ホーム > 特許ランキング > 日本特殊陶業株式会社
知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-12-13
(45)【発行日】2024-12-23
(54)【発明の名称】保持装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20241216BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2019144135
(22)【出願日】2019-08-06
(65)【公開番号】P2021027180
(43)【公開日】2021-02-22
【審査請求日】2022-06-10
【審判番号】
【審判請求日】2023-12-26
(73)【特許権者】
【識別番号】000004547
【氏名又は名称】日本特殊陶業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001911
【氏名又は名称】弁理士法人アルファ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】若園 誠
(72)【発明者】
【氏名】山口 晃弘
【合議体】
【審判長】梶尾 誠哉
【審判官】綿引 隆
【審判官】松永 稔
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－２０３５８１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１３０６０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０７５５８５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１９８９７５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１８３３２９（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
H01L 21/683
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する保持体と、前記保持体の前記第２の表面に少なくとも一部が露出するように配置された電極と、
端子部材と、
前記第１の方向において前記電極と前記端子部材との間に配置された緩衝部材と、
前記緩衝部材と前記端子部材とを接合する第１のロウ付け部と、
前記電極と前記緩衝部材とを接合する第２のロウ付け部と、
を備え、前記保持体の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記緩衝部材の熱膨張係数は、前記端子部材の熱膨張係数より小さく、
前記第１の表面に略直交する少なくとも１つの特定断面において、
前記第１の方向に略直交する第２の方向において、前記緩衝部材の前記第１の方向における端面のうち、前記端子部材に対向する端子部材側端面は、前記緩衝部材における前記電極に対向する電極側端面の範囲以内に位置しており、
前記第２の方向において、前記緩衝部材の前記端子部材側端面は、前記端子部材の前記第１の方向における端面のうち、前記端子部材側端面に対向する緩衝部材側端面の範囲より内側に位置しており、
前記特定断面における前記第２の方向において、前記電極の前記第２の表面に露出している露出面は、前記緩衝部材の前記電極側端面の範囲より内側に位置しており、
前記特定断面における前記第２の方向において、前記緩衝部材の前記端子部材側端面は、前記緩衝部材の前記電極側端面の範囲より内側に位置しており、
前記特定断面において、前記緩衝部材は、
前記端子部材側端面を一辺とする略矩形状の端子部材側部分と、
前記電極側端面を一辺とする略矩形状の電極側部分と、から構成されている、
ことを特徴とする保持装置。
【請求項2】
請求項１に記載の保持装置において、前記第１の方向視において、前記端子部材の前記緩衝部材側端面の外縁は、前記緩衝部材の前記端子部材側端面の外縁を取り囲んでいる、
ことを特徴とする保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本明細書に開示される技術は、対象物を保持する保持装置に関する。
【背景技術】
【0002】
対象物（例えば、半導体ウェハ）を保持しつつ所定の温度（例えば、４００～８００℃程度）に加熱する加熱装置（「サセプタ」とも呼ばれる）が知られている。加熱装置は、例えば、成膜装置（ＣＶＤ成膜装置やスパッタリング成膜装置等）やエッチング装置（プラズマエッチング装置等）といった半導体製造装置の一部として使用される。
一般に、加熱装置は、所定の方向に略直交する表面（以下、「保持面」という。）と、保持面とは反対側の表面（以下、「裏面」という。）とを有する保持体を備える。保持体の内部には、ヒータ電極が配置されている。ヒータ電極には、ビア導体等を介して電極（「電極パッド」とも呼ばれる。）が電気的に接続されている。電極は、少なくとも一部が保持体の裏面に露出するように配置されている。電極には、例えばロウ付け（以下、「ロウ付け部」ともいう）により端子部材が接合されている。端子部材および電極を介してヒータ電極に電圧が印加されると、ヒータ電極が発熱し、保持体の保持面上に保持された対象物が加熱される。
一般に、加熱装置は、所定の方向に略直交する表面（以下、「保持面」という。）と、保持面とは反対側の表面（以下、「裏面」という。）とを有する保持体を備える。保持体の内部には、ヒータ電極が配置されている。ヒータ電極には、ビア導体等を介して電極（「電極パッド」とも呼ばれる。）が電気的に接続されている。電極は、少なくとも一部が保持体の裏面に露出するように配置されている。電極には、例えばロウ付け（以下、「ロウ付け部」ともいう）により端子部材が接合されている。端子部材および電極を介してヒータ電極に電圧が印加されると、ヒータ電極が発熱し、保持体の保持面上に保持された対象物が加熱される。
【0003】
電極と端子部材との形成材料が互いに異なると、両者の熱膨張差に起因して生ずる応力により、両者の接合部付近において保持体にクラックが発生するおそれがある。従来、このようなクラックの発生を抑制するために、電極と端子部材との間に、緩衝部材を配置する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。緩衝部材を、電極の形成材料の熱膨張係数と端子部材の形成材料の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する材料または電極の形成材料の熱膨張係数と同じ熱膨張係数を有する材料により形成することにより、緩衝部材に、電極と端子部材との間の熱膨張差を緩和する機能を担わせることができる。
【0004】
ここで、ロウ付けの一般的な工程は、次の通りである。まず、端子部材と緩衝部材との間にロウ材を配置し、その後、ロウ材を加熱する。加熱することにより溶融したロウ材を端子部材の緩衝部材に対向する表面と、緩衝部材の端子部材に対向する表面とに浸透させ、その後、例えば室温に戻すことによって、ロウ材を凝固させる。これにより、端子部材と緩衝部材とをロウ付け部によりロウ付け接合することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００７－１２３６０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記従来の技術のように、単に緩衝部材を配置するだけでは、緩衝部材と端子部材との間の熱膨張差に起因する応力によって、緩衝部材と端子部材とを接合するロウ付け部にクラックが発生するおそれがある。
【0007】
なお、このような課題は、上記加熱装置に限らず、保持体と、保持体の裏面に少なくとも一部が露出するように配置された電極（例えば、ヒータ電極、ＲＦ電極、ＲＦ電極に電気的に接続された電極（電極パッド））と、端子部材と、電極と端子部材との間に配置された緩衝部材と、電極と緩衝部材との間および緩衝部材と端子部材との間を接合するロウ付け部とを備え、保持体の表面上に対象物を保持する保持装置一般に共通の課題である。
【0008】
本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。
【0010】
（１）本明細書に開示される保持装置は、第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する保持体と、前記保持体の前記第２の表面に少なくとも一部が露出するように配置された電極と、端子部材と、前記第１の方向において前記電極と前記端子部材との間に配置された緩衝部材と、前記緩衝部材と前記端子部材とを接合する第１のロウ付け部と、前記電極と前記緩衝部材とを接合する第２のロウ付け部と、を備え、前記保持体の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置において、前記緩衝部材の熱膨張係数は、前記端子部材の熱膨張係数より小さく、前記第１の表面に略直交する少なくとも１つの特定断面において、前記第１の方向に略直交する第２の方向において、前記緩衝部材の前記第１の方向における端面のうち、前記端子部材に対向する端子部材側端面は、前記緩衝部材における前記電極に対向する電極側端面の範囲以内に位置しており、前記第２の方向において、前記緩衝部材の前記端子部材側端面は、前記端子部材の前記第１の方向における端面のうち、前記端子部材側端面に対向する緩衝部材側端面の範囲より内側に位置している。
【0011】
本保持装置では、上記特定断面における第２の方向において、緩衝部材の端子部材側端面は、端子部材の緩衝部材側端面の範囲より内側に位置している。このため、ロウ付け接合の際に、第１のロウ付け部を形成するロウ材は、端子部材の外周面よりも、緩衝部材の外周面に這い上がりやすい。換言すれば、第１のロウ付け部は端子部材の外周面に配置されにくい。
【0012】
ここで、緩衝部材の端子部材側端面が、端子部材の緩衝部材側端面の範囲より外側に位置している場合、ロウ付け接合の際に、第１のロウ付け部を形成するロウ材は、端子部材の外周面に這い上がりやすい。ロウ付け部を形成するロウ材が、端子部材の外周面に配置される構成では、端子部材の熱膨張係数が緩衝部材の熱膨張係数より大きいことに起因して、上記ロウ付け接合におけるロウ材の凝固の際に、端子部材の収縮によりロウ材に引張応力がかかる傾向がある。これにより、ロウ付け部の表面にクラックが発生する傾向がある。一方、本保持装置のように、上記特定断面における第２の方向において、緩衝部材の端子部材側端面が、端子部材の緩衝部材側端面の範囲より内側に位置している構成では、第１のロウ付け部は、端子部材の外周面よりも、端子部材の緩衝部材側端面に配置されやすい。このため、上記ロウ材の凝固の際に、端子部材の収縮によるロウ材への引張応力の発生が抑制される。
【0013】
また、本保持装置では、上記ロウ付け接合におけるロウ材の凝固の際に引張応力の発生が抑制されるため、ひいては、当該第１のロウ付け部に残留する引張残留応力の発生を抑制することができる。このため、上記ロウ付け接合後の熱サイクル時においても、引張残留応力に起因する第１のロウ付け部へのクラックの発生や、当該クラックの伸展を抑制することができる。
【0014】
従って、本保持装置によれば、緩衝部材と端子部材とを接合する第１のロウ付け部に引張応力がかかることを抑制することができ、ひいては、第１のロウ付け部にクラックが発生することを抑制することができる。
【0015】
（２）上記保持装置において、前記特定断面における前記第２の方向において、前記緩衝部材の前記端子部材側端面は、前記緩衝部材の前記電極側端面の範囲より内側に位置しており、前記特定断面において、前記緩衝部材は、前記端子部材側端面を一辺とする略矩形状の端子部材側部分と、前記電極側端面を一辺とする略矩形状の電極側部分と、から構成されている構成としてもよい。換言すれば、本保持装置では、上記特定断面において、緩衝部材における電極側端面は、端子部材側端面より大きい構成としてもよい。当該構成を採用すれば、緩衝部材の電極側端面が端子部材側端面と同等の面積である構成と比較して、緩衝部材と電極との接合強度を向上させ、ひいては、第２のロウ付け部における引張強度を向上させることができる。従って、本保持装置によれば、電極からの緩衝部材ひいては端子部材の脱離を抑制することができる。
【0016】
（３）上記保持装置において、前記特定断面における前記第２の方向において、前記電極の前記第２の表面に露出している露出面は、前記緩衝部材の前記電極側端面の範囲より内側に位置している構成としてもよい。換言すれば、上記特定断面において、上記露出面の全面が上記電極側端面で覆われている構成としてもよい。上記露出面において、第２のロウ付け部で覆われない部分が生じると、当該部分、ひいては、電極自体が、大気雰囲気下において、酸化され、または、劣化するおそれがある。当該構成を採用すれば、電極の上記露出面が、緩衝部材の電極側端面の範囲より外側に位置している構成と比較して、上記特定断面における第２の方向において、上記露出面の全面がロウ材（第２のロウ付け部）によって、覆われやすくなる。従って、本保持装置によれば、大気雰囲気下における電極の酸化および劣化を抑制することができ、ひいては、電極からの緩衝部材ひいては端子部材の脱離を抑制することができる。
【0017】
（４）上記保持装置において、前記第１の方向視において、前記端子部材の前記緩衝部材側端面の外縁は、前記緩衝部材の前記端子部材側端面の外縁を取り囲んでいる構成としてもよい。当該構成を採用すれば、いずれの上記特定断面においても、上記ロウ付け接合の際におけるロウ材への引張応力の発生を抑制し、かつ、第１のロウ付け部における上記引張残留応力の発生を抑制することができる。従って、本保持装置によれば、緩衝部材と端子部材とを接合する第１のロウ付け部に引張応力がかかることをより効果的に抑制することができ、ひいては、第１のロウ付け部にクラックが発生することをより効果的に抑制することができる。
【0018】
なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、加熱装置、静電チャック、保持装置、それらの製造方法等の形態で実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】本実施形態における加熱装置１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。
【図2】本実施形態における加熱装置１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図5】各変形例における加熱装置のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図6】変形例および比較例における加熱装置のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。
【図7】性能評価結果を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
Ａ．実施形態：
Ａ－１．加熱装置１００の構成：
図１は、本実施形態における加熱装置１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、本実施形態における加熱装置１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。また、図３は、本実施形態における加熱装置１００の一部分（図２のＸ１部）のＸＺ断面構成を拡大して示す説明図である。図４は、本実施形態における加熱装置１００の一部分（図２のＸ１部）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
Ａ－１．加熱装置１００の構成：
図１は、本実施形態における加熱装置１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、本実施形態における加熱装置１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。また、図３は、本実施形態における加熱装置１００の一部分（図２のＸ１部）のＸＺ断面構成を拡大して示す説明図である。図４は、本実施形態における加熱装置１００の一部分（図２のＸ１部）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
【0021】
加熱装置１００は、対象物（例えば、半導体ウェハＷ）を保持しつつ所定の処理温度（例えば、４００～８００℃程度）に加熱する装置であり、サセプタとも呼ばれる。加熱装置１００は、例えば、成膜装置（ＣＶＤ成膜装置、スパッタリング成膜装置等）やエッチング装置（プラズマエッチング装置等）といった半導体製造装置の一部として使用される。
【0022】
【0023】
保持体１０は、所定の方向（本実施形態ではＺ軸方向）に略直交する表面（以下、「保持面Ｓ１」という。）と、保持面Ｓ１とは反対側の表面（以下、「裏面Ｓ２」という。）と、を有する略円板状の部材である。保持体１０は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）やアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を主成分とするセラミックスにより形成されている。なお、ここでいう主成分とは、含有割合（重量割合）の最も多い成分を意味する。保持体１０の直径は、例えば１００ｍｍ以上、５００ｍｍ以下程度であり、保持体１０の厚さ（上下方向における長さ）は、例えば３ｍｍ以上、２０ｍｍ以下程度である。保持体１０は、特許請求の範囲におけるセラミックス部材に相当し、保持面Ｓ１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当し、裏面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当し、Ｚ軸方向は、特許請求の範囲における第１の方向に相当する。
【0024】
図２に示すように、保持体１０の内部には、発熱抵抗体であるヒータ電極５０が配置されている。ヒータ電極５０は、例えば、タングステンまたはモリブデン等の金属を含む材料により形成されている。本実施形態では、ヒータ電極５０は、Ｚ軸方向視で略同心円状に延びる線状のパターンを構成している。ヒータ電極５０の線状パターンの両端部は、保持体１０の中心部近傍に配置されており、各端部にはビア導体５２の上端部が接続されている。また、図２および図３に示すように、保持体１０の裏面Ｓ２には、一対の凹部１２が形成されており、各凹部１２の位置には、導電性の給電電極（電極パッド）５４が設けられている。本実施形態では、給電電極５４は、Ｚ軸方向視で略円形であり、タングステンを含む材料（例えば、タングステンと窒化アルミニウムとの混合材料）により形成されている。また、本実施形態では、給電電極５４の緩衝部材６０の側の表面全体が、保持体１０の裏面Ｓ２に露出している（以下、給電電極５４の裏面Ｓ２に露出している表面を「露出面Ｓｅ」ともいう）。ただし、給電電極５４の少なくとも一部が保持体１０の裏面Ｓ２に露出している限りにおいて、給電電極５４の一部（例えば、端部）が保持体１０の内部に埋設されていてもよい。ビア導体５２の下端部は、給電電極５４に接続されている。その結果、ヒータ電極５０と給電電極５４とがビア導体５２を介して電気的に接続された状態となっている。給電電極５４は、特許請求の範囲における電極に相当する。
【0025】
柱状支持体２０は、上記所定の方向（上下方向）に延びる略円柱状部材である。柱状支持体２０は、保持体１０と同様に、窒化アルミニウムやアルミナを主成分とするセラミックスにより形成されている。柱状支持体２０の外径は、例えば３０ｍｍ以上、９０ｍｍ以下程度であり、柱状支持体２０の高さ（上下方向における長さ）は、例えば１００ｍｍ以上、３００ｍｍ以下程度である。
【0026】
保持体１０と柱状支持体２０とは、保持体１０の裏面Ｓ２と柱状支持体２０の上面Ｓ３とが上下方向に対向するように配置されている。柱状支持体２０は、保持体１０の裏面Ｓ２の中心部付近に、公知の接合材料により形成された接合部３０を介して接合されている。
【0027】
図２に示すように、柱状支持体２０には、保持体１０の裏面Ｓ２側に開口する貫通孔２２が形成されている。貫通孔２２には、複数の（本実施形態では２つの）端子部材７０が収容されている。端子部材７０は、例えばＺ軸方向視で略円形の柱状部材であり、ニッケル（Ｎｉ）含む材料（例えば、純ニッケルやニッケルを含む合金（例えばコバール））により形成されている。ここで、端子部材７０の形成材料の熱膨張係数は、例えば、５Ｋ－１以上、１３Ｋ－１以下である。端子部材７０における緩衝部材側端面Ｓｔ（図３参照）の寸法については、後述する。
【0028】
また、Ｚ軸方向において各端子部材７０の上端部と各給電電極５４との間には、緩衝部材６０が配置されている。緩衝部材６０は、例えばＺ軸方向視で略円形の板状部材であり、タングステンを含む材料（例えば、純タングステンやタングステンを含む合金）により形成されている。緩衝部材６０は、端子部材７０と給電電極５４との間の熱膨張差を緩和する機能を担う部材である。そのため、緩衝部材６０の形成材料の熱膨張係数は、給電電極５４の形成材料の熱膨張係数と同じ、または、緩衝部材６０の形成材料の熱膨張係数は、端子部材７０の形成材料の熱膨張係数より小さい。緩衝部材６０の形成材料の熱膨張係数は、例えば、６Ｋ－１以下である。また、緩衝部材６０の形成材料の熱膨張係数と、端子部材７０の形成材料の熱膨張係数との差は、例えば、９Ｋ－１以下である。緩衝部材６０の直径は、例えば４．５ｍｍ～１０．０ｍｍである。緩衝部材６０の厚さｔａは、例えば、２ｍｍ以上である。緩衝部材６０の構成については、後に詳述する。
【0029】
図３に示すように、緩衝部材６０の下面（端子部材側端面Ｓｂｔ）は、端子側ロウ付け部８１により、端子部材７０（具体的には、緩衝部材側端面Ｓｔ）と接合されている。また、緩衝部材６０の上面（電極側端面Ｓｂｅ）は、電極側ロウ付け部８２により、給電電極５４の下面（露出面Ｓｅ）と接合（ロウ付け）されている。端子側ロウ付け部８１および電極側ロウ付け部８２は、例えば、Ｎｉ系（Ｎｉ－Ｃｒ系合金等）、Ａｕ系（純Ａｕ、Ａｕ－Ｎｉ系合金等）、Ａｇ系（純Ａｇ等）のロウ材である。端子側ロウ付け部８１は、特許請求の範囲における第１のロウ付け部に相当し、電極側ロウ付け部８２は、特許請求の範囲における第２のロウ付け部に相当する。
【0030】
図示しない電源から各端子部材７０、各緩衝部材６０、各給電電極５４、各ビア導体５２を介してヒータ電極５０に電圧が印加されると、ヒータ電極５０が発熱し、保持体１０の保持面Ｓ１上に保持された対象物（例えば、半導体ウェハＷ）が所定の温度（例えば、４００～８００℃程度）に加熱される。
【0031】
なお、本実施形態の加熱装置１００では、Ｚ軸方向に平行であり（すなわち、保持面Ｓ１に略直交し）、かつ、Ｚ軸方向視での緩衝部材６０の中心を通る断面（図３に示す断面）および図３のＩＶ－ＩＶの位置（端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの位置）における断面（図４に示す断面）において、次の構成が採用されている。なお、図４に示す点線は、後述の説明のために便宜上図示された点線である。また、以下の通り、本実施形態では、Ｚ軸方向に平行であり、かつ、Ｚ軸方向視での緩衝部材６０の中心を通る任意の断面において、以下の構成が採用されている。このため、本実施形態の加熱装置１００は、Ｚ軸方向に平行な任意の断面において、以下の構成と同様の構成となっている。
【0032】
＜構成１＞
Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの範囲より内側に位置している。具体的には、当該断面において、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の両端点が、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の両端点より内側に位置している。ここで、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の長さ（端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ）は、例えば、４．５ｍｍ以下であることが好ましい。また、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の長さ（電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ）は、例えば、５ｍｍ以上であることが好ましい。また、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の一方の端点と、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｂの２倍の距離（すなわち、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔと電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅとの差）は、例えば、端子部材側端面Ｓｂｔのロウ付け面積確保の観点から、１ｍｍ以下であることが好ましい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向視において、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの外縁Ｅｂｅは、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔの外縁Ｅｂｔを取り囲んでいる。なお、Ｘ軸方向は、特許請求の範囲における第２の方向に相当する。
Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの範囲より内側に位置している。具体的には、当該断面において、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の両端点が、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の両端点より内側に位置している。ここで、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の長さ（端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ）は、例えば、４．５ｍｍ以下であることが好ましい。また、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の長さ（電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ）は、例えば、５ｍｍ以上であることが好ましい。また、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の一方の端点と、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｂの２倍の距離（すなわち、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔと電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅとの差）は、例えば、端子部材側端面Ｓｂｔのロウ付け面積確保の観点から、１ｍｍ以下であることが好ましい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向視において、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの外縁Ｅｂｅは、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔの外縁Ｅｂｔを取り囲んでいる。なお、Ｘ軸方向は、特許請求の範囲における第２の方向に相当する。
【0033】
＜構成２＞
本実施形態では、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している。具体的には、当該断面において、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の両端点が、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の両端点より内側に位置している。ここで、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の長さ（緩衝部材側端面Ｓｔの直径Ｄｔ）は、例えば、４．５ｍｍ以下であることが好ましい。また、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の一方の端点と、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｔの２倍の距離（すなわち、緩衝部材側端面Ｓｔの直径Ｄｔと端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔとの差）は、例えば、端子部材側端面Ｓｂｔのロウ付け面積確保の観点から、１ｍｍ以下であることが好ましい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向視において、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの外縁Ｅｔは、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔの外縁Ｅｂｔを取り囲んでいる。
本実施形態では、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している。具体的には、当該断面において、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の両端点が、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の両端点より内側に位置している。ここで、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の長さ（緩衝部材側端面Ｓｔの直径Ｄｔ）は、例えば、４．５ｍｍ以下であることが好ましい。また、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の一方の端点と、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｔの２倍の距離（すなわち、緩衝部材側端面Ｓｔの直径Ｄｔと端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔとの差）は、例えば、端子部材側端面Ｓｂｔのロウ付け面積確保の観点から、１ｍｍ以下であることが好ましい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向視において、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの外縁Ｅｔは、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔの外縁Ｅｂｔを取り囲んでいる。
【0034】
＜構成３＞
本実施形態では、緩衝部材６０は、端子部材側端面Ｓｂｔを一辺とする略矩形状の端子部材側部分６１と、電極側端面Ｓｂｅを一辺とする略矩形状の電極側部分６２と、から構成されている。換言すれば、緩衝部材６０は、端子部材側端面Ｓｂｔを有する略円柱状の端子部材側部分６１と、電極側端面Ｓｂｅを有する略円柱状の電極側部分６２と、から構成されている。ここで、Ｚ軸方向において、端子部材側部分６１の厚さｔ１は、例えば、１ｍｍ以上であり、電極側部分６２の厚さｔ２は、例えば、１ｍｍ以上である。
本実施形態では、緩衝部材６０は、端子部材側端面Ｓｂｔを一辺とする略矩形状の端子部材側部分６１と、電極側端面Ｓｂｅを一辺とする略矩形状の電極側部分６２と、から構成されている。換言すれば、緩衝部材６０は、端子部材側端面Ｓｂｔを有する略円柱状の端子部材側部分６１と、電極側端面Ｓｂｅを有する略円柱状の電極側部分６２と、から構成されている。ここで、Ｚ軸方向において、端子部材側部分６１の厚さｔ１は、例えば、１ｍｍ以上であり、電極側部分６２の厚さｔ２は、例えば、１ｍｍ以上である。
【0035】
＜構成４＞
本実施形態では、Ｘ軸方向において、給電電極５４の露出面Ｓｅは、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの範囲より内側に位置している。具体的には、当該断面において、露出面Ｓｅに対応する線分の両端点が、電極側端面Ｓｂｅの両端点より内側に位置している。ここで、露出面Ｓｅに対応する線分の長さ（露出面Ｓｅの直径Ｄｅ）は、例えば、５ｍｍ以上であることが好ましい。また、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の一方の端点と、露出面Ｓｅに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｅの２倍の距離（すなわち、電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅと露出面Ｓｅの直径Ｄｅとの差）は、例えば、露出面Ｓｅの全面が、給電電極５４と緩衝部材６０との間に介在する電極側ロウ付け部８２によって覆われやすくなる観点から、２ｍｍ以下であることが好ましい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向視において、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの外縁Ｅｂｅは、給電電極５４の露出面Ｓｅの外縁Ｅｅを取り囲んでいる。
本実施形態では、Ｘ軸方向において、給電電極５４の露出面Ｓｅは、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの範囲より内側に位置している。具体的には、当該断面において、露出面Ｓｅに対応する線分の両端点が、電極側端面Ｓｂｅの両端点より内側に位置している。ここで、露出面Ｓｅに対応する線分の長さ（露出面Ｓｅの直径Ｄｅ）は、例えば、５ｍｍ以上であることが好ましい。また、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の一方の端点と、露出面Ｓｅに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｅの２倍の距離（すなわち、電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅと露出面Ｓｅの直径Ｄｅとの差）は、例えば、露出面Ｓｅの全面が、給電電極５４と緩衝部材６０との間に介在する電極側ロウ付け部８２によって覆われやすくなる観点から、２ｍｍ以下であることが好ましい。また、本実施形態では、Ｚ軸方向視において、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの外縁Ｅｂｅは、給電電極５４の露出面Ｓｅの外縁Ｅｅを取り囲んでいる。
【0036】
Ａ－２．本実施形態の第１変形例：
図５（Ａ）は、本実施形態の第１変形例における加熱装置１００ａの構成を概略的に示す説明図である。図５（Ａ）には、上述した図３の断面に対応する第１変形例の加熱装置１００ａのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第１変形例の加熱装置１００ａの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図５（Ａ）は、本実施形態の第１変形例における加熱装置１００ａの構成を概略的に示す説明図である。図５（Ａ）には、上述した図３の断面に対応する第１変形例の加熱装置１００ａのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第１変形例の加熱装置１００ａの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
【0037】
図５（Ａ）に示すように、第１変形例の加熱装置１００ａの構成は、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と比較して、緩衝部材６０ａの形状が異なっている。すなわち、第１変形例における緩衝部材６０ａは、上記構成３において、本実施形態の緩衝部材６０と異なっている。具体的には、当該断面において、緩衝部材６０ａは、端子部材側端面Ｓｂｔと、電極側端面Ｓｂｅとをそれぞれ一辺とする略台形状である。換言すれば、緩衝部材６０ａは、端子部材側端面Ｓｂｔを一方の面とし、電極側端面Ｓｂｅを他方の面とする略円錐台状である。ここで、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔと、緩衝部材６０ａの側面Ｓａとから形成される挟角θａは、形成される端子側ロウ付け部８１のフィレットの構造（例えば、形状）の安定性の観点から、例えば、５０°以上、９０°以下である。
【0038】
Ａ－３．本実施形態の第２変形例：
図５（Ｂ）は、本実施形態の第２変形例における加熱装置１００ｂの構成を概略的に示す説明図である。図５（Ｂ）には、上述した図３の断面に対応する第２変形例の加熱装置１００ｂのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第２変形例の加熱装置１００ｂの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図５（Ｂ）は、本実施形態の第２変形例における加熱装置１００ｂの構成を概略的に示す説明図である。図５（Ｂ）には、上述した図３の断面に対応する第２変形例の加熱装置１００ｂのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第２変形例の加熱装置１００ｂの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
【0039】
図５（Ｂ）に示すように、第２変形例の加熱装置１００ｂの構成は、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と比較して、緩衝部材６０ｂの形状が異なっている。すなわち、第２変形例における緩衝部材６０ｂは、上記構成３において、本実施形態の緩衝部材６０と異なっている。具体的には、当該断面において、緩衝部材６０ｂは、端子部材側端面Ｓｂｔを一辺とする略台形状の端子部材側部分６１ｂと、電極側端面Ｓｂｅを一辺とする略矩形状の電極側部分６２ｂと、から構成されている。換言すれば、端子部材側端面Ｓｂｔを有する略円錐台状の端子部材側部分６１ｂと、電極側端面Ｓｂｅを有する略円柱状の電極側部分６２ｂと、から構成されている。ここで、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔと、緩衝部材６０ｂの端子部材側部分６１ｂにおける側面Ｓｂとから形成される挟角θｂは、形成される端子側ロウ付け部８１のフィレットの構造（例えば、形状）の安定性の観点から、例えば、１０°以上、４５°以下である。また、Ｚ軸方向において、端子部材側部分６１ｂの厚さｔ１は、例えば、１ｍｍ以上であり、電極側部分６２ｂの厚さｔ２は、例えば、１ｍｍ以上である。
【0040】
Ａ－４．本実施形態の第３変形例：
図５（Ｃ）は、本実施形態の第３変形例における加熱装置１００ｃの構成を概略的に示す説明図である。図５（Ｃ）には、上述した図３の断面に対応する第３変形例の加熱装置１００ｃのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第３変形例の加熱装置１００ｃの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図５（Ｃ）は、本実施形態の第３変形例における加熱装置１００ｃの構成を概略的に示す説明図である。図５（Ｃ）には、上述した図３の断面に対応する第３変形例の加熱装置１００ｃのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第３変形例の加熱装置１００ｃの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
【0041】
図５（Ｃ）に示すように、第３変形例の加熱装置１００ｃの構成は、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と比較して、緩衝部材６０ｃの形状が異なっている。すなわち、第３変形例における緩衝部材６０ｃは、上記構成４において、本実施形態の緩衝部材６０と異なっている。具体的には、当該断面において、Ｘ軸方向において、給電電極５４の露出面Ｓｅは、緩衝部材６０ｃの電極側端面Ｓｂｅの範囲より外側に位置している。具体的には、当該断面において、露出面Ｓｅに対応する線分の両端点が、電極側端面Ｓｂｅの両端点より外側に位置している。ここで、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の長さ（電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ）は、例えば、４ｍｍ以上である。また、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の一方の端点と、露出面Ｓｅに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｅの２倍の距離（すなわち、電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅと露出面Ｓｅの直径Ｄｅとの差）は、１ｍｍ以下である。また、第３変形例では、Ｚ軸方向視において、給電電極５４の露出面Ｓｅの外縁Ｅｅは、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの外縁Ｅｂｅを取り囲んでいる。なお、加熱装置１００ｃにおいても、第１実施形態の加熱装置１００と同様に、端子部材側端面Ｓｂｔを一辺とする略矩形状の端子部材側部分６１ｃと、電極側端面Ｓｂｅを一辺とする略矩形状の電極側部分６２ｃと、から構成されている。
【0042】
Ａ－５．本実施形態の第４変形例：
図６（Ａ）は、本実施形態の第４変形例における加熱装置１００ｄの構成を概略的に示す説明図である。図６（Ａ）には、上述した図３の断面に対応する第４変形例の加熱装置１００ｄのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第４変形例の加熱装置１００ｄの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図６（Ａ）は、本実施形態の第４変形例における加熱装置１００ｄの構成を概略的に示す説明図である。図６（Ａ）には、上述した図３の断面に対応する第４変形例の加熱装置１００ｄのＸＺ断面構成が示されている。以下では、第４変形例の加熱装置１００ｄの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
【0043】
図６（Ａ）に示すように、第４変形例の加熱装置１００ｄの構成は、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と比較して、緩衝部材６０ｄの形状が異なっている。すなわち、第４変形例における緩衝部材６０ｄは、上記構成１および構成３において、本実施形態の緩衝部材６０と異なっている。具体的には、当該断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０ｄの端子部材側端面Ｓｂｔは、緩衝部材６０ｄの電極側端面Ｓｂｅと同じ位置に位置している。換言すれば、当該断面において、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の両端点が、電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の両端点とそれぞれ同じ位置に位置している。すなわち、当該断面において、緩衝部材６０ｄは、端子部材側端面Ｓｂｔと、電極側端面Ｓｂｅとをそれぞれ一辺とする略矩形状である。また、緩衝部材６０ｄは、端子部材側端面Ｓｂｔを一方の面と、電極側端面Ｓｂｅを他方の面とする、Ｚ軸方向に延びる略円柱状である。第４変形例において、緩衝部材６０ｄにおける、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の長さ（端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ）および電極側端面Ｓｂｅに対応する線分の長さ（電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ）は、例えば、６ｍｍ以下である。また、第４変形例において、給電電極５４の露出面Ｓｅに対応する線分の長さ（露出面Ｓｅの直径Ｄｅ）は、例えば、６ｍｍ以下である。
【0044】
Ａ－６．比較例：
図６（Ｂ）は、比較例における加熱装置１００ｘの構成を概略的に示す説明図である。図６（Ｂ）には、上述した図３の断面に対応する比較例の加熱装置１００ｘのＸＺ断面構成が示されている。以下では、比較例の加熱装置１００ｘの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図６（Ｂ）は、比較例における加熱装置１００ｘの構成を概略的に示す説明図である。図６（Ｂ）には、上述した図３の断面に対応する比較例の加熱装置１００ｘのＸＺ断面構成が示されている。以下では、比較例の加熱装置１００ｘの構成の内、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
【0045】
図６（Ｂ）に示すように、比較例の加熱装置１００ｘの構成は、上述した本実施形態の加熱装置１００の構成と比較して、緩衝部材６０ｘの形状が異なっている。すなわち、比較例における緩衝部材６０ｘは、上記構成２において、本実施形態の緩衝部材６０と異なっている。具体的には、比較例では、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０ｘの端子部材側端面Ｓｂｔは、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より外側に位置している。具体的には、当該断面において、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の両端点が、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の両端点より外側に位置している。ここで、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の長さ（端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ）は、例えば、４ｍｍ以上である。また、緩衝部材側端面Ｓｔに対応する線分の一方の端点と、端子部材側端面Ｓｂｔに対応する線分の一方の端点との間の距離Ｌｔの２倍の距離（すなわち、緩衝部材側端面Ｓｔの直径Ｄｔと端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔとの差）は、例えば、１ｍｍ以上である。
【0046】
Ａ－７．加熱装置１００の製造方法：
本実施形態の加熱装置１００の製造方法は、例えば以下の通りである。初めに、保持体１０と柱状支持体２０とを作製する。
本実施形態の加熱装置１００の製造方法は、例えば以下の通りである。初めに、保持体１０と柱状支持体２０とを作製する。
【0047】
保持体１０の作製方法は、例えば以下の通りである。まず、窒化アルミニウム粉末１００重量部に、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）粉末１重量部と、アクリル系バインダ２０重量部と、適量の分散剤および可塑剤とを加えた混合物に、トルエン等の有機溶剤を加え、ボールミルにて２０時間混合し、グリーンシート用スラリーを作製する。このグリーンシート用スラリーをキャスティング装置でシート状に成形した後に乾燥させ、グリーンシートを複数枚作製する。
【0048】
また、窒化アルミニウム粉末、アクリル系バインダ、テルピネオール等の有機溶剤の混合物に、タングステン等の金属粉末を添加して混練することにより、メタライズペーストを作製する。このメタライズペーストを例えばスクリーン印刷装置を用いて印刷することにより、特定の各グリーンシートに、後にヒータ電極５０や給電電極５４等となる未焼結導体層を形成する。また、グリーンシートにあらかじめビア孔を設けた状態で印刷することにより、後にビア導体５２となる未焼結導体部を形成する。
【0049】
次に、これらのグリーンシートを複数枚（例えば２０枚）熱圧着し、必要に応じて外周を切断して、グリーンシート積層体（例えば厚さ８ｍｍ）を作製する。このグリーンシート積層体をマシニングによって切削加工して円板状の成形体を作製し、この成形体を脱脂し、さらにこの脱脂体を焼成して焼成体を作製する。この焼成体の表面を研磨加工する。以上の工程により、保持体１０が作製される。
【0050】
また、柱状支持体２０の作製方法は、例えば以下の通りである。まず、窒化アルミニウム粉末１００重量部に、酸化イットリウム粉末１重量部と、ＰＶＡバインダ３重量部と、適量の分散剤および可塑剤とを加えた混合物に、メタノール等の有機溶剤を加え、ボールミルにて混合し、スラリーを得る。このスラリーをスプレードライヤーにて顆粒化し、原料粉末を作製する。次に、貫通孔２２に対応する中子が配置されたゴム型に原料粉末を充填し、冷間静水圧プレスして成形体を得る。得られた成形体を脱脂し、さらにこの脱脂体を焼成する。以上の工程により、柱状支持体２０が作製される。
【0051】
次に、保持体１０と柱状支持体２０とを接合する。保持体１０の裏面Ｓ２および柱状支持体２０の上面Ｓ３に対して必要によりラッピング加工を行った後、保持体１０の裏面Ｓ２と柱状支持体２０の上面Ｓ３との少なくとも一方に、例えば希土類や有機溶剤等を混合してペースト状にした公知の接合剤を均一に塗布した後、脱脂処理する。次いで、保持体１０の裏面Ｓ２と柱状支持体２０の上面Ｓ３とを重ね合わせ、ホットプレス焼成を行うことにより、保持体１０と柱状支持体２０とを接合する。
【0052】
保持体１０と柱状支持体２０との接合の後、各緩衝部材６０を貫通孔２２内に挿入し、各緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅを各給電電極５４の露出面Ｓｅに、ロウ材（例えば、Ｎｉ系、Ａｕ系、Ａｇ系のロウ材）を用いてロウ付けすることにより、電極側ロウ付け部８２を形成する。また、各端子部材７０を貫通孔２２内に挿入し、各端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔを各緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔに、ロウ材（例えば、Ｎｉ系、Ａｕ系、Ａｇ系のロウ材）を用いてロウ付けすることにより、端子側ロウ付け部８１を形成する。各ロウ付けは、真空炉を用いて所定のロウ付け条件（真空中、温度：９５０℃～１１５０℃程度、時間：１０分間～３０分間程度）にて行うことができる。主として以上の製造方法により、上述した構成の加熱装置１００が製造される。
【0053】
なお、緩衝部材６０の作製方法は、例えば以下の通りである。緩衝部材６０の形成材料で形成され、かつ、緩衝部材６０における電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅと略同径の略円柱状の柱体を準備する。当該柱体を、その長手方向において、緩衝部材６０の厚さｔａと略同一となるよう切断する。切断された柱体を旋盤加工により、上記形状（端子部材側部分６１の直径Ｄｂｔ，厚さｔ１、電極側部分６２の直径Ｄｂｅ，厚さｔ２）となるよう加工することにより、緩衝部材６０を作製することができる。
【0054】
Ａ－８．性能評価：
上述した本実施形態の加熱装置１００および各変形例の加熱装置、比較例の加熱装置における効果を確認すべく性能評価を行った。図７は、性能評価結果を示す説明図である。
上述した本実施形態の加熱装置１００および各変形例の加熱装置、比較例の加熱装置における効果を確認すべく性能評価を行った。図７は、性能評価結果を示す説明図である。
【0055】
図７に示すように、性能評価には、６個のサンプル（ＳＡ１～ＳＡ６）の加熱装置が用いられた。各サンプルは、上述した実施形態の加熱装置の製造方法に準じた製造方法で作製した。各サンプルは、緩衝部材の構成が互いに異なっている。
【0056】
具体的には、サンプルＳＡ１では、本実施形態の加熱装置１００における緩衝部材６０と同様の構成を有する緩衝部材を用いた。サンプルＳＡ２～ＳＡ６については、それぞれ、第１変形例の加熱装置１００ａにおける緩衝部材６０ａ、第２変形例の加熱装置１００ｂにおける緩衝部材６０ｂ、第３変形例の加熱装置１００ｃにおける緩衝部材６０ｃ、第４変形例の加熱装置１００ｄにおける緩衝部材６０ｄ、比較例の加熱装置１００ｘにおける緩衝部材６０ｘと、同様の構成を有する緩衝部材を用いた。
【0057】
Ａ－８－１．評価方法について：
上記サンプルＳＡ１～ＳＡ６を対象として、端子部材７０の給電電極５４への接合時（すなわち、ロウ付け時）における、端子側ロウ付け部８１へのクラックの発生を評価した。ロウ付け時のロウ付け条件は、上述した実施形態の加熱装置１００の製造方法に準じたロウ付け条件とした。ロウ付け時におけるクラックの発生の評価は、ロウ付け後、室温まで冷却した後における各サンプルについて行った。なお、各サンプルを複数個用意した（例えば、ｎ個。具体的には、例えば、サンプルＳＡ１～ＳＡ６をそれぞれ２個）。まず、当該各サンプルのうちの一部（例えば、ｍ個）を、研磨加工して、Ｚ軸方向に略平行な断面であって、端子側ロウ付け部８１を含む断面（例えば、図３に示す断面）について断面出しを実施した。当該得られた断面について、顕微鏡観察にてクラックの有無を判定した。クラックの発生がない場合に「◎」、１本または２本である場合に「○」、３本以上である場合に「×」と判定した。クラックが発生したサンプルについては、クラックの長さを測定した。
上記サンプルＳＡ１～ＳＡ６を対象として、端子部材７０の給電電極５４への接合時（すなわち、ロウ付け時）における、端子側ロウ付け部８１へのクラックの発生を評価した。ロウ付け時のロウ付け条件は、上述した実施形態の加熱装置１００の製造方法に準じたロウ付け条件とした。ロウ付け時におけるクラックの発生の評価は、ロウ付け後、室温まで冷却した後における各サンプルについて行った。なお、各サンプルを複数個用意した（例えば、ｎ個。具体的には、例えば、サンプルＳＡ１～ＳＡ６をそれぞれ２個）。まず、当該各サンプルのうちの一部（例えば、ｍ個）を、研磨加工して、Ｚ軸方向に略平行な断面であって、端子側ロウ付け部８１を含む断面（例えば、図３に示す断面）について断面出しを実施した。当該得られた断面について、顕微鏡観察にてクラックの有無を判定した。クラックの発生がない場合に「◎」、１本または２本である場合に「○」、３本以上である場合に「×」と判定した。クラックが発生したサンプルについては、クラックの長さを測定した。
【0058】
また、サンプルＳＡ１～ＳＡ６を対象として、熱サイクル時における、端子側ロウ付け部８１へのクラックの発生および発生したクラックの伸展を評価した。当該熱サイクルの熱サイクル条件は、温度７００℃まで各サンプルを昇温した後、室温まで冷却するサイクルを１サイクルとし、当該サイクルを３００サイクル行うことを条件とした。熱サイクル時におけるクラックの発生の評価は、室温まで冷却した後における各サンプルのうち、ロウ付け時においてクラックの発生の判定が「◎」であったサンプルについて行った。まず、当該各サンプルのうちの残り（例えば、ｎ－ｍ個）について、上記と同様にして断面出しを実施した。当該得られた断面について、顕微鏡観察にてクラックの有無を判定した。クラックの発生がない場合に「◎」、１本または２本である場合に「○」、３本以上である場合に「×」と判定した。また、熱サイクル時における発生したクラックの伸展の評価は、室温まで冷却した後における各サンプルのうち、ロウ付け時においてクラックの発生の判定が「○」、「×」であったサンプルについて行った。まず、当該各サンプルのうちの残り（例えば、ｎ－ｍ個）について、上記と同様にして断面出しを実施した。当該得られた断面について、顕微鏡観察にてクラックの長さを測定した。当該クラックの長さが、ロウ付け時に発生したクラックの長さに対して２０％以上長い場合に「×」、２０％未満であった場合に「◎」と判定した。
【0059】
また、サンプルＳＡ１～ＳＡ６を対象として、電極側ロウ付け部８２における引張強度を評価した。具体的には、端子部材７０を垂直方向に引張破断する荷重の測定を実施した。この結果、引張強度が２０ｋｇｆ以上である場合に「◎」、引張強度が２０ｋｇｆ未満である場合に「×」と判定した。
【0060】
また、サンプルＳＡ１～ＳＡ６を対象として、給電電極５４における耐酸化性を評価した。具体的には、各サンプルを、所定の条件（温度：６００℃、時間：１０００時間）下に晒すことによって実施した。この結果、端子部材７０が給電電極５４から脱離した場合に「×」、脱離しなかった場合に「◎」と判定した。
【0061】
Ａ－８－２．評価結果について：
図７に示すように、サンプルＳＡ１では、ロウ付け時クラックの発生、熱サイクル時クラックの発生、引張強度および耐酸化性のいずれにおいても「◎」であり、良好な結果が得られた。サンプルＳＡ１は、実施形態の加熱装置１００と同様に、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している（図３参照）。このため、ロウ付け接合の際に、端子側ロウ付け部８１を形成するロウ材が、端子部材７０の外周面よりも、緩衝部材６０の外周面に這い上がりやすく、換言すれば、端子側ロウ付け部８１が端子部材７０の外周面に配置されにくい。これにより、ロウ付け時のクラックの発生および熱サイクル時のクラックの発生において良好な結果が得られたものと考えられる。また、サンプルＳＡ１は、緩衝部材６０において、給電電極５４と接合する電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ（電極側端面Ｓｂｅの面積）が、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ（端子部材側端面Ｓｂｔの面積）より大きい。これにより、緩衝部材６０と給電電極５４との接合強度が向上した結果、電極側ロウ付け部８２における引張強度において良好な結果が得られたものと考えられる。また、サンプルＳＡ１では、給電電極５４の露出面Ｓｅが、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅで覆われている。これにより、露出面Ｓｅの全面が、給電電極５４と緩衝部材６０との間に介在する電極側ロウ付け部８２によって、覆われやすく、給電電極５４の大気雰囲気かにおける酸化および劣化が抑制された結果、給電電極５４からの端子部材７０の脱離において良好な結果が得られたものと考えられる。
図７に示すように、サンプルＳＡ１では、ロウ付け時クラックの発生、熱サイクル時クラックの発生、引張強度および耐酸化性のいずれにおいても「◎」であり、良好な結果が得られた。サンプルＳＡ１は、実施形態の加熱装置１００と同様に、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している（図３参照）。このため、ロウ付け接合の際に、端子側ロウ付け部８１を形成するロウ材が、端子部材７０の外周面よりも、緩衝部材６０の外周面に這い上がりやすく、換言すれば、端子側ロウ付け部８１が端子部材７０の外周面に配置されにくい。これにより、ロウ付け時のクラックの発生および熱サイクル時のクラックの発生において良好な結果が得られたものと考えられる。また、サンプルＳＡ１は、緩衝部材６０において、給電電極５４と接合する電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ（電極側端面Ｓｂｅの面積）が、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ（端子部材側端面Ｓｂｔの面積）より大きい。これにより、緩衝部材６０と給電電極５４との接合強度が向上した結果、電極側ロウ付け部８２における引張強度において良好な結果が得られたものと考えられる。また、サンプルＳＡ１では、給電電極５４の露出面Ｓｅが、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅで覆われている。これにより、露出面Ｓｅの全面が、給電電極５４と緩衝部材６０との間に介在する電極側ロウ付け部８２によって、覆われやすく、給電電極５４の大気雰囲気かにおける酸化および劣化が抑制された結果、給電電極５４からの端子部材７０の脱離において良好な結果が得られたものと考えられる。
【0062】
また、サンプルＳＡ２においても、サンプルＳＡ１と同様に、ロウ付け時クラックの発生、熱サイクル時クラックの発生、引張強度および耐酸化性のいずれにおいても「◎」であり、良好な結果が得られた。これは、サンプルＳＡ２においても、上記サンプルＳＡ１と同様に、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０ａの端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置していること、給電電極５４と接合する電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ（電極側端面Ｓｂｅの面積）が、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ（端子部材側端面Ｓｂｔの面積）より大きいこと、給電電極５４の露出面Ｓｅが、緩衝部材６０ａの電極側端面Ｓｂｅで覆われていることによるものと考えられる。
【0063】
また、サンプルＳＡ３においては、ロウ付け時クラックの発生が「○」である以外は、熱サイクル時クラックの伸展、引張強度および耐酸化性のいずれにおいても「◎」であり、良好な結果が得られた。これは、サンプルＳＡ３においても、上記サンプルＳＡ１と同様に、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０ｂの端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置していること、給電電極５４と接合する電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ（電極側端面Ｓｂｅの面積）が、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ（端子部材側端面Ｓｂｔの面積）より大きいこと、給電電極５４の露出面Ｓｅが、緩衝部材６０ｂの電極側端面Ｓｂｅで覆われていることによるものと考えられる。また、ロウ付け時クラックの発生が「○」である結果については、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔと、緩衝部材６０ｂの端子部材側部分６１ｂにおける側面Ｓｂとから形成される挟角θｂが小さすぎると熱応力の影響を受けやすいことによるものと考えられる。
【0064】
また、サンプルＳＡ４においては、耐酸化性が「×」である以外は、ロウ付け時クラックの発生、熱サイクル時クラックの発生および引張強度のいずれにおいても「◎」であり、良好な結果が得られた。これは、サンプルＳＡ４においても、上記サンプルＳＡ１と同様に、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０ｃの端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置していること、給電電極５４と接合する電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ（電極側端面Ｓｂｅの面積）が、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ（端子部材側端面Ｓｂｔの面積）より大きいことによるものと考えられる。また、耐酸化性が「×」である結果については、給電電極５４の露出面Ｓｅの一部が、緩衝部材６０ｃの電極側端面Ｓｂｅで覆われていないことによるものと考えられる。
【0065】
また、サンプルＳＡ５においては、引張強度が「×」である以外は、ロウ付け時クラックの発生、熱サイクル時クラックの発生および耐酸化性のいずれにおいても「◎」であり、良好な結果が得られた。これは、サンプルＳＡ５においても、上記サンプルＳＡ１と同様に、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０ｄの端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置していること、給電電極５４の露出面Ｓｅが、緩衝部材６０ｂの電極側端面Ｓｂｅで覆われていることによるものと考えられる。また、引張強度が「×」である結果については、上記断面において、Ｘ軸方向において、給電電極５４と接合する電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ（電極側端面Ｓｂｅの面積）と、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ（端子部材側端面Ｓｂｔの面積）とが同等であることによるものと考えられる。
【0066】
また、サンプルＳＡ６においては、引張強度および耐酸化性は「◎」である一方、ロウ付け時クラックの発生および熱サイクル時クラックの伸展は「×」である結果となった。引張強度および耐酸化性については、サンプルＳＡ６においても、上記サンプルＳＡ１と同様に、上記断面において、Ｘ軸方向において、給電電極５４と接合する電極側端面Ｓｂｅの直径Ｄｂｅ（電極側端面Ｓｂｅの面積）が、端子部材側端面Ｓｂｔの直径Ｄｂｔ（端子部材側端面Ｓｂｔの面積）より大きいこと、給電電極５４の露出面Ｓｅが、緩衝部材６０ｘの電極側端面Ｓｂｅで覆われていることによるものと考えられる。一方、ロウ付け時クラックの発生および熱サイクル時クラックの伸展については、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０ｘの端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より外側に位置していることによるものと考えられる。
【0067】
Ａ－９．本実施形態の効果：
以上説明したように、本実施形態の加熱装置１００は、保持体１０と端子部材７０とを備え、保持体１０の保持面Ｓ１上に半導体ウェハＷ等の対象物を保持する装置である。保持体１０は、Ｚ軸方向に略直交する保持面Ｓ１と、保持面Ｓ１とは反対側の裏面Ｓ２とを有する部材である。保持体１０の裏面Ｓ２に露出するように給電電極５４が配置されている。Ｚ軸方向において給電電極５４と端子部材７０との間には、端子部材７０の熱膨張係数より小さい熱膨張係数を有する緩衝部材６０が配置されている。また、本実施形態の加熱装置１００は、緩衝部材６０と端子部材７０とを接合する端子側ロウ付け部８１と、給電電極５４と緩衝部材６０とを接合する電極側ロウ付け部８２とを備える。また、本実施形態の加熱装置１００では、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、電極側端面Ｓｂｅの範囲以内に位置している。さらに、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している。
以上説明したように、本実施形態の加熱装置１００は、保持体１０と端子部材７０とを備え、保持体１０の保持面Ｓ１上に半導体ウェハＷ等の対象物を保持する装置である。保持体１０は、Ｚ軸方向に略直交する保持面Ｓ１と、保持面Ｓ１とは反対側の裏面Ｓ２とを有する部材である。保持体１０の裏面Ｓ２に露出するように給電電極５４が配置されている。Ｚ軸方向において給電電極５４と端子部材７０との間には、端子部材７０の熱膨張係数より小さい熱膨張係数を有する緩衝部材６０が配置されている。また、本実施形態の加熱装置１００は、緩衝部材６０と端子部材７０とを接合する端子側ロウ付け部８１と、給電電極５４と緩衝部材６０とを接合する電極側ロウ付け部８２とを備える。また、本実施形態の加熱装置１００では、上記断面において、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、電極側端面Ｓｂｅの範囲以内に位置している。さらに、Ｘ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している。
【0068】
本実施形態の加熱装置１００では、上記断面におけるＸ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している。このため、ロウ付け接合の際に、端子側ロウ付け部８１を形成するロウ材は、端子部材７０の外周面よりも、緩衝部材６０の外周面に這い上がりやすい。換言すれば、端子側ロウ付け部８１は端子部材７０の外周面に配置されにくい。
【0069】
ここで、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より外側に位置している場合、ロウ付け接合の際に、端子側ロウ付け部８１を形成するロウ材は、端子部材７０の外周面に這い上がりやすい。ロウ付け部を形成するロウ材が、端子部材７０の外周面に配置される構成では、端子部材７０の熱膨張係数が緩衝部材６０の熱膨張係数より大きいことに起因して、上記ロウ付け接合におけるロウ材の凝固の際に、端子部材７０の収縮によりロウ材に引張応力がかかる傾向がある。これにより、ロウ付け部の表面にクラックが発生する傾向がある。一方、本実施形態の加熱装置１００のように、上記断面におけるＸ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔが、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの範囲より内側に位置している構成では、端子側ロウ付け部８１は、端子部材７０の外周面よりも、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔに配置されやすい。このため、上記ロウ材の凝固の際に、端子部材７０の収縮によるロウ材への引張応力の発生が抑制される。
【0070】
また、本実施形態の加熱装置１００では、上記ロウ付け接合におけるロウ材の凝固の際に引張応力の発生が抑制されるため、ひいては、端子側ロウ付け部８１に残留する引張残留応力の発生を抑制することができる。このため、上記ロウ付け接合後の熱サイクル時においても、引張残留応力に起因する端子側ロウ付け部８１へのクラックの発生や、当該クラックの伸展を抑制することができる。
【0071】
従って、本実施形態の加熱装置１００によれば、緩衝部材６０と端子部材７０とを接合する端子側ロウ付け部８１に引張応力がかかることを抑制することができ、ひいては、端子側ロウ付け部８１にクラックが発生することを抑制することができる。
【0072】
また、本実施形態の加熱装置１００では、上記断面におけるＸ軸方向において、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔは、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの範囲より内側に位置している。また、上記断面において、緩衝部材６０は、端子部材側端面Ｓｂｔを一辺とする略矩形状の端子部材側部分６１と、電極側端面Ｓｂｅを一辺とする略矩形状の電極側部分６２とから構成されている。換言すれば、本実施形態の加熱装置１００では、上記断面において、緩衝部材６０における電極側端面Ｓｂｅは、端子部材側端面Ｓｂｔより大きい。このため、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅが端子部材側端面Ｓｂｔと同等の面積である構成と比較して、緩衝部材６０と給電電極５４との接合強度を向上させ、ひいては、電極側ロウ付け部８２における引張強度を向上させることができる。従って、本実施形態の加熱装置１００によれば、給電電極５４からの緩衝部材６０ひいては端子部材７０の脱離を抑制することができる。
【0073】
また、本実施形態の加熱装置１００では、上記断面におけるＸ軸方向において、給電電極５４における保持体１０の裏面Ｓ２に露出している露出面Ｓｅは、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの範囲より内側に位置している。換言すれば、上記断面において、上記露出面Ｓｅの全面が上記電極側端面Ｓｂｅで覆われている。上記露出面Ｓｅにおいて、電極側ロウ付け部８２で覆われない部分が生じると、当該部分、ひいては、給電電極５４自体が、大気雰囲気下において、酸化され、または、劣化するおそれがある。本実施形態の加熱装置１００では、給電電極５４の上記露出面Ｓｅが、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅの範囲より外側に位置している構成と比較して、上記断面におけるＸ軸方向において、上記露出面Ｓｅの全面がロウ材（電極側ロウ付け部８２）によって、覆われやすくなる。従って、本実施形態の加熱装置１００によれば、大気雰囲気下における給電電極５４の酸化および劣化を抑制することができ、ひいては、給電電極５４からの緩衝部材６０ひいては端子部材７０の脱離を抑制することができる。
【0074】
また、本実施形態の加熱装置１００では、Ｚ軸方向視において、端子部材７０の緩衝部材側端面Ｓｔの外縁Ｅｔは、緩衝部材６０の端子部材側端面Ｓｂｔの外縁Ｅｂｔを取り囲んでいる。このため、いずれの上記断面においても、上記ロウ付け接合の際におけるロウ材への引張応力の発生を抑制し、かつ、端子側ロウ付け部８１における上記引張残留応力の発生を抑制することができる。従って、本実施形態の加熱装置１００によれば、緩衝部材６０と端子部材７０とを接合する端子側ロウ付け部８１に引張応力がかかることをより効果的に抑制することができ、ひいては、端子側ロウ付け部８１にクラックが発生することをより効果的に抑制することができる。
【0075】
Ｂ．変形例：
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
【0076】
上記実施形態における加熱装置１００の構成は、あくまで例示であり、種々変形可能である。例えば、本実施形態において、Ｚ軸方向に平行であり、かつ、Ｚ軸方向視での緩衝部材６０の中心を通る少なくとも一つの断面において、上記構成が採用されてもよい。また、本実施形態において、Ｚ軸方向に平行であり、かつ、Ｚ軸方向視での緩衝部材６０の中心を通らない少なくとも一つの断面において、上記構成が採用されてもよい。
【0077】
本実施形態の加熱装置１００において、給電電極５４の表面の内、緩衝部材６０の電極側端面Ｓｂｅに対向する表面（以下、「給電電極５４の下面」ともいう）の一部が、保持体１０の裏面Ｓ２に露出している構成が採用されてもよい。このような構成において、露出面Ｓｅは、当該給電電極５４の下面の内の保持体１０の裏面Ｓ２に露出した部分に相当する。
【0078】
また、上記実施形態における各部材の形状は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、給電電極５４はＺ軸方向視で略円形であるとしているが、給電電極５４のＺ軸方向視での形状は略円形以外の形状であってもよい。緩衝部材６０や端子部材７０についても同様である。
【0079】
また、上記実施形態の加熱装置１００における各部材を形成する材料は、あくまで例示であり、各部材が他の材料により形成されてもよい。また、上記実施形態における加熱装置１００の製造方法は、あくまで一例であり、種々変形可能である。
【0080】
また、上記実施形態では、ヒータ電極５０に電気的に接続された給電電極５４と、端子部材７０と、給電電極５４と端子部材７０との間に配置された緩衝部材６０と、緩衝部材６０と端子部材７０との間を接合する端子側ロウ付け部８１と、緩衝部材６０と給電電極５４との間を接合する電極側ロウ付け部８２と、を備える加熱装置１００について詳細に説明したが、本明細書に開示された技術は、保持体の裏面に少なくとも一部が露出するように配置されたヒータ電極、ＲＦ電極またはＲＦ電極に電気的に接続された給電電極等の電極と、端子部材と、電極と端子部材との間に配置された緩衝部材と、緩衝部材と端子部材との間を接合する端子側ロウ付け部と、緩衝部材と電極との間を接合する電極側ロウ付け部と、を備え、保持体の表面上に対象物を保持する他の保持装置（例えば、静電チャック等）にも同様に適用可能である。
【符号の説明】
【0081】
１０：保持体 １２：凹部 ２０：柱状支持体 ２２：貫通孔 ３０：接合部 ５０：ヒータ電極 ５２：ビア導体 ５４：給電電極 ６０：緩衝部材 ６０ａ：緩衝部材 ６０ｂ：緩衝部材 ６０ｃ：緩衝部材 ６０ｄ：緩衝部材 ６０ｘ：緩衝部材 ６１：端子部材側部分 ６１ｂ：端子部材側部分 ６１ｃ：端子部材側部分 ６２：電極側部分 ６２ｂ：電極側部分 ６２ｃ：電極側部分 ７０：端子部材 ８１：端子側ロウ付け部 ８２：電極側ロウ付け部 １００：加熱装置 １００ａ：加熱装置 １００ｂ：加熱装置 １００ｃ：加熱装置 １００ｄ：加熱装置 １００ｘ：加熱装置 Ｓ１：保持面 Ｓ２：裏面 Ｓ３：上面 Ｓａ：側面 Ｓｂ：側面 Ｓｂｅ：電極側端面 Ｓｂｔ：端子部材側端面 Ｓｅ：露出面 Ｓｔ：緩衝部材側端面 Ｗ：半導体ウェハ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】