特許 7602308 圧電振動デバイス製造装置及び圧電振動デバイスの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-10

(45)【発行日】2024-12-18

(54)【発明の名称】圧電振動デバイス製造装置及び圧電振動デバイスの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H03H 3/02 20060101AFI20241211BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20241211BHJP

   H01L 21/52 20060101ALI20241211BHJP

【ＦＩ】

H03H3/02 A

H03H3/02 C

H05K13/04 B

H01L21/52 F

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2023531879

(86)(22)【出願日】2022-06-23

(86)【国際出願番号】 JP2022025115

(87)【国際公開番号】W WO2023276850

(87)【国際公開日】2023-01-05

【審査請求日】2023-08-21

(31)【優先権主張番号】P 2021107836

(32)【優先日】2021-06-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000149734

【氏名又は名称】株式会社大真空

(74)【代理人】

【識別番号】100142022

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 一晃

(74)【代理人】

【識別番号】100196623

【弁理士】

【氏名又は名称】松下 計介

(72)【発明者】

【氏名】大室 裕史

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 隆

(72)【発明者】

【氏名】大谷 浩

【審査官】柳下 勝幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１１４７７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０９２３９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１２７３６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－０９９５６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０３Ｈ ３／０２

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧電素子と、
前記圧電素子を保持する保持部材と、を少なくとも有し、
前記保持部材において前記圧電素子が接合材によって接合される圧電振動デバイスを製造するための圧電振動デバイス製造装置であって、
前記圧電素子をそれぞれ一つずつ吸着する複数の吸着ヘッドと、
前記複数の吸着ヘッドを搭載し、複数の前記圧電素子が供給される圧電素子供給位置から複数の前記保持部材が供給される保持部材供給位置までの間において、前記複数の吸着ヘッドを同時に往復移動させる吸着ヘッド移動装置と、を有し、
前記複数の吸着ヘッドは、
前記圧電素子を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを水平方向に移動させる吸着ヘッド用水平移動機構と、
前記吸着ノズルを鉛直方向に移動させる吸着ヘッド用鉛直移動機構と、
前記吸着ノズルを鉛直軸まわりの回転方向に移動させる吸着ヘッド用回転移動機構と、
をそれぞれ有し、
前記圧電素子供給位置において複数の前記吸着ノズルによって前記圧電素子供給位置に供給された前記圧電素子をそれぞれ吸着し、前記吸着ヘッド移動装置によって前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで移動され、
前記吸着ヘッド用水平移動機構、前記吸着ヘッド用鉛直移動機構、及び前記吸着ヘッド用回転移動機構は、
複数の前記吸着ノズルがそれぞれ吸着した複数の前記圧電素子の位置に関する情報と前記保持部材供給位置に供給された複数の前記保持部材の位置に関する情報とに基づいて、複数の前記吸着ノズルがそれぞれ吸着している前記圧電素子を、対応する前記保持部材にそれぞれ配置可能なように前記吸着ノズルの位置をそれぞれ独立して個別に調整する、
圧電振動デバイス製造装置。

【請求項2】

請求項１に記載の圧電振動デバイス製造装置において、
前記接合材を前記保持部材にそれぞれ供給する複数の供給ヘッドと、
前記複数の供給ヘッドを搭載し、前記複数の供給ヘッドの待機位置から前記保持部材供給位置までの間において、前記複数の供給ヘッドを同時に往復移動させる供給ヘッド移動装置と、を有し、
前記複数の供給ヘッドは、
前記接合材を供給する供給装置と、
前記供給装置を水平方向に移動させる供給ヘッド用水平移動機構と、
前記供給装置を鉛直方向に移動させる供給ヘッド用鉛直移動機構と、をそれぞれ有し、
前記供給ヘッド移動装置によって前記待機位置から前記保持部材供給位置まで移動され、
前記供給ヘッド用水平移動機構または供給ヘッド用鉛直移動機構のうち少なくとも一つは、
前記保持部材供給位置に供給された複数の前記保持部材の位置に関する情報に基づいて、複数の前記供給装置が前記接合材を複数の前記保持部材にそれぞれ供給可能なように前記供給装置の位置をそれぞれ独立して個別に調整する、
圧電振動デバイス製造装置。

【請求項3】

請求項２に記載の圧電振動デバイス製造装置において、
前記複数の供給ヘッドは、
前記保持部材供給位置において、複数の前記供給装置によって前記接合材を複数の前記保持部材にそれぞれ独立して個別に供給し、
前記複数の吸着ヘッドは、
前記保持部材供給位置において、複数の前記吸着ノズルがそれぞれ吸着している前記圧電素子を前記接合材が供給されている複数の前記保持部材にそれぞれ独立して個別に配置する、
圧電振動デバイス製造装置。

【請求項4】

請求項２から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動デバイス製造装置において、
前記複数の供給ヘッドは、
それぞれの前記供給装置の位置を前記供給ヘッド用水平移動機構または前記供給ヘッド用鉛直移動機構の少なくともに一つによって、同時に調整可能である、
圧電振動デバイス製造装置。

【請求項5】

請求項１に記載の圧電振動デバイス製造装置において、
前記複数の吸着ヘッドは、
それぞれの前記吸着ノズルの位置を前記吸着ヘッド用水平移動機構、前記吸着ヘッド用鉛直移動機構、及び前記吸着ヘッド用回転移動機構によって、同時に調整可能である、
圧電振動デバイス製造装置。

【請求項6】

請求項１に記載の圧電振動デバイス製造装置において、
前記圧電素子の位置に関する情報として、前記複数の吸着ヘッドがそれぞれ吸着した複数の前記圧電素子の水平方向の位置及び前記圧電素子の向きをそれぞれ測定する圧電素子位置測定装置と、
前記保持部材の位置に関する情報として、前記保持部材供給位置に供給される複数の前記保持部材の水平方向及び鉛直方向の位置をそれぞれ測定する保持部材位置測定装置と、を有する、
圧電振動デバイス製造装置。

【請求項7】

圧電素子と、
前記圧電素子を保持する保持部材と、を少なくとも有し、
前記保持部材に前記圧電素子が接合材によって接合される圧電振動デバイスの製造方法であって、
複数の前記圧電素子を圧電素子供給位置に供給する圧電素子供給工程と、
複数の前記圧電素子を圧電素子供給位置に位置決めする圧電素子位置決め工程と、
複数の前記保持部材を保持部材供給位置に供給する保持部材供給工程と、
複数の前記保持部材を保持部材供給位置に位置決めする保持部材位置決め工程と、
圧電素子供給位置に位置決めされた複数の前記圧電素子を前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送する圧電素子搬送工程と、
前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子の位置に関する情報と前記保持部材供給位置に位置決めされた前記保持部材の位置に関する情報とに基づいて、前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子を対応する前記保持部材にそれぞれ同時に配置可能なように、複数の前記圧電素子の水平方向、鉛直方向及び鉛直軸まわりの回転方向の位置をそれぞれ独立して個別に調整する圧電素子位置調整工程と、を有する、
圧電振動デバイスの製造方法。

【請求項8】

請求項７に記載の圧電振動デバイスの製造方法において、
前記保持部材供給位置において、前記保持部材供給位置に供給された前記保持部材の位置に関する情報に基づいて、前記保持部材に供給する前記接合材の供給位置を調整する接合材供給位置調整工程と、
を有する、
圧電振動デバイスの製造方法。

【請求項9】

請求項８に記載の圧電振動デバイスの製造方法において、
前記保持部材供給位置において、複数の前記保持部材に前記接合材をそれぞれ供給する接合材供給工程と、
前記保持部材供給位置において、前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子を前記接合材が供給されている複数の前記保持部材にそれぞれ配置する圧電素子接合工程と、を有する、
圧電振動デバイスの製造方法。

【請求項10】

請求項８から請求項９のいずれか一項に記載の圧電振動デバイスの製造方法において、
前記接合材供給位置調整工程は、
複数の前記保持部材に前記接合材を供給する位置をそれぞれ同時に調整する工程である、
圧電振動デバイスの製造方法。

【請求項11】

請求項７に記載の圧電振動デバイスの製造方法において、
前記圧電素子位置調整工程は、
前記複数の圧電素子の位置を前記保持部材にそれぞれ配置可能なようにそれぞれ同時に調整する工程である、
圧電振動デバイスの製造方法。

【請求項12】

請求項７に記載の圧電振動デバイスの製造方法において、
前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子の水平方向の位置及び前記圧電素子の向きに関する情報をそれぞれ取得する圧電素子位置情報取得工程と、
前記保持部材供給位置に供給される複数の前記保持部材の水平方向及び鉛直方向の位置に関する情報をそれぞれ取得する保持部材位置情報取得工程と、を有する、
圧電振動デバイスの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、圧電振動デバイス製造装置及び圧電振動デバイスの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

圧電振動デバイスは、例えば水晶振動片を用いた水晶振動子が含まれる。前記水晶振動子は、圧電素子である水晶振動片と、前記水晶振動片を保持する保持部材とを有する。前記水晶振動子は、セラミック等の絶縁体から構成される箱状の前記保持部材内に前記水晶振動片が保持されている。前記水晶振動子は、前記水晶振動片の電極と前記保持部材内の電極とが接合した状態で密閉されている。

【0003】

このような前記圧電振動デバイスを製造する圧電振動デバイス製造装置には、前記圧電素子と前記保持部材とがそれぞれ供給される。前記圧電振動デバイス製造装置は、吸着ヘッド等の移載装置によって供給された前記圧電素子を、接合材が塗布された前記保持部材内に配置する。この際、前記圧電素子は、電極以外の部分が前記保持部材に接触しないように前記保持部材内に配置する必要がある。そこで、前記移載装置に対して位置決めされた前記圧電素子を前記保持部材内に配置する前記圧電振動デバイス製造装置が知られている。例えば特許文献１には、供給された素子部品を位置決めした後に素子搭載部材ウェハに前記素子部品を搭載する素子部品搭載装置が開示されている。

【0004】

特許文献１に記載の素子部品搭載装置は、複数の前記素子部品を位置決めするために仮置きするトレイを備えている。前記トレイは、前記素子部品を仮置きする複数の凹部を有している。前記凹部の壁面は、深さ方向に傾斜しつつ凹部の開口側に露出している。前記凹部に投入された前記素子部品は、前記凹部の壁面を滑り、凹部の底面に配置される。前記素子部品は、前記凹部の壁面によって前記凹部の底面において位置決めされる。前記素子部品搭載装置は、複数の前記凹部の底面で位置決めされた複数の前記素子部品を前記素子搭載部材ウェハ上に搬送する。これにより、前記素子部品搭載装置は、複数の前記素子部品を前記素子搭載部材ウェハ上の所定の位置に所定の向きでそれぞれ配置することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１２／９９５６０号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

前記素子部品搭載装置は、供給された複数の前記素子部品を吸引移動手段によって前記トレイまで搬送し、前記トレイにおいて位置決めする。更に、前記素子部品搭載装置は、前記トレイにおいて位置決めされた複数の前記素子部品を吸引移動手段の吸着部によって吸着し、前記素子搭載部材ウェハ上に搬送する。このため、複数の前記素子部品は、吸着時に前記トレイにおいて位置決めされた位置に対して位置及び向きがずれる可能性がある。また、前記トレイの凹部は、前記凹部内に前記素子部品を配置するために、前記壁面と前記底面に位置する前記素子部品との間に隙間が生じる大きさの底面を有している。このため、前記素子部品は、前記壁面と前記底面に位置する前記素子部品との間に生じる隙間分だけ、前記トレイに対して位置及び向きがずれる可能性がある。

【0007】

本発明は、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる圧電振動デバイス製造装置及び圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者らは、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる圧電振動デバイス製造装置及び圧電振動デバイスの製造方法について検討した。鋭意検討の結果、本発明者らは、以下のような構成に想到した。

【0009】

本発明の一実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置は、圧電素子と、前記圧電素子を保持する保持部材と、を少なくとも有し、前記保持部材に前記圧電素子が接合材によって接合される圧電振動デバイスを製造するための圧電振動デバイス製造装置である。

【0010】

圧電振動デバイス製造装置は、前記圧電素子をそれぞれ一つずつ吸着する複数の吸着ヘッドと、前記複数の吸着ヘッドを搭載し、複数の前記圧電素子が供給される圧電素子供給位置から複数の前記保持部材が供給される保持部材供給位置までの間において、前記複数の吸着ヘッドを同時に往復移動させる吸着ヘッド移動装置と、を有している。前記吸着ヘッドは、前記圧電素子を吸着する吸着ノズルと、前記吸着ノズルを水平方向に移動させる吸着ヘッド用水平移動機構と、前記吸着ノズルを鉛直方向に移動させる吸着ヘッド用鉛直移動機構と、前記吸着ノズルを鉛直軸まわりの回転方向に移動させる吸着ヘッド用回転移動機構と、を有している。

【0011】

複数の前記吸着ヘッドは、前記圧電素子供給位置において、複数の前記吸着ノズルによって前記圧電素子供給位置に供給された前記圧電素子をそれぞれ吸着する。複数の前記吸着ヘッドは、前記吸着ヘッド移動装置によって前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで移動される。前記吸着ヘッド用水平移動機構、前記吸着ヘッド用鉛直移動機構、前記吸着ヘッド用回転移動機構のうち少なくとも一つは、複数の前記吸着ノズルがそれぞれ吸着した複数の前記圧電素子の位置に関する情報と前記保持部材供給位置に供給された複数の前記保持部材の位置に関する情報とに基づいて、複数の前記吸着ノズルがそれぞれ吸着している前記圧電素子を対応する前記保持部材にそれぞれ配置可能な位置に複数の前記吸着ノズルの位置をそれぞれ独立して個別に調整する。

【0012】

上述の構成では、複数の前記吸着ヘッドは、前記圧電素子をそれぞれの吸着ノズルが吸着し、複数の前記圧電素子を搬送する。この際、前記吸着ヘッドは、吸着した複数の前記圧電素子の位置に関する情報と、吸着した複数の前記圧電素子をそれぞれ配置する複数の前記保持部材の位置に関する情報とに基づいて、複数の前記吸着ノズルの位置をそれぞれ独立して個別に調整する。これにより、複数の前記吸着ヘッドは、吸着時のずれを考慮した上で、吸着している複数の前記圧電素子の位置を、前記保持部材の水平方向の位置及び鉛直方向の位置に対応するようにそれぞれ個別に調整することができる。しかも、複数の前記吸着ヘッドは、数値データである前記圧電素子の位置に関する情報と前記保持部材の位置に関する情報に基づいて前記吸着ノズルの位置を個別に調整する。よって、前記圧電振動デバイス製造装置は、位置合わせのために前記圧電素子の仮置き等を行う必要がない。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0013】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイス製造装置は、以下の構成を含むことが好ましい。圧電振動デバイス製造装置は、前記接合材を前記保持部材にそれぞれ供給する複数の供給ヘッドと、前記複数の供給ヘッドを搭載し、前記複数の供給ヘッドの待機位置から前記保持部材供給位置までの間において、前記複数の供給ヘッドを同時に往復移動させる供給ヘッド移動装置と、を有する。

【0014】

前記供給ヘッドは、前記接合材を供給する供給装置と、前記供給装置を水平方向に移動させる供給ヘッド用水平移動機構と、前記供給装置を鉛直方向に移動させる供給ヘッド用鉛直移動機構と、を有している。複数の前記供給ヘッドは、前記供給ヘッド移動装置によって前記待機位置から前記保持部材供給位置まで移動される。前記供給ヘッド用水平移動機構または前記供給ヘッド用鉛直移動機構のうち少なくとも一つは、前記保持部材供給位置に供給された複数の前記保持部材の位置に関する情報に基づいて、複数の前記供給装置が前記接合材を複数の前記保持部材にそれぞれ供給可能なように前記供給装置の位置をそれぞれ独立して個別に調整する。

【0015】

上述の構成では、複数の前記供給ヘッドは、前記供給装置の位置を前記保持部材の水平方向の位置及び鉛直方向の位置に対応するようにそれぞれ独立して個別に調整する。これにより、前記供給装置は、前記保持部材における所定の位置に接合材を吐出することができる。しかも、複数の前記供給ヘッドは、取得した数値データである複数の前記保持部材の位置に関する情報に基づいて前記供給装置の位置をそれぞれ独立して個別に調整する。よって、前記圧電振動デバイス製造装置は、前記供給装置に対する前記保持部材の位置合わせ等を行う必要がない。したがって、タクトタイムを増加させることなく、接合材を複数の保持部材の所定の位置にそれぞれ配置することができる。これにより、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0016】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイス製造装置は、以下の構成を含むことが好ましい。複数の前記供給ヘッドは、前記保持部材供給位置において、複数の前記供給装置から前記接合材を複数の前記保持部材にそれぞれ独立して個別に供給する。複数の前記吸着ヘッドは、前記保持部材供給位置において、複数の前記吸着ノズルがそれぞれ吸着している前記圧電素子を前記接合材が供給されている複数の前記保持部材にそれぞれ独立して個別に配置する。

【0017】

上述の構成では、複数の前記供給ヘッドは、前記保持部材の位置に関する情報に基づいて、複数の前記供給装置の水平方向の位置及び鉛直方向の位置をそれぞれ独立して個別に調整する。複数の前記供給装置は、前記接合材を複数の前記保持部材の所定の位置にそれぞれ独立して個別に供給する。これにより、複数の前記供給装置は、複数の前記保持部材の位置のばらつきを考慮しつつ前記保持部材における所定の位置に接合材を吐出することができる。また、複数の前記吸着ヘッドは、前記圧電素子の位置に関する情報と前記保持部材の位置に関する情報とに基づいて、複数の前記吸着ノズルの水平方向の位置及び鉛直方向の位置をそれぞれ独立して個別に調整する。複数の前記吸着ノズルは、前記圧電素子を複数の前記保持部材の所定の位置にそれぞれ独立して個別に配置する。これにより、前記吸着ヘッドは、前記保持部材の形状のばらつきを考慮しつつ前記圧電素子を前記保持部材に配置することができる。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0018】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイス製造装置は、以下の構成を含むことが好ましい。前記複数の供給ヘッドは、それぞれの前記供給装置の位置を前記供給ヘッド用水平移動機構または前記供給ヘッド用鉛直移動機構の少なくともに一つによって、同時に調整可能である。また、複数の前記吸着ヘッドは、それぞれの前記吸着ノズルの位置を前記吸着ヘッド用水平移動機構、前記吸着ヘッド用鉛直移動機構、または前記吸着ヘッド用回転移動機構の少なくとも一つによって、同時に調整可能である。

【0019】

上述の構成では、圧電振動デバイス製造装置は、前記複数の吸着ヘッド及び前記複数の供給ヘッドの位置を各移動機構によって同時に調整するので、前記吸着ヘッド及び前記供給ヘッドの数に関わらず、前記複数の吸着ヘッド及び前記複数の供給ヘッドの位置を調整するために必要な時間が抑制される。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の保持部材の所定の位置に供給材をそれぞれ供給することができる。また、タクトタイムを増加させることなく、複数の保持部材の所定の位置に所定の向きで複数の圧電素子をそれぞれ配置することができる。

【0020】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイス製造装置は、以下の構成を含むことが好ましい。圧電振動デバイス製造装置は、前記圧電素子の位置に関する情報として、複数の前記吸着ヘッドがそれぞれ吸着した複数の前記圧電素子の水平方向の位置及び前記圧電素子の向きをそれぞれ測定する圧電素子位置測定装置と、前記保持部材の位置に関する情報として、前記保持部材供給位置に供給される複数の前記保持部材の水平方向及び鉛直方向の位置をそれぞれ測定する保持部材位置測定装置と、を有する。

【0021】

上述の構成では、圧電素子位置測定装置は、複数の前記吸着ノズルがそれぞれ前記圧電素子を吸着した状態で前記圧電素子の水平方向の位置及び前記圧電素子の向きを測定する。つまり、圧電素子位置測定装置は、前記吸着ノズルに吸着された複数の前記圧電素子のずれをそれぞれ測定している。また、前記保持部材位置測定装置は、前記保持部材供給位置に供給される複数の前記保持部材の水平方向だけでなく鉛直方向の位置をそれぞれ測定する。よって、前記保持部材位置測定装置は、複数の前記保持部材にそれぞれ配置する前記圧電素子の鉛直方向の位置を、対応する前記保持部材の鉛直方向の位置に基づいて独立して個別に調整することができる。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0022】

本発明の一実施形態に係る圧電振動デバイスの製造方法は、圧電素子と、前記圧電素子を保持する保持部材と、を少なくとも有し、前記保持部材に前記圧電素子が接合材によって接合される圧電振動デバイスの製造方法である。

【0023】

圧電振動デバイスの製造方法は、複数の前記圧電素子を圧電素子供給位置に供給する圧電素子供給工程と、複数の前記圧電素子を圧電素子供給位置に位置決めする圧電素子位置決め工程と、複数の前記保持部材を保持部材供給位置に供給する保持部材供給工程と、複数の前記保持部材を保持部材供給位置に位置決めする保持部材位置決め工程と、圧電素子供給位置に位置決めされた複数の前記圧電素子を前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送する圧電素子搬送工程と、前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子の位置に関する情報と前記保持部材供給位置に位置決めされた前記保持部材の位置に関する情報とに基づいて、前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子を対応する前記保持部材にそれぞれ配置可能なように、複数の前記圧電素子の位置をそれぞれ独立して個別に調整する圧電素子位置調整工程と、を有する。

【0024】

上述の構成では、前記圧電振動デバイスの製造方法は、前記保持部材の位置に関する情報と、圧電素子搬送工程において搬送中に取得した前記圧電素子の位置に関する情報とに基づいて、複数の前記圧電素子の位置をそれぞれ独立して個別に調整する圧電素子位置調整工程を有する。前記圧電素子の位置に関する情報には、搬送中の複数の前記圧電素子の姿勢が考慮された位置に関する情報が含まれている。これにより圧電素子搬送工程後に仮置き等によって前記圧電素子の姿勢を位置決めする工程を別途設ける必要がない。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0025】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイスの製造方法は、以下の構成を含むことが好ましい。前記保持部材供給位置において、前記保持部材供給位置に供給された前記保持部材の位置に関する情報に基づいて、前記保持部材に供給する前記接合材の供給位置を調整する接合材供給位置調整工程と、を有する。

【0026】

上述の構成では、前記接合材供給位置調整工程において、前記接合材を供給する位置を前記保持部材の位置に合わせてそれぞれ個別に調整する。しかも、取得した数値データである複数の前記保持部材の位置に関する情報に基づいて接合部材の供給位置を個別に調整するので、前記保持部材毎に個別の位置合わせ等を行う必要がない。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0027】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイスの製造方法は、以下の構成を含むことが好ましい。圧電振動デバイスの製造方法は、前記保持部材供給位置において、複数の前記保持部材に前記接合材をそれぞれ供給する接合材供給工程と、前記保持部材供給位置において、前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子を前記接合材が供給されている複数の前記保持部材にそれぞれ配置する圧電素子接合工程と、を有する。

【0028】

上述の構成では、前記接合材供給工程において、複数の前記保持部材の位置に関する情報に基づいて、複数の前記保持部材における前記接合材の供給位置を調整している。また、前記圧電素子接合工程において、前記圧電素子の位置に関する情報と前記保持部材の位置に関する情報とに基づいて、複数の前記保持部材における複数の前記圧電素子の配置位置を調整している。したがって、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0029】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイスの製造方法は、以下の構成を含むことが好ましい。前記接合材供給位置調整工程は、複数の前記保持部材に前記接合材を供給する位置をそれぞれ同時に調整する工程である。また、前記圧電素子位置調整工程は、前記複数の圧電素子の位置を前記保持部材にそれぞれ配置可能なようにそれぞれ同時に調整する工程である。

【0030】

上述の構成では、前記圧電素子位置調整工程において、複数の前記圧電素子の配置位置を同時に調整し、前記接合材供給位置調整工程において、接合部材の複数の供給位置を同時に調整する。よって、前記保持部材に配置する前記圧電素子の数に関わらず、前記複数の圧電素子の配置位置及び前記接合材の供給位置を調整するために必要な時間が抑制される。したがって、タクトタイムを増加させることなく、供給材を複数の保持部材の所定の位置にそれぞれ供給することができる。また、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0031】

他の観点によれば、本発明の圧電振動デバイスの製造方法は、以下の構成を含むことが好ましい。前記圧電素子供給位置から前記保持部材供給位置まで搬送される複数の前記圧電素子の水平方向の位置及び前記圧電素子の向きに関する情報をそれぞれ取得する圧電素子位置情報取得工程と、前記保持部材供給位置に供給される複数の前記保持部材の水平方向及び鉛直方向の位置に関する情報をそれぞれ取得する保持部材位置情報取得工程と、を有する。

【0032】

上述の構成では、前記圧電素子位置情報取得工程において、前記圧電素子搬送工程での複数の前記圧電素子の水平方向の位置及び前記圧電素子の向きを測定する。つまり、前記圧電素子位置情報取得工程では、吸着された圧電素子の姿勢を測定している。また、前記保持部材位置情報取得工程において、複数の前記保持部材の水平方向だけでなく鉛直方向の位置をそれぞれ測定するので、複数の前記保持部材にそれぞれ配置する前記圧電素子の鉛直方向の位置を、対応する前記保持部材の鉛直方向の位置に基づいて独立して個別に調整することができる。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【0033】

［圧電振動デバイス］
本明細書において、圧電振動デバイスとは、圧電体に加えられた力を電圧に変換し、または圧電体に印加された電圧を力に変換する圧電素子を有する電子部品を意味する。圧電振動デバイスには、水晶振動子、水晶発振器等が含まれる。圧電振動デバイスは、発振回路、フィルタ回路、アクチュエータ、センサ等に使用される。

【0034】

［圧電素子］
本明細書において、圧電素子とは、加えられた力を電圧に変換し、または印加された電圧を力に変換する圧電体を意味する。圧電素子は、本実施形態において、水晶を特定の方向で切り出した板状の水晶振動片である。圧電素子は、蒸着、スパッタリング等により成膜された電極を有する。

【0035】

［保持部材］
本明細書において、保持部材とは、圧電素子を保持するための絶縁体からなる容器である。保持部材は、本実施形態においてセラミックス製の筐体である。保持部材は、内部に圧電素子と電気的に接続される電極を有する。保持部材は、内部に圧電素子を配置可能な凹部を有している。

【0036】

［接合材］
本明細書において、接合材とは、圧電素子を保持容器に接合する導電性の材料を意味する。接合材は、例えば、はんだ、接着材等である。接合材は、本実施形態において、熱硬化性の接着剤である。

【0037】

［相対距離］
本明細書において、相対距離とは、部品の中心同士の距離を意味する。

【0038】

［位置に関する情報］
本明細書において、位置に関する情報とは、圧電振動デバイス製造装置における任意の点を原点として、対象となる装置、部品等における特定の点のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向の座標を意味する。本実施形態における座標は、圧電振動デバイス製造装置における任意の点を原点とする座標系である。

【発明の効果】

【0039】

本発明の一実施形態によれば、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子を所定の位置に所定の向きで複数の保持部材にそれぞれ配置することができる。

【図面の簡単な説明】

【0040】

【図1】図１は、本発明の実施形態１に係る圧電振動デバイス製造装置の全体構成の概略を示す平面図である。

【図2A】図２Ａは、本発明の実施形態１に係る圧電振動デバイス製造装置に供給される複数の圧電素子とトレイとを示す平面図である。

【図2B】図２Ｂは、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置に供給される複数の保持部材の概略を示す平面図である。

【図3】図３は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置が有する複数の吸着ヘッドの全体構成の概略を示す平面図である。

【図4】図４は、図３におけるＡ矢視図である。

【図5】図５は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置が有する複数の供給ヘッドの全体構成の概略を示す側面図である。

【図6】図６は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置の制御構成を示すブロック図である。

【図7】図７は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置の複数の吸着ヘッドが保持部材供給位置に圧電素子を搬送した状態の概略を示す平面図である。

【図8】図８は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置の複数の吸着ヘッドが吸着ノズルの位置を調整した状態の概略を示す平面図である。

【図9】図９は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイスの製造方法のフロー図である。

【図10】図１０は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイスの製造方法における保持部材位置情報取得工程、圧電素子供給工程、保持部材供給工程、圧電素子位置決め工程及び保持部材位置決め工程における圧電振動デバイス製造装置の作動状態を示す平面図である。

【図11】図１１は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイスの製造方法における接合材供給位置調整工程及び接合材供給工程における圧電振動デバイス製造装置の作動状態を示す平面図である。

【図12】図１２は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイスの製造方法における圧電素子搬送工程、圧電素子位置情報取得工程、圧電素子位置調整工程及び圧電素子接合工程における圧電振動デバイス製造装置の作動状態を示す平面図である。

【図13】図１３は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置を含む圧電振動デバイス製造ラインの構成を示す平面図である。

【図14】図１４は、本発明の実施形態に係る圧電振動デバイス製造装置を含む圧電振動デバイス製造ラインの制御構成を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0041】

以下で、各実施形態について、図面を参照しながら説明する。各図において、同一部分には同一の符号を付して、その同一部分の説明は繰り返さない。なお、各図中の構成部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各構成部材の寸法比率等を忠実に表していない。

【0042】

なお、以下の本発明の実施の形態である圧電振動デバイス製造装置１の説明において、圧電素子Ｐを圧電素子供給位置Ｓｐまで搬送する方向を「Ｘ方向」と規定する。Ｘ方向に直交する方向であって圧電素子Ｐを圧電素子供給位置Ｓｐから保持部材供給位置Ｓｈまで搬送する方向を「Ｙ方向」と規定する。Ｘ方向とＹ方向に直交する方向を「Ｚ方向」と規定する。Ｚ方向に延びる軸線まわりを回転する回転方向をθ方向と規定する。また、本実施形態において、Ｘ方向及びＹ方向は、水平面上の方向である。Ｚ方向は、鉛直方向である。ただし、この方向の定義により、圧電振動デバイス製造装置１の使用時の向きを限定する意図はない。

【0043】

また、以下の説明において、“固定”、“接続”、“接合”及び“取り付ける”等（以下、固定等）の表現は、部材同士が直接、固定等されている場合だけでなく、他の部材を介して固定等されている場合も含む。すなわち、以下の説明において、固定等の表現には、部材同士の直接的及び間接的な固定等の意味が含まれる。

【0044】

［実施形態１］
＜圧電振動デバイス製造装置の全体構成＞
図１から図６を用いて、本発明の圧電振動デバイスを製造する装置である圧電振動デバイス製造装置の実施形態１である圧電振動デバイス製造装置１について説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る圧電振動デバイス製造装置１の全体構成の概略を示す平面図である。図２Ａは、圧電振動デバイス製造装置１に供給される複数の圧電素子ＰとトレイＴとを示す平面図である。図２Ｂは、圧電振動デバイス製造装置１に供給される複数の保持部材Ｈの概略を示す平面図である。図３は、圧電振動デバイス製造装置１が有する複数の吸着ヘッド２０の全体構成の概略を示す平面図である。図４は、図３におけるＡ矢視図である。図５は、圧電振動デバイス製造装置１が有する複数の供給ヘッド３０の全体構成の概略を示す側面図である。図６は、圧電振動デバイス製造装置１の制御構成を示すブロック図である。

【0045】

図１に示すように、圧電振動デバイス製造装置１は、架台２、圧電素子供給装置１０、保持部材供給装置１１、吸着ヘッド移動装置１２、供給ヘッド移動装置１３、圧電素子位置測定装置であるカメラ１４、保持部材位置測定装置であるレーザ測定装置１５、制御装置１６、吸着ヘッド２０及び供給ヘッド３０を有する。圧電振動デバイス製造装置１は、架台２の水平な面である載置面上に各装置が配置されている。圧電振動デバイス製造装置１は、図示しない供給ラインから複数の圧電素子Ｐと複数の保持部材Ｈとが供給される。

【0046】

図２Ａ及び図２Ｂに示すように、圧電振動デバイス製造装置１には、複数の圧電素子Ｐが互いの相対距離を維持した状態で供給される。本実施形態において、圧電素子Ｐの容器であるトレイＴには、圧電素子Ｐが配置される複数の凹部Ｃが設けられている。凹部Ｃは平面視で矩形となっている。トレイＴには、間隔Ｐｘ毎にＸ方向に設けられた複数の凹部Ｃの一群が、間隔Ｐｙ毎にＹ方向に並べられている。つまり、トレイＴには、複数の凹部ＣがＸ方向に間隔Ｐｘ毎に位置し且つＹ方向に間隔Ｐｙ毎に位置するマトリクス状に配置されている。圧電素子Ｐは、トレイＴの凹部Ｃ内にそれぞれ位置している。なお、隣り合う凹部Ｃの間隔Ｐｘ、間隔Ｐｙは、平面視矩形の凹部Ｃの中心（対角線の交点）間の間隔である。

【0047】

圧電振動デバイス製造装置１には、複数の保持部材Ｈが互いの相対距離を維持した状態で供給される。本実施形態において、複数の保持部材Ｈは、間隔Ｐｘ毎にＸ方向に整列した複数の保持部材Ｈの一群が、間隔Ｐｙ毎にＹ方向に整列している。つまり、複数の保持部材Ｈは、Ｘ方向に間隔Ｐｘ毎に位置し且つＹ方向に間隔Ｐｙ毎に位置するマトリクス状に配置されている。また、複数の保持部材Ｈは、互いに連結したシート状に形成されている。なお、シート状に配置された複数の保持部材Ｈは、凹部ＣのＸ方向の間隔Ｐｘ、Ｙ方向の間隔Ｐｙに対応するように位置している。

【0048】

保持部材Ｈは、例えば、平面視において長方形状である。保持部材Ｈは、例えば、長辺２．０ｍｍ、短辺１．６ｍｍの大きさに構成されている。また、保持部材Ｈは、例えば、長辺１．６ｍｍ、短辺１．２ｍｍの大きさに構成されている。また、保持部材Ｈは、例えば、長辺１．２ｍｍ、短辺１．０ｍｍの大きさに構成されている。なお、複数の保持部材が互いに連結して形成されたシートの大きさは、保持部材Ｈの大きさに関わらず同じ大きさになるように構成されている。つまり、シートは、保持部材Ｈの大きさに応じてシートに含まれる保持部材Ｈの数が異なる。このように構成することで、圧電振動デバイス製造装置１は、保持部材Ｈの大きさが変更されても後述する吸着ヘッド移動装置１２、供給ヘッド移動装置１３等を交換する必要がない。

【0049】

図１に示すように、圧電素子供給装置１０は、複数の圧電素子Ｐが収容されているトレイＴを圧電素子供給位置Ｓｐまで搬送するとともに、圧電素子供給位置Ｓｐにおいて供給対象の圧電素子Ｐの位置を決める位置決め装置である。圧電素子供給装置１０は、本実施形態において、アクチュエータであるサーボモータと直動機構であるボールねじユニットとを有する１軸の直動ユニットである。圧電素子供給装置１０は、鉛直方向に見て圧電素子Ｐを搬送する方向をＸ方向として架台２上に配置される。

【0050】

圧電素子供給装置１０は、トレイＴを載置するトレイ載置部１０ａを有している。圧電素子供給装置１０は、サーボモータの回転量に応じてトレイ載置部１０ａを稼働範囲内の任意の位置に移動可能である。圧電素子供給装置１０には、圧電素子待機位置Ｗｐにおいて、図示しない外部の供給ラインからトレイＴがトレイ載置部１０ａに供給される。トレイ載置部１０ａに載置されたトレイＴを圧電素子供給位置Ｓｐまで搬送可能である。なお、圧電素子供給装置１０における圧電素子供給位置Ｓｐは、予め定められている。また、圧電素子供給装置１０は、トレイＴに収容された複数の圧電素子Ｐのうち、供給対象の圧電素子Ｐを圧電素子供給位置Ｓｐに位置決めするために、供給対象の圧電素子Ｐのトレイ載置部１０ａ上の位置に基づいて、供給対象の圧電素子Ｐ毎にトレイ載置部１０ａの停止位置が定められる。圧電素子供給装置１０は、供給対象の圧電素子Ｐ毎に定められた停止位置に基づいて供給対象の圧電素子Ｐを圧電素子供給位置Ｓｐに位置決めする。

【0051】

保持部材供給装置１１は、シート状に連結された複数の保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈまで搬送するとともに、保持部材供給位置Ｓｈにおいて供給対象の保持部材Ｈの位置を位置決めする装置である。保持部材供給装置１１は、本実施形態において、アクチュエータであるサーボモータと直動機構であるボールねじユニット等とを有する１軸の直動ユニットである。保持部材供給装置１１は、鉛直方向に見て保持部材Ｈを搬送する方向をＸ方向として架台２上に配置される。

【0052】

保持部材供給装置１１は、架台２上の圧電素子供給装置１０と隣り合う位置に配置される。保持部材供給装置１１は、複数の保持部材Ｈを載置する保持部材載置部１１ａを有している。保持部材供給装置１１は、サーボモータの回転量に応じて保持部材載置部１１ａを稼働範囲内の任意の位置に移動可能である。保持部材供給装置１１には、保持部材待機位置Ｗｈにおいて、図示しない外部の供給ラインから保持部材載置部１１ａに複数の保持部材Ｈが供給される。保持部材供給装置１１は、保持部材載置部１１ａに載置された複数の保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈまで搬送可能である。なお、保持部材供給装置１１における保持部材供給位置Ｓｈは、予め定められている。また、保持部材供給装置１１は、シート状に整列された複数の保持部材Ｈのうち、任意の位置の保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈに位置決めするために、供給対象の保持部材Ｈの保持部材載置部１１ａ上の位置に基づいて、供給対象の保持部材Ｈ毎に保持部材載置部１１ａの停止位置が定められる。保持部材供給装置１１は、供給対象の保持部材Ｈ毎に定められた停止位置に基づいて供給対象の保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈに位置決めする。

【0053】

吸着ヘッド移動装置１２は、複数の吸着ヘッド２０を同時に移動する装置である。吸着ヘッド移動装置１２は、本実施形態において、アクチュエータであるサーボモータと直動機構であるボールねじユニット等とを有する１軸の直動ユニットである。吸着ヘッド移動装置１２は、鉛直方向に見て複数の吸着ヘッド２０を搬送する方向をＹ方向として架台２上に配置される。また、吸着ヘッド移動装置１２は、圧電素子供給装置１０及び保持部材供給装置１１よりも鉛直方向（Ｚ方向）の上方に位置している。

【0054】

吸着ヘッド移動装置１２は、複数の吸着ヘッド２０を載置する吸着ヘッド載置部１２ａを有している。吸着ヘッド載置部１２ａは、複数の吸着ヘッド２０を搭載する水平な載置面を有している。吸着ヘッド移動装置１２は、サーボモータの回転量に応じて吸着ヘッド載置部１２ａを稼働範囲内の任意の位置に移動可能である。吸着ヘッド移動装置１２は、吸着ヘッド載置部１２ａの載置面に載置された複数の吸着ヘッド２０を圧電素子供給位置Ｓｐから保持部材供給位置Ｓｈまでの間において往復移動させる。

【0055】

吸着ヘッド移動装置１２は、複数の吸着ヘッド２０を圧電素子供給位置Ｓｐに移動させるために、供給対象の圧電素子Ｐのトレイ載置部１０ａ上の位置に基づいて、供給対象の圧電素子Ｐ毎に吸着ヘッド載置部１２ａの停止位置が定められる。同様に、吸着ヘッド移動装置１２は、複数の吸着ヘッド２０を保持部材供給位置Ｓｈに移動させるために、供給対象の保持部材Ｈの保持部材載置部１１ａ上の位置に基づいて、供給対象の保持部材Ｈ毎に吸着ヘッド載置部１２ａの停止位置が定められる。

【0056】

供給ヘッド移動装置１３は、複数の供給ヘッド３０を同時に移動する装置である。供給ヘッド移動装置１３は、本実施形態において、アクチュエータであるサーボモータと直動機構であるボールねじユニット等とを有する１軸の直動ユニットである。供給ヘッド移動装置１３は、鉛直方向に見て、複数の供給ヘッド３０を搬送する方向をＹ方向として架台２上に配置される。供給ヘッド移動装置１３は、保持部材供給装置１１の鉛直方向（Ｚ方向）の上方に位置している。

【0057】

供給ヘッド移動装置１３は、複数の供給ヘッド３０を載置する供給ヘッド載置部１３ａを有している。供給ヘッド載置部１３ａは、複数の供給ヘッド３０を搭載する水平な載置面を有している。供給ヘッド移動装置１３は、サーボモータの回転量に応じて供給ヘッド載置部１３ａを稼働範囲内の任意の位置に移動可能である。供給ヘッド移動装置１３は、供給ヘッド載置部１３ａに載置された複数の供給ヘッド３０を待機位置Ｗから保持部材供給位置Ｓｈまで搬送可能である。なお、供給ヘッド移動装置１３は、複数の供給ヘッド３０を保持部材供給位置Ｓｈに移動させるために、供給対象の保持部材Ｈの保持部材載置部１１ａ上の位置に基づいて、供給対象の保持部材Ｈ毎に供給ヘッド載置部１３ａの停止位置が定められる。

【0058】

図３と図４とに示すように、吸着ヘッド２０は、吸着ノズル２８によって圧電素子Ｐを吸着し、保持部材Ｈの凹部内に配置する装置である。吸着ヘッド２０は、吸着ヘッド用水平移動機構２１と、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４と、吸着ヘッド用回転移動機構２６と、吸着ノズル２８とを有する。

【0059】

吸着ヘッド用水平移動機構２１は、第１の方向に移動する板状の吸着ヘッド用第１移動部材２２と、第１の方向と異なる第２の方向に移動する板状の吸着ヘッド用第２移動部材２３とを有する。吸着ヘッド用第１移動部材２２は、アクチュエータであるステッピングモータとカム機構によって第１の方向に移動可能である。吸着ヘッド用第２移動部材２３は、アクチュエータであるステッピングモータとカム機構によって第２の方向に移動可能である。

【0060】

吸着ヘッド用第１移動部材２２は、吸着ヘッド移動装置１２の吸着ヘッド載置部１２ａに配置される。この際、吸着ヘッド用第１移動部材２２は、鉛直方向に見て、移動方向である第１の方向が水平方向におけるＸ方向になるように配置される。これにより、吸着ヘッド用第１移動部材２２は、吸着ヘッド載置部１２ａに対して水平方向におけるＸ方向に移動可能である。

【0061】

吸着ヘッド用第２移動部材２３は、吸着ヘッド用第１移動部材２２に配置される。吸着ヘッド用第２移動部材２３は、鉛直方向に見て、移動方向である第２の方向が水平方向におけるＸ方向に直交するＹ方向になるように配置される。これにより、吸着ヘッド用第２移動部材２３は、吸着ヘッド用第１移動部材２２に対して水平方向におけるＸ方向に直交するＹ方向に移動可能である。

【0062】

このように構成される吸着ヘッド用水平移動機構２１は、吸着ヘッド用第１移動部材２２によって吸着ヘッド用第２移動部材２３を吸着ヘッド載置部１２ａに対して水平方向におけるＸ方向に移動可能である。また、吸着ヘッド用水平移動機構２１は、吸着ヘッド用第２移動部材２３を吸着ヘッド用第１移動部材２２に対して水平方向におけるＸ方向に直交するＹ方向に移動可能である。つまり、吸着ヘッド用水平移動機構２１は、吸着ヘッド用第２移動部材２３を吸着ヘッド載置部１２ａに対して水平方向におけるＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に移動可能である。

【0063】

吸着ヘッド用鉛直移動機構２４は、吸着ヘッド用水平移動機構２１の移動方向である第１の方向及び第２の方向に対して垂直な方向に移動する板状の吸着ヘッド用第３移動部材２５を有する。吸着ヘッド用第３移動部材２５は、アクチュエータであるサーボモータと直動機構であるボールねじユニット等によって第３の方向に移動可能である。

【0064】

吸着ヘッド用第３移動部材２５は、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４に搭載される。この際、吸着ヘッド用第３移動部材２５は、移動方向である第３の方向がＺ方向になるように配置される。これにより、吸着ヘッド用第３移動部材２５は、吸着ヘッド載置部１２ａに対して水平方向におけるＸ方向及びＹ方向に移動可能、且つ鉛直方向であるＺ方向に移動可能である。

【0065】

吸着ヘッド用回転移動機構２６は、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４の移動方向である第３の方向に延びる軸線まわりに移動（回転）する筒状の吸着ヘッド用第４移動部材２７を有する。吸着ヘッド用第４移動部材２７は、アクチュエータであるステッピングモータ等によって回転方向に移動可能である。

【0066】

吸着ヘッド用第４移動部材２７は、吸着ヘッド用回転移動機構２６に搭載される。この際、吸着ヘッド用第４移動部材２７は、回転軸線である第３の方向がＺ方向になるように配置される。つまり、吸着ヘッド用第４移動部材２７は、鉛直軸まわりの回転方向であるθ方向に回転可能である。これにより、吸着ヘッド用第４移動部材２７は、吸着ヘッド載置部１２ａに対して水平方向におけるＸ方向及びＹ方向に移動可能、且つ鉛直方向であるＺ方向に移動可能、且つθ方向に回転可能である。

【0067】

吸着ノズル２８は、トレイＴの凹部Ｃ内の圧電素子Ｐを吸着するノズルである。吸着ノズル２８は、吸着ヘッド用第４移動部材２７に搭載される。吸着ノズル２８は、吸着ヘッド用第４移動部材２７の下端部に配置される。吸着ノズル２８は、圧電素子Ｐを吸着可能な下端部形状を有している。また、吸着ノズル２８は、下端部に吸着孔を有している。吸着ノズル２８は、吸着孔を圧電素子Ｐによって塞いだ状態において吸着孔内の圧力を負圧にすることで圧電素子Ｐを吸着する。吸着ヘッド用第４移動部材２７に配置される吸着ノズル２８は、吸着ヘッド載置部１２ａに対して水平方向におけるＸ方向及びＹ方向に移動可能、且つ鉛直方向であるＺ方向に移動可能、且つθ方向に回転可能である。

【0068】

このように吸着ヘッド２０を構成する吸着ヘッド用水平移動機構２１、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４及び吸着ヘッド用回転移動機構２６は、それぞれの移動方向毎にアクチュエータであるサーボモータを有している。また、吸着ヘッド用水平移動機構２１、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４及び吸着ヘッド用回転移動機構２６は、互いに連動するように構成されていない。つまり、吸着ヘッド用水平移動機構２１、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４及び吸着ヘッド用回転移動機構２６は、互いに独立して個別にそれぞれの移動方向に移動可能である。

【0069】

圧電振動デバイス製造装置１は、複数の吸着ヘッド２０を有している。圧電振動デバイス製造装置１は、例えば４台の吸着ヘッド２０を有している。４台の吸着ヘッド２０は、吸着ヘッド移動装置１２の吸着ヘッド載置部１２ａに搭載されている。これにより、４台の吸着ヘッド２０は、吸着ヘッド移動装置１２によって同時に圧電素子供給位置Ｓｐと保持部材供給位置Ｓｈとの間を移動可能に構成されている。一方、４台の吸着ヘッド２０の可動部分は、互いに連結されていない。つまり、４台の吸着ヘッド２０の吸着ノズル２８は、吸着ヘッド載置部１２ａに搭載された状態において、互いに独立して個別にＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向に移動可能である。

【0070】

吸着ヘッド２０は、Ｘ方向に２台並んで配置される。また、Ｘ方向に２台並んで配置された吸着ヘッド２０のＹ方向には、吸着ヘッド２０が１台ずつ並んで配置される。つまり、４台の吸着ヘッド２０は、Ｘ方向とＹ方向とに並ぶマトリクス状に配置される。Ｘ方向に並んだ吸着ヘッド２０の吸着ノズル２８は、トレイＴ上に設けられた凹部Ｃ及びシート状の保持部材Ｈの間隔Ｐｘの整数倍であるＡ倍の間隔になるように配置されている。Ｙ方向に並んだ吸着ヘッド２０の吸着ノズル２８は、トレイＴ上に設けられた凹部Ｃ及びシート状の保持部材Ｈの間隔Ｐｙの整数倍であるＢ倍の間隔になるように配置されている。

【0071】

このように構成することで４台の吸着ヘッド２０は、圧電素子供給位置Ｓｐにおいて、それぞれの吸着ノズル２８によってトレイＴ上に位置する圧電素子Ｐをそれぞれ一つずつ吸着可能である。つまり、４台の吸着ヘッド２０は、任意に選択した圧電素子Ｐ、前記任意に選択した圧電素子ＰからＸ方向にＡ個目の圧電素子Ｐ、前記任意に選択した圧電素子ＰからＹ方向にＢ個目の圧電素子Ｐ、及び前記任意に選択した圧電素子ＰからＸ方向にＡ個目、且つＹ方向にＢ個目の圧電素子Ｐをそれぞれ吸着可能である。

【0072】

同様に、４台の吸着ヘッド２０は、保持部材供給位置Ｓｈにおいて、それぞれの吸着ノズル２８が吸着している圧電素子Ｐを一つずつ保持部材Ｈの凹部内に配置可能である。つまり、４台の吸着ヘッド２０は、任意に選択した保持部材Ｈ、前記任意に選択した保持部材ＨからＸ方向にＡ個目の保持部材Ｈ、前記任意に選択した保持部材ＨからＹ方向にＢ個目の保持部材Ｈ、及び前記任意に選択した保持部材ＨからＸ方向にＡ個目、且つＹ方向にＢ個目の保持部材Ｈをそれぞれ吸着可能である。

【0073】

図５に示すように、供給ヘッド３０は、シート状の複数の保持部材Ｈの凹部内に接合材を供給する装置である。供給ヘッド３０は、供給ヘッド用水平移動機構３１と、供給ヘッド用鉛直移動機構３４と、供給装置３６とを有する。

【0074】

供給ヘッド用水平移動機構３１は、第１の方向に移動する供給ヘッド用第１移動部材３２と、第１の方向と異なる第２の方向に移動する供給ヘッド用第２移動部材３３とを有する。供給ヘッド用第１移動部材３２は、アクチュエータであるステッピングモータとカム機構によって第１の方向に移動可能である。供給ヘッド用第２移動部材３３は、アクチュエータであるステッピングモータとカム機構によって第２の方向に移動可能である。

【0075】

供給ヘッド用第１移動部材３２は、供給ヘッド移動装置１３の供給ヘッド載置部１３ａに配置される。この際、供給ヘッド用第１移動部材３２は、鉛直方向に見て、移動方向である第１の方向がＸ方向になるように配置される。これにより、供給ヘッド用第１移動部材３２は、供給ヘッド載置部１３ａに対して水平方向におけるＸ方向に移動可能である。

【0076】

供給ヘッド用第２移動部材３３は、供給ヘッド用第１移動部材３２に配置される。供給ヘッド用第２移動部材３３は、鉛直方向に見て、移動方向である第２の方向が水平方向におけるＸ方向に直交するＹ方向になるように配置される。これにより、供給ヘッド用第２移動部材３３は、供給ヘッド用第１移動部材３２に対して水平方向におけるＹ方向に移動可能である。

【0077】

このように構成される供給ヘッド用水平移動機構３１は、供給ヘッド用第１移動部材３２によって供給ヘッド用第２移動部材３３を供給ヘッド載置部１３ａに対して水平方向におけるＸ方向に移動可能である。また、供給ヘッド用水平移動機構３１は、供給ヘッド用第２移動部材３３を供給ヘッド用第１移動部材３２に対して水平方向におけるＸ方向に直交するＹ方向に移動可能である。つまり、供給ヘッド用水平移動機構３１は、供給ヘッド用第２移動部材３３を供給ヘッド載置部１３ａに対して水平方向におけるＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に移動可能である。

【0078】

供給ヘッド用鉛直移動機構３４は、供給ヘッド用水平移動機構３１の移動方向である第１の方向及び第２の方向に対して垂直な方向に移動する板状の供給ヘッド用第３移動部材３５を有する。供給ヘッド用第３移動部材３５は、アクチュエータであるサーボモータと直動機構であるボールねじユニット等によって第３の方向に移動可能である。

【0079】

供給ヘッド用第３移動部材３５は、供給ヘッド用第２移動部材３３に配置される。この際、供給ヘッド用第３移動部材３５は、移動方向である第３の方向がＺ方向になるように配置される。これにより、供給ヘッド用第３移動部材３５は、供給ヘッド載置部１３ａに対して水平方向におけるＸ方向及びＹ方向に移動可能、且つ鉛直方向であるＺ方向に移動可能である。

【0080】

供給装置３６は、圧電素子Ｐを配置する保持部材Ｈの凹部内に接合材を供給する装置である。供給装置３６は、本実施形態において導電性の接着剤を所定量だけ吐出する吐出装置である。供給装置３６は、供給ヘッド用第３移動部材３５に配置される。供給装置３６は、鉛直方向（Ｚ方向）下方の保持部材Ｈの凹部内に接合材を供給可能な形状の吐出ノズル３６ａを有する。供給装置３６は、水平方向に見て、鉛直方向（Ｚ方向）下方に向かって吐出ノズル３６ａから接合材を吐出する。また、吐出ノズル３６ａは、Ｚ方向から保持部材Ｈに接触した場合、Ｚ方向に移動可能に構成されている。供給ヘッド用第３移動部材３５に搭載される供給装置３６は、供給ヘッド載置部１３ａに対して水平方向におけるＸ方向及びＹ方向に移動可能、且つ鉛直方向であるＺ方向に移動可能である。

【0081】

また、供給装置３６は、冷却装置３６ｂを有している。冷却装置３６ｂは、半導体熱電素子であるベルチェ素子と前記ペルチェ素子を冷却する空冷ファンとから構成されている。冷却装置３６ｂは、吐出ノズル３６ａの近傍に位置している。冷却装置３６ｂは、供給装置３６内の接合材の温度を適切な温度に維持する。これにより、供給装置３６は、内部の接合材の粘度が一定の範囲に維持されるので吐出ノズル３６ａにおける接合材のつまりを抑制することができる。

【0082】

また、供給装置３６は、吐出ノズル３６ａのＺ方向の位置を検出する接触センサ（図示せず）を有している。接触センサは、吐出ノズル３６ａのＺ方向の動きを検出するセンサである。よって、接触センサは、吐出ノズル３６ａの先端が保持部材Ｈに接触したことを検出可能である。後述する制御装置１６は、接触センサが吐出ノズル３６ａと保持部材Ｈとの接触を検出した際の供給ヘッド用第３移動部材３５の位置をゼロ点として供給装置３６を制御する。接触センサは、供給ヘッド用第３移動部材３５が有する図示しないＺ方向の案内装置よりも供給装置３６側に配置される。好ましくは、接触センサは、吐出ノズル３６ａのＺ軸線上に配置される。

【0083】

このように供給ヘッド３０を構成する供給ヘッド用水平移動機構３１及び供給ヘッド用鉛直移動機構３４は、それぞれの移動方向毎にアクチュエータであるサーボモータを有している。また、供給ヘッド用水平移動機構３１及び供給ヘッド用鉛直移動機構３４は、互いに連動するように構成されていない。すなわち、供給ヘッド用水平移動機構３１及び供給ヘッド用鉛直移動機構３４は、互いに独立して個別に移動可能である。

【0084】

圧電振動デバイス製造装置１は、複数の供給ヘッド３０を有している。圧電振動デバイス製造装置１は、例えば４台の供給ヘッド３０を有している。４台の供給ヘッド３０は、供給ヘッド移動装置１３の供給ヘッド載置部１３ａに配置されている。これにより、４台の供給ヘッド３０は、供給ヘッド移動装置１３によって同時に待機位置Ｗと保持部材供給位置Ｓｈとの間を移動可能に構成される。一方、４台の供給ヘッド３０の可動部分は、互いに連結されていない。つまり、４台の供給ヘッド３０の供給装置３６は、供給ヘッド載置部１３ａに搭載された状態において、互いに独立して個別にＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動可能である。

【0085】

供給ヘッド３０は、Ｘ方向に２台並んで配置される。また、Ｘ方向に２台並んで配置された供給ヘッド３０のＹ方向には、供給ヘッド３０が１台ずつ並んで配置される。つまり、４台の供給ヘッド３０はＸ方向とＹ方向とに並ぶマトリクス状に配置される。Ｘ方向に並んだ供給ヘッド３０の供給装置３６の吐出ノズル３６ａは、シート状の保持部材Ｈの間隔Ｐｘの整数倍であるＡ倍の間隔になるように配置されている。Ｙ方向に並んだ供給ヘッド３０の供給装置３６の吐出ノズル３６ａは、シート状の保持部材Ｈの間隔Ｐｙの整数倍であるＢ倍の間隔になるように配置されている。

【0086】

また、供給ヘッド載置部１３ａには、供給装置３６が捨て打ちのした接合材の塗布径を確認する確認カメラ３７が載置されている。さらに、後述する待機位置Ｗであって、供給装置３６の下方には、供給装置３６が捨て打ちを行う捨て打ち部３８が配置されている。

【0087】

このように構成することで４台の供給ヘッド３０は、保持部材供給位置Ｓｈにおいて、保持部材Ｈに接合材を供給する際に供給ヘッド移動装置１３及び供給ヘッド用水平移動機構３１によって供給装置３６の位置を移動させることなくそれぞれの供給装置３６によって保持部材Ｈに接合材を供給可能である。つまり、４台の供給ヘッド３０は、任意に選択した保持部材Ｈ、前記任意に選択した保持部材ＨからＸ方向にＡ個目の保持部材Ｈ、前記任意に選択した保持部材ＨからＹ方向にＢ個目の保持部材Ｈ、及び前記任意に選択した保持部材ＨからＸ方向にＡ個目、且つＹ方向にＢ個目の保持部材Ｈに接合材を供給可能である。

【0088】

図１と図６とに示すように、圧電素子位置測定装置であるカメラ１４は、４つの吸着ノズル２８がそれぞれ吸着した圧電素子Ｐの吸着ヘッド２０に対する位置を測定するカメラである。カメラ１４は、架台２上であって、吸着ヘッド移動装置１２よりも鉛直方向の下方に位置している。また、カメラ１４は、鉛直方向に見て、吸着ヘッド移動装置１２によって移動する吸着ヘッド２０と重なる位置に配置される。また、カメラ１４は、鉛直方向上方を撮影するように設置される。これにより、カメラ１４は、吸着ヘッド移動装置１２によって移動される吸着ヘッド２０と、吸着ヘッド２０がそれぞれ吸着している圧電素子Ｐとを吸着ヘッド２０の下方から撮影可能である。つまり、カメラ１４は、４つの吸着ノズル２８がそれぞれ吸着した圧電素子Ｐの吸着ヘッド２０に対する位置を測定するための画像を撮影可能である。

【0089】

保持部材位置測定装置であるレーザ測定装置１５は、シート状に連結された複数の保持部材Ｈの位置を含む形状を測定する測定装置である。レーザ測定装置１５は、架台２上であって、保持部材供給装置１１よりも鉛直方向の上方に位置している。また、レーザ測定装置１５は、鉛直方向に見て、保持部材供給装置１１によって搬送されるシート状の保持部材Ｈと重なる位置に配置される。また、レーザ測定装置１５は、鉛直方向下方にレーザを照射するように設置される。これにより、レーザ測定装置１５は、保持部材供給装置１１に供給されたシート状の保持部材Ｈを保持部材Ｈの上方から測定可能である。

【0090】

つまり、レーザ測定装置１５は、シート状に連結された複数の保持部材Ｈのそれぞれの形状、位置、鉛直方向における各部位の厚さ情報に基づいて形状を三次元で測定可能である。また、レーザ測定装置１５は、それぞれの保持部材Ｈの水平方向における位置および回転度合に対して整合するように回転及び水平方向に移動可能に構成されている。これにより、レーザ走査による保持部材の位置を含む形状をより正確に測定することができる。

【0091】

図６に示すように、制御装置１６は、圧電素子供給装置１０、保持部材供給装置１１、吸着ヘッド移動装置１２、供給ヘッド移動装置１３、吸着ヘッド２０、供給ヘッド３０、カメラ１４及びレーザ測定装置１５を制御する。制御装置１６は、実体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等がバスで接続されている。または、制御装置１６は、ワンチップのＬＳＩ等からなる構成であってもよい。制御装置１６は、各アクチュエータ、カメラ１４、レーザ測定装置１５の動作を制御したり画像データを処理したりするために種々のプログラムおよびデータが格納されている。

【0092】

制御装置１６は、圧電素子供給装置１０、保持部材供給装置１１、吸着ヘッド移動装置１２及び供給ヘッド移動装置１３の各サーボモータと電気的に接続され、それぞれ独立して個別に制御可能である。また、制御装置１６は、吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用水平移動機構２１、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４及び吸着ヘッド用回転移動機構２６のサーボモータと電気的に接続され、それぞれ独立して個別に制御可能である。また、制御装置１６は、図示しない吸着ヘッド２０の吸引切替用の電磁弁を制御可能である。また、制御装置１６は、供給ヘッド用水平移動機構３１及び供給ヘッド用鉛直移動機構３４のサーボモータと電気的に接続され、それぞれ独立して個別に制御可能である。また、制御装置１６は、４つの供給装置３６と電気的に接続され、それぞれ独立して個別に制御可能である。

【0093】

制御装置１６は、カメラ１４と電気的に接続され、カメラ１４を制御可能である。また、制御装置１６は、カメラ１４が撮影した画像を取得可能である。また、制御装置１６は、レーザ測定装置１５と電気的に接続され、レーザ測定装置１５を制御可能である。また、制御装置１６は、レーザ測定装置１５が測定した複数の保持部材Ｈのそれぞれの位置、形状についての測定値を取得可能である。

【0094】

このように構成される圧電振動デバイス製造装置１は、吸着ノズル２８をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向に独立して個別に移動可能な吸着ヘッド２０を複数有している。更に、圧電振動デバイス製造装置１は、複数の吸着ヘッド２０における吸着ノズル２８の位置をそれぞれ独立して個別に制御可能である。また、圧電振動デバイス製造装置１は、接合材の供給装置３６をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向及に独立して個別に移動可能な供給ヘッド３０を複数有している。更に、圧電振動デバイス製造装置１は、複数の供給ヘッド３０における供給装置３６の位置をそれぞれ独立して個別に制御可能である。

【0095】

＜圧電素子の吸着位置と保持部材の位置について＞
次に、図２Ａ及び図２Ｂを用いて本発明の圧電振動デバイス製造装置１の４つの吸着ヘッド２０が吸着する圧電素子ＰのトレイＴ上における位置と、圧電素子Ｐが配置される保持部材Ｈの位置とについて説明する。

【0096】

４つの吸着ヘッド２０における吸着ノズル２８は、互いにＸ方向に間隔ＰｘのＡ倍の間隔を有し、Ｙ方向に間隔ＰｙのＢ倍の間隔を有している。よって、４つの吸着ヘッド２０のうち第１の吸着ヘッド２０は、圧電素子Ｐが収容されているトレイＴ上の複数の凹部Ｃのうち任意の位置の凹部Ｃに収容されている第１圧電素子Ｐ１を吸着する。４つの吸着ヘッド２０のうち第２の吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１が収容されている凹部ＣからＸ方向にＡ個隣りの凹部Ｃに収容されている第２圧電素子Ｐ２を吸着する。４つの吸着ヘッド２０のうち第３の吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１が収容されている凹部ＣからＹ方向にＢ個隣りの凹部Ｃに収容されている第３圧電素子Ｐ３を吸着する。４つの吸着ヘッド２０のうち第４の吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１が収容されている凹部ＣからＸ方向にＡ個且つＹ方向にＢ個隣りの凹部Ｃに収容されている第４圧電素子Ｐ４を吸着する。

【0097】

４つの吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１が収容されている凹部ＣからＸ方向に１個隣りの凹部Ｃに収容されている圧電素子Ｐを吸着対象の圧電素子Ｐとして吸着する場合、第１圧電素子Ｐ１、第２圧電素子Ｐ２、第３圧電素子Ｐ３及び第４圧電素子Ｐ４がそれぞれ収容されている凹部ＣからＸ方向に１個隣りの凹部Ｃに収容されている圧電素子Ｐを吸着対象の圧電素子Ｐとして吸着する。４つの吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１が収容されている凹部ＣからＹ方向に１個隣りの凹部Ｃに収容されている圧電素子Ｐを吸着対象の圧電素子Ｐとして吸着する場合、第１圧電素子Ｐ１、第２圧電素子Ｐ２、第３圧電素子Ｐ３及び第４圧電素子Ｐ４がそれぞれ収容されている凹部ＣからＹ方向に１個隣りの凹部Ｃに収容されている圧電素子Ｐを吸着対象の圧電素子Ｐとして吸着する。

【0098】

従って、４つの吸着ヘッド２０は、トレイＴ上の複数の凹部Ｃにおいて、第１圧電素子Ｐ１、第２圧電素子Ｐ２、第３圧電素子Ｐ３及び第４圧電素子Ｐ４が収容されている凹部ＣからそれぞれＸ方向に（Ａ－１）個隣りの凹部Ｃまでの範囲と、第１圧電素子Ｐ１、第２圧電素子Ｐ２、第３圧電素子Ｐ３及び第４圧電素子Ｐ４が収容されている凹部ＣからそれぞれＹ方向に（Ｂ－１）個隣りの凹部Ｃまでの範囲で囲まれる４つの領域に含まれる凹部Ｃに収容されている圧電素子Ｐをそれぞれ吸着する。つまり、第１の吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１が収容される凹部Ｃを含む第１圧電素子領域Ｒｐ１内の圧電素子Ｐを吸着する。第２の吸着ヘッド２０は、第２圧電素子Ｐ２が収容される凹部Ｃを含む第２圧電素子領域Ｒｐ２内の圧電素子Ｐを吸着する。第３の吸着ヘッド２０は、第３圧電素子Ｐ３が収容される凹部Ｃを含む第３圧電素子領域Ｒｐ３内の圧電素子Ｐを吸着する。第４の吸着ヘッド２０は、第４圧電素子Ｐ４が収容される凹部Ｃを含む第４圧電素子領域Ｒｐ４内の圧電素子Ｐを吸着する。このように、各吸着ヘッド２０は、吸着ヘッド２０の数に対応した数で等しい形状の領域に含まれる圧電素子Ｐをそれぞれ吸着する。

【0099】

第１圧電素子Ｐ１を吸着している第１の吸着ヘッド２０は、任意の位置の保持部材Ｈである第１保持部材Ｈ１の凹部内に第１圧電素子Ｐ１を配置する。第２圧電素子Ｐ２を吸着している第２の吸着ヘッド２０は、第１保持部材Ｈ１からＸ方向にＡ個隣りの保持部材Ｈである第２保持部材Ｈ２の凹部内に第２圧電素子Ｐ２を配置する。第３圧電素子Ｐ３を吸着している第３の吸着ヘッド２０は、第１保持部材Ｈ１からＹ方向にＢ個隣りの保持部材Ｈである第３保持部材Ｈ３の凹部内に第３圧電素子Ｐ３を配置する。第４圧電素子Ｐ４を吸着している第４の吸着ヘッド２０は、第１保持部材Ｈ１からＸ方向にＡ個且つＹ方向にＢ個隣りの保持部材Ｈである第４保持部材Ｈ４の凹部内に第４圧電素子Ｐ４を配置する。このように、各保持部材Ｈは、圧電素子Ｐを保持している。

【0100】

４つの吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１を配置した第１保持部材Ｈ１からＸ方向に１個隣りの保持部材Ｈに圧電素子Ｐを配置する場合、第１保持部材Ｈ１、第２保持部材Ｈ２、第３保持部材Ｈ３及び第４保持部材Ｈ４からＸ方向に１個隣りの保持部材Ｈに圧電素子Ｐを配置する。４つの吸着ヘッド２０は、第１圧電素子Ｐ１を配置した第１保持部材Ｈ１からＹ方向に１個隣りの保持部材Ｈの凹部内に圧電素子Ｐを配置する場合、第１保持部材Ｈ１、第２保持部材Ｈ２、第３保持部材Ｈ３及び第４保持部材Ｈ４からＹ方向に１個隣りの保持部材Ｈの凹部内に圧電素子Ｐを配置する。

【0101】

従って、４つの吸着ヘッド２０は、シート状に連結された複数の保持部材Ｈにおいて、第１保持部材Ｈ１、第２保持部材Ｈ２、第３保持部材Ｈ３及び第４保持部材Ｈ４からそれぞれＸ方向に（Ａ－１）個隣りの保持部材Ｈまでの範囲と、第１保持部材Ｈ１、第２保持部材Ｈ２、第３保持部材Ｈ３及び第４保持部材Ｈ４からそれぞれＹ方向に（Ｂ－１）個隣りの保持部材Ｈまでの範囲とによって囲まれる４つの領域に含まれる保持部材Ｈの凹部内に圧電素子Ｐをそれぞれ配置する。つまり、第１の吸着ヘッド２０は、第１保持部材Ｈ１を含む第１保持部材領域Ｒｈ１内の保持部材Ｈの凹部内に第１圧電素子Ｐ１を配置する。第２の吸着ヘッド２０は、第２保持部材Ｈ２を含む第２保持部材領域Ｒｈ２内の保持部材Ｈの凹部内に第２圧電素子Ｐ２を配置する。第３の吸着ヘッド２０は、第３保持部材Ｈ３を含む第３保持部材領域Ｒｈ３内の保持部材Ｈの凹部内に第３圧電素子Ｐ３を配置する。第４の吸着ヘッド２０は、第４保持部材Ｈ４を含む第４保持部材領域Ｒｈ４内の保持部材Ｈの凹部内に第４圧電素子Ｐ４をそれぞれ配置する。このように、各吸着ヘッド２０は、吸着ヘッド２０の数に対応した数で互いに等しい形状の領域に含まれる保持部材Ｈの凹部内に圧電素子Ｐをそれぞれ配置する。

【0102】

なお、吸着ヘッド２０によって第１圧電素子領域Ｒｐ１内の任意の位置の凹部Ｃから吸着した圧電素子Ｐを、第１保持部材領域Ｒｈ１内において、吸着した圧電素子Ｐが収容されていた第１圧電素子領域Ｒｐ１内の凹部Ｃに対応する位置の保持部材Ｈに配置する場合、第１保持部材領域Ｒｈ１と第１圧電素子領域Ｒｐ１とは、等しい形状になる。第２保持部材領域Ｒｈ２と第２圧電素子領域Ｒｐ２とは、等しい形状になる。第３保持部材領域Ｒｈ３と第３圧電素子領域Ｒｐ３とは、等しい形状になる。第４保持部材領域Ｒｈ４と第４圧電素子領域Ｒｐ４とは、等しい形状になる。つまり、第１保持部材領域Ｒｈ１から第４保持部材領域Ｒｈ４内の保持部材Ｈの配置は、第１圧電素子領域Ｒｐ１から第４圧電素子領域Ｒｐ４内の圧電素子Ｐの配置と等しい。

【0103】

＜圧電素子の配置位置の調整＞
次に、図１、図７及び図８を用いて本発明の圧電振動デバイス製造装置１の吸着ヘッド２０における吸着ノズル２８の位置調整について説明する。図７は、圧電振動デバイス製造装置１の複数の吸着ヘッド２０が保持部材供給位置Ｓｈに圧電素子Ｐを搬送した状態の概略を示す平面図である。図８は、圧電振動デバイス製造装置１の複数の吸着ヘッド２０が吸着ノズル２８の位置を調整した状態の概略を示す平面図である。

【0104】

制御装置１６は、保持部材供給装置１１の位置に関する情報、吸着ヘッド移動装置１２の位置に関する情報、供給ヘッド移動装置１３の位置に関する情報、カメラ１４の位置に関する情報、レーザ測定装置１５の位置に関する情報、吸着ヘッド２０の位置に関する情報及び供給ヘッド３０の位置に関する情報を有している。

【0105】

図１に示すように、制御装置１６は、レーザ測定装置１５によって保持部材供給装置１１によって搬送されるシート状の複数の保持部材Ｈの形状を測定する。この際、制御装置１６は、レーザ測定装置１５が測定したシート状の複数の保持部材Ｈの形状についての測定値を取得する。制御装置１６は、保持部材Ｈの形状についての測定値を取得した後、保持部材供給装置１１によってシート状の複数の保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈまで搬送する。

【0106】

制御装置１６は、取得した複数の保持部材Ｈについての測定値とレーザ測定装置１５が測定した際の保持部材供給装置１１における複数の保持部材Ｈの搬送位置とから、測定した各保持部材ＨのＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向における中心位置と長手方向の向きであるθ方向とについての座標値であるＨ（ｎ）（ｘ０、ｙ０、ｚ０、θ０）をそれぞれ算出する。なお、（ｎ）は、保持部材Ｈの番号である。制御装置１６は、測定した保持部材Ｈの座標値であるＨ（ｎ）（ｘ０ｎ、ｙ０ｎ、ｚ０ｎ、θ０ｎ）を保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈとして記憶する。

【0107】

図７に示すように、制御装置１６は、複数の保持部材Ｈにおいて予め定められている圧電素子Ｐの接合順に基づいて、複数の保持部材Ｈのうち第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４が配置される第１保持部材Ｈ１から第４保持部材Ｈ４が保持部材供給位置Ｓｈに搬送されるように保持部材供給装置１１を制御する。制御装置１６は、算出した保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈに基づいて第１保持部材Ｈ１から第４保持部材Ｈ４の保持部材供給位置Ｓｈにおける座標値であるＨ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１、θ１１）、Ｈ２（ｘ１２、ｙ１２、ｚ１２、θ１２）、Ｈ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３、θ１３）、Ｈ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４、θ１４）を抽出する。

【0108】

制御装置１６は、第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４までの４つの圧電素子Ｐをそれぞれ吸着した４つの吸着ヘッド２０が保持部材供給位置Ｓｈまで搬送されるように吸着ヘッド移動装置１２を制御する。制御装置１６は、４つの吸着ヘッド２０が吸着ノズル２８でそれぞれ吸着した第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４を下方から撮影するようにカメラ１４を制御する。

【0109】

制御装置１６は、カメラ１４が撮影した画像を取得する。制御装置１６は、取得した画像から吸着ヘッド２０と、吸着ノズル２８に吸着された第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４を検出する。制御装置１６は、検出した吸着ヘッド２０及び吸着ノズル２８に吸着された第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４と、画像を撮影した際の吸着ヘッド移動装置１２における吸着ヘッド２０の搬送位置とから、検出した第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４のＸ方向及びＹ方向の中心位置と長手方向の向きを示す座標値であるＰ１（ｘ０１、ｙ０１、θ０１）、Ｐ２（ｘ０２、ｙ０２、θ０２）、Ｐ３（ｘ０３、ｙ０３、θ０３）、Ｐ４（ｘ０４、ｙ０４、θ０４）をそれぞれ算出する。

【0110】

制御装置１６は、第１保持部材Ｈ１から第４保持部材Ｈ４の保持部材供給位置ＳｈにおけるＸ方向、Ｙ方向及びθ方向の座標値であるＨ１（ｘ１１、ｙ１１、θ１１）、Ｈ２（ｘ１２、ｙ１２、θ１２）、Ｈ３（ｘ１３、ｙ１３、θ１３）、Ｈ４（ｘ１４、ｙ１４、θ１４）に基づいて、吸着ノズル２８に吸着された第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４の保持部材供給位置Ｓｈにおける座標値であるＰ１（ｘ１１、ｙ１１、θ１１）、Ｐ２（ｘ１２、ｙ１２、θ１２）、Ｐ３（ｘ１３、ｙ１３、θ１３）、Ｐ４（ｘ１４、ｙ１４、θ１４）を算出し、圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐとして記憶する。

【0111】

制御装置１６は、保持部材供給位置Ｓｈにおける第１圧電素子Ｐ１の座標値であるＰ１（ｘ１１、ｙ１１、θ１１）を、保持部材供給位置Ｓｈにおいて対応する第１保持部材Ｈ１の座標値であるＨ１（ｘ１１、ｙ１１、θ１１）に一致させるために必要な吸着ノズル２８のＸ方向、Ｙ方向、θ方向及びＺ方向の移動量であるＡｐ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１、θ１１）を算出する。同様にして、制御装置１６は、保持部材供給位置Ｓｈにおける第２圧電素子Ｐ２から第４圧電素子Ｐ４の座標値であるＰ２（ｘ１２、ｙ１２、θ１２）、Ｐ３（ｘ１３、ｙ１３、θ１３）、Ｐ４（ｘ１４、ｙ１４、θ１４）を、保持部材供給位置Ｓｈにおいてそれぞれ対応する第２保持部材Ｈ２から第４保持部材Ｈ４の座標値であるＨ２（ｘ１２、ｙ１２、θ１２）、Ｈ３（ｘ１３、ｙ１３、θ１３）、Ｈ４（ｘ１４、ｙ１４、θ１４）に一致させるために必要な吸着ノズル２８のＸ方向、Ｙ方向、θ方向の調整量及びＺ方向の移動量であるＡｐ２（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１、θ１１）、Ａｐ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３、θ１３）、Ａｐ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４、θ１４）を算出する。

【0112】

図８に示すように、制御装置１６は、算出した４つの吸着ノズル２８のＸ方向、Ｙ方向、θ方向の調整量及びＺ方向の移動量であるＡｐ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１、θ１１）、Ａｐ２（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１、θ１１）、Ａｐ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３、θ１３）、Ａｐ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４、θ１４）に基づいて、吸着ノズル２８の水平方向の位置及び傾きを吸着ヘッド２０毎に独立して個別に調整するために、それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用水平移動機構２１及び吸着ヘッド用回転移動機構２６を制御する。更に、制御装置１６は、算出したＺ方向の移動量に基づいて、第１圧電素子Ｐ１から第４圧電素子Ｐ４を第１保持部材Ｈ１から第４保持部材Ｈ４内に配置するために、それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用鉛直移動機構２４を制御する。つまり、制御装置１６は、圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐと保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈとに基づいて、吸着ノズル２８の位置を調整するために、それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用水平移動機構２１、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４または吸着ヘッド用回転移動機構２６のうち少なくとも一つを制御する。

【0113】

＜接合材の供給位置の調整＞
次に、本発明の圧電振動デバイス製造装置１の供給ヘッド３０における吐出ノズル３６ａの位置調整について説明する。

【0114】

制御装置１６は、４つの供給ヘッド３０を保持部材供給位置Ｓｈに搬送するために、供給ヘッド移動装置１３を制御する。制御装置１６は、供給ヘッド３０の位置に関する情報と、第１保持部材Ｈ１から第４保持部材Ｈ４の保持部材供給位置Ｓｈにおける座標値であるＨ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１、θ１１）、Ｈ２（ｘ１２、ｙ１２、ｚ１２、θ１２）、Ｈ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３、θ１３）、Ｈ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４、θ１４）とに基づいて、保持部材供給位置Ｓｈにおける４つの吐出ノズル３６ａの座標値であるＪ１（ｘ１１、ｙ１１）、Ｊ２（ｘ１２、ｙ１２）、Ｊ３（ｘ１３、ｙ１３）、Ｊ４（ｘ１４、ｙ１４）を算出し、接合材の位置に関する情報として記憶する。

【0115】

制御装置１６は、４つの供給装置３６のうち一つの保持部材供給位置Ｓｈにおける座標値であるＪ１（ｘ１１、ｙ１１）を、対応する第１保持部材Ｈ１の保持部材供給位置Ｓｈにおける座標値であるＨ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１、θ１１）と一致させるために必要な吐出ノズル３６ａのＸ方向、Ｙ方向、θ方向の調整量及びＺ方向の移動量であるＡｊ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１）を算出する。同様にして、制御装置１６は、他の３つの吐出ノズル３６ａの保持部材供給位置Ｓｈにおける座標値であるＪ２（ｘ１２、ｙ１２）、Ｊ３（ｘ１３、ｙ１３）、Ｊ４（ｘ１４、ｙ１４）を、それぞれ対応する第２保持部材Ｈ２から第４保持部材Ｈ４の保持部材供給位置Ｓｈにおける座標値であるＨ２（ｘ１２、ｙ１２、ｚ１２、θ１２）、Ｈ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３、θ１３）、Ｈ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４、θ１４）と一致させるために必要な吐出ノズル３６ａのＸ方向、Ｙ方向の調整量及びＺ方向の移動量であるＡｊ２（ｘ１２、ｙ１２、ｚ１２）、Ａｊ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３）、Ａｊ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４）を算出する。

【0116】

制御装置１６は、算出した４つの吸着ノズル２８のＸ方向、Ｙ方向、θ方向の調整量及びＺ方向の移動量であるＡｊ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１）、Ａｊ２（ｘ１２、ｙ１２、ｚ１２）、Ａｊ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３）、Ａｊ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４）に基づいて、吐出ノズル３６ａの水平方向の位置を供給ヘッド３０毎に独立して個別に調整するために、それぞれの供給ヘッド３０の供給ヘッド用水平移動機構３１を制御する。更に、制御装置１６は、Ａｊ１（ｘ１１、ｙ１１、ｚ１１）、Ａｊ２（ｘ１２、ｙ１２、ｚ１２）、Ａｊ３（ｘ１３、ｙ１３、ｚ１３）、Ａｊ４（ｘ１４、ｙ１４、ｚ１４）に基づいて、供給ヘッド３０毎に吐出ノズル３６ａを鉛直方向に移動させて接合材を保持部材Ｈの凹部内に配置するために、それぞれの供給ヘッド３０の供給ヘッド用鉛直移動機構３４を制御する。つまり、制御装置１６は、圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐと保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈとに基づいて、供給装置３６の位置を調整するために、それぞれの供給ヘッド３０の供給ヘッド用水平移動機構３１または供給ヘッド用鉛直移動機構３４のうち少なくとも一つを制御する。

【0117】

次に、図９から図１２を用いて、圧電振動デバイス製造装置１による圧電振動デバイスの製造方法に含まれる圧電素子搭載工程Ｓ１００について説明する。図９は、圧電振動デバイスの製造方法に含まれる圧電素子搭載工程Ｓ１００のフロー図である。図１０は、圧電素子搭載工程Ｓ１００おける保持部材位置情報取得工程Ｓ１１０、圧電素子供給工程Ｓ１２０、保持部材供給工程Ｓ１２５、圧電素子位置決め工程Ｓ１３０及び保持部材位置決め工程Ｓ１３５における圧電振動デバイス製造装置１の作動状態を示す平面図である。図１１は、圧電素子搭載工程Ｓ１００おける接合材供給位置調整工程Ｓ１４０及び接合材供給工程Ｓ１５０における圧電振動デバイス製造装置１の作動状態を示す平面図である。図１２は、圧電素子搭載工程Ｓ１００における圧電素子搬送工程Ｓ１６０、圧電素子位置情報取得工程Ｓ１７０、圧電素子位置調整工程Ｓ１８０及び圧電素子接合工程Ｓ１９０における圧電振動デバイス製造装置１の作動状態を示す平面図である。

【0118】

図９に示すように、圧電素子搭載工程Ｓ１００は、保持部材位置情報取得工程Ｓ１１０と、圧電素子供給工程Ｓ１２０と、保持部材供給工程Ｓ１２５と、圧電素子位置決め工程Ｓ１３０と、保持部材位置決め工程Ｓ１３５と、接合材供給位置調整工程Ｓ１４０と、接合材供給工程Ｓ１５０と、圧電素子搬送工程Ｓ１６０と、圧電素子位置情報取得工程Ｓ１７０と、圧電素子位置調整工程Ｓ１８０と、圧電素子接合工程Ｓ１９０とを有している。

【0119】

圧電振動デバイス製造装置１の初期状態として、圧電素子供給装置１０には、図示しない外部の供給ラインからトレイ載置部１０ａに複数の圧電素子Ｐが収容されたトレイＴが供給されている。また、保持部材供給装置１１には、図示しない外部の供給ラインから保持部材載置部１１ａにシート状の複数の保持部材Ｈが供給されている（図１参照）。

【0120】

保持部材位置情報取得工程Ｓ１１０は、複数の保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈを取得する工程である。保持部材位置情報取得工程Ｓ１１０において、レーザ測定装置１５は、保持部材供給装置１１によって複数の保持部材Ｈを移動させながら複数の保持部材Ｈの形状を測定する。レーザ測定装置１５は、測定値を制御装置１６に送信する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、保持部材位置情報取得工程Ｓ１１０が完了後、圧電素子供給工程Ｓ１２０に移行する。

【0121】

図１０に示すように、圧電素子供給工程Ｓ１２０は、トレイＴに収容された複数の圧電素子Ｐのうち、保持部材Ｈに搭載する圧電素子Ｐを圧電素子供給位置Ｓｐに供給する工程である。圧電素子供給工程Ｓ１２０において、圧電素子供給装置１０は、トレイ載置部１０ａ上のトレイＴに収容されている複数の圧電素子Ｐのうち対象となる圧電素子Ｐを、トレイ載置部１０ａによって圧電素子待機位置Ｗｐから圧電素子供給位置Ｓｐの搬送基準位置まで搬送する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、圧電素子供給工程Ｓ１２０が完了後、保持部材供給工程Ｓ１２５に移行する。

【0122】

保持部材供給工程Ｓ１２５は、複数の保持部材Ｈのうち、圧電素子Ｐを配置する保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈに供給する工程である。保持部材供給工程Ｓ１２５において、保持部材供給装置１１は、保持部材載置部１１ａ上の複数の保持部材Ｈのうち対象となる保持部材Ｈを、保持部材載置部１１ａによって保持部材待機位置Ｗｈから保持部材供給位置Ｓｈの搬送基準位置まで搬送する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、保持部材供給工程Ｓ１２５が完了後、圧電素子位置決め工程Ｓ１３０に移行する。

【0123】

圧電素子位置決め工程Ｓ１３０は、圧電素子供給位置Ｓｐの搬送基準位置に搬送された複数の圧電素子Ｐのうち保持部材Ｈに接合する対象となる圧電素子Ｐを位置決めする工程である。圧電素子供給装置１０は、圧電素子供給位置Ｓｐの搬送基準位置におけるトレイＴに収容されている複数の圧電素子Ｐのうち対象となる圧電素子Ｐをトレイ載置部１０ａによって圧電素子供給位置Ｓｐに位置決めする。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、圧電素子位置決め工程Ｓ１３０が完了後、保持部材位置決め工程Ｓ１３５に移行する。

【0124】

保持部材位置決め工程Ｓ１３５は、保持部材供給位置Ｓｈの搬送基準位置に搬送された複数の保持部材Ｈのうち圧電素子Ｐが接合される対象となる保持部材Ｈを位置決めする工程である。保持部材供給装置１１は、保持部材供給位置Ｓｈの搬送基準位置における複数の保持部材Ｈのうち対象となる保持部材Ｈを保持部材載置部１１ａによって保持部材供給位置Ｓｈに位置決めする。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、保持部材位置決め工程Ｓ１３５が完了後、接合材供給位置調整工程Ｓ１４０に移行する。

【0125】

図１１に示すように、接合材供給位置調整工程Ｓ１４０は、接合材を供給する供給装置３６の位置を調整する工程である。接合材供給位置調整工程Ｓ１４０において、供給ヘッド移動装置１３は、供給ヘッド３０を待機位置Ｗから保持部材供給位置Ｓｈまで搬送する。それぞれの供給ヘッド３０の供給ヘッド用水平移動機構３１は、制御装置１６が算出したそれぞれの供給装置３６の吐出ノズル３６ａのＸ方向、Ｙ方向の調整量に基づいて、吐出ノズル３６ａの水平方向の位置を供給ヘッド３０毎に独立して個別に調整する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、接合材供給位置調整工程Ｓ１４０が完了後、接合材供給工程Ｓ１５０に移行する。

【0126】

接合材供給工程Ｓ１５０は、接合材を保持部材Ｈの凹部内に供給する工程である。接合材供給工程Ｓ１５０において、それぞれの供給ヘッド３０の供給ヘッド用鉛直移動機構３４は、制御装置１６が算出したそれぞれの供給装置３６の吐出ノズル３６ａのＺ方向の移動量に基づいて、供給ヘッド３０毎に供給装置３６を鉛直方向下方に独立して個別に移動させる。供給装置３６は、保持部材Ｈの凹部内に接合材を供給する。それぞれの供給ヘッド３０の供給ヘッド用鉛直移動機構３４は、接合材の供給が完了すると供給装置３６を鉛直方向上方に移動させる。供給ヘッド移動装置１３は、供給ヘッド３０を保持部材供給位置Ｓｈから待機位置Ｗまで搬送する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、接合材供給工程Ｓ１５０が完了後、圧電素子搬送工程Ｓ１６０に移行する。

【0127】

図１２に示すように、圧電素子搬送工程Ｓ１６０は、保持部材Ｈに配置する圧電素子Ｐを、圧電素子供給位置Ｓｐから保持部材供給位置Ｓｈに搬送する工程である。圧電素子搬送工程Ｓ１６０において、それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用鉛直移動機構２４は、圧電素子供給位置Ｓｐにおいて吸着ノズル２８を鉛直方向下方に移動させる。それぞれの吸着ヘッド２０は、吸着ノズル２８によってトレイＴから圧電素子Ｐをそれぞれ吸着する。それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用鉛直移動機構２４は、圧電素子供給位置Ｓｐにおいて吸着ノズル２８を鉛直方向上方に移動させる。吸着ヘッド移動装置１２は、吸着ヘッド２０を保持部材供給位置Ｓｈに搬送する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、圧電素子搬送工程Ｓ１６０が完了後、圧電素子位置情報取得工程Ｓ１７０に移行する。

【0128】

圧電素子位置情報取得工程Ｓ１７０は、吸着された圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐを取得する工程である。圧電素子位置情報取得工程Ｓ１７０において、カメラ１４は、吸着ヘッド移動装置１２によって搬送中の吸着ヘッド２０及び吸着ノズル２８に吸着されている圧電素子Ｐを撮影する。カメラ１４は、撮影した画像を制御装置１６に送信する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、圧電素子位置情報取得工程Ｓ１７０が完了後、圧電素子位置調整工程Ｓ１８０に移行する。

【0129】

圧電素子位置調整工程Ｓ１８０は、吸着ノズル２８の位置を調整する工程である。圧電素子位置調整工程Ｓ１８０において、それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用水平移動機構２１及び吸着ヘッド用回転移動機構２６は、制御装置１６が算出したそれぞれの吸着ノズル２８のＸ方向、Ｙ方向及びθ方向の調整量に基づいて、吸着ノズル２８の水平方向の位置及び向きを吸着ヘッド２０毎に独立して個別に調整する（図７、図８参照）。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、圧電素子位置調整工程Ｓ１８０が完了後、圧電素子接合工程Ｓ１９０に移行する。

【0130】

圧電素子接合工程Ｓ１９０は、圧電素子Ｐを接合材が供給された保持部材Ｈの凹部内に配置し、圧電素子Ｐと保持部材Ｈとを接合する工程である。圧電素子接合工程Ｓ１９０において、それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用鉛直移動機構２４は、制御装置１６が算出したそれぞれの吸着ノズル２８のＺ方向の移動量に基づいて、吸着ヘッド２０毎に吸着ノズル２８を鉛直方向下方に独立して個別に移動させる。これにより、圧電素子Ｐは、接合材を介して保持部材Ｈに接合される。それぞれの吸着ヘッド２０は、吸着ノズル２８から圧電素子Ｐを開放する。それぞれの吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用鉛直移動機構２４は、供給装置３６を鉛直方向上方に移動させる。吸着ヘッド移動装置１２は、吸着ヘッド２０を圧電素子供給位置Ｓｐまで搬送する。圧電素子搭載工程Ｓ１００は、圧電素子接合工程Ｓ１９０が完了後、圧電素子位置決め工程Ｓ１３０に移行する。

【0131】

また、圧電素子接合工程Ｓ１９０は、全ての保持部材Ｈに対して圧電素子Ｐを接合した場合、圧電素子Ｐがそれぞれ接合された複数の保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈから保持部材待機位置Ｗｈに搬送する。また、搬送された複数の保持部材Ｈは、圧電素子Ｐの搭載状態を確認するためにレーザ測定装置１５によって複数の保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈを取得する。

【0132】

このように構成される圧電振動デバイス製造装置１は、複数の圧電素子Ｐが互いの相対距離を維持したマトリクス状に配列された状態で供給される。同様に、複数の保持部材Ｈが互いの相対距離を維持したマトリクス状に配列された状態で供給される。これにより、圧電振動デバイス製造装置１は、吸着ヘッド２０に吸着された複数の圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐと、保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈとを同時に取得することができる。

【0133】

また、圧電振動デバイス製造装置１は、吸着ヘッド２０に吸着された複数の圧電素子Ｐ毎の位置に関する情報と、保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈとに基づいて、複数の吸着ノズル２８のＸ方向、Ｙ方向及びθ方向の位置を、吸着ヘッド用水平移動機構２１及び吸着ヘッド用回転移動機構２６によってそれぞれ独立して個別に調整する。これにより、複数の吸着ヘッド２０は、それぞれが吸着した複数の圧電素子Ｐの位置を、保持部材Ｈの位置に応じてそれぞれ個別に調整することができる。これにより、吸着ヘッド２０は、保持部材Ｈの形状のばらつきを考慮しつつ圧電素子Ｐを保持部材Ｈの凹部内に配置することができる。しかも、複数の吸着ヘッド２０は、数値データである圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐと保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈに基づいて吸着ノズル２８の位置を個別に調整することができるので、位置合わせのための仮置き等を行う必要がない。

【0134】

また、複数の供給ヘッド３０は、接合材を供給する位置を供給ヘッド用水平移動機構３１及び供給ヘッド用鉛直移動機構３４によって保持部材Ｈの位置に合わせてそれぞれ独立して個別に調整する。しかも、複数の供給ヘッド３０は、数値データである保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈを取得することで供給装置３６の位置を個別に調整することができるので、保持部材Ｈの位置合わせ等を行う必要がない。また、レーザ測定装置１５は、保持部材供給位置Ｓｈに供給される複数の保持部材Ｈの水平方向だけでなく鉛直方向の位置をそれぞれ測定する。よって、複数の保持部材Ｈにそれぞれ配置する圧電素子Ｐの鉛直方向の位置を、保持部材Ｈの鉛直方向の位置に応じて独立して個別に調整することができる。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子Ｐを所定の位置に所定の向きで複数の保持部材Ｈの凹部内に高精度に配置することができる。

【0135】

また、圧電振動デバイスの製造方法は、保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈと、圧電素子搬送工程Ｓ１６０において搬送中に取得した圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐとに基づいて、複数の圧電素子Ｐの位置をそれぞれ独立して個別に調整する圧電素子位置調整工程Ｓ１８０を有する。カメラ１４は、吸着ヘッド２０の吸着ノズル２８によって吸着された圧電素子Ｐ及び吸着ノズル２８を同時に撮影している。従って、圧電素子Ｐの位置に関する情報Ｉｐには、複数の吸着ノズル２８に対する圧電素子Ｐのずれが考慮されている。従って、これにより、圧電素子搬送工程Ｓ１６０の後に圧電素子Ｐを仮置き等によって吸着ノズル２８に対して圧電素子Ｐを位置決めする工程を別途設ける必要がない。また、接合材供給位置調整工程Ｓ１４０は、数値データである保持部材Ｈの位置に関する情報Ｉｈに基づいて接合部材の供給位置を個別に調整する。よって、圧電振動デバイスの製造方法は、保持部材Ｈ毎に個別の位置合わせ等を行う必要がない。したがって、タクトタイムを増加させることなく、複数の圧電素子Ｐを所定の位置に所定の向きで複数の保持部材Ｈの凹部内にそれぞれ配置することができる。

【0136】

［実施形態２］
＜圧電振動デバイス製造装置の組み合わせ＞
次に、図１３と図１４とを用いて、本発明の圧電振動デバイス製造装置１を含む実施形態２である圧電振動デバイス製造ライン１００の一部について説明する。図１３は、圧電振動デバイス製造装置１を含む圧電振動デバイス製造ライン１００の構成を示す平面図である。図１４は、圧電振動デバイス製造装置１を含む圧電振動デバイス製造ライン１００の制御構成を示すブロック図である。本実施形態における圧電振動デバイス製造ライン１００の一部は、保持部材Ｈに圧電素子Ｐを搭載する搭載部１１０である。

【0137】

図１３に示すように、搭載部１１０は、複数の圧電素子Ｐが収容されているトレイＴ、シート状に整列された複数の保持部材Ｈを搬送する搬送装置と複数の圧電振動デバイス製造装置１とを有する。本実施形態において、搭載部１１０は、搬送装置であるロボット移動装置１１１、供給台１１２及び搬送用ロボット１１３と、４台の圧電振動デバイス製造装置１とから構成されている。搭載部１１０は、圧電振動デバイス製造ライン１００のライン制御装置１２０（図１４参照）によって制御される。

【0138】

ロボット移動装置１１１及び搬送用ロボット１１３は、複数の圧電素子Ｐが収容されているトレイＴを４台の圧電振動デバイス製造装置１の圧電素子供給装置１０にそれぞれ搬送する。また、ロボット移動装置１１１及び搬送用ロボット１１３は、シート状に整列された複数の保持部材Ｈを４台の圧電振動デバイス製造装置１の保持部材供給装置１１にそれぞれ搬送する。さらに、ロボット移動装置１１１及び搬送用ロボット１１３は、圧電素子Ｐが接合されたシート状の保持部材Ｈを４台の圧電振動デバイス製造装置１の保持部材供給装置１１から回収する。

【0139】

ロボット移動装置１１１は、搬送用ロボット１１３を移動させる装置である。ロボット搬送装置は、例えばアクチュエータであるサーボモータと直動機構であるボールねじユニット等とを有する１軸の直動ユニットである。ロボット移動装置１１１の可動部には、搬送用ロボット１１３が積載されている。ロボット移動装置１１１は、Ｚ方向に見て、搬送用ロボット１１３を移動させる方向をＹ方向として設置されている。よって、ロボット移動装置１１１は、搬送用ロボット１１３をＹ方向における任意の位置に移動可能に構成されている。

【0140】

供給台１１２は、複数の圧電素子Ｐが収容されているトレイＴ及びシート状の保持部材Ｈが貯留される台である。供給台１１２には、図示しない上流工程の供給装置または作業者によって、圧電素子Ｐが収容されているトレイＴ及びシート状の保持部材Ｈが供給される。供給台１１２は、ロボット移動装置１１１の端部に配置されている。

【0141】

搬送用ロボット１１３は、圧電素子Ｐが収容されているトレイＴを圧電振動デバイス製造装置１の圧電素子供給装置１０に供給する。また、搬送用ロボット１１３は、シート状の保持部材Ｈを圧電振動デバイス製造装置１の保持部材供給装置１１に供給する。搬送用ロボット１１３は、例えば、２本のアームを有する相腕の水平多関節型ロボット（スカラ型ロボット）である。搬送用ロボット１１３は、ロボット移動装置１１１の可動部に搭載されている。よって、搬送用ロボット１１３は、Ｚ方向に見て、ロボット移動装置１１１によってＹ方向の任意の位置に移動可能に構成されている。また、搬送用ロボット１１３は、鉛直方向に見て、それぞれのアームによってＹ方向（ロボット移動装置１１１による移動方向）に垂直なＸ方向における一方側（Ｘ＋方向側）とＸ方向における他方側（Ｘ－方向側）とにトレイＴ及びシート状の保持部材Ｈを移動可能に構成されている。

【0142】

４台の圧電振動デバイス製造装置１は、それぞれ独立して圧電素子Ｐを保持部材Ｈに接合させる。４台の圧電振動デバイス製造装置１のうち２台の圧電振動デバイス製造装置１は、鉛直方向に見て、ロボット移動装置１１１の一方側に配置されている。また、２台の圧電振動デバイス製造装置１は、Ｙ方向に２台並んで配置される。この際、２台の圧電振動デバイス製造装置１は、吸着ヘッド移動装置１２の移動方向（Ｙ方向）がロボット移動装置１１１の移動方向と平行になるように配置される。更に、２台の圧電振動デバイス製造装置１は、圧電素子供給装置１０における圧電素子待機位置Ｗｐ及び保持部材供給装置１１における保持部材待機位置Ｗｈがロボット移動装置１１１側且つ搬送用ロボット１１３の可動範囲内に位置するように配置されている。

【0143】

４台の圧電振動デバイス製造装置１のうち他の２台の圧電振動デバイス製造装置１は、鉛直方向に見て、ロボット移動装置１１１の他方側に配置されている。また、２台の圧電振動デバイス製造装置１は、Ｙ方向に２台並んで配置される。この際、２台の圧電振動デバイス製造装置１は、吸着ヘッド移動装置１２の移動方向（Ｙ方向）がロボット移動装置１１１の移動方向と平行になるように配置される。更に、２台の圧電振動デバイス製造装置１は、圧電素子供給装置１０における圧電素子待機位置Ｗｐ及び保持部材供給装置１１における保持部材待機位置Ｗｈがロボット移動装置１１１側且つ搬送用ロボット１１３の可動範囲内に位置するように配置されている。

【0144】

このように構成される搭載部１１０は、搬送用ロボット１１３によって供給台１１２に貯留されているトレイＴを４台の圧電振動デバイス製造装置１の圧電素子供給装置１０における圧電素子待機位置Ｗｐにそれぞれ供給可能である。また、搭載部１１０は、搬送用ロボット１１３によって供給台１１２に貯留されているシート状の保持部材Ｈを４台の圧電振動デバイス製造装置１の保持部材供給装置１１における保持部材待機位置Ｗｈに供給可能である。更に、搭載部１１０は、搬送用ロボット１１３によって４台の圧電振動デバイス製造装置１の保持部材供給装置１１における保持部材待機位置Ｗｈから圧電素子Ｐがそれぞれ収容されたシート状の保持部材Ｈを回収可能である。搭載部１１０は、搬送用ロボット１１３によって回収したシート状の保持部材Ｈを下流側の図示しない接合剤硬化炉に供給可能に構成されている。

【0145】

図１３と図１４とに示すように、搭載部１１０の４台の圧電振動デバイス製造装置１のうち少なくとも１台は、圧電振動デバイス製造ライン１００のライン制御装置１２０から生産開始に関する制御信号が入力されると圧電振動デバイスの製造を開始する。なお、ライン制御装置１２０は、圧電素子デバイスの生産量に基づいて稼働させる圧電振動デバイス製造装置１の台数を決定する。

【0146】

稼働中の圧電振動デバイス製造装置１は、例えば、圧電素子Ｐの供給が必要な場合、ライン制御装置１２０に対して圧電素子Ｐの供給信号を出力する。ライン制御装置１２０は、前記圧電素子Ｐの供給信号を取得すると、搬送装置に対して圧電素子Ｐを供給させる制御信号を出力する。ロボット移動装置１１１及び搬送用ロボット１１３は、供給台１１２から複数の圧電素子Ｐが収容されているトレイＴを圧電振動デバイス製造装置１の圧電素子供給装置１０における圧電素子待機位置Ｗｐに供給する。

【0147】

稼働中の圧電振動デバイス製造装置１は、例えば、圧電素子Ｐが収容されているトレイＴの排出が必要な場合、ライン制御装置１２０に対して圧電素子Ｐが収容されているトレイＴの排出信号を出力する。ライン制御装置１２０は、圧電素子Ｐが収容されているトレイＴの排出信号を取得すると、ロボット移動装置１１１及び搬送用ロボット１１３に対して圧電素子Ｐが収容されているトレイＴを排出させる制御信号を出力する。ロボット移動装置１１１及び搬送用ロボット１１３は、圧電振動デバイス製造装置１の保持部材供給装置１１における保持部材待機位置Ｗｈから圧電素子Ｐが収容されているトレイＴを回収し、図示しない接合剤硬化炉に供給する。

【0148】

このように圧電振動デバイス製造ライン１００は、圧電振動デバイス製造装置１を複数組み合わせることで、圧電振動デバイスの生産量に柔軟に対応することができる。

【0149】

［その他の実施形態］
なお、上述の実施形態において、圧電振動デバイス製造装置１は、４つの吸着ヘッド２０及び４つの供給ヘッド３０を有している。しかしながら、圧電振動デバイス製造装置１は、吸着ヘッド２０及び供給ヘッド３０をそれぞれ複数有していればよい。

【0150】

また、上述の実施形態において、複数の供給ヘッド３０は、それぞれの供給装置３６の位置を同時に調整可能な構成でもよい。また、複数の吸着ヘッド２０は、それぞれの吸着ノズル２８の位置を同時に調整可能な構成でもよい。これにより、吸着ヘッド２０及び供給ヘッド３０の数に関わらず、複数の吸着ヘッド２０及び複数の供給ヘッド３０の位置を調整するために必要な時間が抑制される。

【0151】

また、上述の実施形態において、圧電振動デバイス製造装置１は、圧電素子位置測定装置としてカメラ１４が撮影した画像から、吸着ヘッド２０に対する圧電素子Ｐの位置を測定している。しかしながら、圧電素子位置測定装置は、吸着ノズルに吸着された圧電素子の位置を測定できる装置であればよい。圧電素子位置測定装置は、例えばレーザ測定装置等であってもよい。

【0152】

また、上述の実施形態において、カメラ１４は、架台２上に配置されている。しかしながら、カメラは、吸着ヘッドに搭載されていてもよい。

【0153】

また、上述の実施形態において、圧電振動デバイス製造装置１は、保持部材位置測定装置としてレーザ測定装置１５が測定した測定値から複数の保持部材Ｈの位置を算出している。しかしながら、保持部材位置測定装置は、複数の保持部材の形状を測定できる装置であればよい。保持部材位置測定装置は、カメラ等であってもよい。

【0154】

また、上述の実施形態において、吸着ヘッド移動装置１２は、１軸の直動ユニットから構成されている。しかしながら、吸着ヘッド移動装置は、吸着ヘッドを圧電素子供給位置から保持部材供給位置まで移動可能な装置であればよい。吸着ヘッド移動装置は、例えば、水平多関節ロボットまたは垂直多関節ロボットであってもよい。圧電素子供給装置及び保持部材供給装置についても同様である。

【0155】

また、上述の実施形態において、圧電振動デバイス製造装置１は、１つの保持部材供給装置１１によって複数の保持部材Ｈを保持部材供給位置Ｓｈに供給している。しかしながら、圧電振動デバイス製造装置は、複数の保持部材供給装置を有していてもよい。圧電振動デバイス製造装置は、複数の保持部材供給装置を有することで、一方の保持部材供給装置によって圧電素子の配置が完了した複数の保持部材を排出中に他の保持部材供給装置によって供給された複数の保持部材に圧電素子を配置することができる。

【0156】

また、上述の実施形態において、トレイＴには、圧電素子Ｐを収納するための凹部Ｃを有している。しかしながら、トレイＴは、複数の圧電素子をマトリクス状に配置した状態で供給できればよい。

【0157】

また、上述の実施形態において、圧電振動デバイス製造装置１に供給される複数の保持部材Ｈは、シート状に連結されている。しかしながら、複数の保持部材は、マトリクス状に配置された状態で供給可能であればよい。複数の保持部材は、例えば、マトリクス状に複数の凹部が配置されたトレイにそれぞれ収容されていてもよい。

【0158】

また、上述の実施形態において、圧電素子供給装置１０、保持部材供給装置１１、吸着ヘッド移動装置１２、供給ヘッド移動装置１３、吸着ヘッド２０の吸着ヘッド用水平移動機構２１、吸着ヘッド用鉛直移動機構２４及び吸着ヘッド用回転移動機構２６、供給ヘッド３０の供給ヘッド用水平移動機構３１及び供給ヘッド用鉛直移動機構３４は、サーボモータをアクチュエータとする１軸の直動ユニットであるが限定するものではない。圧電素子供給装置１０、保持部材供給装置１１、吸着ヘッド移動装置１２、供給ヘッド移動装置１３、吸着ヘッド２０の移動機構及び供給ヘッド３０の移動機構は、リニアモータ等の移動量を制御できる構成であればよい。

【0159】

また、上述の実施形態において、レーザ測定装置１５は、それぞれの保持部材Ｈの水平方向における位置および回転度合に対して整合するように回転及び水平方向に移動可能に構成されている。しかしながら、保持部材が保持部材供給装置に対して高精度に配置されている場合、レーザ測定装置は、Ｙ方向にのみ移動可能に構成されていてもよい。この場合、保持部材は、保持部材供給装置によってＸ方向に移動される。よって、レーザ測定装置は、シート状の保持部材の形状を測定可能である。レーザ測定装置は、Ｙ方向のみに移動可能に構成することで、可動部分のガタ、位置ずれ等が抑制されるので、より高精度に測定可能である。あるいは、レーザ測定装置を固定化し、保持部材のみが保持部材供給装置によってＸ方向およびＹ方向に移動可能な構成にしてもよい。

【0160】

また、上述の実施形態において、保持部材Ｈは、圧電素子Ｐを配置可能な凹部を有する筐体である。保持部材Ｈは、凹部内に圧電素子Ｐが配置される。しかしながら、保持部材は、圧電素子を配置可能な凹部を有さない平板状部材であってもよい。前記保持部材は、平板状部材の平面上に圧電素子が配置される。この場合、保持部材は、凹部を有する蓋部材（深絞りキャップ構造）によって覆われる。

【0161】

また、上述の実施形態２において、搭載部１１０は、４台の圧電振動デバイス製造装置１を有している。しかしながら、搭載部は、１台以上３台以下の圧電振動デバイス製造装置を有していてもよい。また、搭載部は、５台以上の圧電振動デバイス製造装置を有していてもよい。

【0162】

以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。

【符号の説明】

【0163】

１ 圧電振動デバイス製造装置
２ 架台
１０ 圧電素子供給装置
１０ａ トレイ載置部
１１ 保持部材供給装置
１１ａ 保持部材載置部
１２ 吸着ヘッド移動装置
１２ａ 吸着ヘッド載置部
１３ 供給ヘッド移動装置
１３ａ 供給ヘッド載置部
１４ カメラ
１５ レーザ測定装置
１６ 制御装置
２０ 吸着ヘッド
２１ 吸着ヘッド用水平移動機構
２２ 吸着ヘッド用第１移動部材
２３ 吸着ヘッド用第２移動部材
２４ 吸着ヘッド用鉛直移動機構
２５ 吸着ヘッド用第３移動部材
２６ 吸着ヘッド用回転移動機構
２７ 吸着ヘッド用第４移動部材
２８ 吸着ノズル
３０ 供給ヘッド
３１ 供給ヘッド用水平移動機構
３２ 供給ヘッド用第１移動部材
３３ 供給ヘッド用第２移動部材
３４ 供給ヘッド用鉛直移動機構
３５ 供給ヘッド用第３移動部材
３６ 供給装置
３６ａ 吐出ノズル
３６ｂ 冷却装置
３６ｃ 接触センサ
１００ 圧電振動デバイス製造ライン
１１０ 搭載部
１１１ ロボット移動装置
１１２ 供給台
１１３ 搬送用ロボット
１２０ ライン制御装置
Ｐ 圧電素子
Ｐ１ 第１圧電素子
Ｐ２ 第２圧電素子
Ｐ３ 第３圧電素子
Ｐ４ 第４圧電素子
Ｈ 保持部材
Ｈ１ 第１保持部材
Ｈ２ 第２保持部材
Ｈ３ 第３保持部材
Ｈ４ 第４保持部材
Ｉｐ 圧電素子の位置に関する情報
Ｉｈ 保持部材の位置に関する情報
Ｃ 凹部

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】