これによれば、集音部１６０における超音波振動子１２０と対向する面がビーム２３０の進行方向に対して直交するように、集音部１６０を配置しても、ビーム２３０を集束させることができる。本実施の形態では、集音部１６０は、集音部１６０における超音波振動子１２０と対向する面がビーム２３０の進行方向に対して直交するように、超音波振動子１２０と接触するように配置されている。これにより、超音波振動子１２０と集音部１６０との間でのビーム２３０の干渉が抑制される。そのため、ビーム２３０の干渉による気泡の発生等による、ビーム２３０の振動エネルギーの低下が抑制される。

【0084】

また、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６０に集束されたビーム２３０のビーム径Ｗ２よりも大きい。

【0085】

これによれば、ビーム２３０を部材１３０と接触させずに部材１３０に設けられた貫通孔１３１及び噴出口１３２を通過させることができる。そのため、部材１３０によってビーム２３０の振動エネルギーを低下させることなく、ビーム２３０の振動エネルギーを液柱２１０に伝達させることができる。

【0086】

また、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６０に集束されたビーム２３０のビーム径Ｗ２の１０倍以下である。

【0087】

液柱２１０の径は、噴出口１３２の径Ｗ１に依存する。例えば、噴出口１３２の径Ｗ１を大きくすると、液柱２１０の径も大きくなる。ここで、噴出口１３２の径Ｗ１がビーム径Ｗ２よりも大きすぎると、ビーム２３０の振動エネルギーが液柱２１０（より具体的には、液柱２１０の表面）に伝達しにくい。そこで、噴出口１３２の径Ｗ１をビーム径Ｗ２の１０倍以下にすることで、ビーム２３０の振動エネルギーを適切に液柱２１０に伝達させることができる。

【0088】

また、例えば、部材１３０は、部材１３０の内壁１３４が、集音部１６０におけるビーム２３０を出射する表面（出射面１７０）から、所定の焦点２４０に至るまでに集束するビーム２３０の経路外に位置するように配置されている。

【0089】

これによれば、ビーム２３０を部材１３０と接触させずに部材１３０に設けられた貫通孔１３１及び噴出口１３２を通過させることができる。そのため、部材１３０によってビーム２３０の振動エネルギーを低下させることなく、ビーム２３０の振動エネルギーを液柱２１０に伝達させることができる。

【0090】

（実施の形態３）
続いて、実施の形態３に係る霧化装置について説明する。なお、以下で説明する実施の形態３においては、実施の形態１に係る霧化装置１００又は実施の形態２に係る霧化装置１０１との差異点を中心に説明する。実施の形態３の説明においては、実施の形態１に係る霧化装置１００又は実施の形態２に係る霧化装置１０１と実質的に同様の構成については、同様の符号を付し、説明を一部簡略化又は省略する場合がある。

【0091】

［構成］
図８は、実施の形態３に係る霧化装置１０２の構成を示す概略断面図である。

【0092】

霧化装置１０２は、収容体１１０と、超音波振動子１２０と、部材１３０と、供給部１４０と、制御部１５０と、集音部１６１と、を備える。このように、霧化装置１０２は、霧化装置１００の構成に加えて、さらに、集音部１６１を備える。

【0093】

集音部１６１は、超音波振動子１２０が発した音波（ビーム２３０）が入射され、入射されたビーム２３０を、貫通孔１３１を通過させて所定の焦点２４０に集束させる音響レンズである。つまり、所定の焦点２４０は、集音部１６１の焦点である。

【0094】

ここで、所定の焦点２４０は、（ｉ）噴出口１３２に位置する、又は、（ｉｉ）集音部１６１から見て噴出口１３２よりも遠方に位置する。

【0095】

本実施の形態では、集音部１６１は、入射されたビーム２３０を反射することで出射するビーム２３０に対する反射性を有する部材（つまり、反射型の音響レンズ）である。集音部１６１におけるビーム２３０を反射する反射面１７１は、放物面（放物面状）である。

【0096】

以下、図８とともに図７もあわせて参照しながら、噴出口１３２の径Ｗ１とビーム径Ｗ２との関係について説明する。

【0097】

噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６１に集束されたビーム２３０のビーム径Ｗ２よりも大きい。具体的には、噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６１に集束されたビーム２３０の所定の焦点２４０におけるビーム径Ｗ２よりも大きい。つまり、所定の焦点２４０では、ビーム２３０は、噴出口１３２の径Ｗ１よりビーム径Ｗ２が小さくなるように集束される。言い換えると、集音部１６１は、ビーム２３０の所定の焦点２４０におけるビーム径Ｗ２が噴出口１３２の径Ｗ１よりも小さくなるように形成されている。なお、ビーム径Ｗ２は、Ｗ２＝ａ×λ／Ｄ×Ｆで算出される。ａは任意の数値である比例係数であり、λはビーム２３０の波長であり、Ｄは超音波振動子１２０の直径であり、Ｆは集音部１６１の焦点距離である。

【0098】

また、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、ビーム径Ｗ２の１０倍以下である。具体的には、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、ビーム径Ｗ２よりも大きく、且つ、ビーム径Ｗ２の１０倍以下である。より具体的には、噴出口１３２の径Ｗ１は、所定の焦点２４０において、ビーム径Ｗ２よりも大きく、且つ、ビーム径Ｗ２の１０倍以下である。

【0099】

また、例えば、部材１３０は、部材１３０の内壁１３４が、言い換えると、部材１３０における貫通孔１３１を形成する内壁１３４が、集音部１６１におけるビーム２３０を出射する表面（つまり、反射面１７１）から、所定の焦点２４０に至るまでに集束するビーム２３０の経路外に位置するように配置されている。つまり、超音波振動子１２０、部材１３０、及び、集音部１６１は、集音部１６１におけるビーム２３０を反射する反射面１７１から、所定の焦点２４０に至るまで、ビーム２３０が部材１３０に接触しないように、形状及び配置等が設定されている。

【0100】

例えば、駆動制御部１５２は、超音波振動子１２０と集音部１６１との並び方向に振動させる高次の共振周波数の電圧を超音波振動子１２０に印加することで、高次の共振周波数で超音波振動子１２０を振動させる。これにより、超音波振動子１２０からは、集音部１６１に向けてビーム２３０が発せられる。超音波振動子１２０から発せられたビーム２３０は、所定の焦点２４０で集束されるように、集音部１６１で反射されることで集音部１６１から出射される。集音部１６１から出射されたビーム２３０は、部材１３０の内壁１３４に接触しないように、貫通孔１３１及び噴出口１３２を通過する。これにより、液柱２１０には、部材１３０の内壁１３４で反射することによる振動エネルギーの損失が抑制され、且つ、集音部１６１によって集音されたビーム２３０が伝達される。

【0101】

集音部１６１に採用される材料は、ビーム２３０に対して反射性（例えば、ビーム２３０を９０％以上反射する性質）を有していればよく、特に限定されない。集音部１６１に採用される材料は、例えば、ステンレス鋼（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ／ＳＵＳ）等の金属材料であるが、特に限定されない。

【0102】

［効果等］
以上説明したように、実施の形態３に係る霧化装置１０２は、実施の形態１に係る霧化装置１００と同様に、超音波振動子１２０と、駆動制御部１５２と、噴出口１３２を有する貫通孔１３１が設けられた部材１３０と、を備える。また、霧化装置１０２は、さらに、超音波振動子１２０が発したビーム２３０が入射され、貫通孔１３１を通過させて所定の焦点２４０に集束させるように、入射されたビーム２３０を出射する集音部１６１を備える。所定の焦点２４０は、（ｉ）噴出口１３２に位置する、又は、（ｉｉ）集音部１６１から見て噴出口１３２よりも遠方に位置する。

【0103】

これによれば、超音波振動子１２０から発せられたビーム２３０は、液柱２１０が形成される位置で集束される。これにより、ビーム２３０の振動エネルギーを適切に液柱２１０に伝達できる。そのため、液柱２１０からミスト２２０をさらに発生させやすくできる。

【0104】

また、例えば、集音部１６１は、入射されたビーム２３０を反射することで出射する。

【0105】

このように、集音部１６１は、ビーム２３０を反射して集束させる反射型の音響レンズで実現されてもよい。これによれば、集音部１６１は、簡便な構成でビーム２３０を集束させることができる。

【0106】

また、例えば、集音部１６１における入射されたビーム２３０を反射する反射面１７１は、放物面である。

【0107】

これによれば、集音部１６１における超音波振動子１２０と対向する面がビーム２３０の進行方向に対して直交するように、集音部１６１を配置しても、ビーム２３０を集束させることができる。本実施の形態では、集音部１６１は、集音部１６１における超音波振動子１２０と対向する面がビーム２３０の進行方向に対して直交するように、超音波振動子１２０と接触するように配置されている。これにより、超音波振動子１２０と集音部１６１との間でのビーム２３０の干渉が抑制される。そのため、ビーム２３０の干渉による気泡の発生等による、ビーム２３０の振動エネルギーの低下が抑制される。

【0108】

また、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６１に集束されたビーム２３０のビーム径Ｗ２よりも大きい。

【0109】

これによれば、ビーム２３０を部材１３０と接触させずに部材１３０に設けられた貫通孔１３１及び噴出口１３２を通過させることができる。そのため、部材１３０によってビーム２３０の振動エネルギーを低下させることなく、ビーム２３０の振動エネルギーを液柱２１０に伝達させることができる。

【0110】

また、例えば、噴出口１３２の径Ｗ１は、集音部１６１に集束されたビーム２３０のビーム径Ｗ２の１０倍以下である。

【0111】

液柱２１０の径は、噴出口１３２の径Ｗ１に依存する。例えば、噴出口１３２の径を大きくすると、液柱２１０の径も大きくなる。ここで、噴出口１３２の径Ｗ１がビーム径Ｗ２よりも大きすぎると、ビーム２３０の振動エネルギーが液柱２１０（より具体的には、液柱２１０の表面）に伝達しにくい。そこで、噴出口１３２の径Ｗ１をビーム径Ｗ２の１０倍以下にすることで、ビーム２３０の振動エネルギーを適切に液柱２１０に伝達させることができる。

【0112】

また、例えば、部材１３０は、部材１３０の内壁１３４が、集音部１６１におけるビーム２３０を出射する表面（反射面１７１）から、所定の焦点２４０に至るまでに集束するビーム２３０の経路外に位置するように配置されている。

【0113】

これによれば、ビーム２３０を部材１３０と接触させずに部材１３０に設けられた貫通孔１３１及び噴出口１３２を通過させることができる。そのため、部材１３０によってビーム２３０の振動エネルギーを低下させることなく、ビーム２３０の振動エネルギーを液柱２１０に伝達させることができる。

【0114】

（その他の実施の形態）
以上、本開示に係る霧化装置について、上記の各実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記の各実施の形態に限定されるものではない。

【0115】

例えば、上記の各実施の形態では、部材１３０の外観形状は、筒状であるが、これに限定されない。部材１３０は、貫通孔１３１及び噴出口１３２が設けられていればよく、外観形状が板状等、任意の形状でよい。

【0116】

また、例えば、液体２００は、加湿又は冷却するための水道水でもよいし、殺菌等の効果を有する次亜塩素酸を含む水性の液体でもよいし、香料等を含む油性の液体等でもよい。

【0117】

また、例えば、制御部１５０は、ＲＴＣ等の時間を計測するための計時部をさらに備えてもよい。例えば、制御部１５０は、予め任意に定められた時刻に、ミスト２２０を発生させてもよい。

【0118】

また、例えば、実施の形態２に係る霧化装置１０１又は実施の形態３に係る霧化装置１０２の変形例として、実施の形態１の変形例に係る霧化装置１００ａのように、部材１３０を傾くようにしてもよい。具体的には、実施の形態２に係る霧化装置１０１又は実施の形態３に係る霧化装置１０２の構成において、さらに、部材１３０を、噴出口１３２の孔軸が鉛直方向と交差するように、収容体１１０に配置してもよい。これにより、液柱２１０が形成されやすくなるという効果をさらに享受することができる。

【0119】

また、上記の各実施の形態において、供給制御部１５１及び駆動制御部１５２等の制御部１５０の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

【0120】

また、制御部１５０の構成要素は、１つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。１つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。

【0121】

１つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）又はＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等が含まれてもよい。ＩＣ又はＬＳＩは、１つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ＩＣ又はＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Ｖｅｒｙ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）、又は、ＵＬＳＩ（Ｕｌｔｒａ Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）と呼ばれるかもしれない。また、ＬＳＩの製造後にプログラムされるＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）も同じ目的で使うことができる。

【0122】

また、本開示の全般的又は具体的な態様は、システム、装置、方法、集積回路又はコンピュータプログラムで実現されてもよい。或いは、当該コンピュータプログラムが記憶された光学ディスク、ＨＤＤ若しくは半導体メモリ等のコンピュータ読み取り可能な非一時的記録媒体で実現されてもよい。また、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

【0123】

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。

【符号の説明】

【0124】

１００、１００ａ、１０１、１０２ 霧化装置
１１０ 収容体
１１１ 液相部
１１２ 気相部
１２０ 超音波振動子
１３０ 部材
１３１ 貫通孔
１３２ 噴出口
１３３ 端部
１３４ 内壁
１５２ 駆動制御部
１６０、１６１ 集音部
１７０ 出射面
１７１ 反射面
２００ 液体
２１０ 液柱
２２０ ミスト
２３０ ビーム
２４０ 所定の焦点
Ｗ１ 径
Ｗ２ ビーム径

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】