特許 7600030 光偏向器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-06

(45)【発行日】2024-12-16

(54)【発明の名称】光偏向器

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20241209BHJP

   G02B 26/08 20060101ALI20241209BHJP

【ＦＩ】

G02B26/10 104Z

G02B26/08 E

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2021082273

(22)【出願日】2021-05-14

(65)【公開番号】P2022175658

(43)【公開日】2022-11-25

【審査請求日】2024-04-02

(73)【特許権者】

【識別番号】000002303

【氏名又は名称】スタンレー電気株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000800

【氏名又は名称】デロイトトーマツ弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】浅利 友隆

【審査官】岩村 貴

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０２０／２４６２４５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－２１２２２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０６３４１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－２１４５６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１２９７８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０９９４６０６２（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】中国特許出願公開第１１１７５１９８０（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｂ ２６／１０

Ｇ０２Ｂ ２６／０８

Ｂ８１Ｂ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光を反射するミラー部と、
前記ミラー部を包囲するように設けられた枠体と、
前記ミラー部の中心を通る軸線上で、各々の一端部が前記ミラー部と結合され、各々の他端部が前記枠体と結合されている１対のトーションバーと、
前記枠体上に設けられ、前記トーションバーを前記軸線の周りに往復回動させる圧電アクチュエータと、を備え、
前記トーションバーと前記ミラー部との接続部を第１接続部とし、前記トーションバーと前記枠体との接続部を第２接続部としたとき、前記トーションバーは、前記第１接続部と前記第２接続部における横幅が最も広く、長さ方向の中心部に向かって徐々に横幅が狭くなるくびれ形状を有し、
前記トーションバーの前記第１接続部又は前記第２接続部の横幅をＷ1とし、前記トーションバーの長さ方向の中心部の横幅Ｗ2とし、（Ｗ ₁ －Ｗ ₂ ）／２＝Ｗ ₃ と定めたとき、
前記第１接続部又は前記第２接続部と前記長さ方向の中心部との中央における前記トーションバーの横幅Ｗ ₄ は、Ｗ ₂ ＋０．３０×Ｗ ₃ 以上Ｗ ₂ ＋０．３５×Ｗ ₃ 以下で与えられることを特徴とする光偏向器。

【請求項2】

前記ミラー部が円形状又は楕円形状を有しているとき、前記トーションバーの前記第１接続部側の端部は、前記軸線と直交した、前記ミラー部の前記円形状又は楕円形状の接線上にあることを特徴とする請求項１に記載の光偏向器。

【請求項3】

前記枠体が円形状又は楕円形状を有しているとき、前記トーションバーの前記第２接続部側の端部は、前記枠体の前記円形状又は楕円形状を構成する曲線の終点を結ぶ直線上にあることを特徴とする請求項１または２に記載の光偏向器。

【請求項4】

前記トーションバーは、長さ方向の中心部を含む直線部分を有し、
前記直線部分は、前記トーションバーの全体の長さの２５％以下であることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の光偏向器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、トーションバーを利用してミラー部を往復回動させる光偏向器に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術で作製された光偏向器、当該光偏向器を備えた光走査装置が知られている。光偏向器は、回転軸周りに往復回動するミラー部を有しており、光源からの光をミラー部の振れ角に応じた方向に反射して、所定の領域を光走査する。

【0003】

特許文献１の光走査装置において、可動板部は、反射面裏側の可動板とトーション梁の各接続部分付近に、補強のためのリブをそれぞれ設けている。この光走査装置によれば、歪みの大きい回動中心に近い部分が補強されるため、可動板部分の重量と慣性モーメントの増加を抑えることができる（特許文献１／段落００２６、図２)。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第５１６８６５９号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、この光走査装置では、上記リブを設けることでトーション梁の付け根部分の剛性が不連続になる可能性がある。可動板部を駆動させ、さらに光の走査速度を向上させたときに発生する応力がトーション梁の一部分に集中すると、破損につながるおそれがあった。

【0006】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、剛性が高く、小型化、薄型化しても破損し難い光偏向器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の光偏向器は、光を反射するミラー部と、前記ミラー部を包囲するように設けられた枠体と、前記ミラー部の中心を通る軸線上で、各々の一端部が前記ミラー部と結合され、各々の他端部が前記枠体と結合されている１対のトーションバーと、前記枠体上に設けられ、前記トーションバーを前記軸線の周りに往復回動させる圧電アクチュエータと、を備え、
前記トーションバーと前記ミラー部との接続部を第１接続部とし、前記トーションバーと前記枠体との接続部を第２接続部としたとき、前記トーションバーは、前記第１接続部と前記第２接続部における横幅が最も広く、長さ方向の中心部に向かって徐々に横幅が狭くなるくびれ形状を有していることを特徴とする。

【0008】

本発明の光偏向器では、圧電アクチュエータが、一対のトーションバーを利用してミラー部を軸線周りに往復回動させる。トーションバーは、各々の一端部が第１接続部にてミラー部と接続し、各々の他端部が第２接続部にて圧電アクチュエータが設けられた枠体と接続している。

【0009】

トーションバーにかかる捩じり運動の応力を緩和するため、トーションバーを、第１接続部と第２接続部の横幅が最も広く、長さ方向の中心部に向かって徐々に横幅が狭くなるくびれ形状とする。本発明の光偏向器は、中心部の横幅が広く、かつ直線状のトーションバー（従来構造）と比較して、当該中心部の横幅が狭く、回転トルクが小さくなる。その分、本発明の光偏向器では、歪みが抑えられ、剛性が高まるため、小型化、薄型化しても破損し難い光偏向器とすることができる。

【0010】

本発明の光偏向器において、前記トーションバーの前記第１接続部又は前記第２接続部の横幅をＷ₁とし、前記トーションバーの長さ方向の中心部の横幅Ｗ₂とし、（Ｗ₁－Ｗ₂）／２＝Ｗ₃と定めたとき、前記第１接続部又は前記第２接続部と前記長さ方向の中心部との中間部における前記トーションバーの横幅Ｗ₄は、Ｗ₂＋０．３０～０．３５×Ｗ₃で与えられることが好ましい。

【0011】

ミラー部を往復回動させたときの共振周波数及び限界振れ角は、トーションバーの形状に依存する。トーションバーの横幅Ｗ₄を上記範囲とすることで、ミラー部の共振周波数及び限界振れ角の特性を高めることができる。

【0012】

また、本発明の光偏向器において、前記ミラー部が円形状又は楕円形状を有しているとき、前記トーションバーの前記第１接続部側の端縁は、前記軸線と直交した、前記ミラー部の前記円形状又は楕円形状の接線上にあることが好ましい。

【0013】

ミラー部が円形状又は楕円形状であるとき、トーションバーの第１接続部側（ミラー部側）の端縁は、上記接線上にあるとする。これにより、トーションバーの長さを明確にすることができる。

【0014】

また、本発明の光偏向器において、前記枠体が円形状又は楕円形状を有しているとき、前記トーションバーの前記第２接続部側の端縁は、前記枠体の前記円形状又は楕円形状を構成する曲線の終点を結ぶ直線上にあることが好ましい。

【0015】

枠体が円形状又は楕円形状であるとき、トーションバーの第２接続部側（枠体側）の端縁は、上記直線上にあるとする。これにより、トーションバーの長さを明確にすることができる。

【0016】

また、本発明の光偏向器において、前記トーションバーは、長さ方向の中心部を含む直線部分を有し、前記直線部分は、前記トーションバーの全体の長さの２５％以下であることが好ましい。

【0017】

トーションバーは、その長さ方向の中心部に直線部分を有していてもよい。当該直線部分の長さがトーションバーの全体の長さの２５％以下であれば、曲線のみからなるくびれ形状のトーションバーと同性能とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】光スキャナモジュールの構成図。

【図2】本発明の光偏向器の詳細を説明する図。

【図3】図２中の領域Ｒの拡大図。

【図4】図３中の領域Ｓの拡大図。

【図5】（ａ）トーションバーの全体斜視図。（ｂ）トーションバーのＩ－Ｉ断面図。

【図6】トーションバー（変更形態）を説明する図。

【図7】（ａ）トーションバー（参考例Ａ）を説明する図。（ｂ）トーションバー（参考例Ｂ）を説明する図。

【図8】トーションバーの各形状による性能比較を説明する図。

【図9】トーションバーの従来構造と新規構造の性能比較を説明する図。

【発明を実施するための形態】

【0019】

（全体構成）
初めに、図１を参照して、光スキャナモジュール１の構成を説明する。

【0020】

光スキャナモジュール１は、例えば、ピコプロジェクタ、スマートグラス（ウェアラブル機器）、ＡＤＢ（Adaptive Driving Beam）用のヘッドランプ等に使用される部品であり、光偏向器２、光源３、制御装置５等から構成される。

【0021】

（光偏向器）
光偏向器２は、半導体プロセスとＭＥＭＳ技術とを利用して作製される。光偏向器２は、一定方向から入射する光を、軸線周りに回動するマイクロミラー（ミラー部９）で反射し、走査光として出射するデバイスである。

【0022】

光偏向器２のインナーフレームである可動枠８（本発明の「枠体」）には、ミラー部９、圧電アクチュエータ１０、トーションバー１３等が設けられている。光源３から出射されたレーザ光４ａは、ミラー部９に入射して反射され、反射光（レーザ光４ｂ）が、例えば、ピコプロジェクタの投影面を走査する。

【0023】

（光源）
光源３は、中心波長が約４５０ｎｍのレーザダイオード（ＬＤ：Laser Diode）であり、青色光（レーザ光４ａ）を出射する。なお、光源として、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）等を用いてもよい。

【0024】

（制御装置）
制御装置５は、可動枠８及び光源３に制御信号を送信する。この制御信号により可動枠８内の圧電アクチュエータ１０が駆動され、トーションバー１３が捩れることで、ミラー部９が往復回動する。また、光源３のレーザ光４ａは、制御信号によりオン、オフや輝度が制御される。

【0025】

次に、図２を参照して、本実施形態の光偏向器２の詳細を説明する。

【0026】

（ミラー部）
ミラー部９は、初期状態において、その中心Ｏから正面側に延び出す法線を、光偏向器２において、まっすぐ前方に向けて配設されている。ミラー部９は、Ｙ軸線（本発明の「軸線」）方向のトーションバー１３（１３ａ，１３ｂ）に支持され、可動枠８の略中心に配置されている。

【0027】

ミラー部９の反射面は、Ａｕ，Ｐｔ，Ａｌ等の金属薄膜を、例えば、スパッタ法や電子ビーム蒸着法により形成する。なお、ミラー部９の形状は円形に限られず、楕円形やその他の形状であってもよい。

【0028】

（可動枠）
可動枠８は、内側枠体８ａと外側枠体８ｂとの二重構造を有し、ミラー部９を包囲するように設けられている。圧電アクチュエータ１０は、正面視左側の半環状圧電アクチュエータ１０ａ、正面視右側の半環状圧電アクチュエータ１０ｂとで構成され、内側枠体８ａの上面に設けられている。すなわち、内側枠体８ａは、複数の圧電体部が環状に並べて配置された環状の駆動部である。

【0029】

（トーションバー）
トーションバー１３は、正面視上側のトーションバー１３ａと、正面視下側のトーションバー１３ｂとで構成されている。トーションバー１３ａ，１３ｂは、各々の一端部がミラー部９と結合され、各々の他端部が内側枠体８ａと結合されている。トーションバー１３ａ，１３ｂがこのように結合されていることで、ミラー部９のＹ軸線方向の往復回動が安定する。なお、トーションバーの形状の詳細については後述する。

【0030】

（半環状圧電アクチュエータ）
半環状圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ（本発明の「圧電アクチュエータ」）は、内側枠体８ａ上に設けられている。また、内側枠体８ａは、Ｙ軸上でトーションバー１３ａ，１３ｂと結合され、Ｘ軸上で外側枠体８ｂと結合されている。

【0031】

半環状圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、半導体プロセスにより、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電膜を下部電極及び上部電極で挟み込んだ構造である。下部電極、上部電極を介して圧電膜に電圧を印加することで、半環状圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを屈曲変形させ、トーションバー１３ａ，１３ｂを捩るという仕組みである。

【0032】

（蛇腹状圧電アクチュエータ）
光偏向器２では、外枠支持体１１の中央に可動枠８が配設され、可動枠８の両脇には、蛇腹状圧電アクチュエータ６ａ，６ｂが配設されている。蛇腹状圧電アクチュエータ６ａ，６ｂは、外側枠体８ｂ及び外枠支持体１１のＸ軸上の端部と結合されている。

【0033】

蛇腹状圧電アクチュエータ６ａ，６ｂは、複数のカンチレバーを長手方向が隣り合う向きに並べ、上下方向端部で折り返して直列結合した構造になっている。蛇腹状圧電アクチュエータ６ａ，６ｂを駆動させることにより、可動枠８がＸ軸線周りを往復回動する。

【0034】

この結果、光偏向器２は、レーザ光４ａをミラー部９で反射する際、光を光偏向器２の前方に出射して、さらにＸ軸線方向とＹ軸線方向の２方向に走査することができる。

【0035】

（電極パッド）
外枠支持体１１の正面視左側には、電極パッド７ａ－１～７ａ－８（以下、電極パッド７ａという）が配設され、外枠支持体１１の正面視右側には、電極パッドｂ－１～７ｂ－８（以下、電極パッド７ｂという）が配設されている。電極パッド７ａ，７ｂは、蛇腹状圧電アクチュエータ６ａ，６ｂ及び半環状圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの各電極に駆動電圧を印加できるように電気的に接続されている。

【0036】

次に、図３～図５を参照して、本実施形態のトーションバーの詳細を説明する。

【0037】

（トーションバーの構造）
まず、図３に、図２中の領域Ｒの拡大図を示す。本実施形態のトーションバー１３ａ，１３ｂは端部の横幅が最も広く、トーションバー１３ａ，１３ｂの長さ方向の中心部に向かって、横幅が徐々に狭くなるくびれ形状を有している。以下では、トーションバー１３ｂを例に説明する。

【0038】

図示するように、ミラー部９が円形状を有しているとき、Ｙ軸線と直交するミラー部９（円形状）の接線ｓ１が、トーションバー１３ｂとミラー部９との接続部（本発明の「第１接続部」）の端縁となる。

【0039】

なお、ミラー部９が楕円形状を有しているときは、トーションバー１３ｂとミラー部９との接続部の端縁は、Ｙ軸線と直交するミラー部９（楕円形状）の接線上にある。

【0040】

また、図示するように、可動枠８が楕円形状を有しているとき、可動枠８（楕円形状）を構成する曲線の終点（曲率が変化する点）を結ぶ直線ｓ２が、トーションバー１３ｂと可動枠８との接続部（本発明の「第２接続部」）の端縁となる。

【0041】

なお、可動枠８が円形状を有しているときは、トーションバー１３ｂと可動枠８との接続部の端縁は、同様に可動枠８（円形状）を構成する曲線の終点を結ぶ直線上にある。

【0042】

トーションバー１３ｂとミラー部９との接続部の端縁（接線ｓ１）と、トーションバー１３ｂと可動枠８との接続部の端縁（直線ｓ２）とを以上のように定義することで、トーションバー１３ｂの長さを明確にすることができる。

【0043】

次に、図４に、図３中の領域Ｓの拡大図を示す。ここでは、トーションバー１３ｂ（以下、トーションバー１３という）の各部分のサイズについて説明する。

【0044】

上述の光偏向器２において、トーションバー１３のミラー部９側の端縁は接線ｓ１であり、トーションバー１３の可動枠８側の端縁は直線ｓ２である。従って、接線ｓ１と直線ｓ２の間の距離がトーションバー１３の長さＬとなる。

【0045】

本実施形態のトーションバー１３は、端縁の横幅Ｗ₁が３２０［μｍ］であり、トーションバー１３の長さ方向の中心部（端縁からの距離がＬ／２：直線ｍ上）の横幅Ｗ₂が１６０［μｍ］である。トーションバー１３は、端縁から長さ方向の中心部に向かって横幅が徐々に広くなるように、曲線のみで構成されている。なお、従来の直線状のトーションバーの横幅（Ｗ₁＝Ｗ₂）は、２２０［μｍ］である（図示省略）。

【0046】

また、図中の距離Ｗ₃は、Ｗ₃＝（Ｗ₁－Ｗ₂）／２で与えられる。このとき、トーションバー１３の端縁（接線ｓ１又は直線ｓ２）と、トーションバー１３の長さ方向の中心部との中間部（端縁からの距離がＬ／４：直線ｎ上）におけるトーションバー１３の横幅Ｗ₄は、Ｗ₂＋Ｎ×Ｗ₃（Ｎ＝０．３０～０．３５）の条件を満たすこと好ましい。

【0047】

例えば、横幅Ｗ₁＝３２０［μｍ］、横幅Ｗ₂＝１６０［μｍ］のとき、Ｎ＝０．３２５として、距離Ｗ₃＝８０［μｍ］、横幅Ｗ₄＝１８６［μｍ］と算出することができる。従って、横幅Ｗ₁、横幅Ｗ₂、横幅Ｗ₄を満たすように、トーションバー１３の曲線形状を設計すればよい。

【0048】

ここで、図５を参照して、本実施形態のトーションバー１３が高性能を有する原理について説明する。

【0049】

図５（ａ）は、トーションバー１３の斜視図である。図示するように、トーションバー１３は、端縁における横幅Ｗ₁が最も広く、長さ方向の中心部に向かって横幅が徐々に狭くなるくびれ形状を有している。トーションバー１３は両端が捩じり運動の固定端となるため、長さ方向の中心部は固定端から最も離れた位置となり、大きな応力を受ける。

【0050】

図５（ｂ）は、図５（ａ）のトーションバー１３のＩ－Ｉ断面図である。断面図（上）に示すように、切り口は横幅Ｗ₂（＝１６０μｍ）と、厚みＴの長方形となる。この横幅Ｗ₂は、従来の直線状のトーションバーの横幅（２２０μｍ）よりも狭くなる。横幅Ｗ₂の減少により、回転軸（Ｙ軸線）からの腕の長さが短くなって慣性モーメントが小さくなるため、回転トルク（＝慣性モーメント×角加速度）が抑えられ、歪みも減少する。

【0051】

本実施形態のトーションバー１３は、中心部が両端部と比較して捩れ易い構造となっているが、従来構造と比較して歪みを抑えることができるため、破損し難くい。従って、トーションバー１３は、高い共振周波数特性を維持しつつ、ミラー部９の限界振れ角を増大させることができる。

【0052】

なお、トーションバー１３の厚みＴは、トーションバー１３の横幅Ｗ₂の２５％程度である。本実施形態のトーションバー１３は、横幅Ｗ₂が１６０［μｍ］であるため、厚みＴは４０［μｍ］以下に薄型化することができる。

【0053】

図５に示したトーションバー１３と横幅Ｗ₁及び横幅Ｗ₂が等しく、その一部に直線部分を有するトーションバーとしてもよい。図６は、直線部分Ｄを有する変更形態のトーションバー２０である。

【0054】

直線部分Ｄは、トーションバー２０の長さ方向の中心部を含むため、横幅Ｗ₂は、トーションバー２０の横幅が最も狭い部分である。直線部分Ｄは、トーションバー２０の全体の長さＬの２５％以下であることが好ましい。この条件を満たせば、図４のトーションバー１３と同等の特性を有する（詳細は後述する）。

【0055】

次に、図７を参照して、くびれ形状を有するといえるが、本実施形態と比較して性能が低下するトーションバー（参考例）について説明する。

【0056】

図７（ａ）に示すトーションバー３０（参考例Ａ）は、横幅Ｗ₄が上述の理想値より小さい場合（Ｎ＜０．３０）である。図示するように、トーションバー３０は、その長さ方向の中心部（直線ｍ）付近において、直線部分Ｄが比較的長い形状となっている。この形状（Ｄ＞０．２５×Ｌ）では、共振周波数の低下が見られた（詳細は後述する）。

【0057】

また、図７（ｂ）に示すトーションバー４０（参考例Ｂ）は、横幅Ｗ₄が上述の理想値より大きい場合（Ｎ＞０．３５）である。図示するように、トーションバー４０は、その長さ方向の中心部（直線ｍ）付近を横幅Ｗ₂よりも横幅の広い部分が占める。そのため、回転トルクが大きくなり、限界振れ角が減少する傾向が見られた（詳細は後述する）。

【0058】

図８は、トーションバーの各形状による性能を比較したシミュレーション結果である。本シミュレーションは、市販のソフトウェア（IntelliSuite）を使用し、従来の直線状を基準とする共振周波数［Ｈｚ］及び限界振れ角［°］を計測した。

【0059】

図４のトーションバー１３（図８中の「新規１」）は、Ｎ＝０．３２５として横幅Ｗ₄を決定した形状（くびれ形状）であるが、共振周波数が１０２％、限界振れ角が１３４％と、何れも従来（直線状）を上回る特性が得られた。このため、本実施形態のトーションバー１３の形状が性能の向上につながることの証明となった。

【0060】

図６のトーションバー２０（図８中の「新規２」）は、Ｎ＝０．３２５として横幅Ｗ₄を決定した、直線部分Ｄを含む形状であるが、共振周波数が９９％、限界振れ角が１４７％と、限界振れ角について従来を上回る特性が得られた。共振周波数についても、従来とほとんど差のない結果であったため、トーションバーは直線部分Ｄを含む態様でもよいといえる。

【0061】

図７（ａ）のトーションバー３０（図８中の「参考例Ａ」）は、Ｎ＝０．１５０として横幅Ｗ₄を決定した形状であるが、共振周波数が１０６％、限界振れ角が９８％という結果が得られた。また、図７（ｂ）のトーションバー４０（図８中の「参考例Ｂ」）は、Ｎ＝０．５００として横幅Ｗ₄を決定した形状であるが、共振周波数が１０９％、限界振れ角が８９％という結果が得られた。ミラー部９は、限界振れ角が減少すると走査範囲が狭くなってしまうため、これら参考例は、性能が低下すると態様と判断した。

【0062】

最後に、図９を参照して、トーションバーの従来構造と新規構造の性能比較について説明する。

【0063】

従来の直線状のトーションバーは、中心部（直線ｍ）の横幅Ｗ₂が２２０［μｍ］、共振周波数が１９，８４９［Ｈｚ］、限界振れ角が１１．９［°］であった。なお、回転トルクは「比率」で比較するため、従来構造を「１」とした。

【0064】

これに対し、新規のくびれ形状のトーションバー１３は、中心部（直線ｍ）の横幅Ｗ₂が１６０［μｍ］で、従来の７３％である。トーションバー１３の共振周波数は１９，８８６［Ｈｚ］であり、従来構造とほぼ等しく、限界振れ角は１３．８［°］であり、従来の１１６％に上昇した。また、回転トルクは、従来の４０％に抑えることに成功した。

【0065】

以上から、新規構造のトーションバー１３は、従来構造と比較して破損し難いだけでなく、高いデバイス特性が得られる。本発明の光偏向器は、小型化、薄型化の要請が高い製品への適用も可能である。

【0066】

上述の実施形態は一例に過ぎず、様々な変更形態が考えられる。ミラー部９が矩形状を有しているときは、トーションバー１３ｂと隣接するミラー部９の辺が接続部の端縁となる。また、可動枠８が矩形状を有しているときは、トーションバー１３ｂと隣接する可動枠８の辺が接続部の端縁となる。

【符号の説明】

【0067】

１…光スキャナモジュール、２…光偏向器、３…光源、４ａ，４ｂ…レーザ光、５…制御装置、６ａ，６ｂ…蛇腹状圧電アクチュエータ、７ａ１～７ａ８，７ｂ１～７ｂ８…電極パッド、８…可動枠、８ａ…内側枠体、８ｂ…外側枠体、９…ミラー部、１０ａ，１０ｂ…半環状圧電アクチュエータ、１１…外枠支持体、１３，１３ａ，１３ｂ，２０，３０，４０…トーションバー。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】