特許 7601603 コールドプレート

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-09

(45)【発行日】2024-12-17

(54)【発明の名称】コールドプレート

(51)【国際特許分類】

   H01L 23/473 20060101AFI20241210BHJP

   H05K 7/20 20060101ALI20241210BHJP

【ＦＩ】

H01L23/46 Z

H05K7/20 N

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020178103

(22)【出願日】2020-10-23

(65)【公開番号】P2022069115

(43)【公開日】2022-05-11

【審査請求日】2023-06-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000005186

【氏名又は名称】株式会社フジクラ

(74)【代理人】

【識別番号】100106909

【弁理士】

【氏名又は名称】棚井 澄雄

(74)【代理人】

【識別番号】100126882

【弁理士】

【氏名又は名称】五十嵐 光永

(74)【代理人】

【識別番号】100160093

【弁理士】

【氏名又は名称】小室 敏雄

(74)【代理人】

【識別番号】100169764

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 雄一郎

(72)【発明者】

【氏名】益子 耕一

(72)【発明者】

【氏名】松田 将宗

【審査官】佐藤 靖史

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０２０／０２２７３４１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１４－０７９９７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１８２０４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／１３８２１１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－０８１９９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１９２４０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０１５３８１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２３／４７３

Ｈ０５Ｋ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のフィンが形成された金属プレートと、
前記複数のフィンを覆う樹脂カバーと、を備え、
前記複数のフィンの少なくとも一つの先端面には、粗面化部が形成され、
前記粗面化部と前記樹脂カバーとが融着され、
前記樹脂カバーには、
前記複数のフィンの先端部が挿入される複数の凹部と、
前記複数の凹部の間に、前記複数のフィンの隙間に挿入される複数の凸部と、が形成され、
前記複数の凸部の先端面は、前記複数のフィンが延びる長手方向に沿って、前記金属プレートに向かって凸状に湾曲すると共に、前記複数のフィンの長手方向の中間位置において前記金属プレートに最も近づき、前記中間位置から長手方向両側に離れるに従って、前記金属プレートに対して徐々に離間していく流線形状を有する、コールドプレート。

【請求項2】

前記複数のフィンを囲う前記金属プレートの周縁部には、第２の粗面化部が形成され、 前記第２の粗面化部と前記樹脂カバーとが融着されている、請求項１に記載のコールドプレート。

【請求項3】

前記樹脂カバーには、
前記複数のフィンの隙間に連通する冷媒分配流路と、
前記冷媒分配流路に沿って延在すると共に、前記金属プレートに向かって突出した第２の凸部と、が形成され、
前記複数のフィンの少なくとも一つの先端部には、前記第２の凸部と嵌合する第２の凹部が形成されている、請求項１または２に記載のコールドプレート。

【請求項4】

複数のフィンが形成された金属プレートと、
前記複数のフィンを覆う樹脂カバーと、を備え、
前記複数のフィンの少なくとも一つの先端面には、粗面化部が形成され、
前記粗面化部と前記樹脂カバーとが融着され、
前記樹脂カバーには、
前記複数のフィンの隙間に連通する冷媒分配流路と、
前記冷媒分配流路に沿って延在すると共に、前記金属プレートに向かって突出した第２の凸部と、が形成され、
前記複数のフィンの少なくとも一つの先端部には、前記第２の凸部と嵌合する第２の凹部が形成され、
前記第２の凹部にも、前記粗面化部が形成されている、コールドプレート。

【請求項5】

前記冷媒分配流路は、前記複数のフィンが延びる長手方向における中央部に形成されている、請求項３または４に記載のコールドプレート。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、コールドプレート及びコールドプレートの製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、複数のフィンが形成された金属プレートと、複数のフィンを覆う金属カバーと、を備え、金属プレートと金属カバーの周縁部が、樹脂による射出成形によって接合されているコールドプレートが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第６７１２９１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年の電子部品高集積化による発熱密度の増大により、コールドプレートの需要拡大が予測され、より低価格なコールドプレートが求められている。このため、従来の金属カバーを、樹脂カバーに変更することが検討されている。しかしながら、樹脂カバーは、金属カバーよりも剛性が低く、コールドプレートの内部を流れる冷媒の圧力が高い場合、膨らむように変形して亀裂などが発生する可能性があった。

【0005】

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、冷媒の圧力による樹脂カバーの変形を抑制できるコールドプレート及びコールドプレートの製造方法の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係るコールドプレートは、複数のフィンが形成された金属プレートと、前記複数のフィンを覆う樹脂カバーと、を備え、前記複数のフィンの少なくとも一つの先端面には、粗面化部が形成され、前記粗面化部と前記樹脂カバーとが融着されている。
この構成によれば、金属プレートのフィンの先端面に形成した粗面化部によって、フィンと樹脂カバーとを強固に融着できる。このフィンは、樹脂カバーの周縁部よりも内側から樹脂カバーの変形を抑制する。このため、冷媒の圧力による樹脂カバーの膨らむような変形を抑制できる。

【0007】

上記コールドプレートにおいて、前記複数のフィンを囲う前記金属プレートの周縁部には、第２の粗面化部が形成され、前記第２の粗面化部と前記樹脂カバーとが融着されていてもよい。

【0008】

上記コールドプレートにおいて、前記樹脂カバーには、前記複数のフィンの先端部が挿入される複数の凹部が形成されていてもよい。

【0009】

上記コールドプレートにおいて、前記樹脂カバーには、前記複数の凹部の間に、前記複数のフィンの隙間に挿入される複数の凸部が形成され、前記複数の凸部の先端面は、前記複数のフィンが延びる長手方向に沿って、前記金属プレートに向かって凸状に湾曲していてもよい。

【0010】

上記コールドプレートにおいて、前記樹脂カバーには、前記複数のフィンの隙間に連通する冷媒分配流路と、前記冷媒分配流路に沿って延在すると共に、前記金属プレートに向かって突出した第２の凸部と、が形成され、前記複数のフィンの少なくとも一つの先端部には、前記第２の凸部と嵌合する第２の凹部が形成されていてもよい。

【0011】

上記コールドプレートにおいて、前記冷媒分配流路は、前記複数のフィンが延びる長手方向における中央部に形成されていてもよい。

【0012】

本発明の一態様に係るコールドプレートの製造方法は、複数のフィンが形成された金属プレートと、前記複数のフィンを覆う樹脂カバーと、を備える、コールドプレートの製造方法であって、前記複数のフィンの少なくとも一つの先端面に、粗面化部を形成する工程と、前記粗面化部と前記樹脂カバーとを加熱融着する工程と、を有する。
この方法によれば、金属プレートのフィンの先端面に形成した粗面化部によって、フィンと樹脂カバーとを強固に融着できる。このフィンは、樹脂カバーの周縁部よりも内側から樹脂カバーの変形を抑制する。このため、冷媒の圧力による樹脂カバーの膨らむような変形を抑制できる。

【0013】

上記コールドプレートの製造方法において、前記複数のフィンの少なくとも一つの先端面に対する化成処理、あるいは、レーザー照射によって、前記粗面化部を形成してもよい。

【0014】

上記コールドプレートの製造方法において、前記複数のフィンを囲う前記金属プレートの周縁部に、第２の粗面化部を形成する工程と、前記第２の粗面化部と前記樹脂カバーとを加熱融着する工程と、を有してもよい。

【0015】

上記コールドプレートの製造方法において、前記粗面化部と前記樹脂カバーとを加熱融着する工程と、前記第２の粗面化部と前記樹脂カバーとを加熱融着する工程と、を同時に行ってもよい。

【発明の効果】

【0016】

上記本発明の一態様によれば、冷媒の圧力による樹脂カバーの変形を抑制できるコールドプレートを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】第１実施形態に係るコールドプレートの平面図である。

【図2】図１に示す矢視ＩＩ－ＩＩ断面図である。

【図3】図１に示す矢視ＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。

【図4】図３に示す領域Ａの拡大図である。

【図5】第１実施形態に係る金属プレートの平面図である。

【図6】第１実施形態に係るコールドプレートの製造方法の一工程を示す説明図である。

【図7】第２実施形態に係るコールドプレートの断面構成図である。

【図8】図７に示す矢視ＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ断面図である。

【図9】第３実施形態に係るコールドプレートの平面図である。

【図10】図９に示す矢視Ｘ－Ｘ断面図である。

【図11】図９に示す矢視ＸＩ－ＸＩ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。

【0019】

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係るコールドプレート１の平面図である。図２は、図１に示す矢視ＩＩ－ＩＩ断面図である。図３は、図１に示す矢視ＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。図４は、図３に示す領域Ａの拡大図である。
これらの図に示すように、コールドプレート１は、複数のフィン１１が形成された金属プレート１０と、複数のフィン１１を覆う樹脂カバー２０と、を備えている。

【0020】

金属プレート１０は、例えば、銅や銅合金、アルミニウムやアルミニウム合金などの熱伝導性の良好な金属によって形成されている。図３に示すように、金属プレート１０の一方の板面１０ａには、複数のフィン１１が形成されている。複数のフィン１１は、板面１０ａに一定の間隔で並列に形成されている。なお、金属プレート１０の他方の板面１０ｂは、平坦面となっている。板面１０ｂには、図示しない発熱部品などが接触する。

【0021】

フィン１１は、板面１０ａに対して垂直に立設する板状に形成されている。フィン１１の上端である先端面１１ａは、図２に示すように、板面１０ａと平行に延びている。フィン１１の長手方向の両端である側端面１１ｂは、板面１０ａに対して垂直に延びている。先端面１１ａと側端面１１ｂとの間は、傾斜面１１ｃによって接続されている。傾斜面１１ｃは、後述する冷媒分配流路４及び冷媒回収流路５と対向して配置されている。

【0022】

樹脂カバー２０は、例えば、ポリフェニレンスルフィルド（ＰＰＳ）、ナイロン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ＡＢＳ樹脂などの軽量且つ低価な樹脂によって形成されている。樹脂カバー２０は、有頂筒状（碗状とも言う）に形成されている。樹脂カバー２０は、天壁部２２と、天壁部２２の外周部に連設された周壁部２３と、を備えている。

【0023】

天壁部２２は、図１に示すように、平面視で矩形状に形成されている。周壁部２３は、矩形の筒状（角筒状とも言う）に形成されている。周壁部２３の開口端部（下端部）には、外側に延出するフランジ部２４（鍔部とも言う）が形成されている。なお、図１に示す平面視で、フランジ部２４（樹脂カバー２０）の外形は、金属プレート１０の外形と同じであるが、金属プレート１０の方が大きくなっていても構わない。

【0024】

天壁部２２には、冷媒入口管２が接続された入口側マニホールド２５と、冷媒出口管３が接続された出口側マニホールド２６と、が形成されている。入口側マニホールド２５は、図２に示すように、天壁部２２の上面２２ａより上方に突出している。入口側マニホールド２５の内部には、複数のフィン１１の一端側の空間と連通する冷媒分配流路４が形成されている。冷媒分配流路４は、平面視で、複数のフィン１１と直交する方向に延びている。

【0025】

出口側マニホールド２６も、入口側マニホールド２５と同様に、天壁部２２の上面２２ａより上方に突出している。出口側マニホールド２６の内部には、複数のフィン１１の他端側の空間と連通する冷媒回収流路５が形成されている。冷媒回収流路５は、平面視で、複数のフィン１１と直交する方向に延びている。

【0026】

冷媒入口管２から流入した冷媒は、冷媒分配流路４、複数のフィン１１の隙間（スリット）、冷媒回収流路５を経て、冷媒出口管３から流出する。
本実施形態のコールドプレート１は、入口側マニホールド２５（冷媒分配流路４）及び出口側マニホールド２６（冷媒回収流路５）を樹脂カバー２０の天壁部２２以上の高さに備えているため、従来よりも金属プレート１０の板面１０ａに沿う平面方向のダウンサイジングを図り易い。

【0027】

複数のフィン１１は、冷媒分配流路４及び冷媒回収流路５の直下を通り周壁部２３の近傍まで延在している。複数のフィン１１は、冷媒分配流路４の出口及び冷媒回収流路５の入口を狭めないように傾斜面１１ｃを備え、冷媒分配流路４及び冷媒回収流路５に対して離間している。

【0028】

図３に示すように、複数のフィン１１の先端面１１ａは、樹脂カバー２０の天壁部２２の下面２２ｂと融着されている。フィン１１と樹脂カバー２０との融着原理を説明すると、図４に示すように、樹脂カバー２０と接するフィン１１の先端面１１ａには、表面処理によって、粗面化部３０が形成されている。粗面化部３０は、複数の微細孔３１を備えている。

【0029】

このように粗面化されたフィン１１の先端面１１ａに、樹脂カバー２０を押し付け、加熱圧着する。そうすると、樹脂カバー２０の一部が軟化あるいは溶融し、微細孔３１に入り込んで、その後、固化する。その結果、微細孔３１に入り込んだ樹脂がアンカーとなり、フィン１１と樹脂カバー２０とが接合される。

【0030】

図２に戻り、樹脂カバー２０は、周壁部２３の開口端部が、金属プレート１０の板面１０ａを向くようにして、金属プレート１０の周縁部１２に融着されている。金属プレート１０の周縁部１２には、フィン１１の先端面１１ａの粗面化部３０（以下、第１の粗面化部３０Ａとも言う）と同様の粗面化部３０（以下、第２の粗面化部３０Ｂとも言う）が形成されている。金属プレート１０の周縁部１２も、図４と同様の融着原理によって、樹脂カバー２０と接合されている。

【0031】

図５は、第１実施形態に係る金属プレート１０の平面図である。
図５に示すように、金属プレート１０は、複数のフィン１１の先端面１１ａに形成された第１の粗面化部３０Ａと、複数のフィン１１を囲う金属プレート１０の周縁部１２に形成された第２の粗面化部３０Ｂと、を備えている。

【0032】

粗面化部３０は、金属プレート１０に対するエッチングなどの化成処理、あるいは、レーザー照射によって形成することができる。第１の粗面化部３０Ａ及び第２の粗面化部３０Ｂは、上述した処理によって同時または同工程で形成してもよい。但し、化成処理の場合は、粗面化しない部分をマスクする必要がある。また、レーザー照射の場合は、金属プレート１０の周縁部１２のように面積が広いものは、レーザー走査に時間がかかる。このため、以下のような製造方法を採用してもよい。

【0033】

図６は、第１実施形態に係るコールドプレート１の製造方法の一工程を示す説明図である。
コールドプレート１の製造方法は、概略、金属プレート１０（フィン１１及び周縁部１２）に粗面化部３０を形成する工程、粗面化部３０と樹脂カバー２０とを加熱融着する工程からなる。図６は、金属プレート１０に粗面化部３０を形成する工程を示している。

【0034】

この工程では、先ず、金属プレート１０に複数のフィン１１を削り出すための削り部１１０が形成された状態で、化成処理によって粗面化部３０を形成する。削り部１１０は、金属プレート１０を形成する母材から削り出されたものであり、機械加工により板面１０ａなどと一緒に形成される。この削り部１１０を含む板面１０ａ側の一面を化成処理で粗面化することで、金属プレート１０の周縁部１２に、第２の粗面化部３０Ｂを形成する。

【0035】

次に、削り部１１０を切削し、複数のフィン１１を形成する。複数のフィン１１は、例えば、回転するメタルソーで削り部１１０を切削することで形成することができる。メタルソーは、例えば、削り部１１０に一つの凹部を形成した後、上昇して所定幅だけずれ、再び下降して、前記凹部に隣接する凹部を形成する。この動作を繰り返すことで、複数のフィン１１を形成する。なお、この切削により、削り部１１０の表面の粗面化部３０は、除去される。

【0036】

次に、複数のフィン１１の先端面１１ａをレーザーＬの照射により粗面化する。第１の粗面化部３０Ａは、例えば、レーザー照射装置２００を用いて、フィン１１の先端面１１ａに沿ってレーザーＬを走査することで形成することができる。レーザー照射装置２００は、例えば、複数のフィン１１の一つに第１の粗面化部３０Ａを形成した後、所定幅だけずれ、前記フィン１１に隣接するフィン１１の先端面１１ａに沿ってレーザーＬを走査し、第１の粗面化部３０Ａを形成する。この動作を繰り返すことで、複数のフィン１１の先端面１１ａに、選択的に第１の粗面化部３０Ａを形成する。

【0037】

このように、金属プレート１０（フィン１１及び周縁部１２）に粗面化部３０を形成したら、樹脂カバー２０を被せ、粗面化部３０と樹脂カバー２０とを加熱融着する。なお、樹脂カバー２０を金属プレート１０の粗面化部３０に加熱融着させる際には加圧するとよい。以上により、コールドプレート１を製造することができる。
上述した方法によれば、広い面積の粗面化に時間かかるレーザー照射に代わり、化成処理によって金属プレート１０の周縁部１２に、第２の粗面化部３０Ｂを形成すると共に、細かいマスクが必要となる化成処理の代わりに、レーザー照射によって複数のフィン１１の先端面１１ａに、選択的に第１の粗面化部３０Ａを形成することができる。

【0038】

ところで、上記構成のコールドプレート１においては、フィン１１は、冷媒との熱交換面積を大きくするために多いことが好ましく、したがって、フィン１１とフィン１１の隙間の幅は狭くなり、流動抵抗が大きくなる。その流動抵抗に打ち勝って十分な速度で冷媒が流れるように、冷媒はある程度高い圧力で樹脂カバー２０の内部に供給される。そのため、樹脂カバー２０の内部の圧力が高くなる。

【0039】

本実施形態では、金属プレート１０のフィン１１の先端面１１ａに形成した第１の粗面化部３０Ａによって、フィン１１と樹脂カバー２０とを強固に融着している。このフィン１１は、樹脂カバー２０の略中央部において、樹脂カバー２０の変形を抑制する。このため、冷媒の圧力による樹脂カバー２０の膨らむような変形（例えば、天壁部２２がドーム状に膨らもうとする変形）を抑制でき、これによって樹脂カバー２０に亀裂などが入らないようにすることができる。

【0040】

このように、上述した本実施形態のコールドプレート１によれば、複数のフィン１１が形成された金属プレート１０と、複数のフィン１１を覆う樹脂カバー２０と、を備え、複数のフィン１１の少なくとも一つの先端面１１ａには、粗面化部３０（第１の粗面化部３０Ａ）が形成され、粗面化部３０と樹脂カバー２０とが融着されているため、冷媒の圧力による樹脂カバー２０の変形を抑制できる。

【0041】

また、本実施形態のコールドプレート１では、複数のフィン１１を囲う金属プレート１０の周縁部１２には、第２の粗面化部３０Ｂが形成され、第２の粗面化部３０Ｂと樹脂カバー２０とが融着されている。この構成によれば、金属プレート１０の周縁部１２における樹脂カバー２０との接合強度が高まると共に、シール性を向上できる。

【0042】

また、上述した本実施形態のコールドプレート１の製造方法によれば、複数のフィン１１の少なくとも一つの先端面１１ａに、粗面化部３０（第１の粗面化部３０Ａ）を形成する工程と、粗面化部３０と樹脂カバー２０とを加熱融着する工程と、を有するため、金属プレート１０のフィン１１と樹脂カバー２０とを強固に融着できる。フィン１１は、樹脂カバー２０の周縁部よりも内側から樹脂カバー２０の変形を抑制するため、冷媒の圧力による樹脂カバー２０の膨らむような変形を抑制できる。

【0043】

また、本実施形態のコールドプレート１の製造方法では、複数のフィン１１の少なくとも一つの先端面１１ａに対する化成処理、あるいは、レーザー照射によって、粗面化部３０を形成する。この方法によれば、粗面化部３０を容易に形成できる。

【0044】

また、本実施形態のコールドプレート１の製造方法では、複数のフィン１１を囲う金属プレート１０の周縁部１２に、第２の粗面化部３０Ｂを形成する工程と、第２の粗面化部３０Ｂと樹脂カバー２０とを加熱融着する工程と、を有する。この方法によれば、金属プレート１０の周縁部１２における樹脂カバー２０との接合強度が高まると共に、シール性を向上できる。

【0045】

また、本実施形態のコールドプレート１の製造方法では、第１の粗面化部３０Ａと樹脂カバー２０とを加熱融着する工程と、第２の粗面化部３０Ｂと樹脂カバー２０とを加熱融着する工程と、を同時に行う。この方法によれば、コールドプレート１を効率よく製造することができる。

【0046】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0047】

図７は、第２実施形態に係るコールドプレート１の断面構成図である。図８は、図７に示す矢視ＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ断面図である。
図８に示すように、第２実施形態の樹脂カバー２０は、天壁部２２の下面２２ｂに、凹部２７ａと凸部２７ｂとを備えている。

【0048】

凹部２７ａには、複数のフィン１１の先端部が挿入されている。なお、フィン１１の先端部とは、先端面１１ａと、その先端面１１ａ近傍の両側面を含む部分を言う。
凸部２７ｂは、複数の凹部２７ａの間に形成されている。凸部２７ｂは、複数のフィン１１の隙間に挿入されている。

【0049】

凸部２７ｂは、図７に示すように、フィン１１が延びる長手方向に沿って、金属プレート１０の板面１０ａに向かって凸状に湾曲している。具体的には、凸部２７ｂは、フィン１１の長手方向の中間位置Ｐにおいて、板面１０ａに最も近づき、中間位置Ｐから長手方向両側に離れるに従って、板面１０ａに対して徐々に離間していく流線形状の先端面２７ｂ１を有している。

【0050】

上記構成の第２実施形態によれば、図８に示すように、樹脂カバー２０には、複数のフィン１１の先端部が挿入される複数の凹部２７ａが形成されているため、フィン１１と樹脂カバー２０との融着に加え、フィン１１と樹脂カバー２０（凹部２７ａ）とが嵌合することで、接合強度が向上し、樹脂カバー２０の膨らむような変形を確実に抑制できる。また、フィン１１が挿入される凹部２７ａがあることで、金属プレート１０と樹脂カバー２０の位置合わせが容易になり、接合が容易になる。

【0051】

また、第２実施形態によれば、樹脂カバー２０には、複数の凹部２７ａの間に、複数のフィン１１の隙間に挿入される複数の凸部２７ｂが形成され、図７に示すように、複数の凸部２７ｂの先端面２７ｂ１は、複数のフィン１１が延びる長手方向に沿って、金属プレート１０に向かって凸状に湾曲している。この構成によれば、冷媒の流速が、フィン１１の長手方向の中央部で増加するため、発熱部品が配置される金属プレート１０の底板側を強制的に冷却することができる。

【0052】

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0053】

図９は、第３実施形態に係るコールドプレート１の平面図である。なお、図９においては、冷媒の流れを視認し易くするため、樹脂カバー２０を二点鎖線で示している。図１０は、図９に示す矢視Ｘ－Ｘ断面図である。図１１は、図９に示す矢視ＸＩ－ＸＩ断面図である。
図１０に示すように、第３実施形態のコールドプレート１は、樹脂カバー２０に、金属プレート１０に向かって突出した第２の凸部２８が形成され、複数のフィン１１の少なくとも一つの先端部には、第２の凸部２８と嵌合する第２の凹部１１ｄが形成されている。

【0054】

第３実施形態の冷媒分配流路４及び冷媒回収流路５は、複数のフィン１１が延びる長手方向における中央部に形成されている。第３実施形態の樹脂カバー２０は、図９及び図１１に示すように、冷媒分配流路４が形成された入口側マニホールド２５と、冷媒回収流路５が形成された出口側マニホールド２６と、を一体化した入出口マニホールド２９を備えている。入出口マニホールド２９の内部には、冷媒分配流路４と冷媒回収流路５との間を仕切る仕切壁２９ａが形成されている。

【0055】

図９に示すように、冷媒分配流路４から流入した冷媒は、複数のフィン１１の長手方向中央部から長手方向両端部に抜け、複数のフィン１１の長手方向両端部と樹脂カバー２０との隙間を流れ、複数のフィン１１の形成範囲外に配置された冷媒回収流路５から回収される。

【0056】

第２の凸部２８は、冷媒分配流路４の両側に沿って、複数のフィン１１と直交する方向に延在している。第２の凸部２８は、図１０に示すように、樹脂カバー２０の天壁部２２の下面２２ｂより下方に突出している。
第２の凹部１１ｄは、第２の凸部２８に対応した形状を有している。第２の凹部１１ｄの表面にも粗面化部３０が形成されている。

【0057】

上記構成の第３実施形態によれば、樹脂カバー２０には、複数のフィン１１の隙間に連通する冷媒分配流路４と、冷媒分配流路４に沿って延在すると共に、金属プレート１０に向かって突出した第２の凸部２８と、が形成され、複数のフィン１１の少なくとも一つの先端部には、第２の凸部２８と嵌合する第２の凹部１１ｄが形成されているため、フィン１１と樹脂カバー２０との融着に加え、第２の凸部２８と第２の凹部１１ｄとが嵌合することで、接合強度が向上する。

【0058】

また、第２の凹部１１ｄにも粗面化部３０を形成し、粗面化部３０の面積を増やすことで、フィン１１と樹脂カバー２０との融着部分における接合強度が向上する。さらに、冷媒の流入口である冷媒分配流路４においては、冷媒の圧力が高まり易くなるため、冷媒分配流路４に沿って第２の凸部２８を設けることで、樹脂カバー２０の膨らむような変形を効果的に抑制できる。

【0059】

また、第３実施形態によれば、冷媒分配流路４は、複数のフィン１１が延びる長手方向における中央部に形成されており、第２の凸部２８も複数のフィン１１が延びる長手方向における略中央部に配置されるため、樹脂カバー２０の天壁部２２がドーム状に膨らもうとする変形を確実に抑制できる。

【0060】

以上、本発明の好ましい実施形態を記載し説明してきたが、これらは本発明の例示的なものであり、限定するものとして考慮されるべきではないことを理解すべきである。追加、省略、置換、およびその他の変更は、本発明の範囲から逸脱することなく行うことができる。従って、本発明は、前述の説明によって限定されていると見なされるべきではなく、特許請求の範囲によって制限されている。

【0061】

例えば、上記実施形態では、複数のフィン１１の全ての先端面１１ａに粗面化部３０を形成している構成について説明したが、複数のフィン１１の少なくとも一つの先端面１１ａに粗面化部３０が形成されていればよい。また、金属プレート１０は、先端面１１ａに粗面化部３０が形成されているフィン１１と、先端面１１ａに粗面化部３０が形成されていないフィン１１と、を交互に備えていても構わない。

【0062】

また、例えば、上記実施形態では、金属プレート１０と樹脂カバー２０の周縁部が、加熱融着によって接合されている構成について説明したが、従来技術を応用し、金属プレート１０と樹脂カバー２０の周縁部が、樹脂による射出成形によって接合されている構成であっても構わない。また、金属プレート１０と樹脂カバー２０の周縁部が、ボルト及びナットなどの固定具によって締結固定されている構成であっても構わない。

【符号の説明】

【0063】

１…コールドプレート、４…冷媒分配流路、１０…金属プレート、１１…フィン、１１ａ…先端面、１１ｄ…第２の凹部、１２…周縁部、２０…樹脂カバー、２７ａ…凹部、２７ｂ…凸部、２８…第２の凸部、３０…粗面化部、３０Ａ…第１の粗面化部、３０Ｂ…第２の粗面化部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】