特許 7600940 電動アクチュエータ、電動アクチュエータの推力導出方法、およびプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-09

(45)【発行日】2024-12-17

(54)【発明の名称】電動アクチュエータ、電動アクチュエータの推力導出方法、およびプログラム

(51)【国際特許分類】

   H02P 29/40 20160101AFI20241210BHJP

   G05D 15/01 20060101ALI20241210BHJP

【ＦＩ】

H02P29/40

G05D15/01

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2021152530

(22)【出願日】2021-09-17

(65)【公開番号】P2022132038

(43)【公開日】2022-09-07

【審査請求日】2024-05-16

(31)【優先権主張番号】P 2021030811

(32)【優先日】2021-02-26

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤本 岳

(72)【発明者】

【氏名】三浦 祥太

(72)【発明者】

【氏名】和田 利昌

(72)【発明者】

【氏名】小林 英樹

【審査官】若林 治男

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０５０１２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－００３０３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－２３７４９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０７８８７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１９７８８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０２Ｐ ２９／４０

Ｇ０５Ｄ １５／０１

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと、
前記モータの動作を制御する制御部と、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出する導出部と
を備えることを特徴とする電動アクチュエータ。

【請求項2】

前記制御部は、動作指示に基づく前記出力軸による推力と、前記導出部にて導出した推力とが等しくなるように、前記モータの制御量を調整することを特徴とする請求項１に記載の電動アクチュエータ。

【請求項3】

前記密封空間内の圧力は、前記出力軸が直線移動することに応じて変動することを特徴とする請求項１または２に記載の電動アクチュエータ。

【請求項4】

ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと、
前記モータの動作を制御する制御部と、
前記温度センサにて検出された温度と、前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出する導出部と
を備えることを特徴とする電動アクチュエータ。

【請求項5】

前記制御部は、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量から導出される前記密封空間の容積とに基づいて、前記密封空間内の圧力を導出し、
当該圧力と前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出することを特徴とする請求項４に記載の電動アクチュエータ。

【請求項6】

前記制御部は、動作指示に基づく前記出力軸による推力と、前記導出部にて導出した推力とが等しくなるように、前記モータの制御量を調整することを特徴とする請求項４または５に記載の電動アクチュエータ。

【請求項7】

前記温度センサは、前記密封空間内に設置されることを特徴とする請求項４～６のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。

【請求項8】

前記温度センサは、前記密封空間を構成する前記ハウジングまたは前記出力軸の外周部に接触して設置されることを特徴とする請求項４～６のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。

【請求項9】

前記温度センサは、前記密封空間を構成する前記ハウジングまたは前記出力軸に非接触にて温度を検出するように構成されることを特徴とする請求項４～６のいずれか一項に記載の電動アクチュエータ。

【請求項10】

ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと
を備える電動アクチュエータの推力導出方法であって、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出することを特徴とする電動アクチュエータの推力導出方法。

【請求項11】

ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと
を備える電動アクチュエータの推力導出方法であって、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出することを特徴とする電動アクチュエータの推力導出方法。

【請求項12】

ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと
を備える電動アクチュエータの制御装置に、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出させるためのプログラム。

【請求項13】

ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと
を備える電動アクチュエータの制御装置に、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出させるためのプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願発明は、電動アクチュエータ、電動アクチュエータの推力導出方法、およびプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

昨今、モータの回転力を直動の推力に変換して動作させる構成を備えた電動アクチュエータが普及している。

【0003】

電動アクチュエータは、入力に基づいて制御量が決定されるが、同じ入力であっても、動作環境等に応じた影響を考慮して、制御量を調整する技術が開示されている。例えば、特許文献１では、電動ブレーキ制御において、入力された踏力に応じて、制御する際の閾値を切り替えることが記載されている。また、特許文献２では、電動式アクチュエータにおいて、温度に応じて、制御する際の閾値を切り替えることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１１－１１７０３号公報

【文献】特開２０１３－１５４８４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

一方、上述したような電動アクチュエータでは、使用する環境を考慮し、防水や防塵などの構成を有する場合がある。例えば、鉄道で用いられる制御用の電動アクチュエータなどは屋外で使用されるため、雨水や塵埃の電動アクチュエータ内部への侵入を防ぐ必要がある。このような環境下での使用を想定し、電動アクチュエータのハウジング部材と、出力軸の部分が連結部材を介してピストン動作を行うように構成されている場合に、この連結部材周辺に水の侵入を防止するための防水構成が挙げられる。このような構成では、連結部材周辺に密封空間が構成される。密封空間は、電動アクチュエータの動作に伴って、その容積が変動する。これにより、密封空間内の圧力が変動し、電動アクチュエータの動作に影響を与えてしまう。つまり、上記のような防水や防塵の構造とした場合、内外の空気の交換が難しくなることから、電動アクチュエータの動作によって内部の空気が圧縮され、動作を阻害する負荷となりうる。その結果、同じ制御量であっても、電動アクチュエータによる出力は異なってしまう。このように同じ制御量であっても異なる出力となる場合を想定し、電動アクチュエータの実際の出力を把握することは、電動アクチュエータを精度良く動作させるために重要となる。

【0006】

上記課題を鑑み、本願発明は、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力を可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために本願発明は以下の構成を有する。すなわち、
ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと、
前記モータの動作を制御する制御部と、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出する導出部と
を備えることを特徴とする電動アクチュエータ。

【0008】

また、本願発明の別の形態は以下の構成を有する。すなわち、
ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと、
前記モータの動作を制御する制御部と、
前記温度センサにて検出された温度と、前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出する導出部と
を備えることを特徴とする電動アクチュエータ。

【0009】

また、本願発明の別の形態は以下の構成を有する。すなわち、
ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと
を備える電動アクチュエータの推力導出方法であって、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出することを特徴とする電動アクチュエータの推力導出方法。

【0010】

また、本願発明の別の形態は以下の構成を有する。すなわち、
ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと
を備える電動アクチュエータの推力導出方法であって、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出することを特徴とする電動アクチュエータの推力導出方法。

【0011】

また、本願発明の別の形態は以下の構成を有する。すなわち、
ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと
を備える電動アクチュエータの制御装置に、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出させるためのプログラム。

【0012】

また、本願発明の別の形態は以下の構成を有する。すなわち、
ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと
を備える電動アクチュエータの制御装置に、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出させるためのプログラム。

【発明の効果】

【0013】

本願発明により、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】第１の実施形態に係る装置構成の例を示す概略図。

【図2】本願発明の一実施形態に係る電動アクチュエータ内部の圧力を説明するための図。

【図3】本願発明の一実施形態に係る電動アクチュエータ内部の圧力を説明するための図。

【図4】本願発明の一実施形態に係る電動アクチュエータ内部の移動を説明するための図。

【図5】本願発明の一実施形態に係る密封空間の容積、内圧、およびストローク距離の関係を説明するためのグラフ図。

【図6】本願発明の一実施形態に係る電動アクチュエータのストローク距離の変化による推力への影響を説明するためのグラフ図。

【図7】本願発明の一実施形態に係る電動アクチュエータのストローク距離の変化による推力への影響を説明するためのグラフ図。

【図8】第１の実施形態に係る電動アクチュエータの制御処理のフローチャート。

【図9】第２の実施形態に係る装置構成の例を示す概略図。

【図10】第２の実施形態に係る電動アクチュエータの制御処理のフローチャート。

【図11】第３の実施形態に係る装置構成の例を示す概略図。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本願発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本願発明を説明するための一実施形態であり、本願発明を限定して解釈されることを意図するものではなく、また、各実施形態で説明されている全ての構成が本願発明の課題を解決するために必須の構成であるとは限らない。また、各図面において、同じ構成要素については、同じ参照番号を付すことにより対応関係を示す。

【0016】

＜第１の実施形態＞
以下、本願発明の第１の実施形態について説明を行う。

【0017】

［装置構成］
図１は、本実施形態に係る装置の全体構成の一例を示す概略構成図である。図１には、本実施形態に係る電動アクチュエータ１０は、駆動部１００、および制御装置２００を含んで構成される。また、制御装置２００は、電動アクチュエータ１０の上位に位置する上位装置２０に通信可能に接続される。電動アクチュエータ１０は、上位装置２０からの指示に基づいて動作する。

【0018】

駆動部１００は、制御装置２００の制御に基づいて、所定の推力を出力する。モータ１０２は、制御装置２００から入力される電流に基づいて回転動作を行う。モータ１０２は、回転位置センサ１０３を備える。回転位置センサ１０３は、エンコーダ（不図示）などを用いてモータ１０２の回転動作に伴う回転位置を検出し、制御装置２００へ送信する。ハウジング１０１内には、モータ１０２の回転力を伝達するための減速機１０４が設けられる。減速機１０４は、直動機構１０８に接続され、減速機１０４からの回転力が直動機構１０８に伝達される。出力軸１０５と直動機構１０８とは連結機構１０７を介して連結される。直動機構１０８が回転することにより連結機構１０７が直動機構１０８の軸方向（図１の矢印Ａにて示す方向）に沿って移動し、これに伴って出力軸１０５も移動（ピストン動作）することで、電動アクチュエータ１０による推力が出力される。モータ１０２の回転方向に応じて、出力軸１０５および連結機構１０７の移動方向が規定される。

【0019】

直動機構１０８の外周面にらせん状のねじ溝が設けられたねじ軸にて構成される。連結機構１０７は、ねじ溝に嵌合されて配置される。このとき、連結機構１０７が備える転動体（不図示）が直動機構１０８のねじ溝を転動自在に構成され、直動機構１０８が回転することで、連結機構１０７が所定方向に移動する。転動体とねじ溝の周囲には、任意の潤滑方式により潤滑剤（潤滑油やグリースなど）が供給され、これらの摩擦が軽減されるように構成されてよい。

【0020】

ハウジング１０１と出力軸１０５とにより、連結機構１０７および直動機構１０８を含んで密封空間１０９が構成される。つまり、本実施形態では、ハウジング１０１と出力軸１０５とから構成される密封空間１０９への液体等の流入が防止されるように構成されていることを想定して説明する。密封空間が設けられることにより、防塵や防水を実現することができる一方、外部との空気の交換が困難となる。密封空間１０９には、密封空間１０９内の圧力を検出するための圧力センサ１０６が設けられる。図１において、連結機構１０７の両側に密封空間１０９が示されているが、これらは繋がっており、１つの密封空間１０９が構成されている。なお、ここでは、圧力センサ１０６により気圧を検出するものとして説明するが、電動アクチュエータ１０の構成に応じて、液圧（例えば、油圧）を検出するようなセンサが用いられてもよい。圧力センサ１０６は、検出した圧力の情報を制御装置２００へ送信する。

【0021】

制御装置２００は、上位装置２０と通信可能に接続される。制御装置２００は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｎｇｌｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）、または専用回路などから構成されてよい。また、図１には示していないが、制御装置２００は、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）やＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の揮発性および不揮発性の記憶媒体を含んで構成される。なお、図１では、１の上位装置２０と、１の電動アクチュエータ１０が示されているが、これに限定するものではなく、１の上位装置２０が複数の電動アクチュエータ１０を制御、管理するような構成であってもよい。

【0022】

モータ制動部２０１は、上位装置２０からの指示に従って、モータ１０２を制御するための信号をインバータ２０２に出力する。インバータ２０２は、モータ制動部２０１からの信号に基づいて、電源２０３から供給される電力を、モータ１０２を動作させるための電流に変換しモータ１０２に供給する。この供給された電流に基づいて、モータ１０２が回転動作を行う。なお、インバータ２０２や電源２０３は、制御装置２００が備える構成として示したが、これらは制御装置２００の外部に設けられてもよい。

【0023】

推力導出部２０４は、モータ１０２を動作させた結果として電動アクチュエータ１０から出力される推力を導出する。本実施形態に係る推力の導出方法については後述する。モータ角度導出部２０５は、モータ１０２に備えられた回転位置センサ１０３から取得した位置情報に基づいて、モータ１０２の回転角度を導出する。ここでは、モータ１０２の回転数なども併せて導出されるような構成であってよい。電流センサ２０６は、インバータ２０２によりモータ１０２に供給される電流を検出する。状態監視部２０７は、各種センサや部位から各種情報を収集し、駆動部１００や制御装置２００の状態を監視する。また、状態監視部２０７は、監視結果（異常の有無や動作状況など）を状態出力部２０８へ送信する。状態出力部２０８は、状態監視部２０７から取得した情報を上位装置２０へ出力する。

【0024】

上位装置２０は、例えば、不図示の制御部、記憶部、および入出力部を含んで構成される情報処理装置にて実現されてよい。制御部は、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＤＳＰ、ＥＣＵ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）、または専用回路などから構成されてよい。記憶部は、ＨＤＤ、ＲＯＭやＲＡＭ等の揮発性および不揮発性の記憶媒体により構成され、制御部からの指示により各種情報の入出力が可能である。入出力部は、各種インターフェースから構成されてよく、少なくとも、制御装置２００と通信可能に接続される。

【0025】

［密封空間における圧力の変化］
図２、図３は、本実施形態に係る電動アクチュエータ１０内に構成される密封空間１０９内の圧力の変化およびその影響を説明するための図である。図２（ａ）は、駆動部１００において、出力軸１０５が最も縮んだ状態から伸び方向に動作する場合を示している。このとき、制御装置２００が駆動部１００による推力を伸び方向の推力Ｐ１ａとして、上位装置２０からの指示を受け付けたとする。図２（ａ）の状態では、駆動部１００の密封空間１０９は圧縮されており、結果として、密封空間１０９の内圧が上昇する。そのため、密封空間１０９内の内圧による伸び方向の力Ｐ２ａが、指示に基づいて制御される駆動部１００の推力Ｐ１ａに合成される。その結果、駆動部１００により出力される推力はＰ３ａ（＝Ｐ１ａ＋Ｐ２ａ）となる。

【0026】

図２（ｂ）は、駆動部１００において、一定程度、出力軸１０５が伸びた状態から伸び方向に動作する場合を示している。このとき、制御装置２００が駆動部１００による推力を伸び方向の推力Ｐ１ｂとして、上位装置２０からの指示を受け付けたとする。図２（ｂ）の状態では、図２（ａ）の状態と比較すると、駆動部１００の密封空間１０９は容積が拡大しており、結果として、密封空間１０９の内圧が低下する。そのため、密封空間１０９内の内圧による力Ｐ２ｂが、指示に基づいて制御される駆動部１００の推力Ｐ１ｂに合成される。ここでは、一例として、内圧による力Ｐ２ｂは、駆動部１００の推力の向きとは逆（－）の方向（すなわち、縮み方向）である場合を示している。その結果、駆動部１００により出力される推力はＰ３ｂ（＝Ｐ１ｂ－Ｐ２ｂ）となる。

【0027】

つまり、図２（ｂ）の状態では、図２（ａ）の状態に比べると密封空間１０９の容積が大きくなり、これに伴って密封空間１０９の内圧が変動し、駆動部１００にて出力する推力に対する影響度合いが変化することとなる。なお、図２（ｂ）の力Ｐ２ｂに示すように、出力軸１０５が伸びる方向とは逆方向に力が発生するか否かは、密封空間１０９の容積や、電動アクチュエータ１０の構成などに応じて変化する。

【0028】

図３（ａ）は、駆動部１００において、出力軸１０５が一定程度、縮んだ状態から縮み方向に動作する場合を示している。このとき、制御装置２００が駆動部１００による推力を縮み方向の推力Ｐ１ｃとして、上位装置２０からの指示を受け付けたとする。図３（ａ）の状態では、駆動部１００の密封空間１０９は圧縮されており、結果として、密封空間１０９の内圧が上昇する。そのため、密封空間１０９内の内圧による力Ｐ２ｃが、指示に基づいて制御される駆動部１００の推力Ｐ１ｃに合成される。ここでは、一例として、内圧による力Ｐ２ｃは、駆動部１００の推力の向きとは逆（－）の方向（すなわち、伸び方向）である場合を示している。その結果、駆動部１００により出力される推力はＰ３ｃ（＝Ｐ１ｃ－Ｐ２ｃ）となる。

【0029】

図３（ｂ）は、駆動部１００において、一定程度、出力軸１０５が伸びた状態から縮み動作する場合を示している。このとき、制御装置２００が駆動部１００による推力を縮み方向の推力Ｐ１ｄとして、上位装置２０からの指示を受け付けたとする。図３（ｂ）の状態では、図３（ａ）の状態と比較すると、駆動部１００の密封空間１０９は容積が拡大しており、結果として、密封空間１０９の内圧が低下する。そのため、密封空間１０９内の内圧による縮み方向の力Ｐ２ｄが、指示に基づいて制御される駆動部１００の推力Ｐ１ｄに合成される。その結果、駆動部１００により出力される推力はＰ３ｄ（＝Ｐ１ｄ＋Ｐ２ｄ）となる。

【0030】

つまり、図３（ｂ）の状態では、図３（ａ）の状態に比べると密封空間１０９の容積が大きくなり、これに伴って密封空間１０９の内圧が変動し、駆動部１００にて出力する推力に対する影響度合いが変化することとなる。なお、図３（ｂ）の力Ｐ２ｄに示すように、出力軸１０５が縮み方向と同じ方向に力が発生するか否かは、密封空間１０９の容積や、電動アクチュエータ１０の構成などに応じて変化する。

【0031】

図４は、駆動部１００の出力軸１０５周りにおける動作を説明するための図である。連結機構１０７は、直動機構１０８に沿って密封空間１０９内にて、図４に示す移動可能範囲にて移動が可能なように構成される。図４に示す縮み方向に連結機構１０７が移動した場合、密封空間１０９の容積は縮小する。一方、伸び方向に連結機構１０７が移動した場合、密封空間１０９の容積は拡大する。ここでは、圧力センサ１０６を省略している。圧力センサ１０６の配置等に応じて移動可能範囲は変動し得る。

【0032】

図４において、連結機構１０７の移動方向において、移動可能範囲の中心を基準位置Ｐ_０とする。また、連結機構１０７の移動方向において、連結機構１０７の中央を中央位置Ｐ_ｃとする。そして、基準位置Ｐ_０と中央位置Ｐ_ｃとの距離をストローク距離（＝Ｐ_０－Ｐ_ｃ）とする。本例では、中央位置Ｐ_ｃが基準位置Ｐ_０より縮小方向側に位置する場合、ストローク距離はマイナスの値を示し、中央位置Ｐ_ｃが基準位置Ｐ_０より拡大方向側に位置する場合、ストローク距離はプラスの値を示す。なお、ストローク距離を算出する方法は、これに限定するものではない。例えば、基準位置Ｐ_０は移動可能範囲の端部に設定してもよいし、中央位置Ｐｃに代えて連結機構１０７の端部を用いてもよい。

【0033】

図５は、本実施形態に係る駆動部１００の密封空間１０９の容積、ストローク距離、および内圧の関係を説明するための図である。図５（ａ）において、横軸はストローク距離を示し、縦軸は密封空間１０９の容積を示す。出力軸１０５が最も縮んだ状態であるストローク距離Ｌ_ｍｉｎでは、密封空間１０９の容積は最小の容積Ｖ_ｍｉｎとなる。また、出力軸１０５が最も伸びた状態であるストローク距離Ｌ_ｍａｘでは、密封空間１０９の容積は最大の容積Ｖ_ｍａｘとなる。図５に示すように、ストローク距離が大きくなるに従って、密封空間１０９の容積も増加する。ストローク距離が０の場合、すなわち、図４に示す中央位置Ｐ_ｃと基準位置Ｐ_０とが一致する場合の容積を容積Ｖ_０とする。

【0034】

図５（ｂ）において、横軸は密封空間１０９の容積を示し、縦軸は密封空間１０９の内圧を示す。図５（ｂ）は、密封空間１０９の容積が最大の容積Ｖ_ｍａｘの場合、密封空間１０９の内圧は最小の内圧Ｐ_ｍｉｎとなる。また、密封空間１０９の容積が最小の容積Ｖ_ｍｉｎの場合、密封空間１０９の内圧は最大の内圧Ｐ_ｍａｘとなる。図５（ｂ）に示す関係性は、電動アクチュエータ１０の構成と、ボイル＝シャルルの法則などから導出することができる。

【0035】

図６、図７は、駆動部１００の密封空間１０９の内圧による推力への影響と、ストローク距離との関係を説明するための図である。図６において、縦軸は伸び方向時の内圧による推力の変化量（力）を示し、横軸はストローク距離を示す。つまり、図６は、図２を用いて説明した伸び動作時の推力とストローク距離との関係を示す。ストローク距離Ｌ_ｍｉｎでは、変化量が最大の変化量ΔＦ_ｍａｘとなる。また、ストローク距離Ｌ_ｍａｘでは、変化量が最小の変化量ΔＦ_ｍｉｎとなる。本例では、ストローク距離が０の場合、変化量は０になり、電動アクチュエータ１０が出力したい推力に対する影響は生じない。変化量がマイナスの値を示す場合は、図２（ｂ）に示したように、電動アクチュエータ１０が出力したい推力の方向に対して、逆方向の力が働く。一方、変化量がプラスの値を示す場合は、図２（ａ）に示したように、電動アクチュエータ１０が出力したい推力の方向と同じ方向の力が働く。

【0036】

図７において、縦軸は縮み方向時の内圧による推力の変化量（力）を示し、横軸はストローク距離を示す。つまり、図７は、図３を用いて説明した縮み動作時の推力とストローク距離との関係を示す。ストローク距離Ｌ_ｍｉｎでは、変化量が最小の変化量ΔＦ_ｍｉｎとなる。また、ストローク距離Ｌ_ｍａｘでは、変化量が最大の変化量ΔＦ_ｍａｘとなる。本例では、ストローク距離が０の場合、変化量は０になり、電動アクチュエータ１０が出力したい推力に対する影響は生じない。変化量がマイナスの値を示す場合は、図３（ａ）に示したように、電動アクチュエータ１０が出力したい推力の方向に対して、逆方向の力が働く。一方、変化量がプラスの値を示す場合は、図３（ｂ）に示したように、電動アクチュエータ１０が出力したい推力の方向と同じ方向の力が働く。

【0037】

なお、図５～図７に示す各パラメータの関係性は一例であり、これに限定するものではない。例えば、電動アクチュエータ１０の構成や周辺温度などによって、図５～図７に示す直線の傾きや曲線の曲率などは変動し得る。

【0038】

［処理フロー］
図８は、本実施形態に係る電動アクチュエータ１０の制御処理のフローチャートである。本処理は、制御装置２００により実行され、例えば、図１に示した各部位を実現するためのプログラムを記憶装置（不図示）から読み出して実行することにより実現される。

【0039】

Ｓ８０１にて、制御装置２００は、上位装置２０から電動アクチュエータ１０に対する動作指示を受け付ける。ここでの動作指示は、例えば、電動アクチュエータ１０にて出力したい推力値であってもよいし、出力軸１０５の移動量であってもよい。

【0040】

Ｓ８０２にて、制御装置２００は、Ｓ８０１にて受け付けた動作指示に基づいて、モータ１０２を動作させるための電流を出力する。ここでの電流は、モータ制動部２０１から指示される信号に基づいて、電源２０３からの電力をインバータ２０２にて変換した上でモータ１０２に供給される。

【0041】

Ｓ８０３にて、制御装置２００は、モータ１０２に供給されている電流の値を電流センサ２０６により取得する。

【0042】

Ｓ８０４にて、制御装置２００は、Ｓ８０３にて取得した電流の値からモータ１０２によるトルクを導出する。ここでの導出方法は特に限定するものでは無いが、例えば、電流とトルクを対応付けたテーブル（不図示）を参照して導出してもよいし、予め定義された算出式を用いて導出してもよい。

【0043】

Ｓ８０５にて、制御装置２００は、圧力センサ１０６により密封空間１０９の内圧を取得する。

【0044】

Ｓ８０６にて、制御装置２００は、Ｓ８０４にて導出したトルクと、Ｓ８０５にて取得した内圧とに基づいて、推力導出部２０４により出力軸１０５の推力を導出する。まず、推力導出部２０４は、Ｓ８０４にて導出したトルクから推力を導出する。ここでは、トルクと推力とを対応付けたテーブル（不図示）を参照して導出してもよいし、予め定義された算出式を用いて導出してもよい。次に、推力導出部２０４は、図６、図７で説明したような関係性に基づいて、Ｓ８０５にて取得した内圧から推力に対する変化量ΔＦを導出する。そして、推力導出部２０４は、トルクに基づく推力と変化量とを合成することで、出力軸１０５による推力を導出する。そして、本処理フローを終了する。

【0045】

なお、制御装置２００は、図８のＳ８０６にて導出した推力に基づいて、モータ１０２の回転動作を調整するような構成であってもよい。また、導出した推力の情報などを、状態出力部２０８を介して上位装置２０へ出力するような構成であってもよい。

【0046】

例えば、動作指示に基づく推力と、内圧の変化の影響により出力される推力とに差分が生じる場合に、その差分を相殺するようにモータ１０２のトルクが調整される。このようなフィードバック機能により、密封空間の内圧の変化に拘わらず、動作指示に基づく推力と、実際に出力される推力とが等しくなるように制御される。言い換えると、密封空間を設けたことによる電動アクチュエータ１０の動作を阻害する負荷が生じる場合でも、その影響を低減させ、動作指示に基づく推力を出力することが可能となる。

【0047】

以上、本実施形態により、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。

【0048】

＜第２の実施形態＞
以下、本願発明の第２の実施形態について説明する。第１の実施形態では、電動アクチュエータ１０の密封空間１０９の状態を検出するために圧力センサ１０６を用いていた。本実施形態では、圧力センサ１０６に代えて、温度センサ９０１を用いる構成について説明する。なお、第１の実施形態と重複する箇所については説明を省略し、差分に着目して説明を行う。

【0049】

［装置構成］
図９は、本実施形態に係る装置の全体構成の一例を示す概略構成図である。図１に示した構成との差異として、電動アクチュエータ１０の密封空間１０９内に、圧力センサ１０６に代えて温度センサ９０１が備えられる。また、制御装置２００は更に、圧力導出部９０２を備える。

【0050】

温度センサ９０１は、密封空間１０９内の温度を検出し、制御装置２００に送信する。圧力導出部９０２は、密封空間１０９の温度および密封空間の容積に基づいて圧力を導出する。導出方法の例については後述する。

【0051】

［処理フロー］
図１０は、本実施形態に係る電動アクチュエータ１０の制御処理のフローチャートである。本処理は、制御装置２００により実行され、例えば、図９に示した各部位を実現するためのプログラムを記憶装置（不図示）から読み出して実行することにより実現される。

【0052】

Ｓ１００１にて、制御装置２００は、上位装置２０から電動アクチュエータ１０の動作指示を受け付ける。ここでの動作指示は、例えば、電動アクチュエータ１０にて出力したい推力値であってもよいし、出力軸１０５の移動量であってもよい。

【0053】

Ｓ１００２にて、制御装置２００は、Ｓ１００１にて受け付けた動作指示に基づいて、モータ１０２を動作させるための電流を出力する。ここでの電流は、モータ制動部２０１から指示される信号に基づいて、電源２０３からの電力をインバータ２０２にて変換した上でモータ１０２に供給される。

【0054】

Ｓ１００３にて、制御装置２００は、モータ１０２に供給されている電流の値を電流センサ２０６により取得する。

【0055】

Ｓ１００４にて、制御装置２００は、Ｓ１００３にて取得した電流の値からモータ１０２によるトルクを導出する。ここでの導出方法は特に限定するものでは無いが、例えば、電流とトルクを対応付けたテーブル（不図示）を参照して導出してもよいし、予め定義された算出式を用いて導出してもよい。

【0056】

Ｓ１００５にて、制御装置２００は、温度センサ９０１により密封空間１０９内の温度を取得する。

【0057】

Ｓ１００６にて、制御装置２００は、回転位置センサ１０３によりモータ１０２の回転動作に伴う位置情報を取得する。

【0058】

Ｓ１００７にて、制御装置２００は、Ｓ１００６にて取得した位置情報に基づき、その時点の密封空間１０９の容積を導出する。上述したように、回転位置センサ１０３から取得された位置情報に基づいて、モータ１０２の回転角度や回転数を導出することができるため、これを用いて出力軸１０５の伸縮状態（すなわち、図４に示したストローク距離）を導出することができる。そして、図５（ａ）にて示したように、ストローク距離と密封空間１０９の容積との関係から、容積を特定する。図５に示すような関係性を示す情報は予め規定され、記憶部（不図示）に保持される。

【0059】

Ｓ１００８にて、制御装置２００は、Ｓ１００７にて導出した密封空間１０９の容積と、Ｓ１００５にて取得した温度とに基づいて、密封空間１０９内の圧力を導出する。ここでの導出方法は特に限定するものでは無いが、例えば、温度および容積と、圧力との対応関係を規定したテーブル（不図示）を用いて導出してもよいし、ボイル＝シャルルの法則等に基づいて予め規定された算出式を用いて導出してもよい。

【0060】

Ｓ１００９にて、制御装置２００は、Ｓ１００４にて導出したトルクと、Ｓ１００８にて導出した内圧とに基づいて、推力導出部２０４により出力軸１０５の推力を導出する。まず、推力導出部２０４は、Ｓ１００４にて導出したトルクから推力を導出する。ここでは、トルクと推力とを対応付けたテーブル（不図示）を参照して導出してもよいし、予め定義された算出式を用いて導出してもよい。次に、推力導出部２０４は、図６、図７で説明したような関係性に基づいて、Ｓ１００８にて導出した内圧から推力に対する変化量を導出する。そして、推力導出部２０４は、トルクに基づく推力と変化量とを合成することで、出力軸１０５による推力を導出する。そして、本処理フローを終了する。

【0061】

その後、動作指示に基づく推力と、内圧の変化の影響により出力される推力とに差分が生じる場合に、その差分を相殺するようにモータ１０２のトルクが調整される。このようなフィードバック機能により、密封空間の内圧の変化に拘わらず、動作指示に基づく推力と、実際に出力される推力とが等しくなるように制御される。言い換えると、密封空間を設けたことによる電動アクチュエータ１０の動作を阻害する負荷が生じる場合でも、その影響を低減させ、動作指示に基づく推力を出力することが可能となる。

【0062】

以上、本実施形態により、圧力センサに代えて温度センサを用いた場合でも、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。

【0063】

＜第３の実施形態＞
以下、本願発明の第３の実施形態について説明する。第２の実施形態では、温度センサ９０１を密封空間１０９内部に設けていた。本実施形態では、温度センサ９０１を密封空間１０９の外部に設ける形態について説明する。なお、第２の実施形態と重複する箇所については説明を省略し、差分に着目して説明を行う。

【0064】

［装置構成］
図１１は、本実施形態に係る装置の全体構成の一例を示す概略構成図である。図９に示した構成との差異として、温度センサ９０１が密封空間１０９の外部に設けられている。温度センサ９０１が密封空間１０９の外部に設けられていることに伴い、本実施形態に係る圧力導出部９０２は、密封空間１０９内の圧力を導出する際にハウジング１０１の熱伝導率などを考慮する。処理フローは、第２の実施形態にて示した図１０と同等である。

【0065】

なお、図１１では、温度センサ９０１をハウジング１０１の外周部に設置した構成を示したが、これに限定するものではない。例えば、出力軸１０５側の外周部に設置されてもよい。または、温度センサ９０１は、赤外線センサやサーモグラフィなどにより構成され、ハウジング１０１から離間して設置されてもよい。

【0066】

本実施形態により、第２の実施形態と同様に温度センサ９０１を用いて、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。また、本実施形態では、出力軸１０５周辺に温度センサ９０１を設置するための空間を設ける必要が無いため、設計の自由度を向上させることができる。

【0067】

＜その他の実施形態＞
また、本願発明において、上述した１以上の実施形態の機能を実現するためのプログラムやアプリケーションを、ネットワーク又は記憶媒体等を用いてシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。

【0068】

また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ））によって実現してもよい。

【0069】

このように、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。

【0070】

以上の通り、本明細書には次の事項が開示されている。
（１） 電動アクチュエータであって、
ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと、
前記モータの動作を制御する制御部と、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出する導出部と
を備える。
この構成によれば、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力を可能とすることが可能となる。特に、内圧の変化に影響されて出力される実際の推力を導出することができるため、この導出された値に基づいて、更に電動アクチュエータの制御を行うことが可能となる。

【0071】

（２） 前記制御部は、動作指示に基づく前記出力軸による推力と、前記導出部にて導出した推力とが等しくなるように、前記モータの制御量を調整することを特徴とする（１）に記載の電動アクチュエータ。
この構成により、密封空間を設けたことによる電動アクチュエータの動作を阻害する負荷が生じる場合でも、その影響を低減させ、動作指示に基づく推力を出力するように制御ことが可能となる。

【0072】

（３） 前記密封空間内の圧力は、前記出力軸が直線移動することに応じて変動することを特徴とする（１）または（２）に記載の電動アクチュエータ。
この構成によれば、電動アクチュエータの出力軸の直線動作に伴う密封空間の圧力変化を考慮して、電動アクチュエータの実際の出力を導出することが可能となる。

【0073】

（４） ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと、
前記モータの動作を制御する制御部と、
前記温度センサにて検出された温度と、前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出する導出部と
を備えることを特徴とする電動アクチュエータ。
この構成によれば、電動アクチュエータの動作に伴う内部の温度変化と容積の変化に伴う圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。特に、内圧の変化に影響されて出力される実際の推力を導出することができるため、この導出された値に基づいて、更に電動アクチュエータの制御を行うことが可能となる。

【0074】

（５） 前記制御部は、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量から導出される前記密封空間の容積とに基づいて、前記密封空間内の圧力を導出し、
当該圧力と前記制御部による前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出することを特徴とする（４）に記載の電動アクチュエータ。
この構成によれば、電動アクチュエータの動作に伴う内部の温度変化と容積の変化に伴う圧力変化を考慮して、電動アクチュエータの実際の出力を導出することが可能となる。

【0075】

（６） 前記制御部は、動作指示に基づく前記出力軸による推力と、前記導出部にて導出した推力とが等しくなるように、前記モータの制御量を調整することを特徴とする（５）に記載の電動アクチュエータ。
この構成により、密封空間を設けたことによる電動アクチュエータの動作を阻害する負荷が生じる場合でも、その影響を低減させ、動作指示に基づく推力を出力するように制御ことが可能となる。

【0076】

（７） 前記温度センサは、前記密封空間内に設置されることを特徴とする（４）～（６）のいずれかに記載の電動アクチュエータ。
この構成によれば、密封空間内の温度を直接測定し、その温度に基づいて精度良く電動アクチュエータの実際の推力を導出することが可能となる。

【0077】

（８） 前記温度センサは、前記密封空間を構成する前記ハウジングまたは前記出力軸の外周部に接触して設置されることを特徴とする（４）～（６）のいずれかに記載の電動アクチュエータ。
この構成によれば、出力軸周りの設計の自由度を向上させつつ、電動アクチュエータの実際の推力を導出することが可能となる。

【0078】

（９） 前記温度センサは、前記密封空間を構成する前記ハウジングまたは前記出力軸に非接触にて温度を検出するように構成されることを特徴とする（４）～（６）のいずれかに記載の電動アクチュエータ。
この構成によれば、出力軸周りの設計の自由度を向上させつつ、電動アクチュエータの実際の推力を導出することが可能となる。

【0079】

（１０） ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと
を備える電動アクチュエータの推力導出方法であって、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出する。
この構成によれば、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。特に、内圧の変化に影響されて出力される実際の推力を導出することができるため、この導出された値に基づいて、更に電動アクチュエータの制御を行うことが可能となる。

【0080】

（１１） ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと
を備える電動アクチュエータの推力導出方法であって、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出することを特徴とする電動アクチュエータの推力導出方法。
この構成によれば、電動アクチュエータの動作に伴う内部の温度変化と容積の変化に伴う圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。特に、内圧の変化に影響されて出力される実際の推力を導出することができるため、この導出された値に基づいて、更に電動アクチュエータの制御を行うことが可能となる。

【0081】

（１２） ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間内の圧力を検出する圧力センサと
を備える電動アクチュエータの制御装置に、
前記圧力センサにて検出された圧力と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出させるためのプログラム。
この構成によれば、電動アクチュエータの動作に伴う内部の圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力ことが可能となる。特に、内圧の変化に影響されて出力される実際の推力を導出することができるため、この導出された値に基づいて、更に電動アクチュエータの制御を行うことが可能となる。

【0082】

（１３） ハウジングと、
モータと、
前記モータによる回転力が入力されるねじ軸と、
前記回転力により前記ねじ軸が回転することに伴って前記ねじ軸に沿って直線移動するように構成された連結機構と、
前記連結機構に連結され、前記連結機構とともに直線移動して推力を出力する中空状の出力軸と、
前記出力軸と前記ハウジングとから構成され、前記連結機構が配された密封空間の温度を検出する温度センサと
を備える電動アクチュエータの制御装置に、
前記温度センサにて検出された温度と、前記モータの制御量とに基づいて、前記出力軸による推力を導出させるためのプログラム。
この構成によれば、電動アクチュエータの動作に伴う内部の温度変化と容積の変化に伴う圧力変化を考慮して、内圧による負荷の影響を抑制した電動アクチュエータの出力が可能となる。特に、内圧の変化に影響されて出力される実際の推力を導出することができるため、この導出された値に基づいて、更に電動アクチュエータの制御を行うことが可能となる。

【符号の説明】

【0083】

１０…電動アクチュエータ
２０…上位装置
１００…駆動部
１０１…ハウジング
１０２…モータ
１０３…回転位置センサ
１０４…減速機
１０５…出力軸
１０６…圧力センサ
１０７…連結機構
１０８…直動機構
１０９…密封空間
２００…制御装置
２０１…モータ制動部
２０２…インバータ
２０３…電源
２０４…推力導出部
２０５…モータ角度導出部
２０６…電流センサ
２０７…状態監視部
２０８…状態出力部
９０１…温度センサ
９０２…圧力導出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】