特許 7603677 コンベアテーブル移載装置、搬送システムおよびコンベアテーブル移載方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-12-12

(45)【発行日】2024-12-20

(54)【発明の名称】コンベアテーブル移載装置、搬送システムおよびコンベアテーブル移載方法

(51)【国際特許分類】

   H02K 41/02 20060101AFI20241213BHJP

   B65G 54/02 20060101ALI20241213BHJP

【ＦＩ】

H02K41/02 Z

B65G54/02

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2022522464

(86)(22)【出願日】2020-05-15

(86)【国際出願番号】 JP2020019378

(87)【国際公開番号】W WO2021229783

(87)【国際公開日】2021-11-18

【審査請求日】2022-05-13

【審判番号】

【審判請求日】2024-01-22

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105935

【弁理士】

【氏名又は名称】振角 正一

(74)【代理人】

【識別番号】100136836

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 一正

(72)【発明者】

【氏名】山口 洸太

【合議体】

【審判長】恩田 春香

【審判官】綿引 隆

【審判官】三浦 みちる

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０５９５７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／０１１８８６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

B65G 54/02

H02K 41/02

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

コンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアと、
取付架台に取り付けられた第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置と、前記取付架台に取り付けられた第２固定リニアコンベアと対向する第２対向位置との間で前記可動リニアコンベアを移動させる駆動部と、
前記駆動部による前記可動リニアコンベアの移動を前記第１対向位置と前記第２対向位置との間で案内する直動案内機構と
を備え、
前記第１対向位置に位置する前記可動リニアコンベアが、前記第１固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルの受け渡しを実行し、
前記第２対向位置に位置する前記可動リニアコンベアが、前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルの受け渡しを実行し、
前記直動案内機構は、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられ、
前記第１固定リニアコンベアは、前記直動案内機構が可動リニアコンベアを案内する方向に直交する方向にコンベアテーブルを駆動するコンベアテーブル移載装置。

【請求項2】

前記直動案内機構は、前記第１固定リニアコンベアの底面に取り付けられるとともに、前記第２固定リニアコンベアの底面に取り付けられる請求項１に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項3】

前記直動案内機構は、前記第１固定リニアコンベアの前記取付架台からの突出した部分に取り付けられるとともに、前記第２固定リニアコンベアの前記取付架台から突出した部分に取り付けられる請求項１または２に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項4】

前記直動案内機構は、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられた第１取付部材と、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられた第２取付部材と、前記第１取付部材と前記第２取付部材とに取り付けられた直動案内部材とを有し、前記第１対向位置と前記第２対向位置との間の前記可動リニアコンベアの移動を前記直動案内部材によって案内する請求項１ないし３のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項5】

前記第１取付部材と前記第２取付部材とは、互いに独立して設けられ、間隔を空けて配置されており、
前記直動案内部材は、前記第１取付部材と前記第２取付部材とに架け渡されている請求項４に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項6】

前記可動リニアコンベアを支持しつつ前記直動案内部材に係合する可動部材をさらに備え、
前記駆動部は、前記可動部材を駆動することで前記可動部材を前記直動案内部材に沿って移動させて、前記可動リニアコンベアを前記第１対向位置と前記第２対向位置との間で移動させる請求項５に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項7】

前記第１取付部材は、前記直動案内部材のうち、前記第１対向位置に前記可動リニアコンベアを位置させる前記可動部材が係合する部分を、前記可動部材が前記直動案内部材に取り付けられる面と逆側から支持し、
前記第２取付部材は、前記直動案内部材のうち、前記第２対向位置に前記可動リニアコンベアを位置させる前記可動部材が係合する部分を、前記可動部材が前記直動案内部材に取り付けられる面と逆側から支持する請求項６に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項8】

前記直動案内部材は、前記第１取付部材に取り付けられた第１分割案内部材と、前記第２取付部材に取り付けられた第２分割案内部材とを有して、前記第１分割案内部材と前記第２分割案内部材とは、互いに独立して設けられて、直列に並ぶ請求項５ないし７のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項9】

前記直動案内部材は、前記第１分割案内部材と前記第２分割案内部材との間に配置された中間案内部材と、前記第１分割案内部材と前記中間案内部材とを互いに取り付ける第１連結部材と、前記第２分割案内部材と前記中間案内部材とを互いに取り付ける第２連結部材とをさらに有し、
前記第１分割案内部材と前記中間案内部材との間には遊びが設けられ、前記第２分割案内部材と前記中間案内部材との間には遊びが設けられている請求項８に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項10】

前記第１分割案内部材と前記中間案内部材とは、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なり、
前記第２分割案内部材と前記中間案内部材とは、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なる請求項９に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項11】

前記直動案内機構は、前記第１取付部材と前記取付架台とを接続して、前記第１取付部材を前記取付架台に固定する第１支持部材と、前記第２取付部材と前記取付架台とを接続して、前記第２取付部材を前記取付架台に固定する第２支持部材とをさらに有する請求項５ないし１０のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項12】

前記直動案内機構は、前記第１固定リニアコンベアに係合する第１係合部と、前記第２固定リニアコンベアに係合する第２係合部とを有し、
前記第１係合部が前記第１固定リニアコンベアに係合することで、前記直動案内機構と前記第１固定リニアコンベアとが位置決めされ、
前記第２係合部が前記第２固定リニアコンベアに係合することで、前記直動案内機構と前記第２固定リニアコンベアとが位置決めされる請求項１ないし１１のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項13】

前記可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部をさらに備え、
前記駆動部は、前記位置検出部が検出する位置に基づき前記可動リニアコンベアの位置を制御することで、前記可動リニアコンベアの前記第１対向位置への位置決めを制御し、前記可動リニアコンベアの前記第２対向位置への位置決めを制御する請求項１ないし１２のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置。

【請求項14】

コンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、
前記コンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、
請求項１ないし１３のいずれか一項に記載のコンベアテーブル移載装置と
を備え、
前記コンベアテーブル移載装置によって、前記第１固定リニアコンベアと前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルを移載する搬送システム。

【請求項15】

取付架台に取り付けられた第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置に可動リニアコンベアを位置させる工程と、
前記第１対向位置に位置する前記可動リニアコンベアが、前記第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行する工程と、
前記取付架台に取り付けられた第２固定リニアコンベアと対向する第２対向位置に前記可動リニアコンベアを移動させる工程と、
前記第２対向位置に位置する前記可動リニアコンベアが、前記第２固定リニアコンベアとの間で前記コンベアテーブルの受け渡しを実行する工程と、
前記可動リニアコンベアの移動を前記第１対向位置と前記第２対向位置との間で直動案内機構により案内する工程と
を備え、
前記直動案内機構は、前記第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、前記第２固定リニアコンベアに取り付けられ、
前記第１固定リニアコンベアは、前記直動案内機構が可動リニアコンベアを案内する方向に直交する方向にコンベアテーブルを駆動するコンベアテーブル移載方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、それぞれコンベアテーブルを駆動可能な複数の固定リニアコンベアの間でコンベアテーブルを移載する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１では、台車を循環させる搬送システムが記載されている。この搬送システムは、並列に配置された２個の搬送路を備える。搬送路は、直列に配列された複数のガイドレールを有し、各ガイドレールには複数のコイルが直列に配列されている。そして、搬送路は、コンベアテーブルである台車に内蔵された永久磁石とコイルとの間の磁力によってコンベアテーブルを駆動する。かかる搬送路は、固定的に設置された固定リニアコンベアとして機能する。

【0003】

さらに、搬送システムは、２個の固定リニアコンベアの両端に配置された２個の移載装置を備える。各移載装置は、上記と同様に磁力によってコンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアを有し、２個の固定リニアコンベアにそれぞれ対向する２個の対向位置の間で可動リニアコンベアを移動させる。そして、可動リニアコンベアは、対向する固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－０６２６１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このような搬送システムでは、固定リニアコンベアが取り付けられる取付架台の歪みや熱変形によって、固定リニアコンベアの位置がずれると、固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアを的確に位置決めできない。その結果、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間で、コンベアテーブルをスムーズに受け渡しできない場合があった。

【0006】

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、固定リニアコンベアが取り付けられた取付架台の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しを実行可能とする技術の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係るコンベアテーブル移載装置は、コンベアテーブルを駆動する可動リニアコンベアと、取付架台に取り付けられた第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置と、取付架台に取り付けられた第２固定リニアコンベアと対向する第２対向位置との間で可動リニアコンベアを移動させる駆動部と、駆動部による可動リニアコンベアの移動を第１対向位置と第２対向位置との間で案内する直動案内機構とを備え、第１対向位置に位置する可動リニアコンベアが、第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行し、第２対向位置に位置する可動リニアコンベアが、第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行し、直動案内機構は、第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、第２固定リニアコンベアに取り付けられる。

【0008】

本発明に係るコンベアテーブル移載方法は、取付架台に取り付けられた第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置に可動リニアコンベアを位置させる工程と、第１対向位置に位置する可動リニアコンベアが、第１固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行する工程と、取付架台に取り付けられた第２固定リニアコンベアと対向する第２対向位置に可動リニアコンベアを移動させる工程と、第２対向位置に位置する可動リニアコンベアが、第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルの受け渡しを実行する工程と、可動リニアコンベアの移動を第１対向位置と第２対向位置との間で直動案内機構により案内する工程とを備え、直動案内機構は、第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、第２固定リニアコンベアに取り付けられる。

【0009】

このように構成された本発明（コンベアテーブル移載装置および方法）では、駆動部の駆動によって、可動リニアコンベアが、第１固定リニアコンベアに対向する第１対向位置と、第２固定リニアコンベアに対向する第２対向位置との間で移動する。かかる可動リニアコンベアの移動は、直動案内機構によって第１対向位置と第２対向位置との間で案内される。そして、この直動案内機構は、第１固定リニアコンベアに取り付けられるとともに、第２固定リニアコンベアに取り付けられる。このように第１固定リニアコンベアに取り付けられた直動案内機構によって可動リニアコンベアの第１対向位置への移動が案内されるため、第１対向位置に移動した可動リニアコンベアを第１固定リニアコンベアに対して的確に位置決めできる。同様に、第２固定リニアコンベアに取り付けられた直動案内機構によって可動リニアコンベアの第２対向位置への移動が案内されるため、第２対向位置に移動した可動リニアコンベアを第２固定リニアコンベアに対して的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベアが取り付けられた取付架台の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しが実行可能となっている。

【0010】

また、直動案内機構は、第１固定リニアコンベアの底面に取り付けられるとともに、第２固定リニアコンベアの底面に取り付けられるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。このように第１・第２固定リニアコンベアの底面を直動案内機構の取り付けに利用することで、第１・第２固定リニアコンベアと直動案内機構の接触範囲を広く確保して、第１・第２固定リニアコンベアと直動案内機構とをしっかりと取り付けることができる。その結果、第１・第２対向位置に移動した可動リニアコンベアを第１・第２固定リニアコンベアに対して的確に位置決めして、これらの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しを実行できる。

【0011】

また、直動案内機構は、第１固定リニアコンベアの取付架台からの突出した部分に取り付けられるとともに、第２固定リニアコンベアの取付架台から突出した部分に取り付けられるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、第１・第２固定リニアコンベアのうち取付架台から突出した部分に直動案内機構を取り付ければよいため、これらの取り付けを簡便に実行できる。

【0012】

また、直動案内機構は、第１固定リニアコンベアに取り付けられた第１取付部材と、第２固定リニアコンベアに取り付けられた第２取付部材と、第１取付部材と第２取付部材とに取り付けられた直動案内部材とを有し、第１対向位置と第２対向位置との間の可動リニアコンベアの移動を直動案内部材によって案内するように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、可動リニアコンベアの移動は、直動案内部材によって第１対向位置と第２対向位置との間で案内される。そして、この直動案内部材は、第１固定リニアコンベアに取り付けられた第１取付部材に取り付けられるとともに、第２固定リニアコンベアに取り付けられた第２取付部材に取り付けられる。つまり、第１取付部材によって第１固定リニアコンベアに固定された直動案内部材によって可動リニアコンベアの第１対向位置への移動が案内されるため、第１対向位置に移動した可動リニアコンベアを第１固定リニアコンベアに対して的確に位置決めできる。同様に、第２取付部材によって第２固定リニアコンベアに固定された直動案内部材によって可動リニアコンベアの第２対向位置への移動が案内されるため、第２対向位置に移動した可動リニアコンベアを第２固定リニアコンベアに対して的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベアが取り付けられた取付架台の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しが実行可能となっている。

【0013】

また、第１取付部材と第２取付部材とは、互いに独立して設けられ、間隔を空けて配置されており、直動案内部材は、第１取付部材と第２取付部材とに架け渡されているように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、第１取付部材と第２取付部材とは、互いに独立して設けられて、間隔を空けて配置されている。そのため、取付架台における第１取付部材および第２取付部材それぞれの取付箇所が互いにずれるような変形が取付架台に生じた場合、第１取付部材と第２取付部材とは妨げあうことなく取付架台の変形に応じて変位する。したがって、第１取付部材および第２取付部材に過大な荷重が加わって、これらに取り付けられた第１固定リニアコンベアおよび第２固定リニアコンベアが変形したり、傾いたりするのを抑制できる。この際、第１取付部材と第２取付部材との間に架け渡された直動案内機構は、第１取付部材と第２取付部材との変位に応じて撓む。ただし、かかる撓みは、第１対向位置と第２対向位置との途中における可動リニアコンベアの移動には影響するものの、第１・第２対向位置に移動した可動リニアコンベアの位置決めにはほぼ影響しない。なぜなら、この位置決めは、主として第１・第２取付部材によって実行されるためである。その結果、取付架台における第１取付部材および第２取付部材それぞれの取付箇所が互いにずれるような変形が取付架台に生じたとしても、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しが実行可能となっている。

【0014】

また、可動リニアコンベアを支持しつつ直動案内部材に係合する可動部材をさらに備え、駆動部は、可動部材を駆動することで可動部材を直動案内部材に沿って移動させて、可動リニアコンベアを第１対向位置と第２対向位置との間で移動させるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、可動部材によって可動リニアコンベアをしっかりと支持しつつ、可動リニアコンベアを第１・第２対向位置に案内することができる。

【0015】

また、第１取付部材は、直動案内部材のうち、第１対向位置に可動リニアコンベアを位置させる可動部材が係合する部分を、可動部材が直動案内部材に取り付けられる面と逆側から支持し、第２取付部材は、直動案内部材のうち、第２対向位置に可動リニアコンベアを位置させる可動部材が係合する部分を、可動部材が直動案内部材に取り付けられる面と逆側から支持するように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、第１固定リニアコンベアに取り付けられた第１取付部材によって、第１対向位置に可動リニアコンベアを位置させる可動部材を支持することができ、第１対向位置の可動リニアコンベアを第１固定リニアコンベアに的確に位置決めできる。同様に、第２固定リニアコンベアに取り付けられた第２取付部材によって、第２対向位置に可動リニアコンベアを位置させる可動部材を支持することができ、第２対向位置の可動リニアコンベアを第２固定リニアコンベアに的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しが実行可能となっている。

【0016】

また、直動案内部材は、第１取付部材に取り付けられた第１分割案内部材と、第２取付部材に取り付けられた第２分割案内部材とを有して、第１分割案内部材と第２分割案内部材とは、互いに独立して設けられて、直列に並ぶように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、取付架台の撓みや熱変形によって第１取付部材と第２取付部材との間に位置ずれが生じた場合、第１分割案内部材は第２分割案内部材から独立して第１取付部材の位置ずれに追従し、第２分割案内部材は第１分割案内部材から独立して第２取付部材の位置ずれに追従する。したがって、第１分割案内部材によって第１対向位置に可動リニアコンベアを的確に案内できるとともに、第２分割案内部材によって第２対向位置に可動リニアコンベアを的確に案内できる。その結果、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しが実行可能となっている。

【0017】

また、直動案内部材は、第１分割案内部材と第２分割案内部材との間に配置された中間案内部材と、第１分割案内部材と中間案内部材とを互いに取り付ける第１連結部材と、第２分割案内部材と中間案内部材とを互いに取り付ける第２連結部材とをさらに有し、第１分割案内部材と中間案内部材との間には遊びが設けられ、第２分割案内部材と中間案内部材との間には遊びが設けられているように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、第１取付部材と第２取付部材との間の距離に応じて、第１・第２分割案内部材と中間案内部材との遊びの量を増減して、直動案内部材の長さを調整できる。

【0018】

また、第１分割案内部材と中間案内部材とは、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なり、第２分割案内部材と中間案内部材とは、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、第１分割案内部材と第２分割案内部材との間に位置ずれが生じた場合、中間案内部材をこの位置ずれに応じて撓ませることができる。その結果、第１・第２分割案内部材の撓みを抑えて、第１・第２分割案内部材によって第１・第２対向位置に可動リニアコンベアを的確に案内できる。

【0019】

また、直動案内機構は、第１取付部材と取付架台とを接続して、第１取付部材を取付架台に固定する第１支持部材と、第２取付部材と取付架台とを接続して、第２取付部材を取付架台に固定する第２支持部材とをさらに有するように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、第１・第２取付部材の取り付けに伴って第１・第２固定リニアコンベアに加わる荷重を第１・第２支持部材によって軽減することができる。

【0020】

また、直動案内機構は、第１固定リニアコンベアに係合する第１係合部と、第２固定リニアコンベアに係合する第２係合部とを有し、第１係合部が第１固定リニアコンベアに係合することで、直動案内機構と第１固定リニアコンベアとが位置決めされ、第２係合部が第２固定リニアコンベアに係合することで、直動案内機構と第２固定リニアコンベアとが位置決めされるように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、直動案内機構の第１・第２係合部を第１・第２固定リニアコンベアに係合させるだけで、直動案内機構と第１・第２固定リニアコンベアを簡便に位置決めすることができる。

【0021】

また、可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部をさらに備え、駆動部は、位置検出部が検出する位置に基づき可動リニアコンベアの位置を制御することで、可動リニアコンベアの第１対向位置への位置決めを制御し、可動リニアコンベアの第２対向位置への位置決めを制御するように、コンベアテーブル移載装置を構成してもよい。かかる構成では、位置検出部による検出結果に基づき、第１・第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの位置を的確に制御できる。ただし、位置検出部は、その配置箇所において可動リニアコンベアの位置を検出するに過ぎないため、可動リニアコンベアの姿勢を検出することはできない。そのため、位置検出部を用いるだけでは、第１・第２固定リニアコンベアに対して可動リニアコンベアの姿勢が傾いた状態で、コンベアテーブルの受け渡しが実行されるおそれがある。これに対して、本発明では、第１・第２固定リニアコンベアに取り付けられた直動案内機構によって可動リニアコンベアの第１・第２対向位置への移動が案内されるため、第１・第２固定リニアコンベアに対して、可動リニアコンベアを適切な姿勢で対向させることができる。その結果、第１・第２固定リニアコンベアに対して、適切な位置および姿勢で可動リニアコンベアを位置決めできる。

【0022】

本発明に係る搬送システムは、コンベアテーブルを駆動する第１固定リニアコンベアと、コンベアテーブルを駆動する第２固定リニアコンベアと、上記のコンベアテーブル移載装置とを備え、コンベアテーブル移載装置によって、第１固定リニアコンベアと第２固定リニアコンベアとの間でコンベアテーブルを移載する。したがって、固定リニアコンベアが取り付けられた取付架台の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しを実行することが可能となっている。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、固定リニアコンベアが取り付けられた取付架台の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベアと可動リニアコンベアとの間のスムーズなコンベアテーブルの受け渡しを実行することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】図１は本発明に係る搬送システムを模式的に示す正面図。

【図2】図１の搬送システムを示す部分斜視図。

【図3】図１の搬送システムを示す部分斜視図。

【図4】固定リニアコンベアの取付架台への取付態様を示す部分斜視図。

【図5】固定リニアコンベアの取付架台への取付態様を示す部分斜視図。

【図6】可動リニアコンベアの周辺構成を示す部分斜視図。

【図7】リンク機構の一部の断面を模式的に示す図。

【図8】可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部の構成を模式的に示す図。

【図9】変形例に係る搬送システムを示す平面図。

【図10】図１の搬送システムを示す部分斜視図。

【図11】図９に示す搬送システムが具備するリンク機構の一例を模式的に示す図。

【発明を実施するための形態】

【0025】

図１は本発明に係る搬送システムを模式的に示す正面図である。本明細書では、水平方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向であるＹ方向および鉛直方向であるＺ方向を適宜示して説明を行う。図１に示すように、搬送システム１は、複数のコンベアテーブルＴを循環搬送する構成を備える。コンベアテーブルＴには、例えば搬送システム１が設置される工場での作業対象となるワークを載置することができる。

【0026】

この搬送システム１は例えば金属製の取付架台２を備える。取付架台２は、基台２１、取付ステージ２３ａおよび取付ステージ２３ｂを有する。基台２１、取付ステージ２３ａおよび取付ステージ２３ｂは、水平に配置された矩形の平板であり、Ｚ方向に間隔を空けて並ぶ。取付架台２は、基台２１の上面２１１の四隅でＺ方向に立設された支柱２７を有し、取付ステージ２３ａは、これら支柱２７の上端に取り付けられて、基台２１の上面２１１に上方から対向する。取付架台２は、取付ステージ２３ａの上面２３１の四隅でＺ方向に立設された支柱２９を有し、取付ステージ２３ｂは、これら支柱２９の上端に取り付けられて、取付ステージ２３ａの上面２３１に上方から対向する。基台２１の上面２１１、取付ステージ２３ａの上面２３１および取付ステージ２３ｂの上面２３１のそれぞれは、水平な平面であり、Ｚ方向からの平面視においてＸ方向およびＹ方向に平行な辺を持つ矩形状を有する。

【0027】

搬送システム１は、取付ステージ２３ａの上面２３１に取り付けられた固定リニアコンベア５ａと、取付ステージ２３ｂの上面２３１に取り付けられた固定リニアコンベア５ｂとを有する。固定リニアコンベア５ａはＸ方向に平行に配置され、Ｘ方向において、固定リニアコンベア５ａの両端は取付ステージ２３ａの上面２３１の両端から突出する。固定リニアコンベア５ｂはＸ方向に平行に配置され、Ｘ方向において、固定リニアコンベア５ｂの両端は取付ステージ２３ｂの上面２３１の両端から突出している。固定リニアコンベア５ａ、５ｂのそれぞれには、コンベアテーブルＴがＸ方向の端から係合・離脱することができ、固定リニアコンベア５ａ、５ｂは、それぞれに係合するコンベアテーブルＴを磁力によってＸ方向に駆動する。

【0028】

さらに、搬送システム１は、Ｘ方向において、取付架台２の両側、換言すれば固定リニアコンベア５ａ、５ｂの両側に配置されたコンベアテーブル移載装置６を備える。各コンベアテーブル移載装置６は、固定リニアコンベア５ａから固定リニアコンベア５ｂへコンベアテーブルＴを移載し、固定リニアコンベア５ｂから固定リニアコンベア５ａへコンベアテーブルＴを移載する。

【0029】

このコンベアテーブル移載装置６は、Ｘ方向に平行に配置された可動リニアコンベア７を備える。可動リニアコンベア７には、コンベアテーブルＴがＸ方向の端から係合・離脱することができ、可動リニアコンベア７は、それに係合するコンベアテーブルＴを磁力によってＸ方向に駆動する。そして、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７をＺ方向に駆動することで、固定リニアコンベア５ａにＸ方向から対向する対向位置Ｐａと、固定リニアコンベア５ｂにＸ方向から対向する対向位置Ｐｂとの間で可動リニアコンベア７を移動させる。対向位置Ｐａに位置する可動リニアコンベア７と固定リニアコンベア５ａとは、Ｘ方向に並んで、コンベアテーブルＴを互いに受け渡すことができ、対向位置Ｐｂに位置する可動リニアコンベア７と固定リニアコンベア５ｂとは、Ｘ方向に並んで、コンベアテーブルＴを互いに受け渡すことができる。

【0030】

かかるコンベアテーブル移載装置６によれば、固定リニアコンベア５ａから固定リニアコンベア５ｂへのコンベアテーブルＴへの移載を次のように実行できる。まず、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａに位置させる。そして、固定リニアコンベア５ａから対向位置Ｐａの可動リニアコンベア７にコンベアテーブルＴが移動する。次に、コンベアテーブル移載装置６は、対向位置Ｐａから対向位置Ｐｂに可動リニアコンベア７を移動させる。最後に、対向位置Ｐｂの可動リニアコンベア７から固定リニアコンベア５ｂにコンベアテーブルＴが移動する。こうして、コンベアテーブルＴの移載が完了する。なお、これと逆の動作を実行することで、固定リニアコンベア５ｂから固定リニアコンベア５ａへコンベアテーブルＴを移載することができる。

【0031】

なお、取付架台２の両側の構成（２個のコンベアテーブル移載装置６等）は共通するため、以下では、図１の右側を主に示しつつ、搬送システム１について説明を行う。また、リニアコンベア５ａ、５ｂは同一の構成を具備するため、これらを特に区別しない場合には固定リニアコンベア５と適宜称することとする。また、固定リニアコンベア５ａ、５ｂが取り付けられる取付ステージ２３ａ、２３ｂも適宜取付ステージ２３と称することとする。

【0032】

図２および図３は図１の搬送システムを示す部分斜視図であり、図４および図５は固定リニアコンベアの取付架台への取付態様を示す部分斜視図であり、図６は可動リニアコンベアの周辺構成を示す部分斜視図である。図２では、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐａに位置する状態が示され、図３では、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂの途中に位置する状態が示されている。また、図４では、固定リニアコンベア５ｂが取付ステージ２３ｂから上方へ外れた状態が示され、図５では、固定リニアコンベア５ｂの内部構造を示すために固定リニアコンベア５ｂの端部断面が示されている。これらの図に示すように、固定リニアコンベア５は、リニアハウジング５１と、リニアハウジング５１に上方から対向するテーブルカバー５３と、リニアハウジング５１に対してテーブルカバー５３を支持するサポートプレート５５とを有する。

【0033】

リニアハウジング５１は、Ｘ方向に延設されたメインハウジング５１１を有する。メインハウジング５１１とサポートプレート５５とは一体的に構成されており、テーブルカバー５３はサポートプレート５５の上端に締結されている。このメインハウジング５１１は、下方に開口する収容空間を上方および側方から囲み、Ｘ方向からの側面視において逆Ｕ字の形状を有する。また、リニアハウジング５１は、メインハウジング５１１の収容空間に配置された電装ボックス５１２を有する。この電装ボックス５１２は、Ｘ方向に延設されており、固定リニアコンベア５の電装系を収容する。さらに、リニアハウジング５１は、メインハウジング５１１の下端から側方（Ｙ方向）に突出する取付フランジ５１３を有する。この取付フランジ５１３は、メインハウジング５１１のＹ方向の両側から延設されている。メインハウジング５１１および取付フランジ５１３それぞれの底面は面一であり、固定リニアコンベア５の底面５１４（図４）を構成する。この底面５１４は水平な平面であり、取付ステージ２３の上面２３１に接触する。なお、メインハウジング５１１および取付フランジ５１３は、別体で構成されてもよいし、一体で構成されてもよい。そして、取付フランジ５１３がＸ方向に並ぶ複数の締結個所で締結部材（ネジ）によって取付ステージ２３の上面２３１に締結される。こうして、固定リニアコンベア５ａは取付ステージ２３ａの上面２３１に固定され、固定リニアコンベア５ｂは、取付ステージ２３ｂの上面２３１に固定される。

【0034】

テーブルカバー５３はＸ方向に延設されており、コンベアテーブルＴは、Ｘ方向のテーブルカバー５３の両端に対して外嵌・離脱することができる。そして、テーブルカバー５３に外嵌したコンベアテーブルＴは、テーブルカバー５３に沿ってＸ方向へ移動する。また、サポートプレート５５は、Ｘ方向に延設されつつＺ方向に立設されており、リニアハウジング５１のメインハウジング５１１の上面に対して間隔を空けつつテーブルカバー５３を支持する。

【0035】

さらに、固定リニアコンベア５は、メインハウジング５１１の上面とテーブルカバー５３との間に配置されたリニアモータ固定子５６を有する。リニアモータ固定子５６は、Ｘ方向に配列された複数のコイルを有し、コンベアテーブルＴに設けられたリニアモータ可動子（永久磁石）とコイルとの間に生じる磁力によってコンベアテーブルＴをＸ方向に駆動する。なお、リニアモータ固定子５６のコイルに流す電流は、電装ボックス５１２に収容された電装系によって制御される。

【0036】

また、固定リニアコンベア５は、メインハウジング５１１の上面とテーブルカバー５３との間に配置された一対の直動案内レール５７を有する。一対の直動案内レール５７は、Ｘ方向に延設され、Ｙ方向に間隔を空けて配置される。一対の直動案内レール５７は、Ｙ方向において、Ｙ方向において、サポートプレート５５およびリニアモータ固定子５６を挟むように、メインハウジング５１１の上面の両端に配置されている。コンベアテーブルＴは、Ｘ方向の直動案内レール５７の両端に対して係合・離脱することができ、直動案内レール５７に係合するコンベアテーブルＴの移動は、直動案内レール５７によってＸ方向に案内される。

【0037】

上述の通り、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７を備える。可動リニアコンベア７は、Ｘ方向への長さにおいて固定リニアコンベア５と異なる（可動リニアコンベア７は固定リニアコンベア５より短い）。ただし、その他において、可動リニアコンベア７は固定リニアコンベア５と同一の構成を備える。

【0038】

つまり、可動リニアコンベア７は、Ｘ方向に延設されたリニアハウジング７１を有し、リニアハウジング７１は、メインハウジング７１１、電装ボックス７１２および取付フランジ７１３を有する。また、可動リニアコンベア７は、テーブルカバー７３およびサポートプレート７５を有し、テーブルカバー７３は、リニアハウジング７１のメインハウジング７１１の上面に対して間隔を空けつつ、サポートプレート７５によって支持される。そして、コンベアテーブルＴは、Ｘ方向のテーブルカバー７３の両端に対して外嵌・離脱することができ、テーブルカバー７３に外嵌したコンベアテーブルＴは、テーブルカバー７３に沿ってＸ方向へ移動する。

【0039】

さらに、可動リニアコンベア７は、メインハウジング７１１の上面とテーブルカバー７３との間に配置されたリニアモータ固定子７６を有する。リニアモータ固定子７６は、電装ボックス７１２に収容された電装系の制御に基づき、コンベアテーブルＴのリニアモータ可動子との間に生じる磁力によってコンベアテーブルＴをＸ方向に駆動する。また、可動リニアコンベア７は、メインハウジング７１１の上面とテーブルカバー７３との間に配置された一対の直動案内レール７７を有する。一対の直動案内レール７７は、Ｘ方向に延設され、Ｙ方向に間隔を空けて配置される。コンベアテーブルＴは、Ｘ方向の直動案内レール７７の両端に対して係合・離脱することができ、直動案内レール７７に係合するコンベアテーブルＴの移動は、直動案内レール７７によってＸ方向に案内される。

【0040】

また、コンベアテーブル移載装置６は、対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間における可動リニアコンベア７のＺ方向への移動を案内する直動案内機構８を備える。直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａに取り付けられる取付ブロック８１ａと、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられる取付ブロック８１ｂとを有する。取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとは、取付対象において異なるが、互いに同一の構成を備える。そこで、これらを特に区別しない場合には取付ブロック８１と適宜称することとする。

【0041】

取付ブロック８１は、Ｙ方向に間隔を空けて配置された一対の側壁プレート８１１を有する。各側壁プレート８１１は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された平板であり、Ｚ方向に延設された矩形状を有する。また、取付ブロック８１ａは、一対の側壁プレート８１１の上端の間でＹ方向に延設された取付プレート８１２を有する。取付プレート８１２は水平に配置された平板であり、この取付プレート８１２の上面８１３は、水平な平面である。さらに、取付ブロック８１ａは、取付プレート８１２の下側において、一対の側壁プレート８１１の間で水平に配置された補強プレート８１４を有する。この補強プレート８１４は、取付プレート８１２と同一の構成を備える。これら取付プレート８１２および補強プレート８１４のＹ方向の両端は、一対の側壁プレート８１１に固定されている。また、取付ブロック８１は、取付プレート８１２と補強プレート８１４との間でＺ方向に延設された一対の補強プレート８１５を有する。各補強プレート８１５は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された平板であり、Ｚ方向に延設された矩形状を有する。これら補強プレート８１５のＺ方向の両端は、取付プレート８１２および補強プレート８１４に固定されている。

【0042】

さらに、取付ブロック８１は、固定リニアコンベア５との位置決めを行う位置決め部材８１６を有する。図５に示すように、位置決め部材８１６は、取付プレート８１２の上面８１３に固定されており、Ｙ方向に間隔を空けて配列された一対の係合孔８１７を有し、各係合孔８１７は上方へ開口する。一方、固定リニアコンベア５は、Ｙ方向に当該間隔を空けて配列された一対の係合突起５８をＸ方向の端部に有する。各係合突起５８は、底面５１４から下方に突出する。そして、固定リニアコンベア５の一対の係合突起５８が位置決め部材８１６の一対の係合孔８１７に上方から係合することで、固定リニアコンベア５と取付ブロック８１とが水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に位置決めされる。

【0043】

かかる取付ブロック８１は、次のようにして固定リニアコンベア５に取り付けられる。つまり、取付ブロック８１の取付プレート８１２の上面８１３は、取付ステージ２３の上面２３１と面一に配置され、固定リニアコンベア５の底面５１４のうち、Ｘ方向に突出した部分（取付面）は、取付プレート８１２の上面８１３に接触する。なお、上記の一対の係合突起５８は、取付ステージ２３からＸ方向に突出する部分（取付面）に設けられて、一対の係合孔８１７に係合する。固定リニアコンベア５の取付フランジ５１３は、取付ステージ２３から取付プレート８１２へＸ方向に突出して、取付プレート８１２の上面８１３に接触し、Ｘ方向に並ぶ複数の締結個所で締結部材（ネジ）によって取付ステージ２３の上面２３１に締結される。こうして、固定リニアコンベア５ａの底面５１４には取付ブロック８１ａの上面８１３が取り付けられ、固定リニアコンベア５ｂの底面５１４には取付ブロック８１ｂの上面８１３が取り付けられる。

【0044】

また、直動案内機構８は、取付ブロック８１を取付ステージ２３に取り付ける一対の支持プレート８２を有する。各支持プレート８２は、水平に配置された平板であり、Ｘ方向に延設された矩形状を有し、一対の支持プレート８２は、固定リニアコンベア５のＹ方向の両側に配置されている。これに対して、Ｙ方向において、取付プレート８１２は、固定リニアコンベア５の両側に突出しており、各支持プレート８２は、取付ステージ２３の上面２３１と取付プレート８１２の上面８１３（固定リニアコンベア５からＹ方向へ突出した部分）とに架け渡されている。そして、各支持プレート８２は、取付ステージ２３および取付プレート８１２のそれぞれに複数の締結箇所で締結部材（ネジ）によって締結される。つまり、取付ブロック８１は、一対の支持プレート８２を介して取付ステージ２３によって支持される。

【0045】

こうして固定リニアコンベア５ａに取り付けられた取付ブロック８１ａと、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられた取付ブロック８１ｂとが、Ｚ方向に間隔を空けて配置される。取付ブロック８１ａの一対の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの一対の側壁プレート８１１とは、それぞれＺ方向に間隔を空けて対向する。つまり、図２～図６においてＹ方向に沿った左側を一方としつつ右側を他方とすると、取付ブロック８１ａの一方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの一方の側壁プレート８１１とは、Ｚ方向に間隔を空けて対向し、取付ブロック８１ａの他方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの他方の側壁プレート８１１とは、Ｚ方向に間隔を空けて対向する。

【0046】

さらに、直動案内機構８は、それぞれＺ方向に延設された一対の直動案内レール８３を備える。これら直動案内レール８３は、Ｙ方向に間隔を空けつつ平行に配置されている。一対の直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａ、８１ｂの一対の側壁プレート８１１に対応して設けられている。つまり、一方の直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａの一方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの一方の側壁プレート８１１とに架け渡され、他方の直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａの他方の側壁プレート８１１と、取付ブロック８１ｂの他方の側壁プレート８１１とに架け渡される。

【0047】

Ｚ方向において、直動案内レール８３の下端の位置（高さ）は、取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１の下端の位置（高さ）と一致し、直動案内レール８３の上端の位置（高さ）は、取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１の上端の位置（高さ）と一致する。そして、直動案内レール８３の下端からの所定範囲が取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１にＸ方向から接触して締結部材（ネジ）によって締結され、直動案内レール８３の上端からの所定範囲が取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１にＸ方向から接触して締結部材（ネジ）によって締結される。

【0048】

各直動案内レール８３は、分割案内レール８３１、８３２と、中間案内レール８３３とを有する。分割案内レール８３１は、取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１にＸ方向から取り付けられて、この側壁プレート８１１によりＺ方向に平行に支持される。Ｚ方向において、分割案内レール８３１の下端は取付ブロック８１ａの側壁プレート８１１の下端と同じ位置（高さ）である一方、分割案内レール８３１の上端はこの側壁プレート８１１より上方に突出する。また、分割案内レール８３２は、取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１にＸ方向から取り付けられて、この側壁プレート８１１によりＺ方向に平行に支持される。Ｚ方向において、分割案内レール８３２の上端は取付ブロック８１ｂの側壁プレート８１１の上端と同じ位置（高さ）である一方、分割案内レール８３２の下端はこの側壁プレート８１１より下方に突出する。

【0049】

分割案内レール８３１と分割案内レール８３２とは、Ｚ方向に間隔を空けて互いに対向し、中間案内レール８３３は、分割案内レール８３１と分割案内レール８３２との間でＺ方向に平行に配置される。こうして、分割案内レール８３１、中間案内レール８３３および分割案内レール８３２が順番にＺ方向に直線状に並ぶ。なお、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３との間には遊び（隙間）が設けられ、中間案内レール８３３と分割案内レール８３２との間には遊び（隙間）が設けられている。

【0050】

分割案内レール８３１、８３２と、中間案内レール８３３とは、互いに異なる材質で構成されている。具体的には、分割案内レール８３１、８３２は、焼き入れされた鉄であり、中間案内レール８３３は焼き入れされていない鉄である。したがって、中間案内レール８３３は、分割案内レール８３１、８３２よりも低い強度を有し、荷重に対して柔軟に変形する。

【0051】

また、直動案内レール８３は、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とを互いに取り付ける連結部材８３７と、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とを互いに取り付ける連結部材８３８とを有する。つまり、連結部材８３７は、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とを跨いで配置されたステイを締結部材によってこれらに締結する構成を有し、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とを相互に固定・接続する。また、連結部材８３８は、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とを跨いで配置されたステイを締結部材によってこれらに締結する構成を有し、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とを相互に固定・接続する。Ｘ方向において、連結部材８３７、８３８は、直動案内レール８３に対して側壁プレート８１１と同じ側に配置され、取付ブロック８１ａ、８１ｂそれぞれの側壁プレート８１１の間に位置する。

【0052】

さらに、コンベアテーブル移載装置６は、直動案内機構８の直動案内レール８３に沿って可動リニアコンベア７を移動させる可動部材７９を備える。可動部材７９は、Ｙ方向およびＺ方向に平行に配置された可動プレート７９１を有する。Ｘ方向において、可動プレート７９１は、直動案内レール８３に対して側壁プレート８１１の逆側に配置され、可動プレート７９１のＹ方向の両端は、一対の直動案内レール８３にＸ方向から対向する。

【0053】

また、可動部材７９は、Ｙ方向において、可動プレート７９１の一方端部および他方端部のそれぞれに取り付けられたスライダ７９２を有する。これらスライダ７９２は、Ｚ方向に延設されている。そして、可動プレート７９１の一方端部のスライダ７９２は、可動プレート７９１と一方の直動案内レール８３との間に位置して、当該一方の直動案内レール８３に係合する。可動プレート７９１の他方端部のスライダ７９２は、可動プレート７９１と他方の直動案内レール８３との間に位置して、当該他方の直動案内レール８３に係合する。これらスライダ７９２は、係合する直動案内レール８３に沿ってＺ方向にスライド可能である。

【0054】

さらに、可動部材７９は、可動プレート７９１の上端に取り付けられた支持プレート７９３を有する。支持プレート７９３は、Ｘ方向において、可動プレート７９１の上端から側壁プレート８１１の逆側へ突出し、水平に支持されている。支持プレート７９３の上面７９４は水平な平面である。また、可動部材７９は、可動プレート７９１と支持プレート７９３とに取り付けられた一対の補強ブレース７９５を有し、各補強ブレース７９５は、可動プレート７９１による支持プレート７９３の支持を補強する。

【0055】

そして、支持プレート７９３の上面７９４に可動リニアコンベア７が取り付けられている。つまり、可動リニアコンベア７のメインハウジング７１１および取付フランジ７１３それぞれの底面は面一であり、可動リニアコンベア７の底面７１４（図６）を構成する。可動リニアコンベア７の底面７１４は支持プレート７９３の上面７９４に接触し、可動リニアコンベア７の各取付フランジ７１３がＸ方向に並ぶ複数の締結箇所で締結部材（ネジ）によって支持プレート７９３の上面７９４に締結される。なお、可動リニアコンベア７の底面７１４のうち、Ｘ方向において、取付架台２側の一部（半分）が支持プレート７９３の上面７９４に接触する一方、取付架台２の逆側の一部（半分）は支持プレート７９３の上面７９４から突出している。

【0056】

かかる構成では、可動リニアコンベア７のＺ方向への移動を、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９に係合する直動案内レール８３によって案内することができる。そして、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７をＺ方向に駆動するために駆動部６１を備える。駆動部６１は、Ｚ方向に平行に設置された単軸ロボット６２と、単軸ロボット６２の駆動力によってＺ方向に移動する駆動部材６３と、駆動部材６３の移動を案内する一対の直動案内レール６４を有する。

【0057】

単軸ロボット６２は、可動リニアコンベア７および可動部材７９に対して、Ｙ方向にずれて配置されており、Ｚ方向に延設されたロボットハウジング６２１と、Ｚ方向に平行に配置されたボールネジ６２２と、ボールネジ６２２を回転させるモータ６２３とを有する。単軸ロボット６２のロボットハウジング６２１は、Ｙ方向から可動リニアコンベア７に対向する開口６２４を有する。ボールネジ６２２は、ロボットハウジング６２１内に配置され、モータ６２３はロボットハウジング６２１の上端に取り付けられている。そして、ボールネジ６２２とモータ６２３とがカップリングされている。この単軸ロボット６２は、背面板６７１およびＬ字金具６７２で構成される取付金具によって取付架台２に取り付けられている。具体的には、背面板６７１はＺ方向およびＸ方向に平行であってＺ方向に長い平板である。この背面板６７１は、Ｙ方向において単軸ロボット６２の可動リニアコンベア７と逆側の面に取り付けられている。そして、Ｚ方向に並ぶ複数のＬ字金具６７によって、背面板６７１が取付架台２に取り付けられている。こうして、単軸ロボット６２は、取付架台２に固定・支持されている。

【0058】

また、一対の直動案内レール６４は、Ｘ方向に間隔を空けつつＺ方向に平行に配置されている。これら直動案内レール６４は、Ｙ方向から見てボールネジ６２２を挟むようにロボットハウジング６２１内に配置されて、ロボットハウジング６２１の内壁に取り付けられている。

【0059】

駆動部材６３は、Ｙ方向において、可動部材７９より単軸ロボット６２側にずれて配置されており、可動部材７９と単軸ロボット６２との間に位置する。この駆動部材６３は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された駆動プレート６３１と、Ｘ方向において、駆動プレート６３１の両端部それぞれに取り付けられたスライダ６３２とを有する。これらスライダ６３２は、Ｚ方向に延設されている。そして、Ｘ方向において、駆動プレート６３１の一方端部のスライダ６３２および他方端部のスライダ６３２と、一対の直動案内レール６４とが係合する。つまり、Ｘ方向において、駆動プレート６３１の一方端部のスライダ６３２は、一方の直動案内レール６４に係合し、駆動プレート６３１の他方端部のスライダ６３２は、他方の直動案内レール６４に係合する。さらに、駆動プレート６３１は、ボールネジ６２２のナットに取り付けられており、当該ナットに伴ってＺ方向に移動する。

【0060】

かかる構成では、モータ６２３によってボールネジ６２２を回転させることで、駆動部材６３をＺ方向に移動させることができる。さらに、駆動部材６３のＺ方向への移動を、駆動部材６３に係合する直動案内レール６４によって案内することができる。

【0061】

さらに、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９と、単軸ロボット６２により駆動される駆動部材６３とを接続するリンク機構９を備える。このリンク機構９について、図７を併用しつつ説明する。ここで、図７はリンク機構の一部の断面を模式的に示す図である。

【0062】

リンク機構９は、Ｚ方向およびＸ方向に平行に配置された接続プレート９１と、接続プレート９１からＹ方向に延設されたアーム９２とを有する。接続プレート９１は、駆動部材６３の駆動プレート６３１に取り付けられており、アーム９２はＹ方向に平行に接続プレート９１から可動部材７９側へ延設されている。このアーム９２は、Ｙ方向において可動部材７９側へ向かうにつれて先細りとなるテーパー形状を有する平板である。また、アーム９２は、Ｘ方向において可動プレート７９１に対して直動案内レール８３の逆側に配置されている。

【0063】

さらに、リンク機構９は、Ｙ方向におけるアーム９２の先端（アーム９２の両端のうち可動部材７９側の端）に取り付けられたシャフトホルダ９３１と、シャフトホルダ９３１に保持されるシャフト９３２とを有する。シャフト９３２はＸ方向に平行に保持されており、シャフト９３２の先端部は、シャフトホルダ９３１から可動プレート７９１側へＸ方向に突出する。そして、シャフト９３２の当該先端部に球面ベアリング９４が取り付けられている。球面ベアリング９４は、シャフト９３２に固定された内輪９４１と、内輪９４１に外嵌された外輪９４２とを有し、内輪９４１と外輪９４２が球面接触しつつ互いに摺動することができる。

【0064】

また、リンク機構９は、可動プレート７９１に取り付けられたシャフトホルダ９５１と、シャフトホルダ９５１に保持されるシャフト９５２とを有する。シャフト９５２はＸ方向に平行に保持されており、シャフト９５２の先端部は、シャフトホルダ９５１からシャフトホルダ９３１側へＸ方向に突出する。そして、シャフト９５２の当該先端部に球面ベアリング９６が取り付けられている。球面ベアリング９６は、シャフト９５２に固定された内輪９６１と、内輪９６１に外嵌された外輪９６２とを有し、内輪９６１と外輪９６２とが球面接触しつつ互いに摺動することができる。

【0065】

こうして、リンク機構９は、Ｚ方向に配列された球面ベアリング９４と球面ベアリング９６とを有する。さらに、リンク機構９は、これら球面ベアリング９４、９６それぞれの外輪９４２、９６２を保持するホルダプレート９７を有する。つまり、ホルダプレート９７には、球面ベアリング９４の外輪９４２と球面ベアリング９６の外輪９６２とが固定されている。

【0066】

このように、リンク機構９は、それぞれ３自由度を有する２個の球面ベアリング９４、９６によって、駆動部材６３と可動部材７９とを接続する。かかる構成では、駆動部６１によるボールネジ６２２の回転に伴って、駆動部材６３が一対の直動案内レール６４に案内されつつＺ方向に移動すると、この駆動部材６３の移動は、リンク機構９を介して可動部材７９に伝達されて可動部材７９をＺ方向に駆動する。その結果、可動リニアコンベア７は、一対の直動案内レール８３によって案内されつつＺ方向に駆動される。

【0067】

かかるコンベアテーブル移載装置６によれば、駆動部６１によって可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａおよび対向位置Ｐｂのそれぞれに位置決めすることができる。コンベアテーブル移載装置６は、かかる位置決めを的確に実行するために、可動リニアコンベア７の位置を検出する位置検出部６９（図８）を有する。

【0068】

図８は可動リニアコンベアの位置を検出する位置検出部の構成を模式的に示す図である。位置検出部６９は、リニアスケール６９１と、リニアセンサ６９２とを有する。リニアスケール６９１は、取付ブロック８１ａおよび取付ブロック８１ｂのそれぞれに取り付けられている。特に図２および図３に示すように、リニアスケール６９１は、取付ブロック８１の補強プレート８１５に取り付けられており、Ｚ方向に平行に配置されている。一方、リニアセンサ６９２には、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９の可動プレート７９１に取り付けられており、Ｚ方向に平行に配置されている。かかる構成では、リニアセンサ６９２は、リニアスケール６９１にＸ方向から対向しつつリニアスケール６９１を読み取ることで、可動リニアコンベア７のＺ方向への位置（高さ）を検出する。

【0069】

可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａに位置決めする際には、コンベアテーブル移載装置６のモータ６２３は、取付ブロック８１ａに取り付けられたリニアスケール６９１をリニアセンサ６９２が読み取った結果に基づき、ボールネジ６２２の回転量を制御する。これによって、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａに的確に位置決めすることができる。また、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐｂに位置決めする際には、コンベアテーブル移載装置６のモータ６２３は、取付ブロック８１ｂに取り付けられたリニアスケール６９１をリニアセンサ６９２が読み取った結果に基づき、ボールネジ６２２の回転量を制御する。これによって、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐｂに的確に位置決めすることができる。

【0070】

また、図２に示すように、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐａに位置する状態では、可動部材７９は、直動案内レール８３を挟んで、取付ブロック８１ａにＸ方向から対向する。つまり、取付ブロック８１ａは、直動案内レール８３に係合する可動部材７９にＸ方向から隣接し、直動案内レール８３のうち可動部材７９が係合する下端部分を、可動部材７９が直動案内レール８３に取り付けられる面（Ｘ方向における可動部材７９側の面）の逆側から支持する。これによって、対向位置Ｐａに位置する可動リニアコンベア７を取付ブロック８１ａによってしっかりと支持することができる。

【0071】

同様に、可動リニアコンベア７が対向位置Ｐｂに位置する状態では、可動部材７９は、直動案内レール８３を挟んで、取付ブロック８１ｂにＸ方向から対向する。つまり、取付ブロック８１ｂは、直動案内レール８３に係合する可動部材７９にＸ方向から隣接し、直動案内レール８３のうち可動部材７９が係合する上端部分を、可動部材７９が直動案内レール８３に取り付けられる面（Ｘ方向における可動部材７９側の面）の逆側から支持する。これによって、対向位置Ｐｂに位置する可動リニアコンベア７を取付ブロック８１ｂによってしっかりと支持することができる。

【0072】

以上に説明した実施形態では、駆動部６１の駆動によって、可動リニアコンベア７が、固定リニアコンベア５ａ（第１固定リニアコンベア）に対向する対向位置Ｐａ（第１対向位置）と、固定リニアコンベア５ｂ（第２固定リニアコンベア）に対向する対向位置Ｐｂ（第２対向位置）との間で移動する。かかる可動リニアコンベア７の移動は、直動案内機構８によって対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間で案内される。そして、この直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａに取り付けられるとともに、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられる。このように固定リニアコンベア５ａに取り付けられた直動案内機構８によって可動リニアコンベア７の対向位置Ｐａへの移動が案内されるため、対向位置Ｐａに移動した可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａに対して的確に位置決めできる。同様に、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられた直動案内機構８によって可動リニアコンベア７の対向位置Ｐｂへの移動が案内されるため、対向位置Ｐｂに移動した可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ｂに対して的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベア５ａ、５ｂが取り付けられた取付架台２の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと可動リニアコンベア７との間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しが実行可能となっている。

【0073】

また、直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａの底面５１４に取り付けられるとともに、固定リニアコンベア５ｂの底面５１４に取り付けられている。このように固定リニアコンベア５ａ、５ｂの底面５１４を直動案内機構８の取り付けに利用することで、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと直動案内機構８との接触範囲を広く確保して、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと直動案内機構８とをしっかりと取り付けることができる。その結果、対向位置Ｐａ、Ｐｂに移動した可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して的確に位置決めして、これらの間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しを実行できる。

【0074】

また、直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａの取付架台２からの突出した部分に取り付けられるとともに、固定リニアコンベア５ｂの取付架台２から突出した部分に取り付けられる。かかる構成では、固定リニアコンベア５ａ、５ｂとの取付部分を露出させるために取付架台２を切り欠くといった加工を要することなく、固定リニアコンベア５ａ、５ｂのうち取付架台２から突出した部分に直動案内機構８を取り付ければよいため、これらの取り付けを簡便に実行できる。

【0075】

また、直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａに取り付けられた取付ブロック８１ａ（第１取付部材）と、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられた取付ブロック８１ｂ（第２取付部材）と、取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂに取り付けられた直動案内レール８３（直動案内部材）とを有する。かかる構成では、可動リニアコンベア７の移動は、直動案内レール８３によって対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間で案内される。そして、この直動案内レール８３は、固定リニアコンベア５ａに取り付けられた取付ブロック８１ａに取り付けられるとともに、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられた取付ブロック８１ｂに取り付けられる。つまり、取付ブロック８１ａによって固定リニアコンベア５ａに固定された直動案内レール８３によって可動リニアコンベア７の対向位置Ｐａへの移動が案内されるため、対向位置Ｐａに移動した可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ａに対して的確に位置決めできる。同様に、取付ブロック８１ｂによって固定リニアコンベア５ｂに固定された直動案内レール８３によって可動リニアコンベア７の対向位置Ｐｂへの移動が案内されるため、対向位置Ｐｂに移動した可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ｂに対して的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベア５ａ、５ｂが取り付けられた取付架台２の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと可動リニアコンベア７との間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しが実行可能となっている。

【0076】

また、取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとは、互いに独立して設けられ、間隔を空けて配置されており、直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとに架け渡されている。かかる構成では、取付架台２における取付ブロック８１ａおよび取付ブロック８１ｂそれぞれの取付箇所が互いにずれるような変形が取付架台２に生じた場合、取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとは妨げあうことなく取付架台２の変形に応じて変位する。したがって、取付ブロック８１ａおよび取付ブロック８１ｂに過大な荷重が加わって、これらに取り付けられた固定リニアコンベア５ａおよび固定リニアコンベア５ｂが変形したり、傾いたりするのを抑制できる。この際、取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとの間に架け渡された直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとの変位に応じて撓む。ただし、かかる撓みは、対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの途中における可動リニアコンベア７の移動には影響するものの、対向位置Ｐａ、Ｐｂに移動した可動リニアコンベア７の位置決めにはほぼ影響しない。なぜなら、この位置決めは、主として取付ブロック８１ａ、８１ｂによって実行されるためである。その結果、取付架台２における取付ブロック８１ａおよび取付ブロック８１ｂそれぞれの取付箇所が互いにずれるような変形が取付架台２に生じたとしても、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと可動リニアコンベア７との間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しが実行可能となっている。

【0077】

また、可動リニアコンベア７を支持しつつ直動案内レール８３に係合する可動部材７９が具備されている。そして、駆動部６１は、可動部材７９を駆動することで可動部材７９を直動案内レール８３に沿って移動させて、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間で移動させる。かかる構成では、可動部材７９によって可動リニアコンベア７をしっかりと支持しつつ、可動リニアコンベア７を対向位置Ｐａ、Ｐｂに案内することができる。

【0078】

また、取付ブロック８１ａは、直動案内レール８３のうち、対向位置Ｐａに可動リニアコンベア７を位置させる可動部材７９が係合する部分を可動部材７９の逆側から支持する。また、取付ブロック８１ｂは、直動案内レール８３のうち、対向位置Ｐｂに可動リニアコンベア７を位置させる可動部材７９が係合する部分を可動部材７９の逆側から支持する。かかる構成では、固定リニアコンベア５ａに取り付けられた取付ブロック８１ａによって、対向位置Ｐａに可動リニアコンベア７を位置させる可動部材７９を支持することができ、対向位置Ｐａの可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ａに的確に位置決めできる。同様に、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられた取付ブロック８１ｂによって、対向位置Ｐｂに可動リニアコンベア７を位置させる可動部材７９を支持することができ、対向位置Ｐｂの可動リニアコンベア７を固定リニアコンベア５ｂに的確に位置決めできる。その結果、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと可動リニアコンベア７との間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しが実行可能となっている。

【0079】

また、直動案内レール８３は、取付ブロック８１ａに取り付けられた分割案内レール８３１（第１分割案内部材）と、取付ブロック８１ｂに取り付けられた分割案内レール８３２（第２分割案内部材）とを有し、これら分割案内レール８３１と分割案内レール８３２とは、互いに独立して設けられて、直列に並ぶ。かかる構成では、取付架台２の撓みや熱変形によって取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとの間に位置ずれが生じた場合、分割案内レール８３１は分割案内レール８３２から独立して取付ブロック８１ａの位置ずれに追従し、分割案内レール８３２は分割案内レール８３１から独立して取付ブロック８１ｂの位置ずれに追従する。したがって、分割案内レール８３１によって対向位置Ｐａに可動リニアコンベア７を的確に案内できるとともに、分割案内レール８３２によって対向位置Ｐｂに可動リニアコンベア７を的確に案内できる。その結果、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと可動リニアコンベア７との間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しが実行可能となっている。

【0080】

また、分割案内レール８３１と分割案内レール８３２との間には、中間案内レール８３３が配置されている。そして、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とが連結部材８３７（第１連結部材）によって互いに取り付けられ、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とが連結部材８３８（第２連結部材）によって互いに取り付けられている。また、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３との間には遊びが設けられ、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３との間には遊びが設けられている。かかる構成では、取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂとの間の距離に応じて、分割案内レール８３１、８３２と中間案内レール８３３との遊びの量を増減して、直動案内レール８３の長さを調整できる。

【0081】

また、分割案内レール８３１と中間案内レール８３３とは、材質・剛性において互いに異なり、分割案内レール８３２と中間案内レール８３３とは、材質・剛性において互いに異なる。かかる構成では、分割案内レール８３１と分割案内レール８３２との間に位置ずれが生じた場合、中間案内レール８３３をこの位置ずれに応じて撓ませることができる。その結果、分割案内レール８３１、８３２の撓みを抑えて、分割案内レール８３１、８３２によって対向位置Ｐａ、Ｐｂに可動リニアコンベア７を的確に案内できる。

【0082】

また、直動案内機構８は、取付ブロック８１ａと取付架台２とを接続して、取付ブロック８１ａを取付架台２に固定する支持プレート８２（第１支持部材）と、取付ブロック８１ｂと取付架台２とを接続して、取付ブロック８１ｂを取付架台２に固定する支持プレート８２（第２支持部材）と有する。かかる構成では、取付ブロック８１ａ、８１ｂの取り付けに伴って固定リニアコンベア５ａ、５ｂに加わる荷重を支持プレート８２によって軽減することができる。

【0083】

また、直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａ（の係合突起５８）に係合する係合孔８１７（第１係合部）と、固定リニアコンベア５ｂ（の係合突起５８）に係合する係合孔８１７（第２係合部）とを有する。その結果、これらを係合させるだけで、直動案内機構８と固定リニアコンベア５ａ、５ｂとを簡便に位置決めすることができる。

【0084】

また、可動リニアコンベア７の位置を検出する位置検出部６９が具備されており、駆動部６１は、位置検出部６９が検出する位置に基づき可動リニアコンベア７の位置を制御することで、可動リニアコンベア７の対向位置Ｐａ、Ｐｂへの位置決めを制御する。かかる構成では、位置検出部６９による検出結果に基づき、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して可動リニアコンベア７の位置を的確に制御できる。ただし、位置検出部６９は、その配置箇所において可動リニアコンベア７の位置を検出するに過ぎないため、可動リニアコンベア７の姿勢を検出することはできない。そのため、位置検出部６９を用いるだけでは、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して可動リニアコンベア７の姿勢が傾いた状態で、コンベアテーブルＴの受け渡しが実行されるおそれがある。これに対して、本実施形態では、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに取り付けられた直動案内機構８によって可動リニアコンベア７の対向位置Ｐａ、Ｐｂへの移動が案内されるため、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して、可動リニアコンベア７を適切な姿勢で対向させることができる。その結果、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対して、適切な位置および姿勢で可動リニアコンベア７を位置決めできる。

【0085】

このように上記の実施形態では、搬送システム１が本発明の「搬送システム」の一例に相当し、固定リニアコンベア５ａが本発明の「第１固定リニアコンベア」の一例に相当し、固定リニアコンベア５ｂが本発明の「第２固定リニアコンベア」の一例に相当し、底面５１４が本発明の「底面」の一例に相当し、コンベアテーブル移載装置６が本発明の「コンベアテーブル移載装置」の一例に相当し、駆動部６１が本発明の「駆動部」の一例に相当し、位置検出部６９が本発明の「位置検出部」の一例に相当し、可動リニアコンベア７が本発明の「可動リニアコンベア」の一例に相当し、可動部材７９が本発明の「可動部材」の一例に相当し、直動案内機構８が本発明の「直動案内機構」の一例に相当し、取付ブロック８１ａが本発明の「第１取付部材」の一例に相当し、取付ブロック８１ｂが本発明の「第２取付部材」の一例に相当し、係合孔８１７が本発明の「第１係合部」あるいは「第２係合部」の一例に相当し、支持プレート８２が本発明の「第１支持部材」あるいは「第２支持部材」の一例に相当し、直動案内レール８３が本発明の「直動案内部材」の一例に相当し、分割案内レール８３１が本発明の「第１分割案内部材」の一例に相当し、分割案内レール８３２が本発明の「第２分割案内部材」の一例に相当し、中間案内レール８３３が本発明の「中間案内部材」の一例に相当し、連結部材８３７が本発明の「第１連結部材」の一例に相当し、連結部材８３８が本発明の「第２連結部材」の一例に相当し、対向位置Ｐａが本発明の「第１対向位置」の一例に相当し、対向位置Ｐｂが本発明の「第２対向位置」の一例に相当し、コンベアテーブルＴが本発明の「コンベアテーブル」の一例に相当する。

【0086】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、図９～図１１に示す変形例のように構成してもよい。図９は変形例に係る搬送システムを示す平面図であり、図１０は図１の搬送システムを示す部分斜視図であり、図１１は図９に示す搬送システムが具備するリンク機構の一例を模式的に示す図である。図１１では、リンク機構９の一部の内部構造が破線で示されている。

【0087】

図１～図８に示す上記実施形態と、図９～図１１に示す変形例との違いは、主として可動リニアコンベア７の駆動方向であり、上記実施形態では可動リニアコンベア７がＺ方向に駆動されていたのに対して、変形例では可動リニアコンベア７はＹ方向に駆動される。そこで、上記実施形態との差異点について主に説明することとし、共通する構成は相当符号を付して適宜説明を省略する。なお、共通する構成を具備することで、同様の効果が奏されることは言うまでもない。

【0088】

変形例に係る搬送システム１では、固定リニアコンベア５ａと固定リニアコンベア５ｂとは、同一の取付ステージ２３の上面２３１に取り付けられており、Ｙ方向に間隔を空けつつ、Ｘ方向に平行に配置されている。これに対して、コンベアテーブル移載装置６は、可動リニアコンベア７をＹ方向に駆動することで、固定リニアコンベア５ａにＸ方向から対向する対向位置Ｐａと、固定リニアコンベア５ｂにＸ方向から対向する対向位置Ｐｂとの間で可動リニアコンベア７を移動させる。

【0089】

かかる直動案内機構８では、固定リニアコンベア５ａ、５ｂに対応して、取付ブロック８１ａ、８１ｂがＹ方向に並ぶ。そして、取付ブロック８１ａの上面が固定リニアコンベア５ａの底面に取り付けられ、取付ブロック８１ｂの上面が固定リニアコンベア５ｂの底面に取り付けられている。これら取付ブロック８１ａと取付ブロック８１ｂには、一対の直動案内レール８３がＹ方向に架け渡されている。一対の直動案内レール８３は、Ｚ方向に間隔を空けて取付ブロック８１ａ、８１ｂに取り付けられ、それぞれＹ方向に平行に支持されている。そして、可動部材７９は、一対の直動案内レール８３に係合する。したがって、可動部材７９は、直動案内レール８３に案内されて、対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間をＹ方向に移動する。

【0090】

また、駆動部６１の単軸ロボット６２は、Ｙ方向に平行に設けられており、Ｙ方向およびＺ方向に平行に支持された駆動部材６３をモータ６２３によってＹ方向に駆動する。また、単軸ロボット６２は、Ｙ方向に平行に延設された一対の直動案内レール６４（図９に示されず）が取り付けられており、モータ６２３によって駆動される駆動部材６３は、直動案内レール６４によって案内されつつＹ方向に移動する。

【0091】

さらに、モータ６２３によって駆動される駆動部材６３と、可動リニアコンベア７を支持する可動部材７９とは、リンク機構９によって接続されている。したがって、モータ６２３に駆動される駆動部材６３が一対の直動案内レール６４に案内されつつＹ方向に移動すると、この駆動部材６３の移動は、リンク機構９を介して可動部材７９に伝達されて可動部材７９をＹ方向に駆動する。その結果、可動リニアコンベア７は、一対の直動案内レール８３によって案内されつつＹ方向に駆動される。

【0092】

また、リンク機構９では、接続プレート９１は、Ｙ方向およびＺ方向に平行に配置されて駆動部材６３に取り付けられており、アーム９２は、接続プレート９１からＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に屈曲されつつ延設されて、上方へ延びる。シャフトホルダ９３１は、アーム９２の先端（上端）に取り付けられて、シャフト９３２の先端部は、シャフトホルダ９３１から可動プレート７９１側に向けてＸ方向に突出する。そして、シャフト９３２の当該先端部に球面ベアリング９４が取り付けられている。また、可動プレート７９１に取り付けられたシャフトホルダ９５１から、シャフト９５２の先端部がシャフトホルダ９３１側へＸ方向に突出する。そして、シャフト９５２の当該先端部に球面ベアリング９６が取り付けられている。こうして、このリンク機構９では、球面ベアリング９４と球面ベアリング９６とがＹ方向に配列されて、ホルダプレート９７によって保持される。

【0093】

さらに、リンク機構９は、シャフトホルダ９３１とシャフトホルダ９５１との間に設けられた付勢バネ９８を有する。付勢バネ９８の両端は、シャフトホルダ９３１およびシャフトホルダ９５１に取り付けられて、付勢バネ９８は、シャフトホルダ９３１とシャフトホルダ９５１とを互いに近づける弾性力を発生する。図１１に示すように、シャフトホルダ９３１とシャフトホルダ９５１とはＹ方向にずれて配置されている。そのため、Ｙ方向において、球面ベアリング９４と球面ベアリング９６とを互いに近づける力が発生し、球面ベアリング９４の内輪９４１と外輪９４２とが押圧力Ｆｙによって押圧され、球面ベアリング９６の内輪９６１と外輪９６２とが押圧力Ｆｙによって押圧される。こうして、球面ベアリング９４、９６のＹ方向へのがたつきが抑制されている。なお、付勢バネ９８は、その両端を近づける弾性力を発生する引張コイルバネに限られず、その両端を遠ざける弾性力を発生する圧縮コイルバネでもよい。

【0094】

この変形例においても、可動リニアコンベア７の移動は、直動案内機構８によって対向位置Ｐａと対向位置Ｐｂとの間で案内される。そして、この直動案内機構８は、固定リニアコンベア５ａに取り付けられるとともに、固定リニアコンベア５ｂに取り付けられる。したがって、固定リニアコンベア５ａ、５ｂが取り付けられた取付架台２の歪みや熱変形によらず、固定リニアコンベア５ａ、５ｂと可動リニアコンベア７との間のスムーズなコンベアテーブルＴの受け渡しが実行可能となっている。

【0095】

また、上記の変形例に示す以外の変更を適宜行うことができる。例えば、固定リニアコンベア５の個数は、２個に限られず、３個以上でもよい。この際、直動案内機構８を全ての固定リニアコンベア５に取り付けてもよいし、一部の固定リニアコンベア５にのみ取り付けてもよい。後者の場合であっても、当該一部の固定リニアコンベア５については、上述と同様の効果を得ることができる。

【0096】

また、固定リニアコンベア５および可動リニアコンベア７によるコンベアテーブルＴの駆動方法は、リニアモータによらず、ネジと中空モータとの組み合わせによってもよい。

【0097】

また、取付ブロック８１ａ、８１ｂの具体的な構成は、複数のプレートを組み合わせた上記の例に限られず、例えば単一の矩形状の部材によって取付ブロック８１を構成してもよい。

【0098】

また、直動案内レール８３を複数のレールで構成せずに、単一のレールで構成してもよい。

【0099】

また、直動案内レール８３を複数のレールで構成する場合には、中間案内レール８３３を設けずに、２本の分割案内レール８３１、８３２のみで、直動案内レール８３を構成してもよい。

【0100】

あるいは、直動案内レール８３を複数のレールで構成して、直動案内レール８３を４本以上のレールで構成してもよい。

【0101】

また、分割案内レール８３１、分割案内レール８３２および連結案内レール８３３の特性について適宜変更ができる。具体的には、分割案内レール８３１と連結案内レール８３３とが、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なるように構成できる。剛性を異ならせる場合には、分割案内レール８３１の剛性より連結案内レール８３３の剛性を低くすることができる。同様に、分割案内レール８３２と連結案内レール８３３とが、材質、強度および剛性の少なくとも一つにおいて互いに異なるように構成できる。剛性を異ならせる場合には、分割案内レール８３２の剛性より連結案内レール８３３の剛性を低くすることができる。

【0102】

また、直動案内レール８３や、直動案内レール６４を、リニアブッシュ、ボールスプラインあるいはカムフォロワといった直動案内を実行する他の部材に変更してもよい。

【0103】

また、係合突起と係合孔との係合によって固定リニアコンベア５と取付ブロック８１とを位置決めするにあたり、固定リニアコンベア５に係合孔を設けて取付ブロック８１に係合突起を設けてもよい。

【符号の説明】

【0104】

１…搬送システム
５ａ…固定リニアコンベア（第１固定リニアコンベア）
５ｂ…固定リニアコンベア（第２固定リニアコンベア）
５１４…底面
６…コンベアテーブル移載装置
６１…駆動部
６９…位置検出部
７…可動リニアコンベア
７９…可動部材
８…直動案内機構
８１…取付ブロック（第１取付部材）
８１ｂ…取付ブロック（第２取付部材）
８１７…係合孔（第１係合部、第２係合部）
８２…支持プレート（第１支持部材、第２支持部材）
８３…直動案内レール（直動案内部材）
８３１…分割案内レール（第１分割案内部材）
８３２…分割案内レール（第２分割案内部材）
８３３…中間案内レール（中間案内部材）
８３７…連結部材（第１連結部材）
８３８…連結部材（第２連結部材）
Ｐａ…対向位置（第１対向位置）
Ｐｂ…対向位置（第２対向位置）
Ｔ…コンベアテーブル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】