特許 7603109 磁気吸着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-11

(45)【発行日】2024-12-19

(54)【発明の名称】磁気吸着装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20241212BHJP

【ＦＩ】

B25J15/06 S

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2023105856

(22)【出願日】2023-06-28

【審査請求日】2024-06-05

(73)【特許権者】

【識別番号】390014672

【氏名又は名称】株式会社アマダ

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100111235

【弁理士】

【氏名又は名称】原 裕子

(74)【代理人】

【識別番号】100170575

【弁理士】

【氏名又は名称】森 太士

(72)【発明者】

【氏名】五艘 大貴

(72)【発明者】

【氏名】高野 寛史

【審査官】杉山 悟史

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－１８６３２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－０４１８７２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００ ～ ２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

底面がワークを吸着する吸着面であり、内部に圧力室を備えたシリンダチューブと、
永久磁石を備えて前記圧力室内を上下に移動するピストンと、
前記ワークを吸着するときに、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させて前記永久磁石の磁力で前記ワークを前記吸着面に吸着させる制御部と、
前記ピストンの位置を検出するセンサと、を備え、
前記制御部は、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させた後に、前記ワークが前記吸着面に吸着していない場合に、前記ピストンを上方へ移動させ、前記ピストンが上方へ移動したことを前記センサが検出したか否かによって、前記ワークが前記吸着面に吸着しているか否かを判定し、
前記ピストンは、前記圧力室を上部空間と下部空間とに隔て、
前記制御部は、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させた後に、所定の判定圧力のエアを前記下部空間へ供給し、前記ワークが前記吸着面に吸着していない場合に、前記ピストンを上方へ移動させ、
前記判定圧力は、前記ワークと吸着している前記ピストンを前記ワークから引き離す圧力よりも小さく、前記ワークと吸着していない前記ピストンを上方へ移動させる最低上昇圧力よりも大きく設定されている
磁気吸着装置。

【請求項2】

底面がワークを吸着する吸着面であり、内部に圧力室を備えたシリンダチューブと、
永久磁石を備えて前記圧力室内を上下に移動するピストンと、
前記ワークを吸着するときに、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させて前記永久磁石の磁力で前記ワークを前記吸着面に吸着させる制御部と、
前記ピストンの位置を検出するセンサと、を備え、
前記制御部は、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させた後に、前記ワークが前記吸着面に吸着していない場合に、前記ピストンを上方へ移動させ、前記ピストンが上方へ移動したことを前記センサが検出したか否かによって、前記ワークが前記吸着面に吸着しているか否かを判定し、
前記ワークと吸着していない前記ピストンを上方へ移動させる弾性力を有する弾性部材をさらに備え、
前記弾性力は、前記ワークと吸着している前記ピストンを前記ワークから引き離す力よりも小さく設定され、
前記制御部が前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させた後に、前記ワークが前記吸着面に吸着していない場合に、前記弾性部材は、前記弾性力によって前記ピストンを上方へ移動させる
磁気吸着装置。

【請求項3】

前記制御部は、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させた後に、前記ピストンが上方へ移動しない場合には前記ワークが前記吸着面に吸着していると判定し、前記ピストンが上方へ移動した場合には前記ワークが前記吸着面に吸着していないと判定する
請求項１または２に記載の磁気吸着装置。

【請求項4】

請求項１または２に記載の磁気吸着装置を備えた搬出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、磁気吸着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、永久磁石の力でワークを吸引保持するマグネットチャックが記載されている。特許文献１のマグネットチャックでは、ピストンが下死点にあるときに、シリンダチューブの下端の吸着面でワークを吸着する。吸着されたワークは、シリンダチューブの側面に設けられた光電センサや近接センサで検出されていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２２－４１８７２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述した従来のマグネットチャックでは、シリンダチューブの側面に光電センサを設けていたので、センサ直下の光が当たる部分のワークに穴が開いている場合には、光が反射されずにワークの有無を検出することができないという問題点があった。また、ワークがシリンダチューブの底面よりも小さい場合や光電センサの代わりに近接センサを設けた場合も同様の問題点があった。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一態様は、底面がワークを吸着する吸着面であり、内部に圧力室を備えたシリンダチューブと、永久磁石を備えて前記圧力室内を上下に移動するピストンと、前記ワークを吸着するときに、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させて前記永久磁石の磁力で前記ワークを前記吸着面に吸着させる制御部と、前記ピストンの位置を検出するセンサと、を備え、前記制御部は、前記ピストンを前記圧力室の下端へ移動させた後に、前記ワークが前記吸着面に吸着していない場合に、前記ピストンを上方へ移動させ、前記ピストンが上方へ移動したことを前記センサが検出したか否かによって、前記ワークが前記吸着面に吸着しているか否かを判定する磁気吸着装置である。

【0006】

本発明の一態様に係る磁気吸着装置によれば、ピストンが上方へ移動したことをセンサが検出したか否かによって、ワークが吸着面に吸着しているか否かを判定する。したがって、ワークに穴が開いている場合やワークがシリンダチューブの底面より小さい場合でも、ワークの有無を検出することができる。

【発明の効果】

【0007】

本発明の一態様によれば、ワークに穴が開いている場合やワークがシリンダチューブの底面よりも小さい場合でも、ワークの有無を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、第１実施形態に係る磁気吸着装置の構造を示す斜視図である。

【図2】図２は、第１実施形態に係る磁気吸着装置の構造を示す断面図である。

【図3A】図３Ａは、第１実施形態に係る磁気吸着装置を備えた搬出装置の構造を示す斜視図である。

【図3B】図３Ｂは、第１実施形態に係る磁気吸着装置を備えた搬出装置の底面の構造を示す平面図である。

【図4】図４は、第１実施形態に係る磁気吸着装置を備えた搬出装置によるワーク搬出処理の処理手順を示すフローチャートである。

【図5】図５は、第１実施形態に係る磁気吸着装置におけるピストンが下降する動作を説明するための図である。

【図6】図６は、第１実施形態に係る磁気吸着装置におけるワーク吸着時の動作を説明するための図である。

【図7】図７は、第１実施形態に係る磁気吸着装置におけるピストンが上昇する動作を説明するための図である。

【図8】図８は、第１実施形態に係る磁気吸着装置におけるワーク集積時の動作を説明するための図である。

【図9】図９は、第２実施形態に係る磁気吸着装置の構造を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［第１実施形態］
［磁気吸着装置］
以下、図面を参照し、本実施形態に係る磁気吸着装置について説明する。図１は、磁気吸着装置の構造を示す斜視図であり、図２は断面図である。図１、２に示すように、本実施形態に係る磁気吸着装置１は、底面がワークＷを吸着する吸着面３であり、内部に圧力室５を備えたシリンダチューブ７と、永久磁石９を備えて圧力室５内を上下に移動するピストン１１と、ワークＷを吸着するときに、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させて永久磁石９の磁力でワークＷを吸着面３に吸着させる制御部１３と、ピストン１１の位置を検出する磁気センサ１５と、を備える。制御部１３は、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、ワークＷが吸着面３に吸着していない場合に、ピストン１１を上方へ移動させ、ピストン１１が上方へ移動したことを磁気センサ１５が検出したか否かによって、ワークＷが吸着面３に吸着しているか否かを判定する。

【0010】

シリンダチューブ７は、アルミニウム合金等の常磁性体金属からなり、図１に示すように直方体の形状をしている。また、図２に示すように、シリンダチューブ７の底面はワークＷを吸着する吸着面３となっており、内部には圧力室５を備えている。圧力室５は、円筒状の形状をしており、内部に設けられたピストン１１によって、上部空間１７と下部空間１９に隔てられている。

【0011】

シリンダチューブ７の１つの側面には、上部空間１７に連通してエアを給排気する上部給排気孔２１と、下部空間１９に連通してエアを給排気する下部給排気孔２３とが形成されている。上部給排気孔２１は、ピストン１１を上昇させるときには開放され、ピストン１１を下降させるときにはエアが供給される。下部給排気孔２３は、ピストン１１を上昇させるときにはエアが供給され、ピストン１１を下降させるときには開放される。

【0012】

また、上部給排気孔２１と下部給排気孔２３が形成された側面と対向する側面には、２本の取付溝２５（図１）が形成され、取付溝２５に磁気センサ１５が取り付けられている。取付溝２５が上下方向に形成されているので、磁気センサ１５は、シリンダチューブ７の側面における上下方向の所望の位置に取り付けられる。

【0013】

ピストン１１は、円柱状の形状をしており、永久磁石９の他に強磁性体のコアヨーク等を備え、圧力室５の内部において上下方向に移動可能に設けられている。また、ピストン１１は、圧力室５の内面に接するシール部材２７を備えており、圧力室５を上部空間１７と下部空間１９に隔てている。

【0014】

磁気センサ１５は、永久磁石９の磁気を検出することによってピストン１１の位置を検出するセンサであり、シリンダチューブ７の内部を移動するピストン１１が近づいて、永久磁石９の磁気を検出すると、制御部１３へ検出信号を出力する。図２に示すように、磁気センサ１５は、シリンダチューブ７の側面の上部に取り付けられているので、ピストン１１が上昇すると、永久磁石９の磁気を検出して、制御部１３へ検出信号を出力する。ただし、磁気センサ１５は、シリンダチューブ７の側面の上部に取り付けられている必要はなく、下側に取り付けられていてもよい。

【0015】

制御部１３は、ワークＷを吸着するときに、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させて永久磁石９の磁力でワークＷを吸着面３に吸着させる制御を実行する。そして、制御部１３は、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、ピストン１１が上方へ移動して永久磁石９の磁気を磁気センサ１５が検出したか否かによって、ワークＷが吸着面３に吸着しているか否かを判定する。

【0016】

具体的に、制御部１３は、上部給排気孔２１から上部空間１７へ圧力Ｐ１のエアを供給し、下部給排気孔２３から下部空間１９のエアを排出してピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、下部給排気孔２３から所定の判定圧力Ｐのエアを下部空間１９へ供給し、ワークＷが吸着面３に吸着していない場合に、ピストン１１を上方へ移動させる。このとき、判定圧力Ｐは、ワークＷと吸着しているピストン１１をワークＷから引き離す圧力よりも小さく、ワークＷと吸着していないピストン１１を上方へ移動させる最低上昇圧力よりも大きくなるように設定されている。

【0017】

すなわち、ワークＷが吸着している場合には、判定圧力Ｐのエアを供給してもピストン１１が上方へ移動することはなく、ワークＷが吸着していない場合には、判定圧力Ｐのエアを供給することによって上部給排気孔２１から上部空間１７のエアを排出してピストン１１は上方へ移動する。したがって、ピストン１１が上方へ移動せずに磁気センサ１５で永久磁石９の磁気が検出されなければ、ワークＷが吸着していると判定することができる。一方、ピストン１１が上方へ移動して磁気センサ１５で永久磁石９の磁気が検出されれば、ワークＷが吸着していないと判定することができる。

【0018】

このように、制御部１３は、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、判定圧力Ｐのエアを供給してピストン１１が上方へ移動しない場合にはワークＷが吸着面３に吸着していると判定し、ピストン１１が上方へ移動した場合にはワークＷが吸着面３に吸着していないと判定する。

【0019】

制御部１３は、メモリと、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサと、各種のインターフェースとを有するコンピュータによって構成されている。メモリと各種のインターフェースは、バスを介してプロセッサに接続されている。プロセッサによってメモリに格納されたプログラムを実行することにより、制御部１３は、ワークＷが吸着面３に吸着しているか否かを判定する制御を実行する。また、制御部１３は、図示していないコンプレッサ等を制御して、圧力室５へ供給されるエアの圧力を制御する。

【0020】

［搬出装置］
図３Ａは、本実施形態に係る磁気吸着装置を備えた搬出装置の構造を示す斜視図であり、図３Ｂは、搬出装置の底面の構造を示す平面図である。図３Ａ、３Ｂに示すように、搬出装置３１は、搬出アーム３３と、磁気吸着装置１と、複数の吸着パッド３５を備えている。搬出装置３１は、図示していない駆動部が動作することによって、左右方向Ｘ、前後方向Ｙ、及び上下方向Ｚへそれぞれ移動することができる。また、搬出装置３１は、駆動部が動作することによって、上下方向に延びる中心軸を中心に水平回転することができる。尚、図３Ｂでは、１つの磁気吸着装置１のみを備えているが、複数備えていてもよい。ワークが大きい場合やワークが非磁性体である場合には、吸着パッド３５と磁気吸着装置１を併用してワークを吸着させている。

【0021】

［ワーク搬出処理］
次に、本実施形態に係る磁気吸着装置１を備えた搬出装置３１によるワーク搬出処理を説明する。図４は、ワーク搬出処理の処理手順を示すフローチャートである。

【0022】

図４に示すように、ステップＳ１０１において、搬出装置３１は、搬出するワークＷの位置へ移動して位置決めを行う。すなわち、搬出装置３１は、ワークＷの位置を示すＸ座標とＹ座標の位置へ移動して、ワークＷの直上の位置で停止する。

【0023】

ステップＳ１０３において、搬出装置３１は、ワークＷの直上の位置から、搬出装置３１に設けられた磁気吸着装置１の吸着面３がワークＷに接する位置まで下降する。

【0024】

ステップＳ１０５において、磁気吸着装置１は、ワークＷを吸着する。ステップＳ１０３で搬出装置３１が下降した時点では、ピストン１１は圧力室５の上端（上死点）に位置している。そこで、制御部１３は、図５に示すように、上部給排気孔２１から上部空間１７へ圧力Ｐ１のエアを供給し、下部給排気孔２３から下部空間１９のエアを排出してピストン１１を下降させる。圧力Ｐ１は、ピストン１１を下降させるために必要な圧力である。ピストン１１が圧力室５の下端（下死点）へ移動すると、永久磁石９の磁力によってワークＷが吸着面３に吸着される。

【0025】

ステップＳ１０７において、搬出装置３１は、ワークＷが吸着面３に吸着しているか否かを確認するために微小な上昇を行う。例えば、搬出装置３１は、３０ｍｍ上昇する。

【0026】

ステップＳ１０９において、制御部１３は、微小に上昇している状態で、ワークＷが吸着面３に吸着しているか否かを判定するための判定圧力Ｐのエアを、図６に示すように下部給排気孔２３から下部空間１９へ供給する。判定圧力Ｐは、ワークＷと吸着しているピストン１１をワークＷから引き離す圧力よりも小さく、ワークＷと吸着していないピストン１１を上方へ移動させる最低上昇圧力よりも大きく設定されている。すなわち、ワークＷが吸着していればピストン１１が動くことはなく、ワークＷが吸着していなければピストン１１が上方へ移動するような圧力が、判定圧力Ｐである。この判定圧力Ｐは、永久磁石９による磁力やピストン１１及び永久磁石９の重さ、ピストン１１が移動するときの摺動抵抗などを考慮して設定されている。

【0027】

ステップＳ１１１において、制御部１３は、微小時間、例えば０．４ｓの間だけ待機して、判定圧力Ｐのエアを供給したことによるピストン１１の移動を監視する。

【0028】

ステップＳ１１３において、制御部１３は、ピストン１１が上昇したか否かを判定し、ピストン１１が上昇した場合にはステップＳ１１５へ進み、ピストン１１が上昇していない場合にはステップＳ１２１へ進む。ワークＷが吸着していない場合に、ピストン１１は、図７に示すように判定圧力Ｐのエアによって上昇するので、上昇したピストン１１に設けられている永久磁石９の磁力を磁気センサ１５が検出して検出信号を出力する。したがって、制御部１３は、ステップＳ１１１の微小時間が経過した後に、磁気センサ１５から検出信号を受信すると、ピストン１１が上昇したと判定する。一方、制御部１３は、ステップＳ１１１の微小時間が経過した後に、磁気センサ１５から検出信号を受信しなければ、ピストン１１が上昇していないと判定する。

【0029】

ステップＳ１１５において、搬出装置３１は、ワークＷが吸着していないので、ワークＷの吸着をやり直すために上昇する。

【0030】

ステップＳ１１７において、制御部１３は、ワークＷを吸着できずにやり直す回数が所定回数の４回目か否かを判定する。そして、やり直す回数が４回目ではない場合、すなわち３回目以下の場合にはステップＳ１０１へ戻ってワークＷの吸着をやり直し、やり直す回数が４回目の場合には、ステップＳ１１９へ進む。尚、やり直す回数については、４回である必要はなく、４回以外の回数であってもよい。

【0031】

ステップＳ１１９において、制御部１３は、３回やり直してもワークＷを吸着できなかったので、アラームを発生して、本実施形態に係るワーク搬出処理を終了する。

【0032】

ステップＳ１２１において、搬出装置３１は、ワークＷを吸着しているので、吸着したワークＷを搬送して集積位置まで移動させる。

【0033】

ステップＳ１２３において、制御部１３は、ワークＷの搬送中に、ピストン１１が上昇したか否かを判定して、ワークＷの搬送中もピストン１１の状態を監視する。そして、ピストン１１が上昇した場合にはステップＳ１２５へ進み、ピストン１１が上昇しない場合にはステップＳ１２７へ進む。

【0034】

ステップＳ１２５において、制御部１３は、搬送中にワークＷが離脱したと判断してアラームを発生し、本実施形態に係るワーク搬出処理を終了する。

【0035】

ステップＳ１２７において、制御部１３は、移動した集積位置においてワークＷを集積させる。具体的に、制御部１３は、図８に示すように、ワークＷと吸着しているピストン１１をワークＷから引き離すための圧力Ｐ２のエアを、下部給排気孔２３から下部空間１９へ供給し、上部給排気孔２１から上部空間１７のエアを排出する。これにより、ピストン１１が上昇して、ワークＷは吸着面３から離脱して集積される。

【0036】

ステップＳ１２９において、制御部１３は、微小時間、例えば０．２ｓの間だけ待機して、ワークＷが確実に離脱したことを確認する。ただし、微小時間の０．２ｓは変更してもよい。

【0037】

ステップＳ１３１において、搬出装置３１は、ワークＷの集積が完了すると、上昇して本実施形態に係るワーク搬出処理を終了する。

【0038】

［第１実施形態の効果］
以上、詳細に説明したように、本実施形態に係る磁気吸着装置１は、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、ワークＷが吸着面３に吸着していない場合に、ピストン１１を上方へ移動させ、ピストン１１が上方へ移動したことを磁気センサ１５が検出したか否かによって、ワークＷが吸着面３に吸着しているか否かを判定する。これにより、ワークＷに穴が開いている場合やワークＷがシリンダチューブの底面よりも小さい場合でも、ワークＷの有無を検出することができる。

【0039】

また、本実施形態に係る磁気吸着装置１は、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、所定の判定圧力Ｐのエアを下部空間１９へ供給し、ワークＷが吸着面３に吸着していない場合に、ピストン１１を上方へ移動させる。そして、判定圧力Ｐは、ワークＷと吸着しているピストン１１をワークＷから引き離す圧力よりも小さく、ワークＷと吸着していないピストン１１を上方へ移動させる最低上昇圧力よりも大きく設定されている。これにより、ワークＷが吸着していればピストン１１が動くことはなく、ワークＷが吸着していなければピストン１１が上方へ移動する。したがって、判定圧力Ｐのエアを供給することによって、ワークＷが吸着しているか否かを判定することができる。

【0040】

さらに、本実施形態に係る磁気吸着装置１は、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、ピストン１１が上方へ移動しない場合にはワークＷが吸着面３に吸着していると判定し、ピストン１１が上方へ移動した場合にはワークＷが吸着面３に吸着していないと判定する。これにより、ピストン１１の動きでワークＷが吸着しているか否かを判定することができるので、ワークＷに穴が開いている場合やワークＷがシリンダチューブの底面よりも小さい場合でも、ワークＷの有無を検出することができる。

【0041】

また、搬出装置３１は、本実施形態に係る磁気吸着装置１を備えている。これにより、搬出装置３１は、ワークＷの有無を正確に検出できる磁気吸着装置１を備えているので、ワークＷの搬出を確実に実行することができる。

【0042】

［第２実施形態］
以下、本発明を適用した第２実施形態について図面を参照して説明する。図面の記載において同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。図９に示すように、本実施形態に係る磁気吸着装置５０は、弾性部材５２をさらに備えたことが第１実施形態と相違している。弾性部材５２は、ワークＷと吸着していないピストン１１を上方へ移動させる弾性力を有するばねで構成され、その弾性力は、ワークＷと吸着しているピストン１１をワークＷから引き離す力よりも小さく設定されている。すなわち、ワークＷが吸着している場合にはピストン１１が動くことはなく、ワークＷが吸着していない場合には、弾性部材５２の弾性力によってピストン１１は上方へ移動する。ピストン１１が上方へ移動すると、第１実施形態と同様に磁気センサ１５でピストン１１を検出する。

【0043】

本実施形態に係る磁気吸着装置５０では、図４のステップＳ１０５において、ワークＷを吸着するときには、第１実施形態と同様に上部給排気孔２１から圧力Ｐ１のエアを供給し、下部給排気孔２３からエアを排出してピストン１１を下降させる。その後、第１実施形態では、ステップＳ１０９において、判定圧力Ｐのエアを供給しているが、本実施形態では、弾性部材５２を備えているので、判定圧力Ｐのエアを供給する必要はない。すなわち、本実施形態では、制御部１３が圧力Ｐ１のエアの供給を止めると、ワークＷが吸着面３に吸着していなければ、弾性部材５２の弾性力によってピストン１１は上方へ移動する。したがって、本実施形態の磁気吸着装置５０では、図４のステップＳ１０９を削除すれば、ワーク搬出処理を実行することができる。

【0044】

［第２実施形態の効果］
以上、詳細に説明したように、本実施形態に係る磁気吸着装置５０は、ワークＷと吸着していないピストン１１を上方へ移動させる弾性力を有する弾性部材５２をさらに備えている。そして、その弾性力は、ワークＷと吸着しているピストン１１をワークＷから引き離す力よりも小さく設定されている。制御部１３がピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、ワークＷが吸着面３に吸着していない場合に、弾性部材５２は、弾性力によってピストン１１を上方へ移動させる。これにより、ワークＷが吸着していればピストン１１が動くことはなく、ワークＷが吸着していなければピストン１１が上方へ移動する。したがって、弾性部材５２によるピストン１１の動きによって、ワークＷが吸着しているか否かを判定することができる。

【0045】

上記のように、本発明の実施形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

【符号の説明】

【0046】

１、５０ 磁気吸着装置
３ 吸着面
５ 圧力室
７ シリンダチューブ
９ 永久磁石
１１ ピストン
１３ 制御部
１５ 磁気センサ
１７ 上部空間
１９ 下部空間
２１ 上部給排気孔
２３ 下部給排気孔
２５ 取付溝
２７ シール部材
３１ 搬出装置
３３ 搬出アーム
３５ 吸着パッド
５２ 弾性部材
Ｐ、Ｐ１、Ｐ２ 圧力
Ｗ ワーク

【要約】

【課題】ワークに穴が開いている場合やワークがシリンダチューブの底面よりも小さい場合でも、ワークの有無を検出することのできる磁気吸着装置を提供する。
【解決手段】磁気吸着装置１は、底面がワークを吸着する吸着面３であり、内部に圧力室５を備えたシリンダチューブ７と、永久磁石９を備えて圧力室５内を上下に移動するピストン１１と、ワークＷを吸着するときに、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させて永久磁石９の磁力でワークＷを吸着面３に吸着させる制御部１３と、ピストン１１の位置を検出する磁気センサ１５とを備え、制御部１３は、ピストン１１を圧力室５の下端へ移動させた後に、ワークＷが吸着面３に吸着していない場合に、ピストン１１を上方へ移動させ、ピストン１１が上方へ移動したことを磁気センサ１５が検出したか否かによって、ワークＷが吸着面３に吸着しているか否かを判定する。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】