特許 7603315 樹脂封止装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-12

(45)【発行日】2024-12-20

(54)【発明の名称】樹脂封止装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20241213BHJP

   B29C 43/18 20060101ALI20241213BHJP

【ＦＩ】

H01L21/56 R

B29C43/18

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2021059338

(22)【出願日】2021-03-31

(65)【公開番号】P2022155897

(43)【公開日】2022-10-14

【審査請求日】2023-06-05

(73)【特許権者】

【識別番号】000144821

【氏名又は名称】アピックヤマダ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001726

【氏名又は名称】弁理士法人綿貫国際特許・商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 幸雄

(72)【発明者】

【氏名】西澤 哲也

(72)【発明者】

【氏名】涌井 正明

【審査官】今井 聖和

(56)【参考文献】

【文献】特開平０６－１５１４９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０１－２６９５１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－０１５３０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１５９４９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－０２９７８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－０２１４９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０８７３８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－０９５９４４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／５０

Ｂ２９Ｃ ４３／００

Ｂ２９Ｃ ４５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも前面及び両側面が仕切られたプレス部と、
前記プレス部に備えられ、上型及び下型を有し、成形前ワークと樹脂が供給される封止金型と、
前記プレス部の外部であって装置筐体の天板部に装着され、クリーンエアを供給するクリーンエア供給部と、
前記プレス部の後面に設けられ、閉状態で前記封止金型への前記クリーンエアの流入を抑制するとともに、開状態で前記上型と前記下型との間を横切り通過するクリーンエア流が形成される開閉シャッターと、
前記プレス部の外部であって前記クリーンエア供給部と前記プレス部を挟んで反対側に配置され、前記上型と前記下型との間を通過する前記クリーンエアを吸引する排気ダクトと、を備え、
前記クリーンエア供給部より供給されるクリーンエアの流量は、前記排気ダクトの排気流量より多くなるように調整されており、前記プレス部において前記開閉シャッターとは前記封止金型を挟んで反対側に設けられたエア吸引ダクトを通じて前記排気ダクトに吸引除去される樹脂封止装置。

【請求項2】

前記クリーンエア供給部には複数のフィルターファンユニットが設けられており、少なくとも成形前ワークを供給するワーク供給部の天板部に設けられている請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項3】

前記成形前ワークを封止金型へ供給するワーク供給部と成形後ワークを収納するワーク収納部を有するワーク処理部と、前記樹脂を封止金型へ供給する樹脂供給部がプレス部を挟んで両側に設けられており、前記クリーンエア供給部は前記ワーク処理部の天板部に設けられ、前記樹脂供給部の天板部には排気ダクトが設けられている請求項１又は請求項２記載の樹脂封止装置。

【請求項4】

前記封止金型を有するプレス部にはパーティクルカウンターが設けられており、前記パーティクルカウンターの検出値に基づいて前記クリーンエア供給部によるクリーンエアの供給動作及び前記エア吸引ダクトの吸引動作が制御される請求項１又は請求項２記載の樹脂封止装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、成形後ワーク及び封止金型への異物の付着を防止した樹脂封止装置に関する。

【背景技術】

【0002】

樹脂封止装置は、成形前ワーク及び樹脂を封止金型に供給して加熱溶融した樹脂を熱硬化させて樹脂封止された成形後ワークを得るものである。このとき、用いられる樹脂には顆粒状樹脂、粉末状樹脂やシート状樹脂、板状樹脂、固形のタブレット樹脂、液状樹脂など様々な形態の樹脂が用いられる。

【0003】

例えば、顆粒状樹脂、粉末状樹脂などは、樹脂を封止金型に供給する段階から樹脂粉や粉塵が舞い易く金型に付着して金型汚れ及び製品へのデントの原因となり易い。
またいずれの形態の樹脂を用いたとしても、ワークと共に加熱硬化させる過程で樹脂成分や添加剤等からアウトガス（揮発性ガス）が発生する。
このアウトガスが金型面に付着すると固化してワークにショットデント等の不具合が発生するおそれがある。

【0004】

例えば、樹脂封止装置のプレス部とローダ（製品保管部）との間に仕切りを設けて、ローダの上部に設けられたクリーンユニットからクリーンエアを下部に向けて気流をダウンフローさせることで、ローダから搬出される半導体チップに異物が載ってしまうのを抑制した装置が提案されている（特許文献１：特開２００６－３２５９４号公報参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－３２５９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上述したローダ上部にクリーンユニットを設けてクリーンエアをダウンフローさせても、封止金型で発生するアウトガスの金型面へ付着する問題は解決できない。また、クリーンエアを単にダウンフローさせるだけでは、底部に落下した粉塵が舞い上がるおそれもある。

【0007】

特に、封止金型は、周囲を仕切り壁に仕切られて樹脂封止される場合が多いため、樹脂封止で発生したアウトガスを排気できずに金型面などに異物として付着し易い。またワークとの間に異物が入ると打痕（デント）となるため製品不良を発生させるおそれがあった。なお、封止金型に付着して固化した異物は、アルカリ洗浄しないと除去できないため、異物を除去するたびに封止金型を分解して清掃する必要がある。また、顆粒状樹脂、粉末状樹脂などを用いた場合には、樹脂を封止金型に搬送する段階から舞い上がり易く、パーティクルなどの粉塵が浮遊して金型面に付着するおそれがある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、上記事情に鑑みてなされ、プレス部に備えた封止金型にクリーンエアを供給して吸引することで上型及び下型を横切り通過するクリーンエア流を形成して異物付着による金型汚染を防止した樹脂封止装置を提供することを目的とする。

【0009】

少なくとも前面及び両側面が仕切られたプレス部と、前記プレス部に備えられ、上型及び下型を有し、成形前ワークと樹脂が供給される封止金型と、前記プレス部の外部であって装置筐体の天板部に装着され、クリーンエアを供給するクリーンエア供給部と、前記プレス部の後面に設けられ、閉状態で前記封止金型への前記クリーンエアの流入を抑制するとともに、開状態で前記上型と前記下型との間を横切り通過するクリーンエア流が形成される開閉シャッターと、前記プレス部の外部であって前記クリーンエア供給部と前記プレス部を挟んで反対側に配置され、前記上型と前記下型との間を通過する前記クリーンエアを吸引する排気ダクトと、を備え、前記クリーンエア供給部より供給されるクリーンエアの流量は、前記排気ダクトの排気流量より多くなるように調整されており、前記プレス部において前記開閉シャッターとは前記封止金型を挟んで反対側に設けられたエア吸引ダクトを通じて前記排気ダクトに吸引除去されることを特徴とする。
これにより、樹脂封止に用いられる樹脂の形態を問わず、クリーンエア供給部より供給された相当量のクリーンエアがプレス部において必ず上型及び下型間を横切り通過してエア吸引ダクトを含む排気ダクト側に向かうクリーンエア流が形成されるので、クリーンエアの逆流を防いで封止金型で発生したアウトガスや樹脂粉を含む異物をエア吸引ダクトにより吸引除去して、金型面に付着するのを防ぐことができ、金型メンテナンスが容易となり、成形品質も向上する。
具体的には、プレス部に設けられた開閉シャッターを開放することでクリーンエア供給部より供給されたクリーンエアを上型及び下型間に導入して異物をエア吸引ダクトを通じて排気ダクトに吸引除去することができ、開閉シャッターを閉めることで封止金型の温度低下を防ぎつつ樹脂封止で発生したアウトガスや樹脂粉を含む異物をエア吸引ダクトを通じて排気ダクトに吸引除去することができる。

【0011】

前記クリーンエア供給部には複数のフィルターファンユニットが設けられており、少なくとも成形前ワークを供給するワーク供給部の天板部に設けられていてもよい。
これにより、樹脂封止装置のレイアウトを問わずワーク供給側より供給された相当量のクリーンエアがプレス部に向かう流れを形成することができ、封止金型内を流れるクリーエア流を形成することができる。

【0012】

前記成形前ワークを封止金型へ供給するワーク供給部と成形後ワークを収納するワーク収納部を有するワーク処理部と、前記樹脂を封止金型へ供給する樹脂供給部がプレス部を挟んで両側に設けられており、前記クリーンエア供給部は前記ワーク処理部の天板部に設けられ、前記樹脂供給部の天板には排気ダクトが設けられていてもよい。
これにより、ワーク処理部から供給された相当量のクリーンエアをプレス部の封止金型へ供給する流れを形成することで、樹脂粉が舞い易い樹脂供給部側からプレス部へ粉塵が拡散するのを防ぐことができる。

【0013】

前記封止金型を有するプレス部にはパーティクルカウンターが設けられており、前記パーティクルカウンターの検出値に基づいて前記クリーンエア供給部によるクリーンエアの供給動作及び前記エア吸引ダクトの吸引動作が制御されるようにしてもよい。
これにより、プレス部に設置したパーティクルカウンターでアウトガスや樹脂粉等の発生を監視することで、クリーンエア供給部によるクリーンエアの供給量を増減したり、エア吸引ダクトの吸引量を増減したりすることで封止金型が置かれる環境をクリーンに維持することができる。

【発明の効果】

【0015】

本発明によれば、プレス部に備えた封止金型にクリーンエアを供給して吸引することで上型及び下型を横切り通過するクリーンエア流を形成して異物付着による金型汚染を防止した樹脂封止装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】樹脂封止装置の一例を示すレイアウト構成図である。

【図2】図１の樹脂封止装置のプレス部を側面視した説明図である。

【図3】他例に係る樹脂封止装置のレイアウト構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳しく説明する。図１は、本発明の実施形態に係る樹脂封止装置１の一例を示すレイアウト構成図（平面図）である。なお、説明の便宜上、図中において矢印により樹脂封止装置１における左右方向をＸ軸方向、前後方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向として説明する場合がある。また、各実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰返しの説明は省略する場合がある。

【0018】

本実施形態に係る樹脂封止装置１は、上型で成形前ワークＷを保持し、下型に設けられたキャビティ凹部を含む下型面をフィルム（リリースフィルム）Ｆで覆って樹脂Ｒを供給し、上型と下型をクランプして、溶融した樹脂Ｒに成形前ワークＷを浸漬させて樹脂封止する圧縮成形装置を例示するものとする。
先ず、成形前ワークＷは、例えばストリップ基板に複数の電子部品が行列状に搭載された構成を備えている。より具体的には、ストリップ基板の例として、短冊状に形成された樹脂基板、セラミックス基板、金属基板、キャリアプレート、リードフレーム、ウェハ等の板状の部材（短冊形状の短冊ワーク）が挙げられる。また、電子部品の例として、半導体チップ、ＭＥＭＳチップ、受動素子、放熱板、導電部材、スペーサ等が挙げられる。

【0019】

ストリップ基板に電子部品が搭載された成形前ワークＷの例として、半導体チップがフリップチップ実装、ワイヤボンディング実装等により搭載されたワークが用いられる。あるいは、樹脂封止後に成形後ワークＷｐから基板（ガラス製や金属製のキャリアプレート）を剥離する製品の場合には、熱剥離性を有する粘着テープや紫外線照射により硬化する紫外線硬化性樹脂を用いて電子部品を貼り付けた成形前ワークＷが用いられる。

【0020】

一方、樹脂Ｒの例として、顆粒状の熱硬化性樹脂（例えば、フィラー含有のエポキシ系樹脂）が用いられる。なお、上記の状態に限定されるものではなく、液状、粉末状、円柱状（タブレット状）、板状、シート状等、他の形態であってもよい。

【0021】

また、フィルムＦの例として、耐熱性、剥離容易性、柔軟性、伸展性に優れたフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＥＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン重合体）、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリデン等が好適に用いられる。このフィルムＦとしては、例えば短冊形状の成形前ワークＷに対応した短冊形状の短冊フィルムが用いられるが、長尺状のロールフィルムであってもよい。

【0022】

続いて、本実施形態に係る樹脂封止装置１のレイアウト構成について説明する。図１に示すように、樹脂封止装置１は、成形前ワークＷの供給と、成形後ワークＷｐの収納とを主に行うワーク処理ユニット１Ａ（ワーク供給部）、成形前ワークＷを樹脂封止するプレスユニット１Ｂ（プレス部）、フィルムＦ及び樹脂Ｒの供給と、樹脂モールド後の使用済みフィルムＦｄ（不要フィルム及び廃棄フィルム）の収納とを主に行うディスペンスユニット１Ｃ（樹脂供給部）を主要構成として備えている。尚、ワーク処理ユニット、プレスユニット、ディスペンスユニットを一体として備えた樹脂封止装置であってもよい。

【0023】

本実施形態においては、ワーク処理ユニット１Ａ、プレスユニット１Ｂ、及びディスペンスユニット１Ｃのようなユニットが横並びに連結されて組み立てられている。一例として、ワーク処理ユニット１Ａ、複数のプレスユニット１Ｂ、及びディスペンスユニット１Ｃが、Ｘ軸方向に左からその順に並設されている。なお、各ユニット間を跨いで任意の数のガイドレール１Ｄ（図２参照）がＸ軸方向に敷設されている。また、成形前ワークＷ及び成形後ワークＷｐを搬送する第１ローダ３とフィルムＦ及び樹脂Ｒを搬送する第２ローダ４が、共通のガイドレール１Ｄ（図２参照）に沿って所定のユニット間を移動可能に設けられている。

【0024】

図１に示すように、プレスユニット１Ｂは、少なくとも前面及び両側面が仕切られた独立したユニットであり、成形前ワークＷを吸着保持する上型２ａと樹脂Ｒが供給されるキャビティ凹部２ｃを有する下型２ｂとを有する封止金型２が設けられている（図２参照）。なお、本実施形態においては、下型２ｂに二つのキャビティ凹部２ｃを設けると共に二つの成形前ワークＷを供給して一回の樹脂封止を行い、同時に二つの成形後ワークＷｐを圧縮成形する。図１に示す構成は、プレスユニット１Ｂを三台設置した例であるが、プレスユニット１Ｂを一台のみ設置してもよいし、あるいは二台または四台以上連結して設置してもよい。また、例えば、ディスペンスユニット１Ｃとは異なる形態の樹脂Ｒを供給するユニットや、金型内に成形前ワークＷ共に樹脂封止する部材を供給するユニット等を設置することも可能である。

【0025】

次に、ワーク処理ユニット１Ａは、複数の供給マガジン１ａと収納マガジン（図示せず）が高さ方向に上下に配置されている。供給マガジン１ａから公知のプッシャ等（不図示）等により成形前ワークＷが１枚ずつ取り出され供給レール１ｂに載置される。供給レール１ｂは、電子部品の搭載位置を避けて成形前ワークＷを側方で支持したままＹ軸方向に案内する。また、供給レール１ｂは、二つの成形前ワークＷを横並びに載置するようにＸ軸方向に二列（図中１ｂ１、１ｂ２）に設けられている。また、供給ピックアップ１ｃは、二列の供給レール１ｂ１，１ｂ２上の二つの成形前ワークＷを、並べた状態で同時に保持して後述する第１ローダ３に対する供給位置へ搬送する。

【0026】

第１収納ピックアップ１ｄは、Ｘ軸方向（左右方向）に移動可能に構成されている。これにより、第１ローダ３から受け渡された成形後ワークＷｐを保持して、第２収納ピックアップ１ｅ上へ搬送することが可能となる。第２収納ピックアップ１ｅに保持された成形後ワークＷｐは、供給マガジン１ａと重ねて設けられた図示しない収納マガジンへ収納される。

【0027】

図１に示すように、第１ローダ３は、ローダハンドとして二つの成形前ワークＷを保持する供給ハンド３Ａ及び二つの成形後ワークＷｐを保持する収納ハンド３Ｂを各々昇降可能に備えている。成形前ワークＷを保持する供給ハンド３Ａと成形後ワークＷｐを保持する収納ハンド３Ｂは下型２ｂのキャビティレイアウトに対応して二行二列に配置されている。これにより、プレスユニット１Ｂの金型レイアウトに合わせて供給ハンド３Ａによる成形前ワークＷの供給と収納ハンド３Ｂによる成形後ワークＷｐの取り出しを一回の進退動作で実現することができる。

【0028】

供給ハンド３Ａは、成形前ワークＷを電子部品搭載面が下向きとなるように保持し、収納ハンド３Ｂは、成形後ワークＷｐをパッケージ部が下向きになるようにして保持する。第１ローダ３は、供給ハンド３Ａ及び収納ハンド３Ｂを搭載したまま図１のＸ軸方向に往復動し、供給ハンド３Ａ及び収納ハンド３Ｂは、各プレスユニット１ＢのＹ軸方向奥側から手前側の封止金型２へ進退可能に設けられている。

【0029】

図１において、ディスペンスユニット１Ｃは、フィルムＦ及び樹脂Ｒの供給等を行うユニットである。本実施形態においては、フィルムＦ及び樹脂Ｒを封止金型２へ搬送する際に、これらを保持して搬送するための治具として搬送具７が用いられる。準備テーブル８においてフィルムＦ及び樹脂Ｒを保持していない状態の搬送具７が載置されクリーニングが行われる。搬送具ピックアップ９は、準備テーブル８上に載置された搬送具７を保持して、フィルムテーブル１０及び樹脂投下テーブル１１へ搬送する。フィルムテーブル１０において、長尺状のフィルムＦがロール状に巻かれたフィルムロール１２から繰出されたフィルムＦが所定長さの短冊状に切断されて保持される。フィルムロール１２として、二つのフィルムロール１２Ａ，１２Ｂが左右方向に並べて配設されている。短冊状に切断された二つのフィルムＦは、搬送具７の下面に吸着保持され、フィルムテーブル１０の側方に設けられた樹脂投下テーブル１１に載置される。樹脂投下テーブル１１上に載置された搬送具７はディスペンサ１３の下方へ移動する。

【0030】

ディスペンサ１３は、樹脂投下テーブル１１に載置された搬送具７における樹脂投入孔に樹脂Ｒを投入して、露出するフィルムＦ上に当該樹脂Ｒを搭載（投下）する。

【0031】

第２ローダ４は樹脂保持部４Ａ及びフィルム保持部４Ｂを各々備えている。この樹脂保持部４Ａは、その下面において、樹脂投下テーブル１１上に載置された搬送具７を受け取り、下型２ｂの所定保持位置へ搬送すると共に、フィルムＦ及び樹脂Ｒの保持が解放された搬送具７を前述の準備テーブル８上へ搬送する。フィルム保持部４Ｂは、樹脂封止された成形後ワークＷｐが封止金型２から取り出された後に下型に残留するフィルム（使用済みフィルム）Ｆｄを保持して、所定位置（後述のフィルムディスポーザ１６）へ搬送し廃棄する。

【0032】

また、図１において、周りを囲われた樹脂封止装置１の筐体の天板部にはクリーンエア供給部１７が装着されている。クリーンエア供給部１７はワーク処理ユニット１Ａの天板部に設けられている。また、ディスペンスユニット１Ｃ（樹脂供給部）には装置内で吸引した空気を排気する排気ダクト１８が樹脂封止装置１の天板に設けられている。また、各プレスユニット１Ｂには、封止金型２の前面側にエア吸引ダクト１９が２か所に設けられている。エア吸引ダクト１９は図示しないリングブロワに接続されており、エア吸引ダクト１９から吸引されたエアは、排気ダクト１８から排出される排気と共に装置外へ排気される。

【0033】

クリーンエア供給部１７には複数のフィルターファンユニット（ＦＦＵ）が設けられている。フィルターファンユニットは、送風ファンとフィルター（ＨＥＰＡフィルター）を併有し、上部から空気を吸い込みフィルターにより浄化されたクリーエアを底部から吹き出すようになっている。
これにより、樹脂粉が舞い易いディスペンスユニット１Ｃ側からプレスユニット１Ｂへ粉塵が拡散するのを防いで、クリーンエアをワーク処理ユニット１Ａからプレスユニット１Ｂの封止金型２へ供給することができる。
また、クリーンエア供給部１７より供給された相当量のクリーンエアが上型２ａ及び下型２ｂ間を横切り通過するクリーンエア流が形成されてクリーンエア供給側とは封止金型２を挟んで反対側（前面側）に設けられたエア吸引ダクト１９に吸引除去される。これにより、樹脂封止に用いられる樹脂Ｒの形態を問わず、封止金型２で発生したアウトガスや樹脂粉を含む異物をエア吸引ダクト１９により吸引除去して、封止金型２に付着するのを防ぐことができ、金型メンテナンスが容易となり、成形品質も向上する。

【0034】

クリーンエア供給部１７より供給されるクリーンエアの流量は、エア吸引ダクト１９を含む装置の排気ダクト１８の排気流量より多くなるように調整されている。即ち、クリーンエア供給部１７には複数のフィルターファンユニット（ＦＦＵ）が設けられ、クリーエアの供給量を確保している。
これにより、クリーンエア供給部１７より供給された相当量のクリーンエアが必ず封止金型２を横切ってエア吸引ダクト１９を含む排気側に向かう流れが形成されるので、クリーンエアの逆流を防いで封止金型２にクリーンエア流を供給することができる。

【0035】

図２に示すように、クリーンエア供給部１７により供給されたクリーンエアは、封止金型２の成形前ワークＷと樹脂Ｒが供給される一方側（ガイドレール１Ｄに臨む後面側）より供給され上型２ａと下型２ｂ間を通過して封止金型２の反対側（前面側）に設けられたエア吸引ダクト１９に吸引除去される。これにより、封止金型２で発生したアウトガスがプレスユニット１Ｂの仕切られた空間内に滞留することなくエア吸引ダクト１９から吸引除去することができる。

【0036】

封止金型２を有するプレスユニット１Ｂにはパーティクルカウンターが設けられていてもよい。パーティクルカウンターの検出値に基づいてクリーンエア供給部１７によるクリーンエアの供給動作及びエア吸引ダクト１９の吸引動作が制御される。これにより、プレスユニット１Ｂに設置したパーティクルカウンターでアウトガスや樹脂粉等の発生を監視することで、クリーンエア供給部１７によるクリーンエアの供給量を増減したり、エア吸引ダクト１９の吸引量を増減したりすることで封止金型２が置かれる環境をクリーンに維持することができる。

【0037】

封止金型２の前面及び両側面には仕切り壁が設けられており、封止金型２の後面（ガイドレール１Ｄに臨む面）には開閉シャッター２ｄが開閉可能に設けられている。この開閉シャッター２ｄを開放することで、クリーンエア供給部１７によるクリーンエアが封止金型２に供給されるようにしてもよい。
これにより、封止金型２の後面に設けられた開閉シャッター２ｄを開放することでクリーンエア供給部１７より供給されたクリーンエアを上型２ａ及び下型２ｂ間に導入して異物をエア吸引ダクト１９により吸引除去することができる。また、開閉シャッター２ｄを閉めることで封止金型２の温度低下を防ぎつつ樹脂封止で発生したアウトガスや樹脂粉をエア吸引ダクト１９から吸引除去することができる。尚、封止金型２の温度管理が可能であれば開閉シャッター２ｄは開放したまま樹脂封止を行なってもよく、この場合にはクリーンエアが、常時封止金型２を横切り通過するように供給するクリーンエア流を形成してクリーンな環境を維持することができる。

【0038】

図３は、他例に係る樹脂封止装置のレイアウト構成図である。
樹脂封止装置２１は、トランスファ成形装置であって、成形前ワークＷの供給とタブレット樹脂Ｒを供給するワーク供給ユニット２１Ａ、成形前ワークＷを樹脂封止するプレスユニット２１Ｂ（プレス部）、成形後ワークＷｐから不要樹脂を分離して収納するワーク収納ユニット２１Ｃを横並びに備えている。尚、ワーク供給ユニット２１Ａ、プレスユニット２１Ｂ、ワーク収納ユニット２１Ｃを一体として備えた樹脂封止装置であってもよい。

【0039】

ワーク供給ユニット２１Ａには、成形前ワークＷを収納する供給マガジン２１ａ、供給マガジン２１ａより成形前ワークＷが１枚ずつ送り出される回転テーブル２１ｂ、回転テーブル２１ｂより成形前ワークＷを２枚１組で搬送する供給ピックアップ２１ｃ、図示しないパーツフィーダにより供給されたタブレット樹脂Ｒを保持するタブレットホルダー２１ｄなどが設けられている。

【0040】

プレスユニット２１Ｂは、少なくとも前面及び両側面が仕切られた独立したユニットであり、上型２ａ及び下型２ｂ（図示せず）を備えたトランスファ成形用の封止金型２が設けられている。上型２ａにキャビティ凹部２ｃが設けられ、下型２ｂには成形前ワークＷ及びタブレット樹脂Ｒが装填されるポット２ｅ及びプランジャ（図示せず）などが設けられている。尚、下型２ｂにもキャビティ凹部２ｃが設けられていてもよい。

【0041】

ワーク収納ユニット２１Ｃには、成形後ワークＷｐが取り出されるワーク取り出し部２１ｅ、ワーク取り出し部２１ｅに取り出された成形後ワークＷｐをゲートブレイクして不要樹脂を分離するゲートブレイク部２１ｆ、ゲートブレイクされた成形後ワークＷｐを図示しない収納マガジンへ収納する収納用ピックアップ２１ｇなどが設けられている。

【0042】

ローダ２２は、ワーク供給ユニット２１Ａから成形前ワークＷ及びタブレット樹脂Ｒを受け取って所定のプレスユニット２１Ｂとの間をＸ軸方向に往復移動する。ローダ２２はＹ軸方向に封止金型２に進入して成形前ワークＷ及びタブレット樹脂Ｒを下型２ｂに供給する。また、アンローダ２３は、所定のプレスユニット２１Ｂから成形後ワークＷｐを取り出し、ワーク収納ユニット２１Ｃとの間をＸ軸方向に往復動する。アンローダ２３は、成形後ワークＷｐをワーク取り出し部２１ｅに受け渡す。ローダ２２及びアンローダ２３は共通のガイドレール２４に沿ってＸ軸方向に往復動可能に設けられている。

【0043】

ワーク供給ユニット２１Ａの天板部にはクリーンエア供給部１７が設けられている。クリーンエア供給部１７には複数のフィルターファンユニット（ＦＦＵ）が設けられている。また、各プレスユニット２１Ｂには、封止金型２の前面側にエア吸引ダクト１９が２か所に設けられている。クリーンエア供給部１７は、ワーク供給ユニット２１Ａに限らずプレスユニット２１Ｂに設けられていてもよい。これにより、樹脂封止装置１のレイアウトを問わずワーク供給ユニット２１Ａ側より供給された相当量のクリーンエアがプレスユニット２１Ｂに向かう流れを形成することができ、封止金型２を横切り通過するクリーンエア流を形成することができる。

【0044】

以上、説明したように、樹脂封止に用いられる樹脂Ｒの形態を問わず、クリーンエア供給部１７より供給されたクリーンエアが上型２ａ及び下型２ｂ間を横切り通過するクリーンエア流が形成されるので、封止金型２で発生したアウトガスや樹脂粉をエア吸引ダクト１９により吸引除去して、金型面に付着するのを防ぐことができ、金型メンテナンスが容易となり、成形品質も向上する。

【0045】

上述した樹脂封止装置は、ワーク供給側からプレス部の後面の開口部を通じてクリーンエアを封止金型２へ導入し、前面側のエア吸引ダクト１９から吸引していたが、これに限らず、プレスユニットの天板部やその他の部位にクリーンエア供給部１７を設けてプレス部へクリーンエアを供給するようにしてもよい。また、封止金型２のＹ軸方向前面側より後面側へクリーンエアを供給して後面側に設けられたエア吸引ダクト１９から吸引するようにしてもよい。

【0046】

また、樹脂封止装置１は二つの成形前ワークＷ、二つのフィルムＦ及び樹脂Ｒ、二つの成形後ワークＷｐをハンドリングする場合について説明したが、一つの成形前ワークＷ、一つのフィルムＦ及び搭載された樹脂Ｒ、一つの成形後ワークＷｐをハンドリングする装置構成であってもよい。
更には、樹脂封止装置１は、圧縮成形装置又はトランスファ成形装置のいずれでもよく、また下型キャビティ可動の圧縮成形タイプ又は上型キャビティ可動の圧縮成形タイプのいずれか又は上下型キャビティ可動の圧縮成形タイプの装置であってもよい。

【符号の説明】

【0047】

Ｗ 成形前ワーク Ｗｐ 成形後ワーク Ｆ フィルム Ｒ 樹脂 １ 樹脂封止装置 １Ａ ワーク処理ユニット １Ｂ プレスユニット １Ｃ ディスペンスユニット １Ｄ，２４ ガイドレール １ａ 供給マガジン １ｂ，１ｂ１，１ｂ２ 供給レール １ｃ 供給ピックアップ １ｄ 第１収納ピックアップ １ｅ 第２収納ピックアップ ２ 封止金型 ２ａ 上型 ２ｂ 下型 ２ｃ キャビティ凹部 ２ｄ 開閉シャッター ３ 第１ローダ ３Ａ 供給ハンド ３Ｂ 収納ハンド ４ 第２ローダ ４Ａ 樹脂保持部 ４Ｂ フィルム保持部 ７ 搬送具 ８ 準備テーブル ９ 搬送具ピックアップ １０ フィルムテーブル １１ 樹脂投下テーブル １２，１２Ａ，１２Ｂ フィルムロール １３ ディスペンサ １６ フィルムディスポーザ １７ クリーンエア供給部 １８ 排気ダクト １９ エア吸引ダクト ２１Ａ ワーク供給ユニット ２１Ｂ プレスユニット ２１Ｃ ワーク収納ユニット ２１ａ 供給マガジン ２１ｂ 回転テーブル ２１ｃ 供給ピックアップ ２１ｄ タブレットホルダー ２１ｅ ワーク取り出し部 ２１ｆ ゲートブレイク部 ２１ｇ 収納用ピックアップ ２２ ローダ ２３ アンローダ

【図1】

【図2】

【図3】