特許 7603673 単位セル、これを含む太陽電池、および太陽電池の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-12

(45)【発行日】2024-12-20

(54)【発明の名称】単位セル、これを含む太陽電池、および太陽電池の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 31/05 20140101AFI20241213BHJP

   H01L 31/18 20060101ALI20241213BHJP

   H01L 31/043 20140101ALI20241213BHJP

【ＦＩ】

H01L31/04 570

H01L31/04 460

H01L31/04 510

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2022520556

(86)(22)【出願日】2020-09-25

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-12-21

(86)【国際出願番号】 KR2020013035

(87)【国際公開番号】W WO2021075756

(87)【国際公開日】2021-04-22

【審査請求日】2023-08-17

(31)【優先権主張番号】10-2019-0129880

(32)【優先日】2019-10-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】504210651

【氏名又は名称】ジュスン エンジニアリング カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000154

【氏名又は名称】弁理士法人はるか国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】キム ジュン バエ

(72)【発明者】

【氏名】カン ジュン ヤン

(72)【発明者】

【氏名】ムン ヒャン ジュ

(72)【発明者】

【氏名】ミン ソン キ

(72)【発明者】

【氏名】セオ ジオン ホ

(72)【発明者】

【氏名】シン ウォン スク

(72)【発明者】

【氏名】シン ヒュン キョ

(72)【発明者】

【氏名】ユーン ヤン タエ

(72)【発明者】

【氏名】リム キャン ジン

(72)【発明者】

【氏名】ファン チュル ジュ

【審査官】桂城 厚

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１９－５０１５４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－００４１３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１５－５３４２８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－１４０６５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０６５３１８２９（ＣＮ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０３０１８０１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特表２０１７－５１７１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／０３２５２８２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】中国特許出願公開第１０８８９９３８７（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ３１／００－３１／０７８

Ｈ０１Ｌ ３１／１８－３１／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を複数の片に分離するための複数の分離部が形成された前記基板を準備する基板準備工程、
前記基板の一面に導電性を有する複数の第１母電極を形成する第１電極形成工程、
前記第１母電極を硬化させる第１キュアリング工程、
前記基板の他面に導電性を有する未硬化状態の複数の第２母電極を形成する第２電極形成工程、
前記分離部を介して、前記基板を複数の片に分離することによって、第１単位セル及び第２単位セルを含む複数の単位セルを形成する分離工程、および
未硬化状態の前記第２母電極を介して、前記単位セルを接合させる接合工程を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。

【請求項2】

前記接合工程が行われた後、結合した前記単位セルを硬化させる第２キュアリング工程をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項3】

前記第１単位セルは、第１単位基板上に形成され導電性を有する第１セル電極を含み、
前記第２単位セルは、第２単位基板上に形成され導電性を有する第２セル電極を含み、
前記第２セル電極と前記第１セル電極は、接合物質なしに互いに接合して、前記第２単位セルと前記第１単位セルを結合させることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項4】

前記第１セル電極は、前記第１単位基板の一面と他面それぞれに形成された第１下部セル電極と第１上部セル電極を含み、
前記第２セル電極は、前記第２単位基板の一面と他面それぞれに形成された第２下部セル電極と第２上部セル電極を含み、
前記第２下部セル電極と前記第１上部セル電極が互いに接合することによって、前記第２単位セルと前記第１単位セルを結合させることを特徴とする、請求項３に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項5】

前記第１上部セル電極は、前記第２下部セル電極が接合することによって厚さが減少するように、未硬化状態で形成されることを特徴とする、請求項４に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項6】

前記第２下部セル電極と前記第１上部セル電極の少なくともいずれか一つの電極は、前記第２単位セルと前記第１単位セルを結合させるように、未硬化状態で形成されることを特徴とする、請求項４に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項7】

前記第１上部セル電極は、第１厚さを有するように形成され、
前記第２下部セル電極は、第２厚さを有するように形成され、
前記第２下部セル電極と前記第１上部セル電極が接合することによって形成される前記第１単位セルと前記第２単位セルの間の第３厚さは、前記第２厚さと前記第１厚さを合計した値と比較して小さい値を有することを特徴とする、請求項４に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項8】

前記第２下部セル電極と前記第１上部セル電極は互いに接合し、前記第２単位セルと前記第１単位セルが離隔した第１軸方向について、一部が互いに重畳するように配置されることを特徴とする、請求項４に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項9】

前記第２下部セル電極と前記第１上部セル電極が互いに接合される場合、前記第２下部セル電極と前記第１上部セル電極は同じ厚さを有するように形成されることを特徴とする、請求項４に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項10】

前記第１セル電極および前記第２セル電極は、共に同じ物質で形成されて互いに接合されることを特徴とする、請求項３に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項11】

前記第１上部セル電極は、前記第２下部セル電極に接合される第１接合電極を含み、
前記第１接合電極は、前記第２下部セル電極に向いた第１接合面、および前記第１接合面に形成された挿入溝を含むことを特徴とする、請求項４に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項12】

前記第１接合電極は、その内側に前記挿入溝が配置されるように形成される第１接合フィンガーバーをさらに含み、
前記第１接合フィンガーバーは、前記第１単位セルと前記第２単位セルが離隔した方向に対して垂直な方向に沿って形成された第１接合フィンガー部材、および前記第１接合フィンガー部材に結合した第２接合フィンガー部材を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項13】

前記第１上部セル電極は、前記第１接合電極に結合された第１未接合電極を含み、前記第１未接合電極は、互いに離隔するように配置された複数の第１未接合フィンガーバーを含むことを特徴とする、請求項１１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項14】

前記第２下部セル電極は、前記第１接合電極に接合される第２接合電極を含み、
前記第２接合電極は、前記第１接合電極に向いた第２接合面を含み、
前記第２接合面は、前記第２接合電極と前記第１接合電極が互いに接合される前に、平坦な平面形態に形成されることを特徴とする、請求項１１に記載の太陽電池の製造方法。

【請求項15】

前記第２下部セル電極は、前記第１接合電極に結合した第２接合電極を含み、
前記第２接合電極は、前記第１接合電極に接合され前記挿入溝に挿入される挿入部材を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の太陽電池の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、太陽電池（Ｓｏｌａｒ Ｃｅｌｌ）に関するものであり、基板型太陽電池と薄膜型太陽電池を組み合わせた太陽電池に関するものである。

【背景技術】

【0002】

太陽電池は、半導体の性質を利用して光エネルギーを電気エネルギーに変換させる装置である。

【0003】

太陽電池は、Ｐ（ｐｏｓｉｔｉｖｅ）型半導体とＮ（ｎｅｇａｔｉｖｅ）型半導体を接合させたＰＮ接合構造をしており、このような構造の太陽電池に太陽光が入射すると、入射した太陽光が有しているエネルギーによって前記半導体内で正孔（ｈｏｌｅ）および電子（ｅｌｅｃｔｒｏｎ）が発生し、このとき、ＰＮ接合で発生した電界によって前記正孔（＋）は、Ｐ型半導体の方に移動し、前記電子（－）は、Ｎ型半導体の方に移動するようになって電位が発生するようになることで電力を生産できるようになる。

【0004】

このような太陽電池は、一般的に基板型太陽電池と薄膜型太陽電池に区分することができる。

【0005】

前記基板型太陽電池は、シリコンウエハのような半導体物質自体を基板に用いて太陽電池を製造したものであり、前記薄膜型太陽電池は、ガラスなどの基板上に薄膜の形態で半導体を形成して太陽電池を製造したものである。

【0006】

前記基板型太陽電池は、前記薄膜型太陽電池に比べて効率が優れている利点があり、前記薄膜型太陽電池は、前記基板型太陽電池に比べて製造コストが低減される利点がある。

【0007】

そこで、前記基板型太陽電池と薄膜型太陽電池を組み合わせた太陽電池が提案されたことがある。以下、図を参照して従来の太陽電池について説明する。

【0008】

従来技術による太陽電池の製造方法は、以下のような工程を含む。

【0009】

まず、複数の分離部が形成された基板を準備する工程を行う。前記分離部は、前記基板を複数の片に分離するためのものである。

【0010】

次に、前記基板の一面に一面電極を形成する工程を行い、前記一面電極を硬化させる。

【0011】

次に、前記基板の他面に他面電極を形成する工程を行い、前記他面電極を硬化させる。これにより、基板上に前記一面電極と前記他面電極が形成された母基板（Ｍｏｔｈｅｒ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）が製造される。

【0012】

次に、前記他面電極上に接合物質を噴射する工程を行う。前記接合物質は、分離された片を接合することができるように接合力を有する材料であり得る。

【0013】

次に、分離部を介して、基板を複数の片に分離する工程を行う。これにより、前記基板を複数の単位セルに分離することができる。

【0014】

次に、前記複数の単位セルを接合物質を介して接合する工程を行い、接合した単位セルを硬化させる。これにより、太陽電池が製造される。

【0015】

ここで、従来技術による太陽電池は、前記接合物質を介して、前記単位セルを互いに接合させるように具現される。これにより、製造された電力が前記単位セルを通して流れる過程で、前記接合物質を経なければならないので、従来技術による太陽電池は、前記接合物質自体の抵抗によって、太陽電池の発電効率を低下させるという問題がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0016】

本発明は、上述したような問題を解決しようとして案出されたものであり、接合物質自体の抵抗によって、太陽電池の発電効率が低下する程度を低減できる単位セル、これを含む太陽電池、及び太陽電池製造方法に関するものである。

【課題を解決するための手段】

【0017】

本発明は、上述したような課題を解決するために、下記のような構成を含むことができる。

【0018】

本発明に係る太陽電池の製造方法は、基板を複数の片に分離するための複数の分離部が形成された前記基板を準備する基板準備工程；前記基板の一面に、導電性を有する複数の第１母電極を形成する第１電極形成工程；前記基板の他面に、導電性を有する未硬化状態の複数の第２母電極を形成する第２電極形成工程；前記分離部を介して、前記基板を複数の片に分離することによって、複数の単位セルを形成する分離工程；および、未硬化状態の前記第２母電極を介して、前記単位セルを接合する接合工程を含むことができる。

【0019】

本発明による太陽電池は、母基板（Ｍｏｔｈｅｒ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）を分離することによって、形成された複数の片の中のいずれか１つを用いて製造された第１単位セル；および、前記第１単位セルに結合した第２単位セルを含むことができる。前記第１単位セルは、第１単位基板上に形成され、導電性を有する第１セル電極を含むことができる。前記第２単位セルは、第２単位基板上に形成され、導電性を有する第２セル電極を含むことができる。前記第２セル電極と前記第１セル電極は、結合物質なしに互いに接合し、前記第２単位セルと前記第１単位セルを結合させることができる。

【0020】

本発明による太陽電池は、母基板（Ｍｏｔｈｅｒ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）を分離することによって、形成された複数の片の中のいずれか１つを用いて製造された第１単位セル；そして、第１単位セルに連結した第２単位セルを含むことができる。前記第１単位セルは、第１単位基板上に形成され、導電性を有する第１セル電極を含むことができる。前記第２単位セルは、第２単位基板上に形成され、導電性を有する第２セル電極を含むことができる。前記第２セル電極と前記第１セル電極は、互いに接合されることにより、前記第２単位セルと前記第１単位セルを結合させることができる。

【0021】

本発明による単位セルは、母基板（Ｍｏｔｈｅｒ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）を分離することによって、形成された複数の片の中のいずれか１つを用いて製造された単位基板；および、前記単位基板に形成され、導電性を有するセル電極を含むことができる。前記セル電極は、前記単位基板の一面と他面のそれぞれに形成された下部セル電極と上部セル電極を含むことができる。前記上部セル電極と前記下部セル電極の中のいずれか一方の電極は、未硬化状態で形成することができる。

【発明の効果】

【0022】

本発明によれば、次のような効果を得ることができる。

【0023】

本発明は、接合物質を噴射する一連の工程を省略できるように具現されることにより、太陽電池の製造時間を短縮することができる。

【0024】

本発明は、接合物質自体の抵抗によって太陽電池の発電効率が低下することを根本的に防止するように具現することにより、完成した太陽電池の品質を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明による太陽電池の概略的な正面図である。

【図2】本発明による単位セルの概略的な正面図である。

【図3】本発明による太陽電池において、第１単位セルと第２単位セルが結合した様子を示す概略的な正面図である。

【図4】本発明に係る太陽電池の一例において、第１単位セルと第２単位セルが結合される前の様子を示す概略的な正面図である。

【図5】本発明に係る太陽電池の一例において、第１単位セルと第２単位セルが結合された後の様子を示す概略的な正面図である。

【図6】本発明による太陽電池において、第１上部セル電極に形成された第１接合電極と第１未接合電極を示す概略的な斜視図である。

【図7】本発明による太陽電池において、第２下部セル電極に形成された第２接合電極と第２未接合電極を示す概略的な斜視図である。

【図8】本発明に係る太陽電池において、第２接合電極が第１接合電極に接合する前の様子を示す概略的な正面図である。

【図9】本発明に係る太陽電池において、第２接合電極が第１接合電極に接合することによって、挿入部材が挿入溝に挿入される様子を示す概略的な正面図である。

【図10a】本発明による太陽電池製造方法の基板準備工程を示す概略的な工程正面図である。

【図10b】本発明による太陽電池の製造方法の第１電極形成工程を示す概略的な工程正面図である。

【図10c】本発明による太陽電池の製造方法の第１キュアリング工程を示す概略的な工程正面図である。

【図10d】本発明による太陽電池の製造方法の第２電極形成工程を示す概略的な工程正面図である。

【図10e】本発明による太陽電池の製造方法の分離工程を示す概略的な工程正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

本発明の利点と特徴、そしてそれらを達成する方法は、添付の図と共に詳細に後述されている実施例を参照すると明確になるだろう。しかし、本発明は、以下で開示される実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現されるものであり、単に本実施例は、本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、請求項の範疇によってのみ定義される。

【0027】

本発明の実施例を説明するため、図に示した形状、大きさ、比率、角度、個数などは、例示的なものであって、本発明が図に示した事項に限定されるものではない。明細書全体にわたって、同一参照符号は、同一の構成要素を指す。また、本発明を説明するにおいて、関連する公知技術に対する具体的な説明が、本発明の要旨を不必要に曖昧にすると判断された場合、その詳細な説明は省略する。本明細書上で言及した「含む」、「有する」、「からなる」などが使用されている場合、「～だけ」が使用されていない限り、他の部分を追加することができる。構成要素を単数で表現した場合に、特に明示的な記載事項がない限り、複数を含む場合を含む。

【0028】

構成要素を解釈するにおいて、別途の明示的な記載がなくても、誤差範囲を含むものと解釈する。

【0029】

位置関係についての説明である場合、例えば、「～上に」、「～上部に」、「～下部に」、「～横に」などで２つの部分の位置関係が説明されている場合、「すぐに」または「直接」が使用されていない限り、二つの部分の間に一つ以上の他の部分が位置することもできる。

【0030】

時間の関係についての説明である場合、例えば、「～後に」、「～に続いて」、「～次に」、「～前に」などで時間的前後関係が説明されている場合、「すぐに」または「直接」が使用されていない以上、連続的でない場合も含むことができる。

【0031】

第１、第２などが多様な構成要素を記述するために使用されるが、これらの構成要素はこれらの用語によって制限されない。これらの用語は、単に一つの構成要素を他の構成要素と区別するために使用されるものである。したがって、以下で言及される第１構成要素は、本発明の技術的思想内で第２構成要素であることもあり得る。

【0032】

本発明のいくつかの実施例のそれぞれの特徴が、部分的に又は全体的に互いに結合又は組合せ可能であり、技術的に多様な連動および駆動が可能であり、各実施例が互いに対して独立的に実施することもでき、関連関係で一緒に実施することもできる。

【0033】

以下では、本発明による太陽電池１の実施例を添付の図を参照して詳細に説明する。本発明による単位セル１０は、本発明による太陽電池１に含まれるので、本発明による太陽電池１の実施例を説明しながら一緒に説明する。なお、図１～図１０ｅに示すハッチングおよび点（ｄｏｔ）は、断面を示しているのではなく、構成を区別するために示したものである。

【0034】

図１を参照すると、本発明による太陽電池１は、太陽光線の光エネルギーを電気エネルギーに変換するものである。本発明に係る太陽電池１は、基板型太陽電池と薄膜型太陽電池で具現することができる。以下では、本発明に係る太陽電池１が、基板型太陽電池で具現されたことを基準にして説明するが、このことから本発明に係る太陽電池１が薄膜型太陽電池で具現されたものを導出することは、本発明が属する技術分野の通常の知識を有する者にとって明らかであろう。

【0035】

図１を参照すると、本発明による太陽電池１は、複数の単位セル１０が接合したモジュール形態で製造することができる。前記単位セル１０のそれぞれは、母基板１００（図１０ｄに示す）を分離することによって、形成された複数の片の中のいずれか一つの片を用いて製造されたものである。前記母基板１００は、本発明による太陽電池１において、前記単位セル１０に分離される前の状態であり得る。前記母基板１００は、基板１１０（図１０ａに示す）、前記基板１１０の一面１１０ａに形成された第１母電極１３０（図１０ｂに示す）、及び前記基板１１０の他面１１０ｂに形成された第２母電極１４０（図１０ｄに示す）を含む。図１には、本発明による太陽電池１が、５個の単位セル１０、１０’、１０’’、１０’’’、１０’’’’を含むことが示されているが、これは例示的なものであり、本発明による太陽電池１は、２個以上４個以下、または６個以上の単位セル１０を含むことができる。前記単位セル１０の各々は、配置された位置を除いて、大略的に互いに等しく具現され得る。

【0036】

図１および図２を参照すると、前記単位セル１０のそれぞれは、単位基板１１およびセル電極１２を含むことができる。

【0037】

前記単位基板１１は、前記母基板１００（図１０ｄに示す）を分離することによって、形成され得る。前記単位基板１１は、所定の電気伝導極性を有することができる。前記単位基板１１は、１つの前記母基板１００を分離することによって、形成された片の数と等しく形成され得る。例えば、前記母基板１００を５つの片に分けると、前記単位基板１１が５つ形成され得る。前記単位基板１１は、前記基板１１０（図１０ａに示す）の一部であり得る。

【0038】

前記セル電極１２は、前記単位基板１１に形成されるものである。セル電極１２は、導電性を有することができる。前記セル電極１２は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｇ＋Ａｌ、Ａｇ＋Ｍｇ、Ａｇ＋Ｍｎ、Ａｇ＋Ｓｂ、Ａｇ＋Ｚｎ、Ａｇ＋Ｍｏ、Ａｇ＋Ｎｉ、Ａｇ＋Ｃｕ、Ａｇ＋Ａｌ＋Ｚｎなどのような導電性に優れた金属物質からなり得る。

【0039】

前記セル電極１２は、下部セル電極１２１と上部セル電極１２２を含むことができる。

【0040】

前記下部セル電極１２１は、前記単位基板１１の一面１１ａに形成されたものである。前記単位基板１１の一面１１ａは、本発明による太陽電池１の大略的に高さが低くなる下側方向に向いた前記単位基板１１の面であり得る。前記単位基板１１の一面１１ａは、前記下側方向と反対方向である上側方向を向いた前記単位基板１１の面であり得る。前記下部セル電極１２１は、前記第１母電極１３０（図１０ｂに示す）の一部の電極であり得る。

【0041】

前記上部セル電極１２２は、前記単位基板１１の他面１１ｂに形成されたものである。前記単位基板１１の一面１１ａが、前記下側方向を向いた前記単位基板１１の面である場合、前記単位基板１１の他面１１ｂは、前記上側方向に向いた前記単位基板１１の面であり得る。以下では、「一面」と「他面」のそれぞれが、前記下側方向と前記上側方向を向いた特定構成の面であることを基準にして説明する。また、本明細書に記載されている「上側」、及び「下側」という用語は、各構成を区別するためのものであり、特定の方向を指すものではないことは、本発明が属する技術分野の通常の知識を有する者にとって明らかであろう。前記上部セル電極１２２は、前記第２母電極１４０（図１０ｄに示す）の一部の電極であり得る。

【0042】

前記上部セル電極１２２と前記下部セル電極１２１のうち、少なくともいずれか一つの電極は、未硬化状態（ＰＣ）で形成することができる。これにより、本発明に係る太陽電池１は、前記未硬化状態（ＰＣ）の電極を介して、前記単位セル１０を接合させる接合力を具現することができる。前記未硬化状態（ＰＣ）は、電極が接合力を有する状態である。前記電極１２１、１２２は、前記未硬化状態（ＰＣ）で流動性を有することができる。前記上部セル電極１２２と前記下部セル電極１２１の中のいずれか一つの電極が硬化状態（ＨＣ）である場合、残りの電極は、前記未硬化状態（ＰＣ）に形成され得る。この場合も、本発明に係る太陽電池１は、前記未硬化状態（ＰＣ）の電極を介して、前記単位セル１０を接合させる接合力を具現することができる。前記硬化状態（ＨＣ）は、電極が接合力を有さない状態である。電極１２１、１２２は、硬化状態（ＨＣ）で流動性を持たず、一定の外形を有することができる。

【0043】

図３～図９を参照すると、本発明による太陽電池１は、第１単位セル２と第２単位セル３を含むことができる。

【0044】

前記第１単位セル２は、単位セル１０の中のいずれか一つの単位セルであり得る。前記第１単位セル２は、前記母基板１００を分離することによって、形成された複数の片の中のいずれか一つを用いて製造される。本発明による太陽電池１が生成した電力は、前記第１単位セル２を介して、前記第２単位セル３に移動することができる。

【0045】

図３を参照すると、前記第１単位セル２は、前記第１単位基板２１および第１セル電極２２とを含むことができる。

【0046】

前記第１単位基板２１は、前記基板１１０（図１０ａに示す）の一部であり得る。前記第１単位基板２１は、前記母基板１００を分離することによって、形成することができる。前記第１単位基板２１は、所定の電気伝導極性を有することができる。

【0047】

前記第１セル電極２２は、前記第１単位基板２１上に形成される。前記第１セル電極２２は、前記第１単位基板２１の一面２１ａと他面２１ｂのそれぞれに形成され得る。前記第１セル電極２２は、導電性を有することができる。前記第１セル電極２２は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｇ＋Ａｌ、Ａｇ＋Ｍｇ、Ａｇ＋Ｍｎ、Ａｇ＋Ｓｂ、Ａｇ＋Ｚｎ、Ａｇ＋Ｍｏ、Ａｇ＋Ｎｉ、Ａｇ＋Ｃｕ、Ａｇ＋Ａｌ＋Ｚｎなどと同じ材質で形成され得る。

【0048】

前記第１セル電極２２は、第１下部セル電極２２１および第１上部セル電極２２２を含むことができる。

【0049】

前記第１下部セル電極２２１は、前記第１単位基板２１の一面２１ａに形成されたものである。前記第１下部セル電極２２１は、前記下側方向を向くように配置された前記第１単位基板２１の一面２１ａに形成され得る。前記第１下部セル電極２２１は、前記第１母電極１３０（図１０ｂに示す）の一部の電極であり得る。前記第１下部セル電極２２１は、前記硬化状態（ＨＣ）または前記未硬化状態（ＰＣ）の中のいずれか１つの状態で形成され得る。

【0050】

前記第１上部セル電極２２２は、前記第１単位基板２１の他面２１ｂに形成されたものである。前記第１上部セル電極２２２は、前記上側方向を向くように配置された前記第１単位基板２１の他面２１ｂに形成され得る。前記第１上部セル電極２２２は、前記第２母電極１４０（図１０ｄに示す）の一部の電極であり得る。前記第１上部セル電極２２２は、前記第１下部セル電極とは異なる状態で形成され得る。例えば、前記第１下部セル電極２２１が前記硬化状態（ＨＣ）である場合、前記第１上部セル電極２２２は、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され得る。前記第１下部セル電極２２１が、未硬化状態（ＰＣ）である場合、前記第１上部セル電極２２２は、前記硬化状態（ＨＣ）で形成することもできる。

【0051】

前記第２単位セル３は、前記単位セル１０の中で前記第１単位セル２に結合した、いずれか一つの単位セルであり得る。前記第２単位セル３は、前記第１単位セル２の前記上側方向に結合し得る。前記第２単位セル３は、前記母基板１００を分離することによって形成された複数の片の中のいずれか一つの片を用いて製造される。

【0052】

前記第２単位セル３は、第２単位基板３１、および第２セル電極３２とを含むことができる。

【0053】

前記第２単位基板３１は、前記基板１１０（図１Ａに示す）の一部であり得る。前記第２単位基板３１は、前記母基板１００（図１Ｃに示す）を分離することによって形成され得る。前記第２単位基板３１は、所定の電気伝導極性を有することができる。

【0054】

前記第２セル電極３２は、前記第２単位基板３１上に形成される。前記第２セル電極３２は、前記第２単位基板３１の一面３１ａと他面３１ｂのそれぞれに形成され得る。前記第２セル電極３２は、導電性を有することができる。前記第２セル電極３２は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｇ＋Ａｌ、Ａｇ＋Ｍｇ、Ａｇ＋Ｍｎ、Ａｇ＋Ｓｂ、Ａｇ＋Ｚｎ、Ａｇ＋Ｍｏ、Ａｇ＋Ｎｉ、Ａｇ＋Ｃｕ、Ａｇ＋Ａｌ＋Ｚｎなどと同じ材質で形成され得る。

【0055】

前記第２セル電極３２と前記第１セル電極２２は、接合物質なしに互いに接合して、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２を結合させることができる。すなわち、前記第２セル電極３２と前記第１セル電極２２は、互いに接合することにより、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２を結合させることができる。これにより、本発明に係る太陽電池１は、次のような作用効果を図ることができる。

【0056】

第１に、本発明による太陽電池１は、前記セル電極２２、３２を介して、前記単位セル２、３を接合できるように具現される。これによって、本発明に係る太陽電池１は、接合物質を用いて、前記単位セル１０を接合させる従来技術と対比して見ると、太陽電池を製造する過程において、接合物質を噴射する一連の工程を省略することができる。したがって、本発明に係る太陽電池１は、太陽電池の製造に要する時間を短縮することにより、太陽電池の量産性を増大させることができる。

【0057】

第２に、本発明による太陽電池１は、前記接合物質なしに前記単位セル２、３を接合することによって、生産された電力が前記接合物質を移動する必要がないように具現される。これにより、本発明に係る太陽電池１は、上記接合物質自体の抵抗によって、太陽電池の発電効率が低下することを根本的に防止することにより、完成した太陽電池の品質を向上させることができる。

【0058】

前記第２セル電極３２と前記第１セル電極２２は、ともに同じ材質で形成して互いに接合し得る。例えば、前記第２セル電極３２と前記第１セル電極２２は、ともにＡｇ物質で形成され得る。したがって、本発明による太陽電池１は、内部抵抗を低減させることができるように具現される。電力が前記第１セル電極２２と前記第２セル電極３２を移動する過程で、異なる材質を移動することに比べて、同じ材質を移動する方が、抵抗がさらに低減されるからである。したがって、本発明に係る太陽電池１は、太陽電池発電効率をさらに増大させることができる。

【0059】

前記第２セル電極３２は、第２下部セル電極３２１および第２上部セル電極３２２とを含むことができる。

【0060】

前記第２下部セル電極３２１は、前記第２単位基板３１の一面３１ａに形成されたものである。前記第２下部セル電極３２１は、前記下側方向を向くように配置された前記第２単位基板３１の一面３１ａに形成され得る。前記第２下部セル電極３２１は、前記第１母電極１３０の一部電極であり得る。前記第２下部セル電極３２１は、前記硬化状態（ＨＣ）または前記未硬化状態（ＰＣ）の中のいずれか１つの状態で形成され得る。

【0061】

前記第２上部セル電極３２２は、前記第２単位基板３１の他面３１ｂに形成されたものである。前記第２上部セル電極３２２は、前記上側方向を向くように前記第２単位基板３１の他面３１ｂに形成され得る。前記第２上部セル電極３２２は、前記第２母電極１４０の一部の電極であり得る。前記第２下部セル電極３２１が前記硬化状態（ＨＣ）である場合、前記第２上部セル電極３２２は、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され得る。前記第２下部セル電極３２１が、前記未硬化状態（ＰＣ）である場合、前記第２上部セル電極３２２は、硬化状態（ＨＣ）で形成することもできる。

【0062】

本発明に係る太陽電池１は、図３に示すように、前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２が、互いに接合することにより、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２を結合させることができるように具現される。以下では、前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２が互いに接合することにより、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２が結合されることを基準に説明するが、これは例示的なものであり、前記第２上部セル電極３２２と前記第１下部セル電極２２１が、互いに接合することにより、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２を結合させることもできる。

【0063】

前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２の中の少なくともいずれか一つの電極は、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され得る。これによって、本発明による太陽電池１は、前記単位セル２、３を接合するための結合力を具現することができる。例えば、前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２は、ともに前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２を結合させることができる。前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２のうち、少なくともいずれか一つの電極が、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成された場合、残りの電極は前記硬化状態（ＨＣ）で形成し、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２を結合させることもできる。

【0064】

図４および図５を参照すると、前記第１上部セル電極２２２は、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され、前記第２下部セル電極３２１を接合することにより、厚さを減少させることができる。したがって、本発明による太陽電池１は、全体的な厚さが減少することによって、生産される電力が移動する距離を減少させることができる。したがって、本発明による太陽電池１は、全体的な抵抗が減少するように具現し得る。前記厚さは、前記上側方向と前記下側方向それぞれに対して平行な方向に該当するとともに、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２が離隔した方向と同じ方向に該当する第１軸方向（Ｘ軸方向）を基準とする長さであり得る。図に示していないが、前記第２下部セル電極３２１も前記未硬化状態（ＰＣ）で形成して、前記第１上部セル電極２２２を接合することによって、厚さを減少させることができる。前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２は、互いに接合することによって、互いに同じ厚さを有するように形成することもできる。

【0065】

例えば、図４および図５に示すように、前記第１上部セル電極２２２が第１厚さ（Ｄ１）を有するように形成され、前記第２下部セル電極３２１が第２厚さ（Ｄ２）を有するように形成された場合、前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２が、互いに接合することによって形成される第３厚さ（Ｄ３）は、前記第１厚さ（Ｄ１）と前記第２厚さ（Ｄ２）を合計した値よりも小さい値を有することができる。前記第１上部セル電極２２２と前記第２下部セル電極３２１のうち、少なくともいずれか一つの電極が、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成されるためである。これによって、本発明による太陽電池１は、全体的な厚さが減少するように具現することができる。前記第３厚さ（Ｄ３）は、前記第１軸方向（Ｘ軸方向）を基準とする前記第２単位セル３と前記第１単位セル２の間の離隔距離であり得る。図４では、前記第１上部セル電極２２２が、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成されることが示されているが、これは例示的なものであり、前記第２下部セル電極３２１が、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され、前記第３厚さ（Ｄ３）を減少させることもできる。

【0066】

前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２のうち、少なくともいずれか一つの電極が、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成された場合、図５に示すように前記第２下部セル電極３２１と前記第１上部セル電極２２２は、前記第１軸方向（Ｘ軸方向）を基準にして、一部が互いに重畳するように配置され得る。したがって、本発明による太陽電池１の全体的な厚さを減少させることができる。

【0067】

以下では、前記第１上部セル電極２２２と前記第２下部セル電極３２１が有するパターンに関する実施例を、添付の図を参照して説明する。前記第２上部セル電極３２２と前記第１下部セル電極２２１が、互いに接合することによって、前記第２単位セル３と前記第１単位セル２が結合する場合、前記第１下部セル電極２２１は、以下に説明する前記第２下部セル電極３２１とほぼ同じに具現され、前記第２上部セル電極３２２は、前記第１上部セル電極２２２とほぼ同じに具現され得る。

【0068】

図６を参照すると、前記第１上部セル電極２２２は、第１接合電極２２２１を含むことができる。

【0069】

前記第１接合電極２２２１には、前記第２下部セル電極３２１が接合する。前記第１接合電極２２２１は、前記第２下部セル電極３２１が接合する前記第１上部セル電極２２２の一部電極であり得る。前記第１接合電極２２２１は、前記第１単位基板２１に結合することもできる。前記第１接合電極２２２１は、前記硬化状態（ＨＣ）で形成され得る。

【0070】

前記第１接合電極２２２１は、第１接合面１Ａおよび挿入溝（ホーム）（Ｇ）を含むことができる。

【0071】

前記第１接合面１Ａ（図８に示す）は、前記第２下部セル電極３２１に向いた前記第１接合電極２２２１の一面であり得る。この場合、前記第１接合電極２２２１の他面は、前記第１単位基板２１に向くことができる。前記第１接合面１Ａには、前記第２下部セル電極３２１が接合することができる。

【0072】

前記挿入溝（Ｇ）は、前記第１接合面１Ａに形成されたものである。前記挿入溝（Ｇ）は、前記第１接合面１Ａから所定の深さのホーム（溝）を加工する作業で形成することができる。前記挿入溝（Ｇ）は、前記第１軸方向（Ｘ軸方向）を基準として、前記第１上部セル電極２２２と同じ大きさを有するように形成することができる。図６には、前記第１接合面１Ａに１４個の挿入溝（Ｇ）が形成されたことが示しているが、これは例示的なものであり、前記第１接合面１Ａには、１個以上１３個以下、又は１５個以上の挿入溝（Ｇ）を形成することもできる。

【0073】

図６を参照すると、前記第１接合電極２２２１は、第１接合フィンガーバー１Ｆを含むことができる。

【0074】

前記第１接合フィンガーバー１Ｆは、前記第１単位基板２１で生成された電力を前記第２下部セル電極３２１に移動させる機能を担うことができる。前記第１接合フィンガーバー１Ｆは、前記挿入溝（Ｇ）を内側にして形成される。前記第１接合フィンガーバー１Ｆは、第２軸方向（Ｙ軸方向）に沿って形成された第１接合フィンガー部材、及び前記第２軸方向（Ｙ軸方向）に対して垂直な第３軸方向（Ｚ軸方向）に沿って形成された第２接合フィンガー部材を含むことができる。前記第２接合フィンガー部材と前記第１接合フィンガー部材は、互いに結合することができる。前記第２接合フィンガー部材および前記第１接合フィンガー部材は、前記挿入溝（Ｇ）を囲むように配置され得る。例えば、前記挿入溝（Ｇ）の外側には、２つの第２接合フィンガー部材および２つの第１接合フィンガー部材が配置され得る。前記挿入溝（Ｇ）の外側には、１つの第２接合フィンガー部材および２つの第１接合フィンガー部材を配置することもできる。図６は、３つの第１接合フィンガー部材および１２個の第２接合フィンガー部材を示したものである。前記第２軸方向（Ｙ軸方向）は、前記第１軸方向（Ｘ軸方向）に対して垂直な方向であり得る。前記第３軸方向（Ｚ軸方向）は、前記第２軸方向（Ｙ軸方向）と前記第１軸方向（Ｘ軸方向）のそれぞれに対して垂直な方向であり得る。

【0075】

図６を参照すると、前記第１上部セル電極２２２は、第１未接合電極２２２２を含むことができる。

【0076】

前記第１未接合電極２２２２は、前記第１接合電極２２２１に結合される。前記第１未接合電極２２２２は、前記第１接合電極２２２１に結合して、前記第１単位基板２１で生産された電力を、前記第１接合電極２２２１に移動させる機能を担うことができる。前記第１未接合電極２２２２は、前記第２下部セル電極３２１が結合しない前記第１上部セル電極２２２の一部の電極であり得る。前記第１未接合電極２２２２は、前記第１単位基板２１に結合することもできる。前記第１未接合電極２２２２は、前記第１接合電極２２２１と同じ状態の前記硬化状態（ＨＣ）で形成され得る。

【0077】

前記第１未接合電極２２２２は、離隔するように配置された複数の第１未接合フィンガーバー１０Ｆを含むことができる。前記第１未接合フィンガーバー１０Ｆは、前記第２軸方向（Ｙ軸方向）を基準にして、互いに離隔するように配置され得る。前記第１未接合フィンガーバー１０Ｆは、前記第３軸方向（Ｚ軸方向）に沿って延長して形成され得る。前記第１未接合フィンガーバー１０Ｆは、前記第３軸方向（Ｚ軸方向）に直線形態を有するように形成され得る。前記第１未接合フィンガーバー１０Ｆは、前記第１接合電極２２２１に接合することができる。前記第１未接合フィンガーバー１０Ｆは、生産された電力を前記第１接合電極２２２１に移動させる機能を担うことができる。図６は、３つの第１未接合フィンガーバー１０Ｆを示したものである。

【0078】

図７～図９を参照すると、前記第２下部セル電極３２１は、第２接合電極３２１１を含むことができる。

【0079】

前記第２接合電極３２１１は、前記第１接合電極２２２１に接合する。前記第２接合電極３２１１は、前記第１接合電極２２２１に接合する第２下部セル電極３２１の一部電極であり得る。前記第２接合電極３２１１は、前記第２単位基板３１に結合することもできる。前記第２接合電極３２１１は、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され得る。

【0080】

図７及び図８を参照すると、前記第２接合電極３２１１は、第２接合面２Ａを含むことができる。

【0081】

前記第２接合面２Ａは、前記第１上部セル電極２２２に向いた前記第２接合電極３２１１の一面であり得る。前記第２接合電極３２１１の他面は、前記第２単位基板３１に向くことができる。前記第２接合面２Ａは、前記第１接合電極２２２１に接合し得る。前記第２接合面２Ａは、前記第２接合電極３２１１と前記第１接合電極２２２１が互いに接合する前に、平坦な平面形状を有するように形成され得る。すなわち、前記第２接合面２Ａは、前記第２接合電極３２１１と前記第１接合電極２２２１が互いに接合する前に、屈曲することなく平坦な形態で形成され得る。

【0082】

図９を参照すると、前記第２接合電極３２１１は、挿入部材（Ｉ）を含むことができる。

【0083】

前記挿入部材（Ｉ）は、前記第２接合電極３２１１が前記第１接合電極２２２１に接合することによって、挿入溝（Ｇ）に挿入されるものである。これによって、本発明による太陽電池１は、前記第２接合電極３２１１を前記第１接合電極２２２１に支持することができるように具現することができる。したがって、本発明に係る太陽電池１は、前記第２接合電極３２１１と前記第１接合電極２２２１の接合力を向上させることにより、前記第１単位セル２と前記第２単位セル３の結合力を増大させることができる。前記挿入部材（Ｉ）は、前記未硬化状態（ＰＣ）で形成して前記挿入部材（Ｉ）に挿入することができる。前記挿入部材（Ｉ）は、前記挿入溝（Ｇ）に対応する形態で形成され得る。前記第２接合電極３２１１は、前記挿入溝（Ｇ）と同じ数の前記挿入部材（Ｉ）を含むことができる。

【0084】

上記では、前記第１接合電極２２２１が前記挿入溝（Ｇ）を含むとともに、前記第２接合電極３２１１が前記挿入部材（Ｉ）を含むことを基準にして説明したが、これは一例であると理解されなければならない。このことから、前記第１接合電極２２２１が前記挿入部材（Ｉ）を含むこととともに、前記第２接合電極３２１１が前記挿入溝（Ｇ）を含むことを導くことは、本発明が属する技術分野の通常の知識を有する者にとって明らかであろう。

【0085】

図７～図９を参照すると、前記第２下部セル電極３２１は、第２未接合電極３２１２を含むことができる。

【0086】

前記第２未接合電極３２１２は、前記第２接合電極３２１１に結合される。前記第２未接合電極３２１２は、前記第２接合電極３２１１に結合して前記第２単位基板３１で生産された電力を移動させる機能を担うことができる。前記第２未接合電極３２１２は、前記第１上部セル電極２２２に結合しない前記第２下部セル電極３２１の一部の電極であり得る。前記第２未接合電極３２１２は、前記第２単位基板３１に結合することもできる。前記第２未接合電極３２１２は、前記第２接合電極３２１１と同じ形態の前記未硬化状態（ＰＣ）で形成され得る。

【0087】

前記第２未接合電極３２１２は、離隔するように配置された複数の第２未接合フィンガーバー２０Ｆを含むことができる。前記第２未接合フィンガーバー２０Ｆは、前記第２軸方向（Ｙ軸方向）を基準に、互いに離隔するように配置され得る。前記第２未接合フィンガーバー２０Ｆは、前記第３軸方向（Ｚ軸方向）に沿って延長して形成され得る。前記第２未接合フィンガーバー２０Ｆは、前記第２接合電極３２１１に接合することができる。前記第２未接合フィンガーバー２０Ｆは、前記第２単位基板３１で生産された電力を移動させる機能を担うことができる。図７は、３つの第２未接合フィンガーバー２０Ｆを示したものである。

【0088】

以下では、本発明に係る太陽電池の製造方法に関する実施例を添付の図を参照して具体的に説明する。本発明による太陽電池の製造方法は、本発明による太陽電池１を製造するためのものである。

【0089】

図１０ａを参照すると、本発明による太陽電池の製造方法は、基板準備工程を含むことができる。

【0090】

基板準備工程は、前記基板１１０を複数の片（部分）に分離するための複数の分離部１２０が形成された前記基板１１０を準備する工程である。前記基板準備工程は、太陽電池を製造するための処理空間（未図示）に前記基板１１０をロードする基板ローディング装置（未図示）で行うことができる。前記処理空間は、内部に太陽電池を製造するのに必要な製造装置を収容し、全体としてチャンバー（Ｃｈａｍｂｅｒ）で具現することができる。

【0091】

前記基板１１０は、所定の電気伝導極性を有することができる。例えば、前記基板１１０は、Ｎ型シリコンウエハまたはＰ型シリコンウエハからなり得る。図に示していないが、前記基板１１０の一面１１０ａは、凸凹構造からなり得る。前記基板１１０は、前記下側方向を向くように配置された基板の下面、前記上側方向を向くように配置された基板の上面、及び前記基板１１０の下面と上面それぞれに連結した基板の側面１１０ｃを含むことができる。この場合、前記基板１１０の一面１１０ａは、前記基板１１０の下面、前記基板１１０の上面、又は前記基板１１０の側面１１０ｃのいずれか一つの面に該当することができる。例えば、前記基板１１０の一面１１０ａが、前記基板１１０の下面に該当する場合、前記基板１１０の他面１１０ｂは、前記基板１１０の上面に対応することができる。この場合、前記基板１１０の一面１１０ａと前記基板１１０の他面１１０ｂに形成されるそれぞれの薄膜層も凸凹構造で形成され得る。

【0092】

前記分離部１２０は、前記基板１１０を複数の片に分離するためのものである。前記分離部１２０は、前記基板１１０の一面１１０ａに形成され得る。前記分離部１２０は、前記基板１１０の一面１１０ａから所定の深さで溝を加工するスクライビング工程を通じて形成することができる。前記スクライビング工程は、前記基板１１０に向かってレーザを照射して前記基板１１０の所定の領域を除去するスクライビング装置（未図示）によって行うことができる。図１０ａには、前記スクライビング工程が、前記基板１１０の一面１１０ａに行われたことを示しているが、これは例示的なものであり、前記スクライビング工程は、前記基板１１０の他面１１０ｂに行うこともできる。また、本明細書では、前記分離部１２０を、前記スクライビング工程を介して形成したことを基準として説明しているが、これは例示的なものであり、エッチング槽（未図示）に前記基板１１０を浸漬する方式、又は乾式エッチング、マスクなどを用いた工程で、前記分離部１２０を形成することもできる。前記基板１１０を５つの片に分離したい場合、図１０ａに示すように、前記基板１１０の一面１１０ａには４つの分離部１２０を形成することができる。

【0093】

図に示していないが、前記基板１１０上に１つ以上の薄膜層を形成することができる。以下では、前記基板１１０上に形成された薄膜層の一例について説明する。

【0094】

まず、前記基板１１０上に第１薄膜層を形成することができる。前記第１薄膜層を形成する工程は、前記スクライビング工程以後に行うことができる。前記第１薄膜層は、前記基板１１０に薄膜の形態で形成された半導体層であり得る。前記第１薄膜層は、前記基板１１０と共にＰＮ接合を形成することができる。したがって、前記基板１１０がＮ型シリコンウエハからなる場合、前記第１薄膜層は、Ｐ型半導体層からなり得る。前記第１薄膜層は、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）工程などを用いて形成することができる。前記第１薄膜層は、Ｐ型半導体物質、Ｉ型半導体物質およびＮ型半導体物質が順に積層されたＰＩＮ構造で形成することができる。このように前記第１薄膜層をＰＩＮ構造で形成すると、Ｉ型半導体物質が、Ｐ型半導体物質とＮ型半導体物質によって空乏（Ｄｅｐｌｅｔｉｏｎ）となり内部に電界が発生し、太陽光によって生成される正孔および電子が電界によってドリフトされ、それぞれＰ型半導体物質およびＮ型半導体物質から収集されるようになる。一方、前記第１薄膜層をＰＩＮ構造で形成する場合には、前記第１薄膜層上部にＰ型半導体物質を形成し、続いてＩ型半導体物質及びＮ型半導体物質を形成することが好ましい。その理由は一般に、正孔のドリフト移動度（Ｄｒｉｆｔ Ｍｏｂｉｌｉｔｙ）が、電子のドリフト移動度に比べて低いため、入射光による収集効率を極大化するために、Ｐ型半導体物質を受光面に近くに形成するためである。一方、本発明による太陽電池の製造方法は、前記第１薄膜層を積層型構造を有するように形成することもできる。例えば、本発明による太陽電池の製造方法は、前記第１薄膜層が、テンデム［Ｔａｎｄｅｍ（ＰＩＮ／ＰＩＮ）］型またはトリプル［Ｔｒｉｐｌｅ（ＰＩＮ／ＰＩＮ／ＰＩＮ）］形態の積層型構造を有するように形成することができる。前記第１薄膜層は、前記基板１１０の一面１１０ａ、他面１１０ｂ、及び側面の中の少なくともいずれか一つに形成するか、または前記基板１１０の一面１１０ａ、他面１１０ｂ、及び側面それぞれに形成することもできる。

【0095】

次に、前記第１薄膜層上に第２薄膜層を形成する。前記第２薄膜層を形成する工程は、前記第１薄膜層を形成する工程の後に行うことができる。前記第２薄膜層は、透明導電層であり得る。例えば、前記第２薄膜層は、ＴＣＯ（Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｏｘｉｄｅ）層であり得る。前記第２薄膜層は、前記第１薄膜層を保護するとともに、前記基板１１０で生成されたキャリア、例えば正孔（＋）を収集し、前記収集したキャリアを前記上方向に移動させることができる。前記第２薄膜層は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯＨ、ＺｎＯ：Ｂ、ＺｎＯ：Ａｌ、ＳｎＯ_２、ＳｎＯ_２：Ｆなどの透明導電物質からなり得る。前記第２薄膜層は、ＺｎＯ、ＺｎＯ：Ｂ、ＺｎＯ：Ａｌ、Ａｇなどの透明導電物質をスパッタリング（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）法またはＭＯＣＶＤ法などを用いて形成することができる。前記第２薄膜層は、太陽光を散乱させて様々な角度に進行させることにより、前記第１薄膜層に再入射する光の割合を増加させる機能を有する。

【0096】

次に、前記第２薄膜層上に第３薄膜層を形成する。前記第３薄膜層を形成する工程は、前記第２薄膜層を形成する工程の後に行うことができる。前記第２薄膜層上に第３薄膜層を形成した場合、前記第１薄膜層は真性半導体層、前記第２薄膜層は半導体層、前記第３薄膜層は透明導電層として具現され得る。この場合、複数の薄膜層は、プラズマ強化化学気相蒸着法（ＰＥＣＶＤ、Ｐｌａｓｍａ Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、及びスパッタリング法（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）を用いて形成することができる。

【0097】

本発明に係る太陽電池の製造方法は、前記第１薄膜層、前記第２薄膜層、及び前記第３薄膜層を選択的に形成することができる。すなわち、本発明による太陽電池の製造方法は、前記第１薄膜層、前記第２薄膜層、および前記第３薄膜層のうち少なくとも１つ以上の層を形成することができ、前記第１薄膜層、前記第２薄膜層、および前記第３薄膜層を全て形成しなくてもよい。

【0098】

図１０ｂを参照すると、本発明による太陽電池の製造方法は、第１電極形成工程を含むことができる。

【0099】

前記第１電極形成工程は、前記基板１１０の一面１１０ａに導電性を有する複数の第１母電極１３０を形成する工程である。前記第１電極形成工程は、前記基板準備工程後に行うことができる。前記第１電極形成工程が行われることにより形成された第１母電極１３０は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｇ＋Ａｌ、Ａｇ＋Ｍｇ、Ａｇ＋Ｍｎ、Ａｇ＋Ｓｂ、Ａｇ＋Ｚｎ、Ａｇ＋Ｍｏ、Ａｇ＋Ｎｉ、Ａｇ＋Ｃｕ、Ａｇ＋Ａｌ＋Ｚｎなどの材質で形成することができる。図１０ｂでは、前記第１電極形成工程が、前記基板１１０の一面１１０ａに形成されたことが示されているが、これは例示的なものであり、前記第１電極形成工程は、前記基板１１０の他面１１０ｂに行なうこともできる。

【0100】

図１０ｃを参照すると、本発明による太陽電池の製造方法は、第１キュアリング工程を含むことができる。

【0101】

前記第１キュアリング工程は、前記第１母電極１３０を硬化させる工程である。前記第１キュアリング工程は、前記第１電極形成工程後に行うことができる。前記第１キュアリング工程は、前記第１母電極１３０を加熱する加熱装置（未図示）によって行うことができる。前記第１キュアリング工程を行うことで、前記第１母電極１３０は、前記硬化状態（ＨＣ）で形成され得る。

【0102】

図１０ｄを参照すると、本発明による太陽電池の製造方法は、第２電極形成工程を含むことができる。

【0103】

前記第２電極形成工程は、前記基板１１０の他面１１０ｂに導電性を有する前記未硬化状態（ＰＣ）の複数の第２母電極１４０を形成する工程である。前記第２電極形成工程は、前記第１電極形成工程後に行うことができる。前記第２電極形成工程を行うことにより形成された前記第２母電極１４０は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｇ＋Ａｌ、Ａｇ＋Ｍｇ、Ａｇ＋Ｍｎ、Ａｇ＋Ｓｂ、Ａｇ＋Ｚｎ、Ａｇ＋Ｍｏ、Ａｇ＋Ｎｉ、Ａｇ＋Ｃｕ、Ａｇ＋Ａｌ＋Ｚｎなどの材質で形成することができる。前記第２電極形成工程が完了することにより、前記母基板１００を製造することができる。

【0104】

本発明による太陽電池の製造方法は、前記第２電極形成工程が行われた後に、前記第２母電極１４０を硬化させる工程を含まないように具現される。したがって、本発明による太陽電池の製造方法は、前記未硬化状態（ＰＣ）の第２母電極１４０を介して、前記単位セル１０を接合させる接合力を具現することができる。

【0105】

図１０ｅを参照すると、本発明による太陽電池の製造方法は、分離工程を含むことができる。

【0106】

前記分離工程は、前記分離部１２０を介して前記基板１１０を複数の片に分離することによって、前記単位セル１０を形成する工程である。すなわち、前記分離工程は、前記母基板１００を前記分離部１２０を介して分離することによって、複数の前記単位セル１０を形成する工程である。前記分離工程は、前記母基板１００に曲げ力（Ｂｅｎｄｉｎｇ Ｆｏｒｃｅ）などの外力を加える分離装置（未図示）によって行うことができる。前記分離工程は、前記第２電極形成工程後に行うことができる。前記母基板１００をＮ（Ｎは２以上の整数）個の単位セル１０に分離しようとする場合、前記分離工程は、Ｎ－１回行うことができる。例えば、図１０ｅに示すように、前記母基板１００を５個の単位セル１０に分離したい場合、前記分離工程を４回行うことができる。

【0107】

再び図１を参照すると、本発明による太陽電池の製造方法は、接合工程を含むことができる。

【0108】

前記接合工程は、前記未硬化状態（ＰＣ）の前記第２母電極１４０を介して、前記単位セル１０を接合する工程である。前記接合工程は、分離された単位セル１０を移動して接合する接合装置（未図示）によって行うことができる。前記接合工程は、前記分離工程後に行うことができる。前記母基板１００をＮ個の前記単位セル１０に分離した場合、前記接合工程は、Ｎ－１回行うことができる。例えば、図１０ｅに示すように、前記母基板１００を５個の単位セル１０に分離した場合、前記接合工程は４回行うことができる。

【0109】

図に示していないが、本発明による太陽電池の製造方法は、第２キュアリング工程をさらに含むことができる。

【0110】

前記第２キュアリング工程は、前記接合した前記単位セル１０を硬化させる工程である。前記第２キュアリング工程は、前記加熱装置によって行うことができる。前記第２キュアリング工程は、前記接合工程後に行うことができる。前記第２キュアリング工程を行うことによって、前記単位セル１０が結合したモジュール形態である本発明による太陽電池１を製造することができる。

【0111】

以上で説明した本発明は、前述した実施例及び添付した図に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、複数の置換、変形及び変更が可能であることが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者にとって明らかであろう。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10a】

【図10b】

【図10c】

【図10d】

【図10e】