特許 7599128 部品装着装置および部品装着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-05

(45)【発行日】2024-12-13

(54)【発明の名称】部品装着装置および部品装着方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/02 20060101AFI20241206BHJP

【ＦＩ】

H05K13/02 C

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2021028024

(22)【出願日】2021-02-25

(65)【公開番号】P2022129398

(43)【公開日】2022-09-06

【審査請求日】2023-12-08

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】中村 光男

(72)【発明者】

【氏名】山本 鷹

【審査官】加藤 三慶

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０４６１５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－００５２８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－１３５９９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０７３９２９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の部品保持具を備えた装着ヘッドと、
部品を送ることにより部品を供給する複数の部品供給部と、
前記複数の部品保持具の先端位置を取得する先端位置取得手段と、
取得された前記複数の部品保持具の先端位置に基づいて、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の部品供給位置と一致するように前記複数の部品供給部の送り量の補正量を算出する送り補正量算出部と、
算出された前記送り量の補正量に基づいて、前記複数の部品供給部に送り指令を送出する指令送出部と、
前記複数の部品保持具が保持した部品の保持位置を取得する保持位置取得手段と、を備え、
前記補正量算出部は、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の前記部品供給位置と一致するように算出された前記送り量の補正量を前記保持位置取得手段によって取得された前記複数の部品保持具が保持した前記部品の保持位置でさらに補正し、
前記指令送出部は、さらに補正された送り量の補正量に基づいて前記複数の部品供給部に送り指令を送出し、
前記複数の部品供給部は、前記送り指令に基づく送り量で部品を送り、
前記装着ヘッドは、前記複数の部品供給部によって供給された複数の前記部品を前記複数の部品保持具で同時に保持する、部品装着装置。

【請求項2】

前記送り補正量算出部は、前記複数の部品保持具の先端位置の重心ラインの位置からの各部品保持具の先端位置のずれ量に基づいて、前記送り量の補正量を算出する、請求項１の部品装着装置。

【請求項3】

送出された前記送り指令に基づく送り量を記憶する記憶部をさらに備え、
前記指令送出部は、前記送り量の補正量と記憶される前記送り指令に基づく送り量に基づいて、前記複数の部品供給部に送り指令を送出する、請求項１または２に記載の部品装着装置。

【請求項4】

複数の部品を基板に装着する部品装着方法であって、
装着ヘッドが備える複数の部品保持具の先端位置を取得する先端位置取得工程と、
取得された前記複数の部品保持具の先端位置に基づいて、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の部品供給位置と一致するように部品を送ることにより部品を供給する複数の部品供給部の送り量の補正量を算出する送り補正量算出工程と、
算出された前記送り量の補正量に基づいて、前記複数の部品供給部に送り指令を送出する指令送出工程と、
前記複数の部品供給部が、前記送り指令に基づく送り量で部品を送って前記部品を供給する部品供給工程と、
前記装着ヘッドが、前記複数の部品供給部によって供給された複数の前記部品を前記複数の部品保持具で同時に保持する同時保持工程と、
前記装着ヘッドが保持する複数の前記部品を基板に装着する部品装着工程と、
前記同時保持工程において前記複数の部品保持具が保持した前記部品の保持位置を取得する部品保持位置取得工程と、を含み、
前記補正量算出工程において、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の前記部品供給位置と一致するように算出された前記送り量の補正量は前記部品保持位置取得工程で取得された前記複数の部品保持具が保持した前記部品の保持位置でさらに補正され、
前記指令送出工程において、前記補正量算出工程でさらに補正された送り量の補正量に基づいて前記複数の部品供給部に送り指令が送出される、部品装着方法。

【請求項5】

送出された前記送り指令に基づく送り量を記憶する送り量記憶工程をさらに含み、
前記指令送出工程において、前記送り量の補正量と記憶される前記送り指令に基づく送り量に基づいて、前記複数の部品供給部に送り指令が送出される、請求項４に記載の部品装着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の部品を基板に装着する部品装着装置および部品装着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

複数の吸着ノズル（部品保持具）を有する装着ヘッドにより、複数のフィーダ（部品供給部）が供給する複数の部品を同時に吸着して保持し、保持する部品を基板に装着する部品装着装置が知られている（例えば、特許文献１）。ところで、複数の吸着ノズルの位置と複数のフィーダの位置は同時吸着が可能なように設計されているが、正規の位置からの吸着ノズルの先端の位置のずれ量が大きい場合、部品の同時吸着に失敗することがある。特許文献１に記載の部品装着装置には、吸着ノズルのずれ量が類似していて同時吸着可能な範囲内にある吸着ノズル毎にグループ分けを行い、グループ毎に同時吸着することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００２－１５１８９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、グループ毎に部品を同時吸着するため部品実装効率が低下するという問題点があった。また、部品のサイズが小さくなると同時吸着可能な吸着ノズルのずれ量の許容範囲も狭くなることからグループ数が増えて現実的に同時吸着ができない場合もあるため、部品のサイズが小さくなっても有効に同時吸着を実現するためにはさらなる改善の余地があった。

【0005】

そこで本発明は、複数の吸着ノズルによる複数の部品の同時吸着を適切に実行することができる部品装着装置および部品装着方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の部品装着装置は、複数の部品保持具を備えた装着ヘッドと、部品を送ることにより部品を供給する複数の部品供給部と、前記複数の部品保持具の先端位置を取得する先端位置取得手段と、取得された前記複数の部品保持具の先端位置に基づいて、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の部品供給位置と一致するように前記複数の部品供給部の送り量の補正量を算出する送り補正量算出部と、算出された前記送り量の補正量に基づいて、前記複数の部品供給部に送り指令を送出する指令送出部と、前記複数の部品保持具が保持した部品の保持位置を取得する保持位置取得手段と、を備え、前記補正量算出部は、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の前記部品供給位置と一致するように算出された前記送り量の補正量を前記保持位置取得手段によって取得された前記複数の部品保持具が保持した前記部品の保持位置でさらに補正し、前記指令送出部は、さらに補正された送り量の補正量に基づいて前記複数の部品供給部に送り指令を送出し、前記複数の部品供給部は、前記送り指令に基づく送り量で部品を送り、前記装着ヘッドは、前記複数の部品供給部によって供給された複数の前記部品を前記複数の部品保持具で同時に保持する。

【0007】

本発明の部品装着方法は、複数の部品を基板に装着する部品装着方法であって、装着ヘッドが備える複数の部品保持具の先端位置を取得する先端位置取得工程と、取得された前記複数の部品保持具の先端位置に基づいて、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の部品供給位置と一致するように部品を送ることにより部品を供給する複数の部品供給部の送り量の補正量を算出する送り補正量算出工程と、算出された前記送り量の補正量に基づいて、前記複数の部品供給部に送り指令を送出する指令送出工程と、前記複数の部品供給部が、前記送り指令に基づく送り量で部品を送って前記部品を供給する部品供給工程と、前記装着ヘッドが、前記複数の部品供給部によって供給された複数の前記部品を前記複数の部品保持具で同時に保持する同時保持工程と、前記装着ヘッドが保持する複数の前記部品を基板に装着する部品装着工程と、前記同時保持工程において前記複数の部品保持具が保持した前記部品の保持位置を取得する部品保持位置取得工程と、を含み、前記補正量算出工程において、前記複数の部品保持具の先端位置が前記複数の部品供給部の前記部品供給位置と一致するように算出された前記送り量の補正量は前記部品保持位置取得工程で取得された前記複数の部品保持具が保持した前記部品の保持位置でさらに補正され、前記指令送出工程において、前記補正量算出工程でさらに補正された送り量の補正量に基づいて前記複数の部品供給部に送り指令が送出される。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、複数の吸着ノズルによる複数の部品の同時吸着を適切に実行することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施の形態の部品装着装置の平面図

【図2】本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える装着ヘッドの斜視図

【図3】本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える（ａ）装着ヘッドに装着された吸着ノズルの先端位置の説明図（ｂ）テープフィーダの部品供給位置の説明図

【図4】本発明の一実施の形態の部品装着装置の制御系の構成を示すブロック図

【図5】本発明の一実施の形態の部品装着装置において使用される装着データの一例を示す図

【図6】本発明の一実施の形態の部品装着装置が備える吸着ノズルが保持した部品の保持位置の説明図

【図7】本発明の一実施の形態の部品装着装置において使用される（ａ）送り補正量データの一例を示す図（ｂ）送り補正量の説明図

【図8】本発明の一実施の形態の部品装着装置において使用される送り位置データの初期状態を示す図

【図9】本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えるテープフィーダの初期状態の説明図

【図10】本発明の一実施の形態の部品装着装置において使用される送り位置データの部品装着作業中の一例を示す図

【図11】本発明の一実施の形態の部品装着装置が備えるテープフィーダの部品装着作業中の送り位置の一例を示す説明図

【図12】本発明の一実施の形態の部品装着装置において使用される送り位置データの部品装着作業中の一例を示す図

【図13】本発明の一実施の形態の部品装着装置において使用される送り位置データの部品装着作業中の一例を示す図

【図14】本発明の一実施の形態の部品装着装置において使用される送り位置データの部品装着作業中の一例を示す図

【図15】本発明の一実施の形態の部品装着方法のフロー図

【図16】本発明の一実施の形態の部品装着方法における部品ピックアップ工程のフロー図

【図17】本発明の一実施の形態の部品装着方法における同時吸着工程のフロー図

【図18】本発明の一実施の形態の部品装着方法における個別吸着工程のフロー図

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品装着装置、装着ヘッド、テープフィーダの仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図１、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸として、基板搬送方向のＸ軸（図１における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ軸（図１における上下方向）が示される。図２、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ軸（図２における上下方向）が示される。図６、及び後述する一部では、Ｚ軸を回転軸とする回転の方向であるθ方向が示される。

【0011】

まず図１、図２を参照して、部品装着装置１の構成を説明する。図１において、部品装着装置１は、部品供給部から供給された部品を基板に装着する部品装着作業を実行する機能を有する。基台２の中央には、基板搬送コンベア３がＸ軸に沿って配置されている。基板搬送コンベア３は、上流から搬送された基板Ｂを、装着作業位置に搬入して位置決めして保持する。また、基板搬送コンベア３は、部品装着作業が完了した基板Ｂを下流に搬出する。

【0012】

基板搬送コンベア３の両側（Ｙ軸の前後方向）には、フィーダベース４が配置されている。それぞれのフィーダベース４に形成されたスロット（図示省略）には、複数のテープフィーダ５がＸ軸に沿って装着されている。テープフィーダ５は、部品を格納するポケットが所定の間隔で形成された部品テープをフィーダベース４の外側から基板搬送コンベア３に向かう方向（テープ送り方向）にピッチ送りすることにより、以下に説明する装着ヘッドによって部品が取り出される部品供給位置に部品を供給する。

【0013】

すなわち、前側のフィーダベース４に装着されたテープフィーダ５はＹ軸の正方向（前側から後側に向かう方向）に部品テープをピッチ送りする。また、後側のフィーダベース４に装着されたテープフィーダ５はＹ軸の負方向（後側から前側に向かう方向）に部品テープをピッチ送りする。このように、フィーダベース４には、複数のテープフィーダ５が装着されている。テープフィーダ５は、部品を送ることにより部品を部品供給位置に供給する部品供給部である。

【0014】

図１において、基台２上面においてＸ軸における両端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸ビーム６がＹ軸に沿って配置されている。Ｙ軸ビーム６には、リニア駆動機構を備えたＸ軸ビーム７が、Ｙ軸に沿って移動自在に結合されている。Ｘ軸ビーム７はＸ軸に沿って配置されている。Ｘ軸ビーム７には、装着ヘッド８がＸ軸に沿って移動自在に装着されている。

【0015】

図２において、装着ヘッド８は、複数（ここでは、８つ）の部品装着部９を備えている。部品装着部９は、下方から突出するシャフト１０をＺ軸の上下方向に昇降させ、また、Ｚ軸を回転軸とするθ方向に回転させる。各シャフト１０の下端部には、吸着ノズルＮが装着されている。吸着ノズルＮは、その先端Ｎａで部品の上面を吸着保持する。このように、装着ヘッド８は、複数（ここでは、８つ）の吸着ノズルＮを備えている。吸着ノズルＮは、部品を保持する部品保持具である。

【0016】

図１において、Ｙ軸ビーム６およびＸ軸ビーム７は、装着ヘッド８をＸ軸およびＹ軸に沿って移動させるヘッド移動機構１１を構成する。ヘッド移動機構１１および装着ヘッド８は、吸着ノズルＮによってフィーダベース４に配置されたテープフィーダ５から部品を吸着して取り出し、基板搬送コンベア３に位置決めされた基板Ｂの装着位置に装着する装着ターンを繰り返し実行する。

【0017】

図１において、フィーダベース４と基板搬送コンベア３との間には、部品カメラ１２が配置されている。テープフィーダ５から部品を取り出した吸着ノズルＮが部品カメラ１２の上方を移動する際に、部品カメラ１２は吸着ノズルＮに保持された状態の部品を撮像して部品の保持姿勢を撮像する。この撮像結果からは、部品の保持位置などが認識される。また、部品カメラ１２は、部品を保持していない吸着ノズルＮの先端Ｎａを撮像する。この撮像結果からは、装着ヘッド８における吸着ノズルＮの先端Ｎａの位置（先端位置）が認識される。装着ヘッド８には、装着ヘッド８と一体的に移動するヘッドカメラ１３が取り付けられている。なお、ヘッドカメラ１３は、プレートを介して装着ヘッド８に装着してもよい。

【0018】

装着ヘッド８が移動することにより、ヘッドカメラ１３は基板搬送コンベア３に位置決めされた基板Ｂの上方に移動し、基板Ｂに設けられた基板マーク（図示省略）を撮像する。この撮像結果からは、基板Ｂの停止位置が認識される。また、ヘッドカメラ１３はテープフィーダ５の上方に移動し、部品供給位置付近を撮像する。この撮像結果からは、テープフィーダ５の部品供給位置が認識される。装着ヘッド８による基板Ｂへの部品装着動作においては、部品カメラ１２による部品Ｄの撮像結果と、ヘッドカメラ１３による基板位置の撮像結果とを加味して装着位置の補正が行われる。

【0019】

次に、図３（ａ）を参照して、装着ヘッド８に装着された吸着ノズルＮの先端位置Ｑについて説明する。図３（ａ）は、装着ヘッド８を上方から見た平面図を模式的に示している。装着ヘッド８は、Ｘ軸に沿った４つの部品装着部９をＹ軸に沿って２列備えている。ここで、装着ヘッド８の前列（ヘッドカメラ１３とは、反対側）の４つの部品装着部９のシャフト１０に装着された吸着ノズルＮを左側から吸着ノズルＮ１～吸着ノズルＮ４と称する。また、装着ヘッド８の後列（ヘッドカメラ１３が装着された側）の４つの部品装着部９のシャフト１０に装着された吸着ノズルＮを左側から吸着ノズルＮ５～吸着ノズルＮ８と称する。また、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端Ｎａの中心の位置を先端位置Ｑ１～Ｑ８と定義する。

【0020】

吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８は、装着ヘッド８に装着されたヘッドカメラ１３の中心１３ｃを原点とし、部品装着装置１のＸ軸に沿ったＸａ軸と、Ｙ軸に沿ったＹａ軸で表される直交座標系で規定される。以下、ヘッドカメラ１３の中心１３ｃを原点とし、直交するＸａ軸とＹａ軸により表される直交座標系を「ヘッド座標系」と称する。また、部品装着装置１の基台２に設定された基準位置（図示省略）を原点とし、直交するＸ軸とＹ軸により表される直交座標系を「基台座標系」と称する。部品装着装置１における装着ヘッド８の装着された吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８は、基台座標系におけるヘッドカメラ１３の中心１３ｃの位置と、ヘッド座標系における吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８により制御される。

【0021】

図３（ａ）において、ヘッド座標系における吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８は、部品装着部９に対するシャフト１０の装着具合、シャフト１０の歪み、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の歪みなどに起因して、所定の設計位置からずれることがある。後述する部品装着作業では、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８の設計位置からの位置ずれが考慮される。

【0022】

ここで、前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４の先端位置Ｑ１～Ｑ４の重心Ｇ１（Ｘａ１，Ｙａ１）を通り、Ｘａ軸に平行なラインを前列ノズル重心ラインＬ１と称する。また、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８の先端位置Ｑ５～Ｑ８の重心Ｇ２（Ｘａ２，Ｙａ２）を通り、Ｘａ軸に平行なラインを後列ノズル重心ラインＬ２と称する。後述する部品装着作業では、前列ノズル重心ラインＬ１の位置と後列ノズル重心ラインＬ２の位置を使用した制御が行われる。

【0023】

次に、図３（ｂ）を参照して、フィーダベース４に装着されたテープフィーダ５の部品供給位置Ｒについて説明する。図３（ｂ）は、前側のフィーダベース４に装着された１５基のテープフィーダ５のうちの左から４基のテープフィーダ５（１）～５（４）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ４の近辺を上方から見た平面図を模式的に示している。テープフィーダ５の内部をピッチ送りされた部品テープのポケットＰに格納された部品Ｄは、テープフィーダ５の上面に形成された開口部５ａにおいて吸着ノズルＮで取り出し可能に露出される。この例では、開口部５ａに位置するポケットＰの中心の位置を部品供給位置Ｒと定義する。なお、部品供給位置Ｒは、開口部５ａに位置するポケットＰに格納されている部品Ｄの中心の位置と定義してもよい。

【0024】

フィーダベース４に装着されたテープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５は、基台座標系で規定される。部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５は、フィーダベース４に形成されているスロットの加工精度、テープフィーダ５（１）～５（１５）のスロットへの装着具合、テープフィーダ５（１）～５（１５）において部品テープをピッチ送りするモータの停止位置のずれ、テープ送り精度などに起因して、所定の設計位置からずれることがある。後述する部品装着作業では、テープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５の設計位置からの位置ずれが考慮される。

【0025】

図３（ｂ）において、テープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５を認識した時点における部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５のＹ軸方向の重心を通り、Ｘ軸に平行なラインをポケット重心ラインＬ３と称する。後述する部品装着作業では、ポケット重心ラインＬ３の位置を使用した制御が行われる。

【0026】

次に図４を参照して、部品装着装置１の制御系の構成について説明する。特に、装着ヘッド８の複数の吸着ノズルＮが複数のテープフィーダ５が供給する部品Ｄを同時に吸着して取り出す同時吸着に関する制御を中心に説明する。部品装着装置１は、制御装置２０、基板搬送コンベア３、複数のテープフィーダ５、装着ヘッド８、ヘッド移動機構１１、部品カメラ１２、ヘッドカメラ１３を備えている。装着ヘッド８は、複数の部品装着部９を備えている。

【0027】

制御装置２０は、制御記憶部２１、装着制御部２２、先端位置認識処理部２３、保持位置認識処理部２４、供給位置認識処理部２５、重心ライン位置算出部２６、送り補正量算出部２７、送り量算出部２８、指令送出部２９を備えている。制御記憶部２１は記憶装置であり、装着データ３０、部品データ３１、先端位置データ３２、保持位置データ３３、供給位置データ３４、重心ライン位置データ３５、送り補正量データ３６、送り位置データ３７などが記憶されている。装着データ３０には、基板Ｂに装着される部品Ｄの部品名、基板Ｂにおける装着位置の座標などの各種情報が、実装基板の基板種ごとに記憶されている。

【0028】

ここで図５を参照して、装着データ３０の例について説明する。装着データ３０には、装着番号５０、ターン番号５１、部品名５２、装着位置５３、ノズル位置５４、同時フラグ５５、フィーダ位置５６が含まれている。装着番号５０は、基板Ｂ上の装着位置を特定する情報であり、この例では、基板Ｂに装着する順番で１から順に番号が付されている。部品名５２は、装着番号５０の位置に装着する部品Ｄの部品名である。装着位置５３は、部品Ｄの基板Ｂ上の装着位置と装着角度を表しており、基板Ｂ上のＸ軸方向の装着位置５３ｘ、Ｙ軸方向の装着位置５３ｙ、θ方向の装着位置５３θが含まれる。

【0029】

ターン番号５１は、部品装着作業における装着ターンの順番を特定する情報である。ターン番号５１が同じ部品Ｄは、同じ装着ターンにおいてテープフィーダ５から取り出される。ノズル位置５４は、部品Ｄを吸着する吸着ノズルＮ１～Ｎ８を特定する情報である。ノズル位置５４が「１」は、吸着ノズルＮ１を表している。同時フラグ５５は、テープフィーダ５から部品Ｄを取り出す際に、同時吸着で取り出すか（「１」）、個別吸着で取り出すか（「－」）を指定する情報である。フィーダ位置５６は、フィーダベース４上に装着されたテープフィーダ５の位置を特定する情報である。

【0030】

図５に示す装着データ３０では、装着番号５０が「１」～「８」の部品Ｄは、ターン番号５１が「１」の装着ターンでテープフィーダ５から取り出し、基板Ｂの装着位置５３に装着位置５３θの装着角度で装着するように規定されている。その際、前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４は、同時吸着でテープフィーダ５（７）～５（１０）から部品Ｄを同時に取り出すように規定されている。また、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８は、個別吸着でテープフィーダ５（１）、５（３）、５（５）、５（７）から部品Ｄをそれぞれ取り出すように規定されている。

【0031】

同様に、装着番号５０が「９」～「１６」の部品Ｄは、ターン番号５１が「２」の装着ターンでテープフィーダ５から部品Ｄを取り出すように規定されている。その際、前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４は、テープフィーダ５（４）～５（７）から同時吸着で部品Ｄを取り出すように規定されている。また、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８は、テープフィーダ５（７）～５（１０）から同時吸着で部品Ｄを取り出すように規定されている。

【0032】

図４において、部品データ３１には、テープフィーダ５から供給される部品Ｄの部品名毎に、部品Ｄのサイズ、部品Ｄを供給する部品テープの幅、ポケットＰのピッチなどが記憶されている。装着制御部２２は、装着データ３０、部品データ３１、先端位置データ３２、保持位置データ３３、重心ライン位置データ３５に基づいて、装着ヘッド８の部品装着部９に装着された吸着ノズルＮ（部品保持具）を昇降させてテープフィーダ５（部品供給部）が供給する部品Ｄを取り出し、基板Ｂの装着位置に装着する部品装着作業を実行させる。

【0033】

図４において、先端位置認識処理部２３は、装着ヘッド８の部品装着部９、ヘッド移動機構１１、部品カメラ１２を制御して、ヘッド座標系における吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８を検出する。具体的には、先端位置認識処理部２３は、部品Ｄを保持していない装着ヘッド８を部品カメラ１２の上方に移動させて、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端Ｎａを撮像し、撮像画像を画像認識して先端位置Ｑ１～Ｑ８を検出する。その際、先端位置認識処理部２３は、部品装着部９を制御して吸着ノズルＮ１～Ｎ８をθ方向に「０°」「９０°」「１８０°」「２７０°」の回転角度で回転させた状態で、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８を検出する。

【0034】

検出された先端位置Ｑ１～Ｑ８は、先端位置データ３２として制御記憶部２１に記憶される。すなわち、先端位置データ３２には、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の４つの回転角度（０°、９０°、１８０°、２７０°）における先端位置Ｑ１～Ｑ８がそれぞれ記憶されている。このように、先端位置認識処理部２３、装着ヘッド８の部品装着部９、ヘッド移動機構１１、部品カメラ１２は、複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ８（部品保持具）の先端位置Ｑ１～Ｑ８を取得する先端位置取得手段３８である。

【0035】

図４において、保持位置認識処理部２４は、ヘッド移動機構１１、部品カメラ１２を制御して、ヘッド座標系における吸着ノズルＮ１～Ｎ８が保持した部品Ｄの保持位置を検出する。具体的には、保持位置認識処理部２４は、吸着ノズルＮ１～Ｎ８が部品Ｄを保持した装着ヘッド８を部品カメラ１２の上方に移動させて、吸着ノズルＮ１～Ｎ８が保持する部品Ｄを撮像し、撮像画像を画像認識して部品Ｄの保持位置を検出する。検出された部品Ｄの保持位置は、保持位置データ３３として制御記憶部２１に記憶される。このように、保持位置認識処理部２４、ヘッド移動機構１１、部品カメラ１２は、複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ８（部品保持具）が保持した部品Ｄの保持位置を取得する保持位置取得手段３９である。

【0036】

ここで、図６を参照して、保持位置取得手段３９によって取得される部品Ｄの保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）の例について説明する。図６に示す撮像画像６０は、装着ヘッド８における吸着ノズルＮの中心Ｎｃの設計位置が撮像画像６０の中心６０ｃに位置するように装着ヘッド８を移動させて、部品カメラ１２によって吸着ノズルＮが保持する部品Ｄを撮像させたものである。すなわち、撮像画像６０の中心６０ｃが、吸着ノズルＮの中心Ｎｃの設計位置である。保持位置認識処理部２４は、撮像画像６０を認識処理して撮像画像６０の中心６０ｃを原点とする部品Ｄの中心ＤｃのＸ軸方向の保持位置ＸｄとＹ軸方向の保持位置Ｙｄを抽出する。また、保持位置認識処理部２４は、部品Ｄのθ方向の回転量である保持位置θｄを抽出する。

【0037】

さらに、保持位置認識処理部２４は、先端位置データ３２に含まれる吸着ノズルＮの先端位置Ｑから撮像画像６０における吸着ノズルＮの中心位置（Ｘｎ，Ｙｎ）を算出する。部品装着作業では、吸着ノズルＮの中心Ｎｃが部品Ｄの中心Ｄｃに一致するようにテープフィーダ５とヘッド移動機構１１が制御されるが、テープフィーダ５のテープ送り精度やポケットＰの中での部品Ｄの移動などに起因して、吸着ノズルＮの中心位置（Ｘｎ，Ｙｎ）と部品Ｄの中心位置（Ｘｄ，Ｙｄ）が位置ずれすることがある。図６は、吸着ノズルＮと部品Ｄが位置ずれしている例を示している。

【0038】

図６において、保持位置認識処理部２４は、吸着ノズルＮの中心位置（Ｘｎ，Ｙｎ）と撮像画像６０における部品Ｄの中心位置（Ｘｄ，Ｙｄ）から、吸着ノズルＮに対する保持した部品ＤのＸ軸方向の位置ずれΔＸ（Ｘｎ－Ｘｄ）とＹ軸方向の位置ずれΔＹ（Ｙｎ－Ｙｄ）を算出する。抽出された部品Ｄの保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）と、算出された部品Ｄの位置ずれ（ΔＸ，ΔＹ）は、保持位置データ３３として制御記憶部２１に記憶される。部品装着作業では、部品Ｄの保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）に基づいて、基板Ｂに部品Ｄを装着する吸着ノズルＮの位置が補正される。また、部品装着作業では、部品Ｄの位置ずれ（ΔＸ，ΔＹ）に基づいて、テープフィーダ５が供給する部品Ｄの部品供給位置Ｒが補正される。

【0039】

図４において、供給位置認識処理部２５は、ヘッド移動機構１１、ヘッドカメラ１３を制御して、基台座標系におけるテープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５を検出する。具体的には、供給位置認識処理部２５は、ヘッドカメラ１３をフィーダベース４に配置されたテープフィーダ５（１）～５（１５）の開口部５ａの上方に移動させて、テープフィーダ５（１）～５（１５）の上面を撮像し、撮像画像を画像認識して部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５を検出する。供給位置認識処理部２５は、前側と後側のフィーダベース４に配置されたテープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５をそれぞれ検出する。

【0040】

検出された部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５は、供給位置データ３４として制御記憶部２１に記憶される。このように、供給位置認識処理部２５、ヘッド移動機構１１、ヘッドカメラ１３は、フィーダベース４に配置されたテープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５を取得する供給位置取得手段４０である。

【0041】

図４において、重心ライン位置算出部２６は、先端位置データ３２に含まれる装着ヘッド８の前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４の先端位置Ｑ１～Ｑ４に基づいて、前列ノズル重心ラインＬ１の位置（Ｙａ１）を算出する（図３（ａ）参照）。また、重心ライン位置算出部２６は、先端位置データ３２に含まれる装着ヘッド８の後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８の先端位置Ｑ５～Ｑ８に基づいて、後列ノズル重心ラインＬ２の位置（Ｙａ２）を算出する（図３（ａ）参照）。

【0042】

また、重心ライン位置算出部２６は、供給位置データ３４に含まれる前側と後側のフィーダベース４に装着されたテープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５に基づいて、ポケット重心ラインＬ３の位置をそれぞれ算出する（図３（ｂ）参照）。算出された前列ノズル重心ラインＬ１の位置（Ｙａ１）、後列ノズル重心ラインＬ２の位置（Ｙａ２）、前側のポケット重心ラインＬ３の位置、前側のポケット重心ラインＬ３の位置は、重心ライン位置データ３５として制御記憶部２１に記憶される。

【0043】

図４において、送り補正量算出部２７は、先端位置データ３２に含まれる先端位置取得手段３８によって取得された複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ８（部品保持具）の先端位置Ｑ１～Ｑ８に基づいて、フィーダベース４に配置された複数のテープフィーダ５（１）～５（１５）（部品供給部）の送り補正量Ｓ１～Ｓ８（送り量の補正量）を算出する。送り補正量Ｓ１～Ｓ８は、ポケットＰから部品Ｄが取り出されたテープフィーダ５（１）～５（１５）において、部品テープをピッチ送りして次の部品Ｄを部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５に移動させる際に、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端Ｎａの位置のずれを補正するためにポケットＰの間隔（ピッチ送り量）に加える補正量である。

【0044】

送り補正量算出部２７は、重心ライン位置データ３５に含まれる前列ノズル重心ラインＬ１の位置（Ｙａ１）と、先端位置データ３２に含まれる先端位置Ｑ１～Ｑ４に基づいて、前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４の送り補正量Ｓ１～Ｓ４を算出する。具体的には、送り補正量算出部２７は、ヘッド座標系における前列ノズル重心ラインＬ１の位置（Ｙａ１）からのＹａ軸方向の先端位置Ｑ１～Ｑ４のずれ量を送り補正量Ｓ１～Ｓ４として算出する。同様に、送り補正量算出部２７は、後列ノズル重心ラインＬ２の位置（Ｙａ２）と、先端位置Ｑ５～Ｑ８に基づいて、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８の送り補正量Ｓ５～Ｓ８を算出する。算出された送り補正量Ｓ１～Ｓ８は、送り補正量データ３６として制御記憶部２１に記憶される。

【0045】

ここで図７（ａ）を参照して、送り補正量データ３６について説明する。送り補正量データ３６には、装着ヘッド８の吸着ノズルＮ１～Ｎ８のノズル位置５４に対応して、送り補正量５７（送り量の補正量）が記憶されている。図７（ｂ）は、装着ヘッド８の後列の吸着ノズルＮ６，Ｎ７の送り補正量Ｓ６，Ｓ７の例を、模式的に示している。

【0046】

送り補正量算出部２７は、後列ノズル重心ラインＬ２の位置（Ｙａ２）からのＹａ軸方向の先端位置Ｑ６のずれ量を送り補正量Ｓ６として算出する。同様に、送り補正量算出部２７は、後列ノズル重心ラインＬ２の位置（Ｙａ２）からのＹａ軸方向の先端位置Ｑ７のずれ量を送り補正量Ｓ７として算出する。このように、送り補正量算出部２７は、複数の部品保持具（吸着ノズルＮ１～Ｎ８）の先端位置Ｑ１～Ｑ８の重心ライン（前列ノズル重心ラインＬ１、後列ノズル重心ラインＬ２）の位置からの各部品保持具の先端位置Ｑ１～Ｑ８のずれ量に基づいて、送り量の補正量（送り補正量Ｓ１～Ｓ８）を算出する。

【0047】

図４において、送り位置データ３７には、フィーダベース４に配置された複数のテープフィーダ５（１）～５（１５）（部品供給部）の現在の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５（ポケットＰの中心）が記憶されている。指令送出部２９は、フィーダベース４に配置された複数のテープフィーダ５（１）～５（１５）に部品テープをピッチ送りする送り量を指示する送り指令を送出する。送り位置データ３７は、指令送出部２９から送出された送り指令に基づいてテープフィーダ５（１）～（１５）が部品Ｄをピッチ送りすると更新される。

【0048】

図４において、送り量算出部２８は、装着データ３０、部品データ３１、保持位置データ３３、送り補正量データ３６、送り位置データ３７に基づいて、前後のフィーダベース４に配置されたテープフィーダ５（１）～５（１５）が次の部品Ｄを供給するために部品テープをピッチ送りする送り量を算出する。具体的には、送り量算出部２８は、部品装着装置１が生産する実装基板の基板種を変更するためにフィーダベース４に配置するテープフィーダ５を入れ替える段取り替え作業の後や電源投入直後に、供給位置取得手段４０が新たに取得した供給位置データ３４に基づいて、テープフィーダ５（１）～５（１５）を初期状態にするための送り量を算出する。

【0049】

ここで、図８、図９を参照して、送り量算出部２８が算出するテープフィーダ５（１）～５（１５）を初期状態にするための送り量について説明する。図８は、指令送出部２９から送出された送り指令に基づいてテープフィーダ５（１）～５（１５）が部品テープをテープ送りして初期状態となった送り位置データ３７を示している。送り位置データ３７には、フィーダ位置５６、部品名５２の他、ピッチ送り量５８、送り位置５９が含まれている。ピッチ送り量５８は、テープフィーダ５（１）～５（１５）にセットされている部品テープのポケットＰの間隔である。送り位置５９は、現在の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５である。初期状態とは、全てのフィーダ位置５６で送り位置５９が「０」となっている状態である。

【0050】

図９は、初期状態となったテープフィーダ５（１）～５（１５）を模式的に示している。図９は、図３（ｂ）に示す初期状態にする前の状態から、送り指令に基づいてテープフィーダ５（１）～５（１５）が部品テープをテープ送りした後の状態（初期状態）を示している。すなわち、初期状態とは、テープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５がポケット重心ラインＬ３に並んだ状態である。また、図８に示す送り位置データ３７では、ポケット重心ラインＬ３の位置を送り位置５９の原点（「０」）と規定している。

【0051】

送り量算出部２８は、テープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５がポケット重心ラインＬ３に並ぶように送り量を算出する。図３（ｂ）、図９の例では、初期状態にする前に部品供給位置Ｒ１，Ｒ３がポケット重心ラインＬ３より後に位置していたテープフィーダ５（１），５（３）については、送り量算出部２８は、部品テープを進めるように正の送り量を算出する。また、初期状態にする前に部品供給位置Ｒ２，Ｒ４がポケット重心ラインＬ３より先に位置していたテープフィーダ５（２），５（４）については、送り量算出部２８は、部品テープを戻すように負の送り量を算出する。

【0052】

次に図１０～図１４を参照して、部品装着作業において送り量算出部２８が算出するテープフィーダ５（１）～５（１５）の送り量を説明する。図１０、図１２～図１４は、図５に示す装着データ３０に基づいて送り量算出部２８が算出した送り量に基づいてテープフィーダ５（１）～５（１５）が部品テープをピッチ送りした後の送り位置データ３７に、フィーダ位置５６に対する送り量６１を併せて表示している。以下、送り位置データ３７には、フィーダ位置５６毎の送り量６１が含まれているとする。すなわち、制御記憶部２１は、送出された送り指令に基づく送り量６１（送り位置データ３７）を記憶する記憶部である。

【0053】

送り量算出部２８は、前側と後側のフィーダベース４に配置されたテープフィーダ５（１）～（１５）の送り量６１をそれぞれ算出する。その際、送り量算出部２８は、前側と後側のテープフィーダ５（１）～（１５）のピッチ送り方向が逆であることを考慮して送り量６１を算出する。以下、ピッチ送り方向がＹ軸の正方向である前側のフィーダベース４に配置されたテープフィーダ５（１）～（１５）を例に説明する。

【0054】

図１０は、初期状態のテープフィーダ５（７）～（１０）に対して、図５に示す装着データ３０の装着番号５０が「１」～「４」（以下、単に「装着番号１～４」などと称する。）の部品Ｄを供給するように送り量算出部２８が算出した送り量６１に基づいてピッチ送りされた後の送り位置データ３７である。図１１は、図１０に示す送り位置データ３７に対応するテープフィーダ５（７）～（１０）の部品供給位置Ｒ７～Ｒ１０の状態を模式的に示している。

【0055】

ターン番号５１が「１」の装着ターン（以下、単に「ターン１」などと称する。）において、装着ヘッド８の前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４によりフィーダ位置５６が「７」～「１０」（以下、単に「フィーダ位置７～１０」などと称する。）のテープフィーダ５（７）～５（１０）から部品Ｄを同時吸着するようにテープ送りされている。

【0056】

図１０において、送り量算出部２８は、送り補正量データ３６に記憶されている吸着ノズルＮ１～Ｎ４の送り補正量Ｓ１～Ｓ４に基づいて、フィーダ位置７～１０のテープフィーダ５（７）～５（１０）の部品供給位置Ｒ７～Ｒ１０が送り補正量Ｓ１～Ｓ４となるように、送り量６１を算出する。例えば、送り量算出部２８は、フィーダ位置７のテープフィーダ５（７）の送り量６１を、吸着ノズルＮ１の送り補正量Ｓ１と同じ「Ｓ１」と算出する。

【0057】

同時吸着の場合、部品装着作業において装着制御部２２は、装着ヘッド８を移動させて装着ヘッド８の前列ノズル重心ラインＬ１がテープフィーダ５（１）～（１５）のポケット重心ラインＬ３に一致するように位置決めする。これにより、基台座標系における吸着ノズルＮ１～Ｎ４の先端位置Ｑ１～Ｑ４が、フィーダ位置７～１０のテープフィーダ５（７）～５（１０）の部品供給位置Ｒ７～Ｒ１０と一致する（図１１参照）。次いで装着制御部２２は、吸着ノズルＮ１～Ｎ４を同時に下降させて部品Ｄを同時吸着させる。これにより、吸着ノズルＮ１～Ｎ４の中心Ｎｃが保持した部品Ｄの中心Ｄｃに一致することが期待される。

【0058】

このように、指令送出部２９は、送り量の補正量（送り補正量Ｓ１～Ｓ４）と記憶される送り指令に基づく送り量６１に基づいて、複数の部品供給部（テープフィーダ５（７）～５（１０））に送り指令を送出する。そして、複数の部品供給部は、送り指令に基づく送り量６１で部品Ｄを送り、装着ヘッド８は、複数の部品供給部によって供給された複数の部品Ｄを複数の部品保持具（吸着ノズルＮ１～Ｎ４）で同時に保持する。

【0059】

図１２は、図１０の状態から装着データ３０の装着番号５～８の部品Ｄを供給する状態にピッチ送りされた後の送り位置データ３７である。すなわち、ターン１で装着ヘッド８の後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８がフィーダ位置１，３，５，７のテープフィーダ５（１），５（３），５（５），５（７）から部品Ｄを個別吸着するようにテープ送りされている。個別吸着の場合、送り量算出部２８は、テープフィーダ５（１），５（３），５（５），５（７）の部品供給位置Ｒ１，Ｒ３，Ｒ５，Ｒ７がポケット重心ラインＬ３に位置するように、すなわち、送り位置５９が「０」となるように送り量６１を算出する。

【0060】

図１２において、フィーダ位置１，３，５の送り位置５９は、図１０の状態で「０」にあるため、送り量算出部２８は送り量６１を「０」と算出する。すなわち、指令送出部２９は、テープフィーダ５（１），５（３），５（５）に送り指令を送出しない。フィーダ位置７の送り位置５９は、図１０の状態で「Ｓ１」にあるため、送り量算出部２８は送り量６１を「Ｔ０７－Ｓ１」と算出する。すなわち、部品テープをポケットＰの間隔（Ｔ０７）だけピッチ送りする送り量から、前の位置である「Ｓ１」の分を戻して「０」となるように送り量６１を算出する。

【0061】

個別吸着の場合、部品装着作業において装着制御部２２は、装着ヘッド８を移動させて装着ヘッド８の吸着ノズルＮ５の中心Ｎｃがフィーダ位置１のテープフィーダ５（１）のポケット重心ラインＬ３に一致するように位置決めする。これにより、基台座標系における吸着ノズルＮ５の先端位置Ｑ５が、フィーダ位置１のテープフィーダ５（１）の部品供給位置Ｒ１と一致する。次いで装着制御部２２は、吸着ノズルＮ５を下降させて部品Ｄを個別吸着させる。これにより、吸着ノズルＮ５の中心Ｎｃが保持した部品Ｄの中心Ｄｃに一致することが期待される。以下、装着制御部２２は、同様の制御を繰り返して、吸着ノズルＮ６～Ｎ８に部品Ｄを個別吸着させる。

【0062】

ターン１において装着ヘッド８の全ての吸着ノズルＮ１～Ｎ８に部品Ｄが保持されると、保持位置取得手段３９によって吸着ノズルＮ１～Ｎ８が保持する部品Ｄの保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）が取得される。装着制御部２２は、取得された保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）に基づいて吸着ノズルＮ１～Ｎ８の位置を補正して、基板Ｂの装着位置５３に部品Ｄをそれぞれ装着させる。また、装着制御部２２は、保持位置取得手段３９が保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）を取得した状態から部品Ｄを回転させて基板Ｂに装着する場合は、先端位置データ３２に記憶されている回転角度毎の吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８に基づいて、吸着ノズルＮ１～Ｎ８の位置を補正して基板Ｂに部品Ｄを装着させる。

【0063】

図１３は、図１２の状態から装着データ３０の装着番号９～１２の部品Ｄを供給する状態にピッチ送りされた後の送り位置データ３７である。すなわち、ターン２で装着ヘッド８の前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４がフィーダ位置４～７のテープフィーダ５（４）～５（７）から部品Ｄを同時吸着するようにテープ送りされている。図１３の例では、吸着ノズルＮ１～Ｎ４の送り補正量Ｓ１～Ｓ４に加えて、ターン１で取得された保持位置データ３３に含まれる部品Ｄの位置ずれ（ΔＸ，ΔＹ）も加味して、送り位置５９が算出されるところが図１０に示す同時吸着の例とは異なる。

【0064】

図１３において、フィーダ位置４～７の送り位置５９は、吸着ノズルＮ１～Ｎ４の送り補正量Ｓ１～Ｓ４からターン１で吸着ノズルＮ１～Ｎ４が保持した部品ＤのＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ４だけ補正されている。送り量算出部２８は、図１２のフィーダ位置４～７の送り位置５９が図１３のフィーダ位置４～７の送り位置５９となるように、送り量６１を算出する。例えば、フィーダ位置７では、送り量算出部２８はピッチ送り量５８（Ｔ０７）に「Ｓ４－ΔＹ４」を加えた送り量６１を算出する。指令送出部２９は、算出された送り量６１が送られるように送り指令を送出する。

【0065】

このように、保持位置取得手段３９は、ターン１において複数の部品保持具（吸着ノズルＮ１～Ｎ４）が保持した部品Ｄの保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）を取得し、指令送出部２９は、送り量の補正量（送り補正量Ｓ１～Ｓ４）と取得された保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）から算出されるＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ４に基づいて、複数の部品供給部（テープフィーダ５（４）～５（７））に送り指令を送出する。これにより、部品Ｄの中心Ｄｃが吸着ノズルＮ１～Ｎ４の中心Ｎｃとなるように精度良く保持されることが期待される。

【0066】

図１４は、図１３の状態から装着データ３０の装着番号１３～１６の部品Ｄを供給する状態にピッチ送りされた後の送り位置データ３７である。すなわち、ターン２で装着ヘッド８の後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８がフィーダ位置７～１０のテープフィーダ５（７）～５（１０）から部品Ｄを同時吸着するようにテープ送りされている。

【0067】

図１３と同様に、フィーダ位置７～１０の送り位置５９は、吸着ノズルＮ５～Ｎ８の送り補正量Ｓ５～Ｓ８からターン１で吸着ノズルＮ５～Ｎ８が保持した部品ＤのＹ軸方向の位置ずれΔＹ５～ΔＹ８だけ補正されている。例えば、フィーダ位置７では、送り量算出部２８はピッチ送り量５８（Ｔ０７）に「Ｓ５－ΔＹ５」を加えた送り量から、前の位置である「Ｓ４－ΔＹ４」の分を戻すように送り量６１を算出する。

【0068】

なお、送り量算出部２８が送り量６１を算出する際に、前のターンで取得されたＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ８による補正量の算出は、ターン毎に実行する必要はない。例えば、５ターン分のＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ８が蓄積されると、次のターンからその平均値で補正するようにしてもよい。また、過去の５ターン分のＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ８の移動平均で補正するようにしてもよい。

【0069】

また、テープフィーダ５（１）～５（１５）毎にＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ８による補正量を算出するようにしてもよい。また、５枚の実装基板でＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ８が取得されると、装着番号５０毎に平均値を算出して補正値として使用するようにしてもよい。これにより、テープ送り精度誤差や突発的なずれの影響が排除され、テープフィーダ５（１）～５（１５）と吸着ノズルＮ１～Ｎ８との組み合わせによる同時吸着の精度向上が期待される。

【0070】

次に図１５～図１８のフローに沿って、部品装着装置１によって複数の部品Ｄを基板Ｂに装着する部品装着方法について説明する。図１５において、まず、先端位置取得手段３８は、装着ヘッド８が備える複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ８（部品保持具）の先端位置Ｑ１～Ｑ８を取得する（ＳＴ１：先端位置取得工程）。次いで供給位置取得手段４０は、フィーダベース４に配置されたテープフィーダ５（１）～５（１５）（部品供給部）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５を取得する（ＳＴ２：供給位置取得工程）。

【0071】

次いで重心ライン位置算出部２６は、先端位置Ｑ１～Ｑ４から前列ノズル重心ラインＬ１の位置（Ｙａ１）を、先端位置Ｑ５～Ｑ６から後列ノズル重心ラインＬ２の位置（Ｙａ２）を、部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５からポケット重心ラインＬ３の位置をそれぞれ算出する（ＳＴ３：重心ライン位置算出工程）。次いで送り補正量算出部２７は、取得された複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ８の先端位置Ｑ１～Ｑ８に基づいて、複数のテープフィーダ５（１）～５（１５）の送り補正量Ｓ１～Ｓ８（送り量の補正量）を算出する（ＳＴ４：送り補正量算出工程）。

【0072】

図１５において、次いで送り量算出部２８はテープフィーダ５（１）～５（１５）を初期状態にするための送り量６１を算出し、指令送出部２９がテープフィーダ５（１）～５（１５）に送り指令を送出する。送り指令を受信したテープフィーダ５（１）～５（１５）は、部品テープを送り量６１だけテープ送りする（ＳＴ５：初期状態化工程）。これにより、テープフィーダ５（１）～５（１５）の部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５がポケット重心ラインＬ３に並ぶ初期状態となる（図９参照）。初期状態化工程（ＳＴ５）は、段取り替え作業後や電源投入直後など、部品装着作業を開始する前に実行される。

【0073】

次いで部品装着作業が開始される。すなわち、基板搬送コンベア３により作業対象の基板Ｂが装着作業位置に搬入されて位置決めされる（ＳＴ６：基板搬入工程）。次いで送り量算出部２８は、装着データ３０から１ターン分のデータを取得する（ＳＴ７：データ取得工程）。次いで装着ヘッド８の吸着ノズルＮ１～Ｎ８により、テープフィーダ５（１）～５（１５）から部品Ｄがピックアップされる（ＳＴ８：部品ピックアップ工程）。次いで保持位置取得手段３９は、複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ８が保持した部品Ｄの保持位置（Ｘｄ，Ｙｄ，θｄ）を取得する（ＳＴ９：部品保持位置取得工程）。

【0074】

図１５において、次いで装着制御部２２は、装着ヘッド８が吸着ノズルＮ１～Ｎ８により保持する複数の部品Ｄを基板Ｂの装着位置５３に装着させる（ＳＴ１０：部品装着工程）。その際、装着制御部２２は、先端位置データ３２、保持位置データ３３に基づいて、基板Ｂに部品Ｄを装着させる吸着ノズルＮ１～Ｎ８の基板Ｂに対する位置を補正する。次の装着ターンが有る場合（ＳＴ１１においてＹｅｓ）、データ取得工程（ＳＴ７）から部品装着工程（ＳＴ１０）が繰り返し実行される。全ての装着ターンが終了すると（ＳＴ１１においてＮｏ）、基板搬送コンベア３により作業済みの基板Ｂが下流に搬出される（ＳＴ１２：基板搬出工程）。作業対象の基板Ｂが残っている間は（ＳＴ１３においてＹｅｓ）、基板搬入工程（ＳＴ６）に戻って部品装着作業が繰り返し実行される。

【0075】

次に図１６を参照して、部品ピックアップ工程（ＳＴ８）の詳細について説明する。まず、装着データ３０において、その装着ターンで前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４を使用すると規定されている場合（ＳＴ２１においてＹｅｓ）、同時吸着フラグが有るか否かが判断される（ＳＴ２２）。すなわち、装着データ３０の同時フラグ５５が「１」か否かが判断される。同時吸着フラグが有る場合（ＳＴ２２においてＹｅｓ）、前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４に同時吸着により部品Ｄが保持される（ＳＴ２３：前列同時吸着工程）。同時吸着フラグが無い場合（ＳＴ２２においてＮｏ）、前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４に個別吸着により部品Ｄが保持される（ＳＴ２４：前列個別吸着工程）。

【0076】

前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４を使用しないと規定されている場合（ＳＴ２１においてＮｏ）、または、前列同時吸着工程（ＳＴ２３）もしくは前列個別吸着工程（ＳＴ２４）が終了すると、次いでその装着ターンで後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８を使用すると規定されているか否かが判断される（ＳＴ２５）。後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８を使用すると規定されている場合（ＳＴ２５においてＹｅｓ）、同時吸着フラグが有るか否かが判断される（ＳＴ２６）。同時吸着フラグが有る場合（ＳＴ２６においてＹｅｓ）、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８に同時吸着により部品Ｄが保持される（ＳＴ２７：後列同時吸着工程）。

【0077】

同時吸着フラグが無い場合（ＳＴ２６においてＮｏ）、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８に個別吸着により部品Ｄが保持される（ＳＴ２８：後列個別吸着工程）。後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８を使用しないと規定されている場合（ＳＴ２５においてＮｏ）、または、後列同時吸着工程（ＳＴ２７）もしくは後列個別吸着工程（ＳＴ２８）が終了すると、部品ピックアップ工程（ＳＴ８）が終了する。

【0078】

次に図１７を参照して、前列同時吸着工程（ＳＴ２３）と後列同時吸着工程（ＳＴ２７）について説明する。前列同時吸着工程（ＳＴ２３）と後列同時吸着工程（ＳＴ２７）は、同時吸着する吸着ノズルＮ１～Ｎ８が前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４であるか、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８であるかの違いであり、ここでは、前列同時吸着工程（ＳＴ２３）を例に説明する。同時吸着工程では、まず、送り量算出部２８は、送り補正量データ３６から送り補正量Ｓ１～Ｓ４を読み出し（ＳＴ３１）、送り位置データ３７から送り位置５９を読み出し（ＳＴ３２）、保持位置データ３３からＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ４を読み出し（ＳＴ３３）、送り量６１を算出する（ＳＴ３４）。

【0079】

次いで指令送出部２９は、算出された送り量６１に基づいて、対象の複数のテープフィーダ５（１）～５（１５）に送り指令を送出する（ＳＴ３５：同時指令送出工程）。送り指令を受信した複数のテープフィーダ５（１）～（１５）は、送り指令に基づく送り量６１で部品Ｄを送って部品Ｄを部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５に供給する（ＳＴ３６：同時部品供給工程）。次いで装着制御部２２は、前列ノズル重心ラインＬ１の位置（Ｙａ１）がポケット重心ラインＬ３の位置と一致するように装着ヘッド８を移動させて位置決めする（ＳＴ３７）。

【0080】

図１７において、対象のテープフィーダ５（１）～５（１５）でのテープ送りが完了すると（ＳＴ３８においてＹｅｓ）、装着制御部２２は、吸着ノズルＮ１～Ｎ４を同時に下降させてテープフィーダ５（１）～５（１５）から部品Ｄを同時吸着させる（ＳＴ３９：同時保持工程）。すなわち、装着ヘッド８が、複数のテープフィーダ５（１）～５（１５）によって供給された複数の部品Ｄを複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ４で同時に保持する（ＳＴ３９）。次いで送り位置データ３７の送り位置５９が、送出された送り指令に基づく送り量６１で更新（記憶）される（ＳＴ４０：同時送り量記憶工程）。

【0081】

次に図１８を参照して、前列個別吸着工程（ＳＴ２４）と後列個別吸着工程（ＳＴ２８）について説明する。前列個別吸着工程（ＳＴ２４）と後列個別吸着工程（ＳＴ２８）は、個別吸着する吸着ノズルＮ１～Ｎ８が前列の吸着ノズルＮ１～Ｎ４であるか、後列の吸着ノズルＮ５～Ｎ８であるかの違いであり、ここでは、前列個別吸着工程（ＳＴ２４）を例に説明する。個別吸着工程では、まず、送り量算出部２８は、先端位置データ３２から吸着ノズルＮ１～Ｎ４の先端位置Ｑ１～Ｑ４を読み出し（ＳＴ４１）、送り位置データ３７から送り位置５９を読み出し（ＳＴ４２）、保持位置データ３３からＹ軸方向の位置ずれΔＹ１～ΔＹ４を読み出し（ＳＴ４３）、送り量６１を算出する（ＳＴ４４）。

【0082】

次いで指令送出部２９は、算出された送り量６１に基づいて、対象のテープフィーダ５（１）～５（１５）に送り指令を送出する（ＳＴ４５：個別指令送出工程）。送り指令を受信したテープフィーダ５（１）～（１５）は、送り指令に基づく送り量６１で部品Ｄを送って部品Ｄを部品供給位置Ｒ１～Ｒ１５に供給する（ＳＴ４６：個別部品供給工程）。次いで装着制御部２２は、吸着ノズルＮ１の先端位置Ｑ１がポケット重心ラインＬ３の位置と一致するように装着ヘッド８を移動させて位置決めする（ＳＴ４７）。

【0083】

図１８において、対象のテープフィーダ５（１）～５（１５）でのテープ送りが完了すると（ＳＴ４８においてＹｅｓ）、装着制御部２２は、吸着ノズルＮ１～Ｎ４を下降させてテープフィーダ５（１）～５（１５）から部品Ｄを個別吸着させる（ＳＴ４９：個別保持工程）。次に部品Ｄを個別吸着させる吸着ノズルＮ２～Ｎ４が有る場合（ＳＴ５０においてＹｅｓ）、個別指令送出工程（ＳＴ４５）に戻って部品Ｄの供給と個別吸着が実行される（ＳＴ４５～ＳＴ４９）。全ての吸着ノズルＮ１～Ｎ４に部品Ｄを個別吸着させると（ＳＴ５０においてＮｏ）、次いで送り位置データ３７の送り位置５９が、送出された送り指令に基づく送り量６１で更新（記憶）される（ＳＴ５１：個別送り量記憶工程）。

【0084】

次の装着ターンでの部品ピックアップ工程（ＳＴ８）では、同時送り量記憶工程（ＳＴ４０）、または、個別送り量記憶工程（ＳＴ５１）において更新された送り位置データ３７に基づいて、送り量６１が算出される。すなわち、同時指令送出工程（ＳＴ３５）、または、個別指令送出工程（ＳＴ４５）において、送り補正量Ｓ１～Ｓ８と記憶される送り指令に基づく送り量６１（送り位置５９）に基づいて、複数のテープフィーダ５（１）～５（１５）に送り指令が送出される。

【0085】

上記説明したように、本実施の形態の部品装着装置１は、複数の部品保持具（吸着ノズルＮ１～Ｎ８）を備えた装着ヘッド８と、部品Ｄを供給する複数の部品供給部（テープフィーダ５（１）～５（１５））と、複数の部品保持具の先端位置Ｑ１～Ｑ８を取得する先端位置取得手段３８と、取得された複数の部品保持具の先端位置Ｑ１～Ｑ８に基づいて、複数の部品供給部の送り量の補正量（送り補正量Ｓ１～Ｓ８）を算出する送り補正量算出部２７と、算出された送り量の補正量に基づいて、複数の部品供給部に送り指令を送出する指令送出部２９と、を備えている。

【0086】

そして、複数の部品供給部は、送り指令に基づく送り量６１で部品Ｄを送り、装着ヘッド８は、複数の部品供給部によって供給された複数の部品Ｄを複数の部品保持具で同時に保持する。これによって、複数の吸着ノズルＮ１～Ｎ８による複数の部品Ｄの同時吸着を適切に実行することができる。

【産業上の利用可能性】

【0087】

本発明の部品装着装置および部品装着方法は、複数の吸着ノズルによる複数の部品の同時吸着を適切に実行することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

【符号の説明】

【0088】

１ 部品装着装置
５，５（１）～５（４），５（７）～５（１０） テープフィーダ（部品供給部）
８ 装着ヘッド
３８ 先端位置取得手段
３９ 保持位置取得手段
Ｄ 部品
Ｌ１ 前列ノズル重心ライン（重心ライン）
Ｌ２ 後列ノズル重心ライン（重心ライン）
Ｎ，Ｎ１～Ｎ８ 吸着ノズル（部品保持具）
Ｑ１～Ｑ８ 先端位置
Ｓ１～Ｓ４，Ｓ６，Ｓ７ 送り補正量（送り量の補正量）
Ｘｄ Ｘ軸方向の保持位置
Ｙｄ Ｙ軸方向の保持位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】